KR100775122B1 - 토출제어구조 및 이를 이용한 코팅장치 - Google Patents

토출제어구조 및 이를 이용한 코팅장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 토출제어구조 및 이를 이용한 코팅장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 노즐분사방식을 사용하여 유리기판이나 웨이퍼 등의 표면에 포토레지스트를 도포하는 코팅장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 토출제어구조는 코팅액이 저장되는 저장부; 상기 저장부에 저장된 코팅액이 토출되는 노즐부; 상기 저장부의 상부에 구비되고 공기의 이동통로가 되는 공압유로; 그리고 상기 공압유로와 상기 저장부를 연결하고, 상기 공압유로를 통해 공기가 통과하면 상기 저장부의 코팅액을 흡입하는 흡입관;을 포함하여 구성된다. 이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 토출제어구조 및 이를 이용한 코팅장치에 의하면, 노즐부의 하단에 코팅액이 맺히는 것을 제거하고 토출량을 미세하게 제어함으로써 기판 전면에 균일한 두께의 코팅막을 형성하게 되는 이점이 있다.
코팅, 노즐, 토출제어, 슬릿

Description

토출제어구조 및 이를 이용한 코팅장치{A Dischange Control Structure and A Coating Apparatus Using the same}
도 1은 일반적인 슬릿코터장치을 보인 개략구성도.
도 2는 본 발명에 의한 토출제어구조 및 이를 사용한 코팅장치의 바람직한 실시예를 보인 단면도.
도 3은 도 2의 코팅액도포기를 보인 분리사시도.
도 4는 도2의 제2슬릿다이의 내부구조를 보인 구성도.
도 5는 본 발명에 의한 토출제어구조의 동작과정을 보인 구성도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
30: 코팅장치 40: 공급부
42: 저장탱크 44: 펌프부
50: 코팅액도포기 51: 본체
52: 저장부 53: 노즐부
54: 제1슬릿다이 55: 제2슬릿다이
56: 공급관 57: 공급라인
60: 공압유로 62: 흡입관
본 발명은 토출제어구조 및 이를 이용한 코팅장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 노즐분사방식을 사용하여 유리기판이나 웨이퍼 등의 표면에 포토레지스트를 도포하는 코팅장치에 관한 것이다.
최근 대량의 정보를 처리 및 표시하는 디스플레이(Display) 분야가 급속도로 발전하고 있다. 이에 따라 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 성능을 지닌 평면표시장치(Flat Panel Display Device:FPD)의 개발이 활발한데, 그 대표적인 예로 액정표시장치(LCD), 플라즈마표시장치(PDP), 전계방출표시장치(FED), 전기 발광표시장치(ELD)등이 있다.
이러한 평면표시장치의 제조공정에는 다수의 포토리소그래피 공정이 적용되고, 포토리소그래피 공정을 위하여 노광공정이 수행된다. 노광공정은 기판 또는 웨이퍼에 감광성의 포토레지스트를 도포하고 소정의 패턴이 형성된 마스크를 이용하여 노광하는 순서로 진행된다. 이때, 기판소재에 감광성의 포토레지스트를 도포하는 방법으로는 스핀코팅(Spin Coating)방법 및 슬릿코팅(Slit Coating)방법이 있다.
스핀코팅방법은 기판에 포토레지스트를 떨어뜨린 후, 기판을 고속회전시켜 포토레지스트가 기판에 균일한 두께로 형성되도록 하는 것이다. 이러한 스핀코팅방법에 의하면 웨이퍼와 같이 크기가 작은 기판을 코팅하는데 적합하나, 대형화된 기판의 경우 이를 회전시키기 어려우며 회전시 기판이 파손될 수 있는 문제점이 있었 다.
따라서, 대형화된 기판에 코팅하기 위하여 기판을 회전시키지 않고, 기판상에 슬릿형상의 노즐을 통해 일정양의 포토레지스트를 균일하게 도포하여 코팅하는 슬릿코팅방법이 주로 사용되고 있다.
이하, 도면을 참조하여 종래의 슬릿코터장치를 살펴본다. 도 1은 일반적인 슬릿코터장치을 보인 개략구성도이다. 도시된 바와 같이, 슬릿코터장치는 코팅액을 저장하여 공급하는 공급부(1)와, 공급부(1)로부터 코팅액을 공급받아 기판(5)위에 도포하는 슬릿노즐(10)을 포함한다.
상기 공급부(1)는 기판(5)에 패터닝 하기 위해 사용되는 감광물질과 같은 코팅액을 저장하는 저장탱크(2)와, 상기 저장탱크(2)에서 코팅액을 일정한 압력 및 유속으로 펌핑하여 공급하는 펌프부(3)를 포함한다. 그리고 상기 슬릿노즐(10)은 코팅액을 공급받는 노즐본체(12)와, 노즐본체(12)에 마련되어 코팅액을 토출하는 토출구(13)를 포함한다.
여기서 상기 슬릿노즐(10)이 기판과 상대적으로 이동하면서 코팅액을 기판(5)에 도포하게 된다. 더욱 자세히 살펴보면, 상기 저장탱크(2)에 저장되어있는 코팅액이 펌프부(3)의 펌핑작용에 의하여 공급라인(4)을 통해 상기 슬릿노즐(10)로 공급된다. 이때 상기 펌프부(3)의 공급압력에 의해 상기 토출구(13)에서 나오는 코팅액의 토출량 및 토출압력이 제어된다. 기판을 균일하게 코팅하기 위해서 코팅액을 기판에 공급하는 압력이 매우 중요한 요소이며 이를 제어하는 것이 필수적 과제이다.
그러나 상기한 바와 같은 종래 기술에서는 다음과 같은 문제점이 있다.
코팅하는 과정에서는 상기 펌프부(3)가 코팅액을 일정한 압력 및 유속으로 펌핑하여 슬릿노즐(10)에 공급한다. 그리고 코팅을 완성한 후에는 상기 펌프부(3)의 펌펑이 중단되는데, 이때 상기 펌프부(3)와 슬릿노즐(10) 사이의 공급라인(4)에 잔압이 형성된다. 이러한 잔압에 의하여 상기 슬릿노즐(10)의 하단의 토출구(13)에 코팅액이 맺혀서 방울져 떨어지는 현상(dripping: 이하 '드리핑 현상'이라 한다.)이 일어난다.
이와 같이 토출구(13)에 코팅액이 맺히거나 방울지면, 코팅의 시작점과 종료점에서의 토출량이 달라진다. 즉, 코팅의 종료점에서는 토출구(13)에 맺혀있던 코팅액이 도포되어 코팅막의 두께가 다른 부분에 비해 상대적으로 두껍게 된다. 그리고 종료점에서 토출구(13)에 맺혀있던 코팅액이 토출되어버리면, 코팅의 시작점에서는 슬릿노즐(10) 내부의 코팅액이 부족으로 코팅막이 형성되지 않거나 코팅막의 두께가 다른 부분에 비해 상대적으로 얇게 된다. 결국 코팅액이 기판상에 불균일하게 도포되어 코팅불량을 야기한다.
따라서, 본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 코팅물질 등의 토출 제어를 원활하게 하는 토출제어구조를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 토출량을 미세하게 제어하는 코팅장치를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명에 따른 토출제어구조는 외부에서 공급된 코팅액이 저장되는 저장부; 상기 저장부의 하단에 형성되고 상기 저장부에 저장된 코팅액이 토출되는 노즐부; 상기 저장부의 상부에 구비되고 공기의 이동통로가 되는 공압유로; 그리고 상기 공압유로와 상기 저장부를 연결하고, 상기 공압유로를 통해 공기가 통과하면 상기 저장부의 코팅액을 흡입하는 흡입관;을 포함하여 구성된다.
여기서 상기 흡입관은 상기 공압유로의 일측에서 직교하게 연장된다.
그리고 상기 흡입관은 상기 공압유로와 연결되는 상부, 상기 저장부와 연결되는 하부, 그리고 상기 상부와 하부 사이에 위치하고 상기 상부에서 하부로 갈수록 유로단면적이 점차 커지는 중간부를 포함하여 구성된다.
상기 중간부와 하부 사이에는 탄성변형이 가능한 막이 설치된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 본 발명에 의한 코팅액도포기는 외관을 형성하며 내부에는 코팅액을 공급하는 공급관, 상기 공급관으로 전달된 코팅액을 저장하는 저장부, 상기 저장부의 하단에 형성되고 상기 저장된 코팅액을 외부로 토출하는 노즐부를 포함하는 본체; 상기 본체 내부를 관통하여 형성되고 공기의 이동통로가 되는 공압유로; 그리고 상기 공압유로의 일측에서 직교하게 연장되고, 상기 공압유로와 상기 저장부를 연결하며 상기 공압유로에 공기가 통과하면 상기 저장부의 코팅액을 흡입하는 흡입관;을 포함하여 구성된다.
여기서 상기 본체는 제1슬릿다이와 제2슬릿다이를 포함하여 구성되며, 상기 공급관은 제1슬릿다이에 형성되고, 상기 공압유로 및 흡입관은 제2슬릿다이에 형성된다.
그리고 상기 흡입관은 상기 공압유로와 연결되는 상부, 상기 저장부와 연결되는 하부, 그리고 상기 상부와 하부 사이에 위치하고 상기 상부에서 하부로 갈수록 유로단면적이 점차 커지는 중간부를 포함하여 구성된다.
상기 중간부와 하부 사이에는 다이아프램이 설치된다.
상기 노즐부는 길이방향으로 길게 형성된 슬릿형상이다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 본 발명에 의한 코팅장치는 코팅액을 저장하는 저장탱크와 상기 저장탱크에서 코팅액을 펌핑하는 펌프부를 포함하는 공급부; 상기 공급부로부터 코팅액을 공급받아 기판의 상면에 코팅액을 도포하는 제 5 항 내지 9 항 중 어느 한 항에 기재된 코팅액도포기;를 포함하여 구성되며, 상기 코팅액도포기가 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동된다.
이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 토출제어구조 및 이를 이용한 코팅장치에 의하면, 노즐부의 하단에 코팅액이 맺히는 것을 제거하고 토출량을 미세하게 제어함으로써 기판 전면에 균일한 두께의 코팅막을 형성하게 되는 이점이 있다.
이하 본 발명에 의한 토출제어구조 및 이를 이용한 코팅장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.
본 명세서에서는 슬릿코팅방식을 이용하여 기판소재에 각종 박막을 패터닝하기 위해 감광물질을 도포하는 코팅장치를 예로 하여 설명하기로 한다.
도 2에는 본 발명에 의한 토출제어구조 및 이를 사용한 코팅장치의 바람직한 실시예가 단면도로 도시되어 있고, 도 3에는 도 2의 코팅액도포기가 분리사시도로 도시되어 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 코팅장치(30)는 코팅액을 공급하는 공급부(40)와 상기 코팅액을 공급받아 기판(45) 상에 도포하는 코팅액도포기(50)를 포함한다.
먼저, 상기 공급부(40)에는 기판(45)에 패터닝 하기 위해 사용되는 감광물질과 같은 코팅액을 저장하는 저장탱크(42)와, 상기 저장탱크(42)에서 코팅액을 일정한 압력 및 유속으로 펌핑하여 공급하는 펌프부(44)가 구비된다.
상기 코팅액도포기(50)는 상기 공급부(40)에서 코팅액을 공급받아 코팅 대상물인 기판(45)의 상면에 코팅액을 도포하는 장치로서, 상기 공급부(40)와 공급라인(57)으로 연결된다.
상기 코팅액도포기(50)의 외관을 형성하는 본체(51)의 내부에는 코팅액을 일시 저장하는 저장부(52)가 형성된다. 그리고 본체(51)의 하단에는 상기 저장부(52)에 저장된 코팅액이 토출되는 슬릿형상의 노즐부(53)가 형성된다.
도시되지는 않았으나 상기 코팅액도포기(50)를 코팅대상물인 기판과 상대적으로 이동시키는 이동부가 더 구비될 수도 있다.
이하 도 2와 도 3을 중심으로 상기 코팅액도포기(50)의 내부구조를 더욱 자세히 설명한다. 상기 본체(51)는 폭보다 길이방향으로 긴 직육면체 형상의 제1슬릿다이(54)와 제2슬릿다이(55)가 마주하여 접하도록 되어있다.
상기 제1슬릿다이(54) 및 제2슬릿다이(55)에서 서로 마주하는 면에는 각각 소정 깊이 요입되어 상기 저장부(52)가 형성된다. 그리고 상기 제1슬릿다이(54) 및 제2슬릿다이(55)의 단부에는 저장부(52)에 일시저장되는 코팅액을 토출시키는 노즐 부(53)가 형성된다. 본 실시예에서의 노즐부(53)는 상기 저장부(52)가 기판(45)의 상면을 향하여 연장된 것으로, 길이방향으로 길게 개구된 슬릿형태이다. 그러나 반드시 그러한 것은 아니고 길이방향으로 다수개의 토출공이 형성되는 포인트 형식도 가능하다.
상기 제1슬릿다이(54)의 내부를 횡방향으로 관통하여서는 공급관(56)이 형성된다. 상기 공급관(56)의 일단은 상기 공급부(40)로부터 코팅액을 이송하는 공급라인(57)이 연결되어 있다. 그리고 상기 공급관(56)의 타단은 상기 저장부(52)와 연결되므로 상기 공급관(56)을 통해 상기 저장부(52)로 코팅액이 유입된다.
한편, 제2슬릿다이(55)의 내부를 길이방향으로 관통하여서는 공압유로(60)가 형성된다. 그리고 제2슬릿다이(55)의 내부에는 상기 공압유로(60)의 일측에서 직교하게 연통되고 제2슬릿다이(55)의 저장부(52)까지 연장되는 흡입관(62)이 구비된다.
도 4는 도 2의 제2슬릿다이의 내부구조를 보인 구성도이다. 이를 참조하여 흡입관(62)의 내부를 상세히 설명한다.
상기 흡입관(62)의 상부(64)는 상기 공압유로(60)와 연결되는 부분이다. 상기 공압유로(60)와 상기 상부(64)의 압력구배를 위하여 상부(64)의 유로단면적은 상기 공압유로(60)의 유로단면적 보다 작게 형성되는 것이 바람직하다. 그리고 상기 흡입관(62)의 하부(66)는 상기 저장부(52)와 연결되는 부분이고, 상기 상부(64)와 하부(66) 사이에는 중간부(68)가 형성된다.
상기 흡입관(62)에서 상부(64)의 유로단면적은 상기 하부(66)의 유로단면적 보다 작으며, 상기 중간부(68)는 상기 하부(66)에서 상부(64)로 갈수록 그 유로단면적이 점차 작아지도록 형성된다. 한편, 상기 중간부(68)와 하부(66) 사이에는 미세한 힘으로도 탄성변형되는 얇은 막, 바람직하게는 다이아프램(69)이 설치되어 상기 중간부(68)와 하부(66)를 분리차폐시킨다. 그리고 상기 다이아프램(69)은 저장부(52)에 남아있던 코팅액이 상기 공압유로(60)쪽으로 역류하는 것을 방지하는 역할을 한다.
상기한 바와 같은 제2슬릿다이(55)에 형성된 공압유로(60)와 흡입관(62)에 의해서 코팅액의 토출을 제어하게 된다. 즉, 상기 공압유로(60)를 통해서 공기를 불어넣으면, 상기 흡입관(62)의 상부(64)의 압력이 상기 공압유로(60) 내부 압력보다 상대적으로 커지게 되어 상기 상부(64)에 있던 공기가 상기 공압유로(60) 내부로 흡입되면서, 상기 다이아프램(69)이 상부(64) 방향으로 휘어진다. 그러면서 저장부(52)에 남아있던 코팅액을 상기 흡입관(62)으로 빨아들이게 되어 코팅액의 토출을 제어하는 것이다.
이하 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 코팅액도포기 및 이를 이용한 코팅장치 작용을 상세히 설명한다.
도 5는 본 발명에 의한 토출제어구조의 동작과정을 보인 구성도이다. 먼저 도 5a은 공압유로(60)에 공기를 투입하지 않은 상태를 도시한 것이다. 흡입관(62) 내부에 설치되어 있는 다이아프램(69)은 평평한 상태를 유지하고 있다.
다음으로 도 5b와 같이 공압유로(60) 내부로 공기를 투입하면 공압유로(60)를 따라 기류가 형성된다. 그러면 상기 상부(64) 및 중간부(68)에 있던 공기가 상 기 공압유로(60) 쪽으로 빨려나가게 된다. 이때, 상기 상부(64)에서 빠져나가는 공기의 속도가 상기 공압유로(60)를 흐르는 기류의 속도보다 상대적으로 작기 때문에 상기 공압유로(60) 내부의 압력이 상대적으로 낮아져 상기 상부(64) 및 중간부(68)의 공기가 공압유로(60)로 흡입된다.
한편, 힘은 압력이 큰 쪽에서 압력이 작은 쪽으로 작용하므로 상기 흡입관(62) 내부에 작용하는 힘은 상기 상부(64)에서 상기 공압유로(60) 방향으로 작용한다. 그리고 다이아프램(69)은 힘이 가해지는 방향으로 변형되므로 상기 공압유로(60)를 향해서 탄성변형 되면서 곡면을 형성하게 된다. 그리고 이와 동시에 저장부(52)에 남아있던 코팅액이 상기 흡입관(62)의 하부(66)로 딸려 올라가게 된다.
공압유로(60)에 공기투입이 계속되는 동안은 도 5b와 같은 상태가 유지된다. 즉, 상기 흡입관(62) 내부에 작용하는 힘의 방향에 따라 다이아프램(69)의 하부에 있는 코팅액이 딸려 올라가게 되므로, 코팅액이 중력에 의해 저장부(52) 하단으로 흘러내리는 것이 방지된다.
상기 공압유로(60)에 공기투입이 중단되면, 상기 흡입관(62) 내부에 작용하던 힘이 제거되고 상기 다이아프램(69)의 형태도 도 5a와 같이 원상태로 돌아가게 된다.
다음으로 본 발명에 의한 코팅장치의 동작과정을 설명한다.
먼저, 코팅시작점에서 코팅액도포기(50)가 기판(45)과 가까워지도록 하강하고, 제1슬릿다이(54)의 공급관(56)을 통해 코팅액이 공급된다. 제1슬릿다이(54)와 제2슬릿다이(55) 사이에 형성된 저장부(52)에 코팅액이 채워지면서 노즐부(53)를 통해 코팅액이 토출된다. 그리고 상기 코팅액도포기(50)와 기판(45)이 상대적으로 이동하면서 스캔방식으로 코팅액이 기판(45) 상면에 도포되면서 코팅이 이루어진다.
코팅이 종료되면, 코팅액 공급이 중단됨과 동시에 제2슬릿다이(55)에 형성된 공압유로(60)에 공기가 투입된다. 이때 공압유로(60)에 공기가 투입되면 위에서 살펴본 바와 같이 코팅액이 흡입관(62) 내부로 딸려 올라가면서 노즐부(53)를 통해 코팅액이 방울져 떨어지는 현상이 방지된다. 그리고 코팅액도포기(50)가 위로 상승한 후에 원위치로 복귀한다. 상기 공압유로(60) 내부로의 공기투입은 다음 코팅시작시점까지 계속된다.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.
본 실시예에서는 하나의 흡입관이 형성되었으나, 공압유로와 연통되는 다수개의 흡입관을 설치하여 코팅액의 드리핑 현상을 더욱 확실하게 방지하는 것도 가능하다.
위에서 상세히 설명한 바와 같은 본 발명에 의한 토출제어구조 및 이를 이용한 코팅장치에서는 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
본 발명에 의하면, 공압유로에 공기를 투여함에 따라 흡입관 내부로 코팅액이 딸려 올라가면서 노즐부에서 코팅액이 방울져 떨어지는 것이 방지된다. 따라서, 코팅 얼룩을 방지하여 기판의 전면에 균일한 두께의 코팅막을 형성할 수 있다. 특히 리소그래피공정에서는 포토레지스트를 균일하게 도포함으로써 기판상에 정확한 패턴을 형성하게 되어 패턴불량을 줄이는 효과가 있다.
그리고 본 발명에 의한 코팅액도포기에 의하면 토출량을 미세하게 제어하게 되므로 코팅막의 두께를 정확하게 조절하는 효과가 있다.
또한, 노즐부에 코팅액이 누적되는 것이 방지되므로 코팅액도포기에 누적되는 코팅액을 제거하기 위한 별도의 세정부가 불필요하게 되어 코팅장치의 구성 및 코팅공정이 단순화되는 효과가 있다.

Claims (10)

  1. 외부에서 공급된 코팅액이 저장되는 저장부;
    상기 저장부의 하단에 형성되고 상기 저장부에 저장된 코팅액이 토출되는 노즐부;
    상기 저장부의 상부에 구비되고 공기의 이동통로가 되는 공압유로; 그리고
    상기 공압유로와 상기 저장부를 연결하고, 상기 공압유로를 통해 공기가 통과하면 상기 저장부의 코팅액을 흡입하는 흡입관;을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 토출제어구조.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 흡입관은 상기 공압유로의 일측에서 직교하게 연장됨을 특징으로 하는 토출제어구조.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 흡입관은 상기 공압유로와 연결되는 상부,
    상기 저장부와 연결되는 하부, 그리고 상기 상부와 하부 사이에 위치하고 상기 상부에서 하부로 갈수록 유로단면적이 점차 커지는 중간부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 토출제어구조.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 중간부와 하부 사이에는 탄성변형이 가능한 막이 설치됨을 특징으로 하는 토출제어구조.
  5. 외관을 형성하며 내부에는 코팅액을 공급하는 공급관, 상기 공급관으로 전달된 코팅액을 저장하는 저장부, 상기 저장부의 하단에 형성되고 상기 저장된 코팅액을 외부로 토출하는 노즐부를 포함하는 본체;
    상기 본체 내부를 관통하여 형성되고 공기의 이동통로가 되는 공압유로; 그리고 상기 공압유로의 일측에서 직교하게 연장되고, 상기 공압유로와 상기 저장부를 연결하며 상기 공압유로에 공기가 통과하면 상기 저장부의 코팅액을 흡입하는 흡입관;을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 코팅액도포기.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 본체는 제1슬릿다이와 제2슬릿다이를 포함하여 구성되며,
    상기 공급관은 제1슬릿다이에 형성되고, 상기 공압유로 및 흡입관은 제2슬릿다이에 형성됨을 특징으로 하는 코팅액도포기.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 흡입관은 상기 공압유로와 연결되는 상부,
    상기 저장부와 연결되는 하부, 그리고 상기 상부와 하부 사이에 위치하고 상기 상부에서 하부로 갈수록 유로단면적이 점차 커지는 중간부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 코팅액도포기.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 중간부와 하부 사이에는 다이아프램이 설치됨을 특징으로 하는 코팅액도포기.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 노즐부는 길이방향으로 길게 형성된 슬릿형상임을 특징으로 하는 코팅액도포기.
  10. 코팅액을 저장하는 저장탱크와 상기 저장탱크에서 코팅액을 펌핑하는 펌프부를 포함하는 공급부;
    상기 공급부로부터 코팅액을 공급받아 기판의 상면에 코팅액을 도포하는 제 5 항 내지 9 항 중 어느 한 항에 기재된 코팅액도포기;를 포함하여 구성되며,
    상기 코팅액도포기가 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동됨을 특징으로 하는 코팅장치.
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