CN100415517C - 吐出装置及材料涂敷方法、滤色片基板及装置的制造方法 - Google Patents

吐出装置及材料涂敷方法、滤色片基板及装置的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明旨在使喷嘴间的吐出体积的误差难以在被吐出部分内累积。吐出喷头部分在第一扫描期间内由第一喷嘴向被吐出部分吐出液状的材料，并且，在第二扫描期间内由第二喷嘴向被吐出部分吐出液状的材料。扫描部分在第一扫描期间和第二扫描期间之间，使吐出喷头部分和平台中的一个相对另一个在X轴方向上相对移动。

Description

吐出装置及材料涂敷方法、滤色片基板及装置的制造方法
技术领域
本发明涉及涉及吐出装置及材料涂敷方法，特别涉及适合于滤色片基板的制造、电致发光显示装置的制造、等离子体显示装置的制造的吐出装置及材料涂敷方法。
背景技术
众所周知用于滤色片、电致发光显示装置等的制造中的喷液装置(比如专利文献1)。
伴随着显示装置的大型化，被吐出部位(比如滤色片部件应被涂敷部位)也变得很大。如被吐出部位变大，则对一个被吐出部位来说，由一个喷嘴吐出材料的次数就会增多。但是，由于喷液喷头的制造时的误差等，每个喷嘴一次吐出所吐出的材料的体积会有微小不同。这种情况下，如对一个被吐出部位使用同一喷嘴多次吐出液体材料，则每个被吐出部位被涂敷材料的总体积会有很大不同。
专利文献1：特开2002-221616号公报。
发明内容
本发明正是针对上述课题的发明，其目的之一在于使喷嘴间的吐出体积的误差在被吐出部分难于累积。
本发明提供一种材料涂敷方法，其使用包括吐出喷头部分和平台的吐出装置，在基板上涂敷液状的材料，所述吐出喷头部分具有N个喷头，每个喷头具有在X轴方向以喷嘴间距HXP分布的多个喷嘴，将所述N个喷头在Y轴方向上错开排列，使得所述N个喷头所具有的多个喷嘴在X轴方向的喷嘴间距GXP成为所述喷嘴间距HXP的1/N，其中N为2以上的自然数。所述材料涂敷方法包括：步骤A，将具有被吐出部分的所述基板配置在所述平台上；步骤B，在将相对所述平台的所述吐出喷头部分的相对x坐标维持在第一相对x坐标的状态，使相对所述平台的所述吐出喷头部分的相对位置在与所述X轴方向大致垂直相交的第一方向上变化；步骤C，当所述N个喷头所具有的多个喷嘴中的第一喷嘴到达对应所述被吐出部分的区域时，从所述第一喷嘴向所述被吐出部分吐出所述液状的材料；步骤D，在所述X轴方向上让相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对位置变化，以使相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对x坐标与第二相对x坐标一致；步骤E，在将相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对x坐标维持在所述第二相对x坐标的状态下，使相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对位置在与所述第一方向相反的方向上变化；和步骤F，当所述N个喷头所具有的多个喷嘴中与所述第一喷嘴不同的第二喷嘴到达对应所述被吐出部分的区域时，从所述第二喷嘴向所述被吐出部分吐出所述液状的材料。
根据上述构成所得到的效果之一是，即使由喷嘴的一次吐出所吐出的材料的体积因各喷嘴而有所不同，但该体积的零散偏差难以在一个被吐出部分中累积。
在本发明的一实施方式中，上述材料涂敷方法，在所述步骤F之后还包括：步骤G，从所述平台上取下所述基板；步骤H，将具有第二被吐出部分的第二基板配置于所述平台上；步骤I，在将相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对x坐标维持在所述第二相对x坐标的状态下，使相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对位置在所述第一方向上变化；步骤J，当所述N个喷头所具有的多个喷嘴中的第三喷嘴到达对应所述被吐出部分的区域时，从所述第三喷嘴向所述被吐出部分吐出所述液状的材料；步骤K，在所述X轴方向上让相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对位置变化，以使相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对x坐标与所述第一相对x坐标一致；步骤L，在将相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对x坐标维持在所述第一相对x坐标的状态下，使相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对位置在所述相反方向上变化；和步骤M，当所述N个喷头所具有的多个喷嘴中与所述第三喷嘴不同的第四喷嘴到达对应所述被吐出部分的区域时，从所述第四喷嘴向所述被吐出部分吐出所述液状的材料。
根据上述构成所得到的效果之一是，当用2个以上的扫描期间对使用吐出装置应被连续涂敷材料的多个基板的各基板进行涂敷扫描时，可以减少使吐出喷头部分或者平台移动的次数。
本发明可以用多种方式来实现，比如，可以以滤色片基板的制造方法、电致发光显示装置的制造方法、等离子体显示装置的制造方法等方式来实现。
本发明还提供一种吐出装置，包括：吐出喷头部分，具有N个喷头，每个喷头具有在X轴方向以喷嘴间距HXP分布的多个喷嘴，将所述N个喷头在Y轴方向上错开排列，使得所述N个喷头所具有的多个喷嘴在X轴方向的喷嘴间距GXP成为所述喷嘴间距HXP的1/N，其中N为2以上的自然数；平台，装载有被吐出部分的基板；和扫描部分，历经第一扫描期间和第二扫描期间的各期间、使所述吐出喷头部分和所述平台中的至少一个相对另一个在与所述X轴方向大致垂直相交的Y轴方向上相对移动；所述扫描部分在所述第一扫描期间和所述第二扫描期间之间，使所述吐出喷头部分和所述平台中的至少一个相对另一个在所述X轴方向上相对移动，以使所述吐出喷头部分在所述第一扫描期间内向所述被吐出部分从所述N个喷头所包括的多个喷嘴中的第一喷嘴吐出液状的材料，并且在所述第二扫描期间内向所述被吐出部分从所述N个喷头所包括的多个喷嘴中与所述第一喷嘴不同的第二喷嘴吐出所述液状的材料。
根据上述构成所得到的效果之一是，即使由喷嘴的一次吐出所吐出的材料的体积因各喷嘴而有所不同，但该体积的零散偏差难以在一个被吐出部分中累积。
附图说明
图1表示实施方式1的吐出装置的模式图。
图2表示实施方式1的喷头中喷嘴的配置的模式图。
图3(a)及(b)表示实施方式1的喷头中的吐出部分的模式图。
图4表示实施方式1的吐出喷头部分的模式图。
图5表示实施方式1的喷头组的模式图。
图6是实施方式1的吐出装置中控制部分的功能框图。
图7(a)表示实施方式1的基板的剖面的模式图、(b)表示实施方式1的基板的上面的模式图。
图8表示实施方式1的涂敷工序的模式图，表示对应第一基板的第一扫描期间的模式图。
图9表示实施方式1的涂敷工序的模式图，表示对应第一基板的第二扫描期间的模式图。
图10表示实施方式1的涂敷工序的模式图，表示对应第二基板的第一扫描期间的模式图。
图11表示实施方式1的涂敷工序的模式图，表示对应第二基板的第二扫描期间的模式图。
图12表示实施方式1的涂敷工序的变形例的模式图，表示对应第一基板的第一扫描期间的模式图。
图13表示实施方式1的涂敷工序的变形例的模式图，表示对应第一基板的第二扫描期间的模式图。
图14表示实施方式1的涂敷工序的变形例的模式图，表示对应第二基板的第一扫描期间的模式图。
图15表示实施方式1的涂敷工序的变形例的模式图，表示对应第二基板的第二扫描期间的模式图。
图16表示实施方式2的滤色片基板的制造装置的模式图。
图17是说明实施方式2的滤色片基板的制造方法的图。
图18(a)表示实施方式3的基板的剖面的模式图、(b)表示实施方式3的基板的上面的模式图。
图19表示实施方式3的电致发光显示装置的制造装置的模式图。
图20表示实施方式3的吐出装置的模式图。
图21是说明实施方式3的电致发光显示装置的制造方法的图。
图22(a)表示实施方式4的基板的剖面的模式图、(b)表示实施方式4的基板的上面的模式图。
图23表示实施方式4的等离子体显示装置的制造装置的模式图。
图24表示实施方式4的吐出装置的模式图。
图25是说明实施方式4的等离子体显示装置的制造方法的图。
图26表示使用实施方式4的制造方法制造的等离子体显示装置的剖面的模式图。
图27(a)表示实施方式5的基板的剖面的模式图、(b)表示实施方式4的基板的上面的模式图。
图28表示实施方式5的显示装置的制造装置的模式图。
图29表示实施方式5的吐出装置的模式图。
图30是说明实施方式5的显示装置的制造方法的图。
图31是说明实施方式5的显示装置的制造方法的图。
图32表示用实施方式5的制造方法制造的显示装置的剖面的模式图。
图33是说明从实施方式1到5的扫描范围的模式图。
图中：1-制造装置，10A-基板，100R、100G、100B-吐出装置，111R、111G、111B-滤色片材料。
具体实施方式
(实施方式1)
(A.吐出装置100R的整体结构)
图1的吐出装置100R是具有储存液状的滤色片材料111R的储液箱101R、管道110R、通过管道110R从储液箱101R被供给滤色片材料111R的吐出扫描部分102的材料涂敷装置。其中，吐出扫描部分102具有固定平台GS、吐出喷头部分103、第一位置控制装置104、平台106、第二位置控制装置108、控制部分112。
吐出喷头部分103在平台106侧保持有多个吐出液状的滤色片材料111R的喷头114(图2)。这些多个喷头114分别根据来自控制部分112的信号、吐出液状的滤色片材料111R的液滴。另外，储液箱101R和吐出喷头部分103的多个喷头114通过管道110R连结，由储液箱101R向各喷头114供给液状的滤色片材料111R。
这里，液状的滤色片材料111R对应本发明的“液状的材料”。
“液状的材料”是指可由喷头114的喷嘴(后边讲述)作为液滴吐出的具有粘性的材料。此时，材料不限是水性还是油性。只要具有可由喷嘴吐出的流动性(粘性)就可以，即使混入固体物质但作为整体还是流动性的也可以。
第一位置控制装置104根据来自控制部分112的信号，使吐出喷头部分103沿X轴方向及与X轴方向垂直的Z轴方向移动。还有，第一位置控制装置104还具有使吐出喷头部分103在与Z轴平行的轴的周围转动的功能。本实施方式中，Z轴方向是与铅垂方向(即重力加速度的方向)平行的方向。
具体地讲，第一位置控制装置104具有沿X轴方向延伸的一对线性马达、沿X轴方向延伸的一对X轴导轨、X轴气动滑块、转动部分和支持结构体14。支持结构体14将这些一对线性电动机、一对X轴导轨、一对X轴气动滑块和转动部分固定在Z轴方向上仅与平台106留有预定距离的位置。另一方面，X轴气动滑块被可移动地支持在一对X轴导轨内。并且通过一对线性马达的动作，X轴气动滑块可沿一对X轴导轨在X轴方向移动。由于通过转动部分、吐出喷头103与X轴气动滑块连结，因此吐出喷头103可以与X轴气动滑块一起在X轴方向移动。另外，吐出喷头部分103以吐出喷头部分103的喷嘴(后边讲述)面向平台106侧的方式被支持于X轴气动滑块。再有，转动部分具有伺服马达，并具有使吐出喷头部分103在与Z轴平行的轴的周围转动的功能。
第二位置控制装置108根据来自控制部分112的信号使平台106沿与X轴方向及Z轴方向都垂直的Y轴方向移动。还有，第二位置控制装置108还具有使平台106在与Z轴平行的轴的周围转动的功能。具体地讲，第二位置控制装置108具有沿Y轴方向延伸的一对线性马达、沿Y轴方向延伸的一对Y轴导轨、Y轴气动滑块、支撑基板、和θ工作台。一对线性马达和一对Y轴导轨位于固定平台GS上。另一方面，Y轴气动滑块被可移动地支持在一对Y轴导轨上。其中，通过一对线性马达的动作，Y轴气动滑块可沿一对Y轴导轨在Y轴方向移动。由于通过支撑基板及θ工作台、Y轴气动滑块与平台106连结，因此平台106可与Y轴气动滑块一起在Y轴移动。另外，θ工作台具有马达，并具有使平台106在与Z轴平行的轴的周围转动的功能。
另外，在本说明书中，将“第一位置控制装置104”及“第二位置控制装置108”都记为“扫描部分”。
本实施方式中的X轴方向、Y轴方向和Z轴方向与吐出喷头部分103和平台106中的任一个相对另一个做相对移动的方向一致。另外，规定X轴方向、Y轴方向和Z轴方向的XYZ坐标系的假想原点被固定在吐出装置100R的基准部分。本说明书中，X坐标、Y坐标和Z坐标是此XYZ坐标系的坐标。还有，上述的假想原点并不仅限于基准部分，还可以被固定在平台106，或者被固定在吐出喷头部分103。
如上所述，通过第一位置控制装置104使吐出喷头部分103在X轴方向移动。另一方面，通过第二位置控制装置108使平台106在Y轴方向移动。总之，通过第一位置控制装置104和第二位置控制装置108，相对平台106喷头114的相对位置发生变化。更具体地讲，通过这些的动作，吐出喷头部分103、喷头114或者喷嘴118(图2)相对被定位于平台106上的被吐出部分，边与Z轴保持预定的距离，边在X轴方向和Y轴方向相对移动，即相对扫描。这里，也可以相对静止的被吐出部位、吐出喷头部分103在Y轴移动。因此，也可以在吐出喷头部分103沿Y轴方向在预定的两点之间移动的期间内，对静止的被吐出部分由喷嘴118吐出液状的滤色片材料111R。“相对移动”和“相对扫描”包括吐出液状的滤色片材料111R一侧和由此吐出的吐出物所着落一侧(被吐出部分一侧)中的至少一侧相对另一侧移动。
另外，吐出喷头部分103、喷头114或者喷嘴118相对移动是指相对平台、基板、被吐出部分它们的相对位置发生变化。为此，本说明书中，即使吐出喷头部分103、喷头组114G、喷头114或者喷嘴118相对吐出装置100R静止而仅平台106移动的情况，也记为吐出喷头部分103、喷头组114G、喷头114或者喷嘴118相对平台106、基板或者被吐出部分作相对移动。还有，相对扫描或者相对移动和材料吐出的组合、记为“涂敷扫描”。
吐出喷头部分103和平台106还具有上述之外的平行移动和转动的自由度。但是，本实施方式中，为简易说明的目的，省略了关于上述自由度以外的自由度。
控制部分112以能从外部信息处理装置获取表示应吐出液状的滤色片材料111R的相对位置的吐出数据的方式构成。控制部分112的详细结构和功能在后边讲述。
(B.喷头)
图2所示喷头114是多个具有吐出喷头部分103的喷头114中的一个。图2是从平台106侧遥望喷头114的图，所示的是喷头114的底面。喷头114具有在X轴方向延伸的喷嘴列116。喷嘴列116由多个在X轴方向大致均匀地排列的喷嘴118构成。这些多个喷嘴118以在喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP约为70μm的方式排列。这里，“在喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP”相当于将喷头114的所有喷嘴118从与X轴方向垂直相交的方向向X轴上投影所得到的多个喷嘴像之间的间距。
喷嘴列116的喷嘴118的个数为180个。但是在喷嘴列116的两端各10个喷嘴设定为“休止喷嘴”。因此，不从这20个“休止喷嘴”吐出液状的滤色片材料111R。为此，在喷头114的180个喷嘴118中，有160个喷嘴118是作为吐出液状的滤色片材料111R的喷嘴118。本说明书中，也有将这160个喷嘴118记为“吐出喷嘴118T”的情况。
另外，一个喷头114的喷嘴118的个数并不局限于180个。一个喷头114也可以设置360个喷嘴。
如图3(a)和图(b)所示，各喷头114是喷液喷头。更具体地讲，各喷头114具有振动板126和喷嘴板128。液体积存处129位于振动板126和喷嘴板128之间，该液体积存处129始终由两个储液箱101R(图1)通过孔131供给的液状的滤色片材料111R所填充。
另外，多个隔壁122位于振动板126和喷嘴板128之间。因此，由振动板126、喷嘴板128和一对隔壁122所包围的部分是腔体120。由于腔体120是对应喷嘴118而设置的，因此腔体120的个数和喷嘴118的个数相同。通过位于一对隔壁122之间的供给口130，由液体积存处129向腔体120供给液状的滤色片材料111R。
对应各腔体120，振动器124置于振动板126上。振动器124包括压电元件124C和夹持压电元件124C的一对电极124A、124B。通过在该一对电极124A、124B之间供给驱动电压，可以从对应的喷嘴118吐出液状的滤色片材料111R。另外，调整喷嘴118的形状以由喷嘴118向Z轴方向吐出液状的滤色片材料111R。
这里，本说明书中的“液状的材料”是指可由喷嘴吐出的有粘性的材料。此时，材料不限是水性还是油性。只要具有可由喷嘴吐出的流动性(粘性)就可以，即使混入固体物质但作为整体还是流动性的也可以。
控制部分112(图1)也可以构成为向多个振动器124分别相互独立地供给信号的方式。总之，也可以根据来自控制部分112的信号，控制每个喷嘴118的从喷嘴118吐出的液状的材料的体积。在这样的情况下，由各喷嘴118吐出的液状的材料的体积也可以为在0pl～42pl(皮升)之间变化。另外，控制部分112还可以如后边所述那样设定为在涂敷扫描期间进行吐出动作的喷嘴118和不进行吐出动作的喷嘴118。
本说明书中，也有将包括一个喷嘴118、对应一个喷嘴的腔体120和对应腔体120的振动器124的部分记为“吐出部分127”的情况。如按照这样的记述方式，一个喷头114具有和喷嘴118相同数量的吐出部分127。吐出部分127还可以代替压电元件而具有电热变换元件。总之，吐出部分127还可以具有利用由电热变换元件所产生的材料的热膨胀来吐出材料的结构。
(C.吐出喷头部分)
图4是从平台106侧观察吐出喷头部分103的图，与图4的纸面垂直的方向为Z轴方向。另外，图4的纸面的上下方向为X轴方向，纸面的左右方向为Y轴方向。
如图4所示，吐出喷头部分103保持有分别具有大致相同构造的多个喷头组114G。本实施例中，在吐出喷头部分103处所保持的喷头组114G的个数为20个。20个喷头组114G形成为在X轴方向延伸的两列。另外，如下述说明，各个喷头组114G由在Y轴方向上相邻的四个喷头114构成。
如图5所示，各个喷头组114G由在Y轴方向上相邻的四个喷头114构成。还有，以喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距GXP为喷头114的X轴方向的喷溅间距HXP的1/4的方式在喷头组114G排列四个喷头114。更具体地讲，喷头组114G中，相对一个喷头114的第一基准喷嘴118R1的X坐标，其他的喷头114的第一基准喷嘴118R1的X坐标仅以喷嘴间距HXP的j/4倍的长度，无重复地、错开地位于X轴上。这里，j为1至3的自然数。因此，喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距GXP为喷嘴间距HXP的1/4倍。
本实施方式中，由于喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP约为70μm，因此喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距GXP是其1/4约为17.5μm。这里，“喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距GXP”相当于将喷头组114G的所有喷嘴118从与X轴方向垂直相交的方向向X轴上投影所得到的多个喷嘴像之间的间距。
当然，喷头组114G所包括的喷头114的个数并不局限于四个。喷头组114G也可以由N个喷头114构成。这里，N为2以上的自然数。当喷头组114G由N个喷头114构成时，可以以喷嘴间距GXP为喷嘴间距HXP的1/N的方式在喷头组114G排列N个喷头114。或者以相对N个喷头114中的一个的第一基准喷嘴118R1的X坐标，其他的(N-1)个喷头114的基准喷嘴118R1的X坐标仅以喷嘴间距HXP的j/4倍的长度无重复地错开。另外，此时j为1至(N-1)的自然数。
下面，更具体地说明本实施方式的喷头114的相对位置关系。
首先，为简易说明的目的，将被包含在图5的最左侧的喷头组114G中的四个喷头114从上边开始分别记为喷头1141、喷头1142、喷头1143和喷头1144。同样，将被包含在图8及图9的从左边开始的第二个喷头组114G中的四个喷头114从上边开始分别记为喷头1145、喷头1146、喷头1147和喷头1148。
然后如图5所示，将喷头1141中的喷嘴列116A、116B记为喷嘴列1A、1B，将喷头1142中的喷嘴列116A、116B记为喷嘴列2A、2B，将喷头1143中的喷嘴列116A、116B记为喷嘴列3A、3B，将喷头1144中的喷嘴列116A、116B记为喷嘴列4A、4B。同样将喷头1145中的喷嘴列116A、116B记为喷嘴列5A、5B，将喷头1146中的喷嘴列116A、116B记为喷嘴列6A、6B，将喷头1147中的喷嘴列116A、116B记为喷嘴列7A、7B，将喷头1141中的喷嘴列116A、116B记为喷嘴列8A、8B。
这里喷嘴列1A～8B中各喷嘴列实际上由90个喷嘴118构成。因此，如上所述，喷嘴列1A～8B中各喷嘴列的这些90个喷嘴排列于X轴方向。但是，在图5中为了说明上的方便，将各喷嘴列1A～8B中的各喷嘴列以由四个吐出喷嘴118T(喷嘴118)构成来描述。还有，图5中，喷嘴列1A的最左边的喷嘴118为喷头1141的第一基准喷嘴118R1，喷嘴列2A的最左边的喷嘴118为喷头1142的第一基准喷嘴118R1，喷嘴列3A的最左边的喷嘴118为喷头1143的第一基准喷嘴118R1，喷嘴列4A的最左边的喷嘴118为喷头1144的第一基准喷嘴118R1，喷嘴列5A的最左边的喷嘴118为喷头1145的第一基准喷嘴118R1。另外，图5的左方向为X轴方向的负的方向。
喷头1141的第一基准喷嘴118R1的X坐标与喷头1142的第一基准喷嘴118R1的X坐标的差的绝对值为喷嘴间距LNP的1/4倍的长度，即喷嘴间距HXP的1/2倍的长度。图5所示例子中喷头1141的第一基准喷嘴118R1的位置相对喷头1142的第一基准喷嘴118R1的位置是仅以喷嘴间距LNP的1/4倍的长度在X轴方向的负方向上(图5的左方向)错开。其中，喷头1141相对喷头1142错开的方向也可以是在X轴方向的正方向(图5的右方向)上。
喷头1143的第一基准喷嘴118R1的X坐标与喷头1144的第一基准喷嘴118R1的X坐标的差的绝对值为喷嘴间距LNP的1/4倍的长度，即喷嘴间距HXP的1/2倍的长度。图5所示例子中喷头1143的第一基准喷嘴118R1的位置相对喷头1144的第一基准喷嘴118R1的位置是仅以喷嘴间距LNP的1/4倍的长度在X轴方向的负方向上(图5的左方向)错开。其中，喷头1143相对喷头1144错开的方向也可以是在X轴方向的正方向(图5的右方向)上。
喷头1142的第一基准喷嘴118R1的X坐标与喷头1143的第一基准喷嘴118R1的X坐标的差的绝对值为喷嘴间距LNP的1/8倍的长度或者3/8倍的长度，即喷嘴间距HXP的1/4倍的长度或者3/4倍的长度。图5所示例子中喷头1142的第一基准喷嘴118R1的位置相对喷头1143的第一基准喷嘴118R1的位置是仅以喷嘴间距LNP的1/8倍的长度即17.5μm在X轴方向的正方向上(图5的右方向)错开。其中，喷头1142相对喷头1143错开的方向也可以是在X轴方向的负方向(图5)上。
本实施方式中，向着Y轴方向的负方向(图面的下方向)，喷头1141、1142、1143、1144按该顺序排列。但是，在Y轴方向排列的这四个喷头114的顺序并不局限于本实施方式的顺序。具体地说，只要让喷头1141和喷头1142在Y轴方向上相邻，并且喷头1143和喷头1144在Y轴方向上相邻即可。
按照上述配置，在喷嘴列1A的最左边的喷嘴118的X坐标与喷嘴列1B的最左边的喷嘴118的X坐标之间收容有喷嘴列2A的最左边的喷嘴118的X坐标、喷嘴列3A的最左边的喷嘴118的X坐标和喷嘴列4A的最左边的喷嘴118的X坐标。同样，在喷嘴列1B的最左边的喷嘴118的X坐标和喷嘴列1A的左边开始第二个喷嘴118的X坐标之间收容有喷嘴列2B的最左边的喷嘴118的X坐标、喷嘴列3B的最左边的喷嘴118的X坐标和喷嘴列4B的最左边的喷嘴118的X坐标。在喷嘴列1A的其他的喷嘴118的X坐标和喷嘴列1B的其他的喷嘴118的X坐标之间同样收容有喷嘴列2A(或者2B)的喷嘴118的X坐标、喷嘴列3A(或者3B)的喷嘴118的X坐标和喷嘴列4A(或者4B)的喷嘴118的X坐标。
更具体地说，按照上述配置，喷嘴列1B的最左边的喷嘴118的X坐标与喷嘴列1A的最左边的喷嘴118的X坐标和喷嘴列1A的左边开始第二个喷嘴118的X坐标的中间基本一致。并且，喷嘴列2A的最左边的喷嘴118的X坐标与喷嘴列1A的最左边的喷嘴118的X坐标和喷嘴列1B的最左边的喷嘴118的X坐标的中间基本一致。喷嘴列2B的最左边的喷嘴118的X坐标与喷嘴列1A的左边开始第二个喷嘴118的X坐标和喷嘴列1B的最左边的喷嘴118的X坐标的中间基本一致。喷嘴列3A的最左边的喷嘴118的X坐标与喷嘴列1A的最左边的喷嘴118的X坐标和喷嘴列2A的最左边的喷嘴118的X坐标的中间基本一致。喷嘴列3B的最左边的喷嘴118的X坐标与喷嘴列1B的最左边的喷嘴118的X坐标和喷嘴列2B的最左边的喷嘴118的X坐标的中间基本一致。喷嘴列4A的最左边的喷嘴118的X坐标与喷嘴列1B的最左边的喷嘴118的X坐标和喷嘴列2A的最左边的喷嘴118的X坐标的中间基本一致。喷嘴列4B的最左边的喷嘴118的X坐标与喷嘴列1A的左边开始第二个喷嘴118的X坐标和喷嘴列2B的最左边的喷嘴118的X坐标的中间基本一致。
图5的左边开始第二个喷头组114G中的喷头1145、1146、1147、1148的配置，即组态(configuration)也同喷头1141、1142、1143、1144的配置一样。
下面，根据喷头1145与喷头1141之间的相对位置关系说明在X轴方向上相邻的两个喷头组114G之间的相对位置关系。
喷头1145的第一基准喷嘴118R1的位置是从喷头1141的第一基准喷嘴118R1的位置开始，仅以喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP和喷头114中吐出喷嘴118T的个数的乘积的长度在X轴方向的正方向上错开。本实施方式中，由于喷嘴间距HXP约为70μm并且一个喷头114中的吐出喷嘴118T的个数为160个，因此喷头1145的第一基准喷嘴118R1的位置是从喷头1141的第一基准喷嘴118R1的位置开始仅以11.2mm(70μm×160)在X轴方向的正方向上错开。但是，为便于说明，在图8及图9中喷头1141中的吐出喷嘴118T的个数为8个，因此是以喷头1145的第一基准喷嘴118R1的位置是从喷头1141的第一基准喷嘴118R1的位置开始仅以560μm(70μm×8)错开的方式进行描述。
由于喷头1141和喷头1145是按照上述那样配置的，因此喷嘴列1A的最右边的喷嘴118T的X坐标与喷嘴列5A的最左边的喷嘴118T的X坐标仅以喷组间距LNP错开。为此，两个喷头组114G整体的X轴方向的喷嘴间距是喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP的1/4倍。
吐出喷头部分103中的其他喷头组114G的四个喷头114的相对位置关系也是和上述一样的相对位置关系。另外，在X轴方向上相邻的其他的两个喷头组的相对位置关系也是和上述两个喷头组之间的相对位置关系一样。
还有，吐出喷嘴118T是在喷嘴分布范围EXT(图4)中以X轴方向的喷嘴间距为喷嘴间距HXP的大约1/4倍的长度即17.5μm分布的。这里“喷嘴分布范围EXT”在本实施方式中是沿X轴方向的范围，是吐出喷头部分103中位于最外测的两个吐出喷头118T所规定的范围。其中，在喷嘴分布范围EXT中也包括这些位于最外测的两个吐出喷嘴118T。另外，后边讲述的基板10A上的多个被吐出部分18R所形成的矩阵的X轴方向的长度比喷嘴分布范围EXT的长度要短。
(D.控制部分)
下面，说明控制部分112的结构。如图6所示，控制部分112包括输入缓冲存储器200、存储单元202、处理部分204、扫描驱动部分206和喷头驱动部分208。缓冲存储器200和处理部分204连接成可以相互通信。处理部分204和存储单元202连接成可以相互通信。处理部分204和扫描驱动部分206连接成可以相互通信。处理部分204和喷头驱动部分208连接成可以相互通信。另外，扫描驱动部分206与第一位置控制装置104和第二位置控制装置108连接成可以相互通信。同样喷头驱动部分208和多个喷头114连接成可以相互通信。
输入缓冲存储器200从位于吐出装置100R的外部的主机(图中未表示)获取用于吐出滤色片材料111R的吐出数据。输入缓冲存储器200向处理部分204供给吐出数据，而处理部分204将吐出数据保存在存储单元202。图6中存储单元202是RAM。另外，吐出装置100R也可以在控制部分112内具有能实现外部的主机的功能的计算机。
处理部分204根据存储单元202内的吐出数据，向扫描驱动部分206提供表示喷嘴118相对被吐出部分的相对位置的数据。扫描驱动部分206将对应该数据和吐出周期的驱动信号提供给第二位置控制装置108。其结果，喷头114对被吐出部分进行相对扫描。另一方面，处理部分204根据储存在存储单元202中的吐出数据，向多个喷头114中的各喷头提供吐出液状的滤色片材料111R所需的必要的吐出信号。其结果，从多个喷头114的各喷头中的喷嘴118吐出液状的滤色片材料111R的液滴D(图3)。
控制部分112也可以是包括CPU、ROM、RAM、总线的计算机。此时，控制部分112的上述功能可以通过由计算机执行的软件程序来实现。当然，控制部分112还可以通过专用的电路(硬件)来实现。
(E、滤色片基板)
图7(a)及(b)所示的基板10A是经过用实施方式2中说明的制造装置1处理而成为滤色片基板10。基板10A具有以矩阵状排列的多个被吐出部分18R、18G、18B。
具体地讲，基板10A包括具有透光性的支撑基板12、在支撑基板12上形成的黑色矩阵14、在黑色矩阵14上形成的围堰16。黑色矩阵14由具有遮光性的材料形成。因此，黑色矩阵14和黑色矩阵14上的围堰16是以规定支撑基板12上的矩阵状的多个透光部分即矩阵状的多个像素区域的方式定位的。
在各像素区域中的由支撑基板12、黑色矩阵14及围堰16所规定的凹部对应被吐出部分18R、被吐出部分18G、被吐出部分18B。被吐出部分18R是应形成仅透过红色波长的光线的滤光层111FR，被吐出部分18G是应形成仅透过绿色波长的光线的滤光层111FG，被吐出部分18B是应形成仅透过蓝色波长的光线的滤光层111FB。
图7(b)所示的基板10A位于与X轴方向和Y轴方向的双方都平行的假想平面上。因此由多个被吐出部分18R、18G、18B所形成的矩阵的行方向和列方向分别与X轴方向和Y轴方向平行。基板10A中，被吐出部分18R、被吐出部分18G及被吐出部分18B在Y轴方向上以该顺序周期性地排列。另一方面，被吐出部分18R在X轴方向上彼此留有预定的间隔而排成一列，另外，被吐出部分18G在X轴方向上彼此留有预定的间隔而排成一列，并且，被吐出部分18B在X轴方向上彼此留有预定的间隔而排成一列。还有，X轴方向和Y轴方向相互垂直相交。
各被吐出部分18R沿Y轴方向上的间隔LRY、即间距大约是56μm。该间距与各被吐出部分18G沿Y轴方向上的间隔LGY相同，也与各被吐出部分18B沿Y轴方向上的间隔LBY相同。另外，被吐出部分18R的平面像是由长边和短边决定的多边形。具体地说，被吐出部分18R的Y轴方向的长约为100μm、X轴方向的长约为300μm。被吐出部分18G和被吐出部分18B也具有与被吐出部分18R相同的形状、大小。被吐出部分彼此之间的上述间隔及被吐出部分的上述大小对应的是40英寸左右大小的高保真电视中同一颜色对应的像素区域彼此之间的上述间隔和大小。
(F.涂敷工序)
下面，说明一下使用吐出装置100R，对基板10A的被吐出部分18R涂敷液状的滤色片材料111R的工序。
(F1.向第一基板10A的涂敷工序)
如图8所示，具有被吐出部分18R的第一基板10A配置于平台106上。具体地说，以多个被吐出部分18R所形成的矩阵的行方向及列方向分别与X轴方向及Y轴方向平行的方式，将基板10A配置在平台106上。本实施方式中，还在此时，以将被吐出部分18R的长边方向与X轴方向平行、并将短边方向与Y轴方向平行的方式，将基板10A配置在平台196上。
如图8所示，吐出喷头部分103相对平台106的相对x坐标维持为x1。这里，“吐出喷头部分103相对平台106的相对x坐标”是指固定在平台106的内部坐标系中的x坐标。该内部坐标系的x轴、y轴及z轴的方向，分别与刚才定义的X轴方向、Y轴方向及Z轴方向一致。另外，“吐出喷头部分103的相对x坐标”是吐出喷头部分103中预定的基准点的相对x坐标。比如，也可以用某个喷头114的第一基准喷嘴118R1的相对x坐标表示“吐出喷头部分103的相对x坐标”。
吐出喷头部分103的相对x坐标与x1一致时，至少有一个吐出喷嘴118T位于被吐出部分18R的X坐标范围内。这里“被吐出部分18R的X坐标范围”是沿X轴方向的从被吐出部分18R的一端到另一端的范围。本实施方式中，“被吐出部分18R的X坐标范围”的长度实际上等于被吐出部分18R的长边的长度。另外，本实施方式中，由于被吐出部分18R的X坐标范围的长度大约为300μm、吐出喷头部分103的X轴方向的喷嘴间距GXP大约为17.5μm，因此16个吐出喷嘴118T对应一个被吐出部分18R。通过在Y轴方向上改变吐出喷头部分103相对平台106的相对位置，这样的16个吐出喷嘴118T能到达对应被吐出部分18R的区域(比如与被吐出部分18R重叠)。其中，这些16个吐出喷嘴118T中，有5个吐出喷嘴118T是用于向被吐出部分18R的吐出。
以下，当吐出喷头部分103的相对x坐标为x1时，将对被吐出部分18R进行吐出的吐出喷嘴118T记为“第一喷嘴”。
下面，如图8所示，控制部分112通过驱动第二位置控制装置108，边将吐出喷头部分103的相对x坐标维持在x1，边在Y轴方向的正方向上(图9的右方向)改变吐出喷头部分103相对平台106的相对位置。通过此，吐出喷头部分103从扫描范围134(图33)的一端到另一端仅进行一次相对移动。本说明书中，将吐出喷头部分103从扫描范围的一端到另一端，或者从另一端到一端仅进行一次相对移动的期间记为“扫描期间”或者“一个周期期间”。
这里，“扫描范围134”是指如图33所示那样，为使对基板10A上的所有被吐出部分18R涂敷材料而使吐出喷头部分103的一边相对平台106进行相对移动的范围。为此，利用扫描范围134，覆盖所有的被吐出部分18R。本实施方式中吐出喷头部分103在一次扫描期间内移动扫描范围134。
另外，根据情况，所述“扫描范围”还可能指相对平台106、一个喷嘴118进行相对移动的范围，或者也可能指一个喷嘴列116A(116B)(图2)进行相对移动的范围，再或者指一个喷头114(图2)进行相对移动的范围。
再有，吐出喷头部分103、喷头组114G(图4)、喷头114(图2)或者喷嘴118(图2)相对平台106进行相对移动是指相对平台106、基板10A或者被吐出部分18R的、它们的相对位置发生变化。为此，本说明书中，对吐出喷头部分103、喷头组114G、喷头114或者喷嘴118相对吐出装置100R静止而仅移动平台106的情况，也记为吐出喷头部分103、喷头组114G、喷头114或者喷嘴118相对平台106、基板10A或者被吐出部分18R进行相对移动。另外，也有将相对扫描或者相对移动、与材料的吐出的组合记为“涂敷扫描”的情况。
通过吐出喷头部分103向Y轴方向的正方向进行相对移动，当5个吐出喷嘴118T(第一喷嘴)到达对应被吐出部分18R的区域时，吐出喷头部分103从这5个吐出喷嘴118T(第一喷嘴)向该被吐出部分18R吐出液状的滤色片材料111R的液滴D(图3)。通过这样，吐出装置100R对排列于Y轴方向的多个被吐出部分18R分别吐出液状的滤色片材料111R的液滴D。
接着如图9所示，控制部分112通过第一位置控制装置104，使吐出喷头部分103相对平台106的相对位置在X轴方向变化，以使吐出喷头部分103相对平台106的相对x坐标与x2一致。具体地说，通过此，吐出喷头部分103相对平台106，在X轴方向的正方向上相对移动约30个喷嘴量的距离。本实施方式中，约30个喷嘴的距离大约是507.5μm(17.5×(30-1))。
吐出喷头部分103相对平台106的相对x坐标与x2一致时，也至少有一个吐出喷嘴118T位于被吐出部分18R的X坐标范围内。本实施方式中，16个吐出喷嘴118T对应一个被吐出部分18R。像这样的4个吐出喷嘴118T，通过在Y轴方向上改变吐出喷头部分103相对平台106的相对位置，可以到达对应被吐出部分18R的区域(比如与被吐出部分18R重叠)。其中，这些16个吐出喷嘴118T中，有4个吐出喷嘴118T是用于向被吐出部分18R的吐出。
以下，当吐出喷头部分103的相对x坐标为x2时，将对被吐出部分18R进行吐出的吐出喷嘴118T记为“第二喷嘴”。
下面，如图9所示，控制部分112通过驱动第二位置控制装置108，边将吐出喷头部分103的相对x坐标维持在x2，边在Y轴方向的负方向上(图9的左方向)改变吐出喷头部分103相对平台106的相对位置。通过此，吐出喷头部分103从扫描范围134的另一端到一端仅进行一次相对移动。
通过吐出喷头部分103向Y轴方向的负方向进行相对移动，当4个吐出喷嘴118T(第二喷嘴)到达对应被吐出部分18R的区域时，吐出喷头部分103从这4个吐出喷嘴118T(第二喷嘴)向该被吐出部分18R吐出液状的滤色片材料111R的液滴D(图3)。通过这样，吐出装置100R对排列于Y轴方向的多个被吐出部分18R的各部分吐出液状的滤色片材料111R的液滴D。
在第一个扫描期间和第二个扫描期间，对第一基板10A的多个被吐出部分18R的各部分分别从不同的吐出喷嘴118T吐出滤色片材料111R的液滴D。具体地说，在第一个扫描期间中从5个第一喷嘴吐出液滴D，在第二个扫描期间中从4个第二喷嘴吐出液滴D。像这样，对一个被吐出部分18R，共从9个喷嘴118T吐出液滴。其结果，被吐出部分18R的各部分分别被涂敷预定体积的滤色片材料111R。对于多个被吐出部分18R的各部分，由于用于第一个扫描期间内的吐出的吐出喷嘴118T和用于第二个扫描期间内的吐出的吐出喷嘴118T不同，因此即使因喷头114的制造误差所造成的吐出喷嘴118T之间液滴D的吐出体积不同，吐出喷嘴118T之间的吐出体积的差异作为被涂敷于一个被吐出部分18R上的滤色片材料111R的体积的差异也很难显现出来。
像这样，吐出装置100R在两次扫描期间内对第一基板10A的多个被吐出部分18R的所有部分涂敷液状的滤色片材料111R。
如吐出装置100R结束对第一块的基板10A的涂敷工序，则搬运装置170使用叉子部分从平台106上取下第一基板10A。另外，从结束对第一基板10A的第二扫描期间开始，到开始对第二块的基板10A的第一扫描期间为止，吐出喷头部分103的相对x坐标一直维持在x2。
(F2.对第二基板10A的涂敷工序)
第二基板10A的结构与第一基板10A的结构相同。首先，如图10所示，将第二基板10A配置在平台106上。具体地说，以第二基板10A相对平台106的相对位置与第一基板10A相对平台106的相对位置相同的方式，来决定在平台106上的第二基板10A的位置。这里，由于吐出喷头部分103相对平台106的相对x坐标维持在x2，因此16个吐出喷嘴118T位于多个被吐出部分18R的各部分的X坐标范围内。其中，在这些16个吐出喷嘴118T中，上述4个吐出喷嘴118T，即4个第二喷嘴用于向被吐出部分18R的吐出。
接着如图10所示，控制部分112通过驱动第二位置控制装置108，边将吐出喷头部分103的相对x坐标维持在x2，边在Y轴方向的正方向上(图10的右方向)改变吐出喷头部分103相对平台106的相对位置。通过此，吐出喷头部分103从扫描范围134的一端到另一端仅进行一次相对移动。
通过吐出喷头部分103向Y轴方向的负方向进行相对移动，当4个吐出喷嘴118T(第二喷嘴)到达对应被吐出部分18R的区域时，吐出喷头部分103从这4个吐出喷嘴118T(第二喷嘴)向该被吐出部分18R吐出液状的滤色片材料111R的液滴D(图3)。通过这样，吐出装置100R对排列于Y轴方向的多个被吐出部分18R的各部分吐出液状的滤色片材料111R的液滴D。
然后如图11所示，控制部分112通过第一位置控制装置104，使吐出喷头部分103相对平台106的相对位置在X轴方向变化，以使吐出喷头部分103相对平台106的相对x坐标从x2变化为x1。通过此，吐出喷头部分103相对平台106，在X轴方向的负方向上相对移动约30个喷嘴量的距离。如上所述，本实施方式中，约30个喷嘴的距离大约是507.5μm(17.5×(30-1))。
吐出喷头部分103相对平台106的相对x坐标与x1一致时，也至少有一个吐出喷嘴118T位于被吐出部分18R的X坐标范围内。本实施方式中，16个吐出喷嘴118T对应一个被吐出部分18R。其中，这些16个吐出喷嘴118T中，上述5个吐出喷嘴118T、即5个第一喷嘴是用于向被吐出部分18R的吐出。
下面，如图11所示，控制部分112通过驱动第二位置控制装置108，边将吐出喷头部分103的相对x坐标维持在x1，边在Y轴方向的负方向上(图11的左方向)改变吐出喷头部分103相对平台106的相对位置。通过此，吐出喷头部分103从扫描范围的另一端到一端仅进行一次相对移动。
通过吐出喷头部分103向Y轴方向的负方向进行相对移动，当5个吐出喷嘴118T(第一喷嘴)到达对应被吐出部分18R的区域时，吐出喷头部分103从这5个吐出喷嘴118T(第一喷嘴)向该被吐出部分18R吐出液状的滤色片材料111R的液滴D(图3)。通过这样，吐出装置100R对排列于Y轴方向的多个被吐出部分18R的各部分吐出液状的滤色片材料111R的液滴D。
在第一个扫描期间和第二个扫描期间，对第二基板10A的多个被吐出部分18R的各部分分别从不同的吐出喷嘴118T吐出滤色片材料111R的液滴D。具体地说，在第一个扫描期间中从4个第二喷嘴吐出液滴D，在第二个扫描期间中从5个第一喷嘴吐出液滴D。像这样，对一个被吐出部分18R，共从9个喷嘴118T吐出液滴。其结果，被吐出部分18R的各部分分别被涂敷预定体积的滤色片材料111R。按照本实施方式，对于多个被吐出部分18R的各部分，由于用于第一个扫描期间内的吐出的吐出喷嘴118T和用于第二个扫描期间内的吐出的吐出喷嘴118T不同，因此即使因喷头114的制造误差所造成的吐出喷嘴118T之间液滴D的吐出体积不同，吐出喷嘴118T之间的吐出体积的差异作为被涂敷于一个被吐出部分18R上的滤色片材料111R的体积的差异也很难显现出来。
(实施方式1的变形例)
(1)上述实施方式中，在第二扫描期间对第一基板10A吐出滤色片材料111R的吐出喷嘴118T和在第一扫描期间对第二基板10A吐出滤色片材料111R的吐出喷嘴118T虽然相同。但本发明并不局限于这样的结构。如下述说明，在第二扫描期间对第一基板10A吐出滤色片材料111R的吐出喷嘴118T和在第一扫描期间对第二基板10A吐出滤色片材料111R的吐出喷嘴118T也可以不同。
在图12～图15中，将一个喷头组114的吐出喷嘴118T的各喷嘴按X坐标的从小开始的顺序记为喷嘴N1、N2、N3、～N64。
首先，控制部分112将吐出喷头部分103的相对x坐标设定为x1。这样，比如从喷嘴N2到N17共16个吐出喷嘴118T位于图12的左角的被吐出部分18R的X坐标范围内。然后，控制部分112在将吐出喷头部分103的相对x坐标设定为x1的基础上，开始对第一基板10A的第一扫描期间。在对第一基板10A的第一扫描期间内，喷嘴N2～N17的吐出喷嘴118T中、喷嘴N2、N4、N6、～N16这8个吐出喷嘴118T向被吐出部分18R吐出滤色片材料111R的液滴D。这里，图12中的N2、N4、N6、～N16的各喷嘴分别对应本发明的第一喷嘴。图12中的黑圆点表示来自第一喷嘴的液滴D的着落的位置。
然后，控制部分112将吐出喷头部分103的相对x坐标设定为x2。本变形例中，为说明上的方便，设x1比x2大(x1＞x2)。另外相对x坐标x1与x2之间的距离相当于32个喷嘴的距离。总之，如将吐出喷头部分103的相对x坐标设定为x2，则使喷嘴N33位于喷嘴N1所处过的位置。如控制部分112将吐出喷头部分103的相对x坐标设定为x2，则从喷嘴N34到N49这16个吐出喷嘴118T位于图13的左角的被吐出部分18R的x坐标范围内。另外，图13的左角的被吐出部分18R与图12的左角的被吐出部分18R相同。
然后，控制部分112在将吐出喷头部分103的相对x坐标设定为x2的基础上，开始对第一基板10A的第二扫描期间。如图13所示，在对第一基板10A的第二扫描期间内，喷嘴N34～N49的吐出喷嘴118T中、喷嘴N35、N37、N39、～N49这8个吐出喷嘴118T向被吐出部分18R吐出滤色片材料111R的液滴D。这里，图13中的N35、N37、N39、～N49的各喷嘴分别对应本发明的第二喷嘴。图13中的黑圆点表示来自第二喷嘴的液滴D的着落的位置。另外，图13中的白圆点是为了进行比较而显示来自第一喷嘴的液滴D的着落的位置。
接着，取下平台106上的第一基板10A，并在平台106上设置第二基板10A。第二基板10A相对平台106的相对位置与第一基板10A相对平台106的相对位置相同。另外，吐出喷头部分103的相对x坐标仍维持在x2。此时，从喷嘴N34～N49这16个吐出喷嘴118T位于图14的左角的被吐出部分18R的X坐标范围内。
控制部分112如设定了第二基板10A后，则开始对第二基板10A的第一扫描期间。如图14所示，在对第二基板10A的第一扫描期间内，喷嘴N34～N49这16个吐出喷嘴118T中、喷嘴N34、N36、N38、～N48这8个吐出喷嘴118T向被吐出部分18R吐出滤色片材料111R的液滴D。这里，图14中的N34、N36、N38、～N48的各喷嘴分别对应本发明的第三喷嘴。图14中的黑圆点表示来自第三喷嘴的液滴的着落的位置。
控制部分112将吐出喷头部分103的相对x坐标设定为x1。这样，从喷嘴N2～N17这16个吐出喷嘴118T位于图15的左角的被吐出部分18R的X坐标范围内。
然后，控制部分112在将吐出喷头部分103的相对x坐标设定为x1的基础上，开始对第二基板10A的第二扫描期间。如图15所示，在对第二基板10A的第二扫描期间内，喷嘴N2～N17的吐出喷嘴118T中、喷嘴N3、N5、N7、～N17这8个吐出喷嘴118T向被吐出部分18R吐出滤色片材料111R的液滴D。这里，图15中的N3、N5、N7、～N17的各喷嘴分别对应本发明的第四喷嘴。图15中的黑圆点表示来自第四喷嘴的液滴的着落的位置。另外，图15中的白圆点是为了进行比较而显示来自第三喷嘴的液滴D的着落的位置。
如本变形例所说明那样，在多个被吐出部分18R的各部分中，对第一基板10A的在第二扫描期间进行吐出动作的喷嘴、与对第二基板10A的在第一扫描期间进行吐出动作的喷嘴不同。即第二喷嘴与第三喷嘴不同。另外，在实施方式1中，第二喷嘴与第三喷嘴相同。
(2)在上述实施方式中，吐出装置100R对一个基板10A经历2个循环期间(扫描期间)以进行涂敷扫描。其中，只要循环期间的数量为偶数，循环期间的数量可以为任何数。这是因为只要循环期间的数量为偶数，可以对多个基板10A的各部分顺次高效率地涂敷材料111R。
(实施方式2)
在实施方式1中说明了对被吐出部分18R涂敷滤色片材料111R的工序。下面说明使用制造装置1直至得到滤色片基板10的一系列的工序。
图16所示的制造装置1是对图7的基板10A的被吐出部分18R、18G、18B的各部分、吐出相应滤色片材料的装置。具体地说，制造装置1包括对所有被吐出部分18R涂敷滤色片材料111R的吐出装置100R、使被吐出部分18R上的滤色片材料111R干燥的干燥装置150R、对所有被吐出部分18G涂敷滤色片材料111G的吐出装置100G、使被吐出部分18G上的滤色片材料111G干燥的干燥装置150G、对所有被吐出部分18B涂敷滤色片材料111B的吐出装置100B、使被吐出部分18B上的滤色片材料111B燥的干燥装置150B、再次加热(二次烘烤)滤色片材料111R、111G、111B的干燥机160、在经过了二次烘烤的滤色片材料111R、111G、111B的层上设置保护膜20的吐出装置100C、使保护膜20干燥的干燥装置150C、将被干燥的保护膜再次加热以固化的固化装置165。另外制造装置1还具有按照吐出装置100R、干燥装置150R、吐出装置100G、干燥装置150G、吐出装置100B、干燥装置150B、吐出装置100C、干燥装置150C、固化装置165的顺序搬运基板10A的搬运装置170。搬运装置170具有叉子部分、上下移动叉子部分的驱动部分和自行走部分。
由于在实施方式1中已说明了吐出装置100R的结构，因此省略说明。吐出装置100G的结构、吐出装置100B的结构、吐出装置100C的结构中的任一结构与吐出装置100R的结构基本上相同。其中，取代吐出装置100R中的储液箱101R和管道110R、吐出装置100G具有滤色片材料111G用的储液箱和管道这一点，是吐出装置100G的结构与吐出装置100R的结构的不同之处。同样，取代储液箱101R和管道110R、吐出装置100B具有滤色片材料111B用的储液箱和管道这一点，是吐出装置100B的结构与吐出装置100R的结构的不同之处。还有，取代储液箱101R和管道110R、吐出装置100C具有保护膜材料用的储液箱和管道这一点，是吐出装置100C的结构与吐出装置100R的结构的不同之处。另外，本实施方式中液状的滤色片材料111R、111G、111B分别是本发明的“液状的材料”的例子之一。
首先，依照以下的顺序作成图7的基板10A。首先，使用喷溅法或蒸镀法，在支撑基板12上形成金属薄膜。其后，使用光刻法工序由这些金属薄膜形成格子状的黑色矩阵14。黑色矩阵14的材料的例子有金属铬或氧化铬。另外，支撑基板12是对可视光具有透光性的基板，比如是玻璃基板。接着，以覆盖支撑基板12及黑色矩阵14的方式，涂敷负性的感光性树脂组成物构成的抗蚀层。然后，边在该抗蚀层上粘合以矩阵图形形状所形成的掩模，边曝光该抗蚀层。之后，通过蚀刻处理除去抗蚀层的未曝光的部分，从而可以得到围堰16。通过以上的工序，可以得到基板10A。
另外，取代围堰16，还可以使用由树脂黑构成的围堰。此时，不需要金属薄膜(黑色矩阵14)，围堰层仅为一层。
接着，通过大气压下的氧气等离子体处理，将基板10A进行亲液化。通过该处理，可以使由支撑基板12、黑色矩阵14、围堰16所规定的各个凹部(像素区域的一部分)的支撑基板12的表面、黑色矩阵14的表面、围堰16的表面呈现亲液性。另外，在此之后，对基板10A进行以四氟甲烷为处理气体的等离子体处理。通过使用四氟甲烷的等离子体处理，各凹部的围堰16的表面被氟化处理(疏液处理)，通过此，使围堰16的表面能呈现疏液性。还有，通过使用四氟甲烷的等离子体处理，使刚刚被赋予了亲液性的支撑基板12的表面及黑色矩阵14的表面失去一部分亲液性，但即使如此这些表面仍维持亲液性。像这样，通过对由支撑基板12、黑色矩阵14、围堰16所规定的凹部的表面施行预定的表面处理，凹部的表面成为被吐出部分18R、18G、18B。
再有，也有不进行如上述的表面处理，通过支撑基板12的材质、黑色矩阵14的材质、及围堰16的材质，而能得到呈现所期望的亲液性及疏液性的表面的情况。此时，即使不进行上述表面处理，也能使由支撑基板12、黑色矩阵14、围堰16所规定的凹部的表面成为被吐出部分18R、18G、18B。
通过搬运装置170，形成了被吐出部分18R、18G、18B的基板10A被搬运至吐出装置100R的平台106。然后，如图17(a)所示，吐出装置100R根据吐出数据，从喷头114吐出滤色片材料111R，以使所有被吐出部分18R处形成滤色片材料111R的层。更具体地说，吐出装置100R通过进行实施方式1中说明的涂敷工序，对多个被吐出部分18R的各部分涂敷滤色片材料111R。
当基板10A的所有被吐出部分18R都形成有滤色片材料111R的层时，搬运装置170将基板10A放置在干燥装置150R内。然后，通过完全干燥被吐出部分18R上的滤色片材料111R，在被吐出部分18R上得到滤光层111FR。
然后，搬运装置170将基板10A放置在吐出装置100G的平台106。此后，如图17(b)所示，吐出装置100G根据对应被吐出部分18G的吐出数据，从喷头114吐出滤色片材料111G，以使所有被吐出部分18G处形成滤色片材料111G的层。更具体地说，吐出装置100G通过进行实施方式1中说明的涂敷工序，对多个被吐出部分18G的各部分涂敷滤色片材料111G。
当基板10A的所有被吐出部分18G都形成有滤色片材料111G的层时，搬运装置170将基板10A放置在干燥装置150G内。然后，通过完全干燥被吐出部分18G上的滤色片材料111G，在被吐出部分18G上得到滤光层111FG。
接着，搬运装置170将基板10A放置在吐出装置100B的平台106。然后，如图17(c)所示，吐出装置100B根据对应被吐出部分18B的吐出数据，从喷头114吐出滤色片材料111B，以使所有被吐出部分18B处形成滤色片材料111B的层。更具体地说，吐出装置100B通过进行实施方式1中说明的涂敷工序，对多个被吐出部分18B的各部分涂敷滤色片材料111B。
当基板10A的所有被吐出部分18B都形成有滤色片材料111B的层时，搬运装置170将基板10A放置在干燥装置150B内。然后，通过完全干燥被吐出部分18B上的滤色片材料111B，在被吐出部分18B上得到滤光层111FB。
然后，搬运装置170将基板10A放置在干燥机160内。此后，干燥机160将滤光层111FR、111FG、111FB再次加热(二次烘烤)。
接着，搬运装置170将基板10A放置在吐出装置100C的平台106。然后，吐出装置100C吐出液状的保护膜材料，以形成覆盖滤光层111FR、111FG、111FB及围堰16的保护膜20。在形成了覆盖滤光层111FR、111FG、111FB及围堰16的保护膜20以后，搬运装置170将基板10A放置在干燥装置150C内。此后，干燥装置150C完全干燥保护膜20后，通过固化装置165加热保护膜20使之完全固化，基板10A成为滤色片基板10。
(实施方式3)
下面，说明本发明适用于电致发光显示装置的制造装置的例子。
图18(a)及(b)所示基板30A是通过用后述的制造装置2(图19)处理而成为电致发光显示装置30的基板。基板30A包括以矩阵状配置的多个被吐出部分38R、38G、38B。
具体地说，基板30A包括支撑基板32、形成在支撑基板32上的电路元件层34、形成在电路元件层34上的多个像素电极36、形成在多个像素电极36之间的围堰40。支撑基板是对可视光具有透光性的基板，比如玻璃基板。多个像素电极36的各电极分别是对可视光具有透光性的电极，比如ITO(Indium-Tin Oxide)电极。另外，多个像素电极36在电路元件层34上以矩阵状配置，分别规定像素区域。另外，围堰40具有格子状的形状，包围着多个像素电极的各电极。另外，围堰40由形成在电路元件层34上的无机物围堰40A和位于无机物围堰40A上的有机物围堰40B构成。
电路元件层34是具有：在支撑基板32上以预定的方向延伸的多个扫描电极、以覆盖多个扫描电极方式所形成的绝缘膜42、位于绝缘膜42上并在与多个扫描电极延伸的方向垂直相交的方向上延伸的多个信号电极、位于扫描电极和信号电极的交点附近的多个开关元件44、以覆盖多个开关元件44所形成的聚酰亚胺等的层间绝缘膜45的层。各开关元件44的栅电极44G和源电极44S分别与对应的扫描电极和对应的信号电极电连接。层间绝缘膜45上有多个像素电极36。在层间绝缘膜45上与各开关元件44的漏电极44D对应的部位设置有贯穿孔44V，通过该贯穿孔44V，形成开关元件44与对应的像素电极36之间的电连接。另外，各开关元件44位于对应围堰40的位置。即，如从与图13(b)的纸面垂直的方向观察，多个开关元件44的各元件位于被围堰40覆盖的位置。
由基板30A的像素电极36和围堰40所规定的凹部(像素区域的一部分)对应被吐出部分38R、被吐出部分38G、被吐出部分38B。被吐出部分38R是应形成发出红色波长区域的光线光的发光层211FR的区域，被吐出部分38G是应形成发出绿色波长区域的光线光的发光层211FG的区域，被吐出部分38B是应形成发出蓝色波长区域的光线光的发光层211FB的区域。
图18(b)所示基板30A位于与X轴方向和Y轴方向两个方向都平行的假想平面上。因此，多个被吐出部分38R、38G、38B所形成的矩阵的行方向和列方向分别与x轴方向和Y轴方向平行。基板30A中被吐出部分38R、被吐出部分38G、被吐出部分38B以此顺序周期性地排列在Y轴方向上。另一方面，各被吐出部分38R在X轴方向上彼此留有预定的一定间隔而排成一列，另外，各被吐出部分38G在X轴方向上彼此留有预定的一定间隔而排成一列，同样，各被吐出部分38B在X轴方向上彼此留有预定的一定间隔而排成一列。另外，X轴方向与Y轴方向相互垂直相交。
各被吐出部分38R之间沿Y轴方向上的间隔LRY、即间距大约是56μm。该间距与各被吐出部分38G之间沿Y轴方向上的间隔LGY相同，也与各被吐出部分38B之间沿Y轴方向上的间隔LBY相同。另外，被吐出部分38R的平面像是由长边和短边决定的矩形。具体地说，被吐出部分38R的Y轴方向的长约为100μm、X轴方向的长约为300μm。被吐出部分38G和被吐出部分38B也具有与被吐出部分38R相同的形状、大小。被吐出部分彼此之间的上述间隔及被吐出部分的上述大小对应的是40英寸左右大小的高保真电视中相应同一颜色的像素区域彼此之间的上述间隔和大小。
图19所示的制造装置2是对图18的基板30A的被吐出部分38R、38G、38B的各部分、吐出相应发光材料的装置。制造装置2包括对所有被吐出部分38R涂敷发光材料211R的吐出装置200R、使被吐出部分38R上的发光材料211R干燥的干燥装置250R、对所有被吐出部分38G涂敷发光材料211G的吐出装置200G、使被吐出部分38G上的发光材料211G干燥的干燥装置250G、对所有被吐出部分38B涂敷发光材料211B的吐出装置200B、使被吐出部分38B上的发光材料211B干燥的干燥装置250B。另外制造装置2还具有按照吐出装置200R、干燥装置250R、吐出装置200G、干燥装置250G、吐出装置200B、干燥装置250B的顺序搬运基板30A的搬运装置270。搬运装置270具有叉子部分、上下移动叉子部分的驱动部分和自行走部分。
图20所示的吐出装置200R包括储存液状的发光材料211R的储液箱201R、管道210R和通过管道210R由储液箱201R被供给发光材料211R的吐出扫描部分102。由于吐出扫描部分102的结构与实施方式1的吐出扫描部分102(图1)的结构相同，同样的构成要素采用相同的参考符号，并省略重复的说明。另外，吐出装置200G的结构、吐出装置200B的结构都与吐出装置200R的结构基本上相同。其中，取代储液箱201R和管道210R、吐出装置200G具有发光材料211G用的储液箱和管道这一点，是吐出装置200G的结构与吐出装置200R的结构的不同之处。同样，取代储液箱201R和管道210R、吐出装置200B具有发光材料211B用的储液箱和管道这一点，是吐出装置200B的结构与吐出装置200R的结构的不同之处。还有，本实施方式中液状的发光材料211R、211G、211B分别是本发明的“液状的材料”的例子之一。
下面说明使用制造装置2的电致发光显示装置30的制造方法。首先，使用公知的制膜技术和蚀刻图形技术，制造图18所示的基板30A。
然后，通过大气压下的氧气等离子体处理，将基板30A亲液化。通过该处理，可以使由像素电极36和围堰40所规定的各个凹部(像素区域的一部分)的像素电极36的表面、无机物围堰40A的表面、有机物围堰40B的表面呈现亲液性。另外，在此之后，对基板30A进行以四氟甲烷为处理气体的等离子体处理。通过使用四氟甲烷的等离子体处理，各凹部的有机物围堰40B的表面被氟化处理(疏液处理)，通过此，使有机物围堰40B的表面能呈现疏液性。还有，通过使用四氟甲烷的等离子体处理，使刚刚被赋予了亲液性的像素电极36的表面及无机物围堰40A的表面失去一部分亲液性，但即使如此这些表面仍维持亲液性。像这样，通过对由像素电极36、围堰40所规定的凹部的表面施行预定的表面处理，凹部的表面成为被吐出部分38R、38G、38B。
另外，也有不进行如上述的表面处理，通过像素电极36的材质、无机物围堰40A的材质、及有机物围堰40B的材质，而能得到呈现所期望的亲液性及疏液性的表面的情况。此时，即使不进行上述表面处理，也能使由像素电极36和围堰40所规定的凹部的表面成为被吐出部分38R、38G、38B。
这里，还可以在被施行了表面处理的多个像素电极36的各电极上形成对应的空穴输送层37R、37G、37B。如将空穴输送层37R、37G、37B位于像素电极36和后述的发光层211RF、211GF、211BF之间，则能提高电致发光显示装置的发光效率。当在多个像素电极36的各电极上设置空穴输送层，则由空穴输送层和围堰40所规定的凹部对应被吐出部分38R、38G、38B。
另外，空穴输送层37R、37G、37B可以用喷液法形成。此时，可以通过将包含有用于形成空穴输送层37R、37G、37B的材料的溶液以预定量涂敷各像素区域，然后使其干燥，来形成空穴输送层。
通过搬运装置270，形成了被吐出部分38R、38G、38B的基板30A被搬运至吐出装置200R的平台106。然后，如图21(a)所示，吐出装置200R根据吐出数据，从喷头114吐出发光材料211R，以使所有被吐出部分38R处形成发光材料211R的层。更具体地说，吐出装置200R通过进行实施方式1中说明的涂敷工序，对多个被吐出部分38R的各部分涂敷发光材料211R。
当基板30A的所有被吐出部分38R都形成有发光材料211R的层时，搬运装置270将基板30A放置在干燥装置250R内。然后，通过完全干燥被吐出部分38R上的发光材料211R，在被吐出部分38R上得到发光层211FR。
然后，搬运装置270将基板30A放置在吐出装置200G的平台106。此后，如图21(b)所示，吐出装置200G根据对应被吐出部分38G的吐出数据，从喷头114吐出发光材料211G，以使所有被吐出部分38G处形成发光材料211G的层。更具体地说，吐出装置200G通过进行实施方式1中说明的涂敷工序，对多个被吐出部分38G的各部分涂敷发光材料211G。
当基板30A的所有被吐出部分38G都形成有发光材料211G的层时，搬运装置270将基板30A放置在干燥装置250G内。然后，通过完全干燥被吐出部分38G上的发光材料211G，在被吐出部分38G上得到发光层211FG。
接着，搬运装置270将基板30A放置在吐出装置200B的平台106。然后，如图21(c)所示，吐出装置200B根据对应被吐出部分38B的吐出数据，从喷头114吐出发光材料211B，以使所有被吐出部分38B处形成发光材料211B的层。更具体地说，吐出装置200B通过进行实施方式1中说明的涂敷工序，对多个被吐出部分38B的各部分涂敷发光材料211B。
当基板30A的所有被吐出部分38B都形成有发光材料211B的层时，搬运装置270将基板30A放置在干燥装置250B内。然后，通过完全干燥被吐出部分38B上的发光材料211B，在被吐出部分38B上得到滤光层211FB。
然后，如图21(d)所示，设置对向电极46以覆盖发光层211FR、211FG、211FB及围堰40。对向电极46起阴极的作用。此后，通过将密封基板48和基板30A以相互的周边部分连接的方式，得到图21(d)所示的电致发光显示装置30。另外，在密封基板48和基板30A之间封入惰性气体。
电致发光显示装置30中，由发光层211FR、211FG、211FB发出的光经像素电极36、电路元件层34、支撑基板32射出。如这样的经电路元件层34射出光的电致发光显示装置，被称为底部发射型的显示装置。
(实施方式4)
下面说明将本发明适用于等离子体显示装置的背面基板的制造装置中的例子。
图22(a)及(b)所示的基板50A是通过用后述的制造装置3(图23)处理而成为等离子体显示装置的背面基板50B的基板。基板50A包括以矩阵状配置的多个被吐出部分58R、58G、58B。
具体地说，基板50A包括支撑基板52、在支撑基板52上以带状形成的多个寻址电极54、以覆盖寻址电极54的形式形成的电介质玻璃层56、具有格子状的形状并规定多个像素区域的隔壁60。多个像素区域排列为矩阵状，多个像素区域所形成的矩阵的列分别对应各多个寻址电极54。如这样的基板50A，可以用公知的丝网印刷技术形成。
基板50A的各个像素区域中，由电介质玻璃层56和隔壁60所规定的凹部对应于被吐出部分58R、被吐出部分58G、被吐出部分58B。被吐出部分58R是应形成发出红色波长区域的光线光的荧光层311FR的区域，被吐出部分58G是应形成发出绿色波长区域的光线光的荧光层311FG的区域，被吐出部分58B是应形成发出蓝色波长区域的光线光的荧光层311FB的区域。
图22(b)所示基板50A位于与X轴方向和Y轴方向两个方向都平行的假想平面上。因此，多个被吐出部分58R、58G、58B所形成的矩阵的行方向和列方向分别与X轴方向和Y轴方向平行。基板50A中被吐出部分58R、被吐出部分58G、被吐出部分58B以此顺序周期性地排列在Y轴方向上。另一方面，各被吐出部分58R在X轴方向上彼此留有预定的一定间隔而排成一列，另外，各被吐出部分58G在X轴方向上彼此留有预定的一定间隔而排成一列，同样，各被吐出部分58B在X轴方向上彼此留有预定的一定间隔而排成一列。另外，X轴方向与Y轴方向相互垂直相交。
各被吐出部分58R之间沿Y轴方向上的间隔LRY、即间距大约是56μm。该间距与各被吐出部分58G之间沿Y轴方向上的间隔LGY相同，也与各被吐出部分58B之间沿Y轴方向上的间隔LBY相同。另外，被吐出部分58R的平面像是由长边和短边决定的矩形。具体地说，被吐出部分58R的Y轴方向的长约为100μm、X轴方向的长约为300μm。被吐出部分58G和被吐出部分58B也具有与被吐出部分58R相同的形状、大小。被吐出部分彼此之间的上述间隔及被吐出部分的上述大小对应的是40英寸左右大小的高保真电视中、相应同一颜色的像素区域彼此之间的上述间隔和大小。
图23所示的制造装置3是对图22的基板50A的被吐出部分58R、58G、58B的各部分、吐出相应荧光材料的装置。制造装置3包括对所有被吐出部分58R涂敷荧光材料311R的吐出装置300R、使被吐出部分58R上的荧光材料311R干燥的干燥装置350R、对所有被吐出部分58G涂敷荧光材料311G的吐出装置300G、使被吐出部分58G上的荧光材料311G干燥的干燥装置350G、对所有被吐出部分58B涂敷荧光材料311B的吐出装置300B、使被吐出部分58B上的荧光材料311B干燥的干燥装置350B。另外制造装置3还具有按照吐出装置300R、干燥装置350R、吐出装置300G、干燥装置350G、吐出装置300B、干燥装置350B的顺序搬运基板50A的搬运装置370。搬运装置370具有叉子部分、上下移动叉子部分的驱动部分和自行走部分。
图24所示的吐出装置300R包括储存液状的荧光材料311R的储液箱301R、管道310R和通过管道310R由储液箱301R被供给荧光材料311R的吐出扫描部分102。由于吐出扫描部分102的结构，在实施方式1已经说明而省略重复的说明。
吐出装置300G的结构、吐出装置300B的结构都基本上与吐出装置300R的结构相同。其中，取代储液箱301R和管道310R、吐出装置300G具有荧光材料311G用的储液箱和管道这一点，是吐出装置300G的结构与吐出装置300R的结构的不同之处。同样，取代储液箱301R和管道310R、吐出装置300B具有荧光材料311B用的储液箱和管道这一点，是吐出装置300B的结构与吐出装置300R的结构的不同之处。还有，本实施方式中液状的荧光材料311R、311G、311B分别是发光材料的一种，也对应本发明的“液状的材料”。
下面说明使用制造装置3的等离子体显示装置的制造方法。首先，使用公知的丝网印刷技术，在支撑基板52上形成多个寻址电极54、电介质玻璃层56、隔壁60，从而得到图22所示的基板50A。
然后，通过大气压下的氧气等离子体处理，将基板50A亲液化。通过该处理，可以使由隔壁60和电介质玻璃层56所规定的各个凹部(像素区域的一部分)的隔壁60的表面、电介质玻璃层56的表面呈现亲液性，这些表面成为被吐出部分58R、58G、58B。另外，也有不进行如上述的表面处理，通过材质、而能得到呈现所期望的亲液性的表面的情况。此时，即使不进行上述表面处理，也能使由隔壁60和电介质玻璃层56所规定的凹部的表面成为被吐出部分58R、58G、58B。
通过搬运装置370，形成了被吐出部分58R、58G、58B的基板50A被搬运至吐出装置300R的平台106。然后，如图25(a)所示，吐出装置300R根据吐出数据，从喷头114吐出发光材料311R，以使所有被吐出部分58R处形成荧光材料311R的层。更具体地说，吐出装置300R通过进行实施方式1中说明的涂敷工序，对多个被吐出部分58R的各部分涂敷荧光材料311R。
当基板50A的所有被吐出部分58R都形成有荧光材料311R的层时，搬运装置370将基板50A放置在干燥装置350R内。然后，通过完全干燥被吐出部分58R上的荧光材料311R，在被吐出部分58R上得到荧光层311FR。
然后，搬运装置370将基板50A放置在吐出装置300G的平台106。此后，如图25(b)所示，吐出装置300G根据对应被吐出部分58G的吐出数据，从喷头114吐出荧光材料311G，以使所有被吐出部分58G处形成荧光材料311G的层。更具体地说，吐出装置300G通过进行实施方式1中说明的涂敷工序，对多个被吐出部分58G的各部分涂敷荧光材料311G。
当基板50A的所有被吐出部分58G都形成有荧光材料311G的层时，搬运装置370将基板50A放置在干燥装置350G内。然后，通过完全干燥被吐出部分58G上的荧光材料311G，在被吐出部分58G上得到荧光层311FG。
接着，搬运装置370将基板50A放置在吐出装置300B的平台106。然后，如图25(c)所示，吐出装置300B根据对应被吐出部分58B的吐出数据，从喷头114吐出荧光材料311B，以使所有被吐出部分58B处形成荧光材料311B的层。更具体地说，吐出装置300B通过进行实施方式1中说明的涂敷工序，对多个被吐出部分58B的各部分涂敷荧光材料311B。
当基板50A的所有被吐出部分58B都形成有荧光材料311B的层时，搬运装置370将基板50A放置在干燥装置350B内。然后，通过完全干燥被吐出部分58B上的荧光材料311B，在被吐出部分58B上得到荧光层311FB。
通过以上的工序，基板50A成为等离子体显示装置的背面基板50B。
然后如图26所示，使用公知的方法，将背面基板50B和前面基板50C粘合，得到等离子体显示装置50。前面基板50C包括玻璃基板68、在玻璃基板68上相互平行地被蚀刻图形的显示电极66A和显示扫描电极66B、以覆盖显示电极66A和显示扫描电极66B的形式形成的电介质玻璃层64、在电介质玻璃层64上形成的MgO保护层62。按照使背面基板50B的寻址电极54与前面基板50C的显示电极66A、显示扫描电极66B相互垂直相交那样，将背面基板50B和前面基板50C进行对位。由各隔壁60所包围的像元(像素区域)内以预定的压力被封入放电气体69。
(实施方式5)
下面说明将本发明适用于具备电子放射元件的图像显示装置的制造装置中的例子。
图27(a)及(b)所示的基板70A是通过用后述的制造装置4(图28)处理而成为图像显示装置的电子源基板70B的基板。基板70A包括以矩阵状配置的多个被吐出部分78。
具体地说，基板70A包括基板72、位于基板72上的钠扩散防止层74、位于钠扩散防止层74上的多个元件电极76A、76B、位于多个元件电极76A上的多条金属布线79A、位于多个元件电极76B上的多条金属布线79B。多条金属布线79A的各布线具有在Y轴方向延伸的形状。另一方面，多条金属布线79B的各布线具有在X轴方向延伸的形状。由于金属布线79A和金属布线79B之间形成有绝缘膜75，因此金属布线79A和金属布线79B是电绝缘。
包含一对元件电极76A和元件电极76B的部分对应一个像素区域。一对元件电极76A和元件电极76B在钠扩散防止层74上相互之间隔开预定的间隔并相互对向。对应像素区域的元件电极76A与对应的金属布线79A电连接。另外，对应该像素区域的元件电极76B与对应的金属布线79B电连接。还有，本说明书中，也有将组合有基板72和钠扩散防止层74的部分记为支撑基板的情况。
在基板72的各像素区域中，元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分与在元件电极76A和元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74，对应被吐出部分78。更具体地说，被吐出部分78是应形成导电性薄膜411F(图31)的区域，导电性薄膜411F以覆盖元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分和元件电极76A、76B之间的间隙的方式形成。如图27(b)中的点划线所示，本实施方式中的被吐出部分78的平面形状为圆形。按照这样，本发明的被吐出部分的平面形状也可以是由X坐标范围和Y坐标范围决定的圆形。
图27(b)所示基板70A位于与X轴方向和Y轴方向两个方向都平行的假想平面上。因此，多个被吐出部分78所形成的矩阵的行方向和列方向分别与X轴方向和Y轴方向平行。即，基板70A中被吐出部分78排列于X轴方向和Y轴方向。另外，X轴方向与Y轴方向相互垂直相交。
各被吐出部分78之间沿Y轴方向上的间隔LRY、即间距大约是190μm。另外，被吐出部分78的X轴方向的长(X坐标范围的长度)约为100μm、Y轴方向的长(Y坐标范围的长度)约为100μm。被吐出部分78彼此之间的上述间隔及被吐出部分的上述大小对应的是40英寸左右大小的高保真电视中、各像素区域彼此之间的间隔和大小。
图28所示的制造装置4是对图27的基板70A的被吐出部分78的各部分、吐出导电性薄膜材料411的装置。具体地说，制造装置4包括对所有被吐出部分78涂敷导电性薄膜材料411的吐出装置400、使被吐出部分78上的导电性薄膜材料411干燥的干燥装置450。另外制造装置4还具有按照吐出装置400、干燥装置450的顺序搬运基板70A的搬运装置470。搬运装置470具有叉子部分、上下移动叉子部分的驱动部分和自行走部分。
图29所示的吐出装置400包括储存液状的导电性薄膜材料411的储液箱401、管道410和通过管道410由储液箱401被供给导电性薄膜材料411的吐出扫描部分102。由于吐出扫描部分102的结构，在实施方式1已经说明而省略重复的说明。本实施方式中，液状的导电性薄膜材料411为有机钯溶液。另外，本实施方式中的液状的导电性薄膜材料411是本发明的“液状的材料”的例子之一。
下面说明使用制造装置4的图像显示装置的制造方法。首先，在由钠玻璃形成的基板72上形成以SiO2为主要成分的钠扩散防止层74。具体地说，通过使用喷溅法、在基板72上形成厚度为1μm的SiO2膜而得到钠扩散防止层74。然后，在钠扩散防止层74上，使用喷溅法或真空蒸镀法形成厚度为5nm的钛层。接着，使用光刻技术及蚀刻技术，由该钛层形成多对、相互以预定的距离隔开的一对元件电极76A和元件电极76B。
然后，通过使用丝网印刷技术，在钠扩散防止层74和多个元件电极76A上涂敷Ag桨并烧结，形成在Y轴方向上延伸的多条金属布线79A。接着，通过使用丝网印刷技术，在各金属布线79A的一部分上涂敷玻璃桨并烧结，形成绝缘膜75。此后，通过使用丝网印刷技术，在钠扩散防止层74和多个元件电极76B上涂敷Ag桨并烧结，形成在X轴方向上延伸的多条金属布线79B。另外，在制作金属布线79B时，以使金属布线79B通过绝缘膜75与金属布线79A交叉的方式涂敷Ag桨。通过如上工序，得到图27所示的基板70A。
然后，通过大气压下的氧气等离子体处理，将基板70A亲液化。通过该处理，可以使由元件电极76A的表面的一部分、元件电极76B的表面的一部分、和在元件电极76A与元件电极76B之间露出的支撑基板的表面都被亲液化。这样，这些表面成为被吐出部分78。另外，也有不进行如上述的表面处理，通过材质、而能得到呈现所期望的亲液性的表面的情况。此时，即使不进行上述表面处理，也能使元件电极76A的表面的一部分、元件电极76B的表面的一部分、和在元件电极76A与元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74的表面成为被吐出部分78。
通过搬运装置470，形成了被吐出部分78的基板70A被搬运至吐出装置400的平台106。然后，如图30所示，吐出装置400根据实施方式1说明的吐出数据，从喷头114吐出导电性薄膜材料411，以使所有被吐出部分78处形成导电性薄膜411F。更具体地说，吐出装置400通过进行实施方式1中说明的涂敷工序，对多个被吐出部分78的各部分涂敷导电性薄膜材料411。
另外，在本实施方式中，由控制部分112向喷头114发出信号，以使着落在被吐出部分78上的导电性薄膜材料411的液滴的直径成为60μm到80μm范围。当基板70A的所有被吐出部分78都形成有导电性薄膜材料411的层时，搬运装置470将基板70A放置在干燥装置450内。然后，通过完全干燥被吐出部分78上的导电性薄膜材料411，在被吐出部分78上得到以氧化钯为主要成分的导电性薄膜411F。这样，在各像素区域中，形成了覆盖元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分、在元件电极76A与元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74的导电性薄膜411F。
然后通过在元件电极76A与元件电极76B之间施加脉冲状的预定电压，在导电性薄膜411F的一部分上形成电子发射部分411D。另外，对元件电极76A与元件电极76B之间的电压的施加，也可以在有机物气氛及真空条件下分别进行。因为如果这样，可以提高从电子发射部分411D的电子发射效率。元件电极76A、相应的元件电极76B和设置有电子发射部分411D的导电性薄膜411F都是电子发射元件。还有，这些各电子发射元件分别对应各像素区域。
通过以上工序，如图31所示，基板70A成为电子源基板70B。
接着如图32所示，使用公知的方法粘合电子源基板70B和前面基板70C，从而得到图像显示装置70。前面基板70C具有玻璃基板82、以矩阵状位于玻璃基板82上的多个荧光部分84和覆盖多个荧光部分84的金属板86。金属板86是用于加速来自电子发射部分411D的电子束的电极。将电子源基板70B和前面基板70C进行位置对位，以使多个电子发射元件的各元件与多个荧光部分84的各部分对向。另外，在电子源基板70B和前面基板70C之间保持真空状态。
还有，具有上述电子发射元件的图像显示装置70也有被称为SED(Surface-Conduction-Electron-Emitter Display)或FED(Field EmissionDisplay)的。再有，本说明书中，液晶显示装置、电致发光显示装置、等离子体显示装置、利用了电子发射元件的图像显示装置等，也有记为“电光学装置”的。这里，本说明书所说的“电光学装置”并不局限于利用双折射性的变化、旋光性的变化或光散射性的变化等的光学特性的变化(所谓电光学效应)的装置，还泛指根据施加信号电压、将光射出、透过、或者反射的装置。

Claims (6)

1. 一种材料涂敷方法，其使用包括吐出喷头部分和平台的吐出装置，在基板上涂敷液状的材料，所述吐出喷头部分具有N个喷头，每个喷头具有在X轴方向以喷嘴间距HXP分布的多个喷嘴，将所述N个喷头在Y轴方向上错开排列，使得所述N个喷头所具有的多个喷嘴在X轴方向的喷嘴间距GXP成为所述喷嘴间距HXP的1/N，其中N为2以上的自然数；
所述材料涂敷方法包括：
步骤A，将具有被吐出部分的所述基板配置在所述平台上；
步骤B，在将相对所述平台的所述吐出喷头部分的相对x坐标维持在第一相对x坐标的状态，使相对所述平台的所述吐出喷头部分的相对位置在与所述X轴方向大致垂直相交的第一方向上变化；
步骤C，当所述N个喷头所具有的多个喷嘴中的第一喷嘴到达对应所述被吐出部分的区域时，从所述第一喷嘴向所述被吐出部分吐出所述液状的材料；
步骤D，在所述X轴方向上让相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对位置变化，以使相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对x坐标与第二相对x坐标一致；
步骤E，在将相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对x坐标维持在所述第二相对x坐标的状态下，使相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对位置在与所述第一方向相反的方向上变化；和
步骤F，当所述N个喷头所具有的多个喷嘴中与所述第一喷嘴不同的第二喷嘴到达对应所述被吐出部分的区域时，从所述第二喷嘴向所述被吐出部分吐出所述液状的材料。
2. 根据权利要求1所述的材料涂敷方法，其特征在于，在所述步骤F之后还包括：
步骤G，从所述平台上取下所述基板；
步骤H，将具有第二被吐出部分的第二基板配置于所述平台上；
步骤I，在将相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对x坐标维持在所述第二相对x坐标的状态下，使相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对位置在所述第一方向上变化；
步骤J，当所述N个喷头所具有的多个喷嘴中的第三喷嘴到达对应所述被吐出部分的区域时，从所述第三喷嘴向所述被吐出部分吐出所述液状的材料；
步骤K，在所述X轴方向上让相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对位置变化，以使相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对x坐标与所述第一相对x坐标一致；
步骤L，在将相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对x坐标维持在所述第一相对x坐标的状态下，使相对所述平台的所述吐出喷头部分的所述相对位置在所述相反方向上变化；和
步骤M，当所述N个喷头所具有的多个喷嘴中与所述第三喷嘴不同的第四喷嘴到达对应所述被吐出部分的区域时，从所述第四喷嘴向所述被吐出部分吐出所述液状的材料。
3. 一种滤色片基板的制造方法，在权利要求1或2所述的材料涂敷方法中，在所述基板上，作为所述被喷出的液状的材料是液状的滤色器材料。
4. 一种电致发光显示装置的制造方法，在权利要求1或2所述的材料涂敷方法中，在所述基板上，作为所述被喷出的液状的材料是液状的发光材料。
5. 一种等离子体显示装置的制造方法，在权利要求1或2所述的材料涂敷方法中，在所述基板上，作为所述被喷出的液状的材料是液状的荧光材料。
6. 一种吐出装置，包括：
吐出喷头部分，具有N个喷头，每个喷头具有在X轴方向以喷嘴间距HXP分布的多个喷嘴，将所述N个喷头在Y轴方向上错开排列，使得所述N个喷头所具有的多个喷嘴在X轴方向的喷嘴间距GXP成为所述喷嘴间距HXP的1/N，其中N为2以上的自然数；
平台，装载有被吐出部分的基板；和
扫描部分，历经第一扫描期间和第二扫描期间的各期间、使所述吐出喷头部分和所述平台中的至少一个相对另一个在与所述X轴方向大致垂直相交的Y轴方向上相对移动；
所述扫描部分在所述第一扫描期间和所述第二扫描期间之间，使所述吐出喷头部分和所述平台中的至少一个相对另一个在所述X轴方向上相对移动，以使所述吐出喷头部分在所述第一扫描期间内向所述被吐出部分从所述N个喷头所包括的多个喷嘴中的第一喷嘴吐出液状的材料，并且在所述第二扫描期间内向所述被吐出部分从所述N个喷头所包括的多个喷嘴中与所述第一喷嘴不同的第二喷嘴吐出所述液状的材料。
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