CN114302773B - 涂敷装置以及涂敷方法 - Google Patents

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Abstract

根据实施方式，涂敷装置包括第1管、第1泵、第1、第2喷嘴以及保持部。第1管包括第1流入口、第1流出口以及第2流出口。第1泵可朝向第1流入口供给液体。第1喷嘴包括第1喷嘴流入口以及第1喷嘴排出口。第1喷嘴流入口与第1流出口连接。第1喷嘴排出口可将通过了第1管的液体排出。第2喷嘴包括第2喷嘴流入口以及第2喷嘴排出口。第2喷嘴流入口与第2流出口连接。第2喷嘴排出口可将通过了第1管的液体排出。保持部保持第1、第2喷嘴。保持部可形成第1、第2状态。在第1状态下，第1喷嘴排出口的高度以及第2喷嘴排出口的高度在第1管的高度以上。在第2状态下，第1喷嘴排出口的高度以及第2喷嘴排出口的高度也比第1管的高度低。

Description

涂敷装置以及涂敷方法
技术领域
本发明的实施方式涉及涂敷装置以及涂敷方法。
背景技术
存在使用涂敷杆来涂敷液体的涂敷头。希望的是能够形成均匀的涂敷膜的涂敷装置。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2016-174992号公报
发明内容
发明所要解决的课题
本发明的实施方式是提供一种能够形成均匀的涂敷膜的涂敷装置以及涂敷方法。
为了解决课题的手段
根据本发明的实施方式，涂敷装置包括第1管、第1泵、第1喷嘴、第2喷嘴以及保持部。所述第1管包括第1流入口、第1流出口以及第2流出口。所述第1泵可朝向所述第1流入口供给液体。所述第1喷嘴包括第1喷嘴流入口以及第1喷嘴排出口。所述第1喷嘴流入口与所述第1流出口连接。所述第1喷嘴排出口可将通过了所述第1管的所述液体排出。所述第2喷嘴包括第2喷嘴流入口以及第2喷嘴排出口。所述第2喷嘴流入口与所述第2流出口连接。所述第2喷嘴排出口可将通过了所述第1管的所述液体排出。所述保持部保持所述第1喷嘴以及所述第2喷嘴。所述保持部可形成第1状态和第2状态。在所述第1状态下，所述第1喷嘴排出口的高度以及所述第2喷嘴排出口的高度为所述第1管的高度以上。在所述第2状态下，所述第1喷嘴排出口的所述高度以及所述第2喷嘴排出口的所述高度比所述第1管的所述高度低。
附图说明
图1是举例表示有关第1实施方式的涂敷装置的示意性的侧视图。
图2是举例表示有关第1实施方式的涂敷装置的示意性的俯视图。
图3的(a)以及图3的(b)是举例表示有关第1实施方式的涂敷装置的示意性的侧视图。
图4的(a)以及图4的(b)是举例表示有关第1实施方式的涂敷装置的示意性的侧视图。
图5的(a)以及图5的(b)是举例表示有关第1实施方式的涂敷装置的示意性的侧视图。
图6的(a)以及图6的(b)是举例表示有关第1实施方式的涂敷装置的示意性的侧视图。
图7的(a)以及图7的(b)是举例表示有关第1实施方式的涂敷装置的示意性的侧视图。
图8的(a)以及图8的(b)是举例表示有关第1实施方式的涂敷装置的示意性的侧视图。
图9是举例表示有关第1实施方式的涂敷装置的一部分的示意性的侧视图。
图10是举例表示有关第2实施方式的涂敷方法的流程图。
具体实施方式
下面，参照附图，对本发明的实施方式详细地进行说明。
另外，附图是示意性的或者概念性的图，各部分的厚度和宽度的关系、部分之间的大小的比率等没有必要与现实的情况相同。另外，即使在表示相同的部分的情况下，也存在根据附图而将相互的尺寸、比率不同地表示的情况。
另外，在本申请说明书和各图中，对与已经出现的图中所述的要素相同的要素标注相同的附图标记，适宜地省略详细的说明。
(第1实施方式)
图1是举例表示有关第1实施方式的涂敷装置的示意性的侧视图。
图2是举例表示有关第1实施方式的涂敷装置的示意性的俯视图。
图3的(a)、图3的(b)、图4的(a)、图4的(b)、图5的(a)以及图5的(b)是举例表示有关第1实施方式的涂敷装置的示意性的侧视图。
如图1以及图2所示，有关实施方式的涂敷装置110包括第1管21、第1泵31、第1喷嘴11、第2喷嘴12以及保持部41。
第1管21包括第1流入口21i、第1流出口21a以及第2流出口21b。第1泵31可朝向第1流入口21i供给液体50。
在该例子中，液体50被积存在容器55。液体50经管28a流入第1泵31。
第1喷嘴11包括第1喷嘴流入口11i以及第1喷嘴排出口11o。第1喷嘴流入口11i与第1流出口21a连接。第1喷嘴排出口11o可将通过了第1管21的液体50排出。通过第1泵31向第1管21供给液体50，液体50从第1喷嘴排出口11o被排出。
第2喷嘴12包括第2喷嘴流入口12i以及第2喷嘴排出口12o。第2喷嘴流入口12i与第2流出口21b连接。第2喷嘴排出口12o可将通过了第1管21的液体50排出。通过第1泵31向第1管21供给液体50，液体50从第2喷嘴排出口12o被排出。
保持部41保持第1喷嘴11以及第2喷嘴12。例如，保持部41是杆状。第1喷嘴11以及第2喷嘴12可以以任意的方法固定在保持部41。
如图1以及图2所示，例如，设置基体48。基体48的表面例如沿X-Y平面扩展。将相对于X-Y平面垂直的方向作为Z轴方向。
在基体48设置保持部底座41B。也可以是保持部底座41B相对于基体48移动。保持部底座41B保持杆状的保持部41。杆状的保持部41例如沿Y轴方向延伸。
在该例子中，保持部41可相对于保持部底座41B转动。转动例如以Y轴方向为中心。例如，保持部41的角度可以以保持部底座41B为基准变更。也可以是可在角度被限制的状态下，角度可变更。若角度变化，则被保持部41保持的多个喷嘴的角度也变化。在实施方式中，也可以是保持部41的角度不变化，多个喷嘴的角度变化。
保持部41具有多个状态。保持部41可形成多个状态(例如第1状态以及第2状态等)。图3的(a)以及图3的(b)举例表示第1状态ST1。图4的(a)以及图4的(b)举例表示第2状态ST2。图3的(a)以及第4(a)举例表示包括第1喷嘴11的部分。图3的(b)以及图4的(b)举例表示包括第2喷嘴12的部分。在这些图中，为了容易看图，省略了涂敷装置110中所包括的一部分要素。
如图3的(a)以及图3的(b)所示，在第1状态ST1下，第1喷嘴排出口11o的高度以及第2喷嘴排出口12o的高度为第1管21的高度以上。如图4的(a)以及图4的(b)所示，在第2状态ST2下，第1喷嘴排出口11o的高度以及第2喷嘴排出口12o的高度比第1管21的高度低。高度例如是Z轴方向上的位置。高度例如是以基体48为基准的Z轴方向上的位置。通过这样的第1状态ST1，如下面说明的那样，能够形成均匀的涂敷膜。
例如，存在在空气等气体残存在第1管21的一部分的内部的状态下，液体50被供给到第1管21的情况。例如，存在空气等气体残存在第1喷嘴11以及第2喷嘴12中的至少任一者的情况。在这样的状态下，若液体50被供给到第1管21，则气体没有被排出，容易使液体从没有残存气体的喷嘴被排出的状态持续。若气体没有被排出，则液体50的均匀的排出变得困难。若液体50没有被均匀地排出，则液体50容易被不均匀地涂敷在被涂敷部件81上。
在实施方式中，可形成上述第1状态ST1以及第2状态ST2。例如，第1泵31在第1状态ST1下，可向第1流入口21i供给液体50，从第1喷嘴排出口11o以及第2喷嘴排出口12o排出液体50。此时，在第1状态ST1下，第1喷嘴排出口11o的高度以及第2喷嘴排出口12o的高度为第1管21的高度以上。在这样的第1状态ST1下，若经第1管21向第1喷嘴11以及第2喷嘴12供给液体50，则即使在气体存在于第1管21、第1喷嘴12以及第2喷嘴12的情况下，也能够将气体从这些喷嘴排出。由此，可进行均匀的排出。
在第2状态ST2下，从第1喷嘴11以及第2喷嘴12排出液体50，向被涂敷部件81涂敷液体50。被涂敷的液体50均匀。
这样，第1泵31在第1状态ST1下，可向第1流入口21i供给液体50，从第1喷嘴11以及第2喷嘴12中的至少任一者排出第1喷嘴11以及第2喷嘴12中的至少任一者中的气体。根据实施方式，能够形成均匀的涂敷膜。
第1泵31在第2状态ST2下，可向第1流入口21i供给液体50，从第1喷嘴11以及第2喷嘴12排出液体50，向被涂敷部件81涂敷液体50。通过被涂敷的液体50得到的涂敷膜均匀。这样，第1喷嘴排出口11o以及第2喷嘴排出口12o可向被涂敷部件81涂敷液体50。
例如，在未经上述第1状态ST1而在第2状态ST2下进行涂敷的情况下，气体容易残存在多个喷嘴中的至少一个喷嘴之中。以维持残存了气体的状态，从其它的喷嘴排出液体50。因此，气体持续残存。若以维持残存了气体的状态进行涂敷，则涂敷容易变得不均匀。
如图3的(a)以及图3的(b)所示，也可以是涂敷装置110还包括喷嘴液体接收部29。喷嘴液体接收部29例如在第1状态ST1下，可接受从第1喷嘴排出口11o以及第2喷嘴排出口12o排出的液体50。在将气体除去的第1状态ST1下，第1喷嘴排出口11o以及第2喷嘴排出口12o的高度高。在这样的第1状态ST1下，若从第1喷嘴排出口11o以及第2喷嘴排出口12o排出液体50，则液体50沿着这些喷嘴朝向第1管21移动。第1管21等被液体50污染。通过由喷嘴液体接收部29收入液体50，能够抑制污染。在实施方式中，也可以在喷嘴排出口的下方设置喷嘴液体接收部。
图5的(a)以及图5的(b)举例表示在第2状态ST2下，液体50从喷嘴被排出的状态。这些图与将液体50向被涂敷部件81涂敷的动作相对应。
如图1、图2、图5的(a)以及图5的(b)所示，涂敷装置110包括涂敷杆42。涂敷杆42可与被涂敷部件81相向。涂敷杆42例如沿Y轴方向延伸。如图5的(a)以及图5的(b)所示，在第2状态ST2下，第1喷嘴排出口11o以及第2喷嘴排出口12o可朝向涂敷杆42供给液体50。通过第1泵31向第1管21供给液体50，从这些喷嘴朝向涂敷杆42供给液体50。
如图5的(a)以及图5的(b)所示，例如，涂敷杆42可在涂敷杆42和被涂敷部件81之间形成液体50的弯液面51M。通过形成弯液面51M，容易得到更均匀的涂敷膜51F。
也可以是在第2状态ST2下，第1喷嘴排出口11o以及第2喷嘴排出口12o与涂敷杆42接触。进行更稳定的涂敷。
如图1以及图2所示，在该例子中，涂敷装置110还包括被涂敷部件保持部85以及涂敷杆位置控制部42C。被涂敷部件保持部85保持被涂敷部件81。在该例子中，被涂敷部件保持部85可运送被涂敷部件81。在该例子中，被涂敷部件81是薄膜状。被涂敷部件保持部85包括可运送薄膜状的被涂敷部件81的辊。
涂敷杆位置控制部42C可控制涂敷杆42和被涂敷部件保持部85之间的相对的位置。涂敷杆位置控制部42C可控制涂敷杆42和被涂敷部件81之间的相对的位置。涂敷杆位置控制部42C例如在X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向中的至少任一个方向，可控制涂敷杆42和被涂敷部件保持部85之间的相对的位置。作为涂敷杆位置控制部42C，例如，也可以使用在多个方向可动的促动器等。
如图1以及图2所示，涂敷装置110也可以还包括检测部42M。检测部42M例如可检测涂敷杆42和被涂敷部件保持部85之间的相对的位置。检测部42M例如也可以包括光学传感器等。涂敷杆位置控制部42C也可以根据检测部42M的检测结果，控制涂敷杆42和被涂敷部件保持部85之间的相对的位置。
保持部41也可以控制第1喷嘴11和涂敷杆42之间的相对的位置关系以及第2喷嘴12和涂敷杆42之间的相对的位置关系。相对的位置关系也可以是例如X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向中的至少任一个方向上的位置关系。
如图1以及图2所示，在该例子中，保持部41包括喷嘴间隔控制部41C。例如，喷嘴间隔控制部41C可控制第1喷嘴11和第2喷嘴12之间的间隔。间隔例如是沿着Y轴方向的距离。在一个例子中，在杆状的保持部41的一部分设置凹部，该凹部成为喷嘴间隔控制部41C。通过设置多个凹部，将喷嘴固定在多个凹部的所希望的位置，能够可变地控制多个喷嘴彼此的间隔。多个喷嘴的保持构造以及多个喷嘴的间隔的控制方法任意。也可以与液体50的特性(例如，粘度等)相应地变更多个喷嘴彼此的间隔等。凹部例如能够由槽或者垫片等形成。
在实施方式中，第1喷嘴11是针状。通过使用针状的第1喷嘴11，例如能够以高的精度控制液体50的排出量。若喷嘴为针状，则例如多个喷嘴的末端容易接触涂敷杆42。在针状的喷嘴中，能够得到高的柔性。通过高的柔性，例如能够抑制喷嘴因涂敷杆42的振动等而损伤。在针状的喷嘴中，喷嘴的长度例如为10mm以上且100mm以下，喷嘴的内径例如为1mm以上且2mm以下。喷嘴的末端的端面和喷嘴延伸的方向之间的角度例如是约90度(例如75度以上且105度以下)。通过这样的形状，例如能够抑制涂敷杆42产生损伤。通过这样的形状，例如容易使液体50向涂敷杆42的供给稳定化。
如图2所示，第1管21也可以包括四个以上流出口。在四个以上流出口的每一个上连接喷嘴。例如，第1管21包括各分支为两路的多个分支部21B。例如，第1管21包括2的n次方(n是1以上的整数)的流出口。液体50的均匀的排出变得更容易。
在实施方式中，第1管21也可以包括单向阀21v。能够由单向阀21v抑制气体的倒流。例如，能够抑制气体(空气)的流入。
在实施方式中，第1泵31也可以包括隔膜泵。通过隔膜泵，容易稳定且均匀地供给液体50。例如，可应用各种溶剂。例如，不需要“起动注水”。例如，能够得到高的耐久性。例如，也可以空转，能够用于干燥。
如图1以及图2所示，涂敷装置110也可以包括管高度控制部43。管高度控制部43控制第1管21的高度。例如，存在在第1状态ST1、第2状态ST2以及它们之间的状态下，第1管21与第1喷嘴11以及第2喷嘴12的高度的变化相应地运动的情况。存在第1管21运动而第1管21不再是所希望的高度的情况。通过设置管高度控制部43，将第1管21的高度控制在所希望的状态。例如，限制成在第1状态ST1下第1管21中的最高的高度为所希望的值以下。在该例子中，管高度控制部43是在Y轴方向延伸的杆状(或者板状)。
如图1以及图2所示，涂敷装置110也可以还包括干燥部45。干燥部45可使被涂敷在被涂敷部件81上的液体50干燥。干燥部45例如也可以包括气体喷嘴。
如图1以及图2所示，第1管21也可以包括排出阀21u。通过排出阀21u的动作，能够将第1管21中的液体50例如经排出管56p向容器56排出。
如图2所示，在该例子中，涂敷装置110还包括第2管22、第2泵32、第3喷嘴13以及第4喷嘴14。第2管22包括第2流入口22i、第3流出口22c以及第4流出口22d。
第2泵32可朝向第2流入口22i供给液体50。例如，容器55中的液体50经管28b向第2泵32供给。
第3喷嘴13包括第3喷嘴流入口13i以及第3喷嘴排出口13o。第3喷嘴流入口13i与第3流出口22c连接。第3喷嘴排出口13o可将通过了第2管22的液体50排出。
第4喷嘴14包括第4喷嘴流入口14i以及第4喷嘴排出口14o。第4喷嘴流入口14i与第4流出口22d连接。第4喷嘴排出口14o可将通过了第2管22的液体50排出。
保持部41还保持第3喷嘴13以及第4喷嘴14。
图6的(a)、图6的(b)、图7的(a)、图7的(b)、图8的(a)以及图8的(b)是举例表示有关第1实施方式的涂敷装置的示意性的侧视图。
图6的(a)举例表示第1状态ST1下的第3喷嘴13。图6的(b)举例表示第1状态ST1下的第4喷嘴14。图7的(a)举例表示第2状态ST1下的第3喷嘴13。图7的(b)举例表示第2状态ST2下的第4喷嘴14。图8的(a)举例表示第2状态ST2的第3喷嘴13进行的涂敷。图8的(b)举例表示第2状态ST2的第4喷嘴14进行的涂敷。
如图6的(a)以及图6的(b)所示，在第1状态ST1下，第3喷嘴排出口13o的高度以及第4喷嘴排出口14o的高度为第2管22的高度以上。
如图7的(a)以及图7的(b)所示，在第2状态ST2下，第3喷嘴排出口13o的高度以及第4喷嘴排出口14o的高度比第2管22的高度低。
在这样的第1状态ST1下，能够从第3喷嘴13以及第4喷嘴14排出气体。如图8的(a)以及图8的(b)所示，在第2状态ST2下，能够从第3喷嘴13以及第4喷嘴14排出液体50，向被涂敷部件81涂敷液体50。在被涂敷部件81上能够形成由液体50形成的涂敷膜51F。
如图6的(a)以及图6的(b)所示，在实施方式中，第2管22也可以包括单向阀22v。能够由单向阀22v，抑制气体的倒流。例如，能够抑制气体(空气)的流入。
如图2、图6的(a)以及图6的(b)所示，第2管22也可以包括排出阀22u。通过排出阀22u的动作，能够将第2管22中的液体50例如经排出管56q向容器56排出。
在实施方式中，涂敷杆42的截面形状任意。涂敷杆42的截面形状例如是圆形、扁平圆形或者多边形。也可以是截面形状的一部分是曲线状，其它的部分是直线状。例如，涂敷杆42的与被涂敷部件81相向的面的截面形状也可以是曲线状。
涂敷杆42包括例如从由不锈钢、铝、钛以及玻璃构成的组选择的至少一个。涂敷杆42更优选包括不锈钢或者铝。由此，涂敷杆42的加工变得容易。在一个例子中，涂敷杆42的表面是镜面。在另外的例子中，涂敷杆42的表面也可以包括凹凸。
图9是举例表示有关第1实施方式的涂敷装置的一部分的示意性的侧视图。
图9举例表示涂敷杆42的一部分。如图9所示，在实施方式中，涂敷杆42的表面42F也可以包括凹凸42dp。凹凸42dp的最大高度Rz例如为5μm以上且50μm以下。凹凸42dp的算术平均表面粗糙度Ra例如为1μm以上且10μm以下。例如，也可以通过喷砂法制作凹凸42dp。通过设置凹凸42dp，能够得到例如相对于液体50的高吸湿性。
(第2实施方式)
第2实施方式有关涂敷方法。在有关实施方式的涂敷方法中，例如，使用针对第1实施方式所说明的涂敷装置110(及其变形)进行涂敷。
图10是举例表示有关第2实施方式的涂敷方法的流程图。
如图10所示，在第1状态ST1下，向第1流入口21i供给液体50，从第1喷嘴11以及第2喷嘴12中的至少任一者排出第1喷嘴11以及第2喷嘴12中的上述至少任一者中的气体(步骤S110)。
在排出气体后，在第2状态ST2下，向第1流入口21i供给液体50，从第1喷嘴11以及第2喷嘴12排出液体50，向被涂敷部件81涂敷液体50(步骤S120)。
在有关实施方式的涂敷方法中，在涂敷前的第1状态ST1下，第1喷嘴排出口11o的高度以及第2喷嘴排出口12o的高度为第1管21的高度以上。在该第1状态ST1下，通过供给液体50，能够有效地将气体排出。根据实施方式，能够提供能够形成均匀的涂敷膜的涂敷方法。
下面，对有关实施方式的涂敷装置以及涂敷方法的例子进行说明。
例如，通过由涂敷装置110进行的涂敷，能够形成太阳能电池。在一个例子中，泵的数量是四个。与一个泵连接的管与四个喷嘴连接。喷嘴的总数是十六个。
例如，被涂敷部件81是卷状的PET薄膜。PET薄膜的宽度例如是330mm。在PET薄膜上通过卷对卷(Roll to Roll)对应的溅射装置，制作具有透光性且宽度为300mm的电极。电极的薄层电阻例如是5Ω/□。电极例如具有ITO膜/Ag合金/ITO膜的层叠构造。例如，设置多个电极。多个电极的一个的长度例如是约20mm。多个电极彼此的间隔例如是50μm。
涂敷杆42的截面是圆状。圆的半径是10mm。涂敷杆42的长度是300mm。涂敷杆42例如包括不锈钢(例如，SUS303)。
例如，保持部41的长度是320mm。在保持部41设置多个孔。多个孔的间距是18mm。在多个孔的每一个固定喷嘴。
喷嘴包括不锈钢制的锁定基座(locking group)。喷嘴的长度是50mm。管(第1管21等)是聚四氟乙烯制的软管。喷嘴和管由可装拆的接头连接。管与泵连接。
在一个例子中，由液体50形成空穴传输层。在这种情况下，液体50是含有PEDOT以及PSS的水溶液。
例如，由促动器控制涂敷杆42和被涂敷部件81之间的相对的位置关系。
例如，使喷嘴为水平状态。此时，喷嘴的末端的高度为管(第1管21)的高度以上。由管高度控制部43恰当地控制管的高度。在这样的第1状态ST1下，供给液体50，喷嘴中的空气被排出。
此后，使喷嘴的末端向下方向倾斜约50°。此时，也可以根据需要，去除管高度控制部43。在喷嘴的末端向下倾斜的状态下，使喷嘴的末端与涂敷杆42接触。在该第2状态ST2下，在泵供给液体50之前，实质上没有从喷嘴排出液体50。
例如，一面运送被涂敷部件81，一面由泵连续地供给液体50，得到涂敷膜51F。由干燥部45向被涂敷的液体50吹出加热了的干燥空气。由液体50得到涂敷膜51F。
也可以在涂敷结束后，例如，使喷嘴的末端比管(第1管21等)高。也可以打开排液阀(排出阀21u等)，回收管内的液体50。
在实施方式中，也可以在涂敷了上述液体50之后，进一步涂敷另外的液体。另外的液体50例如包括半导体材料。另外的液体50例如包括PTB7([聚{4,8-双[(2-乙基己基)氧]苯并[1,2-b：4,5-b’]二噻吩-2,6-二基-1t-alt-3-氟-2-[(2-乙基己基)羰基]噻吩并[3,4-b]噻吩-4,6-二基}])和PC70BM([6,6]苯基C71甲基酯)。PTB7例如是p形半导体。PC70BM例如是n形半导体。另外的液体50例如还包括单氯苯。相对于1mL的单氯苯，PTB7的量是8mg。相对于1mL的单氯苯，PC70BM的量是12mg。另外的液体50是含有有机半导体的分散液。
另外的液体50例如成为太阳能电池的半导体膜。在涂敷另外的液体50时，涂敷杆42和被涂敷部件81之间的最小间隙距离是300μm。在涂敷后，由干燥部45进行干燥。
例如，存在使用了有机半导体的有机薄膜太阳能电池或者有机/无机混合太阳能电池。通过用涂敷法制作这些太阳能电池，能够使成本降低。若在多个喷嘴的每一个设置泵，则装置大型化，装置成本上升。通过由一个泵向多个喷嘴供给液体，能够使装置小型化，能够抑制装置成本。已知在由一个泵向多个喷嘴供给液体的情况下，若气体残存在多个喷嘴中，则难以将气体除去。在实施方式中，通过形成使喷嘴的末端为管的高度以上的第1状态ST1，能容易将气体除去。
在实施方式中，优选第1管21各分支为两路。与三路以上的分支相比，容易更均匀地供给液体50。例如，在实施方式中，例如，喷嘴也可以从涂敷杆42的上方接触。液体50难以落到装置的下方。
在实施方式中，也可以在被涂敷部件81在上下方向被运送的位置，将液体50涂敷在被涂敷部件81。由此，例如，重力的效果施加在弯液面51M，即使高速，也容易得到均匀的膜。
在实施方式中，也可以在被涂敷部件81在水平方向被运送的位置，将液体50涂敷在被涂敷部件81。由此，例如能够抑制滴液。例如，容易控制排空气后的喷嘴和涂敷杆42之间的位置关系。
在实施方式中，也可以设置在涂敷结束后将喷嘴的末端封闭的工序。由此，涂敷液的干燥得到抑制。例如，喷嘴的堵塞得到抑制。
实施方式也可以包括下面的结构(例如，技术方案)。
(结构1)
一种涂敷装置，其中，
所述涂敷装置具备第1管、第1泵、第1喷嘴、第2喷嘴和保持部，
所述第1管包括第1流入口、第1流出口以及第2流出口，
所述第1泵能朝向所述第1流入口供给液体，
所述第1喷嘴包括第1喷嘴流入口以及第1喷嘴排出口，所述第1喷嘴流入口与所述第1流出口连接，所述第1喷嘴排出口能将通过了所述第1管的所述液体排出，
所述第2喷嘴包括第2喷嘴流入口以及第2喷嘴排出口，所述第2喷嘴流入口与所述第2流出口连接，所述第2喷嘴排出口能将通过了所述第1管的所述液体排出，
所述保持部保持所述第1喷嘴以及所述第2喷嘴，
所述保持部能形成第1状态和第2状态，
在所述第1状态下，所述第1喷嘴排出口的高度以及所述第2喷嘴排出口的高度为所述第1管的高度以上，
在所述第2状态下，所述第1喷嘴排出口的所述高度以及所述第2喷嘴排出口的所述高度比所述第1管的所述高度低。
(结构2)
如结构1所述的涂敷装置，其中，
所述第1泵能在所述第1状态下向所述第1流入口供给所述液体，从所述第1喷嘴排出口以及所述第2喷嘴排出口排出所述液体。
(结构3)
如结构2所述的涂敷装置，其中，
所述涂敷装置还具备喷嘴液体接收部，
所述喷嘴液体接收部能接收从所述第1喷嘴排出口以及所述第2喷嘴排出口排出的所述液体。
(结构4)
如结构1至3中的任一项所述的涂敷装置，其中，
所述第1泵能在所述第1状态下向所述第1流入口供给所述液体，从所述第1喷嘴以及所述第2喷嘴中的至少任一者排出所述第1喷嘴以及所述第2喷嘴中的所述至少任一者中的气体。
(结构5)
如结构1至4中的任一项所述的涂敷装置，其中，
所述第1泵能在所述第2状态下向所述第1流入口供给所述液体，从所述第1喷嘴以及所述第2喷嘴排出所述液体，向被涂敷部件涂敷所述液体。
(结构6)
如结构1至5中的任一项所述的涂敷装置，其中，
所述涂敷装置还具备能与被涂敷部件相向的涂敷杆，
在所述第2状态下，所述第1喷嘴排出口以及所述第2喷嘴排出口能向所述涂敷杆供给所述液体。
(结构7)
如结构6所述的涂敷装置，其中，
所述涂敷杆能在所述涂敷杆和所述被涂敷部件之间形成所述液体的弯液面。
(结构8)
如结构6或7所述的涂敷装置，其中，
所述涂敷杆的表面包括凹凸，
所述凹凸的最大高度Rz例如为5μm以上且50μm以下。
(结构9)
如结构6至8中的任一项所述的涂敷装置，其中，
所述保持部能控制所述第1喷嘴和所述涂敷杆之间的相对位置关系以及所述第2喷嘴和所述涂敷杆之间的相对位置关系。
(结构10)
如结构6至9中的任一项所述的涂敷装置，其中，
所述涂敷装置还具备：
保持所述被涂敷部件的被涂敷部件保持部；和
涂敷杆位置控制部，
所述涂敷杆位置控制部能控制所述涂敷杆和所述被涂敷部件保持部之间的相对位置。
(结构11)
如结构6至8中的任一项所述的涂敷装置，其中，
所述第1喷嘴排出口以及所述第2喷嘴排出口能向所述被涂敷部件涂敷所述液体。
(结构12)
如结构5或11所述的涂敷装置，其中，
所述涂敷装置还具备干燥部，
所述干燥部能使被涂敷在所述被涂敷部件上的所述液体干燥。
(结构13)
如结构1至12中的任一项所述的涂敷装置，其中，
所述第1喷嘴是针状。
(结构14)
如结构1至13中的任一项所述的涂敷装置，其中，
所述第1管包括四个以上的流出口，所述第1管包括各分支为两路的多个分支部。
(结构15)
如结构1至14中的任一项所述的涂敷装置，其中，
所述涂敷装置还具备第2管、第2泵、第3喷嘴和第4喷嘴，
所述第2管包括第2流入口、第3流出口以及第4流出口，
所述第2泵能朝向所述第2流入口供给所述液体，
所述第3喷嘴包括第3喷嘴流入口以及第3喷嘴排出口，所述第3喷嘴流入口与所述第3流出口连接，所述第3喷嘴排出口能将通过了所述第2管的所述液体排出，
所述第4喷嘴包括第4喷嘴流入口以及第4喷嘴排出口，所述第4喷嘴流入口与所述第4流出口连接，所述第4喷嘴排出口能将通过了所述第2管的所述液体排出，
所述保持部还保持所述第3喷嘴以及所述第4喷嘴，
在所述第1状态下，所述第3喷嘴排出口的高度以及所述第4喷嘴排出口的高度为所述第2管的高度以上，
在所述第2状态下，所述第3喷嘴排出口的所述高度以及所述第4喷嘴排出口的所述高度比所述第2管的所述高度低。
(结构16)
如结构1至15中的任一项所述的涂敷装置，其中，
所述涂敷装置还具备控制所述第1管的所述高度的管高度控制部。
(结构17)
如结构1至15中的任一项所述的涂敷装置，其中，
所述第1泵包括隔膜泵。
(结构18)
如结构1至17中的任一项所述的涂敷装置，其中，
所述第1管包括单向阀。
(结构19)
如结构1至18中的任一项所述的涂敷装置，其中，
所述保持部包括喷嘴间隔控制部，
所述喷嘴间隔控制部能控制所述第1喷嘴和所述第2喷嘴之间的间隔。
(结构20)
一种涂敷方法，其中，
所述涂敷方法使用结构5至12中的任一项所述的涂敷装置，
在所述第1状态下，向所述第1流入口供给所述液体，从所述第1喷嘴以及所述第2喷嘴中的至少任一者排出所述第1喷嘴以及所述第2喷嘴中的所述至少任一者中的气体，然后，
在所述第2状态下，向所述第1流入口供给所述液体，从所述第1喷嘴以及所述第2喷嘴排出所述液体，向所述被涂敷部件涂敷所述液体。
根据实施方式，提供一种能够形成均匀的涂敷膜的涂敷装置以及涂敷方法。
在上面，一面参照具体例子，一面对本发明的实施方式进行了说明。但是，本发明并非是被限定于这些具体例子的发明。例如，有关涂敷装置所含的管、泵、喷嘴以及保持部等各要素的具体结构，只要本领域技术人员通过从公知的范围恰当地选择而能够同样地实施本发明并得到同样的效果，就包含在本发明的范围。
另外，将各具体例的任意两个以上的要素在技术上可能的范围内组合而成的发明只要包含本发明的主旨，也包含在本发明的范围。
此外，本领域技术人员能够基于作为本发明的实施方式的上述的涂敷头、涂敷装置以及涂敷方法进行恰当地设计变更、实施的所有的涂敷装置以及涂敷方法只要包含本发明的主旨，也属于本发明的范围。
此外，本领域的技术人员在本发明的思想的范畴内，能够想到各种变更例以及修改例，了解就这些变更例以及修改例而言，也属于本发明的范围。
说明了本发明的若干实施方式，但是，这些实施方式是作为例子提出的实施方式，无意限定发明的范围。这些新的实施方式可以以其它的各种各样的方式实施，在不脱离发明的主旨的范围内，能够进行各种省略、置换、变更。这些实施方式、其变形包含在发明的范围、主旨中，且包含在权利要求书记载的发明和与其等同的范围内。
附图标记说明
11～14：第1～第4喷嘴；11i～14i：第1～第4喷嘴流入口；11o～14o：第1～第4喷嘴排出口；21、22：第1、第2管；21B：分支部；21a、21b：第1、第2流出口；21i：第1流入口；21u：排出阀；21v：单向阀；22c、22d：第3、第4流出口；22i：第2流入口；22u：排出阀；22v：单向阀；28a、28b：管；29：喷嘴液体接收部；31、32：第1、第2泵；41：保持部；41B：保持部底座；41C：喷嘴间隔控制部；42：涂敷杆；42C：涂敷杆位置控制部；42F：表面；42M：检测部；42dp：凹凸；43：管高度控制部；45：干燥部；48：基体；50：液体；51F：涂敷膜；51M：弯液面；55、56：容器；56p、56q：排出管；81：被涂敷部件；85：被涂敷部件保持部；110：涂敷装置；ST1、ST2：第1、第2状态。

Claims (17)

1.一种涂敷装置，其中，
所述涂敷装置具备第1管、第1泵、第1喷嘴、第2喷嘴和保持部，
所述第1管包括第1流入口、第1流出口以及第2流出口，
所述第1泵能朝向所述第1流入口供给液体，
所述第1喷嘴包括第1喷嘴流入口以及第1喷嘴排出口，所述第1喷嘴流入口与所述第1流出口连接，所述第1喷嘴排出口能将通过了所述第1管的所述液体排出，
所述第2喷嘴包括第2喷嘴流入口以及第2喷嘴排出口，所述第2喷嘴流入口与所述第2流出口连接，所述第2喷嘴排出口能将通过了所述第1管的所述液体排出，
所述保持部保持所述第1喷嘴以及所述第2喷嘴，
所述保持部能形成第1状态和第2状态，
在所述第1状态下，所述第1喷嘴排出口的高度以及所述第2喷嘴排出口的高度为所述第1管的高度以上，
在所述第2状态下，所述第1喷嘴排出口的所述高度以及所述第2喷嘴排出口的所述高度比所述第1管的所述高度低，
所述第1泵能在所述第1状态下向所述第1流入口供给所述液体，从所述第1喷嘴排出口以及所述第2喷嘴排出口排出所述液体，
所述第1泵能在所述第1状态下向所述第1流入口供给所述液体，从所述第1喷嘴以及所述第2喷嘴中的至少任一者排出所述第1喷嘴以及所述第2喷嘴中的所述至少任一者中的气体，
所述第1泵能在所述第2状态下向所述第1流入口供给所述液体，从所述第1喷嘴以及所述第2喷嘴排出所述液体，向被涂敷部件涂敷所述液体。
2.如权利要求1所述的涂敷装置，其中，
所述涂敷装置还具备喷嘴液体接收部，
所述喷嘴液体接收部能接收从所述第1喷嘴排出口以及所述第2喷嘴排出口排出的所述液体。
3.如权利要求1所述的涂敷装置，其中，
所述涂敷装置还具备能与被涂敷部件相向的涂敷杆，
在所述第2状态下，所述第1喷嘴排出口以及所述第2喷嘴排出口能向所述涂敷杆供给所述液体。
4.如权利要求3所述的涂敷装置，其中，
所述涂敷杆能在所述涂敷杆和所述被涂敷部件之间形成所述液体的弯液面。
5.如权利要求3所述的涂敷装置，其中，
所述涂敷杆的表面包括凹凸，
所述凹凸的最大高度Rz为5μm以上且50μm以下。
6.如权利要求3所述的涂敷装置，其中，
所述保持部能控制所述第1喷嘴和所述涂敷杆之间的相对位置关系以及所述第2喷嘴和所述涂敷杆之间的相对位置关系。
7.如权利要求3所述的涂敷装置，其中，
所述涂敷装置还具备：
保持所述被涂敷部件的被涂敷部件保持部；和
涂敷杆位置控制部，
所述涂敷杆位置控制部能控制所述涂敷杆和所述被涂敷部件保持部之间的相对位置。
8.如权利要求3所述的涂敷装置，其中，
所述第1喷嘴排出口以及所述第2喷嘴排出口能向所述被涂敷部件涂敷所述液体。
9.如权利要求1所述的涂敷装置，其中，
所述涂敷装置还具备干燥部，
所述干燥部能使被涂敷在所述被涂敷部件上的所述液体干燥。
10.如权利要求1所述的涂敷装置，其中，
所述第1喷嘴是针状。
11.如权利要求1所述的涂敷装置，其中，
所述第1管包括四个以上的流出口，所述第1管包括各分支为两路的多个分支部。
12.如权利要求1所述的涂敷装置，其中，
所述涂敷装置还具备第2管、第2泵、第3喷嘴和第4喷嘴，
所述第2管包括第2流入口、第3流出口以及第4流出口，
所述第2泵能朝向所述第2流入口供给所述液体，
所述第3喷嘴包括第3喷嘴流入口以及第3喷嘴排出口，所述第3喷嘴流入口与所述第3流出口连接，所述第3喷嘴排出口能将通过了所述第2管的所述液体排出，
所述第4喷嘴包括第4喷嘴流入口以及第4喷嘴排出口，所述第4喷嘴流入口与所述第4流出口连接，所述第4喷嘴排出口能将通过了所述第2管的所述液体排出，
所述保持部还保持所述第3喷嘴以及所述第4喷嘴，
在所述第1状态下，所述第3喷嘴排出口的高度以及所述第4喷嘴排出口的高度为所述第2管的高度以上，
在所述第2状态下，所述第3喷嘴排出口的所述高度以及所述第4喷嘴排出口的所述高度比所述第2管的所述高度低。
13.如权利要求1所述的涂敷装置，其中，
所述涂敷装置还具备控制所述第1管的所述高度的管高度控制部。
14.如权利要求1所述的涂敷装置，其中，
所述第1泵包括隔膜泵。
15.如权利要求1所述的涂敷装置，其中，
所述第1管包括单向阀。
16.如权利要求1所述的涂敷装置，其中，
所述保持部包括喷嘴间隔控制部，
所述喷嘴间隔控制部能控制所述第1喷嘴和所述第2喷嘴之间的间隔。
17.一种涂敷方法，其中，
所述涂敷方法使用权利要求1所述的涂敷装置，
在所述第1状态下，向所述第1流入口供给所述液体，从所述第1喷嘴以及所述第2喷嘴中的至少任一者排出所述第1喷嘴以及所述第2喷嘴中的所述至少任一者中的气体，然后，
在所述第2状态下，向所述第1流入口供给所述液体，从所述第1喷嘴以及所述第2喷嘴排出所述液体，向所述被涂敷部件涂敷所述液体。
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