DE102004055287B4

DE102004055287B4 - Vorrichtung zum Ausgeben eines Flüssigkristalls

Info

Publication number: DE102004055287B4
Application number: DE102004055287A
Authority: DE
Inventors: Jae-Gyu Jeong; Sang-Hyun Gyeongsangbuk Kim; Soo-Min Gyeongsangbuk Kwak; Yong-Keun Kwak
Original assignee: LG Display Co Ltd
Current assignee: Top Engineering Co Ltd
Priority date: 2003-11-17
Filing date: 2004-11-16
Publication date: 2011-08-18
Anticipated expiration: 2024-11-17
Also published as: CN1619364A; US7316248B2; JP2005148754A; DE102004055287A1; JP4119418B2; TWI302613B; TW200530663A; US20050126475A1; CN100362399C

Abstract

Flüssigkristall-Ausgabevorrichtung mit:
– einem Behälter (122) zum Aufnehmen eines Flüssigkristallmaterials (107);
– einer Flüssigkristall-Ausgabepumpe (140) zum Ansaugen des Flüssigkristallmaterials (107) und zum Ausgeben desselben,
wobei die Flüssigkristall-Ausgabepumpe (140) Folgendes umfasst:
– einen Zylinder (142),
– einen Kolben (145), der in den Zylinder (142) eingesetzt und an einem Ende mit einer Nut (145a) versehen ist, um durch Drehung und Auf-Ab-Bewegung Flüssigkristallmaterial (107) anzusaugen und auszugeben; und
– eine Saugöffnung (147) und eine Ausgabeöffnung (148) zum Ansaugen und Ausgeben von Flüssigkristallmaterial (107) entsprechend der Bewegung des Kolbens (145);
– einer ersten Verbindungsleitung (126) zum Verbinden des Behälters (122) und der Ausgabepumpe (140); und
– einem Stift (128), der am Ende der ersten Verbindungsleitung (126) installiert ist und dabei in ein am Behälter (122) ausgebildetes Kissen eingeführt ist, wobei das Innere des Stifts (128) hohl ist, um Flüssigkristall des Behälters (122) einzuleiten;
– einer...

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ausgeben eines Flüssigkristalls.
In jüngerer Zeit wurden eine Vielzahl neuer tragbarer elektrischer Vorrichtungen, wie Mobiltelefone, persönliche digitale Assistenten (PDAs) und Notebookcomputer wegen ihrer geringen Größe, ihres geringen Gewichts und ihres energieeffizienten Betriebs entwickelt. Demgemäß wurden auch Flachtafeldisplays entwickelt, wie Flüssigkristalldisplays (LCDs), Plasmadisplaytafeln (PDPs), Feldemissionsdisplays (FEDs) und Vakuumfluoreszenzdisplays (VFDs). Von diesen Flachtafeldisplays werden aktuell LCDs wegen ihres einfachen Ansteuerschemas und ihrer hervorragenden Bildqualität in Massen hergestellt.
Die 1 ist eine Schnittansicht eines LCD gemäß der einschlägigen Technik. In der 1 verfügt ein LCD 1 über ein unteres Substrat 5, ein oberes Substrat 3 und eine dazwischen ausgebildete Flüssigkristallschicht 7. Das untere Substrat 5 ist ein Treibervorrichtungsarray-Substrat, und es verfügt über eine Vielzahl von Pixeln (nicht dargestellt) und eine Treibervorrichtung, wie einen Dünnschichttransistor (TFT), der an jedem Pixel ausgebildet ist. Das obere Substrat 3 ist ein Farbfiltersubstrat, und es enthält eine Farbfilterschicht zum Reproduzieren echter Farbe. Außerdem sind auf dem unteren Substrat 5 und dem oberen Substrat 3 eine Pixelelektrode bzw. eine gemeinsame Elektrode ausgebildet. Sowohl auf dem unteren Substrat 5 als auch dem oberen Substrat 3 ist eine Ausrichtungsschicht ausgebildet, um Flüssigkristallmoleküle der Flüssigkristallschicht 7 auszurichten.
Das untere Substrat 5 und das obere Substrat 3 sind durch ein Abdichtmittel 9 entlang ihrem Umfang aneinander befestigt, und die Flüssigkristallschicht 7 ist durch dieses eingegrenzt. Die Flüssigkristallmoleküle der Flüssigkristallschicht 7 werden durch die auf dem unteren Substrat 5 ausgebildeten Treibervorrichtungen umorientiert, um dadurch die Menge des durch die Flüssigkristallschicht 7 gestrahlten Lichts zu steuern, wodurch ein Bild angezeigt wird.
Die 2 ist ein Flussdiagramm zu einem Herstellverfahren für ein LCD gemäß der einschlägigen Technik. Gemäß der 2 verfügt ein bekanntes Herstellverfahren über drei Unterprozesse zum Herstellen eines LCD: einen Prozess zum Herstellen eines Arrays von Treibervorrichtungen auf dem unteren Substrat 5; einen Prozess zum Herstellen des Farbfilters auf dem oberen Substrat 3; und einen Zellenprozess.
In einem Schritt S101 werden auf dem unteren Substrat 5 eine Vielzahl von Gateleitungen und Datenleitungen hergestellt, um im Prozess zur Herstellung des Arrays von Treibervorrichtungen Pixelgebiete auszubilden, wobei in jedem Pixelgebiet ein TFT hergestellt wird, der jeweils mit einer Gateleitung und einer Datenleitung verbunden ist. Außerdem wird bei diesem Prozess eine Pixelelektrode hergestellt, die mit dem TFT verbunden ist, um die Flüssigkristallschicht entsprechend einem über diesen angelegten Signal anzusteuern.
In einem Schritt S104 werden Farbfilterschichten für R, G und B zum Wiedergeben von Farbe sowie eine gemeinsame Elektrode durch den Farbfilterprozess auf dem oberen Substrat 3 hergestellt.
In Schritten S102 und S105 werden auf dem unteren Substrat 5 und dem oberen Substrat 3 Ausrichtungsschichten hergestellt, die dann individuell gerieben werden, um für eine Oberflächenverankerung (d. h. einen Vorkippwinkel und eine Orientierungsrichtung) der Flüssigkristallmoleküle der Flüssigkristallschicht 7 zu sorgen.
In einem Schritt S103 werden Abstandshalter auf dem unteren Substrat 5 verteilt, um zwischen diesem und dem oberen Substrat 3 einen gleichmäßigen Zellenzwischenraum aufrecht erhalten zu können.
In einem Schritt S106 wird entlang Außenabschnitten des oberen Substrats 3 ein Abdichtmittel aufgedruckt.
In einem Schritt S107 werden das untere Substrat 5 und das obere Substrat 3 durch Druckausübung zusammengebaut.
Das untere Substrat 5 und das obere Substrat 3 bestehen jeweils aus Glas, und sie enthalten eine Vielzahl von Tafel-Einheitsgebieten, in denen jeweils eine Treibervorrichtung und eine Farbfilterschicht ausgebildet sind.
In einem Schritt S108 werden das obere und das untere Glassubstrat 5 und 3, die zusammengebaut sind, in Tafeleinheiten zerschnitten.
In einem Schritt S109 wird ein Flüssigkristallmaterial in den zwischen dem oberen und dem unteren Substrat 5 und 3 der Tafeleinheiten gebildeten Zwischenraum durch ein Flüssigkristalleinspritzloch eingefüllt, das anschließend verschlossen wird.
In einem Schritt S110 wird die gefüllte und abgedichtete Tafeleinheit getestet.
Die 3 ist eine schematische Ansicht eines Flüssigkristall-Einfüllsystems zum Herstellen eines LCD gemäß der einschlägigen Technik. Gemäß der 3 wird ein Behälter 12, in dem ein Flüssigkristallmaterial 14 enthalten ist, in einer Vakuumkammer 10 platziert, und die LCD-Tafel 1 wird an der Oberseite des Behälters 12 platziert. Dann wird die Vakuumkammer 10 mit einer Vakuumpumpe (nicht dargestellt) verbunden, um in ihr einen vorbestimmten Unterdruck aufrecht zu erhalten. Außerdem ist in der Vakuumkammer 10 eine Verstellvorrichtung (nicht dargestellt) für LCD-Tafeln vorhanden, um die LCD-Tafel 1 von der Oberseite des Behälters 12 zur Oberfläche des Flüssigkristallmaterials 14 zu bewegen, damit ein Einfüllloch 16 der LCD-Tafel 1 mit dem Flüssigkristallmaterial 14 in Kontakt gelangt. Daher wird dieses Verfahren allgemein als Flüssigkristall-Taucheinfüllverfahren bezeichnet.
Wenn der Unterdruck in der Vakuumkammer 10 durch Einlassen von Stickstoff (N₂) in sie erhöht wird, während das Einfüllloch 16 der LCD-Tafel 1 mit der Oberfläche des Flüssigkristallmaterials 14 in Kontakt steht, wird das Flüssigkristallmaterial 14 aufgrund der Druckdifferenz zwischen dem Unterdruck innerhalb der LCD-Tafel 1 und dem ansteigenden Druck innerhalb der Vakuumkammer 10 durch das Einfüllloch 16 in die LCD-Tafel 1 eingefüllt. Nachdem das Flüssigkristallmaterial 14 die LCD-Tafel 1 vollständig aufgefüllt hat, wird das Einfüllloch 16 mit einem Dichtmittel verschlossen, um das Flüssigkristallmaterial 14 dicht innerhalb der LCD-Tafel 1 einzuschließen. Demgemäß wird dieses Verfahren als Vakuumeinfüllverfahren bezeichnet.
Jedoch bestehen sowohl beim Flüssigkristall-Taucheinfüllverfahren als auch beim Vakuumeinfüllverfahren verschiedene Probleme.
Erstens ist die Gesamtzeit zum Einfüllen des Flüssigkristallmaterials 14 in die LCD-Tafel 1 relativ lang. Im Allgemeinen ist die Zwischenraumdicke zwischen dem Substrat mit einem Array von Treibervorrichtung und dem Farbfiltersubstrat in der LCD-Tafel 1 relativ klein, d. h. einige Mikrometer. Demgemäß wird nur eine relativ kleine Menge an Flüssigkristallmaterial 14 pro Zeiteinheit in die LCD-Tafel 1 eingefüllt. Zum Beispiel benötigt es ungefähr 8 Stunden, um Flüssigkristallmaterial 14 vollständig in eine LCD-Tafel 1 von 15 Zoll einzufüllen, wodurch die Herstelleffizienz verringert ist.
Zweitens nimmt der Verbrauch von Flüssigkristallmaterial 14 beim Flüssigkristall-Einfüllverfahren zu. Tatsächlich wird nur eine kleine Menge an Flüssigkristallmaterial 14 im Behälter 12 tatsächlich in die LCD-Tafel 1 eingefüllt. Demgemäß ist das nicht genutzte Flüssigkristallmaterial 14 während des Einsetzens der LCD-Tafel 1 in die Vakuumkammer 10 der Atmosphäre oder anderen Gasen ausgesetzt, wodurch es verunreinigt wird. So muss jegliches verbliebendes Flüssigkristallmaterial 14 nach dem Befüllen mehrerer LCD-Tafeln 1 weggeworfen werden, was die Herstellkosten erhöht.
Um die Probleme bei den genannten herkömmlichen Flüssigkristall-Einfüllverfahren zu lösen, wurde vor kurzem ein Flüssigkristall-Ausgabeverfahren eingeführt. Dieses Flüssigkristall-Ausgabeverfahren ist ein Verfahren zum Herstellen einer Flüssigkristallschicht durch direktes Ausgeben des Flüssigkristallmaterials auf die Substrate und durch Verteilen des aufgetropften Flüssigkristallmaterials über die gesamte Tafel durch Zusammendrücken der Substrate während der Zusammenbauprozedur derselben, anstatt dass das Flüssigkristallmaterial durch die Druckdifferenz zwischen der Innen- und der Außenseite einer Tafel in die leere Tafel eingepresst würde. Bei diesem Flüssigkristall-Ausgabeverfahren wird das Flüssigkristallmaterial direkt innerhalb einer kurzen Zeitperiode auf ein Substrat getropft, so dass eine Flüssigkristallschicht in einem LCD großer Fläche schnell hergestellt werden kann. Außerdem kann der Verbrauch an Flüssigkristallmaterial aufgrund des direkten Ausgebens des Flüssigkristallmaterials auf die benötigte Menge minimiert werden, weswegen die Herstellkosten gesenkt werden können.
Ein Beispiel hierfür ist aus der US 2003/0155373 A1 bekannt.
Die nachveröffentlichte DE 10 2004 030 135 A1 mit älterem Zeitrang beschreibt ein Flüssigkristall-Ausgabesystem sowie ein Verfahren zum Ausgeben von Flüssigkristallmaterial unter Verwendung desselben. Hierbei umfasst eine Flüssigkristall-Ausgabevorrichtung einen Flüssigkristallmaterial-Behälter, eine Flüssigkristall-Ausgabepumpe und eine Düse. Die Flüssigkristall-Ausgabepumpe umfasst hierbei einen Zylinder, einen in den Zylinder eingesetzten Kolben mit einer Nut in einem bestimmten Bereich eines unteren Teils des Kolbens zum Ansaugen und Ausgeben von Flüssigkristallmaterial durch Drehung und Auf-/Ab-Bewegung, und eine Ansaugöffnung sowie eine Ausgabeöffnung zum Ansaugen und Ausgeben von Flüssigkristallmaterial entsprechend der Bewegung des Kolbens.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Ausgeben von Flüssigkristall zu schaffen, mit der es möglich ist, eine genaue Menge an sauberem Flüssigkristall auszugeben. Diese Aufgabe ist durch die Vorrichtung gemäß dem beigefügten unabhängigen Anspruch 1 gelöst.
Die vorstehenden und andere Aufgaben, Merkmale, Gesichtspunkte und Vorteile der Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung derselben in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen besser ersichtlich werden.
Die beigefügten Zeichnungen, die enthalten sind, um für ein weiteres Verständnis der Erfindung zu sorgen, veranschaulichen Ausführungsformen der Erfindung, und sie dienen gemeinsam mit der Beschreibung dazu, die Prinzipien der Erfindung zu erläutern.
1 ist eine Schnittansicht eines LCD gemäß der einschlägigen Technik;
2 ist ein Flussdiagramm zu einem Herstellverfahren für ein LCD gemäß der einschlägigen Technik;
3 ist eine schematische Ansicht eines Flüssigkristall-Einfüllsystems zum Herstellen eines LCD gemäß der einschlägigen Technik;
4 ist eine Schnittansicht eines mit einer Flüssigkristall-Ausgabevorrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung hergestellten LCD;
5 ist ein Flussdiagramm eines Herstellverfahrens für ein LCD mit einer Flüssigkristall-Ausgabevorrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung;
6 ist eine Ansicht zum Veranschaulichen eines Grundkonzepts eines Flüssigkristall-Ausgabeverfahrens mit einer Flüssigkristall-Ausgabevorrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung;
7 ist eine perspektivische Ansicht eines Flüssigkristallspenders gemäß einer Ausführungsform der Erfindung;
8 ist eine perspektivische Ansicht des Flüssigkristallspenders der 7 in auseinandergebautem Zustand;
9A ist eine perspektivische Ansicht einer Flüssigkristall-Ausgabepumpe beim Flüssigkristallspender gemäß der 7;
9B ist eine perspektivische Ansicht der Flüssigkristall-Ausgabepumpe der 9A in auseinandergebautem Zustand;
10 ist eine Ansicht, die einen Zustand zeigt, bei dem die genannte Flüssigkristall-Ausgabepumpe an einer Befestigungseinheit befestigt ist.
11A bis 11D sind Betriebsansichten der genannten Flüssigkristall-Ausgabepumpe;
12 ist eine Ansicht der genannten Flüssigkristall-Ausgabepumpe, deren Befestigungswinkel vergrößert wurde;
13 ist eine Ansicht, die einen Zustand zeigt, bei dem sich Flüssigkristall an der Oberfläche einer Düse angehäuft hat;
14 ist eine Ansicht, die ein Steuerungssystem eines Flüssigkristallspenders gemäß einer Ausführungsform der Erfindung zeigt;
15 ist eine Ansicht, die eine Reinigungseinrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung zeigt; und
16 ist ein Flussdiagramm zum Veranschaulichen eines Flüssigkristall-Ausgabeverfahrens mit einer Flüssigkristall-Ausgabevorrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung.
Nun wird detailliert auf die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung Bezug genommen, zu denen in den beigefügten Zeichnungen Beispiele veranschaulicht sind.
Die 4 ist eine Ansicht zum Veranschaulichen eines Grundkonzepts eines Flüssigkristall-Ausgabeverfahrens mit einer Flüssigkristall-Ausgabevorrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung. Gemäß der 4 kann Flüssigkristallmaterial 107 auf ein unteres Substrat 105 mit einer Treibervorrichtung aufgetropft werden, bevor ein oberes Substrat 103 mit einem Farbfilter darauf gelegt wird. Alternativ kann das Flüssigkristallmaterial 107 auf das obere Substrat 103 aufgetropft werden, auf dem das Farbfilter ausgebildet ist. So kann das Flüssigkristallmaterial 107 z. B. entweder auf einem TFT-Substrat oder einem Farbfilter(CF = Colour Filter)-Substrat hergestellt werden.
Entlang dem Außenumfang des oberen Substrats 103 kann ein Dichtmittel 109 aufgetragen werden. Dann können das obere Substrat 103 und das untere Substrat 105 dadurch zusammengebaut werden, dass sie zusammengedrückt werden, wodurch eine LCD-Tafel 101 gebildet wird. Demgemäß können sich die Tropfen des Flüssigkristallmaterials 107 zwischen dem oberen und dem unteren Substrat 103 und 105 durch den auf diese ausgeübten Druck ausbreiten, so dass sich zwischen diesen Substraten eine Flüssigkristallschicht gleichmäßiger Dicke ausbildet. Bei der beschriebenen Ausführungsform wird das Flüssigkristallmaterial 107 auf das untere Substrat 103 aufgetropft, bevor das obere Substrat 105 mit diesem zusammengebaut wird, um eine LCD-Tafel 101 herzustellen.
In einem Schritt S201 des in der 5 veranschaulichten Flüssigkristall-Ausgabeverfahrens mit einer Flüssigkristall-Ausgabevorrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung wird eine Treibervorrichtung, wie ein TFT, unter Verwendung eines TFT-Arrayprozesses auf dem oberen Substrat hergestellt.
In einem Schritt S204 wird auf dem unteren Substrat 105 unter Verwendung eines Farbfilterprozesses eine Farbfilterschicht hergestellt. Der TFT-Arrayprozess und der Farbfilterprozess entsprechen im Wesentlichen den bekannten derartigen Prozessen, und sie werden vorzugsweise an Glassubstraten mit mehreren Tafeleinheiten ausgeführt. Hierbei können das obere und das untere Substrat jeweils aus einer Glasplatte mit einer Fläche von ungefähr 1000 × 1200 mm² oder mehr bestehen. Es können jedoch auch Glassubstrate mit kleineren Flächen verwendet werden.
In Schritten S202 und S205 werden auf dem oberen bzw. unteren Substrat Ausrichtungsschichten hergestellt und gerieben.
In einem Schritt S203 wird Flüssigkristallmaterial 107 auf das untere Substrat 105 einer LCD-Tafeleinheit aufgetropft.
In einem Schritt S206 wird ein Abdichtmittel 109 entlang dem Außenumfang einer LCD-Tafeleinheit des oberen Substrats aufgedruckt.
In einem Schritt S207 werden das obere und das untere Substrat so angebracht, dass sie einander zugewandt sind, und sie werden zusammengedrückt, damit sie unter Verwendung des Abdichtmittels miteinander verbunden werden. Dabei breitet sich das eingetropfte Flüssigkristallmaterial zwischen dem oberen und dem unteren Substrat sowie dem Abdichtmittel aus.
In einem Schritt S208 werden das obere und das untere Substrat im zusammengebauten Zustand zu mehreren LCD-Tafeleinheiten zerschnitten.
In einem S209 werden die LCD-Tafeleinheiten getestet.
Das anhand der 5 erläuterte Flüssigkristall-Ausgabeverfahren unterscheidet sich von dem anhand der 2 erläuterten bekannten Flüssigkristall-Einfüllverfahren dadurch, dass der Flüssigkristall nicht im Vakuum eingefüllt wird, sondern durch einen Spender ausgegeben wird, und es unterscheidet sich hinsichtlich der Bearbeitungszeit, insbesondere bei Glassubstraten mit großer Fläche. Beim LCD-Herstellverfahren gemäß der 2 wird ein Flüssigkristall durch ein Einfüllloch eingefüllt, das anschließend durch ein Abdichtmittel abgedichtet wird. Jedoch wird beim der 5 gemäßen Flüssigkristall-Ausgabeverfahren das Flüssigkristallmaterial direkt auf ein Substrat aufgetropft, so dass kein Abdichtprozess für ein Einfüllloch erforderlich ist. Beim anhand der 2 erläuterten bekannten LCD-Herstellverfahren steht, was jedoch nicht dargestellt ist, das Substrat beim Einfüllen von Flüssigkristall mit diesem in Kontakt, so dass die Außenseite der Tafel durch den Flüssigkristall verschmutzt wird, so dass ein Prozess zum Reinigen des verschmutzten Substrats erforderlich ist. Jedoch wird beim der 5 gemäßen LCD-Herstellverfahren das Flüssigkristallmaterial direkt auf das Substrat getropft, so dass die Tafel nicht durch Flüssigkristall verschmutzt wird, wodurch kein Reinigungsprozess erforderlich ist. Das der 5 gemäße Flüssigkristall-Ausgabeverfahren ist einfacher als das bekannte LCD-Herstellverfahren mit Einfüllung eines Flüssigkristallmaterials, so dass erhöhte Herstelleffizienz und erhöhte Ausbeute erzielt werden.
Beim der 5 gemäßen Flüssigkristall-Ausgabeverfahren beeinflussen die Ausgabeposition von Flüssigkristall sowie die Ausgabemenge desselben die Ausbildung einer Flüssigkristallschicht mit gewünschter Dicke am stärksten. Insbesondere sind, da die Dicke einer Flüssigkristallschicht in engem Zusammenhang mit dem Zwischenraum einer Flüssigkristalltafel steht, eine genaue Ausgabeposition des Flüssigkristallmaterials und eine genaue Menge desselben sehr wesentlich, um eine Beeinträchtigung einer Flüssigkristalltafel zu vermeiden. Um eine genaue Flüssigkristallmenge an einer genauen Position aufzutropfen, ist durch die Erfindung ein Flüssigkristallspender geschaffen.
Die 6 ist eine Ansicht zum Veranschaulichen eines Grundkonzepts eines Flüssigkristall-Ausgabeverfahrens zum Ausgeben von Flüssigkristallmaterial 107 auf ein Substrat 105 großer Fläche unter Verwendung eines über diesem angeordneten Flüssigkristallspenders 120. Im Flüssigkristallspender 120 befindet sich Flüssigkristallmaterial, was jedoch nicht dargestellt ist, um mit einer bestimmten Menge auf das Substrat ausgegeben zu werden.
Wenn das Flüssigkristallmaterial 107 auf das aus Glas bestehende Substrat 105 aufgetropft wird, wird das letztere mit einer vorbestimmten Geschwindigkeit entlang Richtungen x und y verstellt, während der Flüssigkristallspender 120 das Flüssigkristallmaterial mit vorbestimmten Zeitintervallen ausgibt. Demgemäß ist das auf das Substrat 105 ausgegebene Flüssigkristallmaterial mit vorbestimmten Intervallen entlang den Richtungen x und y angeordnet. Alternativ kann das Substrat 105 fixiert sein, während sich der Flüssigkristallspender 120 entlang den Richtungen x und y bewegt, um das Flüssigkristallmaterial 107 mit vorbestimmten Intervallen aufzutropfen. Jedoch kann die Form des Flüssigkristallmaterials 107 durch irgendwelche Schwingungen des Flüssigkristallspenders 120 geändert werden, wodurch Fehler hinsichtlich der Ausgabeposition und der Ausgabemenge des Flüssigkristallmaterials 107 auftreten können. Daher ist es bevorzugt, dass der Flüssigkristallspender 120 fixiert ist und das Substrat 105 bewegt wird.
Gemäß den 7 und 8 verfügt der Flüssigkristallspender 120 über einen zylindrischen Flüssigkristallmaterialbehälter 122, der in einem Gehäuse 123 untergebracht ist. Der Flüssigkristallmaterialbehälter 122 besteht aus Polyethylen, und in ihm ist das Flüssigkristallmaterial untergebracht. Das Gehäuse 123 besteht aus rostfreiem Stahl, und es nimmt den Flüssigkristallmaterialbehälter 122 auf. Da Polyethylen über hohe Plastizität verfügt, kann damit leicht ein Behälter gewünschter Form hergestellt werden. Auch reagiert Polyethylen nicht mit dem in ihm enthaltenen Flüssigkristallmaterial 107, so dass es gut als Flüssigkristallmaterialbehälter 122 verwendbar ist. Jedoch verfügt Polyethylen über geringe Festigkeit, so dass es bei Einwirkung von Kräften leicht verformt werden kann. Bei einer solchen Verformung kann das Flüssigkristallmaterial 107 nicht genau auf ein Substrat ausgegeben werden. Daher wird der Flüssigkristallmaterialbehälter 122 in das Gehäuse 123 aus rostfreiem Stahl mit hoher Festigkeit eingesetzt.
Obwohl es nicht dargestellt ist, kann im oberen Teil des Flüssigkristallmaterialbehälters 122 eine Gaszuführleitung vorhanden sein, durch die ein Inertgas wie Stickstoff zugeführt werden kann. Das Gas wird in diejenigen Teile des Flüssigkristallmaterialbehälters 122 geleitet, die nicht von Flüssigkristallmaterial 107 eingenommen werden. Dadurch drückt das Gas auf das Flüssigkristallmaterial 107, und es sorgt dafür, dass dieses auf ein Substrat ausgegeben werden kann.
Der Flüssigkristallmaterialbehälter 122 kann aus einem sich nicht verformenden Material wie rostfreiem Stahl bestehen. Dann ist das Gehäuse 123 nicht erforderlich, so dass die Herstellkosten für den Flüssigkristallspender 120 verringert sind. Das Innere des Flüssigkristallmaterialbehälters 122 kann mit einem Fluorharz beschichtet sein, um dadurch zu verhindern, dass das in ihm enthaltene Flüssigkristallmaterial 107 mit den Seitenwänden reagiert.
In einem unteren Teil des Flüssigkristallmaterialbehälters 122 ist eine Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 angeordnet, die dazu dient, Flüssigkristallmaterial aus dem Flüssigkristallmaterialbehälter 122 mit bestimmter Menge auf ein Substrat auszugeben. Die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 ist mit einer Flüssigkristall-Saugöffnung 147 verbunden, die mit dem Flüssigkristallmaterialbehälter 122 verbunden ist, um Flüssigkristallmaterial anzusaugen, wenn die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 betätigt wird. An der Seite entgegengesetzt zur Flüssigkristall-Saugöffnung 147 ist eine Flüssigkristall-Ausgabeöffnung 148 ausgebildet, um Flüssigkristallmaterial entsprechend dem Betrieb der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 auszugeben.
Wie es in der 8 dargestellt ist, ist eine erste Verbindungsleitung 146 mit der Flüssigkristall-Saugöffnung 147 verbunden. Obwohl gemäß der Zeichnung die erste Verbindungsleitung 126 durch Einsetzen in die Flüssigkristall-Saugöffnung 147 mit dieser verbunden ist, kann auch eine Verbindung über eine Kopplungseinrichtung wie eine Schraube vorhanden sein. An einer Seite der ersten Verbindungsleitung 126 ist ein Stift 128 wie eine Injektionsnadel, deren Inneres hohl ist, vorhanden. In einem unteren Teil des Flüssigkristallmaterialbehälters 122, wo Flüssigkristallmaterial an die erste Verbindungsleitung 126 ausgegeben wird, ist ein Kissen (nicht dargestellt) vorhanden, das aus einem Material mit guten Kontraktionseigenschaften und hermetischen Abdichtfähigkeiten besteht, wie einem Material der Gruppe von Silicon- und Butylkautschukmaterialien. Der Stift 128 ist durch das Kissen in den Flüssigkristallmaterialbehälter 122 eingeführt, wodurch das Flüssigkristallmaterial 107 in diesem in die Flüssigkristall-Saugöffnung 147 eingelassen wird. Wenn der Stift 128 in den Flüssigkristallmaterialbehälter 122 eingeführt wird, wird das Kissen durch ihn stark zusammengedrückt, wodurch ein Auslecken von Flüssigkristallmaterial 107 in den Einführbereich des Stifts 128 verhindert ist. Da die Flüssigkristall-Saugöffnung 147 und der Flüssigkristallmaterialbehälter 122 durch den Stift und das Kissen miteinander verbunden sind, ist die Verbindungsstruktur einfach, und das Anbringen/Abnehmen ist vereinfacht.
Die Flüssigkristall-Saugöffnung 147 und die erste Verbindungsleitung 126 können als Einheit ausgebildet sein. In diesem Fall ist der Stift 128 an der Flüssigkristall-Saugöffnung 147 ausgebildet, und er ist direkt in den Flüssigkristallmaterialbehälter 122 eingeführt, um Flüssigkristallmaterial auszugeben, so dass eine einfache Konstruktion vorliegt.
Im unteren Teil der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 ist eine Düse 150 ausgebildet. Die Düse 150 ist über eine zweite Verbindungsleitung 160 mit der Flüssigkristall-Ausgabeöffnung 148 der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 verbunden, um dadurch von dieser ausgegebenes Flüssigkristallmaterial 107 auf das Substrat auszugeben.
Die zweite Verbindungsleitung 160 kann aus einem undurchsichtigen Material bestehen. Jedoch besteht sie wegen der folgenden Gründe vorzugsweise aus einem transparenten Material.
Wenn Flüssigkristallmaterial 107 ausgegeben wird, ist Dampf in diesem enthalten, und damit kann die Ausgabemenge auf das Substrat nicht genau kontrolliert werden. Daher muss der Dampf beim Ausgeben von Flüssigkristallmaterial entfernt werden. Der Dampf ist bereits im Flüssigkristallmaterial 107 enthalten, das im Flüssigkristallmaterialbehälter 122 aufzunehmen ist. Selbst wenn versucht wird, durch eine Dampfentziehvorrichtung dem Flüssigkristallmaterial 107 Dampf zu entziehen, gelingt dies nicht vollständig. Auch kann Dampf dann erzeugt werden, wenn Flüssigkristallmaterial 107 aus dem Flüssigkristallmaterialbehälter 122 in die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 eingeleitet wird. So ist es unmöglich, den im Flüssigkristallmaterial 107 enthaltenen Dampf vollständig zu beseitigen. Daher besteht das beste Verfahren zum Entfernen von Dampf darin, den Betrieb des Flüssigkristallspenders dann zu stoppen, wenn Dampf auftritt.
Der Grund, weswegen die zweite Verbindungsleitung 160 vorzugsweise aus einem transparenten Material besteht, ist derjenige, dass die Herstellung eines beeinträchtigten LCD dadurch verhindert wird, dass auf einfache Weise Dampf erkannt werden kann, der im Flüssigkristallmaterialbehälter 122 enthalten ist oder in ihm erzeugt wird. Der Dampf ist mit dem bloßen Auge erkennbar, aber er kann auch automatisch durch einen ersten Sensor 162 erkannt werden, wie einen Optokoppler, der zu beiden Seiten der zweiten Verbindungsleitung 160 angeordnet ist, wodurch es sicherer möglich ist, beeinträchtigte LCDs zu vermeiden.
Zwischen der zweiten Verbindungsleitung 160 und der Flüssigkristall-Ausgabeöffnung 148 der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 ist ein Filter 173 zum Entfernen von Teilchen im Flüssigkristall angebracht. Die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 saugt Flüssigkristall durch die Flüssigkristall-Saugöffnung 147 an und gibt ihn über die Flüssigkristall-Ausgabeöffnung 148 aus, wenn sich ein Kolben in einem Zylinder auf und ab bewegt und verdreht. Daher werden, wenn die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 betrieben wird, durch Reibung zwischen dem Kolben und dem Zylinder Teilchen erzeugt. Wenn die Teilchen gemeinsam mit Flüssigkristallmaterial auf einem Substrat verteilt werden, wird ein beeinträchtigtes LCD hergestellt. Der Filter 173 entfernt Teilchen, wie sie durch den Betrieb der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 erzeugt werden, so dass nur gefiltertes Flüssigkristallmaterial auf ein Substrat ausgegeben wird. Der Filter 173 kann auch bereits in das Flüssigkristallmaterial eingemischte Teilchen entfernen.
Wie oben angegeben, ist der Filter 173 zwischen der zweiten Verbindungsleitung 160 und der Flüssigkristall-Ausgabeöffnung 148 der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 positioniert, jedoch kann er auch an der zweiten Verbindungsleitung 160 oder an der Flüssigkristall-Ausgabeöffnung 148 der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 installiert sein. Der Filter 173 muss nicht an irgendeiner speziellen Position installiert sein. Wie oben angegeben, entfernt der Filter 173 nicht nur während des Betriebs der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 erzeugte Teilchen, sondern auch Teilchen, die bereits in das Flüssigkristallmaterial eingemischt sind. Daher kann der Filter 173 am Vorderende der Saugöffnung 147 der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 installiert werden, oder er kann an der Düse 150 zum Ausgeben von Flüssigkristall auf ein Substrat installiert werden.
Der Filter 173 kann einstückig an der zweiten Verbindungsleitung 160 oder der Saugöffnung 147 und der Ausgabeöffnung 148 der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 ausgebildet werden, oder er kann getrennt installiert werden. Wenn der Filter 173 getrennt an der zweiten Verbindungsleitung 160 oder der Saugöffnung 147 und der Ausgabeöffnung 148 der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 installiert wird, wird er periodisch gereinigt, so dass er semipermanent verwendet wird.
Der Filter 173 kann für einmaligen Gebrauch getrennt oder einstückig mit einer Düse ausgebildet werden. Wenn der Filter 173 für einmaligen Gebrauch einstückig mit der Düse ausgebildet wird, wird er weggeworfen, wenn die Düse weggeworfen wird, nachdem eine bestimmte Anzahl von Flüssigkristall-Ausgabevorgängen ausgeführt wurde.
Die Düse 150, in die der ausgegebene Flüssigkristall durch die zweite Verbindungsleitung 160 eingegeben wird, ist an ihren beiden Seitenflächen mit einer Schutzeinheit 152 versehen, um sie gegen äußere Kräfte usw. zu schützen.
Die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 kann in ein rotierendes Element 157 eingesetzt werden, das an einer Befestigungseinheit 155 befestigt ist. Dieses rotierende Element 157 wird mit einem ersten Motor 131 verbunden. Wenn der erste Motor 131 betrieben wird, dreht sich das rotierende Element 157, und die an ihm angebrachte Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 wird betrieben.
Die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 steht mit einer Seite eines stabförmigen Flüssigkristallmenge-Steuerelements 134 in Kontakt. An der anderen Seite desselben ist ein Loch ausgebildet, in das eine Welle 136 eingeführt ist. Am Umfang des Lochs des Flüssigkristallmenge-Steuerelements 134 und an der Welle 136 ist eine Schraube vorhanden, so dass diese zwei Teile miteinander verschraubt sind. Ein Ende der Welle 136 ist mit einem zweiten Motor 133 verbunden, und ihr anderes Ende ist mit einem Steuerhebel 137 verbunden.
Die Ausgabemenge des Flüssigkristallmaterials aus dem Flüssigkristallmaterialbehälter 122 durch die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 wird abhängig vom Befestigungswinkel derselben am rotierenden Element 157 variiert. D. h., dass die Flüssigkristallmenge der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 abhängig vom Winkel variiert, mit dem sie am rotierenden Element 157 befestigt ist. Wenn der mit der Welle 136 verbundene zweite Motor 133 betrieben (automatisch angesteuert) wird oder wenn der Steuerhebel 137 betätigt wird (von Hand eingestellt wird), wird die Welle 136 gedreht. Demgemäß bewegt sich ein Ende des Flüssigkristallmenge-Steuerelements 134, das mit der Welle 136 verschraubt ist, entlang der Welle 136 vor und zurück (lineare Richtung). Wenn sich ein Ende des Flüssigkristallmenge-Steuerelements 134 bewegt, wird eine auf die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 wirkende Kraft verändert, wodurch sich der Befestigungswinkel derselben verändert.
Wie oben angegeben, betreibt der erste Motor 131 die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140, um so Flüssigkristallmaterial aus dem Flüssigkristallmaterialbehälter 122 auszugeben und auf ein Substrat zu tropfen. Auch steuert der zweite Motor 133 den Befestigungswinkel der am rotierenden Element 157 befestigten Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140, um so die von dieser ausgegebene Menge an Flüssigkristallmaterial einzustellen.
Die einzelne Ausgabemenge von durch die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 auf ein Substrat aufgetropftem Flüssigkristallmaterial ist sehr klein, und dadurch ist auch die durch den zweiten Motor 133 gesteuerte Änderungsmenge der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 winzig. Demgemäß muss, um die Ausgabemenge der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 zu steuern, der Neigungswinkel derselben sehr fein eingestellt werden. Für diese Feineinstellung wird als zweiter Motor 133 ein durch Eingangsimpulse betriebener Schrittmotor verwendet.
Gemäß den 9A und 9B verfügt die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 über Folgendes: ein Gehäuse 141 mit der Flüssigkristall-Saugöffnung 147 und der Flüssigkristall-Ausgabeöffnung 148; eine Kappe 144 mit einer Öffnung in ihrem oberen Teil, die mit dem Gehäuse 141 verbunden ist; einen in das Gehäuse 141 eingesetzten Zylinder 142 zum Ansaugen von Flüssigkristall; eine Abdichteinrichtung 143 zum Abdichten des Zylinders 142; einen O-Ring 144a, der über der Kappe 144 positioniert ist, um ein Auslecken von Flüssigkristall zu verhindern; und einen Kolben 145, der durch die Öffnung in der Kappe 144 in den Zylinder 142 eingesetzt ist und nach oben und unten bewegt und gedreht wird, um Flüssigkristallmaterial 107 durch die Flüssigkristall-Saugöffnung 147 anzusaugen und durch die Flüssigkristall-Ausgabeöffnung 148 auszugeben. Über dem Kolben 145 ist ein am rotierenden Element 157 befestigter Kopf 146a installiert, an dem wiederum ein Stab 146b installiert ist. Der Stab 146b ist in ein Loch (nicht dargestellt) des rotierenden Elements 157 eingeführt und in diesem befestigt, wodurch sich der Kolben 145 dreht, wenn das rotierende Element 157 durch die Kraft des ersten Motors 131 gedreht wird.
Gemäß der 9B ist an einem Ende des Kolbens 145 eine Nut 145a ausgebildet, die über eine Fläche verfügt, die ungefähr 1/4 (oder weniger) der Schnittfläche der Kreisform des Kolbens 145 entspricht. Die Nut 145a öffnet und schließt die Flüssigkristall-Saugöffnung 147 und die Flüssigkristall-Ausgabeöffnung 148, wenn sich der Kolben 145 dreht (d. h., wenn er sich nach oben und unten bewegt), wodurch Flüssigkristallmaterial durch die Flüssigkristall-Saugöffnung 147 angesaugt und durch die Flüssigkristall-Ausgabeöffnung 148 ausgegeben wird.
Nun wird der Betrieb der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 erläutert.
Die 10 ist eine Ansicht, die einen Zustand zeigt, gemäß dem die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 am rotierenden Element 157 befestigt ist. In der 10 ist der Kolben 145 mit einem bestimmten Winkel α am rotierenden Element 157 befestigt. Der am Kolbenkopf 146a ausgebildete Stab 146b ist in ein innerhalb des rotierenden Elements 157 ausgebildetes Loch 159 eingesetzt, so dass der Kolben 145 und das rotierende Element 157 miteinander verbunden sind. Obwohl es nicht dargestellt ist, ist innerhalb des Lochs 159 ein Lager vorhanden, wodurch sich der in das Loch 159 eingesetzte Stab 146b des Kolbens 145 vor und zurück sowie nach rechts und links bewegen kann. Wenn der erste Motor 131 betrieben wird, wird das rotierende Element 157 gedreht, und daher dreht sich der mit ihm verbundene Kolben 145.
Wenn hierbei der Befestigungswinkel α der Flüssigkristall-Ausgabepumpe zum rotierenden Element 157, d. h. der Befestigungswinkel α des Kolbens 145 zum rotierenden Element 157 zu 0 angenommen wird, führt der Kolben 145 nur eine Drehbewegung entlang dem rotierenden Element 157 aus. Da jedoch der Befestigungswinkel α des Kolbens 145 im Wesentlichen nicht 0 ist (d. h., der Kolben 145 ist unter einem bestimmten Winkel befestigt), dreht er sich nicht nur gemeinsam mit dem rotierenden Element 157, sondern er bewegt sich auch nach oben und unten.
Wenn sich der Kolben 145 durch Drehung um einen bestimmten Winkel nach oben bewegt, wird innerhalb des Zylinders 142 ein Raum gebildet, in den Flüssigkristall durch die Flüssigkristall-Saugöffnung 147 gesaugt wird. Wenn sich dann der Kolben 145 durch Fortsetzen der Drehung nach unten bewegt, wird der in den Zylinder 142 gesaugte Flüssigkristall durch die Flüssigkristall-Ausgabeöffnung 148 ausgegeben. Hierbei öffnet und schließt die am Kolben 145 ausgebildete Nut 145a die Flüssigkristall-Saugöffnung 147 und die Flüssigkristall-Ausgabeöffnung 148 beim Ansaugen bzw. Ausgeben des Flüssigkristalls durch die Drehung des Kolbens 145.
Nachfolgend wird der Betrieb der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 unter Bezugnahme auf die 11A bis 11D detaillierter erläutert.
Gemäß den 11A bis 11D gibt die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 das Flüssigkristallmaterial 107 aus dem Flüssigkristallmaterial 122 mittels 4 Hüben an die Düse 150 aus. Die 11A und 11C veranschaulichen Querhübe, die 11B veranschaulicht einen Saughub mit einem Ansaugen von Flüssigkristallmaterial durch die Flüssigkristall-Saugöffnung 147, und die 11D veranschaulicht einen Ausgabehub zum Ausgeben von Flüssigkristallmaterial durch die Flüssigkristall-Ausgabeöffnung 148.
Gemäß der 11A dreht sich der mit einem bestimmten Winkel α am rotierenden Element 157 befestigte Kolben 145 mit der Drehung des rotierenden Elements 157. Dabei werden die Flüssigkristall-Saugöffnung 147 und die Flüssigkristall-Ausgabeöffnung 148 durch den Kolben 145 geschlossen.
Wenn sich das rotierende Element 157 um ungefähr 45° dreht, dreht sich der Kolben 145, und die Flüssigkristall-Saugöffnung 147 wird durch die Nut 145a des Kolbens 145 geöffnet, wie es in der 11B dargestellt ist. Der Stab 146b des Kolbens 145 ist in das Loch 159 des rotierenden Elements 157 eingeführt, wodurch dieses und der Kolben 145 gekoppelt sind. Wenn sich das rotierende Element 157 dreht, dreht sich der Kolben 145 entsprechend. Dabei dreht sich der Stab 146b entlang einer Rotationsebene.
Da der Kolben 145 mit einem bestimmten Winkel am rotierenden Element 157 befestigt ist, und da sich der Stab 146b entlang der Rotationsebene dreht, bewegt sich der Kolben 145 nach oben, wenn sich das rotierende Element 157 dreht. Auch wird einhergehend mit der Drehung des rotierenden Elements 157 im Zylinder 142 ein Raum im unteren Teil des Kolbens 145 gebildet, da der Zylinder 142 fixiert ist. Daher wird Flüssigkristall durch die Flüssigkristall-Saugöffnung 147, die durch die Nut 145a geöffnet wurde, in den Raum gesaugt.
Der genannte Saughub für Flüssigkristall dauert an, bis der Querhub gemäß der 11C startet (die Flüssigkristall-Saugöffnung 147 wird geschlossen), wenn sich das rotierende Element 157 um ungefähr 45° nach Start des Saughubs gedreht hat (d. h., nach dem Öffnen der Flüssigkristall-Saugöffnung 147).
Dann wird, wie es in der 11D dargestellt ist, die Flüssigkristall-Ausgabeöffnung 148 geöffnet, und der Kolben 145 bewegt sich nach unten, während sich das rotierende Element 157 weiter dreht, so dass der in den Raum innerhalb des Zylinders 142 gesaugte Flüssigkristall durch die Flüssigkristall-Ausgabeöffnung 148 ausgegeben wird (Ausgabehub).
Wie oben angegeben, wiederholt die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 vier Hübe, d. h. den Saughub, den zweiten Querhub und den Ausgabehub, um dadurch das im Flüssigkristallmaterialbehälter 122 enthaltene Flüssigkristallmaterial 107 an die Düse 150 auszugeben.
Hierbei wird die Ausgabemenge an Flüssigkristallmaterial abhängig vom Bereich der Auf-Ab-Bewegung des Kolbens 145 verändert, wobei dieser Bereich vom Befestigungswinkel der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 am rotierenden Element 157 abhängt.
Die 12 ist eine Ansicht, die zeigt, wie die Flüssigkristall-Ausgabepumpe unter einem Winkel β am rotierenden Element befestigt ist. Im Vergleich zur Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 der 10, bei der der Kolben 145 am rotierenden Element 157 mit dem Winkel α befestigt ist, ist bei der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 der 12, bei der der Kolben 145 unter einem Winkel β (< α) am rotierenden Element 157 befestigt ist, eine höhere Bewegung des Kolbens 145 nach oben möglich. D. h., dass umso mehr Flüssigkristallmaterial 107 in den Zylinder 142 bei der Kolbenbewegung eingesaugt wird, je größer der Befestigungswinkel der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 am rotierenden Element 157 ist. Dies bedeutet, dass die Ausgabemenge des Flüssigkristallmaterials durch Einstellen des Befestigungswinkels der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 am rotierenden Element 157 eingestellt werden kann.
Der Befestigungswinkel der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 am rotierenden Element 157 wird durch das Flüssigkristallmenge-Steuerelement 134 der 7 eingestellt, das durch den zweiten Motor 133 angetrieben wird. D. h., dass der Befestigungswinkel der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 am rotierenden Element 157 durch Steuern des zweiten Motors 133 eingestellt wird.
Der Befestigungswinkel der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 kann vom Benutzer von Hand durch Betätigendes linken Steuerhebels 137 eingestellt werden. Jedoch ist in diesem Fall eine genaue Einstellung nicht möglich, es ist viel Zeit erforderlich, und der Betrieb der Flüssigkristall-Ausgabepumpe muss während der Bedienung angehalten werden. Daher ist es bevorzugt, den Befestigungswinkel der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 durch den zweiten Motor 133 einzustellen.
Der Befestigungswinkel der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 wird durch einen Sensor 139 wie einen linear variablen Differenzwandler gemessen. Wenn der Befestigungswinkel einen vorgegebenen Winkel überschreitet, löst der Sensor 139 einen Alarm aus, um zu verhindern, dass die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 beschädigt wird. Wie oben angegeben, wird beim erfindungsgemäßen Flüssigkristallspender die Ausgabemenge eines Flüssigkristalls dadurch eingestellt, dass der Befestigungswinkel der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 durch den zweiten Motor 133 variiert wird, wobei dann die Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 durch Betreiben des ersten Motors 131 angetrieben wird, um dadurch Flüssigkristall durch die Düse 150 auf das Substrat auszugeben.
Jedoch kann der Fall auftreten, dass die eingestellte Flüssigkristallmenge nicht auf das Substrat ausgegeben wird, obwohl eine genaue Einstellung erfolgte. Dieser Fall tritt aufgrund verschiedener Faktoren auf, wie Umgebungsbedingungen, jedoch besteht der größte Faktor im Effekt, dass sich Flüssigkristall an der Fläche der Düse 150 anhäuft.
Die Düse 150 besteht im Allgemeinen aus einem Metall wie rostfreiem Stahl. Das Metall verfügt über einen kleinen Kontaktwinkel zu einem Flüssigkristallmaterial. Im Allgemeinen bezeichnet der Kontaktwinkel denjenigen Winkel, wie er gebildet wird, wenn eine Flüssigkeit in thermodynamischem Gleichgewicht an der Fläche eines Festkörpers vorliegt. Der Kontaktwinkel zeigt die Benetzbarkeit der Oberfläche des Festkörpers an. Da Metall über hohe Benetzbarkeit (d. h. hydrophile Eigenschaften) und eine hohe Oberflächenenergie verfügt, zeigen Flüssigkeiten eine starke Charakteristik dahingehend, sich an der Oberfläche eines Metalls auszubreiten. Daher wird beim Ausgeben eines Flüssigkristalls durch die aus Metall hergestellte Düse 150 der Flüssigkristall nicht in Tropfenform am Ende der Düse 150 ausgebildet (eine Tropfenform bedeutet einen hohen Kontaktwinkel), sondern er breitet sich an der Oberfläche der Düse 150 aus. Wenn wiederholt ein Flüssigkristall-Ausgabevorgang wiederholt wird, häuft sich der Flüssigkristall an, d. h., an der Oberfläche der Düse 150 verbleibt Flüssigkristallmaterial 107a, wie es in der 13 dargestellt ist.
Wenn sich Flüssigkristall an der Oberfläche der Düse 150 ausbreitet, wird ein genaues Ausgeben von Flüssigkristallmaterial unmöglich. Selbst wenn die Ausgabemenge des durch die Düse 150 ausgegebenen Flüssigkristalls durch Einstellen des Befestigungswinkels der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 gesteuert wird, breitet sich ein Teil des Flüssigkrstallmaterials an der Oberfläche der Düse aus, wodurch die tatsächlich auf das Substrat ausgegebene Menge kleiner als die durch die Düse 150 ausgegebene Menge ist. Selbstverständlich ist es möglich, die Ausgabemenge des Flüssigkristallmaterials dadurch einzustellen, dass der Anteil des Flüssigkristalls berücksichtigt wird, der sich an der Oberfläche der Düse 150 ausbreitet. Jedoch ist es unmöglich, die Menge des Flüssigkristalls ziemlich genau zu berechnen, die sich an der Oberfläche der Düse 150 ausbreitet.
Das Flüssigkristallmaterial 107a, das sich an der Oberfläche der Düse 150 durch Wiederholen des Flüssigkristall-Ausgabevorgangs anhäuft, vermischt sich mit dem durch die Düse 150 ausgegebenen Flüssigkristallmaterial, so dass es dazu kommen kann, dass mehr Flüssigkristallmaterial auf das Substrat ausgegeben wird, als es der vorgesehenen Menge entspricht. D. h., dass die Ausgabemenge des Flüssigkristallmaterials aufgrund des niedrigen Kontaktwinkels an der Düse 150, eine Charakteristik von Metall, unregelmäßig wird.
Um zu verhindern, dass sich Flüssigkristallmaterial an der Oberfläche der Düse 150 anhäuft, kann dort durch ein Tauchverfahren oder ein Sprühverfahren ein Material wie ein Fluorharz mit hohem Kontaktwinkel zu einem Flüssigkristallmaterial abgeschieden werden. Auch kann die Düse 150 für einmaligen Gebrauch (d. h. zur Verwendung bei einer vorgegebenen Anzahl von Substraten) aus einem Fluorharz hergestellt werden, damit das durch sie ausgegebene Flüssigkristallmaterial 107 mit perfekter Tropfenform aufgrund niedriger Benetzbarkeit (hydrophobe Charakteristik) und niedriger Oberflächenenergie, ohne Ausbreitung an der Oberfläche der Düse 150, auf das Substrat ausgegeben werden kann. Wenn jedoch Fluorharz auf der Oberfläche der Düse 150 abgeschieden wird oder die Düse 150 aus einem solchen hergestellt wird, kann der Effekt nicht völlig überwunden werden, dass sich Flüssigkristallmaterial an der Oberfläche der Düse 150 anhäuft, wenn ein Flüssigkristall-Ausgabevorgang wiederholt wird.
Wie es durch die 7 und 8 veranschaulicht ist, wird ein zweiter Sensor 154 an der Schutzeinheit 152 montiert, die an den beiden Seitenflächen der Düse 150 vorhanden ist, um diese gegen externe Kräfte usw. zu schützen, der eine Flüssigkristallanhäufung an der Oberfläche der Düse 150 erkennen kann. Der zweite Sensor 154 kann wie der erste Sensor 162 ein Optokoppler sein, jedoch kann es auch eine andere Art von Sensor sein.
Wie es in der 13 dargestellt ist, ist der zweite Sensor 54 mit einer Steuerungseinheit verbunden, die eine Flüssigkristallanhäufung an der Oberfläche der Düse 150 kontrolliert, wobei von ihm ein Signal eingegeben wird, was später detailliert erläutert wird.
Wie es in der 14 dargestellt ist, wird ein durch den zweiten Sensor 154 erfasstes Signal über eine Eingangseinheit 202 in eine Steuerungseinheit 200 eingegeben. Dann beurteilt die Steuerungseinheit 200 auf Grundlage des eingegebenen Signals, ob sich Flüssigkristall an der Oberfläche der Düse 150 anhäuft. Die Steuerungseinheit 200 gibt ein Steuerungssignal an eine Motortreibereinheit 205 aus, um so den ersten Motor 131 und den zweiten Motor 132 zu betreiben, wodurch die Ausgabemenge der Flüssigkristall-Ausgabepumpe 140 gesteuert wird und Flüssigkristallmaterial von dieser ausgegeben wird. Die Steuerungseinheit 200 steuert eine Substratantriebseinheit 206 an, um das Substrat so zu verstellen, dass die Düse mit einer Ausgabeposition für Flüssigkristallmaterial auf dem Substrat ausgerichtet werden kann. Hierbei ist es auch möglich, den Flüssigkristallspender direkt anstelle des Substrats zu bewegen (in diesem Fall wird eine Spenderantriebseinheit statt einer Substratantriebseinheit angesteuert).
Wenn die Steuerungseinheit 200 beurteilt, dass sich Flüssigkristallmaterial an der Oberfläche der Düse 150 anhäuft, sagt sie ein verschlechtertes Ausgeben von Flüssigkristallmaterial bei kontinuierlichem Ausgaben von Flüssigkristallmaterial voraus, weswegen sie ein Steuerungssignal an die Motortreibereinheit 205 ausgibt. Durch das Steuerungssignal stoppt die Motortreibereinheit 205 die Ansteuerung des ersten Motors 131, wodurch der Flüssigkristall-Ausgabevorgang stoppt. Dabei zeigt die Steuerungseinheit 200 den aktuellen Zustand der Anhäufung von Flüssigkristallmaterial an der Oberfläche der Düse 150 auf einer Ausgabeeinheit 208 an, um dadurch den Benutzer über diesen Zustand zu informieren.
Demgemäß kann der Benutzer den Flüssigkristall entfernen, der sich an der Oberfläche der Düse 150 ansammelt, wozu er diese vom Flüssigkristallspender entfernt. Auch ist es möglich, Flüssigkristall dadurch automatisch zu entfernen, dass ein Signal an eine Blindausgabe-Betriebseinheit 209 und eine Reiniger-Antriebseinheit 210 ausgegeben wird.
Die Blindausgabe-Betriebseinheit 209 führt eine Blindausgabe für Flüssigkristallmaterial entsprechend einem von der Steuerungseinheit 200 eingegebenen Signal aus, wenn sich Flüssigkristallmaterial an der Oberfläche der Düse 150 anhäuft, um dadurch dieses verbliebene Material zu entfernen. Eine Blindausgabe bedeutet, dass Flüssigkristall nicht an einer echten Ausgabeposition auf ein Substrat ausgegeben wird, sondern auf einen anderen Bereich, z. B. einen solchen, auf dem auf dem Substrat keine Flüssigkristalltafel ausgebildet wird, oder einer Messkappe, die vorhanden ist, um die Flüssigkristall-Ausgabemenge zu messen (das Gewicht des in die Messkappe ausgegebenen Flüssigkristalls wird gemessen, um so zu erfassen, ob eine wesentliche Ausgabemenge an Flüssigkristall einer vorgegebenen Ausgabemenge entspricht, wobei dann, wenn das gemessene Gewicht nicht der vorgegebenen Ausgabemenge entspricht, die Flüssigkristall-Ausgabemenge entsprechend der Abweichung kompensiert wird) oder einen Behälter zur Blindausgabe. Die Blindausgabe wird dadurch ausgeführt, dass keine vorgegebene Flüssigkristall-Ausgabemenge, sondern eine größere ausgegeben wird, d. h. ausreichend viel, um Flüssigkristallmaterial zu entfernen, das sich an der Oberfläche der Düse angehäuft hat.
Durch diese Blindausgabe von Flüssigkristallmaterial kann das Flüssigkristallmaterial, das sich an der Oberfläche der Düse 150 angehäuft hat, vollständig entfernt werden. Dann werden die Motortreibereinheit 205 und die Substratantriebseinheit 206 erneut angesteuert, um dadurch einen normalen Flüssigkristall-Ausgabevorgang auszuführen.
Die Reiniger-Antriebseinheit 210 treibt eine Reinigungseinrichtung entsprechend einem durch die Steuerungseinheit 200 eingegebenen Signal an, wenn sich Flüssigkristallmaterial an der Oberfläche der Düse 150 anhäuft, um diese dadurch zu reinigen. Auch ist es möglich, das Flüssigkristallmaterial, das sich an der Oberfläche der Düse 150 anhäuft, durch Ausführen einer Blindausgabe zu entfernen. Jedoch wird in diesem Fall, da es sehr schwierig ist, das auf der Oberfläche der Düse 150 verbliebene Flüssigkristallmaterial vollständig zu entfernen, die Reinigungseinrichtung dazu verwendet, das Flüssigkristallmaterial vollständig zu entfernen, das sich an der OBerfläche der Düse 150 angehäuft hat.
Die Blindausgabefunktion und die Reinigungsfunktion können innerhalb des Flüssigkristallspenders ausgeübt werden. Z. B. erfolgt eine Blindausgabe für eine kurze Zeitperiode, um dadurch Flüssigkristallmaterial zu entfernen, dass sich an der Oberfläche der Düse 150 angesammelt hat, und ein Reinigungsvorgang wird nach einer langen Periode (nachdem mehrmals eine Blindausgabe ausgeführt wurde) durch die Reinigungseinrichtung ausgeführt, um so Flüssigkristallmaterial zu entfernen, das sich an der Oberfläche der Düse 150 angehäuft hat. Jedoch ist es bei einem erfindungsgemäßen Flüssigkristallspender auch möglich, entweder eine Blindausgabefunktion oder eine Reinigungsfunktion durch die Reinigungseinrichtung auszuführen. In diesem Fall ist es gewährleistet, dass an der Oberfläche der Düse 150 verbliebenes Flüssigkristallmaterial effektiv entfernt werden kann.
Wie es in der 15 dargestellt ist, besteht eine Düsenreinigungseinrichtung 220 aus einem Körper 222 und einer an diesem ausgebildeten Saugleitung 226, mit der eine Vakuumpumpe 228 verbunden ist. Beim Reinigen der Düse 150 wird die Saugleitung 226 aus dem folgenden Grund im Wesentlichen mit einer Ausgabeöffnung der Düse 150 ausgerichtet. Da Flüssigkristallmaterial 107a, das sich an der Oberfläche der Düse 150 angehäuft hat, hauptsächlich um die Ausgabeöffnung herum verteilt ist, werden die Ausgabeöffnung und die Saugleitung 226 zueinander ausgerichtet, um die Reinigungseffizienz zu erhöhen.
Die Düse 150 wird periodisch und wiederholt gereinigt. Wenn Flüssigkristallmaterial eine vorgegebene Anzahl von Malen ausgegeben wurde, wird die Düsenreinigungseinrichtung 220 durch einen Motor (nicht dargestellt) zur Düse 150 bewegt, um dadurch die Auslassöffnung der Düse 150 mit der Saugleitung 226 auszurichten. Hierbei wird, da am Körper 222 eine Halteeinheit 224 zum Halten desselben und der Düse 150 installiert, zwischen der Ausgabeöffnung und der Saugleitung 226 ein bestimmter Raum gebildet, wenn die Ausgabeöffnung der Düse 150 und die Saugleitung 226 miteinander ausgerichtet werden. Wenn die Ausgabeöffnung der Düse 150 und die Saugleitung 226 zueinander ausgerichtet werden, wenn sich die Düsenreinigungseinrichtung 220 wird eine Vakuumpumpe 228 betrieben, wodurch die am Körper 222 vorhandene Saugleitung 226 evakuiert wird. Im Ergebnis wird Flüssigkristallmaterial 107a um die Düse 150 herum, insbesondere um die Ausgabeöffnung herum, in die Saugleitung 226 gesaugt, um dadurch das Flüssigkristallmaterial 107a zu entfernen, das an der Oberfläche der Düse 150 verblieben ist.
Obwohl es nicht dargestellt ist, kann die Düsenreinigungseinrichtung 220 mit einem Behälter zum Aufnehmen des durch Reinigen entfernten Flüssigkristallmaterials 107a versehen sein. Das durch Betreiben der Vakuumpumpe 228 in die Saugleitung 226 gesaugte Flüssigkristallmaterial 107a wird im zwischen dem Körper 222 und der Vakuumpumpe 228 installierten Behälter durch Schwerkraft aufgenommen, um dadurch nicht die Vakuumpumpe 228 zu erreichen. Wenn der Flüssigkristallbehälter vorhanden ist, wird er von der Düsenreinigungseinrichtung 220 getrennt, um so den aufgenommenen Flüssigkristall 107a zu entfernen, wodurch der Prozess in Zusammenhang mit dem aufgenommenen Flüssigkristall vereinfacht ist.
Wie oben angegeben, ist beim Flüssigkristallspender gemäß der beschriebenen Ausführungsform der zweite Sensor 154 zum Erkennen einer Flüssigkristallanhäufung um die Düse 150 herum installiert, wodurch das Entfernen von Flüssigkristallmaterial, das sich an der Oberfläche der Düse 150 angehäuft hat, und das Ausgaben von Flüssigkristallmaterial in Echtzeit erfolgen, was nun kurz erläutert wird.
Wie es in der 16 dargestellt ist, beginnt, wenn ein Flüssigkristall-Ausgabevorgang beginnt, der zweite Sensor 154 damit, eine Überwachung auf eine Flüssigkristallanhäufung an der Oberfläche der Düse 150 auszuführen (S301). Das vom zweiten Sensor 154 ausgegebene Signal wird in die Steuerungseinheit 200 eingegeben, die beurteilt, dass der Ausgabevorgang normal abläuft, wenn keine Flüssigkristallanhäufung erkannt wird, so dass die Ausgabe von Flüssigkristallmaterial fortgesetzt wird (S302).
Wenn vom zweiten Sensor 154 während des Flüssigkristall-Ausgabevorgangs eine Flüssigkristallanhäufung an der Oberfläche der Düse 150 erkannt wird, gibt die Steuerungseinheit 200 ein Steuersignal zum Stoppen des ersten Motors 131 an die Motortreibereinheit 205 aus, wodurch der Vorgang stoppt (S303).
Gleichzeitig steuert die Steuerungseinheit 200 die Motortreibereinheit 205 und die Substratantriebsanheit 206 so an, dass Flüssigkristallmaterial auf einen leeren Bereich des Substrats (d. h. einen Bereich, auf dem keine Flüssigkristalltafel ausgebildet wird) oder eine Messkappe oder einen zusätzlichen Behälter (Behälter für eine Blindausgabe) ausgegeben wird (Ausführen eines Blindausgabevorgangs), um dadurch Flüssigkristallmaterial zu entfernen, das sich an der Oberfläche der Düse 150 angehäuft hat (S304). Flüssigkristallmaterial, das sich an der Oberfläche der Düse 150 angehäuft hat, kann auch dadurch entfernt werden, dass die Reinigungseinrichtung 220 betrieben wird, was durch Ausgeben eines Steuersignals an die Reinigertreibereinheit 210 erfolgt, so dass ein Reinigungsvorgang anstelle eines Blindausgabevorgangs ausgeführt wird (S305). Es ist auch möglich, Flüssigkristallmaterial, das sich an der Oberfläche der Düse 150 angehäuft hat, dadurch zu entfernen, dass zunächst ein Blindausgabevorgang und dann ein Reinigungsvorgang durch die Reinigungseinrichtung ausgeführt werden.
Indessen kann der Prozess zum Entfernen von Flüssigkristall an der Oberfläche der Düse (d. h. der Reinigungsprozess) zu jedem beliebigen Zeitpunkt ausgeführt werden. Zum Beispiel kann die Düse vor dem Laden eines Substrats in den Flüssigkristallspender gereinigt werden, oder sie kann nach diesem Vorgang gereinigt werden. Ferner kann der Reinigungsprozess im Intervall zwischen zwei Ausgabeprozessen für zwei Substrate ausgeführt werden.
Wie oben angegeben, kann gemäß der Erfindung Flüssigkristall, der sich an der Oberfläche einer Düse anhäuft, effektiv entfernt werden. Die Erfindung kann bei jeder beliebigen Flüssigkristall-Ausgabevorrichtung angewandt werden, die mit einer Düse zum Ausgeben eines Flüssigkristallmaterials versehen ist. Auch kann bei der Erfindung ein Sensor zum Erfassen einer Flüssigkristallanhäufung unabhängig von der Konstruktion der Düse vorhanden sein, so dass die Erfindung bei Düsen verschiedener Konstruktionen anwendbar ist. Darüber hinaus kann die Erfindung nicht nur bei einer Düse aus rostfreiem Stahl, sondern auch bei einer solchen für einmaligen Gebrauch aus einem Fluorharz angewandt werden.

Claims

Flüssigkristall-Ausgabevorrichtung mit: – einem Behälter (122) zum Aufnehmen eines Flüssigkristallmaterials (107); – einer Flüssigkristall-Ausgabepumpe (140) zum Ansaugen des Flüssigkristallmaterials (107) und zum Ausgeben desselben, wobei die Flüssigkristall-Ausgabepumpe (140) Folgendes umfasst: – einen Zylinder (142), – einen Kolben (145), der in den Zylinder (142) eingesetzt und an einem Ende mit einer Nut (145a) versehen ist, um durch Drehung und Auf-Ab-Bewegung Flüssigkristallmaterial (107) anzusaugen und auszugeben; und – eine Saugöffnung (147) und eine Ausgabeöffnung (148) zum Ansaugen und Ausgeben von Flüssigkristallmaterial (107) entsprechend der Bewegung des Kolbens (145); – einer ersten Verbindungsleitung (126) zum Verbinden des Behälters (122) und der Ausgabepumpe (140); und – einem Stift (128), der am Ende der ersten Verbindungsleitung (126) installiert ist und dabei in ein am Behälter (122) ausgebildetes Kissen eingeführt ist, wobei das Innere des Stifts (128) hohl ist, um Flüssigkristall des Behälters (122) einzuleiten; – einer Düse (150) zum Ausgeben des von der Flüssigkristall-Ausgabepumpe (140) zugeführten Flüssigkristallmaterials (107); und – einem Filter (173), der an einem Abschnitt der Saugöffnung (147) oder der Ausgabeöffnung (148) zum Filtern des von der Flüssigkristall-Ausgabepumpe (140) ausgegebenen Flüssigkristallmaterials (107) installiert ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, ferner mit – einer Erfassungseinrichtung (154), die nahe der Düse (150) installiert ist, um Flüssigkristallmaterial (107a) an der Düse zu erfassen.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Befestigungseinheit zum Befestigen der Flüssigkristall-Ausgabepumpe (140) vorhanden ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Flüssigkristallmenge-Steuerelement (134) in Kontakt mit der Flüssigkristall-Ausgabepumpe (140) vorhanden ist.
Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Befestigungswinkel der Flüssigkristall-Ausgabepumpe (140) einstellbar ist, um dadurch die Flüssigkristall-Ausgabemenge einzustellen.
Vorrichtung nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch: – einen Motor (133) zum Antreiben des Flüssigkristallmenge-Steuerelements (134); und – eine mit dem Flüssigkristallmenge-Steuerelement (134) gekoppelte Welle (136), die verdreht wird, wenn der Motor angetrieben wird, um das Flüssigkristallmenge-Steuerelement (134) linear zu verstellen.
Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassungseinrichtung (154) ein Optokoppler ist.
Vorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch: – eine Motortreibereinheit zum Ansteuern eines Motors (131), um dadurch die Flüssigkristall-Ausgabepumpe (140) zu betreiben; – eine Substratantriebseinheit zum Antreiben eines Substrats (105), um dadurch die Düse (150) auf eine Ausgabeposition für Flüssigkristallmaterial (107) einzustellen; – eine Blindausgabe-Betriebseinheit zum Ausgeben von Flüssigkristallmaterial (107) in einem Blindbereich, wenn sich Flüssigkristallmaterial (107) an der Oberfläche der Düse (150) anhäuft; und – eine Steuerungseinheit (200) zum Stoppen der Ausgabe von Flüssigkristallmaterial (107), wenn durch die Erfassungseinrichtung (154) eine Flüssigkristallanhäufung (107a) an der Oberfläche der Düse (150) erkannt wird, und zum Entfernen der Flüssigkristallanhäufung (107a) durch Betreiben der Blindausgabe-Betriebseinheit.
Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Blindbereich ein Bereich auf dem Substrat (105) ist, in dem keine Flüssigkristalltafel ausgebildet wird.
Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Blindbereich ein Becher zum Abmessen der Flüssigkristall-Ausgabemenge ist.
Vorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch: – eine Reinigungseinrichtung (220) zum Entfernen von Flüssigkristallmaterial (107a), das sich an der Oberfläche der Düse (150) anhäuft; – eine Motortreibereinheit zum Ansteuern eines Motors (131), um dadurch die Flüssigkristall-Ausgabepumpe (140) zu betreiben; – eine Substratantriebseinheit zum Antreiben eines Substrats (105), um dadurch die Düse (150) auf eine Ausgabeposition für Flüssigkristallmaterial (107) einzustellen; – eine Reinigertreibereinheit (210) zum Ansteuern der Reinigungseinrichtung, wenn sich Flüssigkristallmaterial auf der Oberfläche der Düse (150) anhäuft; und – eine Steuerungseinheit (200) zum Stoppen der Ausgabe von Flüssigkristallmaterial, wenn durch die Erfassungseinrichtung (154) eine Flüssigkristallanhäufung an der Oberfläche der Düse erkannt wird, und zum Entfernen der Flüssigkristallanhäufung durch Ausgeben eines Signals an die Reinigertreibereinheit (210).
Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Reinigungseinrichtung (220) Folgendes aufweist: – eine mit einer Vakuumpumpe (228) verbundenen Saugleitung (226), die Flüssigkristallmaterial (107a) ansaugt, das sich an der Oberfläche der Düse (150) angehäuft hat, wenn die Vakuumpumpe (228) betrieben wird.
Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Flüssigkristall-Reinigungseinrichtung (220) ferner über einen Behälter verfügt, der mit der Saugleitung (226) verbunden ist und in diese eingesaugtes Flüssigkristallmaterial (107a) aufnimmt.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Filter (173) einstückig mit der Saugöffnung (147) ausgebildet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Filter (173) einstückig mit der Ausgabeöffnung (148) ausgebildet ist.