KR101696251B1

KR101696251B1 - 액적 토출 장치 및 액적 토출 장치의 제어 방법

Info

Publication number: KR101696251B1
Application number: KR1020100102751A
Authority: KR
Inventors: 요시히로 이토
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2009-10-26
Filing date: 2010-10-21
Publication date: 2017-01-13
Also published as: US20110096119A1; TW201127500A; CN102069639B; KR20110046294A; US8376512B2; CN102069639A

Abstract

(과제) 첫 번째로, 워크 처리의 택트 타임에 영향을 미치는 일 없이, 그리고 시간적 제약을 받지 않고, 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사를 실시할 수 있고, 두 번째로, 워크 처리의 택트 타임을 단축할 수 있음과 함께, 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사 시간을 충분히 취할 수 있는 액적 토출 장치 등을 제공한다.
(해결 수단) 워크(W)를 세트하는 세트 스테이지(32)와, 버림 토출을 받는 플러싱 유닛(13)과, 검사 토출을 받는 검사 스테이지(14)와, 기능 액적 토출 헤드(8)를 검사하는 검사 에어리어(23)에 설치되어, 검사 토출 결과를 화상 인식하는 화상 인식 유닛(15)과, 세트 스테이지(32), 플러싱 유닛(13) 및 검사 스테이지(14)를, 묘화하는 묘화 에어리어(21) 및 검사 에어리어(23) 사이를 이동시키는 이동 수단(33, 34, 35)을 구비하고, 이동 수단(33, 34, 35)은, 세트 스테이지(32) 및 플러싱 유닛(13)에 대하여, 검사 스테이지(14)를 개별적으로 이동 가능하게 구성한 것이다.

Description

액적 토출 장치 및 액적 토출 장치의 제어 방법{DROPLET DISCHARGE DEVICE AND METHOD FOR CONTROLLING DROPLET DISCHARGE DEVICE}

본 발명은, 공통의 이동축 상에 있어서, 기능 액적 토출 헤드(functional droplet discharge head)에 의한 워크(workpiece)로의 묘화(drawing)와 기능 액적 토출 헤드의 검사를 행하는 액적 토출 장치 및 액적 토출 장치의 제어 방법에 관한 것이다.

종래, 이 종류의 액적 토출 장치로서, 워크의 공급 및 제거 중에 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사를 실시하는 것이 알려져 있다(특허문헌 1 참조).

이 액적 토출 장치는, 워크 테이블에 세트한 워크를, X축 방향으로 이동시키는 X축 테이블과, X축 테이블을 걸치도록 설치된 Y축 테이블과, Y축 테이블에 탑재되어, 복수의 기능 액적 토출 헤드를 갖는 2조의 캐리지 유닛을 구비하고 있다. X축 테이블에는, 워크 테이블 외에, 기능 액적 토출 헤드로부터의 검사 토출을 받는 타깃 유닛과, 기능 액적 토출 헤드로부터의 플러싱(flushing) 토출을 받는 정기(periodic) 플러싱 박스가 이동이 자유롭게 탑재되고, 또한 Y축 테이블의 가이드 레일 부분에는, 검사 시트에 검사 토출된 착탄 도트(deposited dot)를 화상 인식하는 촬상 유닛이 수설(suspend)되어 있다.

X축 테이블 및 Y축 테이블이 교차하는 영역에는, 기능액을 토출하여 묘화를 행하는 묘화 에어리어가 설정되고, 묘화 에어리어로부터 X축 방향으로 떨어져 있는 영역에는, 워크의 얼라인먼트나 워크를 공급 및 제거하는 얼라인먼트 위치가 설정되어 있다. 세트 테이블을 개재하여 워크를 얼라인먼트 위치로 이동시키면, 정기 플러싱 박스가 기능 액적 토출 헤드(캐리지 유닛)의 바로 아래로 이동하고, 세트 테이블과 정기 플러싱 박스의 사이에 위치하는 타깃 유닛이, 촬상 유닛의 바로 아래로 이동한다. 이 상태에서, 워크의 공급 및 제거 및 얼라인먼트(공급 및 제거 동작)가 실시되고, 또한 공급 및 제거 동작을 실시하고 있는 동안에, 기능 액적 토출 헤드로부터 정기 플러싱 박스로의 버림 토출(보수(maintenance) 동작) 및 촬상 유닛에 의한 화상 인식(토출 검사)이 실시되도록 되어 있다.

일본공개특허공보 2009-6212호

그러나, 이러한 액적 토출 장치에서는, 워크 테이블 및 정기 플러싱 박스의 사이에 타깃 유닛이 배치되어 있기 때문에, 검사 토출은, 검사 데이터를 묘화 데이터에 포함시킴으로써, 묘화 동작에 이어서 실시할 수 있지만, 화상 인식(토출 검사)은, 워크의 공급 및 제거 동작 동안밖에 실시할 수 없는 제약이 있었다. 이 때문에, 토출 검사가 공급 및 제거 동작의 시간보다 긴 경우, 워크 처리의 택트 타임에 영향이 생겨 버린다. 반대로, 택트 타임(tact time)을 유지하고자 하면, 검사 내용에 시간적 제약이 생기는 문제가 있었다.

본 발명은, 첫 번째로, 워크 처리의 택트 타임에 영향을 미치는 일 없이, 그리고 시간적 제약을 받지 않고, 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사를 실시할 수 있는 액적 토출 장치 및 액적 토출 장치의 제어 방법을, 두 번째로, 워크 처리의 택트 타임을 단축할 수 있음과 함께, 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사 시간을 충분히 취할 수 있는 액적 토출 장치 및 액적 토출 장치의 제어 방법을 제공하는 것을 과제로 하고 있다.

<싱글 스테이지>

본 발명의 액적 토출 장치는, 묘화 에어리어에 있어서, 워크를 이동시키면서 기능 액적 토출 헤드를 구동하여 워크에 묘화를 행함과 함께, 묘화 에어리어로부터 워크의 이동 방향으로 떨어져 있는 검사 에어리어에 있어서는, 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사를 행하는 액적 토출 장치로서, 워크를 세트하는 세트 스테이지와, 세트 스테이지에 대하여 검사 에어리어측에 설치되어, 기능 액적 토출 헤드로부터의 버림 토출을 받는 플러싱 유닛과, 플러싱 유닛에 대하여 검사 에어리어측에 설치되어, 기능 액적 토출 헤드로부터의 검사 토출을 받는 검사 시트를 탑재한 검사 스테이지와, 검사 에어리어에 설치되어, 검사 시트로의 검사 토출 결과를 화상 인식하는 화상 인식 수단과, 세트 스테이지, 플러싱 유닛 및 검사 스테이지를, 묘화 에어리어 및 검사 에어리어 사이로 연재하는 공통의 이동축 상에 있어서 이동시키는 이동 수단을 구비하고, 이동 수단은, 세트 스테이지 및 플러싱 유닛에 대하여, 검사 스테이지를 개별적으로 이동 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

이 구성에 의하면, 세트 스테이지, 플러싱 유닛 및 검사 스테이지는, 묘화 에어리어 및 검사 에어리어 사이로 연재하는 이동축 상에, 묘화 에어리어측으로부터 이 순서로 이동 가능하게 설치되고, 화상 인식 수단은, 검사 에어리어에 설치되어 있다. 또한, 검사 스테이지는, 세트 스테이지 및 플러싱 유닛에 대하여 개별적으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 이 때문에, 묘화 에어리어에 있어서 검사 스테이지에 대하여 검사 토출을 행한 후, 검사 스테이지를 화상 인식 수단에 면하게 하여, 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사(화상 인식)를 실시하지만, 이 토출 검사에 병행하여, 세트 스테이지를 묘화 에어리어에 면하게 하여, 묘화를 실행할 수 있다. 또한, 워크의 공급 및 제거시에는, 기능 액적 토출 헤드를 플러싱 유닛에 상대적으로 면하게 하여 버림 토출(보수)을 실시하지만, 이 워크의 공급 및 제거에 요하는 시간도, 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사 시간으로서 이용할 수 있다. 따라서, 워크 처리의 택트 타임에 영향을 주지 않아, 시간적 제약을 받는 일 없이, 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사를 실시할 수 있다.

이 경우, 이동 수단은, 세트 스테이지 및 검사 스테이지에 대하여, 플러싱 유닛을 개별적으로 이동 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 워크의 공급 및 제거시에, 기능 액적 토출 헤드를 플러싱 유닛에 상대적으로 면하게 하여 버림 토출을 실시할 수 있다. 이 때문에, 워크의 공급 및 제거시에, 기능 액적 토출 헤드를 양호한 상태로 유지할 수 있다.

또한, 묘화 에어리어로부터 보아 검사 에어리어의 선방에, 검사 스테이지를 보수하기 위한 서브 메인터넌스 에어리어가 설정되고, 이동축은, 검사 에어리어를 넘어 서브 메인터넌스 에어리어까지 연이어 설치되고, 묘화 에어리어 및 검사 에어리어를 덮는 주(主)챔버와, 서브 메인터넌스 에어리어를 덮는 부(副)챔버를 추가로 구비한 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 검사 시트를 탑재한 검사 스테이지를, 주챔버로부터 부챔버로 이동하여, 검사 시트의 교환 등의 메인터넌스 작업을 실시할 수 있다. 이에 따라, 주챔버에 있어서의 묘화 동작에 영향을 미치는 일 없이, 검사 스테이지의 메인터넌스를 실시할 수 있다.

한편, 기능 액적 토출 헤드의 검사에는, 기능 액적 토출 헤드에 있어서의 각 토출 노즐의 토출 불량을 검사하는 토출 불량 검사와, 각 토출 노즐로부터의 기능액의 토출량을 검사하는 토출량 검사가 있고, 기능 액적 토출 헤드, 화상 인식 수단 및 이동 수단을 제어하는 제어 수단을 추가로 구비하고, 제어 수단은, 검사 시트에 토출 불량 검사를 위한 제1 검사 토출 및, 토출량 검사를 위한 제2 검사 토출을 실시시킴과 함께, 제1 검사 토출의 토출 결과에 대한 화상 인식 및, 제2 검사 토출의 토출 결과에 대한 화상 인식을 실시시키는 것이 바람직하다.

본 발명에서는, 묘화 동작 중에 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사를 실시할 수 있다. 즉, 토출 검사를 위한 시간을 충분히 확보할 수 있다. 따라서, 기능 액적 토출 헤드의 토출 불량 검사 외에, 토출량 검사를 실시할 수 있어, 이 검사 결과를 묘화 동작에 반영함으로써, 묘화 품질 및 워크의 수율을 향상시킬 수 있다.

마찬가지로, 기능 액적 토출 헤드의 검사에는, 기능 액적 토출 헤드에 있어서의 각 토출 노즐의 토출 불량을 검사하는 토출 불량 검사와, 각 토출 노즐로부터의 기능액의 토출량을 검사하는 토출량 검사가 있고, 검사 스테이지는, 토출 불량 검사를 위한 제1 검사 토출을 받는 제1 검사 시트를 탑재한 제1 검사 스테이지와, 토출량 검사를 위한 제2 검사 토출을 받는 제2 검사 시트를 탑재한 제2 검사 스테이지를 갖고, 화상 인식 수단은, 제1 검사 스테이지로의 제1 검사 토출 결과를 화상 인식하는 제1 화상 인식 유닛과, 제2 검사 스테이지로의 제2 검사 토출 결과를 화상 인식하는 제2 화상 인식 유닛을 갖고 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 토출 불량 검사를 위한 제1 검사 토출을 제1 검사 스테이지(제1 검사 시트)에서 받음과 함께, 토출량 검사를 위한 제2 검사 토출을 제2 검사 스테이지(제2 검사 시트)에서 받도록 하고 있기 때문에, 토출 불량 검사 및 토출량 검사의 토출 패턴이 상호 제약을 받는 일이 없다. 또한 동시에, 토출 검사를 위한 제어계를 단순화할 수 있다.

또한, 제1 검사 시트의 교환 빈도에 대하여, 제2 검사 시트의 교환 빈도가 높게 설정되어 있으며, 이동축 상에 있어서, 세트 스테이지측으로부터 제1 검사 스테이지 및 제2 검사 스테이지의 순서로 설치되고, 이동 수단은, 제1 검사 스테이지 및 제2 검사 스테이지를 개별적으로 이동 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 검사 시트 및 제2 검사 시트의 교환 빈도는, 각각 상이하기 때문에, 개별적으로 검사 시트의 권취 타이밍이나 교환 타이밍 등을 조정할 수 있다. 또한, 교환 빈도가 높은 제2 검사 스테이지가, 이동축에 대하여 최외단에 설치되어 있기 때문에, 제2 검사 시트의 교환시에, 제1 검사 스테이지가 방해가 되는 일이 없다.

본 발명의 액적 토출 장치의 제어 방법은, 워크를 이동시키면서 기능 액적 토출 헤드를 구동하여, 워크에 묘화를 행하는 묘화 에어리어와, 묘화 에어리어로부터 워크의 이동 방향으로 떨어져 있는 위치에 설정되어, 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사를 행하는 검사 에어리어를 갖고, 묘화 에어리어 및 검사 에어리어 사이에 연재하는 공통의 이동축 상에 워크를 세트하는 세트 스테이지 및 기능 액적 토출 헤드로부터의 검사 토출을 받는 검사 스테이지를 탑재함과 함께, 검사 에어리어에, 검사 스테이지로의 검사 토출 결과를 화상 인식하는 화상 인식 수단을 배치한 액적 토출 장치의 제어 방법으로서, 워크에 묘화를 행하기 직전에, 묘화 에어리어에 있어서 검사 스테이지에 검사 토출을 실시하고, 그 후, 묘화 에어리어에 있어서 워크로의 묘화를 행하고 있는 동안에, 검사 스테이지를 검사 에어리어로 이동시켜, 화상 인식 수단에 의한 검사 토출 결과의 화상 인식을 실시하는 것을 특징으로 한다.

이 구성에 의하면, 워크로의 묘화 중에 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사(화상 인식)를 실시하도록 하고 있기 때문에, 토출 검사를 위한 시간을 충분히 취할 수 있다. 따라서, 워크 처리의 택트 타임에 영향을 주지 않고, 그리고 시간적 제약을 받는 일 없이, 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사를 실시할 수 있다.

<더블 스테이지>

본 발명의 다른 액적 토출 장치는, 묘화 에어리어에 있어서, 워크를 이동시키면서 기능 액적 토출 헤드를 구동하여 워크에 묘화 동작을 실시하고, 묘화 에어리어로부터 워크의 이동 방향 양외측으로 떨어져 있는 2개의 워크 공급 및 제거 에어리어에 있어서, 워크의 공급 및 제거를 번갈아 실시하고, 각 워크 공급 및 제거 에어리어의 이동 방향 외측으로 떨어져 있는 2개의 검사 에어리어에 있어서, 화상 인식에 의한 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사를 번갈아 실시하는 액적 토출 장치로서, 워크가 세트되는 한 쌍의 세트 스테이지와, 각 세트 스테이지의 외측에 설치되어, 기능 액적 토출 헤드로부터의 검사 토출을 받는 한 쌍의 검사 스테이지와, 각 검사 에어리어에 설치되어, 검사 스테이지의 검사 토출 결과를 화상 인식하는 한 쌍의 화상 인식 수단과, 한쪽의 세트 스테이지를, 묘화 에어리어 및 한쪽의 워크 공급 및 제거 에어리어 사이에서 자유롭게 이동시킴과 함께, 다른 한쪽의 세트 스테이지를, 묘화 에어리어 및 다른 한쪽의 워크 공급 및 제거 에어리어 사이에서 자유롭게 이동시키고, 그리고 한쪽의 검사 스테이지를 묘화 에어리어 및 한쪽의 검사 에어리어 사이에서 이동시킴과 함께, 다른 한쪽의 검사 스테이지를 묘화 에어리어 및 다른 한쪽의 검사 에어리어 사이에서 이동시키는 이동 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

이 경우, 기능 액적 토출 헤드, 한 쌍의 화상 인식 수단 및 한 쌍의 이동 수단을 제어하는 제어 수단을 추가로 구비하고, 제어 수단은, 한 쌍의 세트 스테이지를 묘화 에어리어와 각 워크 공급 및 제거 에어리어와의 사이에서 번갈아 이동시켜, 묘화 동작을 번갈아 실시함과 함께, 한 쌍의 검사 스테이지를 묘화 에어리어와 각 검사 에어리어와의 사이에서 번갈아 이동시켜, 묘화 동작과 함께 행하는 검사 토출 및 토출 검사를 번갈아 실시하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 한 쌍의 세트 스테이지를 묘화 에어리어 및 워크 공급 및 제거 에어리어 사이에서 이동시켜, 묘화 동작을 번갈아 실시함과 함께, 한 쌍의 검사 스테이지를 묘화 에어리어 및 검사 에어리어 사이에서 이동시켜, 묘화 동작과 함께 행하는 검사 토출 및 토출 검사를 번갈아 실시한다. 이에 따라, 워크로의 묘화 동작과 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사를 번갈아 연속하여 실시할 수 있다. 또한, 한쪽의 검사 스테이지로의 검사 토출 후, 이를 즉시 검사 에어리어로 이동시키면, 한쪽의 세트 스테이지에 있어서의 워크로의 묘화를 실시하고 있는 동안에, 한쪽의 화상 인식 수단에 의한 토출 검사를 실시할 수 있다. 또한, 토출 검사의 시간을 취하고 싶다면, 이어지는 다른 한쪽의 세트 스테이지에 있어서의 워크로의 묘화 동작 중도, 토출 검사의 시간으로서 활용할 수 있다. 따라서, 워크로의 묘화 동작에 대한 택트 타임을 단축할 수 있음과 함께, 토출 검사의 시간을 충분히 취할 수 있다.

또한, 이동 수단은, 한 쌍의 세트 스테이지 및 한 쌍의 검사 스테이지를 공통의 이동축 상에 있어서 이동시키는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 한 쌍의 세트 스테이지 및 한 쌍의 검사 스테이지에 있어서의 이동계의 구조를 단순화할 수 있다. 또한, 이동 수단에 리니어 모터를 이용하는 것이 바람직하다.

또한, 제어 수단은, 묘화 에어리어에 있어서, 각 세트 스테이지를 이동 방향으로 복수회 왕복운동시켜 묘화 동작을 실시하고, 왕복운동의 최초의 왕동(advancing) 동작에 동기하여, 검사 스테이지를 검사 에어리어로부터 묘화 에어리어로 이동시켜 검사 토출을 실시하는 것이 바람직하다.

이 경우, 제어 수단은, 검사 토출를 실시한 후, 검사 스테이지를 묘화 에어리어로부터 검사 에어리어로 이동시켜 토출 검사를 실시하는 것이 바람직하다.

이들 구성에 의하면, 묘화 동작에 영향을 미치는 일 없이 토출 검사을 실시할 수 있음과 함께, 실제의 묘화 상황을 반영한 검사 토출을 행할 수 있다. 또한, 검사 토출이 묘화 동작의 초기에 행해지는 만큼, 토출 검사의 시간을 충분히 취할 수 있다.

또한, 제어 수단은, 토출 검사를, 검사 토출을 수반한 묘화 동작이 완료될 때까지 완료하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 토출 검사의 검사 결과를 다음 묘화 동작에 반영할 수 있기 때문에, 수율을 향상시킬 수 있다.

마찬가지로, 제어 수단은, 토출 검사를, 검사 토출을 수반한 묘화 동작의 다음의 묘화 동작이 완료될 때까지 완료하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 워크 처리(묘화 동작)의 택트 타임에 영향을 미치는 일 없이, 시간을 요하는 고정밀도의 토출 검사도 행할 수 있다.

한편, 각 워크 공급 및 제거 에어리어에 설치되어, 워크의 공급 및 제거를 행하는 한 쌍의 공급 및 제거 수단을 추가로 구비하고, 제어 수단은, 한 쌍의 공급 및 제거 수단을 제어하고, 각 워크 공급 및 제거 에어리어로 이동해 온 각 세트 스테이지에 대하여, 워크의 공급 및 제거를 실시하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 세트 스테이지에 대한 워크의 공급 및 제거를 연속적으로 행할 수 있다. 즉, 워크로의 묘화 동작과 워크의 공급 및 제거를 번갈아 연속하여 행할 수 있어, 워크 처리(묘화 동작)를 효율 좋게 행할 수 있다.

또한, 한 쌍의 세트 스테이지 사이에 설치되어, 기능 액적 토출 헤드로부터의 버림 토출을 받는 단일의 플러싱 유닛을 추가로 구비하고, 이동 수단은, 플러싱 유닛을 2개의 워크 공급 및 제거 에어리어 사이에 있어서 이동 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 상기의 토출 검사 결과가 NG가 된 경우 등, 일시적으로 묘화 동작을 정지시키는 경우가 생겨도, 기능 액적 토출 헤드로부터의 버림 토출을 실시할 수 있어, 기능 액적 토출 헤드의 토출 성능을 유지할 수 있다. 또한, 플러싱 유닛을 활용하여, 묘화 개시시에 항상 행하는 버림 토출(묘화 전 플러싱)을 실시할 수 있다.

마찬가지로, 한쪽의 검사 스테이지의 이동 방향 외측에 설치되어, 기능 액적 토출 헤드로부터의 버림 토출을 받는 단일의 플러싱 유닛을 추가로 구비하고, 이동 수단은, 플러싱 유닛을 한쪽의 검사 에어리어와 묘화 에어리어 사이에 있어서 이동 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 플러싱 유닛은, 워크의 이동 방향 최외단에 위치하는 구성이 된다. 이에 따라, 플러싱 유닛의 보수를, 묘화 동작에 관계없이 행할 수 있다.

마찬가지로, 각 세트 스테이지의 이동 방향 내측에 첨설(添設)되어, 기능 액적 토출 헤드로부터의 버림 토출을 받는 한 쌍의 플러싱 유닛을 추가로 구비하고, 이동 수단은, 각 플러싱 유닛을 각 세트 스테이지와 일체로 이동 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 상기의 토출 검사 결과가 NG가 된 경우 등, 일시적으로 묘화 동작을 정지시키는 경우가 생겨도, 기능 액적 토출 헤드로부터의 버림 토출을 실시할 수 있어, 기능 액적 토출 헤드의 토출 성능을 유지할 수 있다. 또한, 플러싱 유닛을 활용하여, 묘화 개시시에 항상 행하는 버림 토출(묘화 전 플러싱)을 실시할 수 있다. 게다가, 각 플러싱 스테이지 및 각 세트 스테이지의 이동계를 단순화할 수 있다. 또한, 플러싱 유닛은, 세트 스테이지에 탑재된 형태라도 좋고, 연결된 형태라도 좋다.

또한, 한 쌍의 세트 스테이지 사이에 설치되어, 기능 액적 토출 헤드로부터 토출된 기능액의 중량을 측정하는 단일의 중량 측정 스테이지를 추가로 구비하고, 이동 수단은, 중량 측정 스테이지를 2개의 워크 공급 및 제거 에어리어 사이에 있어서 이동 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 기능 액적 토출 헤드의 교환(캐리지 교환)시 등, 토출 기능액의 중량 측정이 필요한 경우에, 이동 수단 상에 있어서, 이를 실시할 수 있어, 생산성을 향상시킬 수 있다.

또한, 한쪽의 검사 스테이지의 이동 방향 외측에 설치되어, 기능 액적 토출 헤드로부터 토출된 기능액의 중량를 측정하는 단일의 중량 측정 스테이지를 추가로 구비하고, 이동 수단은, 중량 측정 스테이지를 한쪽의 검사 에어리어와 묘화 에어리어 사이에 있어서 이동 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 중량 측정 스테이지는, 워크의 이동 방향 최외단에 위치하는 구성이 된다. 이에 따라, 중량 측정 스테이지의 보수를, 묘화 동작에 관계없이 행할 수 있다.

도 1은 제1 실시 형태에 따른 액적 토출 장치의 평면 모식도(schematic view)이다.
도 2는 기능 액적 토출 헤드의 외관 사시도이다.
도 3은 제1 실시 형태에 따른 액적 토출 장치에 의한 일련의 동작을 설명하기 위한 설명도이다.
도 4는 제1 변형예에 따른 액적 토출 장치의 평면 모식도이다.
도 5는 제2 변형예에 따른 액적 토출 장치의 평면 모식도이다.
도 6은 제2 변형예에 따른 액적 토출 장치에 의한 일련의 동작을 설명하기 위한 설명도이다.
도 7은 제2 실시 형태에 따른 액적 토출 장치의 평면 모식도이다.
도 8은 제2 실시 형태에 따른 액적 토출 장치의 일련의 동작을 설명하기 위한 설명도이다.
도 9는 제1 변형예에 따른 액적 토출 장치의 평면 모식도이다.
도 10은 제2 변형예에 따른 액적 토출 장치의 평면 모식도이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시 형태에 따른 액적 토출 장치 및 그 제어 방법에 대해서 설명한다. 이 액적 토출 장치는, 플랫 패널 디스플레이의 제조 라인에 포함되어 있으며, 예를 들면 특수한 잉크나 발광성의 수지액인 기능액을 도입한 잉크젯 방식의 기능 액적 토출 헤드를 이용하여, 컬러 필터나 유기 EL 장치의 각 화소가 되는 발광 소자 등을 형성함과 함께, 이에 병행하여 기능 액적 토출 헤드의 기능 유지·기능 회복(보수)을 실시하는 것이다.

<제1 실시 형태 : 싱글 스테이지>

도 1에 나타내는 바와 같이, 액적 토출 장치(1)는, 묘화시에 있어서 주주사 방향이 되는 X축 방향으로 연재하여, 워크(W)를 X축 방향으로 이동시키는 X축 테이블(2)과, X축 테이블(2)을 걸치도록 놓여져, 묘화시에 있어서 부주사 방향이 되는 Y축 방향으로 연재하는 Y축 테이블(3)과, Y축 테이블(3)로 이동이 자유롭게 적설(suspend)되어, 복수(12개)의 기능 액적 토출 헤드(8)가 각각 탑재된 13개의 캐리지 유닛(4)을 구비하고 있다. 액적 토출 장치(1)는, X축 테이블(2) 및 Y축 테이블(3)의 구동과 동기하여, 기능 액적 토출 헤드(8)를 선택적으로 토출 구동시킴으로써, 워크(W)에 소정의 묘화 패턴에 기초하여 묘화한다. 또한, 캐리지 유닛(4)은, 각 도면에 있어서 4개만 도시하고 있으며, 또한, 기능 액적 토출 헤드(8)는, 각 도면에 있어서 1개의 캐리지 유닛(4)에 대해서 1개만 도시하고 있다.

또한, 액적 토출 장치(1)는, 흡인 유닛(11), 와이핑(wiping) 유닛(12) 및 플러싱 유닛(13)을 갖고, 기능 액적 토출 헤드(8)를 메인터넌스하는 메인터넌스 장치(5)와, 검사 스테이지(14) 및 화상 인식 유닛(15)(화상 인식 수단)을 가지며, 기능 액적 토출 헤드(8)의 토출 검사를 행하는 토출 검사 장치(6)를 구비하고 있다. 흡인 유닛(11) 및 와이핑 유닛(12)은, 후술하는 메인터넌스 에어리어(22)에 설치되고, 플러싱 유닛(13) 및 검사 스테이지(14)는, 묘화 에어리어(21)와 후술하는 검사 에어리어(23)와의 사이에서 이동이 자유롭게 설치되며, 또한 화상 인식 유닛(15)은, 검사 에어리어(23)에 설치되어 있다.

또한, 액적 토출 장치(1)는, 이들 구성 장치를 통괄 제어하는 제어 장치(도시 생략)를 구비함과 함께, 이들 구성 장치를 수용하는 챔버(7)를 구비하고 있다. 챔버(7)는, 프리패브 형식의 그린 부스(prefabricated green booth)의 형태를 갖고, 그 내부는, 상시 환기를 행하여, 내부 분위기를 일정한 온도 등으로 분위기 조화(調和)되어 있다.

X축 테이블(2) 및 Y축 테이블(3)의 교차 영역에는, 워크(W)에 묘화 처리를 행하는 묘화 에어리어(21)가 설정되고, 묘화 에어리어(21)로부터 Y축 방향으로 떨어져 있는 Y축 테이블(3)의 이동 영역에는, 흡인 유닛(11) 및 와이핑 유닛(12)을 설치한 메인터넌스 에어리어(22)가 설정되어 있다. 또한, 묘화 에어리어(21)로부터 X축 방향으로 떨어져 있는 X축 테이블(2)의 한쪽의 이동 영역에는, 상기의 토출 검사 장치(6)를 설치한 검사 에어리어(23)가 설정되고, 다른 한쪽의 이동 영역에는, 워크(W)를 공급 및 제거하기 위한 워크 공급 및 제거 에어리어(24)가 설정되어 있다.

X축 테이블(2)은, X축 방향으로 연재하는 한 쌍의 X축 가이드 레일(31)(이동축)과, 한 쌍의 X축 가이드 레일(31)에 탑재되어, 워크(W)를 흡착 세트하는 세트 스테이지(32)와, 세트 스테이지(32)를 X축 가이드 레일(31)을 따라서 이동시키는 세트 스테이지 이동 기구(33)와, 플러싱 유닛(13)을 X축 가이드 레일(31)을 따라서 이동시키는 플러싱 이동 기구(34)와, 검사 스테이지(14)를 X축 가이드 레일(31)을 따라서 이동시키는 검사 스테이지 이동 기구(35)를 갖고 있다.

세트 스테이지 이동 기구(33), 플러싱 이동 기구(34) 및 검사 스테이지 이동 기구(35)는, 이들 기구에 대응하는 3개의 슬라이더를 갖는 리니어 모터로 구성되어 있으며, 세트 스테이지(32), 플러싱 유닛(13) 및 검사 스테이지(14)는, X축 가이드 레일(31) 상을 개별적으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 한 쌍의 X축 가이드 레일(31)은, 워크 공급 및 제거 에어리어(24), 묘화 에어리어(21) 및 검사 에어리어(23)를 종단하도록 연재(extend)하고 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 청구항에서 말하는 이동 수단은, 세트 스테이지 이동 기구(33), 플러싱 이동 기구(34) 및 검사 스테이지 이동 기구(35)로 구성되어 있다. 또한, 세트 스테이지(32) 및 플러싱 유닛(13)을, 단일의 슬라이더에 의해 일체로 하여 이동시키도록 해도 좋다(도시 생략).

Y축 테이블(3)은, X축 테이블(2)을 걸쳐 Y축 방향으로 연재하는 한 쌍의 Y축 가이드 레일(41)과, 한 쌍의 X축 가이드 레일(31)에 놓도록 탑재되어, 각 캐리지 유닛(4)을 각각 적설한 복수의 브리지 플레이트(도시 생략)와, 각 브리지 플레이트를 개재하여 복수의 캐리지 유닛(4)을 Y축 가이드 레일(41)을 따라서 이동시키는 캐리지 이동 기구(42)를 갖고 있다. 캐리지 이동 기구(42)는, 복수의 캐리지 유닛(4)(복수의 브리지 플레이트)에 대응하는 복수의 슬라이더를 갖는 리니어 모터로 구성되어 있으며, 각 캐리지 유닛(4)을 개별적으로 이동 가능하게 구성되어 있다(13개의 캐리지 유닛(4)을 일체로 하여 이동시키는 것도 가능). 또한, 한 쌍의 Y축 가이드 레일(41)은, 묘화 에어리어(21)를 횡단하여 메인터넌스 에어리어(22)까지 연장되어 있으며, Y축 테이블(3)은, 묘화시에 기능 액적 토출 헤드(8)(캐리지 유닛(4))를 부주사하는 것 외에, 메인터넌스시에 캐리지 유닛(4)을 메인터넌스 에어리어(22)에 면하게 한다.

각 캐리지 유닛(4)은, R·G·B·C·M·Y의 6색, 각 2개(총 12개)의 기능 액적 토출 헤드(8)와, 12개의 기능 액적 토출 헤드(8)를 6개씩 2군으로 나누어 지지하는 헤드 플레이트로 이루어지는 헤드 유닛(도시 생략)을 구비하고 있다. 또한, 각 캐리지 유닛(4)은, 헤드 유닛을 θ 회전 가능하게 지지하는 θ 회전 기구와, θ 회전 기구를 개재하여, 헤드 유닛을 브리지 플레이트에 지지시키는 적설 부재(모두 도시 생략)를 구비하고 있다. 또한, 캐리지 유닛(4)의 개수 및 각 캐리지 유닛(4)에 탑재되는 기능 액적 토출 헤드(8)의 개수는 임의이다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 기능 액적 토출 헤드(8)는, 2줄의 접속침(54)을 갖는 기능액 도입부(51)와, 기능액 도입부(51)에 이어지는 2줄의 헤드 기판(52)과, 헤드 기판(52)에 이어져 기능액을 토출하는 헤드 본체(53)를 구비하고 있다. 기능액 도입부(51)는, 도면 밖의 기능액 공급 장치로부터 기능액의 공급을 받는다. 또한, 헤드 본체(53)는, 피에조 소자 등으로 구성되는 2줄의 펌프부(55)와, 복수의 토출 노즐(57)이 형성된 노즐면(58)을 갖는 노즐 플레이트(56)를 갖고 있다. 노즐 플레이트(56)에 형성된 복수의 토출 노즐(57)은, 등간격으로 나열되어 있으며, 노즐열(59)을 2열 형성하고 있다. 그리고, 2열의 노즐열(59)은, 서로 평행하게 그리고 노즐 피치의 1/2 위치가 어긋나게 배열되어 있다. 기능 액적 토출 헤드(8)는, 제어 장치로부터의 구동 파형이, 헤드 기판(52)을 개재하여 각 펌프부(55)(압전 소자)에 인가됨으로써, 각 토출 노즐(57)로부터 기능액을 토출한다. 또한, 후술하는 도트 배치오류(misplacement)나 궤적이탈(trajectory deviation)을 검사하기 위한 제1 검사 토출에 있어서는, 노즐열(59) 단위로 기능액을 검사 토출하고, 토출량을 측정하기 위한 제2 검사 토출에 있어서는, 토출 위치를 옮기면서, 노즐열(59) 단위로 기능액을 복수회 토출한다.

메인터넌스 에어리어(22)에 설치한 흡인 유닛(11)은, 복수의 캐리지 유닛(4)과 동일한 갯수의 개별 흡인 유닛(11a)으로 구성되어 있다. 각 개별 흡인 유닛(11a)은, 12개의 기능 액적 토출 헤드(8)에 대응하는 12개의 헤드 캡을 갖는 캡 유닛과, 캡 유닛에 이어지는 흡인 기구와, 캡 유닛을 승강시키는 승강 기구(모두 도시 생략)를 구비하고 있다. 개별 흡인 유닛(11a)은, 보관용·기능액 흡인용의 밀접 위치와, 플러싱용의 이간 위치(displaced position)와, 헤드 유닛의 교환이나 캡 유닛의 소모품 교환용의 교환 위치와의 사이에서 캡 유닛을 3단계로 승강시킨다.

와이핑 유닛(12)은, 묘화 에어리어(21) 및 흡인 유닛(11) 사이에 설치되어 있으며, 와이핑 시트를 롤 형상으로 권회한 조출 릴(paying-out reel)과, 조출릴로부터 조출된 와이핑 시트를 권취하는 권취릴과, 양 릴 사이에 놓여진 와이핑 시트를 기능 액적 토출 헤드(8)에 밀어붙이는 압압 롤러(모두 도시 생략)를 갖고 있다. 와이핑 유닛(12)은, 압압 롤러를 개재하여 기능 액적 토출 헤드(8)에 와이핑 시트를 밀어붙이면서, 와이핑 시트를 주행시키고, 또한 전체를 X축 방향으로 이동시켜, 각 캐리지 유닛(4)의 기능 액적 토출 헤드(8)의 노즐면(58)을 털어 닦아낸다(wipe off).

플러싱 유닛(13)은, 세트 스테이지(32)에 대하여 검사 에어리어(23)측에 설치되어 있으며, 플러싱 이동 기구(34)에 의해 X축 가이드 레일(31)에 대하여 슬라이드가 자유롭게 지지되어 있다. 플러싱 유닛(13)은, 기능 액적 토출 헤드(8)로부터 토출된 기능액을 받는 플러싱 박스와, 플러싱 박스 내에 쌓인 기능액을 흡인하여 배출하는 흡인 배출 기구(함께 도시 생략)를 구비하고 있다. 플러싱 유닛(13)은, 워크(W)의 공급 및 제거시에, 기능 액적 토출 헤드(8)로부터의 버림 토출(플러싱)을 받아, 기능 액적 토출 헤드(8)의 기능액 토출을 안정시킨다.

또한, 도시에서는 생략했지만, 세트 스테이지(32)의 X축 방향 양단부(兩端部)에는, 한 쌍의 묘화 전(pre-drawing) 플러싱 유닛이 설치되어 있으며, 왕복운동의 묘화 동작으로 이행한 이동 중의 기능 액적 토출 헤드(8)로부터 플러싱을 받도록 되어 있다.

토출 검사 장치(6)는, 상기한 바와 같이, 묘화 에어리어(21)로부터 X축 방향으로 떨어져 있는 X축 테이블(2)의 한쪽의 영역에 설정된 검사 에어리어(23)(홈(home) 위치)에 설치되어 있으며, 검사 스테이지(14) 및 화상 인식 유닛(15)으로 구성되어 있다. 토출 검사시에, 검사 스테이지(14)는, 캐리지 유닛(4)(기능 액적 토출 헤드(8))의 바로 아래로 이동하여 검사 토출을 받은 후, 화상 인식 유닛(15)의 바로 아래로 이동하여 화상 인식에 제공된다.

검사 스테이지(14)는, 플러싱 유닛(13)에 대하여 검사 에어리어(23)측에 설치되어 있으며, 검사 스테이지 이동 기구(35)에 의해 X축 가이드 레일(31)에 대하여 슬라이드가 자유롭게 지지되어 있다. 검사 스테이지(14)는, 롤 형상으로 권회한 검사 시트(S)를 흡착하여 올려놓는 검사 테이블(61)과, 검사 테이블(61)에 검사 시트(S)를 조출하는 조출 기구(62)와, 검사 후의 검사 시트(S)를 권취하는 권취 기구(63)를 구비하고 있다. 검사 스테이지(14)는, 조출 기구(62)에 의해 조출된 검사 시트(S)를, 검사 테이블(61)에 흡착시킨 상태에서, 기능 액적 토출 헤드(8)로부터의 검사 토출을 받는다. 그리고, 검사 스테이지(14)는, 권취 기구(63)에 의해, 착탄 도트로 가득 메워진 검사 후의 검사 시트(S)를 권취함과 함께, 새로운 검사 시트(S)를 검사 테이블(61)에 조출한다. 또한, 검사 테이블(61)에 조출된 검사 시트(S)에는, 토출 불량 검사를 실시하기 위해 제1 검사 토출을 받는 제1 검사 토출 영역(64)과, 토출량 검사를 실시하기 위해 제2 검사 토출을 받는 제2 검사 토출 영역(65)이 설정되어 있다.

화상 인식 유닛(15)은, 검사 스테이지(14)와 상방으로부터 마주하는 카메라(71)와, 카메라(71)를 지지하는 카메라대(72)와, X축 테이블(2)을 걸치도록 놓여져, 카메라대(72)를 Y축 방향으로 슬라이드가 자유롭게 지지하는 카메라 프레임(73)과, 카메라대(72)를 개재하여 카메라(71)를 카메라 프레임(73)을 따라서 Y축 방향으로 이동시키는 카메라 이동 기구(도시 생략)를 갖고 있다. 카메라 프레임(73)은, X축 테이블(2)의 양측방으로 설치된 복수개의 지주(74)와, 지주(74)에 지지되어, Y축 방향으로 연재하는 한 쌍의 카메라 가이드(75)로 구성되어 있으며, 전체적으로 문(gate) 형상으로 형성되어 있다. 화상 인식 유닛(15)은, 카메라대(72)를 개재하여 카메라(71)를 Y축 방향으로 이동시키면서, 검사 시트(S)에 검사 토출된 착탄 도트를 수 도트씩 연속하여 화상 인식한다. 또한, 카메라(71)는, 복수대 형성되어 있어도 좋고, 이러한 경우에는, 화상 인식 시간을 단축할 수 있다.

여기에서, 제1 검사 토출 영역(64)에 대한 제1 검사 토출 결과에 기초하여 행해지는 토출 불량 검사와, 제2 검사 토출 영역(65)에 대한 제2 검사 토출 결과에 기초하여 행해지는 토출량 검사에 대해서 설명한다. 토출 불량 검사는, 기능 액적 토출 헤드(8)에 있어서의 각 토출 노즐(57)의 토출 불량을 검사하기 위한 것으로, 우선 검사 시트(S)에 대하여 전(全)토출 노즐(57)로부터 기능 액적을 토출시킨다(제1 검사 토출). 그리고, 화상 인식 유닛(15)에 의해 제1 검사 토출 결과를 화상 인식한다. 인식된 화상은, 제어 장치에서 화상 처리되어 도트 배치오류나 궤적이탈이 검사된다. 이 검사 결과에 있어서, 경도(輕度)의 NG가 된 경우에는, 플러싱 유닛(13)에 플러싱을 행하여 기능 회복을 도모하고, 중도(重度)의 NG가 된 경우에는, 흡인 유닛(11) 및 와이핑 유닛(12)에 의해 기능액 흡인 및 와이핑을 행하여 기능 회복을 도모한다.

한편, 토출량 검사는, 각 토출 노즐(57)로부터의 기능액의 토출량을 검사하기 위한 것으로, 검사 스테이지 이동 기구(35)를 구동하면서, 검사 시트(S)에 동일한 노즐열(59)에 의해 복수회 기능액을 토출한다(제2 검사 토출). 그리고, 화상 인식 유닛(15)에 의해 제2 검사 토출 결과를 화상 인식하고, 화상 처리를 거쳐 착탄 도트의 면적으로부터 각 토출 노즐(57)에 대해서 평균 토출량이 산출된다. 그리고, 산출된 기능액 토출량에 기초하여, 기능 액적 토출 헤드(8)의 구동 전압이 보정된다.

이와 같이, 제1 검사 토출은, 제2 검사 토출보다 좁은 영역에서도 검사 토출할 수 있기 때문에, 제1 검사 토출 영역(64)은, 주주사 방향(X축 방향)에 있어서 제2 검사 토출 영역(65)보다 좁게 설정되어 있다. 또한, 제2 토출 검사는, 반드시 워크(W)에 대한 묘화마다 행할 필요가 없으며, 정기적으로 행하면 좋다. 이러한 경우에는, 제2 검사 토출을 행하는 경우에만 제2 검사 토출 영역(65)을 설정하고, 제2 검사 토출을 행하지 않는 경우에는 검사 시트(S) 전면(全面)을 제1 검사 토출 영역(64)으로 설정한다(도시 생략).

다음으로, 도 3을 참조하여 액적 토출 장치(1)에 있어서의 일련의 동작에 대해서, 워크(W)에 대한 묘화 및 기능 액적 토출 헤드(8)의 토출 검사를 중심으로 설명한다. 또한, 여기에서는 기능 액적 토출 헤드(8)의 토출 검사로서, 토출 불량 검사만을 행하는 경우에 대해서 설명한다. 워크(W)를 얼라인먼트 상태로 세트한 세트 스테이지(32)가 워크 공급 및 제거 에어리어(24)에 위치하고 있으며, 검사 스테이지(14)가 묘화 에어리어(21)에 있어서의 캐리지 유닛(4)의 바로 아래에 위치하고 있다. 이 상태로부터, 검사 스테이지(14), 플러싱 유닛(13) 및 세트 스테이지(32)를 X축 방향(검사 에어리어(23)측)으로 이동시키지만, 우선 검사 시트(S)에 대하여 제1 검사 토출을 실시한다. 검사 스테이지(14)는, 검사 에어리어(23)를 향하여 이동하고, 세트 스테이지(32)는 묘화 에어리어(21)를 향하여 이동한다. 플러싱 유닛(13)이 캐리지 유닛(4)의 바로 아래를 통과하고, 세트 스테이지(32)의 단부가 캐리지 유닛(4)의 바로 아래에 도달하면, 워크(W)에 대한 묘화를 개시한다.

제1 검사 토출 후의 검사 스테이지(14)가 화상 인식 유닛(15)의 바로 아래에 도달하면, 검사 스테이지(14)의 이동을 정지시킨다. 이어서, 화상 인식 유닛(15)을 구동하여 제1 검사 토출의 착탄 도트를 화상 인식하여, 토출 불량을 검사한다. 한편, 묘화 에어리어(21)에서는, 워크(W)를 주주사 방향(X축 방향)으로 왕복운동시킴과 함께, 캐리지 유닛(4)을 적절히, 부주사 방향(Y축 방향)으로 이동시켜, 워크(W)에 대하여 소정의 토출 패턴에 기초하여 묘화가 행해진다. 즉, 묘화 에어리어(21)에 있어서, 워크(W)에 대한 묘화를 실시하고 있는 동안에, 검사 에어리어(23)에 있어서, 착탄 도트를 화상 인식의 중심으로 하는 토출 불량의 검사가 실시된다.

워크(W)에 대한 묘화가 종료되면, 세트 스테이지(32)는 워크 공급 및 제거 에어리어(24)로 이동하고, 동시에, 플러싱 유닛(13)이 캐리지 유닛(4)의 바로 아래로 이동한다. 여기에서, 신구(新舊) 워크(W)의 공급 및 제거가 실시됨과 함께, 공급된 워크(W)의 얼라인먼트가 실시된다. 또한 이와 병행하여, 캐리지 유닛(4)으로부터 플러싱 유닛(13)으로 플러싱이 행해져, 기능 액적 토출 헤드(8)의 메니스커스(meniscus)가 양호하게 유지된다. 또한, 이 동안에 토출 검사 종료 후의 검사 스테이지(14)가, 재차 묘화 에어리어(21)로 이동하여, 다음 검사 토출에 대비한다. 이상의 공정을 반복함으로써, 워크(W)에 대한 묘화 중 및 워크(W)의 공급 및 제거 중에, 기능 액적 토출 헤드(8)의 토출 검사가 행해진다. 또한, 워크(W)의 묘화 중에 토출 검사를 행하도록 하고 있기 때문에, 토출 검사의 결과가 NG가 된 경우에는, 워크(W)의 묘화를 중지하고, 캐리지 유닛(4)(기능 액적 토출 헤드(8))의 기능 회복과, 워크(W)의 교환(공급 및 제거)이 실시된다.

이러한 구성에서는, 세트 스테이지(32), 플러싱 유닛(13) 및 검사 스테이지(14)는, X축 가이드 레일(31) 상에, 묘화 에어리어(21)측으로부터 이 순서로 각각 이동 가능하게 구성되어 있으며, 화상 인식 유닛(15)은, 검사 에어리어(23)에 설치되어 있다. 이에 따라, 묘화 에어리어(21)에 있어서의 묘화시 및 워크 공급 및 제거 에어리어(24)에 있어서의 워크(W)의 공급 및 제거 및 얼라인먼트시에, 시간적 제약을 받는 일 없이, 기능 액적 토출 헤드(8)의 토출 검사를 실시할 수 있다.

<제1 변형예 : 싱글 스테이지>

다음으로, 도 4를 참조하여 본 발명의 제1 변형예에 따른 액적 토출 장치(1)에 대해서 설명한다. 또한, 중복된 기재를 피하기 위해, 제1 실시 형태와 상이한 부분을 주로 설명한다. 이 액적 토출 장치(1)에서는, 토출 불량 검사에 더하여 상기의 토출량 검사를 실시하도록 되어 있다. 이 때문에, 검사 스테이지(14)에 있어서의 검사 시트(S)의 소모가 심해, 롤지로서 검사 시트(S)의 교환을 빈번히 행할 필요가 있다. 그래서, 묘화 에어리어(21)로부터 보아 검사 에어리어(23)의 선방에, 서브 메인터넌스 에어리어(25)가 설정되어, 이 서브 메인터넌스 에어리어(25)에 검사 스테이지(14)를 이동 가능하게 하고 있다. 그리고, 상기의 챔버(7)에 있어서, 서브 메인터넌스 에어리어(25)를 부챔버(81)로 덮고, 다른 부분을 주챔버(82)로 덮도록 하고 있다. 이에 따라, 묘화 동작을 휴지하는 일 없이, 검사 스테이지(14)에 있어서의 검사 시트(S)의 교환을 행할 수 있도록 되어 있다. 또한, 서브 메인터넌스 에어리어(25)의 설정에 수반하여, X축 가이드 레일(31)을, 서브 메인터넌스 에어리어(25)까지 연이어 설치하도록 하고 있다.

주챔버(82)는, 묘화 에어리어(21), 검사 에어리어(23) 및 메인터넌스 에어리어(22)를 덮도록 구성되어 있으며, X축 방향에 있어서의 부챔버(81)측의 측벽에는, X축 가이드 레일(31)이 삽입 통과함과 함께, 검사 스테이지(14)가 통과하는 주챔버 개구(83)와, 주챔버 개구(83)에 있어서의 X축 테이블(2) 이외의 부분을 개폐하는 개폐문(84)이 형성되어 있다. 또한, 주챔버(82)는, 도면 이외의 주챔버 조정 기구에 의해 내부 분위기를 조정 가능하게 구성되어 있다. 또한, 내부 분위기의 조정은, 주챔버(82) 내에 배치한 각종 센서를 이용하여, 주챔버 조정 기구에 내장된 히터, 쿨러(cooler), 팬(fan) 등을 제어한다. 또한, 내부 분위기의 조정은, 주챔버(82) 내를 상시 환기하면서 행하는 것이 바람직하다.

부챔버(81)는, 주로 검사 스테이지(14)의 검사 시트(S)를 교환할 때에 사용하는 것으로, X축 테이블(2)의 단부로 이동한 검사 스테이지(14)를 수용하도록 구성되어 있다. 부챔버(81)는, 주챔버(82)측의 측벽에 X축 가이드 레일(31)이 삽입 통과함과 함께, 검사 스테이지(14)가 통과하는 부챔버 개구(85)가 개구하고 있다. 또한, 부챔버(81)는, 도면 이외의 부챔버 조정 기구에 의해 내부 분위기를 조정 가능하게 구성되어 있다. 또한, 내부 분위기의 조정은, 주챔버(82)의 경우와 동일하다.

본 실시 형태의 액적 토출 장치(1)에 있어서의 동작에서는, 토출 불량을 검사하기 위한 제1 검사 토출과, 이를 전후하여 기능액의 토출량을 검사하기 위한 제2 검사 토출이 실시된다. 구체적으로는, 제1 검사 토출을 실시하고, 이어서 동일한 검사 시트(S)에 대하여 제2 검사 토출을 실시한다. 그리고, 제1·제2 검사 토출 후의 검사 스테이지(14)가 화상 인식 유닛(15)의 바로 아래에 도달하면, 검사 스테이지(14)의 이동을 정지시키고, 화상 인식 유닛(15)을 구동하여 제1·제2 검사 토출의 착탄 도트를 화상 인식하여, 토출 불량을 검사함과 함께, 토출량을 검사한다. 또한, 제1 검사 토출 및 제2 검사 토출 중 어느 것을 먼저 실시해도 좋다.

이 경우, 부챔버(81)는, 검사 시트(S)의 교환시에 있어서, 개폐문(84)을 개방하여 이동해 온 검사 스테이지(14)를 수용하고, 개폐문(84)을 폐색 후, 내부 분위기를 대기로 치환한다. 그리고, 작업자가 부챔버(81) 내에서 검사 시트(S)를 교환 후, 부챔버(81)의 내부 분위기를, 주챔버(82)의 내부 분위기와 동일한 질소나 드라이 에어로 치환한다. 그 후, 개폐문(84)을 개방하여, 검사 스테이지(14)를 주챔버(82)로 이동하여 검사 토출에 제공한다.

이에 따라, 부챔버(81) 내에서 검사 스테이지(14)의 검사 시트(S)를 교환할 수 있기 때문에, 이 교환 작업시에, 액적 토출 장치(1)를 정지시킬 필요가 없다. 또한, 인적 작업에 의해 발생하는 대기의 흐트러짐, 티끌 및 먼지 등이, 주챔버(82) 내의 묘화 에어리어(21)에 있어서의 처리에 영향을 미치는 일이 없다. 또한, 주챔버 조정 기구 및 부챔버 조정 기구를, 공통(겸용)의 챔버 조정 기구로 하여, 이에 접속된 덕트(또는 배관)를 적절히, 유로 전환하도록 해도 좋다.

<제2 변형예 : 싱글 스테이지>

다음으로, 도 5를 참조하여 본 발명의 제2 변형예에 따른 액적 토출 장치(1)에 대해서 설명한다. 이 액적 토출 장치(1)에 있어서의 검사 스테이지(14)는, 제1 검사 시트(S1)를 탑재하여 제1 검사 토출을 받는 제1 검사 스테이지(14a)와, 제2 검사 시트(S2)를 탑재하여 제2 검사 토출을 받는 제2 검사 스테이지(14b)로 구성되어 있으며, 제1 검사 스테이지(14a) 및 제2 검사 스테이지(14b)는, X축 가이드 레일(31)을 개재하여, 부챔버(81)에 수용 가능하게 하고 있다.

또한, 검사 스테이지 이동 기구(35)는, 제1 검사 스테이지(14a)를 X축 가이드 레일(31) 상으로 이동시키는 제1 검사 스테이지 이동 기구(35a)와, 제2 검사 스테이지(14b)를 X축 가이드 레일(31) 상으로 이동시키는 제2 검사 스테이지 이동 기구(35b)로 구성되어 있다. 즉, 제1 검사 스테이지(14a) 및 제2 검사 스테이지(14b)는, 제1 검사 스테이지 이동 기구(35a) 및 제2 검사 스테이지 이동 기구(35b)에 의해, 각각 X축 가이드 레일(31)을 따라서 개별적으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 제1 검사 스테이지(14a) 및 제2 검사 스테이지(14b)는, 상기한 검사 스테이지(14)와 동일 구조이기 때문에, 여기에서의 설명은 생략한다.

이 경우, 상기한 제1 검사 토출을 받는 제1 검사 토출 영역(64)은 제1 검사 스테이지(14a)의 제1 검사 시트(S1) 전면에 형성되어 있으며, 제2 검사 토출을 받는 제2 검사 토출 영역(65)은 제2 검사 스테이지(14b)의 제2 검사 시트(S2) 전면에 형성되어 있다. 또한 상기한 바와 같이, 제1 검사 스테이지(14a)가 받는 제1 검사 토출(토출 불량 검사)은, 제2 검사 스테이지(14b)가 받는 제2 검사 토출(토출량 검사)보다, 좁은 영역에서 실시할 수 있다. 즉, 이 경우, 제1 검사 시트(S1) 및 제2 검사 시트(S2)의 교환 빈도는, 동일하지 않으며, 제2 검사 시트(S2)의 교환 빈도가 제1 검사 시트(S1)의 교환 빈도보다 높게 설정되어 있다. 따라서, 제1 검사 시트(S1) 및 제2 검사 시트(S2)의 권취 시기나 교환 시기를 개별적으로 관리함으로써, 양검사 시트(S1, S2)의 낭비를 줄일 수 있다.

한편, 화상 인식 유닛(15)은, 제1 검사 토출 결과를 화상 인식하는 제1 화상 인식 유닛(15a)과, 제2 검사 토출 결과를 화상 인식하는 제2 화상 인식 유닛(15b)으로 구성되어 있다. 또한, 제1 화상 인식 유닛(15a) 및 제2 화상 인식 유닛(15b)은, 상기한 화상 인식 유닛(15)과 동일 구조이기 때문에, 여기에서의 설명은 생략한다. 제1 화상 인식 유닛(15a)은, 제1 검사 스테이지(14a)에 대응하여, X축 테이블(2)을 걸치도록 검사 에어리어(23)의 단부에 설치되어 있다. 마찬가지로, 제2 화상 인식 유닛(15b)은, 제2 검사 스테이지(14b)에 대응하여, 제1 화상 인식 유닛(15a)으로부터 부챔버(81)측으로, X축 테이블(2)을 걸치도록 설치되어 있다. 즉, 제1 화상 인식 유닛(15a) 및 제2 화상 인식 유닛(15b)은, X축 테이블(2)의 단부에 있어서, 이 순서로 묘화 에어리어(21)측으로부터 설치되어 있다.

도 6에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 액적 토출 장치(1)에 의한 일련의 동작에서는, 토출 불량 검사 및 토출량 검사를 독립적으로 실시하도록 되어 있다. 구체적으로는, 워크(W)를 세트한 세트 스테이지(32)가 워크 공급 및 제거 에어리어(24)에 위치하고 있으며, 제2 검사 스테이지(14b)가 캐리지 유닛(4)의 바로 아래에 위치하고 있으며, 제1 검사 스테이지(14a)가 세트 스테이지(32) 및 제2 검사 스테이지(14b)의 사이에 위치하고 있다. 이 상태로부터, 각 구성 장치(32, 14a, 14b)를 X축 방향(검사 에어리어(23)측)으로 이동시키지만, 우선 제2 검사 시트(S2)에 대하여 제2 검사 토출을 실시한다. 제2 검사 스테이지(14b)는, 제2 검사 토출 후에 검사 에어리어(23)를 향하여 이동하고, 제1 검사 스테이지(14a)는, 묘화 에어리어(21)를 향하여 이동하여 제1 검사 토출을 받는다. 플러싱 유닛(13)이 캐리지 유닛(4)의 바로 아래를 통과하고, 세트 스테이지(32)의 단부가 캐리지 유닛(4)의 바로 아래에 도달하면, 워크(W)에 대한 묘화를 개시한다.

제2 검사 토출 후의 제2 검사 스테이지(14b)가 제2 화상 인식 유닛(15b)의 바로 아래에 도달하면, 제2 검사 스테이지(14b)의 이동을 정지시킨다. 이어서, 제2 화상 인식 유닛(15b)을 구동하여 제2 검사 토출의 착탄 도트를 화상 인식하여, 토출량을 검사한다. 이와 병행하여, 제1 검사 토출 후의 제1 검사 스테이지(14a)가 제1 화상 인식 유닛(15a)의 바로 아래에 도달하면, 제1 검사 스테이지(14a)의 이동을 정지시키고, 제1 화상 인식 유닛(15a)을 구동하여 제1 검사 토출의 착탄 도트를 화상 인식하여, 토출 불량을 검사한다. 한편, 묘화 에어리어(21)에서는, 워크(W) 및 캐리지 유닛(4)을 상대적으로 주주사 및 부주사시켜, 워크(W)에 대하여 소정의 토출 패턴에 기초하여 묘화가 행해진다. 워크(W)에 대한 묘화 종료 후, 세트 스테이지(32)를 워크 공급 및 제거 에어리어(24)로 이동시켜, 워크(W)의 공급 및 제거 및 워크(W)의 얼라인먼트를 실시한다. 또한 이와 병행하여, 캐리지 유닛(4)의 플러싱 유닛(13)으로의 플러싱이 실시된다. 그리고, 토출 검사 종료 후의 제1 검사 스테이지(14a)를, 재차 묘화 에어리어(21) 근방으로 이동시켜 대기 상태로 한다.

이 경우, 부챔버(81)는, 제1 검사 시트(S1)(제2 검사 시트(S2))의 교환시에 있어서, 개폐문(84)을 개방하여 이동해 온 제2 검사 스테이지(14b), 혹은 제1 검사 스테이지(14a) 및 제2 검사 스테이지(14b)를 수용하고, 개폐문(84)을 폐색 후, 내부 분위기를 대기로 치환한다. 그리고, 작업자가 부챔버(81) 내에서 제1 검사 시트(S1)(제2 검사 시트(S2))를 교환 후, 부챔버(81)의 내부 분위기를, 주챔버(82)의 내부 분위기와 동일한 질소나 드라이 에어로 치환한다. 그 후, 개폐문(84)을 개방하여, 제1 검사 스테이지(14a) 및 제2 검사 스테이지(14b)를 주챔버(82)로 이동하여 검사 토출에 제공한다.

이에 따라, 부챔버(81) 내에서, 제1 검사 스테이지(14a) 및 제2 검사 스테이지(14b)의 각각의 제1·제2 검사 시트(S1, S2)를 교환할 수 있기 때문에, 제1·제2 검사 시트(S1, S2)의 교환시에, 액적 토출 장치(1)를 정지시킬 필요가 없다. 또한, 인적 작업에 의해 발생하는 대기의 흐트러짐, 티끌 및 먼지 등이, 주챔버(82) 내의 묘화 에어리어(21)에 있어서의 처리에 영향을 미치는 일이 없다.

<제2 실시 형태 : 더블 스테이지>

다음으로, 도 7 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 액적 토출 장치(1)에 대해서 설명한다. 또한, 중복된 기재를 피하기 위해 제1 실시 형태와 상이한 부분을 주로 설명한다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 액적 토출 장치(1)는, 한 쌍의 세트 스테이지(32)와, X축 방향으로 연재하여, 주로 한 쌍의 세트 스테이지(32)를 개재하여 워크(W)를 X축 방향으로 번갈아 이동시키는 X축 테이블(2)과, X축 테이블(2)을 걸치도록 놓여져, Y축 방향으로 연재하는 Y축 테이블(3)과, Y축 테이블(3)로 이동이 자유롭게 적설되어, 복수(12개)의 기능 액적 토출 헤드(8)가 각각 탑재된 13개의 캐리지 유닛(4)을 구비하고 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 청구항에서 말하는 이동 수단은, X축 테이블(2)로 구성되어 있다.

또한, 액적 토출 장치(1)는, 메인터넌스 에어리어(22)에 설치된 흡인 유닛(11) 및 와이핑 유닛(12)과, X축 테이블(2)에 탑재된 플러싱 유닛(13), 중량 측정 스테이지(16) 및 한 쌍의 검사 스테이지(14)와, 각 검사 에어리어(23a, 23b)에 설치된 한 쌍의 화상 인식 유닛(15)과, 후술하는 워크 공급 및 제거 에어리어(24)에 면하도록 설치된 한 쌍의 워크 공급 및 제거 로봇(17)(공급 및 제거 수단) 및 한 쌍의 얼라인먼트 유닛(18)과, 이들 구성 장치를 통괄 제어하는 제어 장치와, 이들 구성 장치를 수용하는 챔버(7)를 구비하고 있다. 또한, Y축 테이블(3), 각 캐리지 유닛(4), 기능 액적 토출 헤드(8), 흡인 유닛(11), 와이핑 유닛(12), 플러싱 유닛(13), 검사 스테이지(14), 화상 인식 유닛(15)은, 제1 실시 형태와 동일 구조이기 때문에, 그 설명을 생략한다.

X축 테이블(2) 및 Y축 테이블(3)의 교차 영역에는, 워크(W)에 묘화 동작을 행하는 묘화 에어리어(21)가 설정되고, 묘화 에어리어(21)로부터 Y축 방향의 외측 한쪽으로 떨어져 있는 위치에는, 기능 액적 토출 헤드(8)의 보수를 행하는 메인터넌스 에어리어(22)가 설정되어 있다. 또한, 묘화 에어리어(21)로부터 X축 방향으로 떨어져 있는 양측에는, 워크(W)의 공급 및 제거를 행하는 2개의 워크 공급 및 제거 에어리어(24)가 설정되어 있다. 또한, 각 워크 공급 및 제거 에어리어(24)로부터 X축 방향으로 떨어져 있는 양측에는, 기능 액적 토출 헤드(8)의 토출 검사를 행하는 2개의 검사 에어리어(23)가 설정되어 있다.

그리고, 2개의 워크 공급 및 제거 에어리어(24)는, 한쪽(도 7에 있어서 상측)의 제1 워크 공급 및 제거 에어리어(24a) 및 다른 한쪽(도 7에 있어서 하측)의 제2 워크 공급 및 제거 에어리어(24b)로 구성되어 있다. 또한, 2개의 검사 에어리어(23)는, 한쪽(도 7에 있어서 상측)의 제1 검사 에어리어(23a) 및 다른 한쪽(도 7에 있어서 하측)의 제2 검사 에어리어(23b)로 구성되어 있다.

한 쌍의 세트 스테이지(32)는, 제1 세트 스테이지(32a) 및 제2 세트 스테이지(32b)로 구성되고, X축 테이블(2)에 각각 탑재되어 있다. 각 세트 스테이지(32a(32b))는, 워크(W)를 흡착 세트하는 흡착 스테이지(91)와, 흡착 스테이지(91)를 θ방향으로 회전이 자유롭게 지지하는 회전 기구(92)를 갖고 있다. 마찬가지로, 한 쌍의 검사 스테이지(14)는, 제1 검사 스테이지(14a) 및 제2 검사 스테이지(14b)로 구성되어 있다. 또한, 한 쌍의 화상 인식 유닛(15)은, 제1 화상 인식 유닛(15a) 및 제2 화상 인식 유닛(15b)으로 구성되어 있다. 또한, 한 쌍의 워크 공급 및 제거 로봇(17)은, 제1 워크 공급 및 제거 로봇(17a) 및 제2 워크 공급 및 제거 로봇(17b)으로 구성되어 있으며, 한 쌍의 얼라인먼트 유닛(18)은, 제1 얼라인먼트 유닛(18a) 및 제2 얼라인먼트 유닛(18b)으로 구성되어 있다.

X축 테이블(2)은, 한 쌍의 X축 가이드 레일(31)과, 제1 세트 스테이지(32a)를 X축 가이드 레일(31)을 따라서 이동시키는 제1 세트 스테이지 이동 기구(33a)와, 제2 세트 스테이지(32b)를 X축 가이드 레일(31)을 따라서 이동시키는 제2 세트 스테이지 이동 기구(33b)와, 플러싱 유닛(13) 및 중량 측정 스테이지(16)를 일체로 하여 X축 가이드 레일(31)을 따라서 이동시키는 공유 스테이지 이동 기구(36)와, 제1 검사 스테이지(14a)를 X축 가이드 레일(31)을 따라서 이동시키는 제1 검사 스테이지 이동 기구(35a)와, 제2 검사 스테이지(14b)를 X축 가이드 레일(31)을 따라서 이동시키는 제2 검사 스테이지 이동 기구(35b)를 갖고 있다.

X축 테이블(2)은, 제1 세트 스테이지(32a)를 묘화 에어리어(21) 및 제1 워크 공급 및 제거 에어리어(24a) 사이에서 자유롭게 이동시킴과 함께, 제2 세트 스테이지(32b)를 묘화 에어리어(21) 및 제2 워크 공급 및 제거 에어리어(24b) 사이에서 자유롭게 이동시킨다. 또한, X축 테이블(2)은, 제1 검사 스테이지(14a)를 묘화 에어리어(21) 및 제1 검사 에어리어(23a) 사이에서 자유롭게 이동시킴과 함께, 제2 검사 스테이지(14b)를 묘화 에어리어(21) 및 제2 검사 에어리어(23b) 사이에서 자유롭게 이동시킨다.

제1·제2 양세트 스테이지 이동 기구(33a, 33b), 공유 스테이지 이동 기구(36), 제1·제2 양검사 스테이지 이동 기구(35a, 35b)는, 이들 기구에 대응하는 모터 구동(리니어 모터)의 슬라이더로 구성되어 있으며, 제1·제2 양세트 스테이지 이동 기구(33a, 33b), 공유 스테이지 이동 기구(36), 제1·제2 양검사 스테이지 이동 기구(35a, 35b)는, X축 가이드 레일(31) 상을 개별적으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 한 쌍의 X축 가이드 레일(31) 및 리니어 모터의 스테이터(도시 생략)는, 제1 검사 에어리어(23a), 제1 워크 공급 및 제거 에어리어(24a), 묘화 에어리어(21), 제2 워크 공급 및 제거 에어리어(24b) 및 제2 검사 에어리어(23b)에 걸쳐 연재하고 있다. 즉, X축 테이블(2)은, 제1·제2 양세트 스테이지(32a, 32b), 플러싱 유닛(13), 중량 측정 스테이지(16) 및 제1·제2 양검사 스테이지(14a, 14b)를, 공통의 이동축 상에 있어서, 개별적으로 이동시킬 수 있도록 되어 있다.

플러싱 유닛(13)은, 제1 세트 스테이지(32a) 및 제2 세트 스테이지(32b)의 사이에 설치되어 있으며, X축 테이블(2)에 의해 제1 워크 공급 및 제거 에어리어(24a) 및 제2 워크 공급 및 제거 에어리어(24b) 사이에 있어서 이동 가능하게 구성되어 있다. 중량 측정 스테이지(16)는, 제1 세트 스테이지(32a) 및 제2 세트 스테이지(32b) 사이에 설치되어 있으며, X축 테이블(2)에 의해 제1 워크 공급 및 제거 에어리어(24a) 및 제2 워크 공급 및 제거 에어리어(24b) 사이에 있어서 이동 가능하게 구성되어 있다. 각 검사 스테이지(14a, 14b)는, 각 세트 스테이지(32a, 32b)에 대하여 X축 방향 외측에 설치되어 있으며, 기능 액적 토출 헤드(8)로부터의 검사 토출을 받는다. 중량 측정 스테이지(16)는, 복수의 전자 저울과, 전자 저울을 받는 복수매의 받침 접시(함께 도시 생략)를 갖고 있으며, 기능 액적 토출 헤드(8)로부터 토출된 기능액의 중량을 측정한다. 전자 저울은, 기능 액적 토출 헤드(8)가 기능액을 토출하기 전후에, 받침 접시의 중량을 측정하여, 토출 전후에 있어서의 받침 접시의 중량의 차분으로부터 토출된 기능액의 중량을 측정 가능하게 되어 있다. 그리고, 산출된 기능액의 평균 토출량에 기초하여, 기능 액적 토출 헤드(8)의 구동 전압이 보정된다. 또한, 플러싱 유닛(13)과 중량 측정 스테이지(16)는, 일체로 유닛화되어 있어도 좋다.

또한, 상기의 챔버(7)에 있어서, 묘화 에어리어(21) 및 제1·제2 워크 공급 및 제거 에어리어(24a, 24b)를 덮는 주챔버(82)와, 제1·제2 검사 에어리어(23a, 23b)를 각각 덮는 한 쌍의 부챔버(81)로 구분하고, 각 부챔버(81) 내에 있어서, 플러싱 유닛(13) 및 중량 측정 스테이지(16)의 보수(잉크 흡수재나 받침 접시의 교환 등)를 행하도록 해도 좋다. 이와 같이 하면, 묘화에 영향을 미치는 일 없이, 플러싱 유닛(13) 및 중량 측정 스테이지(16)의 보수를 실시할 수 있다.

각 워크 공급 및 제거 로봇(17a, 17b)은, X축 테이블(2)의 외측으로부터 각 워크 공급 및 제거 에어리어(24a, 24b)에 면하여, 각 워크 공급 및 제거 에어리어(24a, 24b)로 이동해 온 각 세트 스테이지(32a, 32b)에 대하여, 묘화가 완료된 워크(W)를 세트 스테이지(32)로부터 제거함과 함께, 새로운 워크(W)를 각 세트 스테이지(32a, 32b)에 공급한다. 또한, 이 경우의 공급 및 제거 동작은, 워크(W)의 교환(반입·반출)과, 세트된 워크(W)의 얼라인먼트를 포함하는 것이다. 그리고, 이 공급 및 제거 동작은, 다른 한쪽의 세트 스테이지(32a, 32b)에 묘화 동작을 행하고 있는 동안에 실시하도록 되어 있다.

다음으로, 제1 세트 스테이지(32a), 제2 세트 스테이지(32b), 제1 검사 스테이지(14a), 제2 검사 스테이지(14b), 플러싱 유닛(13) 및 중량 측정 스테이지(16)의 위치 관계를 모식적으로 나타낸 도 8을 참조하여 액적 토출 장치(1)에 있어서의 일련의 동작에 대해서 설명한다. 우선, 워크(W)를 얼라인먼트 상태로 세트한 제1 세트 스테이지(32a)가 제1 워크 공급 및 제거 에어리어(24a)에 위치하고 있으며, 제1 검사 스테이지(14a)가 제1 검사 에어리어(23a)에 위치하고 있다(도 8(a)). 이 상태로부터, 제1 세트 스테이지(32a) 및 제1 검사 스테이지(14a)를 묘화 에어리어(21)를 향하여 이동시키지만, 우선 제1 세트 스테이지(32a)의 선행 단부(forward end)가 캐리지 유닛(4)의 바로 아래(묘화 에어리어(21))에 도달하면, 워크(W)에 대한 1번째 패스(왕동)의 묘화 동작을 개시한다(도 8(b)). 이어서, 제1 검사 스테이지(14a)가 캐리지 유닛(4)의 바로 아래에 도달하면 제1 검사 토출을 실시한다(도 8(c)).

제1 검사 스테이지(14a)는, 검사 토출를 마치면, 제1 세트 스테이지(32a)의 복동(retracting)에 동기하여, 제1 화상 인식 유닛(15a)의 바로 아래로 이동하여, 제1 화상 인식 유닛(15a)에 의해 토출 검사에 제공된다(도 8(d)). 한편, 묘화 에어리어(21)에서는, 워크(W)를 주주사 방향(X축 방향)으로 복수회 왕복운동시키면서, 기능 액적 토출 헤드(8)로부터, 워크(W)에 대하여 소정의 토출 패턴에 기초하여 묘화 동작이 행해진다(도 8(d)). 즉, 묘화 동작에 있어서의 1번째 패스의 왕동(복동이라도 좋음)시에 제1 검사 토출를 실시하고, 2번째 패스가 되는 복동시에 제1 검사 스테이지(14)가 제1 검사 에어리어(23)로 이동하여, 토출 검사가 개시된다. 토출 검사가 개시된 시점에서, 묘화 동작은 속행되고 있으며, 이 묘화 동작이 완료될 때까지(실질적으로는, 제1 세트 스테이지(32a)가 제1 워크 공급 및 제거 에어리어(24a)로 되돌아 올 때까지), 토출 검사가 종료되도록 되어 있다. 한편, 그동안, 제2 워크 공급 및 제거 에어리어(24b)에 있어서, 제2 워크 공급 및 제거 로봇(17b) 및 제2 얼라인먼트 유닛(18b)에 의해, 제2 세트 스테이지(32b)에 대하여 워크(W)의 공급 및 제거(교환)와, 새로운 워크(W)의 얼라인먼트가 행해진다.

제1 세트 스테이지(32a)는, 최종 왕동 동작을 마치면, 제1 워크 공급 및 제거 에어리어(24a)로 이동한다. 이 제1 세트 스테이지(32a)의 제1 워크 공급 및 제거 에어리어(24a)로의 이동에 동기하여, 중량 측정 스테이지(16), 플러싱 유닛(13), 제2 세트 스테이지(32b) 및 제2 검사 스테이지(14b)는, 제1 세트 스테이지(32a)를 추종하도록, 제1 워크 공급 및 제거 에어리어(24a)를 향하여 이동한다(도 8(e)). 또한, 중량 측정 스테이지(16)는, 필요에 따라서 캐리지 유닛(4)의 바로 아래로 이동하여, 기능 액적 토출 헤드(8)로부터 중량 측정 토출을 받고, 마찬가지로 플러싱 유닛(13)도, 필요에 따라서 플러싱을 받는다(도 8(e)).

제1 세트 스테이지(32a), 플러싱 유닛(13) 및 중량 측정 스테이지(16)가, 제1 워크 공급 및 제거 에어리어(24a)로 이동하면, 이번에는, 제2 세트 스테이지(32b) 및 제2 검사 스테이지(14b)를 묘화 에어리어(21)를 향하여 이동시킨다. 우선, 제2 세트 스테이지(32b)의 워크(W)에 대한 1번째 패스(왕동)의 묘화 동작을 실시하고(도 8(f)), 이어서, 제2 검사 스테이지(14b)에 대하여 검사 토출을 실시한다(도 8(g)).

제2 검사 스테이지(14b)는, 검사 토출를 마치면, 제2 세트 스테이지(32b)의 복동에 동기하여, 제2 화상 인식 유닛(15b)의 바로 아래로 이동하여, 토출 검사에 제공된다(도 8(h)). 한편, 묘화 에어리어(21)에서는, 워크(W)를 주주사 방향으로 복수회 왕복운동시키면서, 기능 액적 토출 헤드(8)로부터, 워크(W)에 대하여 소정의 토출 패턴에 기초하여 묘화 동작이 행해진다(도 8(h)). 즉, 묘화 동작에 있어서의 1번째 패스의 왕동시에 제1 검사 토출를 실시하고, 2번째 패스가 되는 복동시에 제1 검사 스테이지(14)가 제1 검사 에어리어(23)로 이동하여, 토출 검사가 개시된다. 토출 검사가 개시된 시점에서, 묘화 동작은 속행되고 있으며, 이 묘화 동작이 완료될 때까지, 토출 검사가 종료되도록 되어 있다. 한편, 그동안, 제1 워크 공급 및 제거 에어리어(24a)에서는, 제1 워크 공급 및 제거 로봇(17a) 및 제1 얼라인먼트 유닛(18a)에 의해, 제1 세트 스테이지(32a에 대하여 워크(W)의 공급 및 제거(교환)와, 새로운 워크(W)의 얼라인먼트가 행해진다.

이상의 공정을 반복함으로써, 워크(W)에 대한 묘화 동작을 함께 행하는 검사 토출 및 토출 검사를 번갈아 실시하도록 되어 있다. 또한, 워크(W)에 대한 묘화 동작 중에 토출 검사를 행하도록 하고 있기 때문에, 토출 검사의 결과가 NG가 된 경우에는, 워크(W)의 묘화 동작을 중지하고, 캐리지 유닛(4)(기능 액적 토출 헤드(8))의 기능 회복과, 워크(W)의 교환(공급 및 제거)이 실시된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 워크(W)를 묘화 동작할 때마다 토출 검사를 행하도록 되어 있지만, 복수매의 묘화 동작마다 행해도 좋다. 즉, 예를 들면, 2매 분 묘화 동작했을 때마다 토출 검사를 실시하는 경우에는, 제1 화상 인식 유닛(15a)에 의해 토출 검사를 실시하고 있는 동안, 제1 세트 스테이지(32a) 및 제2 세트 스테이지(32b)에 세트한 워크(W)로 묘화 동작을 완료시킨다. 이 경우, 추가로 검사 시간을 확보할 수 있어, 더욱 정밀한 토출 검사를 실시할 수 있다(도시 생략).

이상의 구성에 의하면, 한 쌍의 세트 스테이지(32)에 대하여, 묘화 동작을 번갈아 실시함과 함께, 한 쌍의 검사 스테이지(14)를 이용하여, 묘화 동작과 함께 행하는 검사 토출 및 토출 검사를 번갈아 실시함으로써, 워크(W)에 대한 묘화 동작과 기능 액적 토출 헤드(8)의 토출 검사를 번갈아 연속하여 실시할 수 있다. 또한, 한쪽의 세트 스테이지(32b(32a))에 있어서의 워크(W)에 대한 묘화를 실시하고 있는 동안에, 한쪽의 화상 인식 유닛(15a(15b))에 의한 토출 검사를 실시할 수 있기 때문에, 워크(W)에 대한 묘화 동작에 대한 택트 타임을 단축할 수 있음과 함께, 토출 검사의 시간을 충분히 취할 수 있다.

<제1 변형예 : 더블 스테이지>

다음으로, 도 9를 참조하여 본 발명의 제1 변형예에 따른 액적 토출 장치(1)에 대해서 설명한다. 또한, 중복된 기재를 피하기 위해, 상이한 부분을 주로 설명한다. 이 액적 토출 장치(1)에서는, 플러싱 유닛(13) 및 중량 측정 스테이지(16)는, 제1 검사 스테이지(14a) 혹은 제2 검사 스테이지(14b)의 이동 방향 외측에 설치되어 있으며, 제1 검사 스테이지 이동 기구(35a) 혹은 제2 검사 스테이지 이동 기구(35b)(X축 테이블(2))는, 제1 검사 스테이지(14a) 혹은 제2 검사 스테이지(14b)와, 플러싱 유닛(13) 및 중량 측정 스테이지(16)를 일체로 하여, 묘화 에어리어(21) 및 제1 검사 에어리어(23a) 혹은 제2 검사 에어리어(23b) 사이에 있어서 이동시킨다. 또한, 이 경우에 있어서의 묘화 동작, 검사 토출 및 토출 검사는, 상기의 제2 실시 형태와 동일하기 때문에, 여기에서는 그 설명을 생략한다.

이에 따라, 플러싱 유닛(13) 및 중량 측정 스테이지(16)가, 제1(제2) 검사 스테이지(14a(14b))로부터 외측에 설치되어 있기 때문에, 제1(제2) 검사 에어리어(23a(23b))에서 검사 시트(S)의 교환(보수)이나, 플러싱 유닛(13)에 쌓인 기능액의 폐액 처분(보수)을 묘화 동작에 관계없이 행할 수 있다.

<제2 변형예 : 더블 스테이지>

다음으로, 도 10을 참조하여 본 발명의 제2 변형예에 따른 액적 토출 장치(1)에 대해서 설명한다. 이 액적 토출 장치(1)에서는, 중량 측정 스테이지(16)는, 제1 검사 스테이지(14a) 혹은 제2 검사 스테이지(14b)의 이동 방향 외측에 설치되어 있으며, 그리고 한 쌍의 플러싱 유닛(13)은, 각 세트 스테이지(32a(32b))의 이동 방향 내측에 탑재(혹은 연결)되어 있다. 이 경우, 제1 세트 스테이지 이동 기구(33a)는, 제1 세트 스테이지(32a) 및 제1 플러싱 유닛(13a)을 일체로 하고, 또한, 제2 세트 스테이지 이동 기구(33b)는, 제2 세트 스테이지(32b) 및 제2 플러싱 유닛(13b)을 일체로 하여 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 이 경우에 있어서의 묘화 동작, 검사 토출 및 토출 검사도, 상기의 제2 실시 형태와 동일하기 때문에, 여기에서는 그 설명을 생략한다.

이에 따라, 중량 측정 스테이지(16)는, 워크(W)의 이동 방향 최외단에 위치하기 때문에, 중량 측정 스테이지(16)의 보수를, 묘화 동작을 정지시키는 일 없이 행할 수 있다. 또한, 일시적으로 묘화 동작을 정지시키는 경우가 생겨도, 플러싱을 실시할 수 있어, 기능 액적 토출 헤드(8)의 토출 성능을 유지할 수 있다. 또한 각 플러싱 유닛(13a, 13b) 및 각 세트 스테이지(32a, 32b)가, 일체로 하여 이동 가능하게 구성되어 있기 때문에, 각 플러싱 유닛(13a, 13b) 및 각 세트 스테이지(32a, 32b)의 이동계를 단순화할 수 있다 .

1 : 액적 토출 장치
2 : 이동 수단
8 : 기능 액적 토출 헤드
13 : 플러싱 유닛
14 : 검사 스테이지
14a : 제1 검사 스테이지
14b : 제2 검사 스테이지
15 : 화상 인식 유닛
15a : 제1 화상 인식 유닛
15b : 제2 화상 인식 유닛
16 : 중량 측정 스테이지
17 : 워크 공급 및 제거 로봇
21 : 묘화 에어리어
22 : 메인터넌스 에어리어
23 : 검사 에어리어
W : 워크
24 : 워크 공급 및 제거 에어리어
32 : 세트 스테이지
81 : 부챔버
82 : 주챔버
S : 검사 시트
S1 : 제1 검사 시트
S2 : 제2 검사 시트

Claims

묘화(drawing) 에어리어에 있어서, 워크(workpiece)를 이동시키면서 기능 액적 토출 헤드를 구동하여 상기 워크에 묘화를 실시하고,
상기 묘화 에어리어로부터 상기 워크의 이동 방향으로 떨어져 있는 검사 에어리어에 있어서, 상기 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사를 실시하는 액적 토출 장치로서,
상기 워크가 세트되는 세트 스테이지와,
상기 세트 스테이지에 대하여 상기 검사 에어리어측에 설치되어, 상기 기능 액적 토출 헤드로부터의 버림 토출을 받는 플러싱 유닛과,
상기 플러싱 유닛에 대하여 상기 검사 에어리어측에 설치되어, 상기 기능 액적 토출 헤드로부터의 검사 토출을 받는 검사 시트를 탑재한 검사 스테이지와,
상기 검사 에어리어에 설치되어, 상기 검사 시트로의 검사 토출 결과를 화상 인식하는 화상 인식 수단과,
상기 세트 스테이지, 상기 플러싱 유닛 및 상기 검사 스테이지를, 상기 묘화 에어리어 및 상기 검사 에어리어 사이로 연재하는 공통의 이동축 상에 있어서 이동시키는 이동 수단을 구비하고,
상기 이동 수단은, 상기 세트 스테이지 및 상기 플러싱 유닛에 대하여, 상기 검사 스테이지를 개별적으로 이동 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제1항에 있어서,
상기 이동 수단은, 상기 세트 스테이지 및 상기 검사 스테이지에 대하여, 상기 플러싱 유닛을 개별적으로 이동 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제1항에 있어서,
상기 묘화 에어리어로부터 보아 상기 검사 에어리어의 선방(先方)에, 상기 검사 스테이지를 보수하기 위한 서브 메인터넌스 에어리어가 설정되고,
상기 이동축은, 상기 검사 에어리어를 넘어 서브 메인터넌스 에어리어까지 연이어 설치되고,
상기 묘화 에어리어 및 상기 검사 에어리어를 덮는 주(主)챔버와,
상기 서브 메인터넌스 에어리어를 덮는 부(副)챔버를 추가로 구비한 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제1항에 있어서,
상기 기능 액적 토출 헤드의 검사에는, 상기 기능 액적 토출 헤드에 있어서의 각 토출 노즐의 토출 불량을 검사하는 토출 불량 검사와, 각 토출 노즐로부터의 기능액의 토출량을 검사하는 토출량 검사가 있고,
상기 기능 액적 토출 헤드, 상기 화상 인식 수단 및 상기 이동 수단을 제어하는 제어 수단을 추가로 구비하고,
상기 제어 수단은, 상기 검사 시트에 상기 토출 불량 검사를 위한 제1 검사 토출 및, 상기 토출량 검사를 위한 제2 검사 토출을 실시시킴과 함께,
제1 검사 토출의 토출 결과에 대한 화상 인식 및, 제2 검사 토출의 토출 결과에 대한 화상 인식을 실시시키는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제1항에 있어서,
상기 기능 액적 토출 헤드의 검사에는, 상기 기능 액적 토출 헤드에 있어서의 각 토출 노즐의 토출 불량을 검사하는 토출 불량 검사와, 상기 각 토출 노즐로부터의 기능액의 토출량을 검사하는 토출량 검사가 있고,
상기 검사 스테이지는, 상기 토출 불량 검사를 위한 제1 검사 토출을 받는 제1 검사 시트를 탑재한 제1 검사 스테이지와, 상기 토출량 검사를 위한 제2 검사 토출을 받는 제2 검사 시트를 탑재한 제2 검사 스테이지를 갖고,
상기 화상 인식 수단은, 상기 제1 검사 스테이지로의 제1 검사 토출 결과를 화상 인식하는 제1 화상 인식 유닛과, 상기 제2 검사 스테이지로의 제2 검사 토출 결과를 화상 인식하는 제2 화상 인식 유닛을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제5항에 있어서,
상기 제1 검사 시트의 교환 빈도에 대하여, 상기 제2 검사 시트의 교환 빈도가 높게 설정되어 있으며,
상기 이동축 상에 있어서, 상기 세트 스테이지측으로부터 상기 제1 검사 스테이지 및 상기 제2 검사 스테이지의 순서로 설치되고,
상기 이동 수단은, 상기 제1 검사 스테이지 및 상기 제2 검사 스테이지를 개별적으로 이동 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
워크를 이동시키면서 기능 액적 토출 헤드를 구동하여, 상기 워크에 묘화를 행하는 묘화 에어리어와, 상기 묘화 에어리어로부터 상기 워크의 이동 방향으로 떨어져 있는 위치에 설정되어, 상기 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사를 행하는 검사 에어리어를 갖고,
상기 묘화 에어리어 및 상기 검사 에어리어 사이에 연재하는 공통의 이동축 상에 상기 워크를 세트하는 세트 스테이지 및 상기 기능 액적 토출 헤드로부터의 검사 토출을 받는 검사 스테이지를 탑재함과 함께, 상기 검사 에어리어에, 상기 검사 스테이지로의 검사 토출 결과를 화상 인식하는 화상 인식 수단을 배치한 액적 토출 장치의 제어 방법으로서,
상기 워크에 묘화를 행하기 직전에, 상기 묘화 에어리어에 있어서 상기 검사 스테이지에 상기 검사 토출을 실시하고,
그 후, 상기 묘화 에어리어에 있어서 상기 워크로의 묘화를 행하고 있는 동안에, 상기 검사 스테이지를 상기 검사 에어리어로 이동시켜, 상기 화상 인식 수단에 의한 상기 검사 토출 결과의 화상 인식을 실시하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치의 제어 방법.
묘화 에어리어에 있어서, 워크를 이동시키면서 기능 액적 토출 헤드를 구동하여 상기 워크에 묘화 동작을 실시하고,
상기 묘화 에어리어로부터 상기 워크의 이동 방향 양외측으로 떨어져 있는 2개의 워크 공급 및 제거 에어리어에 있어서, 상기 워크의 공급 및 제거를 번갈아 실시하고,
상기 각 워크 공급 및 제거 에어리어의 상기 이동 방향 외측으로 떨어져 있는 2개의 검사 에어리어에 있어서, 화상 인식에 의한 상기 기능 액적 토출 헤드의 토출 검사를 번갈아 실시하는 액적 토출 장치로서,
상기 워크가 세트되는 한 쌍의 세트 스테이지와,
상기 각 세트 스테이지의 외측에 설치되어, 상기 기능 액적 토출 헤드로부터의 검사 토출을 받는 한 쌍의 검사 스테이지와,
상기 각 검사 에어리어에 설치되어, 상기 검사 스테이지의 검사 토출 결과를 화상 인식하는 한 쌍의 화상 인식 수단과,
한쪽의 상기 세트 스테이지를, 상기 묘화 에어리어 및 한쪽의 상기 워크 공급 및 제거 에어리어 사이에서 자유롭게 이동시킴과 함께, 다른 한쪽의 상기 세트 스테이지를, 상기 묘화 에어리어 및 다른 한쪽의 상기 워크 공급 및 제거 에어리어 사이에서 자유롭게 이동시키고, 그리고 한쪽의 상기 검사 스테이지를 상기 묘화 에어리어 및 한쪽의 상기 검사 에어리어 사이에서 이동시킴과 함께, 다른 한쪽의 상기 검사 스테이지를 상기 묘화 에어리어 및 다른 한쪽의 상기 검사 에어리어 사이에서 이동시키는 이동 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제8항에 있어서,
상기 이동 수단은, 상기 한 쌍의 세트 스테이지 및 상기 한 쌍의 검사 스테이지를 공통의 이동축 상에 있어서 이동시키는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제8항에 있어서,
상기 기능 액적 토출 헤드, 상기 한 쌍의 화상 인식 수단 및 상기 이동 수단을 제어하는 제어 수단을 추가로 구비하고,
상기 제어 수단은,
상기 한 쌍의 세트 스테이지를 상기 묘화 에어리어와 상기 각 워크 공급 및 제거 에어리어와의 사이에서 번갈아 이동시켜, 상기 묘화 동작을 번갈아 실시함과 함께,
상기 한 쌍의 검사 스테이지를 상기 묘화 에어리어와 상기 각 검사 에어리어와의 사이에서 번갈아 이동시켜, 상기 묘화 동작과 함께 행하는 상기 검사 토출 및 상기 토출 검사를 번갈아 실시하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제10항에 있어서,
상기 제어 수단은,
상기 묘화 에어리어에 있어서, 상기 각 세트 스테이지를 상기 이동 방향으로 복수회 왕복운동시켜 상기 묘화 동작을 실시하고,
상기 왕복운동의 최초의 왕동(advancing) 동작에 동기하여, 상기 검사 스테이지를 상기 검사 에어리어로부터 상기 묘화 에어리어로 이동시켜 상기 검사 토출을 실시하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제11항에 있어서,
상기 제어 수단은, 상기 검사 토출를 실시한 후, 상기 검사 스테이지를 상기 묘화 에어리어로부터 상기 검사 에어리어로 이동시켜 상기 토출 검사를 실시하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제12항에 있어서,
상기 제어 수단은, 상기 토출 검사를, 상기 검사 토출을 수반한 상기 묘화 동작이 완료될 때까지 완료하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제12항에 있어서,
상기 제어 수단은, 상기 토출 검사를, 상기 검사 토출을 수반한 상기 묘화 동작의 다음의 상기 묘화 동작이 완료될 때까지 완료하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제10항에 있어서,
상기 각 워크 공급 및 제거 에어리어에 설치되어, 상기 워크의 공급 및 제거를 행하는 한 쌍의 공급 및 제거 수단을 추가로 구비하고,
상기 제어 수단은, 상기 한 쌍의 공급 및 제거 수단을 제어하고,
상기 각 워크 공급 및 제거 에어리어로 이동해 온 상기 각 세트 스테이지에 대하여, 상기 워크의 공급 및 제거를 실시하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제8항에 있어서,
상기 한 쌍의 세트 스테이지 사이에 설치되어, 상기 기능 액적 토출 헤드로부터의 버림 토출을 받는 단일의 플러싱 유닛을 추가로 구비하고,
상기 이동 수단은, 상기 플러싱 유닛을 상기 2개의 워크 공급 및 제거 에어리어 사이에 있어서 이동 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제8항에 있어서,
한쪽의 상기 검사 스테이지의 상기 이동 방향 외측에 설치되어, 상기 기능 액적 토출 헤드로부터의 버림 토출을 받는 단일의 플러싱 유닛을 추가로 구비하고,
상기 이동 수단은, 상기 플러싱 유닛을 한쪽의 상기 검사 에어리어와 상기 묘화 에어리어 사이에 있어서 이동 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제8항에 있어서,
상기 각 세트 스테이지의 상기 이동 방향 내측에 첨설(添設)되어, 상기 기능 액적 토출 헤드로부터의 버림 토출을 받는 한 쌍의 플러싱 유닛을 추가로 구비하고,
상기 이동 수단은, 상기 각 플러싱 유닛을 상기 각 세트 스테이지와 일체로 이동 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제8항에 있어서,
상기 한 쌍의 세트 스테이지 사이에 설치되어, 상기 기능 액적 토출 헤드로부터 토출된 기능액의 중량을 측정하는 단일의 중량 측정 스테이지를 추가로 구비하고,
상기 이동 수단은, 상기 중량 측정 스테이지를 상기 2개의 워크 공급 및 제거 에어리어 사이에 있어서 이동 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
제8항에 있어서,
한쪽의 상기 검사 스테이지의 상기 이동 방향 외측에 설치되어, 상기 기능 액적 토출 헤드로부터 토출된 기능액의 중량을 측정하는 단일의 중량 측정 스테이지를 추가로 구비하고,
상기 이동 수단은, 상기 중량 측정 스테이지를 한쪽의 상기 검사 에어리어와 상기 묘화 에어리어 사이에 있어서 이동 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.