JP4147911B2

JP4147911B2 - 電気光学装置の製造方法

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Publication number: JP4147911B2
Application number: JP2002328294A
Authority: JP
Inventors: 正山▲崎▼
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-11-12
Filing date: 2002-11-12
Publication date: 2008-09-10
Anticipated expiration: 2022-11-12
Also published as: JP2004163598A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気光学装置の製造方法および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネルのうち、例えばアクティブマトリクス型の一種であるＴＦＴ（薄膜トランジスタ）カラー液晶パネルは、ＴＦＴアレイ基板とカラーフィルタ基板とを貼り合わせて構成される。ここで、互いに対となるＴＦＴアレイ基板およびカラーフィルタ基板を貼り合せる際には、両者を互いにアライメントする必要がある。具体的には、ＴＦＴアレイ基板上に微細に配列されたアクティブ素子等の構成要素と、カラーフィルタ基板上に微細に配列された着色パターン等の構成要素との位置合せを精度良く行うために、ＴＦＴアレイ基板およびカラーフィルタ基板を互いにアライメントする必要がある。
【０００３】
従来においては、例えば、ＴＦＴアレイ基板に設けたマークと、カラーフィルタ基板に設けたマークとから成るアライメントマークを用い、両方の基板に設けたマークの位置関係に基づいてアライメントするようにしている。これらのマークの位置関係は、例えば、図９に示すように、第１の基板１に設けた第１のマーク１ａと、第２の基板２に設けた第２のマーク２ａとを撮像装置であるカメラ３によって撮像し、この撮像した画像に画像処理を行うことによって求められる。具体的には、透明な第２の基板２をカメラ３側に向けつつ第１の基板１と対向配置させ、第１のマーク１ａおよび第２のマーク２ａをカメラ３によって撮像し、この撮像した画像に画像処理を行うことにより、第１のマーク１ａの重心Ｇ１と、第２のマーク２ａの重心Ｇ２との位置関係が求められる。
【０００４】
従来では、対となる基板の両方に設けたマークの重心相互間における位置関係が所定の位置関係となるように、例えば、画像上において予め設定された相互間距離Ｌだけ互いに離隔する位置関係となるようにアライメントしている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特許第２５２５５８９号公報（第２項、第１図）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、例えば、高倍率のカメラを用いる場合、互いに接触して傷付くのを防止するために対となる基板を離隔する場合、あるいは厚みのある基板を用いる場合においては、対となる基板を互いに高精度にアライメントすることが困難となる虞れがある。
【０００７】
これらの場合では、上述したマークを設けた一対の基板を互いに対向配置した際に、カメラ３における撮像光学系の光軸３Ａ方向のマーク相互間距離（Δｄ）が、カメラ３の被写界深度よりも大きなものとなり、両方のマークを鮮明に撮像することができない事態を招来する虞れがある。ここで、両方のマークを鮮明に撮像できなければ、最早両方のマーク相互間の位置関係を高精度に求めることもできないので、高精度にアライメントすることが困難となってしまう。このため、上述した各々の場合においては、所望するアライメント精度が得られない事態、つまり、一方の基板に設けた構成要素と、他方の基板に設けた構成要素との位置合せ精度が所望のものとならない事態を招来する虞れがあり、電気光学装置の高精度化を阻害する要因となる。
【０００８】
本発明は、上記実情に鑑みて、電気光学装置の高精度化を可能とする電気光学装置の製造方法および電子機器を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、この発明にかかる電気光学装置の製造方法は、第１の基板および第２の基板を対向配置し、撮像装置を用いて前記第１の基板および前記第２の基板を互いにアライメントする電気光学装置の製造方法であって、前記第１の基板および前記第２の基板に対して撮像光学系の光軸が所定の交差角度で交差するように配置し、前記撮像装置の焦点に前記第１のマークが合うように前記第１の基板を移動させて、前記撮像装置により前記第１のマークを撮像し、前記撮像装置の焦点に前記第２のマークが合うように前記撮像装置および前記第２の基板の少なくとも一方を前記光軸に沿って移動させて、前記撮像装置により前記第２のマークを撮像し、前記撮像装置の撮像結果に基づいて前記第１の基板もしくは前記第２の基板をアライメントすることを特徴とする。
【００１０】
この発明によれば、第１の基板および第２の基板に対して撮像光学系の光軸が所定の交差角度で交差するように配置し、撮像装置の焦点に第１のマークが合うように前記第１の基板を移動させて、前記撮像装置により前記第１のマークを撮像し、前記撮像装置の焦点に第２のマークが合うように前記撮像装置および前記第２の基板の少なくとも一方を前記光軸に沿って移動させて、前記撮像装置により前記第２のマークを撮像し、前記撮像装置の撮像結果に基づいて前記第１の基板もしくは前記第２の基板をアライメントするので、前記第１のマークおよび前記第２のマークを前記撮像装置の焦点に合わせて個別に撮像することができ、しかも、前記光軸の方向に対する前記第１の基板、前記第２の基板および前記撮像装置の位置関係に依らず、撮像した前記第１のマークと前記第２のマークとの位置関係が同一となる。
【００１１】
つぎの発明にかかる電気光学装置の製造方法は、上記の発明において、前記第２の基板を所定の貼り合せ位置に配置した状態で、前記第２のマークを撮像した後に、前記第２の基板を前記第１の基板から離反する方向に前記光軸に沿って移動させ、前記第１の基板を前記貼り合せ位置に配置し、前記第１のマークを撮像した後に、前記第２の基板を前記光軸に沿って移動させて前記貼り合せ位置に復帰させ、前記第１の基板および前記第２の基板を前記貼り合せ位置で貼り合わせることを特徴とする。
【００１２】
この発明によれば、第２の基板を所定の貼り合せ位置に配置した状態で、第２のマークを撮像した後に、前記第２の基板を第１の基板から離反する方向に前記光軸に沿って移動させ、前記第１の基板を前記貼り合せ位置に配置し、前記第１のマークを撮像した後に、前記第２の基板を前記光軸に沿って移動させて前記貼り合せ位置に復帰させ、前記第１の基板および前記第２の基板を前記貼り合せ位置で貼り合わせるので、前記貼り合せ位置に配置された前記第１の基板における前記第１のマークと、前記貼り合せ位置に配置された前記第２の基板における前記第２のマークとを撮像したものを用いてアライメントすることができる。
【００１３】
つぎの発明にかかる電気光学装置の製造方法は、上記の発明において、前記撮像装置の被写界深度外に前記第２のマークが位置するように、前記第２の基板を移動させることを特徴とする。
【００１４】
この発明によれば、第２のマークが撮像装置の被写界深度外に位置するので、撮像した画像上において前記第２のマークがピンぼけした或いは全く写らない状態となる。
【００１５】
つぎの発明にかかる電気光学装置の製造方法は、上記の発明において、前記第１の基板および前記第２の基板として、対向配置した際に互いに対向する面に前記第１のマークおよび前記第２のマークを設けたものを用いることを特徴とする。
【００１６】
この発明によれば、前記光軸の方向に対する第１のマークおよび第２のマークの相互間距離が抑えられるので、第１の基板および第２の基板を前記貼り合せ位置に配置した際に、第１のマークおよび第２のマークが前記撮像装置の被写界深度外となる事態を抑制することができる。
【００１７】
つぎの発明にかかる電気光学装置の製造方法は、上記の発明において、前記第１のマークおよび前記第２のマークとして、前記第１の基板および前記第２の基板を互いにアライメントした際に、前記第１のマークの対における重心相互間の中点が、前記第２のマークの対における重心相互間の中点を含む予め設定した許容範囲に対して対向位置するものを用いることを特徴とする。
【００１８】
この発明によれば、第１のマークの対における重心相互間の中点と、第２のマークの対における重心相互間の中点とを対向位置させるようにして、第１の基板および第２の基板を互いにアライメントすることができる。
【００１９】
つぎの発明にかかる電気光学装置の製造方法は、上記の発明において、前記第１のマークおよび前記第２のマークとして、前記第１の基板および前記第２の基板を互いにアライメントした際に、前記第１のマークの対における個々の中心を通って前記第２の基板に直交する平面と、前記第２のマークの対における個々の中心を通って前記第１の基板に直交する平面とが、所定の角度で互いに交差するものを用いることを特徴とする。
【００２０】
この発明によれば、第１のマークの対における個々の中心を通って第２の基板に直交する平面と、第２のマークの対における個々の中心を通って第１の基板に直交する平面とを所定の角度で互いに交差させるようにして、前記第１の基板および前記第２の基板を互いにアライメントすることができる。
【００２１】
つぎの発明にかかる電気光学装置の製造方法は、上記の発明において、前記所定の角度をほぼ９０度に設定したものを用いることを特徴とする。
【００２２】
この発明によれば、前記所定の角度をほぼ９０度に設定したものを用いるので、前記両方の平面を直交させるようにして、第１の基板および第２の基板を互いにアライメントすることができる。
【００２３】
つぎの発明にかかる電気光学装置の製造方法は、上記の発明において、前記第１のマークおよび前記第２のマークを、円形としたことを特徴とする。
【００２４】
この発明によれば、互いに円形を成す第１のマークおよび第２のマークを用いて、第１の基板および第２の基板が互いにアライメントされる。
【００２５】
つぎの発明にかかる電子機器は、上記の発明のいずれか一つに記載の電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置を備えたことを特徴とする。
【００２６】
この発明によれば、上記の発明のいずれかに記載の電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置を備えた電子機器が具現化される。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して、本発明にかかる電気光学装置の製造方法および電子機器の好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、本実施の形態では、電気光学装置として、液晶パネルを例にとるが、これに限定する趣旨でないことは言うまでもない。
【００２８】
図１は、本発明の実施の形態におけるアライメント装置のブロック線図を示すものである。このアライメント装置は、第１の基板１０および透明な第２の基板２０を互いに上下に対向配置した状態でアライメントするものである。例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）カラー液晶パネルを製造する場合には、第１の基板１０としてＴＦＴアレイ基板が適用される一方、第２の基板２０としてカラーフィルタ基板が適用される。ここで、ＴＦＴアレイ基板には、アクティブ素子等の構成要素が微細に配列されて設けてある一方、カラーフィルタ基板には、着色パターン等の構成要素が微細に配列されて設けてある。
【００２９】
図２（ａ）、（ｂ）は、図１における投影図であり、より詳細には、（ａ）は図１における矢印Ａ方向の投影図、（ｂ）は図１における矢印Ｂ方向の投影図である。なお、図２（ｂ）では、裏側に対向する第１の基板１０を省略して図示している。
【００３０】
本実施の形態では、第１の基板１０および第２の基板２０として矩形状を成すものを適用している。第１の基板１０には、対角両隅部のそれぞれに一対の第１のマーク１０ａが設けてある一方、第２の基板２０には、対角両隅部のそれぞれに一対の第２のマーク２０ａが設けてある。
【００３１】
これら第１のマーク１０ａおよび第２のマーク２０ａは、本実施の形態におけるアライメントマークを構成するもので、図１に示すように、第１の基板１０および第２の基板２０を互いに対向配置した際に、互いに対向する面に設けてある。ここで、第１のマーク１０ａおよび第２のマーク２０ａとしては、図２に示すように、円形を成し、かつ直径が異なるもの、具体的には第１のマーク１０ａの直径の方が第２のマーク２０ａのものよりも大きなものを適用してある。
【００３２】
第１のマーク１０ａおよび第２のマーク２０ａは、第１の基板１０に設けられた構成要素と、第２の基板２０に設けられた構成要素とが所望する位置関係となる場合に、すなわち第１の基板１０と第２の基板２０とが互いにアライメントされた場合に、互いに所定の位置関係を有するようにそれぞれ配設してある。この所定の位置関係とは、第１のマーク１０ａの対における重心相互間の中点Ｃ１０が、第２のマーク２０ａの対における重心相互間の中点Ｃ２０に対して対向位置し、かつ第１のマーク１０ａの対における個々の中心を通って第２の基板２０に直交する平面が、第２のマーク２０ａの対における個々の中心を通って第１の基板１０に直交する平面と互いに直交する位置関係である。第１のマーク１０ａおよび第２のマーク２０ａの位置関係は、上述した所定の位置関係を満たす場合、図３に例示するようになる。
【００３３】
一方、図１に示したアライメント装置は、ＸＹＺθテーブル１０Ａ、Ｚテーブル２０Ａ、カメラ３０，３０′、画像処理部４０、軸駆動部５０および装置シーケンス制御部６０を備えている。
【００３４】
ＸＹＺθテーブル１０Ａは、その上面に第１の基板１０を保持するものであり、水平面上で互いに直交するＸ，Ｙ軸および水平面に直交するＺ軸に沿って移動可能、かつＺ軸回りのθ方向に回転可能に構成してある。Ｚテーブル２０Ａは、その下面に第２の基板２０を保持するもので、Ｚ軸に沿って移動可能に構成してある。ここで、本実施の形態では、図１に示すように、ＸＹＺθテーブル１０Ａに保持された状態の第１の基板１０がＺ軸に直交する一方、Ｚテーブル２０Ａに保持された状態の第２の基板２０がＺ軸に直交するようにしてある。
【００３５】
カメラ３０，３０′は、レンズ３１，３１′等の構成要素から成る撮像光学系を介して、第１のマーク１０ａおよび第２のマーク２０ａを撮像する撮像装置である。このカメラ３０，３０′は、上述した保持状態の第１の基板１０および第２の基板２０に対して、その撮像光学系の光軸３０Ａ，３０Ａ′が直交するように、Ｚ軸に沿って下向きに配置してある。なお、これらカメラ３０，３０′としては、例えば、互いに同一の性能を有するＣＣＤ（Charge-coupled device）カメラをそれぞれ適用することができる。
【００３６】
画像処理部４０は、カメラ３０，３０′によって撮像された各マークの画像を取得、記憶する一方、例えば、取得した各マークの画像をパターンマッチングによって画像認識し、適宜画像処理を行うものである。
【００３７】
軸駆動部５０は、装置シーケンス制御部６０からの指令により、ＸＹＺθテーブル１０ＡおよびＺテーブル２０Ａを駆動するものである。装置シーケンス制御部６０は、画像処理部４０による画像処理結果に基づいて、Ｘ，Ｙ軸およびθ方向に対する補正量を計算し、該計算した補正量だけＸＹＺθテーブル１０Ａを駆動するように軸駆動部５０に指令する。また、この装置シーケンス制御部６０は、軸駆動部５０を介してＸＹＺθテーブル１０ＡおよびＺテーブル２０ＡをＺ軸に沿って駆動させる機能をも有している。これにより、本実施の形態では、ＸＹＺθテーブル１０ＡおよびＺテーブル２０ＡをＺ軸に沿って駆動させることにより、上述した保持状態の第１の基板１０および第２の基板２０をＺ軸に沿ってそれぞれ移動させるようにしてある。
【００３８】
図４〜７は、本実施の形態において第１の基板１０および第２の基板２０を互いにアライメントする工程を順次示すものである。なお、同図中では、説明の便宜上、カメラ３０に対する第１の基板１０および第２の基板２０の位置関係のみを示してあるが、カメラ３０′についても同様の位置関係となる。
【００３９】
まず、図４（ａ）に示すように、第１の基板１０および第２の基板２０を互いに貼り合わせる所定の貼り合せ位置（以下、単に貼り合せ位置ＰＨという）に第２の基板２０の下面の位置を一致させる。この時、カメラ３０における撮像光学系の焦点が合う位置と貼り合せ位置ＰＨとが一致するように、カメラ３０を配置しておく。これにより、第２の基板２０の下面に設けた第２のマーク２０ａがカメラ３０の焦点に合う状態となり、この状態で第２のマーク２０ａの対を撮像し、該撮像した画像を画像処理部４０によって記憶する。この時、第１の基板１０を例えば１０ｍｍ程度、貼り合せ位置ＰＨよりも下方に位置させておき、カメラ３０の被写界深度外に位置させる。これにより、図４（ｂ）に例示するように、第１のマーク１０ａがピンぼけ或いは全く写らなくなり、第２のマーク２０ａのみが鮮明に撮像される。
【００４０】
つぎに、図５に示すように、第２の基板２０を保持するＺテーブル２０ＡをＺ軸に沿って上方に駆動させて、第２の基板２０を第１の基板１０から離反する方向、つまりＺ軸に沿って上方に移動させる。ここで、第２の基板２０を例えば１０ｍｍ程度、貼り合せ位置ＰＨよりも上方に位置するように移動させて、第２のマーク２０ａをカメラ３０の被写界深度外に位置させる。ここで、「被写界深度外」とは、カメラが認識できる領域外を言う。
【００４１】
つぎに、図６（ａ）に示すように、貼り合せ位置ＰＨに第１の基板１０の上面の位置を一致させるように、ＸＹＺθテーブル１０ＡをＺ軸に沿って上方に駆動させて、第１の基板１０をＺ軸に沿って上方に移動させる。こうして貼り合せ位置ＰＨに第１の基板１０の上面の位置を一致させた状態で、第１のマーク１０ａの対を撮像する。この時、第１の基板１０の上面に設けた第１のマーク１０ａがカメラ３０の焦点に合う一方、第２のマーク２０ａがカメラ３０の被写界深度外に位置する。これにより、図６（ｂ）に例示するように、第２のマーク２０ａがピンぼけ或いは全く写らない状態となり、第１のマーク１０ａのみが鮮明に撮像される。
【００４２】
つぎに、画像処理部４０によって記憶した第２のマーク２０ａの対の画像と、第１のマーク１０ａの対の画像とを用いて、第１のマーク１０ａおよび第２のマーク２０ａが上述した所定の位置関係を満たすように、第１の基板１０および第２の基板２０を互いにアライメントする。具体的には、画像処理部４０によって、第１のマーク１０ａの対における重心Ｇ１０相互間の中点Ｃ１０および第２のマーク２０ａの対における重心Ｇ２０相互間の中点Ｃ２０の位置をそれぞれ求める。その後に、装置シーケンス制御部６０によって、図８に示すように、カメラ３０の視野３０ａ内において中点Ｃ１０および中点Ｃ２０が互いに重なり合うように、Ｘ，Ｙ軸およびθ方向に対する補正量を計算する。さらにその後に、装置シーケンス制御部６０によって、計算した補正量だけ軸駆動部５０を介してＸＹＺθテーブル１０Ａを駆動させることにより、第１の基板１０を移動させて第２の基板２０に対するアライメント動作を行う。なお、このアライメント動作は、一回に限定されるものではなく、所望するアライメント精度に応じて複数回繰り返して行うようにしても良い。
【００４３】
こうして所望するアライメント精度が得られた後に、図７（ａ）に示すように、Ｚテーブル２０ＡをＺ軸に沿って下方に駆動させて、第２の基板２０をＺ軸に沿って下方に移動させ、貼り合せ位置ＰＨに復帰させる。こうして、第１の基板１０および第２の基板２０が、互いに貼り合わされる位置に配置された状態となる。その後に、例えばこれを液晶パネルの製造方法に適用したとすると、周知の製造方法と同様に、例えば、第１の基板１０および第２の基板２０において互いに対向する面に塗布された図示しないシール材を硬化させて両者を貼り合わせ、さらに切断分割、液晶注入、偏向板の取り付け等を行って、液晶パネルを製造することができる。
【００４４】
上述したように本実施の形態では、第１の基板１０および第２の基板２０をＺ軸に直交させつつ、Ｚ軸に沿って移動させるようにしており、かつカメラ３０，３０′の光軸３０Ａ，３０Ａ′をＺ軸と平行にしている。すなわち、第１の基板１０および第２の基板２０に対して光軸３０Ａ，３０Ａ′が所定の交差角度、具体的には９０度で交差するように、カメラ３０，３０′を配置しており、さらに第１の基板１０および第２の基板２０を光軸３０Ａ，３０Ａ′に沿って移動させるようにしている。こうして、カメラの光軸方向に対する第２の基板の位置と、カメラの光軸方向に対する第２のマークの投影領域とが互いに依存しない状態にした上で、第２の基板をカメラの光軸に沿って移動させ、カメラの焦点に第２のマークを合わせた状態で撮像するようにしている。このため、本実施の形態である電気光学装置の製造方法では、アライメント時において第１のマークと第２のマークとのＺ軸方向の相互間距離がカメラの被写界深度よりも大きな場合であっても、第１のマークおよび第２のマークをカメラの焦点に個別に合わせて、鮮明に撮像することができる。
【００４５】
従って、本実施の形態である電気光学装置の製造方法によれば、高倍率のカメラを用いる場合、互いに接触して傷付くのを防止するために対となる基板を離隔する場合、あるいは厚みのある基板を用いる場合のいずれにおいても、第１のマークおよび第２のマークの両方を鮮明に撮像できないことに伴って、両者の位置関係を高精度に求めることができない事態を防止することができる。このため、本実施の形態である電気光学装置の製造方法によれば、第１の基板および第２の基板を互いに高精度にアライメントすることが可能になるので、一方の基板に設けた構成要素と、他方の基板に設けた構成要素とを高精度に位置合わせすることにより、電気光学装置の高精度化を図ることが可能になる。
【００４６】
また、本実施の形態である電気光学装置の製造方法では、第１の基板および第２の基板として、互いに対向配置した際に互いに対向する面に第１のマークおよび第２のマークを設けたものを用いることにより、カメラの光軸方向に対する第１のマークおよび第２のマークの相互間距離が抑えてある。また、本実施の形態である電気光学装置の製造方法では、第１の基板１０を所定の貼り合せ位置に配置した状態で、カメラ３０の焦点に第１のマーク１０ａを合わせて撮像する一方、第２の基板２０を所定の貼り合せ位置に配置した状態で、カメラ３０の焦点に第２のマーク２０ａを合わせて撮像するようにしている。これらにより、本実施の形態である電気光学装置の製造方法では、第１の基板および第２の基板を互いに貼り合せる位置に配置した際に、カメラの焦点に第１のマークおよび第２のマークの両方を合わせた状態で撮像することが可能になる。従って、本実施の形態である電気光学装置の製造方法によれば、第１の基板および第２の基板を互いに貼り合わせる前に、第１のマーク１０ａおよび第２のマーク２０ａの位置関係を高精度に確認することが可能になる。なお、この確認の結果に基づいて、必要に応じて再度アライメントを行うようにしても良いことは勿論である。
【００４７】
また、本実施の形態である電気光学装置の製造方法では、第１のマークの対における重心相互間の中点と、第２のマークの対における重心相互間の中点とを対向位置させるようにアライメントするので、カメラの視野内におけるマークと第２のマークとの相互間距離の大きさに応じて、カメラ３０のキャリブレーション誤差等の測定誤差に起因してアライメント誤差が生じる事態を防止することができる。このため、本実施の形態である電気光学装置の製造方法によれば、アライメント精度を一層向上させることが可能になるので、電気光学装置の一層の高精度化を図ることが可能になる。
【００４８】
さらに、本実施の形態である電気光学装置の製造方法では、第１のマークの対における個々の重心を通って第２の基板に直交する平面と、第２のマークの対における個々の重心を通って第１の基板に直交する平面とを、所定の交差角度、具体的には９０度で互いに重なり合わせるようにアライメントする。しかも、本実施の形態である電気光学装置の製造方法では、互いに等しい大きさの矩形を成す第１の基板および第２の基板における対角両隅部に設けられた第１のマークおよび第２のマークから成るアライメントマークを用いてアライメントする。これらにより、本実施の形態であるアライメントマークによれば、第１の基板および第２の基板が上述したθ方向に互いに傾斜してアライメント誤差を生じる事態を可及的に抑えることができる。このため、本実施の形態である電気光学装置の製造方法によれば、アライメント精度を一層向上させることが可能になるので、電気光学装置の一層の高精度化を図ることが可能になる。
【００４９】
さらにまた、本実施の形態である電気光学装置の製造方法では、第１のマークおよび第２のマークのうち、一方のマークをカメラの焦点に合わせて撮像する際に、他方のマークをカメラの被写界深度外となる位置に配置するので、撮像した画像上において他方のマークがピンぼけした或いは全く写らない状態となり、これにより画像処理時に一方のマークとの識別が容易となる。しかも、本実施の形態１である電気光学装置の製造方法では、第１のマークおよび第２のマークとして、円形を成すものをそれぞれ適用したので、カメラの視野上の座標における姿勢の影響を受けることなく各マークのパターンマッチングを行うことが可能になり、画像処理を容易に行うことが可能になる。これらにより、本実施の形態である電気光学装置の製造方法では、画像処理の負担を可及的に低減することができるので、アライメントを高効率に行うことが可能になり、その結果、電気光学装置の製造におけるスループットを向上させることが可能になる。
【００５０】
なお、以上説明した本実施の形態では、カメラ側を固定した状態で第１の基板および第２の基板を移動させて、第１のマークおよび第２のマークを個別にカメラの焦点に合わせる場合を示したが、これに限定されるものではない。具体的には、カメラ側を第１の基板および第２の基板に対して移動させて、第１のマークおよび第２のマークを個別にカメラの焦点に合わせるようにしても、上述した本実施の形態と同様の作用、効果を奏するようになる。
【００５１】
また、本実施の形態では、第１のマークおよび第２のマークの一方をカメラの焦点に合わせて撮像する際に、他方をカメラの被写界深度外に位置させるようにしたがこれに限定されるものではない。例えば、画像処理によってマスク処理を行うことにより、撮像した画像から第１のマークおよび第２のマークのうち、不要となる一方のマークを取り除くことができるので、一方のマークをカメラの被写界深度外に必ずしも位置させる必要はない。
【００５２】
また、本実施の形態では、第１の基板および第２の基板を互いに対向配置させた状態で、第２のマークを撮像する場合を示したが、これに限定されるものではない。具体的には、第２のマークを撮像する際には、後から撮像される第１のマークを有する第１の基板を必ずしも第２の基板と対向配置させておく必要がないので、第２のマークの撮像後に第１の基板を第２の基板と対向配置させるようにしても良い。
【００５３】
なお、本実施の形態である製造工程によって製造された液晶パネルは、各種の電子機器に搭載され、液晶表示装置としての機能を果たすようになる。この液晶表示装置を搭載した電子機器としては、例えば、携帯電話機、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器や携帯型パーソナルコンピュータ、パーソナルコンピュータ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機等が挙げられる。
【００５４】
また、本実施の形態においては、いずれもＴＦＴカラー液晶パネルを例示してきたが、これに限定されるものではなく、例えば、同じくアクティブマトリクス型の液晶パネルの一種である薄膜ダイオードカラー液晶パネル、あるいはパッシブマトリクス型の液晶パネルにも同様に適用することができる。なお、本実施の形態は、カラー液晶パネルに限定されるものではなく、モノクロ液晶パネルにも適用できることは勿論である。
【００５５】
また、本発明が適用できる電気光学装置は、液晶パネルには限られず、例えば有機ＥＬディスプレイにも適用が可能である。また、本発明が適用できる基板として、例えばガラスとプラスチックやガラスとフィルム、ガラスと例えばＳｉウェハなどの貼り合せにも適用できる。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、電気光学装置の高精度化を図ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態におけるアライメント装置のブロック線図である。
【図２】図１における投影図であり、（ａ）は図１における矢印Ａ方向の投影図、（ｂ）は図１における矢印Ｂ方向の投影図である。
【図３】アライメント後における各マークの位置関係を示す説明図である。
【図４】本実施の形態において第１の基板および第２の基板を互いにアライメントする工程を示すもので、第１の工程を示す説明図である。
【図５】本実施の形態において第１の基板および第２の基板を互いにアライメントする工程を示すもので、第２の工程を示す説明図である。
【図６】本実施の形態において第１の基板および第２の基板を互いにアライメントする工程を示すもので、第３の工程を示す説明図である。
【図７】本実施の形態において第１の基板および第２の基板を互いにアライメントする工程を示すもので、第４の工程を示す説明図である。
【図８】本実施の形態におけるアライメントの様子を示す説明図である。
【図９】従来のアライメント方法を説明する説明図である。
【符号の説明】
１０第１の基板、１０ａ第１のマーク、１０ＡＸＹＺθテーブル、２０第２の基板、２０ａ第２のマーク、２０ＡＺテーブル、３０，３０′ カメラ、３０Ａ，３０Ａ′ 光軸、３１，３１′ レンズ、３０ａ，３０ａ′ 視野、４０画像処理部、５０軸駆動部、６０装置シーケンス制御部、Ｃ１０，Ｃ２０中点、Ｇ１０，Ｇ２０重心、ＰＨ貼り合せ位置

Claims

第１のマークを有する第１の基板と第２のマークを有する第２の基板とを、撮像装置を用いて互いにアライメントする電気光学装置の製造方法であって、
前記第１の基板を所定の貼り合せ位置に配置した状態で、前記第１のマークを撮像する工程と、
前記撮像装置の撮像光学系の光軸に沿って前記第２の基板から離反する方向に、前記第１の基板を移動する工程と、
前記第２の基板を前記貼り合せ位置に配置した状態で前記第２のマークを撮像する工程と、
前記第１の基板を前記光軸にそって前記貼り合せ位置に移動させて、前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り合せることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
前記第１の基板および前記第２の基板として、対向配置した際に互いに対向する面に前記第１のマークおよび前記第２のマークを設けたものを用いることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造方法。
前記第１のマークおよび前記第２のマークとして、前記第１の基板および前記第２の基板を互いにアライメントした際に、前記第１のマークの対における重心相互間の中点が、前記第２のマークの対における重心相互間の中点を含む予め設定した許容範囲に対して対向位置するものを用いることを特徴とする請求項１または２に記載の電気光学装置の製造方法。
前記第１のマークおよび前記第２のマークとして、前記第１の基板および前記第２の基板を互いにアライメントした際に、前記第１のマークの対における個々の中心を通って前記第２の基板に直交する平面と、前記第２のマークの対における個々の中心を通って前記第１の基板に直交する平面とが、所定の角度で互いに交差するものを用いることを特徴とする請求項３に記載の電気光学装置の製造方法。
前記所定の角度をほぼ９０度に設定したものを用いることを特徴とする請求項４に記載の電気光学装置の製造方法。
前記第１のマークおよび前記第２のマークを、円形としたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一つに記載の電気光学装置の製造方法。