JP2014504422A - 電子ユニットの製造に使用するための印刷方法 - Google Patents

Abstract

規則的に繰り返される構造的特徴からなる１本以上の線を基板上に形成して備えており、前記構造的特徴が各々の線に沿って規則的な間隔で繰り返されている電子ユニットの製造に使用される印刷方法。この方法は、第１の印刷ヘッド配置を使用して、前記線の各々に沿って第１のピッチで或る組成物からなる各部分を印刷するステップと、第２の印刷ヘッド配置を使用して、前記線の各々に沿って第２のピッチで前記組成物からなる各部分を印刷するステップとを含んでおり、前記第１および第２のピッチが協働して、前記規則的に繰り返される構造的特徴の前記間隔に一致するうなりの波長を有するうなりのパターンを、前記線の各々に沿って生じさせる。
【選択図】図８

Description

本発明は、規則的に繰り返される構造的特徴からなる１本以上の線を基板上に形成して備えている電子ユニットの製造に使用するための印刷方法に関する。例えば、本発明を、表示装置の画素などの光電子要素のアレイにおいて有機層を印刷するために使用することができる。

基板上に発光ダイオード（ＬＥＤ）などの光電子デバイスを形成するための技術が知られている。基板上に支持されて、そのようなデバイスの各々は、電子発光（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ）材料の層をアノードおよびカソードと称される２つの電極の間に配置して備えている。さらにデバイスは、電子発光層と一方の電極との間に配置された電荷注入層および／または電荷輸送層を備えることができる。最近のデバイスにおいては、電子発光層を、電荷注入層、および／または電荷輸送層を、有機ポリマーで形成することができる。１つ以上のそのような有機層を備えるＬＥＤを、有機ＬＥＤ（ＯＬＥＤ）と称することができる。特定の用途においては、コンピュータ、テレビ受像機、携帯端末、または他の電気機器の電子表示装置などのユニットを製造するために、これらの要素デバイスのアレイを、ガラスまたはプラスチックなどの基板を覆って形成することができる。

図１が、典型的な表示パネルの概略の上面図を示している。表示パネルが、表示装置の画素が形成されるアレイ領域１０４を有する基板１０２を備えている。アレイ領域１０４に、チャネル領域１０６の形態の複数の構造的な線が定められている。各々の線またはチャネル領域１０６が、チャネル領域１０６の長さに沿って一定の間隔で形成されたより小さな画素領域１０８の行を備えている。基板１０２およびアレイ領域１０４は、典型的にはどちらも正方形または矩形であって同じ向きであり、したがって図示の通りのアレイ領域の水平および鉛直方向に、直交する軸ＸおよびＹが定められ、これらに垂直なＺ軸が、基板１０２およびアレイ領域１０４の平面に対して垂直（すなわち、紙面から抜け出る方向）である。この場合、画素領域１０８は、典型的には、アレイ領域の水平方向の長さ（Ｘ方向）に沿った行およびアレイ領域の鉛直方向の長さ（Ｙ方向）に沿った列に配置される。図示の例では、チャネル領域１０６が、アレイ領域１０４の水平方向の長さの全体に（Ｘ方向に）延びる長手方向を有している。各々の画素領域１０８そのものも、それぞれのチャネル１０６に整列した長手軸を有しており、各々が、チャネル１０６に対して垂直な方向よりもむしろチャネル１０６に沿う方向において長い。

図２が、表示パネルの画素領域１０８に形成することができるＯＬＥＤなどの典型的な発光デバイスの層の概略の側面断面図を示している。パネルの形成方法は、基板２０２を用意し、基板２０２上にアノード材料２０４の部分を形成することによって始まる。好ましくは、光を基板２０２を通って放射することができるよう、基板２０２が、ガラスまたは適切なプラスチックなどの透明な材料で形成され、アノード２０４が、酸化インジウムすず（ＩＴＯ）などの透明な導体で形成される。

各々のチャネル領域１０６を、アレイ領域１０４において基板１０２に形成される縦長のウェル（ｗｅｌｌ）（図１の例ではＸ方向に延びている）によって定めることができる。この場合には、各々のウェルが、ウェルの側面を定めるフォトレジストなどの分離材料２１４からなる土手と、ウェルの底に位置するアノード材料２０４の帯によって形成されている。各々のチャネル領域１０６は、例えば長さにおける一定の間隔の地点（すなわち、図１の例における周期的なＸ座標）において繰り返されるウェルの先細りおよび／または中断など、別々の要素画素領域１０８を定める構造的に繰り返される特徴を、チャネル領域１０６の長さに沿って有している。次いで、ウェルの画素領域１０８において、正孔注入層２０６がアノード２０４を覆って形成され、正孔輸送層２０８が正孔注入層を覆って形成され、半導体電子発光層２１０が正孔輸送層２０８を覆って形成され、カソード２１２が電子発光層２１０を覆って形成される。

出来上がったデバイスの動作において、アノード２０４とカソード２１２との間に適切な電位差が加えられると、正孔（ｈ^＋）がアノード１０４からデバイスに注入され、電子（ｅ⁻）がカソード２１２から注入される。正孔と電子とが電子発光層２１０において結合することによって、励起が生じ、励起が衰えるときに光が発せられる。アノード２０４からの正孔の注入は、正孔注入層２０６によって補助され、アノード２０４から電子発光層２１０への正孔の輸送は、正孔輸送層２０８によって補助される。

例えば基板を覆って形成されたカソードと、上部電極としてのアノードとを有する構成、および／または電子注入層および電子輸送層をカソードと電子発光層との間に備える構成など、他の構成も可能である。

上述のように、正孔注入層２０６、正孔輸送層２０８、および／または電子発光層２１０の各々を、有機ポリマーで形成することができる。有機ポリマー層の利点は、それらを低コストでの製造および成膜プロセスのより良好な制御を可能にする膜形成ポリマー材料の溶液処理によって付着させることができる点にある。そのような技術は、所望のポリマー材料を含んでいる溶液を該当の表面に塗布し、蒸発または他のそのような乾燥技法によって溶媒を乾燥させて除くことによって、残りのポリマー材料の膜を残すことからなる。有機ポリマーの利点が、いくつかの適切な溶液および成膜技法とともに、国際特許出願公開第２００６／１２３１６７号において検討されている。

正孔注入層２０６を形成するために、使用される溶質は、「有効」成分を典型的にはより多くの量のホスト「マトリクス」成分でドープしてなる正孔注入材料であってよい。有効成分が、正孔の注入を促進する能力に関して実際に選択される成分である一方で、マトリクス成分は、電荷の平衡用の対イオンである。ＷＯ２００６／１２３１６７に開示の正孔注入材料の１つの具体例が、ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳである。すなわち、ポリスチレンスルホン酸（「ＰＳＳ」）からなるマトリクス成分でドープされたポリエチレン−ジオキシチオフェン（「ＰＥＤＯＴ」、または単に「ＰＥＤＴ」の場合もある）からなる有効成分である。ＰＳＳは、成膜技法に適した溶液を生成すべく水に溶かすことが可能である。近年では、ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ以外の別の正孔注入材料も提供されている。例えば、Ｐｌｅｘｔｒｏｎｉｃｓ社が、有効成分としてのスルホン化ポリチオフェン誘導体と、マトリクス成分としてのポリ−（４−ビニルフェノール）（ＰＶＰｈ）とを含む「ＰＬＥＸ」と称される一連の材料を製造している。ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳと異なり、ジエチレングリコールなどの追加の溶媒が、成膜用の溶液において使用される。

有機層２０６、２０８、２１０などのパネルの特徴を付着させるために使用することができる１つの技法は、例えば有機層を付着させるために有機の導電または半導体ポリマーの溶液を含んでいるインクを使用するインクジェット印刷である。この文脈において、インクが、必ずしも着色を意味せず、むしろ溶質を付着させるために印刷し、次いで乾燥させることが可能な任意の溶液を指すことができることに、注意すべきである。

この目的のため、ノズル１１２の行を備える印刷ヘッド１１０を備えることができる。ノズルの行が、チャネル領域１０６の方向（図１のＸ方向）に平行に向けられ、印刷ヘッド１１０および基板１０２が、チャネル領域１０６を横切る印刷方向Ｐの印刷パスを実行するようにお互いに対して移動する（すなわち、図１のＹ方向に移動する）。このやり方で基板１０２に対して移動して、印刷ヘッド１１０は、各々のチャネル領域１０６に連続的に印刷を行う。さらに、ノズル１１２は、行に沿って一定の間隔で配置され、好ましくは画素領域１０８ごとに複数のノズルが存在している。したがって、印刷ヘッド１１０が、連続する各々のチャネル１０６の上方を次々と移動するときに、それぞれのチャネル１０６の各々の画素領域１０８に有機インクの多数の液滴を同時に印刷する。

国際特許出願公開第２００６／１２３１６７号

上述の構成においては、有機インクでの印刷時に縦長の画素領域１０８の両端が適切に「濡れ」ない可能性があるという点で、問題が存在する。すなわち、インクの液滴が、乾燥までに画素領域１０８の全表面に流れることができず、画素の端部に覆われない領域が残る可能性がある。例示の目的で、この問題の例を、図３および４に関して検討する。

一般的なインクジェットシステムは、図３に概略的に示される通り、固定された矩形の液滴可能位置の格子を使用する。印刷方向に対して横方向の格子の間隔（印刷「ピッチ」λ）は、ノズル１１２の間隔によって決定され、印刷に沿った格子の間隔は、ヘッド１１２と基板１０２との間の相対移動の速度および液滴の生成速度（噴射周波数）によって決定される。

図４の例を参照すると、有機正孔注入層２０６の印刷方法は、ステップ（ｉ）において、チャネル領域１０６に沿って形成された規則的な繰り返しの画素領域１０８を有している上述の種類の基板を用意することによって始まることができる。チャネル１０６は、フォトレジストの土手２１４とアノードの底２０４とによって形成された縦長のウェルによって定められている。要素画素領域１０８の間の境界は、レジスト２１４の「中断領域」２０４’によって定められている。これらの中断領域は、チャネル１０６に沿って一定の間隔で生じる地点であり、そこではレジスト材料２１４が、ウェルの狭い部分を形成するように先細りであり、次いで再び広がる前に不連続になっている（他方で、アノード材料２０４は、好ましくはチャネル１０６に沿って連続したままである）。したがって、各々の画素領域１０８は、２つの向かい合う側面においてはレジストの土手２１４によって境界付けられ、長手方向の両端においては２つの向かい合う中断領域２０４’によって境界付けられている。

ステップ（ｉｉ）において、印刷ヘッド１１０は、特定のチャネル領域１０６の上方の位置に移動するとき、チャネル１０６に沿った複数の画素に複数のノズル１１２から並行してインクの液滴２０６ｓを印刷する。インク２０６ｓは、アノードの底２０４の上方に正孔注入層２０６を形成する有機ポリマーの溶液を含んでいる。ノズル１１２の間隔ゆえに、インクの液滴２０６ｓは、チャネル１０６の方向に沿って特定の印刷「ピッチ」λ（すなわち、特定の空間周波数）で印刷される。ノズル１１２は、複数の液滴が印刷ピッチλにて画素の長手軸に沿って各々の画素領域２０８に並行して印刷されるよう、画素領域２０８よりも高い密度（小さい間隔）で配置されている。

しかしながら、中断領域２０４’を有機インク２０６ｓで濡らすことが困難である可能性がある。すなわち、インクの液滴２０６ｓが、乾燥までに画素領域１０８の表面全体に充分には流れない可能性がある。結果として、インク２０６ｓがステップ（ｉｉｉ）において乾くとき、下方のアノード２０４の一部分が、正孔注入層の材料２０６に覆われることなく残される可能性がある。その後に、正孔輸送層２０８および電子発光層２１０が、（例えば通常はやはりインクジェット印刷によって）正孔注入層２０６の上に成膜されるとき、正孔注入層２０６の形状に従う傾向にある。しかしながら、カソード２１２のパターンは、例えばシャドウマスクによってより無差別に形成される可能性があるため、すなわちカソード２１２が短絡し、アノード２０４との電気的な接触が生じる可能性がある。これは、デバイスの不具合につながる。

濡れにおける同様の問題が、電子ユニットのあらゆる規則的な繰り返しの領域への印刷時に生じる可能性がある。

この種の問題に対処するために、印刷密度の規則的な局所的増加をもたらすように、印刷密度に或る程度の非一様性を実現することが望ましいと考えられる。すなわち、液滴可能位置の格子が等間隔ではなくなるように、特定の領域において液滴２０６ｓをより高い密度で印刷することが望まれる可能性がある。例えば、これにより、画素における膜の断面を操作し、あるいは画素領域２０８を流体インク２０６ｓで強制的に濡らすことが、可能になると考えられる。上述のように、「中断」領域２０４’は、印刷されたインク２０６ｓで濡らすことが困難である可能性があるため、中断領域により多くの液滴を印刷することが、チャネルを濡らすうえで役に立つ可能性がある。

一般に、表示装置の印刷および他の機能的な印刷においては、基板が規則的な特徴によって構造付けられていることが多いため、パターンが施された領域に対して規則的な繰り返しにて変化する液滴の密度を使用して印刷を行うことが好都合であると考えられる他の用途が、さらに存在すると考えられる。

これを、印刷の方向においては、ヘッド−基板の相対速度を変化させ、あるいは液滴の生成の速度を変化させることによって、達成することができる。しかしながら、ピッチλがノズルの間隔によって決定される印刷方向Ｐを横切る方向においては、これを変更することが困難である。上述の例では、中断領域２０４’に液滴をより高い密度で付着させることが望まれる可能性があるが、そのためには、ノズルのピッチを効果的に変化させる必要があると考えられる。

１つの解決策は、横方法にずらしたうえで第２の印刷パスを実行し、第２の印刷パスの際に中断の上方を通過する特定のノズルから追加の液滴２０６ｓだけを印刷することであると考えられる。しかしながら、第２のパスは、印刷プロセスを大幅に遅くしてしまう。あるいは、１つ以上のさらなる印刷ヘッド１１０を追加して、２つのヘッドからのノズル１１２が互いにずらされているアセンブリを形成することによって、アセンブリの効果的なノズルピッチを小さくすることができる。これが、水平方向にずらされた２つの印刷ヘッドによって達成されるより細かい液滴可能位置の格子を示している図５に概略的に示されている。しかしながら、これは、第２の印刷ヘッドのノズルのうちの一部（図５において「ｘ」と記されており、画素の縁の中断領域２０４’に一致するノズル）しか使用されないことを意味すると考えられる。しかしながら、これは、第２のヘッドのノズル１１２の一部が、画素の中央において使用されないまま残され、無駄であると考えられる。すなわち、図４および５の例は、中断領域２０４’においてのみより高い液滴の密度を必要とするため、追加のヘッドによってもたらされるノズルのうちの少数だけしか実際には使用されない。これは、印刷システムに望まれない費用を追加する。同様の解決策は、単純にノズルアレイ１１２の分解能を高めることであるが、この分解能で使用されるのは特定のノズルだけであり、やはり一部のノズル１１２が使用されずに残ることを意味する。

したがって、別の解決策を見つけることが望ましいと考えられる。

本発明の一態様によれば、規則的に繰り返される構造的特徴からなる１本以上の線を基板上に形成して備えており、前記構造的特徴が各々の線に沿って規則的な間隔で繰り返されている電子ユニットの製造に使用される印刷方法が提供され、そのような方法は、第１の印刷ヘッド配置を使用して、前記線の各々に沿って第１のピッチで或る組成物からなる各部分を印刷するステップと、第２の印刷ヘッド配置を使用して、前記線の各々に沿って第２のピッチで前記組成物からなる各部分を印刷するステップとを含んでおり、前記第１および第２のピッチが協働して、前記規則的に繰り返される構造的特徴の間隔に一致するうなりの波長を有するうなりのパターンを、前記線の各々に沿って生じさせる。

各々が印刷方向を横切る方向に異なる印刷ピッチを有している２つ以上の異なる印刷ヘッド配置による印刷によって、異なるピッチゆえに「うなり」を生じるバーニア型のパターンを印刷することができる。これが、第３のピッチ（基礎をなす２つの印刷ピッチから由来する）での局所的な印刷密度の増大をもたらし、この第３の密度を、構造パターンによる基板上の特徴（例えば、表示装置の基板上の画素）のピッチに一致させることができる。例えば、図８（ｉｉ）に概略的に示される液滴２０６ｓを参照されたい。したがって、より高い印刷密度を、例えば画素２０８の端部など、より高い印刷密度が有利であると考えられる領域において達成することができる。うなりのパターンは、チャネル領域の繰り返しの構造にとって適切である通りに、チャネル領域に沿って密度を変えながら材料を印刷することを好都合に可能にする。したがって、異なるピッチを有する２つの印刷ヘッド配置からのバーニア型のパターンを利用することによって、冗長なノズルを持つことなく、周期的かつ局所的な分解能の向上が好都合に達成される。すなわち、本発明は、望ましくない冗長さにつながると考えられるすべての場所への高い密度の用意を必要としなくても、一部の領域に高い密度を使用することができるよう、印刷密度の繰り返しの空間的変化を可能にする。

いくつかの実施の形態においては、複数の前記線の各々を、基板上に長手方向に形成でき、前記第１および第２の印刷ヘッド配置を、前記線の長手方向を横切ることができる印刷方向にて基板に対して移動させることができる。

前記第１の印刷ヘッド配置が、前記線の各々に沿った異なるそれぞれの地点に前記組成物のそれぞれの部分を各々が印刷する規則的な間隔のノズルの行を有する印刷ヘッドの第１の事例を含むことができ、前記第２の印刷ヘッド配置が、前記第１の事例に対して斜めの角度に配置された前記印刷ヘッドの第２の事例を含むことができ、前記第１のピッチに対する前記第２のピッチが、前記ノズルの間隔および前記斜めの角度の結果である。

前記印刷ヘッドの前記第２の事例は、基板を横切る前記第１の事例と同じ印刷パスにて一緒に使用される別の印刷ヘッドを含むことができる。

前記印刷ヘッドの前記第２の事例は、基板を横切る次の印刷パスにて使用される同じ印刷ヘッドを含むことができる。

他の実施の形態においては、前記１本以上の線を、基板上に長手方向に形成でき、前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々が、前記線の長手方向に平行であってよい印刷方向にて基板に対して移動することができる。

前記第２の印刷ヘッド配置が、前記第１の印刷ヘッド配置とは異なる噴射周波数を有するように構成された１つ以上のノズルを備えることによって、前記１つ以上のノズルが前記線の長手方向に沿って移動するときに前記第１および第２のピッチをもたらすことができる。

前記規則的に繰り返される構造的特徴は、光電子要素に相当でき、前記線の各々が、基板上に形成された規則的に繰り返される光電子領域からなる線を備えることができ、前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々を、各々の線に沿ってそれぞれのピッチで各々の光電子領域に前記組成物からなる複数の部分を印刷するために使用することができる。

前記電子ユニットは、電子表示装置を備えることができ、前記規則的に繰り返される構造的特徴が、前記表示装置の画素に相当でき、前記線の各々が、基板上に長手方向に形成された規則的に繰り返される画素領域からなる行を備えることができ、前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々を、各々の行の長手方向に沿ってそれぞれのピッチで各々の画素領域に前記組成物からなる複数の部分を印刷するために使用することができる。

前記組成物は、前記線の各々に沿って有機ポリマーの層を付着させるための有機ポリマーの溶液を含むことができる。

前記有機ポリマーの層は、電荷担体注入層、電荷担体輸送層、および電子発光層のうちの１つを含むことができる。

前記組成物を、インクジェット印刷によって印刷することができる。

前記線の各々が、前記基板上に長手方向に形成された規則的に繰り返される構造的特徴を有するウェル領域を含むことができ、前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々を、各々のウェル領域に前記長手方向に沿ってそれぞれのピッチで前記組成物からなる複数の部分を印刷するために使用することができる。

前記ウェル領域の各々を、前記基板上を前記長手方向に沿って延びるフォトレジストからなる土手によって形成することができる。

前記線の各々が、前記基板上に形成された電極層を含むことができ、前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々を、前記電極層の上方に前記組成物からなる部分を印刷するために使用することができる。

前記電極層は、酸化インジウムすずで形成されたアノード層であってよい。

前記基板は、ガラスまたは透明なプラスチックを含むことができる。

前記第１および第２のピッチは、５：４の相対比率を有することができる。

前記第１のピッチは、実質的に７０μｍに等しくてよく、前記第２のピッチは、実質的に５６μｍに等しくてよい。

本発明の別の態様によれば、規則的に繰り返される構造的特徴からなる１本以上の線を基板上に形成して備えており、前記構造的特徴が各々の線に沿って規則的な間隔で繰り返されている電子ユニットの製造に使用するためのコンピュータプログラム製品が提供され、そのようなコンピュータプログラム製品は、コンピュータにとって読み取り可能な媒体上に具現化されたコードを含んでおり、該コードが、プロセッサ上で実行されたときに、前記線の各々に沿って第１のピッチで或る組成物からなる各部分を印刷するように第１の印刷ヘッド配置を制御するとともに、前記線の各々に沿って第２のピッチで前記組成物からなる各部分を印刷するように第２の印刷ヘッド配置を制御するように構成されており、前記第１および第２のピッチが協働して、前記規則的に繰り返される構造的特徴の間隔に一致するうなりの波長を有するうなりのパターンを、前記線の各々に沿って生じさせる。

いくつかの実施の形態においては、前記コードを、上述の方法の特徴のいずれかに従って前記印刷ヘッド配置を制御するようにさらに構成することができる。

本発明の別の態様によれば、規則的に繰り返される構造的特徴からなる１本以上の線を基板上に形成して備えており、前記構造的特徴が各々の線に沿って規則的な間隔で繰り返されている電子ユニットの製造に使用される印刷装置が提供され、そのような装置が、前記線の各々に沿って第１のピッチで或る組成物からなる各部分を印刷するように構成された第１の印刷ヘッド配置と、前記線の各々に沿って第２のピッチで前記組成物からなる各部分を印刷するように構成された第２の印刷ヘッド配置とを備えており、前記第１および第２のピッチが協働して、前記規則的に繰り返される構造的特徴の間隔に一致するうなりの波長を有するうなりのパターンを、前記線の各々に沿って生じさせる。

いくつかの実施の形態においては、この印刷装置を、上述の方法の特徴のいずれかに従った動作を実行するようにさらに構成することができる。

本発明の別の態様によれば、規則的に繰り返される構造的特徴からなる１本以上の線が基板上に形成されており、前記構造的特徴は、各々の線に沿って規則的な間隔で繰り返されており、材料が、前記規則的に繰り返される構造的特徴の間隔に一致するうなりの波長を有するうなりのパターンを形成するように、第１および第２のピッチの両方で付着させられている電子ユニットが提供される。

いくつかの実施の形態においては、この電子ユニットが、上述の方法の特徴のいずれかからもたらされる構造的特徴を備えることができる。

製造の中間段階にある典型的な表示パネルの概略の上面図を示している。 ＯＬＥＤなどの典型的な発光デバイスの層の概略の側面断面図を示している。 印刷ヘッド配置の印刷可能位置の格子を示している。 典型的な表示パネルの画素領域に有機層を形成する段階的な過程を概略的に示している。 複数の印刷ヘッドからなる系の印刷可能位置の格子を示している。 別の印刷ヘッド配置の印刷可能位置の格子を示している。 複数の印刷ヘッドからなる別の系の印刷可能位置の格子を示している。 典型的な表示パネルの画素領域に有機層を形成する別の段階的な過程を概略的に示している。 製造の中間段階にある別の典型的な表示パネルの概略の上面図を示している。 複数の印刷ヘッドからなるさらなる系の概略図を示している。

上述のように、表示装置の印刷（実際には、他の機能的な印刷も）においては、通常は基板に規則的な特徴による構造が設けられ、したがって、より高い液滴の密度が規則的な繰り返しにて望まれるパターン化された領域が存在しうる。以下で、変化する液滴の密度の規則的な繰り返しのパターンを、固定されたノズル間隔の２つ以上の印刷ヘッド（または、アセンブリ）からの印刷位置を重ね合わせ、ノズルの空間周波数に「うなり（ｂｅａｔ）」を生じさせて基板上の液滴の密度の所望の変化に対応するうなりの波長を生じさせることができるようにすることによって、どのように達成できるのかを説明する。

次に、一例を、図１、６、７、および８を参照して検討する。再び図１を参照すると、画素領域１０８が、各々のチャネル１０６の方向（図１において印刷の方向Ｙを横切るＸ方向）に沿って一定の間隔Ｓで繰り返す構造を有している。用語「間隔」は、本明細書において、構造的特徴が繰り返される規則的な長さまたは距離Ｓ、すなわち特徴の空間的周期を指して使用される。この例では、繰り返される特徴が、各々のチャネル１０６のウェルの中断領域２０４’を備えている。本発明の特に好都合な１つの用途によれば、中断領域２０４’または中断領域２０４’の周囲においてより高い液滴の密度を達成することが望まれる一方で、画素領域２０８の中央の方では、より低い液滴の密度での印刷でよい。

印刷の文脈において、用語「ピッチ」を、印刷された組成物からなる印刷部分の空間的周期または規則的な間隔、すなわち液滴の間隔を指して使用することができる。本発明の以下の実施の形態によれば、各々のチャネル領域１０６における液滴の密度の変化が、チャネル１０６に沿って第１のピッチλ_１（空間周波数ν_１に相当）で有機インク２０６ｓを印刷するために第１の印刷ヘッド配置を使用し、チャネル１０６に沿って第２のピッチλ_２（空間周波数ν_２に相当）でインク２０６ｓを印刷するために第２の印刷ヘッド配置を使用することによって達成される。

第１のピッチλ_１に対して第２のピッチλ_２を達成する１つの好ましいやり方が、図６および７に概略的に示されている。この技法によれば、第１の印刷ヘッド１１０ａが、図１および３に関して上述した配置と実質的に同様の配置で設けられる。さらに、第２の印刷ヘッド１１０ｂが、第１の印刷ヘッド１１０ｂと同じ固定された間隔のノズル１１２の行を備えて設けられるが、第１の印刷ヘッド１１０ａに対して斜めの角度αに向けられる。第１の印刷ヘッド１１０ａが、チャネル領域１０６に平行に向けられた（すなわち、ノズル１１２の行およびチャネル１０６の両者が図１のＸ方向に延びる）ときにλ_１＝λとなる「自然（ｎａｔｕｒａｌ）」のピッチを有する場合、第２の印刷ヘッド１１０ｂは、チャネル１０６および第１の印刷ヘッド１１０ａの長手方向に対して斜めの角度αに向けられたとき、有効ピッチλ_２＝λｃｏｓ（α）を有する。したがって、液滴可能位置の非一様な格子が達成される。より一般的には、任意の２つの有効ピッチを実現するために、両方の印刷ヘッドをチャネル領域１０６の長手方向に対して斜めにすることができる。

２つの異なる向きの２つの印刷ヘッド１１０ａおよび１１０ｂが、好ましくは、同じ全体としての印刷ヘッドアセンブリの一部として基板に対して一緒に移動し、両者が、アセンブリが基板１０２の上方の同じ印刷パスにてチャネル領域１０６の長手方向を横切る印刷方向に通過するときに、各々の連続するチャネル領域１０６に印刷を行う。

このようにして、２つのピッチの液滴が同じチャネル１０６に沿って重ね合わされ、バーニア（Ｖｅｒｎｉｅｒ）効果と称されることもあるうなりのパターンが生成される。この用途においては、この効果が、チャネル１０６に沿った規則的な地点において２つのピッチからの液滴２０６ｓが建設的に一致してより高い印刷密度をもたらすがゆえに生じる。他の地点においては、２つのピッチからの液滴が一致せず、したがって密度はより低くなる。うなりの反復の距離または間隔が、うなりの周波数λ_３（第３の空間周波数ν_３に相当）である。うなりの式は、以下の通りである。

ν_３＝｜ν_１−ν_２｜
または
λ_３＝１／λ_１＋１／λ_２
本発明の好ましい用途によれば、うなりの波長λ_３が、より高い密度の地点が画素１０８の間の中断領域２０４’に整列するよう、画素の構造の反復の間隔Ｓに合わせられる。したがって、画素領域１０８の他の場所と比べて、中断領域２０４’または中断領域２０４’の周囲により多くの液滴が印刷される。

うなりが、一方のピッチが他方の整数倍（あるいは、その反対）でない場合に限って生じることに、注意すべきである。したがって、図５の例は、うなりとは考えられない。

うなりの効果の特に好都合な用途が、図８に概略的に示されている。この方法は、ステップ（ｉ）において、上述のように定められたチャネル領域１０６および画素領域１０８を有する基板１０２を用意することによって始まる。ステップ（ｉｉ）において、第１および第２の印刷ヘッド１１０ａおよび１１０ｂの両方が、特定のチャネル１０６の上方を一緒に移動し、インクの液滴２０６ｓを同じチャネル１０６に沿って、うなりの波長λ_３を有するうなりのパターンを生じさせるそれぞれのピッチλ_１およびλ_２で、２つのピッチからの一致する液滴が中断領域２０４’に印刷されるように印刷する。次いで、この技法の好都合な結果が、ステップ（ｉｉｉ）においてインクが乾いたときに下方のアノード材料２０４のいかなる部分も正孔注入層２０６から露出したままになることがないように、インクの液滴２０６ｓが画素領域１０８の全体を中断領域２０４’の周囲も含めて完全に濡らすときに実現される。

例えば、画素領域１０８が、２０任意単位の長さであり、第１のピッチが、４任意単位（１つの画素領域１０８について液滴５つという空間周波数に相当）であり、第２のピッチが、５任意単位（１つの画素領域１０８について液滴４つという空間周波数に相当）である場合、うなりの波長は、５任意単位のロット４つ分、すなわち２０任意単位になり、したがってパターンが１つの画素領域１０８につき１回繰り返される。

１つの特定の例では、各々の画素１０８の長さＳが、２７０μｍである。その場合、必要なうなりの波長も２７０μｍであり、第１の印刷ヘッド１１０ａが７０μｍのノズルピッチ（波長）を有する場合、第２の波長を５６μｍと計算することができる。上述のように、このノズルピッチを、もう１つの７０μｍピッチのヘッド／アレイを斜めにすることによって達成することができる。

図８（ｉｉ）が、ピッチが７０および５６μｍのノズルアレイから印刷されると考えられる液滴２０６ｓの位置を示している。これは、中断２０４’におけるほぼ一致する液滴からの高い液滴密度を示している。

この方式にもとづくヘッドの配置は、おそらくは３つ以上の周波数のうなりを取り入れても、複数回のパスまたは全体が高密度なアレイに起因する冗長性を必要とせずに、周期的な特徴を有する基板上の必要な場所により高い液滴の密度をもたらす可能性を有する。これは、表示装置の印刷のための大型の印刷ヘッドアレイにおいて、必要なヘッドの数を大幅に少なくできる。

本発明が、好ましくは画素領域１０８におけるインク２０６ｓのより一様な濡れをもたらすが、この技法の痕跡が仕上がり後の製品においても依然として残りうることに、注意すべきである。例えば、追加の「ダミー」液滴が、（特定の望ましくないエッジ効果が実際の画素１０８そのものに生じることがないように）主たるアレイ領域１０４の外側のダミー領域１５０において基板に印刷されることがある。このダミー領域１５０においては、液滴が、それらが画素領域１０８に位置するため、任意の特定のウェルまたはレセプタクル（ｒｅｃｅｐｔａｃｌｅ）領域には印刷されず、したがって必ずしも一緒に流れて見分けのつかない一様な付着になることがないため、うなりのパターンが視認可能なままに残る可能性がある。

印刷ヘッドの動きは、好ましくは、光ディスク、磁気記憶媒体、またはフラッシュメモリなどのコンピュータにとって読み取り可能な記憶媒体上に具現化され、印刷ヘッド１１０ａおよび１１０ｂを基板１０２に対して移動させるための適切な周辺の機構に接続されたコンピュータ上で実行されるように構成されたコンピュータプログラムによって制御される。印刷ヘッドが基板に対して移動するということは、必ずしも印刷ヘッドがラボに対して絶対的な意味で移動することを意味しない。印刷ヘッドの相対移動は、基板の位置を固定して印刷ヘッドを基板の上方で移動させることによっても、印刷ヘッドの位置を固定して印刷ヘッドの下方で基板を移動させることによっても、あるいは両方を移動させることによってもよい。

上述の実施の形態が、あくまでも例として説明されているにすぎないことを、理解できるであろう。

例えば、本発明は、より複雑なうなりのパターンを生成するために３つ以上のピッチを使用することができる。さらに、印刷ヘッド１１０ａおよび１１０ｂをお互いに対して傾ける代わりに、別の配置として、第１の印刷ヘッド１１０ａとは異なる自然のピッチ（すなわち、異なるノズル間隔）を有する第２の印刷ヘッド１１０ｂを使用することが考えられる。別の変形例においては、２つの印刷ヘッド１１０ａおよび１１０ｂを同じ印刷パスにおいて一緒に使用するのではなく、同じ印刷ヘッド１１０を最初は基板１０２を横切る第１の印刷パスにおいて或る角度で使用し、次いで第２の印刷パスにおいて別の角度で再び使用して、印刷を行うことができると考えられる（ただし、この変形例は遅くなるがゆえにあまり好ましくない）。

さらなる変形例が、図９および１０に概略的に示されている。ここでは、チャネル領域１０６が、行ではなくて、基板１０２およびアレイ領域１０４の鉛直方向の列にて延びている。すなわち、チャネル領域１０６が、印刷の方向Ｐと平行に延びる長手方向を有している。この場合、第１の印刷ヘッド配置１１０ａが、第１の時間周波数ｆ_１（すなわち、第１の噴射周波数）でインク２０６ｓの各部分を印刷するように構成された１つ以上のノズル１１２を備えており、第２の印刷ヘッド配置１１０ｂが、第２の時間周波数ｆ_２（すなわち、第２の噴射周波数）でインク２０６ｓの各部分を印刷するように構成された第２の印刷ヘッド配置を備えている。これにより、第１および第２の印刷ヘッドが固定された速度で一緒に移動する場合、２つの異なる固定されたピッチλ_１およびλ_２（印刷速度と時間噴射周波数とによって設定される値を有する）がもたらされる。したがって、同様の種類のうなりのパターンが、チャネル１０６に沿ってもたらされる。

ＩＴＯ／アノード２０４について、チャネルを中断有り、または中断なしで設けることが可能であり、図にはＩＴＯに中断がない直線の土手の構造が示されているが、本明細書に記載の印刷方法は、例えばアノード、ＩＴＯ、およびバンクのいずれもが下方に位置するＴＦＴ回路などによって個別に駆動される完全に分離された個別の画素をもたらすように構造付けられる完全アクティブマトリクスのバックパネルにも同様に適用可能である。

さらに、チャネル１０６を、必ずしもレジストパターンまたはウェル領域によって定める必要はない。例えば、チャネル１０６を、単に電極材料２０４の線によって定められるチャネルに印刷することができる。用語「チャネル」は、規則的に繰り返される構造的特徴が基板の平面内の或る方向に沿って形成される任意の経路、線、またはコースを広く意味することができる。

さらに、本発明は、ＯＬＥＤの正孔注入層の印刷に限られない。例えば、代案または追加として、本発明を、正孔輸送層２０８および／または電子発光層２１０などの他の有機層の印刷に使用することができ、あるいはより広くには、任意の有機電荷注入層、電荷担体輸送層、および／または電子発光層または光検出層の印刷に使用することができる。例えば、いくつかのより単純なデバイスを、正孔輸送層および／または輸送層を備えずに形成することができ、そのようなデバイスは、電子発光層だけを備えることができ、もしくはこれに代え、あるいはこれに加えて、電子輸送または注入層を備えることができる。さらに、光検出デバイスのアレイを、２つの電極の間に形成される有機光検出半導体の層により、同様のやり方で形成することができる（いくつかの場合において、ＬＥＤと光センサとの間の相違は、装置が反対のバイアスにて接続される点だけである）。

さらにより一般的には、本発明は、例えば光センサアレイ、ＴＦＴ、あるいは太陽電池パネルのものなどの任意の回路の格子またはバスラインなど、変化する印刷密度が望まれる規則的な構造を有する任意の他の電子デバイスに適用可能である。例えば、他の種類の特徴を、例えば電極の特徴または他の金属製の特徴を印刷するための金属ナノ粒子の溶液を含んでいる金属インクを使用して、インクジェット印刷によって形成することができる。本発明は、上述した特定のインクに限られず、任意の種類の電子ユニットの製造において印刷することができる任意の組成物の印刷密度に周期的な変化を生じさせるために使用することができる。

さらに、電子「ユニット」という用語は、最終ユーザ向けの完成品に限られず、例えば製品に組み込まれる構成要素としてのパネルなど、表示装置の製品の製造者に供給される部品も指すことができる。

本発明の他の変形例または用途が、本明細書の開示に鑑み、当業者にとって明らかになるであろう。本発明は、上述の実施の形態によって限定されるのではなく、添付の特許請求の範囲によってのみ限定される。

Claims (46)

1. 規則的に繰り返される構造的特徴からなる１本以上の線を基板上に形成して備えており、前記構造的特徴が各々の線に沿って規則的な間隔で繰り返されている電子ユニットの製造に使用される印刷方法であって、
   第１の印刷ヘッド配置を使用して、前記線の各々に沿って第１のピッチで或る組成物からなる各部分を印刷するステップと、
   第２の印刷ヘッド配置を使用して、前記線の各々に沿って第２のピッチで前記組成物からなる各部分を印刷するステップと
   を含んでおり、
   前記第１および第２のピッチが協働して、前記規則的に繰り返される構造的特徴の前記間隔に一致するうなりの波長を有するうなりのパターンを、前記線の各々に沿って生じさせる前記方法。
2. 複数の前記線の各々が、前記基板上に長手方向に形成され、前記第１および第２の印刷ヘッド配置が、前記線の前記長手方向を横切る前記印刷方向にて前記基板に対して移動する請求項１に記載の方法。
3. 前記第１の印刷ヘッド配置が、前記線の各々に沿った異なるそれぞれの地点に前記組成物のそれぞれの部分を各々が印刷する規則的な間隔のノズルの行を有する印刷ヘッドの第１の事例を含んでおり、
   前記第２の印刷ヘッド配置が、前記第１の事例に対して斜めの角度に配置された前記印刷ヘッドの第２の事例を含んでおり、
   前記第１のピッチに対する前記第２のピッチが、前記ノズルの間隔および前記斜めの角度の結果である請求項１または２に記載の方法。
4. 前記印刷ヘッドの前記第２の事例が、前記基板を横切る前記第１の事例と同じ印刷パスにて一緒に使用される別の印刷ヘッドからなる請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
5. 前記印刷ヘッドの前記第２の事例が、前記基板を横切る次の印刷パスにて使用される同じ印刷ヘッドからなる請求項３に記載の方法。
6. 前記１本以上の線が、前記基板上に長手方向に形成され、前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々が、前記線の長手方向に平行な印刷方向にて前記基板に対して移動する請求項１に記載の方法。
7. 前記第２の印刷ヘッド配置が、前記第１の印刷ヘッド配置とは異なる噴射周波数を有するように構成された１つ以上のノズルを備えることによって、前記１つ以上のノズルが前記線の長手方向に沿って移動するときに前記第１および第２のピッチがもたらされる請求項６に記載の方法。
8. 前記規則的に繰り返される構造的特徴が、光電子要素に相当し、前記線の各々が、前記基板上に形成された規則的に繰り返される光電子領域からなる線を備えており、前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々が、各々の線に沿ってそれぞれの前記ピッチで各々の光電子領域に前記組成物からなる複数の部分を印刷するために使用される請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
9. 前記電子ユニットが、電子表示装置を備え、前記規則的に繰り返される構造的特徴が、前記表示装置の画素に相当し、前記線の各々が、前記基板上に長手方向に形成された規則的に繰り返される画素領域からなる行を備えており、前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々が、各々の行の前記長手方向に沿ってそれぞれの前記ピッチで各々の画素領域に前記組成物からなる複数の部分を印刷するために使用される請求項１〜８のいずれか一項に記載の方法。
10. 前記組成物が、前記線の各々に沿って前記有機ポリマーの層を付着させるための有機ポリマーの溶液を含んでいる請求項１〜９のいずれか一項に記載の方法。
11. 有機ポリマーの前記層が、電荷担体注入層、電荷担体輸送層、および電子発光層のうちの１つからなる請求項１〜１０のいずれか一項に記載の方法。
12. 前記組成物が、インクジェット印刷によって印刷される請求項１〜１１のいずれか一項に記載の方法。
13. 前記線の各々が、前記基板上に長手方向に形成された規則的に繰り返される構造的特徴を有するウェル領域を含んでおり、前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々が、各々のウェル領域に前記長手方向に沿ってそれぞれの前記ピッチで前記組成物からなる複数の部分を印刷するために使用される請求項１〜１２のいずれか一項に記載の方法。
14. 前記ウェル領域の各々が、前記基板上を前記長手方向に沿って延びるフォトレジストからなる土手によって形成される請求項１３に記載の方法。
15. 前記線の各々が、前記基板上に形成された電極層を含んでおり、前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々が、前記電極層の上方に前記組成物からなる前記各部分を印刷するために使用される請求項１〜１４のいずれか一項に記載の方法。
16. 前記電極層が、酸化インジウムすずで形成されたアノード層である請求項１５に記載の方法。
17. 前記基板が、ガラスまたは透明なプラスチックからなる請求項１〜１６のいずれか一項に記載の方法。
18. 前記第１および第２のピッチが、５：４の相対比率を有する請求項１〜１７のいずれか一項に記載の方法。
19. 前記第１のピッチが、実質的に７０μｍに等しく、前記第２のピッチが、実質的に５６μｍに等しい請求項１〜１８のいずれか一項に記載の方法。
20. 規則的に繰り返される構造的特徴からなる１本以上の線を基板上に形成して備えており、前記構造的特徴が各々の線に沿って規則的な間隔で繰り返されている電子ユニットの製造に使用するためのコンピュータプログラム製品であって、
    コンピュータにとって読み取り可能な媒体上に具現化されたコードを含んでおり、該コードが、プロセッサ上で実行されたときに、
    前記線の各々に沿って第１のピッチで或る組成物からなる各部分を印刷するように、第１の印刷ヘッド配置を制御し、
    前記線の各々に沿って第２のピッチで前記組成物からなる各部分を印刷するように、第２の印刷ヘッド配置を制御する
    ように構成されており、
    前記第１および第２のピッチが協働して、前記規則的に繰り返される構造的特徴の前記間隔に一致するうなりの波長を有するうなりのパターンを、前記線の各々に沿って生じさせるコンピュータプログラム製品。
21. 前記コードが、請求項２〜１９のいずれか一項に従って前記印刷ヘッド配置を制御するようにさらに構成されている請求項２０に記載のコンピュータプログラム製品。
22. 規則的に繰り返される構造的特徴からなる１本以上の線を基板上に形成して備えており、前記構造的特徴が各々の線に沿って規則的な間隔で繰り返されている電子ユニットの製造に使用される印刷装置であって、
    前記線の各々に沿って第１のピッチで或る組成物からなる各部分を印刷するように構成された第１の印刷ヘッド配置と、
    前記線の各々に沿って第２のピッチで前記組成物からなる各部分を印刷するように構成された第２の印刷ヘッド配置と
    を備えており、
    前記第１および第２のピッチが協働して、前記規則的に繰り返される構造的特徴の前記間隔に一致するうなりの波長を有するうなりのパターンを、前記線の各々に沿って生じさせる印刷装置。
23. 複数の前記線の各々が、前記基板上に長手方向に形成され、前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々が、前記線の前記長手方向を横切る印刷方向にて前記基板に対して移動するように構成されている請求項２２に記載の印刷装置。
24. 前記第１の印刷ヘッド配置が、前記線の各々に沿った異なるそれぞれの地点に前記組成物のそれぞれの部分を各々が印刷する規則的な間隔のノズルの行を有する印刷ヘッドの第１の事例を含んでおり、
    前記第２の印刷ヘッド配置が、前記第１の事例に対して斜めの角度に配置された前記印刷ヘッドの第２の事例を含んでおり、
    前記第１のピッチに対する前記第２のピッチが、前記ノズルの間隔および前記斜めの角度の結果である請求項２２または２３に記載の印刷装置。
25. 前記規則的に繰り返される構造的特徴が、光電子要素に相当し、前記線の各々が、前記基板上に形成された規則的に繰り返される光電子領域からなる線を備えており、前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々が、各々の線に沿ってそれぞれの前記ピッチで各々の光電子領域に前記組成物からなる複数の部分を印刷するように構成されている請求項２２〜２４のいずれか一項に記載の印刷装置。
26. 前記電子ユニットが、電子表示装置を備え、前記規則的に繰り返される構造的特徴が、前記表示装置の画素に相当し、前記線の各々が、前記基板上に長手方向に形成された規則的に繰り返される画素領域からなる行を備えており、前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々が、各々の行の前記長手方向に沿ってそれぞれの前記ピッチで各々の画素領域に前記組成物からなる複数の部分を印刷するように構成されている請求項２２〜２５のいずれか一項に記載の印刷装置。
27. 前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々が、前記線の各々に沿って前記有機ポリマーの層を付着させるための有機ポリマーの溶液を含んでいる組成物を印刷するように構成されている請求項２２〜２６のいずれか一項に記載の印刷装置。
28. 前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々が、インクジェット印刷によって前記組成物を印刷するためのインクジェット印刷ヘッドを備えている請求項２２〜２７のいずれか一項に記載の印刷装置。
29. 前記線の各々が、前記基板上に長手方向に形成された規則的に繰り返される構造的特徴を有するウェル領域を含んでおり、前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々が、各々のウェル領域に前記長手方向に沿ってそれぞれの前記ピッチで前記組成物からなる複数の部分を印刷するように構成されている請求項２２〜２８のいずれか一項に記載の印刷装置。
30. 前記線の各々が、前記基板上に形成された電極層を含んでおり、前記第１および第２の印刷ヘッド配置の各々が、前記電極層の上方に前記組成物からなる前記各部分を印刷するように構成されている請求項２２〜２９のいずれか一項に記載の印刷装置。
31. 前記第１および第２の印刷ヘッド配置が、前記第１および第２のピッチが５：４の相対比率を有するように構成されている請求項２２〜３０のいずれか一項に記載の印刷装置。
32. 前記第１の印刷ヘッド配置が、実質的に７０μｍに等しい前記第１のピッチにて構成され、前記第２の印刷ヘッド配置が、実質的に５６μｍに等しい前記第２のピッチにて構成されている請求項２２〜３１のいずれか一項に記載の印刷装置。
33. 基板上に形成され、規則的に繰り返される構造的特徴からなっている１本以上の線であって、前記構造的特徴が各々の線に沿って規則的な間隔で繰り返されている１本以上の線と、
    前記規則的に繰り返される構造的特徴の間隔に一致するうなりの波長を有するうなりのパターンを形成するように第１および第２のピッチの両方で付着させられた材料と
    を備えている電子ユニット。
34. 前記規則的に繰り返される構造的特徴が、光電子要素に相当し、前記線の各々が、前記基板上に形成された規則的に繰り返される光電子領域からなる線を備えている請求項３３に記載の電子ユニット。
35. 前記電子ユニットが、電子表示装置を備え、前記規則的に繰り返される構造的特徴が、前記表示装置の画素に相当し、前記線の各々が、前記基板上に長手方向に形成された規則的に繰り返される画素領域からなる行を備えている請求項３３または３４に記載の電子ユニット。
36. 前記規則的に繰り返される構造的特徴が、光電子要素に相当し、前記線の各々が、前記基板上に形成された規則的に繰り返される光電子領域からなる線を備えている請求項３３〜３５のいずれか一項に記載の電子ユニット。
37. 前記電子ユニットが、電子表示装置を備え、前記規則的に繰り返される構造的特徴が、前記表示装置の画素に相当し、前記線の各々が、前記基板上に長手方向に形成された規則的に繰り返される画素領域からなる行を備えている請求項３３〜３６のいずれか一項に記載の電子ユニット。
38. 前記材料が、有機ポリマーを含んでいる請求項３３〜３７のいずれか一項に記載の電子ユニット。
39. 前記有機ポリマーが、電荷担体注入材料、電荷担体輸送材料、および電子発光材料のうちの１つを含む請求項３８に記載の電子ユニット。
40. 前記線の各々が、前記基板上に長手方向に形成された規則的に繰り返される構造的特徴を有するウェル領域を含んでいる請求項３３〜３９のいずれか一項に記載の電子ユニット。
41. 前記ウェル領域の各々が、前記基板上を前記長手方向に沿って延びるフォトレジストからなる土手によって形成されている請求項４０に記載の電子ユニット。
42. 前記線の各々が、前記基板上に形成された電極層を含んでいる請求項４１に記載の電子ユニット。
43. 前記電極層が、酸化インジウムすずで形成されたアノード層である請求項４２に記載の電子ユニット。
44. 前記基板が、ガラスまたは透明なプラスチックからなる請求項３３〜４３のいずれか一項に記載の電子ユニット。
45. 前記第１および第２のピッチが、５：４の相対比率を有する請求項３３〜４４のいずれか一項に記載の電子ユニット。
46. 前記第１のピッチが、実質的に７０μｍに等しく、前記第２のピッチが、実質的に５６μｍに等しい請求項３３〜４５のいずれか一項に記載の電子ユニット。

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