TWI254789B - Volume measuring method, volume measuring device and droplet discharging device comprising the same, and manufacturing method of electro-optic device, electro-optic device and electronic equipment - Google Patents

Description

1254789 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明關於滴下水平面上之液滴之體積之測定用的體 積測定方法、體積測定裝置及具備其之液滴噴出裝置、以 及光電裝置之製造方法、光電裝置及電子機器。 先前技術】 滴體積時可採 向進行攝影所

用 得 習知欲正確獲知由液滴噴頭噴出之液 ，針對飛行之液滴由和飛行方向正交之方 之飛行影像計算體積的方法。 該體積計算方法係假設飛行之液滴對於飛行軸呈現旋 轉對象形’針對飛行影像進行對於中心軸之積分而測定體 積之構成。 (專利文獻1 )特開平5 — 1 4 9 7 6 9號公報 [發明內容】 (發明所欲解決之課題） 但是，由液滴噴頭噴出之液滴之飛行方向會因噴嘴開 口狀態（彎月形狀狀態或疏液處理狀態）而使飛行中之形 狀成爲不一定，體積之計算成爲複雜問題。另外，欲攝影 飛行之液滴之影像時，存在有飛行影像中之液滴輪廓不明 顯、液滴影像之尺寸不正確而導致無法以良好精確度進行 體積測定之問題。 本發明目的在於提供一種可以簡單、且良好精確度地 -4- (2) (2)1254789 測定微小液滴之體積的體積測定方法、體積測定裝置、及 具備其之液滴噴出裝置、以及光電裝置之製造方法、光電 裝置及電子機器。 (用以解決課題的手段） 本發明之體積測定方法，其特徵爲具備：原點座標取 得步驟，係藉由影像辨識手段、以被滴下水平面上之液滴 之水平面視中心點爲原點座標予·以取丨辱；座標計測步驟， 係藉由電磁波測定手段，針對連結所取得水平面視中心點 與液滴之外周圍任意一點的線段，沿著液滴之直徑方向進 行掃描之同時，於多數個位置計測相對於原點座標的液滴 表面之輪廓座標；及體積計算步驟，係依據輪廓座標之計 測結果而算出上述液滴之體積。 滴下水平面上的液滴對於中心軸可視爲大略呈旋轉對 稱之半球形狀，具有此種形狀之液滴之體積之測定時，可 以將該液滴之形狀設爲中心軸相同之多數個圓柱重疊而 成，取得彼等圓柱之體積之和而算出液滴之體積。如上述 說明，藉由對液滴之高度方向予以細分化即可以良好精確 度地算出液滴之體積。 依上述構成，於原點座標取得步驟中影像辨識手段取 得水平面視中心點爲原點座標之後，於座標計測步驟中電 磁波測定手段於多數個位置測定相對於基準原點座標（水 平面視中心點）之液滴表面之輪廓座標。依此則，可算出 各圓柱體積測定時必要之半徑與高度，只需掃描和液滴之 -5- (3) (3)1254789 水平面視半徑相當之部分、取得輪廓座標即可算出液滴之 體積。因此，可於短時間內完成掃描，可縮短體積計算所 要時間。 此情況下，較好是於原點座標取得步驟，對影像辨識 手段進行影像辨識所得之辨識影像施予2値化處理而成爲 液滴影像與周邊影像，依此來決定液滴之輪廓，以水平面 視中心點爲原點座標予以取得之同時，當上述輪廓爲極端 偏離正圓形狀之形狀時，通知其爲錯誤。 依上述構成，對辨識影像施予2値化處理可使液滴輪 廓明確化，於原點座標取得步驟可以辨識出輪廓爲極端偏 離正圓形狀之形狀。因此，對具有偏離正圓形狀之液滴藉 由錯誤通知可以將其由體積計算對象中除去，可以貪飽一 定之體積計算精確度。另外，由上述正確之輪廓取得水平 面視中心點之原點座標，則該水平面視中心點之取得精確 度變高，結果可以良好精確度地算出液滴之體積。又，正 圓形之判斷容許範圍較好是限定爲％之變形量範圍內。 此情況下較好是，於座標計測步驟中，係由水平面視 中心點朝向外周圍進行掃描，電磁波測定手段，於輪廓座 標之高度値爲〇時判斷到達外周圍之任意一點。 依上述構成，由原點座標取得步驟取得之原點座標之 水平面視中心點開始掃描，可以節省不必要之掃描’可縮 短體積計算所要之時間。又，可由實際測定値判斷到達外 周，因此不必預先特定外周之任意點。 此情況下較好是，於座標計測步驟中’使電磁波測定 -6 - (4) (4)1254789 手段之掃描，藉由和輪廓座標之多數個位置之計測對應地 間歇性移動予以進行。 依上述構成，電磁波手段於各輪廓座標之測定位置， 可以靜止狀態正確定位而測定輪廓座標，因此可以良好精 確度地測定輪廓座標。 此情況下較好是，輪廓座標之多數個位置計測中之各 位置之間隔，係由水平面視中心點朝向外周圍慢慢變小。 依上述構成，液滴之輪廓座標高度變化較大之外周附 近之座標可以精密測定，可提升體積計算之精確度。 此情況下較好是，於座標計測步驟中，電磁波手段之 計測，係變化掃描方向而重複進行多數次，於體積計算步 驟中依據重複進行所得之多數個輪廓座標平均値計算出體 積。 依上述構成，針對多數次測定所得之液滴表面之多數 個輪廓座標渠其平均値，因此即使於水平面上僅有稍微變 形時亦可測定平均之輪廓座標。結果，可提升體積計算之 精確度。又，依使掃描方向不同所得之多數個輪廓座標之 每一個計算體積，對該體積算出平均値亦可。 此情況下較好是，電磁波手段爲以雷射光作爲計測光 使用之雷射式距離計測器。 依上述構成，可以簡單裝置針對液滴表面之微小區域 測定座標之同時，可提升測定精確度。 本發明之體積測定裝置，其特徵爲具備：影像辨識手 段’用於攝影被滴下水平面上之液滴之影像，並以該液滴 (5) (5)1254789 之水平面視中心點爲原點座標予以取得；座標計測手段， 係針對連結水平面視中心點與液滴之外周圍任意一點的線 段，沿著液滴之直徑方向進行掃描之同時，於多數個位置 計測相對於原點座標的液滴表面之輪廓座標；及體積計算 手段，用於依據輪廓座標之計測結果而算出液滴之體積。 依上述構成，可由液滴表面之輪廓座標獲知各圓柱體 積測定時必要之半徑與高度，只需掃描和液滴之水平面視 半徑相當之部分即可算出液滴之·體稹因此，可於短時間 內完成掃描，可縮短體積計算所要時間。 此情況下較好是，使座標計測手段和輪廓座標之多數 個位置之計測對應地間歇性移動，該計測係於移動停止時 被進行。 依上述構成，於各輪廓座標之測定位置，係於靜止狀 態正確定位而測定輪廓座標，因此可以良好精確度地測定 體積。 此情況下，座標計測手段較好是變化掃描方向而重複 進行多數次計測，體積計算手段則依據重複進行所得之多 數個輪廓座標之平均値計算出體積。 依上述構成，可防止液滴之水平面視半徑之輪廓座標 誤差引起之測定不良，可提升體積計算之精確度。又，依 使掃描方向不同所得之多數個輪廓座標之每一個計算體 積，對該·體積算出平均値亦可。 此情況下較好是，座標計測手段爲以雷射光作爲計測 光使用之雷射式距離計測器。 -8 - (6) (6)1254789 依上述構成，可以簡單裝置針對液滴表面之微小區域 測定座標之同時，可提升測定精確度。 本發明之液滴噴出裝置，其特徵爲具備：液滴噴頭’ 係針對工件由多數個噴嘴噴出功能性液滴而形成薄膜形成 部；X · γ移動機構，對液滴噴頭可使工件在X軸方向與 Y軸方向進行相對移動；申請專利範圍第8至1 1項中任 一項之體積測定裝置，用於計算各噴嘴所噴出液滴的功能 性液滴之體積；及噴頭控制裝置·，可由體積測定裝置計算 出之多數個噴嘴之每一個之功能性液滴之體積，來補正驅 動波形以使各噴嘴成爲均勻。 依上述構成，液滴噴頭噴出之功能性液滴之體積可由 體積測定裝置算出，對於容易蒸發之微小量功能性液滴可 以迅速算出其體積。又，依據算出結果進行補正則可以良 好精確度地管理各噴嘴噴出之功能性液滴之體積。又，欲 將全部噴嘴之噴嘴液滴量（體積）補正爲均勻時，可將體 積設定於預先指定之範圍，貨以全部噴嘴之平均値爲基準 而決定範圍。 此情況下較好是，座標計測手段由以下構成：計測手 段，可於多數個位置針對線段計測相對於原點座標之液滴 表面之輪廓座標；及掃描手段，其伴隨著計測可使計測手 段對線段朝功能性液滴之直徑方向進行掃描；液滴噴頭係 介由拖架搭載於Χ·γ移動機構；Χ·γ移動機構兼用作 爲掃描手段；而且計測手段被安裝於拖架。 依上述構成，和液滴噴頭將功能性液滴噴出於水平面 (7) 1254789 上同時’使掃描手段之X · Y移動機構掃描拖架，藉由拖 · 架上搭載之計測手段可以計測液滴之輪廓座標。依此則， : 可以活用X · Υ移動機構作爲掃描手段，可提升計測精確 度之同時，構造可以簡單化。 此情況下較好是，影像辨識手段被安裝於上述拖架。 依上述構成，可於液滴移動於垂直方向起進行液滴之 影像辨識，可決定正確之輪廓，可以良好精確度地取得水 平面視中心點。又，液滴之噴出與其之影像辨識可連續進 Φ 行。 本發明之光電裝置之製造方法，其特徵爲：使用上述 液滴噴出裝置，於上述工件形成上述功能性液滴之薄膜形 成部。 又，本發明之光電裝置，其特徵爲：使用上述液滴噴 出裝置於工件形成功能性液滴之薄膜形成部。 依上述構成，使用可以良好精確度地由噴嘴噴出正確 液滴量功能性液滴的液滴噴出裝置予以製造，可以製造信 · 賴性高之光電裝置。又，光電裝置（平板顯示器）可爲彩 色灑先片、液晶威不裝置、有機E L顯示裝置、p D Ρ裝 置、裝置、電子放出裝置等。又，電子放出裝置爲包含所 謂 FED ( Field Emission Display )或 SED ( Srface-conduction Electron- Emitter Display )裝置之槪念。光電 裝置亦可考慮爲包含金屬配線形成、透鏡形成、透鏡形成 及光擴散體形成等之裝置。 本發明之電子機器，其特徵爲：搭載有使用上述光電 -10- (8) I254789 裝置之製造方法所製造之光電裝置或搭載有上述光電裝置 者。 此情況下，電子機器可爲搭載有所謂平板顯示器之行 動電話、個人電腦或者其他各種電氣製品。 (發明之效果） 如上述說明，依本發明之體積測定方法及體積測定裝 置，可於短時間正確測定液滴之體積。又，使用該體積測 定裝置算出微小液滴之由液滴噴頭噴出之功能性液滴之體 積，依此補正噴嘴之驅動波形，則可以良好精確度地管理 ^&噴嘴噴出之功能性液滴之體積。 又，本發明之光電裝置之製造方法、光電裝置以及電 子機器，係使用具備上述體積測定裝置之液滴噴出裝置予 以製造，可提升作業之信賴性，可以有效製造彼等。 【實施方式】 以下依據圖面說明本發明之體積測定方法與體積測定 裝置適用之液滴噴出裝置。本實施形態之液滴噴出裝置爲 被組入所謂平板顯不益之一之有機E L顯不裝置握液晶顯 示裝置之製造線者。本實施形態中，首先說明組入有機 EL顯示裝置之製造線的液滴噴出裝置。 液滴噴出裝置爲，藉由其搭載之液滴噴頭將功能性液 滴（發光材料）噴出至工件（基板）W上而形成有機EL 顯示裝置之E L發光層與電洞注入層者。包含該液滴噴頭 -11 - (9) 1254789 之噴出動作的一連串製造步驟，爲排除外氣之影響而於被 維持乾燥空氣環境之腔室裝置內部進行。 如圖1所示’液滴噴出裝置1具備：機台6 ;具有於 機台6上側中央以十字狀配置的3個液滴噴頭丨]的描衋 裝置2 ;於機台6上與描畫裝置2並列設置作爲液滴噴頭 1 1維修用的各種裝置構成之維修裝置3 ;及將彼等裝置維 持於乾燥空氣環境下的上述腔室裝置5。 描畫裝置2，係使用液滴噴頭1 1對工件（基板）W 上進行功能性液滴之描畫者。維修裝置3爲進行液滴噴頭 U之維修之同時，進行檢測以確認功能性液滴由液滴噴 頭1 1是否被正確噴出，爲使液滴噴頭丨丨之功能性液滴之 噴出穩定者。又，液滴噴出裝置i具備：對描畫裝置2供 給功能性液體之功能性液體輸送裝置（未圖示），與和後 述之吸附載置台63連通之工件W吸附用之真空泵（未圖 不）等。 功能性液體輸送裝置具有R、G、B 3色之3個功能性 液體貯液槽（未圖示）可對3個液滴噴頭1 1分別供給 R、G、B3色之功能性液體。又，液滴噴出裝置丨具備控 制裝置1 02可對上述各構成裝置進行統合控制。 維修裝置3具備：保管單元2 1，於液滴噴出裝置i 之非連轉時可治接液滴噴頭1 1防止其乾燥；吸附單元 3 1，可進行吸附（cleaning )據以除去黏性變強之功能性 液體’以及接受液滴噴頭1 1之無用噴出（蒸散， flashing);擦拭單元41，可擦拭液滴噴頭n之噴嘴面 -12- (10) 1254789 1 2上附者之污染。裝置各單兀被搭載於移動平台4 3，其 · 被載置於機台6上朝X軸方向延伸，藉由移動平台* 3可 / 朝X軸方向移動。維修裝置3具有體積測定裝置4可測 定液滴噴頭1 1噴出之功能性液滴之體積，體積測定裝置 4搭載於描畫裝置2，而非搭載於移動平台43。體積測定 裝置4如後述說明。 保管單元2 1具有密接於液滴噴頭丨]之噴嘴面1 2的 密封蓋2 2，密封蓋2 2介由密封蓋升降機構2 3安裝於移 鲁 動平台4 3。於液滴噴出裝置1之非運轉時，液滴噴頭1 1 移至移動平台4 3上之維修位置，使密封蓋2 2上升而密接 於液滴噴頭11之噴嘴面1 2。亦即，密封液滴噴頭1 1之 全部噴嘴1 1，防止各噴嘴1 1之功能性液滴之乾燥。依此 則可抑制功能性液體之黏性變強，可防止噴嘴阻塞。 吸附單元3 1具有密接於液滴噴頭1 1之噴嘴面1 2的 吸附蓋3 2，吸附蓋3 2介由吸附蓋升降機構3 3安裝於移 動平台4 3。吸附蓋3 2連接吸附栗（未圖示）。對液滴噴 · 頭1 1塡充功能性液體時或吸附黏性變強之功能性液體 時，使該吸附蓋3 2上升密接於液滴噴頭1 1以進行泵吸 附。又，停止功能性液滴之噴出（描畫）時，驅動液滴噴 頭1 1以進行蒸散（無用噴出）。此時，使吸附蓋3 2僅稍 微離開液滴噴頭1 1而接受蒸散（無用噴出）。依此則’ 可防止噴嘴阻塞之同時，因噴嘴阻塞所導致之液滴噴頭 1】之功能可以回復。 於擦拭單元4 1，將擦拭片42設置成可以自由出入、 -13- (11) 1254789 且可自由捲取，使自由出入之擦拭片42前進、且藉由移 動平台4 3使擦拭單元4 1朝X軸方向移動即可擦拭液滴 噴頭Π之噴嘴面1 2。依此則，可除去附著於液滴噴頭} j 之噴嘴面1 2之功能性液體，可防止功能性液滴噴出時之 飛行曲線。又，維修裝置4，除上述各單元以外，較好是 搭載噴出檢測單元以檢測由液滴噴頭1 1噴出之功能性液 滴之飛行狀態。 如圖1所示’描畫裝置2具有以十字狀設於機台6上 的X · Y移動機構6 1。X · Y移動機構6 1爲使工件w相 對於液滴噴頭11朝X軸方向與γ軸方向移動者，具有： 搭載工件W的X軸平台62;及跨越其而設置成正交，可 搭載液滴噴頭1 1的Y軸平台7 1。於描畫裝置2，除進行 液滴噴頭1 1之位置辨識的噴頭辨識攝影機（未圖示）， 與進行工件W之位置辨識的工件辨識攝影機（未圖示） 以外，可具備體積測定裝置4等之各種裝置。 工件W由組裝有電極等之透光性（透明）玻璃基板 構成，其表面被區分爲製作畫素用的多數個描畫區域D， 與非描畫區域S。 於該描畫區域〇被液滴功能性液滴進行描畫。本實 施形態中，於非描畫區域S，藉由液滴噴頭1 1噴出測定 用之功能性液滴以測定各噴嘴之噴出量。亦即，非描畫區 域s之表面相當於申請專利範圍記載之水平面，藉由體積 測定裝置4測定著彈於該部分之功能性液滴之體積。又， 和工件W不同地，亦可將構成上述水平面之測定用基板 -14 - (12) 1254789 另外設於描畫裝置2。 X軸平台6 2，係直接設於機台6成爲和延伸於X軸 方向之維修裝置3相互平行，具備：設定平台6 6，由吸 附工件W的吸附平台63，與將吸附平台63支撐爲可朝z 軸兄0自由旋轉的0平台64構成；X軸滑動器6 5，將設 定平台66支撐爲可於X軸方向自由滑動；及X軸馬達 (未圖不）可驅動X軸滑動器6 5。工件W被吸附載置於 吸附平台6 3 ’介由X軸滑動器6 5殼貯掃描方向之X軸方 向移動。 Y軸平台7 1具備：挾持X軸平台6 2而立設於機台6 上的左右一對支柱72 ;懸掛於兩支柱72的γ軸框架 73 ;於Y軸框架73之稱爲自由滑動的γ軸滑動器74 ;驅 動Y軸滑動器7 4的Y軸馬達（未圖示）；及被Y軸滑動 器7 4支撐、可搭載液滴噴頭1 1的主拖架7 5。於主拖架 75垂設噴頭單元76，於噴頭單元76介由副拖架（未圖 示）搭載R、G、B 3色之液滴噴頭]1。 液滴噴頭1 1，係於噴嘴面1 2具有多數個（例如1 8 〇 個）噴嘴1 3可噴出功能性液滴，彼等多數個噴嘴1 3構成 噴嘴列。 R、G、B 3個液滴噴頭1 1，係使噴嘴列1 4和主掃描 方向呈正交地，於噴頭單元7 6被橫向並列於X軸方向。 對工件W進行描畫時，使功能性液滴噴頭（噴頭單 元7 6 ) 1 1面對工件W ’和X軸平台6 2之主掃描（工件 W之往復移動）同步地進行液滴噴頭 Π之驅動噴出。 -15- (13) (13)1254789 又，藉由Y軸平台7 1適當進行副掃描（噴頭單元7 6之 移動）。藉由該一連串動作，可於工件W之描畫區域D 選擇性噴出功能性液滴、亦即進行描畫。 進行液滴噴頭1 1之維修時，藉由移動平台4 3使吸附 單兀3 1移至特疋維修位置之同時，藉由γ軸平台7 1使 噴頭單兀7 6移至上述維修位置以進行液滴噴頭1 1之蒸散 (無用噴出）或泵吸附。進行泵吸附時，接續藉由移動平 台4 3使擦拭單兀4 1移至維修位置，進行液滴噴頭1 1之 擦拭。同樣地’作業結束停止裝置運轉時，藉由保管單元 2 1進行液滴噴頭Π之帽蓋動作。 以下參照圖3說明體積測定裝置4。體積測定裝置 4，係測定滴下水平面上之液滴（功能性液滴）1 2 1之體 積者，具備：影像辨識手段8 1，其取得液滴1 2 1之水平 面視中心點1 2 3爲原點座標1 3 1 ;座標計測手段（電磁波 手段）9 1，可於多數個位置測定液滴1 2 1表面之座標之輪 廓座標1 2 6 ;及體積計算手段1 〇 ].(以控制裝置1 〇 2之一 部分構成），可依據測定之輪廓座標1 2 6算出液滴之體積 (參照圖2 )。座標計測手段9 1係由計測輪廓座標之計 測手段9 2，與掃描計測手段9 2之掃描手段9 3構成。本 實施形態中，掃描手段9 3由X _ Υ移動機構6 1構成。 如圖示，影像辨識手段8 1具有：附加照明之CCD攝 影機8 2 ’可攝影滴下非描畫區域S之液滴丨2 1之影像； 及影像處理手段8 3 (以控制裝置1 02之一部分構成）， 對C CD攝影機82之影像辨識獲得之辨識影像（未圖示） -16- (14) (14)1254789 施予影像處理。計測手段92由雷射式距離計測器94，與 座標儲存記憶體95 (以控制裝置1 02之一部分構成）構 成。雷射式距離計測器94於內部具有雷射振盪器（未圖 示），係以雷射光爲計測光，利用反射光之相位計測輪廓 座標126之高度（Z座標）。彼等之中CCD攝影機82與 雷射式距離計測器94作爲一體之雷射單元而構成，位於 液滴噴頭Π之側方被搭載於噴頭單元76。 又，如圖2所示，影像處理手段8 3以組裝於控制裝 置1 02之影像處理軟體構成，進行CCD攝影機82攝影之 辨識影像之影像處理，具體之影像處理作業如後述。同樣 地，座標儲存記憶體95，爲組裝於控制裝置1 〇2之硬 體’暫時儲存於座標儲存記憶體9 5之輪廓座標資料被由 體積計算手段1 0 1讀出。 參照圖2說明本實施形態之液滴噴出裝置1之控制裝 置1 〇 2之控制。控制裝置1 〇 2具有：控制部1 〇 3，可直接 或介由各種驅動器間接控制液滴噴出裝置1之各構成裝 置；及直接擔當彼等各構成裝置之驅動的驅動器群1 i j。 控制部1 0 3具備：以微處理器構成之CPU 1 04 ;記憶 各控制程式的ROM 105 ;主記億裝置之ram 106 ;安裝於 硬碟的染體’可算出功能性液滴之體積的體積計算手段 1 〇 1 ;同樣微影像處理染體，對攝影之辨識影像施予影像 處理的影像處理手段83 ·，座標儲存記憶體95 ;及將彼等 連接於驅動器群Π 1的周邊控制電路丨〇 7 ;彼等介由內部 匯流排1 〇 8互相連接。 -17- (15) 1254789 驅動器群1 π，係由：對顯示裝置8 4進行顯示 示器控制器1 1 2 ;控制液滴噴頭1 1之噴出的噴頭控 段1 1 3 ;驅動X · Y移動機構6 1的馬達驅動器1 1 4 ; 雷射式距離計測器94的雷射驅動器丨丨5 ;以及驅動 攝影機8 2的攝影機驅動器1 I 6等之各種驅動器構成。 上述控制裝置1〇2中，CPU 104係介由攝影機驅 1 16指示CCD攝影機82攝影液滴121隻影像之同時 該攝影之辨識影像介由影像處理手段8 3施予影像處 同樣地，CPU 104，係介由雷射驅動器1 15使雷射式 計測器94計測輪廓座標1 26，並指示將該計測之座 料存於座標儲存記憶體95。此情況下，CPU 1 04，係 馬達驅動器1 1 4驅動X · Y移動機構6 1使雷射式距 測器94相對於液滴1 2 1進行相對移動。如上述說明 制裝置1 〇 2 ( C P U 1 0 4 )統合控制液滴噴出裝置1之各 裝置。 參照圖3說明液滴之體積測定方法之槪略。由液 頭1 1噴出之液滴（功能性液滴）1 2 1，著彈於上述非 區域S，對於中心軸成爲&E轉封象之半球形狀。液滴 之半球形狀可視爲中心軸相同之薄形圓柱]2 2疊層 者。本實施形態中，藉由計算該多數個圓柱1 2 2之體 和，而算出液滴〗2 1之體積。當然液滴1 2 1之細分化 限於上述水平方向之分割方法。 本實施形態之體積計算方法中’首先以影像辨識 8 ]取得相當於液滴1 2 1之中心的水平面視中心點1 2 3 的顯 制手 驅動 CCD 動器 ，對 理。 距離 標資 介由 離計 ，控 構成 滴噴 描畫 12 1 而成 積之 放不 手段 ，之 -18- (16) (16)1254789 後座標計測手段91以該水平面視中心點1 2 3微原點座標 131予以辨識，以此爲基準而計測輪廓座標126據以計測 液滴1 2 1之體積。該輪廓座標1 26之計測，只需算出上述 各圓柱1 2 2之半徑與高度即可’因此僅掃描連結水平面視 中心點丨2 3與液滴121之外周12 4之任意1點A之線段 1 2 5 (相當於水平面視半徑之部分）（本實施形態中’掃 描X軸方向）（參照圖3 )。又’申請專利範圍記載之水 平面視中心點係指非描畫區域S上（水平面上）之某一中 心點，並非液滴1 2 1表面上之某一中心點。 以下說明體積測定作業之具提流程。體積測定作業係 由：藉由影像辨識手段81取得原點座標131的原點座標 取得步驟；藉由座標計測手段9 1計測液滴1 2 1表面之座 標的座標計測步驟；及藉由體積計算手段1 0 1算出液滴 121之體積的體積計算步驟構成。 如圖4所示，滴下非描畫區域S之液滴12 1，係於原 點座標取得步驟中，藉由影像辨識手段81攝影之辨識影 像（未圖示），進行非描畫區域S上之位置與液滴1 2 1之 輪廓之影像辨識（S1)。藉由影像處理手段83，將辨識 影像施予黑白之2直化處理成爲液滴影像（未圖示）與周 邊影像（未圖示），以決定液滴121之輪廓。依據該辨識 之輪廓而取得液滴121之水平面視中心點123( S2)。 又，藉由該辨識結果，具有偏離正圓5%以上變形量之液 滴121則發出警告聲音或於顯示裝置84之畫面上以警告 訊息通知錯誤。 -19- (17) (17)1254789 說明原點座標1 3 1之辨識作業。辨識作業，係首先藉 由X · Y移動機構6 1定位雷射式距離計測器9 4使雷射式 距離計測器94位於液滴1 2 1之水平面視中心點1 23之垂 直上方。定位後，雷射式距離計測器9 4以水平面視中心 點1 23爲基準進行0點補正。依此則，控制裝置1 〇2可以 辨識水平面視中心點1 23作爲原點座標1 3 1。該辨識作業 爲所謂之〇點補正，以雷射式距離計測器94計測原點座 標1 3 1所得高度（Z座標）爲0予以補正之同時，雷射式 距離計測器94以X · Y移動機構61所支撐之位置（X座 標與Y座標）爲〇予以辨識。 0點補正後移至座標計測步驟，計測水平面視中心點 123之垂直上方某一液滴121之輪廓座標126。之後，於 上述水平面視中心點1 23起算移動液滴1 2 1之直徑方向、 例如於X軸方向使X軸平台62移動1 # m之計測位置， 雷射式距離計測器94計測正下方之輪廓座標。彼等計測 之座標資料依序被存於座標儲存記憶體95 (S3)。同樣 地，於X軸方向以各1 # m之等間隔移動之各計測位置進 行座標計測，重複該計測作業直至液滴1 2 1之外周1 24而 進行座標計測同儲存該座標資料。此情況下，當連續計測 輪廓座標126之高度（Z座標）爲〇.l#m以下（亦即0) 時，判斷到達液滴1 2 1之外周1 24而結束座標計測（S 4 ) (參照圖5 )。 上述X軸方向之座標計測（掃描）結束後，以同樣 方法僅變更掃描方向、例如掃描Y軸方向進行座標計 -20- (18) (18)1254789 測，由液滴1 2 1之水平面視中心點1 2 3至外周1 2 4爲止進 行座標計測，儲存該座標資料。重複進行變更掃描方向之 座標計測多數次，取得液滴1 2 1之輪廓座標1 2 6之平均 値，據此可以確保體積計算之精確度。 之後，移至實際計算體積之體積計算步驟◦首先，進 行平均値之計算作業。於各掃描方向間依據上述座標資料 之各計測位置（亦即由水平面視中心點1 2 3起等距離之 點）之每一位置算出高度之平均値，如圖5所示將液滴 1 2 1表面之位置以水平面視中心點1 2 3起算之距離於高度 之平均値之表示用之列表予以輸出。又，圖5之文字η相 當於液滴1 2 1之半徑（V m )。 由圖5之列表値可知，對上述薄形圓柱1 22之體積施 予加法運算可算出液滴1 2 1之體積（圖4之S 5 )。液滴 121之體積之計算式爲， V = ΣπΙΙη 2Ηη 其中Rn爲圓柱122之半徑，

Hn爲圓柱122之高度。 算出結果顯示於顯示裝置84 (圖4之S 6 )。 又，於液滴1 2 1之直徑方向之掃描，各計測位置係採 用各1 // m之等間隔，但是亦可更細密進行外周1 2 4附近 之座標計測。更具體言之爲，高度變化較少之液滴1 2 1之 水平面視中心點1 2 3附近以1 // m之等間隔進行座標計 測，高度變化大之外周1 2 4附近則以約〇 · 1 v m之較細間 隔計測。較好是越向外周I 2 4慢蠻縮小計測間隔進行計 -21 - (19) (19)1254789 測。依此則’高度（Z座標）變化量大之液滴12!之外周 124附近之體積能更正確算出其之體積，可提升計測精確 度。 以上之作業（動作）係針對全部噴嘴1 3噴出之液滴 1 2 1進行。此情況下，例如由液滴噴頭1 1之全部噴嘴} 3 噴出測定用液滴1 2 1，藉由雷射式距離計測器94朝X軸 方向與Y軸方向移動而進行座標計測。 又，依據上述體積測定結果·，可便液滴噴頭1 1之各 噴嘴1 3噴出之液滴1 2 1之體積均一化。本實施形態中， 計算各噴嘴13之噴出量（體積），以偏離彼等平均値之 噴嘴1 3設爲均一化對象。均一化作業，可藉由調整泵作 用驅動之壓電元件（未圖示）上施加之電壓而控制噴嘴 1 3之液滴1 2 1之噴出而進行。此情況下，介由噴頭控制 手段113補正該對象之噴嘴13之驅動波形而調整噴出 量。 依本實施形態，藉由影像辨識手段81取得功能性液 滴之水平面視中心點1 23，計測手段92可對連結功能性 液滴之水平面視中心點12 3於外周12 4之任意1點A之 線段1 2 5進行座標計測，可縮短體積計算時間。因此，可 於短時間內算出液滴噴頭1 1 ’功能性液滴之蒸發引起之 測定誤差不會影響體積計算精確度。另外’依據算出之體 積而補正噴嘴1 3之驅動波形則可一調整液滴噴頭1 1之噴 出量成爲均一化。 以下，以彩色濾光片、液晶顯示裝置、有機E L顯示 -22- (20) 1254789 裝置、電漿顯示裝置（PDP裝置）、電子放出裝置（MB 衣置、SED裝置）以及形成於彼等顯示裝置上的主動矩陣 基板爲例，作爲使用本實施形態之液滴噴出裝置1製造之 光電裝置（平板顯示器），而說明彼等構造及其製造方 法。又，主動矩陣基板係指形成有薄膜電晶體、與電連接 於薄膜電晶體之源極線、資料線的基板。 首先，說明組裝於液晶顯示裝置或有機EL顯示裝置 之彩色濾光片之製造方法。圖6爲彩色濾光片之製程之流 &圖，圖7爲依製程順序表示之彩色濾光片5 〇 〇 (濾光片 基體500A)之模式斷面圖。 首先，於暗矩陣形成步驟（S ；!丨），如圖7 ( a )所 不，於基板（W ) 5 0 1上形成暗矩陣5 〇 2。暗矩陣5 〇 2係 由金屬鉻、金屬鉻與氧化鉻之積層體、或暗樹脂等形成。 形成金屬薄膜構成之暗矩陣5 02時可用濺射法或蒸鍍 法等。形成樹脂薄膜構成之暗矩陣5 0 2時可用照相凹版印 刷法、光阻劑法、熱轉印法等。 之後，於堤堰部形成步驟（S 1 2 )，於暗矩陣5 0 2上 電疊狀態下形成堤堰部5 0 3。亦即，首先如圖（b )所 示，覆蓋基板（W ) 5 0 1與暗矩陣5 〇2地形成負片型透明 感光性樹脂構成之阻劑層5〇4。之後，其上面被以矩陣狀 圖型形成之遮罩薄膜5 0 5覆蓋狀態下施予曝光處理。 如圖7 ( c )所示，藉由蝕刻處理對阻劑層5 0 4之未 曝光部分施予圖型化處理而形成堤堰部5 0 3。又，以暗樹 脂形成暗矩陣時，可兼用作爲暗矩陣與堤堰部。 -23- (21) (21)1254789 該堤堰部5 0 3與其下之暗矩陣5 02成爲間隔各畫素區 域5 0 7 a之間隔部5 0 7 b，於後續著色層形成步驟中由液滴 噴頭1 1形成著色層（薄膜部）5 0 8 R、5 0 8 G、5 0 8 B時用 於界定功能性液滴之著彈區域。 經由上述暗矩陣形成步驟與堤堰部形成步驟而得上述 濾光片基體5 0 0A。 又，本實施形態中，堤堰部5 03之材料使用塗敷膜表 面爲疏液性（疏水性）之樹脂材料。因爲基板（玻璃基 板）5 0 1表面爲親液性（親水性），於後述著色層形成步 驟被堤堰部5 0 3 (間隔部5 07b )包圍之各畫素區域5 0 7a 內之液滴之著彈位置之精確度可以提升。 之後，如圖 7 ( d )所示，於著色層形成步驟 (S 1 3 )，由液滴噴頭Π噴出功能性液滴使著彈於間隔部 5 0 7 b包圍之各畫素區域5 〇 7 a內。此情況下，使用液滴噴 頭1 1導入R、G、B 3色之功能性液體（濾光片材料）進 行功能性液滴噴出。又，R、G、B 3色之配列圖型可爲直 條狀、鑲嵌狀與三角形狀配列等。 之後，經由乾燥處理（加熱處理）使功能性液體定色 形成3色著色層508R、508G、508B。形成著色層508R、 5 0 8 G、5 0 8 B之後移至保護膜部形成步驟（S 1 4 )，如圖7 (e )所示，形成保護膜5 0 9覆蓋基板（玻璃基板）5 0 1、 間隔部507b、以及著色層508R、508G、508B之上面。 亦即，基板5 0 1之著色層5 0 8 R、5 0 8 G、5 0 8 B形成面 全體被塗敷保護膜用塗敷液之後，經由乾燥處理形成保護 -24- (22) (22)1254789 膜 5 0 9。 形成保護膜5 0 9之後，彩色濾光片5 0 0被移至次一步 驟之成爲透明電極的I Τ Ο ( I η d i u m T i η Ο X i d e )等之薄膜 塗敷步驟ΰ 圖8爲使用彩色濾光片5 0 0之液晶顯示裝置之一例的 被動矩陣型液晶裝置（液晶裝置）之槪略構成之重要部分 斷面圖。於該液晶裝置5 2 0安裝液晶驅動IC、背照光 源、支撐體等附加要素而成爲最終製品之透過型液晶顯示 裝置。彩色濾光片5 0 0係和圖7所示相同者，因此對應之 部位附加相同符號並省略其說明。 該液晶裝置5 2 0槪略由：彩色濾光片5 00、玻璃基板 構成之對向基板521、挾持於彼等之間的 STN ( Super T w i s t e d N e m a t i c )液晶組成物構成之液晶層5 2 2構成，彩 色濾光片5 00配置於圖中上側（觀察者側）。 於對向基板5 2 1與彩色濾光片5 0 0外側（液晶層5 2 2 側之相反側）分別配置偏光板，於對向基板5 2 1側偏光板 之外側配置背照光源。 於彩色濾光片5 0 0之保護膜5 0 9上（液晶層側）’於 圖中左右方向以特定間隔形成多數個長尺之短柵狀第1電 極5 2 3，形成第1配向膜5 2 4用於覆蓋第1電極5 2 3之彩 色濾光片5 0 0側之相反側之面。 另外，於對向基板5 2 1之和彩色濾光片5 〇 〇呈對向之 面上，於和彩色濾光片5 0 0之第1電極5 2 3呈正交方向以 特定間隔形成多數個長尺之短柵狀第2電極5 2 6 ’形成第 -25- (23)1254789 2配 面。 材料 之厚 晶層 之一 彩色 部分 523 500 526 側之 528 之部 522 源。 間隙 52 1 構件 第1 向膜5 2 7用於覆蓋第2電極5 2 6之於液晶層5 2 2側之 該第1、第2電極523、526係由ITO等之透明導電 形成。 設於液晶層5 2 2內之間隔物5 2 8，爲保持液晶層522 度（格間隙）於一定的構件，密封構件5 2 9爲防止液 5 2 2內之液晶組成物露出外部的構件。第1電極5 2 3 端部作爲迂迴配線5 2 3 a延伸至密封構件5 2 9外側。 第1電極5 23與第2電極5 2 6之交叉部分爲畫素，使 濾光片500之著色層508R、508G、508B位於該畫素 而構成。 於一般製造步驟，係於彩色濾光片5 0 0進行第1電極 之圖型化與第丨配向膜5 24之塗敷作成彩色濾光片 側之部分之同時，另外於對向基板5 2 1進行2 1電極 之圖型化與第2配向膜5 2 7之塗敷作成對向基板5 2 1 部分。之後，於對向基板5 2 1側之部分製作間隔物 與密封構件5 2 9，於此狀態下貼合彩色濾光片5 0 0側 分。之後，由密封構件5 2 9之注入口注入構成液晶層 之 '液晶’密封注入口之後，積層兩偏光板與背照光 實施形態之液滴噴出裝置1，可塗敷例如構成上述格 之間隔物材料（功能性液體）之同時，可於對向基板 側之部分貼合彩色濾光片5 0 0側之部分之前，於密封 5 29包圍之區域均勻塗敷液晶（功能性液體）。又， 配向膜5 2 4、第2配向膜5 2 7之塗敷亦可藉由液滴噴 -26- (24) 1254789 頭Π進行。 圖9爲適用本實施形態中製造之彩色濾光片5 Ο 0之液 晶裝置第2例之槪略構成之重要部分斷面圖。 該液晶裝置5 3 0和液晶裝置5 2 〇之較大差異爲，將彩 色濾光片5 0 0配置於圖中下側（觀察者側之相反側）。 該彳仪晶裝置5 3 0槪略爲’由彩色漉光片5 0 0與玻璃基 板等構成之對向基板5 3 1之間挾持s τ Ν液晶形成之液晶 層5 3 2等構成。於對向基板5 3 1與彩色濾光片5 0 0外面分 別配置偏光板（未圖示）。 於彩色濾光片5 0 0之保護膜5 0 9上（液晶層5 3 2 側）’於圖中深度方向以特定間隔形成多數個長尺之短柵 狀第1電極5 3 3，形成第1配向膜5 3 4用於覆蓋第1電極 5 3 3之於液晶層5 3 2側之面。 於對向基板5 3 1之和彩色濾光片5 0 0呈對向之面上， 以特定間隔形成多數個短柵狀第2電極5 3 6，該第2電極 5 3 6朝和彩色濾光片5 0 0側之第1電極5 3 3正交之方向延 伸，形成第2配向膜5 3 7用於覆蓋該第2電極5 3 6之於液 晶層5 3 2側之面。 於液晶層5 3 2設有使該液晶層5 3 2之厚度保持一定的 間隔物5 3 8，及防止液晶層5 3 2內之液晶組成物露出外部 的密封構件5 3 9。 和液晶裝置5 2 0同樣地，第〗電極5 3 3與第2電極 5 3 6之交叉部分爲畫素，於該晝素部位構成彩色濾光片 500 之著色層 508R、 508G、 508Β。 -27- (25) (25)1254789 圖1 0爲使用本發明適用之彩色濾光片5 Ο 0構成液晶 裝置之第3例，爲透過τ ρ (薄膜電晶體）型液晶裝置之 槪略構成之分解斜視圖。 該液晶裝置5 5 0爲將彩色濾光片5 0 0配置於圖中上側 (觀察者側）者。 該液晶裝置5 5 0槪略由：彩色濾光片5 0 0、與其呈對 向配置之對向基板5 5 1、挾持於彼等之間的液晶層（未圖 示）、配置於彩色濾光片5 0 0上面側（觀察者側）的偏光 板5 5 5、及配置於對向基板5 5 i下面側的偏光板（未圖 示）構成。 於彩色濾光片5 0 0之保護膜5 0 9表面（對向基板5 5 1 側之面）形成液晶驅動用電極5 5 6。該電極5 5 6由I Τ Ο等 透明導電材料構成，成爲覆蓋後述畫素電極5 6 〇之形成區 域全體的全面電極。又，在覆蓋該電極5 5 6之和畫素電極 5 6 0相反側之面的狀態下配置配向膜5 5 7。 在對向基板5 5 1之和彩色濾光片5 0 0呈對向之面上形 成絕緣層5 5 8，於該絕緣層5 5 8以互爲正交狀態下形成掃 描線5 6 1與信號線5 6 2。於彼等掃描線5 6 1與信號線5 6 2 包圍區域內形成畫素電極5 6 0。實際之液晶裝置係於畫素 電極5 6 0上配置配向膜（未圖示）。

於畫素電極5 6 0之切口部、掃描線5 6〗與信號線5 6 2 包圍之部分，被組裝具有源極、汲極、半導體、與閘極的 薄膜電晶體5 6 3而構成。藉由對掃描線56〗與信號線562 之信號施加使薄膜電晶體5 6 3控制爲on (導通）/〇FF -28- (26) (26)1254789 (非導通）狀態，而進行對畫素電極5 60之通電控制。 又，上述各例之液晶裝置5 2 0、5 3 0、5 5 0爲透過型構 成，但是亦可設置反射層或半透過反射層而成爲反射型液 晶裝置或半透過型液晶裝置。 圖 Π爲有機EL裝置之顯示區域（以下單純稱爲顯 示裝置600)之重要部分斷面圖。 該顯示裝置600，係於基板（W) 601上積層電路元 件部602、發光元件部603與陰極6〇ί而槪略構成。 於該顯示裝置600，由發光元件部603對基板（W) 601側發出之光，係透過電路元件部602與基板（W) 601 射出觀察者側之同時，由發光元件部603對基板（W ) 601之相反側發出之光，係經由陰極604反射後，透過電 路元件部602與基板601而射出觀察者側。 於電路元件部602與基板601間形成氧化矽膜構成之 底層保護膜606，於該底層保護膜6 06上（發光元件部 6 03側）形成多晶矽構成之半導體膜607。於半導體膜 607之左右區域，藉由高濃度陽離子植入分別形成源極區 域607a與汲極區域607b。未被施予陽離子植入之中央部 成爲通道區域607c。 於電路元件部602形成覆蓋底層保護膜606與半導體 膜607之閘極絕緣膜608。於和閘極絕緣膜60 8上之半導 體膜607之通道區域607c對應之位置，形成例如由A1、 Mo、Ta、Ti、W等構成之閘極609。於閘極609於閘極絕 緣膜608上形成透明之第1層間絕緣膜611a與第2層間 -29 - (27) (27)1254789 絕緣膜6 1 1 b。又，貫通第1層間絕緣膜6 1 1 a、第2層間 絕緣膜 6 1 1 b形成分別連通半導體膜6 0 7之源極區域 607a、汲極區域607b的接觸孔612a、612b。 於第2層間絕緣膜6 1 1 b上，以特定形狀施予圖型化 而形成ITO等構成之透明之畫素電極613。該畫素電極 6 1 3通過接觸孔6 1 2 a連接於汲極區域6 0 7 b。 又，於第1層間絕緣膜6 1 1 a上配設電源線6 1 4，該 電源線614通過接觸孔612a連接於源極區域6 07b。 如上述說明，於電路元件部602分別形成和各畫素電 極6 1 3連接之區動用薄膜電晶體6 1 5。 發光元件部603槪略由：於多數個畫素電極613上之 各個被積層的功能層617;與存在於各畫素電極613與功 能層6 1 7之間、用於間隔各功能層6 1 7的堤堰部6 1 8構 成。 藉由彼等畫素電極6 1 3、功能層6 1 7、與功能層6 1 7 上配設之陰極6〇4構成發光元件。又，畫素電極613被圖 型化形成爲平面略呈矩形狀，於各畫素電極6 1 3間形成堤 堰部6 1 8。 堤堰部61 8，係由··例如Si0、Si〇2、Ti02等無機材 料形成之無機物堤堰部層6 1 8 a (第1堤堰部層），與積 層於該無機物堤堰部層6 1 8 a上，由丙烯基樹脂、聚醯亞 月安樹脂等耐熱性、耐溶媒性佳之阻劑形成之斷面梯形狀的 有機物堤堰部層6 1 8 b (第2堤堰部層）構成。該堤堰部 6 1 8之一部分以乘載於畫素電極6 1 3之周緣部上之狀態被 -30- (28) 1254789 形成。 於各堤堰邰6 1 8間形成相對於畫素電極6 1 3朝上方逐 漸擴大之開口部6 1 9。 功能層6 1 7由：於開口部6丨9內以積層於畫素電極 6 1 3上之狀態被形成的電洞注入/輸送層6 1 7 a ;及形成於 5亥電洞注入/輸达層6 1 7 a上的發光層6 1 7 b構成。鄰接該 發光層617b另外形成具有其他功能之其他功能層亦可。 例如形成電子輸送層亦可。 電洞注入/輸送層6 1 7 a具有由畫素電極6 1 3側輸送 電洞、注入發光層6 1 7 b之功能。該電洞注入/輸送層 617a’係藉由噴出包含電洞注入/輸送層形成材料之第1 組成物（功能性 仪體）而形成。電洞注入/輸送層形成材 料可用習知材料。 發光層617b爲發出R、G、B3色之任一顏色光者， 可藉由噴出包含發光層形成材料（發光材料）之第2組成 物（功能性液體）而形成。第2組成物之溶媒（非極性溶 媒）較好是使用對電洞注入/輸送層6 1 7 a不溶解之習知 材料，於發光層61 7b之第2組成物使用此種非極性溶 媒，則電洞注入/輸送層6 1 7 a不會再度溶解情況下可以 形成發光層617b。 於發光層617b構成爲，由電洞注入/輸送層617a注 入之電洞、與由陰極604注入之電子於發光層再結合而發 光。 陰極604形成爲覆蓋發光元件部603全面，與畫素電 (29)1254789 極6 1 604 J (S2 步驟 步驟 要時胃 第2 機物 藉由 時， 之周: 機物: 物堤: 成像: 6 1 8 f 6 19° 理。 層部 J呈對具有對功能層6 1 7流入電流之功能。於該陰極 二部配置密封構件（未圖示）。 以下參照圖1 2 — 2 0說明顯示裝置6 〇 〇之製造步驟。 如圖1 2所示，該顯示裝置6〇〇經由堤堰部形成步驟 1 )、表面處理步驟（S22 )、電洞注入/輸送層形成 (S23)、發光層形成步驟（S20、與對向電極形成 (S 2 5 )而被製造。又，製造步驟不限於上述例，必 可刪除或追加其他步驟。 熟先，於堤堰部形成步驟（S 2 1 )，如圖1 3所示，於 層間絕緣膜6 11 b上形成無機物堤堰部層6丨8 a。該無 堤堰部層6 1 8 a，係於形成位置形成無機物膜之後， 微影成像技術對該無機物膜施予圖型化而形成。此 無機物堤堰部層6 1 8 a之一部分重疊於畫素電極6 1 3 部而被形成。 圖1 4所示，形成無機物堤堰部層6 1 8 a之後，於無 堰部層6 1 8 a上形成有機物堤堰部層6 1 8 b。該有機 部層6 1 8 b亦和無機物堤堰部層6 1 8 a同樣藉由微影 技術等施予圖型化而形成。 如此則堤堰部6 1 8被形成。又，之後可於各堤堰部 間形成相對於畫素電極6 1 3於上方具有開口的開口部 該開口部6 1 9可界定畫素區域。 於表面處理步驟（S22 )進行親液性處理與疏液化胃 親液性處理之區域微無機物堤堰部層6 1 8 a之第1積 61 8aa與畫素電極613之電極面613a，彼等區域藉

-32- (30) (30)1254789 由例如以氧爲處理氣體的電漿處理對表面施予親液性處 理，該電漿處理亦兼具有畫素電極613之ITO洗淨。 疏液化處理係於有機物堤堰部層6 1 8 b之壁面6 1 8 s與 有機物堤堰部層6 1 8 b之上面6 1 8 t實施，例如藉由以四氟 甲烷爲處理氣體之電漿處理對表面施予氟化處理（疏液化 處理）。 藉由該表面處理步驟之進行，使用液滴噴頭1 1形成 功能層6 1 7時功能性液滴可以更確實著彈於畫素區域。 又，可防止著彈於畫素區域之功能性液滴之由開口部6 1 9 溢出。 經由上述步驟而得顯示裝置基體600A。該顯示裝置 基體6 00A，被載置於圖1之液滴噴出裝置1之設定平台 66，進行以下之電洞注入/輸送層形成步驟（S23 )與發 光層形成步驟（S24 )。 如圖 1 5所示，於電洞注入/輸送層形成步驟 (S23 )，由液滴噴頭1 1將包含電洞注入/輸送層形成材 料之第1組成物噴出至畫素區域之各開口部6 1 9內。之 後，如圖1 6所示，進行乾燥處理及熱處理，使第1組成 物包含之極性溶媒蒸發，於畫素電極（電極面6 1 3 a )上 形成電洞注入/輸送層6 1 7 a。 以下說明發光層形成步驟（S 2 4 )。如上述說明，於 該發光層形成步驟，爲防止電洞注入/輸送層6 1 7a之再 溶解，使用對電洞注入/輸送層6 1 7 a不溶解之非極性溶 媒作爲發光層形成時之第2組成物之溶媒。 -33- (31) (31)1254789 另外’電洞注入/輸送層6 1 7a對非極性溶媒之親和 性低’因此即使將包含非極性溶媒之第2組成物噴出於電 洞注入/輸送層6 1 7 a上，亦不會產生電洞注入/輸送層 617a與發光層617b密接、或發光層617b無法均勻塗敷 之情況。 爲提升電洞注入/輸送層6 1 7 a表面對於非極性溶媒 與發光層形成材料之親和性，較好是於發光層形成前進行 表面處理（表面改質處理）。該表面處理，係將和發光層 形成時使用之第2組成物之非極性溶媒相同或類似之溶媒 之表面改質材料，塗敷於電洞注入/輸送層6 1 7 a上，使 其乾燥而進行。 藉由此種處理，電洞注入/輸送層617a表面成爲容 易溶入非極性溶媒，於後續步驟可以將包含發光層形成材 料之第2組成物均勻塗敷於電洞注入/輸送層6 ；[ 7a。 皺，如圖1 7所示，將包含各色之其中任一色（圖1 7 爲藍色（B ))對應之發光層形成材料的第2組成物作爲 功能性液滴以特定量注入畫素區域（開口部6 1 9 )內。被 注入畫素區域內之第 2組成物可於電洞注入/輸送層 617a上擴大而塡滿開口部619內。另外，即使第2組成 物偏離畫素區域而著彈於堤堰部618之上面61 8t時，該 上面6 1 81被施予疏液化處理，因此第2組成物容易掉落 開口部6 1 9內。 之後，對噴出後之第2組成物施予乾燥處理，使第2 組成物包含之非極性溶媒蒸發，如圖〗8所示，於電洞注 -34- (32) (32)1254789 入/輸送層617a上形成發光層617b。該圖之情況下’形 成B (藍色）對應之發光層617b。 同樣地，如圖1所示，使用液滴噴頭1 1依序進行禾口 上述藍色（B )對應之發光層6 1 7b之情況同樣之步驟’形 成其他色（紅色（R )與綠色（G ))對應之發光層 6 1 7b。發光層6 1 7b知形成順序不限於例示之順序’可爲 任意順序。例如可依發光層形成材料決定形成順序°又’ R、G、B 3色之配列圖型可爲直條狀、鑲嵌狀與三角形狀 配列等。 如上述說明，可於畫素電極6 1 3上形成功能層6 1 7、 亦即電洞注入/輸送層617a與發光層617b。之後移至對 向電極形成步驟（S25)。 如圖20所示，於對向電極形成步驟（S25 )，藉由例 如濺射法、蒸鍍法或C V D法而於發光層6 1 7 b與有機物堤 堰部層6 1 8 b全面形成陰極6 0 4 (對向電極）。本實施形 態中’陰極604可由例如鈣層與鋁層積層而構成。 於陰極6 0 4上部，可適當設置作爲電極之a 1膜、A g 膜、或氧化防止用之Si02、SiN等之保護層。 形成陰極6〇4之後，進行封裝處理或配線處理等其他 處理，例如以封裝構件密封陰極6〇4之上部而得顯示裝置 600 〇 圖21爲電漿顯示裝置（PDP裝置，以下單純稱爲顯 示裝置7 0 0 )之重要部分分解斜視圖。圖中表示顯示裝置 700之一部分被切除之狀態。 (33) (33)1254789 該顯示裝置7 〇 〇槪略由互呈對向配置之第1基板 7〇1、第2基板7 02、以及形成彼等間的放電顯示部703 構成。放電顯示部7 0 3由多數個放電室7 0 5構成。彼等多 數個放電室 7 0 5之中，紅色放電室 7 0 5 R、綠色放電室 705G、藍色放電室705Β之3個放電室705成組而構成1 個畫素。 於第1基板7 0 1上面以特定間隔形成條紋狀位址電極 706，覆蓋位址電極706與第1基板701上面地形成介電 質層7 0 7。於介電質層7 0 7上，垂直設置位於各位址電極 7 0 6之間、且沿著各位址電極7 0 6之間隔壁7 0 8。該間隔 壁7 0 8包含圖示之延伸於位址電極7 〇 6之寬度方向兩側 者，以及延伸設置於和位址電極7 0 6正交之方向者（未圖 示）。 由間隔壁7 〇 8間隔之區物成爲放電室7 0 5。 於放電室705配置螢光體709。螢光體709爲發出 R、G、Β3色之任一色之螢光者，於紅色放電室7〇5r底 部配置紅色螢光體7 〇 9 R，於綠色放電室7 0 5 G底部配置綠 色螢光體709G，於藍色放電室705β底部配置藍色螢光體 709Β ° 於第2基板7 0 2之圖中下側之面，於和位址電極7 〇 6 正交之方向以特定間隔形成條紋狀多數個顯示電極7 ；[ i。 之後，形成介電質層712與Mg0等構成之保護膜713用 於覆蓋彼等。 第1基板7 01與第2基板7 〇 2，係以位址電極7 0 6與 (34) 1254789 顯示電極7 1 1互呈正交狀態下被貼合。又，位址電梅 ^ 7〇6 與顯示電極7 1 1連接於交流電源（未圖示）。 709 藉由各電極706、7Π之通電，使螢光體 顯示部7 0 3激起發光，而可顯示彩色。 形成上 以4

本實施形態中，可使用圖1之液滴噴出裝置1 述位址電極 706、顯示電極 711、與螢光體 709。 明第1基板7 01之位址電極7 0 6之形成步驟之例。 此情況下，將第1基板7 0 1載置於液滴噴出裝 設定平台66之態+下進行以下步驟。 首先，藉由液滴噴頭1 〇，以包含導電膜配線形成g 材料之液體材料（功能性液體）作爲功能性液滴，使著_ 於位址電極形成區域，作爲導電膜配線形成用材料之該液 體材料，可使用將金屬等導電性微粒子分散於分散媒者。 該導電性微粒子可用含有金、銀、銅、鈀、或鎳等之金屬 微粒子或導電性聚合物。

作爲補充對象之全部位址電極形成區域之液體材料之 補充結束後，進行噴出後之液體材料之乾燥處理，使液體 材料含有之分散媒蒸發，形成位址電極706。 上述說明爲位址電極7 0 6之形成例，但是顯示電極 與螢光體709亦同樣可以藉由上述各步驟形成。 形成顯示電極7 1 1時，係和位址電極7 0 6同樣地’以 含有導電膜配線形成用材料之液體材料（功能性液體）作 爲功能性液滴，使著彈於顯示電極形成區域。 螢光體7 0 9之形成時’由液滴噴頭1 1噴出含有R、 -37- (35) (35)1254789 G B各色應之®光材料的液體材料（功能性液體）作 爲液滴，使著彈於對應色之放電室7〇5內。 圖22爲電子放出裝置（亦稱爲p^D裝置或SED裝 置’以下單純稱爲顯示裝置8 〇 〇 )之重要部分斷面圖。圖 中以顯示裝置8 0 0之一部分之斷面顯示之。 該顯示裝置8 00槪略由互呈對向配置之第1基板 8 0 1、第2基板8 0 2、以及形成於彼等之間的電場放射顯 示部8 0 3構成。電場放射顯示部8 0 3由矩陣狀配置之多數 個電子放出部8 0 5構成。 於第1基板8 0 1上面，以互呈正交地形成構成陰極 806之第1元件電極806a與第2元件電極806b。於第1 元件電極8 0 6 a與第2元件電極8 0 6 b間隔之部分，形成導 電膜 8 0 7用於形成間隙8 0 8。亦即，由第1元件電極 806a、第2元件電極8 0 6b以及導電膜8 07構成多數個電 子放出部8 0 5。導電膜8 0 7由例如PdO構成，間隙8 0 8， 係於形成導電膜8 07之後，藉由成型等形成。 於第2基板8 02下面，形成和陰極8 06呈對峙之陰極 8 0 9。於陰極 8 0 9下面，形成格子狀茲堤堰部8 1 1，於該 堤堰部8 1 1包圍之朝下之各開口部8 1 2，配置和電子放出 部805對應之螢光體813 ◦螢光體813可發出R、G、B3 色之任一色之螢光者。於各開口部8 1 2以上述特定圖型配 置紅色螢光體 813R、綠色螢光體 813G、藍色螢光體 8 1 3B。 上述構成之第1基板8 01與第2基板8 0 2以間隔微小 -38- (36) (36)1254789 間隙被貼合。於該顯示裝置800，由陰極之第1元件電極 8 06a或第2元件電極8 06b飛出之電子，介由導電膜（間 隙8 0 8 ) 8 0 7撞擊陽極之陰極8 0 9上形成之螢光體8 1 3而 滅起發先’可以進行彩色顯示。 此情況下，和其他實施形態同樣地，第1元件電極 8〇6a、第2元件電極806b、導電膜807以及陰極809可 使用液滴噴出裝置丨形成之同時，各色之螢光體8 1 3 R、 8 1 3 G、8 1 3 B可使用液滴噴出裝置1形成。 第1元件電極806a、第2元件電極806b及導電膜 8 〇 7具有圖2 3 ( a )所示平面形狀，彼等薄膜形成時係如 圖23(b)所示，預先殘留製作第1元件電極8〇6a、第2 兀件電極8 0 6 b及導電膜8 0 7之部分，形成堤堰部B B (微 影成像技術法）。之後，於堤堰部B B構成之溝部分，形 成第1兀件電極806a及第2元件電極806b (藉由液滴噴 出裝置1之液滴噴出法），乾燥其溶劑進行薄膜形成後， 开> 成導電g吴8 0 7 (錯由液滴噴出裝置1之液滴噴出法）。 形成導電膜8 0 7之後，除去堤堰部BB (去灰剝離處 理），移至上述成型處理。又，和上述有機裝置同 樣，較好是對第1基板801、第2基板802施予親液性處 理’或對堤堰部8 1 1、B B施予疏液化處理。 又’其他之光電裝置可考慮金屬配線形成、透鏡形 成、阻劑形成以及光擴散體形成等裝置。藉由上述液滴噴 出裝置1使用於各種光電裝置（元件）之製造，可以有效 製造各種光電裝置。 -39- (37) (37)1254789 【圖式簡單說明】 圖1 :搭載有本實施形態之體積測定裝置的液滴噴出 裝置之平面模式圖。 圖2 ·)仪滴噴出裝置之主控制系之ίπι制衣置之方塊 圖。 圖3 :本實施形態之液滴之體積測定方法之槪略表示 用之側面模式圖。 圖4 :液滴之體積計算步驟說民用之流程圖。 圖5 :液滴中心點起算之距離與高度之平均値之說明 圖。 圖6 :彩色濾光片製造步驟說明之流程圖。 圖7 ( a )〜（e ):依據製造步驟順序表示之彩色濾 光片之模式斷面圖。 圖8 :使用本發明適用之彩色濾光片的液晶裝置之槪 略構成之重要部分斷面圖。 圖9 :使用本發明適用之彩色濾光片的第2例之液晶 裝置之槪略構成之重要部分斷面圖。 圖1 0 ·使用本發明適用之彩色濾光片的第3例之液 晶裝置之槪略構成之重要部分斷面圖。 圖11 :有機EL裝置之顯示裝置之重要部分斷面圖。 圖1 2 :有機E L裝置之顯示裝置之製造步驟說明之流 程圖。 圖1 3 :無機物堤堰部層形成之說民用之步驟圖。 -40- (38) 1254789 圖1 4 :有機物堤堰部層形成之說民用之步驟圖。 | 圖1 5 :電洞注入/輸送層之形成過程之說明用步驟 ： 圖。 圖1 6 :形成有電洞注入/輸送層之狀態之說明用步 驟圖。 圖1 7 :藍色發光層之形成過程之說明用步驟圖。 圖1 8 :形成有藍色發光層之狀態之說明用步驟圖。 圖1 9 :形成有各色發光層之狀態之說明用步驟圖。 φ 圖2 0 :陰極形成之說明用步驟圖。 圖21:電漿顯示裝置（PDP裝置）之顯示裝置之重 要部分分解斜視圖。 圖22 :電子放出裝置（FED裝置）之顯示裝置之重 要部分斷面圖。 圖23:顯示裝置之電子放出部周圍之平面圖（a)， 及其之形成方法之平面圖（b)。 【主要元件符號說明】 4、體積測定裝置 1 1、液滴噴頭 1 3、噴嘴 ~ 6 1、X · Y移動機構 · 75、主拖架 8 1、影像辨識手段 9 1、座標計測手段 -41 - (39) (39)1254789 9 2、計測手段 93、掃描手段 9 4、雷射式距離計測器 1 0 1、體積計算手段 1 1 3、噴頭控制手段 1 2 3、水平面視中心點 1 2 4、外周 1 2 6、輪廓座標 1 3 1、原點座標 W、工件 S、水平部分（非描畫區域） A、外周之任意1點

-42-

Claims (1)

1254789 十、申請專利範圍 第9 3 1 3 1 03 1號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國94年1 1月 $ 日修正 1 · 一種體積測定方法，其特徵爲具備： 原點座標取得步驟，係藉由影像辨識手段、以被滴下 水平面上之液滴之水平面視中心點爲原點座標予以取得； 座標計測步驟，係藉由電磁波測定手段，針對連結上 述所取得水平面視中心點與上述液滴之外周圍任意一點的 線段，沿著上述液滴之直徑方向進行掃描之同時，於多數 個位置計測相對於上述原點座標的液滴表面之輪廓座標； 及 體積計算步驟，係依據上述輪廓座標之計測結果而算 出上述液滴之體積。 2 ·如申請專利範圍第1項之體積測定方法，其中 於上述原點座標取得步驟，係對上述影像辨識手段進 行影像辨識所得之辨識影像施予2値化處理而成爲液滴影 像與周邊影像，依此來決定上述上述液滴之輪廓，以上述 水平面視中心點爲原點座標予以取得之同時， 當上述輪廓爲極端偏離正圓形狀之形狀時，通知其爲 錯誤。 3 ·如申請專利範圍第1或2項之體積測定方法，其 中 於上述座標計測步驟中，係由上述水平面視中心點朝 1254789 向上述外周圍進行掃描，上述電磁波測定手段’於上述輪 廓座標之高度値爲〇時判斷到達上述外周圍之任意一點。 4 ·如申請專利範圍第1或2項之體積測定方法，其 中 於上述座標計測步驟中，上述電磁波測定手段之掃 描，係藉由和上述輪廓座標之多數個位置之計測對應地間 歇性移動予以進行。 5. 如申請專利範圍第1或2項之體積測定方法，其 中 上述輪廓座標之多數個位置計測中之上述間歇性移動 之間隔，係由上述水平面視中心點朝向上述外周圍慢慢變 小。 6. 如申請專利範圍第1或2項之體積測定方法，其 中 於上述座標計測步驟中，上述電磁波測定手段之計 測，係變化掃描方向而重複進行多數次， 於上述體積計算步驟中，係依據上述重複進行所得之 多數個輪廓座標平均値計算出體積。 7. 如申請專利範圍第1或2項之體積測定方法，其 中 上述電磁波測定手段，爲以雷射光作爲計測光使用之 雷射式距離計測器。 8 . —種體積測定裝置，其特徵爲具備： 影像辨識手段，用於攝影被滴下水平面上之液滴之影 -2- 1254789 像，並以該液滴之水平面視中心點爲原點座標予以取得； 座標計測手段，係針對連結上述水平面視中心點與上 述液滴之外周圍任意一點的線段，沿著上述液滴之直徑方 向進行掃描之同時，於多數個位置計測相對於上述原點座 標的液滴表面之輪廓座標；及 體積計算手段，用於依據上述輪廓座標之計測結果而 算出上述液滴之體積。 9. 如申請專利範圍第8項之體積測定裝置，其中 上述座標計測手段，係和上述輪廓座標之多數個位置 之計測對應地間歇性移動，該計測係於移動停止時被進 行。 10. 如申請專利範圍第8或9項之體積測定裝置，其 中 上述座標計測手段，係變化掃描方向而重複進行多數 次計測， 上述體積計算手段，係依據上述重複進行所得之多數 個輪廓座標平均値計算出體積。 11. 如申請專利範圍第8或9項之體積測定裝置，其 中 上述座標計測手段，爲以雷射光作爲計測光使用之雷 射式距離計測器。 12. —種液滴噴出裝置，其特徵爲具備： 液滴噴頭，係針對工件由多數個噴嘴噴出功能性液滴 而形成薄膜形成部； -3- 1254789 χ· γ移動機構，對上述液滴噴頭可使上述工件在χ 軸方向與γ軸方向進行相對移動； 申請專利範圍第8至1 1項中任一項之體積測定裝 置，用於計算上述各噴嘴所噴出液滴的功能性液滴之體 積；及 噴頭控制裝置，可由上述體積測定裝置計算出之上述 多數個噴嘴之每一個之上述功能性液滴之體積’來補正驅 動波形以使上述各噴嘴成爲均勻。 1 3 .如申請專利範圍第1 2項之液滴噴出裝置，其中 上述座標計測手段，係由以下構成：計測手段，可於 多數個位置針對上述線段計測相對於上述原點座標之液滴 表面之輪廓座標；及掃描手段，其伴隨著上述計測可使上 述計測手段對上述線段朝上述功能性液滴之直徑方向進行 掃描； 上述液滴噴頭係介由拖架搭載於上述X· Υ移動機 構； 上述X· Υ移動機構兼用作爲上述掃描手段； 而且上述計測手段被安裝於上述拖架。 1 4 ·如申請專利範圍第1 3項之液滴噴出裝置，其中 上述影像辨識手段，係安裝於上述拖架。 15· —種光電裝置之製造方法，其特徵爲： 使用申請專利範圍第1 2至1 4項中任一項之液滴噴出 裝置’於上述工件形成上述功能性液滴之薄膜形成部。 16· —種光電裝置，其特徵爲： -4- 1254789 使用申請專利範圍第1 2至1 4項中任一項之液滴噴出 裝置，於上述工件形成上述功能性液滴之薄膜形成部。 17. —種電子機器，其特徵爲：搭載有申請專利範圍 第15項之光電裝置之製造方法所製造之光電裝置或申請 專利範圍第1 6項光電裝置者。 -5-