JP2006019454A - 駆動素子搭載方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】駆動素子の複数の端子を液晶表示パネルの接続端子に精度良く搭載する。
【解決手段】駆動素子7をボンディング位置に移動させ、そのアライメントマーク9を含む2つの部分を、定位置に配置された撮像手段29a,29bにより撮像した後、駆動素子7を後退させ、ボンディング位置に表示パネル1を搬入してその位置合わせマーク6を含む2つの部分を前記撮像手段29a,29bにより撮像し、駆動素子7の2つの部分の撮像画像中のアライメントマーク位置と、表示パネル1の2つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置とを検出して駆動素子7に対する表示パネル1の算出されたずれ量が予め定めた許容値を越えたときに、前記表示パネル1の位置を修正してその2つの部分のずれ量の算出とを繰返し、算出されたずれ量が許容値内であるときに、前記駆動素子7を再びボンディング位置に移動させて表示パネル1にボンディングする。
【選択図】 図4
【解決手段】駆動素子7をボンディング位置に移動させ、そのアライメントマーク9を含む2つの部分を、定位置に配置された撮像手段29a,29bにより撮像した後、駆動素子7を後退させ、ボンディング位置に表示パネル1を搬入してその位置合わせマーク6を含む2つの部分を前記撮像手段29a,29bにより撮像し、駆動素子7の2つの部分の撮像画像中のアライメントマーク位置と、表示パネル1の2つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置とを検出して駆動素子7に対する表示パネル1の算出されたずれ量が予め定めた許容値を越えたときに、前記表示パネル1の位置を修正してその2つの部分のずれ量の算出とを繰返し、算出されたずれ量が許容値内であるときに、前記駆動素子7を再びボンディング位置に移動させて表示パネル1にボンディングする。
【選択図】 図4
Description
この発明は、表示パネルの駆動素子搭載部上に駆動素子をボンディングする駆動素子搭載方法に関する。
液晶表示パネル等の駆動素子搭載型表示パネルに搭載される駆動素子は、一方の面に複数の端子が配列形成され、その面の複数箇所にアライメントマークが形成されたLSI等の集積回路素子からなっており、前記駆動素子搭載型表示パネルは、前記駆動素子の搭載部を有し、その駆動素子搭載部に、その駆動素子搭載部に、前記駆動素子の複数の端子及びアライメントマークにそれぞれ対応する複数の駆動素子接続端子と駆動素子位置合わせマークが形成された構成となっている。
そして、前記駆動素子は、前記表示パネルの駆動素子搭載部上に、その端子及びアライメントマークの形成面を前記駆動素子搭載部に対向させて配置され、そのアライメントマークと前記表示パネルの位置合わせマークとを見ながら駆動素子の位置を調整して両方のマークを一致させることにより、前記駆動素子の複数の端子が前記表示パネルの複数の駆動素子接続端子にそれぞれ対向するように位置合わせされて搭載されている。
しかし、この駆動素子搭載方法は、駆動素子のアライメントマークと表示パネルの位置合わせマークとを見ながら駆動素子の位置を調整しなければならないため、作業性が悪いという問題をもっている。
そのため、前記表示パネルをパネル位置決め用テーブルにテレビカメラを用いた画像処理により位置決めして固定し、このパネル位置決め用テーブルを搬送ロボットによりボンディングステージ上に載置するとともに、前記駆動素子を駆動素子位置決め用テーブルにテレビカメラを用いた画像処理により位置決めして固定し、この駆動素子位置決め用テーブルを搬送ロボットにより前記ボンディングステージ上に搬送して前記駆動素子を前記表示パネルの駆動素子搭載部に対向させ、その後に、ボンディングヘッドにより前記駆動素子を前記表示パネルの駆動素子搭載部に押し付けてボンディングする駆動素子搭載方法が提案されている(特許文献1参照)。
特開平5−241184号公報
しかし、上記特許文献1に記載された駆動素子搭載方法は、テレビカメラを用いた画像処理によるパネル位置決め用テーブル及び駆動素子位置決め用テーブルへの表示パネル及び駆動素子の位置決めは精度良く行なえるが、前記パネル位置決め用テーブルをボンディングステージ上に載置する搬送ロボットの動作誤差と、前記駆動素子位置決め用テーブルを前記ボンディングステージ上に搬送する搬送ロボットの動作誤差の両方が、表示パネルに対する駆動素子の位置合わせ精度に影響する。
そのため、この駆動素子搭載方法では、前記駆動素子を、その複数の端子を前記表示パネルの複数の駆動素子接続端子に精度良く対向させてボンディングすることが難しい。
この発明は、駆動素子を、作業性良く、しかも前記駆動素子の複数の端子を表示パネルの複数の駆動素子接続端子に精度良く対向させてボンディングすることができる駆動素子搭載方法を提供することを目的としたものである。
この発明の駆動素子搭載方法は、一方の面に複数の端子が配列形成され、その面の複数箇所にアライメントマークが形成された駆動素子を、ヘッド移動手段により前記表示パネルへの前記駆動素子のボンディングを行なうボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動されるボンディングヘッドに固定し、前記駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置に移動させる工程と、前記ボンディング位置に移動された前記駆動素子のアライメントマーク形成部を含む2つの部分を定位置に配置された撮像手段により撮像し、その2つの部分の撮像画像中の前記アライメントマークの位置を検出する工程と、前記撮像後に前記駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置から後退させ、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させる工程と、前記駆動素子の搭載部を有し、その駆動素子搭載部に、前記駆動素子の複数の端子にそれぞれ対応する複数の駆動素子接続端子と、前記駆動素子の複数の複数箇所のアライメントマークにそれぞれ対応する駆動素子位置合わせマークが形成された表示パネルを前記ボンディング位置に搬入する工程と、前記ボンディング位置に搬入された前記表示パネルの駆動素子搭載部の位置合わせマーク形成部を含む2つの部分を前記撮像手段により撮像し、その2つの部分の撮像画像中の前記位置合わせマークの位置を検出する工程と、前記駆動素子の前記2つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置と前記表示パネルの前記2つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置とに基づいて前記駆動素子に対する前記表示パネルのずれ量を算出する工程と、前記算出されたずれ量が予め定めた許容値を越えたときに、前記表示パネルの位置を修正し、この表示パネルの前記2つの部分の撮像と、その撮像画像中の位置合わせマーク位置の検出と前記駆動素子に対する前記表示パネルのずれ量の算出とを繰返す工程と、前記算出されたずれ量が前記許容値内であるときに、位置合わせ完了と判定し、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させておいた前記駆動素子を、前記ヘッド移動手段により再び前記ボンディング位置に移動させて前記表示パネルの駆動素子搭載部上にボンディングする工程とを備えることを特徴とする。
この駆動素子搭載方法においては、互いに直交するX軸方向とY軸方向とに水平移動するとともに周方向に回転するボンディング台上に前記表示パネルを固定してこの表示パネルの前記2つの部分を撮像し、前記駆動素子の前記2つの部分の撮像画像中のアライメントマーク位置と前記表示パネルの前記2つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置とに基づいて前記駆動素子に対する前記表示パネルの前記X軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量を算出し、そのうちの少なくとも1つの方向のずれ量が許容値を越えたときに、前記ボンディング台の前記X軸方向とY軸方向への水平移動と周方向への回転により前記表示パネルの位置を修正し、前記X軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量の全てが前記許容値内であるときに、位置合わせ完了と判定するのが望ましい。
また、この駆動素子搭載方法においては、前記駆動素子の前記2つの部分の撮像画像中のアライメントマーク位置と、前記表示パネルの前記2つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置とをそれぞれ前記撮像画像の画像処理により座標値として検出し、これらのマーク位置に基づいて算出した前記駆動素子に対する前記表示パネルのX軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量に応じて、数値制御により前記ボンディング台のX軸方向とY軸方向への水平移動量と周方向への回転角を制御して前記表示パネルの位置を修正するのが好ましい。
さらに、この駆動素子搭載方法においては、前記ボンディングヘッドに前記駆動素子を、そのアライメントマーク形成部を含む2つの部分を通る方向を前記X軸方向に向けて固定するとともに、前記ボンディング台上に前記表示パネルを、その位置合わせマーク形成部を含む2つの部分を通る方向を前記X軸方向に向けて固定し、前記駆動素子に対する前記表示パネルのX軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量を、
前記X軸方向における前記駆動素子または前記表示パネルの前記2つの部分のマーク間距離をXmdis、
前記駆動素子の前記2つの部分の一方の撮像画像中のアライメントマーク位置と他方の撮像画像中のアライメントマーク位置との前記Y軸方向のずれ量をdYa、
前記表示パネルの前記2つの部分の一方の撮像画像中の位置合わせマーク位置と他方の撮像画像中の位置合わせマーク位置との前記Y軸方向のずれ量をdYb、
前記駆動素子の一方の部分の撮像画像中のアライメントマーク位置に対する前記表示パネルの一方の部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置の前記X軸方向とY軸方向のずれ量をdX1,dY1、
前記駆動素子の他方の部分の撮像画像中のアライメントマーク位置に対する前記表示パネルの他方の部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置の前記X軸方向とY軸方向のずれ量をdX2,dY2、
前記駆動素子に対する前記表示パネルのX軸方向とY軸方向と周方向のずれ量をdX,dY,dθとし、
dX=(dX1+dX2)/2
dY=(dY1+dY2)/2
dθ=tan−1{(dYb−dYa)/Xmdis
の式により算出するのが好ましい。
前記X軸方向における前記駆動素子または前記表示パネルの前記2つの部分のマーク間距離をXmdis、
前記駆動素子の前記2つの部分の一方の撮像画像中のアライメントマーク位置と他方の撮像画像中のアライメントマーク位置との前記Y軸方向のずれ量をdYa、
前記表示パネルの前記2つの部分の一方の撮像画像中の位置合わせマーク位置と他方の撮像画像中の位置合わせマーク位置との前記Y軸方向のずれ量をdYb、
前記駆動素子の一方の部分の撮像画像中のアライメントマーク位置に対する前記表示パネルの一方の部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置の前記X軸方向とY軸方向のずれ量をdX1,dY1、
前記駆動素子の他方の部分の撮像画像中のアライメントマーク位置に対する前記表示パネルの他方の部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置の前記X軸方向とY軸方向のずれ量をdX2,dY2、
前記駆動素子に対する前記表示パネルのX軸方向とY軸方向と周方向のずれ量をdX,dY,dθとし、
dX=(dX1+dX2)/2
dY=(dY1+dY2)/2
dθ=tan−1{(dYb−dYa)/Xmdis
の式により算出するのが好ましい。
この発明の駆動素子搭載方法は、ヘッド移動手段により移動されるボンディングヘッドに駆動素子を固定してこの駆動素子をボンディング位置に移動させ、この駆動素子のアライメントマーク形成部を含む2つの部分を撮像した後、前記撮像後の駆動素子を前記ボンディング位置から後退させて前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させておき、前記ボンディング位置に表示パネルを搬入した後に、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させておいた前記駆動素子を再び前記ボンディング位置にさせるものであるため、前記ボンディング位置に表示パネルを搬入した後に前記ボンディング位置に再び移動された撮像後の駆動素子の位置は、この駆動素子の撮像時の位置と実質的に同じである。
そして、この駆動素子搭載方法では、表示パネルの搬入前にボンディング位置に移動させた駆動素子のアライメントマーク形成部を含む2つの部分を、定位置に配置された撮像手段により撮像してその2つの部分の撮像画像中の前記アライメントマークの位置を検出し、撮像後の駆動素子を後退させた後に前記ボンディング位置に搬入した表示パネルの駆動素子搭載部の位置合わせマーク形成部を含む2つの部分を前記撮像手段により撮像してその2つの部分の撮像画像中の前記位置合わせマークの位置を検出することにより、前記駆動素子の前記2つの部分の撮像画像中のアライメントマーク位置と前記表示パネルの前記2つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置とに基づいて前記駆動素子に対する前記表示パネルのずれ量を算出し、算出されたずれ量が予め定めた許容値を越えたときに、前記表示パネルの位置を修正して、この表示パネルの前記2つの部分の撮像と、その撮像画像中の位置合わせマーク位置の検出と前記駆動素子に対する前記表示パネルのずれ量の算出とを繰返し、前記算出されたずれ量が前記許容値内であるときに、位置合わせ完了と判定して、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させておいた前記駆動素子を、前記ヘッド移動手段により再び前記ボンディング位置に移動させて前記表示パネルの駆動素子搭載部上にボンディングするものであるため、前記駆動素子を、作業性良く、しかも前記駆動素子の複数の端子を前記表示パネルの複数の駆動素子接続端子に精度良く対向させてボンディングすることができる。
この駆動素子搭載方法においては、互いに直交するX軸方向とY軸方向とに水平移動するとともに周方向に回転するボンディング台上に前記表示パネルを固定してこの表示パネルの前記2つの部分を撮像し、前記駆動素子の前記2つの部分の撮像画像中のアライメントマーク位置と前記表示パネルの前記2つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置とに基づいて前記駆動素子に対する前記表示パネルの前記X軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量を算出し、そのうちの少なくとも1つの方向のずれ量が許容値を越えたときに、前記ボンディング台の前記X軸方向とY軸方向への水平移動と周方向への回転により前記表示パネルの位置を修正し、前記X軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量の全てが前記許容値内であるときに、位置合わせ完了と判定するのが望ましく、このようにすることにより、前記駆動素子に対する前記表示パネルの前記X軸方向とY軸方向及び周方向のいずれの方向のずれにも対処することができる。
また、この駆動素子搭載方法においては、前記駆動素子の前記2つの部分の撮像画像中のアライメントマーク位置と、前記表示パネルの前記2つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置とをそれぞれ前記撮像画像の画像処理により座標値として検出し、これらのマーク位置に基づいて算出した前記駆動素子に対する前記表示パネルのX軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量に応じて、数値制御により前記ボンディング台のX軸方向とY軸方向への水平移動量と周方向への回転角を制御して前記表示パネルの位置を修正するのが好ましく、このようにすることにより、前記駆動素子の複数の端子を前記表示パネルの複数の駆動素子接続端子により精度良くに対向させることができる。
さらに、この駆動素子搭載方法においては、前記ボンディングヘッドに前記駆動素子を、そのアライメントマーク形成部を含む2つの部分を通る方向を前記X軸方向に向けて固定するとともに、前記ボンディング台上に前記表示パネルを、その位置合わせマーク形成部を含む2つの部分を通る方向を前記X軸方向に向けて固定し、前記駆動素子に対する前記表示パネルのX軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量dX,dY,dθを、前記X軸方向における前記駆動素子または前記表示パネルの前記2つの部分のマーク間距離Xmdisと、前記駆動素子の前記2つの部分の一方の撮像画像中のアライメントマーク位置と他方の撮像画像中のアライメントマーク位置との前記Y軸方向のずれ量dYaと、前記表示パネルの前記2つの部分の一方の撮像画像中の位置合わせマーク位置と他方の撮像画像中の位置合わせマーク位置との前記Y軸方向のずれ量dYbと、前記駆動素子の一方の部分の撮像画像中のアライメントマーク位置に対する前記表示パネルの一方の部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置の前記X軸方向とY軸方向のずれ量dX1,dY1と、前記駆動素子の他方の部分の撮像画像中のアライメントマーク位置に対する前記表示パネルの他方の部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置の前記X軸方向とY軸方向のずれ量dX2,dY2とから、
dX=(dX1+dX2)/2
dY=(dY1+dY2)/2
dθ=tan−1{(dYb−dYa)/Xmdis
の式により算出するのが好ましく、このようにすることにより、前記駆動素子に対する前記表示パネルのX軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量dX,dY,dθを高精度に算出し、前記駆動素子の複数の端子を前記表示パネルの複数の駆動素子接続端子にさらに精度良くに対向させることができる。
dX=(dX1+dX2)/2
dY=(dY1+dY2)/2
dθ=tan−1{(dYb−dYa)/Xmdis
の式により算出するのが好ましく、このようにすることにより、前記駆動素子に対する前記表示パネルのX軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量dX,dY,dθを高精度に算出し、前記駆動素子の複数の端子を前記表示パネルの複数の駆動素子接続端子にさらに精度良くに対向させることができる。
以下、この発明の一実施例を図1〜図9を参照して説明する。
まず、図2に示した駆動素子搭載型表示パネル1とその駆動素子7について説明すると、前記駆動素子7は、一方の面に複数の入出力端子8が配列形成され、その面の複数箇所、例えば前記周縁部の2つのコーナー部にそれぞれアライメントマーク9が形成されたLSI等の集積回路素子からなっている(図5参照)。
また、前記駆動素子搭載型表示パネル1は、例えば液晶表示パネル(LCD)であり、その内部構造は図示しないが、枠状のシール材4を介して接合され、前記シール材4により囲まれた領域に設けられた液晶層を挟んで対向する一対の透明基板2,3の互いに対向する内面にそれぞれ複数の画素を形成する電極が設けられている。
そして、この液晶表示パネル1の一方の基板2には、その一側縁部に、他方の基板3の外方に張出す透明な駆動素子搭載部2aが形成されており、その駆動素子搭載部2aに、前記駆動素子7の複数の端子8にそれぞれ対応する複数の駆動素子接続端子5と、前記駆動素子7の複数箇所(周縁部の2つのコーナー部)のアライメントマーク9にそれぞれ対応する駆動素子位置合わせマーク6が形成されている(図2及び図6参照)。
以下、駆動素子7をLSIと言い、前記表示パネル1をLCD、その駆動素子搭載部2aをLSI搭載部、駆動素子接続端子5をLSI接続端子、駆動素子位置合わせマーク6をLCD位置合わせマークと言う。
図1は、前記LCD1のLSI搭載部2a上に前記LSI7をボンディングするためのボンディング装置の斜視図である。
このボンディング装置は、水平な基台11上に、前記LCD1への前記LSI7のボンディングを行なうボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに水平移動可能に設けられた移動ステージ15と、前記ボンディング位置の上方に設けられたヘッド移動手段26により前記ボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに垂直に昇降移動されるボンディングヘッド27と、前記ボンディング位置に対向させて配置された撮像ユニット28と、前記撮像ユニット28により撮像された画像を表示するモニタディスプレイ36とを備えている。
前記移動ステージ15は、前記ボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動される移動台16上に、互いに直交するX軸方向とY軸方向とに水平移動するとともに周方向に回転するボンディング台24を設けたものであり、前記移動台16は、前記基台11上に固定されたレール12により案内され、エアシリンダ等のステージ移動機構17により前記ボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動される。
そして、前記移動台16の上には、前記ボンディング台24をX軸方向とY軸方向とに水平移動させるとともに周方向に回転させるボンディング台駆動機構18が設けられており、その上に前記ボンディング台24が設けられている。
前記ボンディング台駆動機構18は、前記移動台16の上に一方向(例えば移動台16の移動方向と平行な方向)にスライド可能に設けられた第1の移動プレート19と、この第1の移動プレート19の上にその移動方向と直交する方向にスライドスライド可能に設けられた第2の移動プレート20と、前記第1の移動プレート19を前記移動台16に対して前記一方向に移動させる第1の送り機構21aと、前記第2の移動プレート20を前記第1の移動プレート19に対してその移動方向と直交する方向に移動させる第2の送り機構21bと、前記第2の移動プレート20の上に垂直軸22aを中心として回転可能に設けられた回転テーブル22と、この回転テーブル22の回転機構23とからなっており、前記ボンディング台24は、前記回転テーブル22の上に固定されている。
前記第1の移動プレート19を移動させる第1の送り機構21aと、前記第2の移動プレート20を移動させる第2の送り機構21bと、前記回転テーブル22の回転機構23は、いずれも、数値制御により制御されるものであり、前記第1の送り機構21aと第2の送り機構21bは例えばネジ送り機構等からなっており、前記回転テーブル22の回転機構23は例えばウォームギヤ機構からなっている。
なお、この実施例では、前記移動台16に対する第1の移動プレート19の移動方向をY軸方向、この第1の移動プレート19に対する第2の移動プレート20の移動方向をX軸方向とし、前記移動台16に対する第1の移動プレート19の移動により前記ボンディング台24をY軸方向に移動させ、前記第1の移動プレート19に対する第2の移動プレート20の移動により前記ボンディング台24をX軸方向に移動させ、前記回転テーブル22の回転により前記ボンディング台24を周方向に回転させるようにしている。
前記ボンディング台24は、矩形状の上枠部とその各辺のうちの前記移動台16の移動方向に沿った2つの辺に設けられた一対の壁状脚部とからなる門型台であり、前記上枠部の開口内に、ガラス板等からなる透明プレート25が水平に嵌着されている。
このボンディング台24は、前記透明プレート25の上面に前記LCD1を真空吸着により固定して支持するものであり、図1では省略しているが、前記透明プレート25には、その上面のパネル載置位置の中央部にパネル吸着孔が設けられるとともに、フレキシブルホースを介してパネル吸着用吸気装置が接続されている。
前記移動ステージ15は、前記LCD1への前記LSI7のボンディングを行なうときに、図1に実線で示したように、前記ボンディング台24上(透明プレート25の上面)にLCD1を吸着固定して前記ボンディング位置に移動され、前記LCD1にLSI7をボンディングした後に、図1に二点鎖線で示したように前記ボンディング位置から後退移動される。
一方、前記ヘッド移動手段26は、例えばエアーシリンダからなっており、このヘッド移動手段(以下、ヘッド移動シリンダと言う)26は、その基部を前記基台11の上方に配置された上フレーム13に固定して、前記ボンディング位置の上方に垂直に設けられている。なお、このヘッド移動シリンダ26は、そのピストンロッド26aを回転及び振動を生じさせること無く進退させるように設計されている。
また、前記ボンディングヘッド27は、その下面に、横長形状のLSI固定部27aを有しており、前記LSI固定部27aの長さ方向を所定の方向に向け、下面を前記移動ステージ15のボンディング台24の上面と平行にして、前記ヘッド移動シリンダ26のピストンロッド26aの先端に固定されている。
このボンディングヘッド27は、前記LSI固定部27aの下面にLSI7を真空吸着により固定するものであり、図1では省略しているが、このボンディングヘッド27には、前記LSI固定部27aの下面の中央部に開口するLSI吸着孔が設けられとともに、フレキシブルホースを介してLSI吸着用吸気装置が接続されている。
また、前記撮像ユニット28は、前記ボンディングヘッド27の下面に吸着固定されて前記ヘッド移動シリンダ26により前記ボンディング位置に下降移動されたLSI7のアライメントマーク形成部を含む2つの部分と、前記移動ステージ15のボンディング台24上に固定されて前記ボンディング位置に搬入されたLCD1のLSI搭載部2aの位置合わせマーク形成部を含む2つの部分とをそれぞれ撮像する第1と第2の2つの撮像手段29a,29bを備えている。
前記撮像ユニット28の2つの撮像手段29a,29bはそれぞれ、図2に示したように、被写体照明用光源を内蔵したCCD(固体撮像素子)カメラ30と、被写体側ミラー33及び中継ミラー34とにより構成されている。
なお、前記CCDカメラ30は、その内部構造は図示しないが、レンズ部31の一側に形成された光源収容部32内に平行光を出射する被写体照明用光源を設け、前記レンズ部31内に、前記光源からの出射光をレンズ光軸と平行な方向に屈折させてレンズ部31から出射させ、外部から前記レンズ部31に入射した光を透過させてCCD(固体撮像素子)の撮像面に入射させるダイクロイックミラー等の光学素子を配置した構成となっている。
前記CCDカメラ30は、そのレンズ光軸を水平にして配置されており、その前方に前記中継ミラー34が、その反射面を前記CCDカメラ30のレンズ光軸に対して45度の角度で交差させて垂直に配置されている。
また、前記被写体側ミラー33は、前記中継ミラー34の側方に、その反射面を上方及び中継ミラー34に対向させて、水平面に対し45度傾けて配置されている。
すなわち、この撮像手段29a,29bは、前記CCDカメラ30からそのレンズ光軸と平行(水平方向)に出射した照明光を、前記中継ミラー34と被写体側ミラー33とを介して上方に垂直に投射し、被写体であるLSI7及びLCD1のLSI搭載部2aにより反射されて上方から垂直に入射した光を前記被写体側ミラー33と中継ミラー34とを介して前記CCDカメラ30に前記レンズ光軸と平行に入射させることにより、前記LSI7のアライメントマーク形成部を含む2つの部分及び前記LCD1のLSI搭載部2aの位置合わせマーク形成部を含む2つの部分を撮像する。
なお、第1の撮像手段29aと第2の撮像手段29bは、図2に示したように、それぞれの被写体側ミラー33の配置側を互いに逆にした対称形の構成とされている。
そして、前記第1と第2の撮像手段29a,29bは、それぞれのCCDカメラ30のレンズ光軸を互いに平行にし、それぞれの被写体側ミラー33を、前記ボンディングヘッド27の下面のLSI固定部27aに固定されるLSI7の長さ方向と平行な方向に並べて背中合わせに隣り合わせるとともに、これらの被写体側ミラー33の中心間の距離を、前記LSI7のアライメントマーク形成部を含む2つの部分または前記LCD1のLSI搭載部2aの位置合わせマーク形成部を含む2つの部分のそれぞれのマーク間の距離と実質的に等しくして撮像ユニット28のケース28a(図1参照)内に固定されている。
なお、図では省略しているが、前記ケース28aの上面には、前記第1及び第2の撮像手段29a,29bの被写体側ミラー33にそれぞれ対応する撮像用開口が設けられている。
この撮像ユニット28は上記のような構成の第1と第2の撮像手段29a,29bを備えたものであり、前記LSI7のアライメントマーク9の形成部を含む2つの部分及び前記LCD1のLSI搭載部2aの位置合わせマーク6の形成部を含む2つの部分をそれぞれ、前記LSI7の素子面及び前記LCD1のパネル面に対して垂直な方向から前記撮像手段29a,29bにより撮像する。
前記撮像ユニット28は、前記ボンディング位置を挟んで前記ボンディングヘッド27側とは反対側、つまり前記ボンディング位置の下側の定位置に、前記門型のボンディング台24の透明プレート25下の空間に対応させて、中空に浮かせた状態で配置され、前記移動ステージ15の移動方向と平行に設けられた水平ロッド35を介して基台11上の撮像ユニット固定部14に固定されている。
さらに、前記撮像ユニット28の第1と第2の撮像手段29a,29bはそれぞれ、前記CCDカメラ30の焦点が、LCD1を移動ステージ15のボンディング台24上に固定して前記ボンディング位置に搬入したときの前記LCD1のLSI搭載部2aのLSI接続端子5及びLSI位置合わせマーク6の形成面に一致するように設定されている。
なお、前記門型のボンディング台24の透明プレート25下の空間は、前記撮像ユニット28の前記移動ステージ15の移動方向から見た外形よりも充分に大きく設計されており、前記移動ステージ15は、前記ボンディング台24の透明プレート25下の空間内に前記撮像ユニット28を入り込ませて前記ボンディング位置に移動される。
図3は前記ボンディング装置のブロック回路図であり、前記ボンディング装置は、前記第1と第2の撮像手段29a,29bによる撮像画像を処理してそれぞれの撮像画像中の予め登録されたパターンのマーク、つまり前記LSI7のアライメントマーク9または前記LCD1の位置合わせマーク6を判別し、一方の撮像画像中のマーク位置と他方の撮像画像中のマーク位置とを座標値として検出し、その両方のマーク位置データを出力する画像処理装置37と、この画像処理装置37の出力データ、つまり前記LSI7の前記2つの部分の撮像画像中のアライメントマーク位置と前記LCD1の前記2つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置とに基づいて前記LSI7に対する前記LCD1のずれ量を算出し、その算出したずれ量を予め設定された許容値と比較して前記LCD1と前記LSI7と位置合わせを判定する位置合わせ判定回路38と、装置全体の制御回路39とを備えている。
図4は上記ボンディング装置による前記LCD1への前記LSI7の搭載工程を示す模式図であり、前記LSI7は、次のようにして前記LCD1のLSI搭載部2aに搭載する。
まず、図1に二点鎖線で示したように、移動ステージ15をボンディング位置から後退させ、ボンディングヘッド27をヘッド移動シリンダ26により引き上げて前記ボンディング位置から後退させた状態で、図示しないアームロボット等のLSI供給手段により、前記LSI7を、その端子8及びアライメントマーク9の形成面を下向きにしてボンディングヘッド27の下に供給し、このLSI7を、そのアライメントマーク形成部を含む2つの部分を通る方向を前記X軸方向(ボンディング台駆動機構18の第2の移動プレート20の移動方向)に向けるとともに、前記2つの部分が前記撮像ユニット28の第1と第2の撮像手段29a,29bの撮像範囲にそれぞれ対向するように大まかに位置合わせして、前記ボンディングヘッド27のLSI固定部27aの下面に真空吸着により固定する。
次に、前記ヘッド移動シリンダ26によりボンディングヘッド27を下降させ、このボンディングヘッド27のLSI固定部27aの下面に固定されたLSI7を前記ボンディング位置に移動させる。
次に、図4(I)のように、前記ボンディング位置に移動された前記LSI7の前記アライメントマーク形成部を含む2つの部分を、前記ボンディング位置を挟んでボンディングヘッド27側とは反対側の定位置に配置された撮像ユニット28の第1と第2の撮像手段29a,29bによりLSI面に対して垂直な方向からそれぞれ撮像する。
なお、このときは移動ステージ15が図1に二点鎖線で示したようにボンディング位置から後退しているため、前記LSI7の前記2つの部分(アライメントマーク形成部を含む2つの部分)の撮像は、前記撮像手段29a,29bをそれぞれ前記LSI7の前記2つの部分に直接対向させて行なわれる。
前記LSI7の前記2つの部分の撮像は、ヘッド移動シリンダ26によるボンディングヘッド27の下降位置を制御することにより、前記LSI7の下面、つまり端子8及びアライメントマーク9の形成面を、前記第1と第2の撮像手段29a,29bの焦点(CCDカメラ30の焦点)を含む水平面fに一致させて行なうのが望ましく、このようにすることにより、前記LSI7の2つの部分をピントの合った状態で撮像することができる。
図5はこのときの撮像画像を示しており、(a)は第1の撮像手段29aによる前記LSI7の一方の部分の撮像画像、(b)は第2の撮像手段29bによる前記LSI7の他方の部分の撮像画像である。
前記第1と第2の撮像手段29a,29bにより撮像された画像データ、つまり前記LSI7のアライメントマーク形成部を含む2つの部分の画像データは前記画像処理装置37に送られる。
前記画像処理装置37は、図5(a)に示した前記LSI7の一方の部分の撮像画像と、図5(b)に示した前記LSI7の他方の部分の撮像画像とをモニタディスプレイ36に表示させるとともに、前記一方の撮像画像と他方の撮像画像とを画像処理してそれぞれの撮像画像中のアライメントマーク9の位置を座標値として検出し、その両方のアライメントマーク位置データを位置合わせ判定回路38に出力する。
また、前記LSI7の前記2つの部分を撮像した後は、前記ヘッド移動シリンダ26によりボンディングヘッド27を引き上げ、撮像後のLSI7を前記ボンディング位置から後退させ、前記ボンディングヘッド27に固定したまま後退位置で待機させる。
一方、前記LCD1は、そのLSI搭載部2aの端子配列領域に樹脂中に導電性粒子を混入した異方導電性接着剤10を塗布して、図示しないアームロボット等のパネル供給手段により、LSI搭載部2aの端子形成面を上向きにして図1に鎖線で示した後退位置にある移動ステージ15のボンディング台24上に供給し、このLCD1を、その位置決めマーク形成部を含む2つの部分を通る方向を前記X軸方向に向けるとともに、前記2つの部分が前記撮像ユニット28の第1と第2の撮像手段29a,29bの撮像範囲にそれぞれ対向するように大まかに位置合わせして、前記ボンディング台24の透明プレート25の上面に真空吸着により固定する。
なお、前記ボンディング台24上へのLCD1の供給は、前記LSI7の撮像と並行して行ない、撮像後のLSI7をボンディング位置から後退させた後に、ステージ移動機構17により前記移動ステージ15を図1に実線で示したようにボンディング位置に移動させ、前記ボンディング台24上に固定されたLCD1を前記ボンディング位置に搬入する。
このように前記移動ステージ15をボンディング位置に移動させると、上述したように中空に浮かせた状態で定位置に配置されている前記撮像ユニット28が、門型のボンディング台24の透明プレート25下の空間内に入り込む。
次に、図4(II)のように、ボンディング位置に搬入されたLCD1のLSI搭載部2aの前記位置決めマーク形成部を含む2つの部分を、前記撮像ユニット28の第1と第2の撮像手段29a,29bにより、LCD面に対して垂直な方向から前記ボンディング台24の透明プレート25と前記透明なLSI搭載部2aとを透して撮像する。
このとき、前記第1と第2の撮像手段29a,29bの焦点(CCDカメラ30の焦点)は、上述したように、LCD1を移動ステージ15のボンディング台24上に固定して前記ボンディング位置に搬入したときのLSI搭載部2aのLSI接続端子5及び位置合わせマーク6の形成面に一致しているため、前記LSI搭載部2aの2つの部分をピントの合った状態で撮像することができる。
図6はこのときの撮像画像を示しており、(a)は第1の撮像手段29aによる前記LCD1の一方の部分の撮像画像、(b)は第2の撮像手段29bによる前記LCD1の他方の部分の撮像画像である。
前記第1と第2の撮像手段29a,29bにより撮像された画像データ、つまり前記LCD1のLSI搭載部2aの位置合わせマーク形成部を含む2つの部分の画像データは前記画像処理装置37に送られる。
前記画像処理装置37は、図6(a)に示した前記LCD1の一方の部分の撮像画像と、図6(b)に示した前記LCD1の他方の部分の撮像画像とをモニタディスプレイ36に表示させるとともに、前記一方の撮像画像と他方の撮像画像とを画像処理してそれぞれの撮像画像中の位置合わせマーク6の位置を座標値として検出し、その両方の位置合わせマーク位置データを前記位置合わせ判定回路38に出力する。
前記位置合わせ判定回路38は、前記LSI7を撮像したときに前記画像処理装置37から出力された前記LSI7の前記2つの部分の撮像画像中のそれぞれのアライメントマーク位置と、前記LCD1のLSI搭載部2aを撮像したときに前記画像処理装置37から出力された前記LCD1の前記2つの部分の撮像画像中のそれぞれの位置合わせマーク位置とに基づいて前記LSI7に対する前記LCD1のずれ量を算出する。
前記LSI7に対する前記LCD1のずれ量の算出方法を説明すると、図8は、前記LSI7の2つの部分のアライメントマーク位置とLCD1の2つの部分の位置合わせマーク位置とのずれ状態の一例を示しており、この実施例では上述したように、前記ボンディングヘッド27に前記LSI7を、そのアライメントマーク形成部を含む2つの部分を通る方向をX軸方向に向けて固定するとともに、前記ボンディング台24上に前記LCD1を、その位置合わせマーク形成部を含む2つの部分を通る方向を前記X軸方向に向けて固定しているため、前記LSI7に対する前記LCD1のずれ量を、前記X軸方向と、それと直交するY軸方向と、周方向との3方向のずれ量として把握することができる。
そこで、この実施例では、図8に示したように、
前記X軸方向における前記LSI7または前記LCD1の前記2つの部分のマーク間距離をXmdis、
前記LSI7の前記2つの部分の一方の撮像画像中のアライメントマーク位置と他方の撮像画像中のアライメントマーク位置との前記Y軸方向のずれ量をdYa、
前記LCD1の前記2つの部分の一方の撮像画像中の位置合わせマーク位置と他方の撮像画像中の位置合わせマーク位置との前記Y軸方向のずれ量をdYb、
前記LSI7の一方の部分の撮像画像中のアライメントマーク位置に対する前記LCD1の一方の部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置の前記X軸方向とY軸方向のずれ量をdX1,dY1、
前記LSI7の他方の部分の撮像画像中のアライメントマーク位置に対する前記LCD1の他方の部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置の前記X軸方向とY軸方向のずれ量をdX2,dY2、
前記LSI7に対する前記LCD1のX軸方向とY軸方向と周方向のずれ量をdX,dY,dθとし、
前記LSI7に対する前記LCD1のX軸方向のずれ量dXと、Y軸方向のずれ量dYと、周方向のずれ量dθとをそれぞれ、
dX=(dX1+dX2)/2
dY=(dY1+dY2)/2
dθ=tan−1{(dYb−dYa)/Xmdis
の式により算出している。
前記X軸方向における前記LSI7または前記LCD1の前記2つの部分のマーク間距離をXmdis、
前記LSI7の前記2つの部分の一方の撮像画像中のアライメントマーク位置と他方の撮像画像中のアライメントマーク位置との前記Y軸方向のずれ量をdYa、
前記LCD1の前記2つの部分の一方の撮像画像中の位置合わせマーク位置と他方の撮像画像中の位置合わせマーク位置との前記Y軸方向のずれ量をdYb、
前記LSI7の一方の部分の撮像画像中のアライメントマーク位置に対する前記LCD1の一方の部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置の前記X軸方向とY軸方向のずれ量をdX1,dY1、
前記LSI7の他方の部分の撮像画像中のアライメントマーク位置に対する前記LCD1の他方の部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置の前記X軸方向とY軸方向のずれ量をdX2,dY2、
前記LSI7に対する前記LCD1のX軸方向とY軸方向と周方向のずれ量をdX,dY,dθとし、
前記LSI7に対する前記LCD1のX軸方向のずれ量dXと、Y軸方向のずれ量dYと、周方向のずれ量dθとをそれぞれ、
dX=(dX1+dX2)/2
dY=(dY1+dY2)/2
dθ=tan−1{(dYb−dYa)/Xmdis
の式により算出している。
なお、前記LSI7の撮像画像中のアライメントマーク位置に対する前記LCD1の撮像画像中の位置合わせマーク位置のずれ方向は、前記ボンディングヘッド27への前記LSI7の固定位置と、前記ボンディング台24上への前記LCD1の固定位置とによって異なる。
そのため、前記LSI7の撮像画像中のアライメントマーク位置に対する前記LCD1の撮像画像中の位置合わせマーク位置のX軸方向のずれと、Y軸方向のずれと、周方向のずれには、それぞれ互いに逆向きの2つの方向のずれがあるが、前記X軸方向における一方の方向へのずれ量を正の値、反対方向へのずれ量を負の値、前記Y軸方向における一方の方向へのずれ量を正の値、反対方向へのずれ量を負の値、前記周方向における一方の方向へのずれ量を正の値、反対方向へのずれ量を負の値とすることにより、前記LSI7に対する前記LCD1のX軸方向、Y軸方向及び周方向のずれ量dX,dY,dθを正負いずれかの値として算出することができる。
図7は前記位置合わせ判定回路38によるLCD1とLSI7の位置合わせ判定の流れ図であり、前記位置合わせ判定回路38は、前記算出されたX軸方向、Y軸方向及び周方向のずれ量dX,dY,dθのうちの少なくとも1つの方向のずれ量が許容値を越えたときに、前記ボンディング台駆動機構18に前記ずれ量に応じた位置修正信号を出力する。
この位置修正信号は、前記ボンディング台24を前記X軸方向、Y軸方向及び周方向のずれ量dX,dY,dθが小さくなる方向に移動及び回動させる信号であり、前記ボンディング台駆動機構18は、前記位置修正信号に応じた第1及び第2の送り機構21a,21bと回転機構23の数値制御により前記ボンディング台24を移動及び回動させ、前記LCD1の位置を修正する。
そして、前記LCD1の位置を修正した後は、上述したLCD1の前記2つの部分の撮像と、その撮像画像中の位置合わせマーク位置の検出と、前記LSI7に対する前記LCDのずれ量の算出とを繰返し、再び前記位置合わせ判定回路38によるLSI7とLCD1の位置合わせ判定を行なう。
なお、ほとんどの場合、前記ボンディング台24上に固定されたLCD1の駆動回路搭載部2aの前記2つの位置合わせマーク6間の中間点と前記ボンディング台24の回転中心(回転テーブル22の垂直軸22a)は一致しないため、前記LCD1の位置修正を行なっても、LSI7に対するLCD1のX軸方向、Y軸方向及び周方向のずれ量dX,dY,dθの全てが許容値内にならないことがあるが、そのときは、前記LCD1の位置を再度修正して、その2つの部分の撮像と、撮像画像中の位置合わせマーク位置の検出と、前記LSI7に対するずれ量の算出と、位置合わせ判定とを再び行なえばよく、その工程を2〜3回繰返すことにより、前記X軸方向、Y軸方向及び周方向のずれ量dX,dY,dθの全てを許容値内にすることができる。
図9は、前記LSI7の2つの部分のアライメントマーク位置とLCD1の2つの部分の位置合わせマーク位置とが許容値内の誤差で一致した状態、つまり前記LSI7に対する前記LCD1のX軸方向、Y軸方向及び周方向のずれ量dX,dY,dθの全てが許容値内になった状態を示している。
また、前記位置合わせ判定回路38は、前記算出されたX軸方向、Y軸方向及び周方向のずれ量dX,dY,dθの全てが前記許容値内であるときに、位置合わせ完了と判定する。
前記LSI7と前記LCD1の位置合わせを完了した後は、前記ヘッド移動シリンダ26によりボンディングヘッド27を再び下降させて、前記ボンディングヘッド27に固定したまま待機させておいた前記撮像後のLSI7を、図4(III)のように再び前記ボンディング位置に移動させ、このLSI7を、前記LCD1のLSI搭載部2a上に押し付けて前記LSI搭載部2aに予め塗布しておいた異方導電性接着剤10により接着することにより、前記LCD1のLSI搭載部2a上にボンディングし、前記LCD1のLSI搭載部2a上への前記LSI7の搭載を終了する。
なお、前記LCD1のLSI搭載部2aにLSI7を搭載した後は、前記ボンディングヘッド27へのLSI7の吸着を解除して前記ヘッド移動シリンダ26により前記ボンディングヘッド27を引き上げて前記ボンディング位置から後退させ、このボンディングヘッド27に次のLSIを供給するとともに、移動ステージ15を図1に二点鎖線で示したようにボンディング位置から後退させて前記ボンディング台24上(透明プレート25上)へのLCD1の吸着を解除し、LSI7をボンディングされたLCD1を図示しないアームロボット等の搬出手段により取り出して搬出した後に、次のLCDを前記ボンディング台24上に供給する。
上述したように、このLSI搭載方法は、ヘッド移動シリンダ26により移動されるボンディングヘッド27にLSI7を固定してこのLSI7をボンディング位置に移動させ、このLSI7のアライメントマーク形成部を含む2つの部分を撮像した後、前記撮像後のLSI7を前記ボンディング位置から後退させて前記ボンディングヘッド27に固定したまま待機させておき、前記ボンディング位置にLCD1を搬入した後に、前記ボンディングヘッド27に固定したまま待機させておいた前記LSI7を再び前記ボンディング位置にさせるものであるため、前記ボンディング位置にLCD1を搬入した後に前記ボンディング位置に再び移動された撮像後のLSI7の位置は、このLSI7の撮像時の位置と実質的に同じである。
そして、このLSI搭載方法では、LCD1の搬入前にボンディング位置に移動させたLSI7のアライメントマーク形成部を含む2つの部分を、定位置に配置された撮像手段29a,29bにより撮像してその2つの部分の撮像画像中の前記アライメントマーク9の位置を検出し、撮像後のLSI7を後退させた後に前記ボンディング位置に搬入したLCD1のLSI搭載部2aの位置合わせマーク形成部を含む2つの部分を前記撮像手段29a.29bにより撮像してその2つの部分の撮像画像中の前記位置合わせマーク6の位置を検出することにより、前記LSI7の前記2つの部分の撮像画像中のアライメントマーク位置と前記LCD1の前記2つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置とに基づいて前記LSI7に対する前記LCD1のずれ量を算出し、算出されたずれ量が予め定めた許容値を越えたときに、前記LCD1の位置を修正して、このLCD1の前記2つの部分の撮像と、その撮像画像中の位置合わせマーク位置の検出と前記LSI7に対する前記LCDのずれ量の算出とを繰返し、前記算出されたずれ量が前記許容値内であるときに、位置合わせ完了と判定して、前記ボンディングヘッド27に固定したまま待機させておいた前記LSI7を、前記ヘッド移動シリンダ26により再び前記ボンディング位置に移動させて前記LCD1のLSI搭載部2a上にボンディングするものであるため、前記LSI7を、作業性良く、しかも前記LSI7の複数の端子8を前記LCD1の複数のLSI接続端子5に精度良く対向させてボンディングすることができる。
そして、このLSI搭載方法においては、互いに直交するX軸方向とY軸方向とに水平移動するとともに周方向に回転するボンディング台24上に前記LCD1を固定してこのLCD1の前記2つの部分を撮像し、前記LSI7の前記2つの部分の撮像画像中のアライメントマーク位置と前記LCD1の前記2つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置とに基づいて前記LSI7に対する前記LCD1の前記X軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量を算出し、そのうちの少なくとも1つの方向のずれ量が許容値を越えたときに、前記ボンディング台24の前記X軸方向とY軸方向への水平移動と周方向への回転により前記LCD1の位置を修正し、前記X軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量の全てが前記許容値内であるときに、位置合わせ完了と判定しているため、前記LSI7に対する前記LCD1の前記X軸方向とY軸方向及び周方向のいずれの方向のずれにも対処することができる。
また、このLSI搭載方法においては、前記LSI7の前記2つの部分の撮像画像中のアライメントマーク位置と、前記LCD1の前記2つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置とをそれぞれ前記撮像画像の画像処理により座標値として検出し、これらのマーク位置に基づいて算出した前記LSI7に対する前記LCD1のX軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量に応じて、数値制御により前記ボンディング台24のX軸方向とY軸方向への水平移動量と周方向への回転角を制御して前記LCD1の位置を修正しているため、前記LSI7の複数の端子8を前記LCD1の複数のLSI接続端子5により精度良くに対向させることができる。
さらに、このLSI搭載方法においては、前記ボンディングヘッド27に前記LSI7を、そのアライメントマーク形成部を含む2つの部分を通る方向を前記X軸方向に向けて固定するとともに、前記ボンディング台24上に前記LCD1を、その位置合わせマーク形成部を含む2つの部分を通る方向を前記X軸方向に向けて固定し、前記LSI7に対する前記LCD1のX軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量dX,dY,dθを、前記X軸方向における前記LSI7または前記LCD1の前記2つの部分のマーク間距離Xmdisと、前記LSI7の前記2つの部分の一方の撮像画像中のアライメントマーク位置と他方の撮像画像中のアライメントマーク位置との前記Y軸方向のずれ量dYaと、前記LCD1の前記2つの部分の一方の撮像画像中の位置合わせマーク位置と他方の撮像画像中の位置合わせマーク位置との前記Y軸方向のずれ量dYbと、前記LSI7の一方の部分の撮像画像中のアライメントマーク位置に対する前記LCD1の一方の部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置の前記X軸方向とY軸方向のずれ量dX1,dY1と、前記LSI7の他方の部分の撮像画像中のアライメントマーク位置に対する前記LCD1の他方の部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置の前記X軸方向とY軸方向のずれ量dX2,dY2とから、
dX=(dX1+dX2)/2
dY=(dY1+dY2)/2
dθ=tan−1{(dYb−dYa)/Xmdis
の式により算出しているため、前記LSI7に対する前記LCD1のX軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量dX,dY,dθを高精度に算出し、前記LSI7の複数の端子8を前記LCD1の複数のLSI接続端子5にさらに精度良くに対向させることができる。
dX=(dX1+dX2)/2
dY=(dY1+dY2)/2
dθ=tan−1{(dYb−dYa)/Xmdis
の式により算出しているため、前記LSI7に対する前記LCD1のX軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量dX,dY,dθを高精度に算出し、前記LSI7の複数の端子8を前記LCD1の複数のLSI接続端子5にさらに精度良くに対向させることができる。
なお、上記実施例では、LCD1を、その位置決めマーク形成部を含む2つの部分が撮像手段29a,29bの撮像範囲に対向するように大まかに位置合わせしてボンディング台24上に固定するようにしているが、前記ボンディング台24上に固定されたLCD1の前記2つの部分が前記撮像手段29a,29bの撮像範囲外にあるときに、前記LCD1の位置を前記2つの部分が前記撮像手段29a,29bの撮像範囲内にくるように移動させるようにしてもよい。
図10はこの発明の他の実施例を示す、LCD1とLSI7の位置合わせ判定の流れ図であり、この実施例は、図9に示した位置合わせ判定における算出されたX軸方向、Y軸方向及び周方向のずれ量dX,dY,dθのうちの少なくとも1つの方向のずれ量が許容値を越えたときのLCD1の位置修正を、まず、前記撮像手段29a,29bによるLCD1の2つの部分の撮像画像中に位置合わせマーク6があるか否か、つまり前記LCD1の位置合わせマーク位置が前記撮像手段29a,29bの撮像範囲外か否かを判断し、前記LCD1の位置合わせマーク位置が撮像範囲外であるとき(撮像画像中に位置合わせマーク像が無いとき)は、ボンディング台24をX軸方向とY軸方向とに移動させて前記LCD1のX,Y軸方向の位置を前記LCD1の位置合わせマーク位置が撮像範囲内にくるように調整し、前記LCD1の位置合わせマーク位置が撮像範囲内にあるとき(撮像画像中に位置合わせマーク像があるとき)に、前記ボンディング台24をX軸方向、Y軸方向及び周方向のずれ量dX,dY,dθが小さくなる方向に移動及び回動させて前記LCD1の位置を修正して、前記LCD1の前記2つの部分の撮像と、その撮像画像中の位置合わせマーク位置の検出と前記LSI7に対する前記LCDのずれ量の算出とを繰返すようにしたものである。
この位置合わせ判定によれば、前記LCD1をボンディング台24上に固定する際に、その位置決めマーク形成部を含む2つの部分が撮像手段29a,29bの撮像範囲に対向するように位置合わせする必要がないため、前記ボンディング台24上へのLCD1の固定作業を容易にすることができる。
また、上記実施例では、ボンディングヘッド27を、ヘッド移動シリンダ26によりボンディング位置とその上方の後退位置とに移動させるようにしているが、前記ボンディングヘッド27は、例えば旋回アーム等のヘッド移動手段によりボンディング位置とその側方に後退した位置とに移動させるようにしてもよく、その場合は、前記ボンディングヘッド27にLSI7を、このLSI7を前記ボンディング位置に移動させたときのアライメントマーク形成部を含む2つの部分を通る方向をX軸方向に向けて固定すればよい。
さらに、上記実施例では、LCD1のLSI駆動素子搭載部2aに異方導電性接着剤10を塗布してこのLCD1をボンディング位置に搬入しているが、前記異方導電性接着剤10は、撮像後のLSI7をボンディング位置から後退させてボンディングヘッド27に固定したまま待機させている間に、このLSI7に塗布してもよく、また、前記LCD1のLSI駆動素子搭載部2a上へのLSI7のボンディングは、前記LSI7の複数の端子8上にハンダ等の低融点金属バンプを設け、その金属バンプをLCD1のLSI接続端子5に溶着することにより行なってもよい。
また、LCDは、一側縁部にLSI搭載部を形成したものに限らず、複数の縁部、例えば互いに直交する2つの縁部にLSI搭載部を形成したものでもよく、その場合は、上述した駆動素子搭載方法を繰り返して、LCDの一方のLSI搭載部と他方のLSI搭載部に順次LSIを搭載すればよい。
さらにまた、LSIを搭載する表示パネルは、LCDに限らず、例えばLE(エレクトロルミネッセンス)パネル等でもよい。
1…LCD(液晶表示パネル)、2a…LSI搭載部、5…LSI接続端子、6…位置合わせマーク、7…LSI(駆動素子)、8…端子、9…アライメントマーク、10…異方導電性接着剤、15…移動ステージ、24…ボンディング台、25…透明プレート、26…ヘッド移動シリンダ(ヘッド移動手段)、27…ボンディングヘッド、28…撮像ユニット、29a,29b…撮像手段。
Claims (4)
- 表示パネルの駆動素子搭載部上に駆動素子をボンディングする駆動素子搭載方法において、
一方の面に複数の端子が配列形成され、その面の複数箇所にアライメントマークが形成された駆動素子を、ヘッド移動手段により前記表示パネルへの前記駆動素子のボンディングを行なうボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動されるボンディングヘッドに固定し、前記駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置に移動させる工程と、
前記ボンディング位置に移動された前記駆動素子のアライメントマーク形成部を含む2つの部分を定位置に配置された撮像手段により撮像し、その2つの部分の撮像画像中の前記アライメントマークの位置を検出する工程と、
前記撮像後に前記駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置から後退させ、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させる工程と、
前記駆動素子の搭載部を有し、その駆動素子搭載部に、前記駆動素子の複数の端子にそれぞれ対応する複数の駆動素子接続端子と、前記駆動素子の複数の複数箇所のアライメントマークにそれぞれ対応する駆動素子位置合わせマークが形成された表示パネルを前記ボンディング位置に搬入する工程と、
前記ボンディング位置に搬入された前記表示パネルの駆動素子搭載部の位置合わせマーク形成部を含む2つの部分を前記撮像手段により撮像し、その2つの部分の撮像画像中の前記位置合わせマークの位置を検出する工程と、
前記駆動素子の前記2つの部分の撮像画像中のアライメントマーク位置と前記表示パネルの前記2つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置とに基づいて前記駆動素子に対する前記表示パネルのずれ量を算出する工程と、
前記算出されたずれ量が予め定めた許容値を越えたときに、前記表示パネルの位置を修正し、この表示パネルの2つの部分の撮像と、その撮像画像中の位置合わせマーク位置の検出と、前記駆動素子に対する前記表示パネルのずれ量の算出とを繰返す工程と、
前記算出されたずれ量が前記許容値内であるときに、位置合わせ完了と判定し、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させておいた前記駆動素子を、前記ヘッド移動手段により再び前記ボンディング位置に移動させて前記表示パネルの駆動素子搭載部上にボンディングする工程と、
を備えることを特徴とする駆動素子搭載方法。 - 互いに直交するX軸方向とY軸方向とに水平移動するとともに周方向に回転するボンディング台上に表示パネルを固定して前記表示パネルの位置合わせマーク形成部を含む2つの部分を撮像し、
前記駆動素子のアライメントマーク形成部を含む2つの部分の撮像画像中のアライメントマーク位置と前記表示パネルの前記2つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置とに基づいて前記駆動素子に対する前記表示パネルの前記X軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量を算出し、
そのうちの少なくとも1つの方向のずれ量が許容値を越えたときに、前記ボンディング台の前記X軸方向とY軸方向への水平移動と周方向への回転により前記表示パネルの位置を修正し、前記X軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量の全てが前記許容値内であるときに、位置合わせ完了と判定することを特徴とする請求項1に記載の駆動素子搭載方法。 - 駆動素子のアライメントマーク形成部を含む2つの部分の撮像画像中のアライメントマーク位置と、表示パネルの位置決めマーク形成部を含む2つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置とをそれぞれ前記撮像画像の画像処理により座標値として検出し、これらのマーク位置に基づいて算出した前記駆動素子に対する前記表示パネルのX軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量に応じて、数値制御によりボンディング台のX軸方向とY軸方向への水平移動量と周方向への回転角を制御して前記表示パネルの位置を修正することを特徴とする請求項2に記載の駆動素子搭載方法。
- ボンディングヘッドに駆動素子を、そのアライメントマーク形成部を含む2つの部分を通る方向をX軸方向に向けて固定するとともに、ボンディング台上に表示パネルを、その位置合わせマーク形成部を含む2つの部分を通る方向を前記X軸方向に向けて固定し、駆動素子に対する前記表示パネルのX軸方向とY軸方向及び周方向のずれ量を、
前記X軸方向における前記駆動素子または前記表示パネルの2つの部分のマーク間距離をXmdis、
前記駆動素子の前記2つの部分の一方の撮像画像中のアライメントマーク位置と他方の撮像画像中のアライメントマーク位置との前記Y軸方向のずれ量をdYa、
前記表示パネルの前記2つの部分の一方の撮像画像中の位置合わせマーク位置と他方の撮像画像中の位置合わせマーク位置との前記Y軸方向のずれ量をdYb、
前記駆動素子の一方の部分の撮像画像中のアライメントマーク位置に対する前記表示パネルの一方の部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置の前記X軸方向とY軸方向のずれ量をdX1,dY1、
前記駆動素子の他方の部分の撮像画像中のアライメントマーク位置に対する前記表示パネルの他方の部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置の前記X軸方向とY軸方向のずれ量をdX2,dY2、
前記駆動素子に対する前記表示パネルのX軸方向とY軸方向と周方向のずれ量をdX,dY,dθとし、
dX=(dX1+dX2)/2
dY=(dY1+dY2)/2
dθ=tan−1{(dYb−dYa)/Xmdis
の式により算出することを特徴とする請求項3に記載の駆動素子搭載方法。
Priority Applications (1)
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JP2004194907A JP2006019454A (ja) | 2004-06-30 | 2004-06-30 | 駆動素子搭載方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009076502A (ja) * | 2007-09-18 | 2009-04-09 | Panasonic Corp | 部品取付方法 |
KR100944492B1 (ko) * | 2007-12-07 | 2010-03-03 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | 입체영상용 디스플레이 패널 합착장치 및 입체영상용디스플레이 패널 합착방법 |
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-
2004
- 2004-06-30 JP JP2004194907A patent/JP2006019454A/ja active Pending
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