CN101952049B - 排出量修正方法以及涂布装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可以正确地测量所涂布的液滴量而能够精度佳地修正排出量的排出量修正方法以及涂布装置。本发明为以下排出量修正方法、以及实施该方法的装置，该排出量修正方法是测定从喷嘴所排出的液体材料的量而修正排出量的排出量修正方法，其特征在于，在被涂布面的附近设置与被涂布面具有既定角度的镜子，并经由镜子从侧边拍摄在被涂布面所形成的液滴，根据所拍摄到的液滴的影像计算出液滴的体积，再根据所计算出的体积修正排出量。

Description

排出量修正方法以及涂布装置

技术领域

本发明涉及一种针对液体材料因经时粘度变化等因素所导致的排出量变化进行修正的方法以及涂布装置，更具体而言，例如关于一种测定在基板上所涂布的液滴量，并根据该测定值对排出量进行修正的方法以及涂布装置。 

背景技术

先前以来，就液体材料的定量排出而言，当经长时间施行排出时，液体材料便会发生经时的粘度变化，导致排出量发生变动的问题。 

近年来，伴随芯片的小型化、高密度安装化、或者涂布作业的多样化，要求持续施行微量精密的涂布，而必须将排出量的变动抑制更少。尤其在填底步骤中，要求更微量并且更精密的涂布。 

对于液体材料排出量的变动，使用专用的测定机器测定所排出的液体材料量，并根据该结果将排出量加以调整，作为此技术，有例如使用电子天秤测定液体材料的重量的排出量修正方法(专利文献1)、以及根据拍摄液滴的影像而测定滴量的装置(专利文献2)。 

在专利文献1中揭示有一种排出量修正方法，其中，定期测定所排出的材料的重量并比较实测重量与指定重量，当不同的时候，便修正脉冲电动机泵驱动用的脉冲数与脉冲频率，执行控制使实测重量接近指定重量。 

在专利文献2中揭示有一种涂布量调整方法，其包括有：登录目标涂布量的步骤；对注射器赋予气体压而从喷嘴排出粘着剂并试涂布的步骤；辨识经试涂布的粘着剂，而计算出涂布量的大小的步骤；以及比较所计算出的试涂布量与目标涂布量，并判定其差值是否在容许误差以内的步骤；当不在容许误差以内时，则变更对注射器赋予的气体压的大小或者时间，并重复上述步骤。 

(专利文献1)日本专利特开2002-303275号公报 

(专利文献2)日本专利特开平11-97829号公报 

发明内容

(发明要解决的问题) 

然而，在专利文献1所记载的发明中，因为由接收皿承接液体材料，因此至液面摇晃结束为止前计测值无法保持稳定，而有至得到测定结果为止需要较长时间的问题。并且，因装置的振动或者降流(为了保持装置内的洁净度而设置于装置上部的来自空调机的空气流)影响，也会有同样的不良情况。 

并且，在专利文献2所记载的发明中，因为通过摄像机所辨识到的液体材料上方的轮廓来计算出液滴量，因而无法辨识高度，无法正确地计算出液滴量。 

本发明目的在于提供一种正确地计测所涂布的液滴量，而能够精度佳地修正排出量的排出量修正方法以及涂布装置。 

(解决技术问题的技术方案) 

本发明第1方面的排出量修正方法，测定从喷嘴所排出的液体材料的量而修正排出量，所述排出量修正方法的特征为，在被涂布面的附近设置与被涂布面具有既定角度的镜子，并经由镜子从侧边拍摄在被涂布面所形成的液滴，根据所拍摄到的液滴的影像计算出液滴的体积，再根据所计算出的体积修正排出量。 

本发明第2方面的排出量修正方法的特征为，在本发明第1方面中，所述镜子为垂直或者对称配置的多片镜子，从水平方向的不同角度拍摄液滴多次，根据所拍摄到的多个液滴的影像，来计算出液滴的体积。 

本发明第3方面的排出量修正方法的特征为，在本发明第1方面中，使形成在所述被涂布面的液滴或者所述镜子进行转动，从水平方向的不同角度拍摄液滴多次，根据所拍摄到的多个液滴的影像，来计算出液滴的体积。 

本发明第4方面的排出量修正方法的特征为，在本发明第1至第3方面的任一方面中，液滴的体积根据液滴侧边的轮廓面积而计算出。 

本发明第5方面的排出量修正方法的特征为，在本发明第1至3 方面的任一方面中，液滴的体积根据液滴侧边的轮廓高度以及宽度而计算出。 

本发明第6方面的排出量修正方法的特征为，在本发明第4或第5方面中，在拍摄液滴的平面轮廓而平面轮廓的真圆度超过容许范围的情况下，在被涂布面上再度形成液滴。 

本发明第7方面的排出量修正方法的特征为，在本发明第1至第6方面的任一方面中，将在被涂布面形成液滴前的被涂布面经由镜子从侧边进行拍摄，根据所拍摄到的被涂布面的影像，而储存被涂布面的边界线，在所述所拍摄到的液滴的影像中，由边界线靠上方的区域计算出液滴的体积。 

本发明第8方面的排出量修正方法的特征为，在本发明第1至第7方面的任一方面中，所述既定角度为45度。 

本发明第9方面的液体材料的涂布装置，具备有储存液体材料的储存容器、具有排出液体材料的喷嘴的排出装置、对涂布在被涂布面的液滴进行拍摄的摄像装置、与被涂布面具有既定角度地被设置在被涂布面附近的镜子、以及控制部，所述液体材料的涂布装置的特征为，所述摄像装置以及所述镜子被配置在能够从侧边拍摄到在被涂布面所形成的液滴的位置处。 

本发明第10方面的涂布装置的特征为，在本发明第9方面中，具备有与所述镜子相对向设置的光源。 

本发明第11方面的涂布装置的特征为，在本发明第9或第10方面中，所述镜子为垂直或者对称配置的多片镜子，所述摄像装置位于能够经由镜子从水平方向的不同角度拍摄到液滴的位置处。 

本发明第12方面的涂布装置的特征为，在本发明第9至第11方面的任一方面中，具备有使形成在所述被涂布面的液滴进行转动的平台。 

本发明第13方面的涂布装置的特征为，在本发明第9至第11方面的任一方面中，具备有相对于形成在所述被涂布面的液滴进行转动的镜子。 

本发明第14方面的涂布装置的特征为，在本发明第9或第10方面中，具备有使所述基板在一方向移动自如的搬送机构，所述镜子被 设置于搬送机构的附近。 

本发明第15方面的涂布装置的特征为，在本发明第9至第14方面的任一方面中，所述既定角度为45度。 

(发明的效果) 

根据本发明，因为可以正确地测定液滴量，因而能够精度佳地修正排出量。 

再者，本发明在原理上可简易地测定液滴量。 

附图说明

图1为实施例1的涂布装置的概略立体图。 

图2为说明实施例1的镜子的设置样式的说明图。 

图3为实施例1的排出装置的重要部分剖视图。 

图4为表示实施例1的修正步骤的流程图。 

图5为表示实施例1的修正步骤的变化例的流程图。 

图6为说明实施例1的体积计算方法的说明图。 

图7为说明实施例1的体积计算方法的说明图。 

图8为说明实施例2的镜子的设置例的说明图。 

图9为说明实施例3的镜子的设置例的说明图。 

图10为说明实施例4的镜子的设置例的说明图。 

图11为说明实施例5的拍摄方法的说明图。 

符号说明 

以下示出图中使用的主要符号的凡例。 

101            涂布装置 

102XYZ         驱动机构 

103            搬送机构 

104            控制部 

105            调整用平台 

106            调整用基板 

107            镜子 

108            摄像装置 

109            基板 

110            摄像装置的物镜面 

111            光源 

201            液滴 

301            排出装置 

302            活塞 

303            储存容器 

304            喷嘴 

305            排出控制部 

306            排出信号线 

307            压缩气体供应线 

401            调整机构 

601            旋转轴 

901            旋转驱动机构 

S              面积 

h              高度 

r              半径 

d              直径 

α             角度 

具体实施方式

以下，针对实施本发明的最佳方式，以调整喷射式排出装置的“排出压力P”的方式的例子进行说明。另外，所谓“涂布长度”是指喷嘴与基板的相对移动量的总长，所谓“排出量”是指通过单一排出作业所排出的液体材料的量。 

[1]初期参数的设定 

首先，设定所希望涂布的目标体积V₀以及目标涂布长度L₀。接着，以一定速度施行涂布，由目标涂布长度L₀与所希望的涂布速度设定排出时间T。此时，预先由试验等方式求取将最初所设定的排出时间固定时的“排出压力与排出体积的关系”，以式子或者对应表的数据形式储存于控制部104中。根据该“排出压力与排出体积的关系”，设定排出压力P作为排出目标体积所希望的控制参数。在控制部104中所储存的这些数据，在计算修正量时被利用为控制用数据。 

再者，作为液体材料使用时间的极限值，最好与上述各数据具关联性地储存根据制造商所规定的适用时间(pot life)计算出的数值。 

[2]修正周期的设定 

设定作为修正排出量的周期的修正周期。作为修正周期，可设定例如使用者所输入的时间信息、应处理基板109的片数等。在以时间设定修正周期的情况下，设定假想液体材料的排出量变化从作业开始超出容许范围的时间。在设定片数的情况下，从处理一片基板109的时间(搬入→涂布→搬出的时间)、与上述既定的时间求取处理片数，而设定。 

在设定修正周期时，必须考虑随时间的经过、温度的变化等因素而造成的液体材料的粘度变化，以下对仅随时间经过产生粘度变化为前提进行说明。 

另外，通过对具有喷嘴的排出部进行调整温度而控制液体材料的粘度的现有技术，当然可并用于本发明中。 

[3]修正量的计算(形状的测定以及体积的计算) 

以所设定的修正周期，计算出与因液体材料的粘度变化所产生的排出量变化对应的修正量。 

首先，使喷嘴304朝基板(106或者109)的上方移动，根据在上述[1]中作为控制用数据储存于控制部104中的排出压力P与排出时间T，而排出液体材料。由此，在基板的涂布面形成滴状的液滴201。接着，拍摄在基板上所涂布的液滴201的水平方向的形状，从所拍摄到的影像数据计算出所排出的液滴的计测体积V₁。更详细地说，使摄像装置108朝镜子107(其在基板(106或者109)的附近被设置成相对于基板的被涂布面具有角度)的上方进行移动，并从与被涂布面平行的方向拍摄液滴201的形状。此时，最好在镜子107的正面设置具有既定面积的平面光源、或者作为背景的平面构件。然后，根据所拍摄到的影像数据，计算出水平方向(与涂布面平行的方向)的投影面几何学量，根据该水平方向的投影面几何学量，计算出所排出的液滴的计测体积V₁。 

从上述所测得的计测体积V₁、与依上述[1]所设定的目标体积V₀的比对，求取修正量。更详细地说，首先，从计测体积V₁与目标体积 V₀计算出变化率R(＝(V₁-V₀)/V₀×100)。当计测体积V₁小于目标体积V₀时，变化率R为负，而当计测体积V₁大于目标体积V₀时，变化率R为正。 

当变化率R为负时，便从上述[1]所储存的“排出压力与排出体积的关系”，求取经加权与变化率R对应的排出量增加的排出压力的设定。 

当变化率R为正时，便从上述[1]所储存的“排出压力与排出体积的关系”，求取经加权与变化率R对应的排出量减少的排出压力的设定。 

排出量的修正最好不是在体积差(V₁-V₀)或者变化率R不是为零的情况下经常实施，而是仅当所计算出的体积差或者变化率R超过容许范围(例如±5％)时才实施。设定容许范围的修正的较佳样式，在本案申请人所提出申请的日本专利第3877038号中有详细说明。即，设计判断是否进行修正的容许范围，仅当差值或者变化率R超过上述所容许范围的情况时才修正排出压力。 

[4]修正的执行 

当在上述[3]判断出必须修正排出量时，便由上述[1]所储存的“排出压力与排出体积的关系”，求取经加权与变化率R对应的排出量增加或者减少部分的排出压力的设定。然后，通过变更控制参数(排出压力P)的设定而修正排出量。 

上述[3]与[4]的步骤在上述[2]所设定的修正周期中、或者基板109的种类(大小或者形状)变化时等才实行。由此，与液体材料的经时粘度变化无关，均可以经常涂布最佳的排出量。 

[排出装置的变化例] 

本发明的排出装置并不受限于上述所说明的喷射式排出装置，凡是排出液体材料的各种排出装置均可以实施。所调整的控制参数并不受限于排出压力，例如，有如下情况。 

在喷射式排出装置中，也可以调整活塞上升的时间与下降的时间。 

在利用螺杆的旋转来排出液体材料的螺杆式排出装置中，也可以调整螺杆的旋转数。 

在使在前端具有喷嘴的储存容器的内面上进行密接滑动的柱塞以所希望量移动而进行排出的柱塞式排出装置中，也可以调整柱塞的移动量。 

以下，利用实施例详细说明本发明，但是本发明并不受这些实施例的任何限制。 

实施例1 

[涂布装置] 

本实施例的涂布装置101如图1所示，其具备有：排出装置301、摄像装置108、XYZ驱动机构102、搬送机构103、位于搬送机构103附近的调整机构401、以及控制这些动作的控制部104。 

排出装置301具备有：储存液体材料的储存容器303、以及排出液体材料的喷嘴304。排出装置301安装在XYZ驱动机构102上，可以朝涂布对象基板109或者调整用基板106上移动。 

摄像装置108是用于拍摄朝基板上排出的液滴的装置。在本实施例中，考虑对所拍摄到的影像数据实施影像处理，而使用CCD摄像机。摄像装置108以捕捉影像的物镜面110与基板(106、109)的被涂布面相对向的方式安装于XYZ驱动机构102，与排出装置301同样地，可以朝涂布对象基板109、调整用基板106、以及镜子107的上方移动。此外，摄像装置108可以朝Z方向移动自如，由此能够调节焦点距离。 

再者，在本实施例中，摄像装置108兼用作后述的基板位置辨识用摄像机。这样构成可以节约设置空间，可以使涂布装置101更加小型化。 

[调整机构] 

调整机构401具备有：调整用基板106、载置调整用基板106的调整用平台105、在调整用基板106附近设置的镜子107、以及光源111。 

调整用基板106为用于测量从喷嘴304的排出量的基板。调整用基板106载置成与涂布对象基板109位于相同的高度处。理由是在将摄像装置108兼用作基板位置辨识用摄像机的情况下，在定位时的基板辨识与计算体积时的拍摄中不需要调节焦点距离。即，因为Z方向位置设定可以共通，能够省却对基板106与109分别设定的步骤。 

镜子107如图2所示，在调整用基板106附近以角度α设置。更具体而言，镜子107以显示影像的面对于调整用基板106的被涂布面(摄像装置108的物镜面110)成角度α的方式设置。这样，通过具有角度α地设置镜子107，可以将基板(106、109)上所涂布的液滴201的侧边影像利用镜子107反射，能够由摄像装置108进行拍摄。镜子107被设置于在其中心部分可以显示出液滴201的高度(参照图2)。光源111为隔着调整用基板106而与镜子107相对向配置的平面光源，可由LED等现有的光源构成。通过光源111朝镜子107照射光，可以使液滴201的轮廓鲜明。 

如本实施例，在摄像装置108的物镜面110与基板(106、109)的被涂布面相对向的构成中，最好将镜子107显示影像的面相对于基板(106、109)的被涂布面的角度α设为45度。理由是通过将角度α设为45度，可以将基板(106、109)上所涂布的液滴201的水平方向的影像朝垂直方向反射，能够在不会发生倾斜等歪曲的情况下拍摄形状。 

另外，在本实施例中，由1片镜子将液滴的侧边影像入射至摄像装置中，但是也可以构成由多镜子将液滴的侧边影像传送至摄像装置。 

在开始涂布时，首先，将作为涂布对象物的基板109由搬送机构103搬送至排出装置301的下方。当基板109被搬送至喷嘴304的下方，而定位基板109后，开始使排出装置301涂布。喷嘴304的涂布动作的轨迹(即涂布图案)被预先储存在控制部104内的储存装置(内存等)中。 

当涂布结束时，基板109便由搬送机构103从涂布装置101搬出到外部。接着，搬入下个基板109，并重复施行涂布作业。这样，搬入、涂布以及搬出成为一个循环，至对所希望片数的基板109结束涂布为止前，重复施行涂布作业。 

在上述循环的途中，以预设的修正周期的时序来修正排出量。即，对因液体材料的粘度变化而发生变化的排出量进行修正。修正量的计算通过利用XYZ驱动机构102将喷嘴304移动至调整用基板106的上方，并从对调整用基板106上所涂布的液滴201进行拍摄的影像数据 计算出液滴201的体积的方式进行。关于修正步骤的详细内容，将在后面叙述。 

[排出装置] 

作为排出装置301可以利用各种装置，在本实施例中使用如图3所示的喷射式排出装置。 

图3所示的排出装置301具备有：内设成可上下移动自如的活塞302、储存液体材料的储存容器303、以及与储存容器相连通的喷嘴304。 

储存容器303内的液体材料被从排出控制部305通过压缩气体供应线307供应的调压过的压缩气体加压。从储存容器303朝活塞室供应的液体材料210，根据来自排出控制部305的排出信号，通过使活塞302朝上下进行往复动作而从喷嘴304以液滴状排出。从喷嘴304排出的液滴201以点状涂布在被定位于喷嘴304的下方的基板(106、109)上。 

[修正步骤1] 

针对本实施例的修正步骤1，参照图4的流程图进行说明。 

首先，计算出为了排出从排出压力与排出体积的关系所求得的目标体积的适当排出时间，在适当排出时间的期间，在基板上排出液体材料(步骤11)。接着，将从水平方向所观看到液滴201的形状(从对于基板的被涂布面成平行的方向所观看到的形状)，经由对基板的被涂布面以角度α设置的镜子107进行拍摄，并根据该影像计算出液滴201的计测体积V₁(步骤12)。接着，比较目标体积V₀与计测体积V₁(步骤13)，根据体积差是否超过容许范围来判定有无需要修正(步骤14)。 

当在步骤14中判断需要修正时，便由目标体积V₀与计测体积V₁计算出变化率R(＝(V₁-V₀)/V₀×100)(步骤15)，判断变化率R的正负(步骤16)。 

当变化率R为负时，因为计测体积V₁小于目标体积V₀，因而从事先储存于控制部104中的控制用数据中，计算出经加权与该变化率R对应的计测体积V₁的增加部分的控制参数，再度设定排出压力(步骤17)。 

当变化率R为正时，因为排出体积V₁多于目标体积V₀，因而从储存于控制部104中的控制用数据中，计算出经加权与该变化率R对 应的排出体积V₁的减少部分的设定参数，再度设定排出压力(步骤18)。 

另外，上述中，也可以不计算出体积差，而是仅计算出变化率R，来判断有无需要修正。在该情况下，不执行步骤14的判定，而是在步骤13起至步骤15与步骤16之间执行判定。 

另外，也可以附加计算出从垂直方向所观看液滴201的投影面形状(平面轮廓)的真圆度，再判定算出值是否在容许范围内的步骤。 

[修正步骤2] 

针对本实施例的修正步骤2，参照图5与图4的流程图进行说明。 

首先，与步骤11同样地，在适当排出时间的期间，在基板上排出液体材料(步骤21)。接着，拍摄所排出的液滴201从基板被涂布面的垂直方向所观看到的形状(从被涂布面的上方观看液滴201的形状)，并根据该影像来计算出液滴201的真圆度(步骤22)。在此，真圆度在基板的被涂布面上，从垂直方向所看到的液滴201的投影面形状中，由通过重心的直线的最大长度与最小长度的差进行求取。 

在步骤23中判定真圆度是否超过容许范围。当判定真圆度在容许范围内时，便朝图4所示的步骤12前进，并计算出液滴201的体积，修正排出量。当判定真圆度在容许范围外时，便重返步骤21，并再度施行排出。此时，也可以设定重返步骤21的次数，当超过设定次数时便视为“错误”而发出警报。 

[体积计算方法] 

体积计算方法有各种方法，此处示出以下二个例子。 

(A)由水平方向的投影面形状的面积进行计算的方法 

如图6所示的斜线部S，从基板(106、109)上所涂布的液滴201的影像中，考虑具有水平方向投影面形状的一半面积的平面(斜线部S)，并将该平面以图6中所示的轴601为中心进行旋转所成的立体，视为所涂布的液滴201的体积。即，首先从基板(106、109)上所涂布的液滴201的影像中，利用影像处理求取水平方向投影面形状的一半面积S(中心角90度的扇形面积)，并利用将所求得的面积S进行旋转的积分而计算出体积。 

(B)由底边等的长度进行计算的方法 

将基板(106、109)上所涂布的液滴201近似于半球或者缺损球(高度短于球半径的球的一部分。例如圆屋顶形状。)，由几何学体积计算式计算出体积。即，如图7所示，从基板(106、109)上所涂布得液滴201的影像中，将水平方向投影面形状的底边长度设为直径d，或者将其二分之一的值设为半径r，并将垂直方向的最大长度设为高度h，由下式进行计算。 

[数1](半球的体积) 

$V=\frac{{2\mathrm{\πr}}^3}{3}$

[数2](缺损球的体积) 

$V=\frac{\mathrm{\πh}}{6}({3r}^2+h^2)$

如上述，本实施例的涂布装置通过镜子107取得从侧边拍摄到液滴201的影像，能够更加正确地捕捉液滴201的形状，因而可精度佳地计测液滴201的体积。 

本实施例的涂布装置通过使用镜子107，不必另外设置用于从侧边拍摄液滴201的摄像装置，因而可以实现设置空间节约、装置小型化。 

实施例2 

[具备二片镜子的构成] 

本实施例的涂布装置在调整机构401具备二片镜子107这点，不同于实施例1的涂布装置。 

本实施例的涂布装置如图8所示，设置有二片镜子107，能够拍摄从基板被涂布面的平行以及相互垂直的二方向所看到的液滴201的形状。此处，二片镜子107分别以与实施例1相同的角度α而设置。并且，二片镜子107被设置成其显示影像的面的方向对于调整用基板106成相互垂直的方向。 

在本实施例中，因为镜子107为二片，因此光源111也需要二个。光源111可以由实体二个光源所构成，也可以为将来自一个光源的光利用光学系统分割为2个光而照射的构成。 

当拍摄基板106上所涂布的液滴201时，首先使摄像装置108移动至其中一个镜子107的上方，并拍摄液滴201在水平方向的投影面形状(侧边影像)。接着，将摄像装置108移动至另一个镜子107的上 方，从最初所拍摄的投影面的垂直方向拍摄投影面形状。然后，将由所拍摄到的二个影像的底边长度所计算出的值(r或者d)进行比较，当长度相同时便视为半球而计算出体积，当长度不同时便视为椭圆体的一半而计算出体积。 

如上述，在本实施例的具备有成垂直的二片镜子107的构成中，可以取得从相互垂直的二方向所拍摄到的液滴201的影像。由此，可以正确地捕捉液滴201的形状，因而能够精度更佳地计测液滴201的体积。 

实施例3 

[具备有旋转平台的构成] 

本实施例的装置在对于基板的被涂布面具有角度地设置于基板106附近的镜子107为一片这点，以及以角度α设置这点与实施例1相同，但是在具有使调整平台105进行旋转的旋转驱动机构901这点，则与实施例1的装置不同。 

本实施例的调整机构401如图9所示，通过设在调整用平台105的下方的旋转驱动机构901，使调整平台105相对于镜子107旋转。因为调整平台105会旋转，因此能够从二个以上的方向拍摄液滴201的水平方向的影像。 

涂布在基板106上的液滴201的拍摄，首先将摄像装置108移动至所设置的镜子107的上方，并拍摄对基板被涂布面成水平方向的投影面形状。接着，在摄像装置108的位置保持固定的情况下，使调整用平台105进行旋转。调整用平台105的旋转量可以任意调整，例如将旋转量设定为90度(拍摄次数2次)、或者120度(拍摄次数3次)。然后，停止旋转后，拍摄液滴201的不同位置的侧边影像。从所拍摄到的二个以上的影像计算出体积的方法，与前述实施例2相同。 

如上述，在本实施例的具备有旋转的调整平台105的构成中，通过取得从二个以上的方向所拍摄到的影像，可以更加正确地捕捉液滴201的形状，因此能够精度更佳地计测液滴201的体积。 

另外，也可以是不使基板转动，而使镜子相对于基板进行旋转的构成。但是，此种构成需要追踪镜子的转动而将光入射至镜子的光源或者光学系统。 

实施例4 

[设置可使基板朝一方向移动的搬送机构的构成] 

本实施例的涂布装置如图10所示，具备有邻接可使基板109朝一方向移动的搬送机构103而配设的镜子107。镜子107配设于载置于平台上的涂布对象基板109被定位的位置附近。此外，未图示的光源111被配置成隔着平台而与镜子107相对向。 

在基板106上所涂布的液滴201的拍摄以与实施例1相同的步骤进行，关于液滴201的体积计算方法也与实施例1相同。 

在本实施例的构成中，拍摄涂布对象基板109上所涂布的液滴201而计算体积。因此，不需要对调整用基板106的涂布时间和拍摄调整用基板106的时间，因此能够缩短修正所耗费的时间。 

实施例5 

由于作为摄像装置的摄像机所附设的透镜的景深(depth offield)，在对焦于液滴时，会有在基板上焦点不一致，导致与液滴间的边界(即基板上面的边缘)无法鲜明拍摄的情况(图11(a))。即，会有边界线模糊，导致影像辨识时或者体积计算时出现误差的情况。 

在该情况下，为了施行更精密的测定，而实施以下方法。 

首先，在准备上，拍摄液滴涂布前的基板，并对基板上面的边界线进行影像辨识而加以储存(图11(b))。然后，当在基板上涂布液滴，并拍摄该液滴而进行测定时，便根据于上述准备中所储存的边界线，进行影像辨识与体积计算。更详细地说，仅针对上述准备中所储存的边界线更靠上方区域的影像进行影像辨识，而计算体积(图11(c))。 

如上述，通过执行影像辨识与体积计算，能够更精密地执行液滴的排出量的测定。 

此处，在液滴涂布前的基板的摄影时，最好使Z驱动机构动作而调整焦点。此外，液滴涂布前的基板的摄影只要基板、摄像机等的位置未改变，则基本上只要进行一次摄影便可。 

(产业上的可利用性) 

本发明可在排出液体材料的各种装置中实施。 

作为在液体材料离开排出装置前便接触到基板的类型的排出方式，可以例示出如：对前端设有喷嘴的注射器内的液体材料以所希望 时间施加调压空气的气动式；具有平面配管机构或者旋转配管机构的配管式；使在前端设有喷嘴的储存容器的内面进行密接滑动的柱塞移动所希望量而排出的柱塞式；利用螺杆的旋转而排出液体材料的螺杆式；利用阀的开闭，对经过施加所希望压力的液体材料进行排出控制的阀式等。 

再者，作为在液体材料离开排出装置后才接触到基板的类型的排出方式，可例示出如：使阀体碰撞阀座，而使液体材料从喷嘴前端飞散排出的喷射式；使柱塞式柱塞进行移动，接着急遽停止，而同样地从喷嘴前端飞散排出的柱塞喷射式；连续喷射方式或者按需方式的喷墨式等。 

再者，本发明在涂布规定涂布量的液体材料的各种涂布装置中均可以实施。可列举例如在液晶面板制造步骤中的密封涂布装置和液晶滴下装置、或者对印刷电路基板的焊锡膏涂布装置等。 

Claims (15)

1.一种排出量修正方法，测定从喷嘴所排出的液体材料的量而修正排出量，所述排出量修正方法的特征在于，在被涂布面的附近设置与被涂布面具有既定角度的将水平方向的影像朝垂直方向反射的镜子，摄像装置以捕捉影像的物镜面与基板上面的被涂布面相对向的方式设置于XYZ驱动机构，并经由镜子从侧边拍摄在被涂布面所形成的液滴，根据所拍摄到的液滴的影像计算出液滴的体积，再根据所计算出的体积修正排出量。

2.根据权利要求1所述的排出量修正方法，其特征在于，所述镜子为垂直或者对称配置的多片镜子，从水平方向的不同角度拍摄液滴多次，根据所拍摄到的多个液滴的影像，来计算出液滴的体积。

3.根据权利要求1所述的排出量修正方法，其特征在于，使形成在所述被涂布面的液滴或者所述镜子进行转动，从水平方向的不同角度拍摄液滴多次，根据所拍摄到的多个液滴的影像，来计算出液滴的体积。

4.根据权利要求1所述的排出量修正方法，其特征在于，液滴的体积根据液滴侧边的轮廓面积而计算出。

5.根据权利要求1所述的排出量修正方法，其特征在于，液滴的体积根据液滴侧边的轮廓高度以及宽度而计算出。

6.根据权利要求4或5所述的排出量修正方法，其特征在于，在拍摄液滴的平面轮廓而平面轮廓的真圆度超过容许范围的情况下，在被涂布面上再度形成液滴。

7.根据权利要求1或2所述的排出量修正方法，其特征在于，将在被涂布面形成液滴前的被涂布面经由镜子从侧边进行拍摄，根据所拍摄到的被涂布面的影像，而储存被涂布面的边界线，在所述所拍摄到的液滴的影像中，由边界线靠上方的区域计算出液滴的体积。

8.根据权利要求1或2所述的排出量修正方法，其特征在于，所述既定角度为45度。

9.一种液体材料的涂布装置，具备有储存液体材料的储存容器、具有排出液体材料的喷嘴的排出装置、对涂布在被涂布面的液滴进行拍摄的摄像装置、与被涂布面具有既定角度地被设置在被涂布面附近的将水平方向的影像朝垂直方向反射的镜子、以及控制部，所述液体材料的涂布装置的特征在于，

所述摄像装置以捕捉影像的物镜面与基板上面的被涂布面相对向的方式配置于XYZ驱动机构，以及，所述摄像装置以及所述镜子被配置在能够从侧边拍摄到在被涂布面所形成的液滴的位置处。

10.根据权利要求9所述的涂布装置，其特征在于，具备有与所述镜子相对向设置的光源。

11.根据权利要求9或10所述的涂布装置，其特征在于，所述镜子为垂直或者对称配置的多片镜子，

所述摄像装置位于能够经由镜子从水平方向的不同角度拍摄到液滴的位置处。

12.根据权利要求9或10所述的涂布装置，其特征在于，具备有使形成在所述被涂布面的液滴进行转动的平台。

13.根据权利要求9或10所述的涂布装置，其特征在于，具备有相对于形成在所述被涂布面的液滴进行转动的镜子。

14.根据权利要求9或10所述的涂布装置，其特征在于，具备有使所述基板在一方向移动自如的搬送机构，

所述镜子被设置于搬送机构的附近。

15.根据权利要求9或10所述的涂布装置，其特征在于，所述既定角度为45度。