KR100832297B1 - 액정 표시패널의 연마량 측정장치 및 측정방법 - Google Patents

액정 표시패널의 연마량 측정장치 및 측정방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 액정 표시패널의 연마량 측정장치 및 측정방법에 관한 것으로, 본 발명의 구성은 하면 가장자리에 비해 상면 가장자리의 연마량이 많은 단위 액정 표시패널의 상면 및 하면 가장자리를 연마하는 연마부; 상기 단위 액정 표시패널의 상면 가장자리의 연마면을 촬영하는 제1카메라; 및 상기 단위 액정 표시패널의 하면 가장자리의 연마면을 촬영하는 제2카메라를 포함하여 구성되며, 상기 제1카메라 및 제2카메라는 상기 단위 액정표시패널의 가장자리에 구비된 정렬마크에 의해 상기 단위 액정표시패널의 가장자리와 정렬되고 상기 제1카메라를 통해 촬영되는 상기 단위 액정표시패널의 상면 가장자리에 대한 연마 폭은 상기 제2카메라를 통해 촬영되는 하면 가장자리에 대한 연마 폭보다 넓은 것을 특징으로 한다.

Description

액정 표시패널의 연마량 측정장치 및 측정방법{APPARATUS FOR MEASURING GRINDING AMOUNT OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL AND METHOD THEREOF}
도1은 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제1모기판과 컬러필터 기판들이 형성된 제2모기판이 합착되어 다수의 액정 표시패널들을 이루는 단면 구조를 보인 예시도.
도2는 도1의 액정 표시패널들이 개별적으로 절단된 단위 액정 표시패널의 개략적인 평면구조를 보인 예시도.
도3은 일반적인 액정 표시패널의 연마장치를 보인 예시도.
도4는 종래 액정 표시패널의 연마량 측정장치를 보인 예시도.
도5는 도4에 있어서, 카메라의 촬영화상을 보인 예시도.
도6은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시패널의 연마량 측정장치를 보인 예시도.
도7a 및 도7b는 도6에 있어서, 제1카메라 및 제2카메라의 촬영 화상을 보인 예시도.
***도면의 주요부분에 대한 부호의 설명***
100:단위 액정 표시패널 110:연마부
111:연마대 120,130:제1,제2카메라
본 발명은 액정 표시패널의 연마량 측정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대면적 모기판상에 제작된 액정 표시패널들을 개별적인 단위 액정 표시패널로 절단하고, 단위 액정 표시패널의 가장자리를 연마할 때, 그 연마량을 측정하는 액정 표시패널의 연마량 측정장치 및 측정방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시장치는 대면적의 모 기판에 박막 트랜지스터 어레이 기판들을 형성하고, 별도의 모 기판에 컬러필터 기판들을 형성한 다음 두 개의 모 기판을 합착함으로써, 복수의 액정 표시패널들을 동시에 형성하여 수율 향상을 도모하고 있으므로, 단위 액정 표시패널로 절단하는 공정이 요구된다.
통상, 상기 단위 액정 표시패널의 절단은 유리에 비해 경도가 높은 휠로 모 기판의 표면에 절단 예정홈을 형성하고, 그 절단 예정홈을 따라 크랙이 전파되도록 하는 공정을 통해 실시된다.
이와 같은 액정 표시장치에 대해 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도1은 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제1모기판과 컬러필터 기판들이 형성된 제2모기판이 합착되어 다수의 액정 표시패널들을 이루는 단면 구조를 보인 예시도이다.
도1을 참조하면, 단위 액정 표시패널들은 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들의 일측이 컬러필터 기판(2)들에 비해 돌출되도록 형성된다. 이는 컬러필터 기판(2)들과 중첩되지 않는 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들의 가장자리에 게이트 패드부(도면상에 도시되지 않음)와 데이터 패드부(도면상에 도시되지 않음)가 형성되기 때문이다.
여기서, 제2모기판(30) 상에 형성된 컬러필터 기판(2)들은 제1모기판(20) 상에 형성된 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들이 돌출되는 면적에 해당하는 더미영역(dummy region, 31) 만큼 이격되어 형성된다.
또한, 각각의 단위 액정 표시패널들은 제1,제2모기판(20,30)을 최대한 이용할 수 있도록 적절히 배치되며, 모델(model)에 따라 다르지만, 일반적으로 단위 액정 표시패널들은 더미영역(32) 만큼 이격되도록 형성된다.
상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들이 형성된 제1모기판(20)과 컬러필터 기판(2)들이 형성된 제2모기판(30)이 합착된 후에는 액정 표시패널들을 개별적으로 절단하는데, 이때 제2모기판(30)의 컬러필터 기판(2)들이 이격된 영역에 형성된 더미영역(31)과 단위 액정 표시패널들을 이격시키는 더미영역(32)이 동시에 제거된다.
한편, 도2는 개별적으로 절단된 단위 액정 표시패널의 개략적인 평면구조를 보인 예시도이다.
도2를 참조하면, 단위 액정 표시패널(10)은 액정 셀들이 매트릭스 형태로 배열되는 화상표시부(13)와; 상기 화상표시부(13)의 게이트 배선(GL1∼GLm)들을 게이트 신호가 인가되는 게이트 드라이버 집적회로(도면상에 도시되지 않음)와 접속시키기 위한 게이트 패드부(14)와; 상기 화상표시부(13)의 데이터 배선(DL1∼DLn)들을 화상정보가 인가되는 데이터 드라이버 집적회로(도면상에 도시되지 않음)와 접속시키기 위한 데이터 패드부(15)로 구성된다.
여기서, 상기 게이트 패드부(14)와 데이터 패드부(15)는 컬러필터 기판(2)에 비해 일측 단변 및 일측 장변이 돌출된 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)의 가장자리 영역에 형성된다.
또한, 도면상에 상세히 도시하지는 않았지만, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)의 데이터 배선(DL1∼DLn)들과 게이트 배선(GL1∼GLm)들이 수직교차하는 영역에는 액정 셀들을 스위칭하기 위한 박막 트랜지스터가 구비되고, 그 박막 트랜지스터에 접속되어 액정 셀들에 전계를 인가하기 위한 화소전극과, 이와같은 데이터 배선(DL1∼DLn)들, 게이트 배선(GL1∼GLm)들, 박막 트랜지스터들 및 전극들을 보호하기 위해 전면에 형성된 보호막이 구비된다.
그리고, 상기 컬러필터 기판(2)에는 블랙 매트릭스에 의해 셀 영역별로 분리되어 도포된 칼러필터들과, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)에 형성된 화소전극의 상대전극인 공통전극이 구비된다.
상기한 바와같이 구성된 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)과 컬러필터 기판(2)은 대향하여 일정하게 이격되도록 셀-갭(cell-gap)이 마련되고, 화상표시부 (13)의 외곽에 형성된 실링부(도면상에 도시되지 않음)에 의해 합착되며, 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)과 컬러필터 기판(2)의 이격된 공간에 액정층(도면상에 도시되지 않음)이 형성된다.
한편, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)의 가장자리에는 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)상에 도전성 막들을 패터닝할 때, 발생할 수 있는 정전기를 차단하기 위하여 단락 배선(도면상에 도시되지 않음)이 형성되어 있다.
상기 단락 배선은 액정 표시패널들이 개별적인 단위 액정 표시패널로 절단된 이후에는 제거되어야 한다.
따라서, 상기 액정 표시패널들을 개별적인 단위 액정 표시패널로 절단한 후에는 단위 액정 표시패널의 모서리를 연마하여 상기 단락 배선을 제거한다.
또한, 단위 액정 표시패널의 모서리를 연마하여 외부의 충격에 의해 단위 액정 표시패널의 모서리로부터 파편이 뜯겨져 이탈되는 현상을 방지하고, 공정 진행중에 작업자가 단위 액정 표시패널의 날카로운 모서리에 의해 상처를 입을 수 있는 위험을 방지할 수 있는 부수적 효과를 얻을 수 있다.
상기한 바와 같은 단위 액정 표시패널의 연마 공정에 대해 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도3은 일반적인 액정 표시패널의 연마장치를 보인 예시도이다.
도 3을 참조하면, 절단된 단위 액정 표시패널(10)을 로딩하는 로딩부(50)와; 상기 로딩부(50)에 로딩된 단위 액정 표시패널(10)을 전달받아 연마대(51)에 정렬시킨 다음 고속으로 회전하는 연마 휠(52)을 통해 단위 액정 표시패널(10)의 가장자리를 연마하는 연마부(53)와; 상기 연마된 단위 액정 표시패널(10)을 연마부(53)로부터 전달받아 언로딩하는 언로딩부(54)로 구성된다.
한편, 도4는 액정 표시패널의 연마장치를 통해 연마된 단위 액정 표시패널 (10)의 연마량 측정장치를 보인 예시도이다.
도4를 참조하면, 단위 액정 표시패널(10)의 가장자리는 상면과 하면이 경사 지게 연마되며, 일반적으로 단락 배선이 형성된 단위 액정 표시패널(10)의 상면 가장자리가 하면 가장자리에 비해 연마량이 많다.
상기한 바와같은 단위 액정 표시패널(10)의 연마량을 측정하기 위해서는 단위 액정 표시패널(10)의 가장자리 상부에 카메라(60)를 설치하고, 단위 액정 표시패널(10)의 상면 가장자리를 촬영하여 작업자가 화상을 확인함으로써, 연마량의 양/불 판정을 할 수 있게 된다.
도5는 상기 단위 액정 표시패널(10)의 가장자리에 대한 카메라(60)의 촬영화상을 보인 예시도이다.
도 5를 참조하면, 카메라(60)에 의해 촬영된 화상(C1)에는 단위 액정 표시패널(10)의 상면 가장자리에 대한 연마 폭(W1)이 나타난다.
그러나, 상기한 바와 같은 종래 액정 표시패널의 연마량 측정장치에 의하면, 단위 액정 표시패널의 가장자리 상부에 설치된 카메라를 통해 단위 액정 표시패널의 가장자리를 촬영함에 따라 단위 액정 표시패널의 상면 가장자리는 촬영이 가능하지만, 하면 가장자리는 촬영이 불가능하고, 이로 인해 단위 액정 표시패널의 하면 가장자리에 대해서는 연마량 불량 여부를 판정할 수 없는 문제점이 있었다.
따라서, 단위 액정 표시패널의 하면 가장자리에 대한 연마 불량이 발생할 수 있으며, 이와같은 연마 불량은 액정 표시패널의 불량요인이 되어 수율이 저하되는 문제점이 있었다.
이에 본 발명은 상기 종래기술의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 본 발명의 목적은 단위 액정 표시패널의 상면과 하면 가장자리에 대한 연마량을 측정하여 연마 불량을 판정할 수 있는 액정 표시패널의 연마량 측정장치 및 측정방법을 제공함에 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 액정 표시패널의 연마량 측정장치는, 하면 가장자리에 비해 상면 가장자리의 연마량이 많은 단위 액정 표시패널의 상면 및 하면 가장자리를 연마하는 연마부; 상기 단위 액정 표시패널의 상면 가장자리의 연마면을 촬영하는 제1카메라; 및 상기 단위 액정 표시패널의 하면 가장자리의 연마면을 촬영하는 제2카메라를 포함하여 구성되며, 상기 제1카메라 및 제2카메라는 상기 단위 액정표시패널의 가장자리에 구비된 정렬마크에 의해 상기 단위 액정표시패널의 가장자리와 정렬되고 상기 제1카메라를 통해 촬영되는 상기 단위 액정표시패널의 상면 가장자리에 대한 연마 폭은 상기 제2카메라를 통해 촬영되는 하면 가장자리에 대한 연마 폭보다 넓은 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 액정표시패널의 연마량 측정방법은 연마부를 이용하여 단위 액정 표시패널의 상면 및 하면 가장자리를 연마하는 단계; 상기 단위 액정표시패널의 상면 및 하면 가장자리에 구비된 정렬 마크를 이용하여 상기 연마부에 구비된 제1카메라 및 제2카메라를 상기 단위 액정표시패널의상면 및 하면 가장자리와 얼라인 시키는 단계; 및 상기 제1카메라 및 제2카메라를 각각 이용하여 상기 단위 액정 표시패널의 상면 및 하면 가장자리의 연마면을 촬영하는 단계를 포함하여 구성되며, 상기 제1카메라를 통해 촬영되는 상기 단위 액정표시패널의 상면 가장자리에 대한 연마 폭은 상기 제2카메라를 통해 촬영되는 하면 가장자리에 대한 연마 폭보다 넓은 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 액정 표시패널의 연마량 측정장치 및 측정방법을 첨부한 도면을 일 실시예로 하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도6은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시패널의 연마량 측정장치를 보인 예시도이다.
도6을 참조하면, 단위 액정 표시패널(100)의 상면 및 하면 가장자리를 연마하는 연마부(110)와; 상기 단위 액정 표시패널(100)의 상면 가장자리의 연마면을 촬영하는 제1카메라(120)와; 상기 단위 액정 표시패널(100)의 하면 가장자리의 연마면을 촬영하는 제2카메라(130)로 구성된다.
여기서, 상기 연마부(110)는 단위 액정 표시패널(100)이 로딩되는 연마대 (111)와; 상기 단위 액정 표시패널(100)의 상면 및 하면 가장자리를 연마하는 복수의 연마 휠(도면상에 도시되지 않음)들을 구비한다.
또한, 도면상에 상세히 도시되지는 않았지만, 상기 단위 액정 표시패널(100)은 박막 트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판이 합착되어 이루어지며, 그 박막 트랜지스터 어레이 기판의 일측 단변 및 일측 장변이 컬러필터 기판에 비해 돌출되도록 합착된다.
그리고, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판이 합착된 영역 내에는 복수의 화소들이 매트릭스 형태로 배열되는 화상 표시부가 구비된다.
더욱이, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판의 화상 표시부에는 일정하게 이격되어 횡으로 배열되는 복수의 게이트 라인들과 일정하게 이격되어 종으로 배열되는 복수의 데이터 라인들이 교차하며, 그 게이트 라인들과 데이터 라인들이 교차하여 정의되는 사각형 영역에 복수의 화소들이 매트릭스 형태로 배열된다.
또한, 상기 복수의 화소들에는 스위칭소자로 박막 트랜지스터가 개별적으로 구비되며, 또한 화소전극이 개별적으로 구비된다.
한편, 상기 컬러필터 기판의 화상 표시부에는 블랙 매트릭스에 의해 화소별로 분리되어 도포된 적, 녹, 청 색상의 칼러필터들과, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판에 형성되는 화소전극의 상대전극인 공통전극이 구비된다.
또한, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판은 화상 표시부의 외곽을 따라 형성되는 실 패턴에 의해 합착된다. 이때, 박막 트랜지스터 어레이 기판이나 컬러필터 기판상에는 무작위로 산포된 볼-스페이서(ball spacer)나 포토리쏘그래피(photolithography) 공정을 통해 패턴화된-스페이서(patterned spacer)가 형성되어 일정한 이격간격을 갖게 된다.
그리고, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판간의 이격간격에는 액정층이 충진된다. 이때, 상기 액정층은 박막 트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판을 합착한 다음 진공 주입방식을 통해 형성할 수 있으며, 또는 박막 트랜지스터 어레이 기판이나 컬러필터 기판에 액정을 적하한 다음 박막 트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판을 합착하여 형성할 수 있다.
한편, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판의 돌출된 일측 단변에는 게이트 라인들과 전기적으로 접속되어 게이트 라인들에 구동신호들을 공급하는 게이트 패드부가 형성되고, 돌출된 일측 장변에는 데이터 라인들과 전기적으로 접속되어 데이터 라인들에 화상정보를 공급하는 데이터 패드부가 형성된다.
또한, 상기 단위 액정 표시패널(100)의 가장자리는 상면과 하면이 경사지게 연마되며, 일반적으로 단락 배선이 형성되는 단위 액정 표시패널(100)의 상면 가장자리가 하면 가장자리에 비해 연마량이 많다.
상기 제1, 제2카메라(120,130)는 단위 액정 표시패널(100)의 가장자리 상부와 하부에 각각 설치되며, 씨씨디(charge coupled device: CCD) 카메라가 적용될 수 있다.
상기 제1,제2카메라(120,130)는 단위 액정 표시패널(100)의 가장자리에 구비된 정렬 마크(도면상에 도시되지 않음)를 통해 단위 액정 표시패널(100)의 가장자리와 정렬된 다음 단위 액정 표시패널(100)의 상면 및 하면 가장자리의 연마면을 촬영하여 연마량을 측정한다. 이때, 상기 제1, 제2카메라(120,130)가 상기 단위 액정 표시패널(100)의 상면 및 하면 가장자리를 따라 연마면을 촬영하도록 하여 연마량을 측정할 수 있으며, 또는 제1,제2카메라(120,130)가 상기 단위 액정 표시패널(100)의 상면 및 하면 가장자리의 적어도 한 위치에서 연마면을 촬영하도록 하여 연마량을 측정할 수 있다.
또한, 상기 연마부(110) 내의 연마대(111)가 회전 및 이동함에 따라 제1카메라(120)가 단위 액정 표시패널(100)의 상면의 소정 위치들을 촬영하여 연마량을 측정하면서, 이때 제2카메라(130)가 단위 액정 표시패널(100)의 하면의 대응하는 위치들을 촬영하여 연마량을 측정함으로써, 단위 액정 표시패널(100)의 하면 연마보정을 위한 별도의 공정이 필요하지 않게 된다.
한편, 도7a는 제1카메라(120)의 촬영 화상을 보인 예시도이고, 도7b는 제2카메라(130)의 촬영 화상을 보인 예시도이다.
도 7a 및 도 7b를 참조하면, 제1카메라(120)에 의해 촬영된 화상(C11)에는 단위 액정 표시패널(100)의 상면 가장자리에 대한 연마 폭(W11)이 나타나고, 제2카메라(130)에 의해 촬영된 화상(C12)에는 단위 액정 표시패널(100)의 하면 가장자리에 대한 연마 폭(W12)이 나타난다.
일반적으로 단락 배선이 형성되는 단위 액정 표시패널(100)의 상면 가장자리가 하면 가장자리에 비해 연마량이 많기 때문에 단위 액정 표시패널(100)의 상면 가장자리에 대한 연마 폭(W11)은 하면 가장자리에 대한 연마 폭(W12)에 비해 넓게 촬영된다.
따라서, 작업자는 제1,제2카메라(120,130)를 통해 촬영된 화상(C11,C12)으로부터 단위 액정 표시패널(100)의 상면 및 하면 가장자리의 연마량을 검출할 수 있으며, 연마 불량이 발생될 경우에 연마부(110) 내의 복수의 연마 휠들을 적절히 제어함으로써, 단위 액정 표시패널(100)의 상면 및 하면 가장자리에 대한 연마량을 보정할 수 있게 된다.
상술한 바와같이, 본 발명에 따른 액정 표시패널의 연마량 측정장치 및 측정방법에 의하면, 단위 액정 표시패널의 가장자리 상부 및 하부에 제1,제2카메라를 설치하여 단위 액정 표시패널의 상면 및 하면 가장자리에 대한 연마량을 촬영할 수 있다.
따라서, 단위 액정 표시패널의 상면 및 하면 가장자리에 대한 연마 불량을 검출하여 적절한 연마량 보정을 할 수 있게 되므로, 액정 표시패널의 하면 연마보정을 위한 별도의 공정이 요구되지 않고, 액정 표시패널의 불량요인을 감소시켜 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (15)

  1. 하면 가장자리에 비해 상면 가장자리의 연마량이 많은 단위 액정 표시패널의 상면 및 하면 가장자리를 연마하는 연마부;
    상기 단위 액정 표시패널의 상면 가장자리의 연마면을 촬영하는 제1카메라; 및
    상기 단위 액정 표시패널의 하면 가장자리의 연마면을 촬영하는 제2카메라를 포함하여 구성되며, 상기 제1카메라 및 제2카메라는 상기 단위 액정표시패널의 가장자리에 구비된 정렬마크에 의해 상기 단위 액정표시패널의 가장자리와 정렬되고 상기 제1카메라를 통해 촬영되는 상기 단위 액정표시패널의 상면 가장자리에 대한 연마 폭은 상기 제2카메라를 통해 촬영되는 하면 가장자리에 대한 연마 폭보다 넓은 것을 특징으로 하는 액정 표시패널의 연마량 측정장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 연마부는 상기 단위 액정 표시패널이 로딩되는 연마대와; 상기 단위 액정 표시패널의 상면 및 하면 가장자리를 연마하는 복수의 연마 휠들을 구비하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시패널의 연마량 측정장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 단위 액정 표시패널은 박막 트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판이 합착된 것을 특징으로 하는 액정 표시패널의 연마량 측정장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 제1카메라 및 제2카메라는 상기 연마부에 내재된 것을 특징으로 하는 액정 표시패널의 연마량 측정장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 제1카메라 및 제2카메라는 씨씨디(charge coupled device: CCD) 카메라로 구성된 것을 특징으로 하는 액정 표시패널의 연마량 측정장치.
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 제1카메라 및 제2카메라는 상기 단위 액정 표시패널의 상면 및 하면 가장자리를 따라 연마면을 촬영하는 것을 특징으로 하는 액정 표시패널의 연마량 측정장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 제1카메라 및 제2카메라는 상기 단위 액정 표시패널의 상면 및 하면 가장자리의 적어도 한 위치에서 연마면을 촬영하는 것을 특징으로 하는 액정 표시패널의 연마량 측정장치.
  9. 연마부를 이용하여 단위 액정 표시패널의 상면 및 하면 가장자리를 연마하는 단계;
    상기 단위 액정표시패널의 상면 및 하면 가장자리에 구비된 정렬 마크를 이용하여 상기 연마부에 구비된 제1카메라 및 제2카메라를 상기 단위 액정표시패널의상면 및 하면 가장자리와 얼라인 시키는 단계; 및
    상기 제1카메라 및 제2카메라를 각각 이용하여 상기 단위 액정 표시패널의 상면 및 하면 가장자리의 연마면을 촬영하는 단계를 포함하여 구성되며, 상기 제1카메라를 통해 촬영되는 상기 단위 액정표시패널의 상면 가장자리에 대한 연마 폭은 상기 제2카메라를 통해 촬영되는 하면 가장자리에 대한 연마 폭보다 넓은 것을 특징으로 하는 액정 표시패널의 연마량 측정방법.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 연마량 측정방법은, 상기 연마부의 연마테이블상에 단위 액정표시패널을 로딩시키는 단계와, 복수개의 연마휠을 이용하여 상기 단위 액정표시패널의 상면 및 하면 가장자리를 연마시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로하는 액정표시패널의 연마량 측정방법.
  11. 제 9 항에 있어서, 상기 제1카메라 및 제2카메라는 상기 연마부내에 구비되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 연마량 측정방법.
  12. 제 9 항에 있어서, 상기 제1카메라 및 제2카메라는 적어도 하나의 씨씨디 (CCD) 카메라로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시패널의 연마량 측정방법.
  13. 삭제
  14. 제 9 항에 있어서, 상기 연마면을 촬영하는 단계는 상기 단위 액정표시패널의 상면 및 하면 가장자리를 따라 연마면을 촬영하는 것을 특징으로하는 액정표시패널의 연마량 측정방법.
  15. 제 9 항에 있어서, 상기 제1카메라 및 제2카메라는 상기 단위 액정표시패널의 상면 및 하면 가장자리의 적어도 한 위치에서 연마면을 촬영하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 연마량 측정방법.
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