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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Überwachung von Dosiereinrichtungen, die flüssige Medien in Tropfenform dosieren.
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In der Fertigung von elektronischen Komponenten und Geräten sind für zahlreiche Produktionsschritte Klebeprozesse notwendig. Um eine Beschädigung eines Werkstücks oder von Bauelementen auf dem Werkstück zu verhindern, erfolgt der Auftrag des Klebstoffs berührungslos mit Hilfe von sogenannten Jet-Ventilen, d.h. durch Jetten. Die Anforderungen an die hierbei verwendeten Dosiersysteme bezüglich Prozesssicherheit, Genauigkeit und Reproduzierbarkeit sind aufgrund immer kleiner werdenden Abmessungen der Klebeflächen deutlich gewachsen.
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Es ist deshalb die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zur regelmäßigen und automatischen Überprüfung der Dosiereinrichtung zu schaffen, mit der sowohl die Tropfengröße wie auch die Position des dosierten Tropfens erfasst werden kann.
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Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt durch die Merkmale des Anspruchs 1 und insbesondere dadurch, dass die Vorrichtung ein Tropfenaufnahmeelement umfasst, auf dessen Oberseite von der Dosiereinrichtung ein Tropfen aufbringbar ist, wenn sich die Dosiereinrichtung in ihrer Dosierposition befindet. Weiterhin umfasst die Vorrichtung eine Bilderfassungs- und -auswerteeinrichtung zur Bestimmung des Tropfendurchmessers des Tropfens auf dem Tropfenaufnahmeelement, sowie eine Waage zur Bestimmung des Gewichts des Tropfens.
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Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung lässt sich der Tropfendurchmesser und das Gewicht des Tropfens und hieraus dessen Volumen bestimmen, so dass bei einer Abweichung von Vorgaben eine Korrektur von Prozessparametern erfolgen kann, welche die Dosierung steuern. Im Gegensatz zu bekannten Systemen, bei denen eine Bestimmung des Dosiervolumens typischerweise durch Mittelwertbildung der Gewichtsmessung von beispielsweise 100 oder auch 1000 Tropfen erfolgt, die in ein Gefäß auf einer Waage dosiert worden sind, kann erfindungsgemäß Volumen und Größe eines einzelnen Tropfens sehr präzise ermittelt werden.
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Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in der Beschreibung, der Zeichnung sowie in den Unteransprüchen beschrieben.
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Nach einer ersten vorteilhaften Ausführungsform kann das Tropfenaufnahmeelement in der Vorrichtung bewegbar sein. Auf diese Weise lässt sich eine Vielzahl von Tropfen in ein und derselben Vorrichtung analysieren und durch Bewegen des Tropfenaufnahmeelements, insbesondere in einzelnen Schritten, lässt sich jeder zu messende Tropfen auf einen freien Teilbereich des Tropfenaufnahmeelements aufbringen.
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Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform kann das Tropfenaufnahmeelement transparent oder transluzent sein, so dass eine optische Analyse des auf das Tropfenaufnahmeelement aufgebrachten Tropfens von der Unterseite des Tropfenaufnahmeelements aus erfolgen kann. Dies hat wiederum den Vorteil, dass ein Bildaufnehmer der Bilderfassungs- und -auswerteeinrichtung, beispielsweise eine Kamera, unmittelbar unterhalb des Tropfens angeordnet werden kann, wodurch sich die Messgenauigkeit erhöht.
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Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform kann das Tropfenaufnahmeelement bandartig ausgebildet sein und insbesondere einen Folien- oder Filmstreifen umfassen. Ein solcher Folien- oder Filmstreifen kann kostengünstig als Einwegbauteil hergestellt werden, wobei gleichzeitig eine umweltfreundliche und kostengünstige Entsorgung sichergestellt ist.
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Weiterhin kann es vorteilhaft sein, wenn das Tropfenaufnahmeelement auf einem Abwickel- und Aufrollmechanismus angeordnet ist, da in diesem Fall diejenigen Abschnitte des Tropfenaufnahmeelements, auf die bereits ein Tropfen aufgebracht wurde, nach der optischen Analyse und der Gewichtsermittlung aufgerollt werden können. Gleichzeitig lässt sich das Tropfenaufnahmeelement von einem Vorrat abrollen bzw. abwickeln.
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Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform kann die Bilderfassungs- und - auswerteeinrichtung einen einzigen Bildaufnehmer, beispielsweise eine einzige Kamera aufweisen. Durch Verwendung eines einzigen Bildaufnehmers lassen sich die Herstellungskosten niedrig halten. Gleichzeitig ist es nicht erforderlich, die Bilder von mehr als einer Kamera zu kombinieren oder gemeinsam zu analysieren bzw. auszuwerten.
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Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform kann die Bilderfassungs- und - auswerteeinrichtung einen Bildaufnehmer aufweisen, dessen optische Achse einen Winkel mit einem Lot auf das Tropfenaufnahmeelement einschließt, wobei der Winkel insbesondere etwa 15 bis 25°, insbesondere etwa 10° betragen kann. Durch eine solche Schrägstellung des Bildaufnehmers, bei welcher dessen optische Achse nicht senkrecht auf den aufgebrachten Tropfen gerichtet ist, lässt sich mit dem Bildaufnehmer nicht nur der Tropfen sondern auch ein Bereich außerhalb des Tropfens optisch erfassen, so dass auch die Dosiereinrichtung selbst optisch analysiert werden kann, wenn sich diese in ihrer Dosierposition befindet. Auf diese Weise kann mit Hilfe der Bilderfassungs- und -auswerteeinrichtung auch festgestellt werden, ob Verschmutzungen an einer Düse der Dosiereinrichtung vorhanden sind, beispielsweise anhaftendes Medium, Partikel oder auch ausgehärtetes Medium im Düsenkanal oder an der Düse. In diesem Zusammenhang kann es vorteilhaft sein, wenn mit der Bilderfassungs- und -auswerteeinrichtung gleichzeitig ein Bildbereich eines auf dem Tropfenaufnahmeelement befindlichen Tropfens wie auch ein Bildbereich der Dosiereinrichtung in ihrer Dosierposition erfasst wird. Hierdurch werden die Analysezeiten verkürzt und es kann mit der Auswertung eines einzigen Bildes sowohl die Größe des Tropfens wie auch der Zustand der Dosiereinrichtung analysiert werden.
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Wenn sich ein Bildaufnehmer der Bilderfassungs- und -auswerteeinrichtung an der Unterseite des Tropfenaufnahmeelements befindet, lässt sich auf einfache aber präzise Weise sowohl die Tropfengröße wie auch der Zustand der Dosiereinrichtung ermitteln.
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Für eine verbesserte Analyse der in ihrer Dosierposition oberhalb des Tropfenaufnahmeelements befindlichen Dosiereinrichtung kann die Bilderfassungs- und - auswerteeinrichtung einen Spiegel aufweisen, da mit Hilfe eines solchen Spiegels von einem Bildaufnehmer der Bilderfassungs- und -auswerteeinrichtung auch Bereiche optisch erfasst werden können, die ansonsten durch den Tropfen selbst verdeckt wären.
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Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform kann die Waage ein Piezoelement aufweisen, das unter dem Tropfenaufnahmeelement angeordnet ist. Insbesondere wenn das Tropfenaufnahmeelement in der Vorrichtung bewegbar ist, kann ein auf das Tropfenaufnahmeelement aufgebrachter Tropfen zunächst mit Hilfe der Bilderfassungs- und -auswerteeinrichtung analysiert und anschließend durch Bewegen des Tropfenaufnahmeelements über dem Piezoelement positioniert werden, das Bestandteil der Waage ist. In dieser Position kann der aufgebrachte Tropfen gewogen werden, so dass anschließend das Volumen des Tropfens ermittelt werden kann.
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Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform kann die Waage das Gewicht eines Tropfens durch eine Analyse der Resonanzkurve des Piezoelements ermitteln. Durch eine in die Waage integrierte Wiegeelektronik kann eine Phasenverschiebung gemessen werden, die sich dadurch ergibt, dass die Resonanzkurve bzw. die Resonanzfrequenz des Piezoelements gemessen wird, und zwar einmal mit darüber befindlichem Tropfen und einmal ohne darüber befindlichem Tropfen. Durch die Masse des Tropfens wird die Impedanzanpassung des Piezoelements verändert und damit wird auch die Resonanzfrequenz und die Resonanzamplitude verschoben. Aus einem Vergleich der beiden Resonanzkurven kann dann sehr genau die Masse des Tropfens ermittelt werden und über die für das jeweilige Medium bekannte spezifische Masse kann anschließend auch das Volumen des Tropfens bestimmt werden.
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Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform kann mit der Bilderfassungs- und -auswerteeinrichtung auch die Position des Tropfens auf dem Tropfenaufnahmeelement bestimmt werden, so dass zusätzlich erkannt werden kann, ob die Position des Tropfens exakt mittig zum Düsenausgang der in ihrer Dosierposition befindlichen Dosiereinrichtung aufgebracht ist, oder aber ob der Tropfen etwas schräg gejettet worden ist und dementsprechend zur Achse des Düsenausgangs verschoben ist. Um den Winkel zu bestimmen, unter dem der Tropfen gejettet worden ist, kann die Bestimmung der Tropfenposition mehrmals, mindestens jedoch zweimal, mit unterschiedlichen Abständen zwischen Düsenausgang und Tropfenaufnahmeelement durchgeführt werden. Aus dem Verhältnis zwischen der Verschiebung der Tropfenposition und der Abstandsveränderung lässt sich anschließend der Dosierwinkel berechnen. Dies ist vor allem auch bei Dosiervorrichtungen vorteilhaft, die einen zum Tropfenaufnahmeelement schrägen Düsenkanal besitzen, um beispielsweise in seitliche Aussparungen eines Gehäuses zu dosieren.
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Grundsätzlich kann die Bestimmung der Tropfengröße und der Tropfenposition durch die Bilderfassungs- und -auswerteeinrichtung mit entsprechender Bildverarbeitungssoftware bzw. Bilderkennungssoftware automatisch erfolgen. In diesem Zusammenhang kann es vorteilhaft sein, wenn die Bilderfassungs- und - auswerteeinrichtung eine Schnittstelle zu einer Steuerung der Dosiereinrichtung aufweist, wobei von der Bilderfassungs- und -auswerteeinrichtung die Dosierposition und/oder die Dosiermenge der Dosiereinrichtung veränderbar ist. Auf diese Weise kann automatisiert und vollautomatisch sowohl die Tropfengröße wie auch die Position des Tropfens verändert bzw. angepasst werden, wenn sich im Betrieb Abweichungen von den gewünschten Parametern ergeben sollten.
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Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung kann die erfindungsgemäße Vorrichtung ein Reinigungsmodul für die Dosiereinrichtung aufweisen, wobei das Reinigungsmodul ein über ein Abrollelement geführtes Reinigungsband aufweist und das Abrollelement eine ballige Abrollfläche besitzt. Mit einem solchen Reinigungsmodul lassen sich Dosiereinrichtungen mit Dosiernadeln an die ballige Abrollfläche anstellen, so dass anschließend das Reinigungsband zwischen Abrollfläche und Dosiernadel hindurchbewegt werden kann, um die Dosiernadel zu reinigen. Durch die ballige Ausbildung der Abrollfläche ist sichergestellt, dass die Dosiernadel bzw. der Düsenausgang der Dosiereinrichtung möglichst großflächig von dem Reinigungsband berührt und gereinigt wird. Diese Wirkung kann dadurch maximiert werden, dass die Abrollfläche sphärisch ausgebildet ist.
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Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform kann die Vorrichtung ein Reinigungsmodul für die Dosiereinrichtung aufweisen, wobei das Reinigungsmodul eine Vakuumkammer besitzt, die eine mit einem Dichtelement versehene Zugangsöffnung aufweist. Ein solches Reinigungsmodul eignet sich für Dosiereinrichtungen mit flachen Düsen, da in diesem Fall die Dosiereinrichtung auf das Dichtelement des Reinigungsmoduls aufgesetzt werden kann, bis die Dichtung mit der flachen Düsenöffnung abschließt. Anschließend kann durch Erzeugen von Unterdruck in der Kammer Medium aus dem Düsenkanal abgesaugt werden, da das Dichtelement die Vakuumkammer gegen die Umgebung abdichtet. Für eine besonders gute Dichtung kann es in diesem Zusammenhang vorteilhaft sein, wenn das Dichtelement einen Ringwulst aufweist.
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Im Zusammenhang mit der vorliegenden Anmeldung wird unter einem flüssigen Medium jedes fluide Medium verstanden, das nicht gasförmig ist, insbesondere Klebstoffe oder chemische Komponenten, die in sehr geringen Mengen präzise dosiert werden müssen.
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Unter einem Bildaufnehmer wird beispielsweise eine Kamera, aber auch ein Kamerachip, ein CCD-Modul oder eine Kombination derartiger Bauelemente mit optischen Bauelementen wie Linsen oder dergleichen verstanden.
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Unter der Dosierposition der Dosiereinrichtung wird diejenige Position verstanden, in welcher sich die Dosiereinrichtung befindet, wenn sie einen Tropfen auf das Tropfenaufnahmeelement abgibt (jettet).
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Die im Zusammenhang mit der erfindungsgemäßen Überwachungsvorrichtung beschriebenen Reinigungsmodule lassen sich auf vorteilhafte Weise sowohl kombiniert mit der Überwachungsvorrichtung, jedoch auch ohne diese verwenden und einsetzen.
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Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung rein beispielhaft anhand vorteilhafter Ausführungsformen und unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. In den Figuren zeigen:
- 1 eine perspektivische Ansicht eines Moduls zur Überwachung von Dosiereinrichtungen;
- 2 das Modul von 1 mit abgenommenem Seitenteil;
- 3 eine teilweise geschnittene Seitenansicht des auf einer Grundplatte montierten Moduls von 1;
- 4 eine Teilvergrößerung von 2;
- 5 eine perspektivische Ansicht eines Reinigungsmoduls für flache Düsen; und
- 6 eine teilweise geschnittene Seitenansicht eines Reinigungsmoduls für Dosiernadeln.
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Die in 1 gezeigte Vorrichtung zur Überwachung von Dosiereinrichtungen, die flüssige Medien in Tropfenform dosieren, weist ein Modul 10 mit einem quaderförmigen Grundkörper auf, in dem ein Tropfenaufnahmeelement 12 in Form eines transparenten oder transluzenten Folienbandes bewegbar ist, das von einer Vorratsrolle 14 abgewickelt und auf eine Aufnahmerolle 16 aufgewickelt werden kann. Die Aufnahmerolle 16 ist beidseitig mit einem Kragen 17 versehen, damit ein in Richtung des Pfeiles D auf das Tropfenaufnahmeelement 12 aufgebrachte Medium beim Aufrollen nicht herausgedrückt wird und die Umgebung verschmutzt. Zudem ermöglicht der Kragen 17 eine bessere Führung des aufgerollten Folienbandes.
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Der Antrieb des Folienbandes bzw. des Tropfenaufnahmeelements 12 erfolgt durch einen elektrischen Motor 18, insbesondere durch einen Schrittmotor, der einen Rollenkern 20 (vgl. 3) antreibt. Sowohl die Abgaberolle 14 wie auch die Aufnahmerolle 16 sind austauschbar und mit einer Rutschkupplung durch eine Feder gehalten mit dem Rollenkern verbunden. Der Rollenkern wird bei der Abwickelrolle 14 durch die Feder und einen Kolben mit ihrer zugehörigen Lagerwelle 22 (3) schleifend verbunden, wobei die Anpresskraft für diese schleifende Verbindung so klein gewählt ist, dass die Rolle 14 nur leicht gebremst wird, damit das Folienband beim Abrollen straff gehalten wird. Die Aufwickelrolle 16 ist mit gleicher Rutschkupplung mit dem Rollenkern verbunden, wobei der Rollenkern 20 der Aufwickelrolle 16 mit einer Schraube fest an eine Antriebswelle 23 des Motors 18 gedrückt ist.
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Durch eine nicht näher dargestellte Steuerung der Bilderfassungs- und - auswerteeinrichtung 25 kann der Motor 18 so angesteuert werden, dass das Tropfenaufnahmeelement 12 schrittweise von der Vorratsrolle 14 abgewickelt und auf die Aufnahmerolle 16 aufgewickelt wird. Hierbei wandert ein auf das Tropfenaufnahmeelement 12 (von oben) aufdosierter Tropfen von links nach rechts.
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Ein von einer Dosiereinrichtung 30 (4) in Richtung des Pfeiles D (1) auf das Tropfenaufnahmeelement 12 aufgebrachter Tropfen wird von der Bilderfassungs- und -auswerteeinrichtung 25 analysiert und zwar mit Hilfe eines Bildaufnehmers in Form einer einzigen Kamera 26, die unterhalb des Tropfenaufnahmeelements 12 angeordnet ist und dadurch ein Bild von der Unterseite des Tropfenaufnahmeelements 12 erfasst.
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Wie 4 verdeutlicht, ist eine optische Achse OA der Kamera 26 so ausgerichtet, dass diese einen Winkel α mit einem Lot L auf das Tropfenaufnahmeelement 12 einschließt, der etwa 10° beträgt. Mit anderen Worten ist die optische Achse OA der Kamera 26 nicht senkrecht sondern schräg zu dem Tropfenaufnahmeelement 12 orientiert, so dass gleichzeitig ein Bildbereich eines auf dem Tropfenaufnahmeelement 12 befindlichen Tropfens (nicht dargestellt) wie auch ein Bildbereich der Dosiereinrichtung 30 in seiner Dosierposition erfassbar ist. Damit auch eine Dosiernadel 32 (4) der Dosiereinrichtung 30 optisch erfasst werden kann, die an sich durch einen aufdosierten Tropfen verdeckt wäre, weist die in 4 dargestellte Vorrichtung einen seitlich und schräg zur optischen Achse OA angebrachten Spiegel 34 (vgl. auch 2) auf, mit dem ein durch die Randstrahlen S1 und S2 begrenztes Bild erfasst werden kann.
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Die 1, 2 und 4 verdeutlichen weiterhin, dass die erfindungsgemäße Vorrichtung mit einer Waage versehen ist, die ein Piezoelement 40 aufweist, das unter dem Tropfenaufnahmeelement 12 angeordnet ist, wobei letzteres flächig auf dem Piezoelement aufliegt. Das Folienband des Tropfenaufnahmeelements 12 wird unter einer gewissen Spannung über die Stirnseite des grundsätzlich quaderförmigen Piezoelements 40 so geführt, dass das Folienband flächig auf dem Piezoelement 40 aufliegt. Hierbei ist das Gehäuse des Moduls 10 im Bereich des Piezoelements 40 und auch das Piezoelement 40 selbst leicht gekrümmt, um eine gute Anlage des Folienbandes an dem Piezoelement zu gewährleisten. Das Piezoelement 40 ist mit einer (nicht dargestellten) in das Modul 10 integrierten Elektronik verbunden. Mit dieser Elektronik, die Bestandteil der Waage ist, kann durch Messung der Phasenverschiebung des Piezoelements 40 die Resonanzkurve bzw. die Resonanzfrequenz des Schwingers gemessen werden und zwar einmal ohne aufgebrachten Tropfen und einmal mit aufgebrachtem Tropfen. Durch eine resultierende Verschiebung der Resonanzfrequenz und Resonanzamplitude kann sehr genau auf die Masse des Tropfens rückgeschlossen werden und über das spezifische Gewicht des Tropfens lässt sich dessen Volumen bestimmen.
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Durch Integration der vorbeschriebenen Vorrichtung, die eine automatische Auswertung der Tropfengröße, der Tropfenposition und des Tropfengewichts vornimmt, in eine übergeordnete Steuerung der Dosiereinrichtung, in die auch die Steuerung eines Roboters integriert ist, an der sich die Dosiereinrichtung befindet, ist eine automatische Anpassung und Regelung des Dosierprozesses möglich. Das System kann hierbei die Dosiermenge durch Anpassung von Ventilöffnungszeit oder -öffnungshub korrigieren, falls der Tropfen zu klein oder zu groß ist und die Ventilposition beim Verfahren des Roboters kann entsprechend angepasst werden, falls der Tropfen durch die Bilderfassungs- und -auswerteeinrichtung als zur Düsenachse verschoben erkannt wird.
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Wie 3 verdeutlicht, kann das Modul 10 auf einer Grundplatte 11 eines Roboters oder in dem Arbeitsbereich eines Roboters positioniert werden, wobei eine Befestigung über zwei Magnete 28 und 30 erfolgt, die an dem Modul 10 befestigt sind. Für eine exakte Positionierung sind weiterhin zwei Stifte vorgesehen, die mit der Grundplatte 11 verbunden sind, nämlich ein kurzer Stift 29 zwischen beiden Magneten 28 und 30 und ein langer Stift 31, der in eine Aussparung 27 in dem Modul 10 eingreift, die seitlich offen ist. Die Arretierung der nachstehend beschriebenen Reinigungsmodule (5 und 6) erfolgt auf gleiche Weise. Eine elektrische Kontaktierung für Stromversorgung und Kommunikation des Moduls 10 erfolgt über eine Steckverbindung 42 (4), die bei Einbau und Arretierung der Module in ein entsprechendes Gegenstück der Grundplatte 11 gesteckt wird.
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Ein Reinigungsmodul 10' für die Dosiereinrichtung 30 ist in 5 dargestellt. Es sind in einem Grundkörper, der ähnlich wie der Grundkörper des Moduls 10 aufgebaut ist, in ähnlicher Weise wie bei dem Modul 10 zwei Rollen 14' und 16' vorgesehen, wobei von der Rolle 16' ein Vliesband 50 abgewickelt und von der Aufwickelrolle 14' aufgewickelt wird, die wiederum von einem Motor 18' angetrieben wird. Zwischen den beiden Rollen 14' und 16' wird dabei das als Reinigungsband dienende Vliesband 50 über ein Abrollelement 52 geführt, das eine ballige Abrollfläche besitzt, und das an einer Welle 54 drehbar gelagert ist. Das Abrollelement 52 ist als Gummirolle ausgebildet und bildet im Bereich des anliegenden Vliesbands 50 eine Kugelfläche als Abrollfläche, d.h. das Vliesband 50 ist dort sowohl in Transportrichtung wie auch quer dazu gekrümmt. Hierdurch wird sichergestellt, dass die Nadel 32 (4) bzw. der Düsenausgang der Dosiereinrichtung 30 vom Vlies berührt und gereinigt wird. Zur Reinigung wird die Dosiereinrichtung 30 von einem Roboter über das Reinigungsmodul 10' bewegt und bis zum Vlies 50 abgesenkt. Anschließend wird das Vliesband 50 von dem Motor 18' bewegt, wodurch es an dem Düsenausgang entlangreibt und dadurch diesen reinigt. Das Reinigungsmoduls 10' eignet sich grundsätzlich für alle Düsenarten, kann jedoch besonders vorteilhaft bei flachen Düsen eingesetzt werden.
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Zum Aktivieren des Motors 18' kann ein Näherungssensor in dem Modul 10' integriert sein, der eine Annäherung der Dosiereinrichtung erkennt. Auch kann seitlich zu dem abzuwickelnden Vliesband 50 mit Blickrichtung auf dieses ein Sensor eingebaut sein, der feststellen kann, wenn die Rolle fast leer ist bzw. nur noch ein geringer Rest auf der Rolle vorhanden ist.
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6 zeigt ein weiteres Reinigungsmodul 10", das eine Vakuumkammer 60 aufweist, in der ein Unterdruck erzeugt werden kann. Dieser Unterdruck kann entweder mit Hilfe einer in dem Modul 10" integrierten Venturidüse und einem Druckregelventil (Proportionalventil) erzeugt werden. Alternativ kann ein solcher Unterdruck auch durch einen entsprechenden Anschluss von außen angelegt werden. Die Unterdruckkammer 60 des Moduls 10" besitzt eine an seiner Oberseite gelegene Zugangsöffnung 62, die mit einem Dichtelement 64 aus geeignetem Gummimaterial versehen ist. Das Dichtelement 64 besitzt an seiner Oberseite einen Ringwulst 66, der zentrisch zu einem Durchgangskanal 68 in dem Dichtelement 64 ausgebildet ist. Auf diese Weise kann eine Dosiereinrichtung 30 mit der Düsennadel 32 von einem Roboter über das Modul 10" gefahren und abgesenkt werden, bis die Dichtung 64 mit der Düse abschließt und damit den Düsenausgang mit der Vakuumkammer 60 gegen die Umgebung abgedichtet verbindet. Anschließend kann in der Kammer 60 ein Unterdruck erzeugt und damit Medium abgesaugt werden, das sich an der Düse 32 und auch im Düsenkanal befindet. Über einen optionalen in dem Modul 10" integrierten Drucksensor kann auch überwacht werden, ob ausreichend der Unterdruck erzeugt werden konnte und das Ventil dementsprechend auch dichtend auf dem Modul 10" aufsitzt. Die Reinigung der Düsennadel 32 und auch des Düsenkanals ist von Bedeutung, um ein Aushärten des Mediums im Düsenkanal während Stillstandzeiten des Ventils zu vermeiden.
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Das Reinigungsmoduls 10" eignet sich grundsätzlich für alle Düsenarten, kann jedoch besonders vorteilhaft für Düsennadeln eingesetzt werden, da diese in die Unterdruckkammer 60 eingefahren und dort gereinigt werden können.