CN100391743C - 压力调整阀、功能液供给装置、及描画装置 - Google Patents

压力调整阀、功能液供给装置、及描画装置 Download PDF

Info

Publication number
CN100391743C
CN100391743C CNB2005101200133A CN200510120013A CN100391743C CN 100391743 C CN100391743 C CN 100391743C CN B2005101200133 A CNB2005101200133 A CN B2005101200133A CN 200510120013 A CN200510120013 A CN 200510120013A CN 100391743 C CN100391743 C CN 100391743C
Authority
CN
China
Prior art keywords
functional liquid
valve body
pressure
valve
liquid droplet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CNB2005101200133A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1775532A (zh
Inventor
中村友则
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Publication of CN1775532A publication Critical patent/CN1775532A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100391743C publication Critical patent/CN100391743C/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D16/00—Control of fluid pressure
    • G05D16/04—Control of fluid pressure without auxiliary power
    • G05D16/06—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule
    • G05D16/08—Control of liquid pressure
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D16/00—Control of fluid pressure
    • G05D16/04—Control of fluid pressure without auxiliary power
    • G05D16/06—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule
    • G05D16/063—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule the sensing element being a membrane
    • G05D16/0644—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule the sensing element being a membrane the membrane acting directly on the obturator
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B41J2/17596—Ink pumps, ink valves
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/20—Deposition of semiconductor materials on a substrate, e.g. epitaxial growth solid phase epitaxy
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
    • Y10T137/7781—With separate connected fluid reactor surface
    • Y10T137/7835—Valve seating in direction of flow
    • Y10T137/7836—Flexible diaphragm or bellows reactor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Control Of Fluid Pressure (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Ink Jet (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Lift Valve (AREA)

Abstract

本发明提供可以将内置的阀体施力弹簧或负压保持弹簧简单地更换的压力调整阀、功能液供给装置、描画装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备。在将隔膜(175)所受到的大气压作为基准调整压力，将功能液从功能液罐(91)向功能液滴喷头(41)供给的压力调整阀(161)中，对将连通1次室(172)和2次室(173)的连通流路(174)开闭的阀体(176)施力的阀体施力弹簧(267)可以伴随着盖体(190)的从外罩主体(192)上的脱离而一起脱离。

Description

压力调整阀、功能液供给装置、及描画装置
技术领域
本发明涉及向液滴喷头供给功能液的压力调整阀、功能液供给装置、描画装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备。
背景技术
在作为描画装置的一种的将喷墨打印机用于工业用途的描画装置中，在填充了功能液(墨液)的功能液罐和功能液滴喷头(喷墨头)之间，为了使功能液罐的相对于功能液滴喷头的设置位置具有自由度，附设有压力调整阀(液体供给用阀组件)。该压力调整阀由外罩(组件壳)、由外罩和与之热熔接的第1薄膜构件形成并与功能液罐相连的1次室(墨液供给室)、由外罩和与之热熔接的第2薄膜构件(隔膜)形成并与功能液滴喷头相连的2次室(压力室)、将1次室和2次室连通的连通流路(墨液流路)、将连通流路开闭的阀体(可动阀)构成。
在第1薄膜构件上从内侧附设有弹簧接受构件，在弹簧接收构件和阀体之间配设有将阀体向闭阀方向施力的阀体施力弹簧。另外，在隔膜和外罩之间配设有将隔膜从内侧抵抗大气压地施力的负压保持弹簧。
当接收来自液滴喷头的墨液喷出而使2次室内相对于大气压变为负压时，隔膜就会抵抗负压保持弹簧及阀体施力弹簧而将阀体打开。其结果是，1次室的功能液经过连通流路流入2次室。当该流入推进而将2次室的负压状态解除时，阀体施力弹簧就将阀体向2次室侧推回，负压保持弹簧将隔膜推回，直至与大气压达到平衡状态。这样阀体就被关闭。像这样，通过负压保持弹簧及阀体施力弹簧根据1次室内及2次室内的压力变化而伸缩，就可以将功能液罐的功能液以一定的压力向液滴喷头供给。
[专利文献1]特开2004-142405号公报(47页、图25、图26)
但是，当在所述压力调整阀中使用密度不同的功能液时，由于1次室及2次室的压力改变，因此就需要将迄今为止所使用的阀体施力弹簧及负压保持弹簧更换为具有与所使用的功能液的密度对应的反弹力的弹簧。例如，在使用密度大的功能液的情况下，由所述液滴喷头和所述阀体的水位差产生的压力变大，为了提高所述阀体的密封性，就需要增强所述阀体施力弹簧的反弹力。另外，相反地，在使用密度小的功能液的情况下，就需要减小弹簧的反弹力。另外，有时会因功能液而使所述阀体施力弹簧或所述负压保持弹簧腐蚀，需要将它们更换。
但是，以往的压力调整阀中，由于收容有所述阀体施力弹簧的1次室被第1薄膜构件密封，另外收容有负压保持弹簧的2次室被第2薄膜构件密封，因此无法将弹簧作为单独部件更换，需要将压力调整阀整体更换。或者需要改变功能液罐或阀体的高度位置。但是此种更换作业或调整作业有操作十分烦杂的问题。
发明内容
所以，本发明的目的在于，提供可以将内置的阀体施力弹簧或负压保持弹簧简单地更换的压力调整阀、功能液供给装置、描画装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备。
本发明的压力调整阀是如下的压力调整阀，即，被夹设于用于喷出功能液滴而对工件进行描画的功能液滴喷头和向功能液滴喷头供给功能液的功能液罐之间，将从功能液罐向1次室导入的功能液经过2次室向功能液滴喷头供给，并且将构成2次室的1个面而且面向大气的隔膜所承受的大气压作为基准调整压力，将连通1次室和2次室的连通流路开闭，其特征是，具备形成了1次室及2次室的阀外罩、将连通流路开闭的阀体、将阀外罩的弹簧接受部作为支撑物而将阀体向闭阀方向施力的阀体施力弹簧，阀外罩由外罩主体、具有弹簧接受部并且被自由拆装地安装于外罩主体上的盖体构成，阀体施力弹簧伴随着盖体的脱离而可以与之一起与所述外罩主体脱离。
根据该构成，通过在改变功能液的密度时将盖体从外罩主体上取下，就可以将1次室开放，将阀体施力弹簧更换为具有与该密度对应的反弹力的弹簧。另外，对于腐蚀性等密度以外的特性，也可以用相同的更换作业来应对。即，作为更换用部件，无论功能液的材料特性如何，只要在组装前的状态下准备可以共同使用的公共部件和材料特性特有的对应部件即可。所以，就不需要更换压力调整阀整体，或者改变功能液罐或压力调整阀的高度位置。
此时，最好将阀体施力弹簧和盖体连结。
根据该构成，就可以针对功能液的密度变更，与所述盖体一起拆装阀体施力弹簧，从而可以简单地并且在短时间内结束更换作业。
此时，阀体最好可以伴随着阀体施力弹簧的脱离而与外罩主体脱离。
根据该构成，在伴随着功能液的材料变更而改变阀体的材料或特性时，或在阀体老化时，可以在将阀体施力弹簧取下后将阀体也更换。
此时，最好将阀体施力弹簧和阀体连结。
根据该构成，就可以与阀体施力弹簧一起拆装阀体，从而可以在短时间内结束更换作业。
此时，阀体最好由阀体主体、被自由拆装地安装于阀体主体上的阀密封件构成。
根据该构成，即使在阀密封件老化时，也可以仅更换阀密封件。
此时，最好阀体施力弹簧由螺旋弹簧构成，在阀体上，设有与阀体施力弹簧的阀体侧头端部在定位状态下锁合的头端锁合部。
根据该构成，在将更换用的阀体施力弹簧附设在装入外罩的阀体上时，就可以容易地确保它们两者间的相对位置精度，并且可以在短时间内结束其附设作业。
此时，在盖体上，最好设有与阀体施力弹簧的盖体侧基端部在定位状态下锁合的基端锁合部。
根据该构成，在将更换用的阀体施力弹簧附设在阀体上后，将该阀体施力弹簧附设在盖体上时，就可以容易地确保盖体和阀体施力弹簧的相对位置精度，并且可以在短时间内结束其附设作业。
本发明的其他的压力调整阀是如下的压力调整阀，即，被夹设于用于喷出功能液而对工件进行描画的功能液滴喷头和向功能液滴喷头供给功能液的功能液罐之间，将从功能液罐向1次室导入的功能液经过2次室向功能液滴喷头供给，并且将构成2次室的1个面而且面向大气的隔膜所承受的大气压作为基准调整压力，将连通1次室和2次室的连通流路开闭，其特征是，具备形成了1次室及2次室的阀外罩、将连通流路开闭的阀体、将阀外罩的弹簧接受部作为支撑物而将阀体向闭阀方向施力的阀体施力弹簧，阀外罩由形成了2次室及连通流路的2次室外罩、具有弹簧接受部并且被自由拆装地安装于2次室外罩上的1次室外罩构成，阀体施力弹簧伴随着1次室的脱离而可以与2次室外罩脱离。
根据该构成，通过在改变功能液滴的密度时将压力调整阀的1次室外罩从2次室外罩上取下，就可以将1次室开放，将阀体施力弹簧更换为具有与该密度对应的反弹力的弹簧。另外，对于腐蚀性等密度以外的特性，也可以用相同的更换作业来应对。即，作为更换用部件，无论功能液的材料特性如何，只要在组装前的状态下准备可以共同使用的公共部件和材料特性特有的对应部件即可。所以，就不需要更换压力调整阀整体，或者改变功能液罐或压力调整阀的高度位置。
本发明的其他的压力调整阀是如下的压力调整阀，即，被夹设于用于喷出功能液滴而对工件进行描画的功能液滴喷头和向功能液滴喷头供给功能液的功能液罐之间，将从功能液罐向1次室导入的功能液经过2次室向功能液滴喷头供给，并且将构成2次室的1个面而且面向大气的隔膜所承受的大气压作为基准调整压力，将连通1次室和2次室的连通流路开闭，其特征是，具备形成了1次室及2次室的阀外罩、将连通流路开闭的阀体、将阀外罩的弹簧接受部作为支撑物而将阀体向闭阀方向施力的阀体施力弹簧、将隔膜向抵抗大气压的方向施力的负压保持弹簧，隔膜被自由拆装地安装于阀外罩上，负压保持弹簧伴随着隔膜的脱离而可以与阀外罩脱离。
根据该构成，通过在改变功能液的密度时将隔膜从阀外罩上取下，就可以将2次室开放，将负压保持弹簧更换为具有与该密度对应的反弹力的弹簧。另外，对于腐蚀性等密度以外的特性，也可以用相同的更换作业来应对。即，作为更换用部件，无论功能液的材料特性如何，只要在组装前的状态下准备可以共同使用的公共部件和材料特性特有的对应部件即可。所以，就不需要更换压力调整阀整体，或者改变功能液罐或压力调整阀的高度位置。
此时，最好还具备将隔膜在伸张设置的状态下保持的隔膜夹具，隔膜被借助隔膜夹具自由拆装地安装于阀外罩上。
根据该构成，由于可以将隔膜与隔膜夹具一起更换，因此在隔膜的更换时就不需要其伸张设置作业，从而能够简单地并且在短时间内完成隔膜的更换作业。
本发明的功能液供给装置的特征是，由功能液罐、夹设于连接功能液罐和功能液滴喷头的功能液流路中的所述的任意一个压力调整阀构成。
根据该构成，在导入密度不同的功能液时，或在压力调整阀的构成构件的局部产生了老化时，就可以简单地并且在短时间内解决。
本发明是通过使借助功能液流路与功能液罐连接的功能液喷头相对于工件移动，对功能液滴喷头进行喷出驱动，在工件上进行利用功能液滴实施的描画的描画装置，其特征是，在功能液流路上，夹设有所述任意一项所记载的压力调整阀。
根据该构成，由于夹设有可以更换阀体施力弹簧的压力调整阀，因此在导入密度不同的功能液时，或在压力调整阀的构成构件的局部产生了老化时，就可以用阀体施力弹簧等的更换作业简单地并且在短时间内解决。
本发明的电光学装置的制造方法及电光学装置的特征是，使用所述的描画装置，在所述工件上形成功能液滴的成膜部。
根据该构成，由于使用可以简单地并且在短时间内完成压力调整阀的部件更换的描画装置来进行电光学装置的制造，因此就可以缩短制造过程中的装置的停止时间，能够有效地形成成膜部。而且，作为电光学装置(设备)，可以考虑液晶显示装置、有机EL(Electro-Luminescence)装置、电子发射装置、PDP(Plasma Display Panel)装置及电泳显示装置等。而且，电子发射装置是包括所谓的FED(Field Emission Display)装置或SED(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)装置的概念。另外，作为电光学装置，可以考虑包括金属配线形成、透镜形成、光刻胶形成及光扩散体形成等的装置。
本发明的电子设备的特征在于，搭载了利用所述的电光学装置的制造方法制造的电光学装置或所述的电光学装置。
此时，作为电子设备，除了搭载了所谓的平板显示器的携带电话、个人计算机以外，各种电器产品都对其适用。
附图说明
图1是本发明的实施方式的描画装置的俯视示意图。
图2是本发明的实施方式的描画装置的前视示意图。
图3是支撑框架周围的俯视示意图。
图4是功能液滴喷头的外观立体图。
图5是表示了功能液滴喷头、压力调整阀及功能液罐的高度关系的图。
图6是从背面看到的压力调整阀的外观立体图。
图7是压力调整阀的说明图，(a)是压力调整阀的后视图，(b)是压力调整阀的前视图。
图8是压力调整阀的说明图，(a)是压力调整阀的纵剖面图，(b)是从压力调整阀的流入端口经过阀体直至流出端口的纵剖面示意图。
图9是用于说明压力调整阀的动作的说明图。
图10是表示本发明的实施方式1的盖体周围的局部图。
图11是表示实施方式1的变形例的盖体周围的局部图。
图12是表示实施方式2的压力调整阀的图。
图13从背面看到的实施方式3的压力调整阀的外观立体图。
图14是实施方式3的压力调整阀的说明图，(a)是压力调整阀的后视图，(b)是压力调整阀的前视图。
图15是实施方式3的压力调整阀的说明图，(a)是压力调整阀的纵剖面图，(b)是将1次室周围放大后的纵剖面图。
图16是对描画装置的主控制系统进行说明的方框图。
图17是说明滤色片制造工序的流程图。
图18(a)～(e)是依照制造工序顺序表示的滤色片的示意剖面图。
图19是表示使用了采用本发明的滤色片的液晶装置的概略构成的要部剖面图。
图20是表示使用了采用本发明的滤色片的第2例的液晶装置的概略构成的要部剖面图。
图21是表示使用了采用本发明的滤色片的第3例的液晶装置的概略构成的要部剖面图。
图22是作为有机EL装置的显示装置的要部剖面图。
图23是说明作为有机EL装置的显示装置的制造工序的流程图。
图24是说明无机物堤堰层的形成的工序图。
图25是说明有机物堤堰层的形成的工序图。
图26是说明形成空穴注入/输送层的过程的工序图。
图27是说明形成了空穴注入/输送层后的状态的工序图。
图28是说明形成蓝色的发光层的过程的工序图。
图29是说明形成了蓝色的发光层后的状态的工序图。
图30是说明形成了各色的发光层后的状态的工序图。
图31是说明阴极的形成的工序图。
图32是作为等离子体型显示装置(PDP装置)的显示装置的要部分解立体图。
图33是作为电子发射装置(FED装置)的显示装置的要部剖面图。
图34是表示显示装置的电子发射部周围的俯视图(a)及其形成方法的俯视图(b)。
其中，1描画装置，3液滴喷出装置，4功能液供给装置，41功能液滴喷头，72功能液供给管道，91功能液罐，161压力调整阀，171阀外罩，172 1次室，173 2次室，174连通流路，175隔膜，176阀体，190盖体，192外罩主体，261阀体主体，263阀密封件，267阀体施力弹簧，268负压保持弹簧，278伸张设置环，287头端锁合部，290基端锁合部，294 1次室外罩，295 2次室外罩，W  工件
具体实施方式
下面将参照附图对应用了本发明的描画装置进行说明。该描画装置是被装入所谓的平板显示器的生产线中的装置，利用使用了功能液滴喷头的液滴喷出法，形成液晶显示装置的滤色片或成为有机EL装置的各象素的发光元件等。
如图1及图2所示，描画装置1具备：机台2、具有功能液滴喷头41并被广泛地放置在机台2的全部区域上的液滴喷出装置3、与液滴喷出装置3连接的功能液供给装置4、按照附设在液滴喷出装置3上的方式放置于机台2上的喷头维护装置5。另外，在描画装置1上，设有图外的控制装置6，描画装置1中，在利用功能液供给装置4使液滴喷出装置3接收功能液的供给的同时，基于控制部6的控制，液滴喷出装置3进行对工件W的描画动作，并且喷头维护装置5对功能液滴喷头41适当地进行维护动作(维修)。
液滴喷出装置3具有：由使工件W进行主扫描(沿X轴方向移动)的X轴台12及与X轴台12正交的Y轴台13构成的X·Y移动机构11、被自由移动地安装于Y轴台13上的主承载架14、垂设于主承载架14上并搭载了功能液滴喷头41的喷头组件15。
X轴台12具有构成X轴方向的驱动系统的X轴马达(图示略)驱动的X轴滑块22，在其上自由移动地搭载了由吸附台24及θ台25等构成的定位台23。同样地，Y轴台13具有构成Y轴方向的驱动系统的Y轴马达(图示略)驱动的Y轴滑块29，在其上沿Y轴方向自由移动地搭载了支撑喷头组件15的所述的主承载架14。而且，X轴台12被与X轴方向平行地配设，被直接支撑于机台2上。另一方面，Y轴台13被支撑于竖立设置于机台2上的左右的支柱31上，横跨X轴台12及喷头维护装置5地沿Y轴方向延伸(参照图1及图2)。
描画装置1中，X轴台12及Y轴台13相交的区域成为进行工件W的描画的描画区域32，Y轴台13及喷头维护装置5相交的区域成为进行对功能液滴喷头41的功能恢复处理的维护区域33，在对工件W进行描画的情况下，使喷头组件15面向描画区域32，在进行功能恢复处理的情况下，使喷头组件15面向维护区域33。
喷头组件15具备多个(12个)功能液滴喷头41、借助喷头保持构件(图示略)搭载功能液滴喷头41的喷头平板42。喷头平板42被自由拆装地支撑于支撑框架43上，喷头组件15被借助支撑框架43定位搭载于主承载架14上。而且，虽然详细情况将在后面叙述，但是在支撑框架43上，与喷头组件15并排地支撑有功能液供给装置4的阀组件74及罐组件71(参照图1至图3)。
如图4所示，功能液滴喷头41是所谓的双联的喷头，具备具有双联的连接针52的功能液导入部51、与功能液导入部51相连的双联的喷头基板53、与功能液导入部51的下方相连并在内部形成了被功能液充满的喷头内流路的喷头主体54。连接针52被与图外的功能液罐4连接，向功能液滴喷头41的喷头内流路供给功能液。喷头主体54由空腔55(piezo压电元件)、具有开设了喷出喷嘴58的喷嘴面57的喷嘴平板56构成。在喷嘴面57上，形成有由多个(180个)喷出喷嘴58构成的喷嘴列。当对功能液滴喷头41进行喷出驱动时，利用空腔55的泵作用，将功能液滴从喷出喷嘴58中喷出。
如图3所示，喷头平板42由用不锈钢等制成的方形的厚板构成。在喷头平板42上，形成有用于确定12个功能液滴喷头41的位置，并将其从背面侧借助喷头保持构件固定的12个安装开口(图示略)。12个安装开口被2个2个地分成6组，各组的安装开口被按照使局部重复的方式，沿与功能液滴喷头41的喷嘴列正交的方向(喷头平板42的长边方向)错开地形成。即，12个功能液滴喷头14被2个2个地分成6组，在与喷嘴列正交的方向上，按照使各组的功能液滴喷头41的喷嘴列局部重复的方式，成阶梯状地配置(参照图3)。
而且，形成于各功能液滴喷头41上的2列喷嘴列分别由被以具有4个点的量的间距地配设的多个(180个)喷出喷嘴58构成，两喷嘴列被沿列方向错开2个点的量地配设。即，在各功能液滴喷头41上，利用2列喷嘴列形成2个点间距的描画线。另一方面，同一组的相邻的2个功能液滴喷头41被按照使各自的(2个点间距的)描画线沿列方向错开1个点的量的方式配设，利用一组功能液滴喷头41，形成1个点间距的描画线。即，同一组2个功能液滴喷头41被按照使1/4析像度的各喷嘴列相互错位的方式配置，与另外的5组10个功能液滴喷头41对齐，从而构成1条描画线的高析像度(1个析像度)的喷嘴列。
主承载架14如图2所示，由被从下侧固定于Y轴台13上的外观成「I」形的吊设构件61、被安装于吊设构件61的下面并用于进行相对于(喷头组件15的)θ方向的位置修正的θ旋转机构62、被吊设地安装于θ旋转机构62的下方的承载架主体63构成，承载架主体63借助支撑框架43来支撑喷头组件15。虽然图示省略，但是在承载架主体63上，形成有用于游嵌支撑框架43的方形的开口，并且设有用于将支撑框架43定位的定位机构，从而可以将喷头组件15在定位的状态下固定。
如图1至图3所示，功能液供给装置4被与喷头组件15一起搭载于所述的支撑框架43上，具有由贮留功能液的多个(12个)功能液罐91构成的罐组件71、连接各功能液罐91及各功能液滴喷头41的多条(12条)功能液供给管道(功能液流路)72、用于将各功能液供给管道72与各功能液罐91及各功能液滴喷头41连接的多个(12个)连接件73、由夹设于多个功能液供给管道72上的多个(12个)压力调整阀161构成的阀组件74。
如图3所示，支撑框架43被制成近似方形的框状，相对于其长边方向，以喷头组件15、阀组件74、罐组件71的顺序将它们搭载。而且，支撑框架43上，在其长边部分上，安装有一对手柄81，从而可以将该一对手柄81作为手握部位，将支撑框架43可以拆装地投入承载架14(承载架主体63)。
罐组件71由12个功能液罐91、具有将它们定位的12个定位部111并支撑12个功能液罐91的罐平板92、用于将各功能液罐91安装(定位)在各定位部111上的罐定位夹具93构成。功能液罐91是弹筒形式的构件，具有将功能液真空包装的功能液包101、收容功能液包101的树脂制的弹筒盒108。而且，贮留在功能液包101中的功能液被预先脱气，其溶解气体量近似为零。
功能液包101是在将2片长方形的(柔性)薄膜片102(图示略)重合而热熔接的袋状的物体上安装了供给功能液的树脂制的供给口103的构件。在供给口103上，形成有与包内连通的连通开口104。连通开口104被由具有功能液耐腐蚀性的丁基橡胶等弹性材料构成的封堵构件105封闭，从而可以防止空气(氧)或湿气从连通开口104侵入。
罐平板92被以不锈钢等厚板制成近似平行四边形。如图3所示，在罐平板92上，以将功能液罐91的供给口103朝向阀组件74侧的状态将功能液罐91纵置定位，并且设有将其自由拆装地定位的12个定位部111。如同图所示，定位部111被依照搭载于喷头平板42上的12个功能液滴喷头41的配置来配置。即，12个功能液罐91被2个2个地分成6组，在将供给口103(功能液罐91的前面)朝向功能液滴喷头41的状态下，被沿着罐平板92的长边地在支撑框架43的短边方向上错开地配置。
罐定位夹具93通过将功能液罐91的后面(与功能液罐91的前面相面对的面)向前方推入，而使功能液罐91向前方滑动，定位于定位部111上，具有将功能液罐91推出的推压杆121、支撑推压杆121的支撑构件122。通过与功能液罐91的定位位置匹配地移动支撑构件122，使推压杆121与各功能液罐91对峙，从而可以将功能液罐91恰当地定位。
功能液供给管道72具有将各功能液罐91及各压力调整阀161连接的罐侧管道131、将各压力调整阀161及各功能液滴喷头各41连接的喷头侧管道132。
连接件73具有用于将功能液罐91及罐侧管道131连接的罐侧转接器141、用于将功能液滴喷头41及喷头侧管道132连接的喷头侧转接器158。在罐侧转接器141上，设有在轴心上形成了流路的连接针152，连接针152通过被贯穿所述的功能液包101(连通开口104)的封堵构件105而插入，即与功能液包101连接。
阀组件74由12个压力调整阀161、支撑12个压力调整阀161的12个阀支撑构件162、借助阀支撑构件支撑12个压力调整阀161的不锈钢制的阀平板163构成(参照图3)。
在阀平板163上，竖立设有12个阀支撑构件162，将12个压力调整阀161以沿支撑框架43的短边方向错位的状态支撑于该12个阀支撑构件162上(参照图3)。
如图6至图8所示，压力调整阀161是在阀外罩171内，形成了与功能液罐91相连的1次室172、与功能液滴喷头41相连的2次室173、将1次室172及2次室173连通的连通流路174的构件，在2次室173的1个面上面向外部地设有隔膜175，在连通流路174中设有利用隔膜175进行开闭动作的阀体176。从功能液罐91导入1次室172的功能液被经过2次室173向功能液滴喷头41供给，而此时通过利用隔膜175以大气压作为调整基准压力，使设于连通流路174中的阀体176进行开闭动作，来进行2次室173的压力调整。
如图8所示，压力调整阀161由于被将隔膜175垂直地纵置使用，因此以下将依照同图，将纸面的上端方设为「上」，将下端方设为「下」，将左方设为「前」，将右方设为「后」，来进行说明。而且，图6及图7中，表示在压力调整阀161上，装入了用于将其安装在框架等(本实施方式中为阀支撑构件162)上的安装平板181、用于将所述的罐侧管道131接入的流入连接器182(管子接头)及用于将所述的喷头侧管道接入的流出连接器183(管子接头)的状态。
阀外罩171由外罩主体192、与外罩主体192一起在内部形成了1次室172的盖体190、与外罩主体192一起在内部形成2次室173并在外罩主体192上固定隔膜175的环状平板193这3个构件构成，都是由不锈钢等耐腐蚀性材料形成。盖体190及环状平板193在相对于外罩主体192，从前后将环状平板193及盖体190重叠，分别用多根带有阶梯的平行销栓194定位后，通过旋紧而被组合，都具有与穿过圆形的隔膜175的中心的轴线形成同心圆的多角形(八角形)或圆形的外观。此外，盖体190及外罩主体192被借助衬垫(O形环)196相互气密性地对顶接合，外罩主体192及环形平板193被将隔膜175的缘部及衬垫197夹入地相互气密性地对顶接合。
由外罩主体192和盖体190形成的1次室172被制成与隔膜175构成同心的近似圆筒形状，将其开放端利用盖体190封闭。另外，在形成于外罩主体192的1次室172侧背面上部的上部凸台部198的左部，形成从1次室172沿径向倾斜地延伸的流入端口201，在流入端口201上连接有所述的流入连接器182。
流入端口201由向外罩主体192的外周面开口的流入口211、将流入口211和1次室172的内周面连通的流入路径213构成，相对于流入口211的流入路径213被向1次室172侧偏心地形成。在流入口211上，螺合有流入连接器182，借助该流入连接器182将所述的罐侧管道131连接。流入连接器182的内部流路在下流端被拓宽地形成，从而不会在内部流路中产生阶梯部，并且不会在功能液的流速中产生很大的变化。同样地，流入口211的下流端形成锥面形状，从而不会在与流入路径213之间产生阶梯部。
另外，在外罩主体192的1次室172外面，形成与1次室172构成同心圆的圆形安装槽199，在该圆形安装槽199中自由拆装地附设有盖体190。
如图8所示，形成有用于在外罩主体192上安装隔膜175的将前面敞开了的圆锥台(近似圆筒)形状的2次室173的主室221、与主室221的后方相连并向主室侧拓宽了的圆锥台(近似圆筒)形状的2次室173的弹簧室222、将弹簧室222和1次室172连通的所述的连通流路174。另外，这些主室221、弹簧室222及连通流路174都具有与隔膜175同心的圆形截面。但是，连通流路174由将后述的阀体176的轴部262自由滑动地收容的圆形截面的轴游插部223、从轴游插部223径向四方延伸的十字形截面的流路部224构成(参照图7)。而且，在外罩主体192的隔膜175侧对置面上，形成有用于后述的衬垫197的环状的外罩主体192环状槽251。
流出端口241被形成于位于外罩主体192的下部的下部凸台部242上，由向外罩主体192的下部开口的流出口243、向2次室173的下端部开口的2次室侧开口244、将它们连通的流出流路245构成。流出流路245从主室221的锥面倾斜延伸而与向下的流出口243连通。流出口243从流出流路245的轴线方向与流出连接器183螺合，借助该流出连接器183将所述的喷头侧管道132连接。流出连接器183的内部流路在上流端被拓宽地形成，从而不会在内部流路中产生阶梯部，并且不会在功能液的流速中产生很大的变化。从2次室173流出的功能液从2次室侧开口244依照流出流路245的梯度倾斜地流下，向功能液滴喷头41侧流出。
另外，在主室221的壁面上，形成有从弹簧室222成十字形延伸的排液·排气槽226。该排液·排气槽226中的下槽部延伸至流出口243的近前或延伸至流出口243。
实施方式的压力调整阀161中，在功能液的初期填充时或异种的功能液导入之前的排液时，利用所述的抽吸组件进行抽吸动作，然而在该情况下，当2次室173侧变为负压时，即使阀体176敞开，隔膜175也会与主室221的壁面(锥面)密接，而有可能产生将连通流路174和流出口243之间的流路阻断的问题。
所以，利用所述的排液·排气槽226，即使隔膜176与主室221的壁面密接，也可以维持连通流路174和流出口243的连通状态。另外，可以顺利地进行2次室173内的排液或排气。
环状平板193是在与外罩主体192之间将隔膜175夹持固定的构件，被与外罩主体192的形状匹配地制成多角形(八角形)或圆形。本实施方式中，在将插入了所述的外罩主体192环状槽251的衬垫197和隔膜175夹入的状态下，使环状平板193和外罩主体192密接。
隔膜175由用树脂薄膜制成的隔膜主体252、贴附在隔膜主体252的内侧的树脂性的受压板253构成。受压板253被以与隔膜主体252同心的圆板状，并且以相对于隔膜主体252足够小的直径形成，在其中央顶靠后述的阀体176的轴部262。隔膜主体252是通过将耐热PP(聚丙烯)、特殊PP和蒸镀了氧化硅的PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)层叠而构成的，被制成与外罩主体192的前面相同直径的圆形。隔膜175被以具有给定的张力的状态，利用环状平板193与外罩主体192的前面气密性地固定。而且，受压板253虽然也可以设于隔膜主体252的外侧，但是由于后述的阀体176的轴部262反复进行脱离接触，因此为了防止隔膜主体252的损伤，在本实施方式中设于内侧。
阀体176由圆板状的阀体主体261、从阀体主体261的中心形成截面横「T」字形地沿一个方向延伸的轴部262、设于(粘接于)阀体主体261的轴部侧(前面)的环状的阀密封件263构成。阀体主体261及轴部262被用不锈钢等耐腐蚀材料一体化地形成，在阀体主体261的前面，在位于轴部262的外侧的位置上形成有环状的小突起264。阀密封件263由软质的硅橡胶构成，在其前面，与所述的小突起264对应，突出地设有成为环状的突起的密封突起265。由此，在阀体176关闭时，密封突起265就会与成为阀座的外罩主体192的1次室172侧壁面，即连通流路174的开口缘有力地顶靠，将连通流路174从1次室172侧液密性地封堵。而且，为了能够与2次室173的轻微的压力变动对应地开闭阀体176，阀体主体261被制成与隔膜175相比足够小的尺寸(参照图8)。
轴部262被自由滑动地游嵌于连通流路174中，在闭阀状态下其半球直径的头端顶靠在位于中立位置的隔膜175的受压板253上。即，在隔膜175朝向外部鼓出的正变形的状态下，在轴部262的前端和受压板253之间产生给定的间隙，当从该状态开始，隔膜175逐渐向负方向侧变形时，在与环状平板193平行的中立状态下，轴部262的前端和受压板253顶靠，当隔膜175的负变形进一步发展时，受压板253就会借助轴部262推压阀体主体261，使之打开。所以，2次室173的容积当中的隔膜175从正变形变为中立状态的容积量完全不会受到1次室172侧的压力，而进行功能液的供给。
另一方面，在阀体176(阀体主体261)的背面161a和盖体190之间，夹设有将阀体向2次室173侧，即向闭阀方向施力的阀体施力弹簧267。同样地，在所述的受压板253和2次室173的弹簧室222之间，夹设有借助受压板253将隔膜主体252朝向外部地施力的负压保持弹簧268。此时，阀体施力弹簧267是补足加在阀体176的背面261a上的功能液罐91的水位的弹簧，利用功能液罐91的水位和该阀体施力弹簧267的弹力，阀体176被向关闭方向推压。并且，在闭阀时维持阀密封件263的密封性，另一方面，负压保持弹簧268是补足隔膜175的正变形的弹簧，按照室2次室173相对于大气压轻微地变为负压的方式作用。而且，实施方式的阀体施力弹簧267及负压保持弹簧268都由螺旋弹簧构成。
虽然详细情况将在后面叙述，但是压力调整阀161利用大气压和与功能液滴喷头41相连的2次室173的压力平衡使阀体176进退而开闭，此时，力分散地作用于阀体施力弹簧267及负压保持弹簧268，并且由于软质硅橡胶的阀密封件263(的弹力)，阀体176极为缓慢地进行开闭动作。由此，由阀体176的开闭造成的压力变动(气穴)被抑制，从而不会对功能液滴喷头41的喷出驱动造成影响。当然，在功能液罐侧(1次室侧)产生的脉动等也由于被阀体176切边，因此可以将其吸收(阻尼功能)。
如图6及图7所示，安装平板181由对四角进行了倒角的方形的不锈钢板构成，被固定于外罩主体192的侧部背面。在安装平板181的两面，在其上下中间位置上刻设有表示隔膜175的中心位置的线状的标记271，利用该标记271，作为使压力调整阀161相对于后述的功能液滴喷头41具有给定的高低差而设置时的指标。而切，图中的符号272是用于将安装平板181的标记271和隔膜175的中心位置对齐的长孔，在安装平板181进行了该对齐后，被固定于阀外罩171上。
下面，参照图9，对压力调整阀161的动作原理进行说明。基于贮留于功能液罐91中的功能液的液位的水位(在设计上，是功能液包101的供给口的中心轴和1次室172的中心轴之间的水位差)作用在1次室172上，基于该水位的压力和阀体施力弹簧267的弹力作为阀体的闭阀力作用。
即，当将基于水位的每单位面积的压力设为P1，将阀体主体261的背面261a的面积设为S1，将阀体施力弹簧267的弹力设为W1时，从一次室侧向阀体176作用的力：F1就变为
F1＝(P1×S1)+W1
而且，W1已经是考虑了阀密封件263的弹力的值，这里，将弹力和阀密封件263的弹性力(施力力)的合计设为W1。
另一方面，从二次室侧向阀体176作用的力：F2在将2次室173的内压设为P2，将隔膜175的面积(大气压受压面积)设为S2，将负压保持弹簧268的弹力设为W2时，就变为
F2＝-(P2×S2)+(P2×S1)-W2
而且，P1及P2为计示压力。
在F2＞F1的状态下阀体进行开阀动作，在F1＞F2的状态下阀体进行闭阀动作。依照该关系，本实施方式中，基于阀体主体261的背面261a的面积、隔膜175的面积、1次室172及2次室173的压力，设定W1及W2，大致将大气压作为基准调整压力而使得((P2×S2)+W2＜0时)阀体开闭。
即，当从隔膜175正变形的状态开始，利用功能液滴喷头41消耗(喷出)功能液，2次室173变为负压时，隔膜175即被大气压推压而从中立状态向负变形转移。这样，就会借助受压板253推压阀体176，缓慢地开阀。当阀体176打开时，功能液即经过连通流路174从1次室172流入2次室173。这样，2次室173的压力增大，阀体176缓慢地关闭。此后，在阀体176关闭后，负压保持弹簧268抵抗大气压而逐渐作用，使隔膜175发生正变形，并且使2次室173内成为轻微的负压状态。通过缓慢地反复进行所述的动作，就可以在将2次室173维持的压力的同时，供给功能液。
同样地，在功能液的初期填充中，也利用来自功能液滴喷头侧的功能液的强制抽吸进行所述的动作，向阀内流路填充功能液。而且，2次室173内的功能液的压力被负压保持弹簧268维持在低于大气压的压力。由此，通过将功能液滴喷头41(喷嘴面57)的位置、压力调整阀161(隔膜175的中心)的位置的高低差设为一定的值，来防止来自功能液滴喷头41的液滴垂落。
如图5所示，功能液滴喷头41及压力调整阀161的水位差被预先设定，基于该设定值来决定功能液滴喷头41及压力调整阀161的高低差。具体来说，基于所设定的水位差，来设定隔膜175的中心位置，使得与功能液滴喷头41的喷嘴面57的高度位置相比，隔膜175的中心位置的高度高出给定的高度。
另外，本实施方式中，基于压力调整阀161的高度位置，来设定功能液喷头91的高度位置，利用压力调整阀161的1次室172、功能液罐91的水位差(自然流下)，使得功能液从功能液罐91流向压力调整阀161。
另一方面，如图1所示，喷头维护装置5具备放置于机台2上并沿X轴方向延伸的移动台291、放置于移动台291上的抽吸组件292、被与抽吸组件292并排地配设于移动台291上的擦拭组件293。移动台291被可以沿X轴方向移动地构成，在功能液滴喷头41的维护时，使抽吸组件292及擦拭组件293适当地向维护区域33移动。而且，除了所述的各组件以外，最好在喷头维护装置5上还搭载检查从功能液滴喷头41中喷出的功能液滴的飞行状态的喷出检查组件、测定从功能液滴喷头41中喷出的功能液滴的重量的重量测定组件等。
如图1所示，抽吸组件292具有帽架301、与功能液滴喷头41的喷嘴面57密接的帽302、可以经过各帽302来抽吸(12个)功能液滴喷头41的单一的抽吸泵303、将各帽302和抽吸泵303连接的抽吸管道(图示略)。而且，虽然图示省略，但是在帽架301上，装入了利用马达驱动使各帽302升降的帽升降机构305，在抽吸管道的帽302的下流侧(抽吸泵303侧)，设有检测抽吸压力的抽吸压力检测传感器306、检测穿过抽吸管道的功能液的有无的液体检测传感器307。
这样，在进行功能液滴喷头41的抽吸的情况下，驱动帽升降机构305，使帽302与功能液滴喷头41的喷嘴面57密接，并且驱动抽吸泵303。这样，就可以借助帽302使抽吸力作用于功能液滴喷头41，从功能液滴喷头41中将功能液强制性地排出。该功能液的抽吸除了是为了消除/防止功能液滴喷头41的堵塞而进行的以外，在新设置了描画装置1的情况下，或进行功能液滴喷头41的喷头更换等情况下，是为了向从功能液罐91直至功能液滴喷头41的功能液流路中填充功能液而进行的。
如图1所示，擦拭组件293具备：利用卷绕马达312(图示略)的驱动在将卷绕成卷状的擦拭片313拉出的同时卷绕起来的卷绕组件311、具有清洗液喷嘴(喷雾喷嘴：图示略)并向拉出的擦拭片313上散布清洗液的清洗液供给组件314、用散布了清洗液的擦拭片313擦抹喷嘴面57的擦抹组件315。这样，通过使擦拭组件293面向位于维护区域33的喷头组件15，用浸渍了清洗液的擦拭片313对功能液滴喷头41的喷嘴面57进行擦拭动作(擦抹)，即将附着于喷嘴面57上的(功能液)污垢除去。
控制装置6由个人电脑等构成。虽然图示省略，但是在装置主体上，连接有键盘或鼠标等输入装置、FD驱动器或CD-ROM驱动器等各种驱动器(图示略)、监控显示器等周边机器。
下面，在参照图16的同时，对描画装置1的主控制系统进行说明。描画装置1具备：具有液滴喷出装置3的液滴喷出部321、具有喷头维护装置5的喷头维护部322、具有液滴喷出装置3或喷头维护装置5的各种传感器并进行各种检测的检测部323、驱动各部的驱动部324、被与各部连接并进行描画装置1整体的控制的控制部325(控制装置6)。
在控制部325中，具备：用于连接液滴喷出装置3及喷头维护装置5的界面331、具有可以暂时储存的存储区域并被作为用于控制处理的作业区域使用的RAM332、具有各种存储区域并储存控制程序或控制数据的ROM333、储存用于对工件W进行描画的描画数据、来自液滴喷出装置3及喷头维护装置5的各种数据等并且储存用于处理各种数据的程序等的硬盘334、依照储存在ROM333或硬盘334中的程序等对各种数据进行运算处理的CPU335、将它们相互连接的总线336。
这样，控制部325就将来自液滴喷出装置3、喷头维护装置5等的各种数据经过界面331输入，并且依照储存在硬盘334中的(或由CD-ROM驱动器等依次读出的)程序，使CPU335进行运算处理，通过将其处理结果经过界面331向液滴喷出装置3或喷头维护装置5等输出，来控制各机构。
但是，虽然所述的阀体施力弹簧267及负压保持弹簧268都作为将阀体176向关闭方向施力的复原弹簧发挥作用，但是还具有赋予密封力的作用，该密封力会按照在闭阀时不使功能液从与阀座密接的阀密封件263中漏出的方式密封。所以，就需要在导入密度不同的功能液的情况下使它们的弹力与密度匹配，即与1次室172和2次室173的压力差匹配地进行更换。具体来说，在导入密度大的功能液的情况下，通过将阀体施力弹簧267及负压保持弹簧268的至少一方设为弹力强的弹簧即可以解决。同样地，在导入密度小的功能液的情况下，通过将阀体施力弹簧267及负压保持弹簧268的至少一方设为弹力小的弹簧即可以解决。
所以，本实施方式中，如上所述地在外罩主体192的1次室172侧设置盖体190，通过将该盖体190取下，就可以更换阀体施力弹簧267。
盖体190被制成圆板状，在嵌合于形成于外罩主体192上的圆形安装槽199中的状态下，被4根埋头螺钉277自由拆装地安装于外罩主体192上。嵌合于圆形安装槽199中的盖体190被按照与外罩主体192的1次室172侧的面成为同一平面的方式形成，被按照不向压力调整阀161的厚度方向突出的方式配设。
在盖体190的内面，形成有将阀体施力弹簧267的一端定位的圆形凹槽273(基部锁合部)，并且在位于圆形凹槽273的外侧的位置上，形成有收容所述的衬垫196的盖体环状槽269。而且，在阀体主体261的喷头部上，形成有将阀体施力弹簧267的另一端定位的圆形阶梯部274(头端锁合部)(参照图10)。
此种构成中，在导入密度不同的功能液的情况下，将埋头螺钉277取下，继而将盖体190从外罩主体192上取下而将1次室172敞开，就可以将阀体施力弹簧267更换为合适的弹簧。另外，在将阀体施力弹簧267从1次室172中取出的状态下，阀体176也可以向1次室172侧拔出。所以，当导入不同密度的功能液，改变阀体施力弹簧267的弹力时，也可以将阀体176取出，更换阀密封件263。
所以，在用不同密度的功能液进行描画的情况下，可以更换为具备了与功能液的密度对应了的弹力的阀体施力弹簧267。由此，就不需要压力调整阀161的统一更换、压力调整阀161的定位高度的调整等。
另外，在用相对于阀体施力弹簧267及阀体176或衬垫196具有腐蚀性的功能液进行描画的情况下，用与所述实施方式相同的手法将盖体190取下，就可以将它们更换为耐腐蚀性材料部件。
下面，在参照图11的同时，对所述实施方式1的第1变形例进行说明。该变形例中，在本发明的阀体176上，在阀体176与阀体施力弹簧267锁合的部分，形成有头端锁合部287，其由承受来自阀体施力弹簧267的力的大致平坦的弹簧接受部285和从该弹簧接受部285朝向阀体施力弹簧侧成头端变细的锥面状延伸的圆锥凸部286构成。其圆锥凸部286的基端部具有与阀体施力弹簧267的内径大致相同的外径。另外，在盖体190与阀体施力弹簧267锁合的部分，形成有基端锁合部290，其由承受来自阀体施力弹簧267的力的大致平坦的弹簧接受部289和从该弹簧接受部朝向阀体施力弹簧侧成锥面状敞开的圆锥凹部289构成。其圆锥凹部289的基端部具有与阀体施力弹簧267的外径大致相同的内径。而且，也可以取代圆锥凹部289，在圆形凹槽273的内侧形成与阀体施力弹簧267的内侧相同的盖侧圆锥凸部289k。
此种构成中，在阀体施力弹簧267的更换作业中将阀体施力弹簧267与阀体176锁合时，通过将阀体施力弹簧267沿着所述圆锥凸部286的锥面推入，就可以容易地确保阀体176和阀体施力弹簧267的相对位置精度。同样地，在将盖体190与阀体施力弹簧267锁合时，利用基端部锁合部290的形状，可以容易地确保盖体190和阀体施力弹簧267的相对位置精度。
而且，本发明中，也可以取代盖体190的基端部锁合部290，或者取代阀体176的头端锁合部287，将盖体190或阀体176利用焊接或粘接与阀体施力弹簧267连结。另外，如果在所述的圆锥凸部286的头端设置略为向外突出的环状突出部，并且在所述的盖侧圆锥凸部289k上也设置相同的环状突出部，则可以不利用焊接等，将阀体176和阀体施力弹簧267，或将盖体190和阀体施力弹簧267连结。
此种构成中，在阀体施力弹簧267的更换作业中，可以通过将盖体190从外罩主体192上取下而将阀体施力弹簧267也同时地从阀体176上取下。其结果是，可以在短时间内完成更换作业。另外，还可以确保盖体190和阀体施力弹簧267的相对位置精度。
所述第2变形例中，虽然对于连结了盖体190和阀体施力弹簧267的方式进行了说明，但是利用连结了阀体施力弹簧267和阀体176的方式，以及连结了盖体190和阀体施力弹簧267和阀体176这3个构件的方式，也可以获得相同的效果。
下面将参照图12，对实施方式2进行说明。该实施方式中，将负压保持弹簧268设为可以更换的弹簧，以下的说明中仅对与实施方式1不同的部分进行说明。而且，由于通过将负压保持弹簧268的弹力更换为合适的弹力来应对由导入不同密度的功能液引起的1次室172和2次室173的压力差的变化，因此不一定需要所述的自由拆装的盖体190。
如同图所示，隔膜175在保持必需的拉伸力的状态下，被埋头螺钉276固定于环状平板193和伸张设置环(隔膜夹具)278之间而一体化。另外，被与隔膜175及伸张设置环278一体化了的环状平板193被埋头螺钉275夹隔附设于外罩主体环状槽251上的衬垫197，自由拆装地安装于外罩主体192上。而且，在外罩主体192上，形成有伸张设置环用圆形凹槽279，将伸张设置环278隐蔽起来。
该构成中，在用不同密度的功能液进行描画的情况下，通过将被埋头螺钉275与隔膜175及伸张设置环278一体化了的环状平板193取下，就可以更换为具备了与功能液的密度对应了的弹力的负压保持弹簧268。另外，此时，不需要进行隔膜175的伸张调整。而且，在可以利用夹具等容易地进行隔膜175的伸张调整的情况下，在实施方式1的构成中，也可以将环状平板193及隔膜175取下而更换负压保持弹簧268。
下面，参照图13、14、15，对实施方式3的压力调整阀161进行详细说明。该压力调整阀161也是在阀外罩171内，形成了与功能液罐91相连的1次室172、与功能液滴喷头41相连的2次室173、将1次室172及2次室173连通的连通流路174的构件，在2次室173的1个面上面向外部地设有隔膜175，在连通流路174中设有利用隔膜175进行开闭动作的阀体176。从功能液罐91导入1次室172的功能液被经过2次室173向功能液滴喷头41供给，而此时通过利用隔膜175以大气压作为调整基准压力，使设于连通流路174中的阀体176进行开闭动作，就能够进行2次室173的压力调整。
该压力调整阀161的阀外罩171由在内部形成了1次室172的1次室外罩294、在内部形成了2次室173的2次室外罩295、在2次室外罩295上固定隔膜175的环状平板193这3个构件构成。1次室外罩294、2次室外罩295及环状平板193在相对于1次室外罩294，从前后将环状平板193及1次室外罩294重叠，用多根带有阶梯的平行销栓分别定位后，被旋紧固定。这样，1次室外罩294及2次室外罩295就被夹隔O形环196相互气密性地对顶接合，2次室外罩295及环状平板193通过将隔膜175的缘部及衬垫197夹入而被相互气密性地对顶接合。
另外，在形成于1次室294的背面上部的上部凸台部198上，形成有与功能液罐91相连的流入端口201及1次室排气端口202。1次室排气端口202沿上下方向延伸，流入端口201倾斜地延伸。流入端口201的上流端与流入连接器182连通，下流端与1次室172连通。
在2次室外罩295上，形成有将用于安装隔膜175的前面敞开了的2次室173的主室221和与主室221相连的弹簧室222、将弹簧室222和1次室172连通的所述的连通流路174。
2次室排气端口231(2次室侧排气部)及流出端口241与2次室173(主室221)在上下连通，流出端口241位于2次室外罩295的背面下部，而向前后方向倾斜地延伸，在下流端与流出连接器183螺合。
隔膜175由用树脂薄膜制成的隔膜主体252、贴附在隔膜252的内侧的树脂性的受压板253构成。隔膜175被与从外侧附设在其上的衬垫197一起由环状平板193气密性地固定于2次室外罩295的前面。
阀体176由圆板状的阀体主体261、从阀体主体261的中心使截面成为「T」字形地沿一个方向延伸的轴部262、设于(粘接于)阀体主体261的轴部侧(前面)的环状的阀密封件263构成。阀体主体261及轴部262被用不锈钢等耐腐蚀材料一体化地形成，在阀体主体261的前面，在位于轴部262的外侧的位置，形成有环状的小突起264。阀密封件263例如由软质的硅橡胶构成，在其前面，与所述的小突起264对应，形成有成为环状的突起的密封突起265。
这样，轴部262就被自由滑动地游嵌于连通流路174中，在闭阀状态下其头端(前端)与处于中立位置的隔膜175的受压板253顶靠。即，在隔膜175向外侧鼓出的正变形的状态下，在轴部262的前端和受压板253之间产生给定的间隙，当从该状态开始隔膜175向负方向侧变形时，即以与环状平板193平行的中立状态使轴部262的前端和受压板253顶靠，当隔膜175的负变形进一步发展时，则受压板253就会借助轴部262推压阀体主体261而使之打开。
另一方面，在阀体176的背面和1次室172的后面壁之间，夹设有将阀体172向2次室173侧，即向闭阀方向施力的阀体施力弹簧267。
此种构成中，由于1次室外罩294被自由拆装地螺旋固定于2次室295上，因此在用不同密度的功能液进行描画的情况下，就可以将1次室外罩294从2次室外罩295上取下，将阀体施力弹簧267更换为具备了与功能液的密度对应了的弹力的弹簧。
下面，作为使用本实施方式的描画装置1制造的电光学装置(平板显示器)，以滤色片、液晶显示装置、有机EL装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)以及形成于这些显示装置中的有源基板等为例，对它们的构造及其制造方法进行说明。而且，所谓有源矩阵基板是指，形成了薄膜晶体管及与薄膜晶体管电连接的电源线、数据线的基板。
首先，对装入液晶形式装置及有机EL装置等中的滤色片的制造方法进行说明。图17是表示滤色片的制造工序的流程图，图18是依照制造工序的顺序表示的本实施方式的滤色片500(过滤片基体500A)的示意性剖面图。
首先，在黑矩阵形成工序(S51)中，如图18(a)所示，在基板(W)501上形成黑矩阵502。黑矩阵502由金属铬、金属铬和氧化铬的叠层体或树脂黑等形成。在形成由金属薄膜制成的黑矩阵502时，可以使用溅射法或蒸镀法等。另外，在形成由树脂薄膜构成的黑矩阵502的情况下，可以使用凹版印刷法、光刻法、热转印法等。
接下来，在堤堰形成工序(S52)中，以重叠于黑矩阵502上的状态形成堤堰503。即，首先如图18(b)所示，按照覆盖基板501及黑矩阵502的方式，形成由负型的透明的感光性树脂构成的光刻胶层504。此后，在将其上面用被制成矩阵图案形状的掩模薄膜505覆盖的状态下进行曝光处理。
继而，如图18(c)所示，通过对光刻胶层504的未曝光部分进行蚀刻处理，对光刻胶层504进行图案处理，形成堤堰503。而且，当利用树脂黑形成黑矩阵时，可以兼用黑矩阵和堤堰。
该堤堰503和其下的黑矩阵502成为将各象素区域507a分区的分区壁部507b，在后面的着色层形成工序中利用功能液滴喷头41形成着色层(成膜部)508R、508G、508B时规定功能液滴的命中区域。
通过经过以上的黑矩阵形成工序及堤堰形成工序，即可获得所述过滤片基体500A。
本实施方式中，作为堤堰503的材料，使用涂膜表面成为疏液(疏水)性的树脂材料。这样，由于基板(玻璃基板)501的表面为亲液(亲水)性，因此在后述的着色层形成工序中向被堤堰503(分区壁部507b)包围的各象素区域507a内的液滴的命中位置精度提高。
然后，在着色层形成工序(S53)中，如图18(d)所示，利用功能液滴喷头41喷出功能液滴，使之命中由分区壁部507b包围的各象素区域507a内。此时，使用功能液滴喷头41，导入R·G·B三色的功能液(过滤片材料)，进行功能液滴的喷出。而且，作为R·G·B三色的排列图案，有条纹排列、马赛克排列及三角形排列等。
其后，经过干燥处理(加热等处理)使功能液定影，形成三色的着色层508R、508G、508B。在形成了着色层508R、508G、508B后，则转移至保护膜形成工序(S54)，如图18(e)所示，按照覆盖基板501、分区壁部507b及着色层508R、508G、508B的上面的方式，形成保护膜509。
即，在向基板501的形成有着色层508R、508G、508B的面全体喷出了保护膜用涂布液后，经过干燥处理形成保护膜509。
此后，在形成了保护膜509后，滤色片500转移至成为下一工序的透明电极的ITO(Indium Tin Oxide)等的加膜工序。
图19是表示作为使用了所述的滤色片500的液晶显示装置的一个例子的无源矩阵型液晶装置(液晶装置)的概略构成的要部剖面图。在该液晶装置520上，通过安装液晶驱动用IC、背光灯、支撑体等附带要素，即获得作为最终产品的透过型液晶显示装置。而且，滤色片500由于是与图18所示的构件相同的构件，因此对于对应的部位使用相同的符号，将其说明省略。
该液晶装置520大致由滤色片500、由玻璃基板等制成的对置基板521及由被夹持在它们之间的STN(Super Twisted Nematic)液晶组合物构成的液晶层522构成，将滤色片500配置在图中上侧(观测者侧)。
而且，虽然未图示，但是在对置基板521及滤色片500的外面(与液晶层522侧相反一侧的面)上分别配设有偏光片，另外在位于对置基板521侧的偏光片的外侧，配设有背光灯。
在滤色片500的保护膜509上(液晶层侧)，以给定的间隔形成有多个在图19中沿左右方向尺寸较长的长方形的第1电极523，按照将该第1电极523的与滤色片500侧相反一侧的面覆盖的方式，形成有第1取向膜524。
另一方面，在对置基板521的与滤色片500相面对的面上，以给定间隔形成有多个沿与滤色片500的第1电极523正交的方向尺寸较长的长方形的第2电极526，按照覆盖该第2电极526的液晶层522侧的面的方式，形成有第2取向膜527。这些第1电极523及第2电极526由ITO等透明导电材料形成。
设于液晶层522内的隔块528是用于将液晶层522的厚度(盒间隙)保持一定的构件。另外，密封材料529是用于防止液晶层522内的液晶组合物向外部漏出的构件。而且，第1电极523的一个端部作为环绕配线523a延伸至密封材料529的外侧。
此外，第1电极523和第2电极525交叉的部分为象素，滤色片500的着色层508R、508G、508B位于该成为象素的部分。
通常的制造工序中，在滤色片500上，进行第1电极523的图案处理及第1取向膜524的涂布，制成滤色片500侧的部分，并且与之独立地在对置基板521上，进行第2电极526的图案处理及第2取向膜527的涂布，制成对置基板521侧的部分。其后，在对置基板521侧的部分加入隔块528及密封材料529，在该状态下，贴合滤色片500侧的部分。然后，从密封材料529的注入口将构成液晶层522的液晶，将注入口封闭。其后，层叠两偏光片及背光灯。
实施方式的描画装置1例如能够在涂布构成所述的盒间隙的隔块材料(功能液)，并且在对置基板521侧的部分上贴合滤色片500侧的部分之前，向被密封材料529包围的区域均一地涂布液晶(功能液)。另外，还可以用功能液滴喷头41进行所述的密封材料529的印刷。另外，还可以用功能液滴喷头41进行第1·第2两取向膜524、527的涂布。
图20是表示使用了本实施方式中制造的滤色片500的液晶装置的第2例的概略构成的要部剖面图。
该液晶装置530与所述液晶装置520最大不同的方面在于，将滤色片500配置在了图中下侧(与观测者相反的一侧)。
该液晶装置530大致通过在滤色片500和由玻璃基板等制成的对置基板531之间夹持有由STN液晶构成的液晶层532而构成。而且，虽然未图示，但是在对置基板531及滤色片500的外面分别配设有偏光片等。
在滤色片500的保护膜509上(液晶层532侧)，以给定的间隔形成有多个在图中向里方向上尺寸较长的长方形的第1电极533，按照覆盖该第1电极533的液晶层532侧的面的方式形成有第1取向膜534。
在对置基板531的与滤色片500相面对的面上，以给定的间隔形成有沿与滤色片500侧的第1电极533正交的方向延伸的多个长方形的第2电极536，按照覆盖该第2电极536的液晶层532侧的面的方式形成有第2取向膜537。
在液晶层532中，设有用于将该液晶层532的厚度保持一定的隔块538、用于防止液晶层532内的液晶组合物向外部漏出的密封材料539。
此外，与所述的液晶装置520相同，第1电极533和第2电极536的交叉的部分为象素，滤色片500的着色层508R、508G、508B位于该成为象素的部分。
图21是表示使用应用了本发明的滤色片500构成液晶装置的第3例的图，是表示透过型的TFT(Thin Film Transistor)型液晶装置的概略构成的分解立体图。
该液晶装置550是将滤色片500配置于图中上侧(观测者侧)的装置。
该液晶装置550大致由滤色片500、被与之相面对地配置的对置基板551、夹持在它们之间的未图示的液晶层、配置于滤色片500的上面侧(观测者侧)的偏光片555、配设于对置基板551的下面侧的偏光片(未图示)构成。
在滤色片500的保护膜509的表面(对置基板551侧的面)上形成有液晶驱动用的电极556。该电极556由ITO等透明导电材料制成，成为将形成后述的象素电极560的区域整体覆盖的全面电极。另外，取向膜557被以覆盖该电极556的与象素电极560相反一侧的面的状态设置。
在对置基板551的与滤色片500相面对的面上形成有绝缘层558，在该绝缘层558上，以相互正交的状态形成有扫描线561及信号线562。此外，在被这些扫描线561和信号线562包围的区域内形成有象素电极560。而且，虽然在实际的液晶装置中，在象素电极560上设有取向膜，但是将图示省略。
另外，在由象素电极560的缺口部和扫描线561和信号线562包围的部分中，装入具备源电极、漏电极、半导体及门电极的薄膜晶体管563。这样，通过对扫描线561和信号线562施加信号而将薄膜晶体管563开关，就可以进行对象素电极560的通电控制。
而且，所述的各例的液晶装置520、530、550虽然采用了透过型的构成，但是也可以设置反射层或半透过反射层，形成反射型的液晶装置或半透过反射型的液晶装置。
下面，图22是有机EL装置的显示区域(以下简称为显示装置600)的要部剖面图。
该显示装置600大致以在基板(W)601上，层叠了电路元件部602、发光元件部603及阴极604的状态构成。
在该显示装置600中，从发光元件部603向基板601侧发出的光透过电路元件部602及基板601而被向观测者侧射出，并且从发光元件部603向基板601的相反一侧发出的光在被阴极604反射后，透过电路元件部602及基板601而被向观测者侧射出。
在电路元件部602和基板601之间形成有由硅氧化膜构成的基底保护膜606，在该基底保护膜606上(发光元件部603侧)形成有由多晶硅构成的岛状的半导体膜607。在该半导体膜607的左右的区域中，通过打入高浓度阳离子分别形成有源区域607a及漏区域607b。这样，未被打入阳离子的中央部就成为通道区域607c。
另外，在电路元件部602上，形成有覆盖基底保护膜606及半导体膜607的透明的门绝缘膜608，在该门绝缘膜608上的与半导体膜607的通道区域607c对应的位置上，形成有例如由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的门电极609。在该门电极609及门绝缘膜608上，形成有透明的第1层间绝缘膜611a和第2层间绝缘膜611b。另外，贯穿第1、第2层间绝缘膜611a、611b，形成有与半导体膜607的源区域607a、漏区域607b分别连通的接触孔612a、612b。
此外，在第2层间绝缘膜611b上，以给定的形状图案处理而形成由ITO等构成的透明的象素电极613，该象素电极613穿过接触孔612a而与源区域607a连接。
另外，在第1层间绝缘膜611a上配设有电源线614，该电源线614穿过接触孔612b而与漏区域607b连接。
像这样，在电路元件部602上，分别形成有与各象素电极613连接的驱动用的薄膜晶体管615。
所述发光元件部603大致由分别层叠于多个象素电极613上的功能层617、设于各象素电极613及功能层617之间而将各功能层617分区的堤堰部618构成。
由这些象素电极613、功能层617及配设于功能层617上的阴极604构成发光元件。而且，象素电极613被以俯视近似矩形的形状图案处理而形成，在各象素电极613之间形成有堤堰部618。
堤堰部618由例如由SiO、SiO2、TiO2等无机材料形成的无机物堤堰层618a(第1堤堰层)、被层叠于该无机物堤堰层618a上并由丙烯酸树脂、聚亚酰胺树脂等耐热性、耐溶剂性优良的光刻胶形成的截面为梯形的有机物堤堰层618b(第2堤堰层)构成。该堤堰部618的一部分被以骑跨在象素电极613的周缘部上的状态形成。
此外，在各堤堰部618之间，形成有相对于象素电极613向上方逐渐扩展开的开口部619。
所述功能层617由在开口部619内被以层叠状态形成于象素电极613上的空穴注入/输送层617a、形成于该空穴注入/输送层617a上的发光层617b构成。而且，也可以与该发光层617b相邻地再形成具有其他的功能的其他的功能层。例如，也可以形成电子输送层。
空穴注入/输送层617a具有从象素电极613侧输送空穴而注入发光层617b的功能。该空穴注入/输送层617a是通过喷出含有空穴注入/输送层形成材料的第1组合物(功能液)而形成的。作为空穴注入/输送层形成材料，使用公知的材料。
发光层617b是发出红色(R)、绿色(G)或蓝色(B)的任意一种光的层，通过喷出含有发光层形成材料(发光材料)的第2组合物(功能液)而形成。作为第2组合物的溶剂(非极性溶剂)优选使用相对于空穴注入/输送层617a不溶的公知的材料，通过将此种非极性溶剂用于发光层617b的第2组合物中，就可以不使空穴注入/输送层617a再溶解地形成发光层617b。
这样，发光层617b中，从空穴注入/输送层617a注入的空穴、从阴极604注入的电子就会在发光层中复合而发光。
阴极604被以覆盖发光元件部603的全面的状态形成，与象素电极613构成一对而起到在功能层617中流过电流的作用。而且，在该阴极604的上部配置有未图示的密封构件。
下面，参照图23～图31，对所述的显示装置600的制造工序进行说明。
该显示装置600如图23所示，是经过堤堰部形成工序(S61)、表面处理工序(S62)、空穴注入/输送层形成工序(S63)、发光层形成工序(S64)及对置电极形成工序(S65)而制造的。而且，制造工序并不限定于例示的情况，也有根据需要删除或追加其他的工序的情况。
首先，在堤堰部形成工序(S61)中，如图24所示，在第2层间绝缘膜617b上形成无机物堤堰层618a。该无机物堤堰层618a是通过在形成位置上形成了无机物膜后，对该无机物膜利用光刻技术等进行图案处理而形成的。此时，无机物堤堰层618a的一部分被与象素电极613的周缘部重合地形成。
形成了无机物堤堰层618a后，如图25所示，在无机物堤堰层618a上形成有机物堤堰层618b。该有机物堤堰层618b也与无机物堤堰层618a相同，利用光刻技术等进行图案处理而形成。
像这样就形成堤堰部618。另外，与之相伴，在各堤堰部618之间形成相对于象素电极613向上方开口的开口部619。该开口部619规定象素区域。
表面处理工序(S62)中，进行亲液化处理及疏液化处理。实施亲液化处理的区域是无机物堤堰层618a的第1叠层部618a及象素区域613的电极面613a，这些区域被例如以氧作为处理气体的等离子体处理将表面处理为亲液性。该等离子体处理还兼作作为象素电极613的ITO的清洗等。
另外，疏液化处理是对有机物堤堰层618b的壁面618s及有机物堤堰层618b的上面618t实施的，利用例如以四氟化甲烷为处理气体的等离子体处理对表面进行氟化处理(处理为疏液性)。
通过进行该表面处理工序，在使用功能液滴喷头41形成功能层617时，就可以使功能液滴更为可靠地命中象素区域，另外能够防止命中了象素区域的功能液滴从开口部619中溢出的情况。
这样，通过经过以上的工序，就可以得到显示装置基体600A。该显示装置基体600A被放置于图1所示的描画装置1的定位台23上，进行以下的空穴注入/输送层形成工序(S63)及发光层形成工序(S64)。
如图26所示，在空穴注入/输送层形成工序(S63)中，从功能液滴喷头41中将含有空穴注入/输送层形成材料的第1组合物向作为象素区域的各开口部619内喷出。其后，如图27所示，进行干燥处理及热处理，使第1组合物中所含的极性溶剂蒸发，在象素电极(电极面613a)617上形成空穴注入/输送层617a。
下面，对发光层形成工序(S64)进行说明。该发光层形成工序中，如上所述，为了防止空穴注入/输送层617a的再次溶解，作为发光层形成之时所使用的第2组合物的溶剂，使用相对于空穴注入/输送层617a不溶的非极性溶剂。
但是，另一方面，空穴注入/输送层617a由于相对于非极性溶剂的亲和性低，因此即使将含有非极性溶剂的第2组合物向空穴注入/输送层617a上喷出，也可能无法使空穴注入/输送层617a和发光层617b密接，或者可能无法均一地涂布发光层617b。
所以，为了提高空穴注入/输送层617a相对于非极性溶剂以及发光层形成材料的表面的亲和性，最好在发光层形成之前进行表面处理(表面改性处理)。该表面处理是通过将作为与发光层形成之时所使用的第2组合物的非极性溶剂相同的溶剂或与之类似的溶剂的表面改性材料涂布在空穴注入/输送层617a上，并使之干燥而进行的。
通过实施此种处理，空穴注入/输送层617a的表面就容易与非极性溶剂亲和，在其后的工序中，就可以将含有发光层形成材料的第2组合物均一地涂布在空穴注入/输送层617a上。
此后，如图28所示，将含有与各色当中的任意一种(图28的例子中为蓝色(B))对应的发光层形成材料的第2组合物作为功能液滴，向象素区域(开口部619)内打入给定量。被打入了象素区域内的第2组合物在空穴注入/输送层617a上展开而被充满于开口部619内。而且，即使万一第2组合物脱离象素区域而命中了堤堰部618的上面618t时，由于该上面618t被如上所述地实施了疏液处理，因此第2组合物会很容易滚入开口部619内。
其后，通过进行干燥工序等，对喷出后的第2组合物进行干燥处理，使第2组合物中所含的非极性溶剂蒸发，换句话说，在空穴注入/输送层617a上形成发光层617b。该图的情况下，形成与蓝色(B)对应的发光层617b。
同样地，使用功能液滴喷头41，如图30所示，依次进行与对应于所述的蓝色(B)的发光层617b的情况相同的工序，形成与其他的颜色(红色(R)及绿色(G))对应的发光层617b。而且，发光层617b的形成顺序并不限定于例示的顺序，以何种顺序来形成都可以。例如，也可以与发光层形成材料对应地决定形成的顺序。另外，作为R·G·B三色的排列图案，有条纹排列、马赛克排列及三角形排列等。
如上所示，在象素电极613上，形成功能层617，即空穴注入/输送层617a及发光层617b。此后，转移至对置电极形成工序(S65)。
对置电极形成工序(S65)中，在发光层617b及有机物堤堰层618b的全面上，比如说例如，利用蒸镀法、溅射法、CVD法等形成阴极604(对置电极)。该阴极604在本实施方式中，例如通过将钙层和铝层层叠而构成。
在该阴极604的上部，适当地设有作为电极的Al膜、Ag膜或用于防止其氧化的SiO2、SiN等保护层。
在像这样形成了阴极604后，通过实施利用密封构件将该阴极604的上部密封的密封处理或配线处理等其他的处理等，就可以得到显示装置600。
下面，图32是等离子体型显示装置(PDP装置：以下简称为显示装置700)的要部分解立体图。而且，同图中将显示装置700以切掉其一部分的状态表示。
该显示装置700大致包括被相互面对地配置的第1基板701、第2基板702及形成于它们之间的放电显示部703。放电显示部703由多个放电室705构成。按照使这些多个放电室705当中的红色放电室705R、绿色放电室705G、蓝色放电室705B这三个放电室705形成一组，构成1个象素的方式配置。
在第1基板701的上面以给定的间隔成条纹状地形成地址电极706，按照覆盖该地址电极706和第1基板701的上面的方式形成电介质层707。在电介质层707上，按照位于各地址电极706之间，并且沿着各地址电极706的方式，竖立设置有隔壁708。该隔壁708包括如图所示沿地址电极706的宽度方向两侧延伸的部分、沿与地址电极706正交的方向延伸设置的未图示的部分。
这样，由该隔壁708分隔的区域就成为放电室705。
在放电室705内配置有荧光体709。荧光体709是发出红(R)、绿(G)、蓝(B)的任意一种颜色的荧光的物质，在红色放电室705R的底部配置有红色荧光体709R，在绿色放电室705G的底部配置有绿色荧光体709G，在蓝色放电室705B的底部配置有蓝色荧光体709B。
在第2基板702的图中下侧的面上，沿与所述地址电极706正交的方向以给定的间隔成条纹状地形成有多个显示电极711。此外，按照覆盖它们的方式形成有电介质层712及由MgO等构成的保护膜713。
第1基板701和第2基板702被以使地址电极706和显示电极711相互正交的状态相面对地贴合。而且，所述地址电极706和显示电极711被与未图示的交流电源连接。
这样，通过向各电极706、711通电，在放电显示部703中荧光体709激发发光，从而能够进行彩色显示。
本实施方式中，可以使用图1所示的描画装置1形成所述地址电极706、显示电极711及荧光体709。以下将例示第1基板701的地址电极706的形成工序。
此时，在将第1基板701放置于描画装置1的定位台23上的状态下进行以下的工序。
首先，利用功能液滴喷头41，将含有导电膜配线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴，使之命中地址电极形成区域。该液体材料是作为导电膜配线形成用材料，将金属等导电性微粒分散在了分散剂中的材料。作为该导电性微粒，可以使用含有金、银、铜、钯或镍等的金属微粒或导电性聚合物等。
当对于成为补充对象的全部的地址电极形成区域的液体材料的补充结束后，即通过对喷出后的液体材料进行干燥处理，使液体材料中所含的分散剂蒸发，形成地址电极706。
但是，在所述说明中虽然例示了地址电极706的形成，然而对于所述显示电极711及荧光体709，也可以通过经过所述各工序来形成。
对于形成显示电极711的情况，与地址电极706的情况相同，将含有导电膜配线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴，使之命中显示电极形成区域。
另外，在形成荧光体709的情况下，将含有与各色(R、G、B)对应的荧光材料的液体材料(功能液)从功能液滴喷头41中作为液滴喷出，使之命中对应的颜色的放电室705内。
下面，图33是电子发射装置(也称作FED装置或SED装置：以下简称为显示装置800)的要部剖面图。而且，同图中，将显示装置800的局部作成剖面而表示。
该显示装置800大致包括被相互面对地配置的第1基板801、第2基板802及形成于它们之间的电场发射显示部803。电场发射显示部803由配置为矩阵状的多个电子发射部805构成。
在第1基板801的上面，相互正交地形成有构成负极806的第1元件电极806a及第2元件电极806b。另外，在由第1元件电极806a及第2元件电极806b分隔的部分中，形成有形成了间隙808的导电性膜807。即，由第1元件电极806a、第2元件电极806b及导电性膜807构成多个电子发射部805。导电性膜807例如由氧化钯(PdO)等构成，另外间隙808是在使导电性膜807成膜后，利用冲压等而形成的。
在第2基板802的下面，形成有与负极806对峙的正极809。在正极809的下面，形成有格子状的堤堰部811，在被该堤堰部811包围的向下的各开口部812中，与电子发射部805对应地配置有荧光体813。荧光体813是发出红(R)、绿(G)、蓝(B)的任意一种颜色的荧光的物质，在各开口部812中，以所述的给定的图案配置有红色荧光体813R、绿色荧光体813G及蓝色荧光体813B。
此外，如此构成的第1基板801和第2基板802被留有微小的间隙地贴合。该显示装置800中，夹隔导电性膜(间隙808)807，从作为阴极的第1元件电极806a或第2元件电极806b中飞出的电子与形成于作为阳极的正极809上的荧光体813碰撞而激发发光，从而能够进行彩色显示。
该情况下，也与其他的实施方式相同，可以使用液滴喷出装置1形成第1元件电极806a、第2元件电极806b、导电性膜807及正极809，并且可以使用描画装置1形成各色的荧光体813R、813G、813B。
第1元件电极806a、第2元件电极806b及导电性膜807具有图34(a)所示的俯视形状，在使它们成膜的情况下，如图34(b)所示，预先留下加入第1元件电极806a、第2元件电极806b及导电性膜807的部分，形成堤堰部BB(光刻法)。然后，在由堤堰部BB构成的槽部分中，形成第1元件电极806a及第2元件电极806b(利用描画装置1实施的喷墨法)，在使其溶剂干燥而进行了成膜后，形成导电性膜807(利用描画装置1实施的喷墨法)。此后，在形成了导电性膜807后，将堤堰部BB去除(磨光剥离处理)，转移至所述的冲压处理。而且，与所述的有机EL装置的情况相同，最好进行对第1基板801及第2基板802的亲液化处理、对堤堰部811、BB的疏液化处理。
另外，作为其他的电光学装置，可以考虑金属配线形成、透镜形成、光刻胶形成及光扩散体形成等装置。通过将所述的描画装置1用于各种电光学装置(设备)的制造中，就可以有效地制造各种电光学装置。

Claims (14)

1.一种压力调整阀，是如下的压力调整阀，即，
被夹设于用于喷出功能液滴而对工件进行描画的功能液滴喷头和向所述功能液滴喷头供给功能液的功能液罐之间，
将从所述功能液罐向1次室导入的功能液经过2次室向所述功能液滴喷头供给的同时，将构成所述2次室的1个面并面向大气的隔膜所承受的大气压作为基准调整压力，对连通所述1次室和所述2次室的连通流路进行开闭，
该压力调整阀的特征在于，
具备：在所述功能液罐侧形成了所述1次室、在所述功能液滴喷头侧形成了所述2次室、并且利用所述连通流路将所述1次室和所述2次室连通的阀外罩；对所述连通流路进行开闭的阀体；将所述阀外罩的弹簧接受部作为支撑物而将所述阀体向闭阀方向施力的阀体施力弹簧，
所述阀外罩由外罩主体、及具有所述弹簧接受部并且被自由拆装地安装于所述外罩主体上的盖体构成，
在所述盖体的基端锁合部连结所述阀体施力弹簧的一端部，
所述阀体施力弹簧伴随着所述盖体的脱离而能够与其一同相对于所述外罩主体进行脱离。
2.根据权利要求1所述的压力调整阀，其特征是，所述阀体伴随着所述阀体施力弹簧的脱离而能与所述外罩主体脱离。
3.根据权利要求1所述的压力调整阀，其特征是，将所述阀体施力弹簧和所述阀体的头端锁合部连结。
4.根据权利要求1所述的压力调整阀，其特征是，所述阀体由圆板状的阀体主体、从所述阀体主体的中心向所述连通流路的方向延伸的轴部、及在所述阀体主体的所述轴部侧的面设置的环状的阀密封件构成。
5.根据权利要求1所述的压力调整阀，其特征是，所述阀体施力弹簧由螺旋弹簧构成，在所述阀体上，设有与所述阀体施力弹簧的所述阀体侧头端部在定位状态下锁合的头端锁合部。
6.根据权利要求1所述的压力调整阀，其特征是，在所述盖体上，设有与所述阀体施力弹簧的在盖体侧基端部在定位状态下锁合的所述基端锁合部。
7.一种压力调整阀，是如下的压力调整阀，即，
被夹设于用于喷出功能液滴而对工件进行描画的功能液滴喷头和向所述功能液滴喷头供给功能液的功能液罐之间，
将从所述功能液罐向1次室导入的功能液经过2次室向所述功能液滴喷头供给的同时，将构成所述2次室的1个面并面向大气的隔膜所承受的大气压作为基准调整压力，对连通所述1次室和所述2次室的连通流路进行开闭，
该压力调整阀的特征在于，
具备：在所述功能液罐侧形成了所述1次室、在所述功能液滴喷头侧形成了所述2次室、并且利用所述连通流路将所述1次室和所述2次室连通的阀外罩；对所述连通流路进行开闭的阀体；将所述阀外罩的弹簧接受部作为支撑物而将所述阀体向闭阀方向施力的阀体施力弹簧，
所述阀外罩由形成了所述2次室及所述连通流路的2次室外罩、及具有所述弹簧接受部并被自由拆装地安装于所述2次室外罩上的1次室外罩构成，
所述阀体施力弹簧伴随着所述1次室外罩的脱离而可以相对于所述2次室外罩脱离。
8.一种压力调整阀，是如下的压力调整阀，即，
被夹设于用于喷出功能液滴而对工件进行描画的功能液滴喷头和向所述功能液滴喷头供给功能液的功能液罐之间，
将从所述功能液罐向1次室导入的功能液经过2次室向所述功能液滴喷头供给的同时，将构成所述2次室的1个面并面向大气的隔膜所承受的大气压作为基准调整压力，对连通所述1次室和所述2次室的连通流路进行开闭，
该压力调整阀的特征在于，
具备：在所述功能液罐侧形成了所述1次室、在所述功能液滴喷头侧形成了所述2次室、并且利用所述连通流路将所述1次室和所述2次室连通的阀外罩；对所述连通流路进行开闭的阀体；将所述阀外罩的弹簧接受部作为支撑物而将所述阀体向闭阀方向施力的阀体施力弹簧；以及对所述隔膜向抵抗大气压的方向施力的负压保持弹簧，
所述隔膜被自由拆装地安装于所述阀外罩上，所述负压保持弹簧伴随着所述隔膜的脱离而可以与所述阀外罩脱离。
9.根据权利要求8所述的压力调整阀，其特征是，还具备将所述隔膜在伸张设置的状态下保持的隔膜夹具，
所述隔膜借助所述隔膜夹具而自由拆装地安装于所述阀外罩上。
10.一种功能液供给装置，其特征是，具备：
功能液罐、
连接所述功能液罐和功能液滴喷头的功能液流路、
夹设于功能液流路中的权利要求1、7或者8所述的压力调整阀。
11.一种描画装置，其特征是，具备：
权利要求10所述的功能液供给装置、
功能液滴喷头、
使所述功能液滴喷头相对于工件相对地移动的移动机构。
12.一种电光学装置的制造方法，其特征是，使用权利要求11所述的描画装置，在工件上形成基于功能液滴的成膜部。
13.一种电光学装置，其特征是，使用权利要求11所述的描画装置，在工件上形成基于功能液滴的成膜部。
14.一种电子设备，其特征是，搭载了利用权利要求12所述的电光学装置的制造方法制造的电光学装置或权利要求13所述的电光学装置。
CNB2005101200133A 2004-11-19 2005-11-08 压力调整阀、功能液供给装置、及描画装置 Active CN100391743C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004336346A JP4258462B2 (ja) 2004-11-19 2004-11-19 圧力調整弁、機能液供給装置および描画装置
JP2004336346 2004-11-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1775532A CN1775532A (zh) 2006-05-24
CN100391743C true CN100391743C (zh) 2008-06-04

Family

ID=36459845

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2005101200133A Active CN100391743C (zh) 2004-11-19 2005-11-08 压力调整阀、功能液供给装置、及描画装置

Country Status (5)

Country Link
US (2) US7458663B2 (zh)
JP (1) JP4258462B2 (zh)
KR (2) KR100747914B1 (zh)
CN (1) CN100391743C (zh)
TW (3) TWI324564B (zh)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4258462B2 (ja) * 2004-11-19 2009-04-30 セイコーエプソン株式会社 圧力調整弁、機能液供給装置および描画装置
US7341328B2 (en) * 2004-12-06 2008-03-11 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printer with two-stage capping mechanism
US8133629B2 (en) 2007-03-21 2012-03-13 SOCIéTé BIC Fluidic distribution system and related methods
US8679694B2 (en) * 2007-03-21 2014-03-25 Societe Bic Fluidic control system and method of manufacture
JP4888259B2 (ja) * 2007-07-10 2012-02-29 セイコーエプソン株式会社 流体噴射装置
JP2009106880A (ja) * 2007-10-31 2009-05-21 Seiko Epson Corp 流体機器におけるフィルタの取付構造、これを備えた圧力調整弁および機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置
JP5194736B2 (ja) * 2007-11-20 2013-05-08 セイコーエプソン株式会社 フィルタ
CN101680559B (zh) * 2007-12-07 2012-04-18 日酸田中株式会社 压力调节阀
KR101249436B1 (ko) * 2009-01-14 2013-04-03 가부시키가이샤 미마키 엔지니어링 잉크젯 프린터용 조압밸브
JP5359340B2 (ja) * 2009-02-13 2013-12-04 セイコーエプソン株式会社 吸引装置およびこれを備えた液滴吐出装置
JP5343611B2 (ja) * 2009-02-23 2013-11-13 セイコーエプソン株式会社 圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置
JP5239940B2 (ja) * 2009-02-26 2013-07-17 セイコーエプソン株式会社 圧力調整弁および液滴吐出装置
JP5655519B2 (ja) * 2010-11-19 2015-01-21 セイコーエプソン株式会社 液体供給バルブユニット及び液体噴射装置
JP5776188B2 (ja) * 2011-01-31 2015-09-09 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置
KR101322826B1 (ko) 2012-06-21 2013-10-28 오종우 기판 세정용 안전밸브
JP5902872B2 (ja) * 2012-11-30 2016-04-13 カティーバ， インコーポレイテッド ガスエンクロージャアセンブリおよびシステム
US9493008B2 (en) 2013-03-20 2016-11-15 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Printhead assembly with fluid interconnect cover
US9316325B2 (en) 2013-07-25 2016-04-19 Hamilton Sundstrand Corporation Air purging pressure regulating valve
JP5585704B2 (ja) * 2013-08-09 2014-09-10 セイコーエプソン株式会社 圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置
JP6164418B2 (ja) * 2013-10-17 2017-07-19 セイコーエプソン株式会社 弁装置及び液体噴射装置
JP6535986B2 (ja) * 2014-07-01 2019-07-03 セイコーエプソン株式会社 液体供給ユニット及び液体噴射装置
JP6679900B2 (ja) * 2015-12-01 2020-04-15 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置、圧力調整装置
JP6607104B2 (ja) * 2016-03-18 2019-11-20 セイコーエプソン株式会社 弁駆動装置、機能液供給ユニットおよび液滴吐出装置
US10533669B2 (en) * 2016-12-01 2020-01-14 Baker Hughes, A Ge Company, Llc Bi-directional flow control valve
JP6354872B2 (ja) * 2017-01-26 2018-07-11 セイコーエプソン株式会社 液体供給ユニット及び液体噴射装置
EP3838600B1 (en) * 2019-12-18 2024-02-07 Dover Europe Sàrl Low cost damper

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0222067A (ja) * 1988-03-30 1990-01-24 A B Dick Co インクジェットプリンタ用のインク供給制御アセンブリおよびインクジェットプリンタ
WO2003041964A1 (en) * 2001-11-12 2003-05-22 Seiko Epson Corporation Liquid injector
US20030146958A1 (en) * 2002-01-22 2003-08-07 Seiko Epson Corporation Liquid injecting apparatus
CN1475346A (zh) * 2002-08-02 2004-02-18 ������������ʽ���� 液滴喷出装置、电光装置的制造方法、电光装置及电子仪器
CN1500642A (zh) * 2002-11-13 2004-06-02 ������������ʽ���� 墨盒和调节流体流动的方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58104460U (ja) * 1982-01-12 1983-07-15 厚木自動車部品株式会社 バルブ
JPS62137474A (ja) * 1985-12-05 1987-06-20 Sharp Corp 開閉弁装置
US5650811A (en) * 1993-05-21 1997-07-22 Hewlett-Packard Company Apparatus for providing ink to a printhead
JPH08174860A (ja) * 1994-10-26 1996-07-09 Seiko Epson Corp インクジェットプリンタ用インクカートリッジ
US5812168A (en) * 1994-10-31 1998-09-22 Hewlett-Packard Company Air purging of a pressure regulated free-ink ink-jet pen
JPH112395A (ja) * 1997-06-13 1999-01-06 Tlv Co Ltd 熱応動式スチ―ムトラップ
JPH1151216A (ja) * 1997-07-30 1999-02-26 Fujikin:Kk 流体制御器
ES2260546T3 (es) * 1998-07-15 2006-11-01 Seiko Epson Corporation Dispositivo de registro de chorro de tinta.
JP2001071536A (ja) * 1999-09-07 2001-03-21 Seiko Epson Corp インクジェット式記録装置
KR100531205B1 (ko) * 2000-07-07 2005-11-28 세이코 엡슨 가부시키가이샤 잉크 젯 기록 장치용 잉크 공급 유닛 및 막 밸브
JP3894768B2 (ja) * 2001-10-25 2007-03-22 昭和物産株式会社 合成樹脂スプリングおよびその製造方法
JP2003140177A (ja) * 2001-10-31 2003-05-14 Seiko Epson Corp 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器
JP4032953B2 (ja) * 2002-01-22 2008-01-16 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置
US7699449B2 (en) * 2003-06-20 2010-04-20 Seiko Epson Corporation Liquid injection apparatus and method for driving the same
US7159974B2 (en) * 2003-10-06 2007-01-09 Lexmark International, Inc. Semipermeable membrane for an ink reservoir and method of attaching the same
JP4258462B2 (ja) * 2004-11-19 2009-04-30 セイコーエプソン株式会社 圧力調整弁、機能液供給装置および描画装置
JP4072967B2 (ja) * 2005-03-30 2008-04-09 富士フイルム株式会社 インクタンク及びインクジェット記録装置並びにインクタンクの製造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0222067A (ja) * 1988-03-30 1990-01-24 A B Dick Co インクジェットプリンタ用のインク供給制御アセンブリおよびインクジェットプリンタ
WO2003041964A1 (en) * 2001-11-12 2003-05-22 Seiko Epson Corporation Liquid injector
US20030146958A1 (en) * 2002-01-22 2003-08-07 Seiko Epson Corporation Liquid injecting apparatus
CN1475346A (zh) * 2002-08-02 2004-02-18 ������������ʽ���� 液滴喷出装置、电光装置的制造方法、电光装置及电子仪器
CN1500642A (zh) * 2002-11-13 2004-06-02 ������������ʽ���� 墨盒和调节流体流动的方法

Also Published As

Publication number Publication date
TWI313225B (en) 2009-08-11
US8033655B2 (en) 2011-10-11
US7458663B2 (en) 2008-12-02
CN1775532A (zh) 2006-05-24
KR100801781B1 (ko) 2008-02-05
JP4258462B2 (ja) 2009-04-30
KR100747914B1 (ko) 2007-08-08
TWI324563B (en) 2010-05-11
KR20070053186A (ko) 2007-05-23
TWI324564B (en) 2010-05-11
TW200630234A (en) 2006-09-01
JP2006142215A (ja) 2006-06-08
US20090073243A1 (en) 2009-03-19
TW200824920A (en) 2008-06-16
US20060108004A1 (en) 2006-05-25
KR20060056250A (ko) 2006-05-24
TW200824921A (en) 2008-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100391743C (zh) 压力调整阀、功能液供给装置、及描画装置
CN101274531B (zh) 功能液供给装置及液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备
CN101396918B (zh) 吸引装置、吸引系统和包括它们的液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法及电光学装置
CN101357541B (zh) 液滴喷出装置、电光学装置的制造方法以及电光学装置
CN101396919A (zh) 吸引装置和包括其的液滴喷出装置及电光学装置及其制法
CN100377881C (zh) 擦拭装置和液滴喷出装置、电光装置及其制法、电子仪器
CN101422986B (zh) 功能液滴喷头的功能液填充方法、功能液供给装置
CN100551699C (zh) 喷出图案数据修正方法及装置、液滴喷出装置、电光学装置
CN101274538A (zh) 功能液供给装置及液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备
CN100354611C (zh) 体积测定方法及装置、具有该装置的液滴喷出装置
CN1263606C (zh) 液滴喷出装置、电光装置及其制造方法、电子仪器
CN101164781B (zh) 液滴喷出装置、电光学装置及其制造方法、电子设备
CN1695945B (zh) 液滴喷吐装置、电光学装置、电子设备以及液滴喷吐方法
CN100575089C (zh) 喷出检测装置及液滴喷出装置
CN101256092A (zh) 喷落点测定方法及喷落点测定装置、以及液滴喷出装置
CN102126343B (zh) 液滴喷出装置
CN101164782A (zh) 液滴喷出装置、电光装置的制法、电光装置和电子设备
CN101314278A (zh) 液滴喷出头的配置方法、喷头单元及液滴喷出装置
CN1636746A (zh) 功能液供给装置、描绘装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备
JP2006163733A (ja) 圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
JP2006159073A (ja) 機能液供給装置、およびこれを備えた液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
CN100586721C (zh) 功能液滴喷出头的吸引装置
JP2006085667A (ja) 圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
KR100754583B1 (ko) 압력 조정 밸브, 기능액 공급 장치, 묘화 장치, 전기 광학장치 및 그의 제조 방법, 및 전자 기기
JP4715129B2 (ja) 吐出ヘッド装置、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant