JP2005230690A - 材料塗布方法、カラーフィルタ基板の製造方法、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、プラズマ表示装置の製造方法、および吐出装置 - Google Patents
材料塗布方法、カラーフィルタ基板の製造方法、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、プラズマ表示装置の製造方法、および吐出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005230690A JP2005230690A JP2004043020A JP2004043020A JP2005230690A JP 2005230690 A JP2005230690 A JP 2005230690A JP 2004043020 A JP2004043020 A JP 2004043020A JP 2004043020 A JP2004043020 A JP 2004043020A JP 2005230690 A JP2005230690 A JP 2005230690A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- relative
- stage
- coordinate
- nozzle
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 193
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 136
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 61
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 title claims description 15
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title description 12
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 54
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 26
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 86
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 45
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 33
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 31
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 30
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 22
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 21
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 21
- 239000010408 film Substances 0.000 description 20
- 230000008569 process Effects 0.000 description 20
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 16
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 15
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 12
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 12
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 12
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 11
- 230000006870 function Effects 0.000 description 10
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 10
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 9
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 9
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 6
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 5
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 238000003491 array Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 3
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 3
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000482967 Diloba caeruleocephala Species 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003445 palladium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- JQPTYAILLJKUCY-UHFFFAOYSA-N palladium(ii) oxide Chemical compound [O-2].[Pd+2] JQPTYAILLJKUCY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
- B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14032—Structure of the pressure chamber
- B41J2/14048—Movable member in the chamber
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J3/00—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed
- B41J3/28—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed for printing downwardly on flat surfaces, e.g. of books, drawings, boxes, envelopes, e.g. flat-bed ink-jet printers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J3/00—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed
- B41J3/407—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed for marking on special material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41M—PRINTING, DUPLICATING, MARKING, OR COPYING PROCESSES; COLOUR PRINTING
- B41M3/00—Printing processes to produce particular kinds of printed work, e.g. patterns
- B41M3/008—Sequential or multiple printing, e.g. on previously printed background; Mirror printing; Recto-verso printing; using a combination of different printing techniques; Printing of patterns visible in reflection and by transparency; by superposing printed artifacts
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
- H01J11/20—Constructional details
- H01J11/34—Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
- H01J11/44—Optical arrangements or shielding arrangements, e.g. filters, black matrices, light reflecting means or electromagnetic shielding means
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14475—Structure thereof only for on-demand ink jet heads characterised by nozzle shapes or number of orifices per chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2211/00—Plasma display panels with alternate current induction of the discharge, e.g. AC-PDPs
- H01J2211/20—Constructional details
- H01J2211/34—Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
- H01J2211/42—Fluorescent layers
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
- H05K3/1241—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by ink-jet printing or drawing by dispensing
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
- H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
【解決手段】 吐出ヘッド部が第1の走査期間内に被吐出部に第1のノズルから液状の材料を吐出するとともに、第2の走査期間内に上記被吐出部に第2のノズルから液状の材料を吐出する。走査部は、第1の走査期間と第2の走査期間との間で、吐出ヘッド部およびステージの少なくとも一方を他方に対してX軸方向に相対移動させる。
【選択図】 図1
Description
(A.吐出装置100Rの全体構成)
図1の吐出装置100Rは、液状のカラーフィルタ材料111Rを保持するタンク101Rと、チューブ110Rと、チューブ110Rを介してタンク101Rから液状のカラーフィルタ材料111Rが供給される吐出走査部102と、を備えた材料塗布装置である。そして、吐出走査部102は、グランドステージGSと、吐出ヘッド部103と、第1位置制御装置104と、ステージ106と、第2位置制御装置108と、制御部112と、を備えている。
図2に示すヘッド114は、吐出ヘッド部103が有する複数のヘッド114の一つである。図2は、ステージ106側からヘッド114を眺めた図であり、ヘッド114の底面を示している。ヘッド114は、X軸方向に延びるノズル列116を有している。ノズル列116は、X軸方向にほぼ均等に並んだ複数のノズル118からなる。これら複数のノズル118は、ヘッド114のX軸方向のノズルピッチHXPが約70μmとなるように配置されている。ここで、「ヘッド114のX軸方向のノズルピッチHXP」は、ヘッド114におけるノズル118のすべてを、X軸方向に直交する方向からX軸上に射像して得られた複数のノズル像間のピッチに相当する。
図4は、吐出ヘッド部103をステージ106側から観察した図であり、図4の紙面に垂直な方向がZ軸方向である。また、図4の紙面の上下方向がX軸方向であり、紙面の左右方向がY軸方向である。
次に、制御部112の構成を説明する。図6に示すように、制御部112は、入力バッファメモリ200と、記憶手段202と、処理部204と、走査駆動部206と、ヘッド駆動部208と、を備えている。バッファメモリ202と処理部204とは相互に通信可能に接続されている。処理部204と記憶手段202とは、相互に通信可能に接続されている。処理部204と走査駆動部206とは相互に通信可能に接続されている。処理部204とヘッド駆動部208とは相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部206は、第1位置制御装置104および第2位置制御装置108と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部208は、複数のヘッド114のそれぞれと相互に通信可能に接続されている。
図7(a)および(b)に示す基体10Aは、実施形態2において説明する製造装置1による処理を経て、カラーフィルタ基板10となる基板である。基体10Aは、マトリクス状に配置された複数の被吐出部18R、18G、18Bを有する。
以下で、吐出装置100Rを用いて基体10Aの被吐出部18Rに液状のカラーフィルタ材料111Rを塗布する工程を説明する。
図8に示すように、被吐出部18Rを有する第1の基体10Aをステージ106上に配置する。具体的には、複数の被吐出部18Rが形成するマトリクスの行方向および列方向が、それぞれX軸方向およびY軸方向に平行になるように、基板10Aをステージ106上に配置する。本実施形態では、さらにこの際、それぞれの被吐出部18Rの長辺方向がX軸方向に平行になり、かつ短辺方向がY軸方向に平行になるように、基板10Aがステージ106上で配向される。
第2の基体10Aの構造は、第1の基体10Aの構造と同じである。まず、図10に示すように、第2の基体10Aをステージ106上に配置する。具体的には、ステージ106に対する第2の基体10Aの相対位置が、ステージ106に対する第1の基体10Aの相対位置と同じになるように、ステージ106上で第2の基体10Aの位置を決める。ここで、ステージ106に対する吐出ヘッド部103の相対x座標はx2に維持されているので、複数の被吐出部18RのそれぞれのX座標範囲内には、16個の吐出ノズル118Tが位置する。ただしここでは、16個の吐出ノズル118Tのうち、上述の4つの吐出ノズル118T、つまり4つの第2のノズル、を被吐出部18Rへの吐出に用いる。
(1)上記実施形態では、第1の基体10Aに対する第2の走査期間にカラーフィルタ材料111Rを吐出する吐出ノズル118Tと、第2の基体10Aに対する第1の走査期間にカラーフィルタ材料111Rを吐出する吐出ノズル118Tとが、同じである。しかしながら、本発明はこのような構成に限定されない。以下において説明するように、第1の基体10Aに対する第2の走査期間にカラーフィルタ材料111Rを吐出する吐出ノズル118Tと、第2の基体10Aに対する第1の走査期間にカラーフィルタ材料111Rを吐出する吐出ノズル118Tとが、異なっていてもよい。
実施形態1では、被吐出部18Rにカラーフィルタ材料111Rを塗布する工程を説明した。以下では、製造装置1によってカラーフィルタ基板10が得られるまでの一連の工程を説明する。
次に、本発明をエレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置に適用した例を説明する。
本発明をプラズマ表示装置の背面基板の製造装置に適用した例を説明する。
次に本発明を、電子放出素子を備えた画像表示装置の製造装置に適用した例を説明する。
Claims (9)
- X軸方向に分布した複数のノズルを有する吐出ヘッド部と、ステージと、を備えた吐出装置を用いて、基体に液状の材料を塗布する材料塗布方法であって、
被吐出部を有する前記基体を前記ステージ上に配置するステップ(A)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の相対x座標を第1の相対x座標に維持したまま、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の相対位置を前記X軸方向にほぼ直交する第1方向に変化させるステップ(B)と、
前記複数のノズルのうち第1のノズルが前記被吐出部に対応する領域に達した場合に、前記第1のノズルから前記被吐出部に前記液状の材料を吐出するステップ(C)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標が第2の相対x座標に一致するように、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記X軸方向に変化させるステップ(D)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標を前記第2の相対x座標に維持したまま、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記第1方向の反対方向に変化させるステップ(E)と、
前記複数のノズルのうち第2のノズルが前記被吐出部に対応する領域に達した場合に、前記第2のノズルから前記被吐出部に前記液状の材料を吐出するステップ(F)と、
を含んだ材料塗布方法。 - 請求項1記載の材料塗布方法であって、
前記ステップ(F)の後で、前記ステージから前記基体を取り除くステップ(G)と、
第2の被吐出部を有する第2の基体を前記ステージ上で配置するステップ(H)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標を前記第2の相対x座標に維持したまま、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記第1方向に変化させるステップ(I)と、
前記複数のノズルのうち第3のノズルが前記被吐出部に対応する領域に達した場合に、前記第3のノズルから前記被吐出部に前記液状の材料を吐出するステップ(J)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標が前記第1の相対x座標に一致するように、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記X軸方向に変化させるステップ(K)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標を前記第1の相対x座標に維持したまま、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記反対方向に変化させるステップ(L)と、
前記複数のノズルのうち第4のノズルが前記被吐出部に対応する領域に達した場合に、前記第4のノズルから前記被吐出部に前記液状の材料を吐出するステップ(M)と、
をさらに含んだ材料塗布方法。 - X軸方向に分布した複数のノズルを有する吐出ヘッド部と、ステージと、を備えた吐出装置を用いたカラーフィルタ基板の製造方法であって、
被吐出部を有する前記基体を前記ステージ上に配置するステップ(A)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の相対x座標を第1の相対x座標に維持したまま、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の相対位置を前記X軸方向にほぼ直交する第1方向に変化させるステップ(B)と、
前記複数のノズルのうち第1のノズルが前記被吐出部に対応する領域に達した場合に、前記第1のノズルから前記被吐出部に前記液状のカラーフィルタ材料を吐出するステップ(C)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標が第2の相対x座標に一致するように、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記X軸方向に変化させるステップ(D)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標を前記第2の相対x座標に維持したまま、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記第1方向の反対方向に変化させるステップ(E)と、
前記複数のノズルのうち第2のノズルが前記被吐出部に対応する領域に達した場合に、前記第2のノズルから前記被吐出部に前記液状のカラーフィルタ材料を吐出するステップ(F)と、
を含んだカラーフィルタ基板の製造方法。 - 請求項3記載のカラーフィルタ基板の製造方法であって、
前記ステップ(F)の後で、前記ステージから前記基体を取り除くステップ(G)と、
第2の被吐出部を有する第2の基体を前記ステージ上で配置するステップ(H)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標を前記第2の相対x座標に維持したまま、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記第1方向に変化させるステップ(I)と、
前記複数のノズルのうち第3のノズルが前記被吐出部に対応する領域に達した場合に、前記第3のノズルから前記被吐出部に前記液状のカラーフィルタ材料を吐出するステップ(J)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標が前記第1の相対x座標に一致するように、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記X軸方向に変化させるステップ(K)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標を前記第1の相対x座標に維持したまま、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記反対方向に変化させるステップ(L)と、
前記複数のノズルのうち第4のノズルが前記被吐出部に対応する領域に達した場合に、前記第4のノズルから前記被吐出部に前記液状のカラーフィルタ材料を吐出するステップ(M)と、
をさらに含んだカラーフィルタ基板の製造方法。 - X軸方向に分布した複数のノズルを有する吐出ヘッド部と、ステージと、を備えた吐出装置を用いたエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法であって、
被吐出部を有する前記基体を前記ステージ上に配置するステップ(A)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の相対x座標を第1の相対x座標に維持したまま、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の相対位置を前記X軸方向にほぼ直交する第1方向に変化させるステップ(B)と、
前記複数のノズルのうち第1のノズルが前記被吐出部に対応する領域に達した場合に、前記第1のノズルから前記被吐出部に前記液状の発光材料を吐出するステップ(C)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標が第2の相対x座標に一致するように、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記X軸方向に変化させるステップ(D)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標を前記第2の相対x座標に維持したまま、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記第1方向の反対方向に変化させるステップ(E)と、
前記複数のノズルのうち第2のノズルが前記被吐出部に対応する領域に達した場合に、前記第2のノズルから前記被吐出部に前記液状の発光材料を吐出するステップ(F)と、
を含んだエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。 - 請求項5記載のエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法であって、
前記ステップ(F)の後で、前記ステージから前記基体を取り除くステップ(G)と、
第2の被吐出部を有する第2の基体を前記ステージ上で配置するステップ(H)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標を前記第2の相対x座標に維持したまま、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記第1方向に変化させるステップ(I)と、
前記複数のノズルのうち第3のノズルが前記被吐出部に対応する領域に達した場合に、前記第3のノズルから前記被吐出部に前記液状の発光材料を吐出するステップ(J)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標が前記第1の相対x座標に一致するように、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記X軸方向に変化させるステップ(K)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標を前記第1の相対x座標に維持したまま、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記反対方向に変化させるステップ(L)と、
前記複数のノズルのうち第4のノズルが前記被吐出部に対応する領域に達した場合に、前記第4のノズルから前記被吐出部に前記液状の発光材料を吐出するステップ(M)と、
をさらに含んだエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。 - X軸方向に分布した複数のノズルを有する吐出ヘッド部と、ステージと、を備えた吐出装置を用いたプラズマ表示装置の製造方法であって、
被吐出部を有する前記基体を前記ステージ上に配置するステップ(A)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の相対x座標を第1の相対x座標に維持したまま、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の相対位置を前記X軸方向にほぼ直交する第1方向に変化させるステップ(B)と、
前記複数のノズルのうち第1のノズルが前記被吐出部に対応する領域に達した場合に、前記第1のノズルから前記被吐出部に前記液状の蛍光材料を吐出するステップ(C)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標が第2の相対x座標に一致するように、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記X軸方向に変化させるステップ(D)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標を前記第2の相対x座標に維持したまま、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記第1方向の反対方向に変化させるステップ(E)と、
前記複数のノズルのうち第2のノズルが前記被吐出部に対応する領域に達した場合に、前記第2のノズルから前記被吐出部に前記液状の蛍光材料を吐出するステップ(F)と、
を含んだプラズマ表示装置の製造方法。 - 請求項7記載のプラズマ表示装置の製造方法であって、
前記ステップ(F)の後で、前記ステージから前記基体を取り除くステップ(G)と、
第2の被吐出部を有する第2の基体を前記ステージ上で配置するステップ(H)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標を前記第2の相対x座標に維持したまま、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記第1方向に変化させるステップ(I)と、
前記複数のノズルのうち第3のノズルが前記被吐出部に対応する領域に達した場合に、前記第3のノズルから前記被吐出部に前記液状の蛍光材料を吐出するステップ(J)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標が前記第1の相対x座標に一致するように、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記X軸方向に変化させるステップ(K)と、
前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対x座標を前記第1の相対x座標に維持したまま、前記ステージに対する前記吐出ヘッド部の前記相対位置を前記反対方向に変化させるステップ(L)と、
前記複数のノズルのうち第4のノズルが前記被吐出部に対応する領域に達した場合に、前記第4のノズルから前記被吐出部に前記液状の蛍光材料を吐出するステップ(M)と、
をさらに含んだプラズマ表示装置の製造方法。 - X軸方向に分布した第1のノズルおよび第2のノズルを有する吐出ヘッド部と、
被吐出部を有する基体を載せるステージと、
第1の走査期間内および第2の走査期間内のそれぞれの期間に亘って、前記吐出ヘッド部および前記ステージの少なくとも一方を他方に対して、前記X軸方向にほぼ直交するY軸方向に相対移動させる走査部と、
を備えた吐出装置であって、
前記吐出ヘッド部が前記第1の走査期間内に前記被吐出部に前記第1のノズルから液状の材料を吐出するとともに、前記第2の走査期間内に前記被吐出部に前記第2のノズルから前記液状の材料を吐出するように、前記走査部は、前記第1の走査期間と前記第2の走査期間との間で、前記吐出ヘッド部および前記ステージの少なくとも一方を他方に対して前記X軸方向に相対移動させる、
吐出装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004043020A JP4100354B2 (ja) | 2004-02-19 | 2004-02-19 | 材料塗布方法、カラーフィルタの製造方法、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、およびプラズマ表示装置の製造方法。 |
TW094104524A TWI253991B (en) | 2004-02-19 | 2005-02-16 | Method for coating material, method of manufacturing color filter substrate, method of manufacturing electroluminescence display device, method of manufacturing plasma display |
KR1020050012647A KR100658478B1 (ko) | 2004-02-19 | 2005-02-16 | 재료 도포 방법, 컬러 필터 기판의 제조 방법, 일렉트로루미네선스 표시 장치의 제조 방법, 플라즈마 표시 장치의 제조 방법, 및 토출 장치 |
US11/062,348 US7381449B2 (en) | 2004-02-19 | 2005-02-18 | Method for coating material, method of manufacturing color filter substrate, method of manufacturing electroluminescence display device, method of manufacturing plasma display device, and ejection device |
CNB2005100093670A CN100415517C (zh) | 2004-02-19 | 2005-02-21 | 吐出装置及材料涂敷方法、滤色片基板及装置的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004043020A JP4100354B2 (ja) | 2004-02-19 | 2004-02-19 | 材料塗布方法、カラーフィルタの製造方法、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、およびプラズマ表示装置の製造方法。 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005230690A true JP2005230690A (ja) | 2005-09-02 |
JP4100354B2 JP4100354B2 (ja) | 2008-06-11 |
Family
ID=34857998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004043020A Expired - Lifetime JP4100354B2 (ja) | 2004-02-19 | 2004-02-19 | 材料塗布方法、カラーフィルタの製造方法、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、およびプラズマ表示装置の製造方法。 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7381449B2 (ja) |
JP (1) | JP4100354B2 (ja) |
KR (1) | KR100658478B1 (ja) |
CN (1) | CN100415517C (ja) |
TW (1) | TWI253991B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007248821A (ja) * | 2006-03-16 | 2007-09-27 | Seiko Epson Corp | 機能液配置方法および補正データ生成方法 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4289172B2 (ja) * | 2004-02-19 | 2009-07-01 | セイコーエプソン株式会社 | 吐出装置 |
EP1972385B1 (en) * | 2005-12-28 | 2011-10-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Droplet applicator |
KR101492400B1 (ko) * | 2007-12-21 | 2015-02-12 | 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤 | 도포장치 및 도포방법 |
DE102013110695A1 (de) | 2012-10-02 | 2014-04-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Bildsensor, Verfahren zum Betreiben desselben und Bildverarbeitungssystem mit demselben |
KR102039808B1 (ko) | 2012-12-27 | 2019-11-01 | 카티바, 인크. | 정밀 공차 내로 유체를 증착하기 위한 인쇄 잉크 부피 제어를 위한 기법 |
US11673155B2 (en) | 2012-12-27 | 2023-06-13 | Kateeva, Inc. | Techniques for arrayed printing of a permanent layer with improved speed and accuracy |
US11141752B2 (en) | 2012-12-27 | 2021-10-12 | Kateeva, Inc. | Techniques for arrayed printing of a permanent layer with improved speed and accuracy |
JP6232239B2 (ja) * | 2013-09-30 | 2017-11-15 | 株式会社Screenホールディングス | 塗布装置 |
JP6363707B2 (ja) | 2013-12-12 | 2018-07-25 | カティーバ, インコーポレイテッド | ハーフトーニングを用いて厚さを制御するインクベース層加工 |
CN112406324B (zh) * | 2020-09-29 | 2022-06-07 | 镇江市海络数码科技有限公司 | 一种应用于数码3d印刷的成套设备 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06228853A (ja) | 1993-01-29 | 1994-08-16 | Kanai Hiroyuki | 不織布用スプレートラバース装置およびこれを用いた不織布への樹脂散布方法 |
JP3159919B2 (ja) | 1995-08-01 | 2001-04-23 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造装置及び製造方法及び着色むらの低減方法 |
JP3459812B2 (ja) | 1996-09-30 | 2003-10-27 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
JP2000071482A (ja) * | 1998-08-28 | 2000-03-07 | Toshiba Tec Corp | カラーインクジェットプリンタ |
JP4065475B2 (ja) | 1998-09-02 | 2008-03-26 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造方法、この製造方法で製造されたカラーフィルタを用いた液晶素子及びインクジェットヘッド |
JP4065476B2 (ja) * | 1998-11-27 | 2008-03-26 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造方法及び表示装置の製造方法 |
JP2001319567A (ja) * | 2000-02-28 | 2001-11-16 | Ricoh Co Ltd | 電子源基板および該電子源基板を用いた画像表示装置 |
JP2001261373A (ja) | 2000-03-22 | 2001-09-26 | Central Glass Co Ltd | 薄膜の形成方法および薄膜付き板ガラス |
JP2002221616A (ja) * | 2000-11-21 | 2002-08-09 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶装置の製造方法及び製造装置、el装置の製造方法及び製造装置、インクジェットヘッドの制御装置、材料の吐出方法及び材料の吐出装置、並びに電子機器 |
JP2004004803A (ja) | 2000-11-21 | 2004-01-08 | Seiko Epson Corp | 材料の吐出方法、及び吐出装置、カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶装置の製造方法及び製造装置、el装置の製造方法及び製造装置、並びに電子機器 |
JP3804463B2 (ja) | 2001-03-26 | 2006-08-02 | セイコーエプソン株式会社 | プリンタ用マルチヘッドの送り制御方法及び送り制御装置 |
JP2003084125A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-03-19 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶表示装置の製造方法及び製造装置、el発光層配設基板の製造方法及び製造装置、el発光装置の製造方法及び製造装置、成膜方法及び成膜装置、電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 |
CN1232839C (zh) * | 2001-09-28 | 2005-12-21 | 兄弟工业株式会社 | 液滴图案形成装置 |
JP2003159787A (ja) * | 2001-11-28 | 2003-06-03 | Seiko Epson Corp | 吐出方法およびその装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装置、カラーフィルタ、その製造方法およびその製造装置、ならびに基材を有するデバイス、その製造方法およびその製造装置 |
US6810919B2 (en) * | 2002-01-11 | 2004-11-02 | Seiko Epson Corporation | Manufacturing method for display device, display device, manufacturing method for electronic apparatus, and electronic apparatus |
JP2003251243A (ja) * | 2002-03-04 | 2003-09-09 | Seiko Epson Corp | 描画方法、描画装置、並びにこれを備えた液晶表示装置の製造方法、有機el装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、pdp装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機elの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法 |
JP3988645B2 (ja) | 2002-03-06 | 2007-10-10 | セイコーエプソン株式会社 | 吐出方法、吐出装置、カラーフィルタの製造方法、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、およびプラズマディスプレイパネルの製造方法 |
JP4014901B2 (ja) * | 2002-03-14 | 2007-11-28 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出による材料の配置方法および表示装置の製造方法 |
JP2004004534A (ja) * | 2003-01-23 | 2004-01-08 | Dainippon Ink & Chem Inc | カラーパターンの印刷方法 |
JP2005199230A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Seiko Epson Corp | 吐出装置、材料塗布方法、カラーフィルタ基板の製造方法、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、プラズマ表示装置の製造方法、および配線製造方法 |
JP4289172B2 (ja) * | 2004-02-19 | 2009-07-01 | セイコーエプソン株式会社 | 吐出装置 |
-
2004
- 2004-02-19 JP JP2004043020A patent/JP4100354B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-02-16 TW TW094104524A patent/TWI253991B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-02-16 KR KR1020050012647A patent/KR100658478B1/ko active IP Right Grant
- 2005-02-18 US US11/062,348 patent/US7381449B2/en active Active
- 2005-02-21 CN CNB2005100093670A patent/CN100415517C/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007248821A (ja) * | 2006-03-16 | 2007-09-27 | Seiko Epson Corp | 機能液配置方法および補正データ生成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1657289A (zh) | 2005-08-24 |
KR20060041984A (ko) | 2006-05-12 |
CN100415517C (zh) | 2008-09-03 |
JP4100354B2 (ja) | 2008-06-11 |
KR100658478B1 (ko) | 2006-12-19 |
US7381449B2 (en) | 2008-06-03 |
US20050185007A1 (en) | 2005-08-25 |
TW200600362A (en) | 2006-01-01 |
TWI253991B (en) | 2006-05-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100645486B1 (ko) | 토출 장치, 재료 도포 방법, 컬러 필터 기판의 제조 방법,일렉트로루미네선스 표시 장치의 제조 방법, 플라즈마표시 장치의 제조 방법 및 배선 제조 방법 | |
KR100658478B1 (ko) | 재료 도포 방법, 컬러 필터 기판의 제조 방법, 일렉트로루미네선스 표시 장치의 제조 방법, 플라즈마 표시 장치의 제조 방법, 및 토출 장치 | |
KR100690544B1 (ko) | 토출 장치, 재료 도포 방법, 컬러 필터 기판의 제조 방법,일렉트로 루미네선스 표시 장치의 제조 방법 및 플라즈마표시 장치의 제조 방법 | |
US6948795B2 (en) | Ejection device, manufacturing device of color filter substrate, manufacturing device of electro-luminescent display device, manufacturing device of plasma display device, and ejection method | |
JP3891164B2 (ja) | 吐出装置 | |
JP2005131606A (ja) | 吐出装置、カラーフィルタ基板の製造装置、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置、および吐出方法 | |
JP4124081B2 (ja) | 吐出装置、カラーフィルタ基板の製造装置、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置、プラズマ表示装置の製造方法、および吐出方法 | |
JP2005095835A (ja) | 吐出装置、カラーフィルタ基板の製造装置、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置、プラズマ表示装置の製造装置、および吐出方法 | |
JP4506118B2 (ja) | 吐出装置、カラーフィルタ基板の製造装置、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置、プラズマ表示装置の製造装置、配線製造装置、および塗布方法。 | |
JP4466005B2 (ja) | 吐出装置、カラーフィルタ基板の製造装置、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置、プラズマ表示装置の背面基板の製造装置、配線製造装置、および塗布方法。 | |
JP4329569B2 (ja) | 液状材料の塗布方法、カラーフィルタの製造方法、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、およびプラズマ表示装置の製造方法 | |
JP2005230615A (ja) | 材料塗布方法、カラーフィルタ基板の製造方法、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、プラズマ表示装置の製造方法、および吐出装置 | |
JP2005125195A (ja) | 吐出装置、塗布方法、カラーフィルタ基板の製造方法、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、プラズマ表示装置の製造方法、および配線製造方法 | |
JP2005095833A (ja) | 吐出装置、カラーフィルタ基板の製造装置、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置、および吐出方法 | |
JP5257278B2 (ja) | 吐出装置、カラーフィルタ基板の製造装置、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置、プラズマ表示装置の製造装置、配線製造装置、および塗布方法 | |
JP2005231190A (ja) | 吐出装置、カラーフィルタ基板の製造装置、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置、プラズマ表示装置の製造装置、配線製造装置、および製造方法。 | |
JP2005031149A (ja) | 吐出装置、カラーフィルタ基板の製造装置、カラーフィルタ基板、電気光学装置、電気光学装置の製造装置、配線製造装置、電気光学装置の製造方法、および吐出方法、ならびに電子機器。 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050707 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070403 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080226 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080310 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110328 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4100354 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120328 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120328 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130328 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140328 Year of fee payment: 6 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |