CN1422746A - 喷出方法及其装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种喷出装置,在制造滤色器的喷墨装置中,把多个喷嘴设置为列状,把构成喷嘴列的喷墨头并列配置为直线状。利用多个喷嘴向母衬底上4次重叠喷出滤波元件材料,以给定的膜厚形成一个滤波元件。根据这种结构,能防止多个滤波元件间在膜厚度上产生偏移,能使滤色器的光透过性在平面上均匀。这种结构通用性高,能以低价高效形成,并且能使滤色器的光学透过特性、液晶装置的彩色显示特性、EL发光面的发光特性等电光构件的电光特性在平面上均匀。

Description

喷出方法及其装置
技术领域
本发明涉及喷出具有流动性的液体的喷出方法及其装置。而且，本发明涉及液晶装置、EL装置、电泳装置、电子发射装置以及PDP装置等电光装置、制造该电光装置的电光装置制造方法及其制造装置。另外，本发明涉及电光装置中使用的滤色器、制造该滤色器的制造方法及其制造装置。而且，本发明还涉及具有电光构件、半导体装置、光学构件、试剂检查构件等基体材料的设备、制造具有该基体材料的设备的制造方法及其制造装置。
背景技术
近年来，在移动电话、便携式计算机等电子仪器的显示部广泛使用了液晶装置、场致发光装置(以下称作EL(electroluminescence)装置)等电光装置即显示装置。另外，最近，常常用显示装置进行全彩色显示。该基于液晶装置的全彩色显示例如通过使由液晶层调制的光通过滤色器而显示。而且，在由玻璃、塑料等形成的衬底的表面上，通过把R(红)、G(绿)、B(蓝)的点状的各色滤波元件以所谓的带状阵列、三角阵列或镶嵌阵列等给定的阵列排列，来形成滤色器。
另外，基于EL装置的全彩色显示是在例如在玻璃、塑料等的衬底表面上，把R(红)、G(绿)、B(蓝)的点状的各色EL发光层以所谓的带状阵列、三角阵列或镶嵌阵列等给定的阵列排列，用一对电极夹持这些EL发光层来形成象素。而且，通过对各象素控制外加在它们的电极上的电压，以希望的颜色使这些象素发光，进行全彩色显示。
以往，我们知道当形成滤色器的R、G、B等各色滤波元件时、或形成EL装置的R、G、B等各色的象素时，使用了光刻法。但是，当使用该光刻法时，步骤复杂，大量消耗各色的材料或光刻胶，所以存在成本高这一问题。
为了解决该问题，提出了通过利用喷墨法来把滤波元件材料和EL发光材料等呈点状喷出，以形成点状阵列的滤波元件和EL发光层等的方法。
在此，说明通过喷墨法形成点状阵列的滤波元件和EL发光层等的方法。在图50(a)中，在由玻璃、塑料等形成的大面积的衬底即所谓的母板301的表面上设定的多个面板区域302的内部区域上，如图50(b)所示，根据喷墨法，形成排列为点状的多个滤波元件303。此时，例如如图50(c)所示，一边使具有把多个喷嘴304排列为列状的喷嘴列305的液滴喷出头即喷墨头306，如图50(b)的箭头A1和箭头A2所示，关于一个面板区域302，进行多次(在图50中为两次)主扫描，一边在这些主扫描之间，通过从多个喷嘴有选择地喷出墨水即滤波材料，在希望的位置上形成滤波元件303。
该滤波元件303如以上所述，是通过把R、G、B等各色以所谓的带状阵列、三角阵列或镶嵌阵列等适当的阵列形态进行排列而形成的。因此，基于图50(b)所示的喷墨头306的喷墨处理预先只设置有R、G、B等三色数量的喷出R、G、B的单色的喷墨头306。而且，依次使用这些喷墨头306，在一个母板306上形成R、G、B等三色阵列。
但是，关于喷墨头306，一般构成喷嘴列305的多个喷嘴阵列304的喷墨量上有偏移。例如，如图51(a)所示，具有在与喷嘴列305的两端部对应的位置的喷出量多，在它的中央部其次多，在它们的中央部的喷出量少的喷墨特性Q。
因此，当如图50(b)所示，通过喷墨头306形成滤波元件303时，如图51(b)所示，在与喷墨头306的端部对应的位置P1或中央部P2、或P1和P2的双方形成了浓度浓的条。因此，存在滤色器的平面光透过特性变得不均匀这一问题。
而当在母板301上形成多个面板区域302时，考虑到使用长喷墨头，对于喷墨头的主扫描方向，使喷墨头位于成为宽度方向的母板301的宽度尺寸的大致整个区域，能高效地形成滤波元件303。但是，当与面板区域302的尺寸对应使用不同尺寸的母板301时，每次都需要不同的喷墨头，存在成本增大的问题。
发明内容
鉴于以上所述问题的存在，本发明的目的在于：提供使用喷墨等墨滴喷出头并且通用性能好、价格低、能高效地形成的喷出方法及其装置、电光装置、它的制造方法及其制造装置、滤色器、它的制造方法及其制造装置、以及具有基体材料的设备、它的制造方法及其制造装置。
(1)本发明的喷出装置其特征在于：具有：排列设置了向被喷出物上喷出具有流动性的液体的多个喷嘴的液滴喷出头；使该液滴喷出头的设置有所述喷嘴的一面与所述被喷出物的表面上隔着间隙对置，并且并列配置有多个喷出同样的所述液体的所述液滴喷出头的保持部件；使该保持部件和所述被喷出物中的至少任意一方在所述液滴喷出头沿着所述被喷出物的表面的状态下相对移动的移动部件；设置在所述各液滴喷出头上的喷嘴列被排列在与相对于所述被喷出物进行相对移动的方向倾斜交叉的方向上。
在本发明中，使并列设置的排列了喷出具有流动性的液体的多个喷嘴的多个液滴喷出头在这些液滴喷出头的设置有喷嘴的一面隔着间隙与被喷出物的表面相对的状态下，沿着被喷出物的表面移动，从多个液滴喷出头的各喷嘴向被喷出物上喷出相同的液体。设置在各液滴喷出头上的喷嘴列为与相对于被喷出物进行相对移动的方向倾斜交叉的第一方向。通过该结构，因为从多个并列配置的液滴喷出头喷出相同的液体，所以例如使用同一规格的液滴喷出头，能向大范围使液体喷出，不用使用特别的液滴喷出头，通过使用现有的标准品，能降低成本。例如，通过适当设定并列配置的液滴喷出头的配置方向的数量，能喷出液体的区域，提高通用性。
而且，在本发明中，多个液滴喷出头最好配置在与相对于所述被喷出物进行相对移动的方向倾斜交叉的第二方向上。根据该结构，多个液滴喷出头变为对于沿着被喷出物的表面移动的方向即扫描方向倾斜的状态，例如如果是喷嘴设置在直线上的结构，则液体的喷出间隔即间距比喷嘴间的间隔窄，当在显示装置等中利用了被液体喷射的被喷出物时，能得到更详细的显示形态。还能防止相邻的液滴喷出头的干涉，实现小型化。
另外，在本发明中，多个液滴喷出头最好实质上是同一形状。根据该结构，即使用一种液滴喷出头，也能对应于喷出液体的区域，从而能简化结构，提高制造性，降低成本。
而且，在本发明中，多个液滴喷出头最好具有同样个数的喷嘴。根据该结构，因为各液滴喷出头的喷嘴为同样个数，所以作为并列配置多个液滴喷出头的结构，例如，能容易地描绘带状阵列、镶嵌阵列、三角阵列等具有给定的规则性的结构。
另外，在本发明中，多个液滴喷出头中，喷嘴的形成位置最好彼此相同。根据该结构，最好使多个液滴喷出头的喷嘴形成位置彼此相同。根据该结构，作为并列配置多个液滴喷出头的结构，例如能容易地描绘带状阵列、镶嵌阵列、三角阵列等具有给定的规则性的结构。
而且，在本发明中，多个液滴喷出头最好以近等间隔形成列来配置喷嘴。根据该结构，因为以等间隔形成列，配置了各液滴喷出头的喷嘴，所以作为并列配置多个液滴喷出头的结构，例如，能容易地描绘带状阵列、镶嵌阵列、三角阵列等具有给定的规则性的结构。
而且，在本发明中，液滴喷出头最好沿着喷嘴的设置方向形成近似矩形形状。根据该结构，因为把液滴喷出头沿着喷嘴的设置方向，形成近似矩形形状，所以能使液滴喷出头小型化，与其他部位无干涉，容易实现小型化。
另外，在本发明中，多个液滴喷出头在喷嘴的设置方向分别大致平行的状态下，彼此并列配置在与相对于所述被喷出物进行相对移动的方向倾斜交叉的第二方向上。根据该结构，因为多个液滴喷出头沿着被喷出物的表面相对移动，使对于沿着被喷出物的表面相对移动的方向，喷嘴的近直线上的设置方向沿着交叉方向，所以对于多个液滴喷出头沿着被喷出物的表面移动的方向即扫描方向，喷嘴的设置方向为倾斜状态，液体的喷出间隔即间距比喷嘴间的间距窄，例如当在显示装置等中利用了被液体喷射的被喷出物时，能得到更详细的显示形态。还能防止相邻的液滴喷出头的干涉，实现小型化。
而且，在本发明中，多个液滴喷出头最好被排列为：所述喷嘴列排列在与相对于所述被喷出物进行相对移动的方向倾斜交叉的第二方向上，并且所述多个液滴喷出头的喷嘴列彼此平行。根据该结构，多个液滴喷出头的配置方向和喷嘴的排列方向对于沿着被喷出物的表面移动的方向即扫描方向，为倾斜状态，液体的喷出间隔即间距比喷嘴间的间距窄，例如当在显示装置等中利用了被液体喷射的被喷出物时，能得到更详细的显示形态。还能防止相邻的液滴喷出头的干涉，实现小型化。另外，在一个区域容易地形成了相同的多个液体喷出区域，提高了液体的喷出效率。另外，能向一处，从不同的液滴喷出头重叠喷出液体，能容易地使喷出区域中的喷出量平均化。
另外，在本发明中，彼此相邻的液滴喷出头最好配置为在相对于所述被喷出物进行相对移动的方向上，其一部分重复。根据该结构，因为对于沿着被喷出物的表面移动的方向即扫描方向，在一部分重复的状态下进行了配置，所以能可靠地防止彼此相邻的液滴喷出头的干涉，实现小型化。
而且，在本发明中，多个液滴喷出头最好以多列并列配置为相互近似交错状。根据该结构，因为相邻的液滴喷出头不干涉，在液滴喷出头间不产生不喷出液体的区域，能得到连续的液体的良好喷出。
另外，在本发明中，最好具有检测从所述喷嘴喷出的液体的喷出检测部件。根据该结构，通过由喷出检测部件检测来自喷嘴的液体的喷出，能防止液体的喷出不匀，能准确地取得良好的液体的喷出。
而且，在本发明中，喷出检测部件最好在从喷嘴向被喷出物喷出液体的步骤的前后的步骤中的至少任意一方中，检测所述液体的喷出。根据该结构，通过在从喷嘴向被喷出物喷出液体的步骤的前后的步骤中的至少任意一方中，检测所述液体的喷出，检测了液体的喷出之前或之后的喷出状态，能准确地识别液体的喷出状态。
(2)在本发明中，最好使用含有EL发光材料的液体作为喷出的液体，把它喷出到被喷出物即衬底上，形成EL发光层，制造电光装置。
(3)在本发明中，最好使用含有滤色器材料的液体作为喷出的液体，把它喷出到作为被喷出物的夹持着液晶的一对衬底的一方上，形成滤色器，制造电光装置。
(4)在本发明中，最好在被喷出物即基体材料上喷出具有流动性的液体，制造具有基体材料的器件。根据本发明，使在一面设置有多个喷出液体的喷嘴，并且彼此并列配置的多个液滴喷出头在设置有喷嘴的一面隔着给定间隙与被喷出物的表面相对的状态下，沿着被喷出物的表面相对移动，从多个液滴喷出头的各喷嘴向被喷出物上喷出相同的液体，所以例如使用相同标准品德液滴喷出头，能向广阔范围使液体喷出，不用使用特别的液滴喷出头，以现有的标准品，就能降低成本，通过适当设定并列配列的液滴喷出头的配置方向的数量，就能对应于喷出液体的区域，能提高通用性。
附图说明
下面简要说明附图。
图1是模式化地表示本发明的滤色器制造方法的一个实施例的主要步骤的俯视图。
图2是模式化地表示本发明的滤色器制造方法的其他实施例的主要步骤的俯视图。
图3是模式化地表示本发明的滤色器制造方法的其他实施例的主要步骤的俯视图。
图4是模式化地表示本发明的滤色器制造方法的其他实施例的主要步骤的俯视图。
图5A～B是表示本发明的滤色器一个实施例以及成为它的基础的母板的一个实施例的俯视图。
图6A～D是使用图5A的VI-VI线的剖面部分，模式化地表示滤色器的制造步骤的图。
图7A～C是表示滤色器的R、G、B三色的象素的排列的例子的图。
图8是表示本发明的滤色器的制造装置、本发明的液晶装置的制造装置以及本发明的EL装置的制造装置等各制造装置的主要部分即液滴喷出装置的一个实施例的立体图。
图9是放大表示图8的主要部分的立体图。
图10是放大表示图9的主要部分即喷墨头的立体图。
图11是表示喷墨头的改变例的立体图。
图12A～B是表示喷墨头的内部构造的图，(a)表示了局部剖开的立体图，(b)表示了(a)的沿J-J线的剖面构造。
图13是表示喷墨头的其他改变例的俯视图。
图14是表示图8的喷墨头装置中使用的电控系统的框图。
图15是表示由图14的控制系统执行的控制流程的程序流程图。
图16是表示喷墨头的其他改变例的立体图。
图17是表示本发明的液晶装置的制造方法的一个实施例的步骤图。
图18是以分解状态表示了由本发明的液晶装置的制造方法制造的液晶装置的一个例子的立体图。
图19是根据图18的IX-IX线，来表示液晶装置的剖面构造的剖视图。
图20是表示本发明的EL装置的制造方法的一个实施例的步骤图。
图21A～D是图20所示的步骤图所对应的EL装置的剖视图。
图22是本发明的滤色器的制造装置的省略了表示液滴喷出装置的液滴喷出处理装置的一部分的立体图。
图23是表示上述的液滴喷出处理装置的头部件的俯视图。
图24是上图的侧视图。
图25是上图的主视图。
图26是上图的剖视图。
图27是表示同一头装置的立体分解图。
图28是表示同一喷墨头的立体分解图。
图29A～C是说明同一喷墨头喷出滤波元件材料的动作的说明图。
图30是说明同一喷墨头的滤波元件材料的喷出量的说明图。
图31是说明同一喷墨头的配置状态的概要图。
图32是说明同一喷墨头的配置状态的局部放大的概要图。
图33A～B是表示由上述的滤色器的制造装置制造的滤色器的模式图，(A)是滤色器的俯视图，(B)是(A)的X-X线剖视图。
图34S1～S7是说明制造上述的滤色器的制造步骤的剖视图。
图35是表示使用了本发明的电光装置的EL显示元件的显示装置的一部分的电路图。
图36是表示上述显示装置的象素区域的平面构造的放大俯视图。
图37A～E是表示上述显示装置的制造步骤的前处理的步骤的制造步骤剖视图。
图38A～C是表示上述显示装置的制造步骤的EL发光材料的喷出的步骤的制造步骤剖视图。
图39A～D是表示上述显示装置的制造步骤的EL发光材料的喷出的步骤的制造步骤剖视图。
图40是表示使用本发明的电光装置的EL显示元件的显示装置的象素区域的平面构造的放大俯视图。
图41A～B是表示使用了本发明的电光装置的EL显示元件的显示装置的象素区域的平面构造的放大图，(A)为平面构造，(B)是(A)的B-B线剖视图。
图42是表示制造使用了本发明的电光装置的EL显示元件的显示装置的制造步骤的制造步骤剖视图。
图43是表示制造使用了本发明的电光装置的EL显示元件的显示装置的制造步骤的制造步骤剖视图。
图44是表示制造使用了本发明的电光装置的EL显示元件的显示装置的制造步骤的制造步骤剖视图。
图45是表示制造使用了本发明的电光装置的EL显示元件的显示装置的制造步骤的制造步骤剖视图。
图46是表示制造使用了本发明的电光装置的EL显示元件的显示装置的制造步骤的制造步骤剖视图。
图47是表示制造使用了本发明的电光装置的EL显示元件的显示装置的制造步骤的制造步骤剖视图。
图48是表示具有上述电光装置的电子仪器即个人电脑的立体图。
图49是表示具有上述电光装置的电子仪器即移动电话的立体图。
图50A～C是表示现有的滤色器制造方法的一个例子的图。
图51A～B是用于说明现有的滤色器特性的图。
具体实施方式
(关于滤色器制造方法以及制造装置的说明1)
下面，说明本发明的滤色器制造方法以及制造装置的基本方法和它的结构。首先，在说明这些制造方法和制造装置之前，先就使用这些制造方法制造的滤色器加以说明。图5(a)模式化地表示了滤色器的一个实施例的平面构造。另外，图6(d)表示了图5(a)的VI-VI线的剖面构造。
本实施例的滤色器1在由玻璃、塑料等形成的方形的衬底(在本发明中，也称作“基体材料”)2的表面上，使多个滤波元件3形成点图形，在本实施例中为点矩阵。如图6所示，通过在滤波元件3之上层叠保护膜4，形成了滤色器1。并且，图5(a)平面地表示了去除了保护膜4的状态的滤色器1。
通过用颜色材料填充由没有透光性的树脂材料形成的格子状的结构上形成的隔板6所画分的排列为点矩阵状的多个方形区域，形成了滤波元件3。另外，这些滤波元件3分别由R(红)、G(绿)、B(蓝)中的任意一色的颜色材料形成，这些各色的滤波元件3配置为给定的阵列。作为该排列例如有图7(a)所示的所谓的带状阵列、图7(b)所示的所谓的镶嵌阵列、图7(c)所示的所谓的三角阵列。并且，本发明的“隔板”被作为包含坡度的意思的词汇使用，是指与衬底几乎垂直的侧面和具有大约90度以上或不满90度的侧面，并且从衬底观察成为凸的部分。
而且，带状阵列是矩阵的纵列都为同一颜色的阵列。另外，镶嵌阵列是在纵横的直线上排列的任意三个滤波元件3为R、G、B三色的配色。三角阵列是使滤波元件3的配置高度不同，并且任意相邻的三个滤波元件3为R、G、B三色的配色。
滤色器1的大小例如约为4.57cm(1.8英寸)。另外，一个滤波元件的大小例如约为30μm×100μm。而且，各滤波元件3之间的间隔即所谓的元件间距例如为75μm。
当把本实施例的滤色器1作为用于全彩色显示的光学元件使用时，R、G、B等三个滤波元件3作为一个单元形成一个象素，通过有选择地使光通过一个象素内的R、G、B的任意一个或它们的组合，进行全彩色显示。此时，由无透光性的树脂材料形成的隔板6作为遮光框起作用。
所述的滤色器1例如从图5(b)所示的衬底即大面积的母板12切出。具体地说，首先，在母板12内设定的多个滤色器形成区域11的各表面上形成一个滤色器1的图案。然后，在这些滤色器形成区域11的周围形成切断用的沟，沿着这些沟，通过切断母板12，就形成了各滤色器1。
下面，说明制造图5(a)所示的滤色器1的制造方法及其制造装置。
图6按步骤顺序模式化地表示了滤色器1的制造方法。首先，在母板12的表面，从箭头B的方向观察，通过无透光性的树脂材料，把隔板6形成格子状图案。格子状图案的格子孔的部分7是形成滤波元件3的区域即滤波元件形成区域7。由该隔板6形成的各滤波元件形成区域7的从箭头B的方向观察时的平面尺寸六热30μm×100μm左右。
隔板6同时具有阻止作为提供给滤波元件形成区域7的液体的滤波元件材料13的流动的功能和遮光框的功能。另外，可以通过任意得图案形成方法，例如光刻法形成隔板6，按照需要，通过加热器，加热烧成。
如图6(b)所示，在隔板6的形成后，通过向滤波元件形成区域7供给滤波元件材料13的液滴，用滤波元件材料13填充各滤波元件形成区域7。在图6(b)中，符号13R表示具有R(红)色的滤波元件材料，符号13G表示具有G(绿)色的滤波元件材料，符号13B表示具有B(蓝)色的滤波元件材料。并且，在本发明中“液滴”也称作“墨水”。
如果在各滤波元件形成区域7中填充了给定量的滤波元件材料13，通过加热器，例如把母板12加热到70℃左右，使滤波元件材料13的溶剂蒸发。通过该蒸发，如图6(c)所示，滤波元件材料13的体积减少，变平坦。当体积的减少很厉害时，反复执行滤波元件材料13的液滴8的供给和该液滴8的加热，直到作为滤色器1得到了充分的膜厚度。通过以上的处理，最好只残留下滤波元件材料13的固体成分，并膜化，据此，形成了希望的各色滤波元件3。
如以上所述，形成了滤波元件3后，为了使这些滤波元件3完全干燥，以给定的温度，执行给定时间的加热处理。然后，使用例如旋转镀膜法、滚动镀膜法、浸渍法、或喷墨法等适当的手法，形成保护膜4。为了滤波元件3的保护和滤色器1的表面平坦化，形成了该保护膜4。并且，在本发明的实施例中，隔板6的树脂为非透光性的，作为遮光框，但是隔板6的树脂也可以为透光性的，在树脂的下层，形成尺寸比树脂大一圈的由Cr等金属构成的遮光层。
图8表示了用于进行图6(b)所示的滤波元件材料13的供给处理的液滴喷出装置的一个实施例。该液滴喷出装置16是把R、G、B中的一色例如R色的滤波元件材料13作为墨水的液滴8，向母板12(参照图5(b))内的各滤色器形成区域11内的给定位置喷出并附着的装置。虽然也准备了用于G色的滤波元件材料13和B色的滤波元件材料13的液滴喷出装置16，但是，因为它们的构造与图8的相同，所以省略了对它们的说明。
在图8中，液滴喷出装置16包含：具有作为液滴喷出头的一个例子的在打印机等中使用的喷墨头22的头部件26；控制喷墨头22的位置的头位置控制装置17；控制母板12的位置的衬底位置控制装置18；使喷墨头22对于母板12做主扫描移动的作为主扫描驱动部件的主扫描驱动装置19；使喷墨头22对于母板12做副扫描移动的作为副扫描驱动部件的副扫描驱动装置21；把母板12向液滴喷出装置16内的给定位置供给的衬底供给装置23；负责液滴喷出装置16的全部控制的控制装置24。
头位置控制装置17、衬底位置控制装置18、使喷墨头22对于母板12做主扫描移动的主扫描驱动装置19、副扫描驱动装置21等各装置设置在基台9上。另外，这些装置按照需要，由罩壳14覆盖。
如图10所示，例如喷墨头22具有由多个喷嘴27排列为列状而形成的喷嘴列28。喷嘴27的数量例如为180个，喷嘴27的孔径例如为28μm，喷嘴27间的喷嘴间距例如为141μm。在图5(a)和图5(b)中，对于滤色器1以及母板12的主扫描方向X以及与它正交的副扫描方向Y在图10中设定为图示的那样。
喷墨头22设定为其喷嘴列28沿着与主扫描方向X交叉的方向，在向主扫描方向X平行移动时，通过从多个喷嘴27有选择地喷出作为墨水的滤波元件材料13，在母板12(参照图5(b)内的给定位置，附着滤波元件材料13。另外，通过喷墨头22向副扫描方向Y只平行移动给定距离，能使基于喷墨头22的主扫描位置以给定间隔错开。
喷墨头22例如具有图12(a)和图12(b)所示的内部构造。具体地说，喷墨头22例如具有不锈钢制的喷嘴板29、与它相对的振动板31、与它们彼此接合的多个隔离构件32。在喷嘴板29和振动板31之间，通过隔离构件32形成了多个墨水室33和储液室34。多个墨水室33和储液室34通过通路38彼此连通。
在振动板31的适当的位置形成了墨水供给孔36，该墨水供给孔36上连接了墨水供给装置37。该墨水供给装置37向墨水供给孔36供给R、G、B中的一色例如R色的滤波元件材料M。供给的滤波元件材料M充满储液室34，再通过通路38充满墨水室33。
在喷嘴板29上设置有用于从墨水室33把滤波元件材料M喷射为射流状的喷嘴27。另外，在振动板31的形成墨水室33的面的背面，与该墨水室33对应，安装了墨水加压体39。如图12(b)所示，该墨水加压体39具有压电元件41以及夹着它的一对电极42a和42b。压电元件41通过向电极42a和42b的通电，发生挠性变形，向箭头C所示的外侧突出。这样，相当于增大的容积部分的滤波元件材料M从储液室34通过通路38流入墨水室33。
接着，如果解除对压电元件41的通电，则该压电元件41和振动板31都恢复原来的形状。据此，墨水室33液恢复到原来的容积，墨水室33的内部的滤波元件材料M的压力上升，滤波元件材料M变为液滴8，从喷嘴27向母板12(参照图5(b))喷出。并且，在喷嘴27的周边部，为了防止液滴8的飞行弯曲和喷嘴27的堵塞，例如设置有由Ni-四氟乙烯共析镀层构成的拨墨层43。
在图9中，头位置控制装置17具有：使喷墨头22在面内旋转的α电动机44；使喷墨头22绕着与副扫描方向Y平行的轴线摇动转动的β电动机46；使喷墨头22绕着与主扫描方向X平行的轴线摇动转动的γ电动机47；使喷墨头22向上下方向平行移动的Z电动机48。
图8所示的衬底位置控制装置18在图9中具有：承载母板12的台49；使该台49如箭头θ所示的那样，在面内旋转的θ电动机51。另外，如图9所示，图8所示的主扫描驱动装置19具有向X方向延伸的X导轨52和内置了脉冲驱动的线性电动机的X滑块53。X滑块53当内置的线性电动机工作时，沿着X导轨52向主扫描方向平行移动。
另外，如图9所示，图8所示的副扫描驱动装置21具有：向副扫描方向Y延伸的Y导轨54和内置了脉冲驱动的线性电动机的Y滑块56。Y滑块56当内置的线性电动机工作时，沿着Y导轨54向副扫描方向平行移动。
在X滑块53和Y滑块56内脉冲驱动的线性电动机根据向该电动机供给的脉冲信号，能精密地进行输出轴的旋转角度的控制，因此，能高精密地控制支撑在X滑块53上的喷墨头22在主扫描方向X的位置和台49在副扫描方向Y上的位置。并且，喷墨头22和台49的位置控制并不局限于适用了脉冲电动机的位置控制，也能通过使用伺服电动机的反馈控制和其他的任意的控制方法实现。
图8所示的衬底供给装置23具有容纳母板12的衬底容纳部57和输送母板12的机械手58。机械手58具有：放在底座、地面等设置面上的基台59、对于基台59升降移动的升降轴61、以升降轴61为中心旋转的第一臂62、对于第一臂62旋转的第二臂63、设置在第二臂63的顶端的下表面上的吸附垫64。吸附垫64通过空气吸引，能吸附母板12。
在图8中，在由主扫描驱动装置19驱动而做主扫描移动的喷墨头22的轨迹下即副扫描驱动装置21的一方的肋部，配置了压盖装置76和清理装置77。另外，在另一方的肋部位置设置有电子秤78。清理装置77是用于洗净喷墨头22的装置。电子秤78是对各喷嘴测定从喷墨头22内的各喷嘴27(参照图10)喷出的液滴8的重量的仪器。而且，压盖装置76是党喷墨头22处于待机状态时，用于防止喷嘴27(参照图10)的干燥的装置。
在喷墨头22的附近，以和该喷墨头22一体移动的关系，配置了头用相机81。另外，由设置在基台9上的支撑装置(图中未显示)支撑的衬底用相机82被配置在能拍摄母板12的位置上。
图8所示的控制装置24具有：收藏了处理器的计算机主体部66、作为输入装置67的键盘、作为显示装置的CRT(Cathode-ray Tube)显示器68。所述处理器如图14所示，据进行运算处理的CPU(Central ProcessingUnit)69和存储各种信息的存储器即信息记录媒体71。
在图14中，驱动图8所示的头位置控制装置17、衬底位置控制装置18、主扫描驱动装置19、副扫描驱动装置21和喷墨头22内的压电元件41(参照图12(b))的头驱动电路72通过输入输出接口73和总线74连接了CPU69。另外，衬底供给装置23、输入装置67、CRT显示器68、电子秤78、清理装置77以及压盖装置等各仪器液通过73和总线74连接CPU69。
作为信息记录媒体71的存储器是包含了RAM(RandomAccessMemory)、ROM(Read Only Memory)等半导体存储器、硬盘、CD-ROM读取装置、盘型存储媒体等外部存储装置的概念，从功能上分，设定了：存储记述了液滴喷出装置16的控制步骤的程序软件存储区域；把用于实现图7所示的R、G、B阵列的R、G、B内的一色在母板12(参照图5)上的喷出配置作为作为存储的存储区域；用于存储母板12向图9中的副扫描方向Y的副扫描一动量的存储区域；用于CPU69的工作区和作为临时文件起作用的区域、其他各种存储区域。
CPU69根据存储在信息记录媒体71即存储器内的程序软件，用于进行向母板12的表面的给定位置喷出墨水即滤波元件材料13的控制。作为具体的功能实现部，具有：用于进行实现清理处理的演算的清理运算部；用于实现压盖处理的压盖运算部；进行用于实现使用了电子秤78(参照图8)的重量测定的演算的重量测定运算部；通过液滴喷出，进行用于描绘滤波元件材料13的演算的描绘运算部。
如果详细分割描绘运算部，则具有以下各种功能运算部，包括：用于把喷墨头22设置到用于描绘的开始位置的描绘开始位置运算部；演算用于以给定速度使喷墨头22向主扫描方向X扫描移动的控制的主扫描控制运算部；演算用使母板12向副扫描方向Y只移动给定的副扫描量的控制的副扫描控制运算部；进行用于控制喷墨头22内的多个喷嘴27中的哪个工作，喷出墨水即滤波元件材料13的演算的喷嘴喷出控制运算部等。
并且，在本实施例中，使用CPU69，在软件上实现了所述的各功能，但是，当能由不使用CPU69的单独的电子电路实现所述的各功能时，也能使用这样的电子电路。
下面，根据图15所示的程序流程图，说明具有所述结构的液滴喷出装置16的动作。
如果操作者接通电源，使液滴喷出装置16工作，首先，在步骤S1中，实现了初始设定。具体地说，头部件26、衬底供给装置23、控制装置24等被设置为预先决定的初始状态。
接着，如果到了重量测定定时(步骤S2中YES)，把图9的头部件26通过主扫描驱动装置19移动到图8的电子秤78的地方(步骤S3)，用电子秤78测定从喷嘴27喷出的墨水的量(步骤S4)。然后，按照喷嘴27的墨水喷出特性，调节外加在与各喷嘴27对应的压电元件41上的电压(步骤S5)。
然后，如果到了清理定时(步骤S6中YES)，通过主扫描驱动装置19，把头部件26移动到清理装置77的地方(步骤S7)，通过该清理装置77对喷墨头22进行清理(步骤S8)。
当重量测定定时和清理定时未到时(步骤S2和步骤S6中为NO)，或这些处理结束了时，在步骤S9中，使图8的衬底供给装置23工作，向台49供给母板12。具体地说，通过吸附垫64吸附保持衬底容纳部57内的母板12。接着，使升降轴61、第一臂62、第二臂63移动，把母板12输送到台49，再按到在台49的适当地方上预先设置的定位销50(参照图9)上。并且，为了防止台49上的母板12的位置偏移，最好用空气吸引等方法，把母板12固定在台49上。
接着，一边通过图8的衬底用相机82观察母板12，一边通过以微小的角度单位使图9的θ电动机51的输出轴转动，以微小的角度单位使台49在面内旋转，对母板12定位(步骤S10)。然后，一边用图8的头用相机观察母板12，一边通过演算决定由喷墨头22开始描绘的位置(步骤S11)。然后，使主扫描驱动装置19和副描驱动装置21适当工作，把喷墨头22移动到描绘开始位置(步骤S12)。
此时，喷墨头22被配置为如图1的(a)位置所示，喷嘴列28对于喷墨头22的副扫描方向Y以角度θ倾斜。当为通常的液滴喷出装置16时，相邻的喷嘴的间隔即喷嘴间距与相邻的滤波元件3即滤波元件形成区域7的间隔即元件间距不同，当使喷墨头22向主扫描方向X移动时，这是用于使喷嘴间距在副扫描方向Y的尺寸成分与元件间距在几何上相等的措施。
图15的步骤S12中，如果喷墨头22被放到描绘开始位置，则在图1中，喷墨头22被放在(a)位置。然后，在图15的步骤13中，开始了主扫描方向X的主扫描，同时但是墨水的喷水。具体地说，图9的主扫描驱动装置19工作，喷墨头22以一定的速度向图1的主扫描方向X直线扫描移动，在该移动中，与应该供给墨水的滤波元件形成区域7对应的喷嘴27到达时，从该喷嘴27喷出墨水即滤波元件材料13。
并且，此时的墨水喷出量不是填充滤波元件形成区域7的全部容积的量，而是该总量的数分之一，在本实施例中为总量的1/4。这是因为如后所述，各滤波元件形成区域7不是由来自喷嘴27的一次的墨水喷出所填充，是由数次的墨水喷出的重叠，在本实施例中，是由4次的重叠喷出，填充了全部容积。
喷墨头22如果结束了对于母板12的一行的主扫描(步骤S14中，YES)，就反向移动，回到初始位置(a)(步骤S15)。然后，喷墨头22由副扫描驱动装置21驱动，向副扫描方向Y只移动预先决定的副扫描量δ(步骤S16)。
在本实施例中，CPU69在图1中把喷墨头22的形成喷嘴列28的多个喷嘴在概念上分割为多个组n。在本实施例中，n＝4，即把由180个喷嘴27构成的长度L的喷嘴列28分割为四个组考虑。据此，一个喷嘴组为包含180/4＝45个喷嘴27的长度L/n即L/4。所述的副扫描量δ设定为所述的喷嘴组长度L/4在负扫描方向的长度即(1/4)cos θ。
因此，结束了一行的主扫描而回到初始位置(a)的喷墨头22在图1中只向副扫描方向Y平行移动δ，移动到位置(b)。并且，在图1中，位置(a)和位置(b)关于主扫描方向X稍微错开，这是为了便于理解说明的措施，实际上，位置(a)和位置(b)关于主扫描方向X是同一位置。
移动到位置(b)的喷墨头22在步骤S13中反复执行主扫描移动和墨水喷出。在该主扫描移动时，在母板12上的滤色器形成区域11内的第二列的行从开头的喷嘴组开始接受墨水喷出的同时，第一列的行从开头开始的第二个喷嘴组，接受第二次的墨水喷出。
此后，喷墨头22如位置(c)～位置(k)所示，一边重复副扫描移动，一边重复主扫描移动和墨水的喷出(步骤S13～16)。据此，母板12的滤色器形成区域11的一列的墨水附着处理结束。在本实施例中，因为把喷嘴列28分割为四个组，决定了副扫描量δ，所以如果所述的滤色器形成区域11的一列的主扫描和副扫描结束，则各滤波元件形成区域7分别从四个喷嘴组接受各一次，合计四次的墨水喷出处理，它的全部容积内被供给了给定量的墨水即滤波元件材料。
这样一来，如果滤色器形成区域11的一列的墨水喷出结束，则喷墨头22由副扫描驱动装置21驱动，被运送到下一列的滤色器形成区域11的初始位置(步骤S19)。然后，对于该列的滤色器形成区域11重复主扫描、副扫描和墨水喷出，在滤波元件形成区域7内形成滤波元件(步骤S13～S16)。
然后，如果关于母板12内的所有滤色器形成区域11，形成了R、G、B的一色例如R色的滤波元件3(步骤S18中，YES)，在步骤S20中由衬底供给装置23或别的输送装置把处理后的母板12向外部排出。然后，只要操作员未进行处理结束的指示(步骤S21中，NO)，就回到步骤S2，反复进行对于别的母板12的对于R的一色的墨水喷出附着作业。
如果有来自操作员的作业结束的指示(步骤S21中，为YES)，则CPU69在图8中把喷墨头22移动到压盖装置76的地方，通过该压盖装置76对喷墨头22进行压盖处理(步骤S22)。
如以上所述，结束了对构成滤色器1的R、G、B三色中的第一色例如R色的图案形成。然后，把母板12输送到以R、G、B的第二色例如G色为滤波元件材料的液滴喷出装置16，进行G色的图案形成。最后，输送到以R、G、B的第三色例如B色为滤波元件材料的液滴喷出装置16，进行B色的图案形成。据此，制造了形成了多个具有带状阵列等希望的R、G、B点阵列的滤色器1(图5(a))的母板12。通过把该母板12按各滤色器形成区域11切断，就切出了多个滤色器1。
并且，如果把本滤色器1用于液晶装置的彩色显示，则在本滤色器1的表面上还要层叠电极和定向膜。此时，如果在层叠电极和定向膜之前，切断母板12，切出各滤色器1，则其后的电极等的形成步骤变得非常麻烦。因此，此时，不是切断母板12，而是最好在电极形成和定向膜形成等必要的附加步骤结束后，切断母板12。
如以上所述，根据本实施例的滤色器的制造方法和制造装置，图5(a)所示的滤色器1内的各滤波元件3不是由喷墨头22(参照图1)的一次主扫描形成，各滤波元件3从属于不同喷嘴组的多个喷嘴27接受n次，在本实施例中为4次的重叠喷嘴喷出，形成给定的膜厚。因此，即使假设在多个喷嘴27间在墨水喷出量上存在偏移，也能防止该多个滤波元件3间在膜厚上产生偏移，因此，能使滤色器1的光透过性在平面上是均匀的。
当然，本实施例的制造方法中，通过使用了喷墨头22的墨水喷出形成滤波元件3，所以没必要经过象使用光刻的方法那样复杂的步骤，也不会浪费材料。
但是，形成喷墨头22的喷嘴列28的多个喷嘴27的墨水喷出量的分布不均匀如图36(a)所示。另外，特别是存在于喷嘴列28的两端部的数个例如每一端各10个喷嘴27的喷出量变的很多。这样，使用墨水喷出量比其他的喷嘴27多很多的喷嘴27不利于墨水喷膜即滤波元件的膜厚的均匀。
因此，最好如图13所示，形成喷嘴列28的多个喷嘴27中位于喷嘴列28的两端部E的数个例如10个左右预先设定为不喷出墨水，存在于剩下的部分F中的喷嘴27分割为多个例如4个组，以该喷嘴组单位进行副扫描移动。
在本实施例中，使用无透光性的树脂材料作为隔板6，但是当然也可以为透光性的隔板6，能使用透光性的树脂材料。此时，可以在与滤波元件3之间对应的位置例如隔板6之上、隔板6之下另外设置遮光性的金属膜或树脂材料，作为遮光框。另外，也可以用透光性的树脂材料形成隔板6，采取不设置遮光框的结构。
另外，在本实施例中，使用了R、G、B作为滤波元件3，但是，当然并不局限于此，例如也可以采用C(青色)、M(洋红)、Y(黄色)。此时，可以使用具有C、M、Y色的滤波元件材料代替R、G、B的滤波元件材料。
而且，在本实施例中，通过光刻形成了隔板6，但是也可以与滤色器1同样，由喷墨法形成隔板6。
(关于滤色器制造方法以及制造装置的说明2)
图2是用于说明刚才说明的本发明的滤色器制造方法及其制造装置的变形例的图，模式化地表示了使用喷墨头22，通过喷出，向母板12内的滤色器形成区域11内的各滤波元件形成区域7供给墨水即滤波元件材料13的情形。
由本实施例实施的简要步骤与图6所示的步骤相同，在墨水的喷出附着时使用的液滴喷出装置也与图8所示的装置在机构上相同。另外，图14的CPU69把形成喷嘴列28的多个喷嘴27在概念上分为n个例如4个组，与各喷嘴组的长度L/n或L/4对应决定副扫描量δ也与图1相同。
本实施例与图1所示的上述的实施例的不同点在于：在图14中，改变了信息存储媒体71即存储器中存储的程序软件，具体地说，在由CPU69进行的主扫描控制演算和副扫描控制演算中加入了改变。
更具体地说，在图2中，喷墨头22在向主扫描方向X的扫描移动结束后，不回到初始位置，在向1方向的主扫描移动结束后，立刻只向副扫描方向移动相当于一个喷嘴组的移动量δ，向主扫描方向X的所述1方向的反方向进行扫描移动，回到从初始位置(a)向副扫描方向错开了δ的位置(b’)。并且，从位置(a)到位置(b)的主扫描器件和从位置(b)到位置(b’)的主扫描移动期间的两个期间中，从多个喷嘴27有选择地喷出了墨水。
即在本实施例中，喷墨头22的主扫描和副扫描不夹杂复原动作，连续交替进行，据此，能省略用于复原动作所消耗的时间，能缩短作业时间。
(关于滤色器制造方法以及制造装置的说明3)
图3是用于说明刚才说明的本发明的滤色器制造方法及其制造装置的变形例的图，模式化地表示了使用喷墨头22，通过喷出，向母板12内的滤色器形成区域11内的各滤波元件形成区域7供给墨水即滤波元件材料13的情形。
由本实施例实施的简要步骤与图6所示的步骤相同，在墨水的喷出附着时使用的液滴喷出装置也与图8所示的装置在机构上相同。另外，图14的CPU把形成喷嘴列28的多个喷嘴27在概念上分为n个例如4个组，与各喷嘴组的长度L/n或L/4对应决定副扫描量δ也与图1相同。
本实施例与图1所示的上述的实施例的不同点在于：在图15的步骤S12中，当把喷墨头22设置在母板12的描绘开始位置时，该喷墨头22如图3的(a)位置所示，喷嘴列延伸的方向与副扫描方向Y平行。这样的喷嘴的排列构造当关于喷墨头22的喷嘴间距和关于母板12的元件间距相等时，是有利的构造。
即使在本实施例中，喷墨头22从初始位置(a)到结束位置(k)，一边反复进行向主扫描方向X的扫描移动、向初始位置的复原移动和向副扫描方向Y的移动量为δ的副扫描移动，一边在主扫描移动期间中，从多个喷嘴27有选择地喷出墨水滤波元件材料。据此，使滤波元件材料向母板12内的滤色器形成区域11内的滤波元件形成区域7内服桌。
并且，在本实施例中，喷嘴列28被设定为平行于副扫描方向Y。据此，副扫描移动量δ设定为与分割的喷嘴组的长度L/n即L/4相等。
(关于滤色器制造方法以及制造装置的说明4)
图4是用于说明刚才说明的本发明的滤色器制造方法及其制造装置的变形例的图，模式化地表示了使用喷墨头22，通过喷出，向母板12内的滤色器形成区域11内的各滤波元件形成区域7供给墨水即滤波元件材料13的情形。
由本实施例实施的简要步骤与图6所示的步骤相同，在墨水的喷出附着时使用的液滴喷出装置也与图8所示的装置在机构上相同。另外，图14的CPU把形成喷嘴列28的多个喷嘴27在概念上分为n个例如4个组，与各喷嘴组的长度L/n或L/4对应决定副扫描量δ也与图1相同。
本实施例与图1所示的上述的实施例的不同点在于：在图15的步骤S12中，当把喷墨头22设置在母板12的描绘开始位置时，该喷墨头22如图4(a)所示，喷嘴列28延伸的方向与副扫描方向Y平行；与图2的实施例同样，喷墨头22的主扫描和副扫描不夹杂复原动作，连续交替进行。
并且，在图4所示的本实施例和图3所示的刚才的实施例中，主扫描方向X对于喷嘴列28成直角，所以如图所示，通过把喷嘴列28沿着主扫描方向X设置两列，能通过同一扫描线上的两个喷嘴27向一个滤波元件形成区域7供给滤波元件材料13。
(关于滤色器制造方法以及制造装置的说明5)
图16是用于说明刚才说明的本发明的滤色器制造方法及其制造装置的变形例的图，表示了喷墨头22A。该喷墨头22A与图10所示的喷墨头22的不同点在于：喷出R色墨水的喷嘴列28R、喷出G色墨水的喷嘴列28G、喷出B色墨水的喷嘴列28B等三种喷嘴列形成一个喷墨头22A。这三种分别设置有图12(a)和图12(b)所示的墨水喷出系统，在与R色喷嘴列28R对应的墨水喷出系统上连接了R墨水供给装置37R，在与G色喷嘴列28G对应的墨水喷出系统上连接了G墨水供给装置37G，在与B色喷嘴列28对应的墨水喷出系统上连接了B墨水供给装置37B。
由本实施例实施的简要步骤与图6所示的步骤相同，在墨水的喷出附着时使用的液滴喷出装置也与图8所示的装置在机构上相同。另外，图14的CPU把形成喷嘴列28R、28G、28B的多个喷嘴27在概念上分为n个例如4个组，对于各喷嘴组，以副扫描移动量δ进行副扫描移动也与图1相同。
在图1所示的实施例中，在中只设置有一种喷嘴列28，当由R、G、B三色形成滤色器1时，对于R、G、B三色必须分别准备图8所示的喷墨头22。而当使用图16所示的构造的喷墨头22A时，通过喷墨头22A向主扫描方向X的一次主扫描，就能同时使R、G、B三色附着到母板12上，所以只需要准备一个喷墨头22就足够了。另外，通过使各色的喷嘴列28的间隔与母板12的滤波元件形成区域7的间距一致，能同时进行R、G、B三色的附着。
(关于使用了滤色器的电光装置的制造方法以及制造装置的说明)
图17表示了作为本发明的电光装置的一个例子的液晶装置的制造方法。另外，图18表示了由该制造方法制造的液晶装置的一个实施例。另外，图19表示了图18的IX-IX线的液晶装置的剖面构造。在说明液晶装置的制造方法和制造装置之前，首先举例说明由该制造方法制造的液晶装置。并且，本实施例的液晶装置是以单纯矩阵方式进行全彩色显示的半透射方式的液晶装置。
在图18中，液晶装置101在液晶面板102上安装作为半导体芯片的液晶驱动用IC103a和液晶驱动用IC103b，把作为布线连接部件的FPC(Flexible Printed Circuit)104与液晶面板102相连。而且，通过在液晶面板102的背面一侧设置照明装置106作为背光，形成了液晶装置101。
通过用密封材料108把第一衬底107a和第二衬底107b贴合在一起，形成了液晶面板102。例如通过丝网印刷，使环氧类树脂环状附着在第一衬底107a或第二衬底107b的内侧表面上，形成了密封材料108。另外，如图19所示，在密封材料108的内部，以分散状态包含了由导电性材料形成为球状或圆筒状的导通材料109。
在图19中，第一衬底107a具有由透明的玻璃、透明的塑料形成的板状基体材料111a。该基体材料111a的内侧表面(图19的上表面)上形成了反射膜112，在其上层叠了绝缘膜113，并且从箭头D的方向观察，在其上第一电极114a形成了带状(参照图8)，再在其上形成定向膜116a。另外，在基体材料111a的外侧表面(图19的下侧表面)上通过粘贴等安装了偏振片117a。
在图18中，为了容易理解第一电极114a的阵列，比实际大幅度放大表示了这些带间隔，因此，表示的第一电极114a的个数虽然少，但是实际上，在基体材料111a上形成了更多第一电极114a。
在图19中，第二衬底107b具有由透明的玻璃、透明的塑料形成的板状基体材料111b。在该基体材料111b的内侧表面(图19的下侧表面)上形成了滤色器118，从箭头D向与所述第一电极114a正交的方向观察，在其上第二电极114b形成了带状(参照图18)，再在其上形成了定向膜116b。另外，在基体材料111b的外侧表面(图19的上表面)上通过粘贴等安装了偏振片117b。
在图18中，为了容易理解第二电极114b的阵列，与第一电极114a的情形同样，比实际大幅度放大表示了这些带间隔，因此，表示的第二电极114b的个数虽然少，但是实际上，在基体材料111b上形成了更多第二电极114b。
在图19中，在由第一衬底107a、第二衬底107b以及密封材料108围成的间隙即所谓的单元间隙内，封入液晶例如STN(Super TwistedNematic)液晶L。在第一衬底107a或第二衬底107b的内侧表面分散了很多微小、球形的间隔团119，通过在单元间隙内存在这些间隔团119，使该单元间隙的厚度保持均匀。
第一电极114a和第二电极114b配置为彼此正交，从图19的箭头D方向观察，它们的交叉点排列为点矩阵状。而且，该点矩阵状的各交叉点构成一个象素。从箭头D方向观察，通过使R(红)、G(绿)、B(蓝)等各色要素以给定的图形例如带状阵列、三角阵列、镶嵌阵列等图案排列，形成了滤色器118。所述的一个象素对应于R、G、B的各一个，而且R、G、B的三色象素成为一个单元，构成了一个象素。
通过有选择地使排列成点矩阵状的多个象素发光，在液晶面板102的第二衬底107b的外侧显示了文字、数字的图像。这样显示了图像的区域为有效象素区域，在图18和图19中，由箭头V表示的平面的矩形区域成为有效象素区域。
在图19中，通过APC合金、AL(铝)等光反射特性材料形成了反射膜112，在第一电极114a和第二电极114b的交点即与各象素对应的位置，形成了开口121。结果，从图19的箭头D方向观察，开口121配置为与象素相同的点矩阵状。
第一电极114a和第二电极114b例如由透明导电材料即ITO(Indium-Tin Oxide)形成。另外，通过使环氧类树脂附着为一样厚度的膜状，形成了定向膜116a、116b。这些定向膜116a、116b通过接受摩擦处理，决定了第一衬底107a、第二衬底107b的表面上的液晶分子的初始定向。
在图18中，第一衬底107a形成了比第二衬底107b更宽的面积，当通过密封材料108把这些衬底贴合在一起时，第一衬底107a具有向第二衬底107b的外侧伸出的衬底伸出部107c。而且在该衬底伸出部107c上，以适当的图案形成了以下各种布线：从第一电极114a延伸出来的引出布线114c；通过存在于密封材料108的内部的导通材料109(参照图19)，与第二衬底107b上的第二电极114b导通的引出布线114d；连接了液晶驱动用IC103a的输入用凸起103a即输入用端子的金属布线114e；连接了液晶驱动用IC103b的金属布线114f等各种布线。
在本实施例中，从第一电极114a延伸出来的引出布线114c以及向第二电极114b通电的引出布线114d由与这些电极相同的材料的ITO即导电性氧化物形成。另外，液晶驱动用IC103a、103b的输入一侧的布线即金属布线114e、114f由电阻值低的金属材料例如APC合金形成。该APC合金是主要包含Ag，还包含Pd和Cu的合金，例如Ag98％，Pd1％，Cu1％。
液晶驱动用IC103a、103b通过ACF(AnisotropicConductive Film：各向异性导电膜)122接合在衬底伸出部107c的表面上。即在本实施例中，形成了半导体芯片直接安装在衬底上的构造的所谓的COG(Chip On Glass)方式的液晶面板。在该COG方式的安装构造中，通过ACF122的内部包含的导电粒子，液晶驱动用IC103a、103b的输入一侧的凸起和金属布线114e、114f被导电连接，并且液晶驱动用IC103a、103b的输出一侧的凸起和引出布线114c、114d被导电连接。
在图18中，FPC104具有：挠性的树脂薄膜123、包含了芯片部件的电路126、金属布线端子127。电路126通过焊接以及其他的导电连接方法，直接搭载在树脂薄膜123的表面上。金属布线端子127由APC合金、Cr、Cu以及其他导电性材料形成。FPC104中形成了金属布线端子127的部分通过ACF122连接了第一衬底107a中形成了金属布线114e、114f的部分。而且，通过ACF122的内部包含的导电粒子的运动，衬底一侧的金属布线114e、114f和FPC一侧的金属布线端子127导通。
在FPC104的相反一侧的边端部形成了外部连接端子131，该外部连接端子131连接了图中未显示的外部电路。而且，根据从该外部电路传来的信号，驱动了液晶驱动用IC103a、103b，向第一电极114a和第二电极114b的一方提供了扫描信号，向另一方提供了数据信号。据此，排列在有效显示区域V内的点矩阵状的象素按各象素控制了点压，结果，液晶L的定向在各象素中被控制。
在图18中，作为所谓的背光起作用的照明装置106如图19所示，具有：由丙烯酸类树脂构成的导光体132、设置在该导电体132的光出射面132b上的扩散薄板133、设置在导光体132的光出射面132b的相对面上的反射薄板134、作为发光源的LED(Light Emitting Diode)136。
LED136由LED衬底137支撑，该LED衬底137例如安装在与导光体132一体形成的支撑部(图中未显示)上。通过把LED衬底137安装在支撑部的给定位置，LED136被放在与导光体132的侧边端面即光取入面132a相对的位置。并且，符号138表示了用于缓冲加在液晶面板102上的冲击的缓冲材料。
如果LED136发光，则该光从光取入面132a进入，向导光体132的内部传播，在反射薄板134和导光体的壁面反射，在传播时，从光出射面132b通过扩散薄板133，作为平面光向外部出射。
因为本实施例的液晶装置101具有以上的结构，所以当太阳光、室内光等外部光十分明亮时，在图19中，从第二衬底107b一侧外部光入射导液晶面板102的内部，该光通过液晶L后，由反射膜112反射，再提供给液晶L。液晶L通过夹着它的电极114a、114b，对各R、G、B象素进行了定向控制。因此，供给导液晶L的光在各象素被调制，通过该调制，由通过偏振片117b的光和不能通过的光在液晶面板102的外部显示了文字、数字等的图像。据此，进行了反射型的显示。
另一方面，当外部光不充分时，LED136发光，从导光体132的光出射面132b射出平面光，该光通过反射膜112上形成的开口121，提供给液晶L。此时，与反射型的显示同样，通过定向控制的液晶L，供给的光在各象素被调制。据此，在外部显示了图像，进行了通过型的显示。
例如，由图17所示的制造方法制造了所述结构的液晶装置101。在该制造方法中，步骤P1～P6的一系列步骤是形成第一衬底107a的步骤，步骤P11～步骤P6的一系列步骤是形成第二衬底107b的步骤。第一衬底的形成步骤和第二衬底的形成步骤通常分别独自进行。
首先，如果就第一衬底的形成步骤加以说明，则使用光刻法等，在由透光性玻璃、透光性塑料等形成的大面积的母原料衬底的表面上，形成多个液晶面板102的反射膜。再在其上使用众所周知的成膜法形成绝缘膜113(步骤P1)。接着，使用光刻法，形成第一电极114a、引出布线114c、114d和金属布线114e、114f(步骤P2)。
然后，通过涂抹、印刷等，在第一电极114a之上形成定向膜116a(步骤P3)，再通过对该定向膜116a进行摩擦处理，决定液晶的初始定向(步骤P4)。接着，通过例如丝网印刷等，把密封材料108形成环状(步骤P5)。接着，再在其上分散球状的间隔团119(步骤P6)，就形成了具有多个液晶面板102的第一衬底107a上的面板结构的大面积的母第一衬底。
实施与以上的第一衬底形成步骤不同的第二衬底形成步骤(图17的步骤P11～步骤P14)。首先，准备由透光性玻璃、透光性塑料等形成的大面积的母原料衬底，在其表面上形成多个液晶面板102的滤色器118(步骤P11)。使用图6所示的制造方法进行了该滤色器118的形成步骤，使用图8的液滴喷出装置16，根据图1～图4等表示的喷墨头22的控制方法，进行了该制造方法中的R、G、B各色滤波元件的形成。因为这些滤波元件的制造方法以及喷墨头22的控制方法与已经说明的内容相同，所以省略了它们的说明。
如图6(d)所示，如果在母板12即母原料衬底之上，形成了滤色器1即滤色器118，则接着通过光刻法，形成了第二电极114b(步骤P12)。再通过涂抹、印刷等形成了定向膜116b(步骤P13)。接着，对于该定向膜116b实施了摩擦处理，决定了液晶的初始定向(步骤P14)。据此，形成了具有多个液晶面板102的第二衬底107b上的面板结构的大面积的母第二衬底。
据此，在形成了大面积的母第一衬底和母第二衬底后，使这些母衬底在其间夹着密封材料108，对齐即对位后，彼此贴合(步骤P21)。据此，形成了包含多个液晶面板的面板部分，并且还未封入液晶状态的空的面板构造体。
接着，在完成的空的面板构造体的给定位置，形成划线沟即切断用沟，在以该划线沟为基准，使面板构造体断开，即切断面板构造体(步骤P22)。据此，形成了各液晶面板部分的密封材料108的液晶注入用开口110(参照图18)为向外部露出的状态的所谓的长方形的空的面板构造体。
然后，通过露出的液晶注入用开口110，向各液晶面板部分的内部注入液晶L，在通过树脂等密封值各液晶注入用开口110(步骤P23)。通常的液晶注入处理例如在储存容器中存储液晶，把该存储了液晶的储存容器和长方形的空面板放入罐等中。使该罐为真空状态后，在该罐内部，使长方形的空面板浸渍在液晶中。然后通过把罐向大气压开放，进行了液晶的注入。此时，因为面板的内部为真空状态，所以由大气压加压的液晶通过液晶注入用开口被导入面板的内部。因为液晶注入后的液晶面板构造体的周围附着了液晶，所以在步骤P24中，液晶注入处理后的长方形面板接受洗净处理。
然后，对于结束了液晶注入和洗净的长方形的母面板，再在给定位置形成划线沟。再以该划线沟为基准，切断长方形面板。据此，分别切出了多个液晶面板102(步骤P25)。对于这样制作的液晶面板102，如图18所示，安装液晶驱动用IC103a、103b，安装照明装置106作为背光，再通过连接FPC104，就完成了目标的液晶装置101(步骤P26)。
以上说明的液晶装置及其制造方法特别是在制造滤色器1的阶段中，具有如下特征。即图5(a)所示的滤色器1即图19的滤色器118内的各滤波元件3不是由喷墨头22(参照图1)的一次主扫描X形成，各滤波元件3是通过从属于不同的喷嘴组的多个喷嘴27接受n次例如4次重叠的墨水喷出，形成了给定的膜厚。因此，即使假设多个喷嘴27间在墨水喷出量上存在偏移时，也能防止在多个滤波元件3间，在膜厚上产生偏移，因此，能使滤色器1的光透过性在平面上是均匀的。在图19的液晶装置101中，得到了没有颜色不匀的鲜明的彩色显示。
另外，在本实施例的液晶装置的制造方法及其制造装置中，通过使用图8所示的液滴喷出装置16，通过使用了喷墨头22的墨水喷出，形成滤波元件3，所以没必要经过使用光刻法的方法的复杂步骤，另外也不浪费材料。
(关于使用了滤色器的电光装置的制造方法以及制造装置的说明)
图20表示了作为本发明的电光装置的一个例子的EL装置的制造方法。另外，图21表示了该制造方法的主要步骤以及最终得到的EL装置的主要剖面构造。如图21(d)所示，EL装置201中，在透明衬底204上形成象素电极202，从箭头G方向观察，各象素电极202形成格子状。在这些格子状的凹部中形成空穴注入层220，在各格子状的凹部中，形成R色发光层203R、G色发光层203G、B色发光层203B，从箭头G方向观察，它们成为带状阵列等给定的阵列。再通过在它们之上，形成相对电极213，就形成了EL装置201。
当所述象素电极202由TFD(Thin Film Diode：薄膜二极管)元件等2端子型的有源元件驱动时，从箭头G方向观察，所相对电极213形成了带状。另外，当由TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶体管)元件等三端子型的有源元件驱动时，作为单面电极，形成了所述相对电极213。
由各象素电极202和各相对电极213夹着的区域变成一个象素，R、G、B三色的象素成为一个单元，形成一个象素。通过流过各象素的电流，有选择地使多个象素中的希望的象素发光，据此，能在箭头H方向显示希望的全彩色图像。
所述EL装置201例如由图20所示的制造方法制造。即如步骤P51和图21(a)所示，在透明衬底204的表面上形成TFD元件和TFT元件等有源元件，再形成象素电极202。作为形成方法，能使用例入光刻法、真空蒸镀法、溅射法、高温溶胶法。作为象素电极202的材料，能使用ITO(Indium-Tin Oxide)、氧化锡、氧化铟和氧化锌的复合氧化物等。
接着，如步骤P52和图21(a)所示，使用众所周知的图案形成方法例如光刻法，形成隔离壁即隔板205，通过该隔板205填充了各象素电极202之间。据此，能提高对比度，防止发光材料的混色，来自象素和象素之间的光泄漏。作为隔板205的材料，如果是对于EL发光材料的溶剂具有耐久性的材料，就没有特别限定，但是，最好是通过碳氟化合物气体等离子体处理，能形成比较涂层的例如丙烯酸类树脂、环氧树脂、感光性聚酰亚胺等有机材料。
接着，在涂抹作为功能性液体的空穴注入层用墨水之前，在透明衬底204上进行氧气和碳氟化合物气体等离子体的连续等离子体处理(步骤P53)。据此，聚酰亚胺表面被防水化，ITO表面被亲水化，能控制用于细微地使液滴形成图案的衬底一侧的浸湿性。作为等离子体发生装置，能使用在真空中产生等离子体的装置，也能使用在大气中产生等离子体的装置。
接着，如步骤P54和图21(a)所示，从图8的液滴喷出装置16的喷墨头22喷出空穴注入层用墨水，在各象素电极202上，进行图案涂敷。具体的喷墨头22的控制方法使用了图1、图2、图3以及图4所示的方法中的任意方法。该涂敷后，在真空(1torr)中、室温、20分钟的条件下，除去溶剂(步骤P55)。然后，在大气中，在20℃(热板上)，通过10分钟的热处理，形成与发光层用墨水不相溶的空穴注入层220(步骤P56)。所述条件中，膜厚为40nm。
接着，如步骤P57和图21(b)所示，使用液滴喷出方法，在各滤波元件形成区域7内的空穴注入层220上涂敷功能性液体即作为EL发光材料的R发光层用墨水和功能性液体即作为EL发光材料的G发光层用墨水。在此，各发光层用墨水从图8的液滴喷出装置16的喷墨头22喷出。喷墨头22的控制方法使用了图1～图4所示的方法中的任意的方法。根据喷墨方式，能简便并在短时间内形成微细的图案。另外，通过改变墨水组成物的固体成分浓度和喷出量，能改变膜厚。
在发光层用墨水的涂敷后，在真空(1torr)中、室温、20分钟等的条件下，除去溶剂(步骤P58)。接着，在氮气气体介质中，通过150℃、4小时的热处理，共轭化，形成R色发光层203R和G色发光层203G(步骤P59)。根据所述条件，膜厚为50nm。通过热处理共轭化的发光层不溶于溶剂。
并且，在形成发光层之前，可以对空穴注入层220进行氧气和碳氟化合物气体等离子体的连续等离子体处理。据此，在空穴注入层220上形成了氟化物层，由于离子电压升高，所以空穴注入效率增加，能提供发光效率高的有机EL装置。
接着，如步骤P60和图21(c)所示，在各象素内的R色发光层203R、G色发光层203G以及空穴注入层220之上，层叠形成了功能性液体即作为EL发光材料的B色发光层203B。据此，不仅形成R、G、B三原色，还能填充R色发光层203R以及G色发光层203G与隔板205的梯度差，使表面平坦。据此，能可靠地防止上下电极间的短路。通过调整B色发光层203B的膜厚，在B色发光层203B和R色发光层203R以及G色发光层203G的层叠构造中，作为电子注入输送层起作用，不发B色光。
作为以上那样的B色发光层203B的形成方法，例如作为湿式法，也能采用一般的旋转镀膜法，或采用与R色发光层203R以及G色发光层203G的形成法同样的喷墨法。
然后，如步骤P61和图21(d)所示，通过形成相对电极213，就制造了目标的EL装置201。相对电极213是表面电极时，能以例如Mg、Ag、Al、Li等为材料，使用蒸镀法、溅射法等成膜法形成。另外，当相对电极213为带状电极时，能使用光刻法等图案形成方法，形成成膜的电极层。
根据以上说明的EL装置201的制造方法及其制造装置，采用了图1～图4所示的任意的控制方法作为喷墨头的控制方法，所以图21的各象素内的空穴注入层220以及R、G、B各色发光层203R、203G、203B不是由喷墨头(参照图1)的一次主扫描X形成的，一个象素内的空穴注入层以及/或各色发光层是通过从属于不同的喷嘴组的多个喷嘴27接受n次例如4次重叠的墨水喷出，形成了给定的膜厚。因此，即使假设多个喷嘴27间在墨水喷出量上存在偏移时，也能防止多个象素间在膜厚上产生偏移，因此，能使EL装置的光透过性在平面上是均匀的。在图21(d)的EL装置201中，得到了没有颜色不匀的鲜明的彩色显示。
另外，在本实施例的液晶装置的制造方法及其制造装置中，通过使用图8所示的液滴喷出装置16，通过使用了喷墨头22的墨水喷出，形成R、G、B的各色象素，所以没必要经过使用光刻法的方法的复杂步骤，另外也不浪费材料。
(关于滤色器的制造方法以及制造装置的实施例)
下面，参照附图，说明本发明的滤色器的制造装置的实施例。首先，在说明滤色器的制造装置之前，先说明制造的滤色器。图33是表示滤色器的局部放大图，图33(A)是俯视图，图33(B)是图33(A)的X-X线剖视图。并且，在该图33所示的滤色器中，对于与图5所示的实施例的滤色器1相同的构成，采用相同符号进行说明。
[滤色器的结构]
在图33(A)中，滤色器1具有排列为矩阵状的多个象素1A。这些象素1A的边界由隔板6划分。在象素1A的一个一个中，导入了红(R)、绿(G)、蓝(B)中的任意的墨水即作为液体的滤色材料即滤波元件材料13。以所谓的镶嵌阵列说明了图33所示的滤色器，但是，如以上所述，也能使用带状阵列和镶嵌阵列等任意的配置。
滤色器1如图33(B)所示，具有透光性的衬底12和透光性的隔板6。不形成即除去该隔板6的部分构成所述象素1A。导入该象素1A中的各色滤波元件材料13构成成为着色层的滤波元件3。隔板6和滤波元件3的上表面上形成了保护层即保护膜4和电极层5。
[滤色器的制造装置的结构]
下面，参照附图说明制造所述滤色器的制造装置的结构。图22是表示本发明的滤色器的制造装置的去掉了液滴喷出处理装置的一部分的立体图。
滤色器制造装置制造构成作为电光装置的彩色液晶面板的滤色器1。该滤色器制造装置具有图中未显示的液滴喷出装置。
[液滴喷出处理装置的结构]
而且，液滴喷出装置与上述的各实施例的液滴喷出装置同样，具有图22所示的三台液滴喷出处理装置405R、405G、405B。这些液滴喷出处理装置405R、405G、405B与把作为液体的墨水即滤色材料即例如R、G、B的滤波元件材料13向母板12上分别喷出的的R、G、B三色对应。并且，这些液滴喷出处理装置405R、405G、405B配置为近直列状，构成液滴喷出装置。另外，在各液滴喷出处理装置405R、405G、405B中，一体设置有控制各构成构件的动作的控制装置。
并且，各液滴喷出处理装置405R、405G、405B上，分别连接了母板12一块一块地搬到和搬离这些液滴喷出处理装置405R、405G、405B的图中未显示的输送机械手。另外，在各液滴喷出处理装置405R、405G、405B上，连接了例如能容纳六块母板12，并且对母板12进行热处理，例如在120℃加热5分钟，使吐出的滤波元件材料13干燥的多级烤炉。
而且，各液滴喷出处理装置405R、405G、405B如图22所示，具有中空箱体的主体箱即热净化罐422。该热净化罐422内为了得到基于喷墨方式的稳定、良好的描绘，内部例如调整为20±0.5℃，尘埃不可能从外部侵入。在该热净化罐422内设置有液滴喷出处理主体423。
液滴喷出处理主体423中，如图22所示，具有X轴气动滑台424。在该X轴气动滑台424上配置了具有图中未显示的线性电动机的主扫描驱动装置425。该主扫描驱动装置425具有例如通过吸引固定了母板12的台座部，使该台座部对于X轴方向即母板12在主扫描方向移动。
如图22所示，在液滴喷出处理主体423中，在X轴气动滑台424的上访，配置了作为Y轴台的副扫描驱动装置427。该副扫描驱动装置427使沿着例如上下方向喷出滤波元件材料13的头部件420对于Y轴方向即母板12，在副扫描方向Y移动。并且，在图22中，为了明确位置关系，在浮在空中的状态下，以实线表示了头部件420。
另外，液滴喷出处理主体423中，配置了用于控制喷墨头421的位置和母板12的位置而识别位置的位置识别部件即图中未显示的各种相机。并且，除了使用了脉冲电动机的位置控制，还能通过使用了伺服电动机的反馈控制和其他任意得控制方法，实现头部件420和台座部的位置控制。
另外，如图22所示，在液滴喷出处理主体423上，设置有擦拭头部件420中喷出滤波元件材料13的面的擦拭部件481。该擦拭部件481的结构为：卷绕一体层叠了例如布构件和橡胶薄板的图中未显示的擦拭构件的一端，依次用新的面擦拭喷出滤波元件材料13的面。据此，除去附着在喷出面上的滤波元件材料13，使后述的喷嘴466不会堵塞。
而且，如图22所示，在液滴喷出处理主体423上，设置有墨水系统482。该墨水系统482具有：储存滤波元件材料13的墨水箱483；滤波元件材料13能流通的供给管478；从墨水箱483通过供给管478，把滤波元件材料13向头部件420供给的图中未显示的泵。并且，在图22中，模式化地表示了供给管478的管道，所以应布线为从墨水箱483开始，不影响头部件420的移动，并且从使头部件420扫描的副扫描驱动装置427的上方向头部件420供给滤波元件材料13。
另外，在液滴喷出处理主体423上设置有检测从头部件420喷出的滤波元件材料13的喷出量的重量测定部件485。
在液滴喷出处理主体423上设置有一对具有例如图中未显示的光传感器，并且检测来自头部件420的滤波元件材料13的喷出状态的漏点检测部件487。该漏点检测部件487配置为：沿着与从头部件420喷出液体的方向交叉的方向例如X轴方向，图中未显示的光传感器的光源和光敏部夹着从头部件420喷出的液滴通过的空间相对。另外，配置在头部件420的输送方向即Y方向一侧，在每次为了喷出滤波元件材料13使头部件420副扫描移动时，检测喷出状态，检测漏点。
并且，虽然后面将详细描述，但是在头部件420上吧喷出滤波元件材料13的头装置配置为两列。因此，为了检测各列头装置，配置了一对漏点检测部件487。
[头部件的结构]
下面，就头部件420的结构加以说明。图23是表示设置在液滴喷出装置上的头部件的俯视图。图24是表示头部件的侧视图。图25是表示头部件的主视图。图26是表示头部件的剖视图。
头部件420如图23～26所示，具有头主体部430和墨水供给部431。另外，头主体部430具有平板状的滑架426、安装在该滑架426上实质上近同一形状的头装置433。
(头装置的结构)
图27是表示配置在头部件上的头装置的立体分解图。
头装置433如图27所示，具有长方形的印刷电路板435。在该打印衬底435上，设置有安装各种电元件的电布线。另外，在印刷电路板435上，在长度方向的一端一侧(图27中右侧)，贯通形成了窗部437。在印刷电路板435上，在窗部437的两侧，设置有墨水即滤波元件材料13能流通的流通路438。
而且，在该印刷电路板435的一面一侧(图27中的下表面一侧)，在长度方向的近一端一侧(图27中右侧)，通过安装构件440，议题安装了喷墨头421。该喷墨头421形成矩形形状，在长度方向沿着印刷电路板435的长度方向的状态下被安装。并且，各头装置433中的各喷墨头实质上是近同一形状，即例如是给定规格的制品，即按给定的质量选择的。具体地说，这些喷墨头421最好具有相同个数的喷嘴，喷嘴的形成配置彼此相同，这在对于滑架组装喷墨头时，使效率提高，提高了组装精度。如果使用经过同一制造、组装步骤制造的制品，就没必要制造特别的制品，能降低成本。
另外，在印刷电路板435的另一面一侧(图27中的上表面一侧)，在长度方向的近另一端(图27中的左侧)，一体安装了用电布线电连接了喷墨头421的连接器441。在这些连接器441上，如图22模式化地显示的那样，在不影响头部件420的移动的前提下，连接了在副扫描驱动装置427上配置的电布线(包含电源布线、信号布线)442。该电布线442连接了图中未显示的控制装置和头部件420。即这些电布线442如图23和图26中用双点划线的箭头模式化地表示的那样，从副扫描驱动装置427开始，在头部件420的两列头装置433的配列方向的两侧即头部件420的外周一侧布线，连接了连接器441，使电噪声不产生。
而且，在印刷电路板435的另一面一侧(图27中的上表面一侧)，在长度方向的近一端一侧(图27中的右侧)，与喷墨头421对应，安装了墨水导入部443。该墨水导入部443具有：安装在安装部440上，并且与贯穿印刷电路板435的定位销部444配合的近圆筒状的定位筒部446；与印刷电路板435配合止动的配合止动爪部446。
另外，在墨水导入部443上，伸出设置有一对顶端细的连接部448。这些连接部448在成为印刷电路板435一侧的基端部，具有与印刷电路板435的流通路438连通的图中未显示的开口，在顶端部，具有滤波元件材料13能流通的图中未显示的孔。
而且，这些连接部448，如图24～图27所示，在顶端一侧，分别安装了密封连接部450。这些密封连接部450在内周一侧，形成了与连接部448配合的近圆筒状，在顶端部设置有密封构件449。
(喷墨头的结构)
图28是表示喷墨头的立体分解图。图29是表示与喷墨头的剖面对应，说明喷墨头喷出滤波元件材料的动作的模式图，图29(A)是喷出滤波元件材料之前的装置，图29(B)是使压电振子收缩，喷出滤波元件材料的状态，图29(C)是喷出滤波元件材料之后的状态。图30是说明喷墨头的滤波元件材料的喷出量的说明图。图31是说明喷墨头的配置状态的概要模式图。图32是图31的局部放大图。
喷墨头421如图29所示，具有近矩形的支架451。该支架451上，沿着长度方向，例如设置有两列180个压电元件。另外，在支架451上，分别设置有与印刷电路板435的流通路438连通，并且使墨水即滤波元件材料13流向长度方向的两侧近中央的通孔453。
另外，在支架451的压电振子452所在的一面即上表面上，如图28所示，一体设置有由合成树脂形成薄板状的弹性板455。该弹性板455上分别设置有与通孔453连续的连通孔456。而且，在弹性板455上，设置有与在支架451的上表面的近四角上突出设置的定位爪部457配合的配合孔458，在支架451的上表面上定位，一体安装。
而且，在弹性板455的上表面上设置有平板状的流路形成板460。在该流路形成板460上设置有：在支架451的长度方向，设置有两列180个的喷嘴沟461；在喷嘴沟461的一侧，在支架的长度方向，设置为纵长状的开口部462；与弹性板455的连通孔456连续的流通孔463。而且，在弹性板455上，设置有与在支架451的上表面的近四角上突出设置的定位爪部457配合的配合孔458，与弹性板455一起定位，并被一体安装在支架451的上表面上。
另外，在流路形成板460上，设置有近平板状的喷嘴板465。在该喷嘴板465上，与流路形成板460的喷嘴沟461对应，在支架451的长度方向，在25.4mm(linch)的长度范围内，以直列状，设置有两列180个近圆形的喷嘴466。另外，在喷嘴板465上，设置有与在支架451的上表面的近四角上突出设置的定位爪部457配合的配合孔458，与弹性板455以及流路形成板460一起定位，并被一体安装在支架451的上表面上。
而且，如图29中模式化地表示的那样，通过层叠的弹性板455、流路形成板460和喷嘴板465，在流路形成板460的开口部462，划分、形成了储液池467，并且该储液池467通过液供给路468与各喷嘴沟461连续。据此，喷墨头421根据压电振子452的动作，喷嘴沟461内的压力增大，从喷嘴以2～13pl例如约10pl的滴流量，7±2m/s的扬程，喷出滤波元件材料13。即如图29所示，通过对于压电振子452以脉冲状外加给定的外加电压Vh，如图29(A)、(B)、(C)依次所示，通过使压电振子452在箭头Q的方向适当伸缩，对墨水即滤波元件材料13加压，以给定量的液滴8，从喷嘴466喷出。
另外，该喷墨头421如所述实施例中说明的那样，存在图30所示的阵列方向的两端部的喷出量增多的喷出量偏移。因此，进行控制，使例如喷出量偏移在5％以内的范围的喷嘴466即从两端部的各10个喷嘴466不喷出滤波元件材料13。
而且，构成头部件420的头主体部430的结构为：如图23～图26所示，彼此并列配置有多个具有喷墨头421的头装置433。该头装置433在滑架426上的配置如图31模式化地显示的那样，被排列为在从副扫描方向即Y轴方向向与Y轴方向正交的主扫描方向即X轴方向一侧倾斜的方向上偏移。即在从副扫描方向即Y轴方向倾斜若干的方向上并列配置有六个，该列以多列例如两列配置。这是从以下状况出发而考虑的配置方法：一方面，与喷墨头421相比，头装置433的短边方向的宽度宽，不能使彼此相邻的喷墨头421彼此的配置间隔变窄，而且必须在Y轴方向连续配置喷嘴466的列。
如图23和31所示，在头主体部430中，沿着从Y轴方向向主扫描方向即X轴方向偏移了一定角度的方向，配置了头装置433。另外，在正对着2列头装置433的阵列的外侧，连接器441配置在近点对称的位置。该头装置433的倾斜配置状态为例如喷墨头421的长度方向即喷嘴列的配置方向对于X轴方向倾斜57.1o。
另外，头装置433配置为近似交错状即对于阵列方向不在并列状态。即如图23～图26以及图31所示，把喷墨头421配置为两列，使12个喷墨头421的喷嘴在Y轴方向连续排列，并且向该Y轴方向的排列顺序配置位彼此不同的交错。
具体地说，根据图31和图32来更具体地说明。在此，在喷墨头421中，其长度方向即喷嘴466的阵列方向对于X轴倾斜。因此，设置在喷墨头421上的两列喷嘴466的第一列中，在喷出滤波元件材料13的第11个喷嘴466所在的X轴方向的直线上，存在成为第二列的喷嘴466的另一方不喷出的10个以内的位置的区域A(图32中的A)。即在一个喷墨头421中，在X轴方向的直线上，产生了不存在两个喷嘴的区域A。
因此，如图31和图32所示，在一个喷墨头中，在X轴方向的直线上，在2个喷嘴466所在的区域B(图32中的B)中，不使成列的头装置433在X轴方向位于并列状态。而且，在形成一方的列的头装置433的X轴方向上的直线上只存在一个的区域A和形成另一方的列的头装置433的X轴方向上的直线上只存在一个的区域A在X轴方向上，彼此位于并列状态，一方的列的喷墨头421和另一方的列的喷墨头421在X轴方向上的直线上，合计有两个喷嘴466。即在配置了喷墨头421的区域中，配置为交错状，即不论在哪条X轴方向的直线上，一定合计有两个喷嘴466。并且，不喷出滤波元件材料13的喷嘴的区域X不计算该X轴方向的直线上的两个喷嘴466的数。这样，对于主扫描的X轴方向，喷出墨水的喷嘴466的两个位于值线上，如后所述，从这两个喷嘴466向一个地方喷出墨水。如果只用来自一个喷嘴466的喷出构成一个元件，则喷嘴466间的喷出量的偏移与元件特性偏移和成品率下降有关，所以，如果这样通过来自不同的喷嘴466喷出，形成一个元件，就能分散喷嘴466间的喷出偏移，能实现在元件间的特性均匀化和提高成品率。
(墨水供给部的结构)
墨水供给部431如图23～图26所示，具有：与头主体部430的两列对应，分别设置的一对平板状的安装板471；安装在这些安装板471上的多个供给主体部472。而且，供给主体部472具有近细长圆筒状的进退部474。该进退部474用安装夹具473，在贯通安装板471的状态下，安装为能沿轴向移动。另外，供给主体部472的进退部474例如由盘簧475等，安装在靠向从安装板471向头装置433进退的方向。并且，在图23中，为了说明上的方便，墨水供给部431只对两列的头装置433中的一列进行了图示，省略了其他。
在该进退部474的与头装置433相对一侧的端部，设置有刷部476。该刷部476的外周边形成凸缘，端面抵抗盘簧475的拉力，与头装置433的墨水导入部443的密封构件449接触。另外，在与进退部474的设置有刷部476的一侧相反一侧的端部上，设置有接合部477。该接合部477如图22模式化地表示的那样，连接了滤波元件材料13流通的供给管478的一端。
如以上所述，该供给管478如图22模式化地表示的那样，在不影响头部件420的移动的前提下，在副扫描驱动装置427上布线，如图23和图25中用单点划线的箭头模式化地表示的那样，从副扫描驱动装置427开始，在头部件420上方以两列配置的墨水供给部431之间的近中央配管，再配置为放射状，顶端连接到墨水供给部431的接合部477。
而且，墨水供给部431把通过供给管流通的滤波元件材料13供给到头装置433的墨水导入部443。另外，供给到墨水导入部443的滤波元件材料13提供给喷墨头421，从电控制的喷墨头421的各喷嘴466适当喷出了的液滴8状。
[滤色器的制作动作]
(前处理)
下面，参照附图，说明使用所述实施例的滤色器制造装置，形成滤色器1的动作。图34是说明使用所述滤色器制造装置，制造滤色器1的步骤的制造步骤剖视图。
首先，用在热浓硫酸中添加了1质量％的过氧化氢水的洗净液，洗净膜厚尺寸0.7mm、纵尺寸38cm、横尺寸30cm的无碱玻璃的透明衬底即母板12的表面。该洗净后，用纯水冲洗，在空气中干燥，得到清净表面。在该母板12的表面上，通过例如溅射法，以平均0.2μm的膜厚形成铬膜，得到金属层6a(图34中的步骤S1)。
把该母板12在热板上，在80℃，进行5分钟的干燥后，在金属层6a的表面上，例如通过旋转镀膜，形成图中未显示的光刻胶层。把描绘了例如所要的矩阵图案形状的图中未显示的掩模膜粘合在该母板12的表面上，用紫外线曝光。接着，把该曝光了的母板12浸渍在包含8质量％的氢氧化钾的碱显影液中，除去未曝光部分的光刻胶，对抗蚀层刻膜。接着，用例如以盐酸为主成分的蚀刻液，蚀刻除去露出的金属层6a。这样，就得到了具有给定的矩阵图案的遮光矩阵即遮光层6b(图34中的步骤S2)。并且，遮光层6b的膜厚大约为0.2μm，遮光层6b的宽度大约为22μm。
用例如旋转镀膜法，再在设置有该遮光层6b的母板12上，涂敷阴性的透明丙烯酸类的感光性树脂组成物6c(图34中的步骤S3)。把设置有该感光性树脂组成物6c的母板12，在100℃预烘焙20分钟后，使用描绘了给定的矩阵图案形状的图中未显示的掩模膜，进行紫外线曝光。然后，例如用上述的碱性显影液使未曝光的部分显影，用纯水冲洗后，旋转干燥。例如在200℃，进行30分钟的作为最终干燥的后烘焙，使树脂部分充分硬化，形成隔板层6d。该隔板层6d的膜厚平均约为2.7μm，宽度约为14μm。由该隔板层6d和遮光层6d形成了隔板6(图34中的步骤S4)。
为了改善用所述得到的遮光层6d和隔板层6d划分的着色层形成区域即滤波元件形成区域7(特别是母板12的露出面)的墨水浸湿性，进行干蚀刻即等离子体处理。具体地说，对在氦中加了20％氧的混合气体外加局电压，用等离子体处理形成蚀刻点，使母板12通过形成的蚀刻点下，进行蚀刻，实施母板12的前处理步骤。
(滤波元件材料的喷出)
接着，向由实施了上述的前处理的母板12的隔板6划分形成的滤波元件形成区域7内，通过喷墨方式，导入即喷出红(R)、绿(G)、蓝(B)各滤波元件材料(图34中的步骤S5)。
当基于该喷墨方式的滤波元件材料的喷出时，预先组装头部件420。然后，在液滴喷出装置的各液滴喷出处理装置405R、405G、405B中，从各喷墨头421的一个喷嘴喷出的滤波元件材料13的喷出量调整为例如10pl左右。而在母板12的一面上，预先把隔板6形成格子状图案。
然后，通过图中未显示的机械手，把如以上所述进行了前处理的母板12首先搬入R色用的液滴喷出处理装置405R中，放在液滴喷出处理装置405R内的台座部上。例如通过吸引，定位固定了方在该台座部上的母板12。然后，用各种相机确认了母板12的位置，控制主扫描驱动装置425，使保持了母板12的台座部适当移动到给定的位置。另外，用副扫描驱动装置427使头部件420适当移动，确认它的位置。然后，使头部件420在副扫描方向移动，用漏点监测部件487监测来自喷嘴466的喷出状态，确认不会产生喷出不良，使其移动到初始位置。
然后，在X方向，使可由主扫描驱动装置425移动的台座部所保持的母板12在X方向扫描，对于母板12，相对地使头部件420移动，从喷墨头421的给定的喷嘴466适当喷出滤波元件材料13，填充到由母板12的隔板6划分的凹部内。来自该喷嘴466的喷出通过图中未显示的控制装置进行控制，使位于图32所示的喷嘴466的配置方向的两端部的给定区域X，例如从两端各10个喷嘴466不喷出滤波元件材料13，从位于中间部分的喷出量比较一样的160个喷出。
另外，来自喷嘴466的喷出中，因为在扫描方向的直线上即扫描线上有两个喷嘴466，所以在移动中，向一个凹部，从一个喷嘴466两点，更具体地说，从喷嘴466喷出两个液滴作为一点，总共喷出了8个液滴的量。在每一个扫描移动中，通过漏点监测部件487检测喷出状态，确认不会产生喷出不良。
当不确认了漏点时，使头部件420在副扫描方向移动给定量，再使保持副扫描方向的台座部在主扫描方向移动，重复使滤波元件材料13喷出的动作，在各定的滤色器形成区域11的给定的滤波元件形成区域7上形成滤波元件3。
(干燥、硬化)
然后，通过图中未显示的机械手，把被喷射了R色的滤波元件材料13的母板12从液滴喷出处理装置405R取出，用图中未显示的多级烤炉，例如在120℃，使滤波元件材料13进行5分钟干燥。该干燥后，通过机械手，从多级烤炉取出母板12，一边冷却，一边输送。然后从液滴喷出处理装置405R开始，一次输送到G色用的液滴喷出处理装置405G和B色用的液滴喷出处理装置405B，与形成R色时同样，向给定的滤波元件形成区域7依次喷出G色和B色滤波元件材料13。然后，回收被喷射了各三色的滤波元件材料13并且干燥后的母板12，通过热处理即加热滤波元件材料13，使其凝固、固定(图34中的步骤S6)。
(滤色器的形成)
然后，在形成了滤波元件3的母板12的近整个面上形成保护膜4。再在该保护膜4上用ITO(Indium-TinOxide)以所要的图案，形成电极层5。然后，另外切断各滤色器形成区域11，形成多个滤色器1(图34中的步骤S7)。如刚才的实施例中说明的那样，形成了该滤色器1的母板12作为图18所示的液晶装置中的一对衬底的一方使用。
[滤色器的制造装置的效果]
根据图22～图34所示的实施例，在刚才说明的各实施例的作用效果的基础上，还具有以下作用效果。
即，在一面上设置有多个使作为具有流动性的液体的例如墨水即滤波元件材料13作为液滴8喷出的喷嘴466，并且彼此并列配置的多个喷墨头421在这些喷墨头421的设置有喷嘴466的一面隔着给定的间隙与被喷出物即母板12的表面相对的状态下，沿着母板12的表面相对移动，从多个喷墨头421的各喷嘴466向母板12的表面上喷出同一滤波元件材料13。因此，例如能实质上使用同一规格的喷墨头421，向母板12的宽阔的范围上喷出滤波元件材料13，不用使用纵长的特别喷墨头，就能通过使用现有的多个标准品，降低成本。尺寸长的喷墨头的制造成品率极低，所以成分高价的零件，但是与此相比，短尺寸的喷墨头421的制造成品率高，所以在本发明中，只通过使用多个这样的喷墨头，进行配置使其变为实质上的长喷墨头，就能大幅度地降低成本。
而且，通过适当设定并列配置喷墨头421的配置方向和数量、用于喷出所使用的喷嘴466的数量和间隔(也可以间隔一个或数个使用喷嘴466来调节为象素的间距)，对于尺寸和象素的间距或阵列不同的滤色器1，能使滤波元件材料13与喷出区域对应，能提高通用性。
而且，通过使用实质上同一形状的部件作为多个喷墨头421，即使用一种喷墨头421，通过适当排列，也能使液体与喷出的区域对应，简化了结构，能提高制造性，能降低成本。
另外，通过使用以近等间隔在直线上配置了喷嘴466的喷墨头421，能容易地描绘例如带状阵列、三角阵列或镶嵌阵列等具有给定的规则性的结构。
而且，使多个喷墨头421沿着母板12的表面，相对移动，使喷嘴466的近直线上的配置方向沿着对于沿着母板12的表面相对移动的主扫描方向交叉的倾斜方向，所以多个喷墨头421的喷嘴466的配置方向对于沿着母板12的表面相对移动的主扫描方向成为倾斜的状态。因此，滤波元件材料13的喷出间隔即间距比喷嘴间的间距窄，例如当把被喷射了滤波元件材料13的母板12在液晶面板等电光装置即显示装置中利用时，能得到更详细的显示状态，能得到良好的显示装置。还能防止相邻的喷墨头421的干涉，能容易地实现小型化。而且，通过适当设定该倾斜角，就能恰当地设定描绘的点间距，能提高通用性。
而且，在以近等间隔在直线上配置了喷嘴466的喷墨头421的结构中，在纵长矩形的喷墨头421中，沿着长度方向以近等间隔在直线上配置了喷嘴466，所以能使喷墨头421小型化，能防止与相邻的喷墨头421或其他的部位干涉，能容易地实现小型化。
另外，因为在喷嘴466的配置方向分别近似平行的状态下，在滑架426上配置了多个喷墨头421，所以不同使用纵长的特别喷墨头，就能容易地在一个区域中形成同一液体的多个喷出区域。能从不同的喷墨头421向一个地方喷出滤波元件材料13，能容易地使喷出区域中的喷出量平均化，能得到稳定良好的描绘。
而且，使多个喷墨头421分别在对于主扫描方向X交叉的方向倾斜，并且在与喷墨头421的长度方向不同的方向上并列配置，使全部的喷嘴466的配置方向彼此平行，所以不用制造具有长条尺寸的特别的喷墨头，就能容易地扩大喷出区域。通过使喷嘴466的配置方向为在对于扫描方向交叉的方向上倾斜的状态，如以上所述，相邻的喷墨头421不会干涉，滤波元件材料13的喷出间隔即间距比喷嘴466间的间距窄，例如把被喷射了滤波元件材料13的母板12在显示装置等中利用时，能得到更详细的显示状态。而且，通过适当设定该倾斜角，就能恰当设定描绘的点间距，能提高通用性。
另外，以多列例如两列把多个喷墨头421配置为近似交错状，所以不用使用纵长的特别喷墨头421，使用已有制品的喷墨头421，能使相邻的喷墨头421不产生干涉，在喷墨头421间，不产生未被喷射滤波元件材料13的区域，能进行连续的滤波元件材料13的良好喷出，即能进行连续的描绘。
而且，使在一面上设置有多个使具有流动性的液体例如墨水即滤波元件材料13喷出的喷嘴466的喷墨头421在喷墨头421的设置有喷嘴466的一面隔着给定的间隙与作为被喷出物的母板12的表面相对的状态下，沿着母板12的表面相对移动，从沿着该相对移动方向的直线上的多个例如两个喷嘴466喷出滤波元件材料13。因此，得到了从不同的喷嘴466重叠喷出滤波元件材料13的结构，即使假设在多个喷嘴466间在墨水喷出量上存在偏移，也能使喷出的滤波元件材料13的喷出量平均化，防止偏移，能得到平面的均匀的喷出，能得到平面上质量均匀的特性良好的电光装置。
另外，使在一面上的多条近直线上设置有多个使滤波元件材料13喷出的喷嘴466的喷墨头421在这些喷墨头421的设置有喷嘴466的一面隔着给定的间隙与作为被喷出物的母板12的表面相对的状态下，沿着母板12的表面相对移动，使在喷墨头421的各喷嘴中位于这些喷嘴466的配置方向的两端部的给定区域X中的例如两侧的10个喷嘴466不喷出，而从位于给定区域X以外的喷嘴466向母板12的表面喷出滤波元件材料13。根据该结构，从喷出量特别多的位于喷嘴466的配置方向两端部的给定区域即两端各10个喷嘴466不喷出，使用喷出量比较一样的中间部分的喷嘴466，使滤波元件材料13喷出，所以能向母板12的表面进行平面地均匀的喷出，能得到平面质量均匀的滤色器1，用使用了该滤色器1的电光装置，能得到良好的显示。
而且，因为不从比滤波元件材料13的喷出量的平均值多10％以上的喷嘴466喷出，所以，即使在把滤波元件材料13、EL发光材料、含有带电粒子的电泳装置用的功能性液体作为液体使用时，在特性上也不产生偏移，作为液晶装置核EL装置等电光装置，能准确地得到良好的特性。
另外，因为从喷嘴466对于喷出量的平均值在±10％以内，喷出了滤波元件材料13，所以喷出量比较一样，向母板12的表面进行了平面的均匀喷出，得到了特性良好的电光装置。
而且，因为设置有漏点检测部件487，检测来自喷嘴466的滤波元件材料13的喷出，所以能防止滤波元件材料13的喷出不均匀，能准确地得到良好的液体的喷出即描绘。
而且，在漏点检测部件487上设置有光传感器，用该光传感器在对于滤波元件材料13的喷出方向交叉的方向检测滤波元件材料13的通过，即使在喷出滤波元件材料13的步骤中，也能以简单的结构，准确地确认滤波元件材料13的喷出状态，能防止滤波元件材料13的喷出不均匀，能准确地得到良好的滤波元件材料13的喷出即描绘。
而且，在从喷嘴466向母板12喷出滤波元件材料13的步骤的前后，通过漏点检测部件487检测滤波元件材料13的喷出，所以能检测滤波元件材料13的喷出之前和之后的状态，能准确地确认滤波元件材料13的喷出状态，能准确地防止漏点，能得到良好的描绘。并且，对于喷出状态的检测，可以只在喷出的前或后的一方的时刻进行。
另外，在头部件420的主扫描方向一侧配置了漏点检测部件487，所以为了滤波元件材料13的喷出状态的检测而使头部件420移动的距离短，并且能用简单的结构，实现用于喷出的向主扫描方向的移动，能以简单的结构高效地检测漏点。
而且，因为在两列中把喷墨头421配置为点对称，所以能把供给滤波元件材料13的供给管478集中到头部件420的附近，从而能容易地进行装置的组装和维护管理。用于控制喷墨头421电布线442的布线从头部件420的两侧形成，能防止布线导致的电噪声的影响，能得到良好稳定的描绘。
在长方形的印刷电路板435的一端一侧设置多个喷墨头421，在另一端一侧设置有连接器441，所以配置在多条直线上的连接器441能彼此不干涉，能实现小型化，而且不形成主扫描方向上不存在喷嘴466的配置，能得到连续的喷嘴466的排列，从而没必要使用长尺寸的特别的喷墨头。
而且，因为以点对称在相反一侧配置了连接器441，所以能防止连接器441部分的电噪声的影响，能得到良好稳定的描绘。
并且，在这些实施例中，如果结构同样，就能得到同样的作用效果。
(关于使用了EL元件的电光装置的制造方法的实施例)
下面，参照附图，就本发明的电光装置的制造方法加以说明。并且，作为电光装置，说明使用了EL元件的有源矩阵型显示装置。并且，在说明该显示装置的制造方法之前，首先说明制造的显示装置的结构。
[显示装置的结构]
图35是表示本发明的电光装置的制造装置中的有机EL装置的一部分的电路图。图36是表示显示装置的象素区域的平面构造的放大俯视图。
即，在图35中，501是使用了EL装置即EL元件的有源矩阵型显示装置，该显示装置501具有以下结构：在衬底即透明的显示衬底502上，分别配置了多条扫描线503、在对于这些扫描线503交叉的方向上延伸的多条信号线504、与这些信号线504并列延伸的多条公共供电线505。而且，在扫描线503和信号线504的各交点上，设置有象素区域501A。
对于信号线504，设置有具有移位寄存器、电平移动器、视频线、模拟开关的数据一侧驱动电路507。另外，对于扫描线503，设置有具有移位寄存器、电平移动器的扫描一侧驱动电路508。而且，在各象素区域501A上，设置有：通过扫描线503向栅电极供给扫描信号的开关薄膜晶体管509；存储通过该开关薄膜晶体管509从信号线504提供的图像信号，并保持的存储电容cap；把由该存储电容cap保持的图像信号提供给栅电极的电流薄膜晶体管510；当通过该电流薄膜晶体管510与公共供电线505电连接时，驱动电流从公共供电线505流入的象素电极511；夹在该象素电极511和反射电极512之间的发光元件513。
通过该结构，如果扫描线503被驱动，开关薄膜晶体管509导通，在存储电容cap中保持了此时的信号线504的电位。按照该存储电容cap的状态，决定电流薄膜晶体管510的导通/断开状态。然后，通过电流薄膜晶体管510的沟道，电流从公共供电线505流向象素电极511，通过发光元件513，电流流向反射电极512。据此，发光元件513按照该电流量发光。
在此，象素区域501A如去掉了反射电极512和发光元件513的状态的放大俯视图即图36所示，平面状态为长方形的象素电极511的四边由信号线504、公共供电线505、扫描线503和图中未显示的其他象素电极511用的扫描线503包围的配置。
[显示装置的制造步骤]
下面，说明制造使用了EL显示元件的有源矩阵型的显示装置的制造步骤。图37～图39是表示使用了EL显示元件的有源矩阵型的显示装置的制造步骤的制造步骤剖视图。
(前处理)
首先，如图37(A)所示，对于透明的显示衬底502，按照需要，通过等离子体CVD(Chemical VaporDeposition)法，以四乙氧基硅烷(tetraethoxysilane：TEOS)和氧气等为原料气体，形成厚度约2000～5000埃的氧化硅膜即图中未显示的底层保护膜。接着，把显示衬底502的温度设定为约350℃，在底层保护膜的表面上，通过等离子体CVD法，形成厚度约300～700埃的非晶体的硅膜即半导体膜520a。然后对于半导体膜520a，实施激光退火或固相生长法的结晶步骤，使半导体膜520a结晶成多晶硅膜。在此，在激光退火法中，使用受激准分子激光、光束的长尺寸为400nm的线束，输出强度约为200mJ/cm2。进行了线束扫描，使关于线束，相当于短尺寸方向的激光强度的峰值的约90％的部分与各区域重叠。
而且，如图37(B)所示，对半导体膜520a刻膜，形成岛状半导体膜520b。在设置有该半导体膜520b的显示衬底502的表面上，通过等离子体CVD法，以TEOS和氧气为原料气体，形成厚度约600～1500埃的氧化硅膜或氮化膜即栅绝缘膜521a。并且，半导体膜520b成为电流薄膜晶体管510的沟道区域和源漏间区域，但是在不同的剖面位置，也形成了成为开关薄膜晶体管509的沟道区域和源漏间区域的图中未显示的半导体膜。即在图37～图39所示的制造步骤中，同时形成了两种开关薄膜晶体管509和电流薄膜晶体管510，但是，因为是以同样的步骤形成，所以在以下的说明中，只说明电流薄膜晶体管510，省略了对开关薄膜晶体管509的说明。
然后，如图37(C)所示，通过溅射法，形成铝、钽、钼、钛、钨等的金属膜即导电膜后，进行刻膜，形成图36所示的栅电极510A。在该状态下，注入高温的磷离子，对于栅电极510A进行匹配，在半导体膜520b上形成源漏间区域510a、510b。并且，未导入杂质的部分成为沟道区域510c。
接着，如图37(D)所示，形成层间绝缘膜522后，形成接触孔523、524，在该接触孔523、524内嵌入形成中继电极526、527。
而且，如图37(E)所示，在层间绝缘膜522上，形成信号线504、公共供电线505、扫描线503(在图37中未显示)。此时，信号线504、公共供电线505、扫描线503等各布线作为布线在厚度上不受限制，能形成足够的厚度。具体地说，各布线例如可以形成1～2μm左右的厚度。在此，中继电极527和各布线可以由同一步骤形成。此时，中继电极526由后述的ITO膜形成。
然后，形成层间绝缘膜530，使其覆盖各布线的上表面，在与中继电极526对应的位置，形成接触孔532。形成ITO膜，使其嵌入该接触孔532内，对该ITO膜刻膜，在由信号线504、公共供电线505、扫描线503围成的给定位置，形成电连接了源漏间区域510a的象素电极511。
在此，在图37(E)中，由信号线504以及公共供电线505夹着的部分相当于有选择地配置了光学材料的给定位置。而且，在该给定位置和其周围之间，由信号线504、公共供电线505形成了形成了阶梯535。具体地说，给定位置比其周围低，形成了凹型的阶梯535。
(EL发光材料的喷出)
接着，通过喷墨方式，向实施了上述的前处理的显示衬底502喷出功能性液体即EL发光材料。即，如图38(A)所示，在使实施了上述的前处理的显示衬底502的上表面朝上的状态下，使用喷墨方式即上述的各实施例的装置，喷出用于形成发光元件140的下层部分的空穴注入层513A的作为功能性液体的溶解于溶剂中的前导体即光学材料540A，在由阶梯535包围的给定位置的区域内，有选择地进行涂敷。
作为用于形成空穴注入层5 13A的光学材料540A，使用聚合物前身为聚四氢苯硫基苯撑的聚亚苯乙烯撑、1、1-双(4-N，N-二甲苯氨基苯基)环己烷、三(8-羟基喹啉)铝等。
并且，在该喷出时，具有流动性的液态光学材料540A与向上述的各实施例的隔板喷出滤波元件材料1一时同样，因为流动性高，所以要在平面方向扩展，但是，由于为了包围涂敷的位置而形成有阶梯535，所以如果光学材料540A的每一次喷出量不是极端地大的话，就能防止光学材料540A超出阶梯535而扩展到给定位置的外侧。
然后，如图38(B)所示，通过加热或光照等，使液态的光学材料540A的溶剂蒸发，在象素电极511上形成固态的薄的空穴注入层513A。按必要次数重复该图38(A)、(B)，如图38(C)所示，形成具有足够厚度尺寸的空穴注入层513A。
接着，如图39(A)所示，在使显示衬底502的上表面朝上的状态下，使用喷墨方式即上述的各实施例的装置，喷出用于在发光元件513的上层部分形成有机半导体膜513B的作为功能性液体的溶解于溶剂中的有机荧光材料即光学材料540B，在由阶梯535包围的给定位置的区域内有选择地进行涂敷。并且，关于该光学材料540B也如以上所述的那样，也与光学材料540A的喷出同样，防止超出阶梯535而扩展到给定位置的外侧。
作为用于形成有机半导体膜513B的光学材料540B，使用氰基聚亚苯乙烯撑、聚亚苯乙烯撑、聚烷基烯撑、2、3，6、7-四氢-11-氧化-1H·5H·(1H(1)苯并吡喃[6，7，8-ij]-喹嗪-10-羧酸、1，1-双(4-N，N-二甲苯氨基苯基)环己烷、2-(13.4’-二羟苯基)-3，5，7-三羟基-1-苯并噁英鎓全氯化物三(8-羟基喹啉)铝、2，3，6，7-四氢-9-甲基-11-氧化-1H.5H.11H(1)苯并吡喃[6，7，8-ij]-喹嗪、芳香族二胺衍生物(TDP)、羟基二唑聚体(OXD)、羟基二唑衍生物(PBD、二苯乙烯亚芳香族衍生物(DSA)、羟基喹啉系金属络合物、铍苯并羟基喹啉络合物(Bebq)、三苯胺衍生物(MTDATA)、二苯乙烯基衍生物、吡唑啉聚体、红荧烯、喹吖啶、三唑衍生物、聚苯撑、聚烷基易、聚烷基噻吩、甲亚胺锌络合物、聚连翘苷锌络合物、苯并噁唑锌络合物、菲绕啉铕络合物等。
接着，如图39(B)所示，通过加热或光照射等，使光学材料540B的溶剂蒸发，在空穴注入层513A上形成固体的薄的有机导体膜513B。按必要次数重复该图39(A)、(B)，如图39(C)所示，形成具有充分厚度的有机导体膜513B。最后，如图39(D)所示，在显示衬底502的表面整体或带状上形成反射电极512，制造显示装置501。
在图35～图39所示的实施例中，也通过实施与上述的各实施例同样的喷墨方式，能享受同样的作用效果。而且，当有选择地涂敷功能性液体时，能防止其流出到周围，并能以高精度形成图案。
并且，在图35～图39的实施例中，说明了使用了着眼于彩色显示的EL显示元件的有源矩阵型的显示装置，但是，例如如图40所示，也能把图35～图39所示的结构适用于单色显示的显示装置。
即，在显示衬底502的整个面上形成有机导体膜513B。此时，为了防止串扰，必须各给定位置配置空穴注入层513A，所以使用了阶梯111的涂敷是极有效的。并且，在图40中，对于与图35～图39所示的实施例相同的结构，采用了相同的符号。
另外，作为使用了EL显示元件的显示装置，不仅局限于有源矩阵型，例如也可以是图41所示的无源矩阵型的显示装置。图41是本发明的电光装置的制造装置中的EL装置，图41(A)是表示多条第一总线布线550和配置在与它正交的方向上的多条第二总线布线560的配置关系的俯视图，图41(B)是图41(A)的B-B线剖视图。在该图41中，在与图35～图39所示的实施例同样的结构中，采用了相同的符号，省略了重复说明。另外，因为细致的制造步骤等也与图35～图39所示的实施例同样，所以省略了其图示和说明。
该图41所示的实施例的显示装置中，配置了例如SiO2的绝缘膜570，使其包围配置发光元件513的给定位置，据此，在给定位置和其周围之间形成阶梯535。因此，当有选择地涂敷功能性液体时，能防止它流到周围，能以高精度形成图案。
而且，作为有源矩阵型的显示装置并不局限于图35～图39所示的实施例的结构。即例如能使用图42所示的结构、图43所示的结构、图44所示的结构、图45所示的结构、图46所示的结构、图47所示的结构。
图42所示的显示装置中，通过利用象素电极511形成阶梯535，能以高精度形成图案。图42是制造显示装置的制造步骤中的阶段的剖视图，它的前后的阶段与所述图35～图39所示的实施例大致一样，所以省略了其图示和说明。
在图42所示的显示装置中，形成比通常厚的象素电极511，据此，在其周围和之间形成阶梯535。即在图42所示的显示装置中，后来涂敷了光学材料的象素电极511形成了比其周围高的凸型阶梯。而且，与所述图35～图39所示的实施例同样，通过喷墨方式，喷出用于形成在发光元件513的下层部分的空穴注入层513A的先导体即光学材料540A，涂敷在象素电极511的上表面上。
但是，与所述图35～图39所示的实施例不同，在显示衬底502的上下颠倒的状态即涂敷光学材料540A的象素电极511的上表面朝下的状态下，喷出、涂敷光学材料540A。据此，光学材料540A由于重力和表面张力停留在象素电极511的上表面上(图42中的下表面)，不扩展到其周围。因此，如果通过加热和光照射等使其凝固，就能形成与图38(B)同样薄的空穴注入层513A，如果重复它，就形成了空穴注入层513A。因此，能利用凸型阶梯以高精度形成图案。并且，不仅局限于重力和表面张力，也可以利用离心力等惯性力，调整光学材料540A、540B的量。
图43所示的显示装置也是有源矩阵型的显示装置。图43是制造显示装置的制造步骤中的阶段的剖视图，它的前后的阶段与所述图35～图39所示的实施例同样，所以省略了其图示和说明。
在图43所示的显示装置中，首先，在显示衬底502上形成反射电极512，形成绝缘膜570，使其包围该反射电极512上后来配置发光元件513的给定位置，据此，形成给定位置一方比周围低的凹型阶梯535。
然后，与所述图35～图39所示的实施例同样，在由阶梯535包围的区域内，通过由喷墨方式，有选择地涂敷功能性液体即光学材料540A、540B，形成发光元件513。
而在剥离用衬底580上，隔着剥离层581，形成扫描线503、信号线504、象素电极511、开关薄膜晶体管509、电流薄膜晶体管510和层间绝缘膜530。最后，在显示衬底502上复制从剥离用衬底580上的剥离层581剥离的构造。
在该图43的实施例中，减轻了向扫描线503、信号线504、象素电极511、开关薄膜晶体管509、电流薄膜晶体管510和层间绝缘膜530涂敷光学材料540A、540B导致的损伤。并且，也能使用于无源矩阵型的显示装置。
图44所示的显示装置也是有源矩阵型的显示装置。图44是制造显示装置的制造步骤中的阶段的剖视图，它的前后的阶段与所述图35～图39所示的实施例同样，所以省略了其图示和说明。
在图43所示的显示装置中，利用层间绝缘膜530来形成凹型的阶梯535。因此，不用特别增加新的步骤，就能利用层间绝缘膜530，能防止制造步骤的大幅度复杂化等。并且，在用SiO2席成层间绝缘膜530的同时，向其表面照射紫外线、O2、CF3、AR的等离子体，然后，使象素电极511的表面露出，然后，有选择地涂敷液态的光学材料540A、540B。据此，沿着层间绝缘膜530的表面，形成了拨液性强的分布，由于阶梯535和层间绝缘膜530的拨液性双方的作用，光学材料540A、540B容易停留在给定位置。
图45所示的显示装置是通过使涂敷了液体即光学材料540A、540B的给定位置的亲水性相对比其周围的亲水性强，使涂敷的光学材料540A、540B不向周围扩散。图45是制造显示装置的制造步骤中的阶段的剖视图，它的前后的阶段与所述图35～图39所示的实施例同样，所以省略了其图示和说明。
在图45所示的显示装置中，在形成了层间绝缘膜530后，在其上表面上形成非晶体硅层590。非晶体硅层590比形成象素电极511的ITO的防水性强，所以在此，形成了象素电极511的表面的亲水性比其周围的亲水性相对强的防水性、亲水性分布。然后，与所述图35～图39所示的实施例同样，向着象素电极511的上表面，通过用喷墨方式，有选择地喷出、涂敷液态光学材料540A、540B，形成发光元件513，最后形成反射电极512。
并且，即使关于图45所示的实施例，也能适用于无源矩阵型显示装置。而且，如图43所示的实施例那样，也可以包含：把在剥离用衬底580上隔着剥离层581形成的构造复制到显示衬底502上的步骤。
而且，防水性、亲水性的分布可以由金属、阳极氧化膜、聚酰亚胺或氧化硅等绝缘膜、和其他材料形成。并且，如果是无源矩阵型显示装置，则可以由第一总线布线550，如果是有源矩阵型显示装置，则可以由扫描线503、信号线504、象素电极511、层间绝缘膜530或遮光层6b来形成。
图46所示的显示装置不是利用阶梯535和防水性、亲水性的分布等来提高图案形成精度，而是利用电位产生的引力和斥力等来提高图案形成精度。图46是制造显示装置的制造步骤中的阶段的剖视图，它的前后的阶段与所述图35～图39所示的实施例同样，所以省略了其图示和说明。
在图46所示的显示装置中，通过在驱动信号线504、公共供电线505的同时，适当使图中未显示的晶体管导通、断开，就形成象素电极511变为负电位，层间绝缘膜530变为正电位的电位分布。然后，通过喷墨方式，向给定位置有选择地喷出、涂敷带正电的液态光学材料540A。据此，因为使光学材料540A带电，所以不是自发极化，而是利用带电电荷，能进一步提高图案形成的精度。999
并且，即使关于图46所示的实施例，也能适用于无源矩阵型显示装置。而且，如图43所示的实施例那样，也可以包含：把在剥离用衬底580上隔着剥离层581形成的构造复制到显示衬底502上的步骤。
另外，虽然为象素电极511和层间绝缘膜530双方提供了电位，但是并不局限于此，例如如图47所示，可以不为象素电极511提供电位，只为层间绝缘膜530提供电位，然后，使液态光学材料540A带正电后进行涂敷。根据图47所示的结构，在涂敷后，液态光学材料540A能可靠地位置带正电的状态，所以通过与周围的层间绝缘膜530斥力，能可靠地防止液态光学材料540A向周围流出。
(其他实施例)
以上列举了优选的实施例来说明了本发明，但是本发明并不局限于所述各实施例，也包含以下的变形，在能实现本发明的目的的范围内，能设定位其他任意的具体构造和形状。
即例如，在图8和图9所示的滤色器的制造装置中，使喷墨头22向主扫描方向X移动，对母板12进行主扫描，通过副扫描驱动装置19使母板12移动，喷墨头22对母板12进行了副扫描，但是，也可以与此相反，通过母板12的移动，执行主扫描，通过喷墨头22的移动，执行副扫描。也能采用使喷墨头22不移动，使母板12移动，或使双方相对地在相反方向移动，使至少任意一方相对地移动，使喷墨头22沿着母板12的表面相对地移动的任意结构。
另外，在所述实施例中，使用了利用压电元件的挠曲变形，喷出墨水的构造的喷墨头421，但是，也能采用其他任意构造的喷墨头，例如能使用通过由加热产生的脉冲喷出墨水的方式的喷墨头等。
而且，在图22～图32所示的实施例中，作为喷墨头421，说明了以近等间隔在近直线上配置两列喷嘴466，但是，并不局限于两列，能采用多列。另外，也可以不是等间隔，也可以不是在直线上成列配置。
而且，在制造中使用液滴喷出装置16、401并不局限于滤色器1、EL装置201，还能用于具有衬底(基体材料)，并且具有在其上方的区域中形成给定层的步骤的以下各种电光装置：在FED(Field Emission Display：场致发射显示器)等电子发射装置；PDP(Plasma Display Panel：等离子体显示面板)；电泳装置即向各象素的隔板间的凹部喷出含有带电粒子的功能性液体即墨水，在配置为夹持着各象素的电极间外加电压，使带电粒子靠近一方的电极一侧进行各象素的显示的装置；薄型布劳恩管；CRT(Cathode-Ray Tube：阴极射线管)显示器等。
本发明的装置和方法能在具有包含电光装置的衬底(基体材料)的器件，并且能使用在该衬底(基体材料)上喷出液滴8的步骤的各种器件的制造步骤中使用。例如，也能用于以下的结构中：为了形成印刷电路板的电布线，以喷墨方式喷出液态金属和导电性材料、含金属的涂料等，形成金属布线的结构；通过用喷墨方式，向基体材料上喷出形成的微细的显微透镜，形成光学构件的结构；通过用喷墨方式，使衬底上涂敷的抗蚀剂只涂敷在必要的部分的喷出结构；通过喷墨方式，在塑料等透光性衬底上喷出形成使光散射的凸部或微小的白图案，形成光散射板的结构；通过喷墨方式，在DNA(deoxyribonucleic acid：脱氧核糖核酸)上，向矩阵排列的峰点喷出RNA(ribonucleic acid：核糖核酸)，制作荧光标志测头，在DNA芯片上，使杂交，在基体材料上的划分了点状的位置，通过喷墨方式，喷出试剂、抗体、DNA(deoxyribonucleic acid：脱氧核糖核酸)等，形成生物芯片的结构等。
另外，作为液晶装置101，也能适用于把以下结构适用于构成液晶装置101的任意部分：在象素中具有TFT等晶体管和TFD有源元件的有源矩阵液晶面板等；形成包围象素电极的隔板6，通过喷墨方式，向由该隔板6形成的凹部喷出墨水，形成滤色器1的结构；通过喷墨方式，向象素电极上喷出作为墨水的混合了颜色材料和导电材料的液体，把在象素电极上形成滤色器1作为导电性滤色器而形成的结构；通过喷墨方式喷出用于保持衬底间的间隔的间隔团的粒的结构。
而且，不仅局限于滤色器1，也能适用于EL装置201等其他的任意的电光装置，作为EL装置201，把R、G、B三色对应的EL形成带状的带型；如以上所述，在各象素中设置有控制流向发光层的电流的晶体管的有源矩阵型的显示装置，或无源矩阵型等任意的结构。
而且，作为搭载了所述各实施例的电光装置的电子仪器，不仅局限于例如图48所示的个人电脑490，还能适用于：图49所示的移动电话491和PHS(Personal HandyphoneSystem)等移动式电话机、电子记事本、寻呼机、POS(Point Of Sales)终端、IC卡、小型磁盘播放器、液晶投影仪、工程工作站(Engineering Work Station：EWS)、字处理器、电视机、探视器型或监视直视型录像机、台式电子计算机、汽车导航装置、具有触摸面板的装置、表、游戏机等各种电子仪器。
另外，本发明在实施时的具体构造和步骤在能实现本发明的目的的范围内，也可以采用其他的构造和步骤。例如在用图23、图31和图32说明的实施例中，向同一方向倾斜配置了所有喷墨头421，但是也可以使两列中的一方配置在从另一列的倾斜角度旋转90o的方向上，两列的喷墨头列彼此成“八”字形状，相互具有90o的角度，在各个喷墨头列中，相邻的头彼此可以具有90o的角度，配置为“八”字形状。象这样，在不违背本发明宗旨的前提下作出的各种变更也包含在本发明的范围内。

Claims (57)

1.一种喷出装置，其特征在于：具有：
排列设置有向被喷出物上喷出具有流动性的液体的多个喷嘴的液滴喷出头；
使该液滴喷出头的设置有所述喷嘴的一面与所述被喷出物的表面隔着间隙对置，并列配置有多个喷出同样的所述液体的所述液滴喷出头的保持部件；
使该保持部件和所述被喷出物中的至少任意一方以所述液滴喷出头沿着所述喷出物表面的状态进行相对移动的移动部件；
设置在所述各液滴喷出头上的喷嘴列分别排列在与相对于所述被喷出物进行相对移动的方向倾斜交叉的方向上。
2.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于：
所述多个液滴喷出头并列配置在与相对于所述被喷出物进行相对移动的方向倾斜交叉的第二方向上。
3.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于：
所述多个液滴喷出头实质上是同一形状。
4.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于：
所述多个液滴喷出头具有同样个数的喷嘴。
5.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于：
所述多个液滴喷出头中，喷嘴的形成位置彼此相同。
6.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于：
所述多个液滴喷出头，以大致等间隔形成列，配置了喷嘴。
7.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于：
所述液滴喷出头沿着喷嘴的设置方向形成近似矩形形状。
8.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于：
所述多个液滴喷出头在喷嘴的设置方向分别大致平行的状态下，彼此并列配置在与相对于所述被喷出物进行相对移动的方向倾斜交叉的第二方向上。
9.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于：
所述多个液滴喷出头排列为：使所述喷嘴列排列在与相对于所述被喷出物进行相对移动的方向倾斜交叉的第二方向上，并且所述多个液滴喷出头的喷嘴列彼此平行。
10.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于：
彼此相邻的所述液滴喷出头配置为：在相对于所述被喷出物进行相对移动的方向上，其一部分重复。
11.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于：
所述多个液滴喷出头以多列相互并列配置为近似交错状。
12.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于：
具有检测从所述喷嘴喷出的液体的喷出检测部件。
13.根据权利要求12所述的喷出装置，其特征在于：
所述喷出检测部件在从喷嘴向被喷出物喷出液体的步骤的前后的步骤中的至少任意一方中，检测所述液体的喷出。
14.一种具有根据权利要求1所述的喷出装置的电光装置的制造装置，其特征在于：
所述被喷出物是形成EL发光层的衬底，一边使所述多个液滴喷出头相对于衬底进行相对移动，一边从所述多个液滴喷出头的给定喷嘴向衬底上喷出含有EL发光材料的液体，在所述衬底上形成EL发光层。
15.一种具有根据权利要求1所述的喷出装置的电光装置的制造装置，其特征在于：
所述被喷出物是夹持着液晶的一对衬底的一方，一边使所述多个液滴喷出头相对于衬底进行相对移动，一边从所述多个液滴喷出头的给定喷嘴向衬底上喷出含有滤色器材料的液体，在所述衬底上形成滤色器。
16.一种具有根据权利要求1所述的喷出装置的滤色器的制造装置，其特征在于：
所述被喷出物是形成呈现不同颜色的滤色器的衬底，一边使所述多个液滴喷出头相对于衬底进行相对移动，一边从所述多个液滴喷出头的给定喷嘴向衬底上喷出含有滤色器材料的液体，在所述衬底上形成滤色器。
17.一种电光装置，具有设置有多个电极的衬底、在该衬底上与所述电极对应而设置的多个EL发光层，其特征在于：
具有喷出包含EL发光材料的液体的多个喷嘴，并且多个喷嘴在与相对于所述衬底进行相对移动的方向倾斜交叉的方向排列的彼此并列配置的多个液滴喷出头，在使具有所述喷嘴的一面隔着间隙与所述衬底的表面对置的状态下，一边沿着该衬底的表面相对移动，一边从所述喷嘴向所述衬底上的给定位置适当喷出所述液体，形成了所述EL发光层。
18.一种电光装置，具有衬底和在该衬底上形成的不同颜色的滤色器，其特征在于：
具有喷出包含给定颜色的滤色材料的液体的多个喷嘴，并且多个喷嘴在与相对于所述衬底进行相对移动的方向倾斜交叉的方向排列的彼此并列配置的多个液滴喷出头，在具有所述喷嘴的一面隔着间隙与所述衬底的表面对置的状态下，一边沿着该衬底的表面相对移动，一边从所述喷嘴向所述衬底上的给定位置适当喷出所述液体，形成了所述滤色器。
19.一种为在衬底上呈现不同的颜色而形成的滤色器，其特征在于：
具有喷出包含给定颜色的滤色材料的液体的多个喷嘴，并且多个喷嘴在与相对于所述衬底进行相对移动的方向倾斜交叉的方向排列的彼此并列配置的多个液滴喷出头，在具有所述喷嘴的一面隔着间隙与所述衬底的表面对置的状态下，一边沿着该衬底的表面相对移动，一边从所述喷嘴向所述衬底上的给定位置适当喷出所述液体，形成了所述滤色器。
20.一种喷出方法，其特征在于：
使具有喷出具有流动性的液体的多个喷嘴，并且多个喷嘴在与相对于所述喷出物进行相对移动的方向倾斜交叉的方向排列的彼此并列配置的多个液滴喷出头在设置有这些液滴喷出头的所述喷嘴的一面隔着间隙与所述被喷出物的表面对置的状态下，沿着所述被喷出物的表面相对移动；
从所述多个液滴喷出头的各喷嘴向所述被喷出物上喷出相同的所述液体。
21.根据权利要求20所述的喷出方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头并列配置在与相对于所述被喷出物进行相对移动的方向倾斜交叉的方向；
从这些液滴喷出头的喷嘴向被喷出物上喷出液体。
22.根据权利要求20所述的喷出方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头实质上形成同一形状；
从这些液滴喷出头的喷嘴向被喷出物上喷出液体。
23.根据权利要求20所述的喷出方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头具有同样个数的喷嘴；
从这些液滴喷出头的喷嘴向被喷出物上喷出液体。
24.根据权利要求20所述的喷出方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头的喷嘴形成位置彼此相同；
从这些液滴喷出头的喷嘴向被喷出物上喷出液体。
25.根据权利要求20所述的喷出方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头分别以近等间隔形成列来配置喷嘴；
从这些液滴喷出头的喷嘴向被喷出物上喷出液体。
26.根据权利要求20所述的喷出方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头沿着喷嘴的设置方向，形成近似矩形形状；
从这些液滴喷出头的所述喷嘴向被喷出物上喷出液体。
27.根据权利要求20所述的喷出方法，其特征在于：
在多个喷嘴的设置方向分别近似平行的状态下，彼此并列配置有所述多个液滴喷出头；
从这些液滴喷出头的所述喷嘴向被喷出物上喷出液体。
28.根据权利要求20所述的喷出方法，其特征在于：
所述各液滴喷出头配置在与所述喷嘴相对于所述被喷出物进行相对移动的方向倾斜交叉的方向，并且使所述多个液滴喷出头的喷嘴列彼此平行；
使这些液滴喷出头沿着被喷出物的表面移动，从喷嘴向所述被喷出物上喷出液体。
29.根据权利要求20所述的喷出方法，其特征在于：
彼此相邻的所述液滴喷出头配置为：在对于所述喷出物相对移动的方向上，其一部分重复；
从这些液滴喷出头的喷嘴向被喷出物上喷出液体。
30.根据权利要求20所述的喷出方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头以多列彼此并列配置为近似交错状；
从这些液滴喷出头的喷嘴向被喷出物上喷出液体。
31.根据权利要求20所述的喷出方法，其特征在于：
在从所述喷嘴向被喷出物喷出液体的前后的至少任意一个时期中，检测所述液体的喷出。
32.一种电光装置的制造方法，制造具有设置有多个电极的衬底和在该衬底上与所述电极对应而设置的多个EL发光层的电光装置，其特征在于：
具有喷出包含EL发光材料的液体的多个喷嘴，并且多个喷嘴在与相对于所述衬底进行相对移动的方向倾斜交叉的方向排列的彼此并列配置的多个液滴喷出头，在具有所述喷嘴的一面隔着间隙与所述衬底的表面对置的状态下，一边沿着该衬底的表面相对移动，一边从所述喷嘴向所述衬底上的给定位置适当喷出所述液体，形成所述EL发光层。
33.一种电光装置的制造方法，制造具有衬底和在该衬底上形成的不同颜色的滤色器的电光装置，其特征在于：
使具有喷出包含给定颜色的滤色材料的液体的多个喷嘴，并且多个喷嘴在与相对于所述衬底进行相对移动的方向倾斜交叉的方向排列的彼此并列配置的多个液滴喷出头，在具有所述喷嘴的一面隔着间隙与所述衬底的表面对置的状态下，一边沿着该衬底的表面相对移动，一边从所述喷嘴向所述衬底上的给定位置适当喷出所述液体，形成所述滤色器。
34.根据权利要求32或33的所述的电光装置的制造方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头并列配置在与相对于所述衬底进行相对移动的方向倾斜交叉的方向上。
从所述多个液滴喷出头的喷嘴向衬底上喷出液体。
35.根据权利要求32～34中任意一项所述的电光装置的制造方法，其特征在于：
所述多个被喷出物实质上形成同一形状；
从这些液滴喷出头的喷嘴向衬底上喷出液体来制造电光装置。
36.根据权利要求32所述的电光装置的制造方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头具有同样个数的喷嘴；
从这些液滴喷出头的喷嘴向衬底上喷出液体。
37.根据权利要求32所述的电光装置的制造方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头的喷嘴形成位置彼此相同；
从这些液滴喷出头的喷嘴向衬底上喷出液体。
38.根据权利要求32所述的电光装置的制造方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头以近等间隔形成列来设置喷嘴；
从这些液滴喷出头的喷嘴向衬底上喷出液体。
39.根据权利要求32所述的电光装置的制造方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头沿着喷嘴的设置方向，形成为近似矩形形状；
从这些液滴喷出头的喷嘴向衬底上喷出液体。
40.根据权利要求32所述的电光装置的制造方法，其特征在于：
在喷嘴的设置方向分别近似平行的状态下，彼此并列设置有所述多个液滴喷出头；
从这些液滴喷出头的喷嘴向衬底上喷出液体。
41.根据权利要求32所述的电光装置的制造方法，其特征在于：
所述各液滴喷出头配置在与所述喷嘴相对于所述被喷出物进行相对移动的方向倾斜交叉的方向，并且所述多个液滴喷出头的喷嘴列彼此平行；
从这些液滴喷出头的喷嘴向衬底上喷出液体。
42.根据权利要求32所述的电光装置的制造方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头以多列彼此并列配置为近似交错状；
从这些液滴喷出头的喷嘴向被喷出物上喷出液体。
43.根据权利要求32所述的电光装置的制造方法，其特征在于：
从所述喷嘴向被喷出物喷出液体的前后的至少任意一个时期中，检测所述液体的喷出。
44.一种滤色器的制造方法，制造为在衬底上呈现不同颜色而形成的滤色器，其特征在于：
使具有喷出包含给定颜色的滤色材料的液体的多个喷嘴，并且多个喷嘴在与相对于所述衬底进行相对移动的方向倾斜交叉的方向排列的彼此并列配置的多个液滴喷出头，在这些液滴喷出头的设置有所述喷嘴的一面隔着间隙与所述衬底的表面对置的状态下，沿着所述衬底的表面相对移动；
从所述多个液滴喷出头的各喷嘴向所述衬底上喷出所述液体。
45.根据权利要求44所述的滤色器的制造方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头并列配置在与相对于所述衬底进行相对移动的方向倾斜交叉的方向；
从这些液滴喷出头的喷嘴向衬底上喷出滤色材料。
46.根据权利要求44所述的滤色器的制造方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头实质上形成同一形状；
从这些液滴喷出头的喷嘴向衬底上喷出滤色材料。
47.根据权利要求44所述的滤色器的制造方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头具有同样个数的喷嘴；
从这些液滴喷出头的喷嘴向衬底上喷出滤色材料。
48.根据权利要求44所述的滤色器的制造方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头的喷嘴形成位置彼此相同；
从这些液滴喷出头的喷嘴向衬底上喷出滤色材料。
49.根据权利要求44所述的滤色器的制造方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头分别以近等间隔形成列来设置喷嘴；
从这些液滴喷出头的喷嘴向衬底上喷出滤色材料。
50.根据权利要求44所述的滤色器的制造方法，其特征在于：所述多个液滴喷出头沿着喷嘴的设置方向，形成为近似矩形形状；
从这些液滴喷出头的所述喷嘴向衬底上喷出滤色材料。
51.根据权利要求44所述的滤色器的制造方法，其特征在于：
在多个喷嘴的设置方向分别近似平行的状态下，彼此并列设置所述多个液滴喷出头；
从这些液滴喷出头的喷嘴向衬底上喷出滤色材料。
52.根据权利要求44所述的滤色器的制造方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头配置在与所述喷嘴相对于所述被喷出物进行相对移动的方向倾斜交叉的方向，并且使所述多个液滴喷出头的喷嘴列彼此平行；
从这些液滴喷出头的喷嘴向衬底上喷出滤色材料。
53.根据权利要求44所述的滤色器的制造方法，其特征在于：
所述多个液滴喷出头以多列彼此并列配置为近似交错状；
从这些液滴喷出头的喷嘴向衬底上喷出滤色材料。
54.根据权利要求44所述的滤色器的制造方法，其特征在于：
从所述喷嘴向衬底上喷出滤色材料前后的至少任意一个时期中，检测所述滤色材料的喷出。
55.一种具有基体材料的器件，具有基体材料和向该基体材料上喷出具有流动性的液体而形成的基体材料，其特征在于：
具有喷出所述液体的多个喷嘴，并且多个喷嘴在与相对于所述基体材料进行相对移动的方向倾斜交叉的方向排列的彼此并列配置的多个液滴喷出头，在使具有所述喷嘴的一面隔着间隙与所述基体材料的表面对置的状态下，一边沿着该基体材料的表面相对移动，一边从所述喷嘴向所述基体材料上的给定位置适当喷出所述液体。
56.一种具有基体材料的器件的制造装置，其特征在于：
具有权利要求1所述的喷出装置，所述被喷出物是器件的基体材料；
在所述基体材料上形成给定层的步骤中，从所述多个液滴喷出头向基体材料上喷出液体。
57.一种具有基体材料的器件的制造方法，其特征在于：
利用权利要求20所述的喷出方法，向所述被喷出物即基体材料上喷出液体，在基体材料上形成给定层。
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