JP2005019873A - 駆動素子のボンディング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】駆動素子7をボンディング位置に移動させ、その端子配列領域の所定の撮像箇所を撮像手段29a,29bにより撮像してその画像を画像メモリに記憶させた後、撮像後の駆動素子7を後退させて前記ボンディング位置に液晶表示パネル1を搬入し、この液晶表示パネル1の端子配列領域のうち、前記駆動素子7の撮像箇所に対応する撮像箇所を撮像手段29a,29bにより撮像し、その撮像箇所の駆動素子接続端子5の画像と、前記画像メモリに記憶させた駆動素子7の端子8の画像とを重ねた合成画像をモニタディスプレイに表示させ、その合成画像に基づいて前記端子5,8の相対位置を調整した後に、撮像後の駆動素子7を再びボンディング位置に移動させ、この駆動素子7を液晶表示パネル1に異方導電性接着剤10により接着する。
【選択図】 図4
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、駆動素子搭載型の液晶表示パネルに駆動素子をボンディングする方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
駆動素子搭載型液晶表示パネルは、液晶層を挟んで対向する一対の透明基板の少なくとも一方の側縁部に他方の基板の外方に張出す透明な駆動素子搭載部が形成され、その駆動素子搭載部に複数の駆動素子接続端子が配列形成された構成となっている。
【0003】
そして、液晶表示パネルの駆動素子は、その一方の面に配列形成された複数の端子を前記複数の駆動素子接続端子にそれぞれ対向させて前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に搭載され、樹脂中に導電性粒子を混入した異方導電性接着剤により接着することによりボンディングされている。
【0004】
前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上への駆動素子のボンディングは、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部と前記駆動素子のいずれか一方に前記異方導電性接着剤を塗布し、前記駆動素子を、その複数の端子が前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子にそれぞれ対向するように位置合わせして前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に搭載し、この駆動素子を前記異方導電性接着剤により前記駆動素子搭載部に接着することにより行なわれる。
【0005】
この駆動素子のボンディングにおいて、前記駆動素子の位置合わせは、前記複数の端子と駆動素子接続端子とを一致させるか、或いは前記駆動素子と前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部とにそれぞれ設けられた位置合わせマークを一致させることにより行なわれる。
【0006】
その場合、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部は透明であるため、この駆動素子搭載部に形成された駆動素子接続端子または位置合わせマークは、前記駆動素子搭載部の反対面側から前記駆動素子搭載部を透して見ることができる。
【0007】
一方、前記駆動素子は不透明であるため、この駆動素子の端子または位置合わせマークは、前記駆動素子の端子形成面側、つまり液晶表示パネルへの接着面側からしか見ることができない。
【0008】
そして、ほとんどの異方導電性接着剤は、不透明または半透明であるため、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に前記異方導電性接着剤の塗布層を挟んで重ねられた駆動素子の端子または位置合わせマークを、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の反対面側から視認して前記駆動素子を位置合わせすることはほとんど不可能である。
【0009】
また、前記異方導電性接着剤が透明であっても、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載に形成された駆動素子接続端子または位置合わせマークが不透明な金属膜で形成されている場合は、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の反対面側から前記駆動素子の端子または位置合わせマークを視認して前記駆動素子を位置合わせすることはほとんど不可能である。
【0010】
そのため、液晶表示パネルの駆動素子搭載部上への駆動素子のボンディングは、従来、液晶表示パネルをパネル位置決め用テーブルにテレビカメラを用いた画像処理により位置決めして固定し、このパネル位置決め用テーブルを搬送ロボットによりボンディングステージ上に載置するとともに、複数の端子の上にそれぞれ異方導電性接着剤を塗布した駆動素子を駆動素子位置決め用テーブルにテレビカメラを用いた画像処理により位置決めして固定し、この駆動素子位置決め用テーブルを搬送ロボットにより前記ボンディングステージ上に搬送して前記駆動素子を前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部に対向させ、その後に、ボンディングヘッドにより前記駆動素子を前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部に押し付けて、前記異方導電性接着剤により接着する方法で行なわれている(特許文献1参照)。
【0011】
【特許文献1】
特開平5−241184号公報
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来のボンディング方法は、テレビカメラを用いた画像処理によるパネル位置決め用テーブル及び駆動素子位置決め用テーブルへの液晶表示パネル及び駆動素子の位置決めは精度良く行なえるが、前記パネル位置決め用テーブルをボンディングステージ上に載置する搬送ロボットの動作誤差と、前記駆動素子位置決め用テーブルを前記ボンディングステージ上に搬送する搬送ロボットの動作誤差の両方が、液晶表示パネルに対する駆動素子の位置合わせ精度に影響する。
【0013】
そのため、このボンディング方法では、前記駆動素子を、その複数の端子を前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子に精度良く対向させて搭載することが難しい。
【0014】
この発明は、駆動素子を、その複数の端子を液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子に精度良く対向させて搭載することができるボンディング方法を提供することを目的としたものである。
【0015】
【課題を解決するための手段】
この発明のボンディング方法は、ヘッド移動手段により前記液晶表示パネルへの前記駆動素子のボンディングを行なうボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動されるボンディングヘッドに前記駆動素子を固定し、この駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置に移動させる工程と、前記ボンディング位置に移動された前記駆動素子の端子配列領域の所定の撮像箇所の複数の端子を撮像手段により撮像し、その撮像箇所の複数の端子の画像を画像メモリに記憶させる工程と、前記撮像後の駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置から後退させ、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させる工程と、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部と前記撮像後の駆動素子のいずれか一方に前記異方導電性接着剤を塗布する工程と、前記液晶表示パネルを前記ボンディング位置に搬入する工程と、前記ボンディング位置に搬入された前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子配列領域のうち、前記駆動素子の撮像箇所に対応する撮像箇所を前記撮像手段により撮像し、その撮像箇所の複数の駆動素子接続端子の画像と前記画像メモリに記憶させた前記駆動素子の複数の端子の画像とを重ねた合成画像に基づいて前記前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子と前記駆動素子の複数の端子との相対位置を調整する工程と、前記液晶表示パネルの位置調整後に、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させておいた前記撮像後の駆動素子を前記ヘッド移動手段により再び前記ボンディング位置に移動させ、この駆動素子を前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に押し付けて前記異方導電性接着剤により接着する工程とからなることを特徴とする。
【0016】
このボンディング方法では、前記ヘッド移動手段により移動されるボンディングヘッドに駆動素子を固定し、この駆動素子をボンディング位置に移動させてその端子配列領域の所定の撮像箇所を撮像した後、この撮像後の駆動素子を前記ボンディング位置から後退させて前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させ、前記ボンディング位置に液晶表示パネルを搬入した後に、前記撮像後の駆動素子を再び前記ボンディング位置に移動させるようにしているため、前記ボンディング位置に液晶表示パネルを搬入した後に前記ボンディング位置に再び移動された撮像後の駆動素子の位置は、この駆動素子の撮像時の位置と実質的に同じである。
【0017】
そして、このボンディング方法では、前記ボンディング位置に移動させた駆動素子の端子配列領域の所定の撮像箇所を撮像手段により撮像してその撮像箇所の複数の端子の画像を画像メモリに記憶させ、前記撮像後の駆動素子を前記ボンディング位置から後退させた後に、前記ボンディング位置に液晶表示パネルを搬入し、この液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子配列領域のうち、前記駆動素子の撮像箇所に対応する撮像箇所を前記撮像手段により撮像しているため、前記画像メモリに記憶させた前記駆動素子の複数の端子の画像と前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子の画像とを重ねた合成画像は、前記ボンディング位置に搬入された液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子と前記ボンディング位置に再び移動された撮像後の駆動素子の複数の端子の実際の位置関係と実質的に同じ画像である。
【0018】
そのため、前記合成画像に基づいて前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子と前記駆動素子の複数の端子との相対位置を調整した箇所後に、前記撮像後の駆動素子を再び前記ボンディング位置に移動させることにより、この駆動素子を、その複数の端子を前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子に一致させて前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に押し付け、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部と前記撮像後の駆動素子のいずれか一方に塗布した異方導電性接着剤により前記駆動素子搭載部に接着することができる。
【0019】
したがって、このボンディング方法によれば、前記駆動素子を、その複数の端子を前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子に精度良く対向させて搭載することができる。
【0020】
このように、この発明のボンディング方法は、ヘッド移動手段によりボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動されるボンディングヘッドに駆動素子を固定してこの駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置に移動させ、前記駆動素子の端子配列領域の所定の撮像箇所を、撮像手段により撮像してその撮像箇所の複数の端子の画像を画像メモリに記憶させた後、前記撮像後の駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置から後退させて前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させ、前記ボンディング位置に液晶表示パネルを搬入してその駆動素子搭載部の端子配列領域のうち、前記駆動素子の撮像箇所に対応する撮像箇所を前記撮像手段により撮像し、その撮像箇所の複数の駆動素子接続端子の画像と、前記画像メモリに記憶させた前記駆動素子の複数の端子の画像とを重ねた合成画像に基づいて前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子と前記駆動素子の複数の端子との相対位置を調整し、その後に、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させておいた前記撮像後の駆動素子を前記ヘッド移動手段により再び前記ボンディング位置に移動させ、この駆動素子を前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に押し付けて、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部と前記撮像後の駆動素子のいずれか一方に塗布した異方導電性接着剤により前記駆動素子搭載部に接着することにより、前記駆動素子を、その複数の端子を前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子に精度良く対向させて搭載できるようにしたものである。
【0021】
この発明のボンディング方法においては、前記駆動素子の端子配列領域及び前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子配列領域の2箇所を2つの撮像手段によりそれぞれ撮像し、その一方の撮像手段により撮像した前記駆動素子の複数の端子の画像と前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子の画像とを重ねた合成画像と、他方の撮像手段により撮像した前記駆動素子の複数の端子の画像と前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子の画像とを重ねた合成画像とをそれぞれモニタディスプレイに表示させて前記液晶表示パネルの位置を調整するのが好ましい。
【0022】
また、このボンディング方法においては、前記撮像手段の焦点を、液晶表示パネルを前記ボンディング位置に搬入したときの前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子形成面に一致させ、前記駆動素子の撮像箇所の撮像を、前記駆動素子7の端子形成面を前記撮像手段の焦点に一致させて行なうのが好ましい。
【0023】
さらに、このボンディング方法においては、前記駆動素子及び液晶表示パネルの駆動素子搭載部の撮像箇所をそれぞれ、前記駆動素子の端子形成面及び前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子形成面に対して垂直な方向から撮像するのが好ましい。
【0024】
【発明の実施の形態】
図1〜図7はこの発明の一実施例を示しており、図1は、液晶表示パネルに駆動素子をボンディングするためのボンディング装置の斜視図である。
【0025】
このボンディング装置は、水平な基台11上に液晶表示パネル1への駆動素子7のボンディングを行なうボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに水平移動可能に設けられた移動ステージ15と、前記ボンディング位置の上方に設けられたヘッド移動手段26により前記ボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに垂直に昇降移動されるボンディングヘッド27と、前記ボンディング位置に対向させて配置された撮像ユニット28と、前記撮像ユニット28により撮像された画像を表示するモニタ手段36(図3参照)とを備えている。
【0026】
前記移動ステージ15は、前記基台11上に固定されたレール12により案内され、エアシリンダ等のステージ移動機構17により前記ボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動される移動台16と、この移動台16上に一方向(例えば移動台16の移動方向と平行な方向)にスライド可能に設けられ、ネジ送り機構等の送り機構19により前記移動台16に対してスライド移動される第1の移動プレート18と、この第1の移動プレート18の上にその移動方向と直交する方向にスライド可能に設けられ、ネジ送り機構等の送り機構21により前記第1の移動プレート18に対してスライド移動される第2の移動プレート20と、この第2の移動プレート20の上に設けられ、ウォームギヤ機構等の回転機構23により任意角度回転される回転テーブル22と、この回転テーブル22の上に固定されたボンディング台24とからなっている。
【0027】
前記ボンディング台24は、矩形状の上枠部とその各辺のうちの前記移動台16の移動方向に沿った2つの辺に設けられた一対の壁状脚部とからなる門型台であり、前記上枠部の開口内に、ガラス板等からなる透明プレート25が水平に嵌着されている。
【0028】
このボンディング台24は、前記透明プレート25の上面に液晶表示パネル1を真空吸着により固定して支持するものであり、図1では省略しているが、前記透明プレート25には、その上面のパネル載置位置の中央部にパネル吸着孔が設けられるとともに、フレキシブルホースを介してパネル吸着用吸気装置が接続されている。
【0029】
前記移動ステージ15は、液晶表示パネル1への駆動素子7のボンディングを行なうときに、図1に実線で示したように、前記ボンディング台24上(透明プレート25の上面)に液晶表示パネル1を支持して前記ボンディング位置に移動され、前記液晶表示パネル1に駆動素子7をボンディングした後に、図1に二点鎖線で示したように前記ボンディング位置から後退移動される。
【0030】
一方、前記ヘッド移動手段26は、例えばエアーシリンダからなっており、このヘッド移動手段(以下、ヘッド移動シリンダと言う)26は、その基部を前記基台11の上方に配置された上フレーム13に固定して、前記ボンディング位置の上方に垂直に設けられている。なお、このヘッド移動シリンダ26は、そのピストンロッド26aを回転及び振動を生じさせること無く進退させるように設計されている。
【0031】
また、前記ボンディングヘッド27は、その下面に、横長形状の駆動素子固定部27aを有しており、前記駆動素子固定部27aの長さ方向を所定の方向に向け、下面を前記移動ステージ15のボンディング台24の上面と平行にして、前記ヘッド移動シリンダ26のピストンロッド26aの先端に固定されている。
【0032】
このボンディングヘッド27は、前記駆動素子固定部27aの下面に駆動素子7を真空吸着により固定するものであり、図1では省略しているが、このボンディングヘッド27には、前記駆動素子固定部27aの下面の中央部に開口する駆動素子吸着孔が設けられとともに、フレキシブルホースを介して駆動素子吸着用吸気装置が接続されている。
【0033】
また、前記撮像ユニット28は、前記ボンディングヘッド27の下面に吸着固定されて前記ヘッド移動シリンダ26により前記ボンディング位置に下降移動される駆動素子7の端子配列領域の2箇所の画像と、前記移動ステージ15のボンディング台24上に支持されて前記ボンディング位置に搬入される液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの端子配列領域の2箇所の画像とをそれぞれ撮像する第1と第2の2つの撮像手段29a,29bを備えている(図4参照)。
【0034】
図2は前記撮像ユニット28の2つの撮像手段29a,29bの斜視図であり、これらの撮像手段29a,29bはそれぞれ、被写体照明用光源を内蔵したCCD(固体撮像素子)カメラ30と、被写体側ミラー33及び中継ミラー34とにより構成されている。
【0035】
なお、前記CCDカメラ30は、その内部構造は図示しないが、レンズ部31の一側に形成された光源収容部32内に平行光を出射する被写体照明用光源を設け、前記レンズ部31内に、前記光源からの出射光をレンズ光軸と平行な方向に屈折させてレンズ部31から出射させ、外部から前記レンズ部31に入射した光を透過させてCCD(固体撮像素子)の撮像面に入射させるダイクロイックミラー等の光学素子を配置した構成となっている。
【0036】
前記CCDカメラ30は、そのレンズ光軸を水平にして配置されており、その前方に前記中継ミラー34が、その反射面を前記CCDカメラ30のレンズ光軸に対して45度の角度で交差させて垂直に配置されている。
【0037】
また、前記被写体側ミラー33は、前記中継ミラー34の側方に、その反射面を上方及び中継ミラー34に対向させて、水平面に対し45度傾けて配置されている。
【0038】
すなわち、この撮像手段29a,29bは、前記CCDカメラ30からそのレンズ光軸と平行(水平方向)に出射した照明光を、前記中継ミラー34と被写体側ミラー33とを介して上方に垂直に投射し、被写体である駆動素子7及び液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aにより反射されて上方から垂直に入射した光を前記被写体側ミラー33と中継ミラー34とを介して前記CCDカメラ30に前記レンズ光軸と平行に入射させることにより、前記駆動素子7の端子配列領域及び液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの端子配列領域の所定の撮像箇所を撮像する。
【0039】
なお、第1の撮像手段29aと第2の撮像手段29bは、図2に示したように、それぞれの被写体側ミラー33の配置側を互いに逆にした対称形の構成とされている。
【0040】
そして、前記第1と第2の撮像手段29a,29bは、それぞれのCCDカメラ30のレンズ光軸を互いに平行にし、それぞれの被写体側ミラー33を、前記ボンディングヘッド27の下面の駆動素子固定部27aに固定される駆動素子7の長さ方向と平行な方向に並べて背中合わせに隣り合わせるとともに、これらの被写体側ミラー33の中心間の距離を、前記駆動素子7の端子配列領域の所定の2つの撮像箇所及び液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの端子配列領域のうち、前記駆動素子の2つの撮像箇所にそれぞれ対応する2つの撮像箇所の中心間の間隔と等しくして撮像ユニット28のケース28a(図1参照)内に固定されている。
【0041】
なお、図では省略しているが、前記ケース28aの上面には、前記第1及び第2の撮像手段29a,29bの被写体側ミラー33にそれぞれ対応する撮像用開口が設けられている。
【0042】
この撮像ユニット28は上記のような構成の第1と第2の撮像手段29a,29bを備えたものであり、LSI等の集積回路素子からなる小面積の駆動素子7の端子配列領域及び液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの端子配列領域の2つの撮像箇所をそれぞれ、前記駆動素子7の端子形成面及び前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの端子形成面に対して垂直な方向から前記撮像手段29a,29bにより撮像する。
【0043】
前記撮像ユニット28は、前記ボンディング位置を挟んで前記ボンディングヘッド27側とは反対側、つまり前記ボンディング位置の下側の定位置に、前記門型のボンディング台24の透明プレート25下の空間に対応させて、中空に浮かせた状態で配置され、前記移動ステージ15の移動方向と平行に設けられた水平ロッド35を介して基台11上の撮像ユニット固定部14に固定されている。
【0044】
さらに、前記撮像ユニット28の第1と第2の撮像手段29a,29bはそれぞれ、前記CCDカメラ30の焦点が、液晶表示パネル1を移動ステージ15のボンディング台24上に固定して前記ボンディング位置に搬入したときの前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの端子形成面に一致するように設定されている。
【0045】
なお、前記門型のボンディング台24の透明プレート25下の空間は、前記撮像ユニット28の前記移動ステージ15の移動方向から見た外形よりも充分に大きく設計されており、前記移動ステージ15は、前記ボンディング台24の透明プレート25下の空間内に前記撮像ユニット28を入り込ませて前記ボンディング位置に移動される。
【0046】
また、前記撮像ユニット28により撮像された画像を表示するモニタ手段36は、図3に示したように、モニタディスプレイ37と、前記撮像ユニット28の第1と第2の撮像手段29a,29bのCCDカメラ30によりそれぞれ撮像された画像を記憶する画像メモリ回路38と、前記第1と第2の撮像手段29a,29bのCCDカメラ30によりそれぞれ撮像された画像と前記画像メモリ回路38に記憶された画像とを重ね合わせた合成画像を前記モニタディスプレイ37に表示させる画像合成回路39と、前記画像メモリ回路38及び画像合成回路39を制御する制御回路40とからなっている。
【0047】
なお、前記モニタディスプレイ37は、例えば図1に示したように、前記ヘッド移動シリンダ26を固定した上フレーム13上に設置されている。
【0048】
次に、上記ボンディング装置を利用した液晶表示パネル1への駆動素子7のボンディング方法を説明する。
【0049】
まず、前記液晶表示パネル1と駆動素子7について説明すると、前記駆動素子7は、LSI等の集積回路素子からなっており、一方の面に、その周縁部に沿わせて複数の入出力端子8が配列形成されるとともに、前記周縁部の2つのコーナー部に位置合わせマーク9が形成されている(図5参照)。
【0050】
また、前記液晶表示パネル1は、その内部構造は図示しないが、枠状のシール材4を介して接合され、前記シール材4により囲まれた領域に設けられた液晶層を挟んで対向する一対の透明基板2,3の互いに対向する内面にそれぞれ複数の画素を形成する電極が設けられ、一方の基板2の一側縁部に他方の基板3の外方に張出す透明な駆動素子搭載部2aが形成され、その駆動素子搭載部2aに、前記駆動素子7の複数の端子8にそれぞれ対応する複数の駆動素子接続端子5が配列形成されるとともに、前記駆動素子7の2つの位置合わせマーク9にそれぞれ対応する2つの位置合わせマーク6が形成された構成となっている(図2及び図6参照)。
【0051】
なお、この実施例では、前記駆動素子7の端子配列領域及び液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの端子配列領域のうち、前記位置合わせマーク9,6とその付近の複数の端子8,5を含む2つの領域を撮像箇所とし、上述したボンディング装置の撮像ユニット28の第1と第2の撮像手段29a,29bを、前記2つの撮像箇所をそれぞれ撮像するように配置している。
【0052】
図4は前記液晶表示パネル1への駆動素子7のボンディング工程を示す模式図であり、前記駆動素子7は、次のようにして前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aにボンディングする。
【0053】
まず、移動ステージ15を図1に二点鎖線で示したようにボンディング位置から後退させ、ボンディングヘッド27をヘッド移動シリンダ26により引き上げて前記ボンディング位置から後退させた状態で、図示しないアームロボット等の駆動素子供給手段により、駆動素子7を、その端子形成面を下向きにしてボンディングヘッド27の駆動素子固定部27aの下面に供給し、この駆動素子7を、その端子配列領域の所定の2つの撮像箇所(位置合わせマーク9とその付近の複数の端子8を含む2つの領域)が前記撮像ユニット28の第1と第2の撮像手段29a,29bの撮像範囲にそれぞれ対向するように位置合わせして前記駆動素子固定部27aの下面に真空吸着により固定する。
【0054】
次に、前記ヘッド移動シリンダ26によりボンディングヘッド27を下降させ、このボンディングヘッド27の駆動素子固定部27aの下面に固定された駆動素子7を前記ボンディング位置に移動させる。
【0055】
次に、図4(I)のように、前記ボンディング位置に移動された前記駆動素子7の2つの撮像箇所を、前記ボンディング位置を挟んでボンディングヘッド27側とは反対側の定位置に配置された撮像ユニット28の第1と第2の撮像手段29a,29bにより前記駆動素子7の端子形成面に対して垂直な方向からそれぞれ撮像し、これらの撮像箇所の複数の端子8と位置合わせマーク9の画像データを画像メモリ回路38に記憶させるとともに、前記2つの画像データを画像合成回路39を介してモニタディスプレイ37に供給し、前記2つの撮像箇所の複数の端子8と位置合わせマーク9の画像を所定の拡大率で拡大して前記モニタディスプレイ37に表示させる。
【0056】
なお、前記駆動素子7の2つの撮像箇所の撮像は、移動ステージ15が図1に二点鎖線で示したようにボンディング位置から後退しているため、前記撮像手段29a,29bを前記駆動素子7の2つの撮像箇所に直接対向させて行なわれる。
【0057】
また、前記駆動素子7の2つの撮像箇所の撮像は、前記ヘッド移動シリンダ26によるボンディングヘッド27の下降位置を制御することにより、前記駆動素子7の端子形成面(好ましくは複数の端子8及び位置決めマーク9の表面)を前記第1と第2の撮像手段29a,29bの焦点(CCDカメラ30の焦点)を含む水平面fに一致させて行なう。
【0058】
このように、駆動素子7の端子形成面を前記撮像手段29a,29bの焦点に一致させることにより、前記駆動素子7の2つの撮像箇所をピントの合った状態で撮像し、ボケの無い明瞭な画像を前記モニタディスプレイに37に表示することができる。
【0059】
図5は前記駆動素子7の撮像画像を示しており、(a)は第1の撮像手段29aのCCDカメラ30により撮像された駆動素子7の一方の撮像箇所の複数の端子8と位置合わせマーク9の画像、(b)は第2の撮像手段29bのCCDカメラ30により撮像された前記駆動素子7の他方の撮像箇所の複数の端子8と位置合わせマーク9の画像である。
【0060】
次に、前記ヘッド移動シリンダ26によりボンディングヘッド27を引き上げ、前記撮像後の駆動素子7をボンディング位置から後退させ、前記ボンディングヘッド27に固定したまま後退位置で待機させる。
【0061】
一方、液晶表示パネル1は、その駆動素子搭載部2aの端子配列領域に、樹脂中に導電性粒子を混入した異方導電性接着剤10を塗布し、図示しないアームロボット等のパネル供給手段により、駆動素子搭載部2aの端子形成面を上向きにして図1に鎖線で示した後退位置にある移動ステージ15のボンディング台24上に供給し、この液晶表示パネル1を、前記ボンディング台24の透明プレート25の上面に真空吸着により固定する。
【0062】
このとき、前記液晶表示パネル1は、前記移動ステージ15を前記ボンディング位置に移動させたときに、前記駆動素子搭載部2aの端子配列領域のうち、前記駆動素子7の2つの撮像箇所にそれぞれ対応する2つの撮像箇所(位置合わせマーク6とその付近の複数の駆動素子接続端子5を含む2つの領域)が、前記撮像ユニット28の第1と第2の撮像手段29a,29bの撮像範囲にそれぞれ対向するように前記透明プレート25の上面に固定する。
【0063】
なお、前記ボンディング台24上への液晶表示パネル1の供給は、前記駆動素子7の撮像と並行して行ない、撮像後の駆動素子7をボンディング位置から後退させた後に、ステージ移動機構17により前記移動ステージ15を図1に実線で示したようにボンディング位置に移動させ、前記ボンディング台24上に支持された液晶表示パネル1を前記ボンディング位置に搬入する。
【0064】
このように前記移動ステージ15をボンディング位置に移動させると、上述したように中空に浮かせた状態で定位置に配置されている前記撮像ユニット28が、門型のボンディング台24の透明プレート25下の空間内に入り込む。
【0065】
次に、図4(II)のように、ボンディング位置に搬入された液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの2つの撮像箇所を、前記撮像ユニット28の第1と第2の撮像手段29a,29bにより、前記駆動素子搭載部2aの端子形成面に対して垂直な方向から前記ボンディング台24の透明プレート25と前記透明な駆動素子搭載部2aとを透して撮像し、これらの撮像箇所の複数の駆動素子接続端子5と位置合わせマーク6の画像データを画像メモリ回路38に記憶させる。
【0066】
次に、前記画像メモリ回路38に記憶された駆動素子7の複数の端子8と位置合わせマーク9の画像データと液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5と位置合わせマーク6の画像データとの2つの画像データを画像合成回路39により合成してモニタディスプレイ37に供給し、既に前記モニタディスプレイ37に表示されている前記駆動素子7の2つの撮像箇所の複数の端子8と位置合わせマーク9の画像に、前記液晶表示パネル1の2つの撮像箇所の複数の駆動素子接続端子5と位置合わせマーク6の画像を前記駆動素子7の2つの撮像箇所の複数の端子8と位置合わせマーク9の画像の拡大率と同じ拡大率で拡大した画像を重ねた合成画像を前記モニタディスプレイ37に表示させる。
【0067】
このとき、前記第1と第2の撮像手段29a,29bの焦点(CCDカメラ30の焦点)は、上述したように、液晶表示パネル1を移動ステージ15のボンディング台24上に固定して前記ボンディング位置に搬入したときの駆動素子搭載部2aの端子形成面に一致しているため、前記駆動素子搭載部2aの2つの撮像箇所を前記撮像手段29a,29bによりピントの合った状態で撮像し、ボケの無い明瞭な画像を前記モニタディスプレイに37に表示することができる。
【0068】
なお、前記撮像手段29a,29bの焦点は、前記ボンディング位置に搬入された液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの基板面、つまり前記駆動素子接続端子5及び位置合わせマーク6の撮像手段29a,29bに対向する面に一致させるのが好ましい。
【0069】
図6は、前記液晶表示パネル1の撮像画像を示しており、(a)は第1の撮像手段29aのCCDカメラ30により撮像された液晶表示パネル1の一方の撮像箇所の複数の駆動素子接続端子5と位置合わせマーク6の画像、(b)は第2の撮像手段29bのCCDカメラ30により撮像された前記液晶表示パネル1の他方の撮像箇所の複数の駆動素子接続端子5と位置合わせマーク6の画像である。
【0070】
この液晶表示パネル1の2つの撮像箇所の画像は、前記駆動素子7の2つの撮像箇所の画像に重ねられ、その両方の画像の合成画像が前記モニタディスプイに37に表示される。
【0071】
次に、前記移動ステージ15の第1と第2の移動プレート18,20の互いに直交する方向への移動と、前記回転テーブル22の回転とにより、前記透明プレート25上の液晶表示パネル1の位置を調整し、前記モニタディスプレイ37上の液晶表示パネル1の2つの撮像箇所の複数の駆動素子接続端子5及び位置合わせマーク6の画像が前記駆動素子7の2つの撮像箇所の複数の端子8及び位置合わせマーク9の画像に一致するように、前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5と前記駆動素子7の複数の端子8との相対位置を調整する。
【0072】
この液晶表示パネル1の位置調整は、ボンディング監視員に、前記モニタディスプレイ37上の合成画像を観察させながら第1及び第2の移動プレート18,20の送り機構19,20と回転テーブル22の回転機構23を手動で操作させることにより行なう。
【0073】
図7は、前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5と位置合わせマーク6の画像を駆動素子7の複数の端子8と位置合わせマーク9の画像に一致させたときの合成画像を示しており、(a)は第1の撮像手段29aのCCDカメラ30により撮像された液晶表示パネル1の一方の撮像箇所及び前記画像メモリ回路38に記憶させた駆動素子7の一方の撮像箇所の複数の端子5,8と位置合わせマーク6,8の合成画像、(b)は第2の撮像手段29bのCCDカメラ30により撮像された前記液晶表示パネル1の他方の撮像箇所及び前記画像メモリ回路38に記憶させた駆動素子7の他方の撮像箇所の複数の端子5,8と位置合わせマーク6,8の合成画像である。
【0074】
次に、前記ヘッド移動シリンダ26によりボンディングヘッド27を再び下降させることにより、前記ボンディングヘッド27に固定したまま待機させておいた前記撮像後の駆動素子7を、図4(III)のように再び前記ボンディング位置に移動させ、この駆動素子7の端子形成面を前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2a上に押し付けて、前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aに塗布した異方導電性接着剤10により前記駆動素子搭載部2aに接着し、前記駆動素子7を、その複数の端子8を前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5にそれぞれ前記異方導電性接着剤10中の導電性粒子を介して電気的に接続してボンディングする。
【0075】
なお、この液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aへの駆動素子7のボンディングは、前記ヘッド移動シリンダ26のピストンロッド押し出し力を適度に設定しておくことにより、前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aに前記駆動素子7を、それぞれの端子5,8間に前記異方導電性接着剤10中の導電性粒子が充分な導通性をもって挟持され、しかも液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2a及び駆動素子7の両方に無理な応力が生じさせないような押し力で押し付けて行なう。
【0076】
このようにして前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aに駆動素子7をボンディングした後は、前記ボンディングヘッド27への駆動素子7の吸着を解除して前記ヘッド移動シリンダ26により前記ボンディングヘッド27を引き上げて前記ボンディング位置から後退させ、このボンディングヘッド27に次の駆動素子を供給するとともに、移動ステージ15を図1に二点鎖線で示したようにボンディング位置から後退させて前記ボンディング台24上(透明プレート25上)への液晶表示パネル1の吸着を解除し、駆動素子7をボンディングされた液晶表示パネル1を図示しないアームロボット等の搬出手段により取り出して搬出した後に、次の液晶表示パネルを前記ボンディング台24上に供給する。
【0077】
上述したように、このボンディング方法は、
ヘッド移動シリンダ26により液晶表示パネル1への駆動素子7のボンディングを行なうボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動されるボンディングヘッド27に前記駆動素子7を固定し、この駆動素子7を前記ヘッド移動シリンダ26により前記ボンディング位置に移動させる工程と、
前記ボンディング位置に移動された駆動素子7の端子配列領域の所定の2つの撮像箇所を、前記ボンディング位置を挟んで前記ボンディングヘッド27側とは反対側の定位置に配置された撮像手段29a,29bにより撮像し、これらの撮像箇所の複数の端子8と位置合わせマーク9の画像を画像メモリ回路38に記憶させる工程と、
前記撮像後の駆動素子7を前記ヘッド移動シリンダ26により前記ボンディング位置から後退させ、前記ボンディングヘッド27に固定したまま待機させる工程と、
前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aに異方導電性接着剤10を塗布する工程と、
前記液晶表示パネル1を前記移動ステージ15のボンディング台24の透明プレート25上に支持させて前記ボンディング位置に搬入する工程と、
前記ボンディング位置に搬入された前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの端子配列領域のうち、前記駆動素子7の2つの撮像箇所にそれぞれ対応する2つの撮像箇所を、前記駆動素子搭載部2aの反対面側から前記撮像手段29a,29bにより前記透明プレート25と前記駆動素子搭載部2aを透して撮像し、これらの撮像箇所の複数の駆動素子接続端子5と位置合わせマーク6の画像と、前記画像メモリ回路38に記憶させた前記駆動素子7の複数の端子8の画像とを重ねた合成画像に基づいて前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5と前記駆動素子7の複数の端子8との相対位置を調整する工程と、
前記相対位置の調整後に、前記ボンディングヘッド27に固定したまま待機させておいた前記撮像後の駆動素子7を前記ヘッド移動シリンダ26により再び前記ボンディング位置に移動させ、この駆動素子7を前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2a上に押し付けて前記異方導電性接着剤10により接着する工程とからなる。
【0078】
なお、前記液晶表示パネル1への駆動素子7のボンディングにおいて、前記モニタディスプレイ37上の駆動素子7の複数の端子8及び位置合わせマーク9の画像と液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5及び位置合わせマーク6の画像とを一致させるための液晶表示パネル1の位置調整は上述したように手動により行なうが、他の工程、つまり、前記ボンディングヘッド27への駆動素子7の供給及び固定、その駆動素子7のボンディング位置への移動、前記駆動素子7の撮像箇所の撮像とその画像の画像メモリ回路38への記憶及びモニタディスプレイ37への表示、撮像後の駆動素子7のボンディング位置からの後退、前記移動ステージ15のボンディング台24上への液晶表示パネル1の供給及び固定、その液晶表示パネル1のボンディング位置への搬入、前記液晶表示パネル1の撮像箇所の撮像とその画像及び前記合成画像のモニタディスプレイ37への表示、前記液晶表示パネル1の位置調整後の撮像後の駆動素子7の前記ボンディング位置への再移動、その駆動素子7の前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2a上への異方導電性接着剤10による接着は、シーケンス制御により予め定めた動作タイミングで実行させる。
【0079】
このボンディング方法によれば、ヘッド移動シリンダ26によりボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動されるボンディングヘッド27に駆動素子7を固定してこの駆動素子7を前記ヘッド移動シリンダ26により前記ボンディング位置に移動させ、前記駆動素子7の端子配列領域の所定の撮像箇所を、前記ボンディング位置を挟んでボンディングヘッド27側とは反対側の定位置に配置された撮像手段29a,29bにより撮像してその撮像箇所の複数の端子8と位置合わせマーク9の画像を画像メモリ回路38に記憶させた後、前記撮像後の駆動素子7を前記ヘッド移動シリンダ26により前記ボンディング位置から後退させて前記ボンディングヘッド27に固定したまま待機させ、前記ボンディング位置に移動ステージ15のボンディング台24上に支持させた液晶表示パネル1を搬入してその駆動素子搭載部2aの端子配列領域のうち、前記駆動素子7の撮像箇所に対応する撮像箇所を、前記駆動素子搭載部2aの反対面側から前記撮像手段29a,29bにより撮像し、その撮像箇所の複数の駆動素子接続端子5と位置合わせマーク6の画像と、前記画像メモリ回路に記憶させた前記駆動素子7の複数の端子8と位置合わせマーク9の画像とを重ねた合成画像に基づいて前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5と前記駆動素子7の複数の端子8との相対位置を調整し、この相対位置の調整後に、前記ボンディングヘッド27に固定したまま待機させておいた前記撮像後の駆動素子7を前記ヘッド移動シリンダ26により再び前記ボンディング位置に移動させ、この駆動素子7を前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2a上に押し付けて異方導電性接着剤10により接着するため、前記駆動素子7を、その複数の端子8を前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5に精度良く対向させて搭載することができる。
【0080】
すなわち、このボンディング方法では、前記ヘッド移動シリンダ26により移動されるボンディングヘッド27に駆動素子7を固定し、この駆動素子7をボンディング位置に移動させてその端子配列領域の所定の撮像箇所を撮像した後、この撮像後の駆動素子7を前記ボンディング位置から後退させて前記ボンディングヘッド27に固定したまま待機させ、前記ボンディング位置に液晶表示パネル1を搬入した後に、前記ボンディングヘッド27に固定したまま待機させておいた前記撮像後の駆動素子7を再び前記ボンディング位置に移動させるようにしているため、前記ボンディング位置に液晶表示パネル1を搬入した後に前記ボンディング位置に再び移動された撮像後の駆動素子7の位置は、この駆動素子7の撮像時の位置と実質的に同じである。
【0081】
この実施例では、上述したように、前記撮像手段29a,29bの焦点を、液晶表示パネル1をボンディング位置に搬入したときの前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの端子形成面に一致させ、前記駆動素子7の撮像箇所の撮像を、前記駆動素子7の端子形成面を前記撮像手段の焦点に一致させて行なっているため、前記駆動素子7の撮像時の位置は、この駆動素子7をボンディング位置に搬入した前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2a上に重ねたときの位置と実質的に同じである。
【0082】
そして、このボンディング方法では、前記ボンディング位置に移動させた駆動素子7の端子配列領域の所定の撮像箇所を、前記ボンディング位置を挟んで前記ボンディングヘッド27側とは反対側の定位置に配置された撮像手段29a,29bにより撮像してその撮像箇所の複数の端子8と位置合わせマーク9の画像を画像メモリ回路38に記憶させ、前記撮像後の駆動素子7を前記ボンディング位置から後退させた後に、前記ボンディング位置に液晶表示パネル1を搬入して、この液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの端子配列領域のうち、前記駆動素子7の撮像箇所に対応する撮像箇所を、前記駆動素子搭載部2aの反対面側から前記撮像手段29a,29bにより撮像しているため、前記画像メモリ38に記憶させた前記駆動素子7の複数の端子8の画像と前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5の画像とを重ねた合成画像は、前記ボンディング位置に搬入された液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5と前記ボンディング位置に再び移動された撮像後の駆動素子7の複数の端子8の実際の位置関係と実質的に同じ画像である。
【0083】
そのため、前記合成画像に基づいて前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5と前記駆動素子7の複数の端子8との相対位置を調整した後に、前記撮像後の駆動素子7を再び前記ボンディング位置に移動させることにより、この駆動素子7を、その複数の端子8を前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5に一致させて前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2a上に押し付け、前記異方導電性接着剤10により前記駆動素子搭載部2aに接着することができる。
【0084】
したがって、このボンディング方法によれば、前記駆動素子7を、その複数の端子8を前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5に精度良く対向させて搭載することができる。
【0085】
しかも、このボンディング方法では、駆動素子7の端子配列領域及び液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの端子配列領域の2箇所を2つの撮像手段29a,29bによりそれぞれ撮像し、その一方の撮像手段29aにより撮像した前記駆動素子7の複数の端子8及び位置合わせマーク9の画像と前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5及び位置合わせマーク6の画像とを重ねた合成画像と、他方の撮像手段29bにより撮像した前記駆動素子7の複数の端子8及び位置合わせマーク9の画像と前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5及び位置合わせマーク6の画像とを重ねた合成画像とをそれぞれモニタディスプレイ37に表示させて前記液晶表示パネル1の位置を調整するようにしているため、前記モニタディスプレイ37上の駆動素子7の2つの撮像箇所の画像と液晶表示パネル1の2つの撮像箇所の画像とを一致させることにより、前記駆動素子7の全ての端子8を前記液晶表示パネル1の全ての駆動素子接続端子5に対向させることができる。
【0086】
すなわち、前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの複数の駆動素子接続端子5は、前記駆動素子7の複数の端子8にそれぞれ対応させて配列形成されているため、前記駆動素子7の複数の端子8のうち、その配列領域の2箇所の端子8を前記液晶表示パネル1の前記端子8に対応する駆動素子接続端子5に対向させれば、前記駆動素子7の全ての端子8が前記液晶表示パネル1の全ての駆動素子接続端子5に対向する。
【0087】
また、上記実施例では、前記撮像手段29a,29bの焦点を、液晶表示パネル1をボンディング位置に搬入したときの前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの端子形成面に一致させ、前記駆動素子7の撮像箇所の撮像を、前記駆動素子7の端子形成面を前記撮像手段の焦点に一致させて行なっているため、前記駆動素子7の撮像時の位置と、この駆動素子7をボンディング位置に搬入した前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2a上に重ねたときの位置とを実質的に同じにし、前記駆動素子7を、その複数の端子8を前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5にさらに精度良く対向させて異方導電性接着剤10により接着することができる。
【0088】
さらに、上記実施例では、前記駆動素子7及び液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの撮像箇所をそれぞれ、前記駆動素子7の端子形成面及び前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの端子形成面に対して垂直な方向から撮像しているため、前記駆動素子7の撮像箇所と前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの撮像箇所の両方を高い位置精度で撮像することができる。
【0089】
すなわち、上述したように、前記駆動素子7の撮像箇所は、前記撮像手段29a,29bを前記駆動素子7の撮像箇所に直接対向させて撮像されるのに対し、前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの撮像箇所は、前記液晶表示パネル1を支持させた透明プレート25と前記駆動素子搭載部2aとを透して撮像されるため、前記駆動素子7及び液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの撮像箇所を、前記駆動素子7の端子形成面及び前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの端子形成面の法線に対して斜めに傾いた方向から撮像したのでは、前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの撮像箇所の撮像時に、前記撮像箇所からの反射光が、液晶表示パネル1と透明プレート25との界面及び前記透明プレート25とその下の空間(空気層)との界面で屈折して撮像手段29a,29bに入射し、前記駆動素子搭載部2aの所定の撮像箇所からずれた箇所が撮像手段29a,29bにより撮像される。
【0090】
しかし、前記駆動素子7及び液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの撮像箇所の撮像方向が、前記駆動素子7の端子形成面及び前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの端子形成面に対して垂直な方向であれば、前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの撮像箇所の撮像時に、前記撮像箇所からの反射光が、液晶表示パネル1と透明プレート25との界面及び前記透明プレート25とその下の空間との界面を屈折すること無く透過して撮像手段29a,29bに入射する。
【0091】
そのため、この実施例のボンディング方法によれば、前記駆動素子7の撮像箇所と前記液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの撮像箇所の両方を高い位置精度で撮像することができ、したがって、ボンディング位置に搬入した液晶表示パネル1の位置を調整してモニタディスプレイ37上の駆動素子7の複数の端子8及び位置合わせマーク9の画像と前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5及び位置合わせマーク6の画像とを一致させるとにより、前記駆動素子7の複数の端子8を前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5に精度良く対向させることができる。
【0092】
なお、前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5及び位置決めマーク6は、ITO等の透明導電膜で形成されていても、不透明な金属膜で形成されていてもよく、また前記異方導電性接着剤10は、透明であっても、不透明または半透明であってもよい。
【0093】
すなわち、前記ボンディング方法は、液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの駆動素子接続端子5と前記駆動素子搭載部2aに搭載された駆動素子7の端子8との実際の位置を視認して前記駆動素子7の位置合わせを行なうのではなく、駆動素子7をボンディング位置に移動させて撮像手段29a,29bにより撮像した前記駆動素子7の複数の端子8及び位置決めマーク9を画像メモリ回路38に記憶させ、前記駆動素子7を前記ボンディング位置から後退させた後に、前記ボンディング位置に液晶表示パネル1を搬入してその複数の駆動素子接続端子5及び位置決めマーク6を前記撮像手段29a,29bにより撮像し、その画像と前記画像メモリ回路38に記憶させた前記駆動素子7の複数の端子8及び位置決めマーク9の画像とを重ねた合成画像に基づいて前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5と前記駆動素子7の複数の端子8との相対位置を調整するものであるため、前記液晶表示パネル1の駆動素子接続端子5及び位置決めマーク6が透明であっても不透明であっても、また前記異方導電性接着剤10が透明であっても不透明または半透明であっても、前記駆動素子7を、その複数の端子8を前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5に精度良く対向させて異方導電性接着剤10により接着することができる。
【0094】
ただし、前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5及び位置決めマーク6が透明導電膜で形成されている場合は、前記端子5及び位置決めマーク6と他の部分(基板部分)との濃淡差が小さいため、モニタディスプレイ37の表示画像が良く見えない。
【0095】
したがって、前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5及び位置決めマーク6が透明導電膜で形成されている場合は、前記撮像手段29a,29bのCCDカメラ30をカラー画像の撮像カメラとするとともに、前記モニタディスプレイ37をカラーディスプレイとし、図3に示したモニタ手段36のメモリ回路38または画像合成回路39に、液晶表示パネル1の撮像箇所の画像、または液晶表示パネル1と駆動素子7の両方の撮像箇所の画像の色やコントラストの補正回路を設けることにより、モニタディスプレイ37の表示画像を見やすくするのが望ましい。
【0096】
また、上記ボンディング方法では、ヘッド移動シリンダ26により移動されるボンディングヘッド27に駆動素子7を固定し、この駆動素子7を前記ヘッド移動シリンダ26によりボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動させるようにしているが、前記ヘッド移動シリンダ26の剛性等により、駆動素子7の撮像時の位置(最初にボンディング位置に移動させたときの位置)とボンディング時の位置(ボンディング位置から一旦後退させた撮像後の駆動素子を再びボンディング位置に移動させて液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2a上に異方導電性接着剤10を介して押し付けたときの位置)とが、極く僅かではあるが、水平面上において一方向に一定量ずれることがある。
【0097】
その場合は、図3に示したように、モニタ手段36の画像合成回路39に、画像メモリ回路38に記憶させた駆動素子7の画像を、その位置を補正してモニタディスプレイ37に表示させるオフセット回路39aを設け、予め測定した前記駆動素子7の撮像時の位置とボンディング時の位置のずれ方向とずれ量を前記オフセット回路39aにセットしておくことにより、モニタディスプレイ37に、前記ボンディング時の駆動素子7の位置に合わせて複数の端子8及び位置合わせマーク9の位置を補正した画像と、撮像中の液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5及び位置合わせマーク6の画像とを重ねた合成画像を表示させるようにすればよく、このようにすることにより、前記駆動素子7を、その複数の端子8を前記液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5に精度良く対向させて異方導電性接着剤10により接着することができる。
【0098】
なお、上記実施例では、撮像ユニット28の撮像手段29a,29bにより撮像された画像を表示するモニタ手段36を図3に示したような構成としているが、このモニタ手段は、パソコン(PC)を利用して構成してもよい。
【0099】
図8は他のモニタ手段を示しており、このモニタ手段36aは、PC回路(パソコンの回路)41に、モニタディスプレイ37と、撮像手段29a,29bのCCDカメラ30により撮像された画像データを前記PC回路41に取り込ませるための画像取り込み回路42と、前記PC回路41にその画像メモリへの撮像画像の記憶及び画像合成と前記モニタディスプレイ37への画像データの出力を行なわせるための制御回路43とを接続したものである。
【0100】
また、上記実施例では、液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aに異方導電性接着剤10を塗布してこの液晶表示パネル1をボンディング位置に搬入しているが、前記異方導電性接着剤10は、撮像後の駆動素子7をボンディング位置から後退させてボンディングヘッド27に固定したまま待機させている間に、この駆動素子7の端子形成面に塗布してもよい。
【0101】
さらに、上記実施例では、駆動素子7の複数の端子8及び位置合わせマーク9の画像と液晶表示パネル1の複数の駆動素子接続端子5及び位置合わせマーク6の画像との相対位置の調整を手動により行なっているが、この相対位置の調整は、画像メモリ回路38に記憶された駆動素子7と液晶表示パネル1の複数の端子8,5と位置合わせマーク9,6の画像のずれ方向及びずれ量を画像処理等の手段により検出して自動的に行なうようにしてもよい。
【0102】
また、上記実施例では、駆動素子7の端子配列領域及び液晶表示パネル1の駆動素子搭載部2aの端子配列領域のうち、位置合わせマーク9,6とその付近の複数の端子8,5を含む2つの領域を撮像箇所としているが、撮像箇所は、前記位置合わせマーク9,6の無い領域でもよく、さらに、液晶表示パネルと駆動素子7は、位置合わせマークを形成していないものでもよい。
【0103】
さらにまた、液晶表示パネルは、一側縁部に駆動素子搭載部を形成したものに限らず、複数の縁部、例えば互いに直交する2つの縁部に駆動素子搭載部を形成したものでもよく、その場合は、上述したボンディング方法を繰り返して、液晶表示パネルの一方の駆動素子搭載部と他方の駆動素子搭載部に順次駆動素子を接着すればよい。
【0104】
【発明の効果】
この発明のボンディング方法は、ヘッド移動手段によりボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動されるボンディングヘッドに駆動素子を固定してこの駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置に移動させ、前記駆動素子の端子配列領域の所定の撮像箇所を撮像手段により撮像してその撮像箇所の複数の端子の画像を画像メモリに記憶させた後、前記撮像後の駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置から後退させて前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させ、前記ボンディング位置に液晶表示パネルを搬入してその駆動素子搭載部の端子配列領域のうち、前記駆動素子の撮像箇所に対応する撮像箇所を前記撮像手段により撮像し、その撮像箇所の複数の駆動素子接続端子の画像と、前記画像メモリに記憶させた前記駆動素子の複数の端子の画像とを重ねた合成画像に基づいて前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子と前記駆動素子の複数の端子との相対位置を調整し、その後に、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させておいた前記撮像後の駆動素子を前記ヘッド移動手段により再び前記ボンディング位置に移動させ、この駆動素子を前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に押し付けて、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部と前記撮像後の駆動素子のいずれか一方に塗布した異方導電性接着剤により前記駆動素子搭載部に接着するものであるため、前記駆動素子を、その複数の端子を前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子に精度良く対向させて搭載することができる。
【0105】
この発明のボンディング方法においては、前記駆動素子の端子配列領域及び前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子配列領域の2箇所を2つの撮像手段によりそれぞれ撮像し、その一方の撮像手段により撮像した前記駆動素子の複数の端子の画像と前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子の画像とを重ねた合成画像と、他方の撮像手段により撮像した前記駆動素子の複数の端子の画像と前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子の画像とを重ねた合成画像とをそれぞれモニタディスプレイに表示させて前記液晶表示パネルの位置を調整するのが好ましく、このようにすることにより、前記駆動素子の全ての端子を前記液晶表示パネルの全ての駆動素子接続端子に対向させることができる。
【0106】
また、このボンディング方法においては、前記撮像手段の焦点を、液晶表示パネルを前記ボンディング位置に搬入したときの前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子形成面に一致させ、前記駆動素子の撮像箇所の撮像を、前記駆動素子7の端子形成面を前記撮像手段の焦点に一致させて行なうのが好ましく、このようにすることにより、前記駆動素子の撮像時の位置と、この駆動素子をボンディング位置に搬入した前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に重ねたときの位置とを実質的に同じにし、前記駆動素子を、その複数の端子を前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子にさらに精度良く対向させて異方導電性接着剤により接着することができる。
【0107】
さらに、このボンディング方法においては、前記駆動素子及び液晶表示パネルの駆動素子搭載部の撮像箇所をそれぞれ、前記駆動素子の端子形成面及び前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子形成面に対して垂直な方向から撮像するのが好ましく、このようにすることにより、前記駆動素子の撮像箇所と前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の撮像箇所の両方を高い位置精度で撮像し、前記駆動素子の複数の端子を前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子に精度良く対向させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示す液晶表示パネルに駆動素子をボンディングするためのボンディング装置の斜視図。
【図2】前記ボンディング装置の撮像手段の斜視図。
【図3】撮像された画像を表示するモニタ手段のブロック図。
【図4】液晶表示パネルへの駆動素子のボンディング工程を示す模式図。
【図5】駆動素子の撮像箇所を撮像したときのモニタディスプレイの表示画像を示す図。
【図6】液晶表示パネルの撮像箇所の撮像画像を示す図。
【図7】モニタディスプレイ上の合成画像を示す図。
【図8】撮像された画像を表示する他のモニタ手段のブロック図。
【符号の説明】
1…液晶表示パネル、2a…駆動素子搭載部、5…駆動素子接続端子、6…位置合わせマーク、7…駆動素子、8…端子、9…位置合わせマーク、10…異方導電性接着剤、15…移動ステージ、24…ボンディング台、25…透明プレート、26…ヘッド移動シリンダ(ヘッド移動手段)、27…ボンディングヘッド、28…撮像ユニット、29a,29b…撮像手段、36,36a…モニタ手段、37…モニタディスプレイ、38…画像メモリ回路、41…PC回路。
Claims (4)
- 透明な駆動素子搭載部を有し、その駆動素子搭載部に複数の駆動素子接続端子が配列形成された液晶表示パネルの前記駆動素子搭載部上に、駆動素子を、その一方の面に配列形成された複数の端子を前記複数の駆動素子接続端子にそれぞれ対向させて樹脂中に導電性粒子を混入した異方導電性接着剤により接着するボンディング方法において、
ヘッド移動手段により前記液晶表示パネルへの前記駆動素子のボンディングを行なうボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動されるボンディングヘッドに前記駆動素子を固定し、この駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置に移動させる工程と、
前記ボンディング位置に移動された前記駆動素子の端子配列領域の所定の撮像箇所の複数の端子を撮像手段により撮像し、その撮像箇所の複数の端子の画像を画像メモリに記憶させる工程と、
前記撮像後の駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置から後退させ、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させる工程と、
前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部と前記撮像後の駆動素子のいずれか一方に前記異方導電性接着剤を塗布する工程と、
前記液晶表示パネルを前記ボンディング位置に搬入する工程と、
前記ボンディング位置に搬入された前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子配列領域のうち、前記駆動素子の撮像箇所に対応する撮像箇所を前記撮像手段により撮像し、その撮像箇所の複数の駆動素子接続端子の画像と前記画像メモリに記憶させた前記駆動素子の複数の端子の画像とを重ねた合成画像に基づいて前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子と前記駆動素子の複数の端子との相対位置を調整する工程と、
前記液晶表示パネルの位置調整後に、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させておいた前記撮像後の駆動素子を前記ヘッド移動手段により再び前記ボンディング位置に移動させ、この駆動素子を前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に押し付けて前記異方導電性接着剤により接着する工程とからなることを特徴とする駆動素子のボンディング方法。 - 駆動素子の端子配列領域及び液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子配列領域の2箇所を2つの撮像手段によりそれぞれ撮像し、その一方の撮像手段により撮像した前記駆動素子の複数の端子の画像と前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子の画像とを重ねた合成画像と、他方の撮像手段により撮像した前記駆動素子の複数の端子の画像と前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子の画像とを重ねた合成画像とをそれぞれモニタディスプレイに表示させて前記液晶表示パネルの位置を調整することを特徴とする請求項1に記載の駆動素子のボンディング方法。
- 撮像手段の焦点を、液晶表示パネルをボンディング位置に搬入したときの前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子形成面に一致させ、駆動素子の撮像箇所の撮像を、前記駆動素子7の端子形成面を前記撮像手段の焦点に一致させて行なうことを特徴とする請求項1に記載の駆動素子のボンディング方法。
- 駆動素子及び液晶表示パネルの駆動素子搭載部の撮像箇所をそれぞれ、前記駆動素子の端子形成面及び前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子形成面に対して垂直な方向から撮像することを特徴とする請求項1に記載の駆動素子のボンディング方法。
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-
2003
- 2003-06-27 JP JP2003185496A patent/JP2005019873A/ja active Pending
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