KR20090077468A - 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치 - Google Patents

Abstract

플렉시블 튜브를 이용하여 높은 압력강하로 압력제어가 어려운 저점성 유체를 용이하게 제어할 수 있는 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치에 관한 것으로, 피처리물이 안착되는 테이블 상부에 마련되어 상기 피처리물을 저점성 용액으로 도포하는 슬릿 노즐 장치로서, 상기 피처리물 표면에 저점성 저점성 용액을 도포하는 슬릿 노즐부와 상기 슬릿 노즐부를 소정 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하며, 상기 슬릿 노즐부에는 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브가 형성되어 있는 구성을 마련한다.

상기와 같은 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치를 이용하는 것에 의해, 저점성 용액 균일 코팅이 가능하고, 장비 인라인 형성시 유리하며, 저가이면서 노즐 교체가 용이하다는 효과가 얻어진다.

저점성, 슬릿, 노즐, 튜브

Description

저점성 용액용 슬릿 노즐 장치{Slit nozzle apparatus for low viscosity solution}

본 발명은 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치에 관한 것으로, 특히 플렉시블 튜브(Flexible Tube)를 이용하여 높은 압력강하로 압력제어가 어려운 저점성 유체를 용이하게 제어할 수 있는 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치에 관한 것이다.

일반적으로 TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), 유기 EL 등과 같은 평판 디스플레이 패널의 제조 공정은 실리콘(Silicon) 반도체 제조공정과 유사하여 기판상에 증착된 박막을 패터닝(Patterning)하기 위해 사용되는 포토리소그래피(Photo lithography)에 따른 일련의 공정, 예를 들어 포토레지스트(Photoresistor) 도포, 노광, 현상, 식각(Etching), 세정(Cleaning)과 같은 단위공정이 필연적으로 이루어진다.

기판 또는 웨이퍼 상에 포토레지스트막을 형성하는 상기 코팅공정에는 스프레이(spray) 코팅방법, 롤 코팅방법 또는 스핀(spin) 코팅방법 등이 사용된다.

상기 스프레이 코팅방법과 롤 코팅방법의 경우는 코팅막의 균일성과 막 두께 조정에서 고정밀도용으로는 적합하지 않으므로, 고정밀 패턴 형성용으로는 스핀 코 팅방법이 사용된다.

그러나, 스핀 코터를 이용한 스핀 코팅방법은 웨이퍼와 같이 크기가 작은 피처리물에 감광물질을 코팅하는데 적합하며, 피처리물의 크기가 크고 중량이 무거운 평판표시장치용 기판(예를 들면, 액정표시패널용 유리기판)에 감광물질을 코팅하는 데는 적합하지 않다. 이는 감광물질이 코팅될 기판이 크고 중량이 무거울수록 기판을 고속으로 회전시키기 매우 어려우며, 고속 회전시 기판의 파손 및 에너지 소모가 매우 큰 문제점을 갖기 때문이다. 또한, 상기 스핀 코팅방법은 코팅에 사용되는 포토레지스트의 양에 비해 버려지는 양이 너무 많아 포토레지스터의 낭비가 심하다는 문제점이 있다.

즉, 기판 표면에 도포된 포토레지스트는 고속 회전시 상당량이 스핀척 밖으로 비산(飛散)되어 버려지게 된다. 실질적으로 감광을 위해 사용되는 포토레지스트보다 낭비되는 포토레지스트의 양이 훨씬 많을 뿐만 아니라, 비산되는 포토레지스트 파편은 이후 박막 형성공정에서 이물로 작용되기가 쉽고, 환경 오염원이 되기도 한다.

이러한 문제를 해결하기 위한 기술의 일 예가 하기 문헌 등에 개시되어 있다.

하기 문헌 1에는 평판 디스플레이 패널용 기판 표면에 저점성 용액을 공급하는 슬릿 노즐(Slit Nozzle)이 기판의 폭 방향에 대응하여 길게 형성되고, 일측에 저점성 용액이 공급되는 적어도 하나의 공급구를 갖는 몸체부, 몸체부 하단에 형성되며 공급구를 통해 몸체 내부로 유입된 저점성 용액이 분사되는 토출구, 몸체부의 일측면에 일정 간격으로 설치되어 토출구의 갭을 조정하기 위한 갭 조정장치로 구성된 기술이 개시되어 있다.

즉 폭이 좁고 길이가 긴 슬릿 형태의 노즐을 구비하고, 슬릿 노즐을 통해 포토레지스트를 공급함으로써 기판 표면에 면 형태로 포토레지스트를 도포하는 슬릿 코터에 대해 개시되어 있다. 이러한 슬릿 코터는 소정량의 포토레지스트를 바(bar)형의 긴 슬릿 노즐을 통해 기판 등에 도포하는 장치이며, 기판의 일 측에서 다른 일측으로 일정한 속도로 이동하면서 미세한 슬릿 노즐을 통해 일정량의 포토레지스트를 도포함으로써 기판 표면에 균일한 포토레지스트막을 형성할 수 있게 한다.

또한, 슬릿 코터는 원하는 기판 표면에만 포토레지스트를 도포할 수 있어 스핀 코터에 비해 저점성 용액을 보다 낭비 없이 사용할 수 있는 장점이 있으며, 폭이 긴 면 형태로 저점성 용액의 도포가 가능하여 대형의 기판이나 사각형상의 기판에 적합하다.

이러한 슬릿 코터는 액정표시장치의 화면패널을 제조하기 위한 사각형 유리기판을 피처리 기판으로 하고 있으며, 기판의 표면에 형성된 전극층 등을 선택적으로 에칭하는 포토리소그래피 공정에 있어서, 기판의 표면에 저점성 용액을 도포하는 저점성 용액 코팅공정에 이용된다. 또한, 슬릿 코터는 액정표시장치용의 유리기판뿐만 아니라, 일반적으로 평판 패널 디스플레이용의 여러 가지 기판에 처리액(저점성 용액)을 도포하는 장치로서 변형 이용할 수도 있다.

[문헌 1] 대한민국 공개특허 공보 제2006-0133783호 (2006.12.27 공개)

통상의 슬릿 노즐의 경우, 마이크론 이하의 박막 도포를 위해서는 가공성의 문제만 없다면 노즐의 틈새를 작게 설계/제작하는 것이 유리한다. 그러나 CNT(Carbon Nanotube) 등의 경우에서는 노즐의 막힘 문제를 고려해야 하기에 노즐의 틈새 간격을 PR(Photoresistor) 도포용 노즐처럼 작게 만들기는 어렵다. 노즐 틈새 즉 팁(Tip) 간격의 크기가 0.1mm 규모로 커지면 노즐은 수 파스칼(Pa)의 아주 작은 압력에도 작동하게 되므로 정확한 유동제어가 어렵게 되는 문제가 발생한다.

또한 정밀/미세 가공은 노즐 헤드(Nozzle Head)의 높은 가격 및 제작이 용이하지 않는 단점이 있기에 노즐 교환의 단점이 발생한다.

즉 상술한 바와 같은 종래 기술에서는 하기와 같은 문제가 있었다.

1. 스프레이 코팅(Spray Coating)법으로 박막 코팅시, 재료의 효율이 나쁘고, 균일한 박막형성이 어렵다.

2. 스프레이 코팅법은 장비의 오염이 심하며, 장비의 인라인(inline) 형성에 제약을 받는다.

3. 슬릿 코터(Slit Coater)의 경우 정밀/미세가공의 어려움, 제한된 노즐 팁 간격 등의 이유로 저점성 용액을 사용할 수 없다.

4. 초정밀 가공으로 슬릿 코터를 제작하는 경우, 노즐 막힘 등의 문제 발생시 교체 및 세척이 용이하지 않다. 또한 고가이면서 가공시일이 길다.

본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 높은 압력강하와 설계/제작의 용이성이 뛰어난 튜브(Tube)를 이용하여, 노즐의 막힘 문제를 최소화하고 다양한 용액에 따른 압력강하를 용이하게 조절할 수 있는 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 저점성 용액용 슬릿 노즐의 구조로 비교적 저가로 원하는 압력강하를 실현하고 튜브 끝과 팁 사이에 버퍼공간을 두어 균일한 토출이 가능한 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치는 피처리물이 안착되는 테이블 상부에 마련되어 상기 피처리물을 저점성 용액으로 도포하는 슬릿 노즐 장치로서, 상기 피처리물 표면에 저점성 저점성 용액을 도포하는 슬릿 노즐부와 상기 슬릿 노즐부를 소정 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하며, 상기 슬릿 노즐부에는 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치에 있어서, 상기 유로용 튜브는 플렉시블 튜브인 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치에 있어서, 상기 슬릿 노즐부는 하우징, 상기 하우징의 상부에 형성된 저점성 용액 투입구, 상기 저점성 용액 투입구와 연통된 상기 유로용 튜브, 상기 유로용 튜브에서 공급되는 저점성 용액을 수용하는 노즐 팁 용액 주입부 및 상기 노즐 팁 용액 주입부에서 주입된 상기 저점성 용액을 상기 피처리물에 도포하는 노즐 팁 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치에 있어서, 상기 노즐 팁 유닛은 상기 유로용 튜브에서 공급되는 저점성 용액을 일시 수용하는 공간부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치에 있어서, 상기 슬릿 노즐부는 상기 노즐 팁 용액 주입부에 소정 압력의 공기를 주입하기 위한 하우징 에어 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치에 있어서, 상기 유로용 튜브는 원형 형태로 이루어진 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치에 있어서, 상기 유로용 튜브의 내경의 크기에 따라 상기 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브의 길이가 다른 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치에 있어서, 상기 유로용 튜브의 내경은 0.1㎜ 내지 0.5㎜인 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치에 있어서, 상기 유로용 튜브의 내경이 0.1㎜인 경우 상기 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브의 길이는 5㎝ 내지 20㎝이고, 상기 유로용 튜브의 내경이 0.25㎜인 경우 상기 코일 형상으로 감 겨진 유로용 튜브의 길이는 300㎝ 내지 500㎝이며, 상기 유로용 튜브의 내경이 0.5㎜인 경우 상기 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브의 길이는 5000㎝ 내지 7000㎝인 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치에 있어서, 상기 하우징은 알루미늄 또는 세라믹으로 이루어진 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치에 있어서, 상기 저점성 용액은 CNT(Carbon Nanotube) 용액, 태양전지용 폴리머, 유기물발광체용 폴리머 중의 어느 하나인 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치에 있어서,

상기 저점성 용액의 점도는 10~2,000 CP(Centi Poise)인 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치에 의하면, 다음과 같은 효과가 얻어진다.

1. 높은 압력강하와 설계/제작의 용이성이 뛰어나다.

2. 노즐의 막힘 문제를 최소화하고 다양한 용액에 따른 압력강하를 용이하게 조절할 수 있다.

3. 저점성 용액 균일 코팅이 가능하며, 장비 인라인(inline) 형성시 유리하다.

4. 저가이면서 노즐 교체가 용이하다.

본 발명의 상기 및 그 밖의 목적과 새로운 특징은 본 명세서의 기술 및 첨부 도면에 의해 더욱 명확하게 될 것이다.

이하, 본 발명의 구성을 도면에 따라서 설명한다.

또한, 본 발명의 설명에 있어서는 동일 부분은 동일 부호를 붙이고, 그 반복 설명은 생략한다.

먼저 본 발명이 적용되는 저점성 용액용 도포 시스템에 대해 도 1에 따라 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 저점성 용액용 도포 시스템을 나타내는 도면이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 저점성 용액용 시스템(1000)은 하우징(10)과 하우징(10)에 수납되는 노즐 팁 유닛(60)을 구비한 슬릿 노즐부(100), 슬릿 노즐부(100)가 장착된 헤드부(110), 피처리물이 안착되는 테이블(120), 슬릿 노즐부(100)의 양단에 설치되어 슬릿 노즐부(100)를 일정한 속도로 이동시키는 구동부(130)를 구비한다.

상술한 테이블(120)의 상부에는 예를 들어, 박막 기판 등과 같은 피처리물이 수평으로 안착되며, 다수의 진공 흡착구가 형성되어 있어, 저점성 용액용 도포 시스템(1000)에서 피처리물을 처리하는 동안, 흡착에 의해 피처리물을 소정의 수평 위치로 유지하게 한다.

또 구동부(130)는 슬릿 노즐부(100)의 양단에 설치되어 상기 슬릿 노즐부(100)를 수직방향(Z축 방향)으로 이동시키는 한 쌍의 Z축 구동장치(131)와 상기 슬릿 노즐부(100)를 전후방향(X축 방향)으로 일정한 속도로 이동시켜 피처리물 표면에 저점성 용액을 균일하게 분사하도록 하는 한 쌍의 X축 구동장치(132)를 포함한다. 이때, X축 구동장치(132)는 모터와 이동레일, 가이드 레일과 같은 이동수단(140)으로 구성된다.

상기 이동수단(140)은 테이블(120)의 양단부에 고정, 설치되는 지지블록(150)과 함께 슬릿 노즐부(100)의 이동을 안내한다. 즉, 이동수단(140)은 슬릿 노즐부(100)를 통해 기판에 저점성 용액을 도포하기 위해 슬릿 노즐부(100)를 테이블(120) 면의 수평 X축 방향으로 이동시키는 가이드 역할을 한다.

또한 헤드부(110)에는 슬릿 노즐부(100)의 상태를 감지하기 위한 센서(111)가 마련된다.

다음에 도 1에 도시된 슬릿 노즐부의 구체적인 구성을 도 2 내지 도 3에 따라 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 저점성 용액 도포 시스템에 적용되는 슬릿 노즐부(100)의 사시도 이고, 도 3은 도 2에 도시된 슬릿 노즐부(100)의 측면도이다.

도 2에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 슬릿 노즐부(100)는 피처리물, 예를 들어 박막 기판이 안착되는 테이블(120)의 상부에 마련되어 기판을 저점성 용액으로 도포하도록, 하우징(10), 하우징(10)의 상부에 형성된 저점성 용액 투입구(20), 하우징(10)의 내부에 형성되고, 저점성 용액 투입구(20)와 연통되며, 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브(30)와 하우징(10)에 수납되는 노즐 칩 유닛(60)을 구비한다.

저점성 용액 투입구(20)와 유로용 튜브(30)는 튜브 끼워맞춤 부재(40)에 의해 연통되게 구성되지만, 용도에 따라 부재(40)을 구비하지 않고 직접 저점성 용액 투입구(20)와 유로용 튜브(30)를 연결하여 사용해도 좋다. 노즐 팁 유닛(60)은 유로용 튜브(30)에서 공급되는 저점성 용액을 일시 수용하는 공간부(61)와 저점성 용액을 피처리물에 도포하는 노즐 팁(62)로 이루어지며, 이러한 구조는 통상의 노즐 팁 유닛에 의해 용이하게 실현할 수 있다. 또한 하우징(10)은 슬릿 노즐부(100)의 자체 하중을 저감하기 위해 비교적 중량이 가벼운 알루미늄 또는 세라믹으로 형성되는 것이 바람직하다.

또 상기 유로용 튜브(30)는 플렉시블 튜브로서, 대략 원형 형태로 이루어진 구조가 바람직하지만 이에 한정되는 것은 아니다. 또한 유로용 튜브(30)의 재질은 통상의 튜브용 재료를 사용하며, 특정의 재질로 이루어진 것에 한정되는 것은 아니다.

본 발명에 사용되는 대표적인 유로용 튜브(30)의 내경은 0.1㎜ 내지 0.5㎜를 사용하나 이는 높은 압력강하에 따른 튜브 길이의 제약(튜브 내경이 클수록 높은 압력강하를 위해서는 긴 길이가 필요함)에 따른 것이므로, 본 발명은 유로용 튜브(30)의 내경에 제약받지는 않는다.

예를 들어, 상기 유로용 튜브(30)의 내경이 0.1㎜인 경우, 상기 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브(30)의 길이는 5㎝ 내지 20㎝, 바람직하게는 50Kpa 이상의 압력강하를 얻기 위해서는 10㎝ 미만의 튜브 길이가 필요하다.

또, 상기 유로용 튜브(30)의 내경이 0.25㎜인 경우, 상기 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브(30)의 길이는 300㎝ 내지 500㎝, 바람직하게는 50Kpa 이상의 압력강하를 얻기 위해서는 약 400㎝ 미만의 튜브 길이가, 상기 유로용 튜브(30)의 내경이 0.5㎜인 경우 상기 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브(30)의 길이는 5000㎝ 내지 7000㎝, 바람직하게는 양 6000㎝ 튜브 길이가 필요하게 된다.

이러한 유로용 튜브(30)의 내경과 길이의 관계는 저점성 용액 투입구(20)로 공급되는 저점성 용액의 점성에 따라 그 관계를 변경할 수 있음은 물론이다.

본 발명에 따른 저점성 용액 슬릿 노즐 장치의 기본적인 사상은 유로의 흐름을 방해하는 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브(30)를 하우징(10) 내에 마련하여 압력제어를 하기 어려운 저점성 유체를 제어하는 것이다. 즉, 유로용 튜브(30)는 점성이 낮은 물질로서, 예를 들어 물, CNT(Carbon Nanotube) 용액, 태양전지용 폴리머, 유기물발광체 등과 같은 폴리머, 우유와 같은 용액이 외란에 쉽게 유동의 흐름을 지배받게 되는 것을 방지하는 기능을 갖는다. 즉 본 발명에 적용되는 저점성 용액은 10~2,000 CP(Centi Poise ; 센티포아즈) 정도의 점도를 갖는 용액이다.

또 본 발명에 따른 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브(30)는 튜브 지지대(50)상에 장착되고, 이 튜브 지지대(50)는 받침대(51) 상에 장착된다.

상기 받침대(51)의 하부에는 용액 공급구(52)를 통해 상기 유로용 튜브(30) 에서 공급되는 저점성 용액을 수용하는 노즐 팁 용액 주입부(53)가 마련된다. 이 노즐 팁 용액 주입부(53)는 균일한 용액 분사를 위한 공간이며, 하우징(10)의 외부의 공기를 흡입하여 노즐팁 용액 주입부(53)에 소정 압력의 공기를 주입하기 위한 하우징 에어 포트(54)가 노즐 팁 용액 주입부(53)에 형성된다. 또 하우징 에어 포트(54)는 도 2에 도시된 바와 같이, 노즐 팁 용액 주입부(53)의 공간부를 관통하여 하부로 적정 공기압을 부가하도록 파이프 형상에 다수의 배기공을 갖는 구조로도 할 수 있다.

즉 도 3에 도시된 바와 같이, 노즐 팁 용액 주입부(53)는 받침대(51)의 하부와 노즐 팁 유닛(60) 사이에 밀착되게 장착되며, 밀착성을 증가시키도록 O링(55)이 마련된다.

다음에 도 1 내지 도 3에 도시된 저점성 용액 도포 시스템(1000)의 작동에 대해 설명한다.

본 발명에 따른 저점성 용액 도포 시스템(1000)의 슬릿 노즐부(100)는 도시하지 않은 저점성 용액을 저장하는 저장탱크, 저장된 저점성 용액을 슬릿 노즐부(100)로 공급하는 공급배관 및 공급 유량을 조절하는 조절장치를 경유하여 저점성 용액 투입구(20)에서 저점성 용액을 공급받는다.

또한 저장탱크에 펌핑수단을 마련하고, 저장탱크의 내부를 가압하여 저장탱크에 저장된 저점성 용액을 슬릿 노즐부(100)로 공급하게 구성할 수도 있다.

슬릿 노즐부(100)의 저점성 용액 투입구(20)로 공급된 저점성 용액은 튜브 끼워맞춤 부재(40)를 거쳐 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브(30)에서 공급량이 조절되며, 용액 공급구(52) 및 노즐 팁 용액 주입구(53)을 통해 노즐 팁 유닛(60)의 노즐 팁(62)을 통해 저점성 용액이 피처리물에 도포된다.

상술한 바와 같은 구조에 의해 저점성 용액을 사용하며, 박막 기판의 도포를 위해 저점성 용액 도포장치(1000)가 이동하는 경우에도 외란에 대한 방해를 받지 않으므로, 박막 기판에 균일한 코팅과 얇은 코팅을 동시에 수행할 수 있게 된다.

이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.

즉 상기 실시예에 있어서는 용액 공급구(52)가 유로용 튜브(30)와 노즐팁 용액 주입부(53) 사이를 단순 연결하는 구조로 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니고, 용액 공급구(52)의 상하 어느 한곳에 공급 유량을 제어하는 유량 밸브를 마련하는 구조를 채택하여 사용할 수도 있다.

도 1은 본 발명에 따른 저점성 용액용 도포 시스템을 나타내는 도면,

도 2는 본 발명에 따른 저점성 용액 도포 시스템에 적용되는 슬릿 노즐부의 사시도,

도 3은 도 2에 도시된 슬릿 노즐부의 측면도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10 : 하우징 30 : 유로용 튜브

50 : 튜브 지지대 53 : 노즐 팁 용액 주입부

54 : 하우징 에어 포트 60 : 노즐 팁 유닛

Claims (14)

1. 피처리물이 안착되는 테이블 상부에 마련되어 상기 피처리물을 저점성 용액으로 도포하는 슬릿 노즐 장치로서,

   상기 피처리물 표면에 저점성 저점성 용액을 도포하는 슬릿 노즐부와

   상기 슬릿 노즐부를 소정 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하며,

   상기 슬릿 노즐부에는 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 유로용 튜브는 플렉시블 튜브인 것을 특징으로 하는 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치.
3. 제2항에 있어서,

   상기 슬릿 노즐부는

   하우징,

   상기 하우징의 상부에 형성된 저점성 용액 투입구,

   상기 저점성 용액 투입구와 연통된 상기 유로용 튜브,

   상기 유로용 튜브에서 공급되는 저점성 용액을 수용하는 노즐 팁 용액 주입부 및

   상기 노즐 팁 용액 주입부에서 주입된 상기 저점성 용액을 상기 피처리물에 도포하는 노즐 팁 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 노즐 팁 유닛은 상기 유로용 튜브에서 공급되는 저점성 용액을 일시 수용하는 공간부를 포함하는 것을 특징으로 하는 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 슬릿 노즐부는 상기 노즐 팁 용액 주입부에 소정 압력의 공기를 주입하기 위한 하우징 에어 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 유로용 튜브는 원형 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 유로용 튜브의 내경의 크기에 따라 상기 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브의 길이가 다른 것을 특징으로 하는 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치.
8. 제 7항에 있어서,

   상기 유로용 튜브의 내경은 0.1㎜ 내지 0.5㎜인 것을 특징으로 하는 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치.
9. 제 8항에 있어서,

   상기 유로용 튜브의 내경이 0.1㎜인 경우 상기 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브의 길이는 5㎝ 내지 20㎝인 것을 특징으로 하는 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치.
10. 제 8항에 있어서,

    상기 유로용 튜브의 내경이 0.25㎜인 경우 상기 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브의 길이는 300㎝ 내지 500㎝인 것을 특징으로 하는 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치.
11. 제 8항에 있어서,

    상기 유로용 튜브의 내경이 0.5㎜인 경우 상기 코일 형상으로 감겨진 유로용 튜브의 길이는 5000㎝ 내지 7000㎝인 것을 특징으로 하는 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치.
12. 제3항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 하우징은 알루미늄 또는 세라믹으로 이루어진 것을 특징으로 하는 저점성용 슬릿 노즐 장치.
13. 제12항에 있어서,

    상기 저점성 용액은 CNT(Carbon Nanotube) 용액, 태양전지용 폴리머, 유기물발광체용 폴리머 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치.
14. 제13항에 있어서,

    상기 저점성 용액의 점도는 10~2,000 CP(Centi Poise)인 것을 특징으로 하는 저점성 용액용 슬릿 노즐 장치.

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