JP2609386B2 - 基板組立装置 - Google Patents
基板組立装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は基板組立装置に係り、特
に液晶表示パネルのように２枚の基板を極めて接近させ
且つ組立作業中に塵埃を取り込まずに貼り合わすことが
できる基板組立装置に関する。
に液晶表示パネルのように２枚の基板を極めて接近させ
且つ組立作業中に塵埃を取り込まずに貼り合わすことが
できる基板組立装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の液晶表示パネルは透明電極や薄膜
トランジスタアレイを付けた２枚のガラス基板を数μｍ
程度の極めて接近した間隔をもってシール剤で貼り合わ
し、それによって形成される密閉空間に液晶を封止した
ものである。この液晶表示パネルのシール剤をガラス基
板に設ける手段として、ノズルから基板上に抵抗ペース
トを吐出させつつ基板を移動させることにより所定のパ
ターンを描画させて抵抗パターンを設ける技術を利用す
ることができ、このような従来技術として特開平２−５
２７４２号公報に記載のものがある。また従来の液晶表
示パネルの基板の組立にあたってはシール剤を設けたガ
ラス基板を搬送手段で貼り合わせ作業台に移し、そこで
手作業で２枚のガラス基板の面方向の位置合わせを行っ
てから、スペーサとなる粒子等をシール剤に含ませてお
くことによって数μｍ程度の極めて接近した間隔に２枚
のガラス基板を貼り合わせていた。
トランジスタアレイを付けた２枚のガラス基板を数μｍ
程度の極めて接近した間隔をもってシール剤で貼り合わ
し、それによって形成される密閉空間に液晶を封止した
ものである。この液晶表示パネルのシール剤をガラス基
板に設ける手段として、ノズルから基板上に抵抗ペース
トを吐出させつつ基板を移動させることにより所定のパ
ターンを描画させて抵抗パターンを設ける技術を利用す
ることができ、このような従来技術として特開平２−５
２７４２号公報に記載のものがある。また従来の液晶表
示パネルの基板の組立にあたってはシール剤を設けたガ
ラス基板を搬送手段で貼り合わせ作業台に移し、そこで
手作業で２枚のガラス基板の面方向の位置合わせを行っ
てから、スペーサとなる粒子等をシール剤に含ませてお
くことによって数μｍ程度の極めて接近した間隔に２枚
のガラス基板を貼り合わせていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術の液晶表
示パネルは微細な透明電極や薄膜トランジスタアレイが
ガラス基板に設けられており、それによって構成される
画素は極めて小さいものである。したがって組立作業中
にガラス基板上に塵埃が積もって密閉空間に塵埃が取り
込まれると、その塵埃の存在する箇所は画素欠陥とな
り、モノクロ表示パネルでは欠陥部が黒点となり、また
カラー表示パネルでは欠陥部が赤・緑・青のいずれかの
色となって、画面に表示される映像が見にくいものとな
る。この液晶表示パネルのシール剤をガラス基板に設け
る手段として、上記特開平２−５２７４２号公報に記載
のものを利用すると、そこでは基板とノズルが非接触の
状態で抵抗ペーストを吐出させ、基板を移動させて所定
の抵抗パターンを描画させており、ノズルを固定してい
ることによって基板上に塵埃が積りにくいものとなって
いる。しかしながら、ここでは抵抗パターン描画後の基
板の取扱いについては格別言及されていない。また従来
の液晶表示パネルの上記基板の組立にあたってはシール
剤を設けたガラス基板を搬送手段で貼り合わせ作業台に
移し、手作業で２枚のガラス基板の位置合わせを行って
から貼り合わせているため、その組立作業中にガラス基
板上に塵埃が積もって、密閉空間に塵埃が取り込まれる
度合いが非常に高いという問題があった。
示パネルは微細な透明電極や薄膜トランジスタアレイが
ガラス基板に設けられており、それによって構成される
画素は極めて小さいものである。したがって組立作業中
にガラス基板上に塵埃が積もって密閉空間に塵埃が取り
込まれると、その塵埃の存在する箇所は画素欠陥とな
り、モノクロ表示パネルでは欠陥部が黒点となり、また
カラー表示パネルでは欠陥部が赤・緑・青のいずれかの
色となって、画面に表示される映像が見にくいものとな
る。この液晶表示パネルのシール剤をガラス基板に設け
る手段として、上記特開平２−５２７４２号公報に記載
のものを利用すると、そこでは基板とノズルが非接触の
状態で抵抗ペーストを吐出させ、基板を移動させて所定
の抵抗パターンを描画させており、ノズルを固定してい
ることによって基板上に塵埃が積りにくいものとなって
いる。しかしながら、ここでは抵抗パターン描画後の基
板の取扱いについては格別言及されていない。また従来
の液晶表示パネルの上記基板の組立にあたってはシール
剤を設けたガラス基板を搬送手段で貼り合わせ作業台に
移し、手作業で２枚のガラス基板の位置合わせを行って
から貼り合わせているため、その組立作業中にガラス基
板上に塵埃が積もって、密閉空間に塵埃が取り込まれる
度合いが非常に高いという問題があった。
【０００４】本発明の目的は上記従来技術の問題点を解
決し、液晶表示パネルのように基板にシール剤を設けた
のち２枚の基板を極めて接近させて貼り合わせる組立作
業中に塵埃を取り込まずに貼り合わすことができる簡単
な構成の基板組立装置を提供することにある。
決し、液晶表示パネルのように基板にシール剤を設けた
のち２枚の基板を極めて接近させて貼り合わせる組立作
業中に塵埃を取り込まずに貼り合わすことができる簡単
な構成の基板組立装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の基板組立装置はシール剤描画ステーション
と基板貼り合わせステーションとの間を移動可能なテー
ブルと、上記シール剤描画ステーションに設けられシー
ル剤を吐出する先端が下方を向いたノズルと、上記テー
ブル上に設けられ第１の基板を搭載する少なくとも直交
方向に移動可能なステージと、上記ノズルからシール剤
を吐出させつつ上記ステージを直交方向に移動させるこ
とにより上記第１の基板にシール剤を所望のパターンで
描画させる手段と、上記テーブルが上記基板貼り合わせ
ステーションに移動されたときに第２の基板を上記ステ
ージに搭載された上記第１の基板と平行でその上方にな
るように支持する手段と、上記支持する手段で平行に配
置された上記第１と第２の両基板の対向間隔を狭めるこ
とにより両基板をシール剤で貼り合わせる手段とを備え
るようにしたものである。また上記基板組立装置におい
て、上記ステージが搭載する第１の基板をさらに上下方
向に移動可能にしたものであり、また装置の天井部と側
周の一部が網カバーで蔽われるようにしたものである。
に、本発明の基板組立装置はシール剤描画ステーション
と基板貼り合わせステーションとの間を移動可能なテー
ブルと、上記シール剤描画ステーションに設けられシー
ル剤を吐出する先端が下方を向いたノズルと、上記テー
ブル上に設けられ第１の基板を搭載する少なくとも直交
方向に移動可能なステージと、上記ノズルからシール剤
を吐出させつつ上記ステージを直交方向に移動させるこ
とにより上記第１の基板にシール剤を所望のパターンで
描画させる手段と、上記テーブルが上記基板貼り合わせ
ステーションに移動されたときに第２の基板を上記ステ
ージに搭載された上記第１の基板と平行でその上方にな
るように支持する手段と、上記支持する手段で平行に配
置された上記第１と第２の両基板の対向間隔を狭めるこ
とにより両基板をシール剤で貼り合わせる手段とを備え
るようにしたものである。また上記基板組立装置におい
て、上記ステージが搭載する第１の基板をさらに上下方
向に移動可能にしたものであり、また装置の天井部と側
周の一部が網カバーで蔽われるようにしたものである。
【０００６】
【作用】上記基板組立装置はシール剤描画ステーション
で上記ノズルからシール剤を吐出させつつ上記ステージ
を直交方向に移動させつつ第１の基板にシール剤パター
ンを描画する工程で第１の基板の上部に動くものが存在
しないため第１の基板上に塵埃が落下しないし、またシ
ール剤描画後に第１の基板がステージごと基板貼り合わ
せステーションに移動して第２の基板の下方に配置され
るため別の搬送手段が介在されないことと第１の基板の
上部で動くものが存在しないこととによって第１の基板
の移動する工程でも第１の基板上に塵埃が落下しない
し、さらに両基板の貼り合わせ工程では上下で平行に配
置された両基板の対向間隔を狭めることにより両基板が
貼り合わされるため両基板の間に動くものが存在しない
ことによって第１の基板上に塵埃が落下しないし、この
ように組立作業の如何なる工程でも第１の基板上に塵埃
が落下しないため両基板のシール剤による貼り合わせで
形成される空間内に塵埃が取り込まれることがなく、装
置の構成も簡単にできる。また上記ステージは搭載する
第１の基板をさらに上下方向に移動させることが可能で
あることにより装置構成をさらに簡単にすることが可能
であり、さらに装置の天井部と側周の一部は網カバーで
蔽われることによって装置をダウンフロー式クリーンル
ームに置いて空気流で装置内の塵埃が外部に排出され
る。
で上記ノズルからシール剤を吐出させつつ上記ステージ
を直交方向に移動させつつ第１の基板にシール剤パター
ンを描画する工程で第１の基板の上部に動くものが存在
しないため第１の基板上に塵埃が落下しないし、またシ
ール剤描画後に第１の基板がステージごと基板貼り合わ
せステーションに移動して第２の基板の下方に配置され
るため別の搬送手段が介在されないことと第１の基板の
上部で動くものが存在しないこととによって第１の基板
の移動する工程でも第１の基板上に塵埃が落下しない
し、さらに両基板の貼り合わせ工程では上下で平行に配
置された両基板の対向間隔を狭めることにより両基板が
貼り合わされるため両基板の間に動くものが存在しない
ことによって第１の基板上に塵埃が落下しないし、この
ように組立作業の如何なる工程でも第１の基板上に塵埃
が落下しないため両基板のシール剤による貼り合わせで
形成される空間内に塵埃が取り込まれることがなく、装
置の構成も簡単にできる。また上記ステージは搭載する
第１の基板をさらに上下方向に移動させることが可能で
あることにより装置構成をさらに簡単にすることが可能
であり、さらに装置の天井部と側周の一部は網カバーで
蔽われることによって装置をダウンフロー式クリーンル
ームに置いて空気流で装置内の塵埃が外部に排出され
る。
【０００７】
【実施例】以下に本発明の一実施例を図１から図３によ
り説明する。図１は本発明による基板組立装置の一実施
例を示す液晶表示パネル組立装置の正面図である。図１
において、液晶表示パネル組立装置１はシール剤描画ス
テーションＳ１と、基板貼り合わせステーションＳ２と
の２部分から構成され、この両ステーションＳ１，Ｓ２
は隣接して並べられている。基台２の上方に支柱２ａで
梁持された架台３があり、基台２の上面には両ステーシ
ョンＳ１，Ｓ２に亘るレール７を備えている。このレー
ル７上をステージ移動テーブル４がステージ駆動モータ
６により、図面上で左右に即ち両ステーションＳ１，Ｓ
２間を移動できるようになっている。テーブル４上には
ＸＹθステージ５およびその上面で第１のガラス基板１
３を真空吸着などにより支持する下側吸着テーブル８が
載置されている。ここでＸＹθステージ５について説明
するに、第１のガラス基板１３が水平に搭載されている
とすると、第１のガラス基板１３を水平にＸ軸・Ｙ軸方
向に移動させるとともに、第１のガラス基板１３を水平
に回転すなわちθ軸移動させるものであり、もし第１の
ガラス基板１３がＸＹ方向に正確に配置されるならばθ
軸移動は不要である。
り説明する。図１は本発明による基板組立装置の一実施
例を示す液晶表示パネル組立装置の正面図である。図１
において、液晶表示パネル組立装置１はシール剤描画ス
テーションＳ１と、基板貼り合わせステーションＳ２と
の２部分から構成され、この両ステーションＳ１，Ｓ２
は隣接して並べられている。基台２の上方に支柱２ａで
梁持された架台３があり、基台２の上面には両ステーシ
ョンＳ１，Ｓ２に亘るレール７を備えている。このレー
ル７上をステージ移動テーブル４がステージ駆動モータ
６により、図面上で左右に即ち両ステーションＳ１，Ｓ
２間を移動できるようになっている。テーブル４上には
ＸＹθステージ５およびその上面で第１のガラス基板１
３を真空吸着などにより支持する下側吸着テーブル８が
載置されている。ここでＸＹθステージ５について説明
するに、第１のガラス基板１３が水平に搭載されている
とすると、第１のガラス基板１３を水平にＸ軸・Ｙ軸方
向に移動させるとともに、第１のガラス基板１３を水平
に回転すなわちθ軸移動させるものであり、もし第１の
ガラス基板１３がＸＹ方向に正確に配置されるならばθ
軸移動は不要である。
【０００８】上記レール７と対面するシール剤描画ステ
ーションＳ１部の架台３にはＺ軸駆動モータ９によって
上下に移動するＺ軸移動テーブル１０が設けられてい
る。このテーブル１０には光学式非接触変位計１１とノ
ズルを持つシール剤吐出機１２とが取付けられており、
そのノズル先端は下方の第１のガラス基板１３を向いて
いる。一方の上記レール７と対面する基板貼り合わせス
テーションＳ２部の架台３の上部には、さらに支柱２ｂ
で梁持された架台１８に加圧用駆動機構１７が載置さ
れ、その下方に延びたボールねじ１７ａを介して該駆動
機構１７で架台３の下側に設けられた加圧吸着テーブル
１５を上下に移動するようになっている。この加圧吸着
テーブル１５はその下面に第２のガラス基板１４を上記
第１のガラス基板１３と平行になるように真空吸着など
により水平に吊り下げる形に支持するようになってい
る。またこのテーブル１５には２箇所に孔１５ａ，１５
ｂが穿けられており、このテーブル１５に穿けられた孔
１５ａ，１５ｂに対応する架台３の部署にはＣＣＤ内蔵
の画像認識用カメラ１６ａ，１６ｂが取付けられてい
る。この両カメラ１６ａ，１６ｂは下方を向いており、
従ってカメラ１６ａ，１６ｂはテーブル１５の両孔１５
ａ，１５ｂを通して第２のガラス基板１４などの下部に
存在する物体を確認することができる。なおこの液晶表
示パネル組立装置には上記した各駆動部の図示していな
い制御装置が設けられている。
ーションＳ１部の架台３にはＺ軸駆動モータ９によって
上下に移動するＺ軸移動テーブル１０が設けられてい
る。このテーブル１０には光学式非接触変位計１１とノ
ズルを持つシール剤吐出機１２とが取付けられており、
そのノズル先端は下方の第１のガラス基板１３を向いて
いる。一方の上記レール７と対面する基板貼り合わせス
テーションＳ２部の架台３の上部には、さらに支柱２ｂ
で梁持された架台１８に加圧用駆動機構１７が載置さ
れ、その下方に延びたボールねじ１７ａを介して該駆動
機構１７で架台３の下側に設けられた加圧吸着テーブル
１５を上下に移動するようになっている。この加圧吸着
テーブル１５はその下面に第２のガラス基板１４を上記
第１のガラス基板１３と平行になるように真空吸着など
により水平に吊り下げる形に支持するようになってい
る。またこのテーブル１５には２箇所に孔１５ａ，１５
ｂが穿けられており、このテーブル１５に穿けられた孔
１５ａ，１５ｂに対応する架台３の部署にはＣＣＤ内蔵
の画像認識用カメラ１６ａ，１６ｂが取付けられてい
る。この両カメラ１６ａ，１６ｂは下方を向いており、
従ってカメラ１６ａ，１６ｂはテーブル１５の両孔１５
ａ，１５ｂを通して第２のガラス基板１４などの下部に
存在する物体を確認することができる。なおこの液晶表
示パネル組立装置には上記した各駆動部の図示していな
い制御装置が設けられている。
【０００９】図２は図１の液晶表示パネル組立装置の動
作説明用の概略図である。つぎに図２により図１の液晶
表示パネル組立装置の動作および機能を説明する。なお
図２ではＸＹθステージ５および下側吸着テーブル８を
貼り合わせステーションＳ２に移動させた場合を２点鎖
線で示し、その各々に５φ，８φの符号を符した。図２
において、初めに貼り合わせステーションＳ２にステー
ジ移動テーブル４が基台２上のレール７上を図１のステ
ージ駆動モータ６により走行されると、ＸＹθステージ
５φ上の下側吸着テーブル８φ上にアダプタ１４ａを介
して第２のガラス基板１４が載置される。このアダプタ
１４ａは第２のガラス基板１４の下面が下側吸着テーブ
ル８φに接触することを阻止するためのもので、第２の
ガラス基板１４の周縁を支持する額縁状のものである。
ここで両カメラ１６ａ，１６ｂで第２のガラス基板１４
に設けられた図示していない位置合わせマークを読み取
りつつ、第２のガラス基板１４が貼り合わせステーショ
ンＳ２の所定位置に置かれるようにＸＹθステージ５φ
を制御する。次いで図１の加圧用駆動機構１７で加圧吸
着テーブル１５を下方に移動させて、第２のガラス基板
１４を該テーブル１５で水平に吊り下げる形に吸着支持
し、そのまま駆動機構１７で加圧吸着テーブル１５を介
して第２のガラス基板１４を上方に移動させて待機さ
せ、そしてアダプタ１４ａは除去される。この動作で塵
埃が遊離しても塵埃を避ける必要のない第２のガラス基
板１４上面に落下するだけで何等の問題がない。
作説明用の概略図である。つぎに図２により図１の液晶
表示パネル組立装置の動作および機能を説明する。なお
図２ではＸＹθステージ５および下側吸着テーブル８を
貼り合わせステーションＳ２に移動させた場合を２点鎖
線で示し、その各々に５φ，８φの符号を符した。図２
において、初めに貼り合わせステーションＳ２にステー
ジ移動テーブル４が基台２上のレール７上を図１のステ
ージ駆動モータ６により走行されると、ＸＹθステージ
５φ上の下側吸着テーブル８φ上にアダプタ１４ａを介
して第２のガラス基板１４が載置される。このアダプタ
１４ａは第２のガラス基板１４の下面が下側吸着テーブ
ル８φに接触することを阻止するためのもので、第２の
ガラス基板１４の周縁を支持する額縁状のものである。
ここで両カメラ１６ａ，１６ｂで第２のガラス基板１４
に設けられた図示していない位置合わせマークを読み取
りつつ、第２のガラス基板１４が貼り合わせステーショ
ンＳ２の所定位置に置かれるようにＸＹθステージ５φ
を制御する。次いで図１の加圧用駆動機構１７で加圧吸
着テーブル１５を下方に移動させて、第２のガラス基板
１４を該テーブル１５で水平に吊り下げる形に吸着支持
し、そのまま駆動機構１７で加圧吸着テーブル１５を介
して第２のガラス基板１４を上方に移動させて待機さ
せ、そしてアダプタ１４ａは除去される。この動作で塵
埃が遊離しても塵埃を避ける必要のない第２のガラス基
板１４上面に落下するだけで何等の問題がない。
【００１０】次に下側吸着テーブル８φ上に第１のガラ
ス基板１３を載置し、そして第１のガラス基板１３が貼
り合わせステーションＳ２の所定位置に置かれるように
ＸＹθステージ５φを制御する。ここで第１のガラス基
板１３の位置合わせが終わったら、今度はＸＹθステー
ジ５φをシール剤描画ステーションＳ１に移動させる。
次にシール剤描画ステーションＳ１で、Ｚ軸移動テーブ
ル１０上の光学式非接触変位計１１の出力により図１の
Ｚ軸駆動モータ９を制御して、Ｚ軸移動テーブル１０上
のシール剤吐出機１２のノズル先端と下側吸着テーブル
８上の第１のガラス基板１３上面とのギャップを設定す
る。この動作でギャップ設定のためのシール剤吐出機１
２のノズル移動距離はわずかであり、これによる塵埃の
遊離は殆どない。また塵埃の遊離を極度に嫌う場合に
は、図２中に１点鎖線で示すようにシール剤吐出機１２
のＺ軸移動テーブル１０を含む駆動部を密閉し、その密
閉空間を真空引きすればよい。そしてＸＹθステージ５
を所定の描画パターンに従ってＸＹ方向に移動させつ
つ、シール剤吐出機１２のノズルからシール剤を吐出さ
せて、シール剤の第１のガラス基板１３への塗布を行
う。この描きたいシール剤パターンは図示していない。
また図示していない制御装置で所謂パソコン描画パター
ンを格納記憶させておくことによって、同じ描画パター
ンを何枚もの第１のガラス基板１３への塗布を行うこと
が可能であり、また格納データの変更で各種の描画パタ
ーンを得ることもできる。この動作でシール剤の吐出描
画中に第１のガラス基板１３の上部で動くものが存在し
ないため、第１のガラス基板１３の上面への塵埃の落下
はない。
ス基板１３を載置し、そして第１のガラス基板１３が貼
り合わせステーションＳ２の所定位置に置かれるように
ＸＹθステージ５φを制御する。ここで第１のガラス基
板１３の位置合わせが終わったら、今度はＸＹθステー
ジ５φをシール剤描画ステーションＳ１に移動させる。
次にシール剤描画ステーションＳ１で、Ｚ軸移動テーブ
ル１０上の光学式非接触変位計１１の出力により図１の
Ｚ軸駆動モータ９を制御して、Ｚ軸移動テーブル１０上
のシール剤吐出機１２のノズル先端と下側吸着テーブル
８上の第１のガラス基板１３上面とのギャップを設定す
る。この動作でギャップ設定のためのシール剤吐出機１
２のノズル移動距離はわずかであり、これによる塵埃の
遊離は殆どない。また塵埃の遊離を極度に嫌う場合に
は、図２中に１点鎖線で示すようにシール剤吐出機１２
のＺ軸移動テーブル１０を含む駆動部を密閉し、その密
閉空間を真空引きすればよい。そしてＸＹθステージ５
を所定の描画パターンに従ってＸＹ方向に移動させつ
つ、シール剤吐出機１２のノズルからシール剤を吐出さ
せて、シール剤の第１のガラス基板１３への塗布を行
う。この描きたいシール剤パターンは図示していない。
また図示していない制御装置で所謂パソコン描画パター
ンを格納記憶させておくことによって、同じ描画パター
ンを何枚もの第１のガラス基板１３への塗布を行うこと
が可能であり、また格納データの変更で各種の描画パタ
ーンを得ることもできる。この動作でシール剤の吐出描
画中に第１のガラス基板１３の上部で動くものが存在し
ないため、第１のガラス基板１３の上面への塵埃の落下
はない。
【００１１】次に該シール剤塗布終了後にＸＹθステー
ジ５は再び貼り合わせステーションＳ２に移動されて、
初めに第２のガラス基板１４を抱えた加圧吸着テーブル
１５の真下に位置決めされる。この動作でも第１のガラ
ス基板１３はＸＹθステージ５および下側吸着テーブル
８ごと第２のガラス基板１４の下方に配置され、別の搬
送手段が介在されないことと第１のガラス基板１３の上
部で動くものが存在しないことによって、第１のガラス
基板１３の移動に際しても第１のガラス基板１３の上面
に塵埃が落下しない。さらに別の搬送手段を必要としな
いので簡単な装置構成となっている。次に両カメラ１６
ａ，１６ｂの焦点を第１のガラス基板１３の図示してい
ない位置合わせマークに合わせ、両カメラ１６ａ，１６
ｂでマークを読み取りながらＸＹθステージ５φを駆動
制御して、第１のガラス基板１３と第２のガラス基板１
４との凡その位置合わせを行う。そして図１の加圧用駆
動機構１７で加圧吸着テーブル１５を下方に徐々に移動
させて、両カメラ１６ａ，１６ｂで第２のガラス基板１
４の図示していない位置合わせマークが読み取れるよう
になったら、ＸＹθステージ５φを駆動制御して第１の
ガラス基板１３と第２のガラス基板１４との正確な位置
合わせを行いつつ、加圧吸着テーブル１５をさらに徐々
に下降させて２枚のガラス基板１３，１４をシール剤で
貼り合わせる。この動作で両ガラス基板１３，１４の貼
り合わせでは、両ガラス基板１３，１４の間に動くもの
が存在しないことによって、第１のガラス基板１３の上
面に塵埃が落下しない。以上のように組立作業の如何な
る工程でも第１のガラス基板１３の上面に塵埃が落下し
ないため、両ガラス基板１３，１４のシール剤による貼
り合わせで形成される空間内に塵埃が取り込まれること
がない。また以上のシール剤描画工程と、基板貼り合わ
せ工程と、そのシール剤描画と基板貼り合わせの両ステ
ーション間の移動工程とは簡単なシーケンス制御で処理
できるので、図示していない制御装置により一連の動作
をプログラム化してパソコンで制御してもよい。
ジ５は再び貼り合わせステーションＳ２に移動されて、
初めに第２のガラス基板１４を抱えた加圧吸着テーブル
１５の真下に位置決めされる。この動作でも第１のガラ
ス基板１３はＸＹθステージ５および下側吸着テーブル
８ごと第２のガラス基板１４の下方に配置され、別の搬
送手段が介在されないことと第１のガラス基板１３の上
部で動くものが存在しないことによって、第１のガラス
基板１３の移動に際しても第１のガラス基板１３の上面
に塵埃が落下しない。さらに別の搬送手段を必要としな
いので簡単な装置構成となっている。次に両カメラ１６
ａ，１６ｂの焦点を第１のガラス基板１３の図示してい
ない位置合わせマークに合わせ、両カメラ１６ａ，１６
ｂでマークを読み取りながらＸＹθステージ５φを駆動
制御して、第１のガラス基板１３と第２のガラス基板１
４との凡その位置合わせを行う。そして図１の加圧用駆
動機構１７で加圧吸着テーブル１５を下方に徐々に移動
させて、両カメラ１６ａ，１６ｂで第２のガラス基板１
４の図示していない位置合わせマークが読み取れるよう
になったら、ＸＹθステージ５φを駆動制御して第１の
ガラス基板１３と第２のガラス基板１４との正確な位置
合わせを行いつつ、加圧吸着テーブル１５をさらに徐々
に下降させて２枚のガラス基板１３，１４をシール剤で
貼り合わせる。この動作で両ガラス基板１３，１４の貼
り合わせでは、両ガラス基板１３，１４の間に動くもの
が存在しないことによって、第１のガラス基板１３の上
面に塵埃が落下しない。以上のように組立作業の如何な
る工程でも第１のガラス基板１３の上面に塵埃が落下し
ないため、両ガラス基板１３，１４のシール剤による貼
り合わせで形成される空間内に塵埃が取り込まれること
がない。また以上のシール剤描画工程と、基板貼り合わ
せ工程と、そのシール剤描画と基板貼り合わせの両ステ
ーション間の移動工程とは簡単なシーケンス制御で処理
できるので、図示していない制御装置により一連の動作
をプログラム化してパソコンで制御してもよい。
【００１２】図３は図１の液晶表示パネル組立装置の外
観の斜視図である。図３において、図１の液晶表示パネ
ル組立装置１の前面と裏面の下部には網カバー１９，２
０が設けられ、両側面には蔽いカバー２１，２２が設け
られ、蔽いカバー２２の脇に各駆動部の図示していない
制御装置の制御パネル２３が設置されている。また天井
には網カバー２４が設けられ、前面の上部にはアクリル
製の透明カバー２５が設けられて内部が見えるようにな
っている。本液晶表示パネル組立装置１はダウンフロー
式クリーンルームに置かれ、矢印Ａで示した空気が流さ
れると、装置１に天井の網カバー２４から入った空気は
矢印Ｂ，Ｃで示すように装置１の前面と裏面の下部の網
カバー１９，２０から流出し、その空気流で装置１内の
塵埃は外部に排出される。
観の斜視図である。図３において、図１の液晶表示パネ
ル組立装置１の前面と裏面の下部には網カバー１９，２
０が設けられ、両側面には蔽いカバー２１，２２が設け
られ、蔽いカバー２２の脇に各駆動部の図示していない
制御装置の制御パネル２３が設置されている。また天井
には網カバー２４が設けられ、前面の上部にはアクリル
製の透明カバー２５が設けられて内部が見えるようにな
っている。本液晶表示パネル組立装置１はダウンフロー
式クリーンルームに置かれ、矢印Ａで示した空気が流さ
れると、装置１に天井の網カバー２４から入った空気は
矢印Ｂ，Ｃで示すように装置１の前面と裏面の下部の網
カバー１９，２０から流出し、その空気流で装置１内の
塵埃は外部に排出される。
【００１３】本基板組立装置は以下の態様で実施でき
る。第１の態様は図１のＺ軸移動テーブル１０に代えて
Ｚ軸移動テーブルをＸＹθステージ５に設け、シール剤
描画ステーションＳ１部の架台３にノズルを持つシール
剤吐出機１２および光学式非接触変位計１１を直接固定
し、該Ｚ軸移動テーブルでシール剤吐出機１２のノズル
先端と下側吸着テーブル８上の第１のガラス基板１３と
のギャップを設定するようにしたものである。この態様
はシール剤描画ステーションＳ１では下側吸着テーブル
８に載置される第１の基板１３の上方に可動部が全く存
在しないため、第１の基板１３への塵埃の落下が皆無で
ある。第２の態様は図１の基板貼り合わせステーション
Ｓ２における加圧用駆動機構１７および架台１８を省略
し、架台３に第２の基板１４の吸着テーブル１５を直接
固定して、Ｚ軸移動テーブルをＸＹθステージ５に設
け、該Ｚ軸移動テーブルで第２の基板１４を上昇させて
吸着テーブル１５に吸着固定し、また３枚の基板１３，
１４を貼り合わせるようにしたものである。この態様は
基板貼り合わせステーションＳ２では吸着テーブル１５
の上方に可動部が全く存在せず、塵埃の第１の基板１３
への落下が皆無であり、また加圧用駆動機構１７と架台
１８の省略により装置構成が一層簡略化できる。第３の
態様は基板吸着機能をＸＹθステージ５に設けて、下側
吸着テーブル８を省略したものである。この態様はステ
ージ移動テーブル４上に乗せられる部材が減少して、軽
量化によりステージ移動テーブル４の走行が軽快にな
る。第４の態様はシール剤の固定化仕様に応じて、シー
ル剤固化のための紫外線照射手段等をシール剤描画ステ
ーションＳ１と基板貼り合わせステーションＳ２のいず
れかに設けたものである。この態様はシール剤の固化の
ための別置きの装置を必要とせず、装置構成を簡略化で
きる。
る。第１の態様は図１のＺ軸移動テーブル１０に代えて
Ｚ軸移動テーブルをＸＹθステージ５に設け、シール剤
描画ステーションＳ１部の架台３にノズルを持つシール
剤吐出機１２および光学式非接触変位計１１を直接固定
し、該Ｚ軸移動テーブルでシール剤吐出機１２のノズル
先端と下側吸着テーブル８上の第１のガラス基板１３と
のギャップを設定するようにしたものである。この態様
はシール剤描画ステーションＳ１では下側吸着テーブル
８に載置される第１の基板１３の上方に可動部が全く存
在しないため、第１の基板１３への塵埃の落下が皆無で
ある。第２の態様は図１の基板貼り合わせステーション
Ｓ２における加圧用駆動機構１７および架台１８を省略
し、架台３に第２の基板１４の吸着テーブル１５を直接
固定して、Ｚ軸移動テーブルをＸＹθステージ５に設
け、該Ｚ軸移動テーブルで第２の基板１４を上昇させて
吸着テーブル１５に吸着固定し、また３枚の基板１３，
１４を貼り合わせるようにしたものである。この態様は
基板貼り合わせステーションＳ２では吸着テーブル１５
の上方に可動部が全く存在せず、塵埃の第１の基板１３
への落下が皆無であり、また加圧用駆動機構１７と架台
１８の省略により装置構成が一層簡略化できる。第３の
態様は基板吸着機能をＸＹθステージ５に設けて、下側
吸着テーブル８を省略したものである。この態様はステ
ージ移動テーブル４上に乗せられる部材が減少して、軽
量化によりステージ移動テーブル４の走行が軽快にな
る。第４の態様はシール剤の固定化仕様に応じて、シー
ル剤固化のための紫外線照射手段等をシール剤描画ステ
ーションＳ１と基板貼り合わせステーションＳ２のいず
れかに設けたものである。この態様はシール剤の固化の
ための別置きの装置を必要とせず、装置構成を簡略化で
きる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、液
晶表示パネルのように２枚の基板を接近させてシール剤
で貼り合わせる基板組立装置での組立作業中に塵埃を取
り込まずに貼り合わすことができ、また基板組立装置の
構成を簡単にできる効果がある。
晶表示パネルのように２枚の基板を接近させてシール剤
で貼り合わせる基板組立装置での組立作業中に塵埃を取
り込まずに貼り合わすことができ、また基板組立装置の
構成を簡単にできる効果がある。
【図１】図１は本発明による基板組立装置の一実施例を
示す液晶表示パネル組立装置の正面図
示す液晶表示パネル組立装置の正面図
【図２】図２は図１の動作説明用の概略図
【図３】図３は図１の外観の斜視図
Ｓ１…シール剤描画ステーション、Ｓ２…基板貼り合わ
せステーション、４…ステージ移動テーブル、５…ＸＹ
θステージ、７…レール、８…下側吸着テーブル、１０
…Ｚ軸移動テーブル、１１…光学式非接触変位計、１２
…ノズルを持つシール剤吐出機、１３…第１の基板、１
４…第２の基板、１５…加圧吸着テーブル、１６ａ，１
６ｂ…カメラ、１７…加圧用駆動機構、１９，２０，２
４…網カバー。
せステーション、４…ステージ移動テーブル、５…ＸＹ
θステージ、７…レール、８…下側吸着テーブル、１０
…Ｚ軸移動テーブル、１１…光学式非接触変位計、１２
…ノズルを持つシール剤吐出機、１３…第１の基板、１
４…第２の基板、１５…加圧吸着テーブル、１６ａ，１
６ｂ…カメラ、１７…加圧用駆動機構、１９，２０，２
４…網カバー。
フロントページの続き (72)発明者 三階 春夫 茨城県竜ヶ崎市向陽台５丁目２番 日立 テクノエンジニアリング株式会社 開発 研究所内 (72)発明者 近藤 克己 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社 日立製作所 日立研究所内 (56)参考文献 特開 平２−198417（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−175667（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−250622（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−311227（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】 シール剤描画ステーションと基板貼り合
わせステーションとの間を移動可能なテーブルと、上記
シール剤描画ステーションに設けられシール剤を吐出す
る先端が下方を向いたノズルと、上記テーブル上に設け
られ第１の基板を搭載する少なくとも直交方向に移動可
能なステージと、上記ノズルからシール剤を吐出させつ
つ上記ステージを直交方向に移動させることにより上記
第１の基板にシール剤を所望のパターンで描画させる手
段と、上記テーブルが上記基板貼り合わせステーション
に移動されたときに第２の基板を上記ステージに搭載さ
れた上記第１の基板と平行でその上方になるように支持
する手段と、上記支持する手段で平行に配置された上記
第１と第２の両基板の対向間隔を狭めることにより両基
板をシール剤で貼り合わせる手段とを備えたことを特徴
とする基板組立装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の基板組立装置において、
上記ステージは搭載する第１の基板をさらに上下方向に
移動可能であることを特徴とする基板組立装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の基板組立装置において、
その天井部と側周の一部とが網カバーで蔽われたことを
特徴とする基板組立装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32313891A JP2609386B2 (ja) | 1991-12-06 | 1991-12-06 | 基板組立装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32313891A JP2609386B2 (ja) | 1991-12-06 | 1991-12-06 | 基板組立装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05154923A JPH05154923A (ja) | 1993-06-22 |
| JP2609386B2 true JP2609386B2 (ja) | 1997-05-14 |
Family
ID=18151512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32313891A Expired - Fee Related JP2609386B2 (ja) | 1991-12-06 | 1991-12-06 | 基板組立装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2609386B2 (ja) |
Families Citing this family (136)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7230670B2 (en) | 2001-10-05 | 2007-06-12 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method for fabricating LCD |
| US7253866B2 (en) | 2001-10-27 | 2007-08-07 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method of fabricating liquid crystal display device |
| US6819391B2 (en) | 2001-11-30 | 2004-11-16 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display panel having dummy column spacer with opened portion |
| KR100685948B1 (ko) | 2001-12-14 | 2007-02-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 및 그 제조방법 |
| US7292304B2 (en) | 2001-12-17 | 2007-11-06 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display panel and method for fabricating the same comprising a dummy column spacer to regulate a liquid crystal flow and a supplemental dummy column spacer formed substantially parallel and along the dummy column spacer |
| KR100652045B1 (ko) | 2001-12-21 | 2006-11-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 및 그 제조방법 |
| KR100685949B1 (ko) | 2001-12-22 | 2007-02-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 및 그 제조방법 |
| KR100652046B1 (ko) | 2001-12-22 | 2006-11-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 및 그 제조방법 |
| US7362407B2 (en) | 2002-02-01 | 2008-04-22 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method of fabricating liquid crystal display device |
| KR100510718B1 (ko) | 2002-02-04 | 2005-08-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자의 제조 장치 |
| KR100510719B1 (ko) | 2002-02-05 | 2005-08-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시 장치의 제조 방법 |
| US6991699B2 (en) | 2002-02-05 | 2006-01-31 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | LCD bonding machine and method for fabricating LCD by using the same |
| KR100469354B1 (ko) | 2002-02-06 | 2005-02-02 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시 장치의 제조 방법 |
| KR100469353B1 (ko) | 2002-02-06 | 2005-02-02 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자용 합착 장치 |
| KR100817129B1 (ko) | 2002-02-07 | 2008-03-27 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 패널의 절단 장치 및 그 방법 |
| KR100672640B1 (ko) | 2002-02-07 | 2007-01-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Ｕｖ조사장치 및 그를 이용한 액정표시소자의 제조방법 |
| US7410109B2 (en) | 2002-02-07 | 2008-08-12 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus with nozzle protecting device |
| KR100789454B1 (ko) | 2002-02-09 | 2007-12-31 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 패널의 절단 장치 및 그 방법 |
| KR100832292B1 (ko) | 2002-02-19 | 2008-05-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정 패널의 절단 장치 |
| KR100789455B1 (ko) | 2002-02-20 | 2007-12-31 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 패널의 절단 방법 |
| KR100672641B1 (ko) | 2002-02-20 | 2007-01-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 및 그 제조방법 |
| JP4126593B2 (ja) | 2002-02-20 | 2008-07-30 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 液晶表示装置の製造方法 |
| KR100505180B1 (ko) | 2002-02-20 | 2005-08-01 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 노즐세정장치를 구비한 액정적하장치 및 액정적하방법 |
| KR100532083B1 (ko) | 2002-02-20 | 2005-11-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 일체화된 니들시트를 가진 액정적하장치 |
| KR100469359B1 (ko) | 2002-02-20 | 2005-02-02 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자용 합착 장치 |
| US6824023B2 (en) | 2002-02-20 | 2004-11-30 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus |
| US7006202B2 (en) | 2002-02-21 | 2006-02-28 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Mask holder for irradiating UV-rays |
| US6864948B2 (en) | 2002-02-22 | 2005-03-08 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus for measuring dispensing amount of liquid crystal drops and method for manufacturing liquid crystal display device using the same |
| KR100469360B1 (ko) | 2002-02-22 | 2005-02-02 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자의 제조 장비용 진공 합착 장치 및 구동 방법 |
| KR100469508B1 (ko) | 2002-02-22 | 2005-02-02 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 스프링의 장력조정에 의해 액정적하량을 제어가 가능한액정적하장치 |
| US6803984B2 (en) | 2002-02-25 | 2004-10-12 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacturing liquid crystal display device using serial production processes |
| US6712883B2 (en) | 2002-02-25 | 2004-03-30 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for deaerating liquid crystal |
| US6774958B2 (en) | 2002-02-26 | 2004-08-10 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal panel, apparatus for inspecting the same, and method of fabricating liquid crystal display thereof |
| US8074551B2 (en) | 2002-02-26 | 2011-12-13 | Lg Display Co., Ltd. | Cutting wheel for liquid crystal display panel |
| KR100511352B1 (ko) * | 2002-02-27 | 2005-08-31 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정적하장치 및 액정적하량 제어방법 |
| KR100720414B1 (ko) | 2002-02-27 | 2007-05-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시 장치의 제조 방법 |
| US6784970B2 (en) | 2002-02-27 | 2004-08-31 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method of fabricating LCD |
| US6833901B2 (en) | 2002-02-27 | 2004-12-21 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Method for fabricating LCD having upper substrate coated with sealant |
| US7270587B2 (en) | 2002-03-05 | 2007-09-18 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for manufacturing liquid crystal display devices, method for using the apparatus, and device produced by the method |
| KR100606966B1 (ko) | 2002-03-06 | 2006-08-01 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자의 제조라인 |
| KR100798320B1 (ko) | 2002-03-06 | 2008-01-28 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법 |
| KR100685951B1 (ko) | 2002-03-06 | 2007-02-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 및 그 제조방법 |
| KR100662495B1 (ko) | 2002-03-07 | 2007-01-02 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자의 제조방법 |
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| US7416010B2 (en) | 2002-03-08 | 2008-08-26 | Lg Display Co., Ltd. | Bonding apparatus and system for fabricating liquid crystal display device |
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