JP2014121675A - 機能液の吐出量ばらつきの計測方法、計測機構、吐出装置、機能液の吐出方法、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数のノズルから吐出される機能液の吐出量ばらつきを精度よく計測可能な機能液の吐出量ばらつきの計測方法、この計測方法を用いた機能膜の形成方法、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】本適用例に係る機能液の吐出量ばらつきの計測方法は、吐出ヘッドの複数のノズルから吐出される機能液の吐出量ばらつきの計測方法であって、受容層を有するメディアに対して、複数のノズルごとに所定量の機能液を複数の液滴Ｄ１〜Ｄ４として吐出する計測用吐出工程と、複数のノズルごとに受容層に着弾した所定量の機能液の着弾面積を計測する計測工程と、備え、計測用吐出工程は、複数の液滴Ｄ１〜Ｄ４の受容層における着弾位置が互いにわずかにずれるようにメディアに対して複数の液滴Ｄ１〜Ｄ４を吐出する。
【選択図】図８

Description

本発明は、機能層を液相プロセスにより形成する際に用いられる機能液の吐出量ばらつきの計測方法、機能液の吐出量ばらつきの計測機構、吐出装置、機能液の吐出方法、これを用いた有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法に関する。

有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ；Electro Luminescence）装置の発光層などを製造する方法として、機能性材料を含む機能液を、吐出ヘッド（インクジェットヘッド）の複数のノズルから液滴として被吐出物に吐出した後に乾燥させ、機能膜を形成する方法が知られている。
膜厚の均一性が高い機能膜を得るには、複数のノズル間での相対的な機能液の吐出量を揃えることが重要である。そのためには、ノズルから吐出された機能液の吐出量をノズルごとに測定し、吐出量をねらいの値あるいは適正な値にノズルごとに補正できることが重要である。

機能液の吐出量の測定方法としては、例えば、特許文献１のように、シャーレ形態を備える記録媒体にノズルから吐出された機能液を受けさせ、その後に天板で覆うことで機能液を円筒状に変形させてその面積を測ることで吐出量を測定する方法が知られている。
また、例えば、特許文献２のように、ノズルから機能液を液滴としてシート部材に着弾させ、着弾した機能液の着弾面積をノズルごとに測定し、着弾面積と吐出量との相関を求める方法が知られている。

特開２０００−１５３６０３号公報 特開２０１０−２０４４０８号公報

しかしながら、有機ＥＬ装置の発光層などを液相プロセスを用いて形成する場合、機能液はほぼ透明であり、上記特許文献２のように機能液を液滴としてシート部材に着弾させても、機能液の着弾面積を正確に測定すること困難であるという課題がある。
具体的には、シート部材における単位面積当たりの機能液の受容量を超えて、同一箇所に液滴を着弾させた場合には、機能液がシート部材に着弾した部分（着弾痕）が滲んで着弾した部分（着弾痕）の外縁を特定することが困難になり、着弾面積の測定結果にばらつきが生じてしまう。したがって、着弾面積を正確に測定することが困難となる。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係る機能液の吐出量ばらつきの計測方法は、吐出ヘッドの複数のノズルから吐出される機能液の吐出量ばらつきの計測方法であって、受容層を有するメディアに対して、前記複数のノズルごとに所定量の前記機能液を複数の液滴として吐出する計測用吐出工程と、前記複数のノズルごとに前記受容層に着弾した前記機能液の着弾面積を計測する計測工程と、を備え、前記計測用吐出工程は、前記複数の液滴のうち少なくとも１つの液滴の前記受容層における着弾位置が他の液滴の着弾位置に対してわずかにずれるように前記メディアに対して前記複数の液滴を吐出することを特徴とする。

本適用例によれば、メディアにおける受容層の特定の場所に集中して複数の液滴が着弾することが避けられ、受容層における受容量を超えて機能液が吐出されることを防ぐことができる。したがって、機能液が受容層に着弾した後の着弾痕が滲むことを低減して、機能液の着弾面積を正確に計測することができる。ゆえに、複数のノズルごとに吐出される所定量の機能液の吐出量ばらつきを着弾面積から精度よく推し量ることが可能な機能液の吐出量ばらつきの計測方法を提供することができる。

［適用例２］上記適用例に係わる機能液の吐出量ばらつきの計測方法において、前記機能液が着色材料を含まない透明な溶液であることを特徴とする。
この方法によれば、機能液が透明な溶液であっても、着弾痕の滲みが低減されるので、複数のノズルごとの吐出量ばらつきを精度よく計測することができる。

［適用例３］上記適用例に係わる機能液の吐出量ばらつきの計測方法において、前記計測用吐出工程は、前記吐出ヘッドと前記メディアとを前記複数のノズルの配列方向と交差する第１の方向に相対的に移動させる主走査の間に、前記複数のノズルから前記複数の液滴が前記受容層に対して第１の方向にわずかにずれて着弾するように吐出することが好ましい。
この方法によれば、主走査における吐出分解能を単位として、液滴を第１の方向にずらして着弾させることができる。つまり、機能液の液滴をメディアに対して極わずかにずらして着弾させることができるので、着弾痕が滲み難くなると共に形状が歪み難くなり、着弾痕の面積すなわち着弾面積を容易に求めることができる。

［適用例４］上記適用例に係わる機能液の吐出量ばらつきの計測方法において、前記計測用吐出工程は、前記吐出ヘッドと前記メディアとを前記複数のノズルの配列方向と交差する第１の方向に相対的に移動させる主走査と、前記第１の方向に直交する第２の方向に前記複数のノズルを移動させる副走査とを組み合わせて、前記主走査における前記受容層に対する前記複数の液滴の着弾位置を前記第１の方向と前記第２の方向とにわずかにずらして着弾させるとしてもよい。
この方法によれば、メディアの特定の位置を中心として、その周りに機能液の液滴をずらして着弾させることができるので、滲みが少ない安定した形状の着弾痕が得られる。つまり、着弾面積を計測し易い。

［適用例５］上記適用例に係わる機能液の吐出量ばらつきの計測方法において、前記計測用吐出工程は、前記所定量の前記機能液を複数回の前記主走査に分けて前記前記受容層に対して液滴として吐出することを特徴とする。
この方法によれば、メディアに対して１回の主走査で液滴を着弾させる場合に比べて、複数回の主走査に分けることにより受容層の受容量を超え難くなるため、滲みが少ない安定した形状の着弾痕を得ることができる。

［適用例６］上記適用例に係わる機能液の吐出量ばらつきの計測方法において、前記計測用吐出工程では、前記複数回の前記主走査のうち少なくとも１回は前記複数のノズルから前記受容層に吐出する前記機能液の液滴の吐出数を変えて前記所定量の前記機能液を吐出し、前記計測工程では、前記主走査ごとに前記受容層に着弾した前記機能液の着弾面積を計測することを特徴とする。
この方法によれば、機能液を基板などに吐出して実際に機能膜を形成する場合の液滴の吐出数に対応させて、計測用吐出工程における液滴の吐出数を変えれば、実際の機能膜の形成を想定した複数のノズルにおける機能液の吐出量ばらつきを計測することができる。

［適用例７］本適用例に係わる計測機構は、吐出ヘッドの複数のノズルから複数の液滴として吐出された機能液の吐出量ばらつきを計測する計測機構であって、受容層を有するメディアと、前記吐出ヘッドと前記メディアとを対向配置させた状態で第１の方向に相対的に移動させる移動機構と、撮像部と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記複数の液滴のうち少なくとも１つの液滴の前記受容層における着弾位置が他の液滴の着弾位置に対して前記第１の方向にわずかにずれるように前記吐出ヘッドと前記移動機構とを制御して、前記吐出ヘッドから前記メディアに対して前記複数の液滴を吐出させ、前記複数のノズルごとに前記受容層に着弾した所定量の前記機能液の着弾痕を前記撮像部で撮像させることを特徴とする。

本適用例によれば、メディアの受容層に対して第１の方向に複数の液滴のうち少なくとも１つの液滴が着弾するので、同一箇所に複数の液滴を着弾させる場合に比べて、受容層の受容量を越えて液滴が着弾することが抑えられるので、受容層に着弾した機能液の着弾痕が滲み難くになり、撮像部によって着弾痕を明瞭に撮像することができ、着弾痕の着弾面積を精度よく計測することができる。すなわち、計測された着弾痕の着弾面積から複数のノズルごとの機能液の吐出量ばらつきを精度よく推し量ることが可能な計測機構を提供できる。

［適用例８］上記適用例に係わる計測機構において、前記メディアは、透明な前記受容層と、前記受容層を支持する透明な支持体とからなり、前記メディアを照明する照明部をさらに備えたことを特徴とする。
この構成によれば、機能液がほぼ透明であっても着弾痕を照明して精度よく撮像することができる。

［適用例９］本適用例に係わる吐出装置は、複数のノズルを有する吐出ヘッドとワークとを対向配置して、前記吐出ヘッドと前記ワークとを第１の方向に相対移動させる主走査の間に、前記ワークに対して前記吐出ヘッドの前記複数のノズルから機能液を液滴として吐出する吐出装置であって、上記適用例に記載の計測機構を備えたことを特徴とする。
本適用例の構成によれば、複数のノズルから吐出される機能液の吐出量ばらつきを低減して、精度よく所定量の機能液をワークに吐出することが可能な吐出装置を提供できる。

［適用例１０］本適用例に係わる機能液の吐出方法は、複数のノズルを有する吐出ヘッドと、膜形成領域が形成された基板とを対向配置して第１の方向に相対移動させる主走査の間に、前記複数のノズルのうち前記膜形成領域に掛かるノズルから機能性材料を含む機能液を液滴として吐出する機能液の吐出方法であって、上記適用例に記載の機能液の吐出量ばらつきの計測方法を用いて求められた前記複数のノズルごとの吐出量ばらつきに基づいて、前記複数のノズルごとの吐出量ばらつきが小さくなるように前記複数のノズルごとの吐出条件を予め設定された吐出条件に対して補正する工程と、補正された前記吐出条件で前記複数のノズルのうち選択されたノズルから前記機能液を吐出する吐出工程と、を備えることを特徴とする。

本適用例によれば、吐出工程では、選択されたノズルから所定量の機能液を精度よく膜形成領域に吐出することができるので、膜厚や膜形状が安定した機能膜を形成することができる。

［適用例１１］上記適用例に係わる機能液の吐出方法において、前記吐出ヘッドは前記複数のノズルから前記機能液を液滴として吐出するために前記複数のノズルごとに設けられたアクチュエーターを有し、前記吐出条件を補正する工程は、前記アクチュエーターを駆動する条件を補正することを特徴とする。

［適用例１２］上記適用例に係わる機能液の吐出方法において、前記アクチュエーターが圧電素子であって、前記吐出条件を補正する工程は、前記圧電素子に印加される電気信号としての駆動波形の電位を補正することを特徴とする。
これらの方法によれば、選択されたノズルから膜形成領域に吐出される機能液の所定量をねらいの値に近づけて適正に補正することができる。

［適用例１３］本適用例に係わる有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法は、基板上の複数の膜形成領域のそれぞれに発光層を含む機能層を有する有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、上記適用例に記載の機能液の吐出方法を用いて、前記複数の膜形成領域のそれぞれに所定量の前記機能液を塗布する工程と、塗布された前記機能液を固化して、前記複数の膜形成領域のそれぞれに前記機能層のうちの１つの有機層を形成する工程と、を備えたことを特徴とする。

本適用例によれば、所望の発光特性や発光寿命を有する有機エレクトロルミネッセンス装置を歩留まりよく製造することができる。

［適用例１４］上記適用例に係わる有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法において、前記機能液を塗布する工程は、発光層形成材料を含む前記機能液を塗布することを特徴とする。
この方法によれば、安定した発光特性を有する有機エレクトロルミネッセンス装置を歩留まりよく製造することができる。

吐出装置の構成を示す概略斜視図。 （ａ）は吐出ヘッドの構成を示す概略斜視図、（ｂ）はノズル面における複数のノズルの配置状態を示す平面図。 ヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。 （ａ）は着弾面積計測機構の構成を示す概略斜視図、（ｂ）は主走査方向から見た着弾面積計測機構の各構成の配置を示す図。 吐出装置の制御系を示すブロック図。 吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図。 駆動信号及び制御信号のタイミング図。 （ａ）〜（ｃ）は機能液の着弾面積の計測方法を示す概略断面図。 （ａ）〜（ｃ）は計測用吐出工程における液滴の着弾のさせ方を示す概略図。 比較例の液滴の着弾における着弾痕を示す写真。 実施例の液滴の着弾における着弾痕を示す写真。 （ａ）は厚みが３５μｍの受容層の機能液の受容量を示す表、（ｂ）は厚みが１５μｍの受容層の機能液の受容量を示す表。 液滴のずらし量ΔＬと着弾面積の計測精度との関係を示す表。 （ａ）は比較例の計測用吐出工程を適用したときのノズルごとの着弾面積のばらつきを示すグラフ、（ｂ）は比較例の着弾面積の計測結果を基にして駆動信号ＣＯＭを補正した後の、ノズルごとの着弾面積のばらつきを示すグラフ、（ｃ）は比較例における補正後のノズルの駆動信号ＣＯＭ別の着弾面積のばらつきを示すグラフ。 （ａ）は実施例の計測用吐出工程を適用したときのノズルごとの着弾面積のばらつきを示すグラフ、（ｂ）は実施例の着弾面積の計測結果を基にして駆動信号ＣＯＭを補正した後の、ノズルごとの着弾面積のばらつきを示すグラフ、（ｃ）は実施例における補正後のノズルの駆動信号ＣＯＭ別の着弾面積のばらつきを示すグラフ。 有機ＥＬ装置を示す概略正面図。 有機ＥＬ装置の要部概略断面図。 有機ＥＬ装置の製造方法を示すフローチャート。 （ａ）〜（ｄ）は有機ＥＬ装置の製造方法を示す概略断面図。 （ｅ）〜（ｈ）は有機ＥＬ装置の製造方法を示す概略断面図。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。

（第１実施形態）
＜吐出装置＞
まず、機能層形成材料を含む機能液を液滴としてワークに吐出可能な吐出装置について、図１〜図７を参照して説明する。図１は吐出装置の構成を示す概略斜視図である。

図１に示すように、吐出装置１０は、被吐出物である例えば平板状のワークＷを第１の方向としての主走査方向（Ｙ軸方向）に移動させるワーク移動機構２０と、ヘッドユニット９を主走査方向に直交する第２の方向としての副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。

ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構６を介して配設されたワークＷを載置するステージ５とを備えている。
移動台２２は、ガイドレール２１の内部に設けられたエアスライダーとリニアモーター（図示省略）により主走査方向（Ｙ軸方向）に移動する。移動台２２には、タイミング信号生成部としてのエンコーダー１２（図５参照）が設けられている。
エンコーダー１２は、移動台２２の主走査方向（Ｙ軸方向）への相対移動に伴って、ガイドレール２１に並設されたリニアスケール（図示省略）の目盛を読み取って、タイミング信号としてのエンコーダパルスを生成する。なお、エンコーダー１２の配設は、これに限らず、例えば、移動台２２を回転軸に沿って主走査方向（Ｙ軸方向）に相対移動するよう構成し、回転軸を回転させる駆動部を設けた場合には、エンコーダー１２を駆動部に設けてもよい。駆動部としては、サーボモーターなどが挙げられる。
ステージ５はワークＷを吸着固定可能であると共に、回転機構６によってワークＷ内の基準軸を正確に主走査方向（Ｙ軸方向）、副走査方向（Ｘ軸方向）に合わせることが可能となっている。
また、ワークＷ上において機能液が吐出される機能層形成領域（膜形成領域とも呼ぶ）の配置に応じて、ワークＷを例えば９０度旋回させることも可能である。

ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する移動台３２とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。
キャリッジ８には、複数の吐出ヘッド５０（図２参照）がヘッドプレート９ａに搭載されたヘッドユニット９が取り付けられている。
また、吐出ヘッド５０に機能液を供給するための機能液供給機構（図示省略）と、複数の吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバー４８（図５参照）とが設けられている。
移動台３２がキャリッジ８を副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させてヘッドユニット９をワークＷに対して対向配置する。

吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の吐出ヘッド５０のノズル目詰まり解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構が、複数の吐出ヘッド５０を臨む位置に配設されている。
また、吐出ヘッド５０の複数のノズルから吐出された機能液を受けて、吐出された機能液の重量を計測する重量計測機構や、同じく吐出された機能液の着弾面積を計測する本実施形態の計測機構としての着弾面積計測機構６０（図５参照）を備えている。そして、これらの構成を統括的に制御する制御部４０を備えている。なお、図１では、メンテナンス機構及び重量計測機構並びに着弾面積計測機構６０は、図示を省略した。

図２（ａ）は吐出ヘッドの構成を示す概略斜視図、図２（ｂ）はノズル面における複数のノズルの配置状態を示す平面図である。

図２（ａ）に示すように、吐出ヘッド５０は、所謂２連のものであり、２連の接続針５４を有する機能液の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッド基板５５上に配置され内部に機能液のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備えている。接続針５４は、前述した機能液供給機構（図示省略）に配管を経由して接続され、機能液をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板５５には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッドドライバー４８（図５参照）に接続される２連のコネクター５８が設けられている。

ヘッド本体５６は、駆動手段（アクチュエーター）としての圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズル面５１ａに２つのノズル列５２ａ，５２ｂが相互に平行に形成されたノズルプレート５１とを有している。

図２（ｂ）に示すように、２つのノズル列５２ａ，５２ｂは、それぞれ複数（１８０個）のノズル５２がピッチＰ１でほぼ等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた状態でノズル面５１ａに配設されている。本実施形態において、ピッチＰ１は、例えばおよそ１４１μｍである。よって、２つのノズル列５２ａ，５２ｂによって構成されたノズル列５２ｃに直交する方向から見ると３６０個のノズル５２がおよそ７０．５μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。また、ノズル５２の径は、およそ２７μｍである。

吐出ヘッド５０は、ヘッドドライバー４８から電気信号としての駆動信号が圧電素子に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された機能液が加圧され、ノズル５２から機能液を液滴として吐出することができる。

吐出ヘッド５０においてノズル５２ごとに設けられる駆動手段（アクチュエーター）は、圧電素子に限らない。アクチュエーターとしての振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、機能液を加熱してノズル５２から液滴として吐出させる電気熱変換素子でもよい。

図３はヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、ワークＷに対向する側から見た図である。

図３に示すように、ヘッドユニット９は、複数の吐出ヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つの吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の吐出ヘッド５０が搭載されている。本実施形態では、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（吐出ヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（吐出ヘッド５０）とは同種の機能液を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる機能液を吐出可能な構成となっている。

１つの吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ０とし、これをノズル列５２ｃの有効長とする。以降、ノズル列５２ｃとは、３６０個のノズル５２から構成されるものを指す。

ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｙ軸方向）から見て隣り合うノズル列５２ｃが主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の機能液を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌ１は、描画幅Ｌ０の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向（Ｙ軸方向）に並列して配置されている。

なお、吐出ヘッド５０に設けられるノズル列５２ｃは、２連に限らず、１連でもよい。また、ヘッドユニット９における吐出ヘッド５０の配置は、これに限定されるものではない。

＜着弾面積計測機構＞
次に、図４を参照して着弾面積計測機構について説明する。図４（ａ）は着弾面積計測機構の構成を示す概略斜視図、図４（ｂ）は主走査方向から見た着弾面積計測機構の各構成の配置を示す図である。

図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、本実施形態の計測機構としての着弾面積計測機構６０は、照明部６１と、撮像部６２と、画像処理部６３と、モニター６４と、移動台６５と、移動台６５に載置された記録用のメディア１６０とにより構成されている。
着弾面積計測機構６０は、前述した吐出ヘッド５０の複数のノズル５２から機能液を液滴としてメディア１６０に着弾させ、メディア１６０に生じた着弾痕を撮像部６２によって撮像して、該着弾痕の面積（着弾面積）を計測するものである。

記録用のメディア１６０は、機能液によって選択される。機能液が着色材料を含んでいる場合は、メディア１６０は不透明な例えば記録紙などが用いられる。機能液が着色材料を含まずほぼ透明な場合は、例えば表面に機能液を受け止める受容層が形成された透明なフィルムなどが用いられる。本実施形態では、メディア１６０は後者の透明なフィルムを用いている。

移動台６５は、移動台２２（図１参照）と同様に、一対のガイドレール２１の内部に設けられたエアスライダーとリニアモーター（図示省略）により主走査方向（Ｙ軸方向）に移動可能となっている。移動台６５にも、タイミング信号生成部としてのエンコーダー１２（図５参照）が設けられている。
移動台６５上には、Ｘ軸方向に延在して例えば透明なガラスやプラスチックなどからなる支持テーブル６６が配置されている。長尺のメディア１６０は、巻出しローラー６８ａと巻取りローラー６８ｂとに捲回されて、長尺の両端が支持されている。移動台６５上において、巻出しローラー６８ａと巻取りローラー６８ｂとは、支持テーブル６６を挟んだＸ軸方向における両端側に設けられた軸受け６７にそれぞれ取り付けられている。これによって、メディア１６０は支持テーブル６６上においてＸ軸方向に広げられ、支持テーブル６６によってメディア１６０の背面側が支持される。

照明部６１は、例えばハロゲンランプやキセノンランプなどの光源と、光源から発せられた光を所定の方向に集光させる集光手段とを備えている。集光手段は例えば反射板（鏡）や集光レンズである。照明部６１は、Ｘ軸方向において一対のガイドレール２１の間に配置され、移動台６５に向って光源からの光を照射可能となっている。照明部６１に臨む移動台６５の部分には、移動台６５を貫通する孔６５ａが形成されている。透明な支持テーブル６６は孔６５ａを塞ぐように移動台６５上に配置されている。つまり、照明部６１は、移動台６５と支持テーブル６６とを介して、支持テーブル６６上に展開された透明なメディア１６０を背面側から照明することができる。
なお、前述したようにメディア１６０として不透明な例えば記録紙を用いる場合に対応して、メディア１６０を上方側から照明する他の照明部を備えていてもよい。

撮像部６２は、例えばＣＣＤなどの撮像素子を備えており、照明部６１の上方において照明部６１を臨む位置に配置されている。撮像部６２は画像処理部６３に電気的に接続されている。また、画像処理部６３は例えば液晶表示装置などのモニター６４に電気的に接続されている。つまり、撮像部６２によって撮像された画像を画像処理部６３によって画像処理を施すことができると共に、撮像された元の画像だけでなく、画像処理された画像をモニター６４によって確認することができる。

次に吐出装置１０の制御系について図５を参照して説明する。図５は吐出装置の制御系を示すブロック図である。図５に示すように、吐出装置１０の制御系は、吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０、着弾面積計測機構６０などを駆動する各種ドライバーを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め吐出装置１０を統括的に制御する制御部４０とを備えている。

駆動部４６は、ワーク移動機構２０及びヘッド移動機構３０の各リニアモーターをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバー４７と、吐出ヘッド５０を駆動制御するヘッドドライバー４８と、着弾面積計測機構６０を駆動制御する着弾面積計測用ドライバー４９とを備えている。この他にもメンテナンス機構を駆動制御するメンテナンス用ドライバー、重量計測機構を駆動制御する重量計測用ドライバーなどを備えているが図示を省略した。

制御部４０は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピューター１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラムなどを記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理などを行うための制御データなどを記憶する制御データ領域とを有している。

ＲＡＭ４３は、ワークＷに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、ワークＷ及び吐出ヘッド５０（実際には、ノズル列５２ｃ）の位置データを記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバーなどが接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェイス信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピューター１１からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１などからバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。

そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、ＲＡＭ４３内の各種データなどを処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６などに各種の制御信号を出力することにより、吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０及びヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９とワークＷとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９とワークＷとの相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からワークＷに機能液を液滴として吐出するようにヘッドドライバー４８に制御信号を送出する。本実施形態では、Ｙ軸方向へのワークＷの移動に同期して機能液を吐出することを主走査と呼び、主走査に対してＸ軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより機能液をワークＷに吐出することができる。主走査は、吐出ヘッド５０に対して一方向へのワークＷの移動に限らず、ワークＷを往復させて行うこともできる。

エンコーダー１２は、ヘッドドライバー４８に電気的に接続され、主走査に伴ってエンコーダパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台２２を移動させるので、エンコーダパルスが周期的に発生する。

例えば、主走査における移動台２２の移動速度を２００ｍｍ／ｓｅｃ、吐出ヘッド５０を駆動する駆動周波数（言い換えれば、連続して液滴を吐出する場合の吐出タイミング）を２０ｋＨｚとすると、主走査方向における液滴の吐出分解能は、移動速度を駆動周波数で除することにより得られるので、１０μｍとなる。すなわち、１０μｍのピッチで液滴をワークＷ上に配置することが可能である。移動台２２の移動速度を２０ｍｍ／ｓｅｃとすれば、１μｍのピッチで液滴をワークＷ上に配置することが可能である。実際の液滴の吐出タイミングは、周期的に発生するエンコーダパルスをカウントして生成されるラッチ信号に基づいている。このような主走査におけるワークＷ上の液滴の最小配置ピッチを吐出分解能と呼ぶ。

上位コンピューター１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を吐出装置１０に送出する。また、ワークＷ上の機能層形成領域（膜形成領域）ごとに所定量の機能液を液滴として配置する吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機能を有している。配置情報は、機能層形成領域（膜形成領域）における液滴の吐出位置（言い換えれば、ワークＷとノズル５２との相対位置）、液滴の配置数（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦすなわちノズル５２の選択／非選択、吐出タイミングなどの情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピューター１１は、上記配置情報を生成するだけでなく、ＲＡＭ４３に一旦格納された上記配置情報を修正することも可能である。

次に、吐出ヘッドの吐出制御方法について、図６及び図７を参照して説明する。図６は吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図である。

図６に示すように、ヘッドドライバー４８は、液滴の吐出量を制御する異なる複数の駆動信号ＣＯＭを、それぞれ独立して生成するＤ／Ａコンバータ（以降、ＤＡＣとする）７１Ａ〜７１Ｄと、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄが生成する駆動信号ＣＯＭのスルーレートデータ（以下、波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）とする）の格納メモリーを内部に有する波形データ選択回路７２と、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して上位コンピューター１１から送信される吐出制御データを格納するためのデータメモリー７３と、を備えている。ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の各ＣＯＭラインに、ＤＡＣ７１Ａ〜ＤＡＣ７１Ｄで生成された駆動信号ＣＯＭがそれぞれ出力される。

各吐出ヘッド５０には、ノズル５２ごとに設けられた駆動手段（アクチュエーター）である圧電素子５９への駆動信号ＣＯＭの印加をＯＮ／ＯＦＦするスイッチング回路７４と、各ＣＯＭラインのいずれか１つを選択して、各圧電素子５９に接続したスイッチング回路７４に駆動信号ＣＯＭを送出する駆動信号選択回路７５と、を備えている。

ノズル列５２ａ（図２（ｂ）参照）において、圧電素子５９の一方の電極５９ｂは、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄのグランドライン（ＧＮＤ）に接続されている。また、圧電素子５９の他方の電極５９ａ（以下、セグメント電極５９ａとする）は、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５を介して、各ＣＯＭラインに電気的に接続されている。また、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５、波形データ選択回路７２には、クロック信号（ＣＬＫ）や各吐出タイミングに対応したラッチ信号（ＬＡＴ）が入力されるようになっている。このような駆動回路の構成は、ノズル列５２ｂ（図２（ｂ）参照）においても同様である。

データメモリー７３には、各吐出ヘッド５０の走査位置に応じて周期的に設定される吐出タイミングごとに、次のデータが格納されている。すなわち、各圧電素子５９への駆動信号ＣＯＭの印加（ＯＮ／ＯＦＦ）を規定する吐出データＤＡと、各圧電素子５９に対応したＣＯＭライン（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）の選択を規定する駆動信号選択データＤＢと、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄに入力される波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）の種別を規定する波形番号データＷＮである。本実施形態においては、吐出データＤＡは、１ノズルあたり１ビット（０，１）で、駆動信号選択データＤＢは、１ノズルあたり２ビット（０，１，２，３）で、波形番号データＷＮは、１ＤＡＣあたり７ビット（０〜１２７）で構成されている。なお、データ構造は適宜変更可能である。

図７は駆動信号及び制御信号のタイミング図である。上述の構成において、各吐出タイミングに係る駆動制御は次のように行われる。図７に示すように、タイミングｔ１〜ｔ２の期間において、吐出データＤＡ、駆動信号選択データＤＢ、波形番号データＷＮが、それぞれシリアル信号化されて、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５、波形データ選択回路７２に送信される。そして、タイミングｔ２において各データがラッチされることで、吐出（ＯＮ）に係る各圧電素子５９のセグメント電極５９ａが、駆動信号選択データＤＢで指定されたＣＯＭライン（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４のいずれか）に接続された状態となる。例えば、圧電素子５９のセグメント電極５９ａは、駆動信号選択データＤＢが「０」のときには、ＣＯＭ１に接続される。同様に駆動信号選択データＤＢが「１」のときにはＣＯＭ２に、駆動信号選択データＤＢが「２」のときはＣＯＭ３に、駆動信号選択データＤＢが「３」のときはＣＯＭ４に接続される。また、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄの生成に係る駆動信号の波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）がこの選択に連動して設定される。

タイミングｔ３〜ｔ４の期間においては、タイミングｔ２で設定された波形データに従い、それぞれ電位上昇、電位保持、電位降下の一連のステップで駆動信号ＣＯＭが生成される。そして、ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４とそれぞれ接続された状態にある圧電素子５９に、生成された駆動信号ＣＯＭが供給され、ノズル５２に連通するキャビティの体積（圧力）制御が行われる。

駆動信号ＣＯＭにおける電位上昇、電位保持、電位降下に係る時間成分、電圧成分は、その供給によって吐出される機能液の吐出量に密接に依存している。とりわけ、圧電方式の吐出ヘッド５０では、電圧成分の変化に対して吐出量が良好な線形性を示すため、タイミングｔ３〜ｔ４における電圧成分の変化（電位差）を駆動電圧Ｖｈ（Ｖｈ１〜Ｖｈ４）として規定し、これを吐出量制御の条件として利用することができる。すなわち、駆動電圧Ｖｈは、液滴の吐出量を制御する駆動信号の条件の一つである。なお、生成する駆動信号ＣＯＭは、本実施形態で示すような単純な台形波に限られるものではなく、例えば、矩形波など公知の様々な形状の波形を適宜採用することも可能である。また、異なる駆動方式（例えばサーマル方式）の実施形態の場合、駆動信号ＣＯＭのパルス幅（時間成分）を吐出量制御の条件として利用することも可能である。

本実施形態では、駆動電圧Ｖｈを段階的に違えた複数種の波形データを用意し、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄにそれぞれ独立した波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）を入力することにより、各ＣＯＭラインにそれぞれ異なる駆動電圧Ｖｈ１〜Ｖｈ４の駆動信号ＣＯＭを出力することが可能である。用意できる波形データの種類は、波形番号データＷＮの情報量（７ビット）に相当する１２８種類であり、例えばこれを０．１Ｖ刻みの駆動電圧Ｖｈに対応させている。言い換えれば、１２．８Ｖの電位差の範囲でＶｈ１〜Ｖｈ４の各駆動波形を０．１Ｖ刻みで設定することができる。

かくして、本実施形態の吐出装置１０は、ノズル５２ごとの吐出特性を考慮して、各圧電素子５９（ノズル５２）と各ＣＯＭラインとの対応関係を規定する駆動信号選択データＤＢと、各ＣＯＭラインと駆動信号ＣＯＭの種類（駆動電圧Ｖｈ）との対応関係を規定する波形番号データＷＮとを適切に設定することにより、液滴の吐出量を調整して機能液を吐出することが可能である。言い換えれば、駆動信号選択データＤＢと波形番号データＷＮとの関係で定まる各ノズル５２の駆動信号ＣＯＭの設定を適切に行うことが、吐出量を管理するための重要事項であると言える。

上記吐出装置１０において、吐出ヘッド５０の吐出制御方法は、液滴の吐出ごと、言い換えれば吐出タイミングごとに駆動信号選択データＤＢと波形番号データＷＮとを更新可能となっている。また、吐出データＤＡに対応させて駆動信号ＣＯＭを精細に設定することも可能である。したがって、ノズル５２ごとに吐出される液滴の吐出量を、吐出タイミングごとに少なくとも４段階に渡って変化させることができるので、一定の駆動信号ＣＯＭを各圧電素子５９に印加する場合に比べて、ノズル列５２ａ，５２ｂの吐出特性に起因する液滴の吐出量のばらつきを、ノズル５２ごと、且つ液滴の吐出ごとに調整することが可能である。ゆえに、ノズル列５２ａ，５２ｂの吐出特性に起因する吐出ムラを低減して機能液を吐出することが可能である。

一方で、ノズル５２ごとに吐出される液滴の吐出量を、液滴の吐出ごとに少なくとも４段階に渡って変化させることができるとしても、複数のノズル５２のすべてにおいて上記吐出量を一定の値、例えば、基準吐出量（あるいはねらいの吐出量）にすることは難しい。それは、例えばノズル５２ごとに連通するキャビティの構造が必ずしも同じではないといった機械的な要因や、ノズル５２ごとの圧電素子５９の電気特性が必ずしも同じでないといった電気的な要因などがある。また、液滴の吐出ごとに４段階の駆動信号ＣＯＭの割り当てを変えることは吐出制御に係わるデータ量が増えてしまい、吐出装置１０の動作速度に影響し生産性が低下するおそれがある。

そこで、本実施形態では、ノズル５２から機能液を複数の液滴としてメディア１６０に着弾させ、その着弾痕の着弾面積を計測することにより、ノズル５２ごとに吐出される機能液（液滴）の吐出量ばらつきを求め、これによって４段階の駆動信号ＣＯＭの駆動電圧Ｖｈの設定を行い、設定された４段階の駆動信号ＣＯＭの中から適正と考えられる１つの駆動信号ＣＯＭを当該ノズル５２（圧電素子５９）に割り当てている。これによって、複数のノズル５２から吐出される機能液（液滴）の吐出量ばらつきをある程度の範囲内に収めようとしている。それゆえに、メディア１６０における機能液の着弾面積の計測精度が悪いと４段階の駆動信号ＣＯＭの駆動電圧Ｖｈの設定を適正に行うことができなくなるという課題があった。
特に、機能液が不透明である場合に比べて、機能液がほぼ透明な場合には、着弾面積の計測精度を確保することが難しいという課題があった。

＜機能液の吐出量ばらつきの計測方法＞
以下、ほぼ透明な機能液の着弾面積の計測を精度よく行うことが可能な本実施形態の機能液の吐出量ばらつきの計測方法について図８〜図１１を参照して説明する。図８（ａ）〜（ｃ）は機能液の着弾面積の計測方法を示す概略断面図、図９（ａ）〜（ｃ）は計測用吐出工程における液滴の着弾のさせ方を示す概略図、図１０は比較例の液滴の着弾における着弾痕を示す写真、図１１は実施例の液滴の着弾における着弾痕を示す写真である。

本実施形態の機能液の吐出量ばらつきの計測方法は、図８（ａ）に示すように、吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からメディア１６０に対して、複数のノズル５２ごとに所定量の機能液を複数の液滴Ｄとして吐出する計測用吐出工程と、図８（ｃ）に示すように、複数のノズル５２ごとにメディア１６０に着弾した機能液の着弾面積を計測する計測工程と、を備えている。メディア１６０は、透明なベースフィルム１６１と、ベースフィルム１６１の表面に形成され、機能液を受けて収容する受容層１６２とを有している。図８（ｂ）に示すように、ノズル５２から吐出され受容層１６２に着弾した液滴Ｄは、受容層１６２に浸透して収容され着弾痕１６５となる。計測工程では、照明部６１によりメディア１６０を背面側から照明し、着弾痕１６５を撮像部６２によって撮像する。着弾痕１６５の着弾面積と吐出された機能液の吐出量との間には相関関係があることが分かっているので、撮像された画像から着弾痕１６５の着弾面積のばらつきを求めることにより、ノズル５２ごとに吐出される機能液の吐出量ばらつきを推し量ることができる。

本実施形態の機能液は、後述する有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ；Electro Luminescence）装置の機能層を液相プロセス（インクジェット法）で形成する際に用いられるものである。機能液は機能層形成材料と溶媒とを含んでおり、ほぼ透明である。溶媒は必ずしも１種ではなく、吐出された機能液が容易に乾燥しないように、沸点がおよそ２００℃以上である溶媒を選択することが望ましい。溶媒としては、例えば脂肪族溶媒であるエチレングリコール（沸点１９７．３℃）や、芳香族溶媒であるシクロヘキシルベンゼン（沸点２４０℃）、１，４−ジメチルナフタレン（沸点２４７℃）などを挙げることができる。

メディア１６０は、ピクトリコ社製のグラフィックアーツ透明フィルムを用いている。ベースフィルム１６１は厚みがおよそ１４５μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムが用いられている。受容層１６２の詳しい構成は開示されていないが、塗布される機能液に対応した厚みの受容層１６２を選択可能である。本実施形態では、受容層１６２の厚みが１５μｍと３５μｍの２種を用意した。

本実施形態の計測用吐出工程は、図８（ａ）に示すように、吐出ヘッド５０とメディア１６０とを対向させ、吐出ヘッド５０の複数のノズル５２から機能液を複数の液滴Ｄとして吐出している。また、吐出ヘッド５０とメディア１６０とを主走査方向に相対移動させる主走査の間に、複数の液滴Ｄを所定の吐出タイミングで繰り返して吐出させている。つまり、メディア１６０において着弾痕１６５は、主走査方向に複数表れると共に、吐出させたノズル５２の数だけ副走査方向に複数表れる。

着弾面積の計測工程では、計測用吐出工程で生じた複数の着弾痕１６５の着弾面積をノズル５２ごとに計測する。そして、複数の着弾痕１６５の着弾面積の例えば平均値を算出して、当該平均値から当該ノズル５２の吐出量とそのばらつきとを推し量る。このような着弾面積の計測を複数のノズル５２のそれぞれにおいて実施する。１つのノズル５２あたりに計測する着弾痕１６５の数は例えば４０個である。以降、比較例を挙げて詳しく説明する。

（比較例）
図１０は比較例の計測用吐出工程によって生じた機能液の着弾痕を示す図である。詳しくは、撮像部６２によって撮像され、画像処理部６３によって画像処理された着弾痕１６５の画像である。ほぼ透明な機能液が着弾して浸透した受容層１６２の部分を透過する光は他の部分に比べて散乱する。したがって、機能液が着弾して浸透した受容層１６２の部分が他の部分よりも明るくなるので、画像処理部６３により明るさの差を強調する処理が行われている。なお、機能液が着弾して浸透した受容層１６２の部分と他の部分との明るさの差が強調されるように照明方法を工夫して撮像してもよい。

比較例は、計測用吐出工程において、メディア１６０の同じ位置に複数の液滴Ｄを吐出するものである。また、複数回の主走査において複数のノズル５２から複数の液滴Ｄを吐出している。このとき、複数の液滴Ｄの総量つまり前述した所定量が受容層１６２の単位面積当たりの受容量を越えてしまうと、図１０に示すように、着弾痕１６５はメディア１６０において滲んでしまう。着弾痕１６５はほぼ円形であるものの、外縁が滲んでいるので、精度よく着弾面積を計測するのは困難である。言い換えれば、着弾面積の計測精度は低い。なお、図１０に示した比較例では、シクロヘキシルベンゼンを溶媒とする機能液を用い、１回の主走査で１滴の液滴Ｄを受容層１６２の厚みが３５μｍのメディア１６０に吐出し、合計１０回の主走査を行って複数のノズル５２ごとに１０滴ずつメディア１６０に着弾させている。１滴の液滴Ｄの吐出量はおよそ１０ｐｌである。

図９（ａ）〜（ｃ）は本実施形態の計測用吐出工程における液滴の吐出の仕方を示す概略図である。
本実施形態の機能液の吐出量ばらつきの計測方法における計測用吐出工程では、主走査において、複数の液滴Ｄが同じ位置に着弾せず、主走査方向に互いにずれた位置に着弾するように吐出する。例えば、図９（ａ）に示すように、複数回（２回）の主走査に分けて複数の液滴Ｄを吐出する。１回目の主走査ａ−１では、先に液滴Ｄ１を吐出し、次に液滴Ｄ２を主走査方向にΔＬだけずれた位置に着弾するように吐出する。２回目の主走査ａ−２では、先に液滴Ｄ３を吐出し、次に液滴Ｄ４を同じく主走査方向にΔＬだけずれた位置に着弾するように吐出する。１回目の主走査ａ−１の液滴Ｄ２の着弾位置と２回目の主走査ａ−２の液滴Ｄ３の着弾位置とは主走査方向において同じくΔＬずれている。２回の主走査により、メディア１６０には４滴の液滴Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４がそれぞれ主走査方向にΔＬだけずれて着弾して受容層１６２に浸透して着弾痕１６５が形成される。ΔＬは１μｍ〜５μｍである。ΔＬを余に大きくしすぎると、着弾痕１６５が歪んで円形になり難く計測精度に影響を及ぼすので、着弾痕１６５が滲み難く且つ歪み難い範囲で設定することが好ましい。

４滴の液滴Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４を１回の主走査でΔＬずつ主走査方向にずらして吐出してもよいが、２回の主走査に分けて吐出することによって、受容層１６２における機能液の浸透に時間差が生じ、着弾痕１６５が滲み難くなる。

４滴の液滴Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４を２回の主走査に分けて吐出する方法は、主走査における同一方向で吐出することに限定されない。例えば、図９（ｂ）に示すように、１回目の主走査ｂ−１において液滴Ｄ１と液滴Ｄ２とをΔＬずらして着弾させた後に、１回目と反対方向の２回目の主走査ｂ−２において液滴Ｄ３、液滴Ｄ４の順にΔＬずらして吐出してもよい。つまり、往復の主走査において複数の液滴Ｄを主走査方向に着弾位置をずらして吐出してもよい。複数の液滴Ｄを往復の主走査で吐出するので、一定方向の主走査で吐出する場合に比べて、複数の液滴Ｄを吐出する吐出時間を短くできる。

さらには、複数の液滴Ｄがメディア１６０に着弾するのは主走査方向の直線上であることに限定されない。例えば、図９（ｃ）に示すように、複数の液滴Ｄを主走査と副走査とを組み合わせて着弾させてもよい。具体的には、１回目の主走査ｃ−１で液滴Ｄ１と液滴Ｄ２とを主走査方向にΔＬずらして順に吐出し、吐出ヘッド５０を副走査して１回目とは反対方向の２回目の主走査ｃ−２で液滴Ｄ３を吐出する。再び、吐出ヘッド５０を副走査して３回目の主走査ｃ−３で液滴Ｄ４を吐出する。液滴Ｄ３と液滴Ｄ４の着弾位置が副走査方向（Ｘ軸方向）においてΔＬずれるように副走査して吐出する。これによれば、４滴の液滴Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４は、液滴Ｄ１を基準とすると主走査方向と副走査方向とにそれぞれΔＬの範囲内にずれた状態で着弾するので、機能液の着弾痕１６５が図９（ａ）及び（ｂ）に示した計測用吐出工程よりも歪み難くなる。

メディア１６０における液滴Ｄの着弾位置のずらし量であるΔＬの大きさを制御する方法としては、ノズル５２の駆動手段（アクチュエーター）としての圧電素子５９に駆動信号ＣＯＭを印加する吐出タイミングを制御する方法があるが、前述した吐出分解能を単位として制御することが好ましい。着弾面積計測機構６０において、移動台６５の移動速度と、吐出ヘッド５０の駆動周波数を制御することによって、前述したように１μｍ単位の吐出分解能を実現できるので、液滴Ｄの着弾位置をわずかに（１μｍ単位で）且つ精度よくずらすことができる。

なお、図９（ａ）〜（ｃ）では、複数（４滴）の液滴Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４を互いにわずかにずらしてメディア１６０に着弾させたが、受容層１６２の受容量を越えない範囲であれば、４滴に限定されるものではなく、それ以上の吐出数で液滴Ｄを吐出してもよい。
また、複数の液滴Ｄのすべてが互いにずれて着弾することに限定されず、着弾痕１６５が滲まない範囲であれば、複数の液滴Ｄのうちいくつかの液滴Ｄが同じ位置に着弾してもよい。また、先に着弾した液滴Ｄに対して少なくとも重なるように後に着弾させる液滴Ｄを吐出すればよい。受容層１６２における機能液の浸透の仕方は、機能液の種類によっても変化するので、少なくとも複数の液滴Ｄが受容層１６２に着弾したときに互いに重なり合う範囲でずらせばよい。

さらには、着弾痕１６５の着弾面積の計測は、所定量の機能液に相当する複数（４滴）の液滴Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４がすべてメディア１６０に着弾してから行うことに限定されない。例えば、主走査ごとに着弾痕１６５の着弾面積を計測してもよい。このようにすれば、実際の機能液の吐出制御に近づけた状態での機能液の吐出量ばらつきを把握することができる。

図１１は本実施形態の計測用吐出工程によって生じた機能液の着弾痕を示す図である。
上記のような本実施形態の計測用吐出工程によれば、図１１に示すように、メディア１６０に複数の液滴Ｄが着弾してできる着弾痕１６５が図１０に示した比較例よりも滲み難くなる。それゆえに、着弾痕１６５の着弾面積の計測精度が向上する。なお、図１１は、比較例と同様に受容層１６２の厚みが３５μｍのメディア１６０に１滴が１０ｐｌの液滴Ｄを複数のノズル５２からそれぞれ１０滴ずつ、互いに着弾位置を１μｍずらして吐出したものである。機能液の溶媒はシクロヘキシルベンゼンである。

次に、メディア１６０における受容層１６２の厚みと機能液の受容量との関係について、図１２を参照して、説明する。
図１２（ａ）は厚みが３５μｍの受容層の機能液の受容量を示す表、図１２（ｂ）は厚みが１５μｍの受容層の機能液の受容量を示す表である。図１２（ａ）及び（ｂ）の表中のＰａｓｓは主走査を示し、数字は主走査の回数を示すものである。また、ｓｈｏｔは１回の主走査で吐出する液滴Ｄの吐出数を示し、（ ）内の数値は最適な吐出数を示すものである。また、ドットとは着弾痕１６５を示すものである。

図１２（ａ）に示すように、メディア１６０の受容層１６２の厚みが３５μｍの場合、１回のＰａｓｓで１滴の液滴Ｄを吐出して、受容層１６２の同じ位置に着弾させてゆくと、８回目のＰａｓｓでドットが認識可能となったもののドットのコントラストはまだ不足していた。９回目のＰａｓｓも８回目と同様であり、１０回目のＰａｓｓ以降では、ドットが滲んでしまった。

次に、１回のＰａｓｓで２滴の液滴Ｄを受容層１６２において着弾位置が互いにわずかにずれるように吐出してゆくと、４回目のＰａｓｓでドットが認識可能となり、５回目のＰａｓｓでドットが滲みがなく明瞭となった。６回目及び７回目のＰａｓｓではドットが滲んでしまい、８回目のＰａｓｓ以降では、隣合うドットが繋がってしまった。この場合、厚みが３５μｍの受容層１６２における機能液の受容量は１０ｓｈｏｔ分の液滴Ｄに相当する量（１０滴×１０ｐｌ＝１００ｐｌ）と考えられる。

同様にして、１回のＰａｓｓで３滴の液滴Ｄを受容層１６２において着弾位置が互いにわずかにずれるように吐出する場合は４回目のＰａｓｓでドットが明瞭となった。１回のＰａｓｓで４滴の液滴Ｄを受容層１６２において着弾位置が互いにわずかにずれるように吐出する場合は３回目のＰａｓｓでドットが明瞭となった。つまり、これらの計測用吐出における受容量は１２ｓｈｏｔ分の液滴Ｄに相当する量（１２滴×１０ｐｌ＝１２０ｐｌ）と考えられる。すなわち、液滴Ｄを着弾させる範囲を増やした分、受容量も増加したと考えられる。

図１２（ｂ）に示すように、メディア１６０の受容層１６２の厚みが１５μｍの場合、１回のＰａｓｓで１滴の液滴Ｄを吐出して、受容層１６２の同じ位置に着弾させてゆくと、４回目のＰａｓｓでドットが認識可能となったもののドットのコントラストはまだ不足していた。５回目のＰａｓｓも４回目と同様であり、６回目のＰａｓｓ以降では、ドットが滲んでしまった。

次に、１回のＰａｓｓで２滴の液滴Ｄを受容層１６２において着弾位置が互いにわずかにずれるように吐出してゆくと、２回目のＰａｓｓでドットが認識可能となり、３回目のＰａｓｓでドットが滲みがなく明瞭となった。４回目のＰａｓｓではドットが滲んでしまい、５回目のＰａｓｓ以降では、隣合うドットが繋がってしまった。この場合、厚みが１５μｍの受容層１６２における機能液の受容量は６ｓｈｏｔ分の液滴Ｄに相当する量（６滴×１０ｐｌ＝６０ｐｌ）と考えられる。

同様にして、１回のＰａｓｓで３滴の液滴Ｄを受容層１６２において着弾位置が互いにわずかにずれるように吐出する場合は、２回目のＰａｓｓでドットが明瞭となったので、１回のＰａｓｓで２滴の液滴Ｄを吐出する場合と同じで、受容量は６ｓｈｏｔ分の液滴Ｄに相当する量（６滴×１０ｐｌ＝６０ｐｌ）と考えられる。

同様にして、１回のＰａｓｓで４滴の液滴Ｄを受容層１６２において着弾位置が互いにわずかにずれるように吐出する場合は、１回のＰａｓｓでドットが明瞭になったので、受容量は４ｓｈｏｔ分の液滴Ｄに相当する量（４滴×１０ｐｌ＝４０ｐｌ）と考えられる。つまり、受容層１６２の厚みが１５μｍの場合、１回のＰａｓｓで吐出可能な液滴Ｄの吐出数は４滴までが限界と考えられる。すなわち、受容層１６２の受容量（厚み）によって、複数の液滴Ｄを複数回の主走査（Ｐａｓｓ）に分けて吐出しても、１回の主走査（Ｐａｓｓ）で吐出可能な液滴の吐出数に限界がある。

次に、メディア１６０における液滴Ｄのずらし量ΔＬと着弾面積の計測精度との関係について、図１３を参照して説明する。図１３は液滴のずらし量ΔＬと着弾面積の計測精度との関係を示す表である。本実施形態における計測精度とは、計測用吐出工程において、１つのノズル５２から所定量の機能液を複数の液滴Ｄとして吐出して、主走査方向にわずかにずらして着弾させてできる着弾痕１６５をメディア１６０に４０個形成する。この４０個の着弾痕１６５の着弾面積を計測して、その平均値と標準偏差（σ）とを算出する。標準偏差（σ）は平均値を「１」としたときの平均値に対する割合（％）を示す値である。なお、受容層１６２の厚みが３５μｍのメディア１６０を前提とする。

図１３に示すように、ずらし量ΔＬが０μｍ、すなわち、メディア１６０において同じ位置に液滴Ｄを着弾させた場合には、図１２に示したように、１０滴の液滴Ｄを吐出したときにドットが認識できるが滲んでいるので、標準偏差（σ）の値は０．７４％となった。
これに対して、本実施形態の機能液の吐出量ばらつきの計測方法を適用して、例えば、１回のＰａｓｓで１滴吐出し、ΔＬを１μｍとしたときには、標準偏差（σ）が０．３５％となった。つまり、同じ位置に液滴Ｄを着弾させる場合に比べて、標準偏差（σ）の値が半分以下となった。すなわち、着弾面積の計測精度が向上した。
ずらし量ΔＬを１μｍから３μｍあるいは５μｍに増やしても同様な結果が得られた。さらには、１回のＰａｓｓにおける液滴Ｄの吐出数を１滴から２滴あるいは３滴に増やすほど、標準偏差（σ）が小さくなった。つまり、着弾面積の計測精度がさらに向上した。ちなみに、ΔＬを５μｍとし、１回のＰａｓｓにおける吐出数を３滴とした場合には、標準偏差（σ）が０．２２％となり、同じ位置に液滴Ｄを着弾させる場合に比べて、標準偏差（σ）の値が１／３以下となった。

次に、複数のノズル５２における機能液の吐出量ばらつきの補正方法について、図１４及び図１５を参照して説明する。図１４（ａ）は比較例の計測用吐出工程を適用したときのノズルごとの着弾面積のばらつきを示すグラフ、図１４（ｂ）は比較例の着弾面積の計測結果を基にして駆動信号ＣＯＭを補正した後の、ノズルごとの着弾面積のばらつきを示すグラフ、図１４（ｃ）は比較例における補正後のノズル５２の駆動信号ＣＯＭ別の着弾面積のばらつきを示すグラフである。図１５（ａ）は実施例の計測用吐出工程を適用したときのノズルごとの着弾面積のばらつきを示すグラフ、図１５（ｂ）は実施例の着弾面積の計測結果を基にして駆動信号ＣＯＭを補正した後の、ノズルごとの着弾面積のばらつきを示すグラフ、図１５（ｃ）は実施例における補正後のノズル５２の駆動信号ＣＯＭ別の着弾面積のばらつきを示すグラフである。なお、ノズル５２ごとの着弾面積は、吐出ヘッド５０における１８０個のノズル５２のうちノズル列の両端に位置する１０個のノズル５２を除いた１６０個のノズル５２を対象として求めている。つまり、ノズル列の両端１０個を除いた１６０個のノズル５２を有効ノズルとして扱っている。言い換えれば、ノズル列ごとに有効ノズル数を決めて、ノズル５２ごとの着弾面積を計測している。

比較例の計測用吐出工程では、受容層１６２の厚みが３５μｍのメディア１６０を用い、メディア１６０の同じ位置に１回の主走査（Ｐａｓｓ）で１滴ずつ、１０回の主走査（Ｐａｓｓ）を行って、複数のノズル５２ごとに１０滴の液滴Ｄを吐出して受容層１６２に着弾させた。

これに対して、実施例の計測用吐出工程では、受容層１６２の厚みが３５μｍのメディア１６０を用い、受容層１６２における着弾位置をわずかにずらして１回の主走査（Ｐａｓｓ）で２滴ずつ、５回の主走査（Ｐａｓｓ）を行って、複数のノズル５２ごとに１０滴の液滴Ｄを吐出して受容層１６２に着弾させた。ずらし量ΔＬは１μｍである。

図１４（ａ）と図１５（ａ）とを比較すると、比較例のほうが１６０個の有効ノズルにおける着弾面積のばらつきが大きい。これは、着弾面積の計測ばらつきを反映しているものと考えられる。なお、計測用吐出を行う前に、各ノズル５２には予め４つの駆動信号ＣＯＭ（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）のいずれかが設定されている。これは、前述した重量計測機構によって得られたノズル５２ごとの機能液の吐出量の計測に基づいて割り当てられたものである。
次に、比較例と実施例のそれぞれにおいて、ノズル５２ごとに得られた着弾面積のばらつき、すなわち、機能液の吐出量ばらつきを１／４にすべく、４つの駆動信号ＣＯＭの駆動電圧Ｖｈ（Ｖｈ１〜Ｖｈ４）を補正して、各ノズル５２に割り付ける。そして、再びノズル５２ごとの着弾面積を比較例と実施例のそれぞれの計測方法で計測した結果が図１４（ｂ）と図１５（ｂ）に示されている。駆動信号ＣＯＭを補正する前の図１４（ａ）、図１５（ａ）と比べて、いずれも着弾面積のばらつきが小さくなっている。しかしながら、補正後の駆動信号ＣＯＭ別の着弾面積のばらつきを示す図１４（ｃ）と図１５（ｃ）とを比較すると、駆動信号ＣＯＭ別の着弾面積のばらつきの中央値は、実施例のほうが着弾面積の平均値を数値として置き換えた「１．０００」に近づいていることが分かる。つまり、ノズル５２ごとの機能液の吐出量ばらつき（着弾面積ばらつき）を適正に補正することができている。

上記第１実施形態の機能液の吐出量ばらつきの計測方法によれば、以下の効果が得られる。
（１）計測用吐出工程において、メディア１６０の受容層１６２に対して着弾位置がたがいにわずかにずれるように、複数のノズル５２からそれぞれ複数の液滴Ｄが吐出される。したがって、受容層１６２における受容量を越えて複数の液滴Ｄが着弾しないので、着弾痕１６５の滲みが抑えられ、明瞭な着弾痕１６５が得られる。ゆえに、着弾痕１６５を撮像すれば比較例よりも高い精度でノズル５２ごとの着弾面積を求めることができる。つまり、ノズル５２ごとに吐出される機能液の吐出量ばらつきを精度よく推し量ることができる。
（２）計測用吐出工程において、所定量の機能液をノズル５２ごとに複数回の主走査に分け吐出するので、１回の主走査で所定量の機能液を液滴Ｄとして吐出する場合に比べて、受容層１６２における機能液の浸透時間が長くなり、明瞭な着弾痕１６５を得ることができる。すなわち、着弾面積の計測精度が向上する。
（３）計測用吐出工程において、所定量の機能液を複数回の主走査と副走査とを組み合わせ、且つ、複数回の主走査のうち少なくとも１回は他の主走査に対して液滴Ｄの吐出数を変えることは、実際に機能液を吐出して機能層を形成する吐出条件に近づけて計測用吐出を行うことができるので、実際の機能液の吐出を反映した、ノズル５２ごとの機能液の吐出量ばらつきを求めることができる。
（４）ノズル５２ごとの機能液の吐出量ばらつきを重量計測機構を用いて計測する方法は、１滴当たりの液滴Ｄの重量が非常に小さいので、電子天秤などで重量を測るとしても多数（例えば１０００個）の液滴Ｄを吐出してその重量を計測し、計測された重量を吐出数で除することにより求めることになる。これに対して、着弾面積計測機構６０を用いる方法は、多量の機能液を液滴として吐出する必要が無いので、効率的且つ精度よく機能液の吐出量ばらつきをノズル５２ごとに計測することができる。

（第２実施形態）
＜有機エレクトロルミネッセンス装置＞
次に、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）装置について図１６及び図１７を参照して説明する。図１６は有機ＥＬ装置を示す概略正面図、図１７は有機ＥＬ装置の要部概略断面図である。

図１６に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置１００は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）、３色の発光画素１０７を備えた素子基板１０１と、素子基板１０１に所定の間隔を置いて対向配置された封止基板１０２とを備えている。封止基板１０２は、複数の発光画素１０７が設けられた発光領域１０６を封着するように、高い気密性を有する封着剤を用いて素子基板１０１に貼り合わされている。

発光画素１０７は、後述する発光素子としての有機ＥＬ素子１１２（図１７参照）を備えるものであって、同色の発光が得られる発光画素１０７が、図面上の縦方向に配列した所謂ストライプ方式となっている。なお、実際には、発光画素１０７は微細なものであり、図示の都合上拡大して現している。

素子基板１０１は、封止基板１０２よりも一回り大きく、額縁状に張り出した部分には、発光画素１０７を駆動する２つの走査線駆動回路部１０３と１つのデータ線駆動回路部１０４が設けられている。走査線駆動回路部１０３、データ線駆動回路部１０４は、例えば、電気回路が集積されたＩＣとして素子基板１０１に実装してもよいし、走査線駆動回路部１０３及びデータ線駆動回路部１０４を素子基板１０１の表面に直接形成してもよい。

素子基板１０１の端子部１０１ａには、これらの走査線駆動回路部１０３やデータ線駆動回路部１０４と外部駆動回路とを接続するための中継基板１０５が実装されている。中継基板１０５は、例えば、フレキシブル回路基板などを用いることができる。

図１７に示すように、有機ＥＬ装置１００において、有機ＥＬ素子１１２は、画素電極としての陽極１３１と、陽極１３１を区画する隔壁１３３と、陽極１３１上に形成された有機膜からなる発光層を含む機能層１３２とを有している。また、機能層１３２を介して陽極１３１と対向するように形成された共通電極としての陰極１３４を有している。

隔壁１３３は、フェノール樹脂又はポリイミド樹脂などの絶縁性を有する感光性樹脂からなり、発光画素１０７を構成する陽極１３１の周囲を一部覆って、複数の陽極１３１をそれぞれ区画するように設けられている。

陽極１３１は、素子基板１０１上に形成されたＴＦＴ素子１０８の３端子のうちの１つに接続しており、例えば、透明電極材料であるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）を厚さ１００ｎｍ程度に成膜した電極である。

陰極１３４は、例えばＡｌやＡｇなどの光反射性を有する金属や、該金属と他の金属（例えばＭｇ）との合金などにより形成されている。

本実施形態の有機ＥＬ装置１００は、所謂ボトムエミッション型の構造となっており、陽極１３１と陰極１３４との間に駆動電流を流して機能層１３２で発光した光を陰極１３４で反射させて素子基板１０１側から取り出す。したがって、素子基板１０１はガラスなどの透明基板を用いる。また、封止基板１０２は、透明基板及び不透明基板のいずれも用いることができる。不透明基板としては、例えば、アルミナなどのセラミックス、ステンレススチールなどの金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したものの他に、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などが挙げられる。

素子基板１０１には、有機ＥＬ素子１１２を駆動する回路部１１１が設けられている。すなわち、素子基板１０１の表面にはＳｉＯ₂を主体とする下地保護層１２１が下地として形成され、その上には例えばポリシリコンなどからなる半導体層１２２が形成されている。この半導体層１２２の表面には、ＳｉＯ₂及び／又はＳｉＮを主体とするゲート絶縁膜１２３が形成されている。

また、半導体層１２２のうち、ゲート絶縁膜１２３を挟んでゲート電極１２６と重なる領域がチャネル領域１２２ａとされている。なお、このゲート電極１２６は、図示しない走査線の一部である。一方、半導体層１２２を覆い、ゲート電極１２６を形成したゲート絶縁膜１２３の表面には、ＳｉＯ₂を主体とする第１層間絶縁層１２７が形成されている。

また、半導体層１２２のうち、チャネル領域１２２ａのソース側には、低濃度ソース領域及び高濃度ソース領域１２２ｃが設けられる一方、チャネル領域１２２ａのドレイン側には低濃度ドレイン領域及び高濃度ドレイン領域１２２ｂが設けられて、所謂ＬＤＤ（Light Doped Drain）構造となっている。これらのうち、高濃度ソース領域１２２ｃは、ゲート絶縁膜１２３と第１層間絶縁層１２７とにわたって開孔するコンタクトホール１２５ａを介して、ソース電極１２５に接続されている。このソース電極１２５は、電源線（図示せず）の一部として構成されている。一方、高濃度ドレイン領域１２２ｂは、ゲート絶縁膜１２３と第１層間絶縁層１２７とを貫通するコンタクトホール１２４ａを介して、ソース電極１２５と同一層からなるドレイン電極１２４に接続されている。

ソース電極１２５及びドレイン電極１２４が形成された第１層間絶縁層１２７の上層には、平坦化層１２８が形成されている。この平坦化層１２８は、アクリル系やポリイミド系などの、耐熱性絶縁性樹脂などによって形成されたもので、ＴＦＴ素子１０８やソース電極１２５、ドレイン電極１２４などによる表面の凹凸をなくすために形成された公知のものである。

そして、陽極１３１が、この平坦化層１２８の表面上に形成されると共に、該平坦化層１２８に設けられたコンタクトホール１２８ａを介してドレイン電極１２４に接続されている。すなわち、陽極１３１は、ドレイン電極１２４を介して、半導体層１２２の高濃度ドレイン領域１２２ｂに接続されている。陰極１３４は、ＧＮＤに接続されている。したがって、スイッチング素子としてのＴＦＴ素子１０８により、上記電源線から陽極１３１に供給され陰極１３４との間で流れる駆動電流を制御する。これにより、回路部１１１は、所望の有機ＥＬ素子１１２を発光させカラー表示を可能としている。

なお、有機ＥＬ素子１１２を駆動する回路部１１１の構成は、これに限定されるものではない。

機能層１３２は、有機層である正孔注入層、中間層、発光層を含む複数の薄膜層からなり、陽極１３１側からこの順で積層されている。本実施形態において、これらの有機層は液相プロセス（インクジェット法）を用いて成膜されている。

正孔注入層の材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）などのポリチオフェン誘導体にドーパントとしてのポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）を加えた混合物（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）や、ポリスチレン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリアセチレンやその誘導体を用いてもよい。

中間層は、正孔注入層と発光層との間に設けられ、発光層に対する正孔の輸送性（注入性）を向上させると共に、発光層から正孔注入層に電子が漏れることを抑制するために設けられている。すなわち、発光層における正孔と電子との結合による発光の効率を改善するものである。中間層の材料としては、例えば、正孔輸送性が良好なトリフェニルアミン系ポリマーを含んだものが挙げられる。

発光層の材料としては、例えば、赤色、緑色、青色の発光が得られるポリフルオレン誘導体（ＰＦ）、ポリパラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリフェニレン誘導体（ＰＰ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）、ＰＥＤＯＴなどのポリチオフェニレン誘導体、ポリメチルフェニレンシラン（ＰＭＰＳ）などを用いることができる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子材料や、ルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクドリンなど低分子材料をドープしてもよい。

このような有機ＥＬ素子１１２を有する素子基板１０１は、熱硬化型エポキシ樹脂などを封着部材として用いた封着層１３５を介して封止基板１０２と隙間なく封止されている。

本実施形態の有機ＥＬ装置１００は、上記第１実施形態で説明した吐出装置１０を用いて製造されており、少なくとも発光層がほぼ一定の膜厚と安定した膜形状（断面形状）を有しているため、異なる発光色が得られる機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂにおいてそれぞれ所望の発光特性が得られる。

なお、本実施形態の有機ＥＬ装置１００は、ボトムエミッション型に限定されず、例えば陽極１３１を光反射性の導電材料を用いて形成し、共通電極としての陰極１３４を透明な導電材料を用いて形成して、有機ＥＬ素子１１２の発光を陽極１３１で反射させて、封止基板１０２側から取り出すトップエミッション型の構造としてもよい。また、トップエミッション型とする場合、有機ＥＬ素子１１２の発光色に対応させたカラーフィルターを封止基板１０２側に設ける構成としてもよい。さらには、封止基板１０２側にカラーフィルターを有する場合、有機ＥＬ素子１１２から白色発光が得られる構成としてもよい。

＜有機ＥＬ装置の製造方法＞
次に、本実施形態の有機ＥＬ装置の製造方法について図１８〜図２０を参照して説明する。図１８は有機ＥＬ装置の製造方法を示すフローチャート、図１９（ａ）〜（ｄ）及び図２０（ｅ）〜（ｈ）は有機ＥＬ装置の製造方法を示す概略断面図である。
本実施形態の有機ＥＬ装置１００の製造方法は、上記第１実施形態の吐出装置１０を用いている。すなわち、本発明の機能液の吐出量ばらつきの計測方法と、当該計測方法を適用した機能液の吐出方法を用いている。

図１８に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置１００の製造方法は、隔壁形成工程（ステップＳ１）と、隔壁が形成された基板に表面処理を施す表面処理工程（ステップＳ２）と、正孔注入層形成工程（ステップＳ３）と、中間層形成工程（ステップＳ４）と、発光層形成工程（ステップＳ５）と、陰極形成工程（ステップＳ６）と、有機ＥＬ素子１１２が形成された素子基板１０１と封止基板１０２とを接合する封止基板接着工程（ステップＳ７）とを少なくとも備えている。なお、素子基板１０１上に回路部１１１（図１７参照）を形成する工程や回路部１１１に電気的に接続した陽極１３１を形成する工程は、公知の製造方法を用いればよく、本実施形態では詳細の説明は省略する。したがって、図１９（ａ）〜（ｄ）及び図２０（ｅ）〜（ｈ）では、回路部１１１の図示を省略している。

図１８のステップＳ１は、隔壁形成工程である。ステップＳ１では、図１９（ａ）に示すように、陽極１３１の周囲の一部を覆って陽極１３１ごとを区画するように隔壁１３３を形成する。形成方法としては、例えば、陽極１３１が形成された素子基板１０１の表面に、感光性のフェノール樹脂又はポリイミド樹脂をおよそ１μｍ〜３μｍ程度の厚みで塗布する。塗布方法としては、転写法、スリットコート法などが挙げられる。そして、発光画素１０７の形状に対応したマスクを用いて露光し、現像することにより隔壁１３３を形成する。以降、隔壁１３３により区画された発光画素１０７の領域を機能層形成領域（膜形成領域）Ａと呼ぶ。そして、ステップＳ２へ進む。

図１８のステップＳ２は、表面処理工程である。ステップＳ２では、隔壁１３３が形成された素子基板１０１の表面に親液処理と撥液処理とを施す。まず、酸素を処理ガスとするプラズマ処理を行い、主に無機材料からなる陽極１３１の表面に親液処理を施す。次に、ＣＦ₄などのフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理を行い、有機材料からなる隔壁１３３の表面にフッ素を導入して撥液処理を施す。
なお、撥液性を有する隔壁１３３の形成は、これに限定されず。例えば、隔壁１３３の頭頂部に撥液性材を転写して撥液層を形成したり、上記感光性樹脂自体に撥液性材を含ませて隔壁１３３を形成してもよい。また、その場合、表面処理は、隔壁１３３を形成したときの残渣を取り除く、例えば紫外線を照射してオゾンを発生させるＵＶオゾン処理を採用してもよい。そして、ステップＳ３へ進む。

図１８のステップＳ３は、正孔注入層形成工程である。ステップＳ３では、まず、図１９（ｂ）に示すように、正孔注入層形成材料を含む機能液７０を機能層形成領域Ａに塗布する。機能液７０は、例えば、溶媒としてジエチレングリコールと水（純水）とを含んでおり、正孔注入層形成材料としてＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを重量比で０．５％程度含んだものを用いた。粘度がおよそ２０ｍＰａ・ｓ以下となるように溶媒の割合が調整されている。
機能液７０を塗布する方法としては、第１実施形態において説明した機能液（インク）を吐出ヘッド５０のノズル５２から吐出可能な吐出装置１０を用いる。吐出ヘッド５０とワークＷである素子基板１０１とを対向させ、吐出ヘッド５０から機能液７０を吐出する。吐出された機能液７０は、液滴として親液処理された陽極１３１に着弾して濡れ拡がる。また、乾燥後の正孔注入層の膜厚がおよそ５０ｎｍ〜７０ｎｍとなるように、機能層形成領域Ａの面積に応じた必要量を液滴として吐出した。そして乾燥工程へ進む。

乾燥工程では、素子基板１０１を例えばランプアニールなどの方法で加熱することにより、機能液７０の溶媒成分を乾燥させて除去し、図１９（ｃ）に示すように機能層形成領域Ａの陽極１３１上に正孔注入層１３２ａを形成する。なお、本実施形態では、各機能層形成領域Ａに同一材料からなる正孔注入層１３２ａを形成したが、後に形成される発光層に対応して正孔注入層１３２ａの材料を発光色ごとに変えてもよい。そしてステップＳ４へ進む。

図１８のステップＳ４は、中間層形成工程である。ステップＳ４では、図１９（ｄ）に示すように、中間層形成材料を含む機能液８０を機能層形成領域Ａに塗布する。
機能液８０は、例えば、溶媒としてシクロヘキシルベンゼンを含み、中間層形成材料として、前述したトリフェニルアミン系ポリマーを重量比で０．１％程度含んだものを用いた。粘度はおよそ６ｍＰａ・ｓである。
機能液８０を塗布する方法としては、機能液７０を塗布する場合と同様に、第１実施形態の吐出装置１０を用いる。乾燥後の中間層の膜厚がおよそ１０ｎｍ〜２０ｎｍとなるように、機能層形成領域Ａの面積に応じた必要量を液滴として吐出した。そして乾燥工程へ進む。

乾燥工程では、素子基板１０１を例えばランプアニールなどの方法で加熱することにより、機能液８０の溶媒成分を乾燥させて除去し、図２０（ｅ）に示すように機能層形成領域Ａの正孔注入層１３２ａ上に中間層１３２ｃを形成する。そしてステップＳ５へ進む。

図１８のステップＳ５は、発光層形成工程である。ステップＳ５では、図２０（ｆ）に示すように、発光層形成材料を含む機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂをそれぞれ対応する機能層形成領域Ａに塗布する。
機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂは、例えば、溶媒としてシクロヘキシルベンゼンを含んでおり、発光層形成材料としてＰＦを重量比で０．７％含んだものを用いた。粘度はおよそ１４ｍＰａ・ｓである。
機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂを塗布する方法は、やはり第１実施形態の吐出装置１０を用い、それぞれ異なる吐出ヘッド５０に充填されて吐出される。また、乾燥後の発光層の膜厚がおよそ５０ｎｍ〜１００ｎｍとなるように、機能層形成領域Ａの面積に応じた必要量を液滴として吐出した。そして乾燥工程へ進む。

本実施形態における吐出された機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂの乾燥工程は、一般的な加熱乾燥に比べて溶媒成分を比較的均一に乾燥可能な減圧乾燥法を用いている。機能層形成領域Ａに満遍なく必要量の機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂが塗布されている。したがって、図２０（ｇ）に示すように、乾燥後に形成された発光層１３２ｒ，１３２ｇ，１３２ｂは機能層形成領域Ａごとにほぼ一定の膜厚と安定した膜形状（断面形状）を有する。これによって、発光層１３２ｒ，１３２ｇ，１３２ｂを含む機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂができあがる。そして、ステップＳ６へ進む。

図１８のステップＳ６は、陰極形成工程である。ステップＳ６では、図２０（ｈ）に示すように、隔壁１３３と各機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂとを覆うように陰極１３４を形成する。これにより、発光画素１０７ごとに有機ＥＬ素子１１２が構成される。
陰極１３４の材料としては、アルミニウム（Ａｌ）や銀（Ａｇ）とマグネシウム（Ｍｇ）の合金などが用いられる。機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成してもよい。また、陰極１３４の上にＳｉＯ₂、ＳｉＮなどの保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極１３４の酸化を防止することができる。陰極１３４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法などが挙げられる。特に機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。そして、ステップＳ７へ進む。

図１８のステップＳ７は、封止基板接着工程である。ステップＳ７では、有機ＥＬ素子１１２が形成された素子基板１０１に封着層１３５を塗布して、封止基板１０２と隙間なく封止する（図１７参照）。さらに封止基板１０２の外周領域において水分や酸素などの進入を防ぐ接着層を設けて接着することが望ましい。

以上のような有機ＥＬ装置１００の製造方法によれば、機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂは、上記第１実施形態の吐出装置１０を用いて液相プロセス（インクジェット法）により形成される。したがって、吐出ヘッド５０のノズル５２から吐出される機能液の吐出量ばらつきが精度よく計測され、計測結果に基づいて駆動波形が補正された４つの駆動信号ＣＯＭの中から適切な駆動信号ＣＯＭがノズル５２ごとの圧電素子５９に割り当てられる。これにより、機能液の吐出量ばらつきがある程度の範囲に抑えられる。ゆえに、発光領域１０６の各発光画素１０７において、ほぼ一定の膜厚と安定した膜形状（断面形状）の発光層１３２ｒ，１３２ｇ，１３２ｂを有する機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂが形成される。よって、機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂの膜厚ばらつきに起因した輝度むらが低減され、優れた発光特性すなわち表示品質を有し、見栄えのよいカラー表示が可能な有機ＥＬ装置１００を製造することができる。
なお、上記第１実施形態の吐出装置１０を用いた機能液の吐出方法は、少なくとも発光層形成材料を含む機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂの塗布に適用することで、その効果を得ることができる。

＜電子機器＞
本発明の有機ＥＬ装置の製造方法を用いて製造された有機ＥＬ装置１００は、様々な電子機器の表示部として好適に用いることができる。
電子機器としては、携帯電話機やパーソナルコンピューター、ＰＤＡ、ＰＯＳなどの携帯型情報端末、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、カーナビゲーションシステム、テレビ、ＨＭＤ（ヘッドマウントディスプレイ）、ＨＵＤ（ヘッドアップディスプレイ）などを挙げることができる。
また、有機ＥＬ装置１００は、表示部として用いられるだけでなく、例えば有機ＥＬ素子１１２を白色発光が得られる構成として電子機器の照明装置として用いてもよい。

本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う機能液の吐出量ばらつきの計測方法及び機能液の吐出方法、有機ＥＬ装置の製造方法並びに該有機ＥＬ装置を適用する電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。

（変形例１）メディア１６０に吐出されるほぼ透明な機能液は、必ずしも機能層形成材料を含んでいなくてもよい。機能液における機能層形成材料の含有量がわずかであって、機能層形成材料を含まなくても吐出量ばらつきの計測に影響がないなら、機能液を構成する溶媒を使って吐出量ばらつきを求めてもよい。特に、機能層形成材料が高価な場合には有効である。

（変形例２）上記着弾面積計測機構６０において用いられるメディア１６０は、ピクトリコ社製のグラフィックアーツ透明フィルムに限定されるものではない。用いられる機能液の種類によって、メディア１６０のベースフィルム１６１や受容層１６２を構成すればよい。

（変形例３）上記実施形態の吐出装置１０は、一対のガイドレール２１において、着弾面積計測機構６０の移動台６５をＹ軸方向に移動可能としたが、これに限定されるものではない。メディア１６０をシート状として、移動台２２のステージ５に載置して吐出ヘッド５０の複数のノズル５２から機能液をメディア１６０に向けて吐出する。そして、機能液が着弾したメディア１６０を別に設けた着弾面積計測機構６０の支持テーブル６６上に置いて着弾痕１６５を撮像してもよい。

１０…吐出装置、２０…移動機構、４０…制御部、５０…吐出ヘッド、５２…ノズル、５９…アクチュエーターとしての圧電素子、６０…計測機構としての着弾面積計測機構、６１…照明部、６２…撮像部、９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂ…発光層形成材料を含む機能液、１００…有機ＥＬ装置、１０１…基板としての素子基板、１１２…有機ＥＬ素子、１３２ｒ，１３２ｇ，１３２ｂ…発光層、１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂ…機能層、１３３…隔壁、１６０…メディア、１６２…受容層、Ａ…膜形成領域としての機能層形成領域、Ｗ…ワーク。

Claims (14)

1. 吐出ヘッドの複数のノズルから吐出される機能液の吐出量ばらつきの計測方法であって、
   受容層を有するメディアに対して、前記複数のノズルごとに所定量の前記機能液を複数の液滴として吐出する計測用吐出工程と、
   前記複数のノズルごとに前記受容層に着弾した所定量の前記機能液の着弾面積を計測する計測工程と、を備え
   前記計測用吐出工程は、前記複数の液滴のうち少なくとも１つの液滴の前記受容層における着弾位置が他の液滴の着弾位置に対してわずかにずれるように前記メディアに対して前記複数の液滴を吐出することを特徴とする機能液の吐出量ばらつきの計測方法。
2. 前記機能液が着色材料を含まない透明な溶液であることを特徴とする請求項１に記載の機能液の吐出量ばらつきの計測方法。
3. 前記計測用吐出工程は、前記吐出ヘッドと前記メディアとを前記複数のノズルの配列方向と交差する第１の方向に相対的に移動させる主走査の間に、前記複数のノズルから前記複数の液滴が前記受容層に対して第１の方向にわずかにずれて着弾するように吐出することを特徴とする請求項１または２に記載の機能液の吐出量ばらつきの計測方法。
4. 前記計測用吐出工程は、前記吐出ヘッドと前記メディアとを前記複数のノズルの配列方向と交差する第１の方向に相対的に移動させる主走査と、前記第１の方向に直交する第２の方向に前記複数のノズルを移動させる副走査とを組み合わせて、前記主走査における前記受容層に対する前記複数の液滴の着弾位置を前記第１の方向と前記第２の方向とにわずかにずらして着弾させることを特徴とする請求項１または２に記載の機能液の吐出量ばらつきの計測方法。
5. 前記計測用吐出工程は、前記所定量の前記機能液を複数回の前記主走査に分けて前記前記受容層に対して液滴として吐出することを特徴とする請求項３または４に記載の機能液の吐出量ばらつきの計測方法。
6. 前記計測用吐出工程では、前記複数回の前記主走査のうち少なくとも１回は前記複数のノズルから前記受容層に吐出する前記機能液の液滴の吐出数を変えて前記所定量の前記機能液を吐出し、
   前記計測工程では、前記主走査ごとに前記受容層に着弾した前記機能液の着弾面積を計測することを特徴とする請求項５に記載の機能液の吐出量ばらつきの計測方法。
7. 吐出ヘッドの複数のノズルから複数の液滴として吐出された機能液の吐出量ばらつきを計測する計測機構であって、
   受容層を有するメディアと、
   前記吐出ヘッドと前記メディアとを対向配置させた状態で第１の方向に相対的に移動させる移動機構と、
   撮像部と、
   制御部と、を備え、
   前記制御部は、前記複数の液滴のうち少なくとも１つの液滴の前記受容層における着弾位置が他の液滴の着弾位置に対して前記第１の方向にわずかにずれるように前記吐出ヘッドと前記移動機構とを制御して、前記吐出ヘッドから前記メディアに対して前記複数の液滴を吐出させ、前記複数のノズルごとに前記受容層に着弾した所定量の前記機能液の着弾痕を前記撮像部で撮像させることを特徴とする計測機構。
8. 前記メディアは、透明な前記受容層と、前記受容層を支持する透明な支持体とからなり、
   前記メディアを照明する照明部をさらに備えたことを特徴とする請求項７に記載の計測機構。
9. 複数のノズルを有する吐出ヘッドとワークとを対向配置して、前記吐出ヘッドと前記ワークとを第１の方向に相対移動させる主走査の間に、前記ワークに対して前記吐出ヘッドの前記複数のノズルから機能液を液滴として吐出する吐出装置であって、
   請求項７または８に記載の計測機構を備えたことを特徴とする吐出装置。
10. 複数のノズルを有する吐出ヘッドと、膜形成領域が形成された基板とを対向配置して第１の方向に相対移動させる主走査の間に、前記複数のノズルのうち前記膜形成領域に掛かるノズルから機能性材料を含む機能液を液滴として吐出する機能液の吐出方法であって、
    請求項１乃至６のいずれか一項に記載の機能液の吐出量ばらつきの計測方法を用いて求められた前記複数のノズルごとの吐出量ばらつきに基づいて、前記複数のノズルごとの吐出量ばらつきが小さくなるように前記複数のノズルごとの吐出条件を予め設定された吐出条件に対して補正する工程と、
    補正された前記吐出条件で前記複数のノズルのうち選択されたノズルから前記機能液を吐出する吐出工程とを備えることを特徴とする機能液の吐出方法。
11. 前記吐出ヘッドは前記複数のノズルから前記機能液を液滴として吐出するために前記複数のノズルごとに設けられたアクチュエーターを有し、
    前記吐出条件を補正する工程は、前記アクチュエーターを駆動する条件を補正することを特徴とする請求項１０に記載の機能液の吐出方法。
12. 前記アクチュエーターが圧電素子であって、
    前記吐出条件を補正する工程は、前記圧電素子に印加される電気信号としての駆動波形の電位を補正することを特徴とする請求項１１に記載の機能液の吐出方法。
13. 基板上の複数の膜形成領域のそれぞれに発光層を含む機能層を有する有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、
    請求項１０乃至１２のいずれか一項に記載の機能液の吐出方法を用いて、前記複数の膜形成領域のそれぞれに所定量の前記機能液を塗布する工程と、
    塗布された前記機能液を固化して、前記複数の膜形成領域のそれぞれに前記機能層のうちの１つの有機層を形成する工程と、を備えたことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
14. 前記機能液を塗布する工程は、発光層形成材料を含む前記機能液を塗布することを特徴とする請求項１３に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。