JP4014901B2 - 液滴吐出による材料の配置方法および表示装置の製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
【０００２】
本発明は、液滴吐出による材料の配置方法、表示装置、表示装置の製造方法、及び、電子機器に係り、特に、カラーフィルタ或いは電気光学装置として好適な構造及び製造方法に関する。
【従来の技術】
【０００３】
一般に、各種の表示装置においては、カラー表示を可能にするためにカラーフィルタが設けられている。カラーフィルタは、例えば、ガラスやプラスチックなどで構成された基板上に、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色のドット状のフィルタエレメントを、いわゆるストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列などといった所定の配列パターンで配列させたものである。
【０００４】
また、表示装置としては、液晶装置やＥＬ（エレクトロルミネッセンス）装置などの電気光学装置を典型例として、ガラスやプラスチックなどで構成された基板上に、その光学状態を独立して制御可能な表示ドットを配列させたものがある。この場合、各表示ドットには液晶やＥＬ発光部が設けられる。表示ドットの配列態様としては、例えば、縦横の格子（ドットマトリクス）状に配列させたものが一般的である。
【０００５】
カラー表示可能な表示装置においては、通常、例えば上記のＲ，Ｇ，Ｂの各色に対応する表示ドット（液晶やＥＬ発光部）が形成され、全色に対応する例えば３個の表示ドットによって一つの画素（ピクセル）が構成される。そして、一つの画素内に含まれる複数の表示ドットの階調をそれぞれ制御することによってカラー表示を行うことが可能になる。
【０００６】
上記の表示装置の製造工程においては、例えば、感光性樹脂を基板上に塗布し、この感光性樹脂に露光処理及び現像処理を施すことにより、格子状の隔壁（バンク）を形成してから、この隔壁により画成された領域に、例えばヘッドなどによって吐出された液滴を着弾させ、乾燥させることによって表示要素（すなわち、上記のカラーフィルタのフィルタエレメントや表示ドットを構成する液晶又はＥＬ発光部など）を構成する場合がある。この方法では、フォトリソグラフィ法などによって表示要素を各色毎にパターニングする必要がないので、携帯電話や携帯型情報端末などの携帯型電子機器に用いられる小型の表示装置を効率的に製造することができ、また、プロジェクタ等に用いられる高精細な表示装置をも容易に製造することができるという利点がある。
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上記従来のカラーフィルタ或いは表示装置（電気光学装置）の製造方法においては、図９に示すように、隔壁６によって画成された領域（フィルタエレメント形成領域、液晶封入領域、或いは、ＥＬ発光部形成領域など）７内に液滴８を着弾させる場合、１又は複数（図示例では３つ）の液滴８によって一つの領域７内に液状材料８Ａが導入される。しかしながら、図９（ａ）に示すように液滴８の量が比較的少ない場合には、領域７内における液状材料Ａ，Ｂの広がりが不十分となって、領域７内に液状材料Ａ，Ｂによって満たされない空隙部（色抜け部）が形成されるときがあり、このときには、表示のコントラストが低下する。これとは逆に、図９（ｂ）に示すように液滴８の量が比較的多い場合には、領域７内における液状材料Ａ，Ｂが着弾時に大きく広がりすぎて、隔壁６を乗り越えて隣接する領域７内に侵入してしまうときがあり、このときには、隣接する領域７に異種材料の混合或いは混色が生ずるため、やはり表示のコントラストが低下する。
【０００８】
特に、図９（ｃ）に示すように液滴８を基板１２に向けて吐出させた場合には、基板１２上に液滴８が着弾すると、図９（ｄ）に示すように着弾時の衝撃によって一時的に液状材料Ａが大きく広がるため、図９（ｅ）に示すように、最終的に基板１２上に液状材料Ａが配置されたときに、本来液状材料Ａが存在するべき領域よりも外側に液状材料Ａの一部が残存するときがある。したがって、液滴８の吐出速度が速い場合には、液状材料Ａの量が上記の領域７を満たす程度の量でしかないにも拘わらず、隣接する領域７に液状材料Ａが混入してしまう可能性が高くなる。
【０００９】
したがって、上記のような原因による表示品位の低下を抑制するためには、液滴８の量を領域７の寸法に合わせて所定量に設定し、かつ、実際に吐出される量を正確に制御しなければならないが、高精細な表示装置を製造する場合には、液滴８の量がきわめて僅かな量になるために、液滴の量を高精度に制御することは一般に困難であり、生産効率が低下するとともに製品の歩留まりの低下を来たす恐れがある。
【００１０】
また、上記のように液状材料の広がり不足や隣接領域間における液滴の混入に起因する不良を防止するためには、或る程度隣接する領域の間隔を広げる必要があるが、これは、表示装置としての開口率の低下を招くとともに、高精細な表示態様を実現することを困難にするという問題を生じさせる。
【００１１】
そこで本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、液状材料を基材上の領域に液滴として吐出させ、配置する場合に、液滴の広がり不足や隣接する領域間の液滴の混入を低減することのできる方法を提供することにある。また、表示装置において、液滴の広がり不足や隣接する領域間における液滴の混入を低減することのできる構造及び製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために本発明の液滴吐出による材料の配置方法は、液状材料を液滴として吐出し、基材上に配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、前記基材上に隔壁が形成される工程と、前記隔壁によって画成される実質的に方形状若しくは帯状の領域に前記液滴が着弾される工程とを有し、前記領域を挟んで対峙する一対の前記隔壁の間隔が前記隔壁の延長方向に沿って増減するように形成され、前記液滴は、前記隔壁の間隔が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、隔壁によって画成された領域に液滴を着弾させる際に、領域内における隔壁の間隔が隔壁の延長方向に沿って増減するように形成され、液滴は、隔壁の間隔が極大となる部分に対応する位置に着弾されることにより、液滴が着弾時において周囲に広がっても、その着弾位置において隔壁の間隔が極大となっているため、液状材料を領域内に留め易くなり、その結果、液状材料が隔壁を乗り越えにくくなり、隣接領域間の液状材料の混入が生じ難くなる。したがって、液滴の量のマージンを拡大することが可能になり、製造が容易になるとともに、生産効率を高めることも可能になり、また、液滴量を多めにすることによって領域内における液状材料の広がり不足も低減でき、さらに、製品の品位（例えば表示品位）を向上させることができる。
【００１４】
ここで、隔壁の延長方向としては、方形状の領域が設けられている場合には、領域のいずれかの辺に沿った方向であり、帯状の領域が設けられている場合には、領域自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記において、隔壁の間隔は滑らかに増減し、領域に臨む隔壁の内面が曲面状に構成されていることが望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の隔壁の内面によって液状材料が領域内で広がりやすくなるので、液状材料の広がり不足をも低減できる。
【００１５】
本発明において、前記領域は実質的に矩形であり、前記隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿って前記間隔が増減するように形成されることが好ましい。
【００１６】
この発明によれば、矩形の領域において、長辺に沿って隔壁の間隔が増減していることにより、本来混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣接領域に混入することを低減できるので、特に高い効果を得ることができる。
【００１７】
本発明において、前記隔壁は、前記領域に対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿ってその幅が実質的に一定であるように形成されることが好ましい。
【００１８】
この発明によれば、隔壁の幅が隔壁の延長方向に沿って実質的に一定であることにより、液状材料に対する隔壁による閉じ込め効果を上記延長方向に沿ってほぼ一定にすることが可能になり、隣接領域間の液状材料の混入をより安定的に低減できるとともに、全面積に対する領域の面積割合（例えば表示装置の開口率）を高めることができる。この場合、より具体的には、或る隔壁において、その１側に存在する領域において隔壁の間隔が広がっている部分では、他側に存在する領域において隔壁の間隔が狭まっているように構成することが、領域の面積割合を大きく構成する上でより望ましい。
【００１９】
本発明において、前記隔壁は、前記領域に対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿ってその幅が増減するように形成されることが好ましい。
【００２０】
この発明によれば、隔壁の幅がその延長方向に沿って増減するように構成されていることにより、隔壁の幅の増減によって隔壁の間隔が増減するように構成することが可能になり、例えば、隔壁の幅が減少している部分では隔壁の間隔が広くなり、隔壁の幅が増大している部分では隔壁の間隔が狭くなるように構成できるため、領域の配列態様を変えずに隣接領域間の液状材料の混入を低減できる。
【００２１】
次に、本発明の別の液滴吐出による材料の配置方法は、液状材料を液滴として吐出し、基材上に配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、前記基材上に隔壁が形成される工程と、前記隔壁によって画成される実質的に方形状若しくは帯状の領域に前記液滴が着弾される工程とを有し、前記隔壁の幅は、前記領域に対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿って増減するように形成され、前記液滴は、前記隔壁の幅が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とする。
【００２２】
この発明によれば、隔壁の幅が極大となる部分に対応する位置に液滴が着弾されることにより、液滴が着弾時において周囲に広がっても、その着弾位置において隔壁の幅が極大となっているため、液状材料が隔壁を乗り越えにくくなり、隣接領域間の液状材料の混入が生じ難くなる。したがって、液滴の量のマージンを拡大することが可能になり、製造が容易になるとともに、生産効率を高めることも可能になり、また、液滴量を多めにすることによって領域内における液状材料の広がり不足も低減でき、さらに、製品の品位（例えば表示品位）を向上させることができる。
【００２３】
ここで、隔壁の延長方向としては、方形状の領域が設けられている場合には、領域のいずれかの辺に沿った方向であり、帯状の領域が設けられている場合には、領域自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記において、隔壁の幅は滑らかに増減し、領域に臨む隔壁の内面が曲面状に構成されていることが望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の隔壁の内面によって液状材料が領域内で広がりやすくなるので、液状材料の広がり不足をも低減できる。
【００２４】
本発明において、前記領域は実質的に矩形であり、前記隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿ってその幅が増減するように形成されることが好ましい。
【００２５】
この発明によれば、矩形の領域において、長辺に沿って隔壁の幅が増減していることにより、本来混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣接領域に混入することを低減できるので、特に高い効果を得ることができる。
【００２６】
次に、本発明の異なる液滴吐出による材料の配置方法は、液状材料を液滴として吐出し、基材上に配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、前記基材上に隔壁が形成される工程と、前記隔壁によって画成される実質的に方形状の領域に前記液滴が着弾される工程とを有し、前記隔壁の幅は、前記領域の一辺の略中央部に対応する位置において大きく、前記領域の前記一辺の両端部に対応する位置において小さくなるように形成され、前記液滴は、前記領域の略中央位置に着弾されることを特徴とする。
【００２７】
この発明によれば、方形状の領域の一辺の略中央部に対応する位置において隔壁の幅が大きく、同一辺の両端部に対応する位置において隔壁の幅が小さいことにより、液状材料の液滴が領域の略中央位置に着弾したとき、当該液滴の広がりを隔壁の大きな幅を有する部分によって妨げることが可能になるので、隣接する領域に液状材料が混入することを低減することができる。この場合に、上記領域が矩形であり、その長辺の略中央部に対応する位置において隔壁の幅が大きく、その長辺の両端部に対応する位置において隔壁の幅が小さくなるように形成することが望ましい。なお、液滴の着弾位置として領域の略中央位置に液滴を着弾させるのであれば、さらに、領域の別の位置にも追加的に液滴を着弾させるようにしても構わない。
【００２８】
また、上記と同様に、方形状の領域の一辺の略中央部に対応する位置において隔壁の幅が大きく、同一辺の両端部に対応する位置において隔壁の幅が小さい場合においては、液状材料が領域内に導入された後に静的に保持された状態においても、隣接する領域との間の液状材料の混合（例えば混色）を低減することが可能になる。この効果は、上記とは異なり、液滴の着弾位置の如何に拘わらず（すなわち液滴が領域の中央に着弾しない場合においても）生ずる。
【００２９】
次に、本発明のまた別の液滴吐出による材料の配置方法は、液状材料を液滴として吐出し、基材上に配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、前記基材上に物理的な厚みのある遮光部が形成される工程と、前記遮光部が構成されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部に前記液滴が着弾される工程とを有し、前記開口部を挟んで対峙する一対の前記遮光部の間隔が前記遮光部の延長方向に沿って増減するように形成され、前記液滴は、着弾したときに前記液滴が一時的に拡大しても受け入れることが可能な前記遮光部の間隔が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とする。
【００３０】
また、本発明の液滴吐出による材料の配置方法は、液状材料を液滴として吐出し、基材上に配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、前記基材上に前記液状材料の濡れ性が低い性質の遮光部が形成される工程と、前記遮光部が構成されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部に前記液滴が着弾される工程とを有し、前記開口部を挟んで対峙する一対の前記遮光部の間隔が前記遮光部の延長方向に沿って増減するように形成され、前記液滴は、着弾したときに前記液滴が一時的に拡大しても受け入れることが可能な前記遮光部の間隔が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とする。
【００３１】
この発明によれば、遮光部が構成されていない開口部に液滴を着弾させる際に、開口部内における遮光部の間隔が隔壁の延長方向に沿って増減するように形成され、液滴は、遮光部の間隔が極大となる部分に対応する位置に着弾されることにより、液滴が着弾時において周囲に広がっても、その着弾位置において遮光部の間隔が極大となっているため、遮光部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる性質（例えば液状材量をはじく性質など）がある場合には遮光部によって液状材料の隣接領域への混入が妨げられるため、隣接開口部間の液状材料の混入が生じ難くなる。また、遮光部に物理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨げる性質もない場合でも、液滴の着弾位置から離れた場所において液状材料の広がり不足が生じる場所が存在しても遮光部によって隠蔽し易くなる。したがって、液滴の量のマージンを拡大することが可能になり、製造が容易になるとともに、生産効率を高めることも可能になり、また、液滴量を多めにすることによって開口部内における液状材料の広がり不足も低減でき、液滴量の少なめにすることによって液状材料間の混合を低減できるなど、材料の量の調整幅を拡大することができることなどにより、さらに、製品の品位（例えば表示品位）を向上させることができる。
【００３２】
ここで、遮光部の延長方向としては、方形状の開口部が設けられている場合には、開口部のいずれかの辺に沿った方向であり、帯状の開口部が設けられている場合には、開口部自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記において、遮光部の間隔は滑らかに増減し、開口部に臨む隔壁の輪郭が曲面状に構成されていることが望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の遮光部の輪郭によって液状材料が開口部内を満たし易くなるので、液状材料の広がり不足をも低減できる。
【００３３】
本発明において、前記開口部は実質的に矩形であり、前記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿って前記間隔が増減するように形成されることが好ましい。
【００３４】
この発明によれば、矩形の開口部において、長辺に沿って遮光部の間隔が増減していることにより、遮光部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる性質がある場合には本来混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣接する開口部に混入することを低減でき、遮光部に物理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨げる性質もない場合でも液滴の着弾位置から離れた場所での液状材料の広がり不足を遮光部により隠蔽し易くすることができるので、特に高い効果を得ることができる。
【００３５】
本発明において、前記遮光部は、前記開口部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿ってその幅が実質的に一定であるように形成されることが好ましい。
【００３６】
この発明によれば、遮光部の幅が遮光部の延長方向に沿って実質的に一定であることにより、遮光部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる性質がある場合には、液状材料の隣接する開口部への混入防止効果を上記延長方向に沿ってほぼ一定にすることが可能になり、隣接開口部間の液状材料の混入をより安定的に低減でき、また、遮光部に物理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨げる性質もない場合でも、全面積に対する開口部の面積割合（例えば表示装置の開口率）を高めることができる。この場合、より具体的には、或る遮光部において、１側に存在する開口部において遮光部の間隔が広がっている部分では、他側に存在する開口部における遮光部の間隔が狭まっているように構成することが、開口部の面積割合を大きく構成する上でより望ましい。
【００３７】
本発明において、前記遮光部は、前記開口部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿ってその幅が増減するように形成されることが好ましい。
【００３８】
この発明によれば、遮光部の幅がその延長方向に沿って増減するように構成されていることにより、遮光部の幅の増減によって遮光部の間隔が増減するように構成することが可能になり、例えば、遮光部の幅が減少している部分では遮光部の間隔が広くなり、遮光部の幅が増大している部分では遮光部の間隔が狭くなるように構成できるため、開口部の配列態様を変えなくても、隣接開口部間の液状材料の混入を低減でき（遮光部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる性質がある場合）、或いは、液状材料の広がり不足の隠蔽（遮光部に物理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨げる性質もない場合）が可能になる。
【００３９】
次に、本発明の更に別の液滴吐出による材料の配置方法は、液状材料を液滴として吐出し、基材上に配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、前記基材上に遮光部が形成される工程と、前記遮光部が構成されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部に前記液滴が着弾される工程とを有し、前記遮光部の幅は、前記開口部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿って増減するように形成され、前記液滴は、前記遮光部の幅が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とする。
【００４０】
この発明によれば、遮光部の幅が極大となる部分に対応する位置に液滴が着弾されることにより、液滴が着弾時において周囲に広がっても、その着弾位置において遮光部の幅が極大となっているため、遮光部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる性質がある場合には液状材料が遮光部を越えにくくなり、隣接開口部間の液状材料の混入が生じ難くなる。また、遮光部に物理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨げる性質もない場合でも、隣接する液状材料の混合を遮光部によって隠蔽する効果が得られる。したがって、液滴の量のマージンを拡大することが可能になり、製造が容易になるとともに、生産効率を高めることも可能になり、また、液滴量を多めにすることによって開口部内における液状材料の広がり不足も低減でき、液滴量の少なめにすることによって液状材料間の混合を低減できるなど、材料の量の調整幅を拡大することができることなどにより、さらに、製品の品位（例えば表示品位）を向上させることができる。
【００４１】
ここで、遮光部の延長方向としては、方形状の開口部が設けられている場合には、開口部のいずれかの辺に沿った方向であり、帯状の開口部が設けられている場合には、開口部自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記において、遮光部の幅は滑らかに増減し、開口部に臨む遮光部の輪郭が曲面状に構成されていることが望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の遮光部の輪郭によって液状材料が開口部内で広がりやすくなるので、液状材料の広がり不足をも低減できる。
【００４２】
本発明において、前記開口部は実質的に矩形であり、前記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿ってその幅が増減するように形成されることが好ましい。
【００４３】
この発明によれば、矩形の開口部において、長辺に沿って遮光部の幅が増減していることにより、遮光部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる性質がある場合には本来混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣接する開口部に混入することを低減でき、遮光部に物理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨げる性質もない場合でも隣接する液状材料の混合を遮光部により隠蔽し易くすることができるので、特に高い効果を得ることができる。
【００４４】
本発明において、前記遮光部は、前記基材上に形成された隔壁によって構成されることが好ましい。
【００４５】
この発明によれば、隔壁によって遮光部が構成されることにより、隔壁が液状材料の閉じ込め機能と、遮光機能の双方を兼ねていることとなるので、製造工程を短縮し、製造コストを低減できるとともに、構造を簡易なものとすることができるので、開口部の配列密度の増大を図ることが容易になる。
【００４６】
次に、本発明のさらに異なる液滴吐出による材料の配置方法は、液状材料を液滴として吐出し、基材上に配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、前記基材上に遮光部が形成される工程と、前記遮光部が形成されていない実質的に方形状の開口部に前記液滴が着弾される工程とを有し、前記遮光部の幅は、前記開口部の一辺の略中央部に対応する位置において大きく、前記開口部の前記一辺の両端部に対応する位置において小さくなるように形成され、前記液滴は、前記開口部の略中央位置に着弾されることを特徴とする。
【００４７】
この発明によれば、方形状の開口部の一辺の略中央部に対応する位置において遮光部の幅が大きく、同一辺の両端部に対応する位置において遮光部の幅が小さいことにより、液状材料の液滴が開口部の略中央位置に着弾したとき、当該液滴の広がりを遮光部の大きな幅を有する部分によって受け入れることが可能になるので、遮光部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる性質がある場合には隣接する開口部に液状材料が混入することを低減することができ、遮光部に物理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨げる性質もない場合でも隣接する液状材料の混合を遮光部により隠蔽し易くすることができる。この場合に、上記開口部が矩形であり、その長辺の略中央部に対応する位置において遮光部の幅が大きく、その長辺の両端部に対応する位置において遮光部の幅が小さくなるように形成することが望ましい。なお、液滴の着弾位置として開口部の略中央位置に液滴を着弾させるのであれば、さらに、開口部の別の位置にも追加的に液滴を着弾させるようにしても構わない。
【００４８】
また、上記と同様に、方形状の領域の一辺の略中央部に対応する位置において遮光部の幅が大きく、同一辺の両端部に対応する位置において遮光部の幅が小さい場合においては、液状材料が領域内に導入された後に静的に保持された状態においても、遮光部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる性質がある場合には隣接する領域との間の液状材料の混合（例えば混色）を低減することが可能になる。また、遮光部に物理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨げる性質もない場合でも中央部近傍における隣接する液状材料の混合を遮光部により隠蔽し易くすることができる。これらの効果は、上記とは異なり、液滴の着弾位置の如何に拘わらず（すなわち液滴が領域の中央に着弾しない場合においても）生ずる。
【００４９】
次に、本発明の表示装置は、基材上に、隔壁と、該隔壁によって画成された実質的に方形状若しくは帯状の領域内に配置された表示要素とを有する表示装置であって、前記領域を挟んで対峙する一対の前記隔壁の間隔が前記隔壁の延長方向に沿って増減するように構成されていることを特徴とする。
【００５０】
この発明によれば、液状材料の液滴を領域内に導入することによって表示要素を形成する場合において、隔壁によって画成された領域に液滴を着弾させる際に、領域内における隔壁の間隔が隔壁の延長方向に沿って増減するように形成されることにより、隔壁の間隔が極大となる部分に対応する位置に液滴が着弾されることにより、着弾時において液滴が周囲に広がっても、その着弾位置において隔壁の間隔が極大となっているため、液状材料を領域内に留め易くなり、その結果、液状材料が隔壁を乗り越えにくくなり、隣接領域間の液状材料の混入が生じ難くなる。したがって、液滴の量のマージンを拡大することが可能になり、製造が容易になるとともに、生産効率を高めることも可能になり、また、液滴量を多めにすることによって領域内における液状材料の広がり不足も低減できる。さらに、材料の混入や広がり不足が低減されることにより、隔壁の幅を低減することが可能になり、表示要素の密度を向上させることも容易になるため、高精細な表示を可能にすることができる。その上、材料の混入に起因する混色や材料の広がり不足による色抜け等を低減できるため製品の品位（例えば表示品位）を向上させることもできる。
【００５１】
ここで、隔壁の延長方向としては、方形状の領域が設けられている場合には、領域のいずれかの辺に沿った方向であり、帯状の領域が設けられている場合には、領域自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記において、隔壁の間隔は滑らかに増減し、領域に臨む隔壁の内面が曲面状に構成されていることが望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の隔壁の内面によって液状材料が領域内で広がりやすくなるので、液状材料の広がり不足をも低減できる。
【００５２】
本発明において、前記領域は実質的に矩形であり、前記隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿って前記間隔が増減するように構成されていることが好ましい。
【００５３】
この発明によれば、矩形の領域において、長辺に沿って隔壁の間隔が増減していることにより、本来混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣接領域に混入することを低減できるので、特に高い効果を得ることができる。
【００５４】
本発明において、前記隔壁は、前記領域に対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿ってその幅が実質的に一定であるように構成されていることが好ましい。
【００５５】
この発明によれば、隔壁の幅が隔壁の延長方向に沿って実質的に一定であることにより、液状材料に対する隔壁による閉じ込め効果を上記延長方向に沿ってほぼ一定にすることが可能になり、隣接領域間の液状材料の混入をより安定的に低減できるとともに、全面積に対する領域の面積割合である表示装置の開口率を高めることができる。この場合、より具体的には、或る隔壁において、その１側に存在する領域において隔壁の間隔が広がっている部分では、他側に存在する領域において隔壁の間隔が狭まっているように構成することが、開口率を大きく構成する上でより望ましい。
【００５６】
本発明において、前記隔壁は、前記領域に対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿ってその幅が増減するように構成されていることが好ましい。
【００５７】
この発明によれば、隔壁の幅がその延長方向に沿って増減するように構成されていることにより、隔壁の幅の増減によって隔壁の間隔が増減するように構成することが可能になり、例えば、隔壁の幅が減少している部分では隔壁の間隔が広くなり、隔壁の幅が増大している部分では隔壁の間隔が狭くなるように構成できるため、領域の配列態様を変えずに隣接領域間の液状材料の混入を低減できる。
【００５８】
次に、本発明の別の表示装置は、基材上に、隔壁と、該隔壁によって画成された領域内に配置された表示要素とを有する表示装置であって、前記隔壁は、前記領域に対応する範囲においてその幅が前記隔壁の延長方向に沿って増減するように構成されていることを特徴とする。
【００５９】
この発明によれば、液状材料の液滴を領域内に導入することによって表示要素を形成する場合において、隔壁の幅が極大となる部分に対応する位置に液滴が着弾されることにより、液滴が着弾時において周囲に広がっても、その着弾位置において隔壁の幅が極大となっているため、液状材料が隔壁を乗り越えにくくなり、隣接領域間の液状材料の混入が生じ難くなる。したがって、液滴の量のマージンを拡大することが可能になり、製造が容易になるとともに、生産効率を高めることも可能になり、また、液滴量を多めにすることによって領域内における液状材料の広がり不足も低減でき、さらに、製品の品位（例えば表示品位）を向上させることができる。
【００６０】
ここで、隔壁の延長方向としては、方形状の領域が設けられている場合には、領域のいずれかの辺に沿った方向であり、帯状の領域が設けられている場合には、領域自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記において、隔壁の幅は滑らかに増減し、領域に臨む隔壁の内面が曲面状に構成されていることが望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の隔壁の内面によって液状材料が領域内で広がりやすくなるので、液状材料の広がり不足をも低減できる。
【００６１】
本発明において、前記領域は実質的に矩形であり、前記隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿ってその幅が増減するように構成されていることが好ましい。
【００６２】
この発明によれば、矩形の領域において、長辺に沿って隔壁の幅が増減していることにより、本来混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣接領域に混入することを低減できるので、特に高い効果を得ることができる。
【００６３】
次に、本発明の異なる表示装置は、基材上に、隔壁と、該隔壁によって画成される実質的に方形状若しくは帯状の領域内に配置された表示要素とを有する表示装置であって、前記隔壁の幅は、前記領域の一辺の略中央部に対応する位置において大きく、前記領域の前記一辺の両端部に対応する位置において小さくなるように構成されていることを特徴とする。
【００６４】
この発明によれば、吐出された液状材料の液滴を上記領域へ着弾させて表示要素を形成する場合には、方形状の領域の一辺の略中央部に対応する位置において隔壁の幅が大きく、同一辺の両端部に対応する位置において隔壁の幅が小さいことにより、液状材料の液滴が領域の略中央位置に着弾したとき、当該液滴の広がりを隔壁の大きな幅を有する部分によって妨げることが可能になるので、隣接する領域に液状材料が混入することを低減することができる。この場合に、上記領域が矩形であり、その長辺の略中央部に対応する位置において隔壁の幅が大きく、その長辺の両端部に対応する位置において隔壁の幅が小さくなるように形成することが望ましい。
【００６５】
次に、本発明のまた別の表示装置は、基材上に、遮光部と、該遮光部が形成されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部内に配置された表示要素とを有する表示装置であって、前記開口部を挟んで対峙する一対の前記遮光部の間隔が前記遮光部の延長方向に沿って増減するように構成されていることを特徴とする。
【００６６】
この発明によれば、液状材料の液滴を開口部内に導入することによって表示要素を形成する場合において、遮光部が形成されていない開口部に液滴を着弾させる際に、開口部内における遮光部の間隔が遮光部の延長方向に沿って増減するように形成されていることにより、遮光部の間隔が極大となる部分に対応する位置に液滴が着弾されることにより、着弾時において液滴が周囲に広がっても、その着弾位置において遮光部の間隔が極大となっているため、液状材料が遮光部を越えにくくなり、隣接開口部間の液状材料の混入が生じ難くなると共に、液滴の着弾位置から離れた場所では液状材料の広がり不足を間隔の狭くなった遮光部によって隠蔽し易くなる。したがって、液滴の量のマージンを拡大することが可能になり、製造が容易になるとともに、生産効率を高めることも可能になり、また、液滴量を多めにすることによって開口部内における液状材料の広がり不足も低減でき液滴量の少なめにすることによって液状材料間の混合を低減できるなど、材料の量の調整幅を拡大することができる。さらに、材料の混入や広がり不足が低減されることにより、遮光部の幅を低減することが可能になり、表示要素の密度を向上させることも容易になるため、高精細な表示を可能にすることができる。その上、材料の混入に起因する混色や材料の広がり不足による色抜け等を低減できるため製品の品位（例えば表示品位）を向上させることもできる。
【００６７】
ここで、遮光部の延長方向としては、方形状の開口部が設けられている場合には、領域のいずれかの辺に沿った方向であり、帯状の開口部が設けられている場合には、開口部自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記において、遮光部の間隔は滑らかに増減し、開口部に臨む遮光部の輪郭が曲面状に構成されていることが望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の遮光部の輪郭によって液状材料が開口部内で広がりやすくなるので、液状材料の広がり不足をも低減できる。
【００６８】
本発明において、前記開口部は実質的に矩形であり、前記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿って前記間隔が増減するように構成されていることが好ましい。
【００６９】
この発明によれば、矩形の開口部において、長辺に沿って遮光部の間隔が増減していることにより、本来混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣接開口部に混入することを低減でき、或いは、液滴の着弾位置から離れた場所で液状材料の広がり不足を隠蔽し易くなるので、特に高い効果を得ることができる。
【００７０】
本発明において、前記遮光部は、前記開口部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿ってその幅が実質的に一定であるように構成されていることが好ましい。
【００７１】
この発明によれば、遮光部の幅が遮光部の延長方向に沿って実質的に一定であることにより、隣接開口部間の液状材料の混入をより安定的に低減できるとともに、全面積に対する開口部の面積割合である表示装置の開口率を高めることができる。この場合、より具体的には、或る遮光部において、その１側に存在する開口部において遮光部の間隔が広がっている部分では、他側に存在する開口部において遮光部の間隔が狭まっているように構成することが、開口率を大きく構成する上でより望ましい。
【００７２】
本発明において、前記遮光部は、前記開口部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿ってその幅が増減するように構成されていることが好ましい。
【００７３】
この発明によれば、遮光部の幅がその延長方向に沿って増減するように構成されていることにより、遮光部の幅の増減によって遮光部の間隔が増減するように構成することが可能になり、例えば、遮光部の幅が減少している部分では遮光部の間隔が広くなり、遮光部の幅が増大している部分では遮光部の間隔が狭くなるように構成できるため、開口部の配列態様を変えずに隣接開口部間の液状材料の混入を低減でき、或いは、液状材料の広がり不足の隠蔽が可能になる。
【００７４】
次に、本発明の更に別の表示装置は、基材上に、遮光部と、該遮光部が形成されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部内に配置された表示要素とを有する表示装置であって、前記遮光部は、前記開口部に対応する範囲においてその幅が前記遮光部の延長方向に沿って増減するように構成されていることを特徴とする。
【００７５】
この発明によれば、液状材料の液滴を開口部内に導入することによって表示要素を形成する場合において、遮光部の幅が極大となる部分に対応する位置に液滴が着弾されることにより、液滴が着弾時において周囲に広がっても、その着弾位置において遮光部の幅が極大となっているため、液状材料が遮光部を越えにくくなり、隣接開口部間の液状材料の混入が生じ難くなり、或いは、隣接する液状材料の混合を遮光部によって隠蔽する効果が得られる。したがって、液滴の量のマージンを拡大することが可能になり、製造が容易になるとともに、生産効率を高めることも可能になり、また、液滴量を多めにすることによって領域内における液状材料の広がり不足も低減でき、液滴量の少なめにすることによって液状材料間の混合を低減できるなど、材料の量の調整幅を拡大することができることなどにより、さらに、製品の品位（例えば表示品位）を向上させることができる。
【００７６】
ここで、遮光部の延長方向としては、方形状の開口部が設けられている場合には、開口部のいずれかの辺に沿った方向であり、帯状の開口部が設けられている場合には、開口部自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記において、遮光部の幅は滑らかに増減し、開口部に臨む遮光部の輪郭が曲面状に構成されていることが望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の遮光部の輪郭によって液状材料が開口部内で広がりやすくなるので、液状材料の広がり不足をも低減できる。
【００７７】
本発明において、前記開口部は実質的に矩形であり、前記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿ってその幅が増減するように構成されていることが好ましい。
【００７８】
この発明によれば、遮光部の幅がその延長方向に沿って増減するように構成されていることにより、遮光部の幅の増減によって遮光部の間隔が増減するように構成することが可能になり、例えば、遮光部の幅が減少している部分では遮光部の間隔が広くなり、遮光部の幅が増大している部分では遮光部の間隔が狭くなるように構成できるため、開口部の配列態様を変えずに隣接開口部間の液状材料の混入を低減でき、或いは、隣接する液状材料の混合の隠蔽が可能になる。
【００７９】
次に、本発明のさらに異なる表示装置は、基材上に、遮光部と、該遮光部が形成されていない実質的に方形状の開口部内に配置された表示要素とを有する表示装置であって、前記遮光部の幅は、前記開口部の一辺の略中央部に対応する位置において大きく、前記開口部の前記一辺の両端部に対応する位置において小さくなるように構成されていることを特徴とする。
【００８０】
この発明によれば、吐出された液状材料の液滴を上記開口部へ着弾させて表示要素を形成する場合には、方形状の開口部の一辺の略中央部に対応する位置において遮光部の幅が大きく、同一辺の両端部に対応する位置において遮光部の幅が小さいことにより、液状材料の液滴が開口部の略中央位置に着弾したとき、当該液滴の広がりを遮光部の大きな幅を有する部分によって受け入れることが可能になるので、遮光部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる性質がある場合には隣接する開口部に液状材料が混入することを低減することができ、遮光部に物理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨げる性質もない場合でも隣接する液状材料の混合を遮光部により隠蔽し易くすることができる。この場合に、上記開口部が矩形であり、その長辺の略中央部に対応する位置において遮光部の幅が大きく、その長辺の両端部に対応する位置において遮光部の幅が小さくなるように形成することが望ましい。
【００８１】
本発明において、前記遮光部は、前記基材上に形成された隔壁によって構成されることが好ましい。
【００８２】
この発明によれば、隔壁によって遮光部が構成されることにより、隔壁が液状材料の閉じ込め機能と、遮光機能の双方を兼ねていることとなるので、製造工程を短縮し、製造コストを低減できるとともに、構造を簡易なものとすることができるので、開口部の配列密度の増大を図ることが容易になる。
【００８３】
本発明において、前記表示要素は、カラーフィルタの構成要素であるフィルタエレメントである場合がある。ここで、フィルタエレメントは、例えば、複数の色のものが所定のパターン、例えば、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等で配列される。したがって、隣接領域間若しくは隣接開口部間の混色や各領域若しくは開口部の色抜け等を防止しつつ、液滴量のマージンの確保や遮光部の幅を低減させることが可能になる。
【００８４】
本発明において、前記表示要素は、表示ドットを構成するＥＬ発光部である場合もある。ここで、ＥＬ発光部として、複数の色の光を発光するものが所定のパターン、例えば、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等で配列されることが好ましい。この場合、隣接領域間若しくは隣接開口部間の混色や各領域若しくは開口部の色抜け等を防止しつつ、液滴量のマージンの確保や遮光部の幅を低減させることが可能になる。
【００８５】
次に、本発明の電子機器は、上記いずれかに記載の表示装置を有することを特徴とする。電子機器としては、特に、携帯電話や携帯型情報端末などの携帯型電子機器であることが好ましく、また、プロジェクタ等のような高精細な表示態様の表示装置が要求される電子機器であることが好ましい。
【００８６】
次に、本発明の表示装置の製造方法は、基材上に、隔壁と、該隔壁によって画成された実質的に方形状若しくは帯状の領域内に配置された表示要素とを有する表示装置の製造方法であって、前記基材上に隔壁が形成される工程と、吐出された液状材料の液滴が前記領域に着弾される工程とを有し、前記領域を挟んで対峙する一対の前記隔壁の間隔が前記隔壁の延長方向に沿って増減するように形成され、前記液滴は、前記隔壁の間隔が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とする。
【００８７】
この発明によれば、隔壁によって画成された領域に液滴を着弾させる際に、領域内における隔壁の間隔が隔壁の延長方向に沿って増減するように形成されることにより、隔壁の間隔が極大となる部分に対応する位置に液滴が着弾されることにより、着弾時において液滴が周囲に広がっても、その着弾位置において隔壁の間隔が極大となっているため、液状材料を領域内に留め易くなり、その結果、液状材料が隔壁を乗り越えにくくなり、隣接領域間の液状材料の混入が生じ難くなる。したがって、液滴の量のマージンを拡大することが可能になり、製造が容易になるとともに、生産効率を高めることも可能になり、また、液滴量を多めにすることによって領域内における液状材料の広がり不足も低減できる。さらに、材料の混入や広がり不足が低減されることにより、隔壁の幅を低減することが可能になり、表示要素の密度を向上させることも容易になるため、高精細な表示を可能にすることができる。その上、材料の混入に起因する混色や材料の広がり不足による色抜け等を低減できるため製品の品位（例えば表示品位）を向上させることもできる。
【００８８】
ここで、隔壁の延長方向としては、方形状の領域が設けられている場合には、領域のいずれかの辺に沿った方向であり、帯状の領域が設けられている場合には、領域自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記において、隔壁の間隔は滑らかに増減し、領域に臨む隔壁の内面が曲面状に構成されていることが望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の隔壁の内面によって液状材料が領域内で広がりやすくなるので、液状材料の広がり不足をも低減できる。
【００８９】
本発明において、前記領域は実質的に矩形であり、前記隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿って前記間隔が増減するように形成されることが好ましい。
【００９０】
この発明によれば、矩形の領域において、長辺に沿って隔壁の間隔が増減していることにより、本来混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣接領域に混入することを低減できるので、特に高い効果を得ることができる。
【００９１】
本発明において、前記隔壁は、前記領域に対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿ってその幅が実質的に一定であるように形成されることが好ましい。
【００９２】
この発明によれば、隔壁の幅が隔壁の延長方向に沿って実質的に一定であることにより、液状材料に対する隔壁による閉じ込め効果を上記延長方向に沿ってほぼ一定にすることが可能になり、隣接領域間の液状材料の混入をより安定的に低減できるとともに、全面積に対する領域の面積割合である表示装置の開口率を高めることができる。この場合、より具体的には、或る隔壁において、その１側に存在する領域において隔壁の間隔が広がっている部分では、他側に存在する領域において隔壁の間隔が狭まっているように構成することが、開口率を大きく構成する上でより望ましい。
【００９３】
本発明において、前記隔壁は、前記領域に対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿ってその幅が増減するように形成されることが好ましい。
【００９４】
この発明によれば、隔壁の幅がその延長方向に沿って増減するように構成されていることにより、隔壁の幅の増減によって隔壁の間隔が増減するように構成することが可能になり、例えば、隔壁の幅が減少している部分では隔壁の間隔が広くなり、隔壁の幅が増大している部分では隔壁の間隔が狭くなるように構成できるため、領域の配列態様を変えずに隣接領域間の液状材料の混入を低減できる。
【００９５】
次に、本発明の表示装置の製造方法は、基材上に、隔壁と、該隔壁によって画成された実質的に方形状若しくは帯状の領域内に配置された表示要素とを有する表示装置の製造方法であって、前記基材上に隔壁が形成される工程と、吐出された液状材料の液滴が前記領域に着弾される工程とを有し、前記隔壁の幅は、前記領域に対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿って増減するように形成され、前記液滴は、前記隔壁の幅が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とする。
【００９６】
この発明によれば、液状材料の液滴を領域内に導入することによって表示要素を形成する場合において、隔壁の幅が極大となる部分に対応する位置に液滴が着弾されることにより、液滴が着弾時において周囲に広がっても、その着弾位置において隔壁の幅が極大となっているため、液状材料が隔壁を乗り越えにくくなり、隣接領域間の液状材料の混入が生じ難くなる。したがって、液滴の量のマージンを拡大することが可能になり、製造が容易になるとともに、生産効率を高めることも可能になり、また、液滴量を多めにすることによって領域内における液状材料の広がり不足も低減でき、さらに、製品の品位（例えば表示品位）を向上させることができる。
【００９７】
ここで、隔壁の延長方向としては、方形状の領域が設けられている場合には、領域のいずれかの辺に沿った方向であり、帯状の領域が設けられている場合には、領域自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記において、隔壁の幅は滑らかに増減し、領域に臨む隔壁の内面が曲面状に構成されていることが望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の隔壁の内面によって液状材料が領域内で広がりやすくなるので、液状材料の広がり不足をも低減できる。
【００９８】
本発明において、前記領域は実質的に矩形であり、前記隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿ってその幅が増減するように形成されることが好ましい。
【００９９】
この発明によれば、矩形の領域において、長辺に沿って隔壁の幅が増減していることにより、本来混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣接領域に混入することを低減できるので、特に高い効果を得ることができる。
【０１００】
次に、本発明の異なる表示装置の製造方法は、基材上に、隔壁と、該隔壁によって画成された実質的に方形状の領域内に配置された表示要素とを有する表示装置の製造方法であって、前記基材上に隔壁が形成される工程と、吐出された液状材料の液滴が前記領域に着弾される工程とを有し、前記隔壁の幅が、前記領域の一辺の略中央部に対応する位置において大きく、前記領域の前記一辺の両端部に対応する位置において小さくなるように形成され、前記液滴は、前記領域の略中央位置に着弾されることを特徴とする。
【０１０１】
この発明によれば、方形状の領域の一辺の略中央部に対応する位置において隔壁の幅が大きく、同一辺の両端部に対応する位置において隔壁の幅が小さいことにより、液状材料の液滴が領域の略中央位置に着弾したとき、当該液滴の広がりを隔壁の大きな幅を有する部分によって妨げることが可能になるので、隣接する領域に液状材料が混入することを低減することができる。この場合に、上記領域が矩形であり、その長辺の略中央部に対応する位置において隔壁の幅が大きく、その長辺の両端部に対応する位置において隔壁の幅が小さくなるように形成することが望ましい。なお、液滴の着弾位置として領域の略中央位置に液滴を着弾させるのであれば、さらに、領域の別の位置にも追加的に液滴を着弾させるようにしても構わない。
【０１０２】
次に、本発明の表示装置の製造方法は、基材上に、遮光部と、該遮光部が形成されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部内に配置された表示要素とを有する表示装置の製造方法であって、前記基材上に物理的な厚みのある前記遮光部が形成される工程と、
吐出された液状材料の液滴が前記開口部に着弾される工程とを有し、前記開口部を挟んで対峙する一対の前記遮光部の間隔が前記遮光部の延長方向に沿って増減するように形成され、前記液滴は、着弾したときに前記液滴が一時的に拡大しても受け入れることが可能な前記遮光部の間隔が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とする。
【０１０３】
また、本発明の表示装置の製造方法は、基材上に、遮光部と、該遮光部が形成されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部内に配置された表示要素とを有する表示装置の製造方法であって、前記基材上に前記液状材料の濡れ性が低い性質の遮光部が形成される工程と、吐出された液状材料の液滴が前記開口部に着弾される工程とを有し、前記開口部を挟んで対峙する一対の前記遮光部の間隔が前記遮光部の延長方向に沿って増減するように形成され、前記液滴は、着弾したときに前記液滴が一時的に拡大しても受け入れることが可能な前記遮光部の間隔が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とする。
【０１０４】
この発明によれば、遮光部が形成されていない開口部に液滴を着弾させる際に、開口部内における遮光部の間隔が遮光部の延長方向に沿って増減するように形成されていることにより、遮光部の間隔が極大となる部分に対応する位置に液滴が着弾されることにより、着弾時において液滴が周囲に広がっても、その着弾位置において遮光部の間隔が極大となっているため、液状材料が遮光部を越えにくくなり、隣接開口部間の液状材料の混入が生じ難くなると共に、液滴の着弾位置から離れた場所では液状材料の広がり不足を間隔の狭くなった遮光部によって隠蔽し易くなる。したがって、液滴の量のマージンを拡大することが可能になり、製造が容易になるとともに、生産効率を高めることも可能になり、また、液滴量を多めにすることによって開口部内における液状材料の広がり不足も低減でき、液滴量の少なめにすることによって液状材料間の混合を低減できるなど、材料の量の調整幅を拡大することができる。さらに、材料の混入や広がり不足が低減されることにより、遮光部の幅を低減することが可能になり、表示要素の密度を向上させることも容易になるため、高精細な表示を可能にすることができる。その上、材料の混入に起因する混色や材料の広がり不足による色抜け等を低減できるため製品の品位（例えば表示品位）を向上させることもできる。
【０１０５】
ここで、遮光部の延長方向としては、方形状の開口部が設けられている場合には、領域のいずれかの辺に沿った方向であり、帯状の開口部が設けられている場合には、開口部自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記において、遮光部の間隔は滑らかに増減し、開口部に臨む遮光部の輪郭が曲面状に構成されていることが望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の遮光部の輪郭によって液状材料が開口部内で広がりやすくなるので、液状材料の広がり不足をも低減できる。
【０１０６】
本発明において、前記開口部は実質的に矩形であり、前記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿って前記間隔が増減するように形成されることが好ましい。
【０１０７】
この発明によれば、矩形の開口部において、長辺に沿って遮光部の間隔が増減していることにより、本来混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣接開口部に混入することを低減でき、或いは、液滴の着弾位置から離れた場所で液状材料の広がり不足を隠蔽し易くなるので、特に高い効果を得ることができる。
【０１０８】
本発明において、前記遮光部は、前記開口部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿ってその幅が実質的に一定であるように形成されることが好ましい。
【０１０９】
この発明によれば、遮光部の幅が遮光部の延長方向に沿って実質的に一定であることにより、隣接開口部間の液状材料の混入をより安定的に低減できるとともに、全面積に対する開口部の面積割合である表示装置の開口率を高めることができる。この場合、より具体的には、或る遮光部において、その１側に存在する開口部において遮光部の間隔が広がっている部分では、他側に存在する開口部において遮光部の間隔が狭まっているように構成することが、開口率を大きく構成する上でより望ましい。
【０１１０】
本発明において、前記遮光部は、前記開口部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿ってその幅が増減するように形成されることが好ましい。
【０１１１】
この発明によれば、遮光部の幅がその延長方向に沿って増減するように構成されていることにより、遮光部の幅の増減によって遮光部の間隔が増減するように構成することが可能になり、例えば、遮光部の幅が減少している部分では遮光部の間隔が広くなり、遮光部の幅が増大している部分では遮光部の間隔が狭くなるように構成できるため、開口部の配列態様を変えずに隣接開口部間の液状材料の混入を低減でき、或いは、液状材料の広がり不足の隠蔽が可能になる。
【０１１２】
次に、本発明の表示装置の製造方法は、基材上に、遮光部と、該遮光部が形成されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部内に配置された表示要素とを有する表示装置の製造方法であって、前記基材上に遮光部が形成される工程と、吐出された液状材料の液滴が前記領域に着弾される工程とを有し、前記遮光部の幅は、前記開口部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿って増減するように形成され、前記液滴は、前記遮光部の幅が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とする。
【０１１３】
この発明によれば、遮光部の幅が極大となる部分に対応する位置に液滴が着弾されることにより、液滴が着弾時において周囲に広がっても、その着弾位置において遮光部の幅が極大となっているため、液状材料が遮光部を越えにくくなり、隣接開口部間の液状材料の混入が生じ難くなり、或いは、隣接する液状材料の混合を遮光部によって隠蔽する効果が得られる。したがって、液滴の量のマージンを拡大することが可能になり、製造が容易になるとともに、生産効率を高めることも可能になり、また、液滴量を多めにすることによって領域内における液状材料の広がり不足も低減でき、液滴量の少なめにすることによって液状材料間の混合を低減できるなど、材料の量の調整幅を拡大することができることなどにより、さらに、製品の品位（例えば表示品位）を向上させることができる。
【０１１４】
ここで、遮光部の延長方向としては、方形状の開口部が設けられている場合には、開口部のいずれかの辺に沿った方向であり、帯状の開口部が設けられている場合には、開口部自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記において、遮光部の幅は滑らかに増減し、開口部に臨む遮光部の輪郭が曲面状に構成されていることが望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の遮光部の輪郭によって液状材料が開口部内で広がりやすくなるので、液状材料の広がり不足をも低減できる。
【０１１５】
本発明において、前記開口部は実質的に矩形であり、前記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿ってその幅が増減するように形成されることが好ましい。
【０１１６】
この発明によれば、遮光部の幅がその延長方向に沿って増減するように構成されていることにより、遮光部の幅の増減によって遮光部の間隔が増減するように構成することが可能になり、例えば、遮光部の幅が減少している部分では遮光部の間隔が広くなり、遮光部の幅が増大している部分では遮光部の間隔が狭くなるように構成できるため、開口部の配列態様を変えずに隣接開口部間の液状材料の混入を低減でき、或いは、隣接する液状材料の混合の隠蔽が可能になる。
【０１１７】
次に、本発明のさらに異なる表示装置の製造方法は、基材上に、遮光部と、該遮光部が形成されていない実質的に方形状の領域内に配置された表示要素とを有する表示装置の製造方法であって、前記基材上に遮光部が形成される工程と、吐出された液状材料の液滴が前記遮光部に着弾される工程とを有し、前記遮光部の幅が、前記開口部の一辺の略中央部に対応する位置において大きく、前記開口部の前記一辺の両端部に対応する位置において小さくなるように形成され、前記液滴は、前記開口部の略中央位置に着弾されることを特徴とする。
【０１１８】
この発明によれば、方形状の開口部の一辺の略中央部に対応する位置において遮光部の幅が大きく、同一辺の両端部に対応する位置において遮光部の幅が小さいことにより、液状材料の液滴が開口部の略中央位置に着弾したとき、当該液滴の広がりを遮光部の大きな幅を有する部分によって受け入れることが可能になるので、遮光部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる性質がある場合には隣接する開口部に液状材料が混入することを低減することができ、遮光部に物理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨げる性質もない場合でも隣接する液状材料の混合を遮光部により隠蔽し易くすることができる。この場合に、上記開口部が矩形であり、その長辺の略中央部に対応する位置において遮光部の幅が大きく、その長辺の両端部に対応する位置において遮光部の幅が小さくなるように形成することが望ましい。なお、液滴の着弾位置として開口部の略中央位置に液滴を着弾させるのであれば、さらに、開口部の別の位置にも追加的に液滴を着弾させるようにしても構わない。
【０１１９】
また、上記と同様に、方形状の領域の一辺の略中央部に対応する位置において遮光部の幅が大きく、同一辺の両端部に対応する位置において遮光部の幅が小さい場合においては、液状材料が領域内に導入された後に静的に保持された状態においても、遮光部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる性質がある場合には隣接する領域との間の液状材料の混合（例えば混色）を低減することが可能になる。また、遮光部に物理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨げる性質もない場合でも中央部近傍における隣接する液状材料の混合を遮光部により隠蔽し易くすることができる。これらの効果は、上記とは異なり、液滴の着弾位置の如何に拘わらず（すなわち液滴が領域の中央に着弾しない場合においても）生ずる。
【０１２０】
本発明において、前記遮光部は、前記基材上に形成された隔壁によって構成されることが好ましい。
【０１２１】
この発明によれば、隔壁によって遮光部が構成されることにより、隔壁が液状材料の閉じ込め機能と、遮光機能の双方を兼ねていることとなるので、製造工程を短縮し、製造コストを低減できるとともに、構造を簡易なものとすることができるので、開口部の配列密度の増大を図ることが容易になる。
【０１２２】
本発明において、前記表示要素は、カラーフィルタの構成要素であるフィルタエレメントである場合がある。ここで、フィルタエレメントは、例えば、複数の色のものが所定のパターン、例えば、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等で配列される。したがって、隣接領域間若しくは隣接開口部間の混色や各領域若しくは開口部の色抜け等を防止しつつ、液滴量のマージンの確保や遮光部の幅を低減させることが可能になる。
【０１２３】
本発明において、前記表示要素は、表示ドットを構成するＥＬ発光部である場合もある。ここで、ＥＬ発光部として、複数の色の光を発光するものが所定のパターン、例えば、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等で配列されることが好ましい。この場合、隣接領域間若しくは隣接開口部間の混色や各領域若しくは開口部の色抜け等を防止しつつ、液滴量のマージンの確保や遮光部の幅を低減させることが可能になる。
【発明の実施の形態】
【０１２４】
次に、添付図面を参照して本発明に係る液滴吐出による材料の配置方法、表示装置、表示装置の製造方法、及び、電子機器の実施形態について詳細に説明する。本発明の特徴的な構成及び方法について説明する前に、まず、カラーフィルタ基板の構造及び製造方法と、ＥＬ発光パネルの構造及び製造方法について順次説明する。
【０１２５】
［カラーフィルタ基板及びその製造方法］
図３は、カラーフィルタ基板の製造工程を示す工程断面図（ａ）〜（ｇ）であり、図４は、カラーフィルタ基板の製造工程の手順を示す概略フローチャートである。
【０１２６】
最初に、図３（ａ）に示すように、透光性を有するガラスやプラスチック等で構成された基板１２の表面上に、スピンコーティング（回転塗布）、流延塗布、ロール塗布などの種々の方法によって放射線感応性素材６Ａを塗布する（図４に示すステップＳ３１）。放射線感応性素材６Ａとしては、樹脂組成物であることが好ましい。塗布後における上記素材６Ａの厚さは、通常０．１〜１０μｍ、好ましくは０．５〜３．０μｍである。
【０１２７】
上記の樹脂組成物は、例えば、（ｉ）バインダー樹脂、多官能性単量体、光重合開始剤等を含有する、放射線の照射により硬化する放射線感応性樹脂組成物や、（ｉｉ）バインダー樹脂、放射線の照射により酸を発生する化合物、放射線の照射により発生した酸の作用により架橋し得る架橋性化合物等を含有する、放射線の照射により硬化する放射線感応性樹脂組成物などを用いることができる。これらの樹脂組成物は、通常、その使用に際して溶媒を混合して液状組成物として調製されるが、この溶媒は、高沸点溶媒でも低沸点溶媒でもよい。本発明の素材６Ａとしては、特開平１０−８６４５６号公報に記載されているような、（ａ）ヘキサフルオロプロピレンと不飽和カルボン酸（無水物）と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体との共重合体、（ｂ）放射線の照射により酸を発生する化合物、（ｃ）放射線の照射により発生した酸の作用により架橋しうる架橋性化合物、（ｄ）前記（ａ）成分以外の含フッ素有機化合物、並びに、（ｅ）前記（ａ）〜（ｄ）成分を溶解しうる溶媒、を含有する組成物であることが好ましい。
【０１２８】
次に、上記素材６Ａに所定のパターンマスクを介して放射線を照射（露光）する（図４のステップＳ３２）。本明細書において放射線というときは、可視光、紫外線、Ｘ線、電子線などが含まれるが、波長が１９０〜４５０ｎｍの範囲にある放射線（光）が好ましい。
【０１２９】
その後、上記素材６Ａを現像する（図４のステップＳ３３）ことによって、図３（ｂ）に示す隔壁（バンク）６Ｂを形成する。この隔壁６Ｂは、上記パターンマスクに対応した形状（ネガパターン又はポジパターン）に構成される。隔壁６Ｂの形状としては、例えば、方形状のフィルタエレメント形成領域７を平面上において縦横に配列させることのできるように画成する格子状であることが好ましい。素材６Ａを現像するのに用いられる現像液としては、アルカリ現像液が用いられる。このアルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、硅素ナトリウム、メタ硅素ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５，４，０］−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ［４，３，０］−５−ノネン等の水溶液が好ましい。このアルカリ現像液には、例えば、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、アルカリ現像液による現像後は、通常、水洗が行われる。
【０１３０】
その後、図３（ｃ）に示すように、上記隔壁６Ｂは、例えば２００℃程度にてベーク（焼成）されて隔壁６Ｃとなる（図４のステップＳ３４）。焼成温度は、上記の素材６Ａに応じて適宜調整される。また、素材６Ａによってはベーク処理を要しない場合もあり得る。なお、本実施形態では、隔壁６Ｃは遮光性の素材で構成されているために、各領域７を画成する（区画する）文字通りの隔壁としての機能と、領域７以外の部分を遮光する遮光層としての機能とを併せ持つものとなっている。もっとも、隔壁としての機能のみを有するように構成しても構わない。この場合、隔壁とは別に、金属等で構成される遮光層を別途形成してもよい。
【０１３１】
次に、上記のようにして形成された隔壁６Ｃによって画成される各領域７に、アクリル樹脂等の基材に着色剤（顔料、染料など）を混入したフィルタエレメント材料１３（図示例では１３Ｒ（赤の着色材），１３Ｇ（緑の着色材），１３Ｂ（青の着色材））を導入する。フィルタエレメント材料１３を各領域７に導入する方法としては、フィルタエレメント材料１３を、溶媒などを混合することによって液状材料として形成し、この液状材料を上記領域７に導入する。より具体的には、本実施形態では、後述する液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出によって液状材料を液滴８の形態で領域７内に着弾させることによって材料の導入を行っている。
【０１３２】
上記のフィルタエレメント材料１３は、液状材料として導入され、その後に、乾燥若しくは低温（例えば６０℃）での焼成によるプレベーク（仮焼成）を行うことによって、仮固化若しくは仮硬化される。例えば、フィルタエレメント材料１３Ｒの導入を行い（図３（ｄ）及び図４のステップＳ３５））、その後に、フィルタエレメント材料１３Ｒのプレベークを行ってフィルタエレメント３Ｒを形成し（図４のステップＳ３６）、次に、フィルタエレメント材料１３Ｇの導入を行い（図３（ｅ）及び図４のステップＳ３７）、フィルタエレメント材料１３Ｇのプレベークを行ってフィルタエレメント３Ｇを形成し（図４のステップＳ３８）、さらに、フィルタエレメント１３Ｂの導入を行い（図３（ｆ）及び図４のステップＳ３９）、しかる後に、フィルタエレメント１３Ｂのプレベークを行ってフィルタエレメント３Ｂを形成する（図４のステップＳ４０）。このようにして、全ての色のフィルタエレメント材料が各領域７に導入され、仮固化若しくは仮硬化された表示要素であるフィルタエレメント３（３Ｒ，３Ｇ，３Ｂ）が形成されることにより、表示素材（カラーフィルタ基板）が形成される。
【０１３３】
次に、上記のようにして構成された表示素材であるカラーフィルタ基板を検査する（図４のステップＳ４１）。この検査は、例えば、肉眼若しくは顕微鏡等で、上記隔壁６Ｃ及び表示要素であるフィルタエレメント３を観察する。この場合、カラーフィルタ基板を撮影し、その撮影画像に基づいて自動的に検査を行っても構わない。この検査によって、表示要素であるフィルタエレメント３に欠陥が見つかった場合には、そのカラーフィルタ基板を以下に説明する基体再生工程に移行させる。
【０１３４】
ここで、フィルタエレメント３の欠陥とは、フィルタエレメント３が欠如している場合（いわゆるドット抜け）、フィルタエレメント３が形成されているが、領域７内に配置された材料の量（体積）が多すぎたり少なすぎたりして不適切である場合、フィルタエレメント３が形成されているが、塵埃等の異物が混入していたり付着していたりする場合などである。
【０１３５】
上記検査において表示素材に欠陥が発見されなかった場合には、例えば２００℃程度の温度でベーク（焼成）処理を行い、表示素材であるフィルタエレメント３（３Ｒ，３Ｇ，３Ｂ）を完全に固化若しくは硬化させる（図４のステップＳ４２）。このベーク処理の温度はフィルタエレメント材料１３の組成等によって適宜に決定できる。また、特に高温に加熱することなく、単に通常とは異なる雰囲気（窒素ガス中や乾燥空気中等）などで乾燥若しくはエージングさせるだけでもよい。最後に、図３（ｇ）に示すように、上記フィルタエレメント３の上に透明な保護層１４が形成される。
【０１３６】
［ＥＬ発光パネル及びその製造方法］
次に、図５及び図６を参照して、ＥＬ発光パネル及びその製造方法について説明する。ここで、図５は、ＥＬ発光パネルの製造工程を示す工程断面図（ａ）〜（ｇ）であり、図６は、ＥＬ発光パネルの製造工程の手順を示す概略フローチャートである。
【０１３７】
このＥＬ発光パネルを製造する場合には、透光性のガラスやプラスチック等で構成された基板１２上に、例えば、図５（ａ）に示す第１電極２０１を形成する。ＥＬ発光パネルがパッシブマトリクス型である場合には第１電極２０１は帯状に形成され、また、基板１２上に図示しないＴＦＤ素子やＴＦＴ素子といった能動素子を形成してなるアクティブマトリクス型である場合には第１電極２０１は表示ドット毎に独立して形成される。これらの構造の形成方法としては、例えばフォトリソグラフィ法、真空状着法、スパッタリング法、パイロゾル法などを用いることができる。第１電極２０１の材料としてはＩＴＯ（Indium-Tin Oxide）、酸化スズ、酸化インジウムと酸化亜鉛との複合酸化物などを用いることができる。
【０１３８】
次に、上記第１電極２０１上に、上記カラーフィルタ基板の場合と同様に放射線感応性素材６Ａを同様の方法で塗布する（図６に示すステップＳ６１）。そして、上記と同様の方法で、放射線照射（露光）処理（図６のステップＳ６２）及び現像処理（図６のステップＳ６３）を行い、図５（ｂ）に示すように、隔壁（バンク）６Ｂを形成する。
【０１３９】
このバンク６Ｂは、格子状に形成され、各表示ドットに形成された第１電極２０１の間を隔てるように、すなわち、表示ドットに対応するＥＬ発光部形成領域７が構成されるように、形成される。また、上記カラーフィルタ基板の場合と同様に、遮光機能をも有することが好ましい。この場合には、コントラストの向上、発光材料の混色の防止、画素と画素との間からの光漏れなどを防止することができる。隔壁６Ｂの材料としては、基本的に上記カラーフィルタ基板の隔壁に採用された各種の素材を用いることができる。ただし、この場合には特に、後述するＥＬ発光材料の溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フロロカーボンガスプラズマ処理によりテトラフルオロエチレン化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。
【０１４０】
次に、機能性液状体としての正孔注入層用材料を塗布する直前に、基板１２に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行う。これにより、ポリイミド表面は撥水化され、ＩＴＯ表面は親水化され、液滴を微細にパターニングするための基板側の濡れ性の制御ができる。プラズマを発生する装置としては、真空中でプラズマを発生する装置でも、大気中でプラズマを発生する装置でも同様に用いることができる。また、このプロセスとは別に、或いは、このプロセスの代りに、上記隔壁６Ｂに２００℃程度にてベーク（焼成）処理を施す（図６のステップＳ６４）。これによって、隔壁６Ｃが形成される。
【０１４１】
次に、図５（ｃ）に示すように、正孔注入層用材料２０２Ａを液滴８の形で吐出し、領域７に着弾させる（図６のステップＳ６５）。この正孔注入層用材料２０２Ａは、正孔注入層としての素材を溶媒などによって液状化したものである。その後、プレベーク処理として真空（１ｔｏｒｒ）中、室温、２０分という条件で溶媒を除去し、さらにその後、図３（ｄ）に示すように、大気中、２０℃（ホットプレート上）、１０分の熱処理により、発光層用材料と相溶しない正孔注入層２０２を形成する（図６のステップＳ６６）。上記条件では、正孔注入層２０２の膜厚は４０ｎｍであった。
【０１４２】
次に、図５（ｄ）に示すように、各領域７内の正孔注入層２０２の上に、機能性液状体であるＥＬ発光材料としてのＲ発光層用材料及びＧ発光層用材料を上記と同様に液滴として導入する（図６のステップＳ６７）。そして、これら発光層用材料の塗布後、プレベーク処理として、真空（１ｔｏｒｒ）中、室温、２０分などという条件で溶媒を除去した（図６のステップＳ６８）。その後、窒素雰囲気中、１５０℃、４時間の熱処理により共役化させてＲ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇを形成した（図６のステップＳ６９）。熱処理により共役化した発光層は溶媒に不溶である。上記条件により形成されたＲ発光層２０３Ｒ及びＧ発光層２０３Ｇの膜厚は５０ｎｍであった。
【０１４３】
なお、発光層を形成する前に正孔注入層２２０に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行っても良い。これにより、正孔注入層２２０上にフッ素化物層が形成され、イオン化ポテンシャルが高くなることにより正孔注入効率が増し、発光効率の高い有機ＥＬ装置を提供できる。
【０１４４】
次に、図３（ｅ）に示すように、機能性液状体であるＥＬ発光材料としてのＢ色発光層２０３Ｂを上記と同様に液滴８の状態で上記Ｒ発光層２０３ＲとＧ発光層２０３Ｇの形成されていない領域７に導入するとともに、上記Ｒ発光層２０３Ｒ及びＧ発光層２０３Ｇ上にも重ねて導入する（図６のステップＳ７０）。この後、プレベーク処理として、真空（１ｔｏｒｒ）中、室温、２０分などという条件で溶媒を除去し（図６のステップＳ７１）、これにより、図５（ｆ）に示すようにＢ発光層２０３Ｂを形成した。このようにＢ発光層２０３Ｂを重ねて配置することにより、Ｒ、Ｇ、Ｂの３原色を形成するのみならず、Ｒ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇとバンク２０５との段差を埋めて平坦化することができる。これにより、上下電極間のショートを確実に防ぐことができる。一方、Ｂ色発光層２０３Ｂの膜厚を調整することで、Ｂ色発光層２０３ＢはＲ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇとの積層構造において、電子注入輸送層として作用してＢ色には発光しない。以上のようなＢ色発光層２０３Ｂの形成方法としては、例えば湿式法として一般的なスピンコート法を採用することもできるし、あるいは、Ｒ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇの形成法と同様の方法を採用することもできる。
【０１４５】
上記のＲ色発光層２０３Ｒ，Ｇ色発光層２０３Ｇ及びＢ色発光層２０３Ｂの配列態様としては、必要とされる表示性能に応じて、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列などの公知のパターンを適宜用いることができる。
【０１４６】
次に、上記のように各表示ドットに正孔注入層２０２、及び、Ｒ色発光層２０３Ｒ，Ｇ色発光層２０３Ｇ又はＢ色発光層２０３Ｂが形成されたＥＬ発光パネルについて、目視或いは顕微鏡等による観察、或いは、画像処理などによる検査を行う（図６のステップＳ７２）。そして、この検査によって各表示ドット内のＥＬ発光部（正孔注入層２０２と、Ｒ色発光層２０３Ｒ，Ｇ色発光層２０３Ｇ又はＢ色発光層２０３Ｂとの積層体によって構成される。）に不良（ドット抜け、積層構造の不良、発光部の材料の過多、塵埃等の異物の混入など）が発見された場合には、プロセスから排除される。また、この検査で不良が発見されない場合には、図５（ｇ）に示すように、対向電極２１３を形成する（図６のステップＳ７３）。対向電極２１３はそれが面電極である場合には、例えば、Ｍｇ、Ａｇ、Ａｌ、Ｌｉなどを材料として、蒸着法、スパッタ法などといった成膜法を用いて形成できる。また、対向電極２１３がストライプ状電極である場合には、成膜された電極層をフォトリソグラフィ法などといったパターニング手法を用いて形成できる。最後に、図５（ｇ）に示すように、対向電極２１３の上に保護層２１４が適宜の材料（樹脂モールド材、無機絶縁膜など）によって形成される（図６のステップＳ７４）ことにより、目標とするＥＬ発光パネルが製造される。
【０１４７】
［第２実施形態］
次に、上記のカラーフィルタ基板やＥＬ発光パネルの製造工程において適用可能な本発明の第２実施形態の要部について詳細に説明する。図１は、第２実施形態の基板１２上の構造を示す平面図（ａ）、この（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿った断面構造を示す概略断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造を示す概略断面図（ｃ）である。
【０１４８】
この実施形態においても、基板１２上に形成された隔壁６Ｃによって実質的に方形状（図示例では矩形状）の領域７が形成されている。この領域７は、図示例では、縦横にマトリクス状に配列されている。図１には、上記カラーフィルタ基板やＥＬ発光パネルを形成する場合におけるフィルタエレメント３、正孔注入層２０２又はＥＬ発光層２０３等の表示要素を形成するための材料を導入する前の状態を示してある。
【０１４９】
各領域７は、この領域７を取り囲む隔壁６Ｃの内面６Ｘ，６Ｙのうち、領域７の長辺を構成する内面６Ｘが凹凸形状に形成されている。そして、領域７を挟んで対峙する一対の隔壁６Ｃの間隔が、領域７の長辺の伸びる方向（図示Ｘ方向）に沿って増減するように構成されている。また、領域７の長辺の伸びる方向（図示Ｘ方向）に沿って隔壁６Ｃの幅が増減するようにも構成されている。
【０１５０】
上記領域７内には、表示要素、すなわちカラーフィルタ基板のフィルタエレメント３やＥＬ発光パネルの正孔注入層２０２及びＥＬ発光層２０３、が形成される。このために、各種材料が液滴８の形で各領域７に導入される。本実施形態では、領域７の内部において、図１（ａ）に示す着弾設定位置Ｐに上記液滴が着弾するように設定される。着弾設定位置Ｐは、図示のように、上記Ｘ方向に増減する隔壁６Ｃの間隔が極大となる部分、すなわち、領域７の幅が極大となる部分（図示Ｂ−Ｂ断面部分）、に対応する位置に設定されている。なお、図示例では、一つの領域７内に３箇所の着弾設定位置Ｐが設けられ、３つの液滴によって一つの表示要素が構成されるようになっている。
【０１５１】
この実施形態によれば、液滴８が上記の着弾設定位置Ｐに着弾したとき、図９（ｄ）に示すように一時的に大きく広がっても、その着弾設定位置Ｐにおける隔壁６Ｃの間隔が大きくなっているので、液滴８の一時的拡大を大きな領域７の幅によって受け入れることが可能になるため、隔壁６Ｃを乗り越えて隣接する両側の領域７に液状材料が混入する危険性を低減できる。したがって、液滴量のマージンを大きく確保することが可能になるので、液滴量の制御が容易になり、また、液滴量を増やすことにより表示要素の広がり不足（例えば色抜け部分の発生）を防止することができる。そして、これらの結果、製造効率の向上や製品歩留まりの向上を図ることが可能になる。
【０１５２】
［第３実施形態］
次に、上記のカラーフィルタ基板やＥＬ発光パネルの製造工程において適用可能な本発明の第３実施形態の要部について詳細に説明する。図２は、第３実施形態の基板１２上の構造を示す平面図（ａ）、この（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿った断面構造を示す概略断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造を示す概略断面図（ｃ）である。
【０１５３】
この実施形態においても、基板１２上に形成された隔壁６Ｃによって実質的に方形状（図示例では矩形状）の領域７が形成されている。この領域７は、図示例では、一列毎に互い違い、或いは、千鳥状に、配列されている。図２には、上記カラーフィルタ基板やＥＬ発光パネルを形成する場合におけるフィルタエレメント３、正孔注入層２０２又はＥＬ発光層２０３等の表示要素を形成するための材料を導入する前の状態を示してある。
【０１５４】
各領域７は、この領域７を取り囲む隔壁６Ｃの内面６Ｘ，６Ｙのうち、領域７の長辺を構成する内面６Ｘが凹凸形状に形成されている。そして、領域７を挟んで対峙する一対の隔壁６Ｃの間隔が、領域７の長辺の伸びる方向（図示Ｘ方向）に沿って増減するように構成されている。また、領域７の長辺の伸びる方向（図示Ｘ方向）に沿って隔壁６Ｃの幅が実質的に一定になるように構成されている。すなわち、本実施形態の場合、隣接する領域７間を隔てるように配置された隔壁６Ｃ（図示例ではＸ方向に伸びる部分）は、全体としてＹ方向に蛇行しながらＸ方向に伸びるように構成されている。
【０１５５】
上記領域７内には、表示要素、すなわちカラーフィルタ基板のフィルタエレメント３やＥＬ発光パネルの正孔注入層２０２及びＥＬ発光層２０３、が形成される。このために、各種材料が液滴８の形で各領域７に導入される。本実施形態では、領域７の内部において、図２（ａ）に示す着弾設定位置Ｐに上記液滴が着弾するように設定される。着弾設定位置Ｐは、図示のように、上記Ｘ方向に増減する隔壁６Ｃの間隔が極大となる部分、すなわち領域７の幅が極大となる部分、に対応する位置に設定されている。なお、図示例では、一つの領域７内に３箇所の着弾設定位置Ｐが設けられ、３つの液滴によって一つの表示要素が構成されるようになっている。
【０１５６】
この実施形態によれば、液滴８が上記の着弾設定位置Ｐに着弾したとき、図９（ｄ）に示すように一時的に大きく広がっても、その着弾設定位置Ｐにおける隔壁６Ｃの間隔が大きくなっているので、液滴８の一時的拡大を大きな領域７の幅によって受け入れることが可能になるため、隔壁６Ｃを乗り越えて隣接する両側の領域７に液状材料が混入する危険性を低減できる。したがって、液滴量のマージンを大きく確保することが可能になるので、液滴量の制御が容易になり、また、液滴量を増やすことにより表示要素の広がり不足（例えば色抜け部分の発生）を防止することができる。そして、これらの結果、製造効率の向上や製品歩留まりの向上を図ることが可能になる。
【０１５７】
また、本実施形態では、隣接する領域７に挟まれた隔壁６Ｃの部分がＸ方向に実質的に一定の幅を有するように構成されているので、Ｘ方向に見て、隔壁６Ｃによる液状材料の閉じ込め効果をほぼ一定にすることができ、その結果、隣接領域間における材料の混入をより低減することができ、より安定した製品歩留まりを得ることが可能になる。
【０１５８】
なお、上記の第２および第３実施形態においては、隔壁６Ｃは全て実質的に透光性を有しない素材によって形成されていること、すなわち遮光層にもなっていること、が好ましい。この場合、隔壁６Ｃの形成されている領域は遮光部となる。ただし、本発明においては、隔壁が遮光機能を有するものである場合に限定されるものではなく、多少とも透光性を有する素材で構成されていても構わない。
【０１５９】
［第６実施形態］
次に、上記のカラーフィルタ基板やＥＬ発光パネルの製造工程において適用可能な本発明の第６実施形態の要部について詳細に説明する。図７は、第６実施形態の基板１２上の構造を示す平面図（ａ）、この（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿った断面構造を示す概略断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造を示す概略断面図（ｃ）である。
【０１６０】
この実施形態においても、基板１２上には遮光層６Ｄが形成される。この遮光層６Ｄは、例えば、Ｃｒ，Ａｌ，Ａｇ、その他の合金などの金属薄膜で構成されていてもよく、或いは、黒色樹脂等のブラックマトリクスで構成されていてもよい。遮光層６Ｄは、公知のフォトリソグラフィ法や選択的な成膜法などによって形成される。また、上記遮光層６Ｄ上には隔壁６Ｅが形成される。この隔壁６Ｅは上記第１乃至第４実施形態と同様の素材によって形成されていてもよいが、本実施形態では遮光層６Ｄが設けられているため、透光性の素材で構成されていても構わない。
【０１６１】
この実施形態において、基板１２上に形成された遮光層６Ｄが形成されていない実質的に方形状（図示例では矩形状）の開口部６Ｆが形成されている。この開口部６Ｆは、図示例では、縦横にマトリクス状に配列されている。図７には、上記カラーフィルタ基板やＥＬ発光パネルを形成する場合におけるフィルタエレメント３、正孔注入層２０２又はＥＬ発光層２０３等の表示要素を形成するための材料を導入する前の状態を示してある。
【０１６２】
各開口部６Ｆは、この開口部６Ｆを取り囲む遮光層６Ｄの内縁６Ｘ，６Ｙのうち、開口部６Ｆの長辺を構成する内縁６Ｘが凹凸形状に形成されている。そして、開口部６Ｆを挟んで対峙する一対の遮光層６Ｄの間隔が、開口部６Ｆの長辺の伸びる方向（図示Ｘ方向）に沿って増減するように構成されている。また、開口部６Ｆの長辺の伸びる方向（図示Ｘ方向）に沿って遮光層６Ｄの幅が増減するようにも構成されている。
【０１６３】
上記開口部６Ｆには、表示要素、すなわちカラーフィルタ基板のフィルタエレメント３やＥＬ発光パネルの正孔注入層２０２及びＥＬ発光層２０３、が形成される。このために、各種材料が液滴８の形で各開口部６Ｆ上に導入される。本実施形態では、開口部６Ｆにおいて、図７（ａ）に示す着弾設定位置Ｐに上記液滴が着弾するように設定される。着弾設定位置Ｐは、図示のように、上記Ｘ方向に増減する遮光層６Ｄの間隔が極大となる部分、すなわち、開口部６Ｆの幅が極大となる部分（図示Ｂ−Ｂ断面部分）、に対応する位置に設定されている。なお、図示例では、一つの領域７内に３箇所の着弾設定位置Ｐが設けられ、３つの液滴によって一つの表示要素が構成されるようになっている。
【０１６４】
この実施形態によれば、液滴８が上記の着弾設定位置Ｐに着弾したとき、図９（ｄ）に示すように一時的に大きく広がっても、その着弾設定位置Ｐにおける遮光層６Ｄの間隔が大きくなっているので、液滴８の一時的拡大を大きな開口部６Ｆの幅によって受け入れることが可能になるため、図示例のように基板１２上において物理的な厚みのある遮光層６Ｄが形成されている場合や、この遮光層６Ｄに液状材料の広がりを阻止する性質がある場合（例えば、遮光層６Ｄが液状材料をはじく性質（濡れ性が低い性質）がある場合など）においては、遮光層６Ｄ及び隔壁６Ｅを越えて隣接する両側の開口部６Ｆに液状材料が混入する危険性を低減できる。また、基板１２上に遮光層が形成されていてもその厚みが極めて薄い場合や、他の基板上に遮光層が形成されている場合のように、基板上の遮光層に物理的な厚みが実質的になく、しかも、液状材料の広がりを阻止する性質もないときには、上記のように液状材料の混入が遮光層によって妨げられるといった効果は生じないが、着弾位置から離れた場所では遮光層の間隔が狭くなっているので、液滴の着弾位置から離れた場所において液状材料の広がり不足が生じても、この液状材料の広がり不足により液状材料の存在しない部分が遮光層によって隠蔽されるため、色抜けなどの、材料の広がり不足に起因する不具合を生じさせないようにすることが可能になる。したがって、液滴量のマージンを大きく確保することが可能になるので、液滴量の制御が容易になり、例えば、液滴量を減らすことにより表示要素の混合（例えば混色の発生）を防止することができる。そして、これらの結果、製造効率の向上や製品歩留まりの向上を図ることが可能になる。
【０１６５】
［第７実施形態］
次に、上記のカラーフィルタ基板やＥＬ発光パネルの製造工程において適用可能な本発明の第７実施形態の要部について詳細に説明する。図８は、第７実施形態の基板１２上の構造を示す平面図（ａ）、この（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿った断面構造を示す概略断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造を示す概略断面図（ｃ）である。
【０１６６】
この実施形態においても、基板１２上には遮光層６Ｄが形成される。この遮光層６Ｄは、例えば、Ｃｒ，Ａｌ，Ａｇ、その他の合金などの金属薄膜で構成されていてもよく、或いは、黒色樹脂等のブラックマトリクスで構成されていてもよい。遮光層６Ｄは、公知のフォトリソグラフィ法や選択的な成膜法などによって形成される。また、上記遮光層６Ｄ上には隔壁６Ｅが形成される。この隔壁６Ｅは上記第１乃至第４実施形態と同様の素材によって形成されていてもよいが、本実施形態では遮光層６Ｄが設けられているため、透光性の素材で構成されていても構わない。
【０１６７】
この実施形態において、基板１２上に形成された遮光層６Ｄが形成されていない実質的に方形状（図示例では矩形状）の開口部６Ｆが形成されている。この開口部６Ｆは、図示例では、一列毎に互い違い、或いは、千鳥状に、配列されている。図８には、上記カラーフィルタ基板やＥＬ発光パネルを形成する場合におけるフィルタエレメント３、正孔注入層２０２又はＥＬ発光層２０３等の表示要素を形成するための材料を導入する前の状態を示してある。
【０１６８】
各開口部６Ｆは、この開口部６Ｆを取り囲む遮光層６Ｄの内縁６Ｘ，６Ｙのうち、開口部６Ｆの長辺を構成する内縁６Ｘが凹凸形状に形成されている。そして、開口部６Ｆを挟んで対峙する一対の遮光層６Ｄの間隔が、開口部６Ｆの長辺の伸びる方向（図示Ｘ方向）に沿って増減するように構成されている。また、開口部６Ｆの長辺の伸びる方向（図示Ｘ方向）に沿って遮光層６Ｄの幅が実質的に一定になるように構成されている。すなわち、本実施形態の場合、隣接する開口部６Ｆ間を隔てるように配置された遮光層６Ｄ（図示例ではＸ方向に伸びる部分）は、全体としてＹ方向に蛇行しながらＸ方向に伸びるように構成されている。
【０１６９】
上記開口部６Ｆには、表示要素、すなわちカラーフィルタ基板のフィルタエレメント３やＥＬ発光パネルの正孔注入層２０２及びＥＬ発光層２０３、が形成される。このために、各種材料が液滴８の形で各開口部６Ｆ上に導入される。本実施形態では、開口部６Ｆにおいて、図８（ａ）に示す着弾設定位置Ｐに上記液滴が着弾するように設定される。着弾設定位置Ｐは、図示のように、上記Ｘ方向に増減する遮光層６Ｄの間隔が極大となる部分、すなわち開口部６Ｆの幅が極大となる部分、に対応する位置に設定されている。なお、図示例では、一つの開口部６Ｆ内に３箇所の着弾設定位置Ｐが設けられ、３つの液滴によって一つの表示要素が構成されるようになっている。
【０１７０】
この実施形態によれば、液滴８が上記の着弾設定位置Ｐに着弾したとき、図９（ｄ）に示すように一時的に大きく広がっても、その着弾設定位置Ｐにおける遮光層６Ｄの間隔が大きくなっているので、液滴８の一時的拡大を大きな開口部６Ｆの幅によって受け入れることが可能になるため、図示例のように基板１２上において物理的な厚みのある遮光層６Ｄが形成されている場合や、この遮光層６Ｄに液状材料の広がりを阻止する性質がある場合（例えば、遮光層６Ｄが液状材料をはじく性質（濡れ性が低い性質）がある場合など）においては、遮光層６Ｄ及び隔壁６Ｅを乗り越えて隣接する両側の開口部６Ｆに液状材料が混入する危険性を低減できる。また、基板１２上に遮光層が形成されていてもその厚みが極めて薄い場合や、他の基板上に遮光層が形成されている場合のように、基板上の遮光層に物理的な厚みが実質的になく、しかも、液状材料の広がりを阻止する性質もないときには、上記のように液状材料の混入が遮光層によって妨げられるといった効果は生じないが、着弾位置から離れた場所では遮光層の間隔が狭くなっているので、液滴の着弾位置から離れた場所において液状材料の広がり不足が生じても、この液状材料の広がり不足により液状材料の存在しない部分が遮光層によって隠蔽されるため、色抜けなどの、材料の広がり不足に起因する不具合を生じさせないようにすることが可能になる。したがって、液滴量のマージンを大きく確保することが可能になるので、液滴量の制御が容易になり、また、例えば、液滴量を減らすことにより表示要素の混入（例えば混色の発生）を防止することができる。そして、これらの結果、製造効率の向上や製品歩留まりの向上を図ることが可能になる。
【０１７１】
以上説明した第６および第７実施形態においては、いずれも、基板１２上に遮光層６Ｄを形成し、その上に隔壁６Ｅを形成しているが、これとは逆に、隔壁６Ｅ上に遮光層６Ｄを形成してもよい。また、遮光層は別途、異なる部材（例えば基板１２に対向する基板など）に形成してもよい。さらに、隔壁６Ｅを形成せず、遮光層６Ｄのみを複数の開口部６Ｆを画成するように形成してもよい。
【０１７２】
［液滴吐出装置の構成例］
次に、上記の各実施形態に用いることのできる液滴吐出装置の構成について説明する。図１０は、液滴吐出装置の全体構成を示す概略斜視図、図１１は、液滴吐出装置の主要部を部分的に示す部分斜視図である。
【０１７３】
液滴吐出装置１６は、図１０に示すように、液滴吐出ヘッドの一例としてプリンタなどで用いられるヘッド２２を備えたヘッドユニット２６と、ヘッド２２の位置を制御するヘッド位置を制御するヘッド位置制御装置１７と、基板１２の位置を制御する基板位置制御装置１８と、ヘッド２２を基板１２に対して走査方向Ｘに走査移動させる走査駆動手段としての走査駆動装置１９と、ヘッド２２を基板１２に対して走査方向と交差（直交）する送り方向Ｙに送る送り駆動装置２１と、基板１２を液滴吐出装置１６内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置２３と、この液滴吐出装置１６の全般の制御を司るコントロール装置２４とを有する。
【０１７４】
上記のヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１の各装置は、ベース９の上に設置される。また、これらの各装置は、必要に応じてカバー１４によって覆われる。
【０１７５】
ヘッド２２は、例えば、図１２に示すように、複数のノズル２７が配列されてなるノズル列２８を有する。ノズル２７の数は例えば１８０であり、ノズル２７の孔径は例えば２８μｍであり、ノズル２７のピッチｔは例えば１４１μｍである。図１２に示す基準方向Ｓはヘッド２２の標準の走査方向を示し、配列方向Ｔはノズル列２８におけるノズル２７の配列方向を示す。
【０１７６】
ヘッド２２は、例えば、図１３（ａ）及び（ｂ）に示すように、ステンレス等で構成されるノズルプレート２９と、これに対向する振動板３１と、これらを互いに接合する複数の仕切り部材２３とを有する。ノズルプレート２９と振動板３１との間には、仕切り部材３２によって複数の材料室３３と液溜り３４とが形成される。これらの材料室３３と液溜り３４とは通路３８を介して互いに連通している。
【０１７７】
振動板３１の適所には材料供給孔３６が形成されている。この材料供給孔３６には材料３７が接続される。材料３７は、Ｒ，Ｇ，Ｂのうちの一色、例えばＲ色のフィルタエレメント材料などで構成される材料Ｍを材料供給孔３６へ供給する。このように供給された材料Ｍは、液溜り３４に充満し、さらに通路３８を通って材料室３３に充満する。
【０１７８】
ノズルプレート２９には、材料室３３から材料Ｍをジェット状に噴出するためのノズル２７が設けられている。また、振動板３１の材料室３３に臨む面の裏面には、この材料室３３に対応させて材料加圧体３９が取り付けられている。この材料加圧体３９は、図１３（ｂ）に示すように、圧電素子４１並びにこれを挟持する一対の電極４２ａ及び４２ｂを有する。圧電素子４１は、電極４２ａ及び４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより材料室３３の容積が増大する。すると、増大した容積分に相当する材料Ｍが液溜り３４から通路３８を通って材料室３３へ流入する。
【０１７９】
その後、圧電素子４１への通電を解除すると、この圧電素子４１と振動板３１とは共に元の形状に戻り、これにより、材料室３３も元の容積に戻るため、材料室３３の内部にある材料Ｍの圧力が上昇し、ノズル２７から材料Ｍが液滴８となって噴出する。なお、ノズル２７の周辺部には、液滴８の飛行曲りやノズル２７の孔詰まりなどを防止するために、例えば、Ｎｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥材料層４３が設けられる。
【０１８０】
次に、図１１を参照して、上記のヘッド２２の周囲に配置された、ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１、及び、その他の手段について説明する。ヘッド位置制御装置１７は、ヘッドユニット２６に取り付けられたヘッド２２を平面（水平面）内にて回転させるαモータ４４と、ヘッド２２を送り方向Ｙと平行な軸線周りに揺動回転させるβモータ４６と、ヘッド２２を走査方向Ｘと平行な軸線周りに揺動回転させるγモータ４７と、ヘッド２２を上下方向へ平行移動させるＺモータ４８とを有する。
【０１８１】
また、基板位置制御装置１８は、基板１２を載せるテーブル４９と、このテーブル４９を平面（水平面）内にて回転させるθモータ５１とを有する。また、走査駆動装置１９は、走査方向Ｘへ伸びるＸガイドレール５２と、例えばパルス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３とを有する。このＸスライダ５３は、例えば内蔵するリニアモータの稼動により、Ｘガイドレール５２に沿って走査方向Ｘへ平行移動する。
【０１８２】
さらに、送り駆動装置１９は、送り方向Ｙへ伸びるＹガイドレール５４と、例えばパルス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６とを有する。Ｙスライダ５６は、例えば内蔵するリニアモータの稼動により、Ｙガイドレール５４に沿って送り方向Ｙへ平行移動する。
【０１８３】
Ｘスライダ５３やＹスライダ５６内においてパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精密に行うことができる。したがって、Ｘスライダ５３に支持されたヘッド２２の走査方向Ｘ上の位置やテーブル４９の送り方向Ｙ上の位置などを高精度に制御できる。なお、ヘッド２２やテーブル４９の位置制御はパルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御やその他任意の方法によって実現することができる。
【０１８４】
上記テーブル４９には、基板１２の平面位置を規制する位置決めピン５０ａ，５０ｂが設けられている。基板１２は、後述する基板供給装置２３によって位置決めピン５０ａ，５０ｂに走査方向Ｘ側及び送り方向Ｙ側の端面を当接させた状態で、位置決め保持される。テーブル４９には、このような位置決め状態で保持された基板１２を固定するための、例えば空気吸引（真空吸着）などの、公知の固定手段を設けることが望ましい。
【０１８５】
本実施形態の液滴吐出装置１６においては、図１１に示すように、テーブル４９の上方に複数組（図示例では２組）の撮像装置９１Ｒ，９１Ｌ及び９２Ｒ，９２Ｌが配置されている。ここで、撮像装置９１Ｒ，９１Ｌ及び９２Ｒ，９２Ｌは、図１１において鏡筒のみを示し、他の部分及びその支持構造は省略してある。これらの観察手段である撮像装置としては、ＣＣＤカメラ等を用いることができる。なお、図１０には、これらの撮像装置について図示を省略してある。
【０１８６】
図１０に示す基板供給装置２３は、基板１２を収容する基板収容部５７と、基板１２を搬送するロボットなどの基板移載機構５８とを有する。基板移載機構５８は、基台５９と、基台５９に対して昇降移動する昇降軸６１と、昇降軸６１を中心として回転する第１アーム６２と、第１アーム６２に対して回転する第２アーム６３と、第２アーム６３の先端下面に設けられた吸着パッド６４とを有する。この吸着パッド６４は空気吸引（真空吸着）などによって基板１２を吸着保持することができるように構成されている。
【０１８７】
また、図１０に示すように、上記ヘッド２２の走査軌跡下であって、送り駆動装置２１の一方の脇位置に、キャッピング装置７６及びクリーニング装置７７が配設されている。さらに、送り駆動装置２１の他方の脇位置には電子天秤７８が設置されている。ここで、キャッピング装置７６はヘッド２２が待機状態にあるときにノズル２７（図１２参照）の乾燥を防止するための装置である。クリーニング装置７７は、ヘッド２２を洗浄するための装置である。電子天秤７８は、ヘッド２２内の個々のノズル２７から吐出される材料の液滴８の重量をノズル毎に測定する装置である。さらに、ヘッド２２の近傍には、ヘッド２２と一体に移動するヘッド用カメラ８１が取り付けられている。
【０１８８】
図１０に示すコントロール装置２４は、プロセッサを収容したコンピュータ本体部６６と、キーボード等の入力装置６７と、ＣＲＴ等の表示装置６８とを有する。コンピュータ本体部６６には、図１４に示すＣＰＵ（中央処理ユニット）６９と、各種情報を記憶するメモリである情報記録媒体７１とを備えている。
【０１８９】
上記のヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１、及び、ヘッド２２内の圧電素子４１（図１３（ｂ）参照）を駆動するヘッド駆動回路７２の各機器は、図１４に示すように、入出力インターフェイス７３及びバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。また、基板供給装置２３、入力装置６７、表示装置６８、キャッピング装置７６、クリーニング装置７７及び電子天秤７８も、上記と同様に入出力インターフェイス７３及びバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。
【０１９０】
情報記録媒体７１としてのメモリは、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）、ＲＯＭ（リードオンリメモリ）などといった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ読み取り装置、ディスク型記録媒体などといった外部記憶装置などを含む概念であり、機能的には、液滴吐出装置１６の動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域や、ヘッド２２による材料の基板１２内における吐出位置を座標データとして記憶するための記憶領域や、図１１に示す送り方向Ｙへの基板１２の送り移動量を記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ６９のためのワークエリアやテンポラリファイルなどとして機能する領域や、その他各種の記憶領域が設定される。
【０１９１】
ＣＰＵ６９は、情報記憶媒体７１であるメモリ内に記憶されたプログラムソフトに従って、基板１２の表面の所定位置に、材料を吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部としては、図１４に示すように、クリーニング処理を実現するための演算を行うクリーニング演算部、キャッピング処理を実現するためのキャッピング演算部、電子天秤７８を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部、及び、液滴吐出によって材料を基板１２の表面上に着弾させ、所定のパターンにて描画するための描画演算部を有する。
【０１９２】
上記描画演算部には、ヘッド２２を描画のための初期位置へ設置するための描画開始位置演算部、ヘッド２２を走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する走査制御演算部、基板１２を送り方向Ｙへ所定の送り移動量だけずらすための制御を演算する送り制御演算部、ヘッド２２内の複数のノズル２７のうちのいずれを作動させて材料を吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部などといった各種の機能演算部を有する。
【０１９３】
なお、上記実施形態では、上述の各機能を、ＣＰＵ６９を用いるプログラムソフトによって実現しているが、上述の各機能を、ＣＰＵを用いない電子回路によって実現できる場合には、そのような電子回路を用いても構わない。
【０１９４】
次に、上記構成からなる液滴吐出装置１６の動作を、図１５に示すフローチャートに基づいて説明する。オペレータによる電源投入によって液滴吐出装置１６が作動すると、最初にステップＳ１において初期設定が実現される。具体的には、ヘッドユニット２６や基板供給装置２３やコントロール装置２４などが予め決められた初期状態にセットされる。
【０１９５】
次に、重量測定タイミングが到来（ステップＳ２）すると、図１１に示すヘッドユニット２６を走査駆動装置１９によって図１０に示す電子天秤７８の所まで移動させる（ステップＳ３）。そして、ノズル２７から吐出される材料の量を、電子天秤７８を用いて測定する（ステップＳ４）。さらに、このように測定されたノズル２７の材料吐出特性に合わせて、各ノズル２７の圧電素子４１に印加する電圧を調節する（ステップＳ５）。
【０２１９】
この後、クリーニングタイミングが到来（ステップＳ６）すれば、ヘッドユニット２６を走査駆動装置１９によってクリーニング装置７７の所まで移動させ（ステップＳ７）、そのクリーニング装置７７によってヘッド２２をクリーニングする（ステップＳ８）。
【０１９６】
重量測定タイミングやクリーニングタイミングが到来しない場合、或いは、重量測定やクリーニングが終了した場合には、ステップ９において図１０に示す基板供給装置２３を作動させて基板１２をテーブル４９へ供給する。具体的には、基板収容部５７内の基板１２を吸着パッド６４によって吸着保持し、昇降軸６１、第１アーム６２及び第２アーム６３を移動させて基板１２をテーブル４９まで搬送し、さらにテーブル４９の適所に予め設けてある位置決めピン５０ａ，５０ｂ（図１１参照）に押し付ける。なお、テーブル４９上における基板１２の位置ずれを防止するため、空気吸引（真空吸着）などの手段によって基板１２をテーブル４９に固定することが望ましい。
【０１９７】
次に、図１１に示す撮像装置９１Ｒ，９１Ｌによって基板１２を観察しながら、θモータ５１の出力軸を微小角度単位で回転させることにより、テーブル４９を平面（水平面）内にて回転させ、基板１２を位置決めする（ステップＳ１０）。より具体的には、基板１２の左右両端にそれぞれ形成されたアライメントマークを、図１１に示す上記一対の撮像装置９１Ｒ，９１Ｌ又は９２Ｒ，９２Ｌによってそれぞれ撮影し、これらのアライメントマークの撮像位置によって基板１２の平面姿勢を演算して求め、この平面姿勢に応じてテーブル４９を回転させて角度θを調整する。
【０１９８】
この後、図１０に示すヘッド用カメラ８１によって基板１２を観察しながら、ヘッド２２によって描画を開始する位置を演算によって決定する（ステップＳ１１）。そして、走査駆動装置１９及び送り駆動装置２１を適宜に作動させて、ヘッド２２を描画開始位置へ移動させる（ステップＳ１２）。
【０１９９】
このとき、ヘッド２２は、図１２に示す基準方向Ｓが走査方向Ｘに合致した姿勢となるようにしてもよく、或いは、基準方向Ｓが所定角度で走査方向に対して傾斜する姿勢となるように構成してもよい。この所定角度は、ノズル２７のピッチと、基板１２の表面上において材料を着弾させるべき位置のピッチとが異なる場合が多く、ヘッド２２を走査方向Ｘへ移動させるときに、配列方向Ｔに配列されたノズル２７のピッチの送り方向Ｙの寸法成分が基板１２の送り方向Ｙの着弾位置のピッチと幾何学的に等しくなるようにするための措置である。
【０２００】
図１５に示すステップＳ１２でヘッド２２が描画開始位置に置かれると、ステップＳ１３においてヘッド２２は走査方向Ｘへ一定の速度で直線的に走査移動される。この走査中において、ヘッド２２のノズル２７からインクの液滴が基板１２の表面上へ連続的に吐出される。
【０２０１】
なお、このときのインクの液滴の吐出量は、一度の走査によってヘッド２２がカバーすることのできる吐出範囲において全量が吐出されるように設定されていてもよいが、例えば、一度の走査によって本来吐出されるべき量の数分の一（例えば４分の一）の材料を吐出するように構成し、ヘッド２２を複数回走査する場合に、その走査範囲が送り方向Ｙに相互に部分的に重なるように設定し、全ての領域において数回（例えば４回）材料の吐出が行われるように構成してもよい。
【０２０２】
ヘッド２２は、基板１２に対する１ライン分の走査が終了（ステップＳ１４）すると、反転移動して初期位置へと復帰し（ステップＳ１５）、送り方向Ｙに所定量（設定された送り移動量だけ）移動する（ステップＳ１６）。その度、ステップＳ１３で再び走査され、材料が吐出され、これ以降、上記の動作を繰り返し行って、複数ラインに亘って走査が行われる。ここで、１ライン分の走査が終了すると、そのまま送り方向Ｙに所定量移動し、反転して、逆向きに走査されるというように、交互に走査方向を反転させるように駆動してもよい。
【０２０３】
ここで、後述するように、基板１２内に複数のカラーフィルタが形成される場合について説明すると、基板１２内のカラーフィルタ領域一列分について全て材料の吐出が完了する（ステップＳ１７）と、ヘッド２２は所定量送り方向Ｙに移動し、再び上記と同様にステップＳ１３乃至Ｓ１６の動作を繰り返す。そして、最終的に基板１２上の全列のカラーフィルタ領域に対して材料の吐出が終了する（ステップＳ１８）と、ステップＳ２０において基板供給装置２３又は別の搬出機構によって、処理後の基板１２が外部へ排出される。その後、オペレータから作業終了の指示がない限り、上記のように基板１２の供給と、材料吐出作業を繰り返し行う。
【０２０４】
オペレータから作業終了の指示がある（ステップＳ２１）と、ＣＰＵ６９は図１０においてヘッド２２をキャッピング装置７６の所まで搬送し、そのキャッピング装置７６によってヘッド２２に対してキャッピング処理を施す（ステップＳ２２）。
【０２０５】
以上説明した液滴吐出装置は、本発明に係る配置方法や製造方法において用いることができるものであるが、本発明はこれに限られることはなく、液滴を吐出し、所定の着弾予定位置に着弾させることができるものであれば、如何なる装置を用いることも可能である。
【０２０６】
なお、本発明においては、上記液滴吐出装置のヘッドなどの液滴吐出ヘッドを、上記領域若しくは上記開口部の長手方向（例えば、実質的に矩形状の領域若しくは開口部であればその長辺が伸びる方向、実質的に帯状の領域若しくは開口部であればその伸びる方向）に走査して複数の液滴を順次吐出させていくことが好ましい。より具体的には、上記第２、第３、第６および第７実施形態においては、図１、図２、図７および図８に図示するＸ方向を液滴吐出ヘッドの走査方向とすることが、効率的に材料を配置していく上で望ましい。
【０２０７】
［表示装置（電気光学装置）及びその製造方法］
次に、本発明に係る表示装置（電気光学装置）及びその製造方法の実施形態について説明する。図１６は、本発明に係る表示装置（電気光学装置）の製造方法の一例としての、液晶装置の製造方法の実施形態を示している。また、図１７は、当該製造方法によって製造される表示装置（電気光学装置）の一例としての液晶装置の実施形態を示している。さらに、図１８は、図１７のIX−IX線に沿った液晶装置の断面構造を示している。最初に、液晶装置の一例の構造について図１７及び図１８を参照して説明する。なお、この液晶装置の一例は、単純マトリクス方式でフルカラー表示を行う半透過反射型の液晶装置である。
【０２０８】
図１７に示すように、液晶装置１０１は、液晶パネル１０２に半導体チップ等として構成された液晶駆動用ＩＣ１０３ａ及び液晶駆動用ＩＣ１０３ｂを実装し、配線接続要素としてのＦＰＣ（フレキシブル印刷回路）１０４を液晶パネル１０２に接続したものである。液晶装置１０１は、液晶パネル１０２の裏面側に照明装置１０６をバックライトとして設けることによって構成されている。
【０２０９】
液晶パネル１０２は、第１基板１０７ａと第２基板１０７ｂとをシール材１０８によって貼り合わせることによって形成される。シール材１０８は、例えば、スクリーン印刷などによってエポキシ系樹脂を第１基板１０７ａ又は第２基板１０７ｂの内側表面に環状（周回状）に付着することによって形成される。また、シール材１０８の内部には図１８に示すように導電性材料によって球状又は円筒状に形成された導通材１０９が分散状態で含まれる。
【０２１０】
図１８に示すように、第１基板１０７ａは透明なガラス、透明なプラスチックなどによって形成された板状の基材１１１ａを有する。この基材１１１ａの内側表面（図１３の上側表面）には反射膜１１２が形成されている。また、その上に絶縁膜１１３が積層され、その上に第１電極１１４ａが矢印Ｄ方向から見てストライプ状（図１７参照）に形成されている。さらにその上には配向膜１１６ａが形成される。また、基材１１１ａの外側表面（図１８の下側表面）には偏光板１１７ａが貼着などによって装着される。
【０２１１】
図１７においては、第１電極１１４ａの配列を判り易くするために、それらの間隔を実際よりも大幅に広く描いてある。したがって、図面上で描かれている第１電極１１４ａの本数よりも実際には多数の第１電極１１４ａが基材１１１上に形成されている。
【０２１２】
図１８に示すように、第２基板１０７ｂは透明なガラスや透明なプラスチックなどによって形成された板状の基材１１１ｂを有する。この基材１１１ｂの内側表面（図１８の下側表面）にはカラーフィルタ１１８が形成され、その上に第２電極１１４が上記第１電極１１４ａと直交する方向へ矢印Ｄから見てストライプ状（図１７参照）に形成されている。さらにその上には配向膜１１６ｂが形成されている。また、基材１１１ｂの外側表面（図１８の上側表面）には偏光板１１７ｂが貼着などによって装着されている。
【０２１３】
図１７においては、第２電極１１４ｂの配列を判り易くするために、第１電極の場合と同様に、それらの間隔を実際よりも大幅に広く描いてある。したがって、図面上で描かれている第１電極１１４ａの本数よりも実際には多数の第１電極１１４ａが基材１１１上に形成されている。
【０２１４】
図１８に示すように、第１基板１０７ａ、第２基板１０７ｂ及びシール材１０８によって囲まれる間隙、いわゆるセルギャップ内には液晶Ｌ、例えばＳＴＮ（スーパー捩れネマチック）液晶、が封入されている。第１基板１０７ａ又は第２基板１０７ｂの内側表面には微小で球形のスペーサ１１９が多数分散され、これらのスペーサ１１９がセルギャップ内に存在することにより、そのセルギャップが均一に維持されるようになっている。
【０２１５】
第１電極１１４ａと第２電極１１４ｂとは互いに直交する方向に伸びるように配設されている。それらが平面的に交差する部分は、図１８の矢印Ｄ方向から見てドットマトリクス状に配列されている。そして、そのドットマトリクス状の各交差点が一つの表示ドットを構成する。カラーフィルタ１１８は、Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の各色要素（フィルタエレメント）を矢印Ｄ方向から見て所定のパターン、例えば、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列などのパターンで配列させることによって構成されている。上記の一つの表示ドットはＲ，Ｇ，Ｂのそれぞれ一つずつに対応している。そして、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色の表示ドットにより一つの画素（ピクセル）が構成されるようになっている。
【０２１６】
マトリクス状に配列される表示ドットを選択的にオン状態にすることにより、液晶パネル１０２の第２基板１０７ｂの外側に文字、数字などといった像が表示される。このようにして像が表示される領域が有効表示領域であり、図１７及び図１８において矢印Ｖによって示される。
【０２１７】
図１８に示すように、反射膜１１２はＡＰＣ合金、アルミニウムなどといった光反射性材料によって形成される。また、この反射膜１１２には、第１電極１１４ａと第２電極１１４ｂの交点である各表示ドットに対応する位置に開口１２１が形成されている。したがって、開口１２１は図１８の矢印Ｄから見て表示ドットと同様にマトリクス状に配列されている。
【０２１８】
第１電極１１４ａおよび第２電極１１４ｂは、例えば、透明導電材であるＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）によって形成される。また、配向膜１１６ａ，１１６ｂは、ポリイミド系樹脂を一様な厚さの膜状に付着させることによって形成される。これらの配向膜１１６ａ，１１６ｂがラビング処理を受けることにより、第１基板１０７ａ及び第２基板１０７ｂの表面上における液晶分子の初期配向が決定される。
【０２１９】
図１７に示すように、第１基板１０７ａは第２基板１０７ｂよりも広い面積に形成されており、これらの基板をシール材１０８によって貼り合わせたとき、第１基板１０７ａは第２基板１０７ｂの外側へ張り出す基板張出部１０７ｃを有する。そして、この基板張出部１０７ｃには、第１電極１１４ａから伸び出る引出し配線１１４ｃ、シール材１０８の内部に存在する導通材１０９（図１８参照）を介して第２基板１０７ｂ上の第２電極１１４ｂと導通する引出し配線１１４ｄ、液晶駆動用ＩＣ１０３ａの入力用バンプ、すなわち入力用端子に接続される金属配線１１４ｅ、及び、液晶駆動用ＩＣ１０３ｂの入力用バンプに接続される金属配線１１４ｆなどといった各種の配線が所定のパターンにて形成されている。
【０２２０】
このとき、第１電極１１４ａから伸びる引出し配線１１４ｃ及び第２電極１１４ｂに通電する引出し配線１１４ｄは、それらの電極と同じ材料であるＩＴＯによって形成される。また、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂの入力側の配線である金属配線１１４ｅ，１１４ｆは、電気抵抗値の低い金属材料、例えばＡＰＣ合金によって形成される。このＡＰＣ合金は、主としてＡｇを含み、これにＰｄ及びＣｕを添加した合金、例えば、Ａｇ；９８ｗｔ％、Ｐｄ；１ｗｔ％、Ｃｕ；１ｗｔ％の組成を有する合金である。
【０２２１】
液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂは、ＡＣＦ（異方性導電膜）１２２によって基板張出部１０７ｃの表面に接着されて実装される。すなわち、本実施形態では、基板上に半導体チップが直接に実装される構造、いわゆるＣＯＧ（チップオングラス）方式の液晶パネルとして形成されている。このＣＯＧ方式の実装構造においては、ＡＣＦ１２２の内部に含まれる導電粒子によって、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂの入力側バンプと金属配線１１４ｅ，１１４ｆとが導電接続され、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂの出力側バンプと引出し配線１１４ｃ，１１４ｄとが導電接続される。
【０２２２】
図１７において、ＦＰＣ１０４は、可撓性の樹脂フィルム１２３と、チップ部品１２４を含んで構成された回路１２６と、金属配線端子１２７とを有する。回路１２６は樹脂フィルム１２３の表面に半田付けその他の導電接続手法によって直接に搭載される。また、金属配線端子１２７はＡＰＣ合金、Ｃｒ，Ｃｕその他の導電材料によって形成される。ＦＰＣ１０４のうち金属配線端子１２７が形成された部分は、第１基板１０７ａのうち金属配線１１４ｅ，１１４ｆが形成された部分にＡＣＦ１２２によって接続される。そして、ＡＣＦ１２２の内部に含まれる導電粒子により、基板側の金属配線１１４ｅ，１１４ｆとＦＰＣ側の金属配線端子１２７とが導通する。
【０２２３】
ＦＰＣ１０４の反対側の辺端部には外部接続端子１３１が形成され、この外部接続端子１３１が図示しない外部回路に接続される。そして、この外部回路から伝送される信号に基づいて液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂが駆動され、第１電極１１４ａ及び第２電極１１４ｂの一方に走査信号が供給され、他方にデータ信号が供給される。これにより、有効表示領域Ｖ内に配列された表示ドットが個々に電圧制御され、その結果、液晶Ｌの配向が個々に制御される。
【０２２４】
図１７に示す照明装置１０６は、図１８に示すように、アクリル樹脂などによって構成された導光体１３２と、この導光体１３２の光出射面１３２ｂに設けられた拡散シート１３３と、導光体１３２の光出射面１３２ｂの反対側に設けられた反射シート１３４と、発光源としてのＬＥＤ（発光ダイオード）１３６とを有する。
【０２２５】
ＬＥＤ１３６はＬＥＤ基板１３７に支持され、そのＬＥＤ基板１３７は、例えば導光体１３２と一体に形成された支持部（図示せず）に装着される。ＬＥＤ基板１３７が支持部の所定位置に装着されることにより、ＬＥＤ１３６が導光体１３２の側辺端面である光取込み面１３２ａに対向する位置に置かれる。なお、符号１３８は液晶パネル１０２に加わる衝撃を緩衝するための緩衝部材を示している。
【０２２６】
ＬＥＤ１３６が発光すると、その光は光取込み面１３２ａから取り込まれて導光体１３２の内部へ導かれ、反射シート１３４や導光体１３２の壁面で反射しながら伝播する間に光出射面１３２ｂから拡散シート１３３を通して外部へ平面光として出射される。
【０２２７】
以上説明した液晶装置１０１は、太陽光、室内光といった外部光が十分に明るい場合には、図１８において第２基板１０７ｂ側から外部光が液晶パネル１０２の内部へ取り込まれ、その光が液晶Ｌを通過した後に反射膜１１２で反射して再び液晶Ｌへ供給される。液晶Ｌは、これを挟持する電極１１４ａ，１１４ｂによってＲ，Ｇ，Ｂの表示ドット毎に配向制御される。したがって、液晶Ｌへ供給された光は表示ドット毎に変調され、その変調によって偏光板１１７ｂを通過する光と通過できない光とによって液晶パネル１０２の外部に文字、数字などといった像が表示され、反射型の表示が行われる。
【０２２８】
他方、外部光の光量が充分に得られない場合には、ＬＥＤ１３６が発光して導光体１３２の光出射面１３２ｂから平面光が出射され、その光が反射膜１１２に形成された開口１２１を通して液晶Ｌへ供給される。このとき、反射型の表示と同様に、供給された光が、配向制御される液晶Ｌによって表示ドット毎に変調される。これにより、外部へ像が表示され、透過型の表示が行われる。
【０２２９】
上記構成の液晶装置１０１は、例えば、図１６に示す製造方法によって製造される。この製造方法においては、工程Ｐ１〜Ｐ６の一連の工程が第１基板１０７ａを形成する工程であり、工程Ｐ１１〜工程Ｐ１４の一連の工程が第２基板１０７ｂを形成する工程である。第１基板形成工程と第２基板形成工程は、通常、それぞれが独自に行われる。
【０２３０】
まず、第１基板形成工程では、透光性ガラス、透光性プラスチックなどによって形成された大面積のマザー原基板の表面に液晶パネル１０２の複数個分の反射膜１１２をフォトリソグラフィ法などを用いて形成する。さらに、その上に絶縁膜１１３を周知の成膜法を用いて成形する（工程Ｐ１）。次に、フォトリソグラフィ法などを用いて第１電極１１４ａ、引出し配線１１４ｃ，１１４ｄおよび金属配線１１４ｅ，１１４ｆを形成する（工程Ｐ２）。
【０２３１】
この後、第１電極１１４ａの上に塗布、印刷などによって配向膜１１６ａを形成し（工程Ｐ３）、さらにその配向膜１１６ａに対してラビング処理を施すことにより液晶の初期配向を決定する（工程Ｐ４）。次に、例えばスクリーン印刷などによってシール材１０８を環状に形成し（工程Ｐ５）、さらにその上に球状のスペーサ１１９を分散する（工程Ｐ６）以上により、液晶パネル１０２の第１基板１０７ａ上のパネルパターンを複数個分有する大面積のマザー第１基板が形成される。
【０２３２】
以上の第１基板形成工程とは別に、第２基板形成工程（図１６の工程Ｐ１１〜工程Ｐ１４）を実施する。まず、透光性ガラス、透光性プラスチックなどによって形成された大面積のマザー原基材を用意し、その表面に液晶パネル１０２の複数個分のカラーフィルタ１１８を形成する（工程Ｐ１１）。このカラーフィルタ１１８の形成工程は図３及び図４に示した製造方法を用いて行われ、隔壁若しくは遮光層のその製造方法中のＲ、Ｇ、Ｂの各色フィルタエレメントの形成は、図１０に示す液滴吐出装置１６を用いてヘッド２２のノズル２７からフィルタエレメント材料の材料としての液滴を吐出することにより実行される。
【０２３３】
マザー基板１２すなわちマザー原料基材の上にカラーフィルタ１１８が形成されると、次に、フォトリソグラフィ法によって第２電極１１４ｂが形成される（工程Ｐ１２）。さらに、塗布、印刷などによって配向膜１１６ｂが形成される（工程Ｐ１３）。次に、その配向膜１１６ｂに対してラビング処理が施されて液晶の初期配向が決められる（工程Ｐ１４）。以上により、液晶パネル１０２の第２基板１０７ｂ上のパネルパターンを複数個分有する大面積のマザー第２基板が形成される。
【０２３４】
以上により、大面積のマザー第１基板およびマザー第２基板が形成された後、それらのマザー基板をシール材１０８を間に挟んでアライメント、すなわち位置合わせした上で互いに貼り合わせる（工程Ｐ２１）。これにより、液晶パネル複数個分のパネル部分を含んでいて未だ液晶が封入されていない状態の空のパネル構造体が形成される。
【０２３５】
次に、完成した空のパネル構造体の所定の位置にスクライブ溝、すなわち分断用溝を形成し、さらにそのスクライブ溝を基準としてパネル構造体に応力又は熱を加え、或いは光を照射する等の方法により基板をブレイク（破断）させることによって分断する（工程Ｐ２２）。これにより、各液晶パネル部分のシール材１０８の液晶注入用開口１１０（図１７参照）が外部へ露出する状態の、いわゆる短冊状の空のパネル構造体が形成される。
【０２３６】
その後、露出した液晶注入用開口１１０を通して各液晶パネル部分の内部に液晶Ｌを注入し、さらに各液晶注入用開口１１０を樹脂などによって封止する（工程Ｐ２３）。通常の液晶注入処理は、液晶パネル部分の内部を減圧し、内外圧力差によって液晶を注入することによって行われる。例えば、貯留容器の中に液晶を貯留し、その液晶が貯留された貯留容器と短冊状の空パネルとをチャンバなどに入れ、そのチャンバなどを真空状態にしてからそのチャンバの内部において液晶の中に短冊状の空パネルを浸漬する。その後、チャンバを大気圧に開放すると、空パネルの内部は真空状態なので、大気圧によって加圧される液晶が液晶注入用開口を通してパネルの内部へ導入される。その後、液晶注入後の液晶パネル構造体のまわりには液晶が付着するので、液晶注入処理後の短冊状パネルは工程Ｐ２４において洗浄処理を受ける。
【０２３７】
その後、液晶注入および洗浄が終わった後の短冊状パネルに対して、再び所定位置にスクライブ溝を形成する。さらに、そのスクライブ溝を基準にして短冊状パネルを分断する。このことにより、複数個の液晶パネル１０２が個々に切り出される（工程Ｐ２５）。こうして作製された個々の液晶パネル１０２に対して、図１７に示すように、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂを実装し、照明装置１０６をバックライトとして装着し、さらにＦＰＣ１０４を接続することにより、目標とする液晶装置１０１が完成する（工程Ｐ２６）。
【０２３８】
なお、個々のフィルタエレメント３は、ヘッド２２の１回の走査によって形成されるのではなくて、複数回の走査によってＮ回（例えば、上記第１乃至第８実施形態における図示例では３回、或いは、４回）、重ねて材料吐出を受けることにより所定の膜厚に形成されてもよい。この場合には、仮に複数のノズル２７間において材料吐出量にバラツキが存在する場合でも、複数のフィルタエレメント３間で膜厚にバラツキが生じることを防止でき、上記の縞状の色ムラもさらに低減され、それ故、カラーフィルタの光透過特性を平面的に均一にすることができる。
【０２３９】
また、本実施形態の液晶装置及びその製造方法では、図１０に示す液滴吐出装置１６を用いることによりヘッド２２を用いた材料吐出によってフィルタエレメント３を形成するようにしているので、フォトリソグラフィ法を用いる方法のような複雑な工程を経る必要がなく、また材料を浪費することもない。
【０２４０】
なお、上記実施形態では、表示装置として液晶パネルを備えた液晶装置について説明したが、上記と同様のカラーフィルタを備えた表示装置として、液晶装置以外の他の電気光学装置、例えば、ＥＬ装置、プラズマディスプレイパネルなどにカラーフィルタを設けたものに適用することも可能である。すなわち、例えばＥＬ装置の場合、ＥＬ発光機能を有する複数の表示ドットに対応するフィルタエレメントを備えたカラーフィルタを平面的に重ねることによって、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【０２４１】
［その他の実施の形態］
以上、好ましい実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、以下に示すような変形をも含み、本発明の目的を達成できる範囲で、他のいずれの具体的な構造および形状に設定できる。
【０２４２】
すなわち、例えば、図１０および図１１に示したカラーフィルタの製造装置（液滴吐出装置）では、ヘッド２２を走査方向Ｘへ移動させてマザー基板１２を走査し、マザー基板１２を送り駆動装置２１によって移動させることにより、ヘッド２２のマザー基板１２に対する送り動作を実現しているが、これとは逆に、マザー基板１２の移動によって走査を実行し、ヘッド２２の移動によって送り動作を実行することもできる。さらには、ヘッド２２を移動させずにマザー基板１２を移動させたり、双方を相対的に逆方向に移動させたりするなど、少なくともいずれか一方を相対的に移動させ、ヘッド２２がマザー基板１２の表面に沿って相対的に移動するいずれの構成とすることができる。
【０２４３】
また、上記実施の形態では、圧電素子の撓み変形を利用して材料を吐出する構造のヘッドを用いたが、他の任意の構造のヘッド、例えば加熱により発生するバブルにより材料を吐出する方式のヘッドなどを用いることもできる。
【０２４４】
そして、液滴吐出装置１６が製造に使用されるのは、上述のカラーフィルタや液晶装置、ＥＬ装置に限定されるものではなく、ＦＥＤ（Field Emission Display:フィールドエミッションディスプレイ）などの電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel:プラズマディスプレイパネル）、電気泳動装置すなわち荷電粒子を含有する機能性液状体である材料を各画素の隔壁間の凹部に吐出し、各画素を上下に挟持するように配設される電極間に電圧を印加して荷電粒子を一方の電極側に寄せて各画素での表示をする装置、薄型のブラウン管、ＣＲＴ（Cathode-Ray Tube:陰極線管）ディスプレイなど、基板（基材）を有し、その上方の領域に所定の層を形成する工程を有する様々な表示装置（電気光学装置）に用いることができる。
【０２４５】
本発明の装置や方法は、カラーフィルタや表示装置（電気光学装置）を含む、基板（基材）を有するデバイスであって、その基板（基材）に液滴８を吐出する工程を用いることができる各種デバイスの製造工程において用いることができる。例えば、プリント回路基板の電気配線を形成するために、液状金属や導電性材料、金属含有塗料などを吐出して金属配線などをする構成、基材上に形成される微細なマイクロレンズを吐出にて光学部材を形成する構成、基板上に塗布するレジストを必要な部分だけに塗布するように吐出する構成、プラスチックなどの透光性基板などに光を散乱させる凸部や微小白パターンなどを吐出形成して光散乱板を形成する構成、ＤＮＡ（deoxyribonucleic acid:デオキシリボ核酸）チップ上にマトリクス配列するスパイクスポットにＲＮＡ（ribonucleic acid:リボ核酸）を吐出させて蛍光標識プローブを作製してＤＮＡチップ上でハイブリタゼーションさせるなど、基材に区画されたドット状の位置に、試料や抗体、ＤＮＡ（deoxyribonucleic acid:デオキシリボ核酸）などを吐出させてバイオチップを形成する構成などにも利用できる。
【０２４６】
また、上記の液晶装置としても、ＴＦＴなどのトランジスタやＴＦＤのアクティブ素子を画素に備えたアクティブマトリクス液晶パネルなど、画素電極を取り囲む隔壁６を形成し、この隔壁６にて形成される凹部に材料を吐出してカラーフィルタ１を形成するような構成のもの、画素電極上に材料として色材および導電材を混合したものを吐出して、画素電極上に形成するカラーフィルタ１を導電性カラーフィルタとして形成する構成、基板間のギャップを保持するためのスペーサの粒を吐出形成する構成など、液晶装置の電気光学系を構成するいずれの部分にも適用可能である。
【０２４７】
さらに、カラーフィルタ１に限られず、ＥＬ装置など、他のいずれの電気光学装置に適用でき、ＥＬ装置としても、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色に対応するＥＬが帯状に形成されるストライプ型や、上述したように、各画素毎に発光層に流す電流を制御するトランジスタを備えたアクティブマトリックス型の表示装置、あるいはパッシブマトリックス型に適用するものなど、いずれの構成でもできる。
【０２４８】
そして、上記各実施形態の電気光学装置が組み込まれる電子機器としては、例えば図１９に示すようなパーソナルコンピュータ４９０に限らず、図２０に示すような携帯電話４９１やＰＨＳ（Personal Handy phone System）などの携帯型電話機、電子手帳、ページャ、ＰＯＳ（Point Of Sales）端末、ＩＣカード、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、エンジニアリング・ワークステーション（Engineering Work Station:ＥＷＳ）、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備えた装置、時計、ゲーム機器などの様々な電子機器に適用できる。
【発明の効果】
【０２４９】
以上、説明したように本発明によれば、材料の混入や広がり不良の発生を低減できる。また、表示装置においては、混色や色抜けを防止することができる。そして、これらにより、高品位の製品を製造することが可能になり、また、高密度の構造を実現することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【０２５０】
【図１】 本発明に係る第２実施形態の構造を示すための部分平面図（ａ）、Ｂ−Ｂ線に沿った断面構造を示す断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造を示す断面図（ｃ）である。
【図２】 本発明に係る第３実施形態の構造を示すための部分平面図（ａ）、Ｂ−Ｂ線に沿った断面構造を示す断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造を示す断面図（ｃ）である。
【図３】 本発明に係る表示装置の製造方法の実施形態として、カラーフィルタ基板の製造工程を示す概略工程断面図（ａ）〜（ｇ）である。
【図４】 同実施形態におけるカラーフィルタ基板の製造工程の手順を示す概略フローチャートである。
【図５】 本発明に係る表示装置の製造方法の実施形態として、ＥＬ発光パネルの製造工程を示す概略工程断面図（ａ）〜（ｇ）である。
【図６】 同実施形態におけるＥＬ発光パネルの製造工程の手順を示す概略フローチャートである。
【図７】 本発明に係る第６実施形態の構造を示すための部分平面図（ａ）、Ｂ−Ｂ線に沿った断面構造を示す断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造を示す断面図（ｃ）である。
【図８】 本発明に係る第７実施形態の構造を示すための部分平面図（ａ）、Ｂ−Ｂ線に沿った断面構造を示す断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造を示す断面図（ｃ）である。
【図９】 従来構造の液滴導入前後の細部を拡大して示す部分拡大平面図（ａ）及び（ｂ）、並びに、液滴の着弾時の経時変化を示す説明図（ｃ）〜（ｅ）である。
【図１０】 本発明に係る液滴吐出装置、或いは、表示装置の製造装置（カラーフィルタの製造装置、液晶装置の製造装置およびＥＬ装置の製造装置といった各製造装置）の主要部分である液滴吐出装置の一実施の形態を示す斜視図である。
【図１１】 図１０の装置の主要部を拡大して示す斜視図である。
【図１２】 図１１の装置の主要部であるヘッドを拡大して示す斜視図である。
【図１３】 ヘッドの内部構造を示す図であって、（ａ）は一部破断斜視図を示し、（ｂ）は（ａ）のＪ−Ｊ線に従った断面構造を示す。
【図１４】 液滴吐出装置に用いられる電気制御系を示すブロック図である。
【図１５】 図１４の制御系によって実行される制御の流れを示すフローチャートである。
【図１６】 本発明に係る液晶装置の製造方法の一実施の形態を示す工程図である。
【図１７】 本発明に係る液晶装置の製造方法によって製造される液晶装置の一例を分解状態で示す斜視図である。
【図１８】 図１７におけるIX−IX線に従って液晶装置の断面構造を示す断面図である。
【図１９】 表示装置（電気光学装置）を備えた電子機器であるパーソナルコンピュータを示す斜視図である。
【図２０】 表示装置（電気光学装置）を備えた電子機器である携帯電話を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０２５１】
３（３Ｒ，３Ｇ，３Ｂ）・・・フィルタエレメント、６（６Ｂ，６Ｃ，６Ｅ）・・・隔壁、７・・・領域（フィルタエレメント形成領域或いはＥＬ発光部形成領域）、６Ｄ・・・遮光層、６Ｆ・・・開口部、８・・・液滴、１２・・・基板（或いはマザー基板）、１６・・・液滴吐出装置、２２・・・ヘッド、２７・・・ノズル、２０２・・・正孔注入層、２０３（２０３Ｒ，２０３Ｇ，２０３Ｂ）・・・ＥＬ発光層、Ｐ・・・着弾予定位置

Claims (21)

1. 液状材料を液滴として吐出し、基材上に配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、
   前記基材上に隔壁が形成される工程と、前記隔壁によって画成される実質的に方形状若しくは帯状の領域に前記液滴が着弾される工程とを有し、
   前記領域を挟んで対峙する一対の前記隔壁の間隔が前記隔壁の延長方向に沿って増減するように形成され、
   前記液滴は、着弾したときに前記液滴が一時的に拡大しても受け入れることが可能な前記隔壁の間隔が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とする液滴吐出による材料の配置方法。
2. 前記領域は実質的に矩形であり、前記隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿って前記間隔が増減するように形成されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出による材料の配置方法。
3. 前記隔壁は、前記領域に対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿ってその幅が実質的に一定であるように形成されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液滴吐出による材料の配置方法。
4. 前記隔壁は、前記領域に対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿ってその幅が増減するように形成されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液滴吐出による材料の配置方法。
5. 液状材料を液滴として吐出し、基材上に配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、
   前記基材上に物理的な厚みのある遮光部が形成される工程と、前記遮光部が構成されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部に前記液滴が着弾される工程とを有し、
   前記開口部を挟んで対峙する一対の前記遮光部の間隔が前記遮光部の延長方向に沿って増減するように形成され、
   前記液滴は、着弾したときに前記液滴が一時的に拡大しても受け入れることが可能な前記遮光部の間隔が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とする液滴吐出による材料の配置方法。
6. 液状材料を液滴として吐出し、基材上に配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、
   前記基材上に前記液状材料の濡れ性が低い性質の遮光部が形成される工程と、前記遮光部が構成されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部に前記液滴が着弾される工程とを有し、
   前記開口部を挟んで対峙する一対の前記遮光部の間隔が前記遮光部の延長方向に沿って増減するように形成され、
   前記液滴は、着弾したときに前記液滴が一時的に拡大しても受け入れることが可能な前記遮光部の間隔が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とする液滴吐出による材料の配置方法。
7. 前記開口部は実質的に矩形であり、前記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿って前記間隔が増減するように形成されることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の液滴吐出による材料の配置方法。
8. 前記遮光部は、前記開口部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿ってその幅が実質的に一定であるように形成されることを特徴とする請求項５乃至請求項７のいずれか１項に記載の液滴吐出による材料の配置方法。
9. 前記遮光部は、前記開口部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿ってその幅が増減するように形成されることを特徴とする請求項５乃至請求項７のいずれか１項に記載の液滴吐出による材料の配置方法。
10. 基材上に、隔壁と、該隔壁によって画成された実質的に方形状若しくは帯状の領域内に配置された表示要素とを有する表示装置の製造方法であって、
    前記基材上に隔壁が形成される工程と、
    吐出された液状材料の液滴が前記領域に着弾される工程とを有し、
    前記領域を挟んで対峙する一対の前記隔壁の間隔が前記隔壁の延長方向に沿って増減するように形成され、
    前記液滴は、着弾したときに前記液滴が一時的に拡大しても受け入れることが可能な前記隔壁の間隔が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とする表示装置の製造方法。
11. 前記領域は実質的に矩形であり、前記隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿って前記間隔が増減するように形成されることを特徴とする請求項１０に記載の表示装置の製造方法。
12. 前記隔壁は、前記領域に対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿ってその幅が実質的に一定であるように形成されることを特徴とする請求項１０又は請求項１１に記載の表示装置の製造方法。
13. 前記隔壁は、前記領域に対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿ってその幅が増減するように形成されることを特徴とする請求項１０又は請求項１１に記載の表示装置の製造方法。
14. 基材上に、遮光部と、該遮光部が形成されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部内に配置された表示要素とを有する表示装置の製造方法であって、
    前記基材上に物理的な厚みのある前記遮光部が形成される工程と、
    吐出された液状材料の液滴が前記開口部に着弾される工程とを有し、
    前記開口部を挟んで対峙する一対の前記遮光部の間隔が前記遮光部の延長方向に沿って増減するように形成され、
    前記液滴は、着弾したときに前記液滴が一時的に拡大しても受け入れることが可能な前記遮光部の間隔が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とする表示装置の製造方法。
15. 基材上に、遮光部と、該遮光部が形成されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部内に配置された表示要素とを有する表示装置の製造方法であって、
    前記基材上に前記液状材料の濡れ性が低い性質の遮光部が形成される工程と、
    吐出された液状材料の液滴が前記開口部に着弾される工程とを有し、
    前記開口部を挟んで対峙する一対の前記遮光部の間隔が前記遮光部の延長方向に沿って増減するように形成され、
    前記液滴は、着弾したときに前記液滴が一時的に拡大しても受け入れることが可能な前記遮光部の間隔が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とする表示装置の製造方法。
16. 前記開口部は実質的に矩形であり、前記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿って前記間隔が増減するように形成されることを特徴とする請求項１４又は請求項１５に記載の表示装置の製造方法。
17. 前記遮光部は、前記開口部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿ってその幅が実質的に一定であるように形成されることを特徴とする請求項１４乃至請求項１６のいずれか１項に記載の表示装置の製造方法。
18. 前記遮光部は、前記開口部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿ってその幅が増減するように形成されることを特徴とする請求項１４乃至請求項１６のいずれか１項に記載の表示装置の製造方法。
19. 前記遮光部は、前記基材上に形成された隔壁によって構成されることを特徴とする請求項１４乃至請求項１８のいずれか１項に記載の表示装置の製造方法。
20. 前記表示要素は、カラーフィルタの構成要素であるフィルタエレメントであることを特徴とする請求項１０乃至請求項１９のいずれか１項に記載の表示装置の製造方法。
21. 前記表示要素は、表示ドットを構成するＥＬ発光部であることを特徴とする請求項１０乃至請求項１９のいずれか１項に記載の表示装置の製造方法。

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