CN1413833A - 液滴排出头、其擦拭方法和用其制造诸装置的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够有效地防止对擦拭部件的挂扯及堵塞的液滴排出头及其擦拭方法和具有液滴排出头的电子机器。该液滴排出头，具有液体导入部(45)，和连接着液体导入部(45)的泵部(48)，和重叠设在泵部(48)、而形成喷嘴口(63)的喷嘴形成板(49)，所述喷嘴形成板(49)从液滴排出头侧看形成为略方形，在沿着所述喷嘴形成板(49)的至少长边方向的侧面部的至少一方，铸型树脂(62)。

Description

液滴排出头、其擦拭方法和用其制造诸装置的制造方法

技术领域

本发明是涉及：由喷墨头代表的液滴排出头、其擦拭方法和具有其的电子机器及使用上述液滴排出头的液晶显示装置的制造方法，有机EL装置的制造方法，电子放射装置的制造方法，PDP装置的制造方法，电泳显示装置的制造方法，滤色器的制造方法，有机EL的制造方法，衬垫形成方法，金属配线形成方法，透镜形成方法，保护膜形成方法和光扩散体形成方法的发明。

背景技术

在被过去使用的打印机等的喷墨头(液滴排出头)，伴随液滴的排出，有拉线地排出的墨液附着在墨喷嘴的周围的情形，构成为墨滴弯曲及排出不良的原因。因此，在使用粘性特别高的墨液的喷墨头，要定期地擦拭其喷嘴形成面。

喷墨头具有，组合墨液室和压电元件等的泵部，和重叠在泵部的液滴排出面地粘接的不锈钢制的喷嘴形成板，在该喷嘴形成板形成多个喷嘴(喷嘴列)。从而在擦拭时，是对于该喷嘴形成板的表面来进行。

擦拭通常用橡胶制的刮刷板，以使其触压在喷嘴形成面的状态，从喷嘴形成面的长边方向的一端部向另一端作相对地移动，将附着在其上的墨液从喷嘴形成面擦拭。

然而，液滴排出头由于从其喷嘴列能够高精度地并且有选择地排出微小的液滴，因而在液晶显示装置及有机EL显示装置等的滤色器的制造中可以应用的同时，也期待向各种电子仪器及光学仪器等的制造装置的应用。

考虑到这样的应用技术时，产生墨液那样的粘度比较低的液体不用说，就象树脂那样的粘度比较高的液体也有必要作为排出对象。因而，即使对于擦拭也要求，代之于应擦拭高粘度的液体的刮刷板，使用含浸活性溶剂的布等，而作强力按压擦拭。

在这种情形，按原样使用以往的喷墨头(液滴排出头)时，不仅产生头自身的耐久性问题，而且在擦拭时，产生喷嘴形成板(实际上包含构成泵部的压力室的硅内腔的组装体)的端部挂扯擦拭用的布等的问题。

发明内容

本发明是以提供下述方法为课题：能够有效地防止对擦拭部件的挂扯及堵塞的液滴排出头、其擦拭方法和具有其的电子机器和使用上述液滴排出头的液晶显示装置的制造方法，有机EL装置的制造方法，电子放射装置的制造方法，PDP装置的制造方法，电泳显示装置的制造方法，滤色器的制造方法，有机EL的制造方法，衬垫形成方法，金属配线形成方法，透镜形成方法，保护膜形成方法和光扩散体形成方法。

本发明的液滴排出头，具有液体导入部，和连接液体导入部的泵部，和重叠设置在泵部而形成喷嘴口的喷嘴形成板，其特征在于，所述喷嘴形成板从液滴排出侧看形成为略方形，在沿着所述喷嘴形成板的至少长边方向的侧面部的至少一方，铸型树脂。

由该构成，沿着喷嘴形成板的至少长边方向的侧面部的至少一侧，由于通过树脂作铸型，在液滴排出头的擦拭时，能够有效地防止在其使用的刮刷板的磨耗及擦拭用的布等挂扯擦拭用具。

另外，作为液滴排出头具有，对压电元件施加电压利用其变形，排出液滴的方式，及通过加热器瞬时加热液滴利用其蒸发(体积膨胀)排出液滴的方式等，但哪种方法都可以。

这时，喷嘴形成板，沿着其长边方向的侧面部的端部在泵部的内侧形成，树脂在沿着泵部的长边方向的周缘部和沿着喷嘴形成板的长边方向的侧面部之间，于形成的阶梯部被铸型是理想的。

由该构成，树脂跨过沿着泵部的长边方向的周缘部和沿着喷嘴形成板的长边方向的侧面部被铸型，因而，铸型树脂的附着强度增大，能够有效地防止剥离等。

这时，树脂从喷嘴形成板的表面稍微突出地被铸型是理想的。

由该构成，能够更加有效地防止擦拭时的擦拭用布等的挂扯。另外，在液滴排出头的装入作业等对其单独处理时，能够发挥作为使铸型树脂保护喷嘴(喷嘴列)的保护装置的功能。

这时喷嘴形成板是在液滴排出后通过擦拭具进行擦拭处理的构件，在沿着喷嘴形成板的长边方向的侧面部之中最初接触擦拭具的一侧的侧面部，铸型树脂是理想的。

由该构成，由于喷嘴形成板之中容易挂扯与擦拭具最初接触的部分，通过使在其部分的挂扯铸型能够提供防患于未然的液滴排出头。

这时，在沿着喷嘴形成板的长边方向的两侧面部，铸型树脂是理想的。

由该构成，由于在结束擦拭具与喷嘴形成板的接触的部分也作铸型，能够提供防患于未然的，由喷嘴形成板的长边方向的两侧边的挂扯的液滴排出头。

本发明的另外的液滴排出头，具有液体导入部，和连接液体导入部的泵部，和重叠设置在泵部而形成喷嘴口的喷嘴形成板，其特征在于，喷嘴形成板从液滴排出侧看形成为略方形，沿着喷嘴形成板的至少长边方向的侧面部的至少一方被倒角。

由该构成，由于沿着喷嘴形成板的长边方向的周缘部的至少一方被倒角，因而在液滴排出头的擦拭时，能够有效地防止在其使用的刮刷板的磨耗及擦拭用的布等挂扯擦拭用具。

这时，喷嘴形成板是在液滴排出后通过擦拭具作擦拭处理的构件，沿着喷嘴形成板的长边方向的周缘部之中最初与擦拭具接触侧的周缘部被倒角是理想的。

由该构成，由于喷嘴形成板之中，最初与擦拭具接触部分容易挂扯，能够提供将在该部分的挂扯通过铸型能患于未然的液滴排出头。

这时沿着喷嘴形成板的长边方向的两周缘部被倒角是理想的。

由该构成，由于即使在擦拭具结束与喷嘴形成板的接触部分也被铸型，能够提供防患于未然的，由喷嘴形成板的长边方向的两侧边的挂扯的液滴排出头。

这时，喷嘴形成板构成为含有构成泵部的压力室的内腔是理想的。

由该构成，在使喷嘴形成板与内腔一起接合在泵部侧的组装形态的液滴排出头的时候，进行包括内腔的树脂铸型是合理的。

本发明的液滴排出头的擦拭方法是上述本发明的液滴排出头的擦拭方法，其特征在于，在喷嘴形成板的表面使擦拭片接触，使擦拭片在液滴排出头对于液滴排出对象物相对地扫描的方向相对地移动，进行擦拭喷嘴形成板的表面。

由该构成，由擦拭片的表面全区域擦拭喷嘴形成板，能够高效率地使用擦拭片。

本发明的电子机器，其特征在于，具有所述的本发明的液滴排出头，和擦拭液滴排出头的喷嘴形成板的表面的刮刷装置。

另外，在这里的所谓电子机器中，是搭载以打印机为代表的液滴排出头(喷墨头)的各种电子机器，当然在液滴排出头可以适用的，例如除液晶、有机EL、电子放射(FED)、PDP、电泳(E墨)等的显示装置的元件制造装置以外，还含有各种的电子仪器及光学仪器等的制造装置。即，该电子仪器意味着，通过液滴排出头，求得使液体及微小的小囊等打点状地排出的各种装置。

由该构成，通过刮刷装置，由于能够适当地擦拭液滴排出头的喷嘴形成板的表面，因而即使在使用粘性特别高的排出对象液时，也能够有效地防止液滴的弯曲及排出不良。

这时，刮刷装置具有，接触喷嘴形成板的表面，擦拭其的擦拭片，和卷装擦拭片的擦拭滚轮，和使液滴排出头和擦拭滚轮在擦拭方向相对移动的移动装置是理想的。

由该构成，能够迅速且高效率地擦拭附着在喷嘴形成板的表面的排出对象液，另外，在擦拭片含浸溶剂是更理想的。

这时，由移动装置带来的液滴排出头的相对的移动方向，是液滴排出头对于液滴排出对象物相对的扫描方向是理想的。

由该构成，由擦拭片的表面全区域擦拭喷嘴形成板，能够高效率地使用擦拭片。

这时，擦拭滚轮由柔软材料构成是理想的。

由该构成，将液滴排出头对于擦拭片能够充分按压进行擦拭动作，能够可靠地擦拭排出对象液。

这时，擦拭滚轮对于擦拭方向的相对移动，向反方向旋转是理想的。

由该构成，在液滴排出头和擦拭片之间，能够进行具有充分摩擦力的擦拭动作，能够迅速且可靠的擦拭排出对象液。

本发明的液晶显示装置的制造方法是，使用多个上述本发明的液滴排出头，在滤色器的基板上形成多数滤清单元的液晶显示装置的制造方法，其特征在于，在多个液滴排出头导入各种颜色的滤清材料，使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地排出滤清材料而形成多个滤清单元。

本发明的有机EL装置的制造方法是，使用多个上述本发明的液滴排出头，在基板上的多个像素单元分别形成EL发光层的有机EL装置的制造方法，其特征在于，在多个液滴排出头导入各种颜色的发光材料，使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地排出发光材料地形成多数EL发光层。

本发明的电子放射装置的制造方法是，使用多个上述本发明的液滴排出头，在电极上形成多个荧光体的电子放射装置的制造方法，其特征在于，在多个液滴排出头导入各种颜色的荧光材料，使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地排出荧光材料而形成多个荧光体。

本发明的PDP装置的制造方法是，使用多个上述本发明的液滴排出头，在背面基板上的多个凹部分别形成荧光体的PDP装置的制造方法，其特征在于，在多个液滴排出头导入各种颜色的荧光体材料，使多个液滴排出头相对于背面基板进行扫描，有选择地排出荧光材料而形成多个荧光体。

本发明的电泳显示装置的制造方法是，使用多个上述本发明的液滴排出头，在电极上的多个凹部形成泳动体的电泳显示装置的制造方法，其特征在于，在多个液滴排出头导入各种颜色的泳动体材料，使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地排出泳动体材料而形成多个泳动体。

这样，对上述的液滴排出头，通过使其适用于液晶显示装置的制造方法，有机EL(Electronic Luminescence)装置的制造方法，电子放射装置的制造方法，PDP(Plasma Display Panel)装置的制造方法和电泳显示装置的制造方法，对在各装置中得到的滤清材料及发光材料等，能够作稳定地供给。另外，液滴排出头的扫描，一般地构成为主扫描和副扫描，但在所谓使一条线由单一的液滴排出头构成的时候，仅构成为副扫描。另外，电子放射装置是包括所谓FED(Field Emission Display)装置的概念。

本发明的滤色器的制造方法是，使用多个上述的本发明的液滴排出头，在基板上制造配列为多个滤清单元的滤色器的滤色器的制造方法，其特征在于，在多个液滴排出头导入各种颜色的滤清材料，使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地排出滤清材料而形成多个滤清单元。

这时，多个滤清单元被收放在通过设在基板上的凸状的隔板(也称隔壁)形成的凹部处，在形成滤清单元之前，在多个液滴排出头导入隔板材料，使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地排出隔板材料而形成隔板是理想的。

另外这时，形成覆盖多个滤清单元和隔板的覆盖镀层膜，在形成滤清单元以后，在多个液滴排出头导入透光的镀敷材料，使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地排出镀敷材料而形成覆盖镀层膜是理想的。

本发明的有机EL的制造方法是，使用多个上述的本发明的液滴排出头，使含有EL发光层的多数的多个像素单元在基板上配列而成的有机EL的制造方法，其特征在于，在多个液滴排出头导入各种颜色的发光材料，使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地排出发光材料而形成多个EL发光层。

这时，多个EL发光层收放在由设在基板上的凸状的隔板(也称隔壁)形成的凹部处，在形成EL发光层之前，在多个液滴排出头导入隔板材料，使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地排出隔板材料而形成隔板是理想的。

另外这时，在多个EL发光层和基板之间，对应于EL发光层形成多个像素电极，在形成隔板(bank)之前，在多个液滴排出头导入液状电极材料，使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地排出液状电极材料而形成多个像素电极是理想的。

进而这时，覆盖多个EL发光层和隔板而形成相对向的电极，在形成EL发光层以后，在多个液滴排出头导入液状电极材料，使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地排出液状电极而形成相对向的电极是理想的。

本发明的衬垫形成方法是，使用多个上述的本发明的液滴排出头，在2个基板之间形成为了为构成微小的晶粒间隙的多个粒子状的衬垫的衬垫形成方法，其特征在于，在多个液滴排出头导入构成衬垫的粒子材料，使多个液滴排出头至少对于一侧的基板相对地扫描，有选择地排出粒子材料而在基板上形成衬垫。

本发明的金属配线的形成方法是，使用多个上述的本发明的液滴排出头，在基板上形成金属配线的金属配线形成方法，其特征在于，在多个液滴排出头导入液状金属材料，使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地排出液状金属材料而形成金属配线。

本发明的透镜形成方法是，使用多个上述的本发明的液滴排出头，在基板上形成多个微透镜的透镜形成方法，其特征在于，在多个液滴排出头导入透镜材料，使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地排出透镜材料而形成多个微透镜。

本发明的保护膜形成方法是，使用多个上述的本发明的液滴排出头，在基板上形成任意形状的保护膜的保护膜形成方法，其特征在于，在多个液滴排出头导入保护膜材料，使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地排出保护膜材料而形成保护膜。

本发明的光扩散体形成方法是，使用多个上述的本发明的液滴排出头，在基板上形成多个光扩散体的光扩散体形成方法，其特征在于，在多个液滴排出头上导入光扩散材料，使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地排出光扩散材料而形成多个光扩散体。

这样，对上述头机构，通过适用于其的滤色器的制造方法，有机EL的制造方法、隔板形成方法、金属配线形成方法、透镜形成方法、保护膜形成方法和光扩散体形成方法，使在各电子仪器及各光学仪器得到的滤清材料及发光材料等，能够稳定地供给。另外，上述的“隔板”之语，不问其侧面是倾斜面还是垂直面等，而是包含带突出形状的侧壁的隔壁和加强筋等的概念。即，“隔板”是指从基板看是其相对地呈凸出的部分。

附图说明

图1是实施例的头机构的俯视图。

图2是实施例的头机构的主视图。

图3是实施例的头机构的侧视图。

图4是实施例的基准销的构造图。

图5是实施例的液滴排出头旋转的剖面图。

图6是示意地表示实施例的液滴排出头的立体图。

图7是实施例的液滴排出头的放大剖面图。

图8是实施例的头保持部件的构造图。

图9是表示使用实施例的组装夹具的头机构的组装方法的放大立体图。

图10是实施例的组装夹具的构造图。

图11是表示使用实施例的组装夹具的头机构的组装方法的俯视图。

图12是表示使用实施例的组装夹具的头机构的组装方法的主视图。

图13是实施例的描绘装置的模式图。

图14是在实施例的描绘装置的主底盘的立体图。

图15是在实施例的描绘装置的主底盘的俯视图。

图16是表示头机构的装入方法的说明图。

图17是在实施例的描绘装置的擦拭装置的模式图。

图18是在实施例的校准掩模的靠模板的构造图。

图19是实施例的校准掩模的俯视图。

图20是实施例的校准掩模的主视图。

图21是实施例的从组装装置的正面侧看的整体立体图。

图22是实施例的从组装装置的背面侧看的整体立体图。

图23是实施例的组装装置的整体俯视图。

图24是实施例的组装装置的整体主视图。

图25是实施例的从组装装置的左侧看的整体侧视图。

图26是实施例的构件移动装置的X.Y台旋转的立体图。

图27是在实施例的构件移动装置的安装台的构造图。

图28是在实施例的构件移动装置的θ台的俯视图。

图29是在实施例的构件移动装置的θ台的截断侧视图。

图30是在实施例的构件移动装置的θ台的主视图。

图31是在实施例的构件移动装置的X.Y台旋转的俯视图。

图32是在实施例的构件移动装置的X.Y台旋转的主视图。

图33是在实施例的头修正装置的修正用X.Y台旋转的立体图。

图34是在实施例的头修正装置的修正用X.Y台旋转的俯视图。

图35是在实施例的头修正装置的修正用X.Y台旋转的主视图。

图36是在实施例的头修正装置的修正用X.Y台旋转的侧视图。

图37是在实施例的头修正装置的臂构件的立体图。

图38是在实施例的头修正装置的臂构件的主视图。

图39是在实施例的头修正装置的臂构件的侧视图。

图40是臂构件的锁合臂的剖面图。

图41是实施例的识别装置的立体图。

图42是实施例的识别装置的俯视图。

图43是实施例的识别装置的主视图。

图44是实施例的识别装置的侧视图。

图45是实施例的暂时固定装置的整体立体图。

图46是实施例的暂时固定装置的俯视图。

图47是实施例的暂时固定装置的主视图。

图48是实施例的暂时固定装置的侧视图。

图49是粘接剂涂敷装置的立体图。

图50是实施例的控制装置的方块图。

图51是实施例的通过滤色器的制造方法制造的滤色器的部分放大图。

图52是实施例的把滤色器的制造方法示意地表示的制造工序剖面图。

图53是实施例的通过滤色器的制造方法制造的液晶显示装置的剖面图。

图54是实施例的通过有机EL的制造方法制造的显示装置的电路图。

图55是表示显示装置的像素区域的平面构造的放大俯视图。

图56是示意地表示第1实施例的有机EL的制造方法的制造工序(1)的剖面图。

图57是示意地表示第1实施例的有机EL的制造方法的制造工序(2)的剖面图。

图58是示意地表示第1实施例的有机EL的制造方法的制造工序(3)的剖面图。

图59是示意地表示第1实施例的变形例的有机EL的制造方法的剖面图。

图60是示意地表示第2实施例的有机EL的制造方法的俯视图和剖面图。

图61是示意地表示第3实施例的有机EL的制造方法的剖面图。

图62是示意地表示第4实施例的有机EL的制造方法的剖面图。

图63是示意地表示第5实施例的有机EL的制造方法的剖面图。

图64是示意地表示第6实施例的有机EL的制造方法的剖面图。

图65是示意地表示第8实施例的有机EL的制造方法的剖面图。

图66是示意地表示第8实施例的变形例的有机EL的制造方法的剖面图。

图67是表示在实施例的描绘装置的底盘的识别动作的模式图。

图中：A-组装装置，B-描绘装置，C-组装夹具，D-校准掩模，1-头机构，2-底盘，3-液滴排出头，4-头保持部件，11-主体板，12-基准销，13-支撑部件，14-手柄，15-配管连接组件，16-配管连接组件，17-配管连接部件，25-销主体，26-基准标识(小孔)，29a-前端面，32-手柄主体，34-粗径部，45-液体导入部，48-泵部，48a-喷出侧端面，49-喷嘴形成板，50-头主体，52-喷嘴形成面，53-喷嘴列，57-喷嘴，57a-喷嘴(最外端)，61-阶梯部，62-树脂，65-喷嘴基准标识，76-锁合孔，77粘接剂注入孔-，78-粘接部位，81-夹具主体，82-装入销，84-纵边部，85-横边部，86-决定位置部，101-头移动部，105-机构导入部，106-暂时放置台，106a-暂时放置角铁，108-擦拭装置，113-Y台，116-X台，121-基板，123-挡板，124-方形开口，131-擦拭片，132-擦拭机构，133-移动机构，137-擦拭滚柱，139-洗净液供给头，161-靠模板，161a-标识形成面，162-板支架，164-头基准标识，165-底盘基准标识，171-支撑销，211-机构移动装置，212-头修正装置，213-暂时固定装置，214-识别装置，215-控制装置，231-安装台，232-θ台，233-X.Y台，271-X轴台，272-Y轴台，302-修正用X.Y台，303-修正用θ台，304-臂机构，331-锁合臂，333-臂升降装置，343-锁合销，344-销支架，345-圈弹簧，347-锥形部，352-照相机位置调节机构，353-识别照相机，359-微载物台，373-气台，374-粘接剂涂敷装置，377-Y气台，378-副Y气台，380-Z轴气台，384-调和器机构，387-粘接剂注入嘴，402-输入部，403-驱动部，404-检测部，405-控制部，411-CPU，412-ROM，413-RAM，414-P-CON，416-定时器，500-滤色器，511-基板，512-像素(滤清单元)，513-隔板，514-遮光层，515-隔板层，516-墨液层，521-着色层，522-覆盖镀敷层，523-电极层，611-显示装置(有机EL)，621-显示基板，641-发光元件(正孔注入层)，642-像素电极，652-反射电极。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施例进行说明。喷墨打印机的喷墨头(液滴排出头)，由于能够使微小的墨滴(液滴)点状地高精度喷出，例如对液滴(喷出对象液)通过使用特殊的墨液及感光的树脂等，可以期待向各种器件的制造区域的应用。另外，在这样的应用技术中，也可以设想对黏性高的喷出对象液等的液滴排出头的耐久性给予大的影响的液滴，可以随时供给使多个液滴排出头在底盘高精度地组装的头机构成为必要。

本实施例的头机构的组装装置是，例如并设在装入在液晶显示装置等的扁平显示器的滤色器的制造装置(以下称作“描绘装置”)，是对此可以随时供给头机构的组装装置。在该描绘装置中，在滤色器的滤清单元，具有使R.G.B的滤清材料作为液滴而喷出的多个液滴排出头，头机构的组装装置，使该多个液滴排出头在底盘上高精度地装入地组装头机构，而使其能够适当供给到描绘装置。

这时的头机构的组装顺序是，首先将各液滴排出头于头保持部件以决定位置的状态分别地安装，使其暂时装入在单一的底盘上，接着对于底盘，决定各液滴排出头的位置以后，暂时固定，最后正式固定。并且，向液滴排出头的头保持部件的安装，向底盘的暂时装入和正式固定，作为外工序通过手工作业进行，而在底盘决定多个液滴排出头的位置且暂时固定的作业，由实施例的组装装置进行。

在这里本实施例中，首先就由该组装装置处理的头机构，和作为该构成要素的液滴排出头、头保持部件和底盘进行说明。另外，在该说明前后，对头机构和上述的描绘装置的关系，向使用夹具的液滴排出头的头保持部件的组装方法，及为头机构的位置决定基准的校准掩模进行说明。其后，就头机构的组装装置进行详细说明。并且，最后就使该头机构适用于所谓扁形显示器的制造方法的例子进行说明。

图1、图2和图3是头机构的构造图。如该图中所示，头机构1具有底盘2，和搭载在底盘2上的多个(12个)液滴排出头3，和使液滴排出头3在底盘2上分别安装的多个(12个)头保持部件4。12个液滴排出头3各以6个在左右分开，对于主扫描方向以规定的角度倾斜地配置。另外，各有6个的液滴排出头3，对于副扫描方向相互错开位置地配置，12个液滴排出头3的所有喷嘴57(后述)在副扫描方向连接着(一部分重复)。即，实施例的头配列是，在底盘2上，使向同一方向倾斜配置的6个液滴排出头3作为两列的配列，并且在各头列之间液滴排出头3为相互180°旋转的配置。不过，该配列图形是其一例，例如，使在各头列的邻接的液滴排出头3之间具有90°的角度地配置(邻接头之间为“八”字状)，使在各头列之间的液滴排出头3具有90°的角度地配置(列间头之间为“八”字状)都是可能的。不管怎样，由12个液滴排出头3的全喷嘴57带来的点在副扫描方向是连续的就可以。另外，对于各种基板，将液滴排出头3如果作为专用元件，液滴排出头3就没有特意倾斜装入的必要，曲折状及阶梯状地配设即可。进一步讲，限于能够构成规定长度的喷嘴列(点列)，使其由单一的液滴排出头3构成也可以，由多个液滴排出头3构成也可以。即，液滴排出头3的个数及列数，进而配列的图形都是任意的。

底盘2，具有一部分被切缺的略方形的主体板11，和设在主体板11的长方向的中间位置的左右一对的基准销12、12，和安装在主体板11的两长边部分的左右一对的支撑部件13、13，和设在各支撑部件13的端部的左右一对的手柄14、14。左右手柄14、14，例如将组装的头机构1装载入上述的描绘装置B的时候，呈为了手持头机构1而用的部位。另外，左右支撑部件13、13，呈在组装位置A及描绘装置B的装入部固定底盘2时的部位(这些都在后面详细叙述)。

进而，在底盘2位于分成两部分的液滴排出头群3S的上侧，设置有连接这些液滴排出头3的左右一对的配管连接组件15、15和左右一对的配线连接组件16、16。各配管连接组件15配管连接在描绘装置B的滤清材料供给系统上，同样地，各配线连接组件16配线连接在描绘装置B的控制系统中。另外，图1省略地描述了一侧(左侧)的配管连接组件15。

主体板11由不锈钢等厚板构成，在左右形成安装各6个液滴排出头3的一对的装入开口18、18的同时，在适当位置形成用于减轻重量的多个冲压开口19。各装入开口18是延续安装6个液滴排出头3的开口部位18a的部分，并列对准6个液滴排出头(液滴排出头群3S)3，其轴线相对于主体板11的轴线稍稍倾斜。

各支撑部件13由厚的不锈钢板构成，在形成固定其的两个固定孔(螺钉孔)21、21和两个螺母孔22、22的同时，在这些固定孔21、21和螺母孔22、22之间形成插入位置决定用的销的销孔23。详细内容在后面叙述，在组装位置A装入头机构1时，在使用销孔23决定位置的同时，使用两个固定孔21、21固定螺钉，同样在描绘装置B装入头机构1时，使用销孔23决定位置的同时，使用两个螺母孔22、22固定螺钉。

左右一对的基准销12、12，以图像识别为前提，是以使底盘2在X轴、Y轴和θ轴方向决定位置(位置识别)的基准的销，向主体板11的里面突出地安装。如图4所示，各基准销12，由圆柱状的销主体25，和在销主体25的前端面的中央部形成的凹状，具体地为孔状的基准标识26构成。销主体25，由为了压入到底盘2上的基部压入部27，和与基部压入部27相连的体部28，和在体部28的前端突出形成的标识形成部29构成，在该标识形成部29的前端面29a形成基准标识26。

标识形成部29的前端面29a被作镜面加工，在该前端面29a的中心位置打穿构成基准标识26的小孔。小孔(基准标识)26，例如是直径0.3mm左右的孔，从基部压入部27到体部28，连通在其轴心部分形成的轴心孔30。这时，基准销12，打穿小孔26以后，作热处理(离子氮化)，使标识形成部29的前端面29a加工形成镜面。作为完成镜面的例子，在研磨工具和前端面29a之间放入微细的研磨粒来进行研磨精抛光，但不限定于此种方法。

这样，通过简单的过程能够由识别照相机照相出前端面29a为白色、小孔的基准标识26为暗色，从而能够提高底盘2的校准精度。另外，对基准销12使剖面为圆柱状进行了说明，但是椭圆状、多角状也可以。进而，小孔的基准标识26也不限定于小孔，是具有能够得到充分的对比度的槽的凹形状也可以，其凹的平面形状也不限于圆形。

详细内容将在后面叙述，搭载于组装装置A和描绘装置B的识别照相机353，对形成了基准标识26的基准销12的前端面29a，在视野内可以捕捉而进行图像识别(图形识别)。因此，在由识别照相机353的图形识别中，镜面加工的前端面29a识别为亮色，在其前端面29a的略中央部形成的凹形状的基准标识26识别为暗色，具有充分的对比度，来图像识别基准标识26。从而，能够高精度地识别基准标识26，能够可靠地防止识别错误。

对这样形成的基准销12，使其前端面29a向下，在形成于底盘(主体板11)2的安装用的孔部分打入地被压入。在底盘2压入的销12，呈与从底盘2突出的液滴排出头3略相同高度地，从主体板11的里面突出。即，为基准销12的图像识别面的前端面29a和为液滴排出头3的图像识别面的喷嘴形成面(参照图3)52位于大致同一平面内。

由此，在由识别照相机353，接着对两基准销12、12以后，检测各液滴排出头3的喷嘴57的时候，没有变更(识别照相机353的上下动作)其焦点位置的必要，并且在图像识别的识别照相机353的相对移动时，能够有效地防止识别照相机353对其他部件等的干扰。另外，一对基准销12、12，设在主体板11的长边方向的略中央位置是理想的，但限于相互离开、设在其他位置也可以。

如图1、图2和图3所示，左右的手柄14、14，是为手持有重量的(7kg左右)头机构1的部分，各手柄14由为握住部分的手柄主体32，和从手柄主体32的下端直角地延伸的臂部33形成为“L”字状。手柄主体32，其上端部为止滑用的粗径部34。另外，在手柄主体32的外周面，施以止滑用的滚花加工。另外，在本实施例中，采用斜棱的滚花加工(参照图2和图3)，但是刻痕也可以。

臂部33水平地延伸，在其前端部装入到底盘2的支撑部件13地由螺钉固定。即，各手柄14装卸自由地安装在底盘2上。这样，左右的手柄14、14，在从底盘(主体板11)2的长边方向的端部隆出的位置，即在离开液滴排出头3的位置，立起来地设置着。

因此，握住两手柄14、14抬起底盘(头机构1)2时，通过力的平衡，使底盘2保持略水平的姿势抬起。另外，在搬运作业等时，握住手柄14的手不会产生接触到液滴排出头3等的故障。另外，详细内容在后面叙述，该手柄14，对头机构1的搬运不用说，特别是在向头机构1的描绘装置B的装入作业时是有用的(详细内容后面叙述)。

各配管连接组件15由，配设在各液滴排出头群3S的上侧，在主体板11的长边方向的两端部立设的一对衬垫36、36，和跨过一对衬垫36、36之间的按压板37，和搭载在按压板37上的6组配管接续器38构成。6组配管接续器38稍微地突出其下端的头侧连接部分地，分别固定在按压板37上。

详细内容在后面叙述，液滴排出头3是所谓的二连的机构，6组配管接续器38，分别通过二联的配管连接部件17连接到液滴排出头3上。即，在各液滴排出头3上嵌合连接配管连接部件17，另外通过使搭载了6组配管接续器38的按压板37螺钉固定在两衬垫36、36上，6组配管接续器38，分别通过配管连接部件17连接到液滴排出头3上。并且，在各配管接续器38的流入侧，当装入到描绘装置B时向其滤清材料供给系统以简单的操作作配管连接(详细内容后面叙述)。

同样地，各配线连接组件16由，立设在底盘2的左右端部的3个弯曲支撑部件40、40、40，和固定在弯曲支撑部件40的上端的连接器基座41，和安装在连接器基座41上的带配线连接器43的4个头接续基板42构成。4个头接续基板42分别通过挠性的扁形电缆(图示省略)，连接到后述的各液滴排出头3的二连的头基板47上。并且，在各头接续基板42上，在装入描绘装置B的时候，通过该控制系统电缆的配线插头作配线连接(详细内容后面叙述)。

另外，如仅在图2所示地，在该头机构1进而设置覆盖两配线连接组件16的接续基板盖24。接续基板盖24由，从各配线连接组件16的侧面直到覆盖其上部的一对的侧面盖24a，和跨一对侧面盖24a之间的上面盖24b构成，其中上面盖24b在将头机构1装入到描绘装置B以后安装。另外，详细内容后面叙述，在使头机构1装入到组装装置A的阶段，与装入到描绘装置B的时候不同，接续基板盖24不用说，两组件15、16也不组装在其中的部件。

下面，用图5至图8就液滴排出头3进行说明。该液滴排出头3是所谓二连的装置，其具有带二连的连接针46的液体导入部45，和在液体导入部45的侧方成排的二连的头基板47，和在液体导入部45下方成排的二连的泵部48，和在泵部48成排的喷嘴形成板49。在液体导入部45，连接上述配管连接部件17，在头基板47连接上述的挠性的扁形电缆。另外，通过该泵部48和喷嘴形成板49，构成向底盘2的里面侧突出的方形头主体50。另外，在喷嘴形成板49的喷嘴形成面52形成两列的喷嘴列53、53(参照图6)。

如图6和图7所示，泵部48有对应于喷嘴数目的压力室55和压电元件56，各压力室55连通对应的喷嘴57。另外，泵部48的基部侧，即头主体50的基部侧，形成为要接受液体导入部45的方形凸缘状，在该凸缘部58，形成使液滴排出头3固定在头保持部件4的小螺钉用的一对螺钉孔(雌螺钉)59、59。该一对螺钉孔59、59位于两长边部分，且对于喷嘴形成面52的中心为点对称地配设。详细内容后面叙述，通过贯穿头保持部件4螺合到凸缘部58上的两个小螺钉73、73，液滴排出头3固定在头保持部件4上(参照图9)。

喷嘴形成板49由不锈钢板等形成，连接在泵部48的喷出侧端面(液滴喷出面)。更具体地，如在图6和图7(a)示意地表示地，泵部48具有收放上述的压电元件56的机构部48a，和通过树脂胶片48b，与喷嘴形成板49一起接合在该机构部48a的硅内腔48c。即，喷嘴形成板49粘接在硅内腔48c上，以该状态通过树脂胶片48b，接合在机构部48a的接合面48d上，构成上述的压力室55。从而，在头主体50考虑安装方法后，上述的树脂胶片48b、硅内腔48c和喷嘴形成板(包含后述的电镀层49a)49，对于泵部48的机构部48a，构成压力室组装体60。并且，机构部48a的接合面48d，形成为长方形，另外包含喷嘴形成板49的压力室组装体60，形成为比其小几分的相似形，压力室组装体60与接合面48d呈略同心地重叠接合。

因此，在压力室组装体60的四周和机构部48a的接合面48d的四周缘部之间，构成作为跨四周接合用的间隙的阶梯部61，在该阶梯部61铸型树脂62。即，由接合面48d的端缘(周缘部)和压力室组装体60的端面(侧面部)构成的阶梯部61，埋入其而由树脂62铸型。从而，头主体50的下端，呈通过该树脂62四周被倒角的形态。

详细内容后面叙述，通过由树脂62的铸型，在擦拭时防止头主体50堵塞在擦拭片131。这时，虽然液滴排出头3在水平面内若干倾斜地保持在底盘2上，但是对于头主体50，擦拭片131从X轴方向作擦拭动作(参照图17)。从而，跨过上述四周的铸型的树脂62，仅设置在开始最低限擦拭侧的长边部分，或者仅设置在两长边部分也可以。另外，后面叙述的倒角加工也是同样。另外，如图7(b)所示，使树脂62从喷嘴形成板49向前方稍微突出(图示的t尺寸)地，在树脂62具有保护喷嘴57的保护器的功能也是可能的。另外，如图7(c)所示，使机构部48a的接合面48b和压力室组装体60为同一形状，代之以树脂62的铸型，对压力室组装体60的端缘作倒角加工也可以。

另外，在喷嘴形成板49，两个喷嘴列53、53相互平行地列设着，各喷嘴列53由以等间距并列的180个(在图示中示意地表示)的喷嘴57构成。即，在头主体50的喷嘴形成面52，夹着其中线，两个喷嘴列53、53左右对称地配置着。并且，各喷嘴57的喷嘴口63，在形成防水性(防液性)的电镀层49a的圆形凹部64的内部开口。

另外，图中的符号65、65是用于识别液滴排出头3位置的两个喷嘴基准标识。如后所示，在本实施例中对液滴排出头3的位置识别，由图像识别(图形识别)在其中任意一侧的喷嘴列53的最外端的两个喷嘴57a、57a来进行。然而，通过喷出对象液有在喷嘴(喷嘴口63)57形成的弯月面的形态不一定的情形(参照图6(b)中的假想线)，在图形识别中有变得不能识别(NG)的担心。

在这里本实施例中，在上述最外端的两个喷嘴57a、57a的近旁，形成有两个喷嘴基准标识65、65。即，在喷嘴形成面52，平行移动两个喷嘴57a、57a的位置，更严密地说，在对应于平行移动喷嘴列53(不一定是正交于喷嘴列53的方向也可以)时的两喷嘴57a、57a的位置，通过激光蚀刻等形成两个喷嘴基准标识65、65。对于两个喷嘴57a、57a保证两个喷嘴基准标识65、65的位置，在于两个喷嘴57a、57a的图像识别不稳定的时候，使用该两个喷嘴基准标识65、65进行图像识别。另外，两个喷嘴基准标识65、65对于两个喷嘴(严密地说为离开的任意的两个喷嘴57、57即可)57a、57a，限于要确保位置，并且限于要充分离开，设在喷嘴形成面52的任何位置均可以。

这样构成的液滴排出头3，使该头主体50从于底盘2形成的开口18向底盘2的里面侧突出，在碰到装入开口18的缘部的头保持部件4上在凸缘部58的部分由螺钉固定。另外，头保持部件4通过在底盘2的粘接被暂时固定，其后，使用机械的固定装置作正式固定。

接着，参照图8和图9，对头保持部件4进行说明。头保持部件4是用于将液滴排出头3稳定地安装在底盘2上的媒介接头，形成为由不锈钢等构成的略长方形的平板状。在头保持部件4，于其中央形成插通液滴排出头3的头主体50的方形的插通开口71。这时，头保持部件4在其长方向的两端部跨装入开口(开口部位18a)18地装入在底盘2的里面侧，对此，液滴排出头3将该头主体53插通到插通开口71地装入在底盘2的表面侧(参照图5)。

在头保持部件4的插通开口71的周围，配设对应于上述凸缘部58的两个螺钉孔59、59的两个贯通孔72、72和两个小螺钉73、73，和两个规定突出位置销74、74。两个贯通孔72、72，分别形成于在装入开口18侧突出的两个轮毂部75、75。这时，各轮毂部75由压入到头保持部件4的筒状环套构成。该两个轮毂部75、75和两个规定突出位置销74、74，无论哪个对于插通开口71的中心配设于点对称位置，通过这些轮毂部75、75和规定突出位置销74、74触接到头主体50的凸缘部58上，规定限制液滴排出头3从底盘2的喷出尺寸。

另外，在插通孔71的中心线上，于插通开口71的外侧形成两个锁合孔76、76。该两个锁合孔76、76，与是装入后面叙述的液滴排出头3的组装夹具C的部位的同时，也是锁合在组装位置A的位置修正用的锁合销343、343的部位。这时，为了使组装夹具C的装入及锁合销343的锁合便利，两个锁合孔76、76，一侧形成为圆形，另一侧在上述中心线方向形成为长圆形。

进而，在插通开口71的中心线上，于头保持部件4的两端部，分别夹住插通开口71在对称位置形成两个粘接剂注入孔77、77。各粘接剂注入孔77为在头保持部件4的横剖方向延长的长孔，该长孔的底盘2侧的端部作倒角(参照图8)。形成各两个的粘接剂注入孔77、77的头保持部件4的两端部，构成将头保持部件4粘接在底盘2的粘接部位78、78，从各粘接剂注入孔77注入的粘接剂，通过毛细现象扩展、涂敷在底盘2和粘接部位78、78的界面部分。

这时，作为在一侧的端部的外侧(内侧)形成的粘接剂注入孔77a(77b)和在另一侧的端部的内侧(外侧)形成的粘接剂注入孔77a(77b)，分别构成一对。详细内容后面叙述，组装装置A有两个粘接剂注入嘴387、387，两个粘接剂注入嘴387、387，在成对的一侧的两个粘接剂注入孔77a、77a被同时插入，而后在注入粘接剂的同时，向上述中心线方向移动后，在另一侧的两个非粘接剂注入孔77b、77b同时被插入而后注入粘接剂。

另外，图中的符号79、79是在将头保持部件4暂时装入到底盘2时使用的(详细内容后面叙述)一对固定孔，该一对固定孔79、79分别是粘接剂注入孔77、77的近旁，形成于对于插通开口71的中心点对称的位置。另外，在底盘2的开口部位18a，形成对应于该一对固定孔79、79的一对临时固定用螺钉孔20、20(参照图11)。

然而，通过一对基准销12、12对于决定位置的底盘2，各液滴排出头3，以作为其输出端的喷嘴列(喷嘴57)53为基准，被决定在X轴、Y轴和θ轴方向的位置(识别位置)。更具体地，两个喷嘴列53、53，由于在制造阶段被保证相互位置精度，因而以位于无论那一侧的喷嘴列53的最外端的两个喷嘴57a、57a作为决定位置基准来识别它。另外，在液滴排出头3的头主体50的前端部的四边(严密地说是跨泵部48的数毫米宽的前端部的四边)也在制造阶段被保证相互的位置精度。

另外，液滴排出头3是通过头保持部件4固定在底盘2的状态。在这里本实施例中，使用组装夹具，以上述头主体50的前端部四边为基准，在头保持部件4决定液滴排出头3的位置，螺钉固定以后，以上述两个喷头57a、57a为基准，决定带头保持部件4的液滴排出头3的位置而暂时固定。即，液滴排出头3，通过使用组装夹具C的手工作业，一旦暂时决定在头保持部件4的位置，接着经过在组装装置A的图像识别(识别喷嘴57a、57a)决定正式位置。

在实施例的组装装置A，为了达到识别位置的速度提高，对上述两个喷嘴57a、57a，由固定地设置的两个识别照相机353、353同时识别，即，两个识别照相机353、353可以同时捕捉在视野内。因此，使用组装夹具C的液滴排出头3的暂时位置决定，在正式位置决定阶段，基于设定的位置数据，使两个识别照相机353、353靠近上述两个喷嘴57a、57a时，是无论哪个都不从视野离开的。

在这里，参照图9和图10，对液滴排出头3的组装夹具C进行说明的同时，对使用该组装夹具C，将液滴排出头3组装在头保持部件4上的组装方法进行说明。如图10所示，组装夹具C由，决定液滴排出头3的头主体50位置的夹具主体81，和使夹具主体81以决定在头保持部件4的位置的状态装入的一对装入销82、82构成。

夹具主体81由纵边部84和从纵边部84的两端直角地延伸的一对横边部85、85，略“C”字状地形成为一体。另外，一对装入销82、82分别从横边部85、85的里面侧突出，通过将该一对装入销82、82嵌合到头保持部件4的锁合孔76、76上，夹具主体81被装入在头保持部件4上。

在从纵边部84的内侧跨一侧的横边部85的内侧的部位，形成略“L”字状的位置决定部86，通过在该位置决定部86触接到头主体50的一侧的长边和短边，决定液滴排出头3在头保持部件4的位置。位置决定部86，使表面侧与其他的部分为同一平面地形成薄壁，并且角部分86a形成为半圆状的凹入。另外，夹具主体81以将其装入到头保持部件4的状态，其表面和液滴排出头3的喷嘴形成面52，几乎为同一平面地(同一水平)，来设计其厚度。

由此，头主体50其突出方向的前端部，触接到组装夹具C的位置决定部86来决定位置。即，在制造阶段，使对于喷嘴列53在保证位置精度的头主体50的前端部的四边中邻接的两个边，通过碰到组装夹具C的位置决定部86，液滴排出头3在头保持部件4上决定位置。

另外，一对装入销82、82重合在碰到位置决定部86的头主体50的中心线上地配设。更具体地，位置决定部86的长边部位86b，与连接一对装入销82、82的直线平行地形成，并且其离开尺寸，配合在头主体50的长边位置而被管理的同时，形成是头主体50的短边的1/2的尺寸。另外，位置决定部86的短边部位86c，在长边部位86b形成为直角，并且与位于短边部位86c侧的装入销82的离开尺寸，配合头主体50的短边位置地被管理。

由此，组装夹具C，即使以从图9的状态旋转180°的状态，装入到头保持部件4上也不特别产生障碍，能够决定液滴排出头3的位置。即，实施例的组装夹具C，其平面形状不是左右对称的，但呈所谓不能够右随便转、左随便转的构造。

下面，参照图9、图11和图12，对使用上述的组装夹具C的液滴排出头3向头保持部件4的组装方法进行说明。该组装作业作为组装装置A之外工序由手工作业进行。首先，在底盘(严密地说是主体板11)2的表面侧的周缘部螺丝固定4个支撑脚88、88、88、88。接着，上下反转底盘2，通过支撑角88上浮状态地装入底盘2。另外，在图示中省略了，但以该状态在底盘2安装上述一对支撑部件13、13和一对基准销12、12是理想的。

接着，将使头主体50向上的液滴排出头3，从底盘2的下侧插入到装入开口18。在这里，从底盘2的上侧位置配合头主体50地嵌入头保持部件4的插入开口71，将头保持部件4装到底盘2上。如果装入了头保持部件4，从上侧在头保持部件4上装入组装夹具C的同时，在头保持部件4的位置决定部86，压装与其对峙的头主体50的两边。另外，准备了多个组装夹具C，事先将其装入到头保持部件4以后再开始作业也可以。

接着，保持着上述压装的状态，从上侧将两个小螺钉73、73贯通头保持部件4，分别螺合在液滴排出头3的凸缘部58上，将液滴排出头3固定在头保持部件4上。接着，两个识别照相机353、353的视野作为从两个喷嘴75a、75a不卸下的装置，从上述一对固定孔79、79在底盘2的暂时固定用螺钉孔20、20，分别将固定螺钉89、89以临时固定状态螺合(参照图9)。

由此，在固定螺钉89和固定孔79的尺寸交叉的范围，使对于底盘2的液滴排出头3的位置配合成为可能的同时，两个识别照相机353、353的视野不从两个喷嘴75a、75a离开。这样，通过使液滴排出头3向头保持部件4的位置决定和固定按顺序反复的操作，12个液滴排出头3分别地组装在头保持部件4上。最后，从头保持部件4拔出组装夹具C的同时卸下4个支撑脚88，完成作业。

如以上，夹住底盘2，12个液滴排出头3被安装在12个头保持部件4上，但在该状态，12个液滴排出头3没有被固定在底盘2上，呈悬挂的状态。即，带有头保持部件4的12个液滴排出头3，对于底盘2在固定螺钉89和固定孔79的尺寸交叉范围内可以稍微移动地暂时装入。另外，该固定螺钉89是定位螺钉，在组装装置A中，在底盘2粘接头保持部件4(暂时固定)以后取下。即，在实施例中，不进行通过头保持部件4向底盘2的螺钉固定的直接的正式固定(由其他部件作按压固定)。

并且，在底盘2暂时装入带头保持部件4的12个液滴排出头3的头机构1被导入到组装装置A上，以上下反转的姿势装入到其上。另外，在组装装置A被导入的头机构1，为在上述主构成元件装入一对支撑部件13、13和基准销12、12的部件，导入到描绘装置B的头机构1，在此进一步以手柄为首，为装入两组件15、16等的部件。

在这里，对描绘装置B进行简单说明的同时，对利用一对手柄14、14将头机构1载入到描绘装置B中的头机构1的装入方法进行说明。另外，就关联到液滴排出头3的头主体50的构造，对描绘装置B的擦拭装置也进行简单说明。

图13是示意地表示描绘装置B的概念图，如该图所示，描绘装置B具有，搭载头机构1使其向Y轴方向和θ轴方向移动的头移动部101，和与头移动部101对峙使滤色器等的基板102向X轴方向移动的基板移动部103，和保养头机构1的液滴排出头3的维护部104。头移动部101，使搭载在其上的头机构1，夹住基板移动部103在机构导入部105和维护部104之间移动。

在导入装入头机构1的时候，头移动部101移动向机构导入部105侧，其临时放置台106靠近机构导入部105。头机构1在该临时放置台106上被临时放置，连接配管和配线以后，送入到头移动部101地被装入。并且，在进行头机构1的决定初始位置的准备工序中，进行头机构1向θ轴方向稍微移动(角度修正)，但在喷出滤清材料的制造工序中，基板102向X轴方向移动并且头机构1向Y轴方向移动，进行液滴排出头3的主扫描和副扫描。

头移动部101具有，垂直设置头机构1地支撑的主底盘111，和使主底盘111向θ轴方向移动的θ台112，和通过θ台112使头机构1向Y轴方向移动的Y台113。另外，基板移动部103具有，吸附基板102地装入的基板安装台115，和通过基板安装台115使基板向X轴方向移动的X台116。

这时，X台116由气动滑块和线性电动机的组合来驱动，Y台113由球螺钉和伺服电机的组合来驱动(都省略图示)。另外，基板识别照相机117搭载在主底盘111上(参照图5)，头识别照相机118搭载在基板安装台115上。从而，头机构1设在底盘2上的一对基准销12、12，通过头识别照相机118和使其在X方向移动的X台116的协调动作来识别图像。

在这里，参照图67对由头识别照相机118作的一对基准销12、12的识别动作进行说明。首先，基于设计上的数据适当驱动X台116和Y台113，使头识别照相机118和底盘(头机构1)移动，将一侧的基准销12进入到头识别照相机118的视野内。如果由头识别照相机118识别了一侧的基准销12，接着，驱动X台116，使头识别照相机118向X轴方向(主扫描方向)移动，将另一侧的基准销12进入到头识别照相机118的视野内来识别它。

并且，基于头识别照相机118带来的对一对基准销12、12的识别结果，适当驱动X台116、Y台113和θ台112，进行底盘(头机构1)的位置修正。另外，在位置修正以后进行为了确认的再一次的上述识别动作，而完成一连串的识别动作。

其后，在实际的液滴喷出作业中，首先驱动X台116，使基板102在主扫描方向往复移动的同时，驱动多个液滴排出头3，进行液滴排出头3的有选择的液滴喷出。接着，驱动Y台113，使底盘(头机构1)2以1节距的量向副扫描方向移动，再次进行向基板102的主扫描方向的往复移动和液滴排出头3的驱动。并且通过使其反复数次，进行从基板102的一端到另一端(全区域)的液滴喷出。

这样，使在一对基准销12、12的图像识别的头识别照相机118的移动，由X台116进行，因而与使用球螺钉的Y台113等不同，能够防止移动精度对识别精度的影响。另外，作为X台116的移动方向的X轴方向，使与主扫描方向一致，在构造上能够提高液滴喷出的精度(着弹点的精度)。

另外，在本实施例中，对于头机构(底盘2)1，使作为其喷出对象物的基板102向主扫描方向移动，但是使底盘(头机构1)2向主扫描方向移动的构成也可以。另外，也考虑到使一对的基准销12、12设在底盘2的长边方向的两端部的情形，但在这种情形，通过向底盘2的Y轴方向的相对移动，来识别一对基准销12、12。

图14和图15是主底盘111的外观图。主底盘111具有，头机构1入座的基板121，和垂直设置基板121地支撑的拱形部件122，和作为向基板121的一侧的端部突出地设置的暂时放置台106的左右一对暂时放置角铁106a、106a，和设置在基板121的另一侧的端部的档板123。另外，上述的基板识别照相机117有一对设置在档板123的外侧。

在基板121形成游动嵌入头机构1的主体板11的方形开口124，另外，在构成该方形开口124的基板121的左右的各开口缘部125，设置有在头机构1的各支撑部件13形成的两个螺母孔22、22和配合销孔23的两个贯通孔126、126和决定位置销127。这时，方形开口124的宽和主体板11的宽几乎一致，从侧方装入的头机构1，主体板11的左右被方形开口124的左右引导地被插入。

各暂时放置角铁106a有充分的厚度(高度)，由在外侧“L”字状地弯曲的基部载置在基板121的端部地被固定。另外，两暂时放置角铁106a、106a的离开尺寸对应于头机构1的两支撑部件13、13的离开尺寸。从而，头机构1，其两支撑部件13、13由坐落在两暂时放置角铁106a、106a上而被临时放置，并且通过两暂时放置角铁106a、106a引导向基板121的送入。另外，在该状态，各液滴排出头3的头主体50从基板121充分地浮起，可以防止与基板121的接触(干扰)。

如图16的形象图所示，在将头机构1装入在主底盘111的基板121上时，首先将用手持两手柄14、14运入的头机构1载置在两暂时放置角铁106a、106a上(暂时放置)。在这里没有特别图示，但将在拱形部件122上配设的描绘装置B的滤清材料供给系统的管配置连接在头机构1的配管连接组件15上的同时，将控制系统的电缆配置连接在配线连接组件16上(同图(a))。

如果完成了连接作业，再次握住手柄14、14，引导两暂时放置角铁106a、106a将头机构1按入到前方，进而使其前端部向下地倾斜(同图(b))。使头机构1倾斜后，主体板11的前端部被插入到方形开口124，并且两支撑部件13、13的前端触接到方形开口124的两开口缘部125、125。两支撑部件13、13如触接到开口缘部125、125，从两暂时放置角铁106a、106a浮起两支撑部件13、13，接着以两支撑部件13、13的前端为中心，将头机构1在开口缘部125上边滑动边进一步向更深处压入。

并且，头机构1的前端如果碰到档板123，使头机构1的后部慢慢下降，在两支撑部件13、13的销孔23嵌合两开口缘部125、125的位置决定销127，将头机构1入座到基板121上。在这里，从基板121的下侧贯通基板121，使4根固定螺钉128螺合在两支撑部件13、13上，完成作业(同图(c))。

这样，在机构导入部105，暂时放置头机构1，以这样的状态进行必要的配管、配线连接，因而这些连接作业容易进行，并且使连接作业后的头机构1在狭小的空间能够适和地装入。另外，使头机构1从暂时放置角铁106a在更低的基板121上边滑动边装入，因而使头机构1在主底版111上能够软着落地装入，能够使重的头机构1，没有冲击地圆滑地装入。

另外，在描绘装置B的维护部104，在底盘装置及清除装置并设地设有擦拭装置。如图17所示，擦拭装置108具有，带擦拭片131的擦拭机构132，和使擦拭机构132向着头机构1进退的移动机构133。通过Y台113对于导入到维护部104的头机构1，移动机构133使擦拭机构132在X轴方向(主扫描方向)进退地作擦拭动作。

擦拭机构133具有，使擦拭片131圈状地卷起的放出卷轴135，和使将从放出卷轴135放出的擦拭片131卷收起来的卷收卷轴136，和在放出卷轴135和卷收卷轴136之间架设擦拭片131的擦拭滚轮137。另外，在放出卷轴135和擦拭滚轮137之间，配设兼用于旋转速度检测轴的导向滚轮138，并且在擦拭滚轮137的近旁配设有洗净液供给头139。

放出卷轴135，通过设置在其上的扭矩限制器制动旋转，卷收卷轴136，通过设在其上的电动机驱动旋转。从放出卷轴135放出的擦拭片131，通过导向滚轮138而变更路线，从洗净液供给头139接受的洗净液的供给以后，在擦拭滚轮137周围旋转，被卷收到卷收卷轴136上。

擦拭滚轮137是自由旋转的滚轮，由具有弹性或柔软性的橡胶滚轮等构成。在擦拭时的擦拭滚轮137，产生将擦拭片131向各液滴排出头3的头主体50从下方压装的作用。另外，在擦拭时，擦拭滚轮137接受卷收卷轴136的旋转，通过移动的擦拭片131来旋转，并且通过移动机构133，作为擦拭机构133整体向X轴方向移动。由此，擦拭片131在头机构的下面，即在12个液滴排出头3的头主体50按顺序滑动接合起来。换句话说，对于头主体50的相对的移动方向，擦拭片131在反方向移动，而擦拭各头主体50的喷嘴形成面52。

在头主体50滑动接合的擦拭片131，在到达擦拭滚轮137之前，从洗净液供给头139供给洗净液、即滤清材料等的溶剂等。由此，附着在各头主体50的喷嘴形成面52上的滤清材料，通过擦拭滚轮137由含浸洗净液的擦拭片131，可以干净地擦拭。另外，如上所述，头主体50的下端部通过在其上铸型的树脂62，由于作了倒角，因而在其擦拭的时候，头主体50不在擦拭片131上停滞。

下面，参照图18和图19，对校准掩模D进行说明。在实施例的组装装置A中，不仅头机构1的组装个数，而且有必要供给总是具有一定水平的组装精度的头机构1。在这里，准备了标示出底盘2和12个液滴排出头3的基准位置的校准掩模D。即，使校准掩模D作为元件位置的原型(原版)，使作为复制的头机构1由该组装装置A组装。由此，排除对于头机构1的各组装装置A具有的缺陷及时效等对精度的影响。

校准掩模D由，掩模图形形成底盘2的基准位置和各液滴排出头3的基准位置的靠模板161，和从下侧保持靠模板161的板支架162构成。如上所述，各液滴排出头3，相对于各主扫描方向以规定的角度(40°～60°)倾斜而配置。在这里，靠模板161和板支架162，符合于其倾斜角地形成。

更具体地，靠模板161对应于倾斜搭载的液滴排出头3的头主体50，由在其长边平行的两边和在其短边平行的两边形成为方形，而不产生无用的部分，另外，靠模板161作为原型为了使其不产生变形而由厚的透明的石英玻璃构成。

在靠模板161的表面，以表示各液滴排出头3的基准位置的各5个头基准标识164、164、164、164、164为一组，其在两侧形成各6组共12组。另外，在该12组的头基准标识164的外侧，形成表示底盘2的基准位置的一对的基盘基准标识165、165。进而，位于端部的头基准标识164的近旁，形成为了调整识别照相机353的像素分解能力的被摄体图像166。

各5个的头基准标识164，表示在液滴排出头3的喷嘴形成面52的中心位置，和位于2列的喷嘴列53、53的各自最外端部的共4个喷嘴57、57、57、57的位置。如图18(a)所示，各头基准标识164在圆形线的内部描绘中间冲压的十字的同时，在除去十字的圆形内描绘形成斜线。从而，由识别照相机353作图像识别(摄象)以后，在暗色的圆形部分的内部，识别亮色的十字部分。

与上述相同，各底盘基准标识165也在圆形线的内部描绘中间冲压的十字的同时，在除去十字的圆形内描绘形成斜线。另外，被摄体图像166由格子状地高精度地描绘的纵横的多个线形成。另外，表示喷嘴形成面52的中心位置的头基准标识164从表示4个喷嘴57的位置的4个头基准标识164可以运算出，因而省略也可以。另外，在校准掩模D形成的图形，成同一平面地形成以Cr等的金属为代表的不透明膜，用半导体技术图案构成等地形成该膜。

板支架162，如图19和图20所示具有，比靠模板161大一圈地形成的略方形的靠模支撑板168，和安装于靠模支撑板168的里面四拐角的树脂制的4个角座169、169、169、169，和纵横不动地决定设在靠模支撑板168的表面的靠模板161的位置的多个聚氨酯档板170，和使靠模板161以在靠模支撑板168上浮起的状态支撑的多个支撑销171，和将对应支撑销171而设的靠模板168从上侧按压的多个按压座172。

多个聚氨酯档板170，每两个碰到靠模板161的四边。另外，多个支撑销171，在靠模板161的拐角部处各配置两个，并且对于靠模支撑板168，高度可以调节地安装着。即，各支撑销171，有调整螺栓的构造，能够调整靠模板161的表面、即标识形成面161a的水平。多个按压座172分别对应于支撑销171，在与支撑销171之间夹入靠模板161地按压它。

这样构成的校准掩模D，固定在后述的组装装置A的安装台231上。因此，在靠模支撑板168的左右各个缘部，形成有两个固定孔173、173，和配设在两个固定孔173、173之间的销孔174。并且，校准掩模D和头机构1交换装入在组装装置A的安装台231上。

下面，对液滴排出头3的组装装置A和组装方法进行说明。组装装置A是，以在底盘2上暂时装入12个液滴排出头3的上述的头机构1为组装对象物，在头机构1的底盘2上使各液滴排出头3高精度地确定位置地粘接(暂时固定)的装置。另外，在该组装装置A，暂时固定液滴排出头3的头机构1，经过洗净工序和上述的手柄14等的元件装入工序，装入到描绘装置B中。

如图21至图25的外观图所示，组装装置A在架台201上有透明的安全盖202，在架台201上装入气体供给机器203等的同时，在安全盖202内载置机台204地收放主构成装置205地构成。在架台201上设置有4个小脚轮206和6个带调整螺栓的支撑脚207。在安全盖202的正面，设有导入头机构1的开闭门208，另外，在其上面立设有警告灯209。

主构成机构205具有，搭载头机构1使其在水平面内向X、Y、θ方向移动的机构移动装置211，和进行暂时装入在底盘2上的各液滴排出头3的位置修正的头修正装置212，和在底盘2上粘接各液滴排出头3的暂时固定装置213，和在液滴排出头3的位置修正之前作位置识别底盘2和各液滴排出头3的识别装置214，和统一控制这些机构移动装置211、头修正装置212、暂时固定装置213和识别装置214的控制装置(参照图50)215。

在该组装装置A，预先在机构移动装置211导入上述的校准掩模D，通过识别装置214图像识别校准掩模D的各基准标识164、165，记忆底盘2和各液滴排出头3的基准位置数据，基于该基准位置数据(靠模数据)进行底盘2和各液滴排出头3的位置修正。另外，校准掩模D，新的头机构1的导入组装时，当然即使是同一个头机构1，基于其组装个数及运行时间被定期地导入。当然，这时基准位置数据被重新设定。

另外，头机构1使各液滴排出头3的头主体50向上，装入在机构移动装置211的上面，头机构1的组装，首先从通过识别装置214进行底盘2的位置识别开始。位置识别底盘2以后，比较该识别数据和基准位置数据，基于其比较结果，通过机构移动装置211进行底盘2的位置修正。接着，通过识别装置214位置识别液滴排出头3，基于该识别结果(比较结果)通过头修正装置212进行液滴排出头3的位置修正。

接着，持续保持该位置修正状态，由暂时固定装置213，通过头保持部件4液滴排出头3被粘接在底盘2上。另外这时，直到粘接剂固化为止，头修正装置212不使液滴排出头(头保持部件4)3移动地按压着。并且，按液滴排出头3的个数重复从该液滴排出头3的位置识别到粘接的工序，完成全部液滴排出头3的暂时固定。

如图21和图26所示，机构移动装置211通过3个地方的调整螺栓217在水平地支撑的板状的机台204上，具有宽的占有面积被载置着。机构移动装置211具有，使头机构1以反转状态装入的安装台231，和从下侧支撑安装台231的θ台232，和从下侧支撑θ台232的X.Y台233。头机构1与安装台231一起配合搭载的液滴排出头3的倾斜，被倾斜地装入。因此，相当于液滴排出头3的主扫描方向的方向呈X轴方向，副扫描方向呈Y轴方向。

如图27所示，安装台231具有，形成多个圆形冲孔236的方形基板235，和固定在基板235的两侧的一对带状块237、237。在各带状块237的上面，立设位置决定销238的同时，形成两个螺钉孔239、239。即，头机构1对于安装台231，在左右两个地方决定位置，共在4个地方作螺钉固定。另外，在基板235的中央部分，形成使安装台231固定在θ台232上的4个贯通孔240等。

这样，头机构1，通过安装台231固定在θ台232上，同样校准掩模D也通过安装台231固定在θ台232上。这时，作为头机构1和校准掩模D，固定在θ台232上的头机构1的各液滴排出头3的喷嘴形成面52，和固定在θ台232上的校准掩模D的标识形成面(靠模板的表面)161a，设计为位于同一水平面内。

同样，头机构1的重量和含板支架162的校准掩模D的重量被设计为大致同一重量。由此，完全在同一条件下进行校准掩模D的位置识别动作和头机构1的位置识别动作。另外，安装台231对于头机构1为专用元件，变更头机构1后使与其相配合地也变更安装台231。

接着，参照图28、图29和图30，对θ台232进行说明。θ台232由，通过安装台231使头机构1作微小旋转(微小转动)的旋转动作部242，和驱动旋转动作部242的进退驱动部243构成。旋转动作部242具有，固定安装台231的台主体245，和从台主体245延长到进退驱动部243侧的连接臂246，和自由旋转地支撑台主体245的滚动环247，和支撑滚动环247的支撑台248。这时，安装台231通过设在台主体245上的两个地方的位置决定销250、250，和通过4个地方的螺钉孔251，在台主体245的上面以决定位置的状态由螺钉固定。

进退驱动部243具有，构成动力源的θ台电动机(伺服电动机)253，和在θ台电动机253的主轴254上通过联接器255连接的圆螺钉256，和螺合圆螺钉256的雌螺钉块257，和使雌螺钉块257在圆螺钉256的轴方向(在X轴方向)滑动自由地支撑的主滑块258，另外，还有连接上述的连接臂246的前端部的臂托260，和通过轴承261使臂托260旋转自由地支撑的垂直轴部件262，和对于雌螺钉块257使垂直轴部件262在X轴方向滑动自由地支撑的副滑块263。

θ台电动机253构成为可以正反旋转，θ台电动机253正反旋转后，通过球螺钉256，雌螺钉块257被主滑块258导向在X轴方向进退。雌螺钉块257进退后，被其支撑的副滑块263和垂直轴部件262也在X轴方向进退。进而，垂直轴部件262进退后，通过轴连在其上的臂托260，连结臂246和台主体245以台主体245的轴心为中心转动。即，台主体245在水平面内作正反微小旋转(在θ方向正反移动)。

另外，伴随该转动，台主体245和垂直轴部件262的中间距离发生变化，但该距离的变化，通过副滑块263垂直轴部件262通过在Y轴方向适当、微小的移动而被吸收。另外，通过从雌螺钉块257突出的遮光板265和伴随雌螺钉块257的进退靠近遮光板265的3个光断续器266，规定限制雌螺钉块257的移动端位置、即台主体245的转动范围(角度)(防止超限动作)。

进退驱动部243被支撑在设置于主滑动块258的下侧的支撑板267上，该支撑板267固定在旋转动作部242的支撑台248上。并且，该支撑台248载置在X.Y台233上。

下面，参照图26、图31和图32，对X.Y台233进行说明。X.Y台233具有，将θ台232从下侧支撑的支撑块270，和将支撑块270在X轴方向滑动自由地支撑的X轴台271，和将X轴台271在Y轴方向滑动自由地支撑的Y轴台272。在支撑块270于4个地方有螺钉孔274，在该4个地方通过螺钉孔274于支撑块270固定θ台232。

X轴台271由X轴气动滑块276，和X轴线性电动机277，和并设于X轴气动滑块276的X轴直线标度278构成。同样，Y轴台272由Y轴气动滑块279，和Y轴线性电动机280，和并设于Y轴气动滑块279的Y轴直线标度281构成。另外，图中的符号282、283分别是X轴钢缆轴承和Y轴钢缆轴承。另外，符号284、284是两线性电动机277、280的放大器。

X轴线性电动机277和Y轴线性电动机280被适当控制驱动，使θ台232在X轴方向和Y轴方向移动。即，装入在安装台231上的头机构(或者校准掩模D)1，在水平面内，通过θ台231在θ轴方向移动的同时，通过X.Y台233在X轴方向和Y轴方向移动。

下面，对头修正装置212进行说明。头修正装置212是，基于由识别装置214作的液滴排出头3的位置识别，通过头保持部件4使液滴排出头3在X轴、Y轴和θ轴方向微小移动，进行决定液滴排出头3位置(位置修正)的装置。另外同时，头修正装置212具有与暂时固定装置213协调动作，直到粘接剂凝固使头保持部件4推押到底盘2上的功能。

如图23和33所示，头修正装置212由，安装在上述的机台204的内侧的修正装置用台301，和载置在其上的修正用X.Y台302、和在修正用X.Y台302上被支撑的修正用θ台303，和被修正用θ台303支撑的臂机构304构成。这时，修正用θ台303具有与机构移动装置211的θ台232完全相同的构造，因而在这里省略其说明。另外，在θ台232位于左侧配设有其进退驱动部243，但在该修正用θ台303配设位于右侧(参照图23)。

修正装置用台301，如图33所示具有，载置修正用X.Y台302的基板307，和支撑基板307的3组脚机构308、308、308。3组脚机构308配设在左部、右部和中央后部的3个地方，分别由一对支柱309、309，和在一对支柱309、309的上下固定的上板310和下板311构成。

这时，在修正装置用台301的下侧空间，靠近通过机构移动装置211移动的头机构1，从修正装置用台301突出的臂机构304，从上侧靠近该头机构1(锁合在头保持部件4上)。并且，头机构1的移动和底盘2的位置修正，通过机构移动装置211进行，各液滴排出头3的位置修正，通过该头修正装置212进行。从而，暂时固定任意的1个液滴排出头3以后，机构移动装置211移动头机构1，使下一个液滴排出头3靠近头修正装置212。

如图33至图36所示，修正用X.Y台302具有，被载置在修正装置用台301的中央并且支撑修正用θ台302的支撑块314，和使支撑块314在X方向滑动自由地支撑的修正用X轴台315，和使修正用X轴台315在Y轴方向滑动自由地支撑的修正用Y轴台316。在支撑块314，于4个地方有螺钉孔318，在该4个地方通过螺钉孔318在支撑块314上固定修正用θ台303。

修正用X轴台315由，X轴气动滑块320，和X轴线性电动机321，和并设于X轴气动滑块320上的X轴直线标度322构成。同样，修正用Y轴台316由，Y轴气动滑块323，和Y轴线性电动机324，和并设于Y轴气动滑块323上的Y轴直线标度325构成。另外，图中的符号326、327分别是X轴钢缆轴承和Y轴钢缆轴承，另外，符号328、328是两线性电动机321、324的放大器。

如图37、图38和图39所示，臂机构304由，锁合在头保持部件4上的一对锁合孔76、76的一对锁合臂331、331，和支撑一对锁合臂331、331的底盘332，和升降底盘332的臂升降机构333，和支撑臂升降机构333的支撑台334构成。支撑台334由固定在修正用θ台303上的固定板336，和从固定板336向前方延伸的一对L字臂337、337，和固定在一对L字臂337、337的前端的垂直板338构成，向前方延伸成逆“L”字状。

臂升降机构333由，升降自由地支撑底盘332的升降滑块340，和固定在垂直板338的下部升降升降滑块340的气动气缸341构成。气动气缸341连接在上述气体供给机器203上，通过气阀等的切换引导升降滑块340来升降底盘332。底盘332形成为“L”字状，其前端形成为两叉。并且，在该两叉部分分别向下安装有锁合臂331、331。

各锁合臂331如图40所示具有，插入到头保持部件4的锁合孔76上的锁合销343，和上下动作自由地保持锁定销343的销支架344，和内藏在销支架344里使锁合销343向下方顶压的圈弹簧345。销支架344的上端部，在底盘332上从下侧嵌合地固定着。锁合销343的前端部形成为锥形状，该锥形部347，对于头保持部件4的锁合孔76其基端侧形成为粗直径，其前端侧形成为细直径。由此，锁合销343在锁合孔76不晃荡地锁合起来。

在初始状态，两锁合臂331、331通过气动气缸341向上升端位置移动，通过机构移动装置211移动头机构1以后，通过气动气缸341使两锁合臂331、331下降后，该一对锁合销343、343锁合在希望的头保持部件4的锁合孔76、76上。另外，气动气缸341通过上述的控制装置215作定时器控制，直到通过暂时固定装置213涂敷的粘接剂凝固，将位置修正后的头保持部件4按原样按压在底盘2上。

即，使两锁合臂331、331下降的气动气缸341，进行头保持部件4的位置修正和粘接剂的涂敷(详细内容后面叙述)以后，在经过了粘接剂的凝固时间(达到规定的粘接强度的时间)时，使两锁合臂331、331上升到原来的位置。另外，在本实施例中，由圈弹簧345顶压锁合销343，但省略了圈弹簧345，使锁合销343和销支架344为一体化的单纯的构造也可以。

在以上的构成中，臂机构304的两锁合臂331、331下降，锁合在头保持部件4上时，驱动修正用θ台303和修正用X.Y台302，通过头保持部件4决定液滴排出头3的位置。并且，直到粘接剂凝固，保持决定该位置的状态。即，臂机构304的两锁合臂331、331，以决定位置状态使头保持部件4向底盘2按压，在该头保持部件4上靠近暂时固定装置(粘接)213。

下面，对识别装置214进行说明。如图24和图41所示，识别装置214由，跨修正用X.Y台302的前部地固定在修正装置用台301上的照相机台351，和固定在照相机台351的前面的照相机位置调节机构352，和安装在照相机位置调节机构352上的一对识别照相机(CCD照相机)353、353构成。这时，一对识别照相机353、353，对于构成识别对象的头机构(校准掩模D)1固定地被设置着。

照相机台351具有，逆“L”字状地在前方延伸的左右一对脚片部件355、355，和跨过一对脚片部件355、355之间的横向长的前面板356。通过照相机位置调节机构352固定在前面板356上的一对识别照相机353、353，配设在比修正装置212的一对锁合臂331、331稍微高的位置、且稍微向前方突出的位置上(参照图25)，以防止与锁合臂331的干扰。

如图41至图44所示，照相机位置调节机构352具有，添设在前面板356的Z轴调节板358，和安装在Z轴调节板358的下端部的微载物台359，和保持左侧的识别照相机353a的左照相机支架360，和保持右侧的识别照相机353b的右照相机支架361。Z轴调整板358在与前面板356之间在垂直方向延伸的一对导向轨362、362，与此同时具有碰到前面板356的上端的调整螺栓363。由该调整螺栓363的正反旋转，通过Z轴调整板358，能够调节两识别照相机353、353的上下方向的位置。

微载物台359由，通过右照相机支架361支撑右侧的识别照相机353b的X轴载物台365，和在支撑X轴载物台365的同时固定在Z轴调节板358的下端部的Y轴载物台366构成。X轴载物台365，为在X轴方向可以微小移动右侧的识别照相机353b的构成，可以调节在右侧的识别照相机353b的前后方向的位置的构成。同样，Y轴载物台366，为可以调节右侧的识别照相机353b的左右方向的位置的构成。

另外，左照相机支架360固定在Z轴调节板358的下端部。因此，通过左照相机支架360对于固定地设置的左侧的识别照相机353a，使右侧的识别照相机353b由微载物台359作位置调节。如上所述，通过左右识别照相机353a、353b，使两个喷头57a、57a同时作位置识别，因而特别在处理新的液滴排出头3的时候，预先通过微载物台359调节左右识别照相机353a、353b的离开距离，即视野间距离。另外，图中的符号367是一体地覆盖照相机位置调节机构352和两识别照相机353、353的照相机盖。

在这样构成的识别装置214，通过与一侧的识别照相机353和机构移动机构211的X轴台271的协调动作，位置识别底盘2的两个基准标识(基准销12、12)26、26。即，通过一侧的识别照相机353进行一侧的基准销12的图像识别，接着底盘2向X轴方向移动进行另一侧的基准销12的图像识别。并且，基于该识别结果通过机构移动装置211进行底盘(头机构1)2的位置修正，进而进行再次确认的位置识别。

另外，通过一对识别照相机353、353，作为各液滴排出头3的基准的两个喷嘴57a、57a被同时作位置识别。即，该液滴排出头3向一对识别照相机353、353的下面移动，同时图像识别两个喷头57a、57a。另外，以该状态在头保持部件4靠近头修正装置212，进行液滴排出头3的位置修正，并且进行由暂时固定装置213的粘接。另外，在校准掩模D的各标识164、164的识别也与上述同样进行。

下面，对暂时固定装置213进行说明。如图22和图45所示，在上述机台204的右部，跨过修正装置用台301地设置向前后方向延伸的公共所有台219，暂时固定装置213配设在该公共所有台219的前部。暂时固定装置213具有，由4个载物台371在公共所有的台219上支撑的方形支撑板372，和固定在方形支撑板372的下面的气台373，和固定在气台373的前端部的粘接剂涂敷装置374，和在移动向内部位置的粘接剂涂敷装置374从下侧靠近的粘接剂盘375。粘接剂盘375固定在公共所有的台219上，从粘接剂涂敷装置374承接落下的粘接剂。

如图45至图49所示，气台373由，安装在方形支撑板372上的Y轴气台377，和安装在Y轴气台377的前端部的副Y轴气台378，和安装在副Y轴气台378的前端部的X轴气台379，和安装在X轴气台379的前端部的Z轴气台380构成。并且，这些Y轴气台377、副Y轴空气台378、X轴气台379和Z轴气台380无论哪一个都由连接在上述的空气供给机器203的气缸377a、378a、379a、380a和滑块377b、378b、379b、380b构成。

粘接涂敷装置374由，固定在上述的Z轴气台380上的垂直支撑板382，和从垂直支撑板382的下部向前方突出的左右一对水平支撑块383、383，和安装在各水平支撑块383上的一对调合器384、384，和支撑在上述的公共所有台219上的调合器控制器385构成。一对调合器机构384、384，对于上述一对锁合臂331、331及一对识别照相机353、353，从前方对峙地配设着。

各调合器机构384具有，在前端装入粘接剂注入嘴387的调合器388，和对调合器388供给粘接剂的弹壳形式的注射器389，和保持调合器388和注射器389的调合器支架390。调合器支架390角度自由调节地被安装在水平支撑块383的前端部，在本实施例中，粘接剂注入嘴387相对于水平被调节为倾斜45度左右。另外，各水平支撑块383，对于垂直支撑板382，在前后和左右方向可以作位置调节地被固定着。

如上所示，粘接剂使用上述的两个粘接剂注入嘴387、387，在构成头保持部件4的一对的一侧的两个粘接剂注入孔77a、77a同时地被注入(涂敷)的同时，经过向两粘接剂注入嘴387、387的Y轴方向的移动以后，在成对的另一侧的两个非粘接剂注入孔77b、77b同时被注入(涂敷)。从而，两粘接剂注入嘴387、387的离开尺寸，对应于构成在头保持部件4的一对的粘接剂注入孔77a、(77b)、77a、(77b)的离开尺寸。另外，具有规定地倾斜角度的各粘接剂注入嘴387，被插入到作为长孔的粘接剂注入孔77中，在其内周面猛吹地注入粘接剂。

然而，头修正装置212以完成决定位置动作的状态，按原样将头保持部件4按压到底盘2上，保持其不动。对此，驱动X轴气台379和Y轴气台377，使两个粘接剂注入嘴387、387向头保持部件4的两个粘接剂注入孔77a、77a的上部移动。在这里，驱动Z轴气台380，使两个粘接剂注入嘴387、387同时插入到两个粘接剂注入孔77a、77a。

下面，通过注射器389，从两个粘接剂注入嘴387、387注入规定量(由调合器控制器385调整)的粘接剂。接着，通过Z轴气台380，提升两个粘接剂注入嘴387、387的同时，驱动副Y轴气台387，使两个粘接剂注入嘴387、387向另一侧的两个粘接剂注入嘴77b、77b的上部移动。这时，构成在头保持部件4的一对的两组粘接剂注入孔77a、(77b)、77a、(77b)之间的距离为一定，因而在这里使Y轴气台377停止，仅驱动副Y轴气台378。

下面，再次提升粘接剂注入嘴387、387以后，休止暂时固定装置213，等待粘接剂的凝固时间。经过凝固时间以后，头修正装置212解除对于头保持部件4的锁合，完成任意一个液滴排出头3的暂时固定(位置确定和粘接)作业。并且，进行通过该头修正装置212和暂时固定装置213的协调动作的液滴排出头3的位置决定和粘接作业，通过重复12次，完成液滴排出头3的暂时固定，头修正装置212和暂时固定装置213分别返回到内部位置。

在这里，参照图50，对控制装置215进行说明的同时，对基于该控制装置215的头机构1的一系列组装顺序进行说明。如该图的方块图所示，在控制装置215的控制系统具有，通过操作面板401输入底盘2及液滴排出头3的设计上的位置数据等的输入部402，和有驱动机构移动装置211等的构成装置的各种驱动器等的驱动部403，和通过识别照相机353进行位置识别的检测部404，和一体控制组装装置A的各构成装置的控制部405。

驱动部403具有，驱动控制机构移动装置211的各电动机的移动用驱动器407，和驱动控制头修正装置212的各电动机的修正用驱动器408，和驱动控制在暂时固定装置213上的气台373的各气缸的空气用驱动器409，和驱动控制在暂时固定装置213上的调合器机构384的调合器控制器385。

控制部405具有CPU411、ROM412、RAM413和P-CON414，这些组件相互通过信息传递通路415连接。在ROM412具有，记忆由CPU411处理的控制程序的控制程序以外，记忆各种控制数据的控制数据区域。RAM413具有，从外部输入的位置数据，及记忆识别照相机353从校准掩模D得到的靠模位置数据等的位置数据区域以外的各种寄存器群，作为控制处理的作业区域来使用。

P-CON414补充CPU411的功能的同时，装入处理与周围电路的接口信号的逻辑电路及定时器416。因此，P-CON414连接操作板401将从输入部402来的各种指令等按原样或者加工后取入到信息传递通路415中。另外，P-CON414与CPU411连动，从CPU411等将输出到信息传递通路415中的数据及控制信号按原样或者加工后输出到驱动部。

并且，CPU411通过上述构成，按照ROM412内的控制程序，通过P-CON414输入各种检测信号、各种指令、各种数据等，处理RAM413内的各种数据，通过P-CON414向驱动部403输出控制信号。由此，控制机构移动装置211、头修正装置212、暂时固定装置213等的组装装置A整体。

例如，从识别照相机353得到的校准掩模D的靠模位置数据、和从识别照相机353得到的头机构1的机构位置数据，装入到RAM413内，按照ROM412内的控制程序，比较靠模位置数据和机构位置数据，基于其比较结果，控制机构移动装置211、头修正装置212等。

在这里，对由实施例的组装装置A带来的头机构1的组装方法，按顺序进行说明。在该组装装置A，在头机构1的导入之前，首先，导入校准掩模D。校准掩模D装入到安装台231上后，驱动机构移动装置211，使校准掩模D的一侧的底盘基准标示165靠近一侧的识别照相机353，位置识别一侧的底盘基准标示165。接着，驱动机构移动装置211的X轴台271，使另一侧的底盘基准标示165靠近识别照相机353，位置识别另一侧的底盘基准标示165。

下面，驱动机构移动装置211，使位于校准掩模D的端部的头基准标识164同时靠近一对识别照相机353、353，同时位置识别两个地方的头基准标识164、164。对其按顺序重复，位置识别对应于12个液滴排出头3的12组头基准标识164。这样，如果完成了校准掩模D的位置识别，使校准掩模D回到内部位置，在安装台231上重新载上头机构1。

在这里，将头机构1按与上述完全同样的顺序移动，首先位置识别底盘2的一对基准销12、12，基于该识别结果，通过机构移动装置211位置修正底盘(头机构1)2。接着，以与上述同样的顺序，使第一个液滴排出头3的头主体(头保持部件4)50靠近头修正装置212的一对锁合臂331，在头保持部件4上锁合锁合臂331。在这里，通过一对识别照相机353、353位置识别作为头主体50的位置基准的两个喷出咀57a、57a。

接着，驱动头修正装置212，基于上述识别结果通过头保持部件4决定液滴排出头3的位置。并且，在该位置决定状态下，驱动暂时固定装置213，使一对粘接剂注入嘴387、387靠近头保持部件4，进行粘接剂的注入。粘接剂的注入，通过暂时固定装置213的副Y轴气动气缸378，伴随粘接剂注入嘴387的移动进行两次。如完成了粘接剂的注入，通过定时器控制等待粘接剂的固化，解除头修正装置212对头保持部件4的锁合。

这样，完成第一个液滴排出头3的位置决定和暂时固定，使该作业从第2个到第12个液滴排出头3反复进行。并且最后，使机构移动装置211、头修正装置212和暂时固定装置213分别回到内部位置，将组装好的头机构1从安装台231卸下。其后，头机构1经过液滴排出头3的洗净的同时，在其上装入手柄14及两组件15、16等的构成部件，运入到描绘装置B处。

另外，在本实施例中，将液滴排出头3通过头保持部件4粘接到底盘2上，粘接部分为金属-金属的粘接，但将液滴排出头3直接粘接到底盘2上的构造也可以。

然而，本发明的头机构的组装装置和由此组装的头机构1不仅上述的描绘装置B，而且也可以适应于各种平面显示器的制造方法，及各种电子仪器和光学仪器的制造方法等。在这里，对使用该头机构1的制造方法以液晶显示装置的制造方法和有机EL装置的制造方法为例进行说明。

图51是液晶显示装置的滤色器的部分放大图。图51(a)是俯视图。图51(b)是图51(a)的B-B′线剖面图。剖面图各部分的剖面线一部分省略。

如图51(a)所示，滤色器500具有并列为矩阵状的像素(滤清要素)512，像素和像素的交界线，由隔板513隔开。在像素512的一个一个处，导入红(R)、绿(G)、蓝(B)其中之一的墨液(滤色材料)。在该例中使红、绿、蓝的配置为所谓光镶嵌幕配列，但为带状配列、三角形配列等其他的配置也可以。

如图51(b)所示，滤色器500具有透光性的基板511，和遮光性的隔板513。没有形成(被除去的)隔板513的部分，构成上述像素512。在该像素512导入的各种颜色的墨液构成着色层521。在隔板513和着色层521的上面，形成覆盖镀层522和电极层523。

图52是说明由本发明的实施例而得的的滤色器的制造方法的制造工序剖面图。剖面图各部的剖面线一部分省略了。

对由膜厚0.7mm、纵长38cm、横长30cm的无碱玻璃构成的透明基板511的表面，由在热浓硫酸中添加1％重量的过氧化氢水的洗净液洗净，用纯水冲洗后，通过空气干燥得到清洁的表面。在该表面，通过喷射法由平均0.2μm的膜厚形成铬膜，得到金属层514′(图52：S1)。

将该基板在热板上，于80℃干燥5分钟以后，在金属层514′的表面，通过旋转镀层形成光至保护膜层(图中未示)。在该基板表面，使描绘了希望的矩阵图形形状的掩膜胶片紧密接触，由紫外线进行透光。接着，使其浸渍在以8％重量的比例地含有氢氧化钾的碱显象液中，除去未露出部分的光至保护膜，图案形成保护膜层。接着，对露出的金属层用以盐酸为主要成分的蚀刻液蚀刻除去。这样能够得到具有规定的矩阵图形的遮光层(黑矩阵)514(图52：S2)。遮光层514的膜厚大致为0.2μm。另外，遮光层514的宽大致是22μm。

在该基板上，仍然用旋转镀层法进一步涂敷底片型的透明丙烯酸类的感光性树脂组成物515′(图52：S3)。对其在100℃预先烘干20分钟以后，使用描绘规定的矩阵图形形状的掩膜胶片进行紫外线曝光。对未曝光部分的树脂，仍然用碱性显象液显象，用纯净水清洗以后作旋转干燥。对作为最终的干燥的后烘干在200℃进行30分钟，通过使树脂部充分固化，形成隔板层515，形成由遮光层514和隔板层515构成的隔板513(图52：S4)。该隔板层515的膜厚平均是2.7μm。另外，隔板层515的宽大约是14μm。

为了改善由得到的遮光层514和隔板层515划分开的着色层形成区域(特别是玻璃基板511的露出面)的墨液湿润性，进行干蚀刻、即进行等离子体处理。具体地，对在氦中施加20％氧的混合气体施以高电压，在等离子体的氛围中形成蚀刻点，使基板在该蚀刻点下通过进行蚀刻。

接着，在由隔板513划分开而形成的像素512内，通过喷墨方式导入上述R(红)、G(绿)、B(蓝)的各种墨液(图52：S5)。在液滴排出头(喷墨头)，使用应用压电效应的精密头，有选择地每隔着色层形成的区域喷出10滴微小墨滴。驱动频率设定为14.4kHz、即各墨滴的喷出间隔设定为69.5μ秒。头和目标的之间的距离设定为0.3mm。为了防止从头向作为目标的着色层形成区域的飞翔速度、飞行拐弯即被称为卫星的分裂杂散滴的发生，墨液的物理特性，当然驱动头的压电元件的波形(含电压)是重要的。从而，使事先设定的波形程序化，同时涂敷红、绿、蓝的三种颜色的墨滴地，在规定的配色图形上涂敷墨液。

作为墨液(滤清材料)，例如在聚氨酯树脂的低聚物上分散无机颜料以后，作为低沸点溶剂添加环己酮和醋酸丁酯，作为高沸点溶剂添加丁醚乙酸酯，进一步作为分散剂添加重量的0.01％的非离子类界面活性剂，使用粘度为6～8厘泊的活性剂。

接着，干燥涂敷的墨液。首先，在自然氛围中放置3小时在进行离子层516的凝固以后，在80℃的热板上进行40分钟加热，最后在打开的状态下用200℃加热30分钟来进行墨液层516的固化处理，可得到着色层521(图52：S6)。

在上述基板上，旋转镀敷透明的丙稀基树脂涂料，形成具有平滑面的覆盖镀层522。进而，在其上面由规定的图形形成由ITO(Indium TinOxide)组成的电极层523。作为滤色器500(图52：S7)。

图53是由本发明的制造方法制造的电光学装置(平面显示器)的一例的彩色液晶显示装置的剖面图。一部分省略了剖面图各部分的剖面线。

该彩色液晶显示装置550，组合滤色器500和相对的基板566，通过在两者之间封入液晶组成物565来制造。在液晶显示装置550的一侧的基板566的内侧面，TFT(薄膜晶体管)元件(图中未示)和像素电极563形成为矩阵形状。另外，作为另一侧的基板，在与像素电极563相对的位置配列红、绿、蓝的着色层521而设置滤色器500。

在基板566和滤色器500的各自相对的面，形成取向膜561、564。摩擦处理这些取向膜561、564，能够使液晶分子在规定方向配列。另外，在基板566和滤色器500的外侧面，分别粘接偏振光板562、567。另外，作为背景灯一般使用荧光灯(图中未示)和散射板的组合，通过起到使液晶组成物565作为变化背景光的透过率的光快门的功能来进行显示。

另外，电光学装置，在本发明中不限于上述的彩色液晶显示装置，例如能够使用薄型的显像管、或者使用液晶快门等的小型电视机、EL显示装置、等离子体显示器、CRT显示器、FED(Field EmissionDisplay)盘等各种的电光学装置。

下面，参照图52至图66，说明有机EL装置的有机EL(显示装置)和其制造方法。

(1)第1实施例

第54图至第58图是表示本发明的第一实施例的图，该实施例是，适用于使用EL表示元件的有源的矩形的显示装置的实施例。更具体地，表示利用作为配线的扫描线、信号线和共同送电线，进行作为光学材料的发光材料的涂敷的例子。

第54图是表示在本实施例的显示装置600的一部分的电路图，该显示装置600，在透明的显示基板上具有，多个扫描线631，和对于这些扫描线631在交叉的方向延伸的多个信号线632，和与这些信号线632并列地延伸的多个共同送电线633，以上分别配线的构成，同时，在每个扫描线631和信号线632的各交叉点，设有像素区域要素600A。

对于信号线632，设有带移位寄存器、水平移动器、摄像机线、模拟开关的数据侧驱动电路601。

另外，对于扫描线631，设置有带移位寄存器和水平移动器的扫描侧驱动电路602。进而，另外，在各个像素区域600A，设有，通过扫描线631将扫描信号向栅极供给的开关薄膜晶体管643，和通过该开关薄膜晶体管643保持从信号线632供给的图像信号的保持容量cap，和通过该保持容量cap保持的图像信号供给到栅极上的电流薄膜晶体管644，和通过该电流薄膜晶体管644向共同送电线633作电的连接时，从共同送电线633驱动电流流入的像素电极642，和被夹在该像素电极642和反射电极652之间的发光元件641。

如是这样的构成，驱动扫描线631，开关薄膜晶体管643为打开时，此时的信号线632的电位被保持在保持容量cap，对应该保持容量cap的状态，决定电流薄膜晶体管644的开、关状态。并且，通过电流薄膜晶体管644的通道，电流从共同送电线633向像素电极642流动，进而由于通过发光元件641电流在反射电极652上流动，因而发光元件641响应该流动的电流量而发光。

在这里，各像素区域600A的平面构造是，如在除去了反射电极及发光元件的状态的放大俯视图的第55图所示，平面形状即长方形的像素电极642的四边呈由信号线632、共同送电线633、扫描线631和图中未示的另外的像素电极用扫描线包围的配置。

第56图～第58图是依次表示像素区域600A的制造过程的剖面图，相当于第55图的A-A线剖面。以下，根据第56图～第58图，说明像素区域600A的制造工序。

首先，如第56图(a)所示，对于透明的显示基板621，根据需要，使TEOS(四乙氧基硅烷)及氧气等作为原料气体通过等离子体CVD法形成由厚度约为2000～5000埃的硅氧化膜构成的基底保护膜(图中未示)。接着，将显示基板621的温度设定为约350℃，在基底保护膜的表面通过等离子体CVD法形成由厚度约为300～700埃的非晶形的硅膜构成的半导体膜700。接着对于由非晶形的硅膜构成的半导体膜700，进行激光退火或者固相成长法等的结晶化工序，使半导体膜700结晶化为多晶硅膜。在激光退火法中，例如，使用由准分子激光的光束的长度400mm的线光线，其输出强度例如大约是200mj/cm²。关于线光线相当于在其短方向的激光强度的峰值90％的部分按每个区域重叠地扫描线光线。

接着，如第56图(b)所示，图案形成半导体膜700作为岛状的半导体膜710，对于其表面，使TEOS(四乙氧基硅烷)及氧气等作为原料气体通过等离子体CVD法形成由厚度约为600～1500埃的硅氧化膜或氮化膜构成的门绝缘膜720。另外，半导体膜710是构成电流薄膜晶体管644的通道区域和源漏区域的，但在不同的剖面位置也形成构成开关薄膜晶体管643的通道区域和源漏区域的半导体膜。总之，在如第56图～第58图所示的制造工序中两种晶体管643、644是被同时制作的，但由于以相同的顺序制作，在以下的说明中，关于晶体管仅就电流薄膜晶体管644进行说明，省略有关开关薄膜晶体管643的说明。

接着，如第56图(c)所示将由铝、钽、钼、钛、钨等的金属膜构成的导电膜通过喷射法形成以后，形成图案、并形成栅极644A。

以该状态打入高温度的磷离子，在硅薄膜710上，对于栅极644A自我整合地形成源漏区域644a、644b。另外，没被导入杂物的部分为通道区域644c。

接着，如第56图(d)所示，形成层间绝缘膜730以后，形成连结孔731、732，在这些连结孔731、732内埋入转接电极733、734。

接着，如第56图(e)所示，在层间绝缘膜730上，形成信号线632、共同送电线633、和扫描线(在第56图中未示)。这时，信号线632、共同送电线633和扫描线的各个配线，作为配线不被局限于必要的厚度，而形成充分的厚度。具体地，使各配线形成为1～2μm左右的厚度。在这里作为转接电极734和各配线、由同一工序形成也可以。这时、转接电极733由后述的ITO膜形成。

并且，也覆盖各配线的上面地形成层间绝缘膜740，在对应于转接电极733的位置形成连结孔，在该连结孔内也埋入地形成ITO膜，图形形成该ITO膜，在信号线632、被共同送电线633和扫描线包围的规定位置，形成电联接源漏区域644a的像素电极642。

在这里，于第56图(e)中，被夹在信号线632和共同送电线633的部分，是相当于有选择地配置光学材料的规定位置的部分。并且，在该规定位置和其周围之间，通过信号线632及共同送电线633形成阶梯611。具体地，形成规定位置处比其周围还低的凹形的阶梯611。

下面，如第57图(a)所示，以使显示基板621的上面向上的状态，通过喷墨头方式，喷出形成碰到发光元件641的下层部分的正孔注入层的液状(溶到溶剂中的溶液状)的光学材料(前驱体)612A，在使其由阶梯611包围的区域内(规定位置)有选择地作涂敷。

作为形成正孔注入层的材料，可以例举出聚合物前驱体为四氢化硫代苯基次苯基的聚苯乙烯，1、1-双-(4-N、N-二甲苯胺基苯基)环己烷、三(8-羟基喹啉)铝等。

这时，液状的前驱体612A由于流动性高，向水平方向扩展，但包围被涂敷的位置地形成阶梯611，因而如果不使该液状的前驱体612A的每一次的涂敷量非常大，能够防止液状的前驱体612A越过阶梯611扩展到规定位置的外侧。

下面，如第57图(b)所示，通过加热或光照射蒸发液状的前驱体612A的溶剂，在像素电极642上，形成固体的薄正孔注入层641a。在这里，也根据液状的前驱体612A的浓度，仅形成薄正孔注入层641a。在这里，当使更厚的正孔注入层641a为必要的时候，有必要反复数次进行第57图(a)和(b)的工序，如第57图(c)所示，形成充分厚的正孔注入层641A。

下面，如第58图(a)所示，以使显示基板621的上面向上的状态，通过喷墨头方式，喷出形成碰到发光元件641的上层部分的有机半导体膜的液状(溶到溶剂里的溶液状)的光学材料(有机荧光材料)621B，使其在由阶梯611包围的区域内(规定位置)有选择地作涂敷。

作为有机荧光材料可以例举出：氰基聚苯，乙烯、聚苯乙烯、聚烷基苯、2，3，6，7-四氢-11-氧代-1H·5H·11H(1)苯并吡喃[6，7，8-Ij]-喹嗪-10-羧酸、1，1-双-(4-N，N-二甲苯胺基苯基)环己烷、2-(3，4-二羟苯基-3，5，7-三羟基-1-苯并芘三(8-羟基喹啉)铝、2，3，6，7-四氢-9-甲基-11-氧代-1H·5H·11H(1)苯并吡喃[6，7，8-Ij]-喹啉、芳香族二胺衍生物(TDP)、羟基二吡咯聚体(OXD)、羟基二吡咯衍生物(PBD)、二甲亚芳香基衍生物(DSA)、羟基喹啉系金属络合物、铍苯并羟基喹啉络合物(Bebq)、三苯胺衍生物(MTDATA)、二苯乙烯衍生物、吡唑啉聚体、红荧烯、喹吖啶、三唑衍生物、聚苯、聚烷基芴、聚烷基噻吩、甲亚胺锌络合物、锌络合物、苯并噁唑锌络合物、菲绕啉铕络合物等。

这时，液状的有机荧光材料612B，由于流动性高，仍然要向水平方向扩展，但由于包围涂敷的位置地形成阶梯611，如果不使该液状的有机荧光材料612B的每一次的涂敷量为非常大的量，能够防止液状的有机荧光材料612B越过阶梯611扩展到规定位置的外侧。

下面，如第58图(b)所示，通过加热或光照射蒸发液状的有机荧光材料612B的溶剂，在正孔注入层641A上，形成固体的薄有机半导体薄膜641b。在这里，也根据液状的有机荧光材料612B的浓度，仅形成薄有机半导体膜641b。在这里，当更厚的有机半导体膜641b为必要的时候，有必要反复数次进行第58图(a)和(b)的工序，如第58图(c)所示，形成充分厚的有机半导体膜641B。通过正孔注入层641A和有机半导体膜641B，构成发光元件641。最后，如第58图(d)所示，显示基板621的表面全体地或者带状地形成反射电极652。

这样，在本实施例中，将配置发光元件641的处置位置从四方包围地形成信号线632、共同配线633等的配线的同时，比平常还厚地形成这些配线地形成阶梯611，并且，由于有选择地涂敷液状的前驱体612A及液状的有机荧光材料612B，因而有发光元件641的图案形成精度高的优点。

并且，形成阶梯611后，反射电极652形成比较大的凹凸面，但如果使该反射电极652大厚度在某种程度上变厚，产生断线等的不顺利的可能性就变得非常小。

并且，由于利用信号线632及共同配线633等的配线形成阶梯611，因为当然不会特别地增加新的工序，也就不会带来制造工序的大幅的复杂化。

另外，形成发光元件641的上层的光学材料，不只限于有机荧光材料612B，是无机荧光材料也可以。

另外，作为开关元件的晶体管643、644，通过在600℃以下的低温工艺方法形成的多结晶硅来形成是理想的，由此，能够通过玻璃基板的使用而带来低成本化和通过高移动度而带来高性能化，而两得利。另外，开关元件通过由非晶质硅或者由600℃以上的高温工艺方法形成的多结晶硅来形成也可以。

并且，是设置开关薄膜晶体管643和电流薄膜晶体管644以外的晶体管的形式也可以，或者是由一个晶体管驱动的形式也可以。

另外，阶梯611通过无源的矩形显示元件的第一信息传输通路配线、和有源的矩形大型显示元件的扫描线631和遮光层形成也可以。

另外，作为发光元件641，虽然发光效率(正孔注入率)稍微低下，但是省略正孔注入层641A也可以。另外，代替正孔注入层641A，使电子注入层在有机半导体膜641B和反射电极652之间形成也可以，或者，形成正孔注入层和电子注入层两方也可以。

另外，在上述实施例中，特别注意到彩色显示，对有选择地配置各发光元件641全体的情况进行了说明，但例如在单色显示的显示装置600的时候，如第59图所示，有机半导体膜641B，在显示基板621整面上同样地形成也可以。但是，即使在这种时候为了防止相互影响，正孔注入层641A由于应该有选择地按每各规定位置配置，利用了阶梯611的涂敷是非常有效的。

(2)第2实施例

第60图(a)是表示本发明的第2实施例的图，该实施例是适用于使用EL显示元件的无源矩阵形的显示装置的发明。

另外，第60图(a)是表示多个第1信息传输通路配线750，和配设于与其正交的方向的多个第2信息传输通路配线760的配置关系的俯视图，第60图(b)是该图(a)的B-B线剖面图。

另外，在与上述第1实施例同样的构成中，给予相同的符号，省略其重复的说明。另外，由于细微的制造工序等也与上述第1实施例相同，从而省略其图示及说明。

即，在本实施例中，包围配置发光元件641的规定位置地，例如配设SiO2等的绝缘膜770，由此，在规定位置和其周围之间形成阶梯611。

在这样的构成中也与上述第1实施例同样，在有选择地涂敷液状的前驱体612A及液状的有机荧光材料612B时，能够防止这些液体流向周围，而有能够高精度地形成图形等的优点。

(3)第3实施例

第61图是表示本发明的第3实施例的图，该实施例也与上述第1实施例相同，是适用于使用EL显示元件的有源的矩形显示装置的发明。更具体地，通过利用像素电极642形成阶梯611，是能够进行高精度的图形形成的发明。

另外，在与上述实施例同样的构成中，给予相同的符号。另外，第61图是表示制造工序的途中的剖面图，由于其前后与上述第1实施例大致相同从而省略其图示和说明。

即，在本实施例中，比平常更厚地形成像素电极642，由此，在与其周围之间形成阶梯611。总之，在本实施例中，在后面涂敷光学材料的像素电极642处形成还比其周围更高的凸型的阶梯。

并且，与上述第1实施例相同，通过喷墨头方式，喷出形成碰到发光元件641的下层部分的正孔注入层的液状(溶到溶剂中的溶液状)的光学材料(前驱体)612A，涂敷到像素电极642上面。

但是，与上述第1实施例的情形不同，使显示基板621为上下相反的状态，总之以使涂敷液状的前驱体612A的像素电极642上面向下方的状态，进行液状的前驱体612A的涂敷。

这样，液状的前驱体612A，通过重力和表面张力，滞留在像素电极642上面，不向其周围扩展。因此，如果进行加热及光照射等固化，能够形成与第57图(b)同样的薄正孔注入层，如果反复该过程则可形成正孔注入层。以同样的手法也可形成有机半导体膜。

这样，在本实施例中，利用凸型阶梯611涂敷液状的光学材料，能够提高发光元件的形成图像精度。

另外，利用离心力等的惯性力，调整滞留在像素电极242上面的液状光学材料的量也可以。

(4)第4实施例

第62图是表示本发明的第4实施例的图，该实施例也与上述第1实施例同样，是适用于使用EL显示元件的有源的矩形显示装置的发明。另外，对与上述实施例同样的构成，给予相同的符号。另外，第62图是表示制造工序的途中的剖面图，其前后由于与上述第1实施例为大致相同，从而省略其图示和说明。

即，在本实施例中，首先，在显示基板621上，形成反射电极652，接着，在反射电极652上，后来包围配置发光元件641的规定位置地形成绝缘膜770，由此形成规定位置处比其周围还低的凹形的阶梯611。

并且，与上述第1实施例相同，在由阶梯611包围的区域内，由液滴喷出方式通过有选择地涂敷液状的光学材料，形成发光元件641。

另外，在剥离用基板622上，通过剥离层651，形成扫描线631、信号线632、像素电极642、开关薄膜晶体管643、电流薄膜晶体管644和绝缘膜740。

最后，在显示基板621上，描写从剥离用基板622上的剥离层622剥离的构造。

这样，即使在本实施例中，由于利用阶梯611，涂敷了液状的光学材料，从而能够进行高精度的形成图形。进而在本实施例中，可以减轻，对于发光材料641等的基底材料的、而由其后工序带来的损伤，或者，对扫描线631、信号线632、像素电极642、开关薄膜晶体管643、电流薄膜晶体管644或绝缘膜740的、由光学材料的涂敷等带来的损伤。

在本实施例中，作为有源的矩形显示元件进行了说明，但为无源的矩形显示元件也可以。

(5)第5实施例

第63图是表示本发明的第5实施例的图，该实施例也与上述第1实施例同样，是适用于使用EL显示元件的有源的矩形显示装置的发明。另外，对与上述实施例同样的构成，给予相同的符号。另外，第63图是表示制造工序的途中的剖面图，其前后由于与上述第1实施例为大致相同因而省略其图示和说明。

即，在本实施例中，利用层间绝缘膜740形成凹形的阶梯611，由此，得到与上述第1实施例同样的作用效果。

另外，由于利用层间绝缘膜740形成阶梯611，并因为没有必要特别增加新的工序，也就不会带来制造工序的大幅的复杂化。

(6)第6实施例

第64图是表示本发明的第6实施例的图，该实施例也与上述第1实施例同样，是适用于使用EL显示元件的有源的矩形显示装置的发明。另外，对与上述实施例同样的构成，给予相同的符号。另外，第64图是表示制造工序的途中的剖面图，其前后由于是与上述第1实施例大致相同因而省略其图示和说明。

即，在本实施例中，不是利用阶梯提高形成图形精度的，而是通过使涂敷液状的光学材料的规定位置的亲水性比其周围的亲水性相对地还要强，因而涂敷的液状的光学材料不向其周围扩散的发明。

具体地，如第64图所示，在形成层间绝缘膜740以后，在其上面形成非晶质硅层653。非晶质硅层653由于比形成像素电极642的ITO还相对地防水性要强，因而在这里，形成像素电极642表面的亲水性比其周围的亲水性相对地还强的防水性、亲水性的分布。

并且，与上述第1实施例相同，向像素电极642的上面，由喷射方式通过有选择地涂敷液状的光学材料，而形成发光元件641，最后形成反射电极。

这样，即使是本实施例，在形成希望的防水性、亲水性的分布以后由于涂敷液状的光学材料，能够提高图形形成的精度。

另外，本实施例的情形也能够适用于无源的矩形显示元件是当然的。

另外，使在剥离用基板621上通过剥离层651形成的构造，包含在显示基板621上描写的工序也可以。

进而，在本实施例中，通过非晶质硅层653形成希望的防水性、亲水性的分布，但防水性、亲水性的分布通过金属、及阳极氧化膜、聚酰亚胺树脂或者氧化硅等绝缘膜及其他材料形成也可以。另外，如果是无源矩形显示元件，由第1信息传输通路配线，如是有源矩形显示元件，由扫描线631、信号线632、像素电极642、绝缘膜740或者遮光层形成也可以。

另外，在本实施例中，以液状的光学材料是水溶液为前提进行了说明，但是使用了其他液体的溶液的液状的光学材料也可以，此时对于该溶液，能够得到防液性、亲液性就可以。

(7)第7实施例

本发明的第7实施例，其剖面构造由于是与上述第5实施例使用的第63图相同，这里用它进行说明。

即，在本实施例中，由SiO₂形成层间绝缘膜740的同时，在其表面照射紫外线，其后，露出像素电极642表面，并且有选择地涂敷液状的光学材料。

如果是这样的制造工序，不仅形成阶梯611，也沿着层间绝缘膜740表面形成强防液性的分布，因而，涂敷的液状的光学材料，通过阶梯611和层间绝缘膜740的防液性的两方面的作用容易滞留在规定位置。总之，由于可以发挥上述第5实施例和上述第6实施例两方面的作用，进而能够提高发光元件641的形成图形的精度。

另外，照射紫外线的延时，在露出像素电极642的表面之前或之后都可以，对应于形成层间绝缘膜740的材料及形成像素电极642的材料等适当地选定即可。同时，在露出像素电极642的表面，照射紫外线时，由于阶梯611的内壁面防液性不变强，对于在由阶梯611包围的区域滞留液状的光学材料是有利的。与此相反，露出像素电极642的表面后，在照射紫外线的时候，为了使阶梯611的内壁面的防液性不强，有必要垂直地照射紫外线，但由于在露出像素电极642的表面时的蚀刻工序后照射紫外线，因而有通过该蚀刻工序不用担心防液性变弱的优点。

另外，作为形成层间绝缘膜740的材料，例如也能够使用光保护膜，或者使用聚酰亚胺树脂也可以，如果是这些就有通过旋转镀膜能够形成膜的优点。

并且，通过形成层间绝缘膜740的材料，不是照射紫外线，例如通过照射O₂、CF₃、Ar等的等离子体使防液性变强也可以。

(8)第8实施例

第65图是表示本发明的第8实施例的图，该实施例也与上述第1实施例同样，是适用于使用EL显示元件的有源的矩形显示装置的发明。另外，对与上述实施例同样的构成，给予相同的符号。另外，第65图是表示制造工序的途中的剖面图，其前后由于是与上述第1实施例为大致相同因而省略其图示和说明。

即，在本实施例中，不是利用阶梯或防液性、亲液性的分布等，提高形成图形的精度，而是利用由电位带来的引力或排斥力来达到提高形成图形的精度。

总之，如第65图所示，在驱动信号线632及共同送电线633的同时，通过适当开、关图中未示的晶体管，形成像素电极642为负电位、层间绝缘膜740为正电位的电位分布。并且，通过喷墨方式，在规定位置有选择地涂敷带正电的液状的光学材料612。

这样，如是本实施例，在显示基板621上形成希望的电位分布，利用该电位分布和带正电的液状的光学材料612之间的引力或排斥力，有选择地涂敷液状的光学材料以后，能够提高形成图形的精度。

特别是在本实施例中，由于使液状的光学材料612带电，通过不仅自发分极也利用带电电荷，提高形成图形的精度的效果，使其更加提高。

在本实施例中，表述了适用于有源矩形显示元件的情形，但即使是无源矩形显示元件也可以适用。

另外，使在剥离用基板621上通过剥离层651形成的构造，包含在显示基板621上描写的工序也可以。

另外，在本实施例中，希望的电位分布，在扫描线631上依次施加电压，同时在信号线632和共同线633上施加电压，在像素电极642上通过开关薄膜晶体管643和电流薄膜晶体管644，由施加电压而形成。通过由扫描线631、信号线632、共同线633和像素电极642形成电位分布，能够抑止工序的增加。另外，如果是无源矩形显示元件，其电位分布能够通过第1信息传输通路配线和遮光层形成。

进而，在本实施例中，对像素电极642和其周围的层间绝缘膜740两方面给予电位，但不限定于这种方法，例如，如第66图所示，对像素电极642不给予电位，而仅对层间绝缘膜740给予正电位，并且，使液状的光学材料612带正电以后进行涂敷也可以。如果这样，在涂敷以后，由于液状的光学材料612也能够保持可靠的带正电的状态，通过与周围的层间绝缘膜740之间的排斥力，能够更可靠地防止液状的光学材料612向周围流出。

同样，本实施例的头机构能够适用于电子放射装置的制造方法、PDP装置的制造方法和电泳显示装置的制造方法等。

在电子放射装置的制造方法中，对多个液滴排出头上导入R、G、B各种各色的荧光材料，通过头机构使多个液滴排出头有选择地喷出主扫描和副扫描的荧光材料，在电极上形成多个荧光体。另外，电子放射装置是含有FED(电场放射显示器)的上位的概念。

在PDP装置的制造方法中，在多个液滴排出头上导入R、G、B各种各色的荧光材料，通过头机构使多个液滴排出头有选择地喷出主扫描和副扫描的荧光材料，在背面基板上的多个凹部分别形成荧光体。

在电泳显示装置的制造方法中，在多个液滴排出头上导入各种颜色的泳动体材料，通过头机构使多个液滴排出头有选择地喷出主扫描和副扫描的墨液材料，在电极的多个凹部分别形成泳动体。另外，由带电粒子和染料构成的泳动体被封入到微小的囊中是理想的。

另外，本实施例的头机构在衬垫形成方法，金属配线形成方法、透镜形成方法、保护膜形成方法和光扩散体形成方法等也可以使用。

衬垫形成方法，是在两个基板间形成为构成微小的晶粒间隙的多个粒子状的衬垫的方法，在多个液滴排出头导入构成衬垫的粒子材料，通过头机构使多个液滴排出头有选择地喷出主扫描和副扫描的粒子材料，至少在一方的基板上形成衬垫。例如，是在构成上述的液晶显示装置及电泳显示装置的两个基板间的晶粒间隙的时候是有用的，当然能够适用于其他以这种微小的间隙为必要的半导体制造技术。

在金属配线形成方法中，在多个液滴排出头导入液状金属材料，通过头机构使多个液滴排出头有选择地喷出主扫描和副扫描的液状金属材料，在基板上形成金属配线。例如，能够适用于连接在上述的液晶显示装置中的驱动器和各电极的金属配线，及连接在上述的有机EL装置中的TFT等和各电极的金属配线。另外，在这种扁平显示器以外，能够适用于一般的半导体制造技术是当然的。

在透镜形成方法中，在多个液滴排出头导入透镜材料，通过头机构使多个液滴排出头有选择地喷出主扫描和副扫描的透镜材料，在透明基板上形成多个微透镜。例如，作为上述的在FED装置的光束聚束用的仪器是可以适用的。另外，可以适用于各种光学仪器是当然的。

在保护膜形成方法中，在多个液滴排出头中导入保护膜材料，通过头机构使多个液滴排出头有选择地喷出主扫描和副扫描的保护膜材料，在基板上形成任意形状的光保护膜。例如，在上述的各种显示装置的隔排的形成，当然，在为半导体制造技术的主体的光石印法中，在光保护膜的涂敷中可以广泛适用。

在光扩散体形成方法中，使用通过头机构的组装装置组装的头机构，是在基板上形成多个光扩散体的光扩散体形成方法，在多个液滴排出头上导入光扩散材料，通过头机构使多个液滴排出头有选择地喷出主扫描和副扫描的光扩散材料，而形成多个光扩散体。这种情形也是可以适用于各种光学仪器则是当然的。

如上所述，根据本发明的液滴排出头、其擦拭方法和具有其的电子机器，喷嘴形成板的长边方向的两端，由于由树脂作铸型，在作液滴排出头的擦拭时，能够有效地防止对擦拭部件的挂扯及堵塞。另外，能够高效地擦拭液滴排出头。从而，能够提高装置的可靠性。

另外，根据本发明的液晶显示装置的制造方法，有机EL装置的制造方法、电子放射装置的制造方法、PDP装置的制造方法和电泳显示装置的制造方法，由于能够稳定地供给在各装置中的滤清材料及发光材料等，从而能够提高制造效率。

另外，根据本发明的滤清器的制造方法，有机EL的制造方法、衬垫形成方法、金属配线形成方法、透镜形成方法、保护膜形成方法和光扩散体形成方法，由于能够稳定地供给在各电子仪器及各光学仪器中的滤清材料及发光材料等，从而能够提高制造效率。

Claims (32)

1.一种液滴排出头，具有液体导入部、连接所述液体导入部的泵部和重叠设置在所述泵部并且形成喷嘴口的喷嘴形成板，其特征在于，所述喷嘴形成板从液滴排出侧看形成为略方形，在沿着所述喷嘴形成板的至少长边方向的侧面部的至少一方，铸型树脂。

2.按照权利要求1所述的液滴排出头，其特征在于，沿着其长边方向的侧面部的端部比所述泵部更靠内侧形成所述喷嘴形成板，所述树脂，在沿着所述泵部的长边方向的周缘部和沿着所述喷嘴形成板的长边方向的侧面部之间，于形成的阶梯部被铸型。

3.按照权利要求1或2所述的液滴排出头，其特征在于，所述树脂，从所述喷嘴形成板的表面稍微突出地被铸型。

4.按照权利要求1、2或3所述的液滴排出头，其特征在于，所述喷嘴形成板是在液滴排出以后由擦拭具作擦拭处理的构件，在沿着所述喷嘴形成板的长边方向的侧面部中的最初与所述擦拭具接触侧的侧面部，铸型所述树脂。

5.按照权利要求1至4中任意一项所述的液滴排出头，其特征在于，在沿着所述喷嘴形成板的长边方向的两侧面部铸型所述树脂。

6.一种液滴排出头，具有液体导入部、连接所述液体导入部的泵部和重叠设置在所述泵部并且形成喷嘴口的喷嘴形成板，其特征在于，所述喷嘴形成板从液滴排出侧看形成为略方形，沿着所述喷嘴形成板的至少长边方向的侧面部的至少一方，作倒角。

7.按照权利要求6所述的液滴排出头，其特征在于，所述喷嘴形成板是在液滴排出以后由擦拭具作擦拭处理的构件，在沿着所述喷嘴形成板的长边方向的周缘部中的最初与所述擦拭具接触侧的周缘部，作倒角。

8.按照权利要求6或7所述的液滴排出头，其特征在于，沿着所述喷嘴形成板的长边方向的两周缘被作倒角。

9.按照权利要求1至8中任意一项所述的液滴排出头，其特征在于，所述喷嘴形成板由包含构成所述泵部的压力室的内腔而构成。

10.一种液滴排出头的擦拭方法，是擦拭在权利要求1至9中任意一项所述的液滴排出头，其特征在于，在所述喷嘴形成板的表面接触擦拭片，使所述擦拭片，在所述液滴排出头对于液滴排出对象物相对地扫描的方向作相对地移动，而擦拭所述喷嘴形成板的表面。

11.一种电子机器，其特征在于，具有权利要求1至9中任意一项所述的液滴排出头，和擦拭所述液滴排出头的所述喷嘴形成板的表面的刮刷装置。

12.按照权利要求11所述的电子机器，其特征在于，所述刮刷装置具有，接触所述喷嘴形成板的表面擦拭其的擦拭片、卷装所述擦拭片的擦拭滚轮和使所述液滴排出头和所述擦拭滚轮在擦拭方向相对地移动的移动装置。

13.按照权利要求12所述的电子机器，其特征在于，由所述移动装置带来的所述液滴排出头的相对的移动方向，是所述液滴排出头对于液滴排出对象物相对地扫描的方向。

14.按照权利要求12或13所述的电子机器，其特征在于，所述擦拭滚轮由柔软材料构成。

15.按照权利要求12、13或14所述的电子机器，其特征在于，所述擦拭滚轮对于所述擦拭方向的相对移动，向反方向旋转。

16.一种液晶显示装置的制造方法，使用多个权利要求1至9中任意一项所述的液滴排出头、在滤色器的基板上形成多个滤清单元，其特征在于，在所述多个液滴排出头导入各种颜色的滤清材料，使所述多个液滴排出头相对于所述基板进行扫描，有选择地排出所述滤清材料而形成多个所述滤清单元。

17.一种有机EL装置的制造方法，使用多个权利要求1至9中任意一项所述的液滴排出头、在基板上的多个像素单元分别形成EL发光层，其特征在于，在所述多个液滴排出头导入各种颜色的发光材料，使所述多个液滴排出头相对于所述基板进行扫描，有选择地排出所述发光材料而形成多个所述EL发光层。

18.一种电子放射装置的制造方法，使用多个权利要求1至9中任意一项所述的液滴排出头、在电极上形成多个荧光体，其特征在于，在所述多个液滴排出头导入各种颜色的荧光材料，使所述多个液滴排出头相对于所述电极进行扫描，有选择地排出所述荧光材料而形成多个所述荧光体。

19.一种PDP装置的制造方法，使用多个权利要求1至9中任意一项所述的液滴排出头、在背面基板上的多个凹部分别形成荧光体，其特征在于，在所述多个液滴排出头导入各种颜色的荧光材料，使所述多个液滴排出头相对于所述背面基板进行扫描，有选择地排出所述荧光材料而形成多个所述荧光体。

20.一种电泳显示装置的制造方法，使用多个权利要求1至9中任意一项所述的液滴排出头、在电极上的多个凹部形成泳动体，其特征在于，在所述多个液滴排出头导入各种颜色的泳动体材料，使所述多个液滴排出头相对于所述电极进行扫描，有选择地排出所述泳动体材料而形成多个所述泳动体。

21.一种滤色器的制造方法，使用多个权利要求1至9中任意一项所述的液滴排出头、在基板上制造配列为多个滤清单元的滤色器，其特征在于，在所述多个液滴排出头导入各种颜色的滤清材料，使所述多个液滴排出头相对于所述基板进行扫描，有选择地排出所述滤清材料而形成多个所述滤清单元。

22.按照权利要求21所述的滤色器的制造方法，其特征在于，所述多个滤清单元被收放在通过设在所述基板上的凸状的隔板形成的凹部处，在形成所述滤清单元之前，在所述多个液滴排出头导入隔板材料，使所述多个液滴排出头相对于所述基板进行扫描，有选择地排出所述隔板材料而形成所述隔板。

23.按照权利要求22所述的滤色器的制造方法，其特征在于，形成覆盖所述多个滤清单元和所述隔板的覆盖镀层膜，在形成所述滤清单元以后，在所述多个液滴排出头导入透光的镀敷材料，使所述多个液滴排出头相对于所述基板进行扫描，有选择地排出所述镀敷材料而形成所述覆盖镀层膜。

24.一种有机EL的制造方法，所述有机EL是使用多个权利要求1至9中任意一项所述的液滴排出头，使含有EL发光层的多数的多个像素单元在基板上配列而成，其特征在于，在所述多个液滴排出头导入各种颜色的发光材料，使所述多个液滴排出头相对于所述基板进行扫描，有选择地排出所述发光材料而形成多个所述EL发光层。

25.按照权利要求24所述的有机EL的制造方法，其特征在于，所述多个EL发光层收放在由设在所述基板上的凸状的隔板形成的凹部处，在形成所述EL发光层之前，在所述多个液滴排出头导入隔板材料，使所述多个液滴排出头相对于所述基板进行扫描，有选择地排出所述隔板材料而形成所述隔板。

26.按照权利要求25所述的有机EL的制造方法，其特征在于，在所述多个EL发光层和所述基板之间，对应于所述EL发光层形成多个像素电极，在形成所述隔板之前，在所述多个液滴排出头导入液状电极材料，使所述多个液滴排出头相对于所述基板进行扫描，有选择地排出所述液状电极材料而形成多个所述像素电极。

27.按照权利要求26所述的有机EL的制造方法，其特征在于，覆盖所述多个EL发光层和所述隔板而形成相对向的电极，在形成所述EL发光层以后，在所述多个液滴排出头导入液状电极材料，使所述多个液滴排出头相对于所述基板进行扫描，有选择地排出所述液状电极材料而形成所述相对向的电极。

28.一种衬垫形成方法，使用多个权利要求1至9中任意一项所述的液滴排出头、在2个基板之间形成为了构成微小的晶粒间隙的多个粒子状的衬垫，其特征在于，在所述多个液滴排出头导入构成衬垫的粒子材料，使所述多个液滴排出头至少对于一侧的所述基板相对地进行扫描，有选择地排出所述粒子材料而在所述基板上形成所述衬垫。

29.一种金属配线的形成方法，使用多个权利要求1至9中任意一项所述的液滴排出头、在基板上形成金属配线，其特征在于，在所述多个液滴排出头导入液状金属材料，使所述多个液滴排出头相对于所述基板进行扫描，有选择地排出所述液状金属材料而形成所述金属配线。

30.一种透镜形成方法，使用多个权利要求1至9中任意一项所述的液滴排出头、在基板上形成多个微透镜，其特征在于，在所述多个液滴排出头导入透镜材料，使所述多个液滴排出头相对于所述基板进行扫描，有选择地排出所述透镜材料而形成多个所述微透镜。

31.一种保护膜形成方法，使用多个权利要求1至9中任意一项所述的液滴排出头、在基板上形成任意形状的保护膜，其特征在于，在所述多个液滴排出头导入保护膜材料，使所述多个液滴排出头相对于所述基板进行扫描，有选择地排出所述保护膜材料而形成所述保护膜。

32.一种光扩散体形成方法，使用多个权利要求1至9中任意一项所述的液滴排出头、在基板上形成多个光扩散体，其特征在于，在所述多个液滴排出头导入光扩散体材料，使所述多个液滴排出头相对于所述基板进行扫描，有选择地排出所述光扩散材料而形成多个所述光扩散体。

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