CN117062675A - 涂敷装置以及涂敷方法 - Google Patents

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Abstract

提供能形成均匀的涂敷膜的涂敷装置以及涂敷方法。根据实施方式，涂敷装置包括涂敷杆、多个喷嘴、多个保持部以及检测部。上述涂敷杆能与被涂敷构件相向。上述多个喷嘴能朝上述涂敷杆供给液体。上述多个保持部中的一个保持部保持上述多个喷嘴中的一个喷嘴。上述多个保持部中的一个保持部能控制以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴中的上述一个喷嘴的位置。上述检测部能检测与以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴各自的位置相对应的量。

Description

涂敷装置以及涂敷方法
技术领域
本发明的实施方式涉及涂敷装置以及涂敷方法。
背景技术
存在着使用涂敷杆涂敷液体的涂敷装置。期望是能形成均匀的涂敷膜的涂敷装置。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2016－174992号公报
发明内容
发明所要解决的课题
本发明的实施方式提供能形成均匀的涂敷膜的涂敷装置以及涂敷方法。
用于解决课题的方案
根据本发明的实施方式，涂敷装置包括涂敷杆、多个喷嘴、多个保持部以及检测部。上述涂敷杆能与被涂敷构件相向。上述多个喷嘴能朝上述涂敷杆供给液体。上述多个保持部中的一个保持部保持上述多个喷嘴中的一个喷嘴。上述多个保持部中的一个保持部能控制以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴中的上述一个喷嘴的位置。上述检测部能检测与以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴各自的位置相对应的量。
附图说明
图1是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图。
图2是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性侧视图。
图3是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图。
图4是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图。
图5是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图。
图6是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图。
图7是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图。
图8是例示出第2实施方式所涉及的涂敷方法的流程图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。
另外，附图是示意性或者概念性的附图，各部分的厚度与宽度的关系、部分间的大小的比率等不必与实际的构成相同。另外，即便在表示相同部分的场合，有时根据附图的不同而彼此的尺寸、比率会不同地被示出。
另外，在本申请说明书和各图中，对与有关在先的图已述的构成同样的要素标注相同的附图标记而适当省略详细说明。
(第1实施方式)
图1是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图。
图2是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性侧视图。
如图1以及图2所示那样，实施方式所涉及的涂敷装置110包括涂敷杆10、多个喷嘴21、多个保持部22以及检测部50。
涂敷杆10能与被涂敷构件80相向。多个喷嘴21能朝涂敷杆10供给液体84。利用从多个喷嘴21排出的液体84，在被涂敷构件80形成涂敷膜85。
多个保持部22中的一个保持部保持多个喷嘴21中的一个喷嘴。多个保持部22中的一个保持部能控制以涂敷杆10为基准的多个喷嘴21中的一个喷嘴的位置。由多个保持部22固定多个喷嘴21各自的位置。位置是以涂敷杆10为基准的位置。
检测部50能检测与以涂敷杆10为基准的多个喷嘴21各自的位置相对应的量。检测的量例如可包括电阻、声音、应力、光以及影像中的至少任意一者。检测的量可包括有关多个喷嘴21与涂敷杆10的接触状态的量。接触状态包括多个喷嘴21分别与涂敷杆10的接触面积。接触状态可包括多个喷嘴21分别与涂敷杆的角度。
在实施方式中，能基于与多个喷嘴21各自的位置相对应的量的检测结果，由多个保持部22控制多个喷嘴21各自的状态。能使以涂敷杆10为基准的多个喷嘴21各自的空间上的位置关系变均匀。由此，可获得均匀的涂敷膜85。在实施方式中，可提供能形成均匀的涂敷膜85的涂敷装置。
在实施方式中，在涂敷时，多个喷嘴21分别与涂敷杆10接触。当从多个喷嘴21供给液体84时，多个喷嘴21分别与涂敷杆10接触。由此，多个喷嘴21与涂敷杆10的位置关系变稳定。由此，能使涂敷状态达到一定程度的均匀。
但是，即便在多个喷嘴21分别与涂敷杆10接触时，若多个喷嘴21的与涂敷杆10的接触状态不同，有时涂敷膜85的均匀性也会不充分。
在实施方式中，能由检测部50检测多个喷嘴各自与涂敷杆10的接触状态。例如，检测部50不仅能进行接触或者非接触的检测，还能检测与接触的面积相对应的量等。通过检测有关多个喷嘴各自与涂敷杆10的接触状态的量，可获得更均匀的涂敷膜85。也可由检测部50检测接触的角度。
例如，若多个喷嘴21分别与涂敷杆10的接触面积或者接触角度等变化，则多个喷嘴21各自与涂敷杆10之间的电阻出现变化。若接触面积或者接触角度等变化，则从多个喷嘴21产生的声音出现变化。若接触面积或者接触角度等变化，则多个喷嘴21各自所受到的应力出现变化。若接触面积或者接触角度等变化，则分别来自多个喷嘴21的光(例如反射光)出现变化。若接触面积或者接触角度等变化，则多个喷嘴21的形状出现变化，多个喷嘴21各自的影像出现变化。
检测部50能检测它们的变化。例如，检测有关多个喷嘴21的这些量，控制多个保持部22以便检测出的量在多个喷嘴21变均匀。由此，能使多个喷嘴21与涂敷杆10的接触状态变均匀。
如图1所示那样，涂敷装置110也可以包括控制部70。控制部70基于由检测部50检测出的上述的量，控制多个保持部22。由此，可适当控制以涂敷杆10为基准的多个喷嘴21各自的位置(接触状态)。
检测部50也可以检测多个喷嘴21中的至少一个喷嘴与涂敷杆10的接触。
如图2所示那样，在被涂敷构件80与涂敷杆10之间，形成出由从多个喷嘴21供给的液体形成的弯月面84M。弯月面84M与被涂敷构件80的表面接触。通过使被涂敷构件80与涂敷杆10之间的相对位置变化，从而在被涂敷构件80上由液体84形成涂敷膜85。
如图1以及图2所示那样，在该例子中，涂敷装置110包括第1搬送部66a以及第2搬送部66b。这些搬送部例如是辊子。通过这些搬送部，片状的被涂敷构件80沿着搬送方向80D移动。弯月面84M与被涂敷构件80的一部分接触。在该例子中，进行卷对卷(Roll to Roll)的涂敷。
涂敷杆10沿着1个方向延伸。1个方向例如是Y轴方向。将相对于Y轴方向垂直的1个方向设为X轴方向。将相对于Y轴方向以及X轴方向垂直的方向设为Z轴方向。
搬送方向80D与Y轴方向交叉。在该例子中，搬送方向80D是X轴方向。Z轴方向例如与高度方向相对应。多个喷嘴21可以实质上沿着搬送方向80D延伸。多个喷嘴21可以在X－Z平面内相对于搬送方向80D倾斜。
在该例子中，在容器65中蓄积液体84。液体84通过供给部61经由供给管25向多个喷嘴21供给。供给部61例如是泵61p。在该例子中，设置多个泵61p。在该例子中，多个泵61p之一与多个供给管25连接。多个供给管25中的一个供给管与多个喷嘴21中的一个喷嘴连接。通过多个泵61p中的一个泵，向多个喷嘴21供给液体84。
如图1以及图2所示那样，涂敷装置110也可包括支撑部24。支撑部24支撑多个保持部22。支撑部24能控制多个保持部22，能变更多个喷嘴21的延伸方向，例如能变更支撑部24的延伸方向的角度(沿着以Z轴方向为中心的旋转方向的角度)。也可以通过使支撑部24的延伸方向的角度变化，能统一地变更多个喷嘴21的延伸方向。
支撑部24能变更以涂敷杆10为基准的多个保持部22的相对位置。相对位置例如包括关于X轴方向以及Z轴方向的位置。相对位置例如包括多个保持部22排列的方向的角度。
如图1以及图2所示那样，涂敷装置110可以包括干燥部68。干燥部68能将气体或者热量等朝涂敷膜85供给。气体例如可以是经过加热的空气等。可促进涂敷膜85的干燥。例如通过涂敷膜85干燥成为固体，可获得作为目的的膜。干燥部68例如可以包括空气喷嘴或者远红外灯等。
在图1所例示的涂敷装置110中，检测部50包括电阻检测部51。电阻检测部51能检测多个喷嘴21各自与涂敷杆10之间的电阻。电阻检测部51例如可以包括电阻测定电路、电流测定电路或者电压测定电路。
例如，涂敷装置110包括多个端子(端子T1～T4)等。多个端子中的一个端子与多个喷嘴21中的一个喷嘴电连接。多个端子中的另一个端子与多个喷嘴21中的另一个喷嘴电连接。
电阻检测部51经由多个端子与多个喷嘴21电连接。电阻检测部51与涂敷杆10电连接。根据这样的构成，电阻检测部51检测多个喷嘴21各自与涂敷杆10之间的电阻。
若电阻过度高，则非接触或者接触状态会不充分。若电阻过度低，则会产生过度的接触，例如会损伤多个喷嘴21或者涂敷杆10，难以进行稳定的涂敷。通过使电阻为适当的范围，可在多个喷嘴21中均匀地获得适当的接触状态，可获得均匀的涂敷膜85。
在一个例子中，适当的电阻的范围是10Ω以上且50Ω以下。通过使多个喷嘴21各自为该范围，可获得均匀的涂敷膜。
图3是例示第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图。
在图3中，为了容易观看视图，省略了多个端子(端子T1～T4)以及与之连接的配线。如图3所示那样，控制部70能分别对多个保持部22供给控制信号(控制信号Sc1～Sc4等)。控制信号基于由检测部50检测出的量(与接触状态相对应的量)。由此，可控制多个保持部22所保持的多个喷嘴21各自的接触状态。
这样，控制部70能基于由检测部50检测出的上述的量控制多个保持部22。控制部70能使多个保持部22控制以涂敷杆10为基准的多个喷嘴21各自的位置(接触状态)。
以下，对检测部的其他例子进行说明。
图4是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图。
如图4所示那样，在实施方式所涉及的涂敷装置111中，检测部50包括声音检测部52。声音检测部52能检测分别从多个喷嘴2产生的声音。声音可以包括超声波。涂敷装置111中的除此以外的构成可以与涂敷装置110的构成相同。
如图4所示那样，声音检测部52例如可以包括多个声音检测元件(元件52a～52d等)。多个声音检测元件中的一个声音检测元件检测从多个喷嘴21中的一个喷嘴发出的声音。多个声音检测元件中的另一个声音检测元件检测从多个喷嘴21中的另一个喷嘴发出的声音。根据这样的构成，检测分别从多个喷嘴21产生的声音。由声音检测部52检测声音的大小以及声音所包含的频率成分等。
例如，关于有关声音的参数(大小以及频率成分等)，可规定下限阈值以及上限阈值。控制部70能比较检测出的声音和阈值。与比较结果相对应的(控制信号Sc1～Sc4等)从控制部70向多个保持部22供给。由多个保持部22控制多个喷嘴21的接触状态。可获得均匀的涂敷膜85。
图5是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图。
如图5所示那样，在实施方式所涉及的涂敷装置112中，检测部50包括应力检测部53。应力检测部53能检测分别施加在多个喷嘴21上的应力。涂敷装置112中的除此以外的构成可以与涂敷装置110的构成相同。
例如，应力检测部53可包括多个应力检测元件(元件53a～53d等)。多个应力检测元件中的一个应力检测元件设在多个保持部22中的一个保持部上。多个应力检测元件中的另一个应力检测元件设在多个保持部22的另一个保持部上。由多个应力检测元件检测分别施加在多个喷嘴21上的应力。
例如，多个应力检测元件(元件53a～53d等)经由多个端子(端子T1～T4等)与应力检测部53的电路部电连接。
例如，关于应力，可规定下限阈值以及上限阈值。控制部70能比较检测出的应力和阈值。与比较结果相对应的(控制信号Sc1～Sc4等)从控制部70向多个保持部22供给。由多个保持部22控制多个喷嘴21的接触状态。可获得均匀的涂敷膜85。
多个应力检测元件例如可包括压电元件等。例如，多个保持部22也可以包括使多个喷嘴21的位置变化的促动器等。促动器也可以具有多个应力检测元件的功能。例如可通过施加给促动器的驱动电压使促动器工作，对多个喷嘴21进行控制。驱动电压也可以受到伺服控制。对应于多个喷嘴21的应力对驱动电压进行伺服控制，由此能使多个喷嘴21的接触状态变均匀。
图6是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图。
如图6所示那样，在实施方式所涉及的涂敷装置113中，检测部50包括光检测部54。光检测部54能检测从多个喷嘴21分别获得的光。涂敷装置113中的除此以外的构成可以与涂敷装置110的构成相同。
例如，光检测部54也可以包括多个受光元件(元件54a～54d等)。例如光照射在多个喷嘴21上。光在多个喷嘴21反射。反射的光与多个喷嘴21各自的接触状态相对应。通过由多个受光元件检测来自多个喷嘴21的光，能检测多个喷嘴21各自的接触状态。光检测部54也可以包括多个发光元件。多个发光元件与多个受光元件对应地设置。
例如，关于光，可规定下限阈值以及上限阈值。控制部70能比较检测出的光和阈值。与比较结果相对应的(控制信号Sc1～Sc4等)从控制部70向多个保持部22供给。由多个保持部22控制多个喷嘴21的接触状态。可获得均匀的涂敷膜85。
图7是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图。
如图7所示那样，在实施方式所涉及的涂敷装置114中，检测部50包括拍摄部55。拍摄部55能检测多个喷嘴21各自的影像。涂敷装置113中的除此以外的构成可以与涂敷装置110的构成相同。
多个喷嘴21各自的影像包括多个喷嘴21各自的接触状态。例如，拍摄部55包括拍摄元件55a。拍摄元件55a拍摄多个喷嘴21各自的影像。拍摄部55对由拍摄元件55a获得的影像进行图像解析。根据图像解析的结果，可获得有关多个喷嘴21各自的接触状态的信息。
关于通过图像解析获得的参数，可规定下限阈值以及上限阈值。控制部70能比较检测出的影像和阈值。与比较结果相对应的(控制信号Sc1～Sc4等)从控制部70向多个保持部22供给。由多个保持部22控制多个喷嘴21的接触状态。可获得均匀的涂敷膜85。
在实施方式中，多个喷嘴21例如是针状。例如容易以高精度控制液体84的排出量。例如多个喷嘴21的端部容易接触涂敷杆10。例如容易获得高的柔韧性。由于高的柔韧性，例如容易抑制多个喷嘴21的损伤。多个喷嘴21各自的长度例如是10mm以上且100mm以下。多个喷嘴21各自的内径例如是0.1mm以上且2mm以下。多个喷嘴21各自的端部的端面与多个喷嘴21各自的延伸方向之间的角度例如是大约90度(例如75度以上且105度以下)。例如容易抑制涂敷杆10的损伤。多个喷嘴21为导电性。
多个喷嘴21例如可分别包括不锈钢制的锁紧头。供给管25例如可包括聚四氟乙烯。多个喷嘴21和供给管25可通过能装拆的接头进行连接。
涂敷杆10的剖面形状任意。涂敷杆10的剖面形状例如可以是圆形、扁平圆形或者多边形。剖面形状的一部分可以是曲线状，其他部分可以是直线状。例如，涂敷杆10的与被涂敷构件80相向的面的剖面形状可以是曲线状。在涂敷杆10的剖面形状为圆形的场合，圆的半径例如是5mm以上且50mm以下。涂敷杆10的长度例如是100mm以上且5000mm以下。
涂敷杆10为导电性。涂敷杆10例如包括从由不锈钢、铝、钛、镍及铜组成的组中选择出的至少一种。涂敷杆10的加工变容易。在一个例子中，涂敷杆10的表面例如是镜面。在其他的例子中，涂敷杆10的表面也可以包括凹凸。
在一个例子中，泵61p的数量是4。与1个泵61p连接的管跟4个喷嘴21连接。多个喷嘴21的数量是16。多个喷嘴21被多个保持部22分别保持。多个保持部22由1个支撑部24支撑。支撑部24例如是悬臂杆。可以由支撑部24的多个部分进行支撑。多个保持部22中的一个保持部可包括使多个喷嘴21位移的促动器。
(第2实施方式)
第2实施方式涉及涂敷方法。
图8是例示出第2实施方式所涉及的涂敷方法的流程图。
如图8所示那样，实施方式所涉及的涂敷方法包括对与以涂敷杆10为基准的多个喷嘴各自的位置相对应的量的检测(步骤S10)。涂敷杆10能与被涂敷构件80相向。上述的量跟多个喷嘴21与涂敷杆10的接触状态有关。
涂敷方法基于上述的量对分别保持多个喷嘴21的多个保持部22进行控制。例如，将检测出的上述的量Vd与下限阈值Vs1以及上限阈值Vs2进行比较(步骤S20)。在量Vd不为下限阈值Vs1以上且上限阈值Vs2以下的场合，控制多个保持部22(步骤S30)。在步骤S30之后，返回步骤S10。可反复进行包括步骤S10、S20以及S30的处理并加以实施。
在步骤S20中，在量Vd为下限阈值Vs1以上且上限阈值Vs2以下的场合，进入步骤S40。在步骤S40中，从多个喷嘴21向涂敷杆10供给液体84，向被涂敷构件80涂敷液体84。
在实施方式所涉及的涂敷方法中，检测与以涂敷杆10为基准的多个喷嘴各自的位置相对应的量(例如接触状态)。基于检测出的量，控制多个保持部22，控制多个喷嘴21的状态。由此，可获得均匀的涂敷膜85。根据实施方式，可提供能形成均匀的涂敷膜的涂敷方法。
在实施方式中，在液体84的涂敷中，多个喷嘴21可与涂敷杆10接触。上述的量的检测可包括对多个喷嘴21分别与涂敷杆10之间的电阻的检测。上述的量的检测可包括对分别从多个喷嘴21产生的声音的检测。上述的量的检测可包括对分别施加于多个喷嘴21的应力的检测。上述的量的检测可包括对分别从多个喷嘴21获得的光的检测。上述的量的检测可包括对多个喷嘴各自的影像的检测。根据这些检测结果来控制多个喷嘴21中的至少一个喷嘴的位置或者角度。
根据实施方式所涉及的涂敷装置110以及实施方式所涉及的涂敷方法，可形成太阳能电池。
被涂敷构件80例如是PET薄膜。在PET薄膜上设置电极。电极例如是透光性。电极具有ITO(Indium Tin Oxide：氧化铟锡)膜/Ag合金/ITO膜的层积结构。电极例如可由卷对卷方式的溅射装置形成。例如可设置多个电极。多个电极中的一个电极的宽度例如是大约20mm。多个电极彼此的间隔例如是50μm。
在一个例子中，由液体84形成空穴传输层。在该场合，液体84包括PEDOT(聚(3,4-乙烯二氧噻吩))以及PSS(聚苯乙烯磺酸)。液体84是水溶液体。多个喷嘴21的延伸方向与水平方向之间的角度是20度。被涂敷构件80的移动速度例如是5m/min。
在实施方式中，也可以在进行完用于空穴传输层的涂敷之后进行其他的涂敷。其他的涂敷中的液体84例如包括半导体材料。其他的液体例如包括PTB7([聚{4,8-双[(2-乙基己基)氧基]苯并[1,2-b:4,5-b’]二噻吩-2,6-二基-1t-alt-3-氟-2-[(2-乙基己基)羰基]噻吩[3,4-b]并噻吩-4,6-二基}])和PC70BM([6,6]苯基C71丁酸甲酯)。该液体84例如还包括一氯苯。该其他的涂敷中的液体84例如成为太阳能电池的半导体膜。
根据实施方式所涉及的涂敷装置110以及实施方式所涉及的涂敷方法，可制造出使用有机半导体的有机薄膜太阳能电池或者有机/无机混合型太阳能电池。能制造出高性能且大面积的太阳能电池。
实施方式可以包括以下的构成(例如技术方案)。
(构成1)
一种涂敷装置，其中，该涂敷装置具备：
涂敷杆，该涂敷杆能与被涂敷构件相向；
多个喷嘴，该多个喷嘴能向上述涂敷杆供给液体；
多个保持部，上述多个保持部中的一个保持部保持上述多个喷嘴中的一个喷嘴，上述多个保持部中的一个保持部能控制以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴中的上述一个喷嘴的位置；以及
检测部，该检测部能检测与以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴各自的位置相对应的量。
(构成2)
如构成1所述的涂敷装置，其中，
上述检测部能检测上述多个喷嘴中的至少一个喷嘴与上述涂敷杆的接触。
(构成3)
如构成1所述的涂敷装置，其中，
上述检测部包括电阻检测部，
上述电阻检测部能检测上述多个喷嘴分别与上述涂敷杆之间的电阻。
(构成4)
如构成3所述的涂敷装置，其中，
上述涂敷装置还具备多个端子，
上述多个端子中的一个端子与上述多个喷嘴中的上述一个喷嘴电连接，
上述多个端子中的另一个端子与上述多个喷嘴中的另一个喷嘴电连接。
(构成5)
如构成1所述的涂敷装置，其中，
上述检测部包括声音检测部，
上述声音检测部能检测分别从上述多个喷嘴产生的声音。
(构成6)
如构成1所述的涂敷装置，其中，
上述检测部包括应力检测部，
上述应力检测部能检测分别施加在上述多个喷嘴上的应力。
(构成7)
如构成6所述的涂敷装置，其中，
上述应力检测部包括上述多个应力检测元件，
上述多个应力检测元件中的一个应力检测元件设在上述多个保持部中的上述一个保持部，
上述多个应力检测元件中的另一个应力检测元件设在上述多个保持部中的另一个保持部。
(构成8)
如构成1所述的涂敷装置，其中，
上述检测部包括光检测部，
上述光检测部能检测分别从上述多个喷嘴获得的光。
(构成9)
如构成1所述的涂敷装置，其中，
上述检测部包括拍摄部，
上述拍摄部能检测上述多个喷嘴各自的影像。
(构成10)
如构成1～9中任一项所述的涂敷装置，其中，
上述涂敷装置还具备控制部，
上述控制部基于由上述检测部检测的上述量控制上述多个保持部，能使上述多个保持部控制以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴各自的位置。
(构成11)
如构成1～10中任一项所述的涂敷装置，其中，
上述涂敷装置还具备支撑部，
上述支撑部支撑上述多个保持部，
上述支撑部能变更以上述涂敷杆为基准的上述多个保持部的相对位置。
(构成12)
如构成1～10中任一项所述的涂敷装置，其中，
上述涂敷装置还具备支撑部，
上述支撑部支撑上述多个保持部，
上述支撑部能控制上述多个保持部，能变更上述多个喷嘴的延伸方向。
(构成13)
如构成1～11中任一项所述的涂敷装置，其中，
能在上述被涂敷构件与上述涂敷杆之间形成出由从上述多个喷嘴供给的上述液体形成的弯月面。
(构成14)
一种涂敷方法，其中，该涂敷方法具备以下步骤：
检测与以能与被涂敷构件相向的涂敷杆为基准的多个喷嘴各自的位置相对应的量；以及
基于上述量控制分别保持上述多个喷嘴的多个保持部，控制以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴各自的位置，从上述多个喷嘴向上述涂敷杆供给液体，向上述被涂敷构件涂敷上述液体。
(构成15)
如构成14所述的涂敷方法，其中，
在上述液体的上述涂敷中，上述多个喷嘴与上述涂敷杆接触。
(构成16)
如构成14所述的涂敷方法，其中，
上述量的上述检测包括对上述多个喷嘴分别与上述涂敷杆之间的电阻的检测。
(构成17)
如构成14所述的涂敷方法，其中，
上述量的上述检测包括对分别从上述多个喷嘴产生的声音的检测。
(构成18)
如构成14所述的涂敷方法，其中，
上述量的上述检测包括对分别施加在上述多个喷嘴上的应力的检测。
(构成19)
如构成14所述的涂敷方法，其中，
上述量的上述检测包括对从上述多个喷嘴分别获得的光的检测。
(构成20)
如构成14所述的涂敷方法，其中，
上述量的上述检测包括对上述多个喷嘴各自的影像的检测。
根据实施方式，可提供能形成均匀的涂敷膜的涂敷装置以及涂敷方法。
以上，参照具体例对本发明的实施方式进行了说明。但是，本发明并不限定于这些具体例。例如，关于涂敷装置所包含的涂敷杆以及喷嘴等各要素的具体构成，只要本领域技术人员能通过从公知的范围适当选择来同样地实施本发明并获得同样的效果，则包含在本发明的范围内。
另外，只要包含本发明的构思，则在技术方面能实现的范围内将各具体例的任意两个以上的要素组合而得的构成也包含在本发明的范围内。
此外，只要包含本发明的构思，则作为本发明的实施方式以上述的涂敷装置以及涂敷方法为基础而能由本领域技术人员适当设计变更并实施的所有涂敷装置以及涂敷方法也属于本发明的范围。
此外，应了解在本发明的构思的范畴内，对于本领域技术人员而言，会想到各种变更例以及修正例，而这些变更例以及修正例都属于本发明的范围。
虽然说明了本发明的几个实施方式，但这些实施方式仅仅是作为例子提示出来的，并非意在限定发明的范围。这些新颖的实施方式能以此外的各种形态来实施，在不脱离发明的构思的范围内，能进行各种省略、置换、变更。这些实施方式及其变形都包含在发明的范围及构思中，并且包含在权利要求书所记载的发明及其等同的范围内。
附图标记的说明
10…涂敷杆，21…喷嘴，22…保持部，24…支撑部，25…供给管，50…检测部，51…电阻检测部，52…声音检测部，52a～55d…元件，53…应力检测部，53a～53d…元件，54…光检测部，54a～54a…元件，55…拍摄部，55a…拍摄元件，61…供给部，61p…泵，65…容器，66a、66b…搬送部，68…干燥部，70…控制部，80…被涂敷构件，80D…搬送方向，84…液体，84M…弯月面，85…涂敷膜，110～114…涂敷装置，Sc1～Sc4…控制信号，T1～T4…端子，Vd…量，Vs1…下限阈值，Vs2…上限阈值。

Claims (20)

1.一种涂敷装置，其中，该涂敷装置具备：
涂敷杆，该涂敷杆能与被涂敷构件相向；
多个喷嘴，该多个喷嘴能向上述涂敷杆供给液体；
多个保持部，上述多个保持部中的一个保持部保持上述多个喷嘴中的一个喷嘴，上述多个保持部中的一个保持部能控制以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴中的上述一个喷嘴的位置；以及
检测部，该检测部能检测与以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴各自的位置相对应的量。
2.如权利要求1所述的涂敷装置，其中，
上述检测部能检测上述多个喷嘴中的至少一个喷嘴与上述涂敷杆的接触。
3.如权利要求1所述的涂敷装置，其中，
上述检测部包括电阻检测部，
上述电阻检测部能检测上述多个喷嘴分别与上述涂敷杆之间的电阻。
4.如权利要求3所述的涂敷装置，其中，
上述涂敷装置还具备多个端子，
上述多个端子中的一个端子与上述多个喷嘴中的上述一个喷嘴电连接，
上述多个端子中的另一个端子与上述多个喷嘴中的另一个喷嘴电连接。
5.如权利要求1所述的涂敷装置，其中，
上述检测部包括声音检测部，
上述声音检测部能检测分别从上述多个喷嘴产生的声音。
6.如权利要求1所述的涂敷装置，其中，
上述检测部包括应力检测部，
上述应力检测部能检测分别施加在上述多个喷嘴上的应力。
7.如权利要求6所述的涂敷装置，其中，
上述应力检测部包括上述多个应力检测元件，
上述多个应力检测元件中的一个应力检测元件设在上述多个保持部中的上述一个保持部，
上述多个应力检测元件中的另一个应力检测元件设在上述多个保持部中的另一个保持部。
8.如权利要求1所述的涂敷装置，其中，
上述检测部包括光检测部，
上述光检测部能检测分别从上述多个喷嘴获得的光。
9.如权利要求1所述的涂敷装置，其中，
上述检测部包括拍摄部，
上述拍摄部能检测上述多个喷嘴各自的影像。
10.如权利要求1～9中任一项所述的涂敷装置，其中，
上述涂敷装置还具备控制部，
上述控制部基于由上述检测部检测的上述量控制上述多个保持部，能使上述多个保持部控制以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴各自的位置。
11.如权利要求1～10中任一项所述的涂敷装置，其中，
上述涂敷装置还具备支撑部，
上述支撑部支撑上述多个保持部，
上述支撑部能变更以上述涂敷杆为基准的上述多个保持部的相对位置。
12.如权利要求1～10中任一项所述的涂敷装置，其中，
上述涂敷装置还具备支撑部，
上述支撑部支撑上述多个保持部，
上述支撑部能控制上述多个保持部，能变更上述多个喷嘴的延伸方向。
13.如权利要求1～11中任一项所述的涂敷装置，其中，
能在上述被涂敷构件与上述涂敷杆之间形成出由从上述多个喷嘴供给的上述液体形成的弯月面。
14.一种涂敷方法，其中，该涂敷方法具备以下步骤：
检测与以涂敷杆为基准的多个喷嘴各自的位置相对应的量，该涂敷杆能与被涂敷构件相向；以及
基于上述量控制分别保持上述多个喷嘴的多个保持部，控制以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴各自的位置，从上述多个喷嘴向上述涂敷杆供给液体，向上述被涂敷构件涂敷上述液体。
15.如权利要求14所述的涂敷方法，其中，
在上述液体的上述涂敷中，上述多个喷嘴与上述涂敷杆接触。
16.如权利要求14所述的涂敷方法，其中，
上述量的上述检测包括对上述多个喷嘴分别与上述涂敷杆之间的电阻的检测。
17.如权利要求14所述的涂敷方法，其中，
上述量的上述检测包括对分别从上述多个喷嘴产生的声音的检测。
18.如权利要求14所述的涂敷方法，其中，
上述量的上述检测包括对分别施加在上述多个喷嘴上的应力的检测。
19.如权利要求14所述的涂敷方法，其中，
上述量的上述检测包括对分别从上述多个喷嘴获得的光的检测。
20.如权利要求14所述的涂敷方法，其中，
上述量的上述检测包括对上述多个喷嘴各自的影像的检测。
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