JP2009045547A

JP2009045547A - 吐出重量測定方法、液滴吐出ヘッドの保守方法、液滴吐出装置、及び液滴吐出方法

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Publication number: JP2009045547A
Application number: JP2007213364A
Authority: JP
Inventors: Kenji Kojima; 健嗣小島
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2007-08-20
Filing date: 2007-08-20
Publication date: 2009-03-05

Abstract

【課題】吐出重量を正確に測定するための吐出重量測定を実施すると共に、吐出重量測定を実施することによる、描画対象物に向けて液状体を吐出する描画吐出工程が休止する時間の増加を抑制して、液滴吐出による描画のために要する時間が増大することを抑制する吐出重量測定方法、液滴吐出ヘッドの保守方法、液滴吐出装置、及び液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】吐出重量測定方法は、液状体を吐出するそれぞれの液滴吐出ヘッドに液状体を供給する液供給要件が共通である第一の複数の液滴吐出ヘッドから成るヘッドグループを有する液滴吐出装置における、液滴吐出ヘッドの吐出重量測定方法であって、ヘッドグループを構成する第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、ヘッドグループを構成する第一の複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する重量測定工程を有する。
【選択図】図１５

Description

本発明は、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの吐出重量測定方法、当該液滴吐出ヘッドの保守方法、液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置、及び液滴吐出ヘッドを用いる液滴吐出方法に関する。

従来から、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを有し、液状体の液滴を吐出して描画対象物上の任意の位置に着弾させることによって、描画対象物の任意の位置に液状体を配置する液滴吐出装置が知られている。このような液滴吐出装置を用いることによって、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などのような機能膜の材料を含む液状材料を、任意の位置に任意の量だけ精度良く塗布することが可能である。塗布された液状材料を乾燥させることによって、任意の厚さ及び形状の機能膜を形成することができる。

液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の、一吐出あたりの吐出量は、当該液状体の粘度などの特性によって変動する。ところが、液滴吐出ヘッドに供給される液状体は、製造ロットの違いや、液滴吐出ヘッドに供給可能に貯留されている状態での経時変化などによって、必ずしも一定の特性が維持されない可能性がある。
特許文献１には、実際の吐出重量を正確に測定して、当該測定値に対応して吐出量が正確な値となるように調整することによって、正確な液滴吐出が実施できる液滴吐出システム、液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法、及び液滴吐出ヘッドの吐出量適正化方法が開示されている。

特開２００４−２０９４２９号公報

しかしながら、それぞれの液滴吐出ヘッドについて、吐出重量を正確に測定するための吐出重量測定を実施することは必要であって、吐出重量測定を実施している間は、描画対象物に向けて液状体を吐出する描画吐出が休止するため、液滴吐出による描画のために要する時間が増大するという課題があった。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる吐出重量測定方法は、液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドを備え、前記複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの液滴吐出ヘッドに前記液状体を供給する液供給要件が共通である第一の複数の液滴吐出ヘッドから成るヘッドグループを有する液滴吐出装置における、液滴吐出ヘッドの吐出重量測定方法であって、前記ヘッドグループを構成する第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、前記ヘッドグループを構成する前記第一の複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する重量測定工程を有することを特徴とする。

この吐出重量測定方法によれば、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する。このため、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドについてそれぞれ吐出重量を測定する場合に比べて、ヘッドグループを構成する液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために要する時間を少なくすることができる。液滴吐出ヘッドは、規定の吐出重量の液状体を吐出するように予め調整されるが、液状体の粘度などの状態が変動することに起因して吐出重量が変動する可能性がある。吐出重量を測定することで、このような変動を検知することができる。ヘッドグループを構成する第一の複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの液滴吐出ヘッドは、液状体を供給する液供給要件が共通であるため、供給される液状体の条件が略同等である。従って、液状体の状態の変動に起因する吐出重量の変動は、第一の複数の液滴吐出ヘッドにおいて、略同等である可能性が極めて高いため、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量は、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量と略同等である可能性が極めて高い。これにより、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定することができる。

［適用例２］上記適用例にかかる吐出重量測定方法において、前記液供給要件が、前記液状体を貯留する給液タンクであって、前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドは、共通の前記給液タンクに結合されて、当該給液タンクから前記液状体を供給されることが好ましい。

この吐出重量測定方法によれば、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドには、同一の給液タンクから液状体が供給される。液滴吐出ヘッドに供給されるために貯留されている液状体が同一であって、貯留されている環境条件が同一であるため、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドに供給される液状体の状態が略同等となる。このため、液状体の状態に起因する吐出重量の変動が、ヘッドグループを構成する各液滴吐出ヘッド間で略同一となる。これにより、存在する可能性がある、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定した結果と、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量との差異を、小さくすることができる。

［適用例３］上記適用例にかかる吐出重量測定方法において、前記液供給要件が、前記給液タンクから前記液滴吐出ヘッドに至る前記液状体の流路である給液管を含み、前記給液管は、前記給液タンクに結合された主給液管と、前記主給液管に結合された複数の枝給液管とを有し、前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドは、前記複数の枝給液管のそれぞれの枝給液管に結合されて、共通の前記給液タンクから共通の前記主給液管を介して前記液状体を供給されることが好ましい。

この吐出重量測定方法によれば、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドには、同一の給液タンクから共通の主給液管を介して液状体が供給される。
それぞれの液滴吐出ヘッドに供給されるために給液タンクに貯留されている液状体が、同一であって、貯留されている環境条件が同一である。液滴吐出ヘッドに供給されるために通過する供給経路の主給液管が共通であるため、供給経路が液状体に及ぼす影響が各液滴吐出ヘッド間で、略同等である。これらによって、ヘッドグループを構成する各液滴吐出ヘッドに供給される液状体の状態が略同等となるため、液状体の状態に起因する吐出重量の変動が、ヘッドグループを構成する各液滴吐出ヘッド間で略同一となる。これにより、存在する可能性がある、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定した結果と、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量との差異を、小さくすることができる。

［適用例４］上記適用例にかかる吐出重量測定方法において、前記重量測定工程において測定された前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の、基準値に対する差異が、所定の値を超えた場合には、確認検査工程を実施することが好ましい。

この吐出重量測定方法によれば、確認検査によって、重量測定工程における測定結果を検証することができる。測定結果を検証することによって、一時的に発生した吐出重量の変動が測定されることに起因して、当該一時的な変動に対応して不要、又は不適切な対処処置が実施されることを抑制することができる。

［適用例５］上記適用例にかかる吐出重量測定方法において、前記確認検査工程は、前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を再度測定する再測定工程であることが好ましい。

この吐出重量測定方法によれば、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を再測定することによって、重量測定工程における第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の測定結果を検証することができる。

［適用例６］上記適用例にかかる吐出重量測定方法において、前記確認検査工程は、前記ヘッドグループを構成する前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第二の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する第二ヘッド測定工程であることが好ましい。

この吐出重量測定方法によれば、第二の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することによって、重量測定工程における第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の測定結果を検証することができる。第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、ヘッドグループのそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定するため、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動した場合であっても、ヘッドグループのそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量が全て変動したと、判断される。確認検査工程として、第二の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することによって、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動した場合に、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量が変動したと、誤って判断されることを抑制することができる。

［適用例７］上記適用例にかかる吐出重量測定方法において、前記確認検査工程は、前記ヘッドグループを構成する全ての前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する全ヘッド測定工程であることが好ましい。

この吐出重量測定方法によれば、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することによって、重量測定工程における第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の測定結果を検証することができる。第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、ヘッドグループのそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定するため、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動した場合であっても、ヘッドグループのそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量が全て変動したと、判断される。確認検査工程として、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することによって、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動した場合に、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量が変動したと、誤って判断されることを抑制することができる。

［適用例８］上記適用例にかかる吐出重量測定方法において、前記ヘッドグループを構成する前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第三の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、前記ヘッドグループを構成するそれぞれの前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する第二重量測定工程を、更に有することが好ましい。

この吐出重量測定方法によれば、第三の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する。このため、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドについてそれぞれ吐出重量を測定する場合に比べて、ヘッドグループを構成する液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために要する時間を少なくすることができる。
吐出重量の測定を実施する対象の液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動した場合には、誤って、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量が変動したと、判断される。しかし、測定を実施する対象の液滴吐出ヘッドを交代させることで、他の液滴吐出ヘッドと異なる吐出量になった液滴吐出ヘッドが測定を実施する対象となる確率が小さくなる。このため、重量測定工程に加えて第二重量測定工程を実施することで、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定するために吐出重量の測定を実施する対象が、第一の液滴吐出ヘッドのみである場合に比べて、測定対象とした液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動することによって、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量が変動したと、誤って判断される可能性を小さくすることができる。

［適用例９］本適用例にかかる液滴吐出ヘッドの保守方法は、液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドを備え、前記複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの液滴吐出ヘッドに前記液状体を供給する液供給要件が共通である第一の複数の液滴吐出ヘッドから成るヘッドグループを備える液滴吐出装置における、液滴吐出ヘッドの保守方法であって、前記ヘッドグループを構成する第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する基準重量測定工程と、前記基準重量測定工程において測定された吐出重量を吐出重量の規格値と比較した結果に基づいて、前記第一の液滴吐出ヘッドに対して吐出条件の補正を実施する基準ヘッド補正工程と、前記基準重量測定工程において測定された吐出重量を吐出重量の規格値と比較した結果に基づいて、前記ヘッドグループを構成する前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第二の液滴吐出ヘッドに対して、吐出条件の補正を実施する第二ヘッド補正工程と、を有することを特徴とする。

この液滴吐出ヘッドの保守方法によれば、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する基準重量測定工程の測定結果に基づいて、第一の液滴吐出ヘッドの吐出条件の補正と、第二の液滴吐出ヘッドの吐出条件の補正と、が実施される。それぞれの液滴吐出ヘッドの吐出条件の補正のために、それぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する場合に比べて、ヘッドグループを構成する液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために要する時間を少なくすることができる。

［適用例１０］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの保守方法において、前記第二ヘッド補正工程において、前記基準ヘッド補正工程において実施された、前記吐出条件の補正と同等の吐出条件の補正を、前記第二の液滴吐出ヘッドに対して、実施することが好ましい。

この液滴吐出ヘッドの保守方法によれば、第一の液滴吐出ヘッドに対して実施するべき吐出条件の補正を決定して、基準ヘッド補正工程において、第一の液滴吐出ヘッドに対して実施し、当該補正をヘッドグループの第二の液滴吐出ヘッドにも適用する。これにより、第二の液滴吐出ヘッドに実施するべき補正を確定するための時間を省略することができる。液滴吐出ヘッドは、規定の吐出重量の液状体を吐出するように予め調整されるが、液状体の粘度などの状態が変動することに起因して吐出重量が変動する可能性がある。吐出重量を測定することで、このような変動を検知することができる。ヘッドグループを構成する第一の複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの液滴吐出ヘッドは、液状体を供給する液供給要件が共通であるため、供給される液状体の条件が略同等である。従って、液状体の状態の変動に起因する吐出重量の変動は、第一の複数の液滴吐出ヘッドにおいて、略同等である可能性が極めて高いため、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量の変動は、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の変動と略同等である可能性が極めて高い。これにより、第一の液滴吐出ヘッドに対して実施する吐出条件の補正と同等の補正を、ヘッドグループを構成する第二の液滴吐出ヘッドにも適用することで、第一の液滴吐出ヘッドにおいて得られる効果と同等の効果が、第二の液滴吐出ヘッドにおいても得られる可能性が極めて高い。

［適用例１１］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの保守方法において、前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドのそれぞれについて、前記吐出条件の補正量に対応する吐出量の変動量である補正変動特性を求める補正変動特性取得工程を更に備え、前記第二ヘッド補正工程では、前記基準ヘッド補正工程において実施された前記吐出条件の補正に対して、前記第一の液滴吐出ヘッドの前記補正変動特性と、前記第二の液滴吐出ヘッドの前記補正変動特性と、の差異に相当する補助補正を加えた、前記吐出条件の第二補正を、前記第二の液滴吐出ヘッドに対して実施することが好ましい。

この液滴吐出ヘッドの保守方法によれば、第二の液滴吐出ヘッドに対しては、基準ヘッド補正工程において実施された補正に対して、第一の液滴吐出ヘッドの補正変動特性と、第二の液滴吐出ヘッドの補正変動特性と、の差異に相当する補助補正を加えた、第二補正が実施される。これにより、それぞれの液滴吐出ヘッドに固有の補正に対する吐出重量の変化を織り込んだ、より適切な吐出条件の補正を、第二の液滴吐出ヘッドに対して実施することができる。

［適用例１２］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの保守方法において、記液供給要件が、前記液状体を貯留する給液タンクであって、前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドは、共通の前記給液タンクに結合されており、当該給液タンクから前記液状体を供給されることが好ましい。

この液滴吐出ヘッドの保守方法によれば、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドには、同一の給液タンクから液状体が供給される。液滴吐出ヘッドに供給されるために貯留されている液状体が同一であって、貯留されている環境条件が同一であるため、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドに供給される液状体の状態が略同等となる。このため、液状体の状態に起因する吐出重量の変動が、ヘッドグループを構成する各液滴吐出ヘッド間で略同一となる。これにより、存在する可能性がある、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定した結果と、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量との差異を、小さくすることができる。即ち、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定した結果に基づいて第二の液滴吐出ヘッドに対して実施する補正を、適切な補正とすることができる。

［適用例１３］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの保守方法において、前記液供給要件が、前記給液タンクから前記液滴吐出ヘッドに至る前記液状体の流路である給液管を含み、前記給液管は、前記給液タンクに結合された主給液管と、前記主給液管に結合された複数の枝給液管とを有し、前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドは、前記複数の枝給液管のそれぞれの枝給液管に結合されて、共通の前記給液タンクから共通の前記主給液管を介して前記液状体を供給されることが好ましい。

この液滴吐出ヘッドの保守方法によれば、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドには、同一の給液タンクから共通の主給液管を介して液状体が供給される。
それぞれの液滴吐出ヘッドに供給されるために給液タンクに貯留されている液状体が、同一であって、貯留されている環境条件が同一である。液滴吐出ヘッドに供給されるために通過する供給経路の主給液管が共通であるため、供給経路が液状体に及ぼす影響が各液滴吐出ヘッド間で、略同等である。これらによって、ヘッドグループを構成する各液滴吐出ヘッドに供給される液状体の状態が略同等となるため、液状体の状態に起因する吐出重量の変動が、ヘッドグループを構成する各液滴吐出ヘッド間で略同一となる。これにより、存在する可能性がある、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定した結果と、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量との差異を、小さくすることができる。即ち、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定した結果に基づいて第二の液滴吐出ヘッドに対して実施する補正を、適切な補正とすることができる。

［適用例１４］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの保守方法において、前記液滴吐出ヘッドの駆動源は圧電素子であって、前記吐出条件の一つは、前記液滴吐出ヘッドに印加する駆動電圧であり、前記補正は、駆動電圧値の補正又は駆動電圧波形の補正を含むことが好ましい。

この液滴吐出ヘッドの保守方法によれば、液滴吐出ヘッドに印加する駆動電圧又は駆動電圧波形を調整することによって、吐出重量の変動を補正することができる。圧電素子を駆動源とする液滴吐出ヘッドは、適切な駆動電圧又は駆動電圧波形を選択することによって吐出量の設定値を実現するため、吐出重量の変動を、駆動電圧又は駆動電圧波形を調整することによって、補正することができる。

［適用例１５］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの保守方法において、前記基準重量測定工程において測定された前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の、基準値に対する差異が、所定の値を超えた場合には、確認検査工程を実施することが好ましい。

この液滴吐出ヘッドの保守方法によれば、確認検査によって、基準重量測定工程における測定結果を検証することができる。測定結果を検証することによって、一時的に発生した吐出重量の変動が測定されることに起因して、当該一時的な変動に対応して不要、又は不適切な対処処置が実施されることを抑制することができる。

［適用例１６］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの保守方法において、前記確認検査工程は、前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を再度測定する再測定工程であることが好ましい。

この液滴吐出ヘッドの保守方法によれば、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を再測定することによって、基準重量測定工程における第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の測定結果を検証することができる。

［適用例１７］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの保守方法において、前記確認検査工程は、前記ヘッドグループを構成する前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第三の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する第二ヘッド測定工程であることが好ましい。

この液滴吐出ヘッドの保守方法によれば、第三の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することによって、基準重量測定工程における第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の測定結果を検証することができる。基準重量測定工程において測定された吐出重量の測定結果に基づいて、第二の液滴吐出ヘッドに対して、第二ヘッド補正工程が実施される。このため、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動した場合であっても、ヘッドグループのそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量が全て変動したと判断されて、吐出重量が変動した場合の補正が第二の液滴吐出ヘッドに対して実施される。確認検査工程として、第三の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することによって、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動した場合に、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量が変動したと、誤って判断されることを抑制して、適正でない補正がヘッドグループの液滴吐出ヘッドに対して実施される可能性を小さくすることができる。

［適用例１８］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの保守方法において、前記確認検査工程は、前記ヘッドグループを構成する全ての前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する全ヘッド測定工程であることが好ましい。

この液滴吐出ヘッドの保守方法によれば、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することによって、基準重量測定工程における第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の測定結果を検証することができる。基準重量測定工程において測定された吐出重量の測定結果に基づいて、第二の液滴吐出ヘッドに対して、第二ヘッド補正工程が実施される。このため、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動した場合であっても、ヘッドグループのそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量が全て変動したと判断されて、吐出重量が変動した場合の補正が第二の液滴吐出ヘッドに対して実施される。確認検査工程として、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することによって、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動した場合に、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量が変動したと、誤って判断されることを抑制して、適正でない補正がヘッドグループの液滴吐出ヘッドに対して実施される可能性を小さくすることができる。

［適用例１９］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの保守方法において、前記ヘッドグループを構成する前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第四の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、前記ヘッドグループを構成するそれぞれの前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する第二基準重量測定工程を、更に有し、前記第二基準重量測定工程における測定結果に基づいて、前記基準ヘッド補正工程及び前記第二ヘッド補正工程を実施することが好ましい。

この液滴吐出ヘッドの保守方法によれば、第四の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する。このため、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドについてそれぞれ吐出重量を測定する場合に比べて、ヘッドグループを構成する液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために要する時間を少なくすることができる。
吐出重量の測定を実施する対象の液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動した場合には、誤って、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量が変動したと、判断される。しかし、測定を実施する対象の液滴吐出ヘッドを交代させることで、他のへ液滴吐出ヘッドと異なる吐出量になった液滴吐出ヘッドが測定を実施する対象となる確率が小さくなる。このため、基準重量測定工程に加えて第二基準重量測定工程を実施することで、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために吐出重量の測定を実施する対象が、第一の液滴吐出ヘッドのみである場合に比べて、測定対象とした液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動することにより、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量が変動したと、誤って判断される可能性を小さくして、適正でない補正がヘッドグループの液滴吐出ヘッドに対して実施される可能性を小さくすることができる。

［適用例２０］本適用例にかかる液滴吐出装置は、液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドと、前記複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの液滴吐出ヘッドに臨む位置に移動可能であり、前記液滴吐出ヘッドが吐出する前記液状体を受けることが可能な重量測定受器を有し、吐出された前記液状体の重量を測定する重量測定ユニットと、前記重量測定ユニットを制御する重量測定制御ユニットと、複数の液供給部を有し、前記複数の液供給部におけるそれぞれの液供給部の協働によって、前記複数の液滴吐出ヘッドにおけるそれぞれの液滴吐出ヘッドに前記液状体を供給する液供給ユニットと、を備え、前記複数の液滴吐出ヘッドは、共通の前記液供給部に接続されて前記液状体の供給を受ける第一の複数の液滴吐出ヘッドを有し、前記重量測定制御ユニットは、前記重量測定ユニットを制御して、前記第一の複数の液滴吐出ヘッドから成るヘッドグループに含まれる第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、前記ヘッドグループを構成する前記第一の複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定することを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する。このため、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドについてそれぞれ吐出重量を測定する場合に比べて、ヘッドグループを構成する液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために要する時間を少なくすることができる。

［適用例２１］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドの吐出条件を設定する吐出条件設定部を更に備え、前記吐出条件設定部は、前記重量測定ユニットが測定した前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の測定結果に基づいて、前記第一の液滴吐出ヘッド、及び前記ヘッドグループに含まれる前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第二の液滴吐出ヘッドに対して、それぞれ吐出条件の補正を実施することが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する基準重量測定の測定結果に基づいて、第一の液滴吐出ヘッドの吐出条件の補正と、第二の液滴吐出ヘッドの吐出条件の補正と、が実施される。それぞれの液滴吐出ヘッドの吐出条件の補正のために、それぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する場合に比べて、ヘッドグループを構成する液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために要する時間を少なくすることができる。

［適用例２２］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記吐出条件設定部は、前記重量測定ユニットが測定した前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の測定結果に基づいて、前記第一の液滴吐出ヘッド、及び前記第二の液滴吐出ヘッドに対して、それぞれ吐出条件の同一の補正を実施することが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、第一の液滴吐出ヘッドに対して実施するべき吐出条件の補正を決定して、ヘッドグループの第二の液滴吐出ヘッドにも適用する。これにより、第二の液滴吐出ヘッドに実施するべき補正を確定するための時間を省略することができる。
液滴吐出ヘッドは、規定の吐出重量の液状体を吐出するように予め調整されるが、液状体の粘度などの状態が変動することに起因して吐出重量が変動する可能性がある。吐出重量を測定することで、このような変動を検知することができる。ヘッドグループを構成する第一の複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの液滴吐出ヘッドは、液状体を供給する液供給要件が共通であるため、供給される液状体の条件が略同等である。従って、液状体の状態の変動に起因する吐出重量の変動は、第一の複数の液滴吐出ヘッドにおいて、略同等である可能性が極めて高いため、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量の変動は、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の変動と略同等である可能性が極めて高い。これにより、第一の液滴吐出ヘッドに対して実施する吐出条件の補正と同等の補正を、ヘッドグループを構成する第二の液滴吐出ヘッドにも適用することで、第一の液滴吐出ヘッドにおいて得られる効果と同等の効果が、第二の液滴吐出ヘッドにおいても得られる可能性が極めて高い。

［適用例２３］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドのそれぞれについて、前記吐出条件の補正量に対応する吐出量の変動量である補正変動特性の情報を取得する補正変動特性取得部を更に備え、前記吐出条件設定部は、前記第一の液滴吐出ヘッドに対して実施された前記吐出条件の補正に対して、前記第一の液滴吐出ヘッドの前記補正変動特性と、前記第二の液滴吐出ヘッドの前記補正変動特性と、の差異に相当する補助補正を加えた、前記吐出条件の第二補正を、前記第二の液滴吐出ヘッドに対して実施することが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、第二の液滴吐出ヘッドに対しては、基準ヘッド補正工程において実施された補正に対して、第一の液滴吐出ヘッドの補正変動特性と、第二の液滴吐出ヘッドの補正変動特性と、の差異に相当する補助補正を加えた、第二補正が実施される。これにより、それぞれの液滴吐出ヘッドに固有の補正に対する吐出重量の変化を織り込んだ、より適切な吐出条件の補正を、第二の液滴吐出ヘッドに対して実施することができる。

［適用例２４］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記液供給部が、前記液状体を貯留する給液タンクであって、前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドは、共通の前記給液タンクに結合されており、当該給液タンクから前記液状体を供給されることが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドには、同一の給液タンクから液状体が供給される。液滴吐出ヘッドに供給されるために貯留されている液状体が同一であって、貯留されている環境条件が同一であるため、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドに供給される液状体の状態が略同等となる。このため、液状体の状態に起因する吐出重量の変動が、ヘッドグループを構成する各液滴吐出ヘッド間で略同一となる。これにより、存在する可能性がある、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定した結果と、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量との差異を、小さくすることができる。即ち、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定した結果に基づいて第二の液滴吐出ヘッドに対して実施する補正を、適切な補正とすることができる。

［適用例２５］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記液供給部が、前記給液タンク及び前記給液タンクから前記液滴吐出ヘッドに至る前記液状体の流路である給液管であって、前記給液管は、前記給液タンクに結合された主給液管と、前記主給液管に結合された複数の枝給液管とを有し、前記ヘッドグループに含まれる前記液滴吐出ヘッドは、前記複数の枝給液管のそれぞれの枝給液管に結合されて、共通の前記給液タンクから共通の前記主給液管を介して前記液状体を供給されることが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドには、同一の給液タンクから共通の主給液管を介して液状体が供給される。
それぞれの液滴吐出ヘッドに供給されるために給液タンクに貯留されている液状体が、同一であって、貯留されている環境条件が同一である。液滴吐出ヘッドに供給されるために通過する供給経路の主給液管が共通であるため、供給経路が液状体に及ぼす影響が各液滴吐出ヘッド間で、略同等である。これらによって、ヘッドグループを構成する各液滴吐出ヘッドに供給される液状体の状態が略同等となるため、液状体の状態に起因する吐出重量の変動が、ヘッドグループを構成する各液滴吐出ヘッド間で略同一となる。これにより、存在する可能性がある、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定した結果と、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量との差異を、小さくすることができる。即ち、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定した結果に基づいて第二の液滴吐出ヘッドに対して実施する補正を、適切な補正とすることができる。

［適用例２６］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記重量測定制御ユニットは、前記ヘッドグループを構成する前記第一の複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定するために、重量測定ユニットを制御して、前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の測定を実施する際に、少なくとも、１回の吐出重量測定の機会と次の吐出重量測定の機会とにおいて、異なる液滴吐出ヘッドを、前記第一の液滴吐出ヘッドとして用いることが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定するために吐出重量の測定を実施する第一の吐出ヘッドとしての液滴吐出ヘッドは、吐出重量を測定する機会によって異なる液滴吐出ヘッドが、重量測定制御ユニットによって選択される。
吐出重量の測定を実施する対象の液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動した場合には、誤って、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量が変動したと、判断される。しかし、測定を実施する対象の液滴吐出ヘッドを交代させることで、他のへ液滴吐出ヘッドと異なる吐出量になった液滴吐出ヘッドが測定を実施する対象となる確率が小さくなる。このため、１回の吐出重量測定の機会と次の吐出重量測定の機会とにおいて、異なる液滴吐出ヘッドを、第一の液滴吐出ヘッドとして用いることで、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定するために吐出重量の測定を実施する対象が、単一の液滴吐出ヘッドのみである場合に比べて、測定対象とした液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動することにより、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量が変動したと、誤って判断される可能性を小さくして、誤った補正がヘッドグループの液滴吐出ヘッドに対して実施される可能性を小さくすることができる。

［適用例２７］本適用例にかかる液滴吐出方法は、複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの液滴吐出ヘッドから液状体を吐出することによって、前記液状体を着弾させる対象である基材上に前記液状体を配置する描画吐出工程と、それぞれの前記液滴吐出ヘッドに前記液状体を供給する液供給要件が共通である第一の複数の液滴吐出ヘッドから成るヘッドグループに含まれる第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、前記ヘッドグループを構成する前記第一の複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する基準重量測定工程と、を有することを特徴とする。

この液滴吐出方法によれば、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する。このため、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドについてそれぞれ吐出重量を測定する場合に比べて、ヘッドグループを構成する液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために要する時間を少なくすることができる。

［適用例２８］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記基準重量測定工程において測定された吐出重量を吐出重量の規格値と比較した結果に基づいて、前記第一の液滴吐出ヘッドに対して吐出条件の補正を実施する基準ヘッド補正工程と、前記基準重量測定工程において測定された吐出重量を吐出重量の規格値と比較した結果に基づいて、前記ヘッドグループを構成する前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第二の液滴吐出ヘッドに対して、吐出条件の補正を実施する第二ヘッド補正工程と、を更に有することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する基準重量測定工程の測定結果に基づいて、第一の液滴吐出ヘッドの吐出条件の補正と、第二の液滴吐出ヘッドの吐出条件の補正と、が実施される。それぞれの液滴吐出ヘッドの吐出条件の補正のために、それぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する場合に比べて、ヘッドグループを構成する液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために要する時間を少なくすることができる。

［適用例２９］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記第二ヘッド補正工程では、前記第二の液滴吐出ヘッドに対して、前記基準ヘッド補正工程において実施された、前記吐出条件の補正と同等の吐出条件の補正を実施することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、第一の液滴吐出ヘッドに対して実施するべき吐出条件の補正を決定して、基準ヘッド補正工程において、第一の液滴吐出ヘッドに対して実施し、当該補正をヘッドグループの第二の液滴吐出ヘッドにも適用する。これにより、第二の液滴吐出ヘッドに実施するべき補正を確定するための時間を省略することができる。液滴吐出ヘッドは、規定の吐出重量の液状体を吐出するように予め調整されるが、液状体の粘度などの状態が変動することに起因して吐出重量が変動する可能性がある。吐出重量を測定することで、このような変動を検知することができる。ヘッドグループを構成する第一の複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの液滴吐出ヘッドは、液状体を供給する液供給要件が共通であるため、供給される液状体の条件が略同等である。従って、液状体の状態の変動に起因する吐出重量の変動は、第一の複数の液滴吐出ヘッドにおいて、略同等である可能性が極めて高いため、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量の変動は、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の変動と略同等である可能性が極めて高い。これにより、第一の液滴吐出ヘッドに対して実施する吐出条件の補正と同等の補正を、ヘッドグループを構成する第二の液滴吐出ヘッドにも適用することで、第一の液滴吐出ヘッドにおいて得られる効果と同等の効果が、第二の液滴吐出ヘッドにおいても得られる可能性が極めて高い。

［適用例３０］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドのそれぞれについて、前記吐出条件の補正量に対応する吐出量の変動量である補正変動特性を求める補正変動特性取得工程を更に備え、前記第二ヘッド補正工程では、前記基準ヘッド補正工程において実施された前記吐出条件の補正に対して、前記第一の液滴吐出ヘッドの前記補正変動特性と、前記第二の液滴吐出ヘッドの前記補正変動特性と、の差異に相当する補助補正を加えた、前記吐出条件の第二補正を、前記第二の液滴吐出ヘッドに対して実施することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、第二の液滴吐出ヘッドに対しては、基準ヘッド補正工程において実施された補正に対して、第一の液滴吐出ヘッドの補正変動特性と、第二の液滴吐出ヘッドの補正変動特性と、の差異に相当する補助補正を加えた、第二補正が実施される。これにより、それぞれの液滴吐出ヘッドに固有の補正に対する吐出重量の変化を織り込んだ、より適切な吐出条件の補正を、第二の液滴吐出ヘッドに対して実施することができる。

［適用例３１］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記液供給要件が、前記液状体を貯留する給液タンクであって、前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドは、共通の前記給液タンクに結合されており、当該給液タンクから前記液状体を供給されることが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドには、同一の給液タンクから液状体が供給される。液滴吐出ヘッドに供給されるために貯留されている液状体が同一であって、貯留されている環境条件が同一であるため、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドに供給される液状体の状態が略同等となる。このため、液状体の状態に起因する吐出重量の変動が、ヘッドグループを構成する各液滴吐出ヘッド間で略同一となる。これにより、存在する可能性がある、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定した結果と、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量との差異を、小さくすることができる。即ち、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定した結果に基づいて第二の液滴吐出ヘッドに対して実施する補正を、適切な補正とすることができる。

［適用例３２］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記液供給要件が、前記給液タンクから前記液滴吐出ヘッドに至る前記液状体の流路である給液管を含み、前記給液管は、前記給液タンクに結合された主給液管と、前記主給液管に結合された複数の枝給液管とを有し、前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドは、前記複数の枝給液管のそれぞれの枝給液管に結合されて、共通の前記給液タンクから共通の前記主給液管を介して前記液状体を供給されることが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドには、同一の給液タンクから共通の主給液管を介して液状体が供給される。
それぞれの液滴吐出ヘッドに供給されるために給液タンクに貯留されている液状体が、同一であって、貯留されている環境条件が同一である。液滴吐出ヘッドに供給されるために通過する供給経路の主給液管が共通であるため、供給経路が液状体に及ぼす影響が各液滴吐出ヘッド間で、略同等である。これらによって、ヘッドグループを構成する各液滴吐出ヘッドに供給される液状体の状態が略同等となるため、液状体の状態に起因する吐出重量の変動が、ヘッドグループを構成する各液滴吐出ヘッド間で略同一となる。これにより、存在する可能性がある、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定した結果と、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量との差異を、小さくすることができる。即ち、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定した結果に基づいて第二の液滴吐出ヘッドに対して実施する補正を、適切な補正とすることができる。

［適用例３３］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記液滴吐出ヘッドの駆動源は圧電素子であって、前記吐出条件の一つは、前記液滴吐出ヘッドに印加する駆動電圧であり、前記補正は、駆動電圧値の補正又は駆動電圧の波形の補正を含むことが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、液滴吐出ヘッドに印加する駆動電圧又は駆動電圧波形を調整することによって、吐出重量の変動を補正することができる。圧電素子を駆動源とする液滴吐出ヘッドは、適切な駆動電圧又は駆動電圧波形を選択することによって吐出量の設定値を実現するため、吐出重量の変動を、駆動電圧又は駆動電圧波形を調整することによって、補正することができる。

［適用例３４］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記基準重量測定工程において測定された前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の、基準値に対する差異が、所定の値を超えた場合には、確認検査工程を実施することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、確認検査によって、基準重量測定工程における測定結果を検証することができる。測定結果を検証することによって、一時的に発生した吐出重量の変動が測定されることに起因して、当該一時的な変動に対応して不要、又は不適切な対処処置が実施されることを抑制することができる。

［適用例３５］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記確認検査工程は、前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を再度測定する再測定工程であることが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を再測定することによって、基準重量測定工程における第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の測定結果を検証することができる。

［適用例３６］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記確認検査工程は、前記ヘッドグループを構成する前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第三の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する第二ヘッド測定工程であることが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、第三の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することによって、基準重量測定工程における第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の測定結果を検証することができる。第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、ヘッドグループのそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定するため、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動した場合であっても、ヘッドグループのそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量が全て変動したと、判断される。確認検査工程として、第三の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することによって、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動した場合に、ヘッドグループの液滴吐出ヘッドの吐出重量が全て変動したと、誤って判断されることを抑制して、適正でない補正がヘッドグループの液滴吐出ヘッドに対して実施される可能性を小さくすることができる。

［適用例３７］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記確認検査工程は、前記ヘッドグループを構成する全ての前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する全ヘッド測定工程であることが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することによって、基準重量測定工程における第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の測定結果を検証することができる。第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、ヘッドグループのそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定するため、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動した場合であっても、ヘッドグループのそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量が全て変動したと、判断される。確認検査工程として、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することによって、第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動した場合に、ヘッドグループの液滴吐出ヘッドの吐出重量が全て変動したと、誤って判断されることを抑制して、適正でない補正がヘッドグループの液滴吐出ヘッドに対して実施される可能性を小さくすることができる。

［適用例３８］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記ヘッドグループを構成する前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第四の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、前記ヘッドグループを構成するそれぞれの前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する第二基準重量測定工程を、更に有し、前記第二基準重量測定工程における測定結果に基づいて、前記基準ヘッド補正工程及び前記第二ヘッド補正工程を実施することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、第四の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する。このため、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドについてそれぞれ吐出重量を測定する場合に比べて、ヘッドグループを構成する液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために要する時間を少なくすることができる。
吐出重量の測定を実施する対象の液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動した場合には、誤って、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量が変動したと、判断される。しかし、測定を実施する対象の液滴吐出ヘッドを交代させることで、他のへ液滴吐出ヘッドと異なる吐出量になった液滴吐出ヘッドが測定を実施する対象となる確率が小さくなる。このため、基準重量測定工程に加えて第二基準重量測定工程を実施することで、ヘッドグループを構成するそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定するために吐出重量の測定を実施する対象が、第一の液滴吐出ヘッドのみである場合に比べて、測定対象とした液滴吐出ヘッドの吐出重量のみが変動することによって、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドの吐出重量が変動したと、誤って判断される可能性を小さくして、適正でない補正がヘッドグループの液滴吐出ヘッドに対して実施される可能性を小さくすることができる。

以下、吐出重量測定方法、液滴吐出ヘッドの保守方法、液滴吐出装置、及び液滴吐出方法の一実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、例えば、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、顔料を含む機能液や発光性の樹脂を含む機能液を導入した液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の発光素子等を形成するものである。

＜液滴吐出法＞
最初に、カラーフィルタなどの形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ²程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。

また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状材料に熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えない、駆動電圧を調整することによって、液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態では、液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の制御性が良いことから上記ピエゾ方式を用いる。

＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置の全体構成について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１７（図４参照）を有する吐出ユニット２と、ワークユニット３と、検査ユニット４と、メンテナンスユニット５と、給液ユニット７と、吐出装置制御部６（図６参照）とを備えている。
吐出ユニット２は、液状体である機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７を１２０個有している。ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台２１を有している。給液ユニット７は、機能液タンク６１と、サブタンク６２と、中継タンク６３を有する中継ユニット６３Ａと、これらのタンク間及び液滴吐出ヘッド１７を連通する供給管６６ａ，６６ｂ，６６ｃと、を備えている。給液ユニット７は、サブタンク６２と、中継タンク６３と供給管６６ａ，６６ｂ，６６ｃとを介して、機能液１０（図１４（ｂ）参照）を、機能液タンク６１から液滴吐出ヘッド１７へ供給する。検査ユニット４は、液滴吐出ヘッド１７からの吐出状態を検査するための、吐出検査ユニット１８及び重量測定ユニット１９を有しており、重量測定ユニット１９にはフラッシングユニット１４が併設されている。メンテナンスユニット５は、液滴吐出ヘッド１７の保守を行う吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６を有している。吐出装置制御部６は、これら各機構部等を総括的に制御する。後述する重量測定処理、描画処理、吐出検査処理、及びメンテナンス処理などは、吐出装置制御部６による制御に基づいて行われている。

液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１Ａを備え、各ユニットなどが、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されている。Ｘ軸テーブル１１は、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されており、ワーク載置台２１をＸ軸方向（主走査方向）に移動させる。Ｙ軸テーブル１２は、複数本の支柱９Ａを介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース９の上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在している。吐出ユニット２は、それぞれ１２個の液滴吐出ヘッド１７を有するキャリッジユニット５１を、１０個備えている。１０個のキャリッジユニット５１は、１０個のブリッジプレート５２のそれぞれに吊設されている。ブリッジプレート５２は、Ｙ軸スライダ（図示省略）を介して、Ｙ軸テーブル１２に、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。Ｙ軸テーブル１２は、ブリッジプレート５２（キャリッジユニット５１）を、Ｙ軸方向（副走査方向）に移動させる。
Ｘ軸テーブル１１及びＹ軸テーブル１２の駆動と同期して液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液滴を吐出させ、ワーク載置台２１の上に載置されたワークＷに対して、任意の描画パターンを描画する。

吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット１６２（図２参照）とを有している。検査描画ユニット１６１は、重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一体に移動するように構成されている。検査描画ユニット１６１と、重量測定ユニット１９と、フラッシングユニット１４とが一体に設けられたブロックを、吐出検査ブロック４ａと表記する。撮像ユニット１６２は、２個の検査カメラ１６３，１６３（図２参照）と、検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４（図２参照）と、を有している。カメラ移動機構１６４は、Ｙ軸支持ベース９に固定されている。２個の検査カメラ１６３，１６３は、カメラ移動モータ（図２では図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。

メンテナンスユニット５が備える吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台８の上に配設されている。吸引ユニット１５は、複数の分割吸引ユニット１４１を有し、液滴吐出ヘッド１７を吸引して、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８（図４参照）から機能液を強制的に排出させる。ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート１５１を有し、吸引後の液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａ（図４参照）を拭き取る（ワイピングを行う）ものである。このようにして、吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、液滴吐出ヘッド１７の保守を行い、液滴吐出ヘッド１７の機能維持又は機能回復を図るようになっている。

次に、液滴吐出装置１の各構成要素について、図１に加えて、図２及び図３を参照して説明する。図２及び図３は、液滴吐出装置の概略構成を示す側面図である。図２は、Ｘ軸方向に延在する側面の側面図であり、図３は、Ｙ軸方向に延在する側面の側面図である。
図１、図２、又は図３に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸第１スライダ２２と、Ｘ軸第２スライダ２３と、左右一対のＸ軸リニアモータ２６と、一対のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。

Ｘ軸第１スライダ２２には、ワーク載置台２１が取付けられている。Ｘ軸第１スライダ２２は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸第２スライダ２３には、検査描画ユニット１６１と、重量測定ユニット１９と、フラッシングユニット１４とが一体に設けられた吐出検査ブロック４ａが取付けられている。Ｘ軸第２スライダ２３は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸リニアモータ２６は、Ｘ軸共通支持ベース２４に並設されており、Ｘ軸第１スライダ２２又はＸ軸第２スライダ２３をＸ軸共通支持ベース２４に沿って移動させることによって、ワーク載置台２１（ワーク載置台２１に載置されたワークＷ）又は吐出検査ブロック４ａをＸ軸方向に移動させる。Ｘ軸第１スライダ２２とＸ軸第２スライダ２３とは、Ｘ軸リニアモータ２６により個別に駆動可能である。

ワーク載置台２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向にθ補正するためのθテーブル３２等を有している。図１及び図２におけるワーク載置台２１の位置が、ワークＷの給除材を行うための給除材位置となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入（給材）するときや、処理済のワークＷを回収（除材）するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させるようになっている。当該給除材位置において、ロボットアーム（図示省略）により、吸着テーブル３１に対するワークＷの搬入・搬出（載換え）が行われる。また、吸着テーブル３１には、給材されたワークＷをＸ軸方向及びＹ軸方向に寄せこむようにして、これをプリアライメントする機構（図示省略）が組み込まれている。吸着テーブル３１に給材された未処理のワークＷのアライメントは、θテーブル３２を用いて、給除材位置において実施される。ワーク載置台２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、描画前フラッシングユニット１１１の一対の描画前フラッシングボックス１２１が添設されている。

画像認識ユニット８０は、２台のアライメントカメラ８１，８１と、カメラ移動機構８２と、を有している。カメラ移動機構８２は、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に、Ｙ軸方向に延在して、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように配設されている。アライメントカメラ８１は、カメラホルダ（図示省略）を介して、カメラ移動機構８２に、Ｙ軸方向にスライド自在に支持されている。カメラ移動機構８２に支持されたアライメントカメラ８１は、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、Ｘ軸テーブル１１の上のワーク載置台２１に載置されたワークＷの各基準マーク（アライメントマーク）（図示省略）を画像認識することができる。２台のアライメントカメラ８１，８１は、カメラ移動モータ（図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。

各アライメントカメラ８１は、ワーク載置台２１のＸ軸方向への移動と協働して、カメラ移動機構８２によりＹ軸方向に移動しながら、上記ロボットアームが給材した各種ワークＷのアライメントマークを撮像して、各種ワークＷの位置認識を実施する。そして、このアライメントカメラ８１の撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正が実施される。

Ｙ軸テーブル１２は、１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。一対のＹ軸リニアモータは、上記した一対のＹ軸支持ベース９，９の上にそれぞれ設置されて、Ｙ軸方向に延在している。２０個（１０組）のＹ軸スライダは、一対のＹ軸支持ベース９，９のそれぞれに各１０個ずつ摺動自在に支持されている。一対のＹ軸支持ベース９，９のそれぞれに支持された各１個のＹ軸スライダからなる１組のＹ軸スライダは、吐出ユニット２を構成するキャリッジユニット５１が固定されたブリッジプレート５２を両持ちで支持している。吐出ユニット２を構成する１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ固定した１０個のブリッジプレート５２は、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダを介して、一対のＹ軸支持ベース９，９の上に設置されている。

一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース９，９を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向に移動し、ブリッジプレート５２に吊設されたキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。

キャリッジユニット５１は、１２個の液滴吐出ヘッド１７と、１２個の液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するサブキャリッジ５３と、を有するヘッドユニット５４を備えている（図５参照）。また、キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット５４をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構３３と、θ回転機構３３を介して、ヘッドユニット５４をブリッジプレート５２に支持させる吊設部材３４と、を備えている。

＜液滴吐出ヘッドの構成＞
次に、液滴吐出ヘッド１７について、図４を参照して説明する。図４は、液滴吐出ヘッドの概要を示す外観斜視図である。

図４に示すように、この液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１に連なる方形のヘッド本体７４と、液体導入部７１とヘッド本体７４との間から側方に突出するヘッド基板７３と、を備えている。ヘッド本体７４は、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズル形成プレート７６と、を有している。ノズル形成プレート７６には、ノズル形成面７６ａに開口する吐出ノズル７８が形成されている。液滴吐出ヘッド１７においては、１列あたり１８０個の吐出ノズル７８からなるノズル列７８ｂが２列形成されている。ポンプ部７５には、ピエゾ圧電素子が設けられており、当該ピエゾ圧電素子を駆動することによって、液体導入部７１から供給されてきた機能液を吐出ノズル７８から吐出する。１個の吐出ノズル７８に対応して１個のピエゾ圧電素子が設けられており、それぞれの吐出ノズル７８ごとに独立して機能液を吐出することができる。ヘッド基板７３には、一対のコネクタ７７，７７が設けられている。このコネクタ７７が、ＦＦＣケーブルなどによって、吐出装置制御部６と接続されている中継基板と接続されることで、液滴吐出ヘッド１７が吐出装置制御部６と接続される。

液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取付けられた状態では、ノズル列７８ｂはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列７８ｂをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置ずれしている。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。以降、この直線を「ヘッドノズル線」と表記する。

＜ヘッドユニット＞
次に、ヘッドユニット５４の全体構成について、図５を参照して説明する。図５は、ヘッドユニットの外観斜視図である。図５（ａ）は、ヘッドユニットを、取付けられた液滴吐出ヘッドの液体導入部側から見た外観斜視図であり、（ｂ）は、ヘッドユニットを、取付けられた液滴吐出ヘッドのノズルプレート側から見た外観斜視図である。図５に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット５４が液滴吐出装置１に取付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。

図５に示すように、ヘッドユニット５４は、サブキャリッジ５３と、サブキャリッジ５３に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、ヘッド保持部材５７を介してサブキャリッジ５３に固定されており、液体導入部７１及びコネクタ７７は、サブキャリッジ５３に形成された孔に遊嵌している。液体導入部７１の接続針７２には、供給管６６ｃ（図５では模式的に線分で表示した。より詳細な形状は、図１４参照）が、コネクタ７７には、ＦＦＣケーブル（図示省略）が、サブキャリッジ５３に関してノズル形成プレート７６の反対側から接続されている。ヘッド保持部材５７は、液滴吐出ヘッド１７をサブキャリッジ５３に精度良く位置決めすると共に、サブキャリッジ５３への着脱を容易にするためのものである。

１２個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ６個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド群５５を２群形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８ｂはＹ軸方向に延在している。一つのヘッド群５５が有する６個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置するように、位置決めされている。
仮に、ヘッド群５５が有する６個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。即ち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。以降、この直線を「群ノズル線」と表記する。Ｙ軸方向において、吐出ノズル７８の位置がこのように配置された液滴吐出ヘッド１７は、ヘッド本体７４などがＹ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に配置されてヘッド群５５を構成している。

ヘッドユニット５４が有する二つのヘッド群５５は、Ｙ軸方向に一つのヘッド群５５分の間隔を隔てて配置されている。即ち、一つのヘッドユニット５４の吐出ノズル７８から１滴ずつ吐出させて、Ｘ軸方向が同じ位置になるように着弾させると、群ノズル線一本の長さ分の間隔を隔てて、２本の群ノズル線が形成される。ヘッドユニット５４を、Ｙ軸方向に一つのヘッド群５５分移動させて、同様に２本の群ノズル線を形成することで、群ノズル線が４本連なった直線が形成される。当該直線は、設計上では、ノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８の数の４８倍の数の点が、ノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８のノズルピッチの半分の間隔（ノズルピッチ）で、連なっている。

隣合うヘッドユニット５４も、それぞれのヘッド群５５が、互いにＹ軸方向に一つのヘッド群５５分の間隔を隔てて配置されるように位置することが可能である。従って、群ノズル線の長さ相当のＹ軸方向の移動を挟んで、それぞれ、吐出ユニット２が有する各吐出ノズル７８に１滴ずつ機能液を吐出させることで、Ｙ軸方向に延在する一直線を形成することができる。この、吐出ユニット２が有する全１２０個の液滴吐出ヘッド１７が各２回の吐出で描画できるラインの長さは、ワーク載置台２１に搭載可能な最大サイズのワークＷの幅に対応している。

なお、ノズル列７８ｂの端の方における吐出ノズル７８のいくつかを使用しない場合には、使用しない吐出ノズル７８が、使用する吐出ノズル７８と、Ｙ軸方向において重なるように、液滴吐出ヘッド１７を配置する。

＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図６を参照して説明する。図６は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、制御装置３５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置３５は、演算処理を行うホストコンピュータ３６と、液滴吐出装置１に入出力する情報を入出力するための入出力装置３８とを有し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）３７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置３８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。

液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドドライバ２ｄと、駆動機構ドライバ４０ｄと、給液ドライバ７ｄと、メンテナンスドライバ５ｄと、検査ドライバ４ｄと、検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４３、を有している。これらは、データバス４９を介して互いに電気的に接続されている。

インタフェイス４７は、制御装置３５とデータの授受を行い、ＣＰＵ４４は、制御装置３５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ４４からの指令に従って、制御装置３５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶している。ハードディスク４８は、制御装置３５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶したりしている。

ヘッドドライバ２ｄには、吐出ユニット２を構成する液滴吐出ヘッド１７が接続されている。ヘッドドライバ２ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド１７を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバ４０ｄには、Ｙ軸テーブル１２のヘッド移動モータと、Ｘ軸テーブル１１のＸ軸リニアモータ２６と、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構４１とが接続されている。各種駆動機構は、上記した、アライメントカメラ８１を移動するためのカメラ移動モータや、θ回転機構３３の駆動モータなどである。駆動機構ドライバ４０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動して、液滴吐出ヘッド１７とワークＷとを相対移動させてワークＷの任意の位置と液滴吐出ヘッド１７とを対向させ、ヘッドドライバ２ｄと協働して、ワークＷ上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。

メンテナンスドライバ５ｄには、メンテナンスユニット５の吸引ユニット１５と、ワイピングユニット１６と、フラッシングユニット１４とが接続されている。メンテナンスドライバ５ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、又はフラッシングユニット１４を駆動して、液滴吐出ヘッド１７の保守作業を実施させる。

検査ドライバ４ｄには、検査ユニット４の吐出検査ユニット１８と、重量測定ユニット１９とが接続されている。検査ドライバ４ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吐出検査ユニット１８、又は重量測定ユニット１９を駆動して、吐出重量や吐出の可否や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態の検査を実施させる。

給液ドライバ７ｄには、給液ユニット７が接続されている。給液ドライバ７ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って給液ユニット７を駆動して、液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する。検出部インタフェイス４３には、各種センサを含む検出部４２が接続されている。検出部４２の各センサによって検出された検出情報が検出部インタフェイス４３を介してＣＰＵ４４に伝達される。

＜吐出検査ユニット＞
次に、吐出検査ユニット１８について、図７を参照して説明する。図１を参照して説明したように、吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット１６２とを有している。検査描画ユニット１６１は、重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一体に移動するように構成されている。図７は、検査描画ユニットの全体構成を示す外観斜視図である。

吐出検査ユニット１８は、吐出ユニット２を構成する全液滴吐出ヘッド１７（の吐出ノズル７８）から機能液が適切に吐出されているか否かを検査するためのものである。検査描画ユニット１６１は、吐出ユニット２を構成する全ヘッドユニット５４が備える全液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル７８から検査吐出された機能液を受けられるように構成されている。撮像ユニット１６２は、検査描画ユニット１６１に描画された検査パターン（着弾ドットのパターン）を撮像して検査する。上述したように、検査描画ユニット１６１はＸ軸テーブル１１に搭載されている。撮像ユニット１６２はＹ軸テーブル１２直下で、Ｙ軸支持ベース９に固定されて検査位置に固定的に設けられており、２個の検査カメラ１６３，１６３は、それぞれ独立してＹ軸方向に移動可能である。

図７に示すように、検査描画ユニット１６１は、検査シート１８１と、検査ステージ１８２と、シート送り手段１８３と、シート送り支持部材１８４と、ユニットベース１８５と、真空センサ（図示省略）と、を備えている。検査シート１８１は、液滴吐出ヘッド１７から検査吐出された機能液の液滴を着弾させるための帯状のシートで、Ｙ軸方向に延在している。検査ステージ１８２はＹ軸方向に延在しており、検査ステージ１８２の上に検査シート１８１が載っている。シート送り手段１８３が、非検査済み部分を検査ステージ１８２に送り込むように、かつ検査シート１８１の検査済み部分を検査ステージ１８２から送り出すように、検査シート１８１を移動させる。シート送り手段１８３は、シート送り支持部材１８４に支持されており、シート送り支持部材１８４は、ユニットベース１８５に支持されている。真空センサは、検査ステージ１８２上に載置される検査シート１８１のセット不良を検出する。

図２を参照して説明したように、撮像ユニット１６２は、２個の検査カメラ１６３，１６３と、検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４と、を有している。検査カメラ１６３は、検査シート１８１に検査吐出された着弾ドットを画像認識するもので、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨む姿勢で、Ｙ軸支持ベース９に固定されたカメラ移動機構１６４を介して、Ｙ軸方向にスライド自在にＹ軸支持ベース９に支持されている。

検査描画ユニット１６１は、吸着テーブル３１が給除材位置に移動したときに、検査シート１８１が撮像ユニット１６２の検査カメラ１６３に臨む位置に移動して当該位置に位置することが可能である。即ち、撮像ユニット１６２は、ワークＷの載換え中及びアライメント中に、検査パターンの撮像を実施することができる。２個の検査カメラ１６３，１６３による撮像結果は、吐出装置制御部６に送信されて画像認識される。この画像認識に基づいて、各液滴吐出ヘッド１７の各吐出ノズル７８が正常に機能液を吐出しているか（ノズル詰まりがないか、吐出量は正常か）否かが判定される。ノズル詰まりは、液滴の着弾の有無で判定できる。吐出量は、着弾した液滴の大きさで、過多又は過少が判定できる。また、着弾した液滴の相対位置が規定された位置であるか否かが判定される。これらの判定もワーク載換え中及びアライメント中に行われる。

＜重量測定ブロック＞
次に、重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４について、図８を参照して説明する。図８は、重量測定ユニットの部分及びフラッシングユニットの部分を含む重量測定ブロックの図である。図８（ａ）は、重量測定ブロックの平面図であり、図８（ｂ）は、重量測定ブロックの側面図である。上述したように、重量測定ユニット１９、フラッシングユニット１４、及び検査描画ユニット１６１が一体に設けられた吐出検査ブロック４ａが、一体に移動するように構成されている。

図８に示すように、重量測定ブロック９１Ａは、４つの重量測定装置９１と、支持フレーム９２とを備えている。支持フレーム９２は、４つの重量測定装置９１を支持しており、支持フレーム９２がＸ軸第２スライダ２３に固定されて、重量測定ブロック９１ＡがＸ軸第２スライダ２３に搭載されている。吐出検査ブロック４ａは、５つの重量測定ブロック９１Ａを有し、合計２０個の重量測定装置９１が、Ｙ軸方向に並んで、Ｘ軸第２スライダ２３に搭載されている。一つの重量測定装置９１が一つのヘッド群５５に対応しており、並列する二つの重量測定装置９１が、一つのヘッドユニット５４に対応している。

重量測定装置９１は、定期フラッシングボックス９３と、受液容器９４と、電子天秤９９（図８（ａ）では受液容器９４の下に隠れている）と、重量測定時フラッシングボックス９５と、機能液吸収材９７と、押えプレート９８と、これらを収容するケース９６と、を有している。定期フラッシングボックス９３と、重量測定時フラッシングボックス９５と、機能液吸収材９７と、押えプレート９８とは、フラッシングユニット１４に含まれる。フラッシングユニット１４には、２０個の重量測定装置９１のそれぞれに形成されている、それぞれ２０個の、定期フラッシングボックス９３と、重量測定時フラッシングボックス９５とが含まれる。受液容器９４と、電子天秤９９とは、重量測定ユニット１９に含まれる。重量測定ユニット１９には、２０個の重量測定装置９１のそれぞれに形成されている、それぞれ２０個の、受液容器９４と、電子天秤９９とが含まれる。

＜重量測定ユニット＞
受液容器９４は、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７のうち、任意の１個の液滴吐出ヘッド１７のみに対向して、当該液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることができる大きさである。受液容器９４は、電子天秤９９の上に載っており、電子天秤９９は受液容器９４の重量を測定することで、受液容器９４内に着弾した機能液の重量を測定する。液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることで増加した受液容器９４の重量が、液滴吐出ヘッド１７から吐出されて受液容器９４内に着弾した機能液の重量である。受液容器９４が、重量測定受器に相当する。

吐出装置制御部６のＣＰＵ４４は、測定した機能液の重量を積算してＲＡＭ４６に記憶させておき、積算重量が一定量に達すると、受液容器９４の交換指示情報を出す。

電子天秤９９は、受液容器９４に吐出された機能液の重量を測定し、測定結果を吐出装置制御部６に出力する。吐出装置制御部６は、電子天秤９９から入力した測定結果に基づいて、ヘッドドライバ２ｄから液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電力（電圧値）を制御する。即ち、重量測定結果が目標範囲内の場合は、電圧値を変更することなく、次のワークＷに対する描画を行う。他方、重量測定結果が目標範囲外の場合は、予め求めた印加電圧値と重量測定値との分解能データに基づいて電圧値を変更し、変更後の電圧値で、再度重量測定を行う。この重量測定及び電圧値変更は、重量測定結果が目標の範囲内になるまで、繰り返し行われる。この場合の吐出装置制御部６が、重量測定制御ユニットに相当し、吐出条件設定部にも相当する。

＜フラッシングユニット＞
重量測定時フラッシングボックス９５は、重量測定時フラッシングボックス９５ａと重量測定時フラッシングボックス９５ｂとが、Ｘ軸方向において受液容器９４を挟んで配置されている。ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７のうち１個の液滴吐出ヘッド１７が受液容器９４に臨む位置にあるとき、ヘッド群５５を構成する他の５個の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は重量測定時フラッシングボックス９５ｂのいずれかに臨む位置に位置する。重量測定対象の液滴吐出ヘッド１７が受液容器９４に臨んで重量測定のための吐出を実施する時に、測定対象外の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は重量測定時フラッシングボックス９５ｂに臨んで、捨て吐出を実施する。

１個の重量測定装置９１でヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７について重量測定を行うため、１個の液滴吐出ヘッド１７が重量測定吐出を行っている際に、その他の５個の液滴吐出ヘッド１７はその重量測定吐出が終わるのを待つことになるが、その「待ち」状態の液滴吐出ヘッド１７に捨て吐出を行わせることができる。このため、「待ち」状態の間に吐出ノズル７８が乾燥することを抑制して、「待ち」状態後に重量測定吐出を良好に行うことができ、適切な測定結果を得ることができる。

定期フラッシングボックス９３は、定期フラッシング時に捨て吐出された機能液を受けるものである。
重量測定時フラッシングボックス９５及び定期フラッシングボックス９３内には、機能液吸収材９７が、その両長辺部を一対の押えプレート９８により押え付けた状態で敷設されている。なお、受液容器９４は、各液滴吐出ヘッド１７に対し、ノズル列単位で機能液を受け得る大きさに形成されている。

＜定期フラッシング＞
次に、液滴吐出ヘッド１７が定期フラッシングなどの捨て吐出を実施する際の、フラッシングユニット１４を構成する重量測定時フラッシングボックス９５及び定期フラッシングボックス９３の位置関係について説明する。

最初に、検査カメラ１６３による画像取得の際の、重量測定時フラッシングボックス９５と、定期フラッシングボックス９３との、検査カメラ１６３及び液滴吐出ヘッド１７（ヘッド群５５）に対する位置関係について、図９を参照して説明する。図９は、検査カメラと、液滴吐出ヘッドと、重量測定時フラッシングボックス及び定期フラッシングボックスと、の位置関係を示す模式図である。

２個所の重量測定時フラッシングボックス９５の内、定期フラッシングボックス９３側に形成された重量測定時フラッシングボックス９５ａと、定期フラッシングボックス９３とは、検査カメラ１６３による検査シート１８１の上に着弾した液滴の画像取得の際に用いられる。これらは、検査カメラ１６３が、検査シート１８１のＸ軸方向におけるいずれの位置に臨んだ場合であっても、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されている。上述したように、重量測定時フラッシングボックス９５ａと、定期フラッシングボックス９３とは、フラッシングユニット１４に含まれ、検査シート１８１は、検査描画ユニット１６１に備えられている。フラッシングユニット１４と検査描画ユニット１６１とは、吐出検査ブロック４ａを構成するものであり、互いの位置関係は固定であって、一体に移動させられる。従って、重量測定時フラッシングボックス９５ａと、定期フラッシングボックス９３と、検査シート１８１と、は一体に移動させられる。検査カメラ１６３と液滴吐出ヘッド１７（ヘッド群５５）とのＸ軸方向の位置関係も固定である。

図９（ａ）に示した吐出検査ブロック４ａは、検査カメラ１６３が、検査シート１８１のＸ軸方向における最も定期フラッシングボックス９３側の端に臨むような位置に位置している。吐出検査ブロック４ａがこの位置にあると、ヘッド群５５の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は定期フラッシングボックス９３に対向しており、液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は定期フラッシングボックス９３に着弾する。

図９（ｂ）に示した吐出検査ブロック４ａは、検査カメラ１６３が、検査シート１８１のＸ軸方向における最も給除材位置側の端に臨むような位置に位置している。吐出検査ブロック４ａがこの位置にあると、ヘッド群５５の液滴吐出ヘッド１７は、定期フラッシングボックス９３に対向しており、液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液は、定期フラッシングボックス９３に着弾する。

次に、ワークＷのアライメント作業を実施する際の、ワーク載置台２１と、定期フラッシングボックス９３及び重量測定時フラッシングボックス９５と、ヘッド群５５の液滴吐出ヘッド１７との位置関係について説明する。図１０は、アライメントカメラと、ワーク載置台と、定期フラッシングボックスと、重量測定時フラッシングボックスと、ヘッド群の液滴吐出ヘッドとの位置関係を示す模式図である。

図１０（ａ）において、ワーク載置台２１には、ワーク載置台２１の中央にワークＷがセットされた状態で、アライメントマークＭが液滴吐出ヘッド１７から最も離れるワークＷ１がセットされている。ワーク載置台２１は、Ｘ軸第１スライダ２２によってＸ軸方向に移動されて、当該ワークＷ１のアライメントマークＭがアライメントカメラ８１に臨んでおり、アライメントカメラ８１によるアライメントマークＭの画像認識が可能な位置に位置している。この場合のワーク載置台２１の位置が、ワークＷのアライメント作業を実施する状態におけるワーク載置台２１の位置の中で最もヘッド群５５側の位置である。ワーク載置台２１がこの位置に在っても、ワーク載置台２１に対し、Ｘ軸第２スライダ２３により吐出検査ブロック４ａを最大限接近させた状態では、ヘッド群５５の液滴吐出ヘッド１７の直下には、重量測定時フラッシングボックス９５の、定期フラッシングボックス９３から遠い側の、最も遠い部分が臨んでいる。即ち、吐出検査ブロック４ａのＸ軸方向の位置を制限するワーク載置台２１の位置が、最もヘッド群５５側の位置にあっても、液滴吐出ヘッド１７の一つを受液容器９４に臨ませて、重量測定を実施し、重量測定時フラッシングボックス９５によって、ヘッド群５５の他の５個の液滴吐出ヘッド１７からの捨て吐出を受けることができる。

吐出検査ブロック４ａの給除材位置側への移動は、ワーク載置台２１の位置によって制限されるが、給除材位置とは反対側への移動は制限されないため、吐出検査ブロック４ａは、図１０（ｂ）に示すような位置に位置することが可能である。図１０（ｂ）に示すような位置では、ヘッド群５５の液滴吐出ヘッド１７は、定期フラッシングボックス９３に対向しており、液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液は、定期フラッシングボックス９３に着弾する。

このように、定期フラッシングボックス９３は、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行われる、ヘッド群５５の６個全ての液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出（フラッシング）を受けることが可能である。定期フラッシングボックス９３は、受液容器９４から離れた位置に設けられているため、液滴吐出ヘッド１７から捨て吐出された機能液滴が受液容器９４に入る可能性は極めて小さい。これにより、受液容器９４の交換の回数を抑制することができる。

次に、図１１、及び図１２を参照して、重量測定を実施する一連の動作について説明する。図１１は、ヘッドユニットと重量測定装置との位置関係を示す側面図である。図１２は、液滴吐出ヘッドと重量測定装置との位置関係を示す平面図である。

図１１（ａ）及び図１２（ａ）に示したように、重量測定の開始に際して、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３をＸ軸方向に移動させると共に、Ｙ軸リニアモータによって吐出ユニット２を構成する１０個のヘッドユニット５４をＹ軸方向に移動させる。この操作によって、Ｘ軸第２スライダ２３に固定された各重量測定装置９１の各受液容器９４を、ヘッドユニット５４の各ヘッド群５５の１番目の液滴吐出ヘッド１７１に臨ませる。
次に、各受液容器９４に向けて、各ヘッド群５５の１番目の液滴吐出ヘッド１７１の全ノズルから、重量測定吐出を実施する。このとき、各ヘッド群５５の２番目から６番目の液滴吐出ヘッド１７２乃至１７６は、重量測定時フラッシングボックス９５に対向しており、重量測定時フラッシングボックス９５に向けて捨て吐出を実施する。

液滴吐出ヘッド１７１の重量測定吐出が終わると、重量測定装置９１をＸ軸方向に移動させて、図１１（ｂ）に示したように、各受液容器９４を、重量測定装置９１の移動軌跡上に設けられた風防部材１０１の直下に移動させる。この状態で、電子天秤９９により、受液容器９４に着弾した吐出液滴の重量の測定を行う。重量測定装置９１が風防部材１０１の直下に位置することにより、気流（例えばチャンバルームにおけるダウンフローや乱流など）が風防部材１０１により遮断されるため、電子天秤９９は、気流の影響を受けることなく、正確に重量測定を行うことができる。

液滴吐出ヘッド１７１の吐出液滴の重量測定後、２番目の液滴吐出ヘッド１７２を受液容器９４に臨ませて、同様にして、重量測定吐出を行う。以下同様にして、各ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７について、順次吐出された液滴の重量を測定する。最後に、図１２（ｂ）に示したように、６番目の液滴吐出ヘッド１７６を受液容器９４に臨ませて、重量測定吐出を実施し、吐出された液滴の重量を測定する。

次に、図１３を参照して、ワーク載置台２１が給除材位置に在って、ワーク載置台２１に対するワークＷの給除材が実施されている際の、描画処理休止状態における液滴吐出ヘッド１７の動作について説明する。図１３（ａ）は、ヘッドユニットと重量測定装置との位置関係を示す側面図であり、図１３（ｂ）は、液滴吐出ヘッドと重量測定装置との位置関係を示す平面図である。ワークＷの給材等の描画処理休止時には、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３をＸ軸方向に移動させることで、Ｘ軸第２スライダ２３に固定された各重量測定装置９１の各定期フラッシングボックス９３を、ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７に臨ませる。そして、全ての液滴吐出ヘッド１７は、各定期フラッシングボックス９３に向けて、捨て吐出を実施する。

＜給液ユニット及びヘッドグループ＞
次に、給液ユニット７の構成、及び結合される給液ユニット７によって形成される液滴吐出ヘッド１７のヘッドグループについて、図１４を参照して説明する。図１４（ａ）は、ヘッドユニットを、取付けられた液滴吐出ヘッドの液体導入部側から見た外観斜視図である。図１４（ｂ）は、給液ユニットの構成、及びヘッドユニットとの結合状態を示す説明図である。

図５を参照して説明したように、ヘッドユニット５４は、サブキャリッジ５３と、サブキャリッジ５３に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。図１４（ａ）に示すように、１２個の液滴吐出ヘッド１７を、それぞれ液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１７ｅ，１７ｆ，１７ｇ，１７ｈ，１７ｊ，１７ｋ，１７ｍ，１７ｎと表記する。

図１を参照して説明したように、給液ユニット７は、機能液タンク６１と、サブタンク６２と、中継タンク６３を有する中継ユニット６３Ａと、これらのタンク間及び液滴吐出ヘッド１７を連通して機能液１０を機能液タンク６１から液滴吐出ヘッド１７へ供給する供給管６６ａ，６６ｂ，６６ｃと、を備えている。給液ユニット７が、液供給ユニットに相当する。機能液１０が、液状体に相当する。
図１４（ｂ）に示すように、機能液１０は、機能液タンク６１から供給管６６ａを介してサブタンク６２へ至り、サブタンク６２から供給管６６ｂを介して中継タンク６３に至り、更に、中継タンク６３から供給管６６ｃを経由して液滴吐出ヘッド１７へ供給される。給液ユニット７は、また、図示省略した、圧力付与部と、機能液１０の流路を開閉するための複数のバルブと、を備えている。圧力付与部とバルブとは、吐出装置制御部６と電気的に接続されており、吐出装置制御部６が圧力付与部及びバルブを制御して、機能液１０を液滴吐出ヘッド１７へ供給する。機能液タンク６１と、サブタンク６２と、中継タンク６３と、供給管６６ａ，６６ｂ，６６ｃと、圧力付与部と、複数のバルブとが、液供給ユニットが有する液供給部に相当する。供給管６６ａ，６６ｂ，６６ｃが、給液管に相当する。

機能液タンク６１は液滴吐出ヘッド１７に機能液１０を供給するための供給元であって、機能液１０を貯留する貯留部６１ａと貯留栓６１ｂとを有している。貯留栓６１ｂは、貯留部６１ａの開口に嵌合自在であって、嵌合することで、貯留部６１ａの内部を外部と遮断する。貯留栓６１ｂには、圧力付与部に結合されている機能液タンク圧力管６４ａの一端と、サブタンク６２に連通する供給管６６ａの一端と、が固定されている。貯留栓６１ｂが貯留部６１ａの開口に嵌合することで、機能液タンク圧力管６４ａの一端と、供給管６６ａの一端とが貯留部６１ａに結合される。圧力付与部が機能液タンク圧力管６４ａを介して貯留部６１ａの内部の圧力を調整することで、供給管６６ａを介して、機能液１０をサブタンク６２へ送出する。機能液タンク６１への機能液１０の補充や新たな機能液１０の充填は、貯留部６１ａに機能液１０を直接補充又は充填することで実施してもよいし、貯留部６１ａを機能液１０が充填された別の貯留部６１ａと交換することで実施してもよい。

サブタンク６２は、サブタンク圧力管６４ｂを介して圧力付与部と結合されており、供給管６６ｂ、中継タンク６３、供給管６６ｃを介して液滴吐出ヘッド１７に機能液１０を供給できるように、供給管６６ｂの一端が結合されている。サブタンク６２は、圧力付与部により、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８における圧力が適切な水頭圧となるように圧力制御管理されており、液滴吐出ヘッド１７の駆動に応じて機能液１０を一定の圧力で供給する。これにより、吐出ノズル７８からの液だれが防止されると共に、機能液１０の吐出が設計上意図したものとなる。

なお、サブタンク６２は、貯留する機能液１０の液面上にステンレスなどの金属板、フッ素系樹脂などのいわゆる落し蓋を設置し、液面とエアーとが直接接触する面積を減らすように構成することが好ましい。また、機能液タンク６１においても、サブタンク６２と同様のタンク構成として、サブタンク６２に機能液１０を供給する前に、機能液タンク６１での機能液１０とエアーとの接触を防止することが好ましい。これにより、機能液１０への気泡の混入、機能液１０の変質を抑制して、略防止することが可能である。

サブタンク６２から送出された機能液１０は、供給管６６ｂを介して中継タンク６３に至り、中継タンク６３から複数の供給管６６ｃに分岐して、液滴吐出ヘッド１７へ供給される。中継タンク６３は、キャリッジユニット５１が固定されたブリッジプレート５２の上面に取付けられた中継ユニット６３Ａの中に配設されており、複数の供給管６６ｃが接続されている。本実施形態では、１個の中継タンク６３に接続された複数の供給管６６ｃの中の４本が、それぞれ液滴吐出ヘッド１７に結合されている。液滴吐出ヘッド１７に結合されていない供給管６６ｃについては、図示省略したバルブを閉めて、中継タンク６３から機能液１０が流入することがないようにする。

図１４（ｂ）に示した給液ユニット７は、３色カラーフィルタを形成するために用いる液滴吐出装置１に対応する給液ユニットであり、３色カラーフィルタの各色のフィルタの材料となる機能液をそれぞれ貯留するために、３個の機能液タンク６１を備えている。赤色フィルタ用の赤色機能液１０Ｒ、緑色フィルタ用の緑色機能液１０Ｇ、青色フィルタ用の青色機能液１０Ｂ、をそれぞれ貯留する機能液タンク６１を、それぞれ機能液タンク６１Ｒ、機能液タンク６１Ｇ、機能液タンク６１Ｂと表記する。機能液タンク６１Ｒ、機能液タンク６１Ｇ、機能液タンク６１Ｂの貯留部６１ａを、それぞれ貯留部６１ａＲ、貯留部６１ａＧ、貯留部６１ａＢと表記する。

機能液タンク６１Ｒ、機能液タンク６１Ｇ、機能液タンク６１Ｂには、それぞれ１０個のサブタンク６２が接続されている。それぞれのサブタンク６２には、それぞれ１個の中継タンク６３が接続されている。機能液タンク６１Ｒ、機能液タンク６１Ｇ、機能液タンク６１Ｂに接続する中継タンク６３を、それぞれ中継タンク６３Ｒ、中継タンク６３Ｇ、中継タンク６３Ｂと表記する。ブリッジプレート５２の上面には１個の中継ユニット６３Ａが配設されており、それぞれの中継ユニット６３Ａには、中継タンク６３Ｒ、中継タンク６３Ｇ、中継タンク６３Ｂが、それぞれ１個ずつ配設されている。

中継タンク６３Ｒ、中継タンク６３Ｇ、中継タンク６３Ｂに接続する供給管６６ｃを、それぞれ供給管６６ｃＲ、供給管６６ｃＧ、供給管６６ｃＢと表記する。図１４（ａ）及び（ｂ）に示すように、供給管６６ｃＲは、液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋに、供給管６６ｃＧは、液滴吐出ヘッド１７ｂ，１７ｅ，１７ｈ，１７ｍに、供給管６６ｃＢは、液滴吐出ヘッド１７ｃ，１７ｆ，１７ｊ，１７ｎに、それぞれ接続されている。液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋは、液供給要件としての、機能液タンク６１Ｒと、機能液タンク６１Ｒに接続された供給管６６ａとサブタンク６２と供給管６６ｂと、中継タンク６３Ｒと、を共通にしており、それぞれ赤色フィルタ用の赤色機能液１０Ｒを吐出する。液滴吐出ヘッド１７ｂ，１７ｅ，１７ｈ，１７ｍは、液供給要件としての、機能液タンク６１Ｇと、機能液タンク６１Ｇに接続された供給管６６ａとサブタンク６２と供給管６６ｂと、中継タンク６３Ｇと、を共通にしており、それぞれ緑色フィルタ用の緑色機能液１０Ｇを吐出する。液滴吐出ヘッド１７ｃ，１７ｆ，１７ｊ，１７ｎは、液供給要件としての、機能液タンク６１Ｂと、機能液タンク６１Ｂに接続された供給管６６ａとサブタンク６２と供給管６６ｂと、中継タンク６３Ｂと、を共通にしており、青色フィルタ用の青色機能液１０Ｂを吐出する。

１個のヘッドユニット５４が有する液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋ、液滴吐出ヘッド１７ｂ，１７ｅ，１７ｈ，１７ｍ、又は液滴吐出ヘッド１７ｃ，１７ｆ，１７ｊ，１７ｎの組を、赤ユニットグループ５４Ｒ、緑ユニットグループ５４Ｇ、又は青ユニットグループ５４Ｂと表記する。赤ユニットグループ５４Ｒ、緑ユニットグループ５４Ｇ、及び青ユニットグループ５４Ｂが、ヘッドグループに相当する。液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋ、液滴吐出ヘッド１７ｂ，１７ｅ，１７ｈ，１７ｍ、及び液滴吐出ヘッド１７ｃ，１７ｆ，１７ｊ，１７ｎが、第一の複数の液滴吐出ヘッドに相当する。
一つの赤ユニットグループ５４Ｒ、緑ユニットグループ５４Ｇ、又は青ユニットグループ５４Ｂの各液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｙ軸方向の一直線上にそれぞれ上述したヘッドノズル線を形成することで、ヘッドノズル線の長さ２本分の間隔を隔てて、４本のヘッドノズル線が連なる直線が形成される。当該直線を形成する対象物とヘッドユニット５４とをＹ軸方向にノズル線の長さだけ相対移動させて、同様の直線を形成することを、更に２回実施することで、赤色機能液１０Ｒ、緑色機能液１０Ｇ、又は青色機能液１０Ｂからなるヘッドノズル線が１２本連続して連なる直線が形成される。

上述したように、吐出ユニット２は、１２０個の液滴吐出ヘッド１７を有している。この吐出ユニット２は、液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋ、液滴吐出ヘッド１７ｂ，１７ｅ，１７ｈ，１７ｍ、又は液滴吐出ヘッド１７ｃ，１７ｆ，１７ｊ，１７ｎに相当する液滴吐出ヘッド１７を、それぞれ４０個有している。
吐出ユニット２が有するそれぞれ４０個の、液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋ、液滴吐出ヘッド１７ｂ，１７ｅ，１７ｈ，１７ｍ、又は液滴吐出ヘッド１７ｃ，１７ｆ，１７ｊ，１７ｎの組を、赤色ヘッドグループ、緑色ヘッドグループ、又は青色ヘッドグループと表記する。赤色ヘッドグループ、緑色ヘッドグループ、又は青色ヘッドグループは、赤ユニットグループ５４Ｒ、緑ユニットグループ５４Ｇ、又は青ユニットグループ５４Ｂが、Ｙ軸方向にそれぞれ１０個連なったものである。

＜描画＞
次に、液滴吐出装置１によって、ワークＷの所定の位置に機能液を配置する描画工程について、図１５を参照して説明する。図１５は、描画工程を示すフローチャートである。
図１５のステップＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５の各ステップは、液滴吐出装置１の給除材に関わる各装置によって実施され、ステップＳ２１からステップＳ３９の各ステップは、吐出ユニット２や検査ユニット４などによって実施される。液滴吐出装置１の各装置は、図１５のステップＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５の各ステップと、ステップＳ２１からステップＳ３９の各ステップと、を並行して実施できるように構成されている。

図１５のステップＳ１では、液滴吐出装置１の給除材位置に在るワーク載置台２１にワークＷを給材する。ワークＷの給材は、給材ロボットなどによって実施される。
次に、ステップＳ２では、ワーク載置台２１に載置されたワークＷのアライメントを実施する。ワークＷのアライメントは、画像認識ユニット８０のアライメントカメラ８１によってワークＷに形成されたアライメントマークＭの画像を取得し、撮像結果に基づいて、θテーブル３２によってワークＷのθ補正を実行することで実施する。
次に、ステップＳ３では、ワーク載置台２１をＸ軸方向に移動する。ワーク載置台２１は、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第１スライダ２２を駆動することで、給除材位置でアライメントされたワークＷが次の描画吐出工程を開始する開始位置に位置するように移動される。

開始位置に位置するように移動されたワークＷに対して、ステップＳ２１が開始される。ステップＳ２１では、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７から、ワークＷに向けての描画吐出を実施する。より詳細には、Ｘ軸テーブル１１（Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第１スライダ２２を駆動すること）によるワークＷ（ワーク載置台２１）の移動、及びＹ軸テーブル１２による液滴吐出ヘッド１７（吐出ユニット２のヘッドユニット５４）の移動によって、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８をワークＷの任意の位置に対向させる。それと共に、液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させて、ワークＷに向けて機能液滴を吐出させることにより、ワーク載置台２１の上に載置されたワークＷに対して、機能液からなる任意の描画パターンを描画する。ステップＳ２１が、描画吐出工程に相当する。

ステップＳ２１の次に、液滴吐出装置１の給除材に関わる各装置よって実施されるステップＳ４では、ワーク載置台２１をＸ軸方向に移動する。ワーク載置台２１は、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第１スライダ２２を駆動することで、給除材位置に位置するように移動される。この移動は、描画吐出の最後の相対移動からＸ軸第１スライダ２２（ワーク載置台２１）が停止することなく、描画吐出の最後の相対移動の延長として実施される。
次に、ステップＳ５では、描画パターンが形成されたワークＷを、ワーク載置台２１から除材する。ワークＷの除材は、給材ロボットなどによって実施される。
ステップＳ５の次には、ステップＳ１に進み、ステップＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ２１，Ｓ４，Ｓ５を繰り返す。上述したように、ステップＳ４，Ｓ５，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３は、Ｘ軸リニアモータ２６や、画像認識ユニット８０や、θテーブル３２や、給材ロボットなどを用いて実施される。

ステップＳ２１の次に、ステップＳ４と略同時に開始されるステップＳ２２では、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７から、吐出検査のための検査吐出が実施される。より詳細には、ステップＳ４でワーク載置台２１が給除材位置の方向に移動されることによって、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に、吐出検査ブロック４ａが移動可能となる。吐出検査ブロック４ａは、Ｘ軸第２スライダ２３に固定されており、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３を駆動することによって、Ｘ軸方向に移動させられる。ワーク載置台２１は、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第１スライダ２２を駆動することで、移動させられるため、吐出検査ブロック４ａとワーク載置台２１とは、それぞれ独立して移動させることができる。従って、検査吐出のための吐出検査ブロック４ａの移動は、ワーク載置台２１の描画吐出のための最後の相対移動に略並行して実施することができる。本実施形態では、ワーク載置台２１の描画吐出のための最後の相対移動に略同期して、検査吐出のための吐出検査ブロック４ａの移動を開始している。即ち、ステップＳ２１の描画吐出を終了する前に、ステップＳ２２の検査吐出を実施するための吐出検査ブロック４ａの移動が開始されている。

移動中の吐出検査ブロック４ａにおける検査描画ユニット１６１の検査シート１８１が、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７のそれぞれと対向した時点で、当該液滴吐出ヘッド１７から検査シート１８１に向けて、検査吐出が実施される。それぞれの液滴吐出ヘッド１７の吐出タイミングは、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７のそれぞれから吐出されて検査シート１８１に着弾した機能液の液滴が、検査シート１８１上にＹ軸方向に延在する一直線を形成するよう規定されている。吐出検査ブロック４ａは、検査シート１８１に着弾した機能液の液滴が形成した一直線が、吐出検査ユニット１８の検査カメラ１６３によって撮像可能となる位置に位置するように移動させられる。描画吐出を終了する前に、検査吐出を実施するための吐出検査ブロック４ａの移動が開始されているため、液滴吐出ヘッド１７は、描画吐出に略連続して、検査吐出を実施する。従って、液滴吐出ヘッド１７において、検査吐出は、実質的に描画吐出の一部であり、描画吐出と検査吐出の間で、液滴吐出ヘッド１７の状態の変化は実質的にないため、検査吐出では、描画吐出と同じ吐出が再現される。

次に、ステップＳ２３では、検査カメラ１６３によって、検査シート１８１に着弾した機能液の液滴の画像を取得する。画像は、それぞれの液滴について取得され、この画像から、それぞれの液滴の大きさや着弾位置の情報が得られる。また、検査カメラ１６３による画像取得に並行して、液滴吐出ヘッド１７は、液滴吐出ヘッド１７内の機能液の状態を一定の状態に維持するための捨て吐出を実施する。図９を参照して説明したように、検査カメラ１６３が、検査シート１８１に臨むような位置に位置している状態では、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は定期フラッシングボックス９３に対向している。そのため、液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は定期フラッシングボックス９３に着弾する。

次に、ステップＳ２４では、検査ユニット４を移動して、重量測定ユニット１９が液滴吐出ヘッド１７に対向するように、重量測定ユニット１９（検査ユニット４）を、位置合わせする。より詳細には、図１１及び図１２を参照して説明したように、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３をＸ軸方向に移動させる。それと共に、Ｙ軸リニアモータとＹ軸スライダとによって、吐出ユニット２を構成する１０個のヘッドユニット５４を、Ｙ軸テーブル１２に沿って、Ｙ軸方向に移動させる。これによって、Ｘ軸第２スライダ２３に固定された各重量測定装置９１の各受液容器９４を、各ヘッド群５５における１個の液滴吐出ヘッド１７に臨ませる。
本実施形態では、各ヘッドユニット５４における同じ機能液１０を吐出する液滴吐出ヘッド１７の組である、赤ユニットグループ５４Ｒ、緑ユニットグループ５４Ｇ、又は青ユニットグループ５４Ｂの代表ヘッドに、受液容器９４を臨ませる。例えば、液滴吐出ヘッド１７ａを赤ユニットグループ５４Ｒの代表ヘッドとして、最初に、液滴吐出ヘッド１７ａに、受液容器９４を臨ませる。代表ヘッドが、第一の液滴吐出ヘッドに相当し、代表ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７ａも、第一の液滴吐出ヘッドに相当する。

次に、ステップＳ２５では、受液容器９４に臨んでいる代表ヘッドから、重量測定吐出を実施する。代表ヘッドは、例えば、液滴吐出ヘッド１７ａであって、代表ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７ａから受液容器９４に向けて、液滴吐出ヘッド１７の全ノズルから、重量測定吐出を実施する。受液容器９４に着弾した機能液の重量が、電子天秤９９によって測定される。受液容器９４に着弾して電子天秤９９によって測定された機能液の重量が、吐出重量である。測定された代表ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７ａの吐出重量を、赤ユニットグループ５４Ｒのそれぞれの液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋの吐出重量と推定する。ステップＳ２４及びステップＳ２５が、基準重量測定工程又は重量測定工程に相当する。
なお、図１２を参照して説明したように、液滴吐出ヘッド１７ａが受液容器９４に臨んでいる状態では、液滴吐出ヘッド１７ｇも受液容器９４に臨んでいる。液滴吐出ヘッド１７ｇも受液容器９４に向けて赤色機能液１０Ｒを吐出するが、電子天秤９９による測定は実施しない。この場合の液滴吐出ヘッド１７ｇの吐出は、捨て吐出に相当する。
このとき、図１１及び図１２を参照して説明したように、各ヘッド群５５における受液容器９４に臨んでいない各５個の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５に対向しており、重量測定時フラッシングボックス９５に向けて捨て吐出を実施する。

次に、ステップＳ２６では、測定された吐出重量を吐出重量の規格値と比較して、吐出重量の誤差を求め、当該誤差を誤差の規格値と比較して、測定された吐出重量の誤差が規格値に適合する（規格内である）か否かを判定する。
吐出重量の誤差が規格値に適合する場合（ステップＳ２６でＹＥＳ）には、ステップＳ２７に進む。

ステップＳ２６の次に、ステップＳ２７では、代表ヘッドに対して実施した駆動電圧の補正と同じ補正を、当該代表ヘッドが属するヘッドグループの代表ヘッド以外の液滴吐出ヘッド１７（以降、「代表外ヘッド」と表記する。）に対して実施する。この場合、代表ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７ａの吐出重量の誤差が規格値に適合していた場合であって、液滴吐出ヘッド１７ａに対して駆動電圧の補正は実施していないため、赤ユニットグループ５４Ｒの代表外ヘッドである液滴吐出ヘッド１７ｄ，１７ｇ，１７ｋにも、駆動電圧の補正は実施しない。代表外ヘッドが、第二の液滴吐出ヘッドに相当し、代表外ヘッドである液滴吐出ヘッド１７ｄ，１７ｇ，１７ｋも、第二の液滴吐出ヘッドに相当する。

次に、ステップＳ２８では、全ての代表ヘッドについて、吐出重量測定が終了したか否かを判定する。この場合、ヘッドグループが、赤ユニットグループ５４Ｒ、緑ユニットグループ５４Ｇ、及び青ユニットグループ５４Ｂであって、各ヘッドユニット５４がそれぞれ有する、赤ユニットグループ５４Ｒ、緑ユニットグループ５４Ｇ、及び青ユニットグループ５４Ｂの、それぞれの代表ヘッドの全てについて、重量測定が終了したか否かを判定する。

全ての代表ヘッドについて、重量測定が終了していた場合（ステップＳ２８でＹＥＳ）には、ステップＳ２９に進む。
ステップＳ２９では、重量測定を実施することなく、描画を実施する。即ち、ステップＳ２１に進み、新たにワーク載置台２１の上に載置されたワークＷを描画対象として、ステップＳ２１を実施する。重量測定を実施しない描画の期間は、一定の吐出状態が維持できる期間や一定の吐出状態を維持して描画できるワークＷの描画枚数などを、実験などで予め求めることによって、定める。定められた重量測定を実施しない描画の期間の間、ステップＳ２９を実施した後は、ステップＳ２１に進み、新たにワーク載置台２１の上に載置されたワークＷを描画対象として、ステップＳ２１からステップＳ２８、及びステップＳ３０からステップＳ３９を実施する。

このとき、ステップＳ２４からステップＳ２６で吐出重量を測定する対象とする液滴吐出ヘッド１７は、ステップＳ２４からステップＳ２６を実施するごとに、別の液滴吐出ヘッド１７を選択することが好ましい。本実施形態では、最初に、赤ユニットグループ５４Ｒ、緑ユニットグループ５４Ｇ、又は青ユニットグループ５４Ｂから、液滴吐出ヘッド１７ａ、液滴吐出ヘッド１７ｂ、又は液滴吐出ヘッド１７ｃについて吐出重量の測定を実施する。次には、液滴吐出ヘッド１７ａ、液滴吐出ヘッド１７ｂ、又は液滴吐出ヘッド１７ｃとは異なる、液滴吐出ヘッド１７ｄ、液滴吐出ヘッド１７ｅ、又は液滴吐出ヘッド１７ｆについて吐出重量の測定を実施する。

全ての代表ヘッドについて、重量測定が終了していない場合（ステップＳ２８でＮＯ）には、ステップＳ２１に進み、新たにワーク載置台２１の上に載置されたワークＷを描画対象として、ステップＳ２１からステップＳ２８を繰り返す。このとき、ステップＳ２４では、重量測定が終了していない代表ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７に、受液容器９４を臨ませる。次に、受液容器９４を臨ませた液滴吐出ヘッド１７を測定対象として、ステップＳ２５からステップＳ２８を実施する。

ステップＳ２６において、吐出重量の誤差が規格値に適合していない場合（ステップＳ２６でＮＯ）には、ステップＳ３０に進む。
ステップＳ２６の次に、ステップＳ３０では、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が、所定の値以下であるか否かを判定する。吐出重量の誤差の所定の値は、例えば、液滴吐出ヘッド１７の駆動条件を調整することによって補正可能な誤差量を予め求めたものである。

ステップＳ３０において、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が、所定の値以下であった場合（ステップＳ３０でＹＥＳ）には、ステップＳ３１に進む。
ステップＳ３１では、測定対象としている代表ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電圧を、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差の大きさに対応して、補正する。ステップＳ３１の代表ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電圧を補正する工程が、基準ヘッド補正工程に相当する。

ステップＳ３１の次には、ステップＳ２５に進み、ステップＳ２５からステップＳ３０を繰り返す。この場合に実施されるステップＳ２７においては、ステップＳ３１において、代表ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７に対して実施した駆動電圧の補正と同様の補正を、代表ヘッドが属するヘッドグループの代表外ヘッドに対して実施する。この場合のステップＳ２７が、第二ヘッド補正工程に相当する。

例えば、代表ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７ａに対して駆動電圧の補正をした場合であって、赤ユニットグループ５４Ｒの代表外ヘッドである液滴吐出ヘッド１７ｄ，１７ｇ，１７ｋにも、液滴吐出ヘッド１７ａに対して実施した駆動電圧の補正と同様の駆動電圧の補正を実施する。液滴吐出ヘッド１７ｄ，１７ｇ，１７ｋは、赤ユニットグループ５４Ｒの代表ヘッドである液滴吐出ヘッド１７ａと共通の、機能液タンク６１Ｒ、供給管６６ａ、サブタンク６２、供給管６６ｂ、及び中継タンク６３を介して赤色機能液１０Ｒが供給されている。このため、液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋのそれぞれに供給される赤色機能液１０Ｒは、貯留されている間や、供給されてゆく間の条件が殆ど同等であって、実質的に同じ環境の下にあった機能液である。このことから、供給される機能液に起因する吐出量の変動が生じた場合には、液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋのそれぞれに、同様の変動が生じており、同様の処置で変動を是正できる可能性が極めて高い。従って、液滴吐出ヘッド１７ａに対して駆動電圧の補正をした場合には、液滴吐出ヘッド１７ｄ，１７ｇ，１７ｋに、液滴吐出ヘッド１７ａと同様の補正を実施することで、生じている可能性が高い吐出量の変動を是正して、適正な吐出重量が得られる確率が極めて高い。

ステップＳ３０において、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が、所定の値を超える場合（ステップＳ３０でＮＯ）には、ステップＳ３２に進む。
ステップＳ３２では、ステップＳ２４と同様に、検査ユニット４を移動して、重量測定ユニット１９が液滴吐出ヘッド１７に対向するように、重量測定ユニット１９（検査ユニット４）を、位置合わせする。例えば、代表ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７ａにおいて、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が、所定の値を超えた場合であって、受液容器９４を、赤ユニットグループ５４Ｒに属する液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋのいずれかに臨ませる。

次に、ステップＳ３３では、上述したステップＳ２５と同様に、受液容器９４に臨んでいる液滴吐出ヘッド１７から受液容器９４に向けて、液滴吐出ヘッド１７の全ノズルから、重量測定吐出を実施する。受液容器９４に着弾した機能液の重量が、電子天秤９９によって測定される。
液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋの中で、例えば液滴吐出ヘッド１７ｄが受液容器９４に臨んでいる状態では、液滴吐出ヘッド１７ｋも受液容器９４に臨んでいる。液滴吐出ヘッド１７ｋも受液容器９４に向けて赤色機能液１０Ｒを吐出するが、電子天秤９９による測定は実施しない。この場合の液滴吐出ヘッド１７ｋの吐出は、捨て吐出に相当する。
このとき、各ヘッド群５５における受液容器９４に臨んでいない各５個の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５に対向しており、重量測定時フラッシングボックス９５に向けて捨て吐出を実施する。

次に、ステップＳ３４では、上述したステップＳ２６と同様に、測定された吐出重量を吐出重量の規格値と比較して、吐出重量の誤差を求め、当該誤差を誤差の規格値と比較して、測定された吐出重量の誤差が規格値に適合する（規格内である）か否かを判定する。
吐出重量の誤差が規格値に適合する場合（ステップＳ３４でＹＥＳ）には、ステップＳ３８に進む。

ステップＳ３４において、吐出重量の誤差が規格値に適合していない場合（ステップＳ３４でＮＯ）には、ステップＳ３５に進む。
ステップＳ３４の次に、ステップＳ３５では、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が、所定の値以下であるか否かを判定する。吐出重量の誤差の所定の値は、例えば、液滴吐出ヘッド１７の駆動条件を調整することによって補正可能な誤差量を予め求めたものである。

ステップＳ３５において、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が、所定の値以下であった場合（ステップＳ３５でＹＥＳ）には、ステップＳ３６に進む。
ステップＳ３６では、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差の大きさに対応して、測定対象としている液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電圧を、補正する。
ステップＳ３６の次には、ステップＳ３３に進み、ステップＳ３３からステップＳ３５を繰り返す。

ステップＳ３５において、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が、所定の値を超える場合（ステップＳ３５でＮＯ）には、ステップＳ３７に進む。
ステップＳ３７では、ステップＳ３５において、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が所定の値を超えていると判定された液滴吐出ヘッド１７を、記録する。ステップＳ３５において、誤差が所定の値を超えていると判定された液滴吐出ヘッド１７は、駆動電圧の補正を実施しても、吐出重量を適正な値に補正できなかった液滴吐出ヘッド１７である。

ステップＳ３７の次には、ステップＳ３８に進む。
ステップＳ３７又はステップＳ３４の次に、ステップＳ３８では、ステップＳ２６で重量測定吐出を実施した代表ヘッドが属するヘッドグループに属する全ての液滴吐出ヘッド１７について、吐出重量測定が終了したか否かを判定する。例えば、ヘッドグループが、赤ユニットグループ５４Ｒ、緑ユニットグループ５４Ｇ、又は青ユニットグループ５４Ｂであって、各ヘッドユニット５４がそれぞれ有する、赤ユニットグループ５４Ｒ、緑ユニットグループ５４Ｇ、又は青ユニットグループ５４Ｂにおける、全ての液滴吐出ヘッド１７について、重量測定が終了したか否かを判定する。

代表ヘッドが属するヘッドグループに属する全ての液滴吐出ヘッド１７について、吐出重量測定が終了していない場合（ステップＳ３８でＮＯ）には、ステップＳ３２に進み、ヘッドグループに属する液滴吐出ヘッド１７であって、吐出重量測定が終了していない液滴吐出ヘッド１７を測定対象として、ステップＳ３２からステップＳ３７を繰り返す。即ち、ステップＳ３２では、吐出重量測定が終了していない液滴吐出ヘッド１７に、受液容器９４を臨ませる。
次に、受液容器９４を臨ませた液滴吐出ヘッド１７を測定対象として、ステップＳ３３からステップＳ３７を実施する。
なお、代表ヘッドについては、ステップＳ３２からステップＳ３６の各ステップは、既に実施したステップＳ２４、ステップＳ２５、ステップＳ２６、ステップＳ３０、ステップＳ３１と同様のステップの繰り返しである。吐出重量は、一時的に変動して直ぐに適正状態に戻る場合もある。代表ヘッドに対して実施する場合、ステップＳ３２からステップＳ３６の各ステップは、ステップＳ３０において、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が所定の値を超えると判定されたことが、一時的な変動に起因するものであるか否かを検証するためのステップである。一時的な変動に起因して誤差が所定の値を超えた場合は、ステップＳ３２、ステップＳ３３、ステップＳ３４、ステップＳ３８の各ステップを実施することで、ステップＳ２８などを実施して、ステップＳ２１からの各ステップに戻ることができる。

代表ヘッドが属するヘッドグループに属する全ての液滴吐出ヘッド１７について、重量測定が終了していた場合（ステップＳ３８でＹＥＳ）には、ステップＳ３９に進む。
ステップＳ３９では、ステップＳ３７で記録された情報に基づいて、吐出重量を適正な値に補正するための調整処理が必要な液滴吐出ヘッド１７の有無を判定する。
調整処理が必要な液滴吐出ヘッド１７がなかった場合（ステップＳ３９でＮＯ）には、ステップＳ２８に進み、描画吐出工程を継続する。

調整処理が必要な液滴吐出ヘッド１７が在った場合（ステップＳ３９でＹＥＳ）には、ステップＳ４０に進む。
ステップＳ４０では、調整処理を実施する。調整処理は、例えば、吐出重量が規格を外れた液滴吐出ヘッド１７を回復させるための保守作業である。或は、液滴吐出ヘッド１７自体の劣化が進行している場合には、液滴吐出ヘッド１７を新しいものに交換する処理である。

図１５においては、ステップＳ４０を実施して描画工程を終了する工程順になっているが、調整処理が、液滴吐出装置１が備える保守装置を用いる保守作業などの場合には、一時的に描画工程を中断して保守作業などを実施し、当該保守作業などが終了後、続けて描画工程を実施する。液滴吐出ヘッド１７の交換などの処理が必要な場合には、一旦、描画工程を終了する。

本実施形態によれば、以下に記載する効果が得られる。
（１）ヘッドグループに含まれるそれぞれの液滴吐出ヘッド１７の吐出重量を推定するためには、例えば、赤ユニットグループ５４Ｒにおける代表ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７ａから重量測定吐出された機能液の吐出重量が測定される。測定された代表ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７ａの吐出重量を、赤ユニットグループ５４Ｒのそれぞれの液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋの吐出重量と推定する。
液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋのそれぞれについて吐出重量を測定する場合に比べて、ヘッドグループとしての赤ユニットグループ５４Ｒを構成する液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために要する時間を少なくすることができる。重量測定吐出工程のための時間の増加を抑制できるため、液滴吐出による描画のための作業時間の増加を抑制することができる。

（２）ステップＳ２７においては、ステップＳ３１において、代表ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７に対して実施した駆動電圧の補正と同様の補正を、代表ヘッドが属するヘッドグループの代表外ヘッドに対して実施する。
吐出重量の測定や駆動電圧の補正後の吐出重量測定を、赤ユニットグループ５４Ｒのそれぞれの液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋにおいて実施する場合に比べて、吐出重量を測定するために要する時間を少なくすることができる。重量測定吐出工程のための時間の増加を抑制できるため、液滴吐出による描画のための作業時間の増加を抑制することができる。

（３）赤ユニットグループ５４Ｒの液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋは、共通の機能液タンク６１Ｒ、供給管６６ａ、サブタンク６２、供給管６６ｂ、及び中継タンク６３を介して赤色機能液１０Ｒが供給されている。このため、液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋのそれぞれに供給される赤色機能液１０Ｒは、貯留されている間や、供給されてゆく間の条件が殆ど同等であって、それらの期間における微小な特性変動も含めて、実質的に同じ機能液である可能性を極めて高くすることができる。これにより、供給される機能液に起因する吐出量の変動が生じた場合には、液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋのそれぞれに、同様の変動が生じており、同様の処置で変動を是正できる可能性を極めて高くすることができる。

（４）ステップＳ２４からステップＳ２６で吐出重量を測定する対象とする液滴吐出ヘッド１７は、ステップＳ２４からステップＳ２６を実施するごとに、別の液滴吐出ヘッド１７を選択している。例えば、最初に、赤ユニットグループ５４Ｒ、緑ユニットグループ５４Ｇ、又は青ユニットグループ５４Ｂから、液滴吐出ヘッド１７ａ、液滴吐出ヘッド１７ｂ、又は液滴吐出ヘッド１７ｃについて吐出重量の測定を実施する。次には、液滴吐出ヘッド１７ａ、液滴吐出ヘッド１７ｂ、又は液滴吐出ヘッド１７ｃとは異なる、液滴吐出ヘッド１７ｄ、液滴吐出ヘッド１７ｅ、又は液滴吐出ヘッド１７ｆについて吐出重量の測定を実施する。代表ヘッドに選定した液滴吐出ヘッド１７の吐出重量のみが変動した場合には、ヘッドグループの液滴吐出ヘッドの吐出重量が全て変動したと、誤って判断される。代表ヘッドに選定された液滴吐出ヘッド１７が交代することにより、吐出重量が変動することによって、ヘッドグループ内の他の液滴吐出ヘッドと吐出重量が異なった液滴吐出ヘッド１７のみが代表ヘッドとなる確率が小さくなる。これにより、代表ヘッドが、液滴吐出ヘッド１７ａ、液滴吐出ヘッド１７ｂ、又は液滴吐出ヘッド１７ｃに固定されている場合に比べて、代表ヘッドに選定した液滴吐出ヘッド１７の吐出重量のみが変動した場合に、ヘッドグループの液滴吐出ヘッドの吐出重量が全て変動したと、誤って判断される可能性を小さくすることができる。

（５）液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸第１スライダ２２と、Ｘ軸第２スライダ２３と、左右一対のＸ軸リニアモータ２６と、一対のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。Ｘ軸第１スライダ２２にはワーク載置台２１が固定されており、Ｘ軸第２スライダ２３には、フラッシングユニット１４、吐出検査ユニット１８の検査描画ユニット１６１及び重量測定ユニット１９が固定されている。ワーク載置台２１と、フラッシングユニット１４、検査描画ユニット１６１、及び重量測定ユニット１９とが、同一軌道上にあるため、これらの各ユニットなどとヘッド群５５とを対向させるためには、これらの各ユニットなどを同一軌道に沿って移動させるだけでよい。これにより、ワーク載置台２１に載置されたワークＷに向けての描画吐出と、吐出検査ユニット１８による吐出検査又は重量測定ユニット１９による重量測定との移行時間を、描画吐出と、吐出検査又は重量測定との移行に際して、移動方向を変えて各装置相互の相対移動を実施することを必要とする場合に比べて、短くすることができる。このため、定期的に重量測定や吐出検査を実施した場合でも、重量測定処理と描画処理と吐出検査処理との相互間の移行を短時間で実施することができることから、全体としてのタクトタイムを短縮することができる。

（６）重量測定時フラッシングボックス９５は、重量測定時フラッシングボックス９５ａと重量測定時フラッシングボックス９５ｂとが、Ｘ軸方向において受液容器９４を挟んで配置されている。ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７のうちで、１個の液滴吐出ヘッド１７が受液容器９４に対向して重量測定吐出を実施している際に、その他の５個の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は重量測定時フラッシングボックス９５ｂに対向しており、捨て吐出を実施することができる。これにより、液滴吐出ヘッド１７は、「待ち」状態の間に吐出ノズル７８が乾燥することを抑制して、「待ち」状態後に重量測定吐出を良好に行うことができる。

（７）吐出検査ブロック４ａは、重量測定ユニット１９、フラッシングユニット１４、及び検査描画ユニット１６１が一体に設けられているため、Ｘ軸リニアモータ２６と、Ｘ軸共通支持ベース２４とに加えて、Ｘ軸第２スライダ２３を用いて、Ｘ軸方向に一体で移動する。重量測定ユニット１９、フラッシングユニット１４、及び検査描画ユニット１６１をそれぞれＸ軸方向に移動するために、Ｘ軸スライダをそれぞれ個別に設ける構成に比べて、移動させるための装置を小型化することができる。

（８）液滴吐出装置１は、ワーク載置台２１が液滴吐出ヘッド１７に対向しない位置に設定されている給除材位置に、ワーク載置台２１を位置させて、ワークＷの給除材を実施する。これにより、ワークＷの給除材が実施されている状態において、重量測定ユニット１９を液滴吐出ヘッド１７に対向させることが可能となるため、給除材の間に、重量測定を実施することができる。

（９）重量測定時フラッシングボックス９５ａ及び定期フラッシングボックス９３は、検査カメラ１６３が、検査シート１８１のＸ軸方向におけるいずれの位置に臨んだ状態でも、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７が、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は定期フラッシングボックス９３に対向する大きさに形成されている。これにより、検査カメラ１６３による検査シート１８１の上に着弾した液滴の画像取得の際に、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出を同時に実施することができる。

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。

（変形例１）前記実施形態においては、吐出重量のずれに対処する方法として、液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電圧を補正することで吐出量を適正な値に調整する方法について説明したが、吐出重量のずれに対処する方法は、他の方法であってもよい。例えば、当該吐出重量が適正でない液滴吐出ヘッドからの吐出液滴が着弾する位置に隣接する位置に着弾させる液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを、吐出重量が適正でない液滴吐出ヘッドと合わせて適正な吐出重量となるように調整することで補ってもよい。

（変形例２）前記実施形態においては、吐出重量のずれを補正する方法として、液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電圧を補正することで吐出量を適正な値に調整する方法について説明したが、吐出重量のずれを補正する方法は、他の方法であってもよい。ヘッドの駆動方法が異なるヘッドを用いる場合には、当該駆動方法に適した補正方法を用いる。

（変形例３）前記実施形態においては、代表外ヘッドに代表ヘッドと同じ駆動電圧の補正を実施していたが、代表外ヘッドに対して実施する補正が代表ヘッドと同じ駆動電圧の補正であることは必須ではない。ヘッドグループに属するそれぞれの液滴吐出ヘッドにおいて、駆動電圧の変動量に対する吐出重量の変動量の特性を予め求めて、代表外ヘッドに対しては、当該変動量の特性を考慮した補正を加えてもよい。例えば、代表外ヘッドに対しては、代表ヘッドに実施した駆動電圧によって代表ヘッドにおいて生ずる吐出量の補正量と同等の吐出量の変化を生ずる電圧補正を実施してもよい。駆動電圧の変動量に対する吐出重量の変動量の特性を予め求める工程が、補正変動特性取得工程に相当する。駆動電圧の変動量に対する吐出重量の変動量の特性を予め求めるための測定装置などが、補正変動特性取得部に相当する。

（変形例４）前記実施形態においては、ヘッドグループは、共通の機能液タンク６１、供給管６６ａ、サブタンク６２、供給管６６ｂ、及び中継タンク６３を介して機能液１０が供給される、赤ユニットグループ５４Ｒ、緑ユニットグループ５４Ｇ、又は青ユニットグループ５４Ｂであった。しかし、ヘッドグループが、機能液タンク６１、供給管６６ａ、サブタンク６２、供給管６６ｂ、及び中継タンク６３を共通にすることは必須ではない。機能液タンク６１のような給液タンクのみを共通にするヘッドグループであってもよいし、機能液タンク６１、供給管６６ａ、サブタンク６２、供給管６６ｂ、及び中継タンク６３に加えて供給管６６ｃの途中までをも共通にするヘッドグループであってもよい。
機能液タンクのみを共通にするヘッドグループについて、前記実施形態で説明した発明を適用することで、吐出重量の測定に要する時間をより少なくすることができる。また、前記実施形態で説明した吐出ユニット２及び重量測定ユニット１９のような吐出ユニット及び重量測定ユニットを備える液滴吐出装置１においては、機能液タンク６１を共通にする３つのヘッドグループのそれぞれにおける代表ヘッド３個について、同時に吐出重量の測定を実施することができる。
供給管６６ｃの途中までも共通にするヘッドグループについて、前記実施形態で説明した発明を適用することで、ヘッドグループに属する液滴吐出ヘッドに供給される機能液をより均一にすることができる。

（変形例５）前記実施形態においては、代表ヘッドについて測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が、所定の値を超える場合には、代表ヘッドが属するヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッド１７について吐出重量の測定を実施していたが、ヘッドグループの全ての液滴吐出ヘッドについて実施することは必須ではない。代表ヘッドについて再度吐出重量の測定を実施してもよいし、ヘッドグループの代表ヘッド以外の液滴吐出ヘッドについて吐出重量の測定を実施してもよい。

測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が、所定の値を超えたことが、代表ヘッドに一時的に生じた吐出重量の変動や、重量測定ユニットの測定誤差の変動に起因するものである可能性がある。代表ヘッドに一時的に生じた吐出重量の変動や、重量測定ユニットの測定誤差の変動に起因するものである場合には、代表ヘッドについて再度吐出重量の測定を実施することで、正しい測定値が得られる可能性が高いため、吐出重量の変動の原因を検証することができる。

測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が、所定の値を超えたことが、代表ヘッドの吐出重量のみが変動したことに起因するものである可能性がある。ヘッドグループの代表ヘッド以外の液滴吐出ヘッドについて吐出重量の測定を実施することで、代表ヘッドの吐出重量のみが変動した場合であるか否かを検証することができる。

（変形例６）前記実施形態においては、給液管としての供給管６６ｃは各液滴吐出ヘッド１７ごとに設けられていたが、液滴吐出ヘッドごとに専用の給液管を設けることは必須ではない。ヘッド群の複数の液滴吐出ヘッドごとに一本の給液管を設け、液滴吐出ヘッドの手前で分岐する構成であってもよい。
また、前記実施形態においては、サブタンク６２は、それぞれのヘッドユニット５４に対応して１０個設けられていたが、サブタンクの数はもっと少なくてもよいし、もっと多くてもよい。複数のヘッドユニットごとに１個のサブタンクを設けて、サブタンクの数を減らすことで、液滴吐出装置に必要なスペースを小さくすることができる。サブタンクの数を増やして、ヘッド群ごとや、ヘッドごとに１個設けることで、ヘッド群ごとやヘッドごとに供給量や供給圧などの詳細な調節を実施することができる。

（変形例７）前記実施形態においては、重量測定装置９１における受液容器９４の位置は各重量測定装置９１において一定であって、ヘッド群５５の同じ位置の液滴吐出ヘッド１７に臨んでいたが、重量測定装置における受液容器の位置は各重量測定装置ごとに異なってもよい。重量測定装置における受液容器の位置を各重量測定装置ごとにずらすことで、例えば、前記実施形態における、液滴吐出ヘッド１７ａと液滴吐出ヘッド１７ｈとに、同時に受液容器９４を臨ませることが可能となる。これにより、赤ユニットグループ５４Ｒと緑ユニットグループ５４Ｇとの両方の代表ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７ａ及び液滴吐出ヘッド１７ｈの吐出重量の測定を同時に実施することができる。

（変形例８）前記実施形態においては、吐出重量を測定される代表ヘッドは、各ヘッドグループごとに一台であったが、代表ヘッドが各ヘッドグループごとに一台であることは必須ではない。ヘッドグループに、複数の代表ヘッドを設定してもよい。複数の代表ヘッドについて測定することで、代表ヘッドの吐出重量のみが変動したことに起因して、適切でない処置を実施する可能性を小さくすることができる。

（変形例９）前記実施形態においては、駆動電圧の補正を実施しても吐出重量の誤差が規格に適合しない場合には、再度駆動電圧の補正を実施しており、規格に適合する（ステップＳ２６又はステップＳ３４でＹＥＳ）か、更に誤差が大きくなって所定の値を超える（ステップＳ３０又はステップＳ３５でＮＯ）まで繰り返していた。しかし、駆動電圧の補正を実施するためには、確認の吐出重量測定の時間などが必要であり、駆動電圧の補正を何回も繰り返すことは、効率的ではない。駆動電圧の補正を実施する回数を予め定めておき、当該回数に達した場合には、補正不可（吐出重量誤差が所定の値を超えた場合と同じ）と判定して、次の工程に進んでもよい。

（変形例１０）前記実施形態においては、検査シート１８１を有する検査描画ユニット１６１は、重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と、Ｘ軸方向（主走査方向）に、一体に移動するように構成されていた。しかし、検査吐出着弾シートと重量測定ユニットとを、主走査方向に、一体に移動させることは必須ではない。検査シートと、重量測定ユニットとをそれぞれ個別に主走査方向に移動させる構成であってもよい。そのように構成することで、検査シートが撮像ユニットの検査カメラに対向しているときに、重量測定ユニットと液滴吐出ヘッドとを対向させることができる。

前記実施形態においては、撮像ユニット１６２の検査カメラ１６３によって、検査シート１８１に着弾した機能液の液滴の画像を取得するステップ（状態情報取得ステップ）の後で、液滴吐出ヘッド１７から重量測定ユニット１９の受液容器９４に向けて重量測定吐出（重量測定吐出ステップ）を実施していた。しかし、検査吐出着弾シートと、重量測定ユニットとをそれぞれ個別に主走査方向に移動させるように構成することで、検査シートが検査カメラに対向している状態で、重量測定ユニットと液滴吐出ヘッドとを対向させることを可能ならしめ、状態情報取得ステップと、重量測定吐出ステップとを、略並行して実施することができる。

（変形例１１）前記実施形態においては、重量測定は、各液滴吐出ヘッド１７ごとに実施していたが、吐出重量を液滴吐出ヘッド１７の単位で測定することは必須ではない。液滴吐出ヘッドが備えるノズル列ごとに測定してもよいし、各ノズルごとに測定してもよい。

（変形例１２）前記実施形態においては、吐出検査をワークＷの交換が１回実施されるごとに１回実施していたが、吐出検査をワークＷの交換の度に実施することは必須ではない。例えば、ヘッドグループが、前記実施形態において説明した赤ユニットグループ５４Ｒ、緑ユニットグループ５４Ｇ、又は青ユニットグループ５４Ｂであって、一つのヘッド群に含まれる全部の代表ヘッドの重量測定が各１回実施される間に、吐出検査を１回実施してもよい。

（変形例１３）前記実施形態においては、給除材工程の間に検査カメラ１６３によって、検査シート１８１に着弾した機能液の液滴の画像を取得するステップ（状態情報取得ステップ）を実施していたが、給除材工程の間に状態情報取得ステップを実施することは必須ではない。液滴吐出ヘッドを用いる検査吐出のみを給除材工程の間に実施して、状態情報取得ステップは描画吐出などと並行して実施してもよい。

（変形例１４）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７が重量測定吐出を実施している間に、当該液滴吐出ヘッド１７が属するヘッド群５５を構成する他の液滴吐出ヘッド１７は捨て吐出を実施していた。しかし、当該液滴吐出ヘッド１７が重量測定吐出を実施する間にそれらの液滴吐出ヘッド１７が捨て吐出を実施することは必須ではない。１個の液滴吐出ヘッド１７が重量測定吐出を実施している間に、他の液滴吐出ヘッド１７において、吐出ノズルの乾燥などの不具合が発生する可能性が実質的になければ、他の液滴吐出ヘッド１７は単に休止していてもよい。

（変形例１５）前記実施形態においては、１回の給除材時間の間に、１個の液滴吐出ヘッド１７が重量測定吐出を実施して、１個の液滴吐出ヘッド１７が吐出した液滴の重量測定が実施されていたが、１回の給除材時間の間に１個の液滴吐出ヘッド１７についてのみ重量測定を実施することは必須ではない。１回の給除材時間の間に複数の液滴吐出ヘッドについて重量測定を実施することが可能であれば、複数の液滴吐出ヘッドについて重量測定を実施してもよい。

（変形例１６）前記実施形態においては、赤ユニットグループ５４Ｒ、緑ユニットグループ５４Ｇ、及び青ユニットグループ５４Ｂの、それぞれの代表ヘッドの全てについて、重量測定が終了するごとに、重量測定を実施することなく、描画を実施する期間を設けていた。しかし、重量測定を実施することなく、描画を実施する期間を設けることは必須ではない。ワークＷの交換が実施される際には、毎回重量測定を実施してもよい。

（変形例１７）前記実施形態においては、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が所定の値を超える場合には、測定結果を検証するために、再度重量測定を実施していたが、測定結果を検証するために実施するのが重量測定であることは必須ではない。測定結果を検証するために実施するのは、吐出検査ユニット１８を用いた吐出検査などであってもよい。

（変形例１８）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７のみがＹ軸方向に移動可能であって、吐出検査ブロック４ａは、重量測定ユニット１９、フラッシングユニット１４、及び検査描画ユニット１６１が一体に設けられており、Ｙ軸方向の位置は互いに固定であった。また、検査カメラ１６３を有する撮像ユニット１６２もＹ軸方向の位置は固定であった。しかし、検査描画ユニット１６１の検査シート１８１、撮像ユニット１６２、又は重量測定ユニット１９、をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動装置を設けてもよい。

前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７のみがＹ軸方向に移動可能であるため、上記各装置間のＹ軸方向の相対移動は、液滴吐出ヘッド１７のＹ軸方向への移動によってなされていた。例えば、受液容器９４にヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７の１個を対向させると、ヘッド群５５のＹ軸方向の位置が、必ずしも、検査描画ユニット１６１の検査シート１８１の適切な位置に対向しないため、液滴吐出ヘッド１７が対向するべき装置ごとに、液滴吐出ヘッド１７のＹ軸方向への移動を行う必要があった。Ｙ軸方向移動装置を設けることによって、検査描画ユニット１６１の検査シート１８１、撮像ユニット１６２、及び重量測定ユニット１９の相互間の相対移動が可能となるため、相互間のＹ軸方向の位置合わせを実施することができる。これにより、これらの装置に対する液滴吐出ヘッド１７の位置合わせのための液滴吐出ヘッド１７のＹ軸方向への移動及び位置合わせの必要回数を、少なくすることができる。

（変形例１９）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７と、ワーク載置台２１と、のＸ軸方向の相対移動は、ワーク載置台２１をＸ軸方向に移動することで実施していた。液滴吐出ヘッド１７と、検査描画ユニット１６１、重量測定ユニット１９、又はフラッシングユニット１４と、のＸ軸方向の相対移動は、検査描画ユニット１６１と重量測定ユニット１９とフラッシングユニット１４とからなる吐出検査ブロック４ａをＸ軸方向に移動することで実施していた。撮像ユニット１６２と検査描画ユニット１６１とのＸ軸方向の相対移動は、検査描画ユニット１６１をＸ軸方向に移動することで実施していた。しかし、これらのＸ軸方向の相対移動をワーク載置台２１、又は吐出検査ブロック４ａをＸ軸方向に移動することで実施することは必須ではない。液滴吐出ヘッド１７又は撮像ユニット１６２をＸ軸方向に移動することによって、上記したＸ軸方向の相対移動を実施する構成であってもよい。

また、前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７と、ワーク載置台２１、検査描画ユニット１６１、重量測定ユニット１９、又はフラッシングユニット１４と、のＹ軸方向の相対移動は、液滴吐出ヘッド１７を有する吐出ユニット２をＹ軸方向に移動することで実施していた。当該相対移動は、吐出検査ブロック４ａをＹ軸方向に移動することで実施する構成であってもよい。

更に、上記Ｘ軸方向及びＹ軸方向の相対移動を、ワーク載置台２１、吐出検査ブロック４ａ、液滴吐出ヘッド１７、又は撮像ユニット１６２をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させることによって実施する構成であってもよい。

（変形例２０）前記実施形態においては、ステップＳ２２はステップＳ４と略同時に開始され、ステップＳ２２及び続いて実施するステップＳ２３からステップＳ３９は、ステップＳ４，Ｓ５，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を実施する間に、ステップＳ４，Ｓ５，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３に並行して実施されていた。しかし、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が所定の値を超えた場合に実施するステップＳ３０からステップＳ３１、又は検証のために実施するステップＳ３２からステップＳ３９を実施する場合には、ステップＳ２２からステップＳ２８を実施するための時間に加えて、ステップＳ３０からステップＳ３１とステップＳ２５とステップＳ２６、又はステップＳ３２からステップＳ３９を実施するための時間が、必要である。これらのステップを実施するための時間の合計が給除材工程の時間を超える場合には、ステップＳ３０からステップＳ３１又はステップＳ３２からステップＳ３９を実施する必要が生じた際は、描画吐出を一旦停止してもよい。

（変形例２１）前記実施形態においては、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が規格値に適合しない場合には、測定結果を検証するために、液滴吐出ヘッド１７の吐出重量の測定を実施していたが、誤差が規格値に適合しない場合の対処としては、他の方法を採ってもよい。例えば、吐出重量測定に先行して実施してある吐出検査の結果から、吐出重量測定の測定結果の誤差の要因を判定し、要因に対応した対処をしてもよい。吐出ノズルの詰りや細り（吐出ノズルが詰まりかけている）が要因である可能性が高い場合には、吸引ユニットによる機能液の強制排出や、ワイピングユニットによるノズル形成面の拭取などの、液滴吐出ヘッドのノズル面や吐出ノズルのクリーニングを実施する。吐出ノズルの詰りや細りは、クリーニングによって解消できる可能性が高い。ノズル詰まりや細りが無い場合は、吐出重量の異常と判断し、吐出重量の測定などの再検査を実施する。

（変形例２２）前記実施形態においては、吐出検査に連続して吐出重量測定を実施していたが、吐出検査と吐出重量測定とを連続して実施することは必須ではない。吐出検査の結果に対応した処置を実施した後に、吐出重量の測定を実施してもよい。吐出ノズルの詰りや細りが発生していると、吐出重量が減少して、吐出重量の測定結果は規格を満たさないものになる可能性がある。しかし、上記変形例に記載したように、吐出ノズルの詰りや細りは、クリーニングによって解消できる可能性が高い。保守作業（クリーニング）を、重量測定の前に実施することで、ノズル詰まりのように、クリーニングによって容易に解消できる要因を排除した状態で、より正確な重量測定を実施することができる。

（変形例２３）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７ａが受液容器９４に臨んでいる状態では、液滴吐出ヘッド１７ｇも受液容器９４に臨んでおり、液滴吐出ヘッド１７ｇも受液容器９４に向けて赤色機能液１０Ｒを吐出するが、電子天秤９９による測定は実施しなかった。しかし、液滴吐出ヘッド１７ｇの吐出重量も測定する方法であってもよい。即ち、前記変形例に記載したように、液滴吐出ヘッド１７ａ及び液滴吐出ヘッド１７ｇの２個の液滴吐出ヘッド１７を、代表ヘッドとしてもよい。
或は、一方の液滴吐出ヘッドを代表ヘッドとして、もう一方の液滴吐出ヘッドを、代表ヘッドの吐出重量の測定結果が適正でなかった場合に、当該液滴吐出ヘッドの吐出重量の測定結果を、代表ヘッドの吐出重量の測定結果を検証するために用いる副代表ヘッドとしてもよい。前記実施形態の液滴吐出装置１においては、副代表ヘッドの吐出重量の測定は、代表ヘッドと同時に実施できるため、副代表ヘッドの吐出重量の測定を実施することによる、重量測定に要する時間の増大はない。更に、代表ヘッドの吐出重量の測定結果が適正であった場合には、副代表ヘッドの吐出重量の測定結果は無視することで、データ処理などに要する時間や、重量測定制御ユニットの負荷が増加することは殆どない。また、代表ヘッドの吐出重量の測定結果が適正でなかった場合には、新たに重量測定を実施することなく、少なくとも１個の液滴吐出ヘッドを用いた確認検査工程を、代表ヘッドの吐出重量の測定に並行して、実施することができる。

液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。液滴吐出装置の概略構成を示す、Ｘ軸方向に延在する側面の側面図。液滴吐出装置の概略構成を示す、Ｙ軸方向に延在する側面の側面図。液滴吐出ヘッドの概要を示す外観斜視図。ヘッドユニットの外観斜視図。液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。検査描画ユニットの全体構成を示す外観斜視図。（ａ）重量測定ブロックの平面図。（ｂ）重量測定ブロックの側面図。検査カメラと、液滴吐出ヘッドと、重量測定時フラッシングボックス及び定期フラッシングボックスと、の位置関係を示す模式図。アライメントカメラと、ワーク載置台と、定期フラッシングボックスと、重量測定時フラッシングボックスと、ヘッド群の液滴吐出ヘッドとの位置関係を示す模式図。ヘッドユニットと重量測定装置との位置関係を示す側面図。液滴吐出ヘッドと重量測定装置との位置関係を示す平面図。（ａ）ヘッドユニットと重量測定装置との位置関係を示す側面図。（ｂ）液滴吐出ヘッドと重量測定装置との位置関係を示す平面図。（ａ）ヘッドユニットを、取付けられた液滴吐出ヘッドの液体導入部側から見た外観斜視図。（ｂ）給液ユニットの構成、及びヘッドユニットとの結合状態を示す説明図。描画工程を示すフローチャート。

符号の説明

１…液滴吐出装置、２…吐出ユニット、４…検査ユニット、４ａ…吐出検査ブロック、６…吐出装置制御部、７…給液ユニット、１０…機能液、１０Ｂ…青色機能液、１０Ｇ…緑色機能液、１０Ｒ…赤色機能液、１１…Ｘ軸テーブル、１２…Ｙ軸テーブル、１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１７ｅ，１７ｆ，１７ｇ，１７ｈ，１７ｊ，１７ｋ，１７ｍ，１７ｎ…液滴吐出ヘッド、１９…重量測定ユニット、２１…ワーク載置台、２２…Ｘ軸第１スライダ、２３…Ｘ軸第２スライダ、４４…ＣＰＵ、５１…キャリッジユニット、５４…ヘッドユニット、５４Ｂ…青ユニットグループ、５４Ｇ…緑ユニットグループ、５４Ｒ…赤ユニットグループ、５５…ヘッド群、６１，６１Ｂ，６１Ｇ，６１Ｒ…機能液タンク、６１ａ…貯留部、６２…サブタンク、６３，６３Ｂ，６３Ｇ，６３Ｒ…中継タンク、６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６ｃＢ，６６ｃＧ，６６ｃＲ…供給管、９１…重量測定装置、９３…定期フラッシングボックス、９４…受液容器、９５，９５ａ，９５ｂ…重量測定時フラッシングボックス、９９…電子天秤、１８１…検査シート、Ｗ…ワーク。

Claims

液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドを備え、前記複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの液滴吐出ヘッドに前記液状体を供給する液供給要件が共通である第一の複数の液滴吐出ヘッドから成るヘッドグループを有する液滴吐出装置における、液滴吐出ヘッドの吐出重量測定方法であって、
前記ヘッドグループを構成する第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、前記ヘッドグループを構成する前記第一の複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する重量測定工程を有することを特徴とする吐出重量測定方法。
前記液供給要件が、前記液状体を貯留する給液タンクであって、前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドは、共通の前記給液タンクに結合されて、当該給液タンクから前記液状体を供給されることを特徴とする、請求項１に記載の吐出重量測定方法。
前記液供給要件が、前記給液タンクから前記液滴吐出ヘッドに至る前記液状体の流路である給液管を含み、
前記給液管は、前記給液タンクに結合された主給液管と、前記主給液管に結合された複数の枝給液管とを有し、
前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドは、前記複数の枝給液管のそれぞれの枝給液管に結合されて、共通の前記給液タンクから共通の前記主給液管を介して前記液状体を供給されることを特徴とする、請求項２に記載の吐出重量測定方法。
前記重量測定工程において測定された前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の、基準値に対する差異が、所定の値を超えた場合には、確認検査工程を実施することを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の吐出重量測定方法。
前記確認検査工程は、前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を再度測定する再測定工程であることを特徴とする、請求項４に記載の吐出重量測定方法。
前記確認検査工程は、前記ヘッドグループを構成する前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第二の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する第二ヘッド測定工程であることを特徴とする、請求項４に記載の吐出重量測定方法。
前記確認検査工程は、前記ヘッドグループを構成する全ての前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する全ヘッド測定工程であることを特徴とする、請求項４に記載の吐出重量測定方法。
前記ヘッドグループを構成する前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第三の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、前記ヘッドグループを構成するそれぞれの前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する第二重量測定工程を、更に有することを特徴とする、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の吐出重量測定方法。
液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドを備え、前記複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの液滴吐出ヘッドに前記液状体を供給する液供給要件が共通である第一の複数の液滴吐出ヘッドから成るヘッドグループを備える液滴吐出装置における、液滴吐出ヘッドの保守方法であって、
前記ヘッドグループを構成する第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する基準重量測定工程と、
前記基準重量測定工程において測定された吐出重量を吐出重量の規格値と比較した結果に基づいて、前記第一の液滴吐出ヘッドに対して吐出条件の補正を実施する基準ヘッド補正工程と、
前記基準重量測定工程において測定された吐出重量を吐出重量の規格値と比較した結果に基づいて、前記ヘッドグループを構成する前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第二の液滴吐出ヘッドに対して、吐出条件の補正を実施する第二ヘッド補正工程と、を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの保守方法。
前記第二ヘッド補正工程において、前記基準ヘッド補正工程において実施された、前記吐出条件の補正と同等の吐出条件の補正を、前記第二の液滴吐出ヘッドに対して、実施することを特徴とする、請求項９に記載の液滴吐出ヘッドの保守方法。
前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドのそれぞれについて、前記吐出条件の補正量に対応する吐出量の変動量である補正変動特性を求める補正変動特性取得工程を更に備え、
前記第二ヘッド補正工程では、前記基準ヘッド補正工程において実施された前記吐出条件の補正に対して、前記第一の液滴吐出ヘッドの前記補正変動特性と、前記第二の液滴吐出ヘッドの前記補正変動特性と、の差異に相当する補助補正を加えた、前記吐出条件の第二補正を、前記第二の液滴吐出ヘッドに対して実施することを特徴とする、請求項９に記載の液滴吐出ヘッドの保守方法。
前記液供給要件が、前記液状体を貯留する給液タンクであって、前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドは、共通の前記給液タンクに結合されており、当該給液タンクから前記液状体を供給されることを特徴とする、請求項９乃至１１のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドの保守方法。
前記液供給要件が、前記給液タンクから前記液滴吐出ヘッドに至る前記液状体の流路である給液管を含み、
前記給液管は、前記給液タンクに結合された主給液管と、前記主給液管に結合された複数の枝給液管とを有し、
前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドは、前記複数の枝給液管のそれぞれの枝給液管に結合されて、共通の前記給液タンクから共通の前記主給液管を介して前記液状体を供給されることを特徴とする、請求項１２に記載の液滴吐出ヘッドの保守方法。
前記液滴吐出ヘッドの駆動源は圧電素子であって、前記吐出条件の一つは、前記液滴吐出ヘッドに印加する駆動電圧であり、前記補正は、駆動電圧値の補正又は駆動電圧波形の補正を含むことを特徴とする、請求項９乃至１３のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドの保守方法。
前記基準重量測定工程において測定された前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の、基準値に対する差異が、所定の値を超えた場合には、確認検査工程を実施することを特徴とする、請求項９乃至１４のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドの保守方法。
前記確認検査工程は、前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を再度測定する再測定工程であることを特徴とする、請求項１５に記載の液滴吐出ヘッドの保守方法。
前記確認検査工程は、前記ヘッドグループを構成する前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第三の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する第二ヘッド測定工程であることを特徴とする、請求項１５に記載の液滴吐出ヘッドの保守方法。
前記確認検査工程は、前記ヘッドグループを構成する全ての前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する全ヘッド測定工程であることを特徴とする、請求項１５に記載の液滴吐出ヘッドの保守方法。
前記ヘッドグループを構成する前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第四の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、前記ヘッドグループを構成するそれぞれの前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する第二基準重量測定工程を、更に有し、
前記第二基準重量測定工程における測定結果に基づいて、前記基準ヘッド補正工程及び前記第二ヘッド補正工程を実施することを特徴とする、請求項９乃至１８のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドの保守方法。
液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドと、
前記複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの液滴吐出ヘッドに臨む位置に移動可能であり、前記液滴吐出ヘッドが吐出する前記液状体を受けることが可能な重量測定受器を有し、吐出された前記液状体の重量を測定する重量測定ユニットと、
前記重量測定ユニットを制御する重量測定制御ユニットと、
複数の液供給部を有し、前記複数の液供給部におけるそれぞれの液供給部の協働によって、前記複数の液滴吐出ヘッドにおけるそれぞれの液滴吐出ヘッドに前記液状体を供給する液供給ユニットと、を備え、
前記複数の液滴吐出ヘッドは、共通の前記液供給部に接続されて前記液状体の供給を受ける第一の複数の液滴吐出ヘッドを有し、
前記重量測定制御ユニットは、前記重量測定ユニットを制御して、前記第一の複数の液滴吐出ヘッドから成るヘッドグループに含まれる第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、前記ヘッドグループを構成する前記第一の複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定することを特徴とする液滴吐出装置。
前記液滴吐出ヘッドの吐出条件を設定する吐出条件設定部を更に備え、
前記吐出条件設定部は、前記重量測定ユニットが測定した前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の測定結果に基づいて、前記第一の液滴吐出ヘッド、及び前記ヘッドグループに含まれる前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第二の液滴吐出ヘッドに対して、それぞれ吐出条件の補正を実施することを特徴とする、請求項２０に記載の液滴吐出装置。
前記吐出条件設定部は、前記重量測定ユニットが測定した前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の測定結果に基づいて、前記第一の液滴吐出ヘッド、及び前記第二の液滴吐出ヘッドに対して、それぞれ吐出条件の同一の補正を実施することを特徴とする、請求項２１に記載の液滴吐出装置。
前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドのそれぞれについて、前記吐出条件の補正量に対応する吐出量の変動量である補正変動特性の情報を取得する補正変動特性取得部を更に備え、
前記吐出条件設定部は、前記第一の液滴吐出ヘッドに対して実施された前記吐出条件の補正に対して、前記第一の液滴吐出ヘッドの前記補正変動特性と、前記第二の液滴吐出ヘッドの前記補正変動特性と、の差異に相当する補助補正を加えた、前記吐出条件の第二補正を、前記第二の液滴吐出ヘッドに対して実施することを特徴とする、請求項２１に記載の液滴吐出装置。
前記液供給部が、前記液状体を貯留する給液タンクであって、前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドは、共通の前記給液タンクに結合されており、当該給液タンクから前記液状体を供給されることを特徴とする、請求項２０乃至２３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
前記液供給部が、前記給液タンク及び前記給液タンクから前記液滴吐出ヘッドに至る前記液状体の流路である給液管であって、
前記給液管は、前記給液タンクに結合された主給液管と、前記主給液管に結合された複数の枝給液管とを有し、
前記ヘッドグループに含まれる前記液滴吐出ヘッドは、前記複数の枝給液管のそれぞれの枝給液管に結合されて、共通の前記給液タンクから共通の前記主給液管を介して前記液状体を供給されることを特徴とする、請求項２０乃至２４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
前記重量測定制御ユニットは、前記ヘッドグループを構成する前記第一の複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定するために、重量測定ユニットを制御して、前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の測定を実施する際に、
少なくとも、１回の吐出重量測定の機会と次の吐出重量測定の機会とにおいて、異なる液滴吐出ヘッドを、前記第一の液滴吐出ヘッドとして用いることを特徴とする、請求項２０乃至２５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの液滴吐出ヘッドから液状体を吐出することによって、前記液状体を着弾させる対象である基材上に前記液状体を配置する描画吐出工程と、
それぞれの前記液滴吐出ヘッドに前記液状体を供給する液供給要件が共通である第一の複数の液滴吐出ヘッドから成るヘッドグループに含まれる第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、前記ヘッドグループを構成する前記第一の複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する基準重量測定工程と、を有することを特徴とする液滴吐出方法。
前記基準重量測定工程において測定された吐出重量を吐出重量の規格値と比較した結果に基づいて、前記第一の液滴吐出ヘッドに対して吐出条件の補正を実施する基準ヘッド補正工程と、
前記基準重量測定工程において測定された吐出重量を吐出重量の規格値と比較した結果に基づいて、前記ヘッドグループを構成する前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第二の液滴吐出ヘッドに対して、吐出条件の補正を実施する第二ヘッド補正工程と、を更に有することを特徴とする、請求項２７に記載の液滴吐出方法。
前記第二ヘッド補正工程において、前記第二の液滴吐出ヘッドに対して、前記基準ヘッド補正工程において実施された、前記吐出条件の補正と同等の吐出条件の補正を実施することを特徴とする、請求項２８に記載の液滴吐出方法。
前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドのそれぞれについて、前記吐出条件の補正量に対応する吐出量の変動量である補正変動特性を求める補正変動特性取得工程を更に備え、
前記第二ヘッド補正工程では、前記基準ヘッド補正工程において実施された前記吐出条件の補正に対して、前記第一の液滴吐出ヘッドの前記補正変動特性と、前記第二の液滴吐出ヘッドの前記補正変動特性と、の差異に相当する補助補正を加えた、前記吐出条件の第二補正を、前記第二の液滴吐出ヘッドに対して実施することを特徴とする、請求項２８に記載の液滴吐出方法。
前記液供給要件が、前記液状体を貯留する給液タンクであって、前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドは、共通の前記給液タンクに結合されており、当該給液タンクから前記液状体を供給されることを特徴とする、請求項２７乃至３０のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
前記液供給要件が、前記給液タンクから前記液滴吐出ヘッドに至る前記液状体の流路である給液管を含み、
前記給液管は、前記給液タンクに結合された主給液管と、前記主給液管に結合された複数の枝給液管とを有し、
前記ヘッドグループを構成する前記液滴吐出ヘッドは、前記複数の枝給液管のそれぞれの枝給液管に結合されて、共通の前記給液タンクから共通の前記主給液管を介して前記液状体を供給されることを特徴とする、請求項３１に記載の液滴吐出方法。
前記液滴吐出ヘッドの駆動源は圧電素子であって、前記吐出条件の一つは、前記液滴吐出ヘッドに印加する駆動電圧であり、前記補正は、駆動電圧値の補正又は駆動電圧の波形の補正を含むことを特徴とする、請求項２７乃至３２のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
前記基準重量測定工程において測定された前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量の、基準値に対する差異が、所定の値を超えた場合には、確認検査工程を実施することを特徴とする、請求項２７乃至３３のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
前記確認検査工程は、前記第一の液滴吐出ヘッドの吐出重量を再度測定する再測定工程であることを特徴とする、請求項３４に記載の液滴吐出方法。
前記確認検査工程は、前記ヘッドグループを構成する前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第三の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する第二ヘッド測定工程であることを特徴とする、請求項３４に記載の液滴吐出方法。
前記確認検査工程は、前記ヘッドグループを構成する全ての前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定する全ヘッド測定工程であることを特徴とする、請求項３４に記載の液滴吐出方法。
前記ヘッドグループを構成する前記第一の液滴吐出ヘッドとは異なる第四の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、前記ヘッドグループを構成するそれぞれの前記液滴吐出ヘッドの吐出重量を推定する第二基準重量測定工程を、更に有し、
前記第二基準重量測定工程における測定結果に基づいて、前記基準ヘッド補正工程及び前記第二ヘッド補正工程を実施することを特徴とする、請求項２７乃至３７のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。