CN100354611C - 体积测定方法及装置、具有该装置的液滴喷出装置 - Google Patents

Abstract

本发明的体积测定方法，包括：原点坐标获取工序，利用图像识别机构(81)，将在水平面上滴下的液滴的水平面视图中心点(123)作为原点坐标(131)而获取；坐标测量工序，利用电磁波测定机构(91)，一边沿液滴的径方向扫描连结获取的水平面视图中心点(123)和液滴的外周(124)的任意一点的线段(125)，一边在多个位置测量相对于原点坐标(131)的液滴表面的轮廓坐标(126)；体积计算工序，根据轮廓坐标(126)的测量结果计算液滴的体积。由此，能够简单且高精度地测定微小液滴的体积。

Description

体积测定方法及装置、具有该装置的液滴喷出装置

技术领域

本发明涉及测定在水平面上滴下的液滴的体积的体积测定方法、体积测定装置、具有体积测定装置的液滴喷出装置、以及电光装置的制造方法、电光装置和电子设备。

背景技术

以前，已知有为了正确地获知从液滴喷出头喷出的液滴的体积，而从与液滴的飞行方向垂直的方向拍摄飞行的液滴，并从所得到的飞行图像计算体积的方法。

该体积计算方法，假设飞行中的液滴相对于飞行轴为旋转对称形，对飞行图像进行相对于中心轴的积分，从而进行体积测定。

专利文献1：特开平5-149769号公报

但是，有如下的问题，即，从液滴喷出头喷出的液滴的飞行方向取决于喷嘴开口的状态(弯液面的状态或疏水处理的状态)，飞行中的形状不稳定，从而体积的计算很复杂。而且，有如下的问题，即，由于拍摄飞行中的液滴，所以飞行图像中的液滴的轮廓不清晰，液滴图像的大小不正确，无法高精度地进行体积测定。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够简单且高精度地测定微小液滴的体积的体积测定方法、体积测定装置、具有体积测定装置的液滴喷出装置、以及电光装置的制造方法、电光装置和电子设备。

本发明的体积测定方法，其特征在于，包括：原点坐标获取工序，利用图像识别机构，将在水平面上滴下的液滴的水平面视图中心点作为原点坐标而获取；坐标测量工序，利用电磁波测定机构，一边沿液滴的径方向扫描连结获取的水平面视图中心点和液滴的外周的任意一点的线段，一边在多个位置测量相对于原点坐标的液滴表面的轮廓坐标；体积计算工序，根据轮廓坐标的测量结果计算液滴的体积。

在水平面上滴下的液滴可以看作大致相对于中心轴呈旋转对称的半球形状。在具有这种形状的液滴的体积测定中，可以将该液滴的形状看作将中心轴相同的多个圆柱重叠的形状。求出这些圆柱的体积的和，从而可以计算出液滴的体积。这样，能够通过将液滴的高度方向细分而高精度地计算液滴的体积。

根据上述构成，在原点坐标获取工序中，图像识别机构将水平面视图中心点作为原点坐标而获取后，在坐标测量工序中，电磁波机构在多个位置测量相对于作为基准的原点坐标(水平面视图中心点)的液滴表面的轮廓坐标。由此，可以求出各圆柱的体积测定所需的半径和高度，可以仅通过一边对液滴的相当于水平面视图半径的部分进行扫描一边获取轮廓坐标，即可计算液滴的体积。所以能够在短时间内完成扫描，缩短体积的计算所花费的时间。

在这种情况下，优选在原点坐标获取工序中，通过将图像识别机构所图像识别的识别图像2值化为液滴图像和其外围图像，确定液滴的轮廓，将水平面视图中心点作为原点坐标而获取，并且，在轮廓为极端背离正圆形状的形状的情况下，作为错误而通知该情况。

根据该构成，能够通过将识别图像2值化处理而明确液滴的轮廓，因而在原点坐标获取工序中，可以识别轮廓为极端偏离正圆的形状的情况。所以，可以通过错误通知而将该具有偏离正圆的形状的液滴从体积的计算对象中排除，能够确保一定的体积计算精度。而且，如果从上述的正确的轮廓获取水平面视图中心点即原点坐标，则该水平面视图中心点的获取精度也很高，其结果可以高精度地计算体积。此外，优选将判断正圆的容许范围限制在5％的变形量以内。

在这种情况下，优选在坐标测量工序中，从水平面视图中心点向外周进行扫描，电磁波测定机构在轮廓坐标的高度值变为零时，判断为到达了上述外周的任意一点。

根据该构成，由于从在原点坐标获取工序中获取的原点坐标即水平面视图中心点开始扫描，所以能够省去无用的扫描，缩短体积计算时间。而且，由于从实际的测量值判断到达了外周的情况，所以不需要预先特定外周的任意1点。

在这种情况下，优选在坐标测量工序中，电磁波测定机构的扫描，通过与轮廓坐标的多个位置的测量相对应而间歇移动来进行。

根据该构成，电磁机构在各轮廓坐标的测定位置，一边在静止状态下正确地定位一边测量轮廓坐标，所以可以高精度地测量轮廓坐标。

在这种情况下，优选轮廓坐标的多个位置的测量的各位置的间距，随着从水平面视图中心点朝向外周而逐渐变小。

根据该构成，能够精密地测量液滴的轮廓坐标的高度变化大的外周附近的坐标，提高体积计算精度。

在这种情况下，优选在坐标测量工序中，使扫描方向不同而多次重复利用电磁波测定机构进行的测量；在体积计算工序中，根据重复得到的多个轮廓坐标的平均值计算体积。

根据该构成，通过对由多次测量所得到的液滴表面的多个轮廓坐标求其平均值，即使在水平面上稍有变形的情况下，也可以测量平均的轮廓坐标。其结果，可以提高体积计算精度。此外，也可以按照使扫描方向不同而得到的多个轮廓坐标的各坐标计算体积，并求其体积的平均值。

在这种情况下，优选电磁波测定机构是将激光用作测量光的激光式距离测量仪。

根据该构成，能够以简单的装置对液滴表面的微小区域进行坐标测量，并且能够提高测量精度。

本发明的体积测定装置，其特征在于，包括：图像识别机构，拍摄在水平面上滴下的液滴，并将该液滴的水平面视图中心点作为原点坐标而获取；坐标测量机构，一边沿液滴的径方向扫描连结水平面视图中心点和液滴的外周的任意一点的线段，一边在多个位置测量相对于原点坐标的液滴表面的轮廓坐标；体积计算机构，根据轮廓坐标的测量结果计算液滴的体积。

根据该构成，由于可以从液滴表面的轮廓坐标获知各圆柱的体积测定所需的半径和高度，所以能够仅通过对液滴的相当于水平面视图半径的部分进行扫描即可计算液滴的体积。由此，能够在短时间内完成扫描，迅速地计算体积。

在这种情况下，优选坐标测量机构对应于轮廓坐标的多个位置的测量而间歇移动，其测量在停止移动时进行。

根据该构成，在各轮廓坐标的测定位置，一边在静止状态下正确地定位一边测量轮廓坐标，所以可以高精度地计算体积。

在这种情况下，优选坐标测量机构使扫描方向不同而多次重复测量；体积计算机构，根据重复得到的多个轮廓坐标的平均值计算体积。

根据该构成，能够防止由液滴的各水平面半径的轮廓坐标的偏差而引起的测量不准确，从而提高体积计算精度。此外，也可以按照使扫描方向不同而得到的多个轮廓坐标的各坐标计算体积，并求其体积的平均值。

在这种情况下，优选坐标测量机构是将激光用作测量光的激光式距离测量仪。

根据该构成，能够以简单的装置对液滴表面的微小区域进行坐标测量，并且能够提高测量精度。

本发明的液滴喷出装置，其特征在于，包括：液滴喷出头，从多个喷嘴向工件喷出功能液滴并形成成膜部；XY移动机构，使工件相对于液滴喷出头向X轴方向和Y轴方向相对移动；上述的体积测定装置，计算从各喷嘴喷出的液滴、即功能液滴的体积；喷头控制机构，从由体积测定装置计算出的多个喷嘴的各喷嘴的功能液滴的体积，使各喷嘴均匀地修正驱动波形。

根据该构成，由于能够利用体积测定装置计算由液滴喷出头喷出的功能液滴的体积，所以能够迅速地计算易蒸发的微小量的功能液滴的体积。而且，通过根据计算结果进行修正，能够对从各喷嘴喷出的功能液滴的体积进行高精度的管理。此外，为了均匀地修正从所有喷嘴喷出的液量(体积)，可以按照将体积限制在预先指定的范围内的方式进行设定，也可以确定以所有喷嘴的平均值为基准的范围。

在这种情况下，优选坐标测量机构由对于该线段在多个位置测量相对于原点坐标的液滴表面的轮廓坐标的测量机构，和在测量的同时使测量机构沿着上述功能液滴的径方向对线段进行扫描的扫描机构构成；液滴喷出头借助滑架搭载在XY移动机构上，XY移动机构兼作扫描机构，并且测量机构安装在滑架上。

根据该构成，在液滴喷出头向水平面上喷出功能液滴的同时，作为扫描机构的XY移动机构使滑架扫描，从而能够利用搭载在滑架上的测量机构测量液滴的轮廓坐标。由此，能够作为扫描机构而充分利用XY移动机构，提高测量精度，并且能够简化构造。

在这种情况下，优选图像识别机构安装在滑架上。

根据该构成，由于能够在移动到液滴的垂直上方后对液滴进行图像识别，所以能够确定准确的轮廓，从而高精度地获取水平面视图中心点。而且，能够连续地进行液滴的喷出和其图像识别。

本发明的电光装置的制造方法，其特征在于，使用上述液滴喷出装置，在工件上形成由功能液滴形成的成膜部。

本发明的电光装置，其特征在于，使用上述液滴喷出装置，在工件上形成由功能液滴形成的成膜部。

根据上述构成，由于利用能够从喷嘴高精度地喷出正确的液量的功能液滴的液滴喷出装置进行制造，所以可以制造可靠性高的电光装置。此外，作为电光装置(平板显示器)，有滤色器、液晶显示装置、有机EL装置、PDP装置、电子发射装置等。而且，电子发射装置是包含所谓的FED(FieldEmission Display)和SED(Surface-conduction Electron-Emission Display)装置的概念。并且，作为电光装置还有包含金属布线形成、透镜形成、抗蚀膜形成以及光扩散体形成等的装置。

本发明的电子设备，其特征在于，搭载有利用上述的电光装置的制造方法制造的电光装置或者上述的电光装置

在这种情况下，作为电子设备，有搭载有所谓的平板显示器的移动电话、个人计算机、以及其它各种电气产品。

如上所述，根据本发明的体积测定方法和体积测定装置，能够在短时间内准确地测定液滴的体积。而且，如果使用该体积测定装置，计算出微小液滴、即从液滴喷出头喷出的功能液滴的体积，并据此修正喷嘴的驱动波形，则能够高精度地管理从各喷嘴喷出的功能液滴的体积。

而且，本发明的电光装置的制造方法、电光装置以及电子设备，由于利用具有上述体积测定装置的液滴喷出装置制造，所以可以提高作业的可靠性，高效率地进行制造。

附图说明

图1是装有本实施方式的体积测定装置的液滴喷出装置的平面示意图。

图2是表示作为液滴喷出装置的主控制系统的控制装置的框图。

图3是表示本实施方式的液滴的体积测定方法的概念的侧面示意图。

图4是说明液滴的体积计算工序的流程图。

图5是表示离开液滴的中心点的距离的及其高度的平均值的说明图。

图6是说明滤色器制造工序的流程图。

图7(a)～(e)是按照工序顺序表示的滤色器的截面示意图。

图8是表示使用应用了本发明的滤色器的液晶装置的概略构成的主要部分截面图。

图9是表示使用应用了本发明的滤色器的第2例液晶装置的概略构成的主要部分截面图。

图10是表示使用应用了本发明的滤色器的第3例液晶装置的概略构成的主要部分截面图。

图11是作为有机EL装置的显示装置的主要部分截面图。

图12是说明作为有机EL装置的显示装置的制造工序的流程图。

图13是说明无机物围堰层的形成的工序图。

图14是说明有机物围堰层的形成的工序图。

图15是说明形成空穴注入/传输层的过程的工序图。

图16是说明形成了空穴注入/传输层后的状态的工序图。

图17是说明形成蓝色发光层的过程的工序图。

图18是说明形成了蓝色发光层后的状态的工序图。

图19是说明形成了各种颜色的发光层后的状态的工序图。

图20是说明阴极的形成的工序图。

图21是作为等离子体型显示装置(PDP装置)的显示装置的主要部分分解透视图。

图22是作为电子发射装置(FED装置)的显示装置的主要部分截面图。

图23(a)是显示装置的电子发射部周围的平面图，(b)是表示其形成方法的平面图。

图中：4-体积测定装置，11-液滴喷出头，13-喷嘴，61-XY移动机构，75-主滑架，81-图像识别机构，91-坐标测量机构(电磁波机构)，92-测量机构，93-扫描机构，94-激光式距离测量仪，101-体积计算机构，113-喷头控制机构，123-水平面视图中心点，124-外周，126-轮廓坐标，131-原点坐标，W-工件，S-水平部(非描绘区域)，A-外周的任意一点。

具体实施方式

以下，参照附图对适用了本发明的体积测定方法和体积测定装置的液滴喷出装置进行说明。本实施方式的液滴喷出装置，是所谓的平板显示器中的一种、即有机EL装置或液晶显示装置的制造生产线中的装置。在本实施方式中，首先对有机EL装置的制造生产线中的液滴喷出装置进行说明。

液滴喷出装置通过其搭载的液滴喷出头，向工件(基板)W上喷出功能液滴(发光材料)而形成有机EL装置的EL发光层和空穴注入层。包含该液滴喷出头的喷出动作的一系列的制造工序，为了排出外界气体的影响，而在维持干空气的气氛的腔室装置的内部进行。

如图1所示，液滴喷出装置1具有机台6，以十字状配置在机台6的上侧中央并具有3个液滴喷出头11的描绘装置2，在机台6上与描绘装置2并列设置、由用于液滴喷出头11的保养等的各种装置构成的维护装置3，将上述装置维持为干空气气氛的上述的腔室装置5。

描绘装置2是使用液滴喷出头11、在工件W上利用功能液滴进行描绘的装置，维护装置3是进行液滴喷出头11的保养，并且对是否从液滴喷出头11适当地喷出了功能液滴进行检查，使液滴喷出头11稳定地喷出功能液滴的装置。而且，液滴喷出装置1还具有向描绘装置2供给功能液的功能液送液装置(省略图示)，以及与后述的吸附工作台63相连的工件W吸附用的真空泵(省略图示)等。

功能液送液装置具有向3个液滴喷出头11分别供给R、G、B三种颜色的功能液的R、G、B三种颜色的功能液罐(省略图示)。而且，液滴喷出装置1具有总括控制上述各构成装置的控制装置102。

维护装置3具有在液滴喷出装置1不动作时与液滴喷出头11紧密接触而防止其干燥的保管单元21，承受用于除去增粘的功能液的吸引(清洗)和液滴喷出头11的弃喷(冲洗)的吸引单元31，用于擦去附着在液滴喷出头11的喷嘴面12上的污垢的擦拭单元41。上述各单元搭载在工作台43上，并可通过该移动工作台43沿X轴方向移动，其中上述移动工作台43按照在X轴方向延伸的方式放置在机台6上。另外，维护装置3具有测定液滴喷出头11喷出的功能液滴的体积的体积测定装置4，体积测定装置4不搭载在移动工作台43上，而搭载在描绘装置2上。关于体积测定装置4，将在后面说明。

保管单元21具有与液滴喷出头11的喷嘴面12紧密接触的密封盖22，密封盖22借助密封盖升降机构23安装在移动工作台43上。在液滴喷出装置1不动作时，液滴喷出头11移动到移动工作台43上的维护位置，同时密封盖22上升并与液滴喷出头11的喷嘴面12紧密接触。即，密封液滴喷出头11的所有喷嘴11，防止各喷嘴11处的功能液滴的干燥。由此，抑制功能液的增粘，防止所谓的喷嘴堵塞。

在吸引单元31中，具有与液滴喷出头11的喷嘴面12紧密接触的吸引盖32，吸引盖32借助吸引盖升降机构33安装在移动工作台43上。而且，虽然未图示，但在吸引盖32上连接着吸引泵。在向液滴喷出头11充填功能液时或者吸引增粘的功能液时，使该吸引盖32上升并与液滴喷出头11紧密接触，进行泵吸引。而且，在停止功能液滴的喷出(描绘)时，驱动液滴喷出头11并进行冲洗(弃喷)。此时，使吸引盖32稍从液滴喷出头11离开而承受冲洗。由此，防止喷嘴堵塞，并且恢复产生了喷嘴堵塞的液滴喷出头11的功能。

在擦拭单元41中，抽出自如且卷绕自如地设置着擦拭片42，一边输送抽出的擦拭片42，同时利用移动工作台43使擦拭单元41沿X轴方向移动，一边擦拭液滴喷出头11的喷嘴面12。由此，除去附着在液滴喷出头11的喷嘴面12上的功能液，防止功能液滴喷出时的飞行弯曲等。此外，作为维护装置4，最好在上述各单元之外，搭载检查从液滴喷出头11喷出的功能液滴的飞行状态的喷出检查单元等。

如图1所示，描绘装置2具有以十字状设置在机台6上的XY移动机构61。XY移动机构61是使工件W相对于液滴喷出头11向X轴方向和Y轴方向相对移动的机构，具有搭载工件W的X轴工作台62，和跨过X轴工作台62并与之垂直地设置、搭载着液滴喷出头11的Y轴工作台71。而且，在描绘装置2中，具有进行液滴喷出头11的位置识别的喷头识别照相机(省略图示)，进行工件W的位置识别的工件识别照相机(省略图示)，以及体积测定装置4等各种装置。

工件W由形成有电极等的透光性(透明)的玻璃基板构成，其表面划分为用于形成像素的多个描绘区域D和非描绘区域S。

在上述描绘区域D喷出功能液滴而进行描绘。而且，在本实施方式中，在上述非描绘区域S上，利用液滴喷出头11喷出测定用的功能液滴，测定各喷嘴的喷出液量。即，非描绘区域S的表面相当于发明内容中所述水平面，利用体积测定装置4测定在该部分着落的功能液滴的体积。此外，也可以将构成了上述水平面的测定用基板与工件W分开而设置在描绘装置2上。

X轴工作台62按照与沿X轴方向延伸的维护装置3相互平行的方式，直接设置在机台6上，并具有由吸附工件W的吸附工作台63和绕Z轴旋转自如地支撑吸附工作台63的θ工作台64构成的一组工作台(set table)66、沿X轴方向滑动自如地支撑一组工作台66的X轴滑块65、驱动X轴滑块65的X轴马达(省略图示)。工件W吸附载置于吸附工作台63上，可以借助X轴滑块65沿主扫描方向、即X轴方向移动。

Y轴工作台71具有夹持X轴工作台62而竖立设置在机台6上的左右一对支柱72、架设在两支柱72上的Y轴框架73、滑动自如地支撑在Y轴框架73上的Y轴滑块74、驱动Y轴滑块74的Y轴马达(省略图示)、支撑在Y轴滑块74上并搭载液滴喷出头11的主滑架75。在主滑架75上垂直设置着喷头单元76，在喷头单元76上借助副滑架(省略图示)搭载着R色、G色和B色的3个液滴喷出头11。

液滴喷出头11在其喷嘴面12上具有喷出功能液滴的多个(例如180个)喷嘴13，该多个喷嘴13形成喷嘴列14。

R、G、B的3个液滴喷出头11在喷头单元76中沿X轴方向横向排列设置，以使喷嘴列14与主扫描方向垂直。

而且，在工件W上进行描绘时，使功能液滴喷出头(喷头单元76)11面对工件W，与利用X轴工作台62进行的主扫描(工件W的往复运动)同步，驱动功能液滴喷出头11进行喷出。而且，通过Y轴工作台71适当地进行副扫描(喷头单元76的移动)。通过该一系列的动作，向工件W的描绘区域D选择性地喷出所希望的功能液滴，即进行描绘。

而且，在进行液滴喷出头11的维护时，利用移动工作台43将吸引单元31移动到规定的维护位置，并且利用Y轴工作台71将喷头单元76移动到上述的维护位置，进行液滴喷出头11的冲洗或者泵吸引。而且，在进行泵吸引时，接着利用移动工作台43将擦拭单元41移动到维护位置，进行液滴喷出头11的擦拭。同样地，在作业完了、停止装置的动作时，利用保管单元21在液滴喷出头11上加盖。

下面，参照图3详细说明体积测定装置4。体积测定装置4是测定在水平面上滴下的液滴(功能液滴)121的体积的装置，具有获取液滴121的水平面视图中心点123而作为原点坐标131的图像识别机构81、在多个位置测量液滴121的表面坐标即轮廓坐标126的坐标测量机构(电磁波机构)91、根据测量的轮廓坐标126计算液滴的体积的体积计算机构101(由控制装置102的一部分构成)(参照图2)。上述坐标测量机构91由测量轮廓坐标的测量机构92、使测量机构92扫描的扫描机构93构成，在本实施方式中，扫描机构93由XY移动机构61构成。

如该图所示，图像识别机构81具有拍摄在非描绘区域S滴下的液滴121的带照明的CCD照相机82、对由CCD照相机82进行了图像识别的识别图像(省略图示)进行图像处理的图像处理机构83(由控制装置102的一部分构成)(参照图2)。而且，测量机构92由激光式距离测量仪94、坐标存储器95(由控制装置102的一部分构成)构成(参照图2)。激光式距离测量仪94在内部具有激光振荡器(省略图示)，将激光作为测量光，利用其反射光的相位测量轮廓坐标126的高度(Z坐标)。其中，CCD照相机82和激光式距离测量仪94作为整体的激光单元96而构成，位于液滴喷出头11的侧方并搭载在喷头单元76上(参照图1)。

而且，如图2所示，图像处理机构83由控制装置102中的所谓的图像处理软件构成，对由CCD照相机82拍摄的识别图像进行图像处理。具体的图像处理作用如后面所述。同样地，坐标存储器95为控制装置102中的所谓的硬件，存储在该坐标存储器95中的轮廓坐标数据通过上述体积计算机构101适当地读取。

下面，参照图2对利用本实施方式的液滴喷出装置1的控制装置102进行的控制进行说明。控制装置102具有直接、或者借助各种驱动器间接地对液滴喷出装置1的各构成装置进行总括控制的控制部103、直接进行对上述各构成装置的驱动的驱动器组111。

控制部103具有由微处理器构成的CPU104、存储有各种控制程序的ROM105、作为主存储装置的RAM106、计算功能液滴的体积的体积计算机构101、对拍摄的识别图像进行图像处理的图像处理机构83、坐标存储器95、将上述部分与驱动器组111连接的外围控制电路107，上述各部分通过内部总线108相互连接在一起。其中上述体积计算机构101是安装在硬盘上的软件，图像处理机构83是图像处理软件。

驱动器组111由用于使显示装置84进行显示的显示器驱动器112、控制液滴喷出头11的喷出的喷头控制机构113、用于驱动XY移动机构61的马达驱动器114、驱动激光式距离测量仪94的激光驱动器115、以及驱动CCD照相机82的照相机驱动器116等各种驱动器构成。

在上述控制装置102中，CPU104借助照相机驱动器116指示CCD照相机82对液滴121进行拍摄，并且借助图像处理机构83对该拍摄的识别图像进行图像处理。同样地，CPU104借助激光驱动器115指示激光式距离测量仪94测量轮廓坐标126，并将该测量的坐标数据存储在坐标存储器95中。这时，CPU104借助马达驱动器114指示驱动XY移动机构61，以使上述激光式距离测量仪94相对于液滴121而进行相对移动。这样，控制装置102(CPU104)总括控制液滴喷出装置1的各构成装置。

下面，参照图3对液滴的体积测定方法进行概略说明。从液滴喷出头11喷出的液滴(功能液滴)121在上述的非描绘区域S着落，形成相对于中心轴旋转对称的半球形状。液滴121的半球形状可以看作将中心轴相同的很薄的圆柱122堆叠的形状。在本实施方式中，采用通过计算该多个圆柱122的体积的和，从而计算液滴121的体积的方法。当然，将液滴121细分的方向不局限于上述的水平方向的分割方法。

在本实施方式的体积计算方法中，首先利用图像识别机构81获取处于液滴121的中心的水平面视图中心点123，然后坐标测量机构91将水平面视图中心点123识别为原点坐标131，并以此为基准测量轮廓坐标126，从而测定液滴121的体积。该轮廓坐标126的测量，由于求得上述各圆柱122的半径和高度即可，因而仅扫描(在本实施方式中沿X轴方向扫描)连结水平面视图中心点123和液滴121的外周124的任意一点A的线段125(与水平面视图半径相当的部分)(参照图3)。此外，发明内容中所说的水平面视图中心点是指处于非描绘区域S上(水平面上)的中心点，而不是指处于液滴121的表面上的中心点。

下面，说明具体的体积测定作业的流程。体积测定作业由利用图像识别机构81获取原点坐标131的原点坐标获取工序、利用坐标测量机构91测量液滴121的表面的坐标的坐标测量工序、利用体积计算机构101计算液滴121的体积的体积计算工序构成。

如图4所示，在非描绘区域S滴下的液滴121，在原点坐标获取工序中，利用通过图像识别机构81拍摄的识别图像(省略图示)，对非描绘区域S上的位置和液滴121的轮廓进行图像识别(S1)。这里，通过图像处理机构83将识别图像用黑白色2值化为液滴图像(省略图示)和外围图像(省略图示)，确定液滴121的轮廓。根据该识别的轮廓，获取液滴121的水平面视图中心点123(S2)。并且，根据该识别结果，在为具有从正圆变形5％以上的变形量的液滴121的情况下，发出警告声音或在显示装置84的画面上发出警告信息，进行错误通知。

下面说明原点坐标131的识别作业。识别作业中，首先通过XY移动机构61将激光式距离测量仪94的位置对准，使激光式距离测量仪94位于液滴121的水平面视图中心点123的垂直上方。位置对准后，激光式距离测量仪94以水平面视图中心点123为基准进行零点修正。由此，控制装置102将水平面视图中心点123识别为原点坐标131。该识别作业是所谓的零点修正，激光式距离测量仪94将测量了原点坐标131的高度(Z坐标)修正为零，同时，激光式距离测量仪94将由XY移动机构61支撑的位置(X坐标和Y坐标)识别为零。

在进行零点修正后，转移到坐标测量工序，测量处于水平面视图中心点123的垂直上方的液滴121的轮廓坐标126。然后在从上述水平面视图中心点123向液滴121的径方向移动了的、例如沿X轴方向将X轴工作台62移动了1μm的测量位置，激光式距离测量仪94测量正下方的轮廓坐标。上述测量的坐标数据依次存储在坐标存储器95中(S3)。同样地，在沿X轴方向等间距地每次移动1μm的各测量位置进行坐标测量，重复该测量作业，直至液滴121的外围124，并在进行坐标测量的同时存储其坐标数据。这时，在连续测量到轮廓坐标126的高度(Z坐标)为0.1μm以下(即为零)的情况下，作为到达了液滴121的外周124，结束坐标测量(S4)(参照图5)。

上述的X轴方向的坐标测量(扫描)结束后，用同样的方法，仅改变扫描方向，例如在Y轴方向进行扫描，进行坐标测量，从液滴121的水平面视图中心点123到外周124进行坐标测量，并存储其坐标数据。通过多次进行这种改变扫描方向的坐标测量，并取液滴121的轮廓坐标126的平均值，可以保证体积计算的精度。

然后，转移到实际计算体积的体积计算工序。首先，进行计算平均值的作业，计算出各扫描方向之间的上述每个坐标数据的各测量位置(即从水平面视图中心点123离开的距离相等的地点)的高度的平均值，作为如图5所示的、以从水平面视图中心点123离开的距离和高度的平均值表示液滴121的表面的位置的表输出。并且，图5的文字n在这种情况下相当于液滴121的半径(μm)。

从图5所示的表中的值，如上所述将薄圆柱122的体积加在一起，从而计算出液滴121的体积(图4、S5)。液滴121的体积(V)的计算公式表示如下：

V＝∑π Rn^2Hn

其中，Rn：圆柱122的半径

      Hn：圆柱122的高度

计算结果在显示装置84中显示(图4、S6)。

此外，在上述的向液滴121的径方向的扫描中，各测量位置为每隔1μm的等间距，但是也可以对外周124的附近进行更加细微的坐标测量。更具体地说，在高度变化小的液滴121的水平面视图中心点123附近以1μm的等间距进行坐标测量，在高度变化大的外周124附近，以例如0.1μm左右的细小的间距进行测量。优选随着面向外周124逐渐使测量间距缩小而进行测量。由此，对于高度(Z坐标)的变化量大的液滴121的外周124附近的体积，也能够更加正确地计算，从而提高测定精度。

对从所有喷嘴13喷出的液滴121均进行以上的作业(动作)。这时，例如从液滴喷出头11的所有喷嘴13喷出测定用的液滴121，一边使其沿X轴方向和Y轴方向移动一边进行坐标测量。

而且，根据上述体积测定的结果，能够使从液滴喷出头11的各喷嘴13喷出的液滴(功能液滴)121的体积均匀化。在本实施方式中，计算出各喷嘴13的喷出液量(体积)，将偏离其平均值的喷嘴13作为均匀化的对象。均匀化作业，通过调整通过泵作用驱动喷嘴13的液滴121的喷出的压电元件(省略图示)上所施加的电压来进行，但是在这种情况下，借助喷头驱动机构113来修正该作为对象的喷嘴13的驱动波形，调制喷出液量。

如上所述，根据本实施方式，通过图像识别机构81获取功能液滴的水平面视图中心点123，从而测量机构92能够对连结功能液滴的水平面视图中心点123和外周124的任意一点A的线段125进行坐标测量，从而可以缩短体积计算时间。所以，能够在短时间内计算从液滴喷出头11喷出的功能液滴的体积，由功能液滴的蒸发而产生的测定误差不会对体积计算精度产生影响。而且，如果利用计算出的体积修正喷嘴13的驱动波形，则能够调整液滴喷出头11的喷出液量，使之均匀。

下面，作为采用本实施方式的液滴喷出装置1制造的电光装置(平板显示器)，以滤色器、液晶显示装置、有机EL装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)、以及在这些显示装置中形成的有源矩阵基板等为例，对其构造和制造方法进行说明。此外，所谓有源矩阵基板是指形成有薄膜晶体管、以及与薄膜晶体管电连接的源线、数据线的基板。

首先，对装在液晶显示装置和有机EL装置等中的滤色器的制造方法进行说明。图6是表示滤色器的制造工序的流程图，图7是按照制造工序顺序表示的本实施方式的滤色器500(滤色器基体500A)的截面示意图。

首先，在黑矩阵形成工序(S11)中，如图7(a)所示，在基板(W)501上形成黑矩阵502。黑矩阵502由金属铬、金属铬与氧化铬的叠层体、或者树脂黑等形成。

在形成由金属薄膜构成的黑矩阵502时，可以使用溅射法或蒸镀法等。在形成由树脂薄膜构成的黑矩阵502时，可以使用照相凹版印刷法、光刻胶法、热复制法等。

接下来，在围堰形成工序(S12)中，以在黑矩阵502上重叠的状态形成围堰503。即，首先如图7(b)所示，以覆盖基板501和黑矩阵502的方式形成由负型的透明的感光性树脂构成的抗蚀层504。然后，在用形成为矩阵图案形状的掩模薄膜505被覆其上面的状态下，进行曝光处理。

进而，如图7(c)所示，通过对抗蚀层504的未曝光部分进行蚀刻处理，将抗蚀层504图案化，形成围堰503。另外，在用树脂黑形成黑矩阵的情况下，可以兼作黑矩阵和围堰。

该围堰503和其下面黑矩阵502，构成区划各像素区域507a的区划壁部507b，在后面的着色层形成工序中利用液滴喷出头11形成着色层(成膜部)508R、508G、508B时，规定功能液滴的着落区域。

经过以上的黑矩阵形成工序和围堰形成工序，得到上述滤色器基体500A。

此外，在本实施方式中，作为围堰503的材料，采用使涂膜表面呈现疏液(疏水)性的树脂材料。因而，由于基板(玻璃基板)501的表面为亲液(亲水)性，所以在后述的着色层形成工序中，可以提高液滴向由围堰503(区划壁部507b)包围的各像素区域507a内的着落位置精度。

然后，在着色层形成工序(S13)中，如图7(d)所示，利用液滴喷出头11喷出功能液滴，使其在由区划壁部507b包围的各像素区域507a内着落。这时，使用液滴喷出头11，导入R、G、B的三种颜色的功能液(滤色器材料)，进行功能液滴的喷出。此外，作为R、G、B的三种颜色的排列图案，有条纹排列、马赛克排列和三角排列等。

然后，经过干燥处理(加热等处理)，使功能液凝固，形成三种颜色的着色层508R、508G、508B。形成着色层508R、508G、508B后，则转移到保护膜形成工序(S14)，如图7(e)所示，按照覆盖基板501、区划壁部507b、以及着色层508R、508G、508B的上面的方式形成保护膜509。

即，在基板501的形成有着色层508R、508G、508B的整个面上喷出保护膜用涂布液后，经过干燥处理形成保护膜509。

然后，在形成保护膜509后，滤色器500转移到下一工序的形成透明电极的ITO(Indium Tin Oxide)等薄膜形成工序。

图8是表示作为使用了上述的滤色器500的液晶显示装置的一例的无源矩阵型液晶装置(液晶装置)的概略构成的主要部分截面图。通过在该液晶装置520中，安装液晶驱动用IC、背光灯、支撑体等附属元件，得到作为最终产品的透射型液晶显示装置。此外，滤色器500与图7所示相同，所以在对应的部位赋予相同的符号，省略其说明。

该液晶显示装置520大致由以下部分构成：滤色器500、由玻璃基板等构成的对向基板521、以及夹持在其间的STN(Super Twisted Nematic)液晶组合物构成的液晶层522，并将滤色器500配置在图中上侧(观测者侧)。

此外，虽然未图示，但是在对向基板521和玻璃基板500的外面(与液晶层522侧相反一侧的面)分别设置着偏光板，而且在位于对向基板521侧的偏光板的外侧，设置着背光灯。

在滤色器500的保护膜509上(液晶层侧)，以规定间隔形成多个在图8中的左右方向较长的长方形的第1电极523，并按照覆盖该第1电极523的与滤色器500侧相反一侧的面的方式形成有第1取向膜524。

另一方面，在对向基板521的与滤色器500对向的面上，以规定间隔形成多个在与滤色器500的第1电极523垂直的方向较长的长方形的第2电极526，并按照覆盖该第2电极526的液晶层522侧的面的方式形成有第2取向膜527。上述第1电极523和第2电极526由ITO等透明导电材料形成。

在液晶层522内设置的隔离体528是将液晶层522的厚度(单元间隙)保持一定的构件。而且，密封材料529是防止液晶层522内的液晶组合物向外部漏出的构件。此外，第1电极523的一端部作为引出布线523a而延伸到密封材料529的外侧。

而且，第1电极523和第2电极526交叉的部分为像素，在该构成像素的部分具有滤色器500的着色层508R、508G、508B。

在一般的制造工序中，在滤色器500上进行第1电极523的图案化和第1取向膜524的涂布，形成滤色器500侧的部分，并且除此之外，在对向基板521上进行第2电极526的图案化和第2取向膜527的涂布，形成对向基板521侧的部分。然后，在对向基板521侧的部分上加入隔离体528和密封材料529，并在该状态下粘合滤色器500侧的部分。然后，从密封材料529的注入口注入构成液晶层522的液晶，之后封闭注入口。然后，叠层两偏光板和背光灯。

本实施方式的液滴喷出装置1，例如，在涂布构成上述单元间隙的隔离体材料(功能液)的同时，可以在对向基板521侧的部分粘合滤色器500侧的部分之前，在由密封材料529包围的区域均匀地涂布液晶(功能液)。而且，上述密封材料529的印刷也可以利用液滴喷出头11进行。并且，第1、第2取向膜524、527的涂布也可以利用液滴喷出头11进行。

图9是表示使用了在本实施方式中制造的滤色器500的液晶装置的第2例的概略构成的主要部分截面图。

该液晶装置530与上述液晶装置520主要差别在于，将滤色器500配置在图中下侧(与观测者侧相反一侧)。

该液晶装置530的概略构成为：在滤色器500和由玻璃基板等构成的对向基板531之间夹持由STN液晶构成的液晶层532。此外，虽然未图示，但是在对向基板521和滤色器500的外面分别设置着偏光板等。

在滤色器500的保护膜509上(液晶层532侧)，以规定间隔形成多个在进深方向较长的长方形的第1电极533，并按照覆盖该第1电极533的液晶层532侧的面的方式形成有第1取向膜534。

在对向基板531的与滤色器500对向的面上，以规定间隔形成多个在与滤色器500侧的第1电极533垂直的方向延伸的长方形的第2电极536，并按照覆盖该第2电极536的液晶层532侧的面的方式形成有第2取向膜537。

在液晶层532上设置着将该液晶层532的厚度保持一定的隔离体538、和防止液晶层532内的液晶组合物向外部漏出的密封材料539。

而且，与上述液晶装置520同样地，第1电极533和第2电极536交叉的部分为像素，在该构成像素的部位具有滤色器500的着色层508R、508G、508B。

图10表示使用应用了本发明的滤色器500构成液晶装置的第3例，为表示透射型的TFT(Thin Film Transistor)型液晶装置的概略构成的分解透视图。

该液晶装置550将滤色器500配置在图中上侧(观测者侧)。

该液晶装置550大致由滤色器500、与之对向配置的对向基板551、夹持在其间的未图示的液晶层、配置在滤色器500的上面侧(观测者侧)的偏光板555、配置在对向基板551的下面侧的偏光板(未图示)构成。

在滤色器500的保护膜509的表面(对向基板551侧的面)形成有液晶驱动用的电极556。该电极556由ITO等透明导电材料构成，为覆盖形成后述的像素电极560的整个区域的全面电极。而且，以覆盖该电极556的与像素电极560相反一侧的面的状态设置着取向膜557。

对向基板551的与滤色器500对向的面上形成有绝缘层558，在该绝缘层558上，以相互垂直的状态形成扫描线561和信号线562。而且，在由该扫描线561和信号线562包围的区域内形成有像素电极560。此外，在实际的液晶装置中，在像素电极560上设置着取向膜，但是此处省略了图示。

而且，在由像素电极560的缺口部、扫描线561和信号线562包围的部分，装入有具备源极、漏极、半导体和栅极的薄膜晶体管563。而且，通过向扫描线561和信号线562施加信号，能够将薄膜晶体管563接通断开，从而进行向像素电极560的通电控制。

此外，虽然上述各例的液晶装置520、530、550均为透射型的构成，但是也可以设置反射层或者半透射反射层，形成反射型的液晶装置或者半透射反射型的液晶装置。

图11是有机EL装置的显示区域(以下仅称为显示装置600)的主要部分截面图。

该显示装置600大致以在基板(W)601上，叠层有电路元件部602、发光元件部603和阴极604的状态而构成。

在该显示装置600中，从发光元件部603向基板601侧发出的光，透过电路元件部602和基板601而向观测者侧出射，并且，从发光元件部603向基板601的相反侧发出的光由阴极604反射后，透过电路元件部602和基板601向观察者侧出射。

在电路元件部602和基板601之间形成由氧化硅膜构成的基底保护膜606，在该基底保护膜606上(发光元件部603侧)形成由多晶硅构成的岛状的半导体膜607。在该半导体膜607的左右的区域，通过注入高浓度阳离子而分别形成源区域607a和漏区域607b。未注入阳离子的中央部形成为沟道区域607c。

而且，在电路元件部602上，形成覆盖基底保护膜606和半导体膜607的透明的栅极绝缘膜608，在该栅极绝缘膜608上的与半导体膜607的沟道区域607c对应的位置，形成有由例如Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅极609。在该栅极609和栅极绝缘膜608上，形成有透明的第1层间绝缘膜611a和第2层间绝缘膜611b。而且，形成有贯通第1、第2层间绝缘膜611a、611b，并分别与半导体膜607的源区域607a、漏区域607b连通的接触孔612a、612b。

而且，在第2层间绝缘膜611b上，以规定的形状图案化形成由ITO等构成的透明的像素电极613，该像素电极613通过接触孔612a与源区域607a连接。

另外，在第1层间绝缘膜611a上，设置着电源线614，该电源线614通过接触孔612b与漏区域607b连接。

这样，在电路元件部602上，分别形成与各像素电极613连接的驱动用的薄膜晶体管615。

上述发光元件部603大致由在多个像素电极613上分别叠层的功能层617、设置在各像素电极613和功能层617之间并区划各功能层617的围堰部618构成。

由上述像素电极613、功能层617以及设置在功能层617上的阴极604构成发光元件。并且，各像素电极613以平面视图略呈矩形形状图案化形成，并在各像素电极613之间形成围堰部618。

围堰618由无机围堰层618a(第1围堰层)和在该无机围堰层618a上叠层的有机围堰层618b(第2围堰层)构成，其中无机围堰层618a由例如SiO、SiO₂、TiO₂等无机材料形成，有机围堰层618b由丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、耐溶剂性好的抗蚀剂形成，且截面呈梯形形状。该围堰部618的一部分，以搭在像素电极613的周缘部之上的状态形成。

而且，在各围堰部618之间，形成相对于像素电极613而朝向上方逐渐扩大的开口部619。

上述功能层617由在开口部619内以在像素电极613上叠层的状态形成的空穴注入/传输层617a、在该空穴注入/传输层617a上形成的发光层617b构成。此外，也可以进而与上述发光层617b邻接而形成具有其它功能的其它功能层。例如，也可以形成电子传输层。

空穴注入/传输层617a具有从像素电极613侧传输空穴并注入发光层617b的功能。该空穴注入/传输层617a，通过喷出含有空穴注入/传输层形成材料的第1组合物(功能液)而形成。作为空穴注入/传输层形成材料，采用公知的材料。

发光层617b发出红色(R)、绿色(G)、或者蓝色(B)中的任意一种光，通过喷出含有发光层形成材料(发光材料)的第2组合物(功能液)而形成。作为第2组合物的溶剂(非极性溶剂)，最好采用相对于空穴注入/传输层617a不溶解的公知的材料，通过采用这种非极性溶剂作为发光层617b的第2组合物，能够不使空穴注入/传输层617a再溶解地形成发光层617b。

而且，在发光层617b中，从空穴注入/传输层617a注入的空穴、和从阴极604注入的电子在发光层再次结合而发光。

阴极604以覆盖发光元件部603的整个面的状态形成，与像素电极613成对而起到在功能层617中流过电流的作用。并且，在该阴极604的上部配置着未图示的密封构件。

下面，参照图12～图20，对上述显示装置600的制造工序进行说明。

如图12所示，该显示装置600经由围堰部形成工序(S21)、表面处理工序(S22)、空穴注入/传输层形成工序(S23)、发光层形成工序(S24)、以及对向电极形成工序(S25)而制造。此外，制造工序不局限于例示的工序，可以根据需要减少工序或者增加工序。

首先，在围堰部形成工序(S21)中，如图13所示，在第2层间绝缘膜611b上形成无机物围堰层618a。该无机物围堰层618a通过在形成位置形成无机物膜之后，利用光刻技术等将该无机物膜图案化而形成。这时，无机物围堰层618a的一部分与像素电极613的周缘部重叠地形成。

在形成无机物围堰层618a后，如图14所示，在无机物围堰层618a上形成有机物围堰层618b。该有机物围堰层618b也和无机物围堰层618a同样地利用光刻技术等将该无机物膜图案化而形成。

这样，形成围堰部618。而且，与此同时，在各围堰部618之间，形成相对于像素电极613向上方开口的开口部619。该开口部619规定像素区域。

在表面处理工序(S22)中，进行亲液化处理和疏液化处理。实施亲液化处理的区域为无机物围堰层618a的第1叠层部618aa和像素电极613的电极面613a，这些区域通过例如以氧气为处理气体的等离子体处理而对表面进行亲液性处理。该等离子体处理兼有清洗作为像素电极613的ITO等作用。

另外，疏液化处理在有机物围堰层618b的壁面618s和有机物围堰层618b的上面618t上实施，通过例如以四氟甲烷为处理气体的等离子体处理而对表面进行氟化处理(处理成疏液性)。

通过进行该表面处理工序，在使用液滴喷出头11形成功能层617时，能够使功能液滴更加可靠地着落于像素区域，而且可以防止着落于像素区域的功能液滴从开口部619溢出。

这样，通过上述工序，形成显示装置基体600A。该显示装置基体600A放置在图1所示的液滴喷出装置1的一组工作台66上，进行以下的空穴注入/传输层形成工序(S23)和发光层形成工序(S24)。

如图15所示，在空穴注入/传输层形成工序(S23)中，从液滴喷出头11向作为像素区域的各开口部619内喷出含有空穴注入/传输层形成材料的第1组合物。然后，如图16所示，进行干燥处理和热处理，使第1组合物中所含的极性溶剂蒸发，在像素电极(电极面613a)613上形成空穴注入/传输层617a。

下面对发光层形成工序(S24)进行说明。在该发光层形成工序中，如上所述，为了防止空穴注入/传输层617a的再溶解，使用相对于空穴注入/传输层617a不溶解的非极性溶剂作为形成发光层时使用的第2组合物的溶剂。

但是，另一方面，空穴注入/传输层617a相对于非极性溶剂的亲合性低，所以有可能即使在空穴注入/传输层617a上喷出含有非极性溶剂的第2组合物，空穴注入/传输层617a和发光层617b也无法紧密接触，或者无法均匀地涂布发光层617b。

因而，为了提高空穴注入/传输层617a的表面相对于非极性溶剂以及发光层形成材料的亲合性，最好在形成发光层之前进行表面处理(表面改性处理)。通过将与形成发光层时使用的第2组合物的非极性溶剂相同的溶剂或者与之相类似的溶剂、即表面改性材料涂布在空穴注入/传输层617a上，并使之干燥而进行该表面处理。

通过实施这种处理，空穴注入/传输层617a的表面变得容易和非极性溶剂融和，在后面的工序中，能够将含有发光层形成材料的第2组合物均匀地涂布在空穴注入/传输层617a上。

然后，如图17所示，将含有与各种颜色中的任意一种(图17的例中为蓝色(B))相对应的发光层形成材料的第2组合物以规定量注入到像素区域(开口部619)内。注入到像素区域内的第2组合物，在空穴注入/传输层617a上扩展并充满开口部619内。并且，即使在万一第2组合物偏离像素区域而着落在外延部618的上面618t上时，由于该上面618t如上所述实施了疏液处理，所以第2组合物也任意滚入开口部619内。

然后，通过进行干燥工序等，对喷出后的第2组合物进行干燥处理，使第2组合物中所含的非极性溶剂蒸发，如图18所示，在空穴注入/传输层617a上形成发光层617b。在该图的情况下，形成与蓝色(B)相对应的发光层617b。

同样地，如图19所示，使用液滴喷出头11，依次进行与上述的蓝色(B)相对应的发光层617b的情况相同的工序，形成与其它颜色(红色(R)和绿色(G))对应发光层617b。此外，发光层617b的形成顺序不局限于例示的顺序，可以以任意的顺序形成。例如，也可以根据发光层形成材料确定形成的顺序。而且，作为R、G、B三种颜色的排列图案，有条纹排列、马赛克排列和三角排列等。

如上所述，在像素电极613上形成功能层617，即空穴注入/传输层617a和发光层617b。然后，转移到对向电极形成工序(S25)。

在对向电极形成工序(S25)中，如图20所示，利用例如蒸镀法、溅射法、CVD法等，在发光层617b和有机物围堰层618b的整个面上形成阴极604(对向电极)。在本实施方式中，该阴极604例如由钙层和铝层叠层构成。

在该阴极604的上部，适当设置作为电极的Al膜、Ag膜、防止其氧化的Si_O2、SiN等保护层。

这样形成阴极604后，实施利用密封材料密封该阴极604的上部的密封处理和布线处理等其它处理，从而得到显示装置600。

图21是等离子体型显示装置(PDP装置，以下仅称为显示装置700)的主要部分分解透视图。此外，在该图中表示将显示装置700局部切除后的状态。

该显示装置700大致包括相互对向配置的第1基板701、第2基板702，以及在其间形成的放电显示部703。放电显示部703由多个放电室705构成。上述多个放电室705中，三个放电室705：红色放电室705R、绿色放电室705G、蓝色放电室705B构成组，从而构成一个像素。

在第1基板701的上面按照规定的间隔以条纹状形成地址电极706，并按照覆盖该地址电极706和第1基板701的上面的方式形成电介质层707。在电介质层707上，按照位于各地址电极706之间、且沿着各地址电极706的方式竖立设置着隔壁708。该隔壁708包括如图所示向地址电极706的宽度方向两侧延伸的部分、和向与地址电极706垂直的方向延伸的方向延伸的未图示的部分。

而且，利用该隔壁708分隔的区域构成放电室705。

在放电室705内配置着荧光体709。荧光体709发出红(R)、绿(G)、蓝(B)中的任意一种颜色的光，在红色放电室705R的底部配置着红色荧光体709R，在绿色放电室705G的底部配置着绿色荧光体709G，在蓝色放电室705B的底部配置着蓝色荧光体709B。

在第2基板702的图中下侧的面上，在与上述地址电极706垂直的方向上，按照规定的间隔以条纹状形成多个显示电极711。而且，以覆盖上述显示电极711的方式形成电介质层712、以及由MgO等形成的保护膜713。

第1基板701和第2基板702，以地址电极706和显示电极711相互垂直的状态对向粘合。此外，上述地址电极706和显示电极711与未图示的交流电源连接。

这样，通过向各电极706、711通电，荧光体709在放电显示部703中激励发光，从而可以进行彩色显示。

在本实施方式中，可以利用图1所示的液滴喷出装置1形成上述地址电极706、显示电极711以及荧光体709。以下，举例说明第1基板701的地址电极706的形成工序。

在这种情况下，在将第1基板701放置在液滴喷出装置1的一组工作台66上的状态下进行以下的工序。

首先，利用液滴喷出头11，使含有导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴着落在地址电极形成区域。该液体材料是作为导电膜布线形成用材料而将金属等导电性微粒分散在分散剂中的材料。作为该导电性微粒，使用含有金、银、铜、钯、或者镍等的金属微粒或导电性聚合物等。

在作为补充对象的全部的地址电极形成区域完成液体材料的补充后，通过对喷出后的液体材料进行干燥处理，使液体材料中所含的分散剂蒸发，从而形成地址电极706。

但是，虽然在上述说明中举例说明了地址电极706的形成，但是上述显示电极711和荧光体709也可以经由上述各工序而形成。

在形成显示电极711时，与地址电极706的情况同样地，使含有导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴着落在显示电极形成区域。

而且，在形成荧光体709时，将包含与各种颜色(R、G、B)相对应的荧光体材料的液体材料(功能液)作为液滴从液滴喷出头11喷出，并使之着落在对应的颜色的放电室705内。

图22是电子发射装置(也称为FED装置或者SED装置，以下仅称为显示装置800)的主要部分截面图。此外，在该图中，将显示装置800的局部以截面表示。

该显示装置800大致包含相互对向配置的第1基板801、第2基板802，以及在其间形成的电场发射显示部803。电场发射显示部803由以矩阵状配置的多个电子发射部805构成。

在第1基板801的上面，相互垂直地形成构成阴极电极806的第1元件电极806a和第2元件电极806b。而且在由第1元件电极806a和第2元件电极806b分隔的部分，形成导电性膜807，其中导电性膜807形成有间隙808。即，由第1元件电极806a、第2元件电极806b和导电性膜807构成多个电子发射部805。导电性膜807由例如氧化钯(PdO)等构成，间隙808在导电性膜807成膜之后，利用成型加工(forming)形成。

在第2基板802的下面，形成有与阴极电极806对峙的阳极电极809。在阳极电极809的下面，形成格子状的围堰部811，在由该围堰部811包围的向下的各开口部812中，与电子发射部805对应地配置着荧光体813。荧光体813发出红(R)、绿(G)、蓝(B)中的任意一种颜色的荧光，在各开口部812中，按照上述规定的图案配置着红色荧光体813R、绿色荧光体813G和蓝色荧光体813B。

而且，这样构成的第1基板801和第2基板802，以微小的间隙粘合在一起。在该显示装置800中，通过导电性膜(间隙808)807，从作为阴极的第1元件电极806a或者第2元件电极806b飞出的电子与在作为阳极的阳极电极809上形成的荧光体813相遇而激励发光，从而可以进行彩色显示。

在这种情况下，也可以与其它实施方式同样地，使用液滴喷出装置1形成第1元件电极806a、第2元件电极806b、导电性膜807和阳极电极809，并且可以使用液滴喷出装置1形成各种颜色的荧光体813R、813G、813B。

第1元件电极806a、第2元件电极806b和导电性膜807具有图23(a)所示的平面形状，在将其成膜时，如图23(b)所示，预先残留要形成第1元件电极806a、第2元件电极806b和导电性膜807的部分，形成围堰部BB(光刻法)。然后，在由围堰部BB构成的槽部分，形成第1元件电极806a和第2元件电极806b(基于液滴喷出装置1的喷墨法)，在使其溶剂干燥而进行成膜后，形成导电性膜807(基于液滴喷出装置1的喷墨法)。然后，在导电性膜807成膜后，去除围堰部BB(灰化剥离处理)，并转移到上述的成型加工处理。此外，与上述的有机EL装置的情况同样，最好进行对于第1基板801和第2基板802的亲液化处理、对于围堰部811、BB的疏液化处理。

另外，作为其它的电光装置，有金属布线形成、透镜形成、抗蚀膜形成以及光扩散体形成等的装置。通过将上述的液滴喷出装置1用于各种电光装置(设备)的制造，可以高效率地制造各种电光装置。

Claims (15)

1.一种体积测定方法，其特征在于，包括：

原点坐标获取工序，利用图像识别机构，将在水平面上滴下的液滴的水平面视图中心点作为原点坐标而获取；

坐标测量工序，利用电磁波测定机构，一边沿上述液滴的径方向扫描连结上述获取的水平面视图中心点和上述液滴的外周的任意一点的线段，一边在多个位置测量相对于上述原点坐标的液滴表面的轮廓坐标；

体积计算工序，根据上述轮廓坐标的测量结果计算上述液滴的体积。

2.根据权利要求1所述的体积测定方法，其特征在于，在上述原点坐标获取工序中，通过将上述图像识别机构所图像识别的识别图像2值化为液滴图像和其外围图像，确定上述液滴的轮廓，将上述水平面视图中心点作为原点坐标而获取，同时，在上述轮廓为极端背离正圆形状的形状时，作为错误而通知该情况。

3.根据权利要求1所述的体积测定方法，其特征在于，在上述坐标测量工序中，从上述水平面视图中心点向上述外周进行扫描，上述电磁波测定机构在上述轮廓坐标的高度值变为零时，判断为到达了上述外周的任意一点。

4.根据权利要求2所述的体积测定方法，其特征在于，在上述坐标测量工序中，从上述水平面视图中心点向上述外周进行扫描，上述电磁波测定机构在上述轮廓坐标的高度值变为零时，判断为到达了上述外周的任意一点。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的体积测定方法，其特征在于，在上述坐标测量工序中，上述电磁波测定机构的扫描，通过与上述轮廓坐标的多个位置的测量相对应而间歇移动来进行。

6.根据权利要求5所述的体积测定方法，其特征在于，上述轮廓坐标的多个位置的测量的上述间歇移动的间距，随着从上述水平面视图中心点朝向上述外周而逐渐变小。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的体积测定方法，其特征在于，在上述坐标测量工序中，使扫描方向不同而多次重复利用上述电磁波测定机构进行的测量；在上述体积计算工序中，根据上述重复得到的多个轮廓坐标的平均值计算体积。

8.根据权利要求1～4中任一项所述的体积测定方法，其特征在于，上述电磁波测定机构是将激光用作测量光的激光式距离测量仪。

9.一种体积测定装置，其特征在于，包括：

图像识别机构，拍摄在水平面上滴下的液滴，并将该液滴的水平面视图中心点作为原点坐标而获取；

坐标测量机构，一边沿上述液滴的径方向扫描连结上述水平面视图中心点和上述液滴的外周的任意一点的线段，一边在多个位置测量相对于上述原点坐标的液滴表面的轮廓坐标；

体积计算机构，根据上述轮廓坐标的测量结果计算上述液滴的体积。

10.根据权利要求9所述的体积测定装置，其特征在于，上述坐标测量机构对应于上述轮廓坐标的多个位置的测量而间歇移动，其测量在停止移动时进行。

11.根据权利要求9或10所述的体积测定装置，其特征在于，上述坐标测量机构，使扫描方向不同而多次重复测量；上述体积计算机构，根据上述重复得到的多个轮廓坐标的平均值计算体积。

12.根据权利要求9或10所述的体积测定装置，其特征在于，上述坐标测量机构是将激光用作测量光的激光式距离测量仪。

13.一种液滴喷出装置，其特征在于，包括：

液滴喷出头，从多个喷嘴向工件喷出功能液滴并形成成膜部；

XY移动机构，使上述工件相对于上述液滴喷出头向X轴方向和Y轴方向相对移动；

权利要求9所述的体积测定装置，计算从上述各喷嘴喷出的液滴、即上述功能液滴的体积；

喷头控制机构，根据由上述体积测定装置计算出的上述多个喷嘴的各喷嘴的上述功能液滴的体积来修正驱动波形，而使从上述各喷嘴喷出的液体的体积均匀。

14.根据权利要求13所示的液滴喷出装置，其特征在于，上述坐标测量机构，由对于所述线段在多个位置测量相对于上述原点坐标的液滴表面的轮廓坐标的测量机构，和在上述测量的同时使上述测量机构沿着上述功能液滴的径方向对上述线段进行扫描的扫描机构构成；上述液滴喷出头借助滑架搭载在上述XY移动机构上，上述XY移动机构兼作上述扫描机构，并且上述测量机构安装在上述滑架上。

15.根据权利要求14所示的液滴喷出装置，其特征在于，上述图像识别机构安装在上述滑架上。

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