JP4442620B2 - 着弾ドット測定方法および着弾ドット測定装置、並びに液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、機能液滴吐出ヘッドの検査吐出により検査シート上に着弾した機能液滴である着弾ドットを、形態測定装置により形状測定する着弾ドット測定方法および着弾ドット測定装置、並びに液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法に関するものである。

従来、この種の着弾ドット測定方法として、測定用の吐着対象物に対し、機能液滴吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）の全吐出ノズルから液滴を吐出しておき、形態測定装置をＸＹ方向に移動させて、ワークに着弾した各吐出ノズルの着弾ドットを１つずつ測定していくものが知られている（特許文献１参照）。この場合、形態測定装置は、着弾ドットを上方から臨む、ＣＣＤカメラおよびレーザ式距離計測器によりデータを取得し、そのデータから着弾ドットの体積を算出、測定するようにしている。
特開２００５−１２１４０１号公報

しかしながら、このような着弾ドット測定方法では、全ての検査吐出を終了した後、全ての着弾ドットを測定するようにしているため、各着弾ドットにおいて、着弾から測定までの時間が一定にならず差が出てしまう。このように着弾から測定までの時間に差が出てしまうと、各着弾ドットにおける溶媒の蒸散等の理由で、着弾ドットの形状（体積）が変化し、測定結果が不正確となり、各吐出ノズルに対する着弾ドットの相対的な測定を行うことができない。そのため、正確な測定を行うことができないという問題があった。例えば、２つの正常な吐出ノズルがあり、これらを同時に吐出した場合、測定する順序が早い一方の着弾ドットは、着弾から測定までの時間が短いため、蒸散量が少なく体積が大きく測定される。また、測定する順序が遅い他方の着弾ドットは、着弾から測定までの時間が長いため、蒸散量が多く体積が小さく測定される。そのため、正常な吐出ノズルにおける着弾ドットの基準値があいまい、もしくは正常な吐出ノズルでありながら基準値からずれてしまうことになり、正確な測定を行うことができない。

本発明は、着弾ドットの測定を正確かつ効率良く行うことができる着弾ドット測定方法および着弾ドット測定装置、並びに液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法を提供することを課題としている。

本発明の着弾ドット測定方法は、機能液滴吐出ヘッドの検査吐出により検査シート上に着弾した機能液滴である着弾ドットを、干渉計から成る形態測定装置により形状測定する着弾ドット測定方法において、検査シートに対し、機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドの多数の吐出ノズルであって、主走査方向と直交する副走査方向に列を成すように配置された多数の吐出ノズルを、１つずつ一定の時間間隔をおいて検査吐出させる検査吐出工程と、検査シートに対し、形態測定装置を、機能液滴吐出ヘッドと同速の主走査方向への相対的移動と副走査方向への相対的移動により、機能液滴吐出ヘッドに後行させながら、多数の着弾ドットをそれぞれ形状測定する測定工程と、を備えたことを特徴とする。

本発明の着弾ドット測定装置は、機能液滴吐出ヘッドの検査吐出により検査シート上に着弾した機能液滴である着弾ドットを、干渉計から成る形態測定装置により形状測定する着弾ドット測定装置において、検査シートに対し、機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させるヘッド移動手段と、着弾ドットを形状測定する形態測定装置と、検査シートに対し、形態測定装置を主走査方向および主走査方向と直交する副走査方向に相対的に移動させる測定装置移動手段と、機能液滴吐出ヘッド、ヘッド移動手段、形態測定装置および測定装置移動手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドの多数の吐出ノズルであって、副走査方向に列を成すように配置された多数の吐出ノズルを、１つずつ一定の時間間隔をおいて検査吐出させると共に、形態測定装置を、機能液滴吐出ヘッドと同速の主走査方向への相対的移動と副走査方向への相対的移動により、機能液滴吐出ヘッドに後行させながら、多数の着弾ドットをそれぞれ形状測定させることを特徴とする。

これらの構成によれば、各吐出ノズルの吐出から測定までの時間を同一にすることができ、各着弾ドットにおいて、着弾から測定までの時間を同一にすることができる。そのため、蒸散等の影響で着弾ドットの違いが生じることがなく、各吐出ノズルの着弾ドットにおいて相対的な測定を行うことができる。ゆえに正確な測定を行うことができる。また、検査シートに対し、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、多数の吐出ノズルを、１つずつ時間間隔をおいて検査吐出させ、形態測定装置を、機能液滴吐出ヘッドに同速で後行させながら測定することにより、各着弾ドットの着弾測定を、短時間で効率良く行うことができる。なお、着弾ドットは、１ショットでもよいし、数ショットでもよい。

上記の着弾ドット測定方法において、形状測定の結果から各着弾ドットの体積を求める体積測定工程を、更に備えたことが好ましい。

上記の着弾ドット測定装置において、形態測定装置は、形状測定の結果から各着弾ドットの体積を求めることが好ましい。

これらの構成によれば、正確な形状測定の結果により、各着弾ドットの正確な体積を求めることができる。

上記の着弾ドット測定方法において、形状測定の結果から各着弾ドットの設計値からの位置ズレ量を求める位置測定工程を、更に備えたことが好ましい。

上記の着弾ドット測定装置において、形態測定装置は、形状測定の結果から各着弾ドットの設計値からの位置ズレ量を求めることが好ましい。

これらの構成によれば、各着弾ドットの正確な形状測定に加え、この形態測定装置を利用して、各着弾ドットの着弾位置の位置ズレ量を求めることができる。これにより、機能液滴吐出ヘッドの飛行曲り等も測定することができる。もちろん、吐出不良も検出することができる。

本発明の液滴吐出装置は、上記の着弾ドット測定装置と、複数の機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに搭載したヘッドユニットと、ワークに対し、ヘッドユニットを相対的に移動させながら、複数の機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して描画を行なう描画手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、着弾ドットの正確な形状測定を行うことのできる着弾ドット測定装置を有することにより、機能液滴吐出ヘッドのメンテナンスを厳密に行うことができるため、常にすじムラ等のない精度の高い描画を行うことができる。

この場合、ヘッドユニットには、Ｒ色の機能液を導入する機能液滴吐出ヘッド、Ｇ色の機能液を導入する機能液滴吐出ヘッドおよびＢ色の機能液を導入する機能液滴吐出ヘッド、が搭載されていることが好ましい。

この構成によれば、３色の機能液を画素領域内に着弾させたカラーフィルタを作成することができ、また、上記の着弾ドットの形態測定装置により、色むらや混色の生じないカラーフィルタを生産することができる。これにより、装置の信頼性を高めることができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。

この構成によれば、高品質の電気光学装置を効率良く製造することができる。なお、機能材料としては、有機ＥＬ装置の発光材料（Electro-Luminescence発光層・正孔注入層）は元より、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのフィルタ材料（フィルタエレメント）、電子放出装置（Field Emission Display， ＦＥＤ）の蛍光材料（蛍光体）、ＰＤＰ（plasma Display Panel）装置の蛍光材料（蛍光体）、電気泳動表示装置の泳動体材料（泳動体）等であって、機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）により吐出可能な液体材料を言う。また、電気光学装置（Flat Panel Display， ＦＰＤ）としては、有機ＥＬ装置、液晶表示装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置等がある。

以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。

図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７（図示省略）が搭載された１０個のキャリッジユニット５１とから成り、１０個のキャリッジユニット５１は、Ｙ軸テーブル１２に吊設されている。そして、Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。

また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置５を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１７の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、メンテナンス装置５を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８は、Ｘ軸テーブル１１に搭載され、吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台６上に配設されている。

フラッシングユニット１４は、一対の描画前フラッシングユニット１１１，１１１と、定期フラッシングユニット１１２とを有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出直前や、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行われる、機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出（フラッシング）を受けるためのものである。吸引ユニット１５は、複数の分割吸引ユニット１４１を有し、各機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８から機能液を強制的に吸引するものである。ワイピングユニット１６は、ワイピングシート１５１を有し、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を拭取るものである。詳細は後述するが、吐出性能検査ユニット１８は、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能を検査するものである。

以下、液滴吐出装置１の構成要素について説明する。図１または図２に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダ２２と、上記のフラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダ２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダ２２を介してセットテーブル２１（ワークＷ）をＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３を介してフラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸第１スライダ２２およびＸ軸第２スライダ２３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。

セットテーブル２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル３２等を有している。また、セットテーブル２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、それぞれ上記の描画前フラッシングユニット１１１が添設されている。

なお、図１における図示手前側の位置が、ワークＷのアライメント位置４１となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入するときや、処理済のワークＷを回収するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させるようになっている。そして、ロボットアーム（図示省略）により、吸着テーブル３１に対するワークＷの搬入・搬出（載換え）が行われる。また、搬入されたワークＷに上方から臨むワークアライメントカメラ４２の撮像結果に基づいて、Ｘ軸方向およびＹ軸方向のデータ補正が行われると共に、θテーブル３２によるワークＷのθ補正が行われる。

Ｙ軸テーブル１２は、１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ吊設した１０個のブリッジプレート５２と、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、１０組のＹ軸スライダを介してブリッジプレート５２をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル１２は、各キャリッジユニット５１を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１７を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１７をメンテナンス装置５に臨ませる。

一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース３を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、各キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。

各キャリッジユニット５１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するキャリッジプレート５３と、から成るヘッドユニット１３を備えている（図４参照）。また、各キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット１３をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット１３をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート５２）に支持させる吊設部材６２と、を備えている。

図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。接続針９２は、図外の機能液タンクに接続され、機能液導入部９１に機能液を供給する。ヘッド本体９４は、キャビティ９５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル９８が開口したノズル面９７を有するノズルプレート９６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動すると、（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）キャビティ９５のポンプ作用により、吐出ノズル９８から機能液滴が吐出される。

なお、ノズル面９７には、多数の吐出ノズル９８からなる２つのノズル列９８ｂが相互に平行に形成されている。そして、２つのノズル列９８ｂ同士は、相互に半ノズルピッチ分位置ずれしている。また、機能液滴吐出ヘッド１７は、各吐出ノズル９８ごとに液滴を自在に吐出することができるように構成されている。

図４に示すように、ヘッドユニット１３には、キャリッジプレート５３を介して、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１７が搭載されている。１２個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に２群に分かれ、６個ずつＸ軸方向に階段状に並んでヘッド群５４を構成している。本実施形態のものでは、全機能液滴吐出ヘッド１７（１２×１０個）の２回の副走査により、Ｙ軸方向に連続するＲＧＢ３色の描画ラインがそれぞれ形成される。この描画ラインの長さは、セットテーブル２１に搭載可能な最大サイズのワークＷの幅に対応している。

ところで、ヘッドユニット１３に搭載された１２×１０個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液のいずれかに対応しており（図５参照）、ワークＷに３色の機能液から成る描画パターンを描画できるようになっている。この描画パターンには、図６に示すように３種類のパターンがあり、本実施形態では、図６（ａ）の描画パターン（ビットアップデータ）により描画が行われる。

液滴吐出装置１の描画動作は、まず、ワークＷをＸ軸テーブルにより、Ｘ軸方向で移動させながら（図１中奥側へ）、第１描画動作（往動パス）を行う。その後、ヘッドユニット１３を２ヘッド分Ｙ軸方向に移動（副走査）させて、改めて、ワークＷをＸ軸方向で移動させながら（図１中手前側へ）、第２描画動作（復動パス）を行う。そして、再度ヘッドユニット１３を２ヘッド分副走査し、もう一度、ワークＷをＸ軸方向で移動させながら（図１中奥側へ）、第３描画動作（往動パス）を行う。このように、副走査により、ワークＷ上の位置に対し、対応する機能液滴吐出ヘッドを変更しつつ、ワークＷの移動および描画動作を３度繰り返すことにより、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の描画処理を効率良く行っている。

図１または図２、および図７に示すように、吐出性能検査ユニット１８は、ヘッドユニット１３に搭載された全機能液滴吐出ヘッド１７（の吐出ノズル９８）から機能液が適切に吐出されているか否かを検査するためのものであり、全機能液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル９８から所定の検査パターンに基づいて、検査吐出された機能液を受ける被描画ユニット１６１と、被描画ユニット１６１に検査吐出された機能液滴である着弾ドットＤ（図１０参照）の体積および位置ズレ量を測定するための着弾ドット測定ユニット（着弾ドット測定装置）１６２と、を備えている。なお、被描画ユニット１６１はＸ軸テーブル１１に搭載され、着弾ドット測定ユニット１６２はＹ軸テーブル１２直下の検査位置に配設されている。

被描画ユニット１６１は、機能液滴吐出ヘッド１７からの検査吐出を受ける長尺状の検査シート１７１と、検査シート１７１が載置される検査ステージ１７２と、検査シート１７１の検査済み部分を検査ステージ１７２に送り出し、かつ非検査済み部分を検査ステージ１７２に送り込むように検査シート１７１を送るシート送り手段１７３と、シート送り手段１７３を支持するシート送り支持部材１７４と、シート送り支持部材１７４を支持するユニットベース１７５と、を備えている。被描画ユニット１６１は、検査シート１７１に検査パターンが描画され、着弾ドット測定ユニット１６２の測定が行われると、その検査済み部分をシート送り手段１７３により送り、非描画部分と差し替えることで、非描画部分にて検査吐出を受けることになる。

図２、図９および図１０に示すように、着弾ドット測定ユニット１６２は、Ｘテーブルに上側から臨むように、上記したＹ軸支持ベース３に支持されており、検査シート１７１に着弾した各着弾ドットＤの表面形状を測定する白色干渉計（形態測定装置）１８１と、白色干渉計１８１を保持する装置ホルダ１８２と、Ｙ軸支持ベース３に固定され、装置ホルダ１８２を介して、白色干渉計１８１をＹ軸方向にスライド自在に支持する装置移動機構１８３と、装置移動機構１８３を介して白色干渉計１８１をＹ軸方向に移動させるための装置移動モータ（図示省略）と、を有している。

図９に示すように、白色干渉計１８１は、白色光を照射する光源となる白色ＬＥＤ１８４と、白色ＬＥＤ１８４の照射方向の下流側に設けられ、白色をフィルタリングする干渉フィルタ（バンドパスフィルタ）１８５と、干渉フィルタ１８５の下流側に設けられ、白色光を直角に反射する反射鏡１８６と、反射鏡の下流側に設けられ、後述する干渉式対物レンズ（ミラウ型）１８８に向けて白色光を直角に反射される一方、着弾ドットＤから反射した反射光を透過するビームスプリッタ１８７と、ビームスプリッタ１８７の下流側に設けられた干渉式対物レンズ１８８と、干渉式対物レンズ１８８をＺ軸方向に微少振動させるピエゾＺ軸テーブル１８９と、ワークＷから反射した反射光を干渉式対物レンズ１８８およびビームスプリッタ１８７を介して撮像する撮像カメラ（ＣＣＤカメラ）１９０と、を備えている。白色干渉計１８１は、対象物の表面形状を干渉縞として画像的に取得するものであり、白色干渉計１８１による形状測定の結果（撮像カメラ１９０による撮像結果）は、制御手段７に送信されて画像認識され、この画像認識に基づいて、各機能液滴吐出ヘッド１７の各吐出ノズル９８の性能（着弾の有無、着弾ドットＤの体積、着弾ドットＤの位置ずれ、飛行曲がり）が検査される。すなわち、吐出検査手段は、着弾ドット測定ユニット１６２および制御手段７により構成されている。

着弾ドットＤの体積は、白色干渉計１８１により測定（撮像）された着弾ドットＤの表面形状を解析して行われる。まず、測定（撮像）された表面形状と検査シートの位置（表面の高さレベル）とから、その着弾ドットＤの体積を算出し、その体積が基準範囲内であるか否かを判定する。その結果、測定値が基準範囲外である場合、吐出ノズル９８の液滴吐出量が正常でないと判断される。また、これと同時に、白色干渉計１８１（撮像カメラ１９０）の撮像結果から、着弾ドットＤの位置（厳密には、着弾ドットＤの中心位置）が着弾予定位置からずれているか否かが判定される。すなわち、着弾ドットＤの着弾位置と、着弾予定位置との位置ズレ量を検出し、その検出結果が基準値を超えているか否かが判定され、それを超えていた場合には、当該吐出ノズル９８が正常でないと判断される。同様に、飛行曲がりも検出され、さらに着弾ドットＤの有無によりドット抜けも判断される。

次に、図８を参照して、液滴吐出装置１の主制御系について説明する。同図に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット１３（機能液滴吐出ヘッド１７）を有する液滴吐出部１９１と、Ｘ軸テーブル１１、を有し、ワークＷをＸ軸方向へ移動させるためのワーク移動部１９２と、Ｙ軸テーブル１２を有し、ヘッドユニット１３をＹ軸方向へ移動させるヘッド移動部１９３と、メンテナンス手段の各ユニットを有するメンテナンス部１９４と、各種センサを有し、各種検出を行う検出部１９５と、各部を駆動制御する各種ドライバを有する駆動部１９６と、各部に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部１９７（制御手段７）と、を備えている。

制御部１９７には、各手段を接続するためのインタフェース２０１と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ２０２と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ２０３と、ワークＷに所定の描画パターンを描画するための描画データや、各手段からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク２０４と、ＲＯＭ２０３やハードディスク２０４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ２０５と、これらを互いに接続するバス２０６と、が備えられている。

そして、制御部１９７は、各手段からの各種データを、インタフェース２０１を介して入力すると共に、ハードディスク２０４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ２０５に演算処理させ、その処理結果を、駆動部１９６（各種ドライバ）を介して各手段に出力する。これにより、装置全体が制御され、液滴吐出装置１の各種処理が行われる。

次に、図１０の説明図を参照し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能検査の動作手順について説明する。まず、制御部１９７によりＸ軸第２スライダ２３上の被描画ユニット１６１を機能液滴吐出ヘッド１７に臨むように移動させる。厳密には、被描画ユニット１６１を、そのＸ軸方向の端部が機能液滴吐出ヘッド１７のノズル列９８ｂに臨む位置（図１０（ａ）参照）に、移動させる。その後、Ｘ軸第２スライダにより、被描画ユニット１６１を、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出エリアＡＡ上、吐出エリアＡＡと着弾ドット測定ユニット１６２の測定エリアＢＡ間、測定エリアＢＡ上、に亘って同速で移動させてゆき、各種動作が行われることになる。

被描画ユニット１６１が吐出エリアＡＡ上を移動している時（図１０（ｂ）参照）には、機能液滴吐出ヘッド１７を駆動し、各吐出ノズル９８の検査吐出を行う。この検査吐出は、各吐出ノズル９８を、１つずつ時間間隔をおいて検査吐出させることにより行われ、各吐出ノズル９８をノズル列９８ｂの端から順番に吐出させて行われる。そのため、各吐出ノズル９８から吐出された各着弾ドットＤは、被描画ユニット１６１の検査シート１７１上で斜め直線状（検査パターン）に検査吐出させることになる（図１０（ｃ）参照）。

被描画ユニット１６１が測定エリアＢＡ上を移動してきたら（図１０（ｄ）参照）、着弾ドット測定ユニット１６２を駆動し、各着弾ドットＤの測定を行う。着弾ドットＤの測定は、着弾ドット測定ユニット１６２の測定エリアＢＡに到達した着弾ドットＤに対し行われ、白色干渉計１８１を装置移動機構１８３によりＹ軸方向で移動させながら行われる。機能液滴吐出ヘッド１７は、各吐出ノズル９８の吐出を、１つずつ間隔を置いて行っているので、その吐出した順番で着弾ドットＤが測定エリアＢＡに到達することになる。このように、被描画ユニット１６１が検査吐出、着弾ドットＤ測定の間、同速で移動し続けていると共に、吐出した順番で着弾ドットＤが測定されることで、各吐出ノズル９８の着弾ドットＤにおいて、吐出から測定までの時間を同一になるように構成されている。なお、上記の測定は、ノズル列９８ｂ毎に上記と同一の動作を繰り返すことにより行なわれる。

このような構成により、各吐出ノズル９８の吐出から測定までの時間を同一にすることができ、各着弾ドットＤにおいて、着弾から測定までの時間を同一にすることができる。そのため、蒸散等の影響で着弾ドットＤの違いが生じることがなく、各吐出ノズル９８の着弾ドットＤにおいて相対的な測定を行うことができる。ゆえに正確な測定を行うことができる。また、機能液滴吐出ヘッド１７を移動させながら、多数の吐出ノズル９８を、１つずつ時間間隔をおいて検査吐出させ、被描画ユニット１６１を同速で移動させながら測定する。言い換えれば、相対的に白色干渉計１８１を、機能液滴吐出ヘッド１７に同速で後行させながら測定することにより、各着弾ドットＤの着弾測定を、短時間で効率良く行うことができる。

なお、以上の動作は、各機能液滴吐出ヘッド１７に対して行われる。つまり、全機能液吐出ヘッドに対して行う場合には、上記動作を複数回繰り返して行うことになる。また、本実施形態においては、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８を１つずつ吐出し、着弾ドットＤを１つずつ測定するものが採用されているが、白色干渉計１８１において、1回の測定で複数個の着弾ドットＤを測定可能であれば、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８を複数個ずつ吐出し、着弾ドットＤを複数個ずつ測定するものでも良い。また、各着弾ドットＤを数ショットの機能液滴で形成するようにしてもよい。

以上のような構成によれば、各吐出ノズル９８の吐出から測定までの時間を同一にすることができ、各着弾ドットＤにおいて、着弾から測定までの時間を同一にすることができる。そのため、蒸散等の影響で着弾ドットＤの違いが生じることがなく、各吐出ノズル９８の着弾ドットＤにおいて相対的な測定を行うことができる。ゆえに正確な測定を行うことができる。また、機能液滴吐出ヘッド１７を移動させながら、多数の吐出ノズル９８を、１つずつ時間間隔をおいて検査吐出させ、白色干渉計１８１を、機能液滴吐出ヘッド１７に同速で後行させながら測定することにより、各着弾ドットＤの着弾測定を、短時間で効率良く行うことができる。さらに、着弾ドットＤの体積測定の結果、許容量を外れた吐出ノズル９８を有する機能液滴吐出ヘッド１７は、駆動電圧を変更することにより、液滴吐出量を調整して用いられる。あるいは、機能液滴吐出ヘッド１７の交換により対応する。そして、各機能液滴吐出ヘッド１７の液滴吐出量を適正に調整された機能液滴吐出ヘッド１７により描画を行なうことにより、主走査方向のすじムラや混色が防止される。

なお、本実施形態においては、機能液滴吐出ヘッド１７や白色干渉計１８１に対し、検査シート１７１（被描画ユニット１６１）が移動する構成になっているが、検査シート１７１（被描画ユニット１６１）を固定とし、機能液滴吐出ヘッド１７や白色干渉計１８１が移動する構成としてもよい。

また、本実施形態においては、白色干渉計１８１を利用して、体積および位置ズレ量を測定するものを使用しているが、体積のみ測定するものでも良い。さらに、本実施形態においては、白色干渉計１８１を用いて着弾ドットＤの形態測定を行っているが、干渉計であるならレーザ干渉計等を使用しても良いし、更に言えば、形状測定が行えるものであれば、側方もくしは上方から着弾ドットＤを撮像する撮像カメラや、レーザ距離測定装置を有して、それらのデータから着弾ドットＤの各種情報を測定するものであってもよい。なお、本実施形態においては、白色干渉計１８１を用いることにより、精度の良い測定を可能としている。

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。

まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１１は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１２は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１２（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１２（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１２（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１２（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１２（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図１３は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１２に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１３において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。

図１４は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図１５は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図１６は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１７〜図２５を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１７に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１８に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１９に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。

図２０に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２１に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２２に示すように、各色のうちのいずれか（図２２の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２３に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２４に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２５に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図２６は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図２７は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２８（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２８（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。 液滴吐出装置の側面図である。 機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。 ヘッド群を構成する機能液滴吐出ヘッドの図である。 ヘッドユニットに搭載された機能液滴吐出ヘッドの配色パターンの説明図である。 カラーフィルタの配色パターンの説明図であり、（ａ）は、ストライプ配列、（ｂ）は、モザイク配列、（ｃ）は、デルタ配列を示している。 第２スライダ廻りの外観斜視図である。 描画装置の主制御系について説明したブロック図である。 着弾ドット測定ユニットにおける白色干渉計廻りを示した模式図である。 吐出性能検査工程を説明した説明図である。 カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 陰極の形成を説明する工程図である。 プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１：液滴吐出装置、 ７：制御手段、 １１：Ｘ軸テーブル、 １２：Ｙ軸テーブル、 １３：ヘッドユニット、 １７：機能液滴吐出ヘッド、 ５３：ブリッジプレート、 ９８：吐出ノズル、 １６２：着弾ドット測定ユニット、 １７１：検査シート １８１：白色干渉計、 １８３：装置移動機構、 Ｄ：着弾ドット、 Ｗ：ワーク

Claims (9)

1. 機能液滴吐出ヘッドの検査吐出により検査シート上に着弾した機能液滴である着弾ドットを、干渉計から成る形態測定装置により形状測定する着弾ドット測定方法において、
   前記検査シートに対し、前記機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドの多数の吐出ノズルであって、前記主走査方向と直交する副走査方向に列を成すように配置された多数の吐出ノズルを、１つずつ一定の時間間隔をおいて検査吐出させる検査吐出工程と、
   前記検査シートに対し、前記形態測定装置を、前記機能液滴吐出ヘッドと同速の前記主走査方向への相対的移動と前記副走査方向への相対的移動により、前記機能液滴吐出ヘッドに後行させながら、多数の前記着弾ドットをそれぞれ形状測定する測定工程と、を備えたことを特徴とする着弾ドット測定方法。
2. 前記形状測定の結果から前記各着弾ドットの体積を求める体積測定工程を、更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の着弾ドット測定方法。
3. 前記形状測定の結果から前記各着弾ドットの設計値からの位置ズレ量を求める位置測定工程を、更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の着弾ドット測定方法。
4. 機能液滴吐出ヘッドの検査吐出により検査シート上に着弾した機能液滴である着弾ドットを、干渉計から成る形態測定装置により形状測定する着弾ドット測定装置において、
   前記検査シートに対し、前記機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させるヘッド移動手段と、
   前記着弾ドットを形状測定する前記形態測定装置と、
   前記検査シートに対し、前記形態測定装置を前記主走査方向および前記主走査方向と直交する副走査方向に相対的に移動させる測定装置移動手段と、
   前記機能液滴吐出ヘッド、前記ヘッド移動手段、前記形態測定装置および前記測定装置移動手段を制御する制御手段と、を備え、
   前記制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドを前記主走査方向に相対的に移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドの多数の吐出ノズルであって、前記副走査方向に列を成すように配置された多数の吐出ノズルを、１つずつ一定の時間間隔をおいて検査吐出させると共に、
   前記形態測定装置を、前記機能液滴吐出ヘッドと同速の前記主走査方向への相対的移動と前記副走査方向への相対的移動により、前記機能液滴吐出ヘッドに後行させながら、多数の前記着弾ドットをそれぞれ形状測定させることを特徴とする着弾ドット測定装置。
5. 前記形態測定装置は、前記形状測定の結果から前記各着弾ドットの体積を求めることを特徴とする請求項４に記載の着弾ドット測定装置。
6. 前記形態測定装置は、前記形状測定の結果から前記各着弾ドットの設計値からの位置ズレ量を求めることを特徴とする請求項４または５に記載の着弾ドット測定装置。
7. 請求項４ないし６のいずれかに記載の着弾ドット測定装置と、
   複数の前記機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに搭載したヘッドユニットと、
   ワークに対し、前記ヘッドユニットを相対的に移動させながら、前記複数の機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して描画を行なう描画手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
8. 前記ヘッドユニットには、Ｒ色の機能液を導入する機能液滴吐出ヘッド、Ｇ色の機能液を導入する機能液滴吐出ヘッドおよびＢ色の機能液を導入する機能液滴吐出ヘッド、が搭載されていることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出装置。
9. 請求項７または８に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。

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