CN100377881C - 擦拭装置和液滴喷出装置、电光装置及其制法、电子仪器 - Google Patents

擦拭装置和液滴喷出装置、电光装置及其制法、电子仪器 Download PDF

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Abstract

在液滴喷出装置(3)的擦拭部件(100)中配置带电电极(203)、吸附电极(204)和除电刷(207)。从洗净液喷雾头(161)喷雾的洗净液通过带电电极(203)带电，带电的洗净液向吸附电极(204)吸引，涂敷在吸附电极(204)的正前方的擦拭薄板(101)上，可以防止洗净液向周围飞散。由此，在擦拭液滴喷出装置的液滴喷头的擦拭装置中，防止喷雾到擦拭薄板上的洗净液向周围的飞散。

Description

擦拭装置和液滴喷出装置、电光装置及其制法、电子仪器
技术领域
本发明涉及使用以喷墨头为代表的液滴喷头的液滴喷出装置(描绘装置)中的液滴喷头的擦拭装置和具有该擦拭装置的液滴喷出装置、电光装置、电光装置的制造方法和电子仪器。
背景技术
知道以往的擦拭装置，具有搭载相对地把擦拭薄板按压到液滴喷头的喷嘴面上的按压构件的擦取装置、经由按压构件输送擦拭薄板的薄板输送装置，在把擦拭薄板按压喷嘴面的状态下，在输送擦拭薄板的同时，把擦取装置与薄板输送装置一体地向平行于喷嘴面的所定擦拭方向移动，用擦拭薄板擦拭喷嘴面(例如参照专利文献1)。
[专利文献1]特开2001-1711135号公报(第4页，图2)
可是，这样做时，由洗净液喷雾喷嘴喷雾的洗净液的一部分不涂敷到擦拭薄板上，飞散到周围，所以涂敷到液滴喷头、薄板输送装置等擦拭薄板以外的周围装置上，白白浪费洗净液，并且由于作为洗净液而使用的溶剂的性质，对装置造成不良影响。
发明内容
因此，本发明的课题在于：提供能使从洗净液喷雾部件喷出的洗净液准确地涂敷到擦拭薄板的涂敷区的擦拭装置和液滴喷出装置、电光装置、电光装置的制造方法和电子仪器。
本发明的擦拭装置包括：擦拭液滴喷头的喷嘴面的擦拭薄板；在所述擦拭前，对所述擦拭薄板表面的涂敷区把洗净液喷雾，进行涂敷的洗净液喷雾部件；其特征在于：包括：配置在所述擦拭薄板的表面一侧，使从洗净液喷雾部件喷雾的洗净液带电的带电电极；配置在所述擦拭薄板的背面一侧，施加与所述带电电极电性相反的电压的吸附电极。
根据该构成，由带电电极带电的洗净液向配置在擦拭薄板的背面一侧的吸附电极飞翔，吸引到与吸附电极对应的擦拭薄板上的涂敷区。
还有，当对擦拭薄板的涂敷区要求所定的形状时，可以与该形状对应，作为吸附电极的平面形状。
此外，可以是带电电极和洗净液喷雾部件变为一体的构成。带电电极和吸附电极的电压按照必要的洗净液的吸引力变化。
这时，还具有：为了所述液滴喷头的喷嘴面不带电，除去涂敷了洗净液的所述擦拭薄板的静电的除电部件。
根据该构成，当涂敷在擦拭薄板上的洗净液无法由吸附电极中和时，可以通过除电部件完全地把擦拭薄板上的洗净液除电。因此，在擦拭液滴喷头的喷嘴面时，可以防止由于浸泡带电的擦拭薄板的洗净液导致液滴喷头上设置的电路的静电破坏等问题。
这时，吸附电极形成为比所述擦拭薄板的薄板宽度还稍微窄的宽度。
根据该构成，可以防止带电的洗净液的一部分通过擦拭薄板的薄板宽度更外侧绕到擦拭薄板的背面区域，直接吸附到吸附电极上。
这时，吸附电极分割为能个别作用电压的多个局部电极。
根据该构成，如果任意选择局部电极中的任意一个或多个局部电极，带电的洗净液就涂敷到与选择的电极形状对应的擦拭薄板上的区域，所以可以与擦拭对象的形状对应选择涂敷区的形状和大小。例如液滴喷头的排列方法不同的多个液滴喷头部件变为可更换，要取得与各液滴喷头部件的喷嘴位置对应的洗净液涂敷区时，只要选择预先配置的多个电极中的任意一个，就能容易地使洗净液的涂敷区与各喷嘴的位置对应。此外，当选择多个排列的液滴喷头的任意一个，要擦拭时，如果与各液滴喷头对应排列局部电极，就能有选择地对与需要擦拭的液滴喷头对应的擦拭薄板区涂敷洗净液。这时，对于擦拭中不使用的擦拭薄板区不喷出、涂敷洗净液，所以洗净液的使用量(喷雾量)减少，并且能进一步减少飞散的洗净液量。
这时，带电电极优选具有包围喷雾的洗净液的大致环状的形状。
根据该构成，通过配置为从洗净液喷雾喷嘴喷出的洗净液通过具有大致环状的形状的带电电极内部，从而能均匀并且高效地使洗净液带电。
本发明的液滴喷出装置，其特征在于，包括：所述的擦拭装置；对工件喷出功能液滴的所述液滴喷头；使工件对于所述液滴喷头在X轴方向和Y轴方向相对移动的XY移动机构。
根据该构成，通过擦拭装置，能把液滴头的喷嘴面管理为不污染的状态，所以能维持稳定的功能液喷出和高精度描绘。此外，可以防止洗净液引起的周围装置的污染。
本发明的电光装置，其特征在于：使用所述的液滴喷出装置，从所述液滴喷头对工件上喷出功能液滴，形成了成膜部。
同样，本发明的电光装置的制造方法的特征在于：使用所述的液滴喷出装置，从所述液滴喷头对工件上喷出功能液滴，形成成膜部。
根据这些构成，通过擦拭装置，能把液滴头的喷嘴面管理为不污染的状态，所以能制造可靠性高的电光装置。还有，作为电光装置，考虑到液晶显示装置、有机EL(Electro-Luminescence)装置、电子发射装置、PDP(Plasma Display Panel)装置和电泳显示装置。还有，电子发射装置是包含所谓的FED(Field Emission Display)和SED(Surface-ConductionElectron-Emitter Display)装置的概念。作为电光装置，考虑到金属配线的形成、透镜的形成、抗蚀剂的形成、光扩散体的形成的装置。此外，考虑到液晶显示装置的透明电极(ITO)的形成装置。
本发明的电子仪器，其特征在于：搭载所述电光装置或由所述电光装置的制造方法制造的电光装置。
这时，作为电子仪器，搭载所谓的平板显示器的移动电话、个人计算机、以及各种电制品相当于它。
如上所述，根据本发明，调整对擦拭液滴喷头的喷嘴面的擦拭薄板的洗净液涂敷量，通过具有同一洗净液涂敷量的擦拭薄板的各部擦拭液滴喷头，所以能进行有效并且最佳的液滴喷头的擦拭。
根据本发明的电光装置、它的制造方法和电子仪器，使用清静管理的液滴喷头的液滴喷出装置制造，所以能提供可靠性高的高质量电光装置和电子仪器。
附图说明
下面简要说明附图。
图1是实施例的描绘装置的平面模式图。
图2是实施例的描绘装置的平面模式图。
图3是说明实施例的头部件构成的图。
图4是功能液滴喷头的外观立体图。
图5是实施例的擦拭部件的外观立体图。
图6是实施例的擦拭部件的外观主视图。
图7是实施例的擦拭部件的外观俯视图。
图8是说明实施例的擦拭部件的内部构成的图。
图9是实施例的框架部件的外观立体图。
图10是实施例的扫描台的外观主视图。
图11是实施例的擦拭部件的外观主视图。
图12是实施例的擦拭部件的外观俯视图。
图13是实施例的擦拭部件的右侧视图。
图14是说明实施例的静电涂敷的构成的模式图，表示静电涂敷部件的构成(a)和从洗净液喷雾头一侧到来的静电涂敷部件的构成(b)。
图15是说明实施例2的模式图。
图16是说明滤色器制造工序的程序流程图。
图17(a)～(e)是按制造工序顺序表示的滤色器的模式截面图。
图18是表示使用应用本发明的滤色器的液晶装置的概略构成的要部截面图。
图19是表示使用应用本发明的滤色器的第2例液晶装置的概略构成的要部截面图。
图20是表示使用应用本发明的滤色器的第3例液晶装置的概略构成的要部截面图。
图21是作为有机EL装置的显示装置的要部截面图。
图22是说明有机EL装置即显示装置的制造工序的程序流程图。
图23是说明无机物围堰的形成的工序图。
图24是说明有机物围堰的形成的工序图。
图25说明形成空穴注入/输送层的过程的工序图。
图26是说明形成空穴注入/输送层的状态的工序图。
图27是说明蓝色发光层的过程的工序图。
图28是说明形成蓝色发光层的状态的工序图。
图29是说明形成各色发光层的状态的工序图。
图30是说明阴极的形成的工序图。
图3 1是等离子体显示装置(PDP装置)即显示装置的要部分解立体图。
图32是电子发射装置(FED装置)即显示装置的要部截面图。
图33是显示装置的电子发射部周围的平面图(a)和表示形成方法的平面图(b)。
图中：1-描绘装置；3-液滴喷出装置；20-头部件；21-液滴喷头；32-喷嘴；33-喷嘴面；34-喷嘴列；100-擦拭部件；101-擦拭薄板；102-薄板输送机构；103-擦取部；104-洗净液喷雾部件；105-部件框架；152-按压辊；161-洗净液喷雾头；200-静电涂敷部件；203-带电电极；204-吸附电极；207-除电刷；W-工件。
具体实施方式
如图1和图2所示，描绘装置1具有机台2；具有功能液滴喷头21，宽广地放置在机台2的整个区域中的液滴喷出装置3；连接在液滴喷出装置3上的功能液供给装置4；安放在机台2上，从而设置在液滴喷出装置3中的头维护装置5。此外，在描绘装置1中，根据基于设置在图外的控制装置的控制，液滴喷出装置3一边通过功能液供给装置4接受功能液的供给，液滴喷出装置3一边进行对工件W的描绘动作，并且头维护装置5对功能液滴喷头21适当进行维护动作(维护)。
液滴喷出装置3具有：由使工件W主扫描(在X轴方向移动)的X轴台10和与X轴台10正交的Y轴台11构成的移动机构12；可自由移动地安装在Y轴台11上的主滑架13；垂直设置在主滑架13上，搭载功能液滴喷头的头部件(单元)20。
X轴台10具有构成X轴方向的驱动系统的电机驱动的X轴滑块14，在其上可自由移动地搭载吸附台15和θ台16构成的设置台17。同样，Y轴台11具有构成Y轴方向的驱动系统的电机驱动的Y轴滑块19，在其上可自由移动地搭载支撑头部件20的所述主滑架13。还有，X轴台10与X轴方向平行配置，直接支撑在机台2上。而Y轴台11由直立设置在机台2上的左右支柱18支撑，跨X轴台10和头维护装置5而在Y轴方向延伸。
头部件20具有：多个(12个)液滴喷头21、搭载多个液滴喷头21的头板22。头板22可自由插拔地支撑在支撑框架23上，头部件20在通过支撑框架23定位在主滑架13上的状态下搭载。还有，后面详细叙述，但是在支撑框架23上，与头部件20并列，支撑着功能液供给装置4的容器部件51(参照图3)。
如图4所示，液滴喷头21具有双联的喷嘴列34，包括：具有双联的连接针25的功能液导入部26；与功能液导入部26连接，与各喷嘴列34对应的双联的头衬底27；与功能液导入部26的下方连接，内部由功能液充满的形成头内流道的头主体28。连接针25连接在图外的功能液供给装置上，对液滴喷头21的头内流道供给功能液。
头主体28由腔体(压电元件)30、具有多个(180个)喷嘴开口的喷嘴面33的喷嘴板31构成，如果驱动液滴喷头21喷出，则通过腔体30的泵作用，从喷嘴32喷出功能液滴。
如图3所示，头板22由不锈钢构成的方形厚板形成。在头板22上，12个功能液滴喷头21定位，形成从背面一侧通过头保持构件固定它的12个安装开口(省略图示)。12个安装开口按两个一组分为6组，在与液滴喷头21的喷嘴列正交的方向(头板22的长度方向)位置错开形成各组的安装开口，从而一部分重复。即12个液滴喷头21按两个一组分为6组，在与喷嘴列正交的方向，各组液滴喷头21的喷嘴列一部分重复地配置为阶梯状。
主滑架13由以下部分构成：从下侧固定在Y轴台11上的外观“I”形的吊设构件40；安装在吊设构件40的下面，用于进行对(头部件20的)θ方向的位置修正的θ旋转机构41；吊设安装在θ旋转机构41的下方的滑架主体42。滑架主体42通过支撑框架23支撑头部件20(参照图2)。此外，虽然省略图示，但是在滑架主体42上形成用于游动嵌入支撑框架23的方形开口，并且设置用于对支撑框架23定位的定位机构，能在把头部件20定位的状态下固定。
功能液供给装置4与头部件20一起搭载在所述支撑框架23上，并具有：由存储功能液的多个(12个)功能液容器50构成的容器部件51；通过由压力调整阀55构成的阀部件54连接各功能液容器50和各液滴喷头21的多个(12个)功能液供给管52；用于把各功能液供给管52连接在各功能液容器50和各液滴喷头21上的多个(12个)连接部53。
这里，简单说明描绘装置1的一系列动作。首先，作为对工件喷出功能液的描绘作业前的准备，进行头部件20的位置修正后，进行设置在吸附台15上的工件W的位置修正。接着，通过X轴台10使工件W在主扫描方向(X轴方向)往返移动，并且驱动多个液滴喷头21，进行对工件W的液滴的有选择的喷出动作。然后使工件W返回后，通过Y轴台11使头部件20在副扫描方向(Y轴方向)移动。还有，在本实施例中，对于头部件20，使工件W在主扫描方向移动，但是也可以是使头部件20在主扫描方向移动的构成。此外，也可以是把工件W固定，使头部件20在主扫描方向(X轴方向)副扫描方向(Y轴方向)移动的构成。
接着说明头维护装置5的各构成。头维护装置5具有：搭载在机台2上，在X轴方向延伸的移动台60；安放在移动台60上的从液滴喷头进行功能液的吸引的吸引部件70；进行液滴喷头的喷嘴面的擦拭的擦拭部件(擦拭装置)100。头部件20在描绘作业的停止时移动到机台2的上方的维护位置，在该状态下通过移动台60，有选择地使吸引部件70和擦拭部件100来到头部件20的正下方，进行液滴喷头21的各种维护。还有，除了所述各部件，还优选在头维护装置5中搭载检查从液滴喷头21喷出的功能液滴的飞行状态的喷出检查部件、测定从液滴喷头21喷出的功能液滴重量的重量测定部件。
如图1和图2所示，吸引部件70具有：帽支架71；支撑在帽支架71上，与液滴喷头21的喷嘴面33密接的(与液滴喷头21的配置对应的12个)帽72；通过各帽72能吸引(12个)液滴喷头21的单一吸引泵(省略图示)；连接各帽72和吸引泵的吸引管(省略图示)。此外，虽然省略图示，但是在帽支架71上组入使各帽72升降的帽升降机构，对于面对维护区80的头部件20的各液滴喷头21，能使对应的帽72接近、离开。
当进行液滴喷头21的吸引时，驱动帽升降机构75，使帽72密接液滴喷头21的喷嘴面33，并且驱动吸引泵73。据此，通过帽72能对液滴喷头21作用吸引力，从液滴喷头21强制排出功能液。该功能液的排出除了用于消除/防止液滴喷头21的堵塞而进行之外，当新设定描绘装置1时，或液滴喷头21的喷头更换时，为了在从功能液容器50到功能液滴喷头21的功能液流道中填充功能液而进行。
还有，帽72具有接受通过液滴喷头21的抛弃喷出(冲洗)而喷出的功能液的冲洗盒的功能，接受在工件W的更换时，在暂时停止对工件W的描绘时进行的定期冲洗的功能液。在抛弃喷出(冲洗动作)中，帽升降机构75把帽72从液滴喷头21的喷嘴面33移动到稍微离开的位置。
此外，吸引部件70在描绘装置1的不工作时，用于保管液滴喷头21。这时，使头部件20面对维护区80，使帽72密接液滴喷头21的喷嘴面33。据此，密封喷嘴面33，可以防止液滴喷头21(喷嘴32)的干燥，可以防止喷嘴32的喷嘴堵塞。
图5～图9所示的擦拭部件100，一边使涂敷有洗净液的擦拭薄板101与由于液滴喷头21的功能液的吸引，被功能液附着污染的液滴喷头21的喷嘴面33密接，一边送出，进行擦拭，除去附着在喷嘴面33上的污染物。还有，以下为了便于说明，使图5的正面方向为擦拭部件100的前方，同样使背面方向为擦拭部件100的后方，左右方向分别为擦拭部件100的左右方向。
擦拭部件100由以下部分构成：进行擦拭薄板101的送出和卷绕的薄板输送机构102；使送出的擦拭薄板101接触液滴喷头21的喷嘴面33，擦拭它的擦取部件103；对擦拭喷嘴面33之前的擦拭薄板101喷雾、涂敷由功能液的溶剂构成的洗净液的洗净液喷雾部件104；使洗净液带电，积极防止向周围装置的飞散的静电涂敷部件200；支撑这些擦拭部件100的主构成构件的部件框架105。此外，在擦拭部件100的外部同时设置对洗净液喷雾部件104供给洗净液的洗净液供给装置(省略图示)、对洗净液喷雾部件104和擦取部件103供给压缩空气的空气供给设备(省略图示)，以使通过控制装置控制它们的动作。
下面说明擦拭部件100的各构成。
部件框架105具有：安放在描绘装置1的移动台60上的底座框架110；直立设置在底座框架110的左右两端部的一对侧框架111。此外，部件框架105具有覆盖薄板输送机构102的周围，防止洗净液的飞散的洗净液飞散防止盖112；覆盖薄板输送机构102和洗净液喷雾部件104的周围的安全盖113。
在作为左右一对配置的侧框架111的侧面上，在每侧具有5个空气排气口120，通过洗净液的喷雾，部件框架105内部的洗净液浮游的空气通过连接在空气排气口120上的排气管排出到擦拭部件100外部的排气处理设备(未图示)。
洗净液飞散防止盖112，是为了防止由洗净液喷雾头161喷雾的洗净液从左右侧框架111之间的开口部飞散，涂敷到擦拭部件100外部的周围装置上而跨两个框架111之间固定的板状框架，具有：覆盖侧框架111之间的后侧开口部的背面一侧盖124；为了覆盖从擦取部103送出的擦拭薄板而在擦拭部件内部倾斜延伸的内部盖121；在内部盖121的下方配置为覆盖后侧的区域，同时具有作为洗净液盘的功能的底部盖122。还有，后面详细叙述，但是在本实施例中，通过静电涂敷部件200防止洗净液的飞散，但是为了更可靠地保护周围装置，同时设置有洗净液飞散防止盖112。
安全盖113防止在擦拭动作时，指定构件以外的构件卷入伴随着机械动作的洗净液喷雾部件104和薄板输送机构102中，具有：覆盖洗净液喷雾部件104全体地配置在侧框架111的上表面前部的箱状的部件安全盖125；覆盖薄板输送机构地配置在侧框架111的前侧面的机构安全盖126。机构安全盖126是大致方形的板状框架，通过在其下边以左右一对配置的合页127，在部件框架105的前面侧下部可自由旋转、支撑，对于侧框架111的前侧开口部成为可自由开关的构造。此外，机构安全盖126通过配置在侧框架111的前面侧上部的左右一对磁稳定部，以使能保持关闭状态。如上所述，具有洗净液飞散防止盖112和安全盖113的部件框架105构成了防止在部件框架105内部喷雾的洗净液飞散到周围装置的箱状外壳。
薄板输送机构102，供给擦拭液滴喷头21的喷嘴面33的擦拭薄板101，从而向擦取部103送出，并且卷绕回收擦取后的擦拭薄板101。
如图8所示，薄板输送机构102从部件框架105内部的前部到后侧上部配置，在该前部具有供给擦拭薄板101的送出卷轴130、配置在比卷轴130更靠下方的卷绕和回收擦拭薄板的卷绕卷轴131，这些轴体在双支撑的状态下，可自由旋转并且可自由插拔地轴支撑在左右一对直立设置的侧框架111上。此外，在送出卷轴130的轴端部设置制动该旋转，以一定扭矩旋转的扭矩限制器132，此外在卷绕卷轴131上连接有通过定时皮带137使它旋转的卷绕电机133。而从部件框架105的前部到后侧上部配置有：检测擦拭薄板101的输送速度的速度检测辊134；防止送出的擦拭薄板101对速度检测辊134和底部盖122的干扰，引导擦拭薄板101的第一引导辊135和第二引导辊136。此外，擦拭薄板101在这些轴体上缠绕，以构成着擦拭薄板101的薄板输送路线。
从送出卷轴130送出的擦拭薄板101经过速度检测辊134送入擦取部103。而且，围绕擦取部103旋转，并且在液滴喷头21的喷嘴面的擦拭中使用的擦拭薄板101，经过配置在速度检测辊134的下方的第一引导辊135和第二引导辊136由卷绕卷轴131被卷绕。
卷绕卷轴131，与卷绕电机133之间配置有定时皮带137，通过驱动卷绕电机133，卷绕卷轴131旋转，进行擦拭薄板101的卷绕。然后卷绕电机133根据设置在后面叙述的速度检测辊134的轴端的速度检测器138的检测结果，控制速度。
在送出卷轴130上插入有卷状的擦拭薄板101，卷绕卷轴131通过卷绕擦拭薄板101，新的擦拭薄板101从送出卷轴13被拉出，进行擦拭薄板101的送出。此外，在送出卷轴130上设置有扭矩限制器132，抵抗基于卷绕电机133的薄板卷取，控制旋转，总在擦拭薄板101上持续作用一定的张力，从而不产生松弛。
此外，卷绕卷轴131和送出卷轴130都把其轴端支撑在侧框架111上，但是在左侧的轴端设置有隔着侧框架111，能自由装卸的卷绕卷轴压板139和送出卷轴压板140。即对送出卷轴130补充新的擦拭薄板101，并且把由卷绕卷轴131卷绕的擦拭薄板101向装置外部回收时，把卷绕卷轴压板139和送出卷轴压板140从轴端取下，从擦拭部件100取下两卷轴139、140，进行。
速度检测辊134是由自由旋转的上下2个辊构成的夹持辊，通过设置在一方的辊上的速度检测器138进行擦拭薄板101的输送速度的检测。此外，在送出卷轴130和速度检测辊134之间的薄板输送路线上配置使用光反射式的光电传感器的薄板检测器141，通过检测与它对峙的擦拭薄板101的有无，检测薄板的末端通过。还有，这些检测结果对控制装置6输出，并在擦拭部件100的动作控制中使用。
擦取部103通过由薄板输送机构102送出的擦拭薄板101擦拭液滴喷头21的喷嘴面33，具有：在左右两侧框架111的侧面上部外侧，在上下方向自由滑动地设置的左右一对轴承框架151；可自由旋转地支撑在轴承框架151上，擦拭薄板101旋转的按压辊152；固定在两侧框架111上，通过两个轴承框架151使按压辊152升降的按压辊升降部150。
按压辊152具有与擦拭薄板101的宽度尺寸对应的轴向长度，并且由在轴部的外周安装橡胶等弹性体的弹性辊构成，以使不会由于擦拭而损伤液滴喷头21的喷嘴面33。
按压辊升降部150由以下部分构成：在左右一对侧框架111的外侧面的上部固定的一对子框架155；向上固定在各子框架155上的左右一对按压辊升降气缸156。按压辊升降气缸156是气动的返回气缸，在其活塞杆157的前端连接有上述轴承框架151。因此，如果同时驱动一对按压辊升降气缸156，则按压辊152旋转，移动的擦拭薄板101上升，与液滴喷头21的喷嘴面33接触。
子框架155具有“L”字状的截面形状，在其底边部的上表面固定着按压辊升降气缸156的框架。此外，在子框架155的内侧侧面设置有与轴承框架151配合，引导其升降动作的左右一对引导部158(参照图5)。
还有，按压辊升降部150具有限制轴承框架151的升降动作范围的上升端限制构件159和下降端限制构件160。上升端限制构件159在轴承框架151的配置位置的上部固定在侧框架111上，上升的轴承框架151每次碰到，从而规定按压辊152的升降动作的范围的上升端位置。这时，围绕按压辊152旋转的擦拭薄板101的向液滴喷头21的接触面设定为上升到比液滴喷头21的喷嘴面稍微高的位置。下降端限制构件160在按压辊升降部150的下部固定在侧框架111上，下降的轴承框架151每次碰到，从而规定按压辊152的下降端位置。
如上所述，支撑按压辊152的轴承框架151对于侧框架111可升降，如果通过擦拭部件100外部的空气供给装置(省略图示)对按压辊升降气缸156供给压缩空气，则按压辊152上升到上升端位置。据此，擦拭薄板101与液滴喷头21的喷嘴面33接触，与擦拭薄板101的输送相结合，进行液滴喷头21的喷嘴面33的擦取。如果喷嘴面33的擦拭结束，则对按压辊升降气缸156的返回一侧供给空气，按压辊152下降到下降端位置，擦拭薄板101从液滴喷头21的喷嘴面33离开。
如图10～图13所示，洗净液喷雾部件104具有：对擦拭薄板101喷雾、涂敷的洗净液喷雾头161；使洗净液喷雾头161在左右方向扫描的扫描台(头扫描机构)162；载持连接在洗净液喷雾头161上的洗净液供给管和气体供给管的线缆支架(注册商标)163；支撑扫描台162和线缆支架163的扫描台支撑框架164。洗净液喷雾部件104挂在所述两侧框架111的前侧上部，配置在擦拭部件100上。
扫描台支撑框架164有安放扫描台162的扫描台主框架165和安放线缆支架163的扫描台副框架166构成，扫描台主框架165和扫描台副框架166相互平行延伸。扫描台主框架165跨两侧框架111支撑，扫描台副框架166设置在扫描台主框架165的前面，从跨两侧框架111向前方突出。
而且，以扫描台主框架165和扫描台副框架166为底板，设置有覆盖洗净液喷雾部件104的所述部件安全盖125。即洗净液喷雾部件104收藏在由上板、前板和两侧板构成的部件安全盖125，成为底板的扫描台支撑框架164，后板167构成的喷雾部箱168内。此外，后面叙述的头托架172对着由部件安全盖125和后板167的间隙构成的狭长开口169。
扫描台162备有：与擦拭薄板101的宽度对应，使洗净液喷雾头161在作用方向往返(扫描)的气动的气缸机构170；与气缸机构170平行设置，引导气缸机构170的滑动(往返)的滑轨171；在顶端一侧支撑洗净液喷雾头161，并且在基端一侧支撑在气缸机构170上的头托架172；设置在头托架172和洗净液喷雾头161之间的头位置调整机构173。
气缸机构170具有带速度控制器的无杆气缸174、通过无杆气缸174而在左右方向(Y轴方向)往返的滑块175。无杆气缸174由在左右方向延伸的气缸管176、在气缸管176上滑动的滑块177构成。在滑块177的上表面固定着由滑轨171引导滑动的滑块175。
在扫描台副框架166上设置成为无杆气缸174的速度控制器的一对流量调整阀178，这一对流量调整阀178中，用于前往的流量调整阀178连接在气缸管176的右端部180，用于返回的流量调整阀178连接在气缸管176的左端部181。此外，连接在一对流量调整阀178上的前往一侧气管和返回一侧气管(都省略图示)个别连接在所述空气供给装置上。这时，一对流量调整阀178(速度控制器)能个别调整滑块177的前往速度和返回速度，根据对擦拭薄板101的洗净液的必要涂敷量，调整洗净液喷雾头161喷出洗净液的前往时的速度。
头托架172由与所述滑块175的右端面接触的隔离块182、隔着隔离块182固定在滑块175的右端面上的托架臂183构成。托架臂183的顶端面通过所述狭长开口168向后方延伸，与位于速度检测辊134和按压辊152之间的薄板输送路线上的擦拭薄板101对峙(参照图8)。
头位置调整机构173由以下部分构成：调整洗净液喷雾头161对擦拭薄板101的喷雾角度的喷雾角度调整机构184；在洗净液喷雾头161对擦拭薄板101的远离位置和薄板输送方向调整喷雾位置的喷雾位置调整机构185。
喷雾角度调整机构184具有：固定在托架臂183的顶端部的短圆形轴186；在基端部与圆形轴186连接，在顶端一侧支撑洗净液喷雾头161的角度调整臂187。角度调整臂187的基端部对于圆形轴的外周面，具有相辅形状的圆形内周面，并且具有与圆形内周面连接的分开狭缝188。而且，与分开狭缝188正交地拧上了紧固螺丝。即通过松开紧固螺丝，对于圆形轴186，角度调整臂187能变更角度，变更后，通过拧紧紧固螺丝，角度调整臂187的基端部夹持圆形轴186，固定。
据此，能调整洗净液喷雾头161对于擦拭薄板101的喷雾角度。
喷雾位置调整机构185具有：直接支撑洗净液喷雾头161的头支撑臂189；连接头支撑臂189和所述角度调整臂187的连接块190。在角度调整臂187上形成在延伸方向延伸的一对长孔193，通过插过该长孔193，与连接块190配合的一对固定螺丝，能把连接块190固定在角度调整臂187的延伸方向的任意位置。即通过松开一对固定螺丝，能通过连接块调整洗净液喷雾头161对于擦拭薄板101的远离位置。
同样，在头支撑臂189的基端侧半部形成在延伸方向延伸的一对长孔194，通过插过该长孔194，与连接块190配合的一对固定螺丝，使之可以把连接块固定在角度调整臂187的延伸方向的任意位置。即通过松开一对固定螺丝，通过头支撑臂189调整洗净液喷雾头161对于擦拭薄板101的在薄板输送方向的位置。在头支撑臂189的顶端一侧支撑洗净液喷雾头161。此外，后面详细叙述，但是在头支撑臂189上，通过绝缘构件205支撑带电电极203。
如上所述，通过喷雾角度调整机构184和喷雾位置调整机构185，对于位于速度检测辊134和按压辊152之间的薄板输送路线上的擦拭薄板101，以所需的位置和角度进行洗净液的喷雾、涂敷。
洗净液喷雾头161具有：喷出洗净液的喷雾喷嘴191；在保持喷雾喷嘴191的同时，固定在头支撑臂189上的喷嘴支架192。在喷雾喷嘴191上组入通过旋钮操作调整洗净液的喷雾量的调整机构。此外，对喷雾喷嘴191使用把洗净液喷雾为椭圆形(长圆形)区域的形式的喷嘴，该喷雾区域的长轴方向沿着擦拭薄板101的薄板输送方向，通过把它在薄板宽度方向扫描，从极接近擦拭薄板101的宽度方向端部的区域均匀地涂敷洗净液。作为喷雾喷嘴191，可以使用喷雾为圆形区域的喷嘴。
还有，在本实施例中，包含喷雾喷嘴191的洗净液喷雾头161固定为垂直于擦拭薄板101，但是可以对于擦拭薄板101倾斜配置洗净液喷雾头161。
可是，在本实施例中，作为洗净液，使用液晶显示装置的液晶材料，或者作为隔离块材料，使用紫外线固化树脂和热固化树脂，作为有机EL装置的发光材料、或空穴输送层材料，使用PEDOT(Poly EthylenedioxyThiophene)等。作为洗净液，与各功能液对应，使用二甲苯或乙醇等。
此外，擦拭薄板101，由洗净液的溶剂引起的溶出影响比较小的聚酯100％或聚丙烯100％的擦拭材料(布材料)构成。
这里，如图14所示，静电涂敷部件200具有：把洗净液的喷雾吸引到擦拭薄板上的带电部201、把擦拭薄板101除电的除电部202。
带电部201具有：配置在薄板表面一侧的带电电极203；与带电电极203型对，配置在擦拭薄板101的背面一侧的吸附电极204；对这些电极供给电压的电源装置206(参照图8和图14)。
带电电极203是具有大致圆环形状的电极，通过绝缘构件205支撑在扫描台162的头支撑臂189上，使带电电极203的环中心轴方向与洗净液喷雾头161的喷雾方向一致，与擦拭薄板101的表面对峙配置着，以使跟踪扫描台162的左右方向(Y轴方向)的扫描。此外，带电电极203一边通过电源装置206供给电荷，一边在洗净液的正在喷雾时保持带电。即从洗净液喷雾头161喷出的洗净液通过位于其喷雾方向的环状的带电电极203内部，以使在总带电的状态下进行喷雾扫描。还有，在本实施例中，带电电极203的形状为大致圆环形状，但是本发明的带电电极203并不局限于该形状，是使洗净液带电的构成，就可以，可以是带电电极203和喷雾喷嘴成为一体的构成。
吸附电极204是配置在比擦拭薄板101的宽度方向两端部稍微靠内侧区域的擦拭薄板背面一侧的薄板状电极，从擦拭薄板101稍微离开，与薄板平行配置，通过电源装置206，外加与带电电极203相反的电压。此外，在比擦拭薄板101的宽度方向更内侧配置吸附电极204，所以防止喷出的洗净液绕过擦拭薄板101，涂敷到吸附电极204或擦拭薄板101的背面。还有，在本实施例中，作为吸附电极204，使用方形的薄板电极，但是并不局限于该形状，按照要求的涂敷区域的形状，可以是任意的形状，关于吸附电极204的位置，如果位于擦拭薄板101的背面一侧，也可以与擦拭薄板101的背面接触。
电源装置206是在擦拭部件100的外部设置的直流稳压电源装置，通过电缆把正一侧输出端子连接到带电电极203上，把负一侧输出端子连接到吸附电极204上。此外，在本实施例中，对两电极203、204之间供给400伏的电压，但是按照必要的洗净液的吸引力，调整该供给电压。
薄板除电部202配置在比擦拭薄板101的比带电电极203更下游一侧，比液滴喷头21更上游一侧的薄板移动路线上，备有：与擦拭薄板101的背面接触，进行除电的除电刷207；把除电刷207接地的导电电缆208；一边支撑它们，一边配置在部件框架105上的薄板除电块209。通过把擦拭薄板101除电，可以防止擦拭薄板101在进行液滴喷头21的擦拭时液滴喷头21中具有的电路的静电破坏。还有，本实施例的薄板除电部202采用使用除电刷207的构成，但也可以是使用离子发生器的构成。
下面，说明基于本实施例的擦拭部件100的洗净液喷雾和液滴喷头21的喷嘴面33的擦拭动作工序。
如果基于液滴喷头21的吸引部件70的功能液的吸引结束，就使移动台60(X轴移动台)工作，使擦拭部件100前往位于维护区80内的头部件20的液滴喷头21的正下方，超过与头部件20对应的位置，使按压辊移动到其后方。
接着，在使擦拭薄板101的薄板输送停止的状态下，开始基于洗净液喷雾部件104的洗净液的喷雾。即一边从洗净液喷雾头161喷出洗净液，一边通过扫描台162使洗净液喷雾头161在擦拭薄板101的宽度方向(Y轴方向)以等速前往进行扫描。在洗净液喷雾头161的前往结束的同时，停止来自洗净液喷雾头161的喷雾。
如果洗净液的涂敷结束，就使按压辊升降气缸156工作，使按压辊152上升到所定的上升端位置，并且驱动卷绕电机133，开始擦拭薄板101的输送，并且与此同步驱动移动台60，使擦拭部件100全体向前(X轴方向)移动。即一边把擦拭薄板101在薄板输送方向(对于液滴喷头21，向后)输送，一边使擦拭部件100向前移动，以使增加擦拭薄板101对于液滴喷头21的喷嘴面33的速度。
接着，在擦拭薄板101的涂敷区到达按压辊152的位置的定时，头部件20的喷嘴面33开始与擦拭薄板101接触，从头部件20(12个液滴喷头21)的最后方的喷嘴面33依次进行在其前方相邻的喷嘴面33的擦取。即对于送出的擦拭薄板101，头部件20的多个喷嘴面33按顺序滑动，通过擦拭薄板101的涂敷区能擦拭全部液滴喷头21的喷嘴面33。优选在按压辊152在相邻的喷嘴面33之间移动时，停止擦拭薄板101的输送，在另一方喷嘴列34到达按压辊152的位置之前，再度开始擦拭薄板101的输送，使之有效利用擦拭薄板101。还有，与功能液和洗净液的种类对应，任意设定擦拭薄板101的输送速度和液滴喷头21的移动速度。此外当擦拭所必要的擦拭区与喷雾喷嘴191的喷雾区相比，在薄板输送方向更长时，一边重复洗净液喷雾头161的前往和返回动作，一边喷雾，从而使之进行向擦拭薄板101的洗净液的喷雾、涂敷。
如果液滴喷头21的喷嘴面33的擦拭结束，就使移动台60和卷绕电机133的驱动停止，在面对液滴喷头21的状态下，停止擦拭薄板101的输送。然后，对按压辊升降气缸156的返回一侧供给压缩空气，使擦取部103下降，使擦拭薄板101从液滴喷头21的喷嘴面33离开。
下面，说明基于本实施例的擦拭部件100的洗净液的喷雾和涂敷和飞散防止效果。
图14是说明本实施例的静电涂敷部件的构成的侧视图(a)和从洗净液喷雾头一侧观察静电涂敷部件的构成(b)。
从洗净液喷雾头161喷出的洗净液通过环状的带电电极203内部，带正电荷。带电的洗净液向着带负电的吸附电极204吸引，但是使之与位于吸附电极204之前的擦拭薄板101撞击后进行涂敷。这时，撞击擦拭薄板101的洗净液的一部分不涂敷到擦拭薄板101上，由擦拭薄板101弹回，飞散到周围。当洗净液飞散到周围时，洗净液自身带电，所以向着吸附电极204继续吸引，涂敷到擦拭薄板101的与吸附电极204对峙的区域中。因此，可以防止洗净液向周围装置飞散。接着涂敷到擦拭薄板101上的洗净液一边保持带电的状态，一边到达薄板除电部202，该薄板除电部202与薄板背面接触，中和。通过送入擦拭薄板101，进行液滴喷头21的喷嘴面33的擦拭。
根据上述的本实施例的擦拭部件100，能在有效防止洗净液向周围装置的飞散的同时，喷出的洗净液可靠地涂敷到擦拭薄板101上，所以能抑制洗净液的浪费。
还有，如图15所示，可以采用由多个分割吸附电极210构成吸附电极204，能任意选择使带电的分割吸附电极210的构成。这时的静电涂敷部件200的带电部201，具有：带电电极203、配置在擦拭薄板101背面的多个分割吸附电极210、有选择地对各分割吸附电极210外加电压的电源装置206。分割吸附电极210分别是具有长方形形状的长方形电极，其长度方向沿着擦拭薄板101的输送方向，与液滴喷头21的位置对应，在薄板宽度方向同时设置多个。电源装置206对各分割吸附电极210供给电压，根据控制装置的控制，可以为各分割吸附电极210个别选择供给电压。因此，液滴喷头21的排列方法不同的多个头部件20变为能够更换，要取得与各头部件20的喷嘴位置对应的洗净液涂敷区时，通过选择预先配置的多个分割吸附电极210中的任意电极，能容易取得与各头部件20的喷嘴位置对应的洗净液的涂敷区。此外，当要有选择地只对污染物附着的液滴喷头21进行擦拭时，通过选择多个分割吸附电极210中的任意电极，能取得只与有必要擦拭的液滴喷头21对应的涂敷区。这时，优选在包含有必要擦拭的喷雾喷嘴191的液滴喷头21的喷嘴面33到达按压辊152的位置之前，使按压辊152上升到上升端，如果有必要擦拭的喷嘴面33的擦拭结束，就使按压辊152下降到下降端。这样，不但可以防止由于对洗净液附加电荷，导致洗净液的飞散，而且只对必要的分割吸附电极210喷出洗净液，所以洗净液的喷雾量自身减少，所以能取得进一步减少飞散量的效果。
下面，作为使用本实施例的液滴喷出装置3制造的电光装置(平板显示器)，以滤色器、液晶显示装置、有机EL装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)、进而形成在这些显示装置上的有源矩阵衬底为例，说明它们的构造及其制造方法。还有，有源矩阵衬底是指形成薄膜晶体管、电连接在薄膜晶体管上的源线、数据线的衬底。
首先，说明组入液晶显示装置或有机EL装置中的滤色器的制造方法。图16是表示滤色器的制造工序的程序流程图，图17是按照制造工序表示的本实施例的滤色器500(滤色器基体500A)的模式截面图。
首先，在黑底的形成工序(S101)中，如图17(a)所示，在衬底(W)501上形成黑底502。黑底502由金属铬、金属铬和氧化铬的层叠体或树脂黑等形成。为了形成由金属薄膜构成的黑底502，可以使用溅射法或蒸镀法。此外，在形成由树脂薄膜构成的黑底502时，可以使用照相凹板印刷法、光刻法、热复制法。
接着，在围堰的形成工序(S102)中，在重叠在黑底502的状态下形成围堰503。即首先如图17(b)所示，覆盖衬底501和黑底502形成由负片型透明感光性树脂构成的抗蚀剂层504。然后，用形成矩阵图案形状的掩模薄膜505覆盖其上表面的状态下，进行曝光处理。
进而，如图17(c)所示，通过对抗蚀剂层504的未曝光部进行蚀刻处理，对抗蚀剂层504图案形成，形成围堰503。还有，当通过树脂黑形成黑底时，能够兼用作黑底和围堰。
围堰503和其下的黑底502成为划分各像素区507a的划分壁部507b，在以后的着色层形成工序中，在通过液滴喷头21形成着色层(成膜部)508R、508G、508B时，规定功能液滴的弹落区域。
经过以上的黑底的形成工序和围堰的形成工序，取得所述滤色器基体500A。
还有，在本实施例中，作为围堰503的材料，使用涂膜表面变为疏液(疏水)性的树脂材料。而且，衬底(玻璃衬底)501的表面是亲液性(亲水)的，所以在后面叙述的着色层的形成工序中，对由围堰503(划分壁部507b)包围的各像素区507a内的液滴弹落位置精度提高。
接着在着色层的形成工序中(S103)中，如图17(d)所示，通过液滴喷头21喷出功能液滴，使其落在由划分壁部507b包围的各像素区507a中。这时，使用液滴喷头21导入R、G、B等3色的功能液(滤色器材料)，进行功能液滴的喷出。还有，作为R、G、B三色的排列图案，有条纹排列、镶嵌排列和三角形排列。
然后，经过干燥处理(加热等处理)，使功能液固定，形成3色的着色层508R、508G、508B。如果形成着色层508R、508G、508B，就转移到保护膜的形成工序(S104)，如图17(e)所示，以覆盖衬底501、划分壁部507b、以及着色层508R、508G、508B的上表面的形态形成保护膜509。
即对衬底501的形成着色层508R、508G、508B的面全体喷出保护膜用涂敷液后，经过干燥处理，形成保护膜509。
然后形成保护膜509后，滤色器500转移到下一工序的成为透明电极的ITO(Indium Tin Oxide)等膜的附加工序。
图18表示作为使用所述滤色器500的液晶显示装置的一例的无源矩阵型液晶装置(液晶装置)的概略构成的要部截面图。在该液晶装置520上安装液晶驱动用IC、背光、支撑体等附带要素，取得作为最终制品的透射型液晶显示装置。还有，滤色器500与图17所示的滤色器相同，所以对于对应的部位付与相同的符号，省略说明。
该液晶装置520大致由滤色器500、由玻璃衬底构成的对置衬底521、夹在它们之间的由STN(Super Twisted Nematic)液晶组合物构成的液晶层522构成，把滤色器500配置在图中上方(观察者一侧)。
还有，虽然未图示，但是在对置衬底521和滤色器500的外表面(与液晶层522一侧相反一侧的面)分别配置有偏振片，此外在位于对置衬底521的偏振片的外侧配置有背光。
在滤色器500的保护膜509(液晶层一侧)上，以所定间隔形成有多个在图18中的左右方向长的长方形的第一电极523，以覆盖该第一电极523的与滤色器500相反一侧的面的形态形成第一定向膜524。
而在对置衬底521的与滤色器500相对向的面上，以所定间隔形成多个在与滤色器500第一电极523正交的方向长的长方形的第二电极526，以覆盖该第二电极526的液晶层522一侧的面的形态形成第二定向膜527。第一电极523和第二电极526是由ITO等透明导电材料形成的。
设置在液晶层522内的隔离块528是用于把液晶层522的厚度(单元间隔)保持一定的构件。此外，密封材料529用于防止液晶层522内的液晶组合物向外部泄漏的构件。还有，第一电极523的一端部作为包围配线延伸到密封材料529的外侧。
而且，第一电极523和第二电极526交叉的部分是像素，滤色器500的着色层508R、508G、508B位于该成为像素的部分。
在通常的制造工序中，进行第一电极523的图案形成和第一定向膜524的涂敷，生成滤色器500一侧的部分，并且在与它不同的对置衬底521上进行第二电极526的图案形成和第二定向膜527的涂敷，生成第二定向膜527一侧的部分。然后，在对置衬底521一侧的部分中生成隔离块528和密封材料529，在该状态下粘贴滤色器500一侧的部分。接着，从密封材料529的主入口注入构成液晶层522的液晶，密封注入口。然后，层叠两个偏振片和背光。
实施例的液滴喷出装置涂敷构成所述单元间隔的隔离材料(功能液)，并且在对于对置衬底521一侧的部分粘贴滤色器500一侧的部分之前，能够对由密封材料529包围的区域均匀涂敷液晶(功能液)。此外，能够用液滴喷头21进行所述密封材料529的印刷。也能够用液滴喷头21进行第一和第二定向膜524、527的涂敷。
图19是表示使用本实施例中制造的滤色器500的液晶装置的第二例的概略构成的要部截面图。
该液晶装置530与所述液晶装置520的巨大不同点在于：在图中下方(与观测者一侧相反的一侧)配置了滤色器500。
该液晶装置530大致构成为在滤色器500和由玻璃衬底等构成的对置衬底531之间夹着由STN液晶构成的液晶层532。还有，虽然未图示，但是在对置衬底531和滤色器500的外表面分别配置有偏振片。
在滤色器500的保护膜509上(液晶层532一侧)，以所定间隔形成多个在图中向里的方向长的长方形的第一电极533，以覆盖该第一电极533的液晶层532一侧的面的形态形成有第一定向膜534。
在对置衬底531的与滤色器500相对向的面上以所定间隔形成多个在与滤色器500一侧的第一电极533正交的方向延伸的多个长方形的第二电极536，以覆盖第二电极536的液晶层532一侧的面的形态形成有第二定向膜537。
在液晶层532中设置有用于把液晶层532的厚度保持一定的隔离块538、用于防止液晶层532内的液晶组合物向外部泄漏的密封材料539。
而且，与所述液晶装置520同样，第一电极533和第二电极536交叉的部分是像素，构成为滤色器500的着色层508R、508G、508B位于成为像素的部位。
图20是表示使用应用本发明的滤色器600构成液晶装置的第三例，是表示透射型的TFT(Thin Film Transistor)型液晶装置的概略构成的分解立体图。
该液晶装置550在图中上方(观察者一侧)配置了滤色器500。
该液晶装置550大致由滤色器500、与它相对向配置的对置衬底551、夹在它们之间的未图示的液晶层、配置在滤色器500的上表面一侧(观察者一侧)的偏振片555、配置在对置衬底551的下表面一侧的偏振片(未图示)而构成。
在滤色器500的保护膜509的表面(对置衬底551一侧的面)形成有液晶驱动用的电极556。该电极556由ITO等透明导电材料构成，成为覆盖形成后面叙述的像素电极560的区域全体的全面电极。此外，在覆盖该电极556的与像素电极560相反一侧的面的状态下，设置有定向膜557。
在对置衬底551的与滤色器500相对向的面上形成有绝缘层558，在绝缘层558上在彼此正交的状态下形成有扫描线561和信号线562。而且，在由这些扫描线561和信号线562包围的区域内形成有像素电极560。还有，在实际的液晶装置中，在像素电极560上设置定向膜，但是省略图示。
此外，在由像素电极560的切口部、扫描线561和信号线562包围的部分组入具有源极、漏极、半导体、栅极的薄膜晶体管563而构成。而且，通过对扫描线561和信号线562外加信号，使薄膜晶体管563导通和断开，可以进行对像素电极560的通电控制。
还有，所述各例的液晶装置520、530、550为透射型的构成，但是可以设置反射层或半透半反层，作为反射型的液晶装置或半透半反型的液晶装置。
接着，图21是有机EL装置的显示区(以下只称作显示装置600)的要部截面图。
该显示装置600在衬底(W)601上层叠电路元件部602、发光元件部603和阴极604的状态而构成。
在该显示装置600中，从发光元件部603向衬底601一侧发出的光透过电路元件部602和衬底601，出射到观测者一侧，并且从发光元件部603向衬底601的相反一侧发出的光由阴极604反射后，透射电路元件部602和衬底601，出射到观测者一侧。
在电路元件部602和衬底601之间形成由氧化硅膜构成的底层保护膜606，在底层保护膜606上(发光元件部603一侧)形成有由多晶硅构成的岛状的半导体膜607。在该半导体膜607的左右的区域中，分别通过高浓度阳离子注入形成了源区607a和漏区607b。然后，未注入阳离子的中央部成为沟道区607c。
此外，在电路元件部602上形成覆盖底层保护膜606和半导体膜607的透明的栅绝缘膜608，在该栅绝缘膜608上的与半导体膜607的沟道区607c对应的位置形成有例如由Al、Mo、Ta、Ti、W构成的栅极609。在该栅极609和栅绝缘膜608上形成有透明的第一层间绝缘膜611a和第二层间绝缘膜611b。此外，贯通第一、第二层间绝缘膜611a、611b，在半导体膜607的源区607a、漏区607b上形成有分别连通的接触孔612a、612b。
然后，在第二层间绝缘膜611b上形成由ITO等构成的透明的像素电极613，图案形成为所定的形状，该像素电极613通过接触孔612a连接在源区607a上。
此外，在第一层间绝缘膜611a上配置有电极614，该电极614通过接触孔612b连接在漏区607b上。
这样在电路元件部602上分别形成有连接在各像素电极613上的驱动用的薄膜晶体管615。
所述发光元件部603大致由层叠在多个像素电极613上的功能层617、设置在各像素电极613和功能层617之间并且划分各功能层617的围堰部618而构成。
由这些像素电极613、功能层617、配置在功能层617上的阴极604构成发光元件。还有，形成像素电极613，图案形成为俯视图中的矩形，在各像素电极613之间形成有围堰部618。
围堰部618由以下部分构成：由SiO、SiO2、TiO2等无机材料形成的无机物围堰(bank)618a(第一围堰)；层叠在该无机物围堰618a上，并且由丙烯酸树脂、聚酰亚胺等耐热性、耐溶剂性优异的抗蚀剂形成的截面梯形的有机物围堰618b(第二围堰)。该围堰部618的一部分在骑到像素电极613的周围部上的状态下形成。
而且，在各围堰部618之间形成对于像素电极613，向上方逐渐扩大的开口部619。
所述功能层617由在开口部619内在层叠状态下形成在像素电极613上的空穴注入/输送层617a、形成在该空穴注入/输送层617a上的发光层617b构成。还有，还可以与该发光层617b相邻形成具有其他功能的功能层。例如也能形成电子输送层。
空穴注入/输送层617a具有从像素电极613一侧输送空穴，向发光层617b注入的功能。通过喷出包含空穴注入/输送层形成材料的第一组合物(功能液)，形成该空穴注入/输送层617a。作为空穴注入/输送层形成材料，使用公知的材料。
发光层617b发出红色(R)、绿色(G)、或蓝色(B)的任意光，通过喷出包含发光层形成材料(发光材料)的第二组合物(功能液)而形成。作为第二组合物的溶剂(非极性溶剂)，优选使用对空穴注入/输送层617a不溶解的公知的材料，通过对发光层617b的第二组合物使用这样的非极性溶剂，不会再溶解空穴注入/输送层617a，可以形成发光层617b。
然后发光层617b构成为，从空穴注入/输送层617a注入的空穴、从阴极604注入的电子在发光层中再结合，发光。
在覆盖发光元件部603的全面的状态下形成阴极604，与像素电极613成对，实现使电流流向功能层617的作用。还有，在该阴极604的上部配置未图示的密封构件。
下面，参照图22～图30说明所述显示装置600的制造工序。
该显示装置600如图22所示，经过围堰部形成工序(S111)、表面处理工序(S112)、空穴注入/输送层的形成工序(S113)、发光层的形成工序(S114)、对置电极的形成工序(S115)而制造。还有，制造工序并不局限于例示的工序，按照必要，有时除去其他工序，有时追加。
首先，在围堰部形成工序(S111)中，如图23所示，在第二层间绝缘膜611b上形成无机物围堰618a。在形成位置形成无机物膜后，通过光刻技术对该无机物膜图案形成，从而形成该无机物围堰618a。这时无机物围堰618a的一部分与像素电极613的周围部重叠形成。
如果形成无机物围堰618a，则如图24所示，在无机物围堰618a上形成有机物围堰618b。该有机物围堰618b也与无机物围堰618a同样，通过光刻技术图案形成，形成。
这样就形成围堰部618。此外，伴随着此，在各围堰部618间形成对于像素电极613，向上方开口的开口部619。该开口部619规定像素区。
在表面处理工序(S112)中，进行亲液化处理和疏液化处理。进行亲液化处理的区域是无机物围堰618a的第一层叠部618aa和像素电极613的电极面613a，通过以氧气为处理气体的等离子体处理把这些区域表面处理为亲液性。该等离子体处理也兼任像素电极613的ITO的洗净。
此外，疏液化处理对有机物围堰618b的壁面618s和有机物围堰618b的上表面618t进行，例如通过以四氟甲烷为处理气体的等离子体处理，把表面氟化(处理为疏液性)。
通过进行该表面处理工序，在使用液滴喷头21形成功能层617时，能使功能液滴更可靠地弹落在像素区中，此外可以防止弹落在像素区中的功能液滴从开口部619溢出。
而且，经过以上的工序，取得显示装置基体600A。把该显示装置基体600A安放在图1所示的液滴喷出装置3的设置台101上，进行以下的空穴注入/输送层的形成工序(S113)、发光层的形成工序(S114)。
如图25所示，在空穴注入/输送层的形成工序(S113)中，从液滴喷头21对像素区即各开口部619内喷出包含空穴注入/输送层形成材料的第一组合物。然后，如图26所示，进行干燥处理和热处理，使第一组合物种包含的极性溶剂蒸发，在像素电极613(电极面613a)上形成空穴注入/输送层617a。
接着说明发光层的形成工序(S114)。该发光层的形成工序中，如上所述，为了防止空穴注入/输送层617a的再溶解，作为形成发光层是使用的第二组合物的溶剂，使用对于空穴注入/输送层617a，不溶解的非极性溶剂。
可是，空穴注入/输送层617a对于非极性溶剂的亲和性低，所以，即使对空穴注入/输送层617a上喷出包含非极性溶剂的第二组合物，也无法使空穴注入/输送层617a和发光层617b密接，或者有可能无法均匀涂敷发光层617b。
因此，为了提高空穴注入/输送层617a对于非极性溶剂以及发光层形成材料的表面亲和性，优选在形成发光层前进行表面处理(表面改质处理)。通过在空穴注入/输送层617a上涂敷与形成发光层是使用的第二组合物的非极性溶剂相同的溶剂或类似于它的溶剂即表面改质材料，使它干燥，进行该表面处理。
通过进行这样的处理，空穴注入/输送层617a的表面变得对非极性溶剂容易亲和，在此后的工序中，可以对空穴注入/输送层617a均匀涂敷包含发光层形成材料的第二组合物。
然后，如图27所示，把包含与各色中的任意(在图27的例子中，蓝色(B))对应的发光层形成材料的第二组合物作为功能液滴，对像素区(开口部619)内注入所定量。如注入像素区内的第二组合物在空穴注入/输送层617a上扩散，充满开口部619内。还有，万一第二组合物偏离像素区，弹落在围堰部618的上表面618t上时，该上表面618t如上所述进行疏液处理，所以第二组合物容易落入开口部619内。
然后，通过进行干燥工序，对喷出后的第二组合物进行干燥处理，使第二组合物中包含的非极性溶剂蒸发，如图28所示，在空穴注入/输送层617a上形成发光层617b。该图的情况下，形成了对应于蓝色(B)的发光层617b。
同样，使用液滴喷头21，如图29所示，依次进行与所述蓝色(B)所对应的发光层617b时同样的工序，形成与其它颜色(红色(R)和绿色(G))对应的发光层617b。还有，发光层617b的形成顺序并不局限于例示的顺序，可以用任意的顺序形成。例如能按照发光层的形成材料决定形成的顺序。作为R、G、B三色的排列图案，有条纹排列、镶嵌排列和三角形排列。
如上所述，在像素电极613上形成功能层617即空穴注入/输送层617a和发光层617b。然后转移到对置电极的形成工序(S115)。
在对置电极的形成工序(S115)中，如图30所示，在发光层617b和有机物围堰618b的全面，通过例如蒸镀法、溅射法、CVD法等形成阴极604(对置电极)。阴极604在本实施例中，由钙层和铝层层叠构成的。
在阴极604的上部，适当设置作为电极的Al膜、Ag膜、用于防止其氧化的SiO2、SiN等保护层。
这样形成阴极604后，进行通过密封构件密封该阴极604的上部的密封处理和配线处理等其他处理，取得显示装置600。
下面，图31是等离子体型显示装置(PDP装置，以下只称作显示装置700)的要部分解立体图。还有，在图36中，以切掉其一部分的状态表示显示装置700。
该显示装置700包含彼此相对向配置的第一衬底701、第二衬底702、形成在它们之间的放电显示部703而大致构成。放电显示部703由多个放电室705构成。多个放电室705中，配置成使红色放电室705R、绿色放电室705G、蓝色放电室705B等三个放电室705成为组，构成一个像素。
在第一衬底701的上表面以所定间隔把地址电极706形成条纹状，覆盖该地址电极706和第一衬底701的上表面形成有介质层707。在介质层707上立设有围堰708，使其位于各地址电极706之间，并且沿着各地址电极706。该围堰708如图所示，包含在地址电极706的宽度方向两侧延伸的部分、在与地址电极706正交的方向延伸的未图示的部分。
而且，由该围堰708隔离的区域成为放电室705。
在放电室705内配置有荧光体709。荧光体709发出红色(R)、绿色(G)、或蓝色(B)的任意光，所以在红色放电室705R的底部形成红色荧光体709R，在绿色放电室705G的底部形成红色荧光体709G，在蓝色放电室705B的底部形成红色荧光体709B。
在第二衬底702的图中下侧的面，在与所述地址电极706正交的方向，以所定间隔把多个显示电极形成为条纹状。而且，覆盖它们而形成有由介质层712、MgO构成的保护层713。
第一衬底701和第二衬底702在地址电极706和显示电极711彼此正交的状态贴在一起。还有，所述地址电极706和显示电极711连接在未图示的交流电源上。
而且，通过对各电极706、711通电，在放电显示部703中，荧光体709激励发光，能够显示彩色。
在本实施例中，可以使用图1和2所示的液滴喷出装置3形成所述地址电极706、显示电极711和荧光体709。下面，表示第一衬底701的地址电极706的形成工序。
这时，在把第一衬底701放在液滴喷出装置3的设置台17上的状态下，进行以下的工序。
首先，通过液滴喷头21，把含有导电膜配线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴，落在地址电极形成区中。该液体材料作为导电膜配线形成用材料，是把金属等导电性微粒分散在分散剂中。作为含有导电性微粒，使用金、银、铜、钯、镍等的金属微粒、或导电性聚合物等。
关于成为补充对象的全部地址电极形成区，液体材料的补充如果结束，就把喷出后的液体材料进行干燥处理，通过使液体材料中包含的分散剂蒸发，形成地址电极706。
可是，在所述中表示地址电极706的形成，但是关于所述显示电极711和荧光体709，可以通过所述各工序形成。
在形成显示电极711时，与地址电极706同样，把含有导电膜配线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴，弹落在显示电极形成区中。
此外，在形成荧光体709时，从液滴喷头21把包含与各色(R、G、B)对应的荧光材料的液体材料(功能液)作为液滴喷出，弹落在对应的颜色的放电室705内。
图32是电子发射装置(也称作FED装置或SED装置：以下只称作显示装置800)的要部截面图。还有，在图34中，使其一部分为截面表示显示装置800。
该显示装置800包含：彼此相对向配置的第一衬底801、第二衬底802、形成在它们之间的场致发射显示部803而大致构成。场致发射显示部803是由配置为矩阵状的多个电子发射部805构成的。
在第一衬底801的上表面，彼此正交地形成有构成阴极806的第一元件电极806a和第二元件电极806b。此外，在由第一元件电极806a和第二元件电极806b划分的部分形成有具有间隔808的导电性膜807。即由第一元件电极806a、第二元件电极806b和导电性膜807构成多个电子发射部805。导电性膜807由氧化钯(PdO)等构成，此外，在形成导电性膜807后，通过成形等形成间隔808。
在第二衬底802的下表面形成有与阴极806对峙的阳极809。在阳极809的下表面形成有格子状的围堰部811，在由围堰部811包围的向下的各开口部812中，与电子发射部805对应配置有荧光体813。荧光体813发出红色(R)、绿色(G)、或蓝色(B)的任意光，在各开口部812中以所述所定的图案配置有红色荧光体813R、绿色荧光体813G、蓝色荧光体813B。
然后，把这样构成的第一衬底801和第二衬底802存在微小的间隙贴在一起。在显示装置800中，通过导电性膜(间隔808)807，从阴极即第一元件电极806a或第二元件电极806b飞出的电子撞击阳极809上形成的荧光体813，激励发光，能够显示彩色。
这时与其它实施例同样，可以使用描绘装置1形成第一元件电极806a、第二元件电极806b、导电性膜807和阳极809，并且可以使用液滴喷出装置3形成各色荧光体813R、813G、813B。
第一元件电极806a、第二元件电极806b、导电性膜807具有图33(a)所示的平面形状，在形成它们时，如图33(b)所示，预先残留形成第一元件电极806a、第二元件电极806b、导电性膜807的部分，形成围堰部BB(光刻法)。接着在由围堰部BB构成的沟部分形成第一元件电极806a、第二元件电极806b(基于描绘装置1的喷墨法)，使溶剂干燥，进行成膜后，形成导电性膜807(基于描绘装置1的喷墨法)。然后形成导电性膜807后，除去围堰部BB(灰化剥离处理)，转移到所述成形处理。还有，与所述有机EL装置时同样，优选进行对第一衬底801以及第二衬底802的亲液化处理、对围堰部811、BB的疏液化处理。
此外，作为其他电光装置，考虑到金属配线的形成、透镜的形成、抗蚀剂的形成和光扩散体的形成等的装置。通过在各种电光装置(器件)的制造中使用所述液滴喷出装置3，能够高效地制造各种电光装置。

Claims (8)

1.一种擦拭装置，其特征在于：
包括：擦拭液滴喷头的喷嘴面的擦拭薄板；
在所述擦拭前，对所述擦拭薄板表面的涂敷区把洗净液喷雾，进行涂敷的洗净液喷雾部件；
配置在所述擦拭薄板的表面一侧，使从所述洗净液喷雾部件喷雾的洗净液带电的带电电极；以及，
配置在所述擦拭薄板的背面一侧，施加与所述带电电极电性相反的电压的吸附电极，
所述吸附电极分割为能个别作用电压的多个局部电极。
2.根据权利要求1所述的擦拭装置，其特征在于：还包括：
为了所述液滴喷头的喷嘴面不带电，除去涂敷了洗净液的所述擦拭薄板的静电的除电部件。
3.根据权利要求1所述的擦拭装置，其特征在于：
所述吸附电极形成为比所述擦拭薄板的薄板宽度还稍微窄的宽度。
4.根据权利要求1所述的擦拭装置，其特征在于：
所述带电电极具有包围喷雾的洗净液的大致环状的形状。
5.一种液滴喷出装置，其特征在于：包括：
权利要求1～4中的任意一项所述的擦拭装置；
对工件喷出功能液滴的所述液滴喷头；
使工件对于所述液滴喷头在X轴方向和Y轴方向相对移动的XY移动机构。
6.一种电光装置，其特征在于：
使用权利要求5所述的液滴喷出装置，从所述液滴喷头对工件上喷出功能液滴，形成成膜部。
7.一种电光装置的制造方法，其特征在于：
使用权利要求5所述的液滴喷出装置，从所述液滴喷头对工件上喷出功能液滴，形成成膜部。
8.一种电子仪器，其特征在于：
搭载权利要求6所述的电光装置或由权利要求7所述的电光装置的制造方法制造的电光装置。
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