CN104226542A - 涂布器以及涂布装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种涂布器以及涂布装置，能够迅速排出涂布器(3)的上侧歧管(11)和下侧歧管(12)内的空气。所述涂布器包括：流入口(18)，用于流入涂布液；排出细缝(21)，用于排出涂布液，所述排出细缝在一个方向上长长地形成且在与所述一个方向垂直的方向上狭窄地形成。所述涂布器进一步包括：上侧歧管，与流入口连接；下侧歧管，与排出细缝连接；节流流路(22)，连接上侧歧管与下侧歧管的同时在一个方向上长长地形成且在与一个方向垂直的方向上狭窄地形成；排气孔(32)，在包含该节流流路与下侧歧管的境界(40)的区域(A)上开口。

Description

涂布器以及涂布装置

技术领域

本发明涉及为了将涂布液涂布于基板等上而具有用于排出涂布液的排出细缝的涂布器以及包括该涂布器的涂布装置。

背景技术

作为将涂布液涂布于玻璃基板或者薄膜等基板(被涂布部件)上的装置，已知的有具有涂布器的涂布装置，所述涂布器具有用于排出涂布液的排出细缝。该涂布装置除了具有所述涂布器以外，还具有用于放置基板的平台、用于积存涂布液的罐、以及用于将所述罐的涂布液供给到涂布器的泵等。

在涂布器的宽度方向上形成有长长的排出细缝，通过使该涂布器相对于平台上的基板水平移动的同时从排出细缝排出涂布液，由此可以在基板表面上用涂布液形成薄膜(涂布膜)。

在该涂布器中，设置有涂布液流入用的流入口和在宽度方向上长长的歧管(型腔)，从流入口流入到歧管的涂布液在所述歧管中暂时积攒之后通过排出细缝排出于基板上。

近几年，提出的方案有如下的涂布器(例如，参照专利文献1和图1)：为了提高涂布膜厚度的精度，在涂布器上设置有上下两个歧管，上下两个歧管通过节流流路连接。在该涂布器中，由于涂布液在上侧(上游侧)的歧管中在宽度方向上分散，进而该涂布液在下侧(下游侧)的歧管中在宽度方向上分散，因此从排出细缝排出的涂布液的排出状态(流量)在排出细缝的整个宽度方向上均匀分布，从而可以提高基板表面的涂布膜厚度的精度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1特开2012-239930号公报

发明内容

但是，利用上述的涂布器进行涂布作业时，空气可能会混入到涂布器内的涂布液中。其原因如下：空气从涂布液到达涂布器之前涂布液通过的配管的连接部件(接缝)处进入或空气从泵的滑动部件处进入，或者溶于涂布液的空气在歧管中发泡，或者在用于给涂布器供给涂布液的阀门开启和关闭时空气被吸入，或者根据涂布液的容积因该阀门的开启和关闭动作而发生变化导致的溶于涂布液的空气发泡，或者在清扫排出细缝或作为排出细缝出口的排出口时空气从该排出细缝进入。

这样，如果空气混入于涂布器内的涂布器中，则会发生以下问题：涂布作业开始时由于涂布压力的上升变慢而涂布开始部分的膜厚变薄，或者由于空气向基板排出而发生小孔、纵筋等涂布缺陷。尤其是，如果空气混入于下侧的歧管的涂布液中，则难以排出所述空气，所述问题可能会长期存在。

因此，本发明的目的在于迅速排出歧管内的空气。

本发明提供一种涂布器，包括：流入口，用于流入涂布液；排出细缝，用于排出涂布液，所述排出细缝在一个方向上长长地形成且在与所述一个方向垂直的方向上狭窄地形成，其特征在于，所述涂布器进一步包括：多个歧管，所述多个歧管在所述一个方向上长长地形成，所述多个歧管至少包含与所述流入口连接的上侧歧管、和与所述排出细缝连接的下侧歧管；节流流路，所述节流流路连接所述多个歧管，并且在所述一个方向上长长地形成且在与所述一个方向垂直的方向上通过节流后狭窄地形成；排气孔，在包含所述节流流路与连接于所述节流流路下游侧的所述歧管的境界的区域上开口。

下侧歧管的上部中存在的空气因浮力作用而欲通过与该下侧歧管上侧(也就是上游侧)连接的节流流路向上侧歧管移动，但是，如果节流流路狭窄，则空气无法通过节流流路而滞留于下侧歧管内，因此难以被排出。但是，根据本发明，由于排气孔在包含节流流路与下侧歧管的境界的区域上开口，因此，可以将存在于该歧管上部的空气通过该排气孔迅速排出。

另外，所述排气孔优选在包含所述境界的位置上开口。

另外，所述排气孔优选在与所述节流流路的下游侧连接的所述歧管的上缘部上开口。

另外，所述排气孔优选在所述节流流路的下游侧端部上开口。

通过这些排气孔，可以得到容易排出存在于歧管上部的空气的结构。

另外，当排气孔为在包含所述境界的区域中向所述一个方向开口的孔时，在从节流流路流出的涂布液的流速大的条件下，由于受在节流流路中通过的涂布液的阻碍而使存在于歧管上部的空气进入该排气孔的功能可能会下降。

因此，所述排气孔优选的是在包含所述境界的区域中向与所述一个方向交叉的方向开口的孔。

这种情况下，形成为即使从节流流路流出的涂布液的流速大也使通过排气孔的空气收集不易受到在节流流路中通过的涂布液的影响的结构。因此，可以使存在于歧管上部的空气有效地进入到排气孔。

另外，本发明的涂布装置，其特征在于，包括：平台，放置被涂布部件；涂布器，相对于所述被涂布部件排出涂布液；液体积存部，积存涂布液；送液装置，将所述液体积存部的涂布液供给到所述涂布器中；驱动装置，使所述平台上的所述被涂布部件和所述涂布器中的一方相对于另一方移动；其中，所述涂布器是上述的涂布器。

根据本发明，可以起到与上述涂布器相同的效果。

根据本发明，能够通过排气孔迅速排出存在于歧管上部的空气。

附图说明

图1为示出本发明涂布装置一个实施方式的结构概要图；

图2为用于说明涂布器的概要图(横截面图)；

图3为用于说明涂布器的概要图(纵截面图)；

图4(A)为示出第二排气孔及其周围的截面放大图，图4(B)为示出变形例的截面放大图，图4(C)为示出另一变形例的截面放大图；

图5(A)为示出第二排气孔及其周围的截面放大图，图5(B)为示出变形例的截面放大图，图5(C)为示出另一变形例的截面放大图；

图6(A)为示出第二排气孔及其周围的截面放大图，图6(B)为示出变形例的截面放大图；

图7为用于说明向涂布器初始填充涂布液时的空气排出功能的图；

图8为用于说明在涂布液填充于涂布器的状态下空气混入于涂布液时的空气排出功能的图。

附图标号说明

1：涂布装置

2：平台

3：涂布器

4：驱动装置(驱动机构)

8：泵(送液装置)

9：罐(液体积存部)

11：上侧歧管

12：下侧歧管

18：流入口

21：排出细缝

22：节流流路

27：上缘部

31：第一排气孔

32：第二排气孔

40：境界

45：下游侧端部

W：基板(被涂布部件)

具体实施方式

以下，根据附图说明本发明的实施方式。

[关于涂布装置的结构]

图1为示出本发明涂布装置1一个实施方式的结构概要图。该涂布装置1包括：平台2，用于放置玻璃等基板(被涂布部件)W；涂布器3，用于将涂布液涂布于所述平台2上的基板W上；罐(液体积存部)9，积存涂布液；泵(送液装置)8，用于向涂布器3输送所述罐9中的涂布液；驱动装置4，使平台2上的基板W和涂布器3中的一方相对于另一方移动。在本实施方式中，驱动装置4由驱动器构成，所述驱动器使涂布器3相对于处于固定状态的平台2向水平方向以及垂直方向移动。另外，涂布装置1包括用于控制各部分动作的控制装置5。泵8和涂布器3通过构成涂布液流路的配管(管)17连接。另外，在本实施方式中，将涂布器3的水平移动方向定义为X方向，将与所述X方向垂直的水平方向即涂布器3的宽度方向定义为Y方向。Z方向是与X方向和Y方向都垂直的方向(高度方向)。另外，涂布器3在Y方向上较长地形成，另外，基板W以基板W的宽度方向与该Y方向一致的方式放置于平台2上。

根据该涂布装置1，通过泵8将罐9内的涂布液供给到涂布器3上，由此可以将涂布液从作为形成于涂布器3下部的排出细缝21的下端(前端)的排出口21a排出，并且，以在该排出口21a与基板W之间形成平行的缝隙的状态通过驱动装置4使涂布器3配合涂布液的排出动作向水平移动，由此可以在基板W上用涂布液形成薄膜M。这样的涂布器3的移动等、用于将涂布液排出于基板W上的动作控制是通过控制装置5进行的。

图2与图3为用于说明涂布器的概要图(横截面图)，图2为横截面图，图3为纵截面图。涂布器3具有与配管17连接且用于涂布液流入的流入口18、和用于排出涂布液的排出细缝21。在涂布器3的Y方向的中央位置处设置有一个流入口18(参照图3)。流入口18与后述的上侧歧管11通过涂布器3上形成的孔19连接。排出细缝21在Y方向(一个方向)上形成为长直线形状，并且，在X方向(与一个方向垂直的方向)上通过节流后狭窄地形成。另外，排出细缝21的X方向尺寸比后述的下侧歧管12的X方向最大尺寸窄，排出细缝21为对从该下侧歧管12延续的流路进行节流的流路。

并且，在涂布器3上设置有多个歧管(也称为型腔)。也就是说，涂布器3包括：上侧的歧管(以下，称之为上侧歧管)11，通过孔19与流入口18直接连接；下侧的歧管(以下，称之为下侧歧管)12，与排出细缝21直接连接；节流流路22，连接上侧歧管11与下侧歧管12并且使上侧歧管11的涂布液流入到下侧歧管12。各歧管11、12与X方向相比在Y方向上以直线状较长地形成。节流流路22是在Y方向(一个方向)上以直线状较长地形成，并且，在X方向(与一个方向垂直的方向)上通过节流后狭窄地形成。另外，节流流路22的X方向尺寸比后述的上侧歧管11(以及各下侧歧管12)的X方向最大尺寸窄，节流流路22为对从上侧歧管11延续的流路进行节流的流路。

从流入口18供给的涂布液依次通过上侧歧管11、节流流路22、下侧歧管12、以及排出细缝21之后从作为排出细缝21的下端(前端)的排出口21a排出。另外，在本实施方式中，所述的上侧歧管11、节流流路22、下侧歧管12、以及排出细缝21在Z方向上以直线状并排设置。另外，涂布器3包括在其内部设置有歧管11、歧管12以及节流流路22等的管套3a、与该管套3a连接的后述的配管36、56(参照图2)、以及后述的泵37、57(参照图2)等。

在本实施方式中，如图2所示，上侧歧管11与下侧歧管12各自的横截面形状大致是半圆形，节流流路22的横截面形状是直线形(矩形)，涂布液的流路截面在节流流路22中变窄。另外，所述流路截面是指涂布液的流路截面，在本实施方式中，定义为在X-Y平面上的投影面。节流流路22的流路截面在涂布液的整个流动方向(上下方向)上是固定的，另外，排出细缝21的流路截面在整个流动方向(上下方向)上也是固定的。在本实施方式中，节流流路22与排出细缝21的X方向尺寸与Y方向尺寸相同，并且流路截面也相同。节流流路22也是像排出细缝21一样的细缝，因此，本实施方式的涂布器3可以说是由两层歧管与两层细缝构成。

另外，流路截面从节流流路22与下侧歧管12的境界40开始往下游侧扩大(急速扩大)。也就是说，境界40是指流路截面扩大(急速扩大)的位置。境界40不仅包括节流流路22的平面状的壁面23与下侧歧管12的圆弧状的壁面24在Y方向延伸的境界线，还包括包含该境界线的流路截面的区域。

另外，如果从涂布液的流动方向的相反一侧看，流路截面从节流流路22与上侧歧管11的境界39开始往上游侧扩大(急速扩大)，流路截面从排出细缝21与下侧歧管12的境界41开始往上游侧扩大(急速扩大)。

另外，在该涂布器3中，每个歧管都具有排气孔，在本实施方式中，具有上侧歧管11用第一排气孔31和下侧歧管12用第二排气孔32。

如图2所示，第一排气孔31由涂布器3上形成的贯通孔构成，并与上侧歧管11的上部连接。第一排气孔31与配管36连接，在该配管36上设置有阀门37。通过开启该阀门37，由此可以通过第一排气孔31将存在于上侧歧管11上部的空气从涂布器3排出。另外，空气与上侧歧管11内的部分涂布液一起被排出。如图3所示，在上侧歧管11的Y方向两侧部上分别设置有第一排气孔31。第一排气孔31以第一排气孔31的开口部上端与上侧歧管11上端一致的方式在上侧歧管11上开口，以容易排出沿着上侧歧管11上表面积存的空气。

如图2所示，第二排气孔32由形成在涂布器3上的贯通孔构成，与下侧歧管12的上部(或者节流流路22的下部)连接。第二排气孔32与配管56连接，在该配管56上设置有阀门57。通过开启该阀门57，由此可以通过第二排气孔32将存在于下侧歧管12上部的空气从涂布器3排出。另外，空气与下侧歧管12内的部分涂布液一起被排出。如图3所示，在下侧歧管12的Y方向中央部上设置有一个第二排气孔32。

第一排气孔31与第二排气孔32的孔中心线可以是水平，也可以是往涂布器3的外侧向上倾斜，以便从各排气孔31、32排出空气时，可以利用空气浮力来排出空气。

另外，如图3所示，下侧歧管12在其上表面侧具有沿着Y方向高度发生变化的倾斜面13。在本实施方式中，在Y方向两侧分别具有越靠近中央方向高度越变高的倾斜面13。另外，第二排气孔32在该倾斜面13的上端开口。

图4(A)为示出第二排气孔32及其周围的截面放大图。如图4(A)所示，在本实施方式中，构成节流流路22的平面状的壁面47、以及构成下侧歧管12的平面状的壁面48分别形成于涂布器3内的一个平面状的部分共同壁面49上。另外，构成上侧歧管11的平面状的壁面46也由部分所述共同壁面49构成。

另外，如图3所示，上侧歧管11、下侧歧管12和节流流路22的Y方向尺寸相同，并且这些的侧壁面51也相同。另外，侧壁面51是位于Y方向两侧的涂布器3内的端面。

[第二排气孔32(之一)]

节流流路22的流路截面沿涂布液的流动方向(上下方向)是固定的，但是，从与下侧歧管12的境界40开始在下侧歧管12中流路截面急速扩大(参照图4(A))。另外，第二排气孔32在包含该境界40的位置开口。也就是说，第二排气孔32是以包含境界40的方式开口。尤其是，在图4(A)所示的方式中，第二排气孔32的开口部32a上端32a1与境界40一致。因此，第二排气孔32的开口部32a上端32a1与下侧歧管12的上端一致。第二排气孔32是在构成下侧歧管12的圆弧状的壁面24上开口的孔。如此，第二排气孔32在下侧歧管12内开口，容易排出沿着下侧歧管12上表面积存的空气。

另外，作为变形例，第二排气孔32还可以形成为如图4(B)所示的形状，该第二排气孔32的开口部32a跨境界40。该第二排气孔32在所述圆弧状的壁面24、以及构成节流流路22的平面状的壁面23上开口的孔。另外，作为其它变形例，第二排气孔32还可以形成为如图4(C)所示的形状，该第二排气孔32的开口部32a的下端32a2与境界40一致。该第二排气孔32是在所述平面状的壁面23上开口的孔。如此，即使在图4(B)以及图4(C)所示的方式中，第二排气孔32也在包含境界40的位置上开口。也就是说，第二排气孔32以包含境界40的方式开口。另外，图4(A)～图4(C)分别所示的第二排气孔32为在X方向上包含境界40的区域A上开口的孔。

[第二排气孔32(之二)]

图5(A)示出图4(A)所示的第二排气孔32的变形例。图5(A)所示的第二排气孔32在下侧歧管12的上缘部27上开口。具体来说，第二排气孔32在构成下侧歧管12的圆弧状的壁面24的上部开口。另外，所述上缘部27是指在所述境界40的下游侧的部分、形成有第二排气孔32的Y方向位置中下侧歧管12的Z方向尺寸(整体高度)的10％以内的范围。因此，只要在该范围内存在第二排气孔32的开口部32a的至少一部分即可，在本实施方式中，第二排气孔32的开口部32a的下端32a2位于该范围内。

图5(B)为示出下侧歧管12的形状与上述各方式的下侧歧管12的形状不同时的截面放大图。图5(B)所示的下侧歧管12在其上缘部27上具有倾斜面25。该倾斜面25由与圆弧状的壁面24连接的平面构成。因此，境界40是包含该倾斜面25与节流流路22的平面状的壁面23的境界线部分。另外，第二排气孔32在该倾斜面25上开口。

综上所述，图5(A)、图5(B)所示的第二排气孔32在下侧歧管12的上缘部27上于不包括境界40的位置上开口。

[第二排气孔32(之三)]

图5(c)为示出将第二排气孔32及其周围的截面放大图，为图4所示的第二排气孔32的变形例。图5(C)所示的第二排气孔32在节流流路22的下游侧端部45上开口。另外，该下游侧端部45是指在境界40的上游侧的部分、形成有第二排气孔32的Y方向位置中节流流路22的Z方向尺寸(整体高度)的10％以内的范围。因此，只要在该范围内存在第二排气孔32的开口部32a的至少一部分即可，在本实施方式中，第二排气孔32的开口部32a的上端32a1位于该范围内。该第二排气孔32在平面状的部分壁面23上于不包括境界40的位置上开口。

[第二排气孔32(之四)]

图6(A)示出图4所示的第二排气孔32的变形例的图。图6(A)所示的第二排气孔32在所述共同壁面49上包含境界40的位置上开口。另外，如图6(B)所示，作为其它的变形例，第二排气孔32还可以在所述侧壁面51上包含境界40的位置上开口。

另外，虽然未在图中示出，但作为图5(A)、图5(B)所示方式的变形例，第二排气孔32可以在共同壁面49或者侧壁面51上且为下侧歧管12的上缘部27上开口。进一步，作为图5(C)所示方式的变形例，第二排气孔32可以在共同壁面49或者侧壁面51上且为节流流路22的下游侧端部45上开口。

[关于各实施方式的涂布器3]

以上所述的各实施方式的涂布器3具有多个(两个)歧管11、12和连接这些歧管的节流流路22，因此，在Y方向上涂布液被各歧管11、12均匀地分散，从而在排出细缝21的Y方向整个长度上涂布液的排出状态(排出量)变得均匀，由此可以提高基板W表面的涂布膜厚度的精度。

另外，在上侧歧管11中存在的空气因浮力作用而聚集在该上侧歧管11的上部，而由于第一排气孔31在上侧歧管11的上部开口，因此可以将这些空气通过第一排气孔31向外部排出。

另外，下侧歧管12中存在的空气也因浮力作用而聚集在该下侧歧管12的上部。这些空气因浮力作用而欲通过与下侧歧管12上侧(也就是上游侧)连接的节流流路22向上侧歧管11移动，然而，如果节流流路22狭窄，则这些空气无法通过节流流路22而继续滞留于下侧歧管12内，因此，难以通过设置于上侧歧管11的第一排气孔1排出。但是，在所述各实施方式的涂布器3中，第二排气孔32(例如，参照图4(A))是在包含节流流路22与连接于该节流流路22下游侧的下侧歧管12的境界40的区域A上开口。也就是说，包含境界40的区域A是指：形成有第二排气孔32的Y方向位置中以境界40为中心、从下侧歧管12的Z方向尺寸(整体高度)的10％以内的范围到节流流路22的Z方向尺寸(整体高度)的10％以内范围的区域，第二排气孔32在该区域A上开口。也就是说，只要在该区域A(所述上下10％范围)内存在第二排气孔32的开口部32a的至少一部分即可。

由于第二排气孔32在所述区域A中开口，因此，可以通过第二排气孔32迅速排出下侧歧管12上部的空气。这样，通过在全部的歧管上均设置有排气孔，由此能够将空气迅速从全部的歧管向涂布器3的外部排出。

另外，在包含境界40的“区域A”中开口的第二排气孔32是指开口部32a的至少一部分在所述上下10％范围内的区域上开口的第二排气孔32。另外，第二排气孔32在包含该境界40的“区域A”上开口的方式包括第二排气孔32的开口部32a包含境界40的情况(图4(A)～图4(C)以及图6(A)、图6(B))和没有包含境界40的情况(图5(A)～图5(C))。

另外，第二排气孔32在包含境界40的“位置”上开口的方式是指第二排气孔32的开口部32a包含境界40的情况(图4(A)～图4(C)的情况以及图6(A)、图6(B))。

下面，比较图4(A)、图4(B)以及图5(A)、图5(B)所示的第二排气孔32和图6(B)所示的第二排气孔32。

图6(B)所示的第二排气孔32是在侧壁面51上向Y方向开口的孔。在这种情况下，当从节流流路22流出的涂布液的流速大时，使下侧歧管12上部的空气进入第二排气孔32的功能可能会受到在节流流路22中通过的涂布液的流动阻碍而降低。其原因可以认为：由于在图6(B)所示的第二排气孔32的开口部的正面中会有来自节流流路22的涂布液通过，所以空气难以聚集在该正面部分。也就是说，其原因可以认为：在下侧歧管12的聚集的空气在下侧歧管12壁面24中主要聚集在上缘部27上。另外，图6(A)所示的方式也一样，当涂布液的流速大时，可能会降低使空气进入到第二排气孔32的功能。

相比图6(B)的方式，图4(A)、图4(B)以及图5(A)、图5(B)所示的第二排气孔32在下侧歧管12壁面24的上缘部27上向X方向开口。因此，形成为即使从节流流路22流出的涂布液的流速大也使通过第二排气孔32的空气收集不易受到在节流流路22中通过的涂布液的影响的结构。因此，可以使下侧歧管12上部中存在的空气有效地进入到第二排气孔32中。

另外，在图6(A)、图6(B)、图4(C)以及图5(C)所示的各方式中，当来自节流流路22的涂布液的流速慢时，可以使下侧歧管12上部中存在的空气有效地进入到第二排气孔32。

如上所述，根据包括上述各实施方式的涂布器3的涂布装置1，可以迅速排出歧管11、12内的空气，因此，可以防止出现现有的涂布装置中发生以下问题：当涂布作业开始时受残留于歧管内的空气影响而涂布压力的上升变得慢，因此涂布开始部分的膜厚变薄。另外，可以防止发生因残留的空气从作为排出细缝的下端(前端)的排出口向基板排出而发生的小孔、纵筋等涂布缺陷。

[关于各实施方式的涂布器3的空气排出功能]

图7为用于说明初期向涂布器3填充涂布液时的空气排出功能的图。在此，以具有图4(A)所示的第二排气孔32的涂布器3为代表进行说明，但其它方式的涂布器3空气排出方法也相同。

图7(A)表示的是涂布器3的内部为空的状态。如果从中央流入口18(孔19)向上侧歧管供给涂布液，则如图7(B)所示，在上侧歧管11中涂布液主要向Y方向两侧流动，空气a聚集于Y方向两侧的上部。另外，在图7中，涂布液的区域用网格线表示。

如图7(C)所示，从上侧歧管11的整个宽度上通过节流流路22向下侧歧管12供给涂布液，在下侧歧管12中涂布液从底部开始积存，空气a聚集于中央上部。

另外，如图7(D)所示，从排出细缝21的整个宽度排出涂布液。

另外，如果从流入口18(孔19)向上侧歧管11供给涂布液的同时开启图2所示的阀门37、57，如图7(E)所示，上侧歧管11与下侧歧管12的空气a通过第一排气孔31以及第二排气孔32与部分涂布液一起被排出于外部。另外，虽然可以同时开启阀门37、57而同时排出上侧歧管11和下侧歧管12的空气a，但是，当从流入口18(孔19)向上侧歧管11供给的涂布液的送液量以及送液速度为固定时，可能会从各个排气孔31、32排出的涂布液的流速下降而导致上侧歧管11和下侧歧管12的空气a难以排出，因此，优选的是，只开启其中一方阀门而另一方阀门处于关闭状态，空气从该一方的歧管排出后，使另一方阀门从关闭状态变为开启状态，使上述一方阀门从开启状态变为关闭状态，从上述另一方的歧管排出空气。

图8为用于说明在涂布液填充于涂布器的状态下空气混入于涂布液时的空气排出功能的图。如图8(A)所示，是处于涂布液填充于涂布器3内的状态，空气残留于该涂布液中。另外，在图8中，将涂布液的区域用网格线表示。例如，在上侧歧管11中，空气从流入口18(孔19)进入，在下侧歧管12中，空气从排出细缝21进入。

如图8(B)所示，通过从流入口18(孔19)向上侧歧管11供给涂布液的同时开启图2所示的阀门37，由此将上侧歧管11的空气与部分涂布液一起从第一排气孔31排出。然后，关闭阀门37并开启阀门57，将下侧歧管12的空气与部分涂布液一起从第二排气孔32排出。

另外，与初期填充涂布液时一样，虽然可以同时开启阀门37、57，将上侧歧管11和下侧歧管12的空气a同时排出，但是，当从流入口18(孔19)向上侧歧管11供给的涂布液的送液量以及送液速度为固定时，可能会因从各排气孔31、32排出的涂布液的流速下降而上侧歧管11和下侧歧管12的空气a难以排出，因此，优选的是，将上侧歧管11和下侧歧管12的空气a分别排出。

另外，在图8中，虽然对空气同时混入于上侧歧管11和下侧歧管12时的空气排出功能进行说明，但是，当空气混入于上侧歧管11和下侧歧管12中的任一歧管时，只要排出空气混入的那一方歧管的空气即可，这样，不仅可以缩短空气排出时间，还可以节省排出空气所需的涂布液的量。

另外，如图7以及图8所示，在上侧歧管11中，第一排气孔31设置于Y方向两侧。从而形成空气a搭乘从Y方向中央的孔19流入的涂布液的流动容易从Y方向两侧的第一排气孔31排出的结构。

另外，如上所述，下侧歧管12具有越靠近中央越高的倾斜面13，第二排气孔32在该倾斜面32的上端开口。由此，下侧歧管12的涂布液中的空气沿倾斜面13自动聚集于上侧的地方，从而构成该聚集的空气容易从第二排气孔32排出的结构。

另外，第二排气孔32的Y方向位置并没有限定。也就是说，由于从节流流路22的整个宽度向下侧歧管12供给涂布液，因此，变更第二排气孔32的Y方向位置尤其自由，另外，第二排气孔32的数量也可以自由变更。但是，为了减少构成排出空气用流路的配管56、阀门57(参照图2)的数量，也就是说，为了使涂布器3的结构变得简单，第二排气孔32数量优选为一个，并且优选设置于中央。

所公开的实施方式的所有内容均为例示的，本发明并不限定于此。本发明要求保护的权利范围并不局限于上述实施方式，本发明包含与本发明的权利要求范围记载结构等同范围内的所有的变更。

例如，歧管只要是多个即可，可以是3个以上。也就是说，只要是具有至少包含与流入口18连接的上侧歧管11以及与排出细缝21连接的下侧歧管12的多个歧管即可，涂布器3只要是由多层歧管构成的结构即可。即使是这种情况，下游侧的歧管位于上游侧的歧管的下方。另外，在各层歧管上都设置有排气孔，尤其是，将在从上方第二层以下的歧管上开口的第二排气孔32做成上述结构即可。另外，当歧管数量为N个时，节流流路的数量为N-1个。

另外，在所述实施方式中，如图2所示，对上侧歧管11和下侧歧管12沿着垂直方向配置的情况进行了说明，但涂布器3还可以倾斜。另外，即使是这种情况，从流入口18向排出细缝21流动的涂布液的流动方向仍然是从高处朝向低处，排出细缝21的下端(前端)位于基板W上的涂布液的落地位置上方。另外，当使涂布器3如此倾斜时，使涂布器3在所述Z方向上也以相同角度倾斜。

另外，本发明中说明的涂布液的涂布对象(被涂布部件)是玻璃板等基板W，但被涂布部件还可以是其它的。

并且，在所述实施方式中说明的是通过使涂布器3相对于处于固定状态的平台2(参照图1)移动来进行涂布动作的情况，但是，还可以是与之相反地通过使放置基板W的平台2相对于处于固定状态的涂布器移动来进行涂布动作的情况。

另外，歧管的横截面形状除了半圆形以外，还可以是对圆形、多角形、四分之一圆形与直角三角形进行组合的形状等任意形状。

Claims (6)

1.一种涂布器，包括：流入口，用于流入涂布液；排出细缝，用于排出涂布液，所述排出细缝在一个方向上长长地形成且在与所述一个方向垂直的方向上狭窄地形成，

其特征在于，所述涂布器进一步包括：

多个歧管，所述多个歧管在所述一个方向上长长地形成，所述多个歧管至少包含与所述流入口连接的上侧歧管、和与所述排出细缝连接的下侧歧管；

节流流路，所述节流流路连接所述多个歧管，并且在所述一个方向上长长地形成且在与所述一个方向垂直的方向上通过节流后狭窄地形成；

排气孔，在包含所述节流流路与连接于所述节流流路下游侧的所述歧管的境界的区域上开口。

2.根据权利要求1所述的涂布器，其特征在于，所述排气孔在包含所述境界的位置上开口。

3.根据权利要求1所述的涂布器，其特征在于，所述排气孔在与所述节流流路的下游侧连接的所述歧管的上缘部上开口。

4.根据权利要求1所述的涂布器，其特征在于，所述排气孔在所述节流流路的下游侧端部上开口。

5.根据权利要求1至4任一项所述的涂布器，其特征在于，所述排气孔是在包含所述境界的区域中向与所述一个方向交叉的方向开口的孔。

6.一种涂布装置，其特征在于，包括：

平台，放置被涂布部件；

涂布器，相对于所述被涂布部件排出涂布液；

液体积存部，积存涂布液；

送液装置，将所述液体积存部的涂布液供给到所述涂布器中；

驱动装置，使所述平台上的所述被涂布部件和所述涂布器中的一方相对于另一方移动；

其中，所述涂布器为权利要求1至5任一项所述的涂布器。