KR100841623B1 - 액정 패널의 연마장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 정상모드로 구동될 경우에는 제1연마부가 단위 액정 패널의 장변 또는 단변 가장자리를 연마하고, 제2연마부가 상기 제1연마부에서 연마되지 않은 단위 액정 패널의 단변 또는 장변 가장자리를 연마할 수 있도록 하여 생산성을 극대화하고, 상기 제1연마부나 제2연마부가 파손되거나 오동작하는 비상모드로 구동될 경우에는 제1연마부나 제2연마부에서 단위 액정 패널의 장변 및 단변 가장자리를 동시에 연마할 수 있도록 함으로써, 제1연마부나 제2연마부 중의 어느 하나가 구동되지 않을 경우에도 정상적으로 구동되는 제2연마부나 제1연마부를 통해 단위 액정 패널의 연마를 수행할 수 있도록 하여 장비의 이용효율을 극대화할 수 있다.

Description

액정 패널의 연마장치{GRINDER OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}
도1은 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제1모기판과 컬러필터 기판들이 형성된 제2모기판이 합착되어 다수의 액정 패널들을 이루는 단면 구조를 보인 예시도.
도2는 도1의 액정 패널들이 개별적으로 절단된 단위 액정 패널의 개략적인 평면구조를 보인 예시도.
도3은 종래 액정 패널의 연마장치를 보인 예시도.
도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 연마장치를 보인 예시도.
도5는 도4에 있어서, 액정 패널의 연마장치가 정상모드로 구동되는 예를 보인 예시도.
도6은 도4에 있어서, 제2연마부가 파손되거나 오동작할 경우에 액정 패널의 연마장치가 비상모드로 구동되는 예를 보인 예시도.
도7은 도4에 있어서, 제1연마부가 파손되거나 오동작할 경우에 액정 패널의 연마장치가 비상모드로 구동되는 예를 보인 예시도.
***도면의 주요부분에 대한 부호의 설명***
100:단위 액정 패널 111:로딩부
112:제1연마대 113:제1연마 휠
114:제2연마 휠 115:제1연마부
116:회전부 117:제2연마대
118:제3연마 휠 119:제4연마 휠
120:제2연마부 121:언로딩부
122:흡착홀
본 발명은 액정 패널의 연마장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대면적 모기판 상에 제작된 액정 패널들을 개별적인 단위 액정 패널로 절단한 후, 단위 액정 패널의 가장자리를 연마하는 액정 패널의 연마장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시장치는 대면적의 모 기판에 박막 트랜지스터 어레이 기판들을 형성하고, 별도의 모 기판에 컬러필터 기판들을 형성한 다음 두 개의 모 기판을 합착함으로써, 액정 패널들을 동시에 형성하여 수율 향상을 도모하고 있으므로, 단위 액정 패널로 절단하는 공정이 요구된다.
통상, 상기 단위 액정 패널의 절단은 유리에 비해 경도가 높은 휠로 모 기판의 표면에 절단 예정홈을 형성하고, 그 절단 예정홈을 따라 크랙이 전파되도록 하는 공정을 통해 실시된다. 이와같은 액정 표시장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도1은 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제1모기판과 컬러필터 기판들이 형성된 제2모기판이 합착되어 다수의 액정 패널들을 이루는 단면 구조를 보인 예시도이다.
도1을 참조하면, 단위 액정 패널들은 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들의 일측이 컬러필터 기판(2)들에 비해 돌출되도록 형성된다. 이는 컬러필터 기판(2)들과 중첩되지 않는 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들의 가장자리에 게이트 패드부( 도면상에 도시되지 않음)와 데이터 패드부(도면상에 도시되지 않음)가 형성되기 때문이다.
따라서, 제2모기판(30) 상에 형성된 컬러필터 기판(2)들은 제1모기판(20) 상에 형성된 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들이 돌출되는 면적에 해당하는 더미영역(dummy region, 31) 만큼 이격되어 형성된다.
또한, 각각의 단위 액정 패널들은 제1,제2모기판(20,30)을 최대한 이용할 수 있도록 적절히 배치되며, 모델(model)에 따라 다르지만, 일반적으로 단위 액정 패널들은 더미영역(32) 만큼 이격되도록 형성된다.
상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들이 형성된 제1모기판(20)과 컬러필터 기판(2)들이 형성된 제2모기판(30)이 합착된 후에는 액정 패널들을 개별적으로 절단하는데, 이때 제2모기판(30)의 컬러필터 기판(2)들이 이격된 영역에 형성된 더미영역(31)과 단위 액정 패널들을 이격시키는 더미영역(32)이 동시에 제거된다.
한편, 도2는 개별적으로 절단된 단위 액정 패널의 개략적인 평면구조를 보인 예시도이다.
도2를 참조하면, 단위 액정 패널(10)은 액정 셀들이 매트릭스 형태로 배열되는 화상표시부(13)와; 상기 화상표시부(13)의 게이트 배선(GL1∼GLm)들을 게이트 신호가 인가되는 게이트 드라이버 집적회로(도면상에 도시되지 않음)와 접속시키기 위한 게이트 패드부(14)와; 상기 화상표시부(13)의 데이터 배선(DL1∼DLn)들을 화상정보가 인가되는 데이터 드라이버 집적회로(도면상에 도시되지 않음)와 접속시키기 위한 데이터 패드부(15)로 구성된다. 이때, 게이트 패드부(14)와 데이터 패드부(15)는 컬러필터 기판(2)에 비해 일측 단변 및 일측 장변이 돌출된 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)의 가장자리 영역에 형성된다.
여기서, 도면상에 상세히 도시하지는 않았지만, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)의 데이터 배선(DL1∼DLn)들과 게이트 배선(GL1∼GLm)들이 수직교차하는 영역에는 액정 셀들을 스위칭하기 위한 박막 트랜지스터가 구비되고, 그 박막 트랜지스터에 접속되어 액정 셀들에 전계를 인가하기 위한 화소전극과, 이와같은 데이터 배선(DL1∼DLn)들, 게이트 배선(GL1∼GLm)들, 박막 트랜지스터들 및 전극들을 보호하기 위해 전면에 형성된 보호막이 구비된다.
그리고, 상기 컬러필터 기판(2)에는 블랙 매트릭스에 의해 셀 영역별로 분리되어 도포된 칼러필터들과, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)에 형성된 화소전극의 상대전극인 공통전극이 구비된다.
상기한 바와같이 구성된 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)과 컬러필터 기판(2)은 대향하여 일정하게 이격되도록 셀-갭(cell-gap)이 마련되고, 화상표시부(13)의 외곽에 형성된 실링부(도면상에 도시되지 않음)에 의해 합착되며, 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)과 컬러필터 기판(2)의 이격된 공간에 액정층(도면상에 도시되지 않음)이 형성된다.
한편, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)의 가장자리에는 박막 트랜지스터 어레이 기판(1) 상에 도전성 막들을 패터닝할 때, 발생할 수 있는 정전기를 차단하기 위하여 단락 배선(도면상에 도시되지 않음)이 형성되어 있다.
상기 단락 배선은 액정 패널들이 개별적인 단위 액정 패널로 절단된 이후에 는 제거되어야 한다.
따라서, 상기 액정 패널들을 개별적인 단위 액정 패널로 절단한 후에는 단위 액정 패널의 모서리를 연마하여 상기 단락 배선을 제거한다. 또한, 단위 액정 패널의 모서리를 연마하여 외부의 충격에 의해 단위 액정 패널의 모서리로부터 파편이 뜯겨져 이탈되는 현상을 방지하고, 공정 진행중에 작업자가 단위 액정 패널의 날카로운 모서리에 의해 상처를 입을 수 있는 위험을 방지할 수 있는 부수적 효과를 얻을 수 있다.
상기한 바와같은 단위 액정 패널의 연마 공정을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도3은 종래 액정 패널의 연마장치를 보인 예시도로서, 이에 도시한 바와같이 단위 액정 패널(10)을 로딩하는 로딩부(50)와; 상기 로딩부(50)에 로딩된 단위 액정 패널(10)을 전달받아 제1연마대(51)에 정렬시킨 다음 제1연마 휠(52)을 통해 단위 액정 패널(10)의 단변을 연마하는 제1연마부(53)와; 상기 단변이 연마된 단위 액정 패널(10)을 90°회전시키는 회전부(54)와; 상기 회전된 단위 액정 패널(10)을 전달받아 제2연마대(55)에 정렬시킨 다음 제2연마 휠(56)을 통해 단위 액정 패널(10)의 장변을 연마하는 제2연마부(57)와; 상기 장변이 연마된 단위 액정 패널(10)을 전달받아 언로딩하는 언로딩부(58)로 구성된다.
상기한 바와같은 종래 액정 패널의 연마장치는 제1연마부(53)에서 단위 액정 패널(10)의 단변을 연마하고, 이와같이 장변이 연마된 단위 액정 패널(10)을 회전부(54)에서 90°회전시킨 다음 제2연마부(57)에서 단위 액정 패널(10)의 장변을 연 마함으로써, 단위 액정 패널(10)의 가장자리를 연마하고 있다.
상술한 바와같이 종래 액정 패널의 연마장치는 제1연마부에서 단위 액정 패널의 단변을 연마하고, 제2연마부에서 단위 액정 패널의 장변을 연마함으로써, 단위 액정 패널의 가장자리를 연마함에 따라 제1연마부나 제2연마부 중의 어느 하나가 파손되거나 오동작할 경우에는 이를 복구하기 전까지 단위 액정 패널의 연마를 진행할 수 없게 되므로, 장비의 이용효율이 저하되고, 결과적으로 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기한 바와같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로, 본 발명의 목적은 단위 액정 패널을 연마하기 위한 제1,제2연마부를 독립적으로 운영함으로써, 장비의 이용효율을 향상시킬 수 있는 액정 패널의 연마장치를 제공하는데 있다.
상기한 바와같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 액정 패널의 연마장치는 단위 액정 패널을 로딩하는 로딩부; 정상모드일 경우에 단위 액정 패널의 장변 또는 단변 가장자리를 연마하고, 비상모드일 경우에 단위 액정 패널의 장변 및 단변 가장자리를 연마하는 제1연마부; 단위 액정 패널을 회전시키는 회전부; 상기 정상모드일 경우에 제1연마부에서 연마되지 않은 단위 액정 패널의 단변 또는 장변 가장자리를 연마하고, 비상모드일 경우에 단위 액정 패널의 장변 및 단변 가장자리를 연마하는 제2연마부; 및 상기 장변 및 단변 가장자리가 연마된 단위 액정 패널을 전달받아 언로딩하는 언로딩부를 포함한다.
상기한 바와같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 액정 패널의 연마장치를 첨부한 도면을 일 실시예로 하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 연마장치를 보인 예시도로서, 이에 도시한 바와같이 단위 액정 패널을 로딩하는 로딩부(111)와; 상기 로딩부(111)에 로딩된 단위 액정 패널을 전달받아 제1연마대(112)에 정렬시킨 다음 정상모드일 경우에는 제1연마 휠(113)을 통해 단위 액정 패널의 단변 가장자리를 연마하고, 비상모드일 경우에는 제1연마 휠(113)과 제2연마 휠(114)을 통해 단위 액정 패널의 단변 및 장변 가장자리를 연마하는 제1연마부(115)와; 상기 정상모드일 경우에는 제1연마부(115)에서 단변 가장자리가 연마된 단위 액정 패널을 90°회전시키는 회전부(116)와; 상기 정상모드일 경우에는 상기 회전부(116)에서 회전된 단위 액정 패널을 전달받아 제2연마대(117)에 정렬시킨 다음 제3연마 휠(118)을 통해 단위 액정 패널의 장변 가장자리를 연마하고, 비상모드일 경우에는 상기 로딩부(111)에서 단위 액정 패널을 전달받아 제2연마대(117)에 정렬시킨 다음 제3연마 휠(118)과 제4연마 휠(119)을 통해 단위 액정 패널의 장변 및 단변 가장자리를 연마하는 제2연마부(120)와; 상기 정상모드일 경우에는 제1연마부(115)와 제2연마부(120)를 통해 단변 및 장변 가장자리가 연마된 단위 액정 패널을 전달받아 언로딩하고, 비상모드일 경우에는 상기 제1연마부(115) 또는 제2연마부(120)를 통해 단변 및 장변 가장자리가 연마된 단위 액정 패널을 전달받아 언로딩하는 언로딩부(121)로 구성된다.
상기 제1연마부(115)와 제2연마부(120)에 구비된 제1연마대(112)와 제2연마대(117)의 표면에 단위 액정 패널을 효과적으로 흡착하기 위한 흡착홀(122)을 형성 하는 것이 바람직하다.
이하, 상기한 바와같은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널 연마장치의 구동에 대해 보다 상세히 설명한다.
도5는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 연마장치가 정상모드로 구동되는 예를 보인 예시도이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 연마장치가 정상모드로 구동될 경우에는 종래와 동일하게 구동된다.
즉, 도5를 참조하면, 제1연마부(115)는 로딩부(111)에 로딩된 단위 액정 패널(100)을 전달받아 제1연마대(112)에 정렬시킨 다음 제1연마 휠(113)을 통해 단위 액정 패널(100)의 단변 또는 장변 가장자리를 연마하며, 본 발명의 일 실시예에서는 단위 액정 패널(100)의 단변 가장자리를 연마한다.
그리고, 회전부(116)는 상기 제1연마부(115)에서 단변 가장자리가 연마된 단위 액정 패널(100)을 90°회전시킨다.
그리고, 제2연마부(120)는 회전부(116)에서 회전된 단위 액정 패널(100)을 전달받아 제2연마대(117)에 정렬시킨 다음 제3연마 휠(118)을 통해 제1연마부(115)에서 연마되지 않은 단위 액정 패널(100)의 장변 또는 단변 가장자리를 연마하며, 본 발명의 일 실시예에서는 단위 액정 패널(100)의 장변 가장자리를 연마한다.
그리고, 언로딩부(121)는 제1연마부(115)와 제2연마부(120)를 통해 단변 및 장변 가장자리가 순차적으로 연마된 단위 액정 패널(100)을 전달받아 언로딩한다.
그런데, 상기 제1연마부(115)나 제2연마부(120) 중의 어느 하나가 파손되거나 오동작할 경우에는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 연마장치는 비상모 드로 구동한다.
도6은 제2연마부(120)가 파손되거나 오동작할 경우에 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 연마장치가 비상모드로 구동되는 예를 보인 예시도이다.
도6을 참조하면, 제1연마부(115)는 로딩부(111)에 로딩된 단위 액정 패널(100)을 전달받아 제1연마대(112)에 정렬시킨 다음 제1연마 휠(113)과 제2연마 휠(114)을 통해 단위 액정 패널(100)의 단변 및 장변 가장자리를 연마한다.
그리고, 언로딩부(121)는 상기 제1연마부(115)에서 단변 및 장변 가장자리가 연마된 단위 액정 패널(100)을 전달받아 언로딩한다.
한편, 도7은 제1연마부(115)가 파손되거나 오동작할 경우에 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 연마장치가 비상모드로 구동되는 예를 보인 예시도이다.
도7을 참조하면, 제2연마부(120)는 상기 로딩부(111)에 로딩된 단위 액정 패널(100)을 회전부(116)를 통해 전달받아 제2연마대(117)에 정렬시킨 다음 제3연마 휠(118)과 제4연마 휠(119)을 통해 단위 액정 패널(100)의 장변 및 단변 가장자리를 연마한다.
그리고, 언로딩부(121)는 상기 제2연마부(120)에서 장변 및 단변 가장자리가 연마된 단위 액정 패널(100)을 전달받아 언로딩한다.
상술한 바와같이 본 발명에 의한 액정 패널의 연마장치는 정상모드로 구동될 경우에는 제1연마부가 단위 액정 패널의 장변 또는 단변 가장자리를 연마하고, 제2연마부가 상기 제1연마부에서 연마되지 않은 단위 액정 패널의 단변 또는 장변 가 장자리를 연마함으로써, 생산성을 극대화할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 액정 패널의 연마장치는 제1연마부나 제2연마부가 파손되거나 오동작하는 비상모드로 구동될 경우에는 제1연마부나 제2연마부에서 단위 액정 패널의 장변 및 단변 가장자리를 동시에 연마할 수 있도록 함으로써, 제1연마부나 제2연마부 중의 어느 하나가 구동되지 않을 경우에도 정상적으로 구동되는 제2연마부나 제1연마부를 통해 단위 액정 패널의 연마를 수행할 수 있다.
따라서, 장비의 이용효율을 극대화하여 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (4)

  1. 단위 액정 패널을 로딩하는 로딩부;
    정상모드일 경우에 단위 액정 패널의 장변 또는 단변 가장자리를 연마하고, 비상모드일 경우에 단위 액정 패널의 장변 및 단변 가장자리를 연마하는 제1연마부;
    단위 액정 패널을 회전시키는 회전부;
    상기 정상모드일 경우에 제1연마부에서 연마되지 않은 단위 액정 패널의 단변 또는 장변 가장자리를 연마하고, 비상모드일 경우에 단위 액정 패널의 장변 및 단변 가장자리를 연마하는 제2연마부; 및
    상기 장변 및 단변 가장자리가 연마된 단위 액정 패널을 전달받아 언로딩하는 언로딩부를 포함하는 액정 패널의 연마장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 로딩부는 정상모드일 경우에는 상기 제1연마부에 단위 액정 패널을 전달하고, 상기 비상모드일 경우에는 상기 제1연마부나 제2연마부 중의 어느 하나에 단위 액정 패널을 전달하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 연마장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 회전부는 정상모드일 경우에 상기 제1연마부에서 장변 또는 단변 가장자리가 연마된 단위 액정 패널을 90°회전시키는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 연마장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 언로딩부는 정상모드일 경우에는 상기 제2연마부에서 단위 액정 패널을 전달받아 언로딩하고, 상기 비상모드일 경우에는 상기 제1연마부나 제2연마부 중의 어느 하나에서 단위 액정 패널을 전달받아 언로딩하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 연마장치.
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CNB031054013A CN1320389C (zh) 2002-03-21 2003-02-20 液晶显示器面板的研磨装置
JP2003049538A JP4118164B2 (ja) 2002-03-21 2003-02-26 液晶表示パネルの研磨装置
US10/851,176 US7179155B2 (en) 2002-03-21 2004-05-24 Device for grinding liquid crystal display panel

Applications Claiming Priority (1)

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KR1020020015452A KR100841623B1 (ko) 2002-03-21 2002-03-21 액정 패널의 연마장치

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KR20030076788A KR20030076788A (ko) 2003-09-29
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US (2) US6755724B2 (ko)
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KR (1) KR100841623B1 (ko)
CN (1) CN1320389C (ko)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100832293B1 (ko) * 2002-03-20 2008-05-26 엘지디스플레이 주식회사 액정 패널의 연마대 및 이를 이용한 연마장치
US7018272B2 (en) * 2003-07-29 2006-03-28 Corning Incorporated Pressure feed grinding of AMLCD substrate edges
CN100465713C (zh) * 2005-06-20 2009-03-04 乐金显示有限公司 液晶显示设备用研磨机轮和用其制造液晶显示设备的方法
KR100796447B1 (ko) * 2006-07-10 2008-01-22 주식회사 엔씨비네트웍스 디스플레이 패널용 연마장치
KR100838108B1 (ko) * 2007-02-12 2008-06-13 주식회사 케이엔제이 평판 디스플레이 패널의 제조장치
KR101058185B1 (ko) * 2008-05-28 2011-08-22 주식회사 에스에프에이 평면디스플레이용 면취기 및 그 면취 가공방법
CN101599496B (zh) 2008-06-06 2011-06-15 群康科技(深圳)有限公司 薄膜晶体管基板与薄膜晶体管母基板
KR101165208B1 (ko) * 2009-11-18 2012-07-16 주식회사 케이엔제이 평판디스플레이패널의 연마방법
KR101223675B1 (ko) 2009-11-27 2013-01-17 주식회사 케이씨씨 염용해성 세라믹 섬유 조성물
KR101083259B1 (ko) * 2010-10-07 2011-11-14 유지헌 판재를 재사용하기 위한 연마장치
US8721392B2 (en) 2011-06-28 2014-05-13 Corning Incorporated Glass edge finishing method
US20130083457A1 (en) * 2011-09-30 2013-04-04 Apple Inc. System and method for manufacturing a display panel or other patterned device
KR101974379B1 (ko) 2012-05-22 2019-09-06 삼성디스플레이 주식회사 기판 연마 장치 및 기판 연마 방법
CN102672624B (zh) * 2012-06-05 2015-02-11 禾睿联科技（厦门）有限公司 清除毛刺设备
KR101513906B1 (ko) * 2014-02-12 2015-04-21 (주)미래컴퍼니 패널 가공장치 및 가공방법
CN105014490A (zh) * 2015-06-24 2015-11-04 林嘉佑 一种光学玻璃的制造方法
CN110587469A (zh) * 2019-09-29 2019-12-20 苏州光斯奥光电科技有限公司 一种用于液晶面板的研磨机构

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10118907A (ja) * 1996-10-15 1998-05-12 Hitachi Electron Eng Co Ltd ガラス基板の外周加工装置
JPH11245151A (ja) * 1998-02-27 1999-09-14 Speedfam Co Ltd ワークの外周研磨装置
KR19990088407A (ko) * 1998-05-20 1999-12-27 가네꼬 히사시 반도체웨이퍼연마장치및그연마방법
KR20000057941A (ko) * 1999-02-04 2000-09-25 조셉 제이. 스위니 가동 연마 시트를 이용한 화학 기계 연마 장치 및 방법
KR20010045994A (ko) * 1999-11-09 2001-06-05 윤종용 다수개의 연마패드를 갖는 ｃｍｐ장치
JP2001217214A (ja) * 2000-02-03 2001-08-10 Meiji Kikai Kk 全自動２プラテン研磨装置
KR20030038262A (ko) * 2001-11-10 2003-05-16 삼성전자주식회사 그라인딩과 폴리싱 기능을 겸비한 웨이퍼 후면 처리장비

Family Cites Families (165)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3978580A (en) 1973-06-28 1976-09-07 Hughes Aircraft Company Method of fabricating a liquid crystal display
JPS5165656A (ko) 1974-12-04 1976-06-07 Shinshu Seiki Kk
US4094058A (en) 1976-07-23 1978-06-13 Omron Tateisi Electronics Co. Method of manufacture of liquid crystal displays
JPS5738414A (en) 1980-08-20 1982-03-03 Showa Denko Kk Spacer for display panel
JPS5766845A (en) * 1980-10-03 1982-04-23 Fuji Electric Co Ltd Nc work apparatus
JPS5788428A (en) 1980-11-20 1982-06-02 Ricoh Elemex Corp Manufacture of liquid crystal display body device
JPS5827126A (ja) 1981-08-11 1983-02-17 Nec Corp 液晶表示パネルの製造方法
JPS5957221A (ja) 1982-09-28 1984-04-02 Asahi Glass Co Ltd 表示素子の製造方法及び製造装置
JPS59195222A (ja) 1983-04-19 1984-11-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルの製造法
JPS60111221A (ja) 1983-11-19 1985-06-17 Nippon Denso Co Ltd 液晶充填方法および装置
JPS60164723A (ja) 1984-02-07 1985-08-27 Seiko Instr & Electronics Ltd 液晶表示装置
JPS60217343A (ja) 1984-04-13 1985-10-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置およびその製造方法
JPS617822A (ja) 1984-06-22 1986-01-14 Canon Inc 液晶素子の製造方法
JPS6130342A (ja) * 1984-07-19 1986-02-12 Nippon Sheet Glass Co Ltd 輪郭加工装置
JPS6155625A (ja) 1984-08-24 1986-03-20 Nippon Denso Co Ltd 液晶素子製造方法
US4775225A (en) 1985-05-16 1988-10-04 Canon Kabushiki Kaisha Liquid crystal device having pillar spacers with small base periphery width in direction perpendicular to orientation treatment
US4691995A (en) 1985-07-15 1987-09-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal filling device
JPS6289025A (ja) 1985-10-15 1987-04-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルの製造方法
JPS6290622A (ja) 1985-10-17 1987-04-25 Seiko Epson Corp 液晶表示装置
US4653864A (en) 1986-02-26 1987-03-31 Ovonic Imaging Systems, Inc. Liquid crystal matrix display having improved spacers and method of making same
JPH0668589B2 (ja) 1986-03-06 1994-08-31 キヤノン株式会社 強誘電性液晶素子
US5963288A (en) 1987-08-20 1999-10-05 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal device having sealant and spacers made from the same material
US5379139A (en) 1986-08-20 1995-01-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal device and method for manufacturing same with spacers formed by photolithography
JPS63109413A (ja) 1986-10-27 1988-05-14 Fujitsu Ltd 液晶デイスプレイの製造方法
JPS63110425A (ja) 1986-10-29 1988-05-14 Toppan Printing Co Ltd 液晶封入用セル
JPS63128315A (ja) 1986-11-19 1988-05-31 Victor Co Of Japan Ltd 液晶表示素子
JPS63311233A (ja) 1987-06-12 1988-12-20 Toyota Motor Corp 液晶セル
DE3825066A1 (de) 1988-07-23 1990-01-25 Roehm Gmbh Verfahren zur herstellung von duennen, anisotropen schichten auf oberflaechenstrukturierten traegern
DE69226998T2 (de) 1991-07-19 1999-04-15 Sharp K.K., Osaka Optisches Modulationselement und Vorrichtungen mit einem solchen Element
JP3319782B2 (ja) * 1991-10-11 2002-09-03 三星ダイヤモンド工業株式会社 ガラス研磨装置
JPH05127179A (ja) 1991-11-01 1993-05-25 Ricoh Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JP2609386B2 (ja) 1991-12-06 1997-05-14 株式会社日立製作所 基板組立装置
JP3159504B2 (ja) 1992-02-20 2001-04-23 松下電器産業株式会社 液晶パネルの製造方法
JPH05265011A (ja) 1992-03-19 1993-10-15 Seiko Instr Inc 液晶表示素子の製造方法
JP2939384B2 (ja) 1992-04-01 1999-08-25 松下電器産業株式会社 液晶パネルの製造方法
JPH05281562A (ja) 1992-04-01 1993-10-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルの製造方法
US5507323A (en) 1993-10-12 1996-04-16 Fujitsu Limited Method and dispenser for filling liquid crystal into LCD cell
JPH0651256A (ja) 1992-07-30 1994-02-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶吐出装置
JP3084975B2 (ja) 1992-11-06 2000-09-04 松下電器産業株式会社 液晶表示用セルの製造装置
JPH06160871A (ja) 1992-11-26 1994-06-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルおよびその製造方法
JPH06235925A (ja) 1993-02-10 1994-08-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH06265915A (ja) 1993-03-12 1994-09-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶充填用吐出装置
JP3210126B2 (ja) 1993-03-15 2001-09-17 株式会社東芝 液晶表示装置の製造方法
JP3170773B2 (ja) 1993-04-28 2001-05-28 株式会社日立製作所 基板組立装置
US5539545A (en) 1993-05-18 1996-07-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of making LCD in which resin columns are cured and the liquid crystal is reoriented
JP2957385B2 (ja) 1993-06-14 1999-10-04 キヤノン株式会社 強誘電性液晶素子の製造方法
JP3260511B2 (ja) 1993-09-13 2002-02-25 株式会社日立製作所 シール剤描画方法
CA2108237C (en) 1993-10-12 1999-09-07 Taizo Abe Method and dispenser for filling liquid crystal into lcd cell
JPH07128674A (ja) 1993-11-05 1995-05-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH07181507A (ja) 1993-12-21 1995-07-21 Canon Inc 液晶表示装置及び該液晶表示装置を備えた情報伝達装置
JP2983836B2 (ja) * 1994-04-25 1999-11-29 三星ダイヤモンド工業株式会社 電極端子処理方法
EP0703485B1 (en) 1994-09-26 2002-06-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Liquid crystal display panel and method and device for manufacturing the same
JP3189591B2 (ja) 1994-09-27 2001-07-16 松下電器産業株式会社 液晶素子の製造方法
JPH08101395A (ja) 1994-09-30 1996-04-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH08106101A (ja) 1994-10-06 1996-04-23 Fujitsu Ltd 液晶表示パネルの製造方法
JPH08171094A (ja) 1994-12-19 1996-07-02 Nippon Soken Inc 液晶表示器への液晶注入方法及び注入装置
JP3545076B2 (ja) 1995-01-11 2004-07-21 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 液晶表示装置及びその製造方法
JPH08197402A (ja) * 1995-01-25 1996-08-06 Mitsuboshi Daiyamondo Kogyo Kk ガラス基板の研磨方法および装置
JP3216869B2 (ja) 1995-02-17 2001-10-09 シャープ株式会社 液晶表示素子およびその製造方法
US6001203A (en) 1995-03-01 1999-12-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Production process of liquid crystal display panel, seal material for liquid crystal cell and liquid crystal display
JP3534474B2 (ja) 1995-03-06 2004-06-07 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 液晶表示パネルのシール方法
JPH095762A (ja) 1995-06-20 1997-01-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルの製造法
JP3978241B2 (ja) 1995-07-10 2007-09-19 シャープ株式会社 液晶表示パネル及びその製造方法
JPH0961829A (ja) 1995-08-21 1997-03-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JP3161296B2 (ja) 1995-09-05 2001-04-25 松下電器産業株式会社 液晶表示素子の製造方法
JPH0973075A (ja) 1995-09-05 1997-03-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法および液晶表示素子の製造装置
JPH0980447A (ja) 1995-09-08 1997-03-28 Toshiba Electron Eng Corp 液晶表示素子
JP3358935B2 (ja) 1995-10-02 2002-12-24 シャープ株式会社 液晶表示素子およびその製造方法
JP3658604B2 (ja) 1995-10-27 2005-06-08 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 液晶パネルの製造方法
US6236445B1 (en) 1996-02-22 2001-05-22 Hughes Electronics Corporation Method for making topographic projections
JPH09230357A (ja) 1996-02-22 1997-09-05 Canon Inc 液晶パネルの製造方法及びこれに用いる液晶セル
JPH10259041A (ja) * 1997-03-19 1998-09-29 Fujitsu Ltd 貼り合わせガラス基板構造およびその製造方法
JP3790295B2 (ja) 1996-04-17 2006-06-28 シャープ株式会社 液晶表示パネルの製造方法
JP3234496B2 (ja) 1996-05-21 2001-12-04 松下電器産業株式会社 液晶表示装置の製造方法
KR100208475B1 (ko) 1996-09-12 1999-07-15 박원훈 자기장 처리에 의한 액정배향막의 제조방법
US6016178A (en) 1996-09-13 2000-01-18 Sony Corporation Reflective guest-host liquid-crystal display device
JPH10153785A (ja) 1996-09-26 1998-06-09 Toshiba Corp 液晶表示装置
KR100207506B1 (ko) 1996-10-05 1999-07-15 윤종용 액정 표시 소자의 제조방법
JPH10123537A (ja) 1996-10-15 1998-05-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子とその製造方法
JP3088960B2 (ja) 1996-10-22 2000-09-18 松下電器産業株式会社 液晶表示素子の製造方法
JP3472422B2 (ja) 1996-11-07 2003-12-02 シャープ株式会社 液晶装置の製造方法
JPH10142616A (ja) 1996-11-14 1998-05-29 Ayumi Kogyo Kk 液晶注入方法および液体用ディスペンサー
JPH10177178A (ja) 1996-12-17 1998-06-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JP3874871B2 (ja) 1997-02-10 2007-01-31 シャープ株式会社 液晶表示装置の製造方法
JPH10274768A (ja) 1997-03-31 1998-10-13 Denso Corp 液晶セルおよびその製造方法
JP3773326B2 (ja) 1997-04-07 2006-05-10 アユミ工業株式会社 液晶の注入方法およびそれに用いるディスペンサー
JPH10333157A (ja) 1997-06-03 1998-12-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置の製造方法
JPH10333159A (ja) 1997-06-03 1998-12-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置
JPH1114953A (ja) 1997-06-20 1999-01-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 多数丁付け液晶表示パネルの製造方法および多数丁付け液晶表示パネル
US5878922A (en) * 1997-07-09 1999-03-09 Sunoco Products Company Self venting plunger
JP3874895B2 (ja) 1997-07-23 2007-01-31 シャープ株式会社 液晶表示パネルの製造方法
JPH1164811A (ja) 1997-08-21 1999-03-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法およびその装置
JP4028043B2 (ja) 1997-10-03 2007-12-26 コニカミノルタホールディングス株式会社 液晶光変調素子および液晶光変調素子の製造方法
JPH11109388A (ja) 1997-10-03 1999-04-23 Hitachi Ltd 液晶表示装置の製造方法
US5875922A (en) 1997-10-10 1999-03-02 Nordson Corporation Apparatus for dispensing an adhesive
JPH11133438A (ja) 1997-10-24 1999-05-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子とその製造法
US6055035A (en) 1998-05-11 2000-04-25 International Business Machines Corporation Method and apparatus for filling liquid crystal display (LCD) panels
US6337730B1 (en) 1998-06-02 2002-01-08 Denso Corporation Non-uniformly-rigid barrier wall spacers used to correct problems caused by thermal contraction of smectic liquid crystal material
JP3148859B2 (ja) 1998-06-12 2001-03-26 松下電器産業株式会社 液晶パネルの組立装置及び方法
JP2000029035A (ja) 1998-07-09 2000-01-28 Minolta Co Ltd 液晶素子及びその製造方法
JP2000056311A (ja) 1998-08-03 2000-02-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置
JP2000066165A (ja) 1998-08-20 2000-03-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルの製造方法
JP2000137235A (ja) 1998-11-02 2000-05-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶基板の貼り合わせ方法
JP3828670B2 (ja) 1998-11-16 2006-10-04 松下電器産業株式会社 液晶表示素子の製造方法
US6219126B1 (en) 1998-11-20 2001-04-17 International Business Machines Corporation Panel assembly for liquid crystal displays having a barrier fillet and an adhesive fillet in the periphery
JP2000193988A (ja) 1998-12-25 2000-07-14 Fujitsu Ltd 液晶表示パネルの製造方法と製造装置
JP3568862B2 (ja) 1999-02-08 2004-09-22 大日本印刷株式会社 カラー液晶表示装置
JP2000241824A (ja) 1999-02-18 2000-09-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置の製造方法
JP2000310784A (ja) 1999-02-22 2000-11-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネル、カラーフィルター及びそれらの製造方法
JP3535044B2 (ja) 1999-06-18 2004-06-07 株式会社 日立インダストリイズ 基板の組立て装置とその方法、及び液晶パネルの製造方法
JP3410983B2 (ja) 1999-03-30 2003-05-26 株式会社 日立インダストリイズ 基板の組立方法およびその装置
JP2000292799A (ja) 1999-04-09 2000-10-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子とその製造方法
JP2000310759A (ja) 1999-04-28 2000-11-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子製造装置および方法
JP2001013506A (ja) 1999-04-30 2001-01-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子及びその製造方法
JP4065078B2 (ja) * 1999-05-13 2008-03-19 不二越機械工業株式会社 ディスク鏡面面取り装置
JP2001222017A (ja) 1999-05-24 2001-08-17 Fujitsu Ltd 液晶表示装置及びその製造方法
JP2000338501A (ja) 1999-05-26 2000-12-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルの製造方法
US6325704B1 (en) * 1999-06-14 2001-12-04 Corning Incorporated Method for finishing edges of glass sheets
JP3486862B2 (ja) 1999-06-21 2004-01-13 株式会社 日立インダストリイズ 基板の組立方法とその装置
JP2001033793A (ja) 1999-07-21 2001-02-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルおよびその製造方法
JP3422291B2 (ja) 1999-08-03 2003-06-30 株式会社 日立インダストリイズ 液晶基板の組立方法
JP2001051284A (ja) 1999-08-10 2001-02-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置製造装置
US6565421B1 (en) * 1999-09-01 2003-05-20 Lg Philips Lcd Co., Ltd. Apparatus and method of grinding liquid crystal cell
JP2001091727A (ja) 1999-09-27 2001-04-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd カラーフィルタ基板の製造方法とそのカラーフィルタ基板および液晶表示装置
JP3580767B2 (ja) 1999-10-05 2004-10-27 松下電器産業株式会社 液晶表示パネルならびにその製造方法および駆動方法
JP2001117105A (ja) 1999-10-18 2001-04-27 Toshiba Corp 液晶表示装置の製造方法
JP2001117109A (ja) 1999-10-21 2001-04-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置の製造方法
JP3583326B2 (ja) 1999-11-01 2004-11-04 協立化学産業株式会社 Ｌｃｄパネルの滴下工法用シール剤
JP2001133799A (ja) 1999-11-05 2001-05-18 Fujitsu Ltd 液晶表示装置の製造方法
JP3574865B2 (ja) 1999-11-08 2004-10-06 株式会社 日立インダストリイズ 基板の組立方法とその装置
JP2001142074A (ja) 1999-11-10 2001-05-25 Hitachi Ltd 液晶表示装置
JP2001147437A (ja) 1999-11-19 2001-05-29 Nec Corp 液晶表示パネル及びその製造方法
JP2001154211A (ja) 1999-11-30 2001-06-08 Hitachi Ltd 液晶パネルおよびその製造方法
JP2001166310A (ja) 1999-12-08 2001-06-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルの製造方法
JP3641709B2 (ja) 1999-12-09 2005-04-27 株式会社 日立インダストリイズ 基板の組立方法とその装置
JP4132528B2 (ja) 2000-01-14 2008-08-13 シャープ株式会社 液晶表示装置の製造方法
JP2001209052A (ja) 2000-01-24 2001-08-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置及びその製造方法
JP2001215459A (ja) 2000-02-02 2001-08-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子製造装置
JP2001235758A (ja) 2000-02-23 2001-08-31 Fujitsu Ltd 液晶表示パネルおよびその製造方法
JP2001255542A (ja) 2000-03-14 2001-09-21 Sharp Corp 基板貼り合わせ方法及び基板貼り合わせ装置、並びに、液晶表示素子の製造方法及び製造装置
JP2001264782A (ja) 2000-03-16 2001-09-26 Ayumi Kogyo Kk フラットパネル基板間への粘液状材料の充填方法
JP2001272640A (ja) 2000-03-27 2001-10-05 Fujitsu Ltd 液晶滴下装置及び液晶滴下方法
JP3678974B2 (ja) 2000-03-29 2005-08-03 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 液晶表示装置の製造方法
JP2001281675A (ja) 2000-03-29 2001-10-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置の製造方法
JP3707990B2 (ja) 2000-03-30 2005-10-19 株式会社 日立インダストリイズ 基板組立装置
JP3492284B2 (ja) 2000-04-19 2004-02-03 株式会社 日立インダストリイズ 基板貼合装置
JP2001330840A (ja) 2000-05-18 2001-11-30 Toshiba Corp 液晶表示素子の製造方法
JP2001330837A (ja) 2000-05-19 2001-11-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 気密構造体とその製造方法およびそれを用いた液晶表示装置とその製造方法
JP2001356354A (ja) 2000-06-13 2001-12-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JP2002014360A (ja) 2000-06-29 2002-01-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルの製造方法および装置
JP2002023176A (ja) 2000-07-05 2002-01-23 Seiko Epson Corp 液晶注入装置及び液晶注入方法
JP2001066615A (ja) 2000-08-02 2001-03-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置の製造方法
JP2002049045A (ja) 2000-08-03 2002-02-15 Nec Corp 液晶表示パネルの製造方法
JP2002082340A (ja) 2000-09-08 2002-03-22 Fuji Xerox Co Ltd フラットパネルディスプレイの作製方法
JP2002090760A (ja) 2000-09-12 2002-03-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネル製造装置及び方法
JP2002090759A (ja) 2000-09-18 2002-03-27 Sharp Corp 液晶表示素子の製造装置および製造方法
JP2002107740A (ja) 2000-09-28 2002-04-10 Sharp Corp 液晶表示パネルの製造方法及び製造装置
JP2002122872A (ja) 2000-10-12 2002-04-26 Hitachi Ltd 液晶表示装置およびその製造方法
JP4841031B2 (ja) 2000-10-13 2011-12-21 スタンレー電気株式会社 液晶装置の製造方法
JP4330785B2 (ja) 2000-10-31 2009-09-16 シャープ株式会社 液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置の製造装置
JP3281362B2 (ja) 2000-12-11 2002-05-13 富士通株式会社 液晶表示パネルの製造方法
JP2002202514A (ja) 2000-12-28 2002-07-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルおよびその製造方法およびその製造装置
JP2002202512A (ja) 2000-12-28 2002-07-19 Toshiba Corp 液晶表示装置及びその製造方法
JP2002214626A (ja) 2001-01-17 2002-07-31 Toshiba Corp 液晶表示装置の製造方法及びシール材
JP3411023B2 (ja) 2001-04-24 2003-05-26 株式会社 日立インダストリイズ 基板の組立装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10118907A (ja) * 1996-10-15 1998-05-12 Hitachi Electron Eng Co Ltd ガラス基板の外周加工装置
JPH11245151A (ja) * 1998-02-27 1999-09-14 Speedfam Co Ltd ワークの外周研磨装置
KR19990088407A (ko) * 1998-05-20 1999-12-27 가네꼬 히사시 반도체웨이퍼연마장치및그연마방법
KR20000057941A (ko) * 1999-02-04 2000-09-25 조셉 제이. 스위니 가동 연마 시트를 이용한 화학 기계 연마 장치 및 방법
KR20010045994A (ko) * 1999-11-09 2001-06-05 윤종용 다수개의 연마패드를 갖는 ｃｍｐ장치
JP2001217214A (ja) * 2000-02-03 2001-08-10 Meiji Kikai Kk 全自動２プラテン研磨装置
KR20030038262A (ko) * 2001-11-10 2003-05-16 삼성전자주식회사 그라인딩과 폴리싱 기능을 겸비한 웨이퍼 후면 처리장비

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