JP2008209309A - 画像認識カメラのキャリブレーション方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークに比して小型のキャリブレーションマスクにより画像認識カメラのキャリブレーションを行うこと。
【解決手段】２台の画像認識カメラ３４の離間方向のセンターラインを表す一対のセンター基準マークＭ１、Ｍ２と、１台の画像認識カメラ３４の位置を表すカメラ基準マークＣＭと、を有するキャリブレーションマスク９６を用い、上記センターラインを基準カメラ９５に合わせ、且つカメラ基準マークＣＭを一方の画像認識カメラ３４に合わせ、キャリブレーションマスク９６をセットする工程と、基準カメラ９５でセンター基準マークＭ１、Ｍ２を位置認識し、且つ一方の画像認識カメラ３４でカメラ基準マークＣＭを位置認識し、一方の画像認識カメラ３４をキャリブレーションする工程と、を実行し、キャリブレーションマスク９６を離間方向に表裏反転して、他方の画像認識カメラ３４について同様の工程を繰り返す。
【選択図】図５

Description

本発明は、キャリブレーションマスクに形成した基準マークに基づいて、画像認識カメラのキャリブレーションを行う画像認識カメラのキャリブレーション方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。

従来、キャリブレーションマスク（光学基準板）を画像認識カメラの直上位置に配置し、画像認識カメラによりキャリブレーションマスク上の基準マークを検出することで画像認識カメラのキャリブレーションを行う画像認識カメラのキャリブレーション方法が知られている。この画像認識カメラのキャリブレーションは、撮像ユニット（２ユニット）と、基準マークを配列形成したキャリブレーションマスクと、キャリブレーションマスクを載置する基準ユニットと、で構成される装置により実施される。そして、基準ユニットを撮像ユニットの方向に移動させ、キャリブレーションマスクを撮像ユニットの直上に配置し、撮像ユニットの各画像認識カメラ（各ユニットに２台ずつ）によりキャリブレーションマスクを撮影することで、各画像認識カメラ毎に、基準マークの検出データと、基準マークの位置情報と、から位置情報に関する基準パラメータを逐次更新していく。これにより、複数の画像認識カメラの画像或いは複数の撮影位置における画像間の位置情報の整合性を確保し、画像データから得られるアライメントマークの検出位置等の相対的精度を正確に維持する（例えば、特許文献１参照。）。
特開２００１−１７４２１５号公報

ところで、このような画像認識カメラのキャリブレーションは、機能液滴吐出ヘッドを用いた描画処理により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成する液滴吐出装置にも適用可能である。液滴吐出装置においては、描画対象となるワークのアライメントを行うために、ワークと略同形の石英ガラス等から成るキャリブレーションマスクを用い、ワークの基準点となる２点（あるいは、４点）を撮像して画像認識カメラのキャリブレーションを行うこととなる。このため、ワークのサイズが大きくなると、それに伴って、サイズの大きなキャリブレーションマスクが必要となり、コストがかさむと共に、キャリブレーションマスクのセット作業や搬入・搬出作業が煩雑になるという問題がある。

本発明は、ワークに比して小型のキャリブレーションマスクにより画像認識カメラのキャリブレーションを行うことができる画像認識カメラのキャリブレーション方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。

本発明の画像認識カメラのキャリブレーション方法は、透光性のキャリブレーションマスクに形成した基準マークに基づいて、離間して設けた２台の画像認識カメラのキャリブレーションを行なう画像認識カメラのキャリブレーション方法において、２台の画像認識カメラの離間方向のセンターラインを表した一対のセンター基準マークと、１台の画像認識カメラの位置を表したカメラ基準マークと、を有するキャリブレーションマスクを用いると共に、２台の画像認識カメラの離間方向の略センターに配設した基準カメラを用い、センターラインを基準カメラに合わせ込むと共にカメラ基準マークを一方の画像認識カメラに合わせ込むように、キャリブレーションマスクをセットステージ上にセットするマスクセット工程と、セットしたキャリブレーションマスクに対し、基準カメラにより一対のセンター基準マークを位置認識すると共に、一方の画像認識カメラによりカメラ基準マークを位置認識する第１カメラ認識工程と、基準カメラの認識結果および一方の画像認識カメラの認識結果に基づいて、一方の画像認識カメラをキャリブレーションする第１キャリブレーション工程と、キャリブレーションマスクを離間方向に表裏反転し、センターラインを基準カメラに合わせ込むと共にカメラ基準マークを他方の画像認識カメラに合わせ込むように、セットステージ上に再セットするマスク再セット工程と、再セットしたキャリブレーションマスクに対し、基準カメラにより一対のセンター基準マークを位置認識すると共に、他方の画像認識カメラによりカメラ基準マークを位置認識する第２カメラ認識工程と、基準カメラの認識結果および他方の画像認識カメラの認識結果に基づいて、他方の画像認識カメラをキャリブレーションする第２キャリブレーション工程と、を備えたことを特徴とする。

本発明の他の画像認識カメラのキャリブレーション方法は、透光性のキャリブレーションマスクに形成した基準マークに基づいて、長方形を為すように離間して設けた４台の画像認識カメラのキャリブレーションを行なう画像認識カメラのキャリブレーション方法において、各２台２組の画像認識カメラの離間方向のセンターラインを表した一対のセンター基準マークと、同組の２台の画像認識カメラの位置を表した第１カメラ基準マークおよび第２カメラ基準マークと、を有するキャリブレーションマスクを用いると共に、各２台２組の画像認識カメラの離間方向の略センターに配設した基準カメラを用い、センターラインを基準カメラに合わせ込むと共に第１カメラ基準マークおよび第２カメラ基準マークを一方の組の２台画像認識カメラに合わせ込むように、キャリブレーションマスクをセットステージ上にセットするマスクセット工程と、セットしたキャリブレーションマスクに対し、基準カメラにより一対のセンター基準マークを位置認識すると共に、一方の組の２台の画像認識カメラにより第１カメラ基準マークおよび第２カメラ基準マークをそれぞれ位置認識する第１カメラ認識工程と、基準カメラの認識結果および一方の組の２台の画像認識カメラの認識結果に基づいて、一方の組の２台の画像認識カメラをそれぞれキャリブレーションする第１キャリブレーション工程と、キャリブレーションマスクを離間方向に表裏反転し、センターラインを基準カメラに合わせ込むと共に第１カメラ基準マークおよび第２カメラ基準マークを他方の組の２台の画像認識カメラに合わせ込むように、セットステージ上に再セットするマスク再セット工程と、再セットしたキャリブレーションマスクに対し、基準カメラにより一対のセンター基準マークを位置認識すると共に、他方の組の２台の画像認識カメラにより第１カメラ基準マークおよび第２カメラ基準マークをそれぞれ位置認識する第２カメラ認識工程と、基準カメラの認識結果および他方の組の２台の画像認識カメラの認識結果に基づいて、他方の組の２台の画像認識カメラをそれぞれキャリブレーションする第２キャリブレーション工程と、を備えたことを特徴とする。

これらの構成によれば、キャリブレーションマスクに形成された一対のセンター基準マークおよびカメラ基準マークのそれぞれを、基準カメラと一方の画像認識カメラと、により位置認識し、これらの認識結果に基づいて一方の画像認識カメラのキャリブレーションを行い、さらに、キャリブレーションマスクを表裏反転させて、他方の画像認識カメラについても同様の作業をすることで、２台の画像認識カメラのキャリブレーションが行われる。この場合、キャリブレーションマスクには、２台の画像認識カメラの離間方向のセンターラインを表した一対のセンター基準マークおよび１台の画像認識カメラの位置を表したカメラ基準マークが形成されていれば良いため、例えば、２台の画像認識カメラの離間方向に延びるキャリブレーションマスクの一辺を、２台の画像認識カメラの離間距離の略半分に形成することができ、キャリブレーションマスクのサイズを極端に小さくすることができる。これにより、キャリブレーションマスクのコストを削減することができると共に、キャリブレーションマスクのセット作業（あるいは、再セット作業）を簡単に行うことができる。なお、画像認識カメラが４台になった場合においても、キャリブレーションマスクに、一対のセンター基準マークおよび２つのカメラ基準マークを形成し、画像認識カメラを２台ずつキャリブレーションすることで、画像認識カメラが２台の場合と同様に、キャリブレーションマスクを極端に小さく形成することができ、キャリブレーションマスクのコストを削減することができると共に、キャリブレーションマスクのセット作業（あるいは、再セット作業）を簡単に行うことができる。

また、本発明の他の画像認識カメラのキャリブレーション方法は、キャリブレーションマスクに形成した基準マークに基づいて、離間して設けた２台の画像認識カメラのキャリブレーションを行なう画像認識カメラのキャリブレーション方法において、２台の画像認識カメラの離間方向のセンターラインを表した一対のセンター基準マークと、１台の画像認識カメラの位置を表した第１カメラ基準マークと、第１カメラ基準マークに対し、センターラインに直交するキャリブレーションマスクの中間ラインを基準に線対称となる位置に設けた第２カメラ基準マークと、を有するキャリブレーションマスクを用いると共に、２台の画像認識カメラの離間方向の略センターに配設した基準カメラを用い、センターラインを基準カメラに合わせ込むと共に第１カメラ基準マークを一方の画像認識カメラに合わせ込むように、キャリブレーションマスクをセットステージ上にセットするマスクセット工程と、セットしたキャリブレーションマスクに対し、基準カメラにより一対のセンター基準マークを位置認識すると共に、一方の画像認識カメラにより第１カメラ基準マークを位置認識する第１カメラ認識工程と、基準カメラの認識結果および一方の画像認識カメラの認識結果に基づいて、一方の画像認識カメラをキャリブレーションする第１キャリブレーション工程と、キャリブレーションマスクを１８０°回転させ、センターラインを基準カメラに合わせ込むと共に第２カメラ基準マークを他方の画像認識カメラに合わせ込むように、セットステージ上に再セットするマスク再セット工程と、再セットしたキャリブレーションマスクに対し、基準カメラにより一対のセンター基準マークを位置認識すると共に、他方の画像認識カメラにより第２カメラ基準マークを位置認識する第２カメラ認識工程と、基準カメラの認識結果および他方の画像認識カメラの認識結果に基づいて、他方の画像認識カメラをキャリブレーションする第２キャリブレーション工程と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、キャリブレーションマスクに形成された一対のセンター基準マークおよび第１カメラ基準マークのそれぞれを、基準カメラと一方の画像認識カメラと、により位置認識し、これらの認識結果に基づいて一方の画像認識カメラのキャリブレーションを行い、さらに、キャリブレーションマスクを１８０°回転させて、他方の画像認識カメラを第２カメラ基準マークに合わせ込み、上述と同様の作業をすることで、２台の画像認識カメラのキャリブレーションが行われる。この場合、キャリブレーションマスクは、２台の画像認識カメラの離間方向のセンターラインを表した一対のセンター基準マーク、１台の画像認識カメラの位置を表した第１カメラ基準マークおよび第１カメラ基準マークに対し、センターラインに直交するキャリブレーションマスクの中間ラインを基準に線対称となる位置に設けた第２カメラ基準マークが形成されていれば良いため、例えば、２台の画像認識カメラの離間方向に延びるキャリブレーションマスクの一辺を、２台の画像認識カメラの離間距離の略半分に形成することができ、キャリブレーションマスクのサイズを極端に小さくすることができる。これにより、キャリブレーションマスクのコストを削減することができると共に、キャリブレーションマスクのセット作業等を簡単に行うことができる。また、キャリブレーションマスクを再セットする際は、セットステージをθ回転（１８０°回転）させることで簡単に再セットを行うことができる。

本発明の液滴吐出装置は、ワークをアライメントするために、上記の画像認識カメラのキャリブレーション方法によりキャリブレーションした２台の画像認識カメラおよび基準カメラと、複数の機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに搭載したヘッドユニットと、ワークに対し、ヘッドユニットを相対的に移動させながら、複数の機能液滴吐出ヘッドからワークに対し機能液滴を吐出して描画を行なう描画手段と、を備えたことを特徴とする。

本発明の他の液滴吐出装置は、ワークをアライメントするために、上記に記載の画像認識カメラのキャリブレーション方法によりキャリブレーションした４台の画像認識カメラおよび基準カメラと、複数の機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに搭載したヘッドユニットと、ワークに対し、ヘッドユニットを相対的に移動させながら、複数の機能液滴吐出ヘッドからワークに対し機能液滴を吐出して描画を行なう描画手段と、を備えたことを特徴とする。

これらの構成によれば、本発明の画像認識カメラのキャリブレーション方法によりキャリブレーションした２台または４台の画像認識カメラおよび基準カメラにより、ワークのアライメントを正確に行うことができる。これにより、ワークに対し精度良い描画処理を行う液滴吐出装置を実現することができる。

これらの場合、基準カメラは、複数の機能液滴吐出ヘッドから吐出着弾した着弾結果を検査するための吐出検査用カメラを兼ねていることが好ましい。

この構成によれば、吐出検査用カメラを有効活用することができ、キャリブレーションの為のコストアップを抑制することができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。

また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。

これらの構成によれば、上記液滴吐出装置を用いて、ワークのアライメント処理を行うことで、機能液滴吐出ヘッドから吐出される機能液を、ワークの適切な位置に正確に着弾させることができ、ワーク上に機能液による成膜部を精度良く形成することができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。

以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。

図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２と、Ｙ軸支持ベース３と並行に延在し、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐようにＸ軸支持ベース２上に支持されるカメラ支持ベース５と、複数の機能液滴吐出ヘッド１３（図３参照）が搭載された１０個のキャリッジユニット２０から成り、１０個のキャリッジユニット２０は、Ｙ軸テーブル１２に吊設されている。

また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、重量測定ユニット１７および吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置６を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１３の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１３の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、メンテナンス装置６を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１４、重量測定ユニット１７および吐出性能検査ユニット１８は、Ｘ軸テーブル１１に搭載され、吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット２０が移動可能である位置に配設された架台７上に配設されている。

以下、液滴吐出装置１の構成要素について説明する。図１または図２に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸スライダ２２と、セットテーブル２１とＸ軸スライダ２２との間に介設され、セットテーブル２１をＹ軸方向に微小移動させるサブＹ軸テーブル２３と、上記のフラッシングユニット１４（後述する定期フラッシングユニット６１）および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向にスライド自在に支持するメンテナンス用スライダ２４と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸スライダ２２を介してワークＷをＸ軸方向に移動させると共に、メンテナンス用スライダ２４を介してフラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸スライダ２２およびメンテナンス用スライダ２４の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２５と、を備えている。

セットテーブル２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル３２等を有している。また、セットテーブル２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、後述する描画前フラッシングユニット６５の一対の描画前フラッシングボックス６６が添設されている。

サブＹ軸テーブル２３は、主としてセットテーブル２１を副走査してＹ軸方向に微小移動させるために使用される。また、後述する画像認識カメラ３４のキャリブレーションの際には、セットテーブル２１（吸着テーブル３１）上にセットされたキャリブレーションマスク９６を、画像認識カメラ３４および基準カメラ９５の撮像範囲内に合わせ込むべく、位置補正を行うために使用される。

なお、図１における図示手前側の位置が、ワークＷのアライメント位置となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入する（給材）時や、処理済のワークＷを回収する（除材）時には、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させるようになっている。そして、ロボットアーム（図示省略）により、吸着テーブル３１に対するワークＷの搬入・搬出（載換え）が行われる。また、ワークＷの位置認識を行うための画像認識カメラ３４の撮像結果に基づいて、Ｘ軸方向およびＹ軸方向のデータ補正が行われると共に、θテーブル３２によるワークＷのθ補正が行われる。なお、図示では省略したが、液滴吐出装置１は、恒温チャンバに収容され、上記のロボットアームはこの恒温チャンバの外部からワークＷの除給材を行う。

画像認識カメラ３４は、ワークＷの位置認識を行うために４台設置されており、その内の２台の画像認識カメラ３４ａ、３４ｂは、上記したＹ軸支持ベース３に支持され、セットテーブル２１の一方の両端を上側から臨むように、設置されている。また、他の２台の画像認識カメラ３４ｃ、３４ｄは、上記したカメラ支持ベース５に支持されており、セットテーブル２１の他方の両端を上側から臨むと共に、画像認識カメラ３４ａ、３４ｂのそれぞれのＸ軸方向の延長線上に位置するように設置されている。これら画像認識カメラ３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄは、後述する画像認識カメラ３４のキャリブレーション方法に基づいて、キャリブレーションされ、その後、ワークＷのアライメント処理等に使用される。なお、キャリブレーション対象およびアライメントを行う画像認識カメラ３４は、２台でも良いし、４台でも良い。また、本実施形態の４台の画像認識カメラ３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄは、固定カメラであり、キャリブレーション時のＸ軸方向およびＹ軸方向への微小移動は、各カメラに設けた、Ｘ軸マイクロヘッドおよびＹ軸マイクロヘッド（いずれも図示省略）により行うものとする。

Ｙ軸テーブル１２は、ヘッドユニット３５を構成する１０個の各キャリッジユニット２０をそれぞれ固定した１０個のブリッジプレート３６と、１０個のブリッジプレート３６を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、１０組のＹ軸スライダを介してブリッジプレート３６をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。

一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース３を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート３６がＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット２０がＹ軸方向に移動する（副走査）。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、キャリッジユニット２０を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット２０を一体として移動させることも可能である。また、Ｙ軸テーブル１２には、キャリッジユニット２０を副走査してＹ軸方向に移動させる機能と、キャリッジユニット２０をメンテナンス装置６に臨ませるべく、Ｙ軸方向に移動させる機能と、を有している。

各キャリッジユニット２０は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１３と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１３を６個ずつ２群に分けて支持するキャリッジプレート３７と、を備えている。

図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド１３は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４２を有する機能液導入部４１と、機能液導入部４１に連なる２連のヘッド基板４３と、機能液導入部４１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４４と、を備えている。接続針４２は、図外の機能液タンクに接続され、機能液導入部しに機能液を供給する。ヘッド本体４４は、キャビティ４５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル４８が開口したノズル面４７を有するノズルプレート４６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド１３を吐出駆動すると、（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）キャビティ４５のポンプ作用により、吐出ノズル４８から機能液滴が吐出される。

なお、ノズル面４７に形成された多数の吐出ノズル４８は、等ピッチに整列して、１８０個の吐出ノズル４８から成る分割ノズル列４８ａを２列形成している。そして、２列の分割ノズル列４８ａ同士は、相互に半ピッチ分位置ずれしている。すなわち、機能液滴吐出ヘッド１３には、２列の分割ノズル列４８ａにより高解像度の描画が可能となっている。

図４に示すように、各キャリッジユニット２０は、キャリッジプレート３７を介して、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１３を搭載している。１２個の機能液滴吐出ヘッド１３は、Ｙ軸方向に２群に分かれ、６個ずつＸ軸方向に並んでヘッド群４９を構成している。そして、複数のキャリッジに搭載された全機能液滴吐出ヘッド１３（１２×１０個）により、Ｙ軸方向に連続する描画ラインを形成している。この描画ラインの長さは、セットテーブル２１に搭載可能な最大サイズのワークＷの幅に対応している。同図のものは、Ｒ・Ｇ・Ｂ単色の装置を想定しているが、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色を描画可能な装置では、各群６個の機能液滴吐出ヘッド１３を２つずつＲ色ヘッド、Ｇ色ヘッドおよびＢ色ヘッドとする。なお、描画に際し、前者のものは副走査を必要としないが、後者のものは副走査を行う。

キャリッジユニット２０は、キャリッジプレート３７をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構５１と、θ回転機構５１を介して、キャリッジプレート３７をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート３６）に支持させる吊設部材５２と、を備えている（いずれも図２参照）。なお、図示省略したが、吊設部材５２には、θ回転機構５１を介してキャリッジプレート３７を昇降させるヘッド昇降機構（図示省略）が組み込まれており、キャリッジプレート３７（機能液滴吐出ヘッド１３のノズル面４７）の高さ位置を調整可能に構成されている。

次に、メンテナンス手段を構成するフラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、重量測定ユニット１７および吐出性能検査ユニット１８について順に説明する。フラッシングユニット１４は、機能液滴吐出ヘッド１３の全吐出ノズル４８からの捨て吐出（フラッシング）により吐出された機能液滴を受けるためのものであり、定期フラッシングユニット６１と、描画前フラッシングユニット６５と、で構成される。

図１または図２に示すように、定期フラッシングユニット６１は、機能液を受ける定期フラッシングボックス６２と、上記のメンテナンス用スライダ２４に搭載され、定期フラッシングボックス６２の両端を高さ調整可能に支持する一対のボックス支柱部材６３と、ボックス内に敷設され、機能液を吸収する吸収材（図示省略）と、を有している。定期フラッシングユニット６１は、ワークＷの載換え時等にように、描画処理を一時的に休止される時に、ヘッドユニット３５の全機能液滴吐出ヘッド１３からの捨て吐出を受けるようになっている。

描画前フラッシングユニット６５は、機能液を受ける一対の描画前フラッシングボックス６６と、一対の各描画前フラッシングボックス６６を吸着テーブル３１に支持させる一対のボックス支持部材と、機能液を吸収する吸収材（いずれも、図示省略）で構成されている。描画前フラッシングユニット６５は、ワークＷに機能液を吐出させる直前に、ヘッドユニット３５の全機能液滴吐出ヘッド１３からの捨て吐出（フラッシング）を受けるようになっている。この場合、フラッシングは、描画動作の一部として行なわれ、フラッシング動作は描画データ（ビットマップデータ）の一部に組み込まれている。

吸引ユニット１５は、機能液滴吐出ヘッド１３を吸引して、機能液滴吐出ヘッド１３の吐出ノズル４８から機能液を強制的に排出させるものである。図１に示すように、吸引ユニット１５は、ヘッドユニット３５、すなわち１０個のキャリッジユニット２０に対応して構成されており、同様に構成された１０個の分割吸引ユニット７０を上記架台７上に整列配置したものである。各分割吸引ユニット７０は、吸引を行うキャリッジユニット２０に対して下側から臨み、キャリッジユニット２０に搭載された１２個の各機能液滴吐出ヘッド１３のノズル面４７に、対応する１２個の各キャップ７２をそれぞれ密着させるキャップユニット７１と、キャップユニット７１を昇降させ、機能液滴吐出ヘッド１３（ノズル面４７）に対してキャップ７２を離接させるキャップ昇降機構（図示省略）と、密着させたキャップ７２を介して各機能液滴吐出ヘッド１３に吸引力を作用させる吸引手段（エゼクタ：図示省略）と、を備えている。

ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート７５で機能液滴吐出ヘッド１３のノズル面４７を拭取る（ワイピングを行う）ものであり、ロール状に巻回したワイピングシート７５を繰り出しながら巻き取ってゆく巻取りユニット７６と、繰り出したワイピングシート７５に洗浄液を散布する洗浄液供給ユニット７７と、洗浄液が散布されたワイピングシート７５でノズル面４７を拭取る拭取りユニット７８と、を備えている（図１参照）。ワイピング動作は、吸引ユニット１５による吸引後等に行われ、ノズル面４７に付着した汚れを払拭する。

重量測定ユニット１７は、Ｙ軸方向に並設された複数（４個）の重量測定装置８０を有し、１つの重量測定装置８０が１つのヘッド群４９に対応している。つまり、４個の重量測定装置８０により、２個のキャリッジユニット２０毎に、重量測定を行うようになっている。また、重量測定装置８０は、ヘッド群４９の任意の１の機能液滴吐出ヘッド１３から吐出した機能液を受ける容器８１と、容器８１を介して機能液の重量を測定する電子天秤（図示省略）と、容器８１の周囲に配設された併設フラッシングボックス８２と、を有している。各重量測定装置８０は、ヘッド群４９を構成する６個の機能液滴吐出ヘッド１３のうち、任意の１の機能液滴吐出ヘッド１３から吐出した機能液を容器８１に受け、その重量を電子天秤で測定すると共に、他の５個の機能液滴吐出ヘッド１３からの捨て吐出を併設フラッシングボックス８２で受ける。これにより、機能液滴吐出ヘッド１３に印加する駆動電圧と各吐出ノズル４８の平均吐出量が測定され、機能液滴吐出ヘッド１３から正常に機能液の吐出が行われているか否かを判別する。

吐出性能検査ユニット１８は、ヘッドユニット３５に搭載された全機能液滴吐出ヘッド１３（の吐出ノズル４８）から機能液が適切に吐出されているか否かを検査する（吐出の有無および飛行曲がり等）ためのものであり、ヘッドユニット３５の全機能液滴吐出ヘッド１３の全吐出ノズル４８から検査吐出された機能液を受け、所定の検査パターンを描画させるための被描画ユニット８５と、被描画ユニット８５に描画された検査パターンを撮像して検査する撮像ユニット８６と、を備えている。なお、被描画ユニット８５はＸ軸テーブル１１に搭載され、撮像ユニット８６はＹ軸テーブル１２直下の検査位置に設けられている。被描画ユニット８５は、機能液滴吐出ヘッド１３からの検査吐出を受け、ロール状に巻回され、検査パターンを描画させる長尺状の描画シート８７と、描画シート８７が載置される検査ステージ８８と、を有し、描画シート８７に吐出された検査パターンは、撮像ユニット８６で撮像され、制御装置（図示省略）がこれを画像認識して、吐出不良の有無を判断する。

撮像ユニット８６は、上記したＹ軸支持ベース３に支持されており、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、描画シート８７に描画された検査パターンを描画する２個の吐出検査カメラ８９ａ、８９ｂと、２個の吐出検査カメラ８９ａ、８９ｂを保持するカメラホルダ９０と、Ｙ軸支持ベース３に固定され、カメラホルダ９０を介して、２個の吐出検査カメラ８９ａ、８９ｂをＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構９１と、カメラ移動機構９１を介して吐出検査カメラ８９ａ、８９ｂをＹ軸方向に移動させるためのカメラ移動モータ（図示省略）と、を有している。２個の吐出検査カメラ８９ａ、８９ｂは、描画シート８７に描画された検査パターンをそれぞれ半分ずつ撮像するように構成されている。例えば、２個の吐出検査カメラ８９ａ、８９ｂを、ヘッドユニット３５の１描画ラインの長さの約半分の距離だけ離間して配設しておき、この状態で２個の吐出検査カメラ８９ａ、８９ｂを移動させて、検査パターンの左側半分を左側の吐出検査カメラ８９ａで、右側半分を右側の吐出検査カメラ８９ｂで撮像する。

なお、吐出検査カメラ８９は、後述する画像認識カメラ３４のキャリブレーションにおいて、キャリブレーションマスク９６上の基準マーク（センター基準マークＭ１、Ｍ２）を位置認識するための、基準カメラ９５としても使用される。これにより、吐出検査カメラ８９を有効活用することができ、キャリブレーションの為のコストアップを抑制することができる。

次に、図５および図６を参照し、本実施形態の画像認識カメラ３４のキャリブレーション方法について述べる。図５は、画像認識カメラ３４のキャリブレーションの工程を示すフローチャート、図６は、キャリブレーションの工程順に示した遷移図である。ここでは、キャリブレーションマスク９６上に一対のセンター基準マークＭ１、Ｍ２およびカメラ基準マークＣＭを形成し、２台の画像認識カメラ３４ａ、３４ｂをキャリブレーションする手順について説明する（第１実施形態）。

第１実施形態では、セットテーブル２１の両端を臨むようにＹ軸方向に離間して設けた２台の画像認識カメラ３４ａ、３４ｂのキャリブレーションを行う。キャリブレーションマスク９６には、２台の画像認識カメラ３４ａ、３４ｂの離間方向のセンターラインを表した一対のセンター基準マークＭ１、Ｍ２と、１台の画像認識カメラ３４ａの位置を表したカメラ基準マークＣＭと、が形成されている。この場合、キャリブレーションマスク９６は、石英等の透光性の素材で成形され、且つ機能液滴吐出ヘッド１３による描画（描画手段）の対象となるワークＷのサイズの略半分のサイズに形成されている。また、センター基準マークＭ１、Ｍ２を位置認識するための基準カメラ９５は、上述の吐出検査カメラ８９の内の１台を兼用する。なお、同図中のキャリブレーションマスク９６上に形成されている黒点は、それぞれ、センター基準マークＭ１、Ｍ２およびカメラ基準マークＣＭであり、丸枠は、それぞれ、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓ、画像認識カメラ３４ａの撮像範囲Ｓ１および画像認識カメラ３４ｂの撮像範囲Ｓ２を表している。また、撮像範囲Ｓ、Ｓ１、Ｓ２の中の「＋」印は、各カメラの撮像範囲の中心ポイントを表している。

まず、マスクセット工程では（Ｓ０１）では、図６（ａ）に示すように、吸着テーブル３１上にキャリブレーションマスク９６を載置する。基準カメラ９５は、２台の画像認識カメラ３４ａ、３４ｂの離間方向の略センターに移動され、センターライン（センター基準マークＭ１）を基準カメラ９５の撮像範囲Ｓに合わせ込むと共に、カメラ基準マークＣＭを画像認識カメラ３４ａの撮像範囲Ｓ１に合わせ込むように、吸着テーブル３１上にキャリブレーションマスク９６をセットする。なお、ここでは、吸着テーブル３１に対して、キャリブレーションマスク９６が僅かに傾いて載置されたものとする。

続いて、第１カメラ認識工程（Ｓ０２）において、基準カメラ９５および画像認識カメラ３４ａの各中心ポイントを基準として、それぞれセンター基準マークＭ１およびカメラ基準マークＣＭの位置認識を行う（同図（ａ））。次に、センター基準マークＭ２が、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓに入るように、吸着テーブル３１をＸ軸方向にスライドする。ここで、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓの中心ポイントを基準に、センター基準マークＭ２を位置認識し、２つのセンター基準マークＭ１、Ｍ２の位置認識の結果に基づいて、キャリブレーションマスク９６の傾き度合いを計算する（同図（ｂ））。

次に、第１キャリブレーション工程（Ｓ０３）において、センター基準マークＭ１，Ｍ２およびカメラ基準マークＣＭの位置認識結果に基づいて、画像認識カメラ３４ａのキャリブレーションを行う。この場合、上記で移動した吸着テーブル３１をＸ軸方向にスライドさせて元の位置に移動させた後、上述の位置認識結果に基づいて、吸着テーブル３１をθテーブル３２により回転させて、キャリブレーションマスク９６の傾きを補正（θ補正）すると共に、サブＹ軸テーブル２３によりキャリブレーションマスク９６をＹ軸方向に移動させ、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓの中心ポイントとセンター基準マークＭ１と、がＸ軸方向に同一直線上に位置するように補正する（同図（ｃ））。

また、キャリブレーションマスク９６の位置補正（位置合わせ）と同時に、上述の位置認識結果に基づいて、画像認識カメラ３４ａの撮像範囲Ｓ１の中心ポイントとカメラ基準マークＣＭと、が一致するように画像認識カメラ３４ａのキャリブレーションを実行する（同図（ｄ））。これにより、基準カメラ９５および画像認識カメラ３４ａの位置が決定する。

次に、マスク再セット工程では（Ｓ０４）では、吸着テーブル３１上に載置されているキャリブレーションマスク９６をＹ軸方向に表裏反転し、キャリブレーションマスク９６を再セットする（同図（ｅ））。この場合、基準カメラ９５は、第１キャリブレーション（Ｓ０３）後の位置（同図（ｄ）の位置）から動かさずに、センターライン（センター基準マークＭ１）を基準カメラ９５の撮像範囲Ｓに合わせ込むと共に、カメラ基準マークＣＭを画像認識カメラ３４ｂの撮像範囲Ｓ２に合わせ込むように、吸着テーブル３１上にキャリブレーションマスク９６を再セットする。なお、キャリブレーションマスク９６は透光性の素材（例えば、石英ガラス等）で成形されているため、表裏反転してセットしても、センター基準マークＭ１、Ｍ２およびカメラ基準マークＣＭの位置は、基準カメラ９５および画像認識カメラ３４ｂにより、問題なく認識することが可能である。

続いて、第２カメラ認識工程（Ｓ０５）において、基準カメラ９５および画像認識カメラ３４ｂの各撮像範囲の中心ポイントを基準として、それぞれセンター基準マークＭ１およびカメラ基準マークＣＭの位置認識を行う（同図（ｅ））。次に、センター基準マークＭ２が、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓに入るように、吸着テーブル３１をＸ軸方向に移動する。ここで、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓの中心ポイントを基準に、センター基準マークＭ２を位置認識し、２つのセンター基準マークＭ１、Ｍ２の位置認識の結果に基づいて、キャリブレーションマスク９６の傾き度合いを計算する（同図（ｆ））。

次に、第２キャリブレーション工程（Ｓ０６）において、センター基準マークＭ１，Ｍ２およびカメラ基準マークＣＭの位置認識結果に基づいて、画像認識カメラ３４ｂのキャリブレーションを行う。この場合、上記で移動した吸着テーブル３１をＸ軸方向にスライドさせて元の位置に移動させた後、上述の位置認識結果に基づいて、吸着テーブル３１をθテーブル３２により回転させて、キャリブレーションマスク９６の傾きを補正（θ補正）する。これと共に、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓの中心ポイントとセンター基準マークＭ１と、が第１キャリブレーション（Ｓ０３）後の位置関係（同図（ｄ）の位置）と一致するように、キャリブレーションマスク９６をＸ軸方向およびＹ軸方向に補正する（同図（ｇ））。

また、キャリブレーションマスク９６の位置補正（位置合わせ）と同時に、上述の位置認識結果に基づいて、画像認識カメラ３４ｂの撮像範囲Ｓ２の中心ポイントとカメラ基準マークＣＭと、が一致するように画像認識カメラ３４ｂのキャリブレーションを実行する（同図（ｈ））。これにより、画像認識カメラ３４ｂの位置が決定し、基準カメラ９５を基準として、Ｙ軸方向に対称になるように画像認識カメラ３４ａ、３４ｂのキャリブレーションが完了する。

次に、図７および図８を参照し、本発明の第２実施形態の画像認識カメラ３４のキャリブレーション方法について述べる。図７は、画像認識カメラ３４のキャリブレーションの工程を示すフローチャート、図８は、キャリブレーションの工程順に示した遷移図ある。ここでは、キャリブレーションマスク９６上に一対のセンター基準マークＭ１、Ｍ２、画像認識カメラ３４の位置を表した第１カメラ基準マークＣＭ１および第２カメラ基準マークＣＭ２を形成し、４台の画像認識カメラ３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄをキャリブレーションする手順について説明する。

第２実施形態では、セットテーブル２１の四隅を臨むように、且つ長方形を成すように離間して設けた４台の画像認識カメラ３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄのキャリブレーションを行う。キャリブレーションマスク９６には、各２台２組の画像認識カメラ３４ａ、３４ｃおよび画像認識カメラ３４ｂ、３４ｄの離間方向のセンターラインを表した一対のセンター基準マークＭ１、Ｍ２と、同組の２台の画像認識カメラ３４ａ、３４ｃの位置を表した第１カメラ基準マークＣＭ１および第２カメラ基準マークＣＭ２と、が形成されている。この場合、キャリブレーションマスク９６は、石英等の透光性の素材で成形され、且つ機能液滴吐出ヘッド１３による描画対象となるワークＷのサイズの略半分のサイズに形成されている。また、センター基準マークＭ１、Ｍ２を位置認識するための基準カメラ９５は、上述の吐出検査カメラ８９の内の１台を兼用する。なお、同図中のキャリブレーションマスク９６上に形成されている黒点は、それぞれ、センター基準マークＭ１、Ｍ２、第１カメラ基準マークＣＭ１および第２カメラ基準マークＣＭ２であり、丸枠は、それぞれ、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓ、画像認識カメラ３４ａの撮像範囲Ｓ１、画像認識カメラ３４ｂの撮像範囲Ｓ２、画像認識カメラ３４ｃの撮像範囲Ｓ３および画像認識カメラ３４ｄの撮像範囲Ｓ４を表している。また、撮像範囲Ｓ、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３およびＳ４の中の「＋」印は、各カメラの撮像範囲の中心ポイントを表している。

まず、マスクセット工程では（Ｓ１１）では、図８（ａ）に示すように、吸着テーブル３１上にキャリブレーションマスク９６を載置する。基準カメラ９５は、２台の画像認識カメラ３４ａ、３４ｂの離間方向の略センターに移動され、センターライン（センター基準マークＭ１）を基準カメラ９５の撮像範囲Ｓに合わせ込むと共に、第１カメラ基準マークＣＭ１と第２カメラ基準マークＣＭ２とを、それぞれ画像認識カメラ３４ａの撮像範囲Ｓ１および画像認識カメラ３４ｃの撮像範囲Ｓ３に合わせ込むように、吸着テーブル３１上にキャリブレーションマスク９６をセットする。なお、ここでは、吸着テーブル３１に対して、キャリブレーションマスク９６が僅かに傾いて載置されたものとする。

続いて、第１カメラ認識工程（Ｓ１２）において、基準カメラ９５および画像認識カメラ３４ａ、３４ｃの各撮像範囲の中心ポイントを基準として、それぞれセンター基準マークＭ１、第１カメラ基準マークＣＭ１および第２カメラ基準マークＣＭ２の位置認識を行う（同図（ａ））。次に、センター基準マークＭ２が、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓに入るように、吸着テーブル３１をＸ軸方向に移動する。ここで、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓの中心ポイントを基準に、センター基準マークＭ２を位置認識し、２つのセンター基準マークＭ１、Ｍ２の位置認識の結果に基づいて、キャリブレーションマスク９６の傾き度合いを計算する（同図（ｂ））。

次に、第１キャリブレーション工程（Ｓ１３）において、センター基準マークＭ１，Ｍ２、第１カメラ基準マークＣＭ１および第２カメラ基準マークＣＭ２の位置認識結果に基づいて、２台の画像認識カメラ３４ａ、３４ｃのキャリブレーションを行う。この場合、上記で移動した吸着テーブル３１をＸ軸方向にスライドさせて元の位置に移動させた後、上述の位置認識結果に基づいて、吸着テーブル３１をθテーブル３２により回転させて、キャリブレーションマスク９６の傾きを補正（θ補正）すると共に、サブＹ軸テーブル２３によりＹ軸方向にスライドさせ、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓの中心ポイントとセンター基準マークＭ１と、がＸ軸方向に同一直線上に位置するように補正する（同図（ｃ））。

また、キャリブレーションマスク９６の位置補正（位置合わせ）と同時に、上述の位置認識結果に基づいて、画像認識カメラ３４ａの撮像範囲Ｓ１の中心ポイントと第１カメラ基準マークＣＭ１と、が一致するように画像認識カメラ３４ａのキャリブレーションを実行すると共に、画像認識カメラ３４ｃの撮像範囲Ｓ３の中心ポイントと第２カメラ基準マークＣＭ２と、が一致するように画像認識カメラ３４ｃのキャリブレーションを実行する（同図（ｄ））。これにより、基準カメラ９５および２台の画像認識カメラ３４ａ、３４ｃの位置が決定する。

次に、マスク再セット工程では（Ｓ１４）では、吸着テーブル３１上に載置されているキャリブレーションマスク９６を、Ｙ軸方向に表裏反転し、キャリブレーションマスク９６を再セットする（同図（ｅ））。この場合、基準カメラ９５は、第１キャリブレーション（Ｓ１３）後の位置（同図（ｄ）の位置）から動かさずに、センターライン（センター基準マークＭ１）を基準カメラ９５の撮像範囲Ｓに合わせ込むと共に、第１カメラ基準マークＣＭ１と第２カメラ基準マークＣＭ２とを、それぞれ画像認識カメラ３４ｂの撮像範囲Ｓ２および画像認識カメラ３４ｄの撮像範囲Ｓ４に合わせ込むように、吸着テーブル３１上にキャリブレーションマスク９６を再セットする。なお、キャリブレーションマスク９６は透光性の素材（例えば、石英ガラス等）で成形されているため、表裏反転してセットしても、センター基準マークＭ１、Ｍ２、第１カメラ基準マークＣＭ１および第２カメラ基準マークＣＭ２の位置は、基準カメラ９５および画像認識カメラ３４ｂ、３４ｄにより、問題なく認識することが可能である。

続いて、第２カメラ認識工程（Ｓ１５）において、基準カメラ９５および２台の画像認識カメラ３４ｂ、３４ｄの各撮像範囲の中心ポイントを基準として、それぞれセンター基準マークＭ１、第１カメラ基準マークＣＭ１および第２カメラ基準マークＣＭ２の位置認識を行う（同図（ｅ））。次に、センター基準マークＭ２が、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓに入るように、吸着テーブル３１をＸ軸方向に移動する。ここで、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓの中心ポイントを基準に、センター基準マークＭ２を位置認識し、２つのセンター基準マークＭ１、Ｍ２の位置認識の結果に基づいて、キャリブレーションマスク９６の傾き度合いを計算する（同図（ｆ））。

次に、第２キャリブレーション工程（Ｓ１６）において、センター基準マークＭ１，Ｍ２、第１カメラ基準マークＣＭ１および第２カメラ基準マークＣＭ２の位置認識結果に基づいて、２台の画像認識カメラ３４ｂ、３４ｄのキャリブレーションを行う。この場合、上記で移動した吸着テーブル３１をＸ軸方向にスライドさせて元の位置に移動させた後、上述の位置認識結果に基づいて、吸着テーブル３１をθテーブル３２により回転させて、キャリブレーションマスク９６の傾きを補正（θ補正）する。これと共に、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓの中心ポイントとセンター基準マークＭ１と、が第１キャリブレーション（Ｓ１３）後の位置関係（同図（ｄ）の位置）と一致するように、キャリブレーションマスク９６をＸ軸方向およびＹ軸方向に補正する（同図（ｇ））。

また、キャリブレーションマスク９６の位置補正（位置合わせ）と同時に、上述の位置認識結果に基づいて、画像認識カメラ３４ｂの撮像範囲Ｓ２の中心ポイントと第１カメラ基準マークＣＭ１と、が一致するように画像認識カメラ３４ｂのキャリブレーションを実行すると共に、画像認識カメラ３４ｄの撮像範囲Ｓ４の中心ポイントと第２カメラ基準マークＣＭ２と、が一致するように画像認識カメラ３４ｄのキャリブレーションを実行する（同図（ｈ））。これにより、２台の画像認識カメラ３４ｂ、３４ｄの位置が決定し、基準カメラ９５を基準として、Ｙ軸方向に対称になるように２台２組の画像認識カメラ３４ａ、３４ｃおよび画像認識カメラ３４ｂ、３４ｄのキャリブレーションが完了する。

次に、図９および図１０を参照し、本発明の第３実施形態の画像認識カメラ３４のキャリブレーション方法について述べる。図９は、画像認識カメラ３４のキャリブレーションの工程を示すフローチャート、図１０は、キャリブレーションの工程順に示した遷移図である。ここでは、キャリブレーションマスク９６上に一対のセンター基準マークＭ１、Ｍ２、画像認識カメラ３４の位置を表した第１カメラ基準マークＣＭ１、および第２カメラ基準マークＣＭ２を形成し、２台の画像認識カメラ３４ａ、３４ｂをキャリブレーションする手順について説明する。

第３実施形態では、セットテーブル２１の両端を臨むように離間して設けた２台の画像認識カメラ３４ａ、３４ｂのキャリブレーションを行う。キャリブレーションマスク９６には、２台の画像認識カメラ３４ａ、３４ｂの離間方向のセンターラインを表した一対のセンター基準マークＭ１、Ｍ２と、画像認識カメラ３４ａの位置を表した第１カメラ基準マークＣＭ１と、上記センターラインの中心で直交する中間ラインを基準に、第１カメラ基準マークＣＭ１と線対称になる位置を表した第２カメラ基準マークＣＭ２と、が形成されている。この場合、キャリブレーションマスク９６は、機能液滴吐出ヘッド１３による描画対象となるワークＷのサイズの略半分のサイズに形成されている。また、センター基準マークＭ１、Ｍ２を位置認識するための基準カメラ９５は、上述の吐出検査カメラ８９の内の１台を兼用する。なお、同図中のキャリブレーションマスク９６上に形成されている黒点は、それぞれ、センター基準マークＭ１、Ｍ２、第１カメラ基準マークＣＭ１および第２カメラ基準マークＣＭ２であり、丸枠は、それぞれ、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓ、画像認識カメラ３４ａの撮像範囲Ｓ１および画像認識カメラ３４ｂの撮像範囲Ｓ２を表している。また、撮像範囲Ｓ、Ｓ１およびＳ２の中の「＋」印は、各カメラの撮像範囲の中心ポイントを表している。

まず、マスクセット工程では（Ｓ２１）では、図１０（ａ）に示すように、吸着テーブル３１上にキャリブレーションマスク９６を載置する。基準カメラ９５は、２台の画像認識カメラ３４ａ、３４ｂの離間方向の略センターに移動され、センターライン（センター基準マークＭ１）を基準カメラ９５の撮像範囲Ｓに合わせ込むと共に、第１カメラ基準マークＣＭ１を画像認識カメラ３４ａの撮像範囲Ｓ１に合わせ込むように、吸着テーブル３１上にキャリブレーションマスク９６をセットする。なお、ここでは、吸着テーブル３１に対して、キャリブレーションマスク９６が僅かに傾いて載置されたものとする。

続いて、第１カメラ認識工程（Ｓ２２）において、基準カメラ９５および画像認識カメラ３４ａの各撮像範囲の中心ポイントを基準として、それぞれセンター基準マークＭ１および第１カメラ基準マークＣＭ１の位置認識を行う（同図（ａ））。次に、センター基準マークＭ２が、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓに入るように、吸着テーブル３１をＸ軸方向に移動する。ここで、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓの中心ポイントを基準に、センター基準マークＭ２を位置認識し、２つのセンター基準マークＭ１、Ｍ２の位置認識の結果に基づいて、キャリブレーションマスク９６の傾き度合いを計算する（同図（ｂ））。

次に、第１キャリブレーション工程（Ｓ２３）において、センター基準マークＭ１、Ｍ２および第１カメラ基準マークＣＭ１の位置認識結果に基づいて、画像認識カメラ３４ａのキャリブレーションを行う。この場合、上記で移動した吸着テーブル３１をＸ軸方向にスライドさせて元の位置に移動させた後、上述の位置認識結果に基づいて、吸着テーブル３１をθテーブル３２により回動させて、キャリブレーションマスク９６の傾きを補正（θ補正）すると共に、サブＹ軸テーブル２３によりＹ軸方向にスライドさせ、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓの中心ポイントとセンター基準マークＭ１と、がＸ軸方向に同一直線上に位置するように補正する（同図（ｃ））。

また、キャリブレーションマスク９６の位置補正（位置合わせ）と同時に、上述の位置認識結果に基づいて、画像認識カメラ３４ａの撮像範囲Ｓ１の中心ポイントと第１カメラ基準マークＣＭ１と、が一致するように画像認識カメラ３４ａのキャリブレーションを実行する（同図（ｄ））。これにより、基準カメラ９５および画像認識カメラ３４ａの位置が決定する。

次に、マスク再セット工程では（Ｓ２４）では、キャリブレーションマスク９６が載置されている吸着テーブル３１を、θテーブル３２により１８０°回転させ、キャリブレーションマスク９６を再セットする（同図（ｅ））。ここでは、基準カメラ９５は、第１キャリブレーション（Ｓ０３）後の位置（同図（ｄ）の位置）から動かさずに、センターライン（センター基準マークＭ２）を基準カメラ９５の撮像範囲Ｓに合わせ込むと共に、第２カメラ基準マークＣＭ２を画像認識カメラ３４ｂの撮像範囲Ｓ２に合わせ込むように、吸着テーブル３１上にキャリブレーションマスク９６を再セットする。この場合、キャリブレーションマスク９６（吸着テーブル３１）をθテーブル３２によりθ回転（１８０°回転）させることで、簡単にキャリブレーションマスク９６の再セットを行うことができる。

なお、マスク再セット工程（Ｓ２４）において、キャリブレーションマスク９６の回転（１８０°回転）動作のみで、センター基準マークＭ２および第２カメラ基準マークＣＭ２の合わせ込みが完了した場合（回転後に微調整することなく合わせ込みが完了した場合）は、後述するキャリブレーションマスク９６の傾き度合いを調べるための一連の処理は行わなくてもよい。

続いて、第２カメラ認識工程（Ｓ２５）において、基準カメラ９５および画像認識カメラ３４ｂの各撮像範囲の中心ポイントを基準として、それぞれセンター基準マークＭ２、第２カメラ基準マークＣＭ２の位置認識を行う（同図（ｅ））。次に、センター基準マークＭ１が、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓに入るように、吸着テーブル３１をＸ軸方向に移動する。ここで、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓの中心ポイントを基準に、センター基準マークＭ１を位置認識し、２つのセンター基準マークＭ１、Ｍ２の位置認識の結果に基づいて、キャリブレーションマスク９６の傾き度合いを計算する（同図（ｆ））。

次に、第２キャリブレーション工程（Ｓ２６）において、センター基準マークＭ１，Ｍ２、第２カメラ基準マークＣＭ２の位置認識結果に基づいて、画像認識カメラ３４ｂのキャリブレーションを行う。この場合、上記で移動した吸着テーブル３１をＸ軸方向にスライドさせて元の位置に移動させた後、上述の位置認識結果に基づいて、吸着テーブル３１をθテーブル３２により回動させて、キャリブレーションマスク９６の傾きを補正（θ補正）する。これと共に、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓの中心ポイントとセンター基準マークＭ２と、が第１キャリブレーション（Ｓ２３）後の基準カメラ９５の撮像範囲Ｓの中心ポイントとセンター基準マークＭ１との位置関係（同図（ｄ）の位置）と一致するように、キャリブレーションマスク９６をＸ軸方向およびＹ軸方向に補正する（同図（ｇ））。

また、キャリブレーションマスク９６の位置補正（位置合わせ）と同時に、上述の位置認識結果に基づいて、画像認識カメラ３４ｂの撮像範囲Ｓ２の中心ポイントと第２カメラ基準マークＣＭ２と、が一致するように画像認識カメラ３４ｂのキャリブレーションを実行する（同図（ｈ））。これにより、画像認識カメラ３４ｂの位置が決定し、基準カメラ９５を基準として、Ｙ軸方向に対称になるように２台の画像認識カメラ３４ａ、３５ｂのキャリブレーションが完了する。

なお、第１実施形態、第２実施形態および第３実施形態の第１キャリブレーション工程（Ｓ０３、Ｓ１３、Ｓ２３）において、キャリブレーションマスク９６（吸着テーブル３１）のＹ軸方向への位置補正は、基準カメラ９５自身をＹ軸方向にスライドすることによって補正してもよい。また、基準カメラ９５の撮像範囲Ｓの中心ポイントとセンター基準マークＭ１とを一致させるように、キャリブレーションマスク９６のＹ軸方向の補正と共に、Ｘ軸方向への補正を行っても良い。

また、セットテーブル２１（吸着テーブル３１）をＹ軸方向に微小移動させるサブＹ軸テーブル２３が無い場合、Ｙ軸方向の補正に関しては、基準カメラ９５および画像認識カメラ３４が、Ｙ軸方向の補正値を加味して位置補正を行うことで、正確な画像認識カメラ３４のキャリブレーションを行うことが可能である。

以上のように、本実施形態によれば、キャリブレーションマスク９６上のセンター基準マークＭ１、Ｍ２およびカメラ基準マークＣＭ（あるいは、ＣＭ１、ＣＭ２）を適切な位置に形成し、キャリブレーション対象となる複数台の画像認識カメラ３４のキャリブレーションを複数回に分けて行うことで、描画対象となるワークＷのサイズに比して、キャリブレーションマスク９６のサイズを極端に小さく形成してキャリブレーションを実行することができる。これにより、キャリブレーションマスク９６のコストを削減することができると共に、キャリブレーションマスク９６のセット作業等を簡単に行うことができる。

また、液滴吐出装置１において、本発明の画像認識カメラ３４のキャリブレーション方法によりキャリブレーションした複数台の画像認識カメラ３４を用いることで、ワークＷのアライメントを正確に行うことができる。これにより、ワークＷに対し精度良い描画処理を行う液滴吐出装置１を実現することができる。

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。

まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１１は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１２は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１２（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１２（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１２（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１３により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１２（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１３によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１３を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１２（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図１３は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１２に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１３において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１３で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１３で行うことも可能である。

図１４は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図１５は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図１６は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１７〜図２５を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１７に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１８に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１９に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１３を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。

図２０に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１３から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２１に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２２に示すように、各色のうちのいずれか（図２２の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２３に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド１３を用い、図２４に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２５に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図２６は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１３により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１３から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図２７は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２８（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２８（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

本実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。 液滴吐出装置の側面図である。 機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。 ヘッド群を構成する機能液滴吐出ヘッドの図である。 第１実施形態に係る画像認識カメラのキャリブレーションの工程を示すフローチャートである。 第１実施形態に係る画像認識カメラのキャリブレーションを工程順に示した遷移図である。 第２実施形態に係る画像認識カメラのキャリブレーションの工程を示すフローチャートである。 第２実施形態に係る画像認識カメラのキャリブレーションを工程順に示した遷移図である。 第３実施形態に係る画像認識カメラのキャリブレーションの工程を示すフローチャートである。 第３実施形態に係る画像認識カメラのキャリブレーションを工程順に示した遷移図である。 カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 陰極の形成を説明する工程図である。 プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１…液滴吐出装置 １３…機能液滴吐出ヘッド ３４、３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄ…画像認識カメラ ３５…ヘッドユニット ８９…吐出検査用カメラ ９５…基準カメラ ９６…キャリブレーションマスク Ｍ１、Ｍ２…センター基準マーク ＣＭ、ＣＭ１、ＣＭ２…カメラ基準マーク Ｗ…ワーク

Claims (9)

1. 透光性のキャリブレーションマスクに形成した基準マークに基づいて、離間して設けた２台の画像認識カメラのキャリブレーションを行なう画像認識カメラのキャリブレーション方法において、
   ２台の前記画像認識カメラの離間方向のセンターラインを表した一対のセンター基準マークと、１台の前記画像認識カメラの位置を表したカメラ基準マークと、を有するキャリブレーションマスクを用いると共に、２台の前記画像認識カメラの離間方向の略センターに配設した基準カメラを用い、
   前記センターラインを前記基準カメラに合わせ込むと共に前記カメラ基準マークを一方の前記画像認識カメラに合わせ込むように、前記キャリブレーションマスクをセットステージ上にセットするマスクセット工程と、
   セットした前記キャリブレーションマスクに対し、前記基準カメラにより一対のセンター基準マークを位置認識すると共に、一方の前記画像認識カメラにより前記カメラ基準マークを位置認識する第１カメラ認識工程と、
   前記基準カメラの認識結果および一方の前記画像認識カメラの認識結果に基づいて、一方の前記画像認識カメラをキャリブレーションする第１キャリブレーション工程と、
   前記キャリブレーションマスクを離間方向に表裏反転し、前記センターラインを前記基準カメラに合わせ込むと共に前記カメラ基準マークを他方の前記画像認識カメラに合わせ込むように、前記セットステージ上に再セットするマスク再セット工程と、
   再セットした前記キャリブレーションマスクに対し、前記基準カメラにより一対のセンター基準マークを位置認識すると共に、他方の前記画像認識カメラにより前記カメラ基準マークを位置認識する第２カメラ認識工程と、
   前記基準カメラの認識結果および他方の前記画像認識カメラの認識結果に基づいて、他方の前記画像認識カメラをキャリブレーションする第２キャリブレーション工程と、を備えたことを特徴とする画像認識カメラのキャリブレーション方法。
2. 透光性のキャリブレーションマスクに形成した基準マークに基づいて、長方形を為すように離間して設けた４台の画像認識カメラのキャリブレーションを行なう画像認識カメラのキャリブレーション方法において、
   各２台２組の前記画像認識カメラの離間方向のセンターラインを表した一対のセンター基準マークと、同組の２台の前記画像認識カメラの位置を表した第１カメラ基準マークおよび第２カメラ基準マークと、を有するキャリブレーションマスクを用いると共に、各２台２組の前記画像認識カメラの離間方向の略センターに配設した基準カメラを用い、
   前記センターラインを前記基準カメラに合わせ込むと共に前記第１カメラ基準マークおよび前記第２カメラ基準マークを一方の組の２台前記画像認識カメラに合わせ込むように、前記キャリブレーションマスクをセットステージ上にセットするマスクセット工程と、
   セットした前記キャリブレーションマスクに対し、前記基準カメラにより一対のセンター基準マークを位置認識すると共に、一方の組の２台の前記画像認識カメラにより前記第１カメラ基準マークおよび前記第２カメラ基準マークをそれぞれ位置認識する第１カメラ認識工程と、
   前記基準カメラの認識結果および一方の組の２台の前記画像認識カメラの認識結果に基づいて、一方の組の２台の前記画像認識カメラをそれぞれキャリブレーションする第１キャリブレーション工程と、
   前記キャリブレーションマスクを離間方向に表裏反転し、前記センターラインを前記基準カメラに合わせ込むと共に前記第１カメラ基準マークおよび前記第２カメラ基準マークを他方の組の２台の前記画像認識カメラに合わせ込むように、前記セットステージ上に再セットするマスク再セット工程と、
   再セットした前記キャリブレーションマスクに対し、前記基準カメラにより一対のセンター基準マークを位置認識すると共に、他方の組の２台の前記画像認識カメラにより前記第１カメラ基準マークおよび前記第２カメラ基準マークをそれぞれ位置認識する第２カメラ認識工程と、
   前記基準カメラの認識結果および他方の組の２台の前記画像認識カメラの認識結果に基づいて、他方の組の２台の前記画像認識カメラをそれぞれキャリブレーションする第２キャリブレーション工程と、を備えたことを特徴とする画像認識カメラのキャリブレーション方法。
3. キャリブレーションマスクに形成した基準マークに基づいて、離間して設けた２台の画像認識カメラのキャリブレーションを行なう画像認識カメラのキャリブレーション方法において、
   ２台の前記画像認識カメラの離間方向のセンターラインを表した一対のセンター基準マークと、１台の前記画像認識カメラの位置を表した第１カメラ基準マークと、前記第１カメラ基準マークに対し、前記センターラインに直交するキャリブレーションマスクの中間ラインを基準に線対称となる位置に設けた第２カメラ基準マークと、を有するキャリブレーションマスクを用いると共に、２台の前記画像認識カメラの離間方向の略センターに配設した基準カメラを用い、
   前記センターラインを前記基準カメラに合わせ込むと共に前記第１カメラ基準マークを一方の前記画像認識カメラに合わせ込むように、前記キャリブレーションマスクをセットステージ上にセットするマスクセット工程と、
   セットした前記キャリブレーションマスクに対し、前記基準カメラにより一対のセンター基準マークを位置認識すると共に、一方の前記画像認識カメラにより前記第１カメラ基準マークを位置認識する第１カメラ認識工程と、
   前記基準カメラの認識結果および一方の前記画像認識カメラの認識結果に基づいて、一方の前記画像認識カメラをキャリブレーションする第１キャリブレーション工程と、
   前記キャリブレーションマスクを１８０°回転させ、前記センターラインを前記基準カメラに合わせ込むと共に前記第２カメラ基準マークを他方の前記画像認識カメラに合わせ込むように、前記セットステージ上に再セットするマスク再セット工程と、
   再セットした前記キャリブレーションマスクに対し、前記基準カメラにより一対のセンター基準マークを位置認識すると共に、他方の前記画像認識カメラにより前記第２カメラ基準マークを位置認識する第２カメラ認識工程と、
   前記基準カメラの認識結果および他方の前記画像認識カメラの認識結果に基づいて、他方の前記画像認識カメラをキャリブレーションする第２キャリブレーション工程と、を備えたことを特徴とする画像認識カメラのキャリブレーション方法。
4. ワークをアライメントするために、請求項１または３に記載の画像認識カメラのキャリブレーション方法によりキャリブレーションした２台の前記画像認識カメラおよび前記基準カメラと、
   複数の機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに搭載したヘッドユニットと、
   ワークに対し、前記ヘッドユニットを相対的に移動させながら、前記複数の機能液滴吐出ヘッドからワークに対し機能液滴を吐出して描画を行なう描画手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
5. ワークをアライメントするために、請求項２に記載の画像認識カメラのキャリブレーション方法によりキャリブレーションした４台の前記画像認識カメラおよび前記基準カメラと、
   複数の機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに搭載したヘッドユニットと、
   ワークに対し、前記ヘッドユニットを相対的に移動させながら、前記複数の機能液滴吐出ヘッドからワークに対し機能液滴を吐出して描画を行なう描画手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
6. 前記基準カメラは、複数の機能液滴吐出ヘッドから吐出着弾した着弾結果を検査するための吐出検査用カメラを兼ねていることを特徴とする請求項４または５に記載の液滴吐出装置。
7. 請求項６に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
8. 請求項６に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
9. 請求項７に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項８に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。

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