JP2002075640A - 有機ｅｌ表示装置の製造方法およびその製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 有機ＥＬ材料の跳ね返りを防止でき、有機Ｅ
Ｌ材料の塗布制御を簡易化できる有機ＥＬ表示装置の製
造方法およびその製造装置を提供すること。 【解決手段】 本発明の有機ＥＬ表示装置の製造方法
は、有機ＥＬ材料をガラス基板Ｓ上に所定のパターン形
状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造する有機ＥＬ表示
装置の製造方法において、有機ＥＬ材料を塗布すべき所
定のパターン形状に応じた溝１１をガラス基板Ｓ上に形
成しておき、この溝１１にノズル４ａ〜４ｃを沿わせる
ようにガラス基板Ｓとノズル４ａ〜４ｃとを相対的に移
動させて、ノズル４ａ〜４ｃからの有機ＥＬ材料を溝１
１内に流し込んで塗布する過程を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、有機ＥＬ（エレク
トロルミネッセンス）材料を基板上に所定のパターン形
状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造する有機ＥＬ表示
装置の製造方法およびその製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の有機ＥＬ表示装置は、次に説明す
るようにして製造されている。先ず、ガラス基板の表面
上に透明なＩＴＯ（インジウム錫酸化物）膜を成膜す
る。次に、このガラス基板上に成膜されたＩＴＯ膜を、
フォトリソグラフィー技術を用いて、複数本のストライ
プ状の第１電極にパターニング形成する。この第１電極
は陽極に相当するものである。次に、ストライプ状の第
１電極を囲むようにしてガラス基板上に突出させる電気
絶縁性の隔壁を、フォトリソグラフィー技術を用いて形
成する。

【０００３】そして、インクジェット方式のノズルから
有機ＥＬ材料を隔壁内のストライプ状の第１電極に向け
て噴出させて、隔壁内のストライプ状の第１電極上に有
機ＥＬ材料を塗布する。具体的には、ある隔壁内のスト
ライプ状の第１電極上には、赤色の有機ＥＬ材料用のイ
ンクジェット方式のノズルによって赤色の有機ＥＬ材料
が塗布される。赤色の有機ＥＬ材料が塗布された第１電
極に隣接する一方の第１電極上には、緑色の有機ＥＬ材
料用のインクジェット方式のノズルによって緑色の有機
ＥＬ材料が塗布される。緑色の有機ＥＬ材料が塗布され
た第１電極に隣接する次の第１電極上には、青色の有機
ＥＬ材料用のインクジェット方式のノズルによって青色
の有機ＥＬ材料が塗布される。青色の有機ＥＬ材料が塗
布された第１電極に隣接する次の第１電極上には、赤色
の有機ＥＬ材料が塗布される。このように、赤，緑，青
色の有機ＥＬ材料がその順に個別に第１電極上に塗布さ
れる。

【０００４】次に、第１電極に直交するように対向させ
るストライプ状の第２電極を真空蒸着法によりガラス基
板上に複数本並設するように形成して、第１電極と第２
電極との間に有機ＥＬ材料を挟み込んでいる。この第２
電極は陰極に相当するものである。このようにして、第
１電極と第２電極とが単純ＸＹマトリクス状に配列され
たフルカラー表示可能な有機ＥＬ表示装置が製造されて
いる。

【０００５】ここで、この有機ＥＬ表示装置の発光原理
について説明する。第１電極（陽極）と第２電極（陰
極）とに直流電圧が印加されると、直流電圧が印加され
ている第１電極（陽極）と第２電極（陰極）との間の有
機ＥＬ材料には、第１電極（陽極）からの正孔が注入さ
れるとともに、第２電極（陰極）から電子が注入され、
この正孔と電子とが有機ＥＬ材料中で再結合することに
よって発光する。例えば、有機ＥＬ材料からこの第１電
極の方に出射された光は、透明な第１電極，ガラス基板
を介して出射される。また、有機ＥＬ材料からこの第２
電極の方に出射された光は、第２電極は不透明でありこ
の第２電極で反射されて、透明な第１電極，ガラス基板
を介して出射される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。すなわち、インクジェット方式のノズルから有機
ＥＬ材料をガラス基板上の隔壁内に噴出して塗布する際
に、このインクジェット方式のノズルから噴出された有
機ＥＬ材料の一部がガラス基板から跳ね返って周りに飛
散し、跳ね返った有機ＥＬ材料が周りの他の色の有機Ｅ
Ｌ材料に混入してしまい、有機ＥＬ材料が混色するとい
う問題がある。

【０００７】また、このインクジェット方式のノズル
を、有機ＥＬ材料を噴出すべき、隔壁内の各噴出位置に
合わせるようにＸＹ方向の二方向に高精度に制御する必
要があり、さらに、各噴出位置に合わせた時点で有機Ｅ
Ｌ材料を噴出させるという有機ＥＬ材料噴出のオンオフ
タイミングも高精度に制御する必要があり、有機ＥＬ材
料を塗布する際の制御が非常に煩雑であるという問題も
ある。

【０００８】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、有機ＥＬ材料の跳ね返りを防止でき、
有機ＥＬ材料の塗布制御を簡易化できる有機ＥＬ表示装
置の製造方法およびその製造装置を提供することを目的
とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、有機ＥＬ材料を基板上に
所定のパターン形状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造
する有機ＥＬ表示装置の製造方法において、有機ＥＬ材
料を塗布すべき所定のパターン形状に応じた溝を基板上
に形成しておき、この溝にノズルを沿わせるように基板
とノズルとを相対的に移動させて、前記ノズルからの有
機ＥＬ材料を前記溝内に流し込んで塗布する過程を備え
たことを特徴とするものである。

【００１０】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載の有機ＥＬ表示装置の製造方法において、有機Ｅ
Ｌ材料を窒素ガスの雰囲気中で基板上の前記溝内に流し
込んで塗布することを特徴とするものである。

【００１１】また、請求項３に記載の発明は、請求項１
または請求項２に記載の有機ＥＬ表示装置の製造方法に
おいて、前記有機ＥＬ材料は、基板上の前記溝内に拡が
るように流動する程度の粘性を有する材料であることを
特徴とするものである。

【００１２】また、請求項４に記載の発明は、有機ＥＬ
材料を基板上に所定のパターン形状に塗布して有機ＥＬ
表示装置を製造する有機ＥＬ表示装置の製造装置におい
て、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応
じた溝を基板上に形成しておき、この溝にノズルを沿わ
せるように基板とノズルとを相対的に移動させる移動手
段と、前記ノズルからの有機ＥＬ材料を前記溝内に流し
込んで塗布制御する塗布制御手段とを備えたことを特徴
とするものである。

【００１３】

【作用】請求項１に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応
じた溝を基板上に形成しておき、この溝にノズルを沿わ
せるように基板とノズルとを相対的に移動させて、ノズ
ルからの有機ＥＬ材料を溝内に流し込んで塗布するの
で、有機ＥＬ材料を基板に塗布する際のこの有機ＥＬ材
料の跳ね返りが防止され、有機ＥＬ材料の塗布制御が簡
易化される。

【００１４】また、請求項２に記載の発明によれば、有
機ＥＬ材料を窒素ガスの雰囲気中で基板上の溝内に流し
込んで塗布するので、有機ＥＬ材料は酸素や水蒸気など
に接触することなく基板上の溝内に流し込まれ、酸素や
水蒸気などとの接触に起因する有機ＥＬ材料の特性変化
が防止される。

【００１５】また、請求項３に記載の発明によれば、有
機ＥＬ材料は、基板上の溝内に拡がるように流動する程
度の粘性を有する材料であるとしているので、基板上の
溝内に流し込まれた有機ＥＬ材料は、自己の粘性によっ
て溝内に拡がるように流動してレベリングされ、均一な
厚みの有機ＥＬ材料が形成される。

【００１６】また、請求項４に記載の発明によれば、移
動手段は、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形
状に応じた溝を基板上に形成しておき、この溝にノズル
を沿わせるように基板とノズルとを相対的に移動させ
る。塗布制御手段は、ノズルからの有機ＥＬ材料を溝内
に流し込んで塗布制御する。したがって、有機ＥＬ材料
を基板に塗布する際のこの有機ＥＬ材料の跳ね返りが防
止され、有機ＥＬ材料の塗布制御が簡易化される。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を参
照しながら説明する。本発明の実施例に係る有機ＥＬ表
示装置の製造装置は、有機ＥＬ材料をガラス基板上に所
定のパターン形状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造す
るものである。図１は、本発明の実施例に係る有機ＥＬ
表示装置の製造装置の要部の概略構成を示すブロック図
である。

【００１８】本実施例に係る有機ＥＬ表示装置の製造装
置は、図１に示すように、赤，緑，青色の有機ＥＬ材料
１０ａ〜１０ｃの塗布を受けるガラス基板Ｓを載置する
ステージ１と、このステージ１を所定方向に移動させる
ステージ移動機構部２と、ガラス基板Ｓ上に形成された
位置合わせマークの位置を検出する位置合わせマーク検
出部３と、赤色の有機ＥＬ材料１０ａを赤色用のノズル
４ａに供給する第１供給部５と、緑色の有機ＥＬ材料１
０ｂを緑色用のノズル４ｂに供給する第２供給部６と、
青色の有機ＥＬ材料１０ｃを青色用のノズル４ｃに供給
する第３供給部７と、各色のノズル４ａ〜４ｃを所定方
向に移動させるノズル移動機構部８と、ステージ移動機
構部２と位置合わせマーク検出部３と第１〜第３供給部
５〜７とノズル移動機構部８とを制御する制御部９とで
構成されている。以下、各部の構成を詳細に説明する。

【００１９】なお、図２，図３に示すように、赤，緑，
青色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの塗布を受けるガラ
ス基板Ｓの表面上には、各色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１
０ｃを塗布すべき所定のパターン形状に応じたストライ
プ状の溝１１が複数本並設されるように形成されてい
る。図２は、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン
形状に応じた溝が表面上に形成されたガラス基板を上か
ら見た状態を示す概略平面図である。図３は、図２に示
したガラス基板の一部分の断面を示す概略断面図であ
る。

【００２０】ここで、各色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０
ｃの塗布を受けるガラス基板Ｓの製造工程について説明
する。先ず、平板状のガラス基板Ｓの表面上に透明なＩ
ＴＯ（インジウム錫酸化物）膜を成膜する。次に、この
ガラス基板Ｓ上に成膜されたＩＴＯ膜を、フォトリソグ
ラフィー技術を用いて、複数本のストライプ状の第１電
極１２にパターニング形成する。この第１電極１２は陽
極に相当するものである。次に、ストライプ状の第１電
極１２を囲むようにしてガラス基板Ｓ上に突出させる電
気絶縁性の隔壁１３を、フォトリソグラフィー技術を用
いて形成する。この隔壁１３は、例えば、クロム（Ｃ
ｒ）あるいはドライフィルムで形成されている。このよ
うにして、ガラス基板Ｓの表面上には、各色の有機ＥＬ
材料１０ａ〜１０ｃを塗布すべきストライプ状の溝１１
が複数本並設されて形成されている。なお、この溝１１
内でストライプ状の第１電極１２上には、正孔を積極的
に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの方に輸送する正孔輸送
層１４が形成されている。この正孔輸送層１４として
は、例えば、ＰＥＤＴ（polyethylene dioxythiophen
e）−ＰＳＳ（poly-styrene sulphonate ）を採用して
いる。溝１１の幅は、例えば100 μｍ程度であり、溝１
１の深さは、例えば1 〜10μｍ程度であり、溝１１と溝
１１との間の距離は、例えば10〜20μｍ程度である。こ
のようにして、各色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの塗
布を受ける状態にあるガラス基板Ｓを製造している。

【００２１】図１に戻って、第１供給部５は、例えば、
赤色の有機ＥＬ材料１０ａの供給源２０ａと、この供給
源２０ａから赤色の有機ＥＬ材料１０ａを取り出すため
のポンプ２１と、赤色の有機ＥＬ材料１０ａの流量を検
出する流量計２２と、赤色の有機ＥＬ材料１０ａ中の異
物を除去するためのフィルタ２３とを備えている。

【００２２】第２供給部６は、例えば、緑色の有機ＥＬ
材料１０ｂの供給源２０ｂと、この供給源２０ｂから緑
色の有機ＥＬ材料１０ｂを取り出すためのポンプ２１
と、緑色の有機ＥＬ材料１０ｂの流量を検出する流量計
２２と、緑色の有機ＥＬ材料１０ｂ中の異物を除去する
ためのフィルタ２３とを備えている。

【００２３】第３供給部７は、例えば、青色の有機ＥＬ
材料１０ｃの供給源２０ｃと、この供給源２０ｃから青
色の有機ＥＬ材料１０ｃを取り出すためのポンプ２１
と、青色の有機ＥＬ材料１０ｃの流量を検出する流量計
２２と、青色の有機ＥＬ材料１０ｃ中の異物を除去する
ためのフィルタ２３とを備えている。

【００２４】上述した赤色，緑色，青色の有機ＥＬ材料
１０ａ〜１０ｃとしては、例えば、ガラス基板Ｓ上の溝
１１内に拡がるように流動する程度の粘性を有する有機
性のＥＬ材料を採用すれば良く、ここでは上述した程度
の粘性を有する各色毎の高分子タイプの有機ＥＬ材料を
採用している。この各色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃ
の粘度は、例えば、塗布工程時の温度条件（例えば、２
３°Ｃ）において、２〜１５ｍＰａ・s （ミリパスカル
秒）の範囲内であるものとしている。

【００２５】図４に示すように、ノズル移動機構部８
は、各色のノズル４ａ〜４ｃと、これらのノズル４ａ〜
４ｃを並設した状態で保持する保持部材３１と、この保
持部材３１を支持軸３４の周りに回動自在に支持する支
持部材３２と、この支持部材３２を沿わせて移動させる
ためのガイド部材３３とを備えている。図４（ａ）は、
ノズル移動機構部の概略斜視図であり、図４（ｂ）は、
ノズル移動機構部を上から見た概略平面図であり、図４
（ｃ）は、保持部材を支持部材の支持軸周りに回動させ
た状態を示す概略平面図である。支持部材３２には、保
持部材３１のノズル並設面に直交する方向に支持軸３４
が設けられている。保持部材３１には、この支持軸３４
と嵌合させるための嵌合孔３５が設けられている。支持
部材３２の支持軸３４に保持部材３１の嵌合孔３５が嵌
合されており、支持部材３２は、保持部材３１を支持軸
３４周りに回動自在に支持している。例えば、図４
（ｃ）に示すように、保持部材３１を支持軸３４周りに
回動させることで、図４（ｂ）に示す状態における各色
の塗布ピッチ間隔Ｐ１よりも狭い塗布ピッチ間隔Ｐ２に
することができ、各色の塗布ピッチ間隔を狭くするよう
に調整できる。なお、これらのノズル４ａ〜４ｃにおけ
る有機ＥＬ材料を出力するための穴径は、ガラス基板Ｓ
に形成された溝１１の幅より小さく、例えば数十μｍ程
度であり、ここでは10〜70μｍとしている。

【００２６】位置合わせマーク検出部３としては、例え
ば、ＣＣＤカメラを採用している。位置合わせマーク検
出部３は、制御部９からの指示を受けると、図２に示し
たガラス基板Ｓの四隅にそれぞれ形成された位置合わせ
マークＭをそれぞれ撮像し、これらの撮像した位置合わ
せマークＭの画像データを制御部９に出力する。

【００２７】制御部９は、位置合わせマーク検出部３で
撮像された画像データに基づいて位置合わせマークＭの
位置を算出する。制御部９には、ＣＡＤ（Computer Aid
ed Design ）を使って設計された第１電極１２や溝１１
などのレイアウトデータが予め与えられている。制御部
９は、位置合わせマークＭの位置の算出結果と、予め与
えられている溝１１のレイアウトデータとに基づいて、
塗布のスタートポイント、すなわち、ガラス基板Ｓの溝
１１の一方の端部側で塗布を開始する塗布開始位置（後
述する塗布開始位置Ｂに相当する）を算出する。なおこ
こでは、ガラス基板Ｓに形成された位置合わせマークＭ
を４点としているが、例えば２点とするなど、４点以外
の点数であっても良い。

【００２８】制御部９は、図５に示すように、ステージ
１を所定方向（ｙ方向）に所定量だけ移動させるように
ステージ移動機構部２を制御し、ノズル４ａ〜４ｃを所
定方向（ｘ方向）に所定量だけ移動させるようにノズル
移動機構部８を制御し、図１に示すように、第１〜第３
供給部５〜７の各流量計２２からの検出値ａ〜ｃに応じ
て、ノズル４ａ〜４ｃから所定流量の有機ＥＬ材料１０
ａ〜１０ｃを流し出すように第１〜第３供給部５〜７の
各ポンプ２１に指令ｄ〜ｆを出力する。図５は、ステー
ジとノズルの移動方向を説明するための概略斜視図であ
る。

【００２９】なお、上述したステージ移動機構部２とノ
ズル移動機構部８とが本発明における移動手段に相当
し、上述した制御部９が本発明における塗布制御手段に
相当する。

【００３０】次に上記のように構成された実施例装置に
よって有機ＥＬ表示装置を製造する製造工程について、
以下に説明する。

【００３１】図２，図３に示すように、有機ＥＬ材料１
０ａ〜１０ｃの塗布を受ける状態にあるガラス基板Ｓが
製造されるまでについては、上述したように既に説明済
みであるので、ステージ１上に載置されたガラス基板Ｓ
の溝１１に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを塗布する工程
から説明するものとする。

【００３２】制御部９は、ステージ１上に載置されたガ
ラス基板Ｓの四隅の位置合わせマークＭをそれぞれ撮像
するよう位置合わせマーク検出部３に指示を与える。位
置合わせマーク検出部３は、撮像した位置合わせマーク
Ｍの画像データを制御部９に出力する。制御部９は、位
置合わせマーク検出部３で撮像された画像データに基づ
いて位置合わせマークＭの位置を算出する。制御部９
は、位置合わせマークＭの位置の算出結果と、予め与え
られている溝１１のレイアウトデータとに基づいて、塗
布のスタートポイント、すなわち、ガラス基板Ｓの溝１
１の一方の端部側で塗布を開始する塗布開始位置Ｂを算
出する。制御部９は、図６に示すように、ガラス基板Ｓ
の溝１１の塗布開始位置Ｂにノズル４ａ〜４ｃが位置す
るように、ステージ移動機構部２とノズル移動機構部８
とを制御する。図６は、ノズルの移動経路を説明するた
めの模式図である。なお、ノズル移動機構部８の支持部
材３２は、赤，緑，青色の各ノズル４ａ〜４ｃが溝１１
の幅方向の中心付近にそれぞれ位置するように良好に調
整されている。

【００３３】次に、図６に示すように、ガラス基板Ｓの
溝１１の塗布開始位置Ｂにノズル４ａ〜４ｃが位置する
と、制御部９は、各ノズル４ａ〜４ｃからガラス基板Ｓ
上の溝１１内への有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの流し込
み開始を各ポンプ２１に指示するとともに、有機ＥＬ材
料１０ａ〜１０ｃをガラス基板Ｓ上の溝１１に沿わせな
がらこの溝１１内に流し込むように支持部材３２をガイ
ド部材３３に沿わせて移動させるように制御する。この
ように、赤，緑，青色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃが
同時にそれぞれの溝１１に流し込まれていく。制御部９
は、ガラス基板Ｓの溝１１の他方の端部側で塗布を停止
する塗布停止位置Ｅにノズル４ａ〜４ｃが位置すると、
各ノズル４ａ〜４ｃからガラス基板Ｓ上の溝１１内への
有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの流し込みを停止させるよ
う各ポンプ２１に指示するとともに、支持部材３２のガ
イド部材３３に沿わせる移動を停止させる。なお、制御
部９は、ストライプ状の溝１１の各ポイントにおける有
機ＥＬ材料の塗布量が均一となるように、ノズル４ａ〜
４ｃの移動速度に応じてその塗布量を制御するようにし
ている。このようにして、三列分の溝１１への有機ＥＬ
材料１０ａ〜１０ｃの塗布が完了する。図７に示すよう
に、溝１１内の正孔輸送層１４上に流し込まれた有機Ｅ
Ｌ材料１０ａ〜１０ｃは、自己の粘性によってこの溝１
１内に拡がるように流動してレベリングされ、均一な厚
みの有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃが形成されている。溝
１１内に流し込まれた有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの厚
みは、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの流し込み量によっ
て調整できるが、ここではこの有機ＥＬ材料１０ａ〜１
０ｃの厚みは0.1 μｍ程度に形成されている。

【００３４】次に、図６に示すように、ステージ１をｙ
方向に溝１１三列分だけピッチ送りして、次の三列分の
溝１１への有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの塗布を行える
ようにする。前述した最初の溝１１三列分では、溝１１
の左端側を塗布開始位置Ｂとし、溝１１の右端側を塗布
停止位置Ｅとして、ノズル４ａ〜４ｃを溝１１に沿うよ
うに左から右に移動させてそれぞれの溝１１内に有機Ｅ
Ｌ材料１０ａ〜１０ｃを流し込んだが、次の溝１１三列
分では、溝１１の右端側を塗布開始位置Ｂとし、溝１１
の左端側を塗布停止位置Ｅとして、ノズル４ａ〜４ｃを
溝１１に沿うように右から左に移動させてそれぞれの溝
１１内に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し込むように
する。

【００３５】そして、ガラス基板Ｓ上の残りの溝１１に
ついても、前述の動作を繰り返し実行することで、各色
の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを溝１１ごとに流し込む
ようにする。このようにして、赤，緑，青色の有機ＥＬ
材料１０ａ〜１０ｃがストライプ状の溝１１ごとに赤，
緑，青色の順に配列された、いわゆる、ストライプ配列
が形成される。なお、図６に示す半円状の破線は、各ノ
ズル４ａ〜４ｃが次の三列分の溝１１に移行することを
示すものであり、各ノズル４ａ〜４ｃが、実際にこの破
線で示す半円状の経路で移動するのではない。上述した
ように、ステージ１をｙ方向に移動させてから、各ノズ
ル４ａ〜４ｃをｘ方向に移動させることで、溝１１内に
良好に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し込んでいる。

【００３６】次に、ガラス基板Ｓ上の全溝１１内への有
機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの塗布が完了すると、第１電
極１２に直交するように対向させるストライプ状の第２
電極１５を、真空蒸着法によりガラス基板Ｓ上に複数本
並設するように形成する。図８に示すように、第１電極
１２と第２電極１５との間に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０
ｃを挟み込んでいる。この第２電極１５は陰極に相当す
るものである。このようにして、第１電極１２と第２電
極１５とが単純ＸＹマトリクス状に配列されたフルカラ
ー表示可能な有機ＥＬ表示装置が製造される。

【００３７】このように、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃ
を塗布すべき所定のパターン形状に応じ溝１１をガラス
基板Ｓ上に形成しておき、この溝１１にノズル４ａ〜４
ｃを沿わせるようにガラス基板Ｓとノズル４ａ〜４ｃと
を相対的に移動させて、ノズル４ａ〜４ｃからの有機Ｅ
Ｌ材料１０ａ〜１０ｃを溝１１内に流し込んで塗布する
ので、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃをガラス基板Ｓに塗
布する際のこの有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの跳ね返り
を防止することができる。また、前述の従来例では、イ
ンクジェット方式のノズルを、隔壁内の各噴出位置に合
わせるようにＸＹ方向の二方向に高精度に制御するとと
もに、噴出位置に合わせた時点で有機ＥＬ材料を噴出さ
せるという有機ＥＬ材料噴出のオンオフタイミングも高
精度に制御する必要があり、有機ＥＬ材料を塗布する際
の制御が非常に煩雑であるという問題があったが、本実
施例では、ガラス基板Ｓ上の溝１１に沿って有機ＥＬ材
料１０ａ〜１０ｃを流し込んで塗布制御するだけで良い
ので、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの噴出位置と噴出の
オンオフタイミングとを高精度に制御するような必要は
なく、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃのガラス基板Ｓへの
塗布制御を簡易化できる。

【００３８】また、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃは、ガ
ラス基板Ｓ上の溝１１内に拡がるように流動する程度の
粘性を有する材料であるとしているので、ガラス基板Ｓ
上の溝１１内に流し込まれた有機ＥＬ材料１０ａ〜１０
ｃは、自己の粘性によって溝１１内に拡がるように流動
してレベリングされ、均一な厚みの有機ＥＬ材料１０ａ
〜１０ｃを形成できる。

【００３９】なお、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを窒素
ガスの雰囲気中でガラス基板Ｓ上の溝１１内に流し込ん
で塗布する場合では、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを酸
素や水蒸気などに接触させることなくガラス基板Ｓ上の
溝１１内に流し込むことができ、酸素や水蒸気などとの
接触に起因する有機ＥＬ材料の特性変化を防止できる。

【００４０】なお、本発明は以下のように変形実施する
ことも可能である。

【００４１】（１）上述した実施例では、ノズル４ａ〜
４ｃへの有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの流量を検出して
ノズル４ａ〜４ｃから流出させる有機ＥＬ材料１０ａ〜
１０ｃの流量をフィードバック制御しているが、有機Ｅ
Ｌ材料１０ａ〜１０ｃの圧力を圧力センサなどの圧力検
出手段で検出してノズル４ａ〜４ｃから流出させる有機
ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの流量をフィードバック制御し
ても良い。

【００４２】（２）上述した実施例では、図５に示すよ
うに、ガラス基板Ｓを載置したステージ１を、このガラ
ス基板Ｓ上の溝１１の長手方向（ｘ方向）に対して直交
する方向（ｙ方向）にピッチ送りしてから、ノズル４ａ
〜４ｃを溝１１の長手方向（ｘ方向）に移動させるよう
にして、ガラス基板Ｓの溝１１内に有機ＥＬ材料１０ａ
〜１０ｃを流し込んでいるが、ノズル４ａ〜４ｃをガラ
ス基板Ｓ上の溝１１の長手方向（ｘ方向）に対して直交
する方向（ｙ方向）にピッチ送りしてから、ステージ１
を溝１１の長手方向（ｘ方向）に移動させるようにし
て、ガラス基板Ｓの溝１１内に有機ＥＬ材料１０ａ〜１
０ｃを流し込んでも良い。また、ステージ１を固定と
し、ノズル４ａ〜４ｃをガラス基板Ｓ上の溝１１の長手
方向に対して直交する方向にピッチ送りしてから、この
ノズル４ａ〜４ｃをこの溝１１の長手方向に移動させる
ようにして、ガラス基板Ｓの溝１１内に有機ＥＬ材料１
０ａ〜１０ｃを流し込んでも良いし、ノズル４ａ〜４ｃ
を固定とし、ステージ１をガラス基板Ｓ上の溝１１の長
手方向に対して直交する方向にピッチ送りしてから、こ
のステージ１をこの溝１１の長手方向に移動させるよう
にして、ガラス基板Ｓの溝１１内に有機ＥＬ材料１０ａ
〜１０ｃを流し込んでも良い。

【００４３】（３）上述した実施例では、赤，緑，青色
の３個１組のノズル４ａ〜４ｃでガラス基板Ｓの各溝１
１内に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し込んでいる
が、この３個１組のノズル４ａ〜４ｃを複数組設けてガ
ラス基板Ｓの各溝１１内に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃ
を流し込んでも良い。こうすることで塗布処理にかかる
時間を短縮することができる。また、各ノズル４ａ〜４
ｃの間隔を、隣接する溝１１の間隔（ある溝１１の幅中
心からそれに隣接する溝１１の幅中心までの間隔）の４
の倍数分として配置し、溝１１の長手方向に対して直交
する方向にこれらのノズル４ａ〜４ｃを隣接する溝１１
の間隔の３倍分の距離でピッチ送りするようにしても良
い。こうすることでノズル間が広くなりメンテナンスが
容易となる。

【００４４】（４）上述した実施例では、基板をガラス
基板Ｓとしているが、光を透過させる性質を有するもの
であればガラス以外の材料の基板を採用しても良い。

【００４５】（５）上述した実施例では、ストライプ状
の第１電極１２と有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃとの間に
正孔輸送層１４を形成しているが、この正孔輸送層１４
は必須構成ではなく設けなくても良いし、第１電極１２
に対向配置される第２電極１５と有機ＥＬ材料１０ａ〜
１０ｃとの間に、電子を有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの
方に積極的に輸送する電子輸送層を形成しても良い。

【００４６】（６）上述した実施例では、ガラス基板Ｓ
上に複数並設されたストライプ状の第１電極１２間に隔
壁１３を形成するようにして第１電極１２上に溝１１を
形成しているが、図９に示すように、この第１電極１２
の端部側でその上部まで含めて隔壁１３を形成するよう
にして第１電極１２上に溝１１を形成しても良い。

【００４７】（７）上述した実施例では、図４（ｃ）に
示すように、保持部材３１を支持軸３４周りに回動させ
ることで、各色の塗布ピッチ間隔を調整しているが、図
１０に示すように、両端のノズル４ａ，４ｃに旋回機構
を持たせるようにして、各色の塗布ピッチ間隔を調整し
ても良い。

【００４８】（８）上述した実施例では、赤，緑，青色
の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃをストライプ配列に形成
しているが、図１１に示すように、赤，緑，青色の有機
ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃをスクエア配列に形成すること
もできる。この場合は、ガラス基板Ｓ上にスクエア状に
溝１１を形成しておき、このスクエア状の溝１１に沿っ
て各色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し込むように
することで実現できる。

【００４９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明によれば、有機ＥＬ材料を基板上に所定
のパターン形状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造する
有機ＥＬ表示装置の製造方法において、有機ＥＬ材料を
塗布すべき所定のパターン形状に応じた溝を基板上に形
成しておき、この溝にノズルを沿わせるように基板とノ
ズルとを相対的に移動させて、前記ノズルからの有機Ｅ
Ｌ材料を前記溝内に流し込んで塗布する過程を備えてい
るので、有機ＥＬ材料を基板に塗布する際のこの有機Ｅ
Ｌ材料の跳ね返りを防止でき、有機ＥＬ材料の塗布制御
を簡易化できる。

【００５０】また、請求項２に記載の発明によれば、有
機ＥＬ材料を窒素ガスの雰囲気中で基板上の溝内に流し
込んで塗布するので、有機ＥＬ材料を酸素や水蒸気など
に接触させることなく基板上の溝内に流し込むことがで
き、酸素や水蒸気などとの接触に起因する有機ＥＬ材料
の特性変化を防止できる。

【００５１】また、請求項３に記載の発明によれば、有
機ＥＬ材料は、基板上の前記溝内に拡がるように流動す
る程度の粘性を有する材料であるとしているので、基板
上の溝内に流し込まれた有機ＥＬ材料は、自己の粘性に
よって溝内に拡がるように流動してレベリングされ、均
一な厚みの有機ＥＬ材料を形成することができる。

【００５２】また、請求項４に記載の発明によれば、有
機ＥＬ材料を基板上に所定のパターン形状に塗布して有
機ＥＬ表示装置を製造する有機ＥＬ表示装置の製造装置
において、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形
状に応じた溝を基板上に形成しておき、この溝にノズル
を沿わせるように基板とノズルとを相対的に移動させる
移動手段と、前記ノズルからの有機ＥＬ材料を前記溝内
に流し込んで塗布制御する塗布制御手段とを備えている
ので、有機ＥＬ材料を基板に塗布する際のこの有機ＥＬ
材料の跳ね返りを防止でき、有機ＥＬ材料の塗布制御を
簡易化できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る有機ＥＬ表示装置の製造
装置の要部の概略構成を示すブロック図である。

【図２】有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状
に応じた溝が表面上に形成されたガラス基板を上から見
た状態を示す概略平面図である。

【図３】図２に示したガラス基板の一部分の断面を示す
概略断面図である。

【図４】（ａ）は本実施例のノズル移動機構部の概略斜
視図であり、（ｂ）はノズル移動機構部を上から見た概
略平面図であり、（ｃ）は保持部材を支持部材の支持軸
周りに回動させた状態を示す概略平面図である。

【図５】本実施例におけるステージとノズルの移動方向
を説明するための概略斜視図である。

【図６】本実施例におけるノズルの移動経路を説明する
ための模式図である。

【図７】本実施例装置によって有機ＥＬ材料が塗布され
たガラス基板の一部分の断面を示す概略断面図である。

【図８】本実施例装置によって製造された有機ＥＬ表示
装置の一部分の断面を示す概略断面図である。

【図９】本実施例とは別の有機ＥＬ表示装置の一部分の
断面を示す概略断面図である。

【図１０】本実施例とは別のノズル移動機構部を示す概
略平面図である。

【図１１】有機ＥＬ材料のスクエア配列を説明するため
の模式図である。

【符号の説明】

１ … ステージ ２ … ステージ移動機構部（移動手段） ４ａ… 赤色用のノズル ４ｂ… 緑色用のノズル ４ｃ… 青色用のノズル ８ … ノズル移動機構部（移動手段） ９ … 制御部（塗布制御手段） １０ａ… 赤色の有機ＥＬ材料 １０ｂ… 緑色の有機ＥＬ材料 １０ｃ… 青色の有機ＥＬ材料 １１ … 溝 Ｓ … ガラス基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高村 幸宏 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 松永 実信 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 Ｆターム(参考） 3K007 AB04 AB18 BA06 CA01 CB01 DA01 DB03 EB00 FA01

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 有機ＥＬ材料を基板上に所定のパターン
   形状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造する有機ＥＬ表
   示装置の製造方法において、 有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じた
   溝を基板上に形成しておき、この溝にノズルを沿わせる
   ように基板とノズルとを相対的に移動させて、前記ノズ
   ルからの有機ＥＬ材料を前記溝内に流し込んで塗布する
   過程を備えたことを特徴とする有機ＥＬ表示装置の製造
   方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の有機ＥＬ表示装置の製
   造方法において、 有機ＥＬ材料を窒素ガスの雰囲気中で基板上の前記溝内
   に流し込んで塗布することを特徴とする有機ＥＬ表示装
   置の製造方法。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の有機Ｅ
   Ｌ表示装置の製造方法において、 前記有機ＥＬ材料は、基板上の前記溝内に拡がるように
   流動する程度の粘性を有する材料であることを特徴とす
   る有機ＥＬ表示装置の製造方法。
4. 【請求項４】 有機ＥＬ材料を基板上に所定のパターン
   形状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造する有機ＥＬ表
   示装置の製造装置において、 有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じた
   溝を基板上に形成しておき、この溝にノズルを沿わせる
   ように基板とノズルとを相対的に移動させる移動手段
   と、 前記ノズルからの有機ＥＬ材料を前記溝内に流し込んで
   塗布制御する塗布制御手段とを備えたことを特徴とする
   有機ＥＬ表示装置の製造装置。