JP2003159786A - 吐出方法およびその装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装置、カラーフィルタ、その製造方法およびその製造装置、ならびに基材を有するデバイス、その製造方法およびその製造装置 - Google Patents

吐出方法およびその装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装置、カラーフィルタ、その製造方法およびその製造装置、ならびに基材を有するデバイス、その製造方法およびその製造装置

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JP2003159786A
JP2003159786A JP2001362739A JP2001362739A JP2003159786A JP 2003159786 A JP2003159786 A JP 2003159786A JP 2001362739 A JP2001362739 A JP 2001362739A JP 2001362739 A JP2001362739 A JP 2001362739A JP 2003159786 A JP2003159786 A JP 2003159786A
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heads
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真一 中村
Yoshiaki Yamada
善昭 山田
Tsuyoshi Kitahara
強 北原
Satoru Kataue
悟 片上
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 汎用性が高く安価に効率よく形成でき、カラ
ーフィルタの光学透過特性、液晶装置のカラー表示特
性、ＥＬ発光面の発光特性などといった電気光学部材の
電気光学特性を平面的に均一にできる吐出装置を提供す
る。 【解決手段】 カラーフィルタ１を製造するインクジェ
ット装置に、複数のノズル２７を列状に設けてノズル列
２８を構成するインクジェットヘッド２２を直線状に並
べて配設する。マザー基板１２にノズル２７からフィル
タエレメント材料を、複数のノズル２７によって４回重
ねて吐出させ、１個のフィルタエレメント３を所定の膜
厚に形成する。複数のフィルタエレメント３間で膜厚に
バラツキが生じることを防止でき、カラーフィルタ１の
光透過特性を平面的に均一にすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流動性を有した液
状体を吐出する吐出方法およびその装置に関する。そし
て、本発明は、液晶装置、ＥＬ装置、電気泳動装置、電
子放出装置およびＰＤＰ装置などの電気光学装置、この
電気光学装置を製造する電気光学素装置の製造方法およ
びその製造装置に関する。また、本発明は、電気光学装
置に用いられるカラーフィルタ、このカラーフィルタを
製造する製造方法およびその製造装置に関する。さら
に、本発明は、電気光学部材、半導体装置、光学部材、
試薬検査部材などの基材を有するデバイス、この基材を
有したデバイスを製造する製造方法およびその製造装置
に関する。
【０００２】
【背景技術】近年、携帯電話機、携帯型コンピュータな
どといった電子機器の表示部に液晶装置、エレクトロル
ミネッセンス装置（以下ＥＬ（electoroluminescence）
装置という）などといった電気光学装置である表示装置
が広く用いられている。また、最近では、表示装置によ
ってフルカラー表示することが多くなっている。この液
晶装置によるフルカラー表示は、例えば、液晶層によっ
て変調される光をカラーフィルタに通すことによって表
示される。そして、カラーフィルタは、例えば、ガラ
ス、プラスチックなどによって形成された基板の表面
に、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のドット状の各色の
フィルタエレメントをいわゆるストライプ配列、デルタ
配列またはモザイク配列などといった所定の配列で並べ
ることによって形成される。
【０００３】また、ＥＬ装置によるフルカラー表示は、
例えばガラス、プラスチックなどの基板表面に、Ｒ
（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のドット状の各色のＥＬ発
光層をいわゆるストライプ配列、デルタ配列またはモザ
イク配列などといった所定の配列で並べ、これらのＥＬ
発光層を一対の電極で挟持して絵素ピクセルを形成す
る。そして、これらの電極に印加する電圧を絵素ピクセ
ル毎に制御することにより、これら絵素ピクセルを希望
の色で発光させてフルカラー表示する。
【０００４】従来、カラーフィルタのＲ、Ｇ、Ｂなどの
各色のフィルタエレメントをパターニングする場合や、
ＥＬ装置のＲ、Ｇ、Ｂなどの各色の絵素ピクセルをパタ
ーニングする場合、フォトリソグラフィー法を用いるこ
とが知られている。しかしながら、このフォトリソグラ
フィー法を用いる場合には、工程が複雑であることや、
各色の材料あるいはフォトレジストなどを多量に消費す
るので、コストが高くなるなどといった問題がある。
【０００５】この問題を解決するために、インクジェッ
ト法によってフィルタエレメント材料やＥＬ発光材料な
どをドット状に吐出することにより、ドット状配列のフ
ィラメントやＥＬ発光層などを形成する方法が提案され
ている。
【０００６】ここで、インクジェット法によってドット
状配列のフィラメントやＥＬ発光層などを形成する方法
について説明する。図５０（ａ）において、ガラス、プ
ラスチックなどによって形成された大面積の基板、いわ
ゆるマザーボード３０１の表面に設定される複数のパネ
ル領域３０２の内部領域に、図５０（ｂ）に示すよう
に、ドット状に配列された複数のフィルタエレメント３
０３をインクジェット法に基づいて形成する場合につい
て考える。この場合には、例えば図５０（ｃ）に示すよ
うに、複数のノズル３０４を列状に配列してなるノズル
列３０５を有する液滴吐出ヘッドであるインクジェット
ヘッド３０６を、図５０（ｂ）の矢印Ａ１および矢印Ａ
２で示すように、１個のパネル領域３０２に関して複数
回（図５０では２回）主走査させながら、それらの主走
査の間に複数のノズルから選択的にインクすなわちフィ
ルタ材料を吐出することによって希望位置にフィルタエ
レメント３０３を形成する。
【０００７】このフィルタエレメント３０３は、上述し
たように、Ｒ、Ｇ、Ｂなどの各色をいわゆるストライプ
配列、デルタ配列、モザイク配列などといった適宜の配
列形態で配列することによって形成されるものである。
このことから、図５０（ｂ）に示すインクジェットヘッ
ド３０６によるインク吐出処理は、Ｒ、Ｇ、Ｂの単色を
吐出するインクジェットヘッド３０６をＲ、Ｇ、Ｂの３
色分だけあらかじめ設けておく。そして、これらのイン
クジェットヘッド３０６を順次に用いて１つのマザーボ
ード３０１上にＲ、Ｇ、Ｂなどの３色配列を形成する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、インクジェ
ットヘッド３０６に関しては、一般に、ノズル列３０５
を構成する複数のノズル３０４のインク吐出量にバラツ
キがある。これは、例えば図５１（ａ）に示すように、
ノズル列３０５の両端部に対応する位置の吐出量が多
く、その中央部がその次に多く、それらの中間部の吐出
量が少ないというようなインク吐出特性Ｑを有する。
【０００９】従って、図５０（ｂ）に示すようにして、
インクジェットヘッド３０６によってフィルタエレメン
ト３０３を形成したとき、図５１（ｂ）に示すように、
インクジェットヘッド３０６の端部に対応する位置Ｐ１
または中央部Ｐ２、あるいはＰ１およびＰ２の両方に濃
度の濃いスジが形成されてしまう。このため、カラーフ
ィルタの平面的な光透過特性が不均一になるという問題
がある。
【００１０】一方、マザーボード３０１に複数のパネル
領域３０２を形成する場合、インクジェットヘッドの主
走査方向に対して幅方向となるマザーボード３０１の幅
寸法略全域にインクジェットヘッドが位置するように長
手状のインクジェットヘッドを用いることにより、効率
よくフィルタエレメント３０３を形成することが考えら
れる。しかしながら、パネル領域３０２の大きさに対応
して異なる大きさのマザーボード３０１を用いる場合に
は、その都度異なるインクジェットヘッドが必要とな
り、コストが増大する問題がある。
【００１１】本発明は、このような問題点に鑑みて、イ
ンクジェットなどの液滴吐出ヘッドを用いながらも汎用
性が高く安価に効率よく形成できる吐出方法およびその
装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装
置、カラーフィルタ、その製造方法およびその製造装
置、ならびに基材を有するデバイス、その制御方法およ
びその製造装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
【００１３】（１）本発明の吐出装置は、流動性を有し
た液状体を被吐出物上に吐出する複数のノズルが配列す
るように設けられた液滴吐出ヘッドと、この液滴吐出ヘ
ッドの前記ノズルが設けられた一面を前記被吐出物の表
面に間隙を介して対向させて同一の前記液状体を吐出す
る前記液滴吐出ヘッドを複数並べて配置する保持手段
と、この保持手段および前記被吐出物のうちの少なくと
もいずれか一方を前記液滴吐出ヘッドが前記被吐出物の
表面に沿う状態で相対的に移動させる移動手段と、を具
備し、前記各液滴吐出ヘッドに設けられたノズル列は、
前記被吐出物に対して相対的に移動される方向と斜めに
交差する方向にそれぞれ配列されたことを特徴とする。
【００１４】この発明では、流動性を有した液状体を吐
出する複数のノズルが配列するように設けられ複数互い
に並べて配置された液滴吐出ヘッドを、これら液滴吐出
ヘッドのノズルが設けられた一面が被吐出物の表面に間
隙を介して対向する状態で、被吐出物の表面に沿って相
対的に移動させ、複数の液滴吐出ヘッドの各ノズルから
被吐出物上に同一の液状体を吐出する。これら各液滴吐
出ヘッドに設けられたノズル列は、被吐出物に対して相
対的に移動される方向と斜めに交差する第１の方向とす
る。この構成により、同一の液状体を複数並べて配置し
た液滴吐出ヘッドのノズルから吐出するので、例えば同
一の規格品の液滴吐出ヘッドを用いて、広い範囲に液状
体を吐出させることが可能となり、特別な液滴吐出ヘッ
ドを用いることなく従来の規格品を用いることでコスト
の低減が図れる。さらに、例えば液滴吐出ヘッドを並べ
て配列する配置方向の数を適宜設定することにより、液
状体を吐出する領域に対応させることが可能となり、汎
用性が向上する。
【００１５】そして、本発明では、複数の液滴吐出ヘッ
ドは、前記被吐出物に対して相対的に移動される方向と
斜めに交差する第２の方向に並べて配置することが好ま
しい。この構成により、複数の液滴吐出ヘッドが被吐出
物の表面に沿って移動される方向である走査方向に対し
て傾斜する状態となり、例えばノズルが直線上に配設さ
れた構成であれば、液状体の吐出される間隔であるピッ
チがノズル間のピッチより狭くなり、例えば液状体が吐
出された被吐出物を表示装置などに利用した場合、より
詳細な表示形態が得られる。さらに、隣り合う液滴吐出
ヘッドの干渉が防止され、小型化が図れる。
【００１６】また、本発明では、複数の液滴吐出ヘッド
は、実質的に同一形状であることが好ましい。この構成
により、１種類の液滴吐出ヘッドでも、液状体を吐出す
る領域に対応させることが可能となり、構成が簡略化
し、製造性が向上し、コストも低減する。
【００１７】さらに、本発明では、複数の液滴吐出ヘッ
ドは、同一個数のノズルを有することが好ましい。この
構成により、各液滴吐出ヘッドのノズルを同一個数とす
るので、複数の液滴吐出ヘッドを並べて配置する構成と
して、例えばストライプ型やモザイク型、デルタ型な
ど、所定の規則性を有した構成を描画することが容易と
なる。
【００１８】また、本発明では、複数の液滴吐出ヘッド
は、ノズルの形成位置が互いに同一であることが好まし
い。この構成により、複数の液滴吐出ヘッドのノズルの
形成位置を互いに同一とすることが好ましい。この構成
により、複数の液滴吐出ヘッドを並べて配置する構成と
して、例えばストライプ型やモザイク型、デルタ型な
ど、所定の規則性を有した構成を描画することが容易と
なる。
【００１９】さらに、本発明では、複数の液滴吐出ヘッ
ドの各々は、ノズルが略等間隔で列を形成して配設され
たことが好ましい。この構成により、各液滴吐出ヘッド
のノズルを略等間隔で列を形成して配設するので、複数
の液滴吐出ヘッドを並べて配置する構成として、例えば
ストライプ型やモザイク型、デルタ型など、所定の規則
性を有した構成を描画することが容易となる。
【００２０】そして、本発明では、液滴吐出ヘッドは、
ノズルの配設方向に沿って略長手矩形状に形成されたこ
とが好ましい。この構成により、液滴吐出ヘッドをノズ
ルの配設方向に沿って略長手矩形状に形成するので、液
滴吐出ヘッドが小型化し、他の部位の干渉がなく、容易
に小型化が図れる。
【００２１】また、本発明では、複数の液滴吐出ヘッド
は、ノズルの配設方向がそれぞれ略平行となる状態で、
被吐出物に対して相対的に移動される方向と斜めに交差
する第２の方向に向けて互いに並べて配置されたことが
好ましい。この構成により、被吐出物の表面に沿って相
対的に移動される方向に対してノズルの略直線上の配設
方向が交差する方向に沿うように、複数の液滴吐出ヘッ
ドを被吐出物の表面に沿って相対的に移動するので、複
数の液滴吐出ヘッドが被吐出物の表面に沿って移動され
る方向である走査方向に対してノズルの配設方向が傾斜
する状態となり、液状体の吐出される間隔であるピッチ
がノズル間のピッチより狭くなり、例えば液状体が吐出
された被吐出物を表示装置などに利用した場合、より詳
細な表示形態が得られる。さらに、隣り合う液滴吐出ヘ
ッドの干渉が防止され、小型化が図れる。
【００２２】さらに、本発明では、複数の液滴吐出ヘッ
ドは、ノズル列が被吐出物に対して相対的に移動される
方向と斜めに交差する方向に配列され、かつ複数の液滴
吐出ヘッドのノズル列が互いに平行となるように配列さ
れたことが好ましい。この構成により、複数の液滴吐出
ヘッドの配置方向およびノズルの配列方向が被吐出物の
表面に沿って移動される方向である走査方向に対して傾
斜する状態となり、液状体の吐出される間隔であるピッ
チがノズル間のピッチより狭くなり、例えば液状体が吐
出された被吐出物を表示装置などに利用した場合、より
詳細な表示形態が得られる。さらに、隣り合う液滴吐出
ヘッドの干渉が防止され、小型化が図れる。また、１つ
の領域に同一の複数の液状体の吐出領域が容易に形成さ
れ、液状体の吐出効率が向上する。また、１つの箇所に
異なる液滴吐出ヘッドから液状体を重ねて吐出させるこ
とが可能となり、吐出領域での吐出量が容易に平均化さ
れる。
【００２３】また、本発明では、互いに隣り合う液滴吐
出ヘッドは、被吐出物に対して相対的に移動される方向
に、その一部が重複するように配置されることが好まし
い。この構成により、被吐出物の表面に沿って移動され
る方向である走査方向に対して一部が重複する状態で配
置されるので、互いに隣り合う液滴吐出ヘッドの干渉が
確実に防止され、小型化する。
【００２４】そして、本発明では、複数の液滴吐出ヘッ
ドは、複数列で略千鳥状に互いに並べて配置されたこと
が好ましい。この構成により、隣り合う液滴吐出ヘッド
が干渉せずに液滴吐出ヘッド間で液状体が吐出されない
領域を生じることがなく、連続的な液状体の良好な吐出
が得られる。
【００２５】また、本発明では、ノズルから吐出する液
状体を検出する吐出検出手段を具備したことが好まし
い。この構成により、吐出検出手段によりノズルからの
液状体の吐出を検出することにより、液状体の吐出むら
を防止し、確実で良好な液状体の吐出が得られる。
【００２６】さらに、本発明では、吐出検出手段は、ノ
ズルから被吐出物に液状体を吐出する工程の前後におけ
る工程のうちの少なくともいずれか一方で前記液状体の
吐出を検出することが好ましい。この構成により、ノズ
ルから被吐出物に液状体を吐出する構成の前後における
工程のうちの少なくともいずれか一方で液状体の吐出を
検出することにより、液状体の吐出直前あるいは直後の
吐出状態が検出され、液状体の吐出状態が確実に認識可
能となる。
【００２７】（２）本発明では、吐出する液状体として
ＥＬ発光材料を含有する液状体を用い、被吐出物である
基板上に吐出させてＥＬ発光層を形成して電気光学装置
を製造することに好都合である。
【００２８】（３）本発明では、吐出する液状体として
カラーフィルタ材料を含有する液状体を用い、被吐出物
として液晶を挟持する一対の基板の一方に吐出させてカ
ラーフィルタを形成して電気光学装置を形成することに
好都合である。
【００２９】（４）本発明では、流動性を有する液状体
を被吐出物である基材上に吐出して基材を有するデバイ
スを製造することに好都合である。
【００３０】
【発明の実施の形態】（カラーフィルタの製造方法およ
び製造装置に関する説明その１）以下、本発明のカラー
フィルタの製造方法およびその製造装置の基本的な方法
およびその構成について説明する。まず、それらの製造
方法および製造装置を説明するのに先立って、それらの
製造方法などを用いて製造されるカラーフィルタについ
て説明する。図５（ａ）は、カラーフィルタの一実施の
形態の平面構造を模式的に示している。また、図６
（ｄ）は、図５（ａ）のVI−VI線に従った断面構造を示
している。
【００３１】本実施の形態のカラーフィルタ１は、ガラ
ス、プラスチックなどによって形成された方形状の基板
（本発明においては、「基材」ともいう。）２の表面
に、複数のフィルタエレメント３をドットパターン状、
本実施の形態ではドットマトリックス状に形成してい
る。さらに、カラーフィルタ１は、図６（ｄ）に示すよ
うに、フィルタエレメント３の上に保護膜４を積層する
ことによって形成されている。なお、図５（ａ）は、保
護膜４を取り除いた状態のカラーフィルタ１を平面的に
示している。
【００３２】フィルタエレメント３は、透光性のない樹
脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁６に
よって区画されてドットマトリックス状に並んだ複数の
方形状の領域を色材で埋めることによって形成される。
また、これらのフィルタエレメント３は、それぞれが、
Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のうちのいずれか１色の
色材によって形成され、それらの各色のフィルタエレメ
ント３が所定の配列に並べられている。この配列として
は、例えば、図７（ａ）に示すいわゆるストライプ配
列、図７（ｂ）に示すいわゆるモザイク配列、図７
（ｃ）に示すいわゆるデルタ配列などが知られている。
なお、本発明における「隔壁」は「バンク」の意味も含
む言葉として使われ、基板からほぼ垂直な角度の側面や
概ね９０度以上や未満の角度を持った側面を有する基板
から見て凸になる部分を指す。
【００３３】そして、ストライプ配列は、マトリクスの
縦列が全て同色になる配列である。また、モザイク配列
は、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタエレメ
ント３がＲ、Ｇ、Ｂの３色となる配色である。さらに、
デルタ配列は、フィルタエレメント３の配置を段違いに
し、任意の隣接する３つのフィルタエレメント３がＲ、
Ｇ、Ｂの３色となる配色である。
【００３４】カラーフィルタ１の大きさは、例えば、約
４．５７ｃｍ（１．８インチ）である。また、１個のフ
ィルタエレメント３の大きさは、例えば、３０μｍ×１
００μｍである。そして、各フィルタエレメント３の間
の間隔、いわゆるエレメント間ピッチは、例えば、７５
μｍである。
【００３５】本実施の形態のカラーフィルタ１をフルカ
ラー表示のための光学要素として用いる場合には、Ｒ、
Ｇ、Ｂ３個のフィルタエレメント３を１つのユニットと
して１つの画素を形成し、１画素内のＲ、Ｇ、Ｂのいず
れか１つまたはそれらの組み合わせに光を選択的に通過
させることにより、フルカラー表示を行う。このとき、
透光性のない樹脂材料によって形成された隔壁６はブラ
ックマスクとして作用する。
【００３６】上記のカラーフィルタ１は、例えば、図５
（ｂ）に示すような基板である大面積のマザー基板１２
から切り出される。具体的には、まず、マザー基板１２
内に設定された複数のカラーフィルタ形成領域１１のそ
れぞれの表面にカラーフィルタ１の１個分のパターンを
形成する。そして、それらのカラーフィルタ形成領域１
１の周りに切断用の溝を形成し、それらの溝に沿ってマ
ザー基板１２を切断することにより、個々のカラーフィ
ルタ１が形成される。
【００３７】以下、図５（ａ）に示すカラーフィルタ１
を製造する製造方法およびその製造装置について説明す
る。
【００３８】図６は、カラーフィルタ１の製造方法を工
程順に模式的に示している。まず、マザー基板１２の表
面に透光性のない樹脂材料によって隔壁６を矢印Ｂ方向
から見て格子状パターンに形成する。格子状パターンの
格子穴の部分７はフィルタエレメント３が形成される領
域、すなわちフィルタエレメント形成領域である。この
隔壁６によって形成される個々のフィルタエレメント形
成領域７の矢印Ｂ方向から見た場合の平面寸法は、例え
ば３０μｍ×１００μｍ程度に形成される。
【００３９】隔壁６は、フィルタエレメント形成領域７
に供給される液状体としてのフィルタエレメント材料１
３の流動を阻止する機能およびブラックマスクの機能を
併せて有する。また、隔壁６は任意のパターニング手
法、例えばフォトリソグラフィー法によって形成され、
さらに必要に応じてヒータによって加熱されて焼成され
る。
【００４０】隔壁６の形成後、図６（ｂ）に示すよう
に、フィルタエレメント材料１３の液滴８を各フィルタ
エレメント形成領域７に供給することにより、各フィル
タエレメント形成領域７をフィルタエレメント材料１３
で埋める。図６（ｂ）において、符号１３ＲはＲ（赤）
の色を有するフィルタエレメント材料を示し、符号１３
ＧはＧ（緑）の色を有するフィルタエレメント材料を示
し、そして符号１３ＢはＢ（青）の色を有するフィルタ
エレメント材料を示している。なお、本発明において
は、「液滴」を「インク」とも呼称することとする。
【００４１】各フィルタエレメント形成領域７に所定量
のフィルタエレメント材料１３が充填されると、ヒータ
によってマザー基板１２を例えば７０℃程度に加熱し
て、フィルタエレメント材料１３の溶媒を蒸発させる。
この蒸発により、図６（ｃ）に示すようにフィルタエレ
メント材料１３の体積が減少し、平坦化する。体積の減
少が激しい場合には、カラーフィルタ１として十分な膜
厚が得られるまで、フィルタエレメント材料１３の液滴
８の供給とその液滴８の加熱とを繰り返して実行する。
以上の処理により、最終的にフィルタエレメント材料１
３の固形分のみが残留して膜化し、これにより、希望す
る各色のフィルタエレメント３が形成される。
【００４２】以上により、フィルタエレメント３が形成
された後、それらのフィルタエレメント３を完全に乾燥
させるために、所定の温度で所定時間の加熱処理を実行
する。その後、例えば、スピンコート法、ロールコート
法、リッピング法、またはインクジェット法などといっ
た適宜の手法を用いて保護膜４を形成する。この保護膜
４は、フィルタエレメント３などの保護およびカラーフ
ィルタ１の表面の平坦化のために形成される。なお、本
発明の実施形態では、隔壁６の樹脂を非透光性としてブ
ラックマトリクスとしたが、隔壁６の樹脂は透光性のも
のとして、樹脂の下層に樹脂よりも一回り広いサイズの
Ｃｒなどの金属からなる遮光層を形成するタイプとして
もよい。
【００４３】図８は、図６（ｂ）に示したフィルタエレ
メント材料１３の供給処理を行うための液滴吐出装置の
一実施の形態を示している。この液滴吐出装置１６は、
Ｒ、Ｇ、Ｂのうちの１色、例えばＲ色のフィルタエレメ
ント材料１３をインクの液滴８として、マザー基板１２
（図５（ｂ）参照）内の各カラーフィルタ形成領域１１
内の所定位置に吐出して付着させるための装置である。
Ｇ色のフィルタエレメント材料１３およびＢ色のフィル
タエレメント材料１３のための液滴吐出装置１６もそれ
ぞれに用意されるが、それらの構造は図８のものと同じ
にすることができるので、それらについての説明は省略
する。
【００４４】図８において、液滴吐出装置１６は、液滴
吐出ヘッドの一例としてプリンタなどで用いられるイン
クジェットヘッド２２を備えたヘッドユニット２６と、
インクジェットヘッド２２の位置を制御するヘッド位置
制御装置１７と、マザー基板１２の位置を制御する基板
位置制御装置１８と、インクジェットヘッド２２をマザ
ー基板１２に対して主走査移動させる主走査駆動手段と
しての主走査駆動装置１９と、インクジェットヘッド２
２をマザー基板１２に対して副走査移動させる副走査駆
動手段としての副走査駆動装置２１と、マザー基板１２
を液滴吐出装置１６内の所定の作業位置へ供給する基板
供給装置２３と、そして液滴吐出装置１６の全般の制御
を司るコントロール装置２４とを有する。
【００４５】ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装
置１８、インクジェットヘッド２２をマザー基板１２に
対して主走査移動させる主走査駆動装置１９、そして副
走査駆動装置２１の各装置はベース９の上に設置され
る。また、それらの各装置は必要に応じてカバー１４に
よって覆われる。
【００４６】インクジェットヘッド２２は、例えば図１
０に示すように、複数のノズル２７を列状に並べること
によって形成されたノズル列２８を有する。ノズル２７
の数は例えば１８０個であり、ノズル２７の孔径は例え
ば２８μｍであり、ノズル２７間のノズルピッチは例え
ば１４１μｍである。図５（ａ）および図５（ｂ）にお
いて、カラーフィルタ１およびマザー基板１２に対する
主走査方向Ｘおよびそれに直交する副走査方向Ｙは図１
０において図示の通りに設定される。
【００４７】インクジェットヘッド２２は、そのノズル
列２８が主走査方向Ｘと交差する方向へ延びるように位
置設定され、この主走査方向Ｘへ平行移動する間に、イ
ンクとしてのフィルタエレメント材料１３を複数のノズ
ル２７から選択的に吐出することにより、マザー基板１
２（図５（ｂ）参照）内の所定位置にフィルタエレメン
ト材料１３を付着させる。また、インクジェットヘッド
２２は副走査方向Ｙへ所定距離だけ平行移動することに
より、インクジェットヘッド２２による主走査位置を所
定の間隔でずらせることができる。
【００４８】インクジェットヘッド２２は、例えば、図
１２（ａ）および図１２（ｂ）に示す内部構造を有す
る。具体的には、インクジェットヘッド２２は、例えば
ステンレス製のノズルプレート２９と、それに対向する
振動板３１と、それらを互いに接合する複数の仕切部材
３２とを有する。ノズルプレート２９と振動板３１との
間には、仕切部材３２によって複数のインク室３３と液
溜り３４とが形成される。複数のインク室３３と液溜り
３４とは通路３８を介して互いに連通している。
【００４９】振動板３１の適所にはインク供給孔３６が
形成され、このインク供給孔３６にインク供給装置３７
が接続される。このインク供給装置３７はＲ、Ｇ、Ｂの
うちの１色、例えばＲ色のフィルタエレメント材料Ｍを
インク供給孔３６へ供給する。供給されたフィルタエレ
メント材料Ｍは液溜り３４に充満し、さらに通路３８を
通ってインク室３３に充満する。
【００５０】ノズルプレート２９には、インク室３３か
らフィルタエレメント材料Ｍをジェット状に噴射するた
めのノズル２７が設けられている。また、振動板３１の
インク室３３を形成する面の裏面には、このインク室３
３に対応させてインク加圧体３９が取り付けられてい
る。このインク加圧体３９は、図１２（ｂ）に示すよう
に、圧電素子４１ならびにこれを挟持する一対の電極４
２ａおよび４２ｂを有する。圧電素子４１は電極４２ａ
および４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出
するように撓み変形し、これによりインク室３３の容積
が増大する。すると、増大した容積分に相当するフィル
タエレメント材料Ｍが液溜り３４から通路３８を通って
インク室３３へ流入する。
【００５１】次に、圧電素子４１への通電を解除する
と、この圧電素子４１と振動板３１とは共に元の形状へ
戻る。これにより、インク室３３も元の容積に戻るた
め、インク室３３の内部にあるフィルタエレメント材料
Ｍの圧力が上昇し、ノズル２７からマザー基板１２（図
５（ｂ）参照）へ向けてフィルタエレメント材料Ｍが液
滴８となって噴出する。なお、ノズル２７の周辺部に
は、液滴８の飛行曲がりやノズル２７の孔詰まりなどを
防止するために、例えばＮｉ−テトラフルオロエチレン
共析メッキ層からなる撥インク層４３が設けられる。
【００５２】図９において、ヘッド位置制御装置１７
は、インクジェットヘッド２２を面内回転させるαモー
タ４４と、インクジェットヘッド２２を副走査方向Ｙと
平行な軸線回りに揺動回転させるβモータ４６と、イン
クジェットヘッド２２を主走査方向と平行な軸線回りに
揺動回転させるγモータ４７と、そしてインクジェット
ヘッド２２を上下方向へ平行移動させるＺモータ４８と
を有する。
【００５３】図８に示した基板位置制御装置１８は、図
９において、マザー基板１２を載せるテーブル４９と、
そのテーブル４９を矢印θのように面内回転させるθモ
ータ５１とを有する。また、図８に示した主走査駆動装
置１９は、図９に示すように、主走査方向Ｘへ延びるＸ
ガイドレール５２と、パルス駆動されるリニアモータを
内蔵したＸスライダ５３とを有する。Ｘスライダ５３は
内蔵するリニアモータが作動するときにＸガイドレール
５２に沿って主走査方向へ平行移動する。
【００５４】また、図８に示した副走査駆動装置２１
は、図９に示すように、副走査方向Ｙへ延びるＹガイド
レール５４と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵し
たＹスライダ５６とを有する。Ｙスライダ５６は内蔵す
るリニアモータが作動するときにＹガイドレール５４に
沿って副走査方向Ｙへ平行移動する。
【００５５】Ｘスライダ５３やＹスライダ５６内におい
てパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給す
るパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精細に行
うことができ、従って、Ｘスライダ５３に支持されたイ
ンクジェットヘッド２２の主走査方向Ｘ上の位置やテー
ブル４９の副走査方向Ｙ上の位置などを高精細に制御で
きる。なお、インクジェットヘッド２２やテーブル４９
の位置制御はパルスモータを用いた位置制御に限られ
ず、サーボモータを用いたフィードバック制御や、その
他任意の制御方法によって実現することもできる。
【００５６】図８に示した基板供給装置２３は、マザー
基板１２を収容する基板収容部５７と、マザー基板１２
を搬送するロボット５８とを有する。ロボット５８は、
床、地面などといった設置面に置かれる基台５９と、基
台５９に対して昇降移動する昇降軸６１と、昇降軸６１
を中心として回転する第１アーム６２と、第１アーム６
２に対して回転する第２アーム６３と、第２アーム６３
の先端下面に設けられた吸着パッド６４とを有する。吸
着パッド６４は空気吸引などによってマザー基板１２を
吸着できる。
【００５７】図８において、主走査駆動装置１９によっ
て駆動されて主走査移動するインクジェットヘッド２２
の軌跡下であって副走査駆動装置２１の一方の脇位置
に、キャッピング装置７６およびクリーニング装置７７
が配設される。また、他方の脇位置に電子天秤７８が配
設される。クリーニング装置７７はインクジェットヘッ
ド２２を洗浄するための装置である。電子天秤７８はイ
ンクジェットヘッド２２内の個々のノズル２７（図１０
参照）から吐出されるインクの液滴８の重量をノズル毎
に測定する機器である。そして、キャッピング装置７６
はインクジェットヘッド２２が待機状態にあるときにノ
ズル２７（図１０参照）の乾燥を防止するための装置で
ある。
【００５８】インクジェットヘッド２２の近傍には、そ
のインクジェットヘッド２２と一体に移動する関係でヘ
ッド用カメラ８１が配設される。また、ベース９上に設
けた支持装置（図示せず）に支持された基板用カメラ８
２がマザー基板１２を撮影できる位置に配設される。
【００５９】図８に示したコントロール装置２４は、プ
ロセッサを収容したコンピュータ本体部６６と、入力装
置６７としてのキーボードと、表示装置としてのＣＲＴ
（Cathode-Ray Tube）ディスプレイ６８とを有する。上
記プロセッサは、図１４に示すように、演算処理を行う
ＣＰＵ（Central Processing Unit）６９と、各種情報
を記憶するメモリすなわち情報記憶媒体７１とを有す
る。
【００６０】図８に示したヘッド位置制御装置１７、基
板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、副走査駆動
装置２１、およびインクジェットヘッド２２内の圧電素
子４１（図１２（ｂ）参照）を駆動するヘッド駆動回路
７２の各機器は、図１４において、入出力インターフェ
ース７３およびバス７４を介してＣＰＵ６９に接続され
る。また、基板供給装置２３、入力装置６７、ＣＲＴデ
ィスプレイ６８、電子天秤７８、クリーニング装置７７
およびキャッピング装置７６の各機器も、入出力インタ
ーフェース７３およびバス７４を介してＣＰＵ６９に接
続される。
【００６１】情報記憶媒体７１としてのメモリは、ＲＡ
Ｍ（Random AccessMemory）、ＲＯＭ（Read Only Memor
y）などといった半導体メモリや、ハードディスク、Ｃ
Ｄ−ＲＯＭ読取り装置、ディスク型記憶媒体などといっ
た外部記憶装置などを含む概念であり、機能的には、液
滴吐出装置１６の動作の制御手順が記述されたプログラ
ムソフトを記憶する記憶領域や、図７に示す各種のＲ、
Ｇ、Ｂ配列を実現するためのＲ、Ｇ、Ｂの内の１色のマ
ザー基板１２（図５参照）内における吐出位置を座標デ
ータとして記憶するための記憶領域や、図９における副
走査方向Ｙへのマザー基板１２の副走査移動量を記憶す
るための記憶領域や、ＣＰＵ６９のためのワークエリア
やテンポラリファイルなどとして機能する領域や、その
他各種の記憶領域が設定される。
【００６２】ＣＰＵ６９は、情報記憶媒体７１であるメ
モリ内に記憶されたプログラムソフトに従って、マザー
基板１２に表面の所定位置にインク、すなわちフィルタ
エレメント材料１３を吐出するための制御を行うもので
ある。具体的な機能実現部として、クリーニング処理を
実現するための演算を行うクリーニング演算部と、キャ
ッピング処理を実現するためのキャッピング演算部と、
電子天秤７８（図８参照）を用いた重量測定を実現する
ための演算を行う重量測定演算部と、液滴吐出によって
フィルタエレメント材料１３を描画するための演算を行
う描画演算部とを有する。
【００６３】描画演算部を詳しく分割すれば、インクジ
ェットヘッド２２を描画のための初期位置へセットする
ための描画開始位置演算部と、インクジェットヘッド２
２を主走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させるための
制御を演算する主走査制御演算部と、マザー基板１２を
副走査方向Ｙへ所定の副走査量だけずらせるための制御
を演算する副走査制御演算部と、インクジェットヘッド
２２内の複数のノズル２７のうちのいずれを作動させて
インクすなわちフィルタエレメント材料を吐出するかを
制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部などと
いった各種の機能演算部を有する。
【００６４】なお、本実施の形態では、上記の各機能を
ＣＰＵ６９を用いてソフト的に実現することにしたが、
上記の各機能がＣＰＵ６９を用いない単独の電子回路に
よって実現できる場合には、そのような電子回路を用い
ることも可能である。
【００６５】以下、上記構成からなる液滴吐出装置１６
の動作を図１５に示すフローチャートに基づいて説明す
る。
【００６６】オペレータによる電源投入によって液滴吐
出装置１６が作動すると、まず、ステップＳ１において
初期設定が実現される。具体的には、ヘッドユニット２
６や基板供給装置２３やコントロール装置２４などがあ
らかじめ決められた初期状態にセットされる。
【００６７】次に、重量測定タイミングが到来すれば
（ステップＳ２でＹＥＳ）、図９のヘッドユニット２６
を主走査駆動装置１９によって図８の電子天秤７８の所
まで移動させて（ステップＳ３）、ノズル２７から吐出
されるインクの量を電子天秤７８を用いて測定する（ス
テップＳ４）。そして、ノズル２７のインク吐出特性に
合わせて、各ノズル２７に対応する圧電素子４１に印加
する電圧を調節する（ステップＳ５）。
【００６８】この後、クリーニングタイミングが到来す
れば（ステップＳ６でＹＥＳ）、ヘッドユニット２６を
主走査駆動装置１９によってクリーニング装置７７の所
まで移動させて（ステップＳ７）、そのクリーニング装
置７７によってインクジェットヘッド２２をクリーニン
グする（ステップＳ８）。
【００６９】重量測定タイミングやクリーニングタイミ
ングが到来しない場合（ステップＳ２およびＳ６でＮ
Ｏ）、あるいはそれらの処理が終了した場合には、ステ
ップＳ９において、図８の基板供給装置２３を作動させ
てマザー基板１２をテーブル４９へ供給する。具体的に
は、基板収容部５７内のマザー基板１２を吸着パッド６
４によって吸引保持する。次に、昇降軸６１、第１アー
ム６２および第２アーム６３を移動させてマザー基板１
２をテーブル４９まで搬送し、さらにテーブル４９の適
所にあらかじめ設けてある位置決めピン５０（図９参
照）に押し付ける。なお、テーブル４９上におけるマザ
ー基板１２の位置ズレを防止するため、空気吸引などの
手段によってマザー基板１２をテーブル４９に固定する
ことが望ましい。
【００７０】次に、図８の基板用カメラ８２によってマ
ザー基板１２を観察しながら、図９のθモータ５１の出
力軸を微小角度単位で回転させることにより、テーブル
４９を微小角度単位で面内回転させてマザー基板１２を
位置決めする（ステップＳ１０）。この後、図８のヘッ
ド用カメラ８１によってマザー基板１２を観察しなが
ら、インクジェットヘッド２２によって描画を開始する
位置を演算によって決定する（ステップＳ１１）。そし
て、主走査駆動装置１９および副走査駆動装置２１を適
宜に作動させて、インクジェットヘッド２２を描画開始
位置へ移動する（ステップＳ１２）。
【００７１】このとき、インクジェットヘッド２２は、
図１の（ａ）位置に示すように、ノズル列２８がインク
ジェットヘッド２２の副走査方向Ｙに対して角度θで傾
斜するように配設される。これは、通常の液滴吐出装置
１６の場合には、隣り合うノズル２７の間の間隔である
ノズル間ピッチと、隣り合うフィルタエレメント３すな
わちフィルタエレメント形成領域７の間の間隔であるエ
レメントピッチとが異なることが多く、インクジェット
ヘッド２２を主走査方向Ｘへ移動させるときに、ノズル
間ピッチの副走査方向Ｙの寸法成分がエレメントピッチ
と幾何学的に等しくなるようにするための措置である。
【００７２】図１５のステップＳ１２でインクジェット
ヘッド２２が描画開始位置に置かれると、図１において
インクジェットヘッド２２は（ａ）位置に置かれる。そ
の後、図１５のステップＳ１３で主走査方向Ｘへの主走
査が開始され、同時にインクの吐出が開始される。具体
的には、図９の主走査駆動装置１９が作動してインクジ
ェットヘッド２２が図１の主走査方向Ｘへ一定の速度で
直線的に走査移動し、その移動中、インクを供給すべき
フィルタエレメント形成領域７に対応するノズル２７が
到達したときにそのノズル２７からインクすなわちフィ
ルタエレメント材料が吐出される。
【００７３】なお、このときのインク吐出量は、フィル
タエレメント形成領域７の容積全部を埋める量ではな
く、その全量の数分の１、本実施の形態では全量の１／
４の量である。これは、後述するように、各フィルタエ
レメント形成領域７はノズル２７からの１回のインク吐
出によって埋められるのではなく、数回のインク吐出の
重ね吐出、本実施の形態では４回の重ね吐出によって容
積全部を埋めることになっているからである。
【００７４】インクジェットヘッド２２はマザー基板１
２に対する１ライン分の主走査が終了すると（ステップ
Ｓ１４でＹＥＳ）、反転移動して初期位置（ａ）へ復帰
する（ステップＳ１５）。そしてさらに、インクジェッ
トヘッド２２は、副走査駆動装置２１によって駆動され
て副走査方向Ｙへあらかじめ決められた副走査量δだけ
移動する（ステップＳ１６）。
【００７５】本実施の形態では、ＣＰＵ６９は、図１に
おいて、インクジェットヘッド２２のノズル列２８を形
成する複数のノズル２７を複数のグループｎに概念的に
分割する。本実施の形態ではｎ＝４、すなわち１８０個
のノズル２７からなる長さＬのノズル列２８を４つのグ
ループに分割して考える。これにより、１つのノズルグ
ループはノズル２７を１８０／４＝４５〔個〕を含む長
さＬ／ｎすなわちＬ／４に決められる。上記の副走査量
δは上記のノズルグループ長さＬ／４の副走査方向の長
さ、すなわち（Ｌ／４）ｃｏｓθに設定される。
【００７６】従って、１ライン分の主走査が終了して初
期位置（ａ）へ復帰したインクジェットヘッド２２は、
図１において副走査方向Ｙへ距離δだけ平行移動して位
置（ｂ）へ移動する。なお、図１では位置（ａ）と位置
（ｂ）とが主走査方向Ｘに関して少しずれて描かれてい
るが、これは説明を分かり易くするための措置であり、
実際には、位置（ａ）と位置（ｂ）とは主走査方向Ｘに
関しては同じ位置である。
【００７７】位置（ｂ）へ副走査移動したインクジェッ
トヘッド２２は、ステップＳ１３で主走査移動およびイ
ンク吐出を繰り返して実行する。この主走査移動時に
は、マザー基板１２上におけるカラーフィルタ形成領域
１１内の２列目のラインが先頭のノズルグループによっ
て初めてインク吐出を受けると共に、１列目のラインは
先頭から２番目のノズルグループによって２回目のイン
ク吐出を受ける。
【００７８】これ以降、インクジェットヘッド２２は、
位置（ｃ）〜位置（ｋ）のように副走査移動を繰り返し
ながら主走査移動およびインク吐出を繰り返す（ステッ
プＳ１３〜Ｓ１６）。これにより、マザー基板１２のカ
ラーフィルタ形成領域１１の１列分のインク付着処理が
完了する。本実施の形態では、ノズル列２８を４つのグ
ループに分割して副走査量δを決定したので、上記のカ
ラーフィルタ形成領域１１の１列分の主走査および副走
査が終了すると、各フィルタエレメント形成領域７は４
個のノズルグループによってそれぞれ１回ずつ、合計で
４回のインク吐出処理を受けて、その全容積内に所定量
のインクすなわちフィルタエレメント材料が全量供給さ
れる。
【００７９】こうしてカラーフィルタ形成領域１１の１
列分のインク吐出が完了すると、インクジェットヘッド
２２は副走査駆動装置２１によって駆動されて、次列の
カラーフィルタ形成領域１１の初期位置へ搬送される
（ステップＳ１９）。そして、当該列のカラーフィルタ
形成領域１１に対して主走査、副走査およびインク吐出
を繰り返してフィルタエレメント形成領域７内にフィル
タエレメントを形成する（ステップＳ１３〜Ｓ１６）。
【００８０】その後、マザー基板１２内の全てのカラー
フィルタ形成領域１１に関してＲ、Ｇ、Ｂの１色、例え
ばＲの１色のフィルタエレメント３が形成されると（ス
テップＳ１８でＹＥＳ）、ステップＳ２０でマザー基板
１２を基板供給装置２３によって、または別の搬送機器
によって、処理後のマザー基板１２が外部へ排出され
る。その後、オペレータによって処理終了の指示がなさ
れない限り（ステップＳ２１でＮＯ）、ステップＳ２へ
戻って別のマザー基板１２に対するＲの１色に関するイ
ンク吐着作業を繰り返して行う。
【００８１】オペレータから作業終了の指示があると
（ステップＳ２１でＹＥＳ）、ＣＰＵ６９は図８におい
てインクジェットヘッド２２をキャッピング装置７６の
所まで搬送して、そのキャッピング装置７６によってイ
ンクジェットヘッド２２に対してキャッピング処理を施
す（ステップＳ２２）。
【００８２】以上により、カラーフィルタ１を構成する
Ｒ、Ｇ、Ｂ３色のうちの第１色、例えばＲ色についての
パターニングが終了する。その後、マザー基板１２を
Ｒ、Ｇ、Ｂの第２色、例えばＧ色をフィルタエレメント
材料とする液滴吐出装置１６へ搬送してＧ色のパターニ
ングを行う。さらに、最終的にＲ、Ｇ、Ｂの第３色、例
えばＢ色をフィルタエレメント材料とする液滴吐出装置
１６へ搬送してＢ色のパターニングを行う。これによ
り、ストライプ配列などといった希望のＲ、Ｇ、Ｂのド
ット配列を有するカラーフィルタ１（図５（ａ））が複
数個形成されたマザー基板１２が製造される。このマザ
ー基板１２をカラーフィルタ形成領域１１毎に切断する
ことにより、１個のカラーフィルタ１が複数個切り出さ
れる。
【００８３】なお、本カラーフィルタ１を液晶装置のカ
ラー表示のために用いるものとすれば、本カラーフィル
タ１の表面にはさらに電極や配向膜などが積層されるこ
とになる。そのような場合、電極や配向膜などを積層す
る前にマザー基板１２を切断して個々のカラーフィルタ
１を切り出してしまうと、その後の電極などの形成工程
が非常に面倒になる。よって、そのような場合には、マ
ザー基板１２を切断してしまうのではなく、電極形成や
配向膜形成などといった必要な付加工程か終了した後に
マザー基板１２を切断することが望ましい。
【００８４】以上のように、本実施の形態に係るカラー
フィルタの製造方法および製造装置によれば、図５
（ａ）に示すカラーフィルタ１内の個々のフィルタエレ
メント３はインクジェットヘッド２２（図１参照）の１
回の主走査Ｘによって形成されるのではなくて、各１個
のフィルタエレメント３は異なるノズルグループに属す
る複数のノズル２７によってｎ回、本実施の形態では４
回、重ねてインク吐出を受けることにより所定の膜厚に
形成される。このため、仮に複数のノズル２７間におい
てインク吐出量にバラツキが存在する場合でも、複数の
フィルタエレメント３間で膜厚にバラツキが生じること
を防止でき、それ故、カラーフィルタ１の光透過特性を
平面的に均一にすることができる。
【００８５】もちろん、本実施の形態の製造方法では、
インクジェットヘッド２２を用いたインク吐出によって
フィルタエレメント３を形成するので、フォトリソグラ
フィー法を用いる方法のような複雑な工程を経る必要も
なく、また材料を浪費することもない。
【００８６】ところで、インクジェットヘッド２２のノ
ズル列２８を形成する複数のノズル２７のインク吐出量
の分布が不均一になることは図３６（ａ）に関連して説
明した通りである。また、特にノズル列２８の両端部に
存在する数個、例えば片端側１０個ずつ、のノズル２７
が特にインク吐出量が多くなることも記述の通りであ
る。このように、インク吐出量が他のノズル２７に比べ
て特に多いノズル２７を使用することは、インク吐膜す
なわちフィルタエレメント３の膜厚を均一にすることに
関して好ましくない。
【００８７】従って、望ましくは、図１３に示すよう
に、ノズル列２８を形成する複数のノズル２７のうちノ
ズル列２８の両端部Ｅに存在する数個、例えば１０個程
度は予めインクを吐出しないものと設定しておき、残り
の部分Ｆに存在するノズル２７を複数、例えば４個のグ
ループに分割して、そのノズルグループ単位で副走査移
動を行うことが良い。
【００８８】本実施形態においては、隔壁６として透光
性のない樹脂材料を用いたが、透光性の隔壁６として透
光性の樹脂材料を用いることももちろん可能である。こ
の場合にあっては、フィルタエレメント３間に対応する
位置、例えば隔壁６の上、隔壁６の下などに別途遮光性
の金属膜あるいは樹脂材料を設けてブラックマスクとし
ても良い。また、透光性の樹脂材料で隔壁６を形成し、
ブラックマスクを設けない構成としても良い。
【００８９】また、本実施形態においては、フィルタエ
レメント３としてＲ、Ｇ、Ｂを用いたが、もちろんＲ、
Ｇ、Ｂに限定されることはなく、例えばＣ（シアン）、
Ｍ（マゼンダ）、Ｙ（イエロー）を採用してもかまわな
い。その場合にあっては、Ｒ、Ｇ、Ｂのフィルタエレメ
ント材料に代えて、Ｃ、Ｍ、Ｙの色を有するフィルタエ
レメント材料を用いればよい。
【００９０】さらに、本実施形態においては、隔壁６を
フォトリソグラフィーによって形成したが、カラーフィ
ルタ１同様に、インクジェット法により隔壁６を形成す
ることも可能である。
【００９１】（カラーフィルタの製造方法および製造装
置に関する説明その２）図２は、先に説明した本発明に
係るカラーフィルタの製造方法およびその製造装置の変
形例を説明するための図であって、インクジェットヘッ
ド２２を用いてマザー基板１２内のカラーフィルタ形成
領域１１内の各フィルタエレメント形成領域７へインク
すなわちフィルタエレメント材料１３を吐出によって供
給する場合を模式的に示している。
【００９２】本実施の形態によって実施される概略の工
程は、図６に示した工程と同じであり、インク吐着のた
めに用いる液滴吐出装置も図８に示した装置と機構的に
は同じである。また、図１４のＣＰＵ６９がノズル列２
８を形成する複数のノズル２７を概念的にｎ個、例えば
４つにグループ分けして、各ノズルグループの長さＬ／
ｎまたはＬ／４に対応させて副走査量δを決定すること
も図１の場合と同じである。
【００９３】本実施の形態が図１に示した先の実施の形
態と異なる点は、図１４において情報記憶媒体７１であ
るメモリ内に格納したプログラムソフトに改変を加えた
ことであり、具体的にはＣＰＵ６９によって行う主走査
制御演算と副走査制御演算とに改変を加えたことであ
る。
【００９４】より具体的に説明すれば、図２において、
インクジェットヘッド２２は主走査方向Ｘへの走査移動
の終了後に初期位置へ復帰移動することなく、１方向へ
の主走査移動の終了後に直ぐに副走査方向へノズルグル
ープ１個分に相当する移動量δだけ移動して位置（ｂ）
へ移動した後、主走査方向Ｘの上記１方向の反対方向へ
走査移動を行って初期位置（ａ）から副走査方向へ距離
δだけずれた位置（ｂ’）へ戻るように制御される。な
お、位置（ａ）から位置（ｂ）までの主走査の間および
位置（ｂ）から位置（ｂ’）への主走査移動の間の両方
の期間において複数のノズル２７から選択的にインクが
吐出されることはもちろんである。
【００９５】つまり、本実施の形態では、インクジェッ
トヘッド２２の主走査および副走査が復帰動作を挟むこ
となく連続して交互に行われるものであり、これによ
り、復帰動作のために費やされた時間を省略して作業時
間を短縮できる。
【００９６】（カラーフィルタの製造方法および製造装
置に関する説明その３）図３は、先に説明した本発明に
係るカラーフィルタの製造方法およびその製造装置の変
形例を説明するための図であって、インクジェットヘッ
ド２２を用いてマザー基板１２内のカラーフィルタ形成
領域１１内の各フィルタエレメント形成領域７へインク
すなわちフィルタエレメント材料１３を吐出によって供
給する場合を模式的に示している。
【００９７】本実施の形態によって実施される概略の工
程は、図６に示した工程と同じであり、インク吐着のた
めに用いる液滴吐出装置も図８に示した装置と機構的に
は同じである。また、図１４のＣＰＵ６９がノズル列２
８を形成する複数のノズル２７を概念的にｎ個、例えば
４つにグループ分けして、各ノズルグループの長さＬ／
ｎまたはＬ／４に対応させて副走査量δを決定すること
も図１の場合と同じである。
【００９８】本実施の形態が図１に示した先の実施の形
態と異なる点は、図１５のステップＳ１２でインクジェ
ットヘッド２２をマザー基板１２の描画開始位置にセッ
トしたとき、そのインクジェットヘッド２２は図３の
（ａ）位置に示すように、ノズル列２８の延びる方向が
副走査方向Ｙと平行である点である。このようなノズル
の配列構造は、インクジェットヘッド２２に関するノズ
ル間ピッチとマザー基板１２に関するエレメント間ピッ
チとが等しい場合に有利な構造である。
【００９９】この実施の形態においても、インクジェッ
トヘッド２２は初期位置（ａ）から終端位置（ｋ）に至
るまで、主走査方向Ｘへの走査移動、初期位置への復帰
移動および副走査方向Ｙへの移動量δでの副走査移動を
繰り返しながら、主走査移動の期間中に複数のノズル２
７から選択的にインクすなわちフィルタエレメント材料
を吐出する。これにより、マザー基板１２内のカラーフ
ィルタ形成領域１１内のフィルタエレメント形成領域７
内へフィルタエレメント材料を付着させる。
【０１００】なお、本実施の形態では、ノズル列２８が
副走査方向Ｙに対して平行に位置設定される。このこと
により、副走査移動量δは分割されたノズルグループの
長さＬ／ｎすなわちＬ／４と等しく設定される。
【０１０１】（カラーフィルタの製造方法および製造装
置に関する説明その４）図４は、先に説明した本発明に
係るカラーフィルタの製造方法およびその製造装置の変
形例を説明するための図であって、インクジェットヘッ
ド２２を用いてマザー基板１２内のカラーフィルタ形成
領域１１内の各フィルタエレメント形成領域７へインク
すなわちフィルタエレメント材料を吐出によって供給す
る場合を模式的に示している。
【０１０２】本実施の形態によって実施される概略の工
程は、図６に示した工程と同じであり、インク吐着のた
めに用いる液滴吐出装置も図８に示した装置と機構的に
は同じである。また、図１４のＣＰＵ６９がノズル列２
８を形成する複数のノズル２７を概念的にｎ個、例えば
４つにグループ分けして、各ノズルグループの長さＬ／
ｎまたはＬ／４に対応させて副走査量δを決定すること
も図１の場合と同じである。
【０１０３】本実施の形態が図１に示した先の実施の形
態と異なる点は、図１５のステップＳ１２でインクジェ
ットヘッド２２をマザー基板１２の描画開始位置にセッ
トしたとき、そのインクジェットヘッド２２は図４
（ａ）に示すように、ノズル列２８の延びる方向が副走
査方向Ｙと平行である点と、図２の実施の形態の場合と
同様にインクジェットヘッド２２の主走査および副走査
が復帰動作を挟むことなく連続して交互に行われる点で
ある。
【０１０４】なお、図４に示す本実施の形態および図３
に示す先の実施の形態では、主走査方向Ｘがノズル列２
８に対して直角の方向となるので、ノズル列２８を図１
１に示すように主走査方向Ｘに沿って２列設けることに
より、同じ主走査ラインに載った２つのノズル２７によ
って１つのフィルタエレメント形成領域７にフィルタエ
レメント材料１３を供給することができる。
【０１０５】（カラーフィルタの製造方法および製造装
置に関する説明その５）図１６は、先に説明した本発明
に係るカラーフィルタの製造方法およびその製造装置の
変形例を説明するための図であって、インクジェットヘ
ッド２２Ａを示している。このインクジェットヘッド２
２Ａが図１０に示すインクジェットヘッド２２と異なる
点は、Ｒ色インクを吐出するノズル列２８Ｒと、Ｇ色イ
ンクを吐出するノズル列２８Ｇと、Ｂ色インクを吐出す
るノズル列２８Ｂといった３種類のノズル列を１個のイ
ンクジェットヘッド２２Ａに形成している。それら３種
類のそれぞれに図１２（ａ）および図１２（ｂ）に示し
たインク吐出系を設け、Ｒ色ノズル列２８Ｒに対応する
インク吐出系にはＲインク供給装置３７Ｒを接続し、Ｇ
色ノズル列２８Ｇに対応するインク吐出系にはＧインク
供給装置３７Ｇを接続し、そしてＢ色ノズル列２８Ｂに
対応するインク吐出系にはＢインク供給装置３７Ｂを接
続したことである。
【０１０６】本実施の形態によって実施される概略の工
程は図６に示した工程と同じであり、インク吐着のため
に用いる液滴吐出装置も図８に示した装置と機構的には
同じである。また、図１４のＣＰＵ６９がノズル列２８
Ｒ、２８Ｇ、２８Ｂを形成する複数のノズル２７を概念
的にｎ個、例えば４つにグループ分けして、それらのノ
ズルグループ毎にインクジェットヘッド２２Ａを副走査
移動量δで副走査移動させることも図１の場合と同じで
ある。
【０１０７】図１に示した実施の形態では、インクジェ
ットヘッド２２に１種類のノズル列２８が設けられるだ
けであったので、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色によってカラーフィル
タ１を形成する際には図８に示したインクジェットヘッ
ド２２がＲ、Ｇ、Ｂの３色それぞれについて準備されて
いなければならない。これに対し、図１６に示す構造の
インクジェットヘッド２２Ａを使用する場合には、イン
クジェットヘッド２２Ａの主走査方向Ｘへの１回の主走
査によってＲ、Ｇ、Ｂの３色を同時にマザー基板１２へ
付着させることができるので、インクジェットヘッド２
２は１つだけ準備しておけば足りる。また、各色のノズ
ル列２８間隔をマザー基板１２のフィルタエレメント形
成領域７のピッチに合わせることにより、Ｒ、Ｇ、Ｂ３
色の同時打ちが可能となる。
【０１０８】（カラーフィルタを用いた電気光学装置の
製造方法および製造装置に関する説明）図１７は、本発
明に係る電気光学装置の一例として液晶装置の製造方法
の一実施の形態を示している。また、図１８はその製造
方法によって製造される液晶装置の一実施の形態を示し
ている。また、図１９は図１８におけるIX−IX線に従っ
た液晶装置の断面構造を示している。液晶装置の製造方
法およびその製造装置の説明に先立って、まず、その製
造方法によって製造される液晶装置をその一例を挙げて
説明する。なお、本実施の形態の液晶装置は、単純マト
リクス方式でフルカラー表示を行う半透過反射方式の液
晶装置である。
【０１０９】図１８において、液晶装置１０１は、液晶
パネル１０２に半導体チップとしての液晶駆動用ＩＣ１
０３ａおよび液晶駆動用ＩＣ１０３ｂを実装し、配線接
続要素としてのＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）１
０４を液晶パネル１０２に接続する。さらに、液晶装置
１０１は、液晶パネル１０２の裏面側に照明装置１０６
をバックライトとして設けることによって形成される。
【０１１０】液晶パネル１０２は、第１基板１０７ａと
第２基板１０７ｂとをシール材１０８によって貼り合わ
せることによって形成される。シール材１０８は、例え
ば、スクリーン印刷などによってエポキシ系樹脂を第１
基板１０７ａまたは第２基板１０７ｂの内側表面に環状
付着されることによって形成される。また、シール材１
０８の内部には図１９に示すように、導電性材料によっ
て球状または円筒状に形成された導通材１０９が分散状
態で含まれる。
【０１１１】図１９において、第１基板１０７ａは透明
なガラスや、透明なプラスチックなどによって形成され
た板状の基材１１１ａを有する。この基材１１１ａの内
側表面（図１９の上側表面）には反射膜１１２が形成さ
れ、その上に絶縁膜１１３が積層され、その上に第１電
極１１４ａが矢印Ｄ方向から見てストライプ状（図１８
参照）に形成され、さらにその上に配向膜１１６ａが形
成される。また、基材１１１ａの外側表面（図１９の下
側表面）には偏光板１１７ａが貼着などによって装着さ
れる。
【０１１２】図１８では第１電極１１４ａの配列を分か
り易くするために、それらのストライプ間隔を実際より
大幅に広く描いており、よって、第１電極１１４ａの本
数が少なく描かれているが、実際には、第１電極１１４
ａはより多数本が基材１１１ａ上に形成される。
【０１１３】図１９において、第２基板１０７ｂは透明
なガラスや、透明なプラスチックなどによって形成され
た板状の基材１１１ｂを有する。この基材１１１ｂの内
側表面（図１９の下側表面）にはカラーフィルタ１１８
が形成され、その上に第２電極１１４ｂが上記第１電極
１１４ａと直交する方向へ矢印Ｄ方向から見てストライ
プ状（図１８参照）に形成され、さらにその上に配向膜
１１６ｂが形成される。また、基材１１１ｂの外側表面
（図１９の上側表面）には偏光板１１７ｂが貼着などに
よって装着される。
【０１１４】図１８では、第２電極１１４ｂの配列を分
かりやすく示すために、第１電極１１４ａの場合と同様
に、それらのストライプ間隔を実際よりも大幅に広く描
いており、よって、第２電極１１４ｂの本数が少なく描
かれているが、実際には、第２電極１１４ｂはより多数
本が基材１１１ｂ上に形成される。
【０１１５】図１９において、第１基板１０７ａ、第２
基板１０７ｂおよびシール材１０８によって囲まれる間
隙、いわゆるセルギャップ内には液晶、例えばＳＴＮ
（Super Twisted Nematic）液晶Ｌが封入されている。
第１基板１０７ａまたは第２基板１０７ｂの内側表面に
は微小で球形のスペーサ１１９が多数分散され、これら
のスペーサ１１９がセルギャップ内に存在することによ
りそのセルギャップの厚さが均一に維持される。
【０１１６】第１電極１１４ａと第２電極１１４ｂとは
互いに直交寒冷に配設され、それらの交差点は図１９の
矢印Ｄ方向から見てドット・マトリクス状に配列する。
そして、そのドット・マトリクス状の各交差点が１つの
絵素ピクセルを構成する。カラーフィルタ１１８は、Ｒ
（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色要素を矢印Ｄ方向か
ら見て所定のパターン、例えば、ストライプ配列、デル
タ配列、モザイク配列などのパターンで配列させること
によって形成されている。上記の１つの絵素ピクセルは
それらＲ、Ｇ、Ｂの各１つずつに対応しており、そして
Ｒ、Ｇ、Ｂの３色絵素ピクセルが１つのユニットになっ
て１画素が構成される。
【０１１７】ドット・マトリクス状に配列される複数の
絵素ピクセル、従って画素、を選択的に発光させること
により、液晶パネル１０２の第２基板１０７ｂの外側に
文字、数字などといった像が表示される。このようにし
て像が表示される領域が有効画素領域であり、図１８お
よび図１９において矢印Ｖによって表示される平面的な
矩形領域が有効表示領域となっている。
【０１１８】図１９において、反射膜１１２はＡＰＣ合
金、Ａｌ（アルミニウム）などといった光反射特性材料
によって形成され、第１電極１１４ａと第２電極１１４
ｂの交点である各絵素ピクセルに対応する位置に開口１
２１が形成されている。結果的に、開口１２１は図１９
の矢印Ｄ方向から見て、絵素ピクセルと同じドット・マ
トリクス状に配設されている。
【０１１９】第１電極１１４ａおよび第２電極１１４ｂ
は、例えば、透明導電材であるＩＴＯ（Indium-Tin Oxi
de）によって形成される。また、配向膜１１６ａ，１１
６ｂは、ポリイミド系樹脂を一様な厚さの膜状に付着さ
せることによって形成される。これらの配向膜１１６
ａ，１１６ｂがラビング処理を受けることにより、第１
基板１０７ａおよび第２基板１０７ｂの表面上における
液晶分子の初期配向が決定される。
【０１２０】図１８において、第１基板１０７ａは第２
基板１０７ｂよりも広い面積に形成されており、これら
の基板をシール材１０８によって貼り合わせたとき、第
１基板１０７ａは第２基板１０７ｂの外側へ張り出す基
板張出し部１０７ｃを有する。そして、この基板張出し
部１０７ｃには、第１電極１１４ａから延び出る引出し
配線１１４ｃ、シール材１０８の内部に存在する導通材
１０９（図１９参照）を介して第２基板１０７ｂ上の第
２電極１１４ｂと導通する引出し配線１１４ｄ、液晶駆
動用ＩＣ１０３ａの入力用バンプ、すなわち入力用端子
に接続される金属配線１１４ｅ、および液晶駆動用ＩＣ
１０３ｂの入力用バンプに接続される金属配線１１４ｆ
などといった各種の配線が適切なパターンで形成され
る。
【０１２１】本実施の形態では、第１電極１１４ａから
延びる引出し配線１１４ｃおよび第２電極１１４ｂに通
電する引出し配線１１４ｄはそれらの電極と同じ材料で
あるＩＴＯ、すなわち導電性酸化物によって形成され
る。また、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂの入力側
の配線である金属配線１１４ｅ，１１４ｆは、電気抵抗
値の低い金属材料、例えばＡＰＣ合金によって形成され
る。このＡＰＣ合金は、主としてＡｇを含み、付随して
ＰｄおよびＣｕを含む合金、例えば、Ａｇ９８％、Ｐｄ
１％、Ｃｕ１％からなる合金である。
【０１２２】液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂは、Ａ
ＣＦ（AnisotropicConductive Film:異方性導電膜）１
２２によって基板張出し部１０７ｃの表面に接着されて
実装される。すなわち、本実施の形態では、基板上に半
導体チップが直接に実装される構造の、いわゆるＣＯＧ
（Chip On Glass）方式の液晶パネルとして形成されて
いる。このＣＯＧ方式の実装構造においては、ＡＣＦ１
２２の内部に含まれる導電粒子によって、液晶駆動用Ｉ
Ｃ１０３ａ，１０３ｂの入力側バンプと金属配線１１４
ｅ，１１４ｆとが導電接続され、液晶駆動用ＩＣ１０３
ａ，１０３ｂの出力側バンプと引出し配線１１４ｃ，１
１４ｄとが導電接続される。
【０１２３】図１８において、ＦＰＣ１０４は、可撓性
の樹脂フィルム１２３と、チップ部品１２４を含んで構
成された回路１２６と、金属配線端子１２７とを有す
る。回路１２６は樹脂フィルム１２３の表面に半田付け
その他の導電接続手法によって直接に搭載される。ま
た、金属配線端子１２７はＡＰＣ合金、Ｃｒ、Ｃｕその
他の導電材料によって形成される。ＦＰＣ１０４のうち
金属配線端子１２７が形成された部分は、第１基板１０
７ａのうち金属配線１１４ｅ，１１４ｆが形成された部
分にＡＣＦ１２２によって接続される。そして、ＡＣＦ
１２２の内部に含まれる導電粒子の働きにより、基板側
の金属配線１１４ｅ，１１４ｆとＦＰＣ側の金属配線端
子１２７とが導通する。
【０１２４】ＦＰＣ１０４の反対側の辺端部には外部接
続端子１３１が形成され、この外部接続端子１３１が図
示しない外部回路に接続される。そして、この外部回路
から伝送される信号に基づいて液晶駆動用ＩＣ１０３
ａ，１０３ｂが駆動され、第１電極１１４ａおよび第２
電極１１４ｂの一方に走査信号が供給され、他方にデー
タ信号が供給される。これにより、有効表示領域Ｖ内に
配列されたドット・マトリクス状の絵素ピクセルが個々
のピクセル毎に電圧制御され、その結果、液晶Ｌの配向
が個々の絵素ピクセル毎に制御される。
【０１２５】図１８において、いわゆるバックライトと
して機能する照明装置１０６は、図１９に示すように、
アクリル樹脂などによって構成された導光体１３２と、
この導光体１３２の光出射面１３２ｂに設けられた拡散
シート１３３と、導光体１３２の光出射面１３２ｂの反
対面に設けられた反射シート１３４と、発光源としての
ＬＥＤ（Light Emitting Diode）１３６とを有する。
【０１２６】ＬＥＤ１３６はＬＥＤ基板１３７に支持さ
れ、そのＬＥＤ基板１３７は、例えば導光体１３２と一
体に形成された支持部（図示せず）に装着される。ＬＥ
Ｄ基板１３７が支持部の所定位置に装着されることによ
り、ＬＥＤ１３６が導光体１３２の側辺端面である光取
込み面１３２ａに対向する位置に置かれる。なお、符号
１３８は液晶パネル１０２に加わる衝撃を緩衝するため
の緩衝材を示している。
【０１２７】ＬＥＤ１３６が発光すると、その光は光取
込み面１３２ａから取り込まれて導光体１３２の内部へ
導かれ、反射シート１３４や導光体１３２の壁面で反射
しながら伝播する間に光出射面１３２ｂから拡散シート
１３３を通して外部へ平面光として出射する。
【０１２８】本実施の形態の液晶装置１０１は以上のよ
うに構成されているので、太陽光、室内光などといった
外部光が十分に明るい場合には、図１９において、第２
基板１０７ｂ側から外部光が液晶パネル１０２の内部へ
取り込まれ、その光が液晶Ｌを通過した後に反射膜１１
２で反射して再び液晶Ｌへ供給される。液晶Ｌは、これ
を挟持する電極１１４ａ，１１４ｂによってＲ、Ｇ、Ｂ
の絵素ピクセル毎に配向制御される。よって、液晶Ｌへ
供給された光は絵素ピクセル毎に変調され、その変調に
よって偏光板１１７ｂを通過する光と、通過できない光
とによって液晶パネル１０２の外部に文字、数字などと
いった像が表示される。これにより、反射型の表示が行
われる。
【０１２９】他方、外部光の光量が十分に得られない場
合には、ＬＥＤ１３６が発光して導光体１３２の光出射
面１３２ｂから平面光が出射され、その光が反射膜１１
２に形成された開口１２１を通して液晶Ｌへ供給され
る。このとき、反射型の表示と同様にして、供給された
光が配向制御される液晶Ｌによって絵素ピクセル毎に変
調される。これにより、外部へ像が表示され、通過型の
表示が行われる。
【０１３０】上記構成の液晶装置１０１は、例えば、図
１７に示す製造方法によって製造される。この製造方法
において、工程Ｐ１〜工程Ｐ６の一連の工程が第１基板
１０７ａを形成する工程であり、工程Ｐ１１〜工程Ｐ１
４の一連の工程が第２基板１０７ｂを形成する工程であ
る。第１基板形成工程と第２基板形成工程は、通常、そ
れぞれが独自に行われる。
【０１３１】まず、第１基板形成工程について説明すれ
ば、透光性ガラス、透光性プラスチックなどによって形
成された大面積のマザー原料基板の表面に液晶パネル１
０２の複数個分の反射膜１１２をフォトリソグラフィー
法などを用いて形成する。さらに、その上に絶縁膜１１
３を周知の成膜法を用いて成形する（工程Ｐ１）。次
に、フォトリソグラフィー法などを用いて第１電極１１
４ａ、引出し配線１１４ｃ，１１４ｄおよび金属配線１
１４ｅ，１１４ｆを形成する（工程Ｐ２）。
【０１３２】この後、第１電極１１４ａの上に塗布、印
刷などによって配向膜１１６ａを形成し（工程Ｐ３）、
さらにその配向膜１１６ａに対してラビング処理を施す
ことにより液晶の初期配向を決定する（工程Ｐ４）。次
に、例えばスクリーン印刷などによってシール材１０８
を環状に形成し（工程Ｐ５）、さらにその上に球状のス
ペーサ１１９を分散する（工程Ｐ６）以上により、液晶
パネル１０２の第１基板１０７ａ上のパネルパターンを
複数個分有する大面積のマザー第１基板が形成される。
【０１３３】以上の第１基板形成工程とは別に、第２基
板形成工程（図１７の工程Ｐ１１〜工程Ｐ１４）を実施
する。まず、透光性ガラス、透光性プラスチックなどに
よって形成された大面積のマザー原料基材を用意し、そ
の表面に液晶パネル１０２の複数個分のカラーフィルタ
１１８を形成する（工程Ｐ１１）。このカラーフィルタ
１１８の形成工程は図６に示した製造方法を用いて行わ
れ、その製造方法中のＲ、Ｇ、Ｂの各色フィルタエレメ
ントの形成は図８の液滴吐出装置１６を用いて図１ない
し図４などに示したインクジェットヘッド２２の制御方
法に従って実行される。これらカラーフィルタの製造方
法およびインクジェットヘッド２２の制御方法は既に説
明した内容と同じであるので、それらの説明は省略す
る。
【０１３４】図６（ｄ）に示すようにマザー基板１２す
なわちマザー原料基材の上にカラーフィルタ１すなわち
カラーフィルタ１１８が形成されると、次に、フォトリ
ソグラフィー法によって第２電極１１４ｂが形成される
（工程Ｐ１２）。さらに、塗布、印刷などによって配向
膜１１６ｂが形成される（工程Ｐ１３）。次に、その配
向膜１１６ｂに対してラビング処理が施されて液晶の初
期配向が決められる（工程Ｐ１４）。以上により、液晶
パネル１０２の第２基板１０７ｂ上のパネルパターンを
複数個分有する大面積のマザー第２基板が形成される。
【０１３５】以上により、大面積のマザー第１基板およ
びマザー第２基板が形成された後、それらのマザー基板
をシール材１０８を間に挟んでアライメント、すなわち
位置合わせした上で互いに貼り合わせる（工程Ｐ２
１）。これにより、液晶パネル複数個分のパネル部分を
含んでいて未だ液晶が封入されていない状態の空のパネ
ル構造体が形成される。
【０１３６】次に、完成した空のパネル構造体の所定の
位置にスクライブ溝、すなわち切断用溝を形成し、さら
にそのスクライブ溝を基準としてパネル構造体をブレイ
ク、すなわち切断する（工程Ｐ２２）。これにより、各
液晶パネル部分のシール材１０８の液晶注入用開口１１
０（図１８参照）が外部へ露出する状態の、いわゆる短
冊状の空のパネル構造体が形成される。
【０１３７】その後、露出した液晶注入用開口１１０を
通して各液晶パネル部分の内部に液晶Ｌを注入し、さら
に各液晶注入用開口１１０を樹脂などによって封止する
（工程Ｐ２３）。通常の液晶注入処理は、例えば、貯留
容器の中に液晶を貯留し、その液晶が貯留された貯留容
器と短冊状の空パネルとをチャンバなどに入れる。その
チャンバなどを真空状態にしてからそのチャンバの内部
において液晶の中に短冊状の空パネルを浸漬する。その
後、チャンバを大気圧に開放することによって行われ
る。このとき、空パネルの内部は真空状態なので、大気
圧によって加圧される液晶が液晶注入用開口を通してパ
ネルの内部へ導入される。液晶注入後の液晶パネル構造
体のまわりには液晶が付着するので、液晶注入処理後の
短冊状パネルは工程Ｐ２４において洗浄処理を受ける。
【０１３８】その後、液晶注入および洗浄が終わった後
の短冊状のマザーパネルに対して、再び所定位置にスク
ライブ溝を形成する。さらに、そのスクライブ溝を基準
にして短冊状パネルを切断する。このことにより、複数
個の液晶パネル１０２が個々に切り出される（工程Ｐ２
５）。こうして作製された個々の液晶パネル１０２に対
して、図１８に示すように、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，
１０３ｂを実装し、照明装置１０６をバックライトとし
て装着し、さらにＦＰＣ１０４を接続することにより、
目標とする液晶装置１０１が完成する（工程Ｐ２６）。
【０１３９】以上に説明した液晶装置の製造方法および
その製造装置は、特にカラーフィルタ１を製造する段階
において次のような特徴を有する。すなわち、図５
（ａ）に示すカラーフィルタ１すなわち図１９のカラー
フィルタ１１８内の個々のフィルタエレメント３はイン
クジェットヘッド２２（図１参照）の１回の主走査Ｘに
よって形成されるのではなくて、各１個のフィルタエレ
メント３は異なるノズルグループに属する複数のノズル
２７によってｎ回、例えば４回、重ねてインク吐出を受
けることにより所定の膜厚に形成される。このため、仮
に複数のノズル２７間においてインク吐出量にバラツキ
が存在する場合でも、複数のフィルタエレメント３間で
膜厚にバラツキが生じることを防止でき、それ故、カラ
ーフィルタ１の光透過特性を平面的に均一にすることが
できる。このことは、図１９の液晶装置１０１におい
て、色むらのない鮮明なカラー表示が得られるというこ
とである。
【０１４０】また、本実施の形態の液晶装置の製造方法
およびその製造装置では、図８に示す液滴吐出装置１６
を用いることによりインクジェットヘッド２２を用いた
インク吐出によってフィルタエレメント３を形成するの
で、フォトリソグラフィー法を用いる方法のような複雑
な工程を経る必要がなく、また材料を浪費することもな
い。
【０１４１】（ＥＬ素子を用いた電気光学装置の製造方
法および製造装置に関する説明）図２０は、本発明に係
る電気光学装置の一例としてのＥＬ装置の製造方法の一
実施の形態を示している。また、図２１はその製造方法
の主要工程および最終的に得られるＥＬ装置の主要断面
構造を示している。図２１（ｄ）に示すように、ＥＬ装
置２０１は、透明基板２０４上に画素電極２０２を形成
し、各画素電極２０２間にバンク２０５を矢印Ｇ方向か
ら見て格子状に形成する。それらの格子状凹部の中に、
正孔注入層２２０を形成し、矢印Ｇ方向から見てストラ
イプ配列などといった所定の配列となるようにＲ色発光
層２０３Ｒ、Ｇ色発光層２０３ＧおよびＢ色発光層２０
３Ｂを各格子状凹部の中に形成する。さらに、それらの
上に対向電極２１３を形成することによってＥＬ装置２
０１が形成される。
【０１４２】上記画素電極２０２をＴＦＤ（Thin Film
Diode:薄膜ダイオード）素子などといった２端子型のア
クティブ素子によって駆動する場合には、上記対向電極
２１３は矢印Ｇ方向から見てストライプ状に形成され
る。また、画素電極２０２をＴＦＴ（Thin Film Transi
stor:薄膜トランジスタ）などといった３端子型のアク
ティブ素子によって駆動する場合には、上記対向電極２
１３は単一な面電極として形成される。
【０１４３】各画素電極２０２と各対向電極２１３とに
よって挟まれる領域が１つの絵素ピクセルとなり、Ｒ、
Ｇ、Ｂ３色の絵素ピクセルが１つのユニットとなって１
つの画素を形成する。各絵素ピクセルを流れる電流を制
御することにより、複数の絵素ピクセルのうちの希望す
るものを選択的に発光させ、これにより、矢印Ｈ方向に
希望するフルカラー像を表示することができる。
【０１４４】上記ＥＬ装置２０１は、例えば、図２０に
示す製造方法によって製造される。すなわち、工程Ｐ５
１および図２１（ａ）のように、透明基板２０４の表面
にＴＦＤ素子やＴＦＴ素子といった能動素子を形成し、
さらに画素電極２０２を形成する。形成方法としては、
例えばフォトリソグラフィー法、真空状着法、スパッタ
リング法、パイロゾル法などを用いることができる。画
素電極２０２の材料としてはＩＴＯ（Indium-Tin Oxid
e）、酸化スズ、酸化インジウムと酸化亜鉛との複合酸
化物などを用いることができる。
【０１４５】次に、工程Ｐ５２および図２１（ａ）に示
すように、隔壁すなわちバンク２０５を周知のパターン
ニング手法、例えばフォトリソグラフィー法を用いて形
成し、このバンク２０５によって各透明な画素電極２０
２の間を埋める。これにより、コントラストの向上、発
光材料の混色の防止、画素と画素との間からの光漏れな
どを防止することができる。バンク２０５の材料として
は、ＥＬ発光材料の溶媒に対して耐久性を有するもので
あれば特に限定されないが、フロロカーボンガスプラズ
マ処理によりテフロン（登録商標）化できること、例え
ば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドな
どといった有機材料が好ましい。
【０１４６】次に、機能性液状体としての正孔注入層用
インクを塗布する直前に、透明基板２０４に酸素ガスと
フロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行う
（工程Ｐ５３）。これにより、ポリイミド表面は撥水化
され、ＩＴＯ表面は親水化され、液滴を微細にパターニ
ングするための基板側の濡れ性の制御ができる。プラズ
マを発生する装置としては、真空中でプラズマを発生す
る装置でも、大気中でプラズマを発生する装置でも同様
に用いることができる。
【０１４７】次に、工程Ｐ５４および図２１（ａ）に示
すように、正孔注入層用インクを図８の液滴吐出装置１
６のインクジェットヘッド２２から吐出し、各画素電極
２０２の上にパターニング塗布を行う。具体的なインク
ジェットヘッド２２の制御方法は、図１、図２、図３お
よび図４に示した方法のいずれかの方法が用いられる。
その塗布後、真空（１ｔｏｒｒ）中、室温、２０分とい
う条件で溶媒を除去する（工程Ｐ５５）。この後、大気
中、２０℃（ホットプレート上）、１０分の熱処理によ
り、発光層用インクと相溶しない正孔注入層２２０を形
成する（工程Ｐ５６）。上記条件では、膜厚は４０ｎｍ
であった。
【０１４８】次に、工程Ｐ５７および図２１（ｂ）に示
すように、各フィルタエレメント形成領域７内の正孔注
入層２２０の上に液滴吐出手法を用いて機能性液状体で
あるＥＬ発光材料としてのＲ発光層用インクおよび機能
性液状体であるＥＬ発光材料としてのＧ発光層用インク
を塗布する。ここでも、各発光層用インクは、図８の液
滴吐出装置１６のインクジェットヘッド２２から吐出さ
せる。インクジェットヘッド２２の制御方法は図１ない
し図４に示した方法のいずれかの方法が用いられる。イ
ンクジェット方式によれば、微細なパターニングを簡便
にかつ短時間に行うことができる。また、インク組成物
の固形分濃度および吐出量を変えることにより膜厚を変
えることが可能である。
【０１４９】発光層用インクの塗布後、真空（１ｔｏｒ
ｒ）中、室温、２０分などという条件で溶媒を除去する
（工程Ｐ５８）。続けて、窒素雰囲気中、１５０℃、４
時間の熱処理により共役化させてＲ色発光層２０３Ｒお
よびＧ色発光層２０３Ｇを形成する（工程Ｐ５９）。上
記条件により、膜厚は５０ｎｍであった。熱処理により
共役化した発光層は溶媒に不溶である。
【０１５０】なお、発光層を形成する前に正孔注入層２
２０に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プ
ラズマ処理を行っても良い。これにより、正孔注入層２
２０上にフッ素化物層が形成され、イオン化ポテンシャ
ルが高くなることにより正孔注入効率が増し、発光効率
の高い有機ＥＬ装置を提供できる。
【０１５１】次に、工程Ｐ６０および図２１（ｃ）に示
すように、機能性液状体であるＥＬ発光材料としてのＢ
色発光層２０３Ｂを各絵素ピクセル内のＲ色発光層２０
３Ｒ、Ｇ色発光層２０３Ｇおよび正孔注入層２２０の上
に重ねて形成した。これにより、Ｒ、Ｇ、Ｂの３原色を
形成するのみならず、Ｒ色発光層２０３ＲおよびＧ色発
光層２０３Ｇとバンク２０５との段差を埋めて平坦化す
ることができる。これにより、上下電極間のショートを
確実に防ぐことができる。Ｂ色発光層２０３Ｂの膜厚を
調整することで、Ｂ色発光層２０３ＢはＲ色発光層２０
３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇとの積層構造において、
電子注入輸送層として作用してＢ色には発光しない。
【０１５２】以上のようなＢ色発光層２０３Ｂの形成方
法としては、例えば湿式法として一般的なスピンコート
法を採用することもできるし、あるいは、Ｒ色発光層２
０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇの形成法と同様のイン
クジェット法を採用することもできる。
【０１５３】その後、工程Ｐ６１および図２１（ｄ）に
示すように、対向電極２１３を形成することにより、目
標とするＥＬ装置２０１が製造される。対向電極２１３
はそれが面電極である場合には、例えば、Ｍｇ、Ａｇ、
Ａｌ、Ｌｉなどを材料として、蒸着法、スパッタ法など
といった成膜法を用いて形成できる。また、対向電極２
１３がストライプ状電極である場合には、成膜された電
極層をフォトリソグラフィー法などといったパターニン
グ手法を用いて形成できる。
【０１５４】以上に説明したＥＬ装置２０１の製造方法
およびその製造装置によれば、インクジェットヘッドの
制御方法として図１ないし図４に示したいずれかの制御
方法を採用するので、図２１における各絵素ピクセル内
の正孔注入層２２０およびＲ、Ｇ、Ｂ各色発光層２０３
Ｒ，２０３Ｇ，２０３Ｂは、インクジェットヘッド（図
１参照）の１回の主走査Ｘによって形成されるのではな
く、１個の絵素ピクセル内の正孔注入層および／または
各色発光層は異なるノズルグループに属する複数のノズ
ル２７によってｎ回、例えば４回、重ねてインク吐出を
受けることにより所定の膜厚に形成される。このため、
仮に複数のノズル２７間においてインク吐出量にバラツ
キが存在する場合でも、複数の絵素ピクセル間で膜厚に
バラツキが生じることを防止でき、それ故、ＥＬ装置２
０１の発光面の発光分布特性を平面的に均一にすること
ができる。このことは、図２１（ｄ）のＥＬ装置２０１
において、色むらのない鮮明なカラー表示が得られると
いうことである。
【０１５５】また、本実施の形態のＥＬ装置の製造方法
およびその製造装置では、図８に示す液滴吐出装置１６
を用いることにより、インクジェットヘッド２２を用い
たインク吐出によってＲ、Ｇ、Ｂの各色絵素ピクセルを
形成するので、フォトリソグラフィー法を用いる方法の
ような複雑な工程を経る必要もなく、また材料を浪費す
ることもない。
【０１５６】（カラーフィルタの製造方法および製造装
置に関する実施形態）次に、本発明のカラーフィルタの
製造装置の実施の形態について図面を参照して説明す
る。まず、このカラーフィルタの製造装置の説明に先立
って、製造されるカラーフィルタについて説明する。図
３３はカラーフィルタを示す部分拡大図で、図３３
（Ａ）は平面図であり、図３３（Ｂ）は図３３（Ａ）の
Ｘ−Ｘ線断面図である。なお、この図３３に示すカラー
フィルタにおいて、図５に示す実施形態のカラーフィル
タ１と同一の構成については、同一の符号を付して説明
する。
【０１５７】〔カラーフィルタの構成〕図３３（Ａ）に
おいて、カラーフィルタ１は、マトリックス状に並んだ
複数の画素１Ａを備えている。これら画素１Ａの境目
は、隔壁６によって区切られている。画素１Ａの１つ１
つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのイ
ンクである液状体としてのカラーフィルタ材料すなわち
フィルタエレメント材料１３が導入されている。この図
３３に示すカラーフィルタは、赤、緑、青の配置をいわ
ゆるモザイク配列として説明したが、上述したように、
ストライプ配列やデルタ配列など、いずれの配置でも適
用できる。
【０１５８】カラーフィルタ１は、図３３（Ｂ）に示す
ように、透光性の基板１２と、透光性の隔壁６とを備え
ている。この隔壁６が形成されていない、すなわち除去
された部分は、上記画素１Ａを構成する。この画素１Ａ
に導入された各色のフィルタエレメント材料１３は、着
色層となるフィルタエレメント３を構成する。隔壁６お
よびフィルタエレメント３の上面には、保護層である保
護膜４および電極層５が形成されている。
【０１５９】〔カラーフィルタの製造装置の構成〕次
に、上記カラーフィルタを製造する製造装置の構成につ
いて図面を参照して説明する。図２２は、本発明に係る
カラーフィルタの製造装置の液滴吐出処理装置を示す一
部を切り欠いた斜視図である。
【０１６０】カラーフィルタ製造装置は、電気光学装置
としてのカラー液晶パネルを構成するカラーフィルタ１
を製造する。このカラーフィルタ製造装置は、図示しな
い液滴吐出装置を備えている。
【０１６１】〔液滴吐出処理装置の構成〕そして、液滴
吐出装置は、上述した各実施の形態の液滴吐出装置と同
様に、図２２に示すような３台の液滴吐出処理装置４０
５Ｒ、４０５Ｇ、４０５Ｂを有している。これら液滴吐
出処理装置４０５Ｒ、４０５Ｇ、４０５Ｂは、液状体と
してのインクすなわちカラーフィルタ材料である例えば
Ｒ、Ｇ、Ｂのフィルタエレメント材料１３をマザー基板
１２にそれぞれ吐出するＲ、Ｇ、Ｂの３色に対応してい
る。なお、これら液滴吐出処理装置４０５Ｒ、４０５
Ｇ、４０５Ｂは、略直列状に配置されて液滴吐出装置を
構成する。また、各液滴吐出処理装置４０５Ｒ、４０５
Ｇ、４０５Ｂには、各構成部材の動作を制御する図示し
ない制御装置が一体的に設けられている。
【０１６２】なお、各液滴吐出処理装置４０５Ｒ、４０
５Ｇ、４０５Ｂには、これら液滴吐出処理装置４０５
Ｒ、４０５Ｇ、４０５Ｂにマザー基板１２を一枚ずつ搬
入および搬出する図示しない搬送ロボットがそれぞれ接
続される。また、各液滴吐出処理装置４０５Ｒ、４０５
Ｇ、４０５Ｂには、マザー基板１２が例えば６枚収容可
能で、マザー基板１２を熱処理、例えば１２０℃、５分
間加熱して吐出されたフィルタエレメント材料１３を乾
燥させる図示しない多段ベーク炉が接続されている。
【０１６３】そして、各液滴吐出処理装置４０５Ｒ，４
０５Ｇ，４０５Ｂは、図２２に示すように、中空箱状の
本体ケースであるサーマルクリーンチャンバ４２２を有
している。このサーマルクリーンチャンバ４２２内は、
インクジェット方式による安定した良好な描画が得られ
るように、内部が例えば２０±０．５℃に調整されて外
部から塵埃が侵入不可能に形成されている。このサーマ
ルクリーンチャンバ４２２内には、液滴吐出処理本体４
２３が配設されている。
【０１６４】液滴吐出処理本体４２３は、図２２示すよ
うに、Ｘ軸エアースライドテーブル４２４を有してい
る。このＸ軸エアースライドテーブル４２４上には、図
示しないリニアモータが配設された主走査駆動装置４２
５が配設されている。この主走査駆動装置４２５は、マ
ザー基板１２を例えば吸引により取付固定する図示しな
い台座部を有し、この台座部をＸ軸方向であるマザー基
板１２に対して主走査方向に移動させる。
【０１６５】液滴吐出処理本体４２３には、図２２に示
すように、Ｘ軸エアースライドテーブル４２４の上方に
位置して、Ｙ軸テーブルとしての副走査駆動装置４２７
が配設されている。この副走査駆動装置４２７は、フィ
ルタエレメント材料１３を例えば上下方向に沿って吐出
させるヘッドユニット４２０をＹ軸方向であるマザー基
板１２に対して副走査方向に移動させる。なお、図２２
において、ヘッドユニット４２０は、位置関係を明確化
するために、空中に浮いた状態で実線により表示してい
る。
【０１６６】また、液滴吐出処理本体４２３には、イン
クジェットヘッド４２１の位置やマザー基板１２の位置
を制御するために位置を認識する位置認識手段である図
示しない各種カメラが配設されている。なお、ヘッドユ
ニット４２０や台座部の位置制御は、パルスモータを用
いた位置制御の他、サーボモータを用いたフィードバッ
ク制御や、その他任意の制御方法によって実現できる。
【０１６７】また、液滴吐出処理本体４２３には、図２
２に示すように、ヘッドユニット４２０におけるフィル
タエレメント材料１３を吐出する面を拭き取るワイピン
グユニット４８１が設けられている。このワイピングユ
ニット４８１は、例えば布部材およびゴムシートが一体
的に積層された図示しないワイピング部材の一端側を適
宜巻き取り、順次新しい面でフィルタエレメント材料１
３を吐出する面をワイピングする構成となっている。こ
れにより、吐出面に付着したフィルタエレメント材料１
３を除去し、後述するノズル４６６の目詰まりが起こら
ないようにしている。
【０１６８】さらに、液滴吐出処理本体４２３には、図
２２に示すように、インクシステム４８２が設けられて
いる。このインクシステム４８２は、フィルタエレメン
ト材料１３を貯留するインクタンク４８３、フィルタエ
レメント材料１３が流通可能な供給管４７８、および、
インクタンク４８３から供給管４７８を介してフィルタ
エレメント材料１３をヘッドユニット４２０へ供給する
図示しないポンプを有している。なお、図２２におい
て、供給管４７８の配管は、模式的に示したもので、イ
ンクタンク４８３からヘッドユニット４２０の移動に影
響しないように副走査駆動装置４２７に配線され、ヘッ
ドユニット４２０を走査する副走査駆動装置４２７の上
方からヘッドユニット４２０にフィルタエレメント材料
１３を供給するようになっている。
【０１６９】また、液滴吐出処理本体４２３には、ヘッ
ドユニット４２０から吐出されるフィルタエレメント材
料１３の吐出量を検出する重量測定ユニット４８５が設
けられている。
【０１７０】さらに、液滴吐出処理本体４２３には、例
えば図示しない光センサを有しヘッドユニット４２０か
らのフィルタエレメント材料１３の吐出状態を検出する
ドット抜け検出ユニット４８７が一対の配設されてい
る。このドット抜け検出ユニット４８７は、ヘッドユニ
ット４２０から液状体が吐出させる方向に対して交差す
る方向、例えばＸ軸方向に沿って図示しない光センサの
光源および受光部が、ヘッドユニット４２０から吐出さ
れた液滴８が通過する空間を挟んで対向するように配設
されている。また、ヘッドユニット４２０の搬送方向で
あるＹ軸方向側に位置して配設され、フィルタエレメン
ト材料１３を吐出するためにヘッドユニット４２０を副
走査移動させる毎に吐出状態を検出してドット抜けを検
出する。
【０１７１】なお、詳しくは後述するが、ヘッドユニッ
ト４２０には、フィルタエレメント材料１３を吐出する
ヘッド装置４３３を２列に配置している。このため、ド
ット抜け検出ユニット４８７は、各列各ヘッド装置毎に
吐出状態を検出するために一対設けられている。
【０１７２】〔ヘッドユニットの構成〕次に、ヘッドユ
ニット４２０の構成について説明する。図２３は、液滴
吐出処理装置に設けられたヘッドユニットを示す平面図
である。図２４は、ヘッドユニットを示す側面図であ
る。図２５は、ヘッドユニットを示す正面図である。図
２６は、ヘッドユニットを示す断面図である。
【０１７３】ヘッドユニット４２０は、図２３ないし図
２６に示すように、ヘッド本体部４３０と、インク供給
部４３１とを有している。また、ヘッド本体部４３０
は、平板状のキャリッジ４２６と、このキャリッジ４２
６に複数取り付けられた実質的に略同一形状のヘッド装
置４３３とを有している。
【０１７４】（ヘッド装置の構成）図２７はヘッドユニ
ットに配設されたヘッド装置を示す分解斜視図である。
【０１７５】ヘッド装置４３３は、図２７に示すよう
に、短冊状のプリント基板４３５を有している。このプ
リント基板４３５には、各種電気部品４３６が実装され
電気配線が設けられている。また、プリント基板４３５
には、長手方向の一端側（図２７中右側）に位置して窓
部４３７が貫通形成されている。さらに、プリント基板
４３５には、インクであるフィルタエレメント材料１３
が流通可能な流通路４３８が窓部４３７の両側に位置し
て設けられている。
【０１７６】そして、このプリント基板４３５の一面側
（図２７中下面側）には、長手方向の略一端側（図２７
中右側）に位置してインクジェットヘッド４２１が取付
部材４４０により一体的に取り付けられている。このイ
ンクジェットヘッド４２１は、長手矩形状に形成され、
長手方向がプリント基板４３５の長手方向に沿う状態で
取り付けられる。なお、各ヘッド装置４３３における各
インクジェットヘッドは、実質的に略同一形状、すなわ
ち例えば所定の規格の製品であって、所定の品質に選別
されたものなどであればよい。具体的には、これらイン
クジェットヘッド４２１が同一個数のノズルを有し、ノ
ズルの形成位置が互いに同一であることが、キャリッジ
に対してインクジェットヘッドを組み立てる際に効率的
となり、また組み立て精度も高まるので、好ましい。具
体的には、これらインクジェットヘッド４２１が同一個
数のノズルを有し、ノズルの形成位置が互いに同一であ
ることが、キャリッジに対してインクジェットヘッドを
組み立てる際に効率的となり、また組み立て精度も高ま
るので、好ましい。さらに、同一の製造・組立工程を経
て作られた製品を用いれば、特別な製品を作る必要が無
くなり、低コストとすることができる。
【０１７７】また、プリント基板４３５の他面側（図２
７中上面側）には、長手方向の略他端側（図２７中左
側）に位置してインクジェットヘッド４２１に電気配線
にて電気的に接続されるコネクタ４４１が一体的に取り
付けられている。これらコネクタ４４１には、図２２に
模式的に示すように、ヘッドユニット４２０の移動に影
響しないように副走査駆動装置４２７に配線された電気
配線（電源配線、信号配線を含む）４４２が接続され
る。この電気配線４４２は図示しない制御装置とヘッド
ユニット４２０を接続するものとなる。すなわち、これ
ら電気配線４４２は、図２３および図２６に二点鎖線の
矢印で模式的に示すように、副走査駆動装置４２７から
ヘッドユニット４２０の２列のヘッド装置４３３の配列
方向の両側であるヘッドユニット４２０の外周側に配線
されてコネクタ４４１に接続され、電気ノイズが生じな
いようになっている。
【０１７８】さらに、プリント基板４３５の他面側（図
２７中上面側）には、長手方向の略一端側（図２７中右
側）でインクジェットヘッド４２１に対応してインク導
入部４４３が取り付けられている。このインク導入部４
４３は、取付部材４４０に設けられプリント基板４３５
を貫通する位置決めピン部４４４を嵌合する略円筒状の
位置決め筒部４４５と、プリント基板４３５に係止する
係止爪部４４６とを有している。
【０１７９】また、インク導入部４４３には、先端先細
り形状の略円筒状の連結部４４８が一対突設されてい
る。これら連結部４４８は、プリント基板４３５側とな
る基端部にプリント基板４３５の流通路４３８に略液密
に連通する図示しない開口を有し、先端部にフィルタエ
レメント材料１３が流通可能な図示しない孔を有してい
る。
【０１８０】さらに、これら連結部４４８には、図２４
ないし図２７に示すように、先端側に位置してシール連
結部４５０がそれぞれ取り付けられている。これらシー
ル連結部４５０は、内周側に連結部４４８を略液密に嵌
着する略円筒状に形成され、先端部にシール部材４４９
が設けられている。
【０１８１】（インクジェットヘッドの構成）図２８
は、インクジェットヘッドを示す分解斜視図である。図
２９はインクジェットヘッドのフィルタエレメント材料
を吐出する動作をインクジェットヘッドの断面に対応し
て説明する模式図で、図２９（Ａ）はフィルタエレメン
ト材料を吐出する前の状態、図２９（Ｂ）は圧電振動子
を収縮させてフィルタエレメント材料を吐出している状
態、図２９（Ｃ）はフィルタエレメント材料を吐出した
直後の状態である。図３０は、インクジェットヘッドに
おけるフィルタエレメント材料の吐出量を説明する説明
図である。図３１は、インクジェットヘッドの配置状態
を説明する概略的な模式図である。図３２は、図３１に
おける部分拡大図である。
【０１８２】インクジェットヘッド４２１は、図２８に
示すように、略矩形状のホルダ４５１を有している。こ
のホルダ４５１には、長手方向に沿って例えば１８０個
のピエゾ素子などの圧電振動子４５２が２列設けられて
いる。また、ホルダ４５１には、プリント基板４３５の
流通路４３８に連通し長手方向の両側略中央にインクで
あるフィルタエレメント材料１３が流通する貫通孔４５
３がそれぞれ設けられている。
【０１８３】また、ホルダ４５１の圧電振動子４５２が
位置する一面である上面には、図２８に示すように、合
成樹脂にてシート状に形成された弾性板４５５が一体的
に設けられている。この弾性板４５５には、貫通孔４５
３に連続する連通孔４５６がそれぞれ設けられている。
そして、弾性板４５５には、ホルダ４５１の上面略四隅
に突設された位置決め爪部４５７に係合する係合孔４５
８が設けられ、ホルダ４５１の上面に位置決めされて一
体的に取り付けられている。
【０１８４】さらに、弾性板４５５の上面には、平板状
の流路形成板４６０が設けられている。この流路形成板
４６０には、ホルダ４５１の幅方向に長手状で圧電振動
子４５２に対応してホルダ４５１の長手方向に１８０個
の直列状に２列設けられたノズル溝４６１と、ノズル溝
４６１の一側にホルダの長手方向に長手状に設けられた
開口部４６２と、弾性板４５５の連通孔４５６に連続す
る流通孔４６３とが設けられている。そして、弾性板４
５５には、ホルダ４５１の上面略四隅に突設された位置
決め爪部４５７に係合する係合孔４５８が設けられ、ホ
ルダ４５１の上面に弾性板４５５とともに位置決めされ
て一体的に取り付けられている。
【０１８５】また、流路形成板４６０の上面には、略平
板状のノズルプレート４６５が設けられている。このノ
ズルプレート４６５には、流路形成板４６０のノズル溝
４６１に対応して略円形のノズル４６６がホルダ４５１
の長手方向に１８０個で２５．４ｍｍ（１ｉｎｃｈ）の
長さ範囲に直列状で２列設けられている。また、ノズル
プレート４６５には、ホルダ４５１の上面略四隅に突設
された位置決め爪部４５７に係合する係合孔４５８が設
けられ、ホルダ４５１の上面に弾性板４５５および流路
形成板４６０とともに位置決めされて一体的に取り付け
られている。
【０１８６】そして、積層する弾性板４５５、流路形成
板４６０およびノズルプレート４６５により、図２９に
模式的に示すように、流路形成板４６０の開口部４６２
にて液リザーバ４６７が区画形成されるとともに、この
液リザーバ４６７は各ノズル溝４６１に液供給路４６８
を介して連続する。このことにより、インクジェットヘ
ッド４２１は、圧電振動子４５２の動作により、ノズル
溝４６１内の圧力が増大しノズルからフィルタエレメン
ト材料１３を２〜１３ｐｌ例えば約１０ｐｌの液滴量で
７±２ｍ／ｓで吐出する。すなわち、図２９に示すよう
に、圧電振動子４５２に対して所定の印加電圧Ｖｈをパ
ルス状に印加することで、図２９（Ａ），（Ｂ），
（Ｃ）に順次示すようにして、圧電振動子４５２を矢印
Ｑ方向に適宜伸縮させることで、インクであるフィルタ
エレメント材料１３を加圧して所定量の液滴８でノズル
４６６から吐出させる。
【０１８７】また、このインクジェットヘッド４２１
は、上記実施の形態でも説明したように、図３０に示す
様な配列方向の両端部側の吐出量が多くなる吐出量のバ
ラツキがある。このことから、例えば吐出量バラツキが
５％以内となる範囲のノズル４６６すなわち両端部の１
０個ずつのノズル４６６からはフィルタエレメント材料
１３を吐出しないように制御される。
【０１８８】そして、ヘッドユニット４２０を構成する
ヘッド本体部４３０は、図２２ないし図２６に示すよう
に、インクジェットヘッド４２１を有したヘッド装置４
３３が複数互いに並んで配置されて構成されている。こ
のヘッド装置４３３のキャリッジ４２６における配置
は、図３１に模式的に示すように、副走査方向であるＹ
軸方向よりもＹ軸方向と直交する主走査方向であるＸ軸
方向側に傾斜した方向にオフセットしながら配列される
状態である。すなわち、副走査方向であるＹ軸方向より
若干傾斜した方向に例えば６個並べて配置され、この列
が複数列例えば２列で配置されている。これは、インク
ジェットヘッド４２１よりもヘッド装置４３３の短辺方
向の幅が広く、互いに隣接するインクジェットヘッド４
２１同士の配置間隔を狭めることができない一方で、ノ
ズル４６６の列がＹ軸方向に連続して配列されているよ
うにしなければならない状況から考えられた配置の仕方
である。
【０１８９】さらに、ヘッド本体部４３０は、ヘッド装
置４３３が、インクジェットヘッド４２１の長手方向が
Ｘ軸方向に対して交差する方向に傾斜する状態で、かつ
コネクタ４４１が相対向方向と反対側に位置する状態で
略点対称に配設されている。このヘッド装置４３３の傾
斜する配置状態は、例えばインクジェットヘッド４２１
の長手方向であるノズル４６６の配設方向がＸ軸方向に
対して５７．１°傾斜する。
【０１９０】また、ヘッド装置４３３は、略千鳥状すな
わち配列方向に対して並列状態に位置しないように配置
されている。すなわち、図２３ないし図２６および図３
１に示すように、１２個のインクジェットヘッド４２１
のノズル４６６がＹ軸方向に連続して配列されるよう
に、インクジェットヘッド４２１は２列に配列され、か
つそのＹ軸方向への配列順序が互い違いの交互に配置さ
れる。
【０１９１】具体的には、図３１および図３２に基づい
て、より詳細に説明する。ここで、インクジェットヘッ
ド４２１は、長手方向であるノズル４６６の配列方向が
Ｘ軸方向に対して傾斜する。このため、インクジェット
ヘッド４２１に設けられた２列のノズル４６６の一列目
において、フィルタエレメント材料１３を吐出する１１
個目のノズル４６６が位置するＸ軸方向の直線上で、２
列目のノズル４６６の他方は吐出しない１０個以内の位
置となる領域Ａがある（図３２中のＡ）。すなわち、１
つのインクジェットヘッド４２１では、Ｘ軸方向での直
線上に２個のノズル４６６が存在しない領域Ａが生じ
る。
【０１９２】したがって、図３１および図３２に示すよ
うに、１つのインクジェットヘッド４２１でＸ軸方向の
直線上に２個のノズル４６６が位置する領域Ｂ（図３２
中のＢ）では、列をなすヘッド装置４３３はＸ軸方向で
並列状態に位置させない。さらに、一方の列をなすヘッ
ド装置４３３のＸ軸方向での直線上に１個しか位置しな
い領域Ａと、他方の列をなすヘッド装置４３３のＸ軸方
向での直線上に１個しか位置しない領域Ａとは、Ｘ軸方
向で互いに並列状態に位置させ、一方の列のインクジェ
ットヘッド４２１と他方の列のインクジェットヘッド４
２１とにてＸ軸方向の直線上に合計で２個のノズル４６
６が位置する状態とする。すなわち、インクジェットヘ
ッド４２１が配設されている領域においては、どの位置
でもＸ軸方向の直線上に必ず合計２個のノズル４６６が
位置するように千鳥状に配設する。なお、フィルタエレ
メント材料１３を吐出しないノズル４６６の領域Ｘは、
このＸ軸方向の直線上における２個のノズル４６６の数
として数えない。このように、主走査されるＸ軸方向に
対してインクを吐出するノズル４６６は２個が直線上に
位置し、後述するように、この２個のノズル４６６から
１つの箇所にインクが吐出されることになる。１つのノ
ズル４６６からの吐出だけで１つのエレメントを構成す
ると、ノズル４６６間の吐出量のバラツキがエレメント
の特性バラツキや歩留まり劣化に繋がるので、このよう
に別々のノズル４６６からの吐出により１つのエレメン
トを形成すれば、ノズル４６６間の吐出のバラツキを分
散し、エレメント間での特性の均一化および歩留まり向
上を図ることができる。
【０１９３】（インク供給部の構成）インク供給部４３
１は、図２３ないし図２６に示すように、ヘッド本体部
４３０の２列に対応してそれぞれ設けられた一対の平板
状の取付板４７１と、これら取付板４７１に複数取り付
けられた供給本体部４７２とを有している。そして、供
給本体部４７２は、略細長円筒状の進退部４７４を有し
ている。この進退部４７４は、取付治具４７３にて取付
板４７１を貫通する状態で軸方向に沿って移動可能に取
り付けられる。また、供給本体部４７２の進退部４７４
は、例えばコイルスプリング４７５などにより取付板４
７１からヘッド装置４３３に向けて進出する方向に付勢
されて取り付けられる。なお、図２３において、説明の
都合上、インク供給部４３１は、２列のヘッド装置４３
３のうちの一方の列に対してのみ図示し、他はそれを省
略して図示している。
【０１９４】この進退部４７４のヘッド装置４３３に対
向する側の端部には、フランジ部４７６が設けられてい
る。このフランジ部４７６は、進退部４７４の外周縁に
鍔状に突出し、端面がヘッド装置４３３のインク導入部
４４３のシール部材４４９に、コイルスプリング４７５
の付勢に抗して略液密に当接する。また、進退部４７４
のフランジ部４７６が設けられた側と反対側の端部に
は、ジョイント部４７７が設けられている。このジョイ
ント部４７７は、図２２に模式的に示すように、フィル
タエレメント材料１３が流通する供給管４７８の一端が
接続される。
【０１９５】この供給管４７８は、上述したように、図
２２に模式的に示すように、ヘッドユニット４２０の移
動に影響しないように副走査駆動装置４２７に配線さ
れ、図２３および図２５に一点鎖線の矢印で模式的に示
すように、副走査駆動装置４２７からヘッドユニット４
２０上方より２列で配列されたインク供給部４３１の間
の略中央に配管され、さらに放射状に配管されて先端が
インク供給部４３１のジョイント部４７７に接続されて
配管される。
【０１９６】そして、インク供給部４３１は、供給管を
介して流通するフィルタエレメント材料１３をヘッド装
置４３３のインク導入部４４３に供給する。また、イン
ク導入部４４３に供給されたフィルタエレメント材料１
３はインクジェットヘッド４２１に供給され、電気制御
されたインクジェットヘッド４２１の各ノズル４６６か
ら適宜液滴８状に吐出される。
【０１９７】〔カラーフィルタの製造動作〕 （前処理）次に、上記実施の形態のカラーフィルタ製造
装置を用いてカラーフィルタ１を形成する動作を図面を
参照して説明する。図３４は上記カラーフィルタの製造
装置を用いてカラーフィルタ１を製造する手順を説明す
る製造工程断面図である。
【０１９８】まず、例えば膜厚寸法が０．７ｍｍ、縦寸
法が３８ｃｍ、横寸法が３０ｃｍの無アルカリガラスの
透明基板であるマザー基板１２の表面を、熱濃硫酸に過
酸化水素水を１質量％添加した洗浄液で洗浄する。この
洗浄後、純水でリンスして空気乾燥し、清浄表面を得
る。このマザー基板１２の表面に、例えばスパッタ法に
よりクロム膜を平均０．２μｍの膜厚で形成し、金属層
６ａを得る（図３４中手順Ｓ１）。
【０１９９】このマザー基板１２をホットプレート上
で、８０℃で５分間乾燥させた後、金属層６ａの表面
に、例えばスピンコートにより図示しないフォトレジス
ト層を形成する。このマザー基板１２の表面に、例えば
所要のマトリックスパターン形状を描画した図示しない
マスクフィルムを密着させ、紫外線で露光する。次に、
この露光したマザー基板１２を、例えば水酸化カリウム
を８質量％の割合で含有するアルカリ現像液に浸漬し、
未露光部分のフォトレジストを除去し、レジスト層をパ
ターニングする。続いて、露出した金属層６ａを、例え
ば塩酸を主成分とするエッチング液でエッチング除去す
る。このようにして、所定のマトリックスパターンを有
するブラックマトリックスである遮光層６ｂが得られる
（図３４中手順Ｓ２）。なお、遮光層６ｂの膜厚はおお
よそ０．２μｍで、遮光層６ｂの幅寸法はおおよそ２２
μｍである。
【０２００】この遮光層６ｂが設けられたマザー基板１
２上に、さらにネガ型の透明アクリル系の感光性樹脂組
成物６ｃを例えばスピンコート法で塗布形成する（図３
４中手順Ｓ３）。この感光性樹脂組成物６ｃを設けたマ
ザー基板１２を１００℃で２０分間プレベークした後、
所定のマトリックスパターン形状を描画した図示しない
マスクフィルムを用いて紫外線露光する。そして、未露
光部分の樹脂を、例えば上述したようなアルカリ性の現
像液で現像し、純水でリンスした後にスピン乾燥する。
最終乾燥としてのアフターベークを例えば２００℃で３
０分間実施し、樹脂部分を十分に硬化させ、バンク層６
ｄを形成する。このバンク層６ｄの膜厚は平均で約２．
７μｍ、幅寸法は約１４μｍである。このバンク層６ｄ
と遮光層６ｂとにて隔壁６が形成される（図３４中手順
Ｓ４）。
【０２０１】上記得られた遮光層６ｂおよびバンク層６
ｄで区画された着色層形成領域であるフィルタエレメン
ト形成領域７（特にマザー基板１２の露出面）のインク
濡れ性を改善するため、ドライエッチング、すなわちプ
ラズマ処理をする。具体的には、例えばヘリウムに酸素
を２０％加えた混合ガスに高電圧を印加し、プラズマ処
理でエッチングスポットに形成し、マザー基板１２を形
成したエッチングスポット下を通過させてエッチング
し、マザー基板１２の前処理工程を実施する。
【０２０２】（フィルタエレメント材料の吐出）次に、
上述の前処理が実施されたマザー基板１２の隔壁６で区
切られて形成されたフィルタエレメント形成領域７内
に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各フィルタエレメ
ント材料をインクジェット方式により導入、すなわち吐
出する（図３４中手順Ｓ５）。
【０２０３】このインクジェット方式によるフィルタエ
レメント材料の吐出に際しては、あらかじめヘッドユニ
ット４２０を組立形成しておく。そして、液滴吐出装置
の各液滴吐出処理装置４０５Ｒ、４０５Ｇ、４０５Ｂに
おいて、各インクジェットヘッド４２１の１つのノズル
４６６から吐出されるフィルタエレメント材料１３の吐
出量が所定量、例えば１０ｐｌ程度となるように調整し
ておく。一方、マザー基板１２の一面に、あらかじめ隔
壁６を格子状パターンに形成しておく。
【０２０４】そして、上述したように前処理したマザー
基板１２を、図示しない搬送ロボットにより、まずＲ色
用の液滴吐出処理装置４０５Ｒ内に搬入し、液滴吐出処
理装置４０５Ｒ内の台座部上に載置する。この台座部上
に載置されたマザー基板１２は、例えば吸引により位置
決め固定される。そして、マザー基板１２を保持した台
座部は、各種カメラなどにてマザー基板１２の位置が確
認され、適宜所定の位置となるように主走査駆動装置４
２５を制御して移動する。また、副走査駆動装置４２７
にてヘッドユニット４２０を適宜移動させ、その位置を
認識する。この後、ヘッドユニット４２０を副走査方向
に移動させドット抜け検出ユニット４８７にて、ノズル
４６６からの吐出状態を検出し、吐出不良を生じていな
いことを認識して初期位置に移動させる。
【０２０５】この後、主走査駆動装置４２５により可動
される台座部に保持されたマザー基板１２をＸ方向に走
査して、マザー基板１２に対して相対的にヘッドユニッ
ト４２０を移動させつつ、適宜インクジェットヘッド４
２１の所定のノズル４６６から適宜フィルタエレメント
材料１３を吐出させ、マザー基板１２の隔壁６にて区画
された凹部内に充填する。このノズル４６６からの吐出
は、図示しない制御装置により、図３２に示すノズル４
６６の配設方向の両端部に位置する所定領域Ｘ、例えば
両端１０個ずつのノズル４６６からはフィルタエレメン
ト材料１３は吐出させない制御をし、中間部分に位置す
る比較的に吐出量が一様な１６０個から吐出させる。
【０２０６】また、ノズル４６６からの吐出は、走査方
向の直線上、すなわち走査ライン上に２つのノズル４６
６が位置するので、移動中に１つの凹部に１ノズル４６
６から２ドット、より詳しくは１ノズル４６６から１ド
ットとして２液滴８分を吐出させるので、計８液滴８分
が吐出される。この１走査移動毎にドット抜け検出ユニ
ット４８７より吐出状態を検出してドット抜けが生じて
いないか確認する。
【０２０７】ドット抜けを認識しない場合、ヘッドユニ
ット４２０を副走査方向に所定量移動させ、再びマザー
基板１２を保持する台座部を主走査方向に移動させつつ
フィルタエレメント材料１３を吐出させる動作を繰り返
し、所定のカラーフィルタ形成領域１１の所定のフィル
タエレメント形成領域７にフィルタエレメント３を形成
する。
【０２０８】（乾燥・硬化）そして、Ｒ色のフィルタエ
レメント材料１３が吐出されたマザー基板１２は、図示
しない搬送ロボットにより液滴吐出処理装置４０５Ｒか
ら採り出され、図示しない多段ベーク炉にて、フィルタ
エレメント材料１３を例えば１２０℃で５分間乾燥させ
る。この乾燥後、搬送ロボットにより多段ベーク炉から
マザー基板１２を採り出し、冷却しつつ搬送する。この
後、液滴吐出処理装置４０５Ｒから順次Ｇ色用の液滴吐
出処理装置４０５ＧおよびＢ色用の液滴吐出処理装置４
０５Ｂに搬送し、Ｒ色の形成の場合と同様に、所定のフ
ィルタエレメント形成領域７にＧ色およびＢ色のフィル
タエレメント材料１３を順次吐出する。そして、各３色
のフィルタエレメント材料１３が吐出されて乾燥された
マザー基板１２を回収し、熱処理、すなわちフィルタエ
レメント材料１３を加熱により固化定着させる（図３４
中手順Ｓ６）。
【０２０９】（カラーフィルタの形成）この後、フィル
タエレメント３が形成されたマザー基板１２の略全面に
保護膜４を形成する。さらに、この保護膜４の上面にＩ
ＴＯ（Indium-TinOxide）にて電極層５を所要パターン
で形成する。この後、別途カラーフィルタ形成領域１１
毎に切断して複数のカラーフィルタ１を切り出し形成す
る（図３４中手順Ｓ７）。このカラーフィルタ１が形成
された基板１２は、先に実施形態において説明したよう
に、図１８に示すような液晶装置における一対の基板の
一方として用いられる。
【０２１０】〔カラーフィルタの製造装置の効果〕この
図２２ないし図３４に示す実施形態によれば、先に説明
した各実施の形態の作用効果に加え、以下に示す作用効
果を奏する。
【０２１１】すなわち、流動性を有した液状体としての
例えばインクであるフィルタエレメント材料１３を液滴
８として吐出するノズル４６６が一面に複数設けられ互
いに並べて配置された複数のインクジェットヘッド４２
１を、これらインクジェットヘッド４２１のノズル４６
６が設けられた一面が被吐出物であるマザー基板１２の
表面に所定の間隙を介して対向する状態で、マザー基板
１２の表面に沿って相対的に移動させ、複数のインクジ
ェットヘッド４２１の各ノズル４６６からマザー基板１
２の表面上に同一のフィルタエレメント材料１３を吐出
させる。このため、例えば実質的に同一の規格品のイン
クジェットヘッド４２１を用いて、マザー基板１２の広
い範囲にフィルタエレメント材料１３を吐出させること
が可能となり、長手（長尺）の特別なインクジェットヘ
ッドを用いることなく従来の規格品を複数用いることで
代用でき、コストを低減できる。寸法の長いインクジェ
ットヘッドは、製造歩留まりが極めて落ちるので、高価
な部品になってしまうが、それに比べて短寸法のインク
ジェットヘッド４２１は製造歩留まりが良いので、本発
明ではこれを複数使って実質的な長手のインクジェット
ヘッドとなるように配置するだけであるため、コストを
大幅に低減することができる。
【０２１２】さらに、例えばインクジェットヘッド４２
１を並べて配列する配置方向や数、吐出するために使用
するノズル４６６の数や間隔（ノズル４６６を１個また
は数個おきに使用して画素のピッチに調節することもで
きる）を適宜設定することにより、サイズや画素のピッ
チや配列の異なったカラーフィルタ１に対してもフィル
タエレメント材料１３を吐出する領域に対応させること
が可能となり、汎用性を向上できる。
【０２１３】そして、複数のインクジェットヘッド４２
１として実質的に同一形状のものを用いることにより、
１種類のインクジェットヘッド４２１でも、適宜配列さ
せることで液状体を吐出する領域に対応させることが可
能となり、構成が簡略化し、製造性を向上でき、コスト
も低減できる。
【０２１４】また、ノズル４６６が略等間隔で直線上に
配設したインクジェットヘッド４２１を用いることによ
り、例えばストライプ型やモザイク型、デルタ型など、
所定の規則性を有した構成を描画することが容易にでき
る。
【０２１５】そして、マザー基板１２の表面に沿って相
対的に移動される主走査方向に対してノズル４６６の略
直線上の配設方向が交差する傾斜した状態の方向に沿う
ように、複数のインクジェットヘッド４２１をマザー基
板１２の表面に沿って相対的に移動させるので、複数の
インクジェットヘッド４２１のノズル４６６の配列方向
がマザー基板１２の表面に沿って移動される方向である
主走査方向に対して傾斜する状態となる。このため、フ
ィルタエレメント材料１３の吐出される間隔であるピッ
チがノズル間のピッチより狭くなり、例えばフィルタエ
レメント材料１３が吐出されたマザー基板１２を液晶パ
ネルなどの電気光学装置である表示装置などに利用した
場合、より詳細な表示形態が得られ、良好な表示装置を
得ることができる。さらに、隣り合うインクジェットヘ
ッド４２１の干渉を防止することが可能となり、容易に
小型化を図ることができる。そして、この傾斜角を適宜
設定することにより、描画のドットピッチが適宜設定さ
れ、汎用性を向上できる。
【０２１６】さらに、ノズル４６６が略等間隔で直線上
に配設されたインクジェットヘッド４２１の構成におい
て、長手矩形状のインクジェットヘッド４２１に長手方
向に沿ってノズル４６６を略等間隔で直線上に設けたの
で、インクジェットヘッド４２１が小型化し、例えば隣
接するインクジェットヘッド４２１同士や他の部位との
干渉を防止でき、容易に小型化できる。
【０２１７】また、ノズル４６６の配設方向がそれぞれ
略平行となる状態で複数のインクジェットヘッド４２１
をキャリッジ４２６に配設してヘッドユニット４２０を
構成したので、長手の特別なインクジェットヘッドを用
いることなく容易に１つの領域に同一の液状体の複数の
吐出領域を形成できる。さらに、１つの箇所に異なるイ
ンクジェットヘッド４２１からフィルタエレメント材料
１３を重ねて吐出させることが可能となり、吐出領域で
の吐出量を容易に平均化でき、安定した良好な描画を得
ることができる。
【０２１８】そして、複数のインクジェットヘッド４２
１をそれぞれ主走査方向Ｘに対して交差する方向に傾斜
させ、かつ全てのノズル４６６の配置方向が互いに平行
になるようにインクジェットヘッド４２１の長手方向と
は異なる方向に並べて配置したため、長尺な寸法を有す
る特別なインクジェットヘッドを製造することなく容易
に吐出領域を拡大できる。さらに、ノズル４６６の配列
方向が走査方向に対して交差する方向に傾斜する状態と
することにより、上述したように、隣り合うインクジェ
ットヘッド４２１が干渉することなく、フィルタエレメ
ント材料１３の吐出される間隔であるピッチがノズル４
６６間のピッチより狭くなり、例えばフィルタエレメン
ト材料１３が吐出されたマザー基板１２を表示装置など
に利用した場合、より詳細な表示形態が得られる。そし
て、この傾斜角を適宜設定することにより、描画のドッ
トピッチが適宜設定され、汎用性を向上できる。
【０２１９】また、複数のインクジェットヘッド４２１
を複数列例えば２列で略千鳥状に配設したため、長手の
特別なインクジェットヘッド４２１を用いることなく、
既製品のインクジェットヘッド４２１を用いても、隣り
合うインクジェットヘッド４２１が干渉せずにインクジ
ェットヘッド４２１間でフィルタエレメント材料１３が
吐出されない領域を生じることがなく、連続的なフィル
タエレメント材料１３の良好な吐出、すなわち連続した
描画ができる。
【０２２０】そして、流動性を有した液状体である例え
ばインクであるフィルタエレメント材料１３を吐出する
ノズル４６６が一面に複数設けられたインクジェットヘ
ッド４２１を、インクジェットヘッド４２１のノズル４
６６が設けられた一面が被吐出物としてのマザー基板１
２の表面に所定の間隙を介して対向する状態でマザー基
板１２の表面に沿って相対的に移動させ、この相対的な
移動方向に沿った直線上に位置する複数、例えば２つの
ノズル４６６からフィルタエレメント材料１３を吐出さ
せる。このため、異なる２つのノズル４６６から重ねて
フィルタエレメント材料１３を吐出する構成が得られ、
仮に複数のノズル４６６間において吐出量にバラツキが
存在する場合でも、吐出されたフィルタエレメント材料
１３の吐出量が平均化されてバラツキを防止でき、平面
的に均一な吐出が得られ、平面的に品質の均一な良好な
特性の電気光学装置を得ることができる。
【０２２１】また、フィルタエレメント材料１３を吐出
するノズル４６６が一面に複数略直線上に設けられたイ
ンクジェットヘッド４２１を、これらインクジェットヘ
ッド４２１のノズル４６６が設けられた一面が被吐出物
としてのマザー基板１２の表面に所定の間隙を介して対
向する状態でマザー基板１２の表面に沿って相対的に移
動させ、インクジェットヘッド４２１の各ノズル４６６
のうちこれらノズル４６６の配設方向の両端部の所定領
域Ｘに位置する例えば両側１０個のノズル４６６からは
吐出させることなく所定領域Ｘ以外の中間部分に位置す
るノズル４６６からマザー基板１２の表面にフィルタエ
レメント材料１３を吐出する。この構成により、吐出量
が特に多くなるノズル４６６の配設方向の両端部に位置
する所定領域である両端１０個ずつのノズル４６６から
はを吐出させず、吐出量が比較的一様な中間部分のノズ
ル４６６を用いてフィルタエレメント材料１３を吐出さ
せるので、マザー基板１２の表面に平面的に均一に吐出
でき、平面的に品質が均一なカラーフィルタ１が得ら
れ、このカラーフィルタ１を用いた電気光学装置である
表示装置にて良好な表示が得られる。
【０２２２】そして、フィルタエレメント材料１３の吐
出量の平均値より１割以上多い吐出量となるノズル４６
６からは吐出させないので、特にカラーフィルタ１のフ
ィルタエレメント材料１３やＥＬ発光材料、荷電粒子を
含有した電気泳動装置用などの機能性液状体を液状体と
して用いる場合でも、特性にバラツキが生じず、液晶装
置やＥＬ装置などの電気光学装置として良好な特性を確
実に得ることができる。
【０２２３】また、各ノズル４６６から吐出量の平均値
に対して±１割以内でフィルタエレメント材料１３が吐
出されるので、吐出量が比較的一様となり、マザー基板
１２の表面に平面的に均一に吐出され、良好な特性の電
気光学装置が得られる。
【０２２４】さらに、ドット抜け検出ユニット４８７を
設け、ノズル４６６からのフィルタエレメント材料１３
の吐出を検出するため、フィルタエレメント材料１３の
吐出むらを防止でき、確実で良好な液状体の吐出である
描画を得ることができる。
【０２２５】そして、ドット抜け検出ユニット４８７に
光センサを設け、この光センサにてフィルタエレメント
材料１３の吐出方向に対して交差する方向でフィルタエ
レメント材料１３の通過を検出するので、フィルタエレ
メント材料１３を吐出する工程中でも、簡単な構成で確
実なフィルタエレメント材料１３の吐出状態を認識で
き、フィルタエレメント材料１３の吐出むらを防止で
き、確実で良好なフィルタエレメント材料１３の吐出で
ある描画を得ることができる。
【０２２６】さらに、ノズル４６６からマザー基板１２
にフィルタエレメント材料１３を吐出する工程の前後
で、ドット抜け検出ユニット４８７によりフィルタエレ
メント材料１３の吐出の吐出を検出するため、フィルタ
エレメント材料１３の吐出の吐出直前および直後の吐出
状態を検出でき、フィルタエレメント材料１３の吐出の
吐出状態を確実に認識でき、ドット抜けを確実に防止し
て良好な描画を得ることができる。なお、吐出する構成
の前あるいは後のいずれか一方の時点で行うのみでもよ
い。
【０２２７】また、ヘッドユニット４２０の主走査方向
側にドット抜け検出ユニット４８７を配設するため、フ
ィルタエレメント材料１３の吐出の吐出状態の検出のた
めにヘッドユニット４２０を移動させる距離が短く、か
つ吐出のための主走査方向への移動をそのまま継続させ
る簡単な構成ででき、ドット抜けの検出を効率よく簡単
な構成でできる。
【０２２８】そして、インクジェットヘッド４２１を２
列に点対称で配設したため、フィルタエレメント材料１
３の吐出を供給する供給管４７８をヘッドユニット４２
０の近傍までまとめることができ、装置の組立や保守管
理などが容易にできる。さらに、インクジェットヘッド
４２１を制御するための電気配線４４２の配線がヘッド
ユニット４２０の両側からとなり、配線による電気ノイ
ズの影響を防止でき、良好で安定した描画を得ることが
できる。
【０２２９】さらに、複数のインクジェットヘッド４２
１を短冊状のプリント基板４３５の一端側に配設し、他
端側にコネクタ４４１を設けたため、複数直線上に配設
してもコネクタ４４１が干渉することなく配設でき、小
型化ができるとともに、主走査方向でのノズル４６６が
存在しない位置が形成されることがなく、連続したノズ
ル４６６の配列を得ることができ、長い寸法の特別なイ
ンクジェットヘッドを用いる必要がない。
【０２３０】そして、コネクタ４４１が反対側に位置す
るように点対称で配設したため、コネクタ４４１部分で
の電気ノイズの影響を防止でき、良好で安定した描画を
得ることができる。
【０２３１】なお、これらの実施形態における作用効果
は、上記各実施形態で同様の構成を有していれば、対応
する同様の作用効果を奏する。
【０２３２】（ＥＬ素子を用いた電気光学装置の製造方
法に関する実施形態）次に、本発明の電気光学装置の製
造方法について図面を参照して説明する。なお、電気光
学装置として、ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリ
ックス型の表示装置について説明する。なお、この表示
装置の製造方法の説明に先立って、製造される表示装置
の構成について説明する。
【０２３３】〔表示装置の構成〕図３５は、本発明の電
気光学装置の製造装置における有機ＥＬ装置の一部を示
す回路図である。図３６は、表示装置の画素領域の平面
構造を示す拡大平面図である。
【０２３４】すなわち、図３５において、５０１はＥＬ
装置であるＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリック
ス型の表示装置で、この表示装置５０１は、基板である
透明の表示基板５０２上に、複数の走査線５０３と、こ
れら走査線５０３に対して交差する方向に延びる複数の
信号線５０４と、これら信号線５０４に並列に延びる複
数の共通給電線５０５とがそれぞれ配線された構成を有
している。そして、走査線５０３と信号線５０４との各
交点には、画素領域５０１Ａが設けられている。
【０２３５】信号線５０４に対しては、シフトレジス
タ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを
有したデータ側駆動回路５０７が設けられている。ま
た、走査線５０３に対しては、シフトレジスタおよびレ
ベルシフタを有した走査側駆動回路５０８が設けられて
いる。そして、画素領域５０１Ａのそれぞれには、走査
線５０３を介して走査信号がゲート電極に供給されるス
イッチング薄膜トランジスタ５０９と、このスイッチン
グ薄膜トランジスタ５０９を介して信号線５０４から供
給される画像信号を蓄積して保持する蓄積容量ｃａｐ
と、この蓄積容量ｃａｐによって保持された画像信号が
ゲート電極に供給されるカレント薄膜トランジスタ５１
０と、このカレント薄膜トランジスタ５１０を介して共
通給電線５０５に電気的に接続したときに共通給電線５
０５から駆動電流が流れ込む画素電極５１１と、この画
素電極５１１および反射電極５１２間に挟み込まれる発
光素子５１３とが設けられている。
【０２３６】この構成により、走査線５０３が駆動され
てスイッチング薄膜トランジスタ５０９がオンすると、
その時の信号線５０４の電位が蓄積容量ｃａｐに保持さ
れる。この蓄積容量ｃａｐの状態に応じて、カレント薄
膜トランジスタ５１０のオン・オフ状態が決まる。そし
て、カレント薄膜トランジスタ５１０のチャネルを介し
て、共通給電線５０５から画素電極５１１に電流が流
れ、さらに発光素子５１３を通じて反射電極５１２に電
流が流れる。このことにより、発光素子５１３は、これ
を流れる電流量に応じて発光する。
【０２３７】ここで、画素領域５０１Ａは、反射電極５
１２や発光素子５１３を取り除いた状態の拡大平面図で
ある図３６に示すように、平面状態が長方形の画素電極
５１１の４辺が、信号線５０４、共通給電線５０５、走
査線５０３および図示しない他の画素電極５１１用の走
査線５０３によって囲まれた配置となっている。
【０２３８】〔表示装置の製造工程〕次に、上記ＥＬ表
示素子を用いたアクティブマトリックス型の表示装置を
製造する製造工程の手順について説明する。図３７ない
し図３９は、ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリッ
クス型の表示装置の製造工程の手順を示す製造工程断面
図である。
【０２３９】（前処理）まず、図３７（Ａ）に示すよう
に、透明の表示基板５０２に対して、必要に応じて、テ
トラエトキシシラン（tetraethoxysilane：ＴＥＯＳ）
や酸素ガスなどを原料ガスとしてプラズマＣＶＤ（Chem
ical VaporDeposition）法により、厚さ寸法が約２００
０〜５０００オングストロームのシリコン酸化膜である
図示しない下地保護膜を形成する。次に、表示基板５０
２の温度を約３５０℃に設定し、下地保護膜の表面にプ
ラズマＣＶＤ法により厚さ寸法が約３００〜７００オン
グストロームの非晶質のシリコン膜である半導体膜５２
０ａを形成する。この後、半導体膜５２０ａに対して、
レーザアニールまたは固相成長法などの結晶化工程を実
施し、半導体膜５２０ａをポリシリコン膜に結晶化す
る。ここで、レーザアニール法では、例えばエキシマレ
ーザでビームの長寸が約４００ｎｍのラインビームを用
い、出力強度が約２００ｍＪ／ｃｍ2である。ラインビ
ームについては、その短寸方向におけるレーザ強度のピ
ーク値の約９０％に相当する部分が各領域毎に重なるよ
うにラインビームが走査される。
【０２４０】そして、図３７（Ｂ）に示すように、半導
体膜５２０ａをパターニングして島状の半導体膜５２０
ｂを形成する。この半導体膜５２０ｂが設けられた表示
基板５０２の表面に、ＴＥＯＳや酸素ガスなどを原料ガ
スとしてプラズマＣＶＤ法により厚さ寸法が約６００〜
１５００オングストロームのシリコン酸化膜あるいは窒
化膜であるゲート絶縁膜５２１ａを形成する。なお、半
導体膜５２０ｂは、カレント薄膜トランジスタ５１０の
チャネル領域およびソース・ドレイン領域となるもので
あるが、異なる断面位置においてはスイッチング薄膜ト
ランジスタ５０９のチャネル領域およびソース・ドレイ
ン領域となる図示しない半導体膜も形成されている。す
なわち、図３７ないし図３９に示す製造工程では二種類
のスイッチング薄膜トランジスタ５０９およびカレント
薄膜トランジスタ５１０が同時に形成されるが、同じ手
順で形成されるため、以下の説明では、カレント薄膜ト
ランジスタ５１０についてのみ説明し、スイッチング薄
膜トランジスタ５０９については説明を省略する。
【０２４１】この後、図３７（Ｃ）に示すように、アル
ミニウム、タンタル、モリブデン、チタン、タングステ
ンなどの金属膜である導電膜をスパッタ法により形成し
た後にパターニングし、図３６にも示すゲート電極５１
０Ａを形成する。この状態で、高温度のリンイオンを打
ち込み、半導体膜５２０ｂにゲート電極５１０Ａに対し
て自己整合的にソース・ドレイン領域５１０ａ，５１０
ｂを形成する。なお、不純物が導入されなかった部分が
チャネル領域５１０ｃとなる。
【０２４２】次に、図３７（Ｄ）に示すように、層間絶
縁膜５２２を形成した後、コンタクトホール５２３，５
２４を形成し、これらコンタクトホール５２３，５２４
内に中継電極５２６，５２７を埋め込み形成する。
【０２４３】さらに、図３７（Ｅ）に示すように、層間
絶縁膜５２２上に、信号線５０４、共通給電線５０５お
よび走査線５０３（図３７中には図示しない）を形成す
る。このとき、信号線５０４、共通給電線５０５および
走査線５０３の各配線は、配線として必要な厚さ寸法に
とらわれることなく、十分に厚く形成する。具体的に
は、各配線を例えば１〜２μｍ程度の厚さ寸法に形成す
るとよい。ここで、中継電極５２７と各配線とは、同一
工程で形成されていてもよい。このとき、中継電極５２
６は、後述するＩＴＯ膜により形成される。
【０２４４】そして、各配線の上面を覆うように層間絶
縁膜５３０を形成し、中継電極５２６に対応する位置に
コンタクトホール５３２を形成する。このコンタクトホ
ール５３２内を埋めるようにＩＴＯ膜を形成し、このＩ
ＴＯ膜をパターニングして、信号線５０４、共通給電線
５０５および走査線５０３に囲まれた所定位置に、ソー
ス・ドレイン領域５１０ａに電気的に接続する画素電極
５１１を形成する。
【０２４５】ここで、図３７（Ｅ）では、信号線５０４
および共通給電線５０５に挟まれた部分が、光学材料が
選択的に配置される所定位置に相当するものである。そ
して、その所定位置とその周囲との間には、信号線５０
４や共通給電線５０５によって段差５３５が形成され
る。具体的には、所定位置の方がその周囲よりも低く、
凹型の段差５３５が形成される。
【０２４６】（ＥＬ発光材料の吐出）次に、上述の前処
理が実施された表示基板５０２にインクジェット方式に
より、機能性液状体であるＥＬ発光材料を吐出する。す
なわち、図３８（Ａ）に示すように、前処理が実施され
た表示基板５０２の上面を上方に向けた状態で、発光素
子１４０の下層部分に当たる正孔注入層５１３Ａを形成
するための機能性液状体としての溶媒に溶かされた溶液
状の前駆体である光学材料５４０Ａを、インクジェット
方式すなわち上述した各実施の形態の装置を用いて吐出
し、段差５３５で囲まれた所定位置の領域内に選択的に
塗布する。
【０２４７】この吐出する正孔注入層５１３Ａを形成す
るための光学材料５４０Ａとしては、ポリマー前駆体が
ポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフ
ェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ，Ｎ−ジト
リルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒ
ドロキシキノリノール）アルミニウムなどが用いられ
る。
【０２４８】なお、この吐出の際、流動性を有した液状
体の光学材料５４０Ａは、上述した各実施の形態の隔壁
にフィルタエレメント材料１３を吐出する場合と同様
に、流動性が高いので、平面方向に広がろうとするが、
塗布された位置を取り囲むように段差５３５が形成され
ているため、光学材料５４０Ａの１回当たりの吐出量を
極端に大量にしなければ、光学材料５４０Ａは段差５３
５を越えて所定位置の外側に広がることは防止される。
【０２４９】そして、図３８（Ｂ）に示すように、加熱
あるいは光照射などにより液状の光学材料５４０Ａの溶
媒を蒸発させ、画素電極５１１上に固形の薄い正孔注入
層５１３Ａを形成する。この図３８（Ａ），（Ｂ）を必
要回数繰り返し、図３８（Ｃ）に示すように、十分な厚
さ寸法の正孔注入層５１３Ａを形成する。
【０２５０】次に、図３９（Ａ）に示すように、表示基
板５０２の上面を上に向けた状態で、発光素子５１３の
上層部分に有機半導体膜５１３Ｂを形成するための機能
性液状体としての溶媒に溶かされた溶液状の有機蛍光材
料である光学材料５４０Ｂを、インクジェット方式すな
わち上述した各実施の形態の装置を用いて吐出し、これ
を段差５３５で囲まれた所定位置である領域内に選択的
に塗布する。なお、この光学材料５４０Ｂについても、
上述したように、光学材料５４０Ａの吐出と同様に、段
差５３５を越えて所定位置の外側に広がることは防止さ
れる。
【０２５１】この吐出する有機半導体膜５１３Ｂを形成
するための光学材料５４０Ｂとしては、シアノポリフェ
ニレンビニレン、ポリフェニレンビニレン、ポリアルキ
ルフェニレン、２，３，６，７−テトラヒドロ−１１−
オキソ−１Ｈ・５Ｈ・１１Ｈ（１）ペンゾビラノ［６，
７，８−ｉｊ］−キノリジン−１０−カルボン酸、１，
１−ビス−（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シ
クロヘキサン、２−１３・４'−ジヒドロキシフェニ
ル）−３，５，７−トリヒドロキシー１―ベンゾピリリ
ウムパークロレート、トリス（８−ヒドロキシキノリノ
ール）アルミニウム、２，３・６・７−テトラヒドロ−
９−メチル−１１−オキソ−１Ｈ・５Ｈ・１１Ｈ（１）
ベンゾピラノ［６，７，８−ｉｊ］−キノリジン、アロ
マティックジアミン誘導体（ＴＤＰ）、オキシジアゾー
ルダイマ（ＯＸＤ）、オキシジアゾール誘導体（ＰＢ
Ｄ）、ジスチルアリーレン誘導体（ＤＳＡ）、キノリノ
ール系金属錯体、ベリリウムーベンゾキノリノール錯体
（Ｂｅｂｑ）、トリフェニルアミン誘導体（ＭＴＤＡＴ
Ａ）、ジスチリル誘導体、ピラゾリンダイマ、ルブレ
ン、キナクリドン、トリアゾール誘導体、ポリフェニレ
ン、ポリアルキルフルオレン、ポリアルキルチオフェ
ン、アゾメチン亜鉛錯体、ポリフイリン亜鉛錯体、ベン
ゾオキサゾール亜鉛錯体、フェナントロリンユウロピウ
ム錯体などが用いられる。
【０２５２】次に、図３９（Ｂ）に示すように、加熱あ
るいは光照射などにより、光学材料５４０Ｂの溶媒を蒸
発させ、正孔注入層５１３Ａ上に、固形の薄い有機半導
体膜５１３Ｂを形成する。この図３９（Ａ），（Ｂ）を
必要回数繰り返し、図３９（Ｃ）に示すように、十分な
厚さ寸法の有機半導体膜５１３Ｂを形成する。正孔注入
層５１３Ａおよび有機半導体膜５１３Ｂによって、発光
素子５１３が構成される。最後に、図３９（Ｄ）に示す
ように、表示基板５０２の表面全体、若しくはストライ
プ状に反射電極５１２を形成し、表示装置５０１を製造
する。
【０２５３】この図３５ないし図３９に示す実施の形態
においても、上述した各実施の形態と同様のインクジェ
ット方式を実施することにより、同様の作用効果を享受
できる。さらに、機能性液状体を選択的に塗布する際
に、それらが周囲に流れ出ることを防止でき、高精度に
パターニングできる。
【０２５４】なお、この図３５ないし図３９の実施の形
態において、カラー表示を念頭においたＥＬ表示素子を
用いたアクティブマトリックス型の表示装置について説
明したが、例えば図４０に示すように、図３５ないし図
３９に示す構成を単色表示の表示装置に適用してもでき
る。
【０２５５】すなわち、有機半導体膜５１３Ｂは、表示
基板５０２の全面に一様に形成してもよい。ただし、こ
の場合でも、クロストークを防止するために、正孔注入
層５１３Ａは各所定位置毎に選択的に配置しなければな
らないため、段差１１１を利用した塗布が極めて有効で
ある。なお、この図４０において、図３５ないし図３９
に示す実施の形態と同一の構成については、同一の符号
を付す。
【０２５６】また、ＥＬ表示素子を用いた表示装置とし
ては、アクティブマトリックス型に限らず、例えば図４
１に示すようなパッシブマトリックス型の表示装置とし
てもできる。図４１は本発明の電気光学装置の製造装置
におけるＥＬ装置であり、図４１（Ａ）は複数の第１の
バス配線５５０と、これに直交する方向に配設された複
数の第２のバス配線５６０と、の配置関係を示す平面図
で、図４１（Ｂ）は同（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
この図４１において、図３５ないし図３９に示す実施の
形態と同様の構成には、同じ符号を付して重複する説明
は省略する。また、細かな製造工程なども図３５ないし
図３９に示す実施の形態と同様であるため、その図示お
よび説明は省略する。
【０２５７】この図４１に示す実施の形態の表示装置
は、発光素子５１３が配置される所定位置を取り囲むよ
うに、例えばＳｉＯ2などの絶縁膜５７０が配設され、
これにより、所定位置とその周囲との間に段差５３５を
形成したものである。このため、機能性液状体を選択的
に塗布する際に、それらが周囲に流れ出ることを防止で
き、高精度にパターニングできる。
【０２５８】さらに、アクティブマトリックス型の表示
装置としては、図３５ないし図３９に示す実施の形態の
構成に限られない。すなわち、例えば図４２に示すよう
な構成、図４３に示すような構成、図４４に示すような
構成、図４５に示すような構成、図４６に示すような構
成、あるいは図４７に示すような構成など、いずれの構
成のものでもできる。
【０２５９】図４２に示す表示装置は、画素電極５１１
を利用して段差５３５を形成することにより、高精度に
パターニングできるようにしたものである。図４２は、
表示装置を製造する製造工程の途中の段階における断面
図であり、その前後の段階は上記図３５ないし図３９に
示す実施の形態と略同様であるため、その図示および説
明は省略する。
【０２６０】この図４２に示す表示装置では、画素電極
５１１を通常よりも厚く形成し、これにより、その周囲
と間に段差５３５を形成している。つまり、この図４２
に示す表示装置では、後に光学材料が塗布される画素電
極５１１の方がその周囲よりも高くなっている凸型の段
差が形成されている。そして、上記図３５ないし図３９
に示す実施の形態と同様に、インクジェット方式によ
り、発光素子５１３の下層部分に当たる正孔注入層５１
３Ａを形成するための前駆体である光学材料５４０Ａを
吐出し、画素電極５１１の上面に塗布する。
【０２６１】ただし、上記図３５ないし図３９に示す実
施の形態の場合とは異なり、表示基板５０２を上下逆に
した状態、つまり光学材料５４０Ａが塗布される画素電
極５１１の上面を下方に向けた状態で、光学材料５４０
Ａを吐出して塗布する。このことにより、光学材料５４
０Ａは、重力と表面張力とによって、画素電極５１１の
上面（図４２中で下面）に溜まり、その周囲には広がら
ない。よって、加熱や光照射などにより固形化すれば、
図３８（Ｂ）と同様の薄い正孔注入層５１３Ａを形成で
き、これを繰り返せば正孔注入層５１３Ａが形成され
る。同様の手法で、有機半導体膜５１３Ｂも形成され
る。このため、凸型の段差を利用して高精度にパターニ
ングできる。なお、重力と表面張力とに限らず、遠心力
などの慣性力を利用して光学材料５４０Ａ，５４０Ｂの
量を調整してもよい。
【０２６２】図４３に示す表示装置も、アクティブマト
リックス型の表示装置である。図４３は、表示装置を製
造する製造工程の途中の段階における断面図であり、こ
の前後の段階では、図３５ないし図３９に示す実施の形
態と同様で、その図示および説明は省略する。
【０２６３】この図４３に示す表示装置では、まず、表
示基板５０２上に反射電極５１２を形成し、この反射電
極５１２上に後に発光素子５１３が配置される所定位置
を取り囲むように絶縁膜５７０を形成し、これにより所
定位置の方がその周囲よりも低くなっている凹型の段差
５３５を形成する。
【０２６４】そして、上記図３５ないし図３９に示す実
施の形態と同様に、段差５３５で囲まれた領域内に、イ
ンクジェット方式により機能性液状体である光学材料５
４０Ａ，５４０Ｂを選択的に吐出して塗布することによ
り、発光素子５１３を形成する。
【０２６５】一方、剥離用基板５８０上に、剥離層５８
１を介して、走査線５０３、信号線５０４、画素電極５
１１、スイッチング薄膜トランジスタ５０９、カレント
薄膜トランジスタ５１０および層間絶縁膜５３０を形成
する。最後に、表示基板５０２上に、剥離用基板５８０
上の剥離層５８１から剥離された構造を転写するもので
ある。
【０２６６】この図４３の実施の形態では、走査線５０
３、信号線５０４、画素電極５１１、スイッチング薄膜
トランジスタ５０９、カレント薄膜トランジスタ５１０
および層間絶縁膜５３０への光学材料５４０Ａ，５４０
Ｂの塗布形成によるダメージの軽減が図れる。なお、パ
ッシブマトリックス型の表示素子にも適用できる。
【０２６７】図４４に示す表示装置も、アクティブマト
リックス型の表示装置である。図４４は、表示装置を製
造する製造工程の途中の段階における断面図であり、こ
の前後の段階では、図３５ないし図３９に示す実施の形
態と同様で、その図示および説明は省略する。
【０２６８】この図４４に示す表示装置では、層間絶縁
膜５３０を利用して凹型の段差５３５を形成するもので
ある。このため、特に新たな工程が増加することなく、
層間絶縁膜５３０を利用でき、製造工程の大幅な複雑化
などを防止できる。なお、層間絶縁膜５３０をＳｉＯ2
で形成するとともに、その表面に紫外線やＯ2、ＣＦ3、
Ａｒなどのプラズマなどを照射し、その後に、画素電極
５１１の表面を露出させ、そして液状の光学材料５４０
Ａ，５４０Ｂを選択的に吐出して塗布してもよい。この
ことにより、層間絶縁膜５３０の表面に沿って撥液性の
強い分布が形成され、光学材料５４０Ａ，５４０Ｂが段
差５３５と層間絶縁膜５３０の撥液性との両方の作用に
よって所定位置に溜まり易くなる。
【０２６９】図４５に示す表示装置は、液状体である光
学材料５４０Ａ，５４０Ｂが塗布される所定位置の親水
性を、その周囲の親水性よりも相対的に強くすることに
より、塗布された光学材料５４０Ａ，５４０Ｂが周囲に
広がらないようにしたものである。図４５は、表示装置
を製造する製造工程の途中の段階における断面図であ
り、この前後の段階では、図３５ないし図３９に示す実
施の形態と同様で、その図示および説明は省略する。
【０２７０】この図４５に示す表示装置では、層間絶縁
膜５３０を形成した後に、その上面に非晶質シリコン層
５９０を形成する。非晶質シリコン層５９０は、画素電
極５１１を形成するＩＴＯよりも相対的に撥水性が強い
ので、ここに、画素電極５１１の表面の親水性がその周
囲の親水性よりも相対的に強い掩撥水性・親水性の分布
が形成される。そして、上記図３５ないし図３９に示す
実施の形態と同様に、画素電極５１１の上面に向けて、
インクジェット方式により液状の光学材料５４０Ａ，５
４０Ｂを選択的に吐出して塗布することにより、発光素
子５１３を形成し、最後に反射電極５１２を形成するも
のである。
【０２７１】なお、この図４５に示す実施の形態につい
ても、パッシブマトリックス型の表示素子に適用でき
る。さらに、図４３に示す実施の形態のように、剥離用
基板５８０上に剥離層５８１を介して形成された構造
を、表示基板５０２に転写する工程を含んでいてもよ
い。
【０２７２】そして、撥水性・親水性の分布は、金属
や、陽極酸化膜、ポリイミドまたは酸化シリコンなどの
絶縁膜や、他の材料により形成していてもよい。なお、
パッシブマトリックス型の表示素子であれば第１のバス
配線５５０、アクティブマトリックス型の表示素子であ
れば走査線５０３、信号線５０４、画素電極５１１、絶
縁膜５３０あるいは遮光層６ｂによって形成してもよ
い。
【０２７３】図４６に示す表示装置は、段差５３５や撥
液性・親液性の分布などを利用してパターニング精度を
向上させるのではなく、電位による引力や斥力などを利
用してパターニング精度の向上を図るものである。図４
６は、表示装置を製造する製造工程の途中の段階におけ
る断面図であり、この前後の段階では、図３５ないし図
３９に示す実施の形態と同様で、その図示および説明は
省略する。
【０２７４】この図４６に示す表示装置では、信号線５
０４や共通給電線５０５を駆動するとともに、図示しな
いトランジスタを適宜オン・オフすることにより、画素
電極５１１がマイナス電位となり、層間絶縁膜５３０が
プラス電位となる電位分布を形成する。そして、インク
ジェット方式により、プラスに帯電した液状の光学材料
５４０Ａを所定位置に選択的に吐出して塗布形成するも
のである。このことにより、光学材料５４０Ａを帯電さ
せているので、自発分極だけでなく帯電電荷も利用で
き、パターニングの精度をさらに向上できる。
【０２７５】なお、この図４６に示す実施の形態につい
ても、パッシブマトリックス型の表示素子に適用でき
る。さらに、図４３に示す実施の形態のように、剥離用
基板５８０上に剥離層５８１を介して形成された構造
を、表示基板５０２に転写する工程を含んでいてもよ
い。
【０２７６】また、画素電極５１１と、その周囲の層間
絶縁膜５３０との両方に電位を与えているが、これに限
定されるものではなく、例えば図４７に示すように、画
素電極５１１には電位を与えず、層間絶縁膜５３０にの
みプラス電位を与え、そして、液状の光学材料５４０Ａ
をプラスに帯電させてから塗布するようにしてもよい。
この図４７に示す構成によれば、塗布された後にも、液
状の光学材料５４０Ａは確実にプラスに帯電した状態を
維持できるから、周囲の層間絶縁膜５３０との間の斥力
によって、液状の光学材料５４０Ａが周囲に流れ出るこ
とをより確実に防止できる。
【０２７７】（その他の実施の形態）以上、好ましい実
施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記各
実施の形態に限定されるものではなく、以下に示すよう
な変形をも含み、本発明の目的を達成できる範囲で、他
のいずれの具体的な構造および形状に設定できる。
【０２７８】すなわち、例えば、図８および図９に示し
たカラーフィルタの製造装置では、インクジェットヘッ
ド２２を主走査方向Ｘへ移動させてマザー基板１２を主
走査し、マザー基板１２を副走査駆動装置２１によって
移動させることにより、インクジェットヘッド２２によ
ってマザー基板１２を副走査することにしたが、これと
は逆に、マザー基板１２の移動によって主走査を実行
し、インクジェットヘッド２２の移動によって副走査を
実行することもできる。さらには、インクジェットヘッ
ド２２を移動させずにマザー基板１２を移動させたり、
双方を相対的に逆方向に移動させるなど、少なくともい
ずれか一方を相対的に移動させ、インクジェットヘッド
２２がマザー基板１２の表面に沿って相対的に移動する
いずれの構成とすることができる。
【０２７９】また、上記実施の形態では、圧電素子の撓
み変形を利用してインクを吐出する構造のインクジェッ
トヘッド４２１を用いたが、他の任意の構造のインクジ
ェットヘッド、例えば加熱により発生するバブルにより
インクを吐出する方式のインクジェットヘッドなどを用
いることもできる。
【０２８０】さらに、図２２ないし図３２に示す実施の
形態において、インクジェットヘッド４２１として、ノ
ズル４６６を略等間隔で略直線上でかつ２列設けて説明
したが、２列に限らず、複数列とすることができる。ま
た、等間隔でなくてもよく、直線上に列をなして配設し
なくてもよい。
【０２８１】そして、液滴吐出装置１６，４０１が製造
に使用されるのは、カラーフィルタ１や液晶装置１０
１、ＥＬ装置２０１に限定されるものではなく、ＦＥＤ
（Field Emission Display:フィールドエミッションデ
ィスプレイ）などの電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Dis
play Panel:プラズマディスプレイパネル）、電気泳動
装置すなわち荷電粒子を含有する機能性液状体であるイ
ンクを各画素の隔壁間の凹部に吐出し、各画素を上下に
挟持するように配設される電極間に電圧を印加して荷電
粒子を一方の電極側に寄せて各画素での表示をする装
置、薄型のブラウン管、ＣＲＴ（Cathode-Ray Tube:陰
極線管）ディスプレイなど、基板（基材）を有し、その
上方の領域に所定の層を形成する工程を有する様々な電
気光学装置に用いることができる。
【０２８２】本発明の装置や方法は、電気光学装置を含
む基板（基材）を有するデバイスであって、その基板
（基材）に液滴８を吐出する工程を用いることができる
各種デバイスの製造工程において用いることができる。
例えば、プリント回路基板の電気配線を形成するため
に、液状金属や導電性材料、金属含有塗料などをインク
ジェット方式にて吐出して金属配線などをする構成、基
材上に形成される微細なマイクロレンズをインクジェッ
ト方式による吐出にて光学部材を形成する構成、基板上
に塗布するレジストを必要な部分だけに塗布するように
インクジェット方式にて吐出する構成、プラスチックな
どの透光性基板などに光を散乱させる凸部や微小白パタ
ーンなどをインクジェット方式にて吐出形成して光散乱
板を形成する構成、ＤＮＡ（deoxyribonucleic acid:デ
オキシリボ核酸）チップ上にマトリクス配列するスパイ
クスポットにＲＮＡ（ribonucleic acid:リボ核酸）を
インクジェット方式にて吐出させて蛍光標識プローブを
作製してＤＮＡチップ上でハイブリタゼーションさせる
など、基材に区画されたドット状の位置に、試料や抗
体、ＤＮＡ（deoxyribonucleic acid:デオキシリボ核
酸）などをインクジェット方式にて吐出させてバイオチ
ップを形成する構成などにも利用できる。
【０２８３】また、液晶装置１０１としても、ＴＦＴな
どのトランジスタやＴＦＤのアクティブ素子を画素に備
えたアクティブマトリクス液晶パネルなど、画素電極を
取り囲む隔壁６を形成し、この隔壁６にて形成される凹
部にインクをインクジェット方式にて吐出してカラーフ
ィルタ１を形成するような構成のもの、画素電極上にイ
ンクとして色材および導電材を混合したものをインクジ
ェット方式にて吐出して、画素電極上に形成するカラー
フィルタ１を導電性カラーフィルタとして形成する構
成、基板間のギャップを保持するためのスペーサの粒を
インクジェット方式にて吐出形成する構成など、液晶装
置１０１の電気光学系を構成するいずれの部分にも適用
可能である。
【０２８４】さらに、カラーフィルタ１に限られず、Ｅ
Ｌ装置２０１など、他のいずれの電気光学装置に適用で
き、ＥＬ装置２０１としても、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色に対応
するＥＬが帯状に形成されるストライプ型や、上述した
ように、各画素毎に発光層に流す電流を制御するトラン
ジスタを備えたアクティブマトリックス型の表示装置、
あるいはパッシブマトリックス型に適用するものなど、
いずれの構成でもできる。
【０２８５】そして、上記各実施の形態の電気光学装置
が組み込まれる電子機器としては、例えば図４８に示す
ようなパーソナルコンピュータ４９０に限らず、図４９
に示すような携帯電話４９１やＰＨＳ（Personal Handy
phoneSystem）などの携帯型電話機、電子手帳、ページ
ャ、ＰＯＳ（Point Of Sales）端末、ＩＣカード、ミニ
ディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、エンジニアリン
グ・ワークステーション（Engineering Work Station:
ＥＷＳ）、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファイン
ダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子
卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを
備えた装置、時計、ゲーム機器などの様々な電子機器に
適用できる。
【０２８６】その他、本発明の実施の際の具体的な構造
および手順は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構
造や手順などとしてもよい。例えば、図２３、図３１お
よび図３２を用いて説明した実施形態において、インク
ジェットヘッド４２１は全てが同一方向に向けて傾けて
配置されているが、２列のうちの一方は他方の列の傾き
角度から９０°回転させた方向に配置し、２列のインク
ジェットヘッド列が「ハ」の字状に互いに９０°の角度
を持って配置されていても構わないし、それぞれのイン
クジェットヘッド列において互いに隣り合うヘッド同士
が互いに９０°の角度を持って「ハ」の字状に配置され
ていても構わない。このように、本発明の趣旨に反しな
い限り、様々な変更をしても本発明の範囲に含まれるも
のである。
【０２８７】
【発明の効果】本発明によれば、液状体を吐出するノズ
ルが一面に複数設けられ互いに並べて配置された複数の
液滴吐出ヘッドを、ノズルが設けられた一面が被吐出物
の表面に所定の間隙を介して対向する状態で、被吐出物
の表面に沿って相対的に移動させ、複数の液滴吐出ヘッ
ドの各ノズルから被吐出物上に同一の液状体を吐出させ
るため、例えば同一の規格品の液滴吐出ヘッドを用い
て、広い範囲に液状体を吐出させることが可能となり、
特別な液滴吐出ヘッドを用いることなく従来の規格品を
用いることでコストの低減ができ、液滴吐出ヘッドを並
べて配列する配置方向の数を適宜設定することにより、
液状体を吐出する領域に対応させることが可能となり、
汎用性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係るカラーフィルタの製造方法の一
実施の形態の主要工程を模式的に示す平面図である。
【図２】 本発明に係るカラーフィルタの製造方法の他
の実施の形態の主要工程を模式的に示す平面図である。
【図３】 本発明に係るカラーフィルタの製造方法のさ
らに他の実施の形態の主要工程を模式的に示す平面図で
ある。
【図４】 本発明に係るカラーフィルタの製造方法のさ
らに他の実施の形態の主要工程を模式的に示す平面図で
ある。
【図５】 本発明に係るカラーフィルタの一実施の形態
およびその基礎となるマザー基板の一実施の形態を示す
平面図である。
【図６】 図５（ａ）のVI−VI線に従った断面部分を用
いてカラーフィルタの製造工程を模式的に示す図であ
る。
【図７】 カラーフィルタにおけるＲ、Ｇ、Ｂ３色の絵
素ピクセルの配列例を示す図である。
【図８】 本発明に係るカラーフィルタの製造装置、本
発明に係る液晶装置の製造装置および本発明に係るＥＬ
装置の製造装置といった各製造装置の主要部分である液
滴吐出装置の一実施の形態を示す斜視図である。
【図９】 図８の装置の主要部を拡大して示す斜視図で
ある。
【図１０】 図９の装置の主要部であるインクジェット
ヘッドを拡大して示す斜視図である。
【図１１】 インクジェットヘッドの改変例を示す斜視
図である。
【図１２】 インクジェットヘッドの内部構造を示す図
であって、（ａ）は一部破断斜視図を示し、（ｂ）は
（ａ）のＪ−Ｊ線に従った断面構造を示す。
【図１３】 インクジェットヘッドの他の改変例を示す
平面図である。
【図１４】 図８のインクジェットヘッド装置に用いら
れる電気制御系を示すブロック図である。
【図１５】 図１４の制御系によって実行される制御の
流れを示すフローチャートである。
【図１６】 インクジェットヘッドのさらに他の改変例
を示す斜視図である。
【図１７】 本発明に係る液晶装置の製造方法の一実施
の形態を示す工程図である。
【図１８】 本発明に係る液晶装置の製造方法によって
製造される液晶装置の一例を分解状態で示す斜視図であ
る。
【図１９】 図１８におけるIX−IX線に従って液晶装置
の断面構造を示す断面図である。
【図２０】 本発明に係るＥＬ装置の製造方法の一実施
の形態を示す工程図である。
【図２１】 図２０に示す工程図に対応するＥＬ装置の
断面図である。
【図２２】 本発明に係るカラーフィルタの製造装置の
液滴吐出装置の液滴吐出処理装置を示す一部を切り欠い
た斜視図である。
【図２３】 同上液滴吐出処理装置のヘッドユニットを
示す平面図である。
【図２４】 同上側面図である。
【図２５】 同上正面図である。
【図２６】 同上断面図である。
【図２７】 同上ヘッド装置を示す分解斜視図である。
【図２８】 同上インクジェットヘッドを示す分解斜視
図である。
【図２９】 同上インクジェットヘッドのフィルタエレ
メント材料を吐出する動作を説明する説明図である。
【図３０】 同上インクジェットヘッドのフィルタエレ
メント材料の吐出量を説明する説明図である。
【図３１】 同上インクジェットヘッドの配置状態を説
明する概略図である。
【図３２】 同上インクジェットヘッドの配置状態を説
明する部分的に拡大した概略図である。
【図３３】 同上カラーフィルタの製造装置により製造
されるカラーフィルタを示す模式図であって、（Ａ）は
カラーフィルタの平面図で、（Ｂ）は（Ａ）のＸ−Ｘ線
断面図である。
【図３４】 同上カラーフィルタを製造する手順を説明
する製造工程断面図である。
【図３５】 本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子
を用いた表示装置の一部を示す回路図である。
【図３６】 同上表示装置の画素領域の平面構造を示す
拡大平面図である。
【図３７】 同上表示装置の製造工程の前処理における
手順を示す製造工程断面図である。
【図３８】 同上表示装置の製造工程のＥＬ発光材料の
吐出における手順を示す製造工程断面図である。
【図３９】 同上表示装置の製造工程のＥＬ発光材料の
吐出における手順を示す製造工程断面図である。
【図４０】 本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子
を用いた表示装置の画素領域の平面構造を示す拡大断面
図である。
【図４１】 本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子
を用いた表示装置の画素領域の構造を示す拡大図であ
り、（Ａ）は平面構造で、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断
面図である。
【図４２】 本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
【図４３】 本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
【図４４】 本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
【図４５】 本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
【図４６】 本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
【図４７】 本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
【図４８】 同上電気光学装置を備えた電気機器である
パーソナルコンピュータを示す斜視図である。
【図４９】 同上電気光学装置を備えた電気機器である
携帯電話を示す斜視図である。
【図５０】 従来のカラーフィルタの製造方法の一例を
示す図である。
【図５１】 従来のカラーフィルタの特性を説明するた
めの図である。
【符号の説明】
１，１１８ カラーフィルタ ２，１０７ａ，１０７ｂ 被吐出物である基板 ３ 画素であるフィルタエレメント １２ 基板であるマザー基板 １３ 液状体としてのフィルタエレメント材料 １６ 吐出装置としてのカラーフィルタの製造装置で
ある液滴吐出装置 １９，４２５ 移動手段を構成する主走査駆動手段と
しての主走査駆動装置 ２１，４２７ 移動手段を構成する副走査駆動手段と
しての副走査駆動装置 ２５ 支持手段としての保持手段であるキャリッジ ２７，４６６ ノズル １０１ 電気光学装置である液晶装置 １０２ 電気光学装置である液晶パネル １１１ａ，１１１ｂ 被吐出物である基材 １１４ａ，１１４ｂ 電極 ２０１ 電気光学装置であるＥＬ装置 ２０２ 画素電極 ２０４ 基板である透明基板 ２１３ 対向電極 ４０５Ｒ（４０５Ｇ，４０５Ｂ） 吐出装置としての
カラーフィルタの製造装置である液滴吐出処理装置 ４２１ 液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッド ４２６ 保持手段としてのキャリッジ ５０１ 電気光学装置である表示装置 ５０２ 被吐出物としての基板である表示基板 ５４０Ａ，５４０Ｂ 機能性液状体としての光学材料 Ｌ 液晶 Ｍ フィルタエレメント材料
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｆ 1/1335 ５０５ Ｇ０９Ｆ 9/30 ３６５Ｚ ４Ｆ０４１ Ｇ０９Ｆ 9/00 ３４２ 9/35 ５Ｃ０９４ 9/30 ３４９ Ｈ０５Ｂ 33/10 ５Ｇ４３５ ３６５ 33/14 Ａ 9/35 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０１Ｚ Ｈ０５Ｂ 33/10 １０３Ａ 33/14 (72)発明者 北原 強 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 (72)発明者 片上 悟 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C056 EA24 FA04 FB01 2C057 AF93 AF99 AG14 AP73 BA04 BA14 2H048 BA02 BA11 BA55 BA64 BB02 BB41 BB42 2H091 FA02 FC12 FC21 FC29 FC30 FD04 FD14 FD24 LA03 LA12 LA15 3K007 AB18 DB03 FA01 4F041 AA02 AA05 AA06 AB01 BA13 BA21 BA38 5C094 AA03 AA43 AA44 BA03 BA27 BA31 BA43 BA75 CA19 CA24 ED03 GB10 HA02 HA03 HA07 HA08 5G435 AA17 BB05 BB06 BB12 CC09 CC12 EE12 GG12 KK05 KK10 LL04 LL07 LL08 LL09 LL10 LL15 (54)【発明の名称】 吐出方法およびその装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装置、カラーフィルタ、 その製造方法およびその製造装置、ならびに基材を有するデバイス、その製造方法およびその製 造装置

Claims (57)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 流動性を有した液状体を被吐出物上に吐
    出する複数のノズルが配列するように設けられた液滴吐
    出ヘッドと、 この液滴吐出ヘッドの前記ノズルが設けられた一面を前
    記被吐出物の表面に間隙を介して対向させて同一の前記
    液状体を吐出する前記液滴吐出ヘッドを複数並べて配置
    する保持手段と、 この保持手段および前記被吐出物のうちの少なくともい
    ずれか一方を前記液滴吐出ヘッドが前記被吐出物の表面
    に沿う状態で相対的に移動させる移動手段と、 を具備し、 前記各液滴吐出ヘッドに設けられたノズル列は、前記被
    吐出物に対して相対的に移動される方向と斜めに交差す
    る方向にそれぞれ配列されたことを特徴とした吐出装
    置。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載の吐出装置において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記被吐出物に対して相
    対的に移動される方向と斜めに交差する第２の方向に並
    べて配置されたことを特徴とした吐出装置。
  3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の吐出装置にお
    いて、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、実質的に同一形状である
    ことを特徴とした吐出装置。
  4. 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の吐
    出装置において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、同一個数のノズルを有す
    ることを特徴とした吐出装置。
  5. 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかに記載の吐
    出装置において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、ノズルの形成位置が互い
    に同一であることを特徴とした吐出装置。
  6. 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれかに記載の吐
    出装置において、 前記複数の液滴吐出ヘッドの各々は、ノズルが略等間隔
    で列を形成して配設されたことを特徴とした吐出装置。
  7. 【請求項７】 請求項１ないし６のいずれかに記載の吐
    出装置において、 前記液滴吐出ヘッドは、ノズルの配設方向に沿って略長
    手矩形状に形成されたことを特徴とした吐出装置。
  8. 【請求項８】 請求項１ないし７のいずれかに記載の吐
    出装置において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、ノズルの配設方向がそれ
    ぞれ略平行となる状態で、前記被吐出物に対して相対的
    に移動される方向と斜めに交差する第２の方向に向けて
    互いに並べて配置されたことを特徴とした吐出装置。
  9. 【請求項９】 請求項１ないし８のいずれかに記載の吐
    出装置において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記ノズル列が前記被吐
    出物に対して相対的に移動される方向と斜めに交差する
    方向に配列され、かつ前記複数の液滴吐出ヘッドのノズ
    ル列が互いに平行となるように配列されたことを特徴と
    した吐出装置。
  10. 【請求項１０】 請求項１ないし９のいずれかに記載の
    吐出装置において、 互いに隣り合う前記液滴吐出ヘッドは、前記被吐出物に
    対して相対的に移動される方向に、その一部が重複する
    ように配置されることを特徴とした吐出装置。
  11. 【請求項１１】 請求項１ないし１０のいずれかに記載
    の吐出装置において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、複数列で略千鳥状に互い
    に並べて配置されたことを特徴とした吐出装置。
  12. 【請求項１２】 請求項１ないし１１のいずれかに記載
    の吐出装置において、 前記ノズルから吐出する液状体を検出する吐出検出手段
    を具備したことを特徴とした吐出装置。
  13. 【請求項１３】 請求項１２に記載の吐出装置におい
    て、 前記吐出検出手段は、ノズルから被吐出物に液状体を吐
    出する工程の前後における工程のうちの少なくともいず
    れか一方で前記液状体の吐出を検出することを特徴とし
    た吐出装置。
  14. 【請求項１４】 請求項１ないし１３のいずれかに記載
    の吐出装置を備える電気光学装置の製造装置において、 前記被吐出物はＥＬ発光層が形成される基板であって、
    前記複数の液滴吐出ヘッドを基板に対して相対的に移動
    させつつ、基板上に前記複数の液滴吐出ヘッドにおける
    所定のノズルからＥＬ発光材料を含有する液状体を吐出
    させ、前記基板上にＥＬ発光層を形成することを特徴と
    した電気光学装置の製造装置。
  15. 【請求項１５】 請求項１ないし１３のいずれかに記載
    の吐出装置を備える電気光学装置の製造装置であって、 前記被吐出物は液晶を挟持する一対の基板の一方であっ
    て、前記複数の液滴吐出ヘッドを基板に対して相対的に
    移動させつつ、基板上に前記複数の液滴吐出吐出ヘッド
    における所定のノズルからカラーフィルタ材料を含有す
    る液状体を吐出させ、前記基板上にカラーフィルタを形
    成することを特徴とした電気光学装置の製造装置。
  16. 【請求項１６】 請求項１ないし１３のいずれかに記載
    の吐出装置を備えるカラーフィルタの製造装置であっ
    て、 前記被吐出物は異なる色を呈するカラーフィルタが形成
    される基板であって、前記複数の液滴吐出ヘッドを基板
    に対して相対的に移動させつつ、基板上に前記複数の液
    滴吐出吐出ヘッドにおける所定のノズルからカラーフィ
    ルタ材料を含有する液状体を吐出させ、前記基板上にカ
    ラーフィルタを形成することを特徴としたカラーフィル
    タの製造装置。
  17. 【請求項１７】 電極が複数設けられた基板と、この基
    板上に前記電極に対応して複数設けられたＥＬ発光層と
    を備えた電気光学装置であって、 前記ＥＬ発光層は、ＥＬ発光材料を含有する液状体を吐
    出する複数のノズルを有しかつ複数のノズルが前記基板
    に対して相対的に移動される方向と斜めに交差する方向
    に配列するように互いに並べて配置された複数の液滴吐
    出ヘッドが、前記ノズルを有する一面を前記基板の表面
    に間隙を介して対向する状態でこの基板の表面に沿って
    相対的に移動されつつ、前記ノズルから前記液状体が前
    記基板上の所定の位置に適宜吐出されて形成されたこと
    を特徴とした電気光学装置。
  18. 【請求項１８】 基板と、この基板上に形成された異な
    る色のカラーフィルタを備えた電気光学装置であって、 前記カラーフィルタは、所定の色のフィルタ材料を含有
    する液状体を吐出する複数のノズルを有しかつ複数のノ
    ズルが前記基板に対して相対的に移動される方向と斜め
    に交差する方向に配列するように互いに並べて配置され
    た複数の液滴吐出ヘッドが、前記ノズルを有する一面を
    前記基板の表面に間隙を介して対向する状態でこの基板
    の表面に沿って相対的に移動されつつ、前記ノズルから
    前記液状体が前記基板上の所定の位置に適宜吐出されて
    形成されたことを特徴とした電気光学装置。
  19. 【請求項１９】 基板上に異なる色を呈するように形成
    されたカラーフィルタであって、 所定の色のフィルタ材料を含有する液状体を吐出する複
    数のノズルを有しかつ複数のノズルが前記基板に対して
    相対的に移動される方向と斜めに交差する方向に配列す
    るように互いに並べて配置された複数の液滴吐出ノズル
    ヘッドが、前記ノズルを有する一面を前記基板の表面に
    間隙を介して対向する状態でこの基板の表面に沿って相
    対的に移動されつつ、前記ノズルから前記液状体が前記
    基板上の所定の位置に適宜吐出されて形成されたことを
    特徴としたカラーフィルタ。
  20. 【請求項２０】 流動性を有した液状体を吐出する複数
    のノズルを有しかつ複数のノズルが被吐出物に対して相
    対的に移動される方向と斜めに交差する方向に配列する
    ように互いに並べて配置された複数の液滴吐出ヘッド
    を、これら液滴吐出ヘッドの前記ノズルが設けられた一
    面が被吐出物の表面に間隙を介して対向する状態で、前
    記被吐出物の表面に沿って相対的に移動させ、 前記複数の液滴吐出ヘッドの各ノズルから前記被吐出物
    上に同一の前記液状体を吐出することを特徴とする吐出
    方法。
  21. 【請求項２１】 請求項２０に記載の吐出方法におい
    て、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記被吐出物に対して相
    対的に移動される方向と斜めに交差する方向に並べて配
    置され、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから被吐出物上に液状体
    を吐出することを特徴とする吐出方法。
  22. 【請求項２２】 請求項２０または２１に記載の吐出方
    法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、実質的に同一形状に形成
    され、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから被吐出物上に液状体
    を吐出することを特徴とする吐出方法。
  23. 【請求項２３】 請求項２０ないし２２のいずれかに記
    載の吐出方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、同一個数のノズルを有
    し、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから被吐出物上に液状体
    を吐出することを特徴とする吐出方法。
  24. 【請求項２４】 請求項２０ないし２３のいずれかに記
    載の吐出方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、ノズルの形成位置が互い
    に同一に形成されて、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから被吐出物上に液状体
    を吐出することを特徴とする吐出方法。
  25. 【請求項２５】 請求項２０ないし２４のいずれかに記
    載の吐出方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドの各々は、ノズルが略等間隔
    で列をなして配設され、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから被吐出物上に液状体
    を吐出することを特徴とする吐出方法。
  26. 【請求項２６】 請求項２０ないし２５のいずれかに記
    載の吐出方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、ノズルの配設方向に沿っ
    て略長手矩形状に形成され、 これら液滴吐出ヘッドの前記ノズルから被吐出物上に液
    状体を吐出することを特徴とする吐出方法。
  27. 【請求項２７】 請求項２０ないし２６のいずれかに記
    載の吐出方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドの各々は、複数のノズルの配
    設方向がそれぞれ略平行となる状態に互いに並べて配置
    され、 これら液滴吐出ヘッドの前記ノズルから被吐出物上に液
    状体を吐出することを特徴とする吐出方法。
  28. 【請求項２８】 請求項２０ないし２７のいずれかに記
    載の吐出方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記ノズルが前記被吐出
    物に対して相対的に移動される方向と斜めに交差する方
    向に配列され、かつ前記複数の液滴吐出ヘッドのノズル
    列が互いに平行となるように配列され、 これら液滴吐出ヘッドを被吐出物の表面に沿って移動さ
    せてノズルから前記被吐出物上に液状体を吐出すること
    を特徴とする吐出方法。
  29. 【請求項２９】 請求項２０ないし２８のいずれかに記
    載の吐出方法において、 互いに隣り合う前記液滴吐出ヘッドは、前記被吐出物に
    対して相対的に移動される方向に、その一部が重複する
    ように配置され、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから被吐出物上に液状体
    を吐出することを特徴とする吐出方法。
  30. 【請求項３０】 請求項２０ないし２９のいずれかに記
    載の吐出方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、複数列で略千鳥状に互い
    に並べて配置され、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから被吐出物上に液状体
    を吐出することを特徴とする吐出方法。
  31. 【請求項３１】 請求項２０ないし３０のいずれかに記
    載の吐出方法において、 前記ノズルから液状体を被吐出物に吐出する前後のうち
    の少なくともいずれか一方の時期に前記液状体の吐出を
    検出することを特徴とする吐出方法。
  32. 【請求項３２】 電極が複数設けられた基板と、この基
    板上に前記電極に対応して複数設けられたＥＬ発光層と
    を備えた電気光学装置を製造する電気光学装置の製造方
    法であって、 ＥＬ発光材料を含有する液状体を吐出する複数のノズル
    を有しかつ複数のノズルが前記基板に対して相対的に移
    動される方向と斜めに交差する方向に配列するように互
    いに並べて配置された複数の液滴ヘッドを、前記ノズル
    を有する一面が前記基板の表面に間隙を介して対向する
    状態でこの基板の表面に沿って相対的に移動しつつ、前
    記ノズルから前記液状体を前記基板上の所定の位置に適
    宜吐出し、前記ＥＬ発光層を形成することを特徴とする
    電気光学装置の製造方法。
  33. 【請求項３３】 基板と、この基板上に形成された異な
    る色のカラーフィルタを備えた電気光学装置を製造する
    電気光学装置の製造方法であって、 所定の色のフィルタ材料を含有する液状体を吐出する複
    数のノズルを有しかつ複数のノズルが前記基板に対して
    相対的に移動される方向と斜めに交差する方向に配列す
    るように互いに並べて配置された複数の液滴吐出ヘッド
    を、前記ノズルを有する一面が前記基板の表面に間隙を
    介して対向する状態でこの基板の表面に沿って相対的に
    移動しつつ、前記ノズルから前記液状体を前記基板上の
    所定の位置に適宜吐出し、前記カラーフィルタを形成す
    ることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
  34. 【請求項３４】 請求項３２または３３に記載の電気光
    学装置の製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記基板に対して相対的
    に移動される方向と斜めに交差する方向に並べて配置さ
    れ、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから基板上に液状体を吐
    出することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
  35. 【請求項３５】 請求項３２ないし３４のいずれかに記
    載の電気光学装置の製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、実質的に同一形状に形成
    され、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから基板上に液状体を吐
    出して電気光学装置を製造することを特徴とする電気光
    学装置の製造方法。
  36. 【請求項３６】 請求項３２ないし３６のいずれかに記
    載の電気光学装置の製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、同一個数のノズルを有
    し、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから基板上に液状体を吐
    出することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
  37. 【請求項３７】 請求項３２ないし３６のいずれかに記
    載の電気光学装置の製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、ノズルの形成位置が互い
    に同一に形成されて、これら液滴吐出ヘッドのノズルか
    ら基板上に液状体を吐出することを特徴とする電気光学
    装置の製造方法。
  38. 【請求項３８】 請求項３２ないし３７のいずれかに記
    載の電気光学装置の製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、ノズルが略等間隔で列を
    なして設けられ、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから基板上に液状体を吐
    出することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
  39. 【請求項３９】 請求項３２ないし３８のいずれかに記
    載の電気光学装置の製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、ノズルの配設方向に沿っ
    て略長手矩形状に形成され、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を基板上に吐
    出することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
  40. 【請求項４０】 請求項３２ないし３９のいずれかに記
    載の電気光学装置の製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれは、ノズルの配設
    方向がそれぞれ略平行となる状態で互いに並べて配置さ
    れ、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を基板上に吐
    出することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
  41. 【請求項４１】 請求項３２ないし４０のいずれかに記
    載の電気光学装置の製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記ノズルが前記基板に
    対して相対的に移動される方向と斜めに交差する方向に
    配列され、かつ前記複数の液滴吐出ヘッドのノズル列が
    互いに平行となるように配列され、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を基板上に吐
    出することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
  42. 【請求項４２】 請求項３２ないし４１のいずれかに記
    載の電気光学装置の製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、複数列で略千鳥状に互い
    に並べて配置され、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を基板上に吐
    出することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
  43. 【請求項４３】 請求項３２ないし４２のいずれかに記
    載の電気光学装置の製造方法において、 前記ノズルから液状体を基板に吐出する前後のうちの少
    なくともいずれか一方の時期に前記液状体の吐出を検出
    することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
  44. 【請求項４４】 基板上に異なる色を呈するように形成
    されたカラーフィルタを形成するカラーフィルタの製造
    方法であって、 所定の色のフィルタ材料を含有する液状体を吐出する複
    数のノズルを有しかつ複数のノズルが前記基板に対して
    相対的に移動される方向と斜めに交差する方向に配列す
    るように並べて配置された複数の液滴吐出ヘッドを、こ
    れら液滴吐出ヘッドの前記ノズルが設けられた一面が基
    板の表面に間隙を介して対向する状態で、前記基板の表
    面に沿って相対的に移動させ、 前記複数の液滴吐出ヘッドの各ノズルから前記基板上に
    前記液状体を吐出することを特徴とするカラーフィルタ
    の製造方法。
  45. 【請求項４５】 請求項４４に記載のカラーフィルタの
    製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記基板に対して相対的
    に移動される方向と斜めに交差する方向に並べて配置さ
    れ、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから基板上にカラーフィ
    ルタ材料を吐出することを特徴とするカラーフィルタの
    製造方法。
  46. 【請求項４６】 請求項４４または４５に記載のカラー
    フィルタの製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、実質的に同一形状に形成
    され、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから基板上にカラーフィ
    ルタ材料を吐出することを特徴とするカラーフィルタの
    製造方法。
  47. 【請求項４７】 請求項４４ないし４６のいずれかに記
    載のカラーフィルタの製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、同一個数のノズルを有
    し、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから基板上にカラーフィ
    ルタ材料を吐出することを特徴とするカラーフィルタの
    製造方法。
  48. 【請求項４８】 請求項４４ないし４７のいずれかに記
    載のカラーフィルタの製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、ノズルの形成位置が互い
    に同一に形成されて、これら液滴吐出ヘッドのノズルか
    ら基板上にカラーフィルタ材料を吐出することを特徴と
    するカラーフィルタの製造方法。
  49. 【請求項４９】 請求項４４ないし４８のいずれかに記
    載のカラーフィルタの製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドの各々は、ノズルが略等間隔
    で列をなして配設され、 これら液滴吐出ヘッドのノズルから基板上にカラーフィ
    ルタ材料を吐出することを特徴とするカラーフィルタの
    製造方法。
  50. 【請求項５０】 請求項４４ないし４９のいずれかに記
    載のカラーフィルタの製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、ノズルの配設方向に沿っ
    て略長手矩形状に形成され、 これら液滴吐出ヘッドの前記ノズルからカラーフィルタ
    材料を基板上に吐出することを特徴とするカラーフィル
    タの製造方法。
  51. 【請求項５１】 請求項４４ないし５０のいずれかに記
    載のカラーフィルタの製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドの各々は、複数のノズルの配
    設方向がそれぞれ略平行となる状態に互いに並べて配置
    され、 これら液滴吐出ヘッドのノズルからカラーフィルタ材料
    を基板上に吐出することを特徴とするカラーフィルタの
    製造方法。
  52. 【請求項５２】 請求項４４ないし５１のいずれかに記
    載のカラーフィルタの製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記ノズルが前記基板に
    対して相対的に移動される方向と斜めに交差する方向に
    配列され、かつ前記複数の液滴吐出ヘッドのノズル列が
    互いに平行となるように配列され、 これら液滴吐出ヘッドのノズルからカラーフィルタ材料
    を基板上に吐出することを特徴とするカラーフィルタの
    製造方法。
  53. 【請求項５３】 請求項４４ないし５２のいずれかに記
    載のカラーフィルタの製造方法において、 前記複数の液滴吐出ヘッドは、複数列で略千鳥状に互い
    に並べて配置され、 これら液滴吐出ヘッドのノズルからカラーフィルタ材料
    を基板上に吐出することを特徴とするカラーフィルタの
    製造方法。
  54. 【請求項５４】 請求項４４ないし５３のいずれかに記
    載のカラーフィルタの製造方法において、 前記ノズルからカラーフィルタ材料を基板に吐出する前
    後のうちの少なくともいずれか一方の時期に前記カラー
    フィルタ材料の吐出を検出することを特徴とするカラー
    フィルタの製造方法。
  55. 【請求項５５】 基材と、この基材上に流動性を有する
    液状体が吐出されて形成された基材を有するデバイスで
    あって、 前記液状体を吐出する複数のノズルを有しかつ複数のノ
    ズルが前記基材に対して相対的に移動される方向と斜め
    に交差する方向に配列するように互いに並べて配置され
    た複数の液滴吐出ヘッドが、前記ノズルを有する一面を
    前記基材の表面に間隙を介して対向する状態でこの基材
    の表面に沿って相対的に移動されつつ、前記ノズルから
    前記液状体が前記基材上の所定の位置に適宜吐出されて
    形成されたことを特徴とした基材を有するデバイス。
  56. 【請求項５６】 請求項１ないし１３のいずれかに記載
    の吐出装置を備え、 前記被吐出物はデバイスの基材であって、 所定の層を前記基材上に形成する工程において前記複数
    の液滴吐出ヘッドから液状体を基材上に吐出することを
    特徴とした基材を有するデバイスの製造装置。
  57. 【請求項５７】 請求項２０ないし３１のいずれかに記
    載の吐出方法により、前記被吐出物である基材上に液状
    体を吐出して所定の層を基材上に形成することを特徴と
    する基材を有するデバイスの製造方法。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005028280A (ja) * 2003-07-11 2005-02-03 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法、並びに電子機器
US6919991B2 (en) 2002-09-20 2005-07-19 Seiko Epson Corporation Optical device and method of manufacture of the same, display device, electronic device, and detection device
JP2006078828A (ja) * 2004-09-10 2006-03-23 Toshiba Tec Corp 液晶フィルタの製造装置
JP2007044627A (ja) * 2005-08-10 2007-02-22 Casio Comput Co Ltd 表示装置の製造装置及び該製造装置を用いた表示装置の製造方法
US7360866B2 (en) 2004-10-13 2008-04-22 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Printer and head unit fabricating method
US7393553B2 (en) 2003-07-11 2008-07-01 Seiko Epson Corporation Droplet information measuring method and apparatus therefor, film pattern forming method, device manufacturing method, droplet discharge apparatus, electro-optical apparatus, and electronic apparatus
US8322847B2 (en) 2003-10-28 2012-12-04 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid droplet ejection system and control program of ejection condition of compositions

Families Citing this family (59)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6783212B2 (en) * 2002-06-05 2004-08-31 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Ink jet head and ink jet recording apparatus
TW588559B (en) * 2002-10-25 2004-05-21 Ritdisplay Corp Organic light emitting panel with alloy
JP2005193221A (ja) * 2003-02-25 2005-07-21 Seiko Epson Corp 駆動波形決定装置、電気光学装置および電子機器
JP4103830B2 (ja) * 2003-05-16 2008-06-18 セイコーエプソン株式会社 パターンの形成方法及びパターン形成装置、デバイスの製造方法、アクティブマトリクス基板の製造方法
JP4239750B2 (ja) * 2003-08-13 2009-03-18 セイコーエプソン株式会社 マイクロレンズ及びマイクロレンズの製造方法、光学装置、光伝送装置、レーザプリンタ用ヘッド、並びにレーザプリンタ
KR100963055B1 (ko) * 2003-11-28 2010-06-14 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치의 배향막 형성 장치 및 그 형성 방법
CN100359393C (zh) 2003-12-17 2008-01-02 Lg.菲利浦Lcd株式会社 液晶分配装置
JP4289172B2 (ja) * 2004-02-19 2009-07-01 セイコーエプソン株式会社 吐出装置
KR20060047348A (ko) * 2004-05-11 2006-05-18 세이코 엡슨 가부시키가이샤 액적 토출 장치, 전기 광학 장치, 전자 기기 및 액적 토출방법
US7401885B2 (en) * 2004-08-23 2008-07-22 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Droplet discharge apparatus
TWI289511B (en) * 2004-11-22 2007-11-11 Canon Kk Method of manufacturing liquid discharge head, and liquid discharge head
JP2006156426A (ja) * 2004-11-25 2006-06-15 Seiko Epson Corp 導電性パターンの形成方法
JP2006154354A (ja) * 2004-11-30 2006-06-15 Seiko Epson Corp カラーフィルタの形成方法
NL1030357C2 (nl) * 2005-11-04 2007-05-07 Otb Group Bv Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een kleurenfilter en/of een black matrix en een display voorzien van een dergelijk kleurenfilter en/of een dergelijke black matrix.
KR100996544B1 (ko) * 2005-12-29 2010-11-24 엘지디스플레이 주식회사 잉크젯 방식을 이용한 스페이서의 형성방법 및액정표시패널의 제조방법
JP5292677B2 (ja) * 2006-07-07 2013-09-18 凸版印刷株式会社 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
JP2008015308A (ja) * 2006-07-07 2008-01-24 Toppan Printing Co Ltd 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
JP4983128B2 (ja) * 2006-07-25 2012-07-25 凸版印刷株式会社 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
JP5233099B2 (ja) * 2006-08-31 2013-07-10 凸版印刷株式会社 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
US20090107398A1 (en) * 2007-10-31 2009-04-30 Nordson Corporation Fluid dispensers and methods for dispensing viscous fluids with improved edge definition
US7901036B2 (en) 2007-11-12 2011-03-08 Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. Print head unit and method for manufacturing patterned layer on substrate with the same
JP2010104861A (ja) * 2008-10-28 2010-05-13 Seiko Epson Corp 液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法および有機ｅｌ装置の製造方法
JP5328726B2 (ja) * 2009-08-25 2013-10-30 三星ディスプレイ株式會社 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法
JP5677785B2 (ja) 2009-08-27 2015-02-25 三星ディスプレイ株式會社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法
JP5611718B2 (ja) * 2009-08-27 2014-10-22 三星ディスプレイ株式會社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法
US20110052795A1 (en) * 2009-09-01 2011-03-03 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8876975B2 (en) 2009-10-19 2014-11-04 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
KR101182226B1 (ko) 2009-10-28 2012-09-12 삼성디스플레이 주식회사 도포 장치, 이의 도포 방법 및 이를 이용한 유기막 형성 방법
KR101084184B1 (ko) 2010-01-11 2011-11-17 삼성모바일디스플레이주식회사 박막 증착 장치
KR101174875B1 (ko) * 2010-01-14 2012-08-17 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치
KR101193186B1 (ko) 2010-02-01 2012-10-19 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치
KR101156441B1 (ko) * 2010-03-11 2012-06-18 삼성모바일디스플레이주식회사 박막 증착 장치
KR101202348B1 (ko) 2010-04-06 2012-11-16 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
US8894458B2 (en) 2010-04-28 2014-11-25 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
KR101223723B1 (ko) 2010-07-07 2013-01-18 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치
KR101146996B1 (ko) * 2010-07-12 2012-05-23 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
JP5693089B2 (ja) * 2010-08-20 2015-04-01 キヤノン株式会社 画像処理装置、及び画像処理装置の制御方法
KR101678056B1 (ko) 2010-09-16 2016-11-22 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치
KR101738531B1 (ko) 2010-10-22 2017-05-23 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치
KR101723506B1 (ko) 2010-10-22 2017-04-19 삼성디스플레이 주식회사 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
KR20120045865A (ko) 2010-11-01 2012-05-09 삼성모바일디스플레이주식회사 유기층 증착 장치
KR20120065789A (ko) 2010-12-13 2012-06-21 삼성모바일디스플레이주식회사 유기층 증착 장치
KR101760897B1 (ko) 2011-01-12 2017-07-25 삼성디스플레이 주식회사 증착원 및 이를 구비하는 유기막 증착 장치
KR101852517B1 (ko) 2011-05-25 2018-04-27 삼성디스플레이 주식회사 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
KR101840654B1 (ko) 2011-05-25 2018-03-22 삼성디스플레이 주식회사 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
KR101857249B1 (ko) 2011-05-27 2018-05-14 삼성디스플레이 주식회사 패터닝 슬릿 시트 어셈블리, 유기막 증착 장치, 유기 발광 표시장치제조 방법 및 유기 발광 표시 장치
KR101826068B1 (ko) 2011-07-04 2018-02-07 삼성디스플레이 주식회사 유기층 증착 장치
KR20130004830A (ko) 2011-07-04 2013-01-14 삼성디스플레이 주식회사 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
JP2013101780A (ja) * 2011-11-07 2013-05-23 Ulvac Japan Ltd インクジェット塗布装置及びインクジェット塗布方法
US20130136850A1 (en) * 2011-11-29 2013-05-30 Illinois Tool Works Inc. Method for depositing materials on a substrate
US20130133574A1 (en) * 2011-11-29 2013-05-30 Illinois Tool Works Inc. Material deposition system for depositing materials on a substrate
KR20130120775A (ko) * 2012-04-26 2013-11-05 삼성디스플레이 주식회사 인쇄 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치 제조 방법
KR102108361B1 (ko) 2013-06-24 2020-05-11 삼성디스플레이 주식회사 증착률 모니터링 장치, 이를 구비하는 유기층 증착 장치, 증착률 모니터링 방법, 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
DE102014017223A1 (de) * 2014-11-21 2016-05-25 Merck Patent Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Bedrucken einer Oberfläche mit einem Fluid
US9486960B2 (en) * 2014-12-19 2016-11-08 Palo Alto Research Center Incorporated System for digital fabrication of graded, hierarchical material structures
US10335995B2 (en) 2015-12-16 2019-07-02 Xerox Corporation System and method for compensating for dissimilar shrinkage rates in different materials used to form a three-dimensional printed object during additive manufacturing
CN106824686B (zh) * 2017-03-08 2023-04-25 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 用于去除喷涂表面凸起处的装置及方法
CN106903996B (zh) * 2017-03-09 2020-05-29 京东方科技集团股份有限公司 打印设备
CN114502289A (zh) * 2019-10-07 2022-05-13 三键有限公司 喷出装置、移动构件及流通控制方法

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2963072B2 (ja) 1996-09-30 1999-10-12 キヤノン株式会社 インクジェット記録方法及び装置及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置
JP3241251B2 (ja) * 1994-12-16 2001-12-25 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法及び電子源基板の製造方法
JP3059678B2 (ja) * 1995-07-14 2000-07-04 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置
JPH0933710A (ja) * 1995-07-14 1997-02-07 Canon Inc カラーフィルタの製造方法及びその装置と、前記カラーフィルタを用いたカラー液晶パネル及びそれを用いた表示装置
JP3111024B2 (ja) * 1995-07-19 2000-11-20 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造装置及び製造方法及び表示装置の製造方法及び表示装置を備えた装置の製造方法
JPH0939220A (ja) 1995-07-28 1997-02-10 Canon Inc 画像記録装置
JPH0949920A (ja) 1995-08-04 1997-02-18 Canon Inc カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ
JPH09216350A (ja) * 1996-02-09 1997-08-19 Mutoh Ind Ltd インクジェット出力装置
JP3683983B2 (ja) 1996-05-15 2005-08-17 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置及び表示装置の製造方法及び表示装置を備えた装置の製造方法
US6241333B1 (en) * 1997-01-14 2001-06-05 Eastman Kodak Company Ink jet printhead for multi-level printing
JPH10253813A (ja) * 1997-03-07 1998-09-25 Canon Inc カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置
US6010205A (en) 1997-03-12 2000-01-04 Raster Graphics Inc. Method and apparatus for improved printing
JPH10260307A (ja) 1997-03-17 1998-09-29 Seiko Epson Corp カラーフィルタの製造装置およびその方法
JP3541625B2 (ja) * 1997-07-02 2004-07-14 セイコーエプソン株式会社 表示装置及びアクティブマトリクス基板
US6158841A (en) * 1998-02-17 2000-12-12 Seiko Epson Corporation Dot recording with plural nozzle groups
WO1999048339A1 (fr) * 1998-03-17 1999-09-23 Seiko Epson Corporation Substrat de formation de motifs sur film mince et son traitement de surface
US6364450B1 (en) * 1999-08-03 2002-04-02 Canon Kabushiki Kaisha Color filter manufacturing method and apparatus, display device manufacturing method, method of manufacturing apparatus having display device, and display device panel manufacturing method and apparatus
US6328418B1 (en) * 1999-08-11 2001-12-11 Hitachi Koki Co., Ltd Print head having array of printing elements for printer
US6394579B1 (en) * 1999-08-24 2002-05-28 Hewlett-Packard Company Fluid ejecting device with varied nozzle spacing
US6257699B1 (en) * 1999-10-13 2001-07-10 Xerox Corporation Modular carriage assembly for use with high-speed, high-performance, printing device
JP3697131B2 (ja) * 2000-02-21 2005-09-21 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法、製造装置、カラーフィルタを備えた表示装置の製造方法及び該表示装置を備えた装置の製造方法
JP2001272929A (ja) * 2000-03-24 2001-10-05 Toshiba Corp 平面表示装置用アレイ基板の製造方法
JP3880289B2 (ja) * 2000-05-23 2007-02-14 キヤノン株式会社 ヘッドユニット、当該ヘッドユニットを用いるカラーフィルタの製造装置、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタを備えた液晶パネルの製造方法および液晶パネルを備えた情報処理装置の製造方法
TW518552B (en) * 2000-08-18 2003-01-21 Semiconductor Energy Lab Liquid crystal display device, method of driving the same, and method of driving a portable information device having the liquid crystal display device
JP4552069B2 (ja) * 2001-01-04 2010-09-29 株式会社日立製作所 画像表示装置およびその駆動方法
JP3953776B2 (ja) * 2001-01-15 2007-08-08 セイコーエプソン株式会社 材料の吐出装置、及び吐出方法、カラーフィルタの製造装置及び製造方法、液晶装置の製造装置及び製造方法、ｅｌ装置の製造装置及び製造方法
JP4815761B2 (ja) * 2003-11-27 2011-11-16 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電子機器
JP4254675B2 (ja) * 2004-09-29 2009-04-15 カシオ計算機株式会社 ディスプレイパネル

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6919991B2 (en) 2002-09-20 2005-07-19 Seiko Epson Corporation Optical device and method of manufacture of the same, display device, electronic device, and detection device
JP2005028280A (ja) * 2003-07-11 2005-02-03 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法、並びに電子機器
US7393553B2 (en) 2003-07-11 2008-07-01 Seiko Epson Corporation Droplet information measuring method and apparatus therefor, film pattern forming method, device manufacturing method, droplet discharge apparatus, electro-optical apparatus, and electronic apparatus
US7438944B2 (en) 2003-07-11 2008-10-21 Seiko Epson Corporation Droplet information measuring method and apparatus therefor, film pattern forming method, device manufacturing method, droplet discharge apparatus, electro-optical apparatus, and electronic apparatus
US7883165B2 (en) 2003-07-11 2011-02-08 Seiko Epson Corporation Droplet information measuring method and apparatus therefor, film pattern forming method, device manufacturing method, droplet discharge apparatus, electro-optical apparatus, and electronic apparatus
US8322847B2 (en) 2003-10-28 2012-12-04 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid droplet ejection system and control program of ejection condition of compositions
JP2006078828A (ja) * 2004-09-10 2006-03-23 Toshiba Tec Corp 液晶フィルタの製造装置
US7360866B2 (en) 2004-10-13 2008-04-22 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Printer and head unit fabricating method
JP2007044627A (ja) * 2005-08-10 2007-02-22 Casio Comput Co Ltd 表示装置の製造装置及び該製造装置を用いた表示装置の製造方法

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