JP2010172802A - 液滴吐出装置および液滴吐出装置の検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な構造で、且つ短時間で機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査することができる液滴吐出装置および液滴吐出装置の検査方法を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを搭載したキャリッジユニットと、検査吐出パターンに基づいて機能液滴吐出ヘッドから検査吐出された機能液滴を受けるワークと、ワークに着弾した機能液滴の検査ドットを画像認識すると共に、機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルから成るノズル列に対応して設けたラインスキャナ５１と、ラインスキャナ５１による認識結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する検査手段と、を備え、ラインスキャナ５１は、キャリッジユニットに搭載されているものである。
【選択図】図５

Description

本発明は、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する液滴吐出装置および液滴吐出装置の検査方法に関するものである。

従来、この種の液滴吐出装置として、実描画におけるワークの主走査方向に移動可能に構成され、機能液滴吐出ヘッドから検査吐出された機能液を受ける被描画ユニットと、固定的に配設され、被描画ユニットに検査吐出された検査パターンを撮像して検査する撮像ユニットと、を有するものが知られている（特許文献１参照）。
この場合、ワークを描画領域から非描画領域に移動した後、被描画ユニットを機能液滴吐出ヘッドに臨む吐出位置に移動して、機能液滴吐出ヘッドにより検査吐出を行い、続いて撮像ユニットに臨む検査位置に移動して、検査吐出された検査パターンを画像認識した後に、認識結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの飛行曲がりやドット抜けなどの吐出性能を検査する。

特開２００８−１００１３８号公報

しかしながら、このような液滴吐出装置では、ワークを移動する機構の他に、被描画ユニットおよび被描画ユニットを移動する機構が別途必要となり、装置構造が複雑になってしまうと共に、装置が大型化してしまう問題があった。また、吐出性能の検査の都度、ワークを非描画領域に移動させた後に、被描画ユニットを吐出位置および検査位置に移動させる必要があるため、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能の検査に時間がかかってしまうという問題があった。

本発明は、簡単な構造で、且つ短時間で機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査することができる液滴吐出装置および液滴吐出装置の検査方法を提供することをその課題としている。

本発明の液滴吐出装置は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを搭載したキャリッジと、検査吐出パターンに基づいて機能液滴吐出ヘッドから検査吐出された機能液滴を受ける検査ターゲットと、検査ターゲットに着弾した機能液滴の検査ドットを画像認識すると共に、機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルから成るノズル列に対応して設けたラインスキャナと、ラインスキャナによる認識結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する検査手段と、を備え、ラインスキャナは、キャリッジに搭載されていることを特徴とする。

本発明の液滴吐出装置の検査方法は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドと共にキャリッジに搭載され、機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルから成るノズル列に対応して設けられたラインスキャナを用い、検査吐出パターンに基づいて機能液滴吐出ヘッドから検査ターゲットに機能液滴を検査吐出させる検査吐出工程と、検査ターゲットに着弾した機能液滴の検査ドットを、ラインスキャナにより画像認識する検査認識工程と、ラインスキャナによる認識結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する検査工程と、を備えたことを特徴とする。

これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドによる検査吐出（検査吐出工程）の後に、キャリッジに搭載されたラインスキャナにより検査ドットを画像認識（検査認識工程）し、その認識結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査（検査工程）するようになっている。したがって、上記した従来技術のように被描画ユニットなどを別途設ける必要がないため、装置構造を簡単（小型化）にすることができると共に、吐出性能の検査の制御を簡単にすることができる。また、複数の吐出ノズルから吐出された機能液滴の検査ドットを一度に、且つ描画動作と相前後して画像認識することができるため、検査時間を短縮することができる。また、オンマシンとした場合に、全体としてサイクルタイムを短縮することができる。

この場合、検査ターゲットは、機能液滴吐出ヘッドにより描画されるワークであり、機能液滴吐出ヘッドは、ワークの非描画領域に検査吐出を実施することが、好ましい。

この構成によれば、実描画直前に機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査することで、実質的に検査時間をほぼゼロとすることができる。

この場合、検査手段の検査結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの駆動を制御する制御手段を、更に備えたことが、好ましい。

この構成によれば、例えば、検査結果が不良であった場合には、実描画を停止させることができ、また、検査結果が良好であった場合には、そのまま実描画を行うことができる。すなわち、検査結果に基づいて、実描画を行うか否かを決定することができるため、描画精度を向上させることができる。

この場合、ラインスキャナは、機能液滴吐出ヘッドの近傍に位置してキャリッジに組み込まれていることが、好ましい。

この構成によれば、検査吐出の直後にラインスキャナにより検査ドットを画像認識することができるため、検査時間を短縮することができる。また、ラインスキャナと機能液滴吐出ヘッド（吐出ノズル）との距離を一定に保持することができるため、検査精度を向上させることができる。

この場合、ラインスキャナの一対が、ノズル列を挟むように機能液滴吐出ヘッドの両側に配設されていることが、好ましい。

この構成によれば、往動時および復動時に機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査することができるため、検査時間を短縮することができる。また、例えば往動時における検査結果を復動時の機能液滴吐出ヘッドに反映（補正等）させることができる。

この場合、キャリッジには、複数の機能液滴吐出ヘッドが搭載されており、ラインスキャナは、複数の機能液滴吐出ヘッドにおける複数のノズル列で構成される描画ラインに対応した長さを有していることが、好ましい。

この構成によれば、キャリッジに搭載されている機能液滴吐出ヘッドの数に関わらず、着弾ドットを一度のスキャンで画像認識することができるため、検査時間を短縮することができる。

この場合、ラインスキャナによる検査ドットの画像認識時に、検査ドットを照明する照明手段を、さらに備え、照明手段は、キャリッジに搭載されていることが、好ましい。

この構成によれば、検査ドットを鮮明に画像認識することができるため、検査精度を向上させることができる。

上記した液滴吐出装置の構成に加え、ラインスキャナは、機能液滴吐出ヘッドの液滴吐出により描画されたワークへの描画結果を更に画像認識し、検査手段は、ラインスキャナによる認識結果に基づいて、描画結果の描画品質を更に検査することが、好ましい。

この場合における液滴吐出装置の検査方法は、描画パターンに基づいて機能液滴吐出ヘッドからワークに機能液滴を吐出させて描画を行なう描画工程と、ワークへの描画結果を、ラインスキャナにより画像認識する描画認識工程と、ラインスキャナによる認識結果に基づいて、描画結果の描画品質を検査する品質検査工程と、を更に備えたことが、好ましい。

これらの構成によれば、ラインスキャナにより、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能の検査および描画結果の描画品質の検査を行うことができるため、装置構成を簡単にすることができると共に、描画品質に関する検査時間を短縮することができる。

本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。 液滴吐出装置の平面図である。 液滴吐出装置の側面図である。 キャリッジユニットの平面模式図である。 第１実施形態に係るキャリッジユニットの裏面図である。 第２実施形態に係るキャリッジユニットの裏面図である。 第２実施形態の第１変形例に係るキャリッジユニットの裏面図である。 第２実施形態の第２変形例に係るキャリッジユニットの裏面図である。 吐出検査における検査工程の説明図である。

以下、添付の図面を参照して、本発明に係る液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成（描画）するものであり、本発明は、この描画の前後に行われ、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査するものである。

図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１１上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在してワーク（検査ターゲット）ＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２と、複数本の支柱１２を介してＸ軸テーブル２を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース１３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル３と、Ｙ軸テーブル３に移動自在に吊設され、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１４が搭載された１３個のキャリッジユニット（キャリッジ）４と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバ５と、チャンバ５を貫通して、機能液滴吐出ヘッド１４に機能液を供給する機能液供給ユニット６と、を備えている。また、チャンバ５の側壁の一部には、機能液を貯留するメインタンク３９等を収納するタンクキャビネット７が設けられている。液滴吐出装置１は、Ｘ軸テーブル２およびＹ軸テーブル３の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１４を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット６から供給された機能液を吐出させ、機能液滴吐出ヘッド１４の吐出性能を検査すると共に、ワークＷに所定の描画パターンを描画する。

また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１５、吸引ユニット１６およびワイピングユニット１７から成るメンテナンス装置８を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１４の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１４の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル２とＹ軸テーブル３とが交わる部分にキャリッジユニット４を臨ませて、描画前後の機能液滴吐出ヘッド１４の吐出性能の検査およびワークＷの描画を行い、Ｙ軸テーブル３とメンテナンス装置８（吸引ユニット１６、ワイピングユニット１７）が交わる部分にキャリッジユニット４を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド１４の機能維持・機能回復を行う。

図２および図３に示すように、Ｘ軸テーブル２は、ワークＷを吸着セットすると共にθ軸方向に補正可能な機構を有するセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダ２２と、上記のフラッシングユニット１５をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダ２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダ２２およびＸ軸第２スライダ２３をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。

Ｙ軸テーブル３は、１３個のキャリッジユニット４をそれぞれ吊設した１３個のブリッジプレート２４と、各ブリッジプレート２４を両持ちで支持する１３組のＹ軸スライダ（図示省略）と、一対のＹ軸支持ベース１３上に設置され、ブリッジプレート２４をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル３は、各キャリッジユニット４を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１４を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１４を吸引ユニット１６およびワイピングユニット１７に臨ませる。この場合、各キャリッジユニット４を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１３個のキャリッジユニット４を一体として移動させることも可能である。

図３および図４に示すように、各キャリッジユニット４は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１４と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１４を支持するキャリッジプレート２５と、検査吐出直後の機能液滴の検査ドットを画像認識するラインスキャナ５１（図５参照）と、からなるヘッドユニット２６を備えている。また、各キャリッジユニット４は、ヘッドユニット２６をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構２７と、θ回転機構２７を介して、ヘッドユニット２６をブリッジプレート２４に支持させる吊設部材２８と、を備えている。

図５に示すように、キャリッジプレート２５は、ステンレス等の素材で、Ｘ軸方向（主走査方向）に長い方形の厚板で構成されており、その上面から１２個の機能液滴吐出ヘッド１４が装着され、下面から２４個のラインスキャナ５１が装着されている。また、キャリッジプレート２５には、１２個の機能液滴吐出ヘッド１４をそれぞれ位置決めし、これを、裏面側からヘッド保持部材５３を介して固定するための１２個の装着開口５４が形成されている。１２個の装着開口５４は、６個ずつ２群に分けられており、各群の各装着開口５４は、機能液滴吐出ヘッド１４のノズル列５５がＸ軸方向に直交すると共に、Ｘ軸方向において一部が重複するように、機能液滴吐出ヘッド１４のノズル列５５の方向に位置ずれして形成されている。すなわち、１２個の機能液滴吐出ヘッド１４は、６個ずつ２群に分けられ、Ｘ軸方向において、各群の機能液滴吐出ヘッド１４のノズル列５５が一部重複するように、Ｒ・Ｇ・Ｂ・Ｃ・Ｍ・Ｙの色順で階段状に、キャリッジプレート２５にアライメントされた状態で配設される。

ラインスキャナ５１は、ＣＣＤやＣＭＯＳをアレイ状に複数個搭載した形態を有しており、各機能液滴吐出ヘッド１４のノズル列５５に対応した長さに形成されている。また、ラインスキャナ５１は、各ノズル列５５の両側にそれぞれ配設されており、キャリッジユニット４全体で、計２４個のラインスキャナ５１が装着されている。すなわち、一対のラインスキャナ５１が各ノズル列５５の両側に、各ノズル列５５に対して平行にアライメントされて配設されている。また、各ラインスキャナ５１は、ワークＷに対して吐出ノズル５６が形成されたノズルプレート５７より奥まっていることが好ましく、係る場合には、上記したヘッド保持部材５３にラインスキャナ５１をセットするセット溝（図示省略）を形成することが好ましい。なお、必要に応じて照明ユニット（照明手段）５２（図６参照）を設けるようにしてもよい。さらに、ラインスキャナ５１の汚れを防止するために、ラインスキャナ５１の前面にシャッタを設けるようにしてもよい（図示省略）。

次に、図６を参照して、本発明の第２実施形態に係るキャリッジユニット４について説明する。なお、重複記載を避けるべく第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。係る場合、ラインスキャナ５１は、キャリッジユニット４に搭載されている全機能液滴吐出ヘッド１４で描画される描画ラインよりも長く形成されている。そして、ラインスキャナ５１は、機能液滴吐出ヘッド１４のノズル列５５と平行に、且つ機能液滴吐出ヘッド１４の主走査方向の両側にそれぞれ配設されている。また、照明ユニット５２は、ラインスキャナ５１の両外側にそれぞれ配設されている。

次に、図７を参照して、本発明の第２実施形態の第１変形例に係るキャリッジユニット４について説明する。係る場合のラインスキャナ５１は、第２実施形態と同様に構成されており、設置箇所が異なる。具体的には、一対のラインスキャナ５１が、キャリッジユニット４の主走査方向両端部に配設されており、一対の照明ユニット５２がラインスキャナ５１の両外側に配設されている。

次に、図８を参照して、本発明の第２実施形態の第２変形例に係るキャリッジユニット４について説明する。係る場合、ラインスキャナ５１は、上記した各群における機能液滴吐出ヘッド１４による描画ラインに対応して設けられており、ラインスキャナ５１の一対が、各群の両端の機能液滴吐出ヘッド１４の両側に計４個配設されている。また、照明ユニット５２は、ラインスキャナ５１の両外側に計４個配設されている。

次に、図９を参照して、液滴吐出装置１の検査方法について説明する。この検査方法は、実描画前に機能液滴吐出ヘッド１４の吐出性能を検査する吐出検査と、実描画後の描画品質を検査する品質検査と、から構成されているため、まず、吐出検査を実描画の直前に行う場合の方法について説明する。この検査方法は、検査吐出パターンに基づいて機能液滴吐出ヘッド１４からワークＷに機能液滴を検査吐出させる検査吐出工程と、ワークＷに着弾した機能液滴の検査ドットを、ラインスキャナ５１により画像認識する検査認識工程と、ラインスキャナ５１による認識結果６２に基づいて、機能液滴吐出ヘッド１４の吐出性能を検査する検査工程と、を備えている。この場合の検査吐出パターンは、全吐出ノズル５６を用いて機能液を吐出してもよいし、実描画を考慮して、使用する吐出ノズル５６を間引いて機能液を吐出してもよい。

検査吐出工程では、キャリッジユニット４をワークＷに対して相対的に主走査させると共に、機能液滴吐出ヘッド１４を駆動して、全機能液滴吐出ヘッド１４からワークＷの非描画領域に機能液を検査吐出する。検査認識工程では、吐出直後の検査ドットをラインスキャナ５１により画像認識する。具体的には、キャリッジユニット４が相対的に図示下側から上側に往動（復動）するときには、機能液の吐出直後、ノズル列５５より図示下側のラインスキャナ５１により検査ドットを画像認識する。一方、キャリッジユニット４が相対的に図示上側から下側に復動（往動）するときには、機能液の吐出直後、ノズル列５５より図示上側のラインスキャナ５１により検査ドットを画像認識する。なお、実描画の直前でなく吐出検査を行う場合には、ワークＷの代わりに検査吐出をうける検査テーブル（図示省略）をセットテーブル２１に設置してもよい。

検査工程では、画像処理された認識結果６２と、予め設定されている着弾データ６１と、を比較して機能液の飛行曲がりやドット抜けを検査する（検査手段）。具体的には、図９（ａ）に示すように、認識結果６２と着弾データ６１とが、一致した場合には、「飛行曲がりナシ」と判断される。なお、図９（ｂ）に示すように、認識結果６２と着弾データ６１とが、完全に一致しない場合であっても、所定の範囲内に着弾していれば「飛行曲がりナシ」と判断される。一方、認識結果６２が、着弾データ６１と比較して著しく位置ズレしていた場合、「飛行曲がりアリ」と判断される（図９（ｃ）参照）。また、認識結果６２に機能液が着弾していない吐出ノズル５６があった場合には、「ドット抜けアリ」と判断される（図９（ｄ）参照）。そして、検査直後に実描画が開始されるため、「飛行曲がりアリ」あるいは「ドット抜けアリ」と判断された場合には、図外の制御装置により、実描画を停止させることが好ましい。なお、認識結果６２が着弾データ６１と比較して角度ズレしていた場合には、上記したθ回転機構２７により、補正するようにしてもよい（図示省略）。

次に、実描画後の品質検査の方法について説明する。この品質検査は、上記の実描画前の吐出性能の検査後に行われ、描画パターンに基づいて機能液滴吐出ヘッド１４からワークＷに機能液滴を吐出させて描画を行なう描画工程と、ワークＷへの描画結果を、ラインスキャナ５１により画像認識する描画認識工程と、ラインスキャナ５１による認識結果６２に基づいて、描画結果の描画品質を検査する品質検査工程と、を更に備えている。

描画工程では、ワークＷをＸ軸テーブル２によりＸ軸方向に主走査させると共に、Ｙ軸テーブル３により副走査させ、描画パターンに基づいて機能液滴吐出ヘッド１４から機能液を吐出することでワークＷに描画を行う。

描画認識工程では、描画後、ワークＷを主走査および副走査させると共に、ラインスキャナ５１を駆動して、描画結果を画像認識する。なお、使用するラインスキャナ５１は、主走査方向の前後にあるいずれのものでもよい。

品質検査工程では、画素に機能液が着弾しているかを検査する。係る場合には、機能液が画素を含め所定の範囲内に着弾していれば良品と判断され、所定の範囲以上に画素からはみ出していた場合に、不良と判断される（図示省略）。

以上の構成によれば、機能液滴吐出ヘッド１４による検査吐出の結果を、キャリッジユニット４に搭載されたラインスキャナ５１により画像認識し、その認識結果６２に基づいて、機能液滴吐出ヘッド１４の吐出性能を検査するため、装置構造を簡単にすることができると共に、検査ドットを一度に画像認識することができるため、検査時間を短縮することができる。なお、ラインスキャナ５１をキャリッジプレート２５の長辺方向の両端面に固定するようにしてもよい。

１…液滴吐出装置 ２…Ｘ軸テーブル ３…Ｙ軸テーブル ４…キャリッジユニット １４…機能液滴吐出ヘッド ５１…ラインスキャナ ５２…照明ユニット ５５…ノズル列 ５６…吐出ノズル Ｗ…ワーク

Claims (10)

1. インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを搭載したキャリッジと、
   検査吐出パターンに基づいて前記機能液滴吐出ヘッドから検査吐出された機能液滴を受ける検査ターゲットと、
   前記検査ターゲットに着弾した機能液滴の検査ドットを画像認識すると共に、前記機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルから成るノズル列に対応して設けたラインスキャナと、
   前記ラインスキャナによる認識結果に基づいて、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する検査手段と、を備え、
   前記ラインスキャナは、前記キャリッジに搭載されていることを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記検査ターゲットは、前記機能液滴吐出ヘッドにより描画されるワークであり、
   前記機能液滴吐出ヘッドは、前記ワークの非描画領域に前記検査吐出を実施することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記検査手段による検査結果に基づいて、前記機能液滴吐出ヘッドの駆動を制御する制御手段を、更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記ラインスキャナは、前記機能液滴吐出ヘッドの近傍に位置して前記キャリッジに組み込まれていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
5. 前記ラインスキャナの一対が、前記ノズル列を挟むように前記機能液滴吐出ヘッドの両側に配設されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
6. 前記キャリッジには、複数の前記機能液滴吐出ヘッドが搭載されており、
   前記ラインスキャナは、複数の前記機能液滴吐出ヘッドにおける複数の前記ノズル列で構成される描画ラインに対応した長さを有していることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
7. 前記ラインスキャナによる前記検査ドットの画像認識時に、前記検査ドットを照明する照明手段を、さらに備え、
   前記照明手段は、前記キャリッジに搭載されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
8. 前記ラインスキャナは、前記機能液滴吐出ヘッドの液滴吐出により描画された前記ワークへの描画結果を更に画像認識し、
   前記検査手段は、前記ラインスキャナによる認識結果に基づいて、前記描画結果の描画品質を更に検査することを特徴とする請求項２ないし７のいずれかに記載の液滴吐出装置。
9. インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドと共にキャリッジに搭載され、前記機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルから成るノズル列に対応して設けられたラインスキャナを用い、
   検査吐出パターンに基づいて前記機能液滴吐出ヘッドから検査ターゲットに機能液滴を検査吐出させる検査吐出工程と、
   前記検査ターゲットに着弾した機能液滴の検査ドットを、前記ラインスキャナにより画像認識する検査認識工程と、
   前記ラインスキャナによる認識結果に基づいて、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する検査工程と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置の検査方法。
10. 描画パターンに基づいて前記機能液滴吐出ヘッドからワークに機能液滴を吐出させて描画を行なう描画工程と、
    前記ワークへの描画結果を、前記ラインスキャナにより画像認識する描画認識工程と、
    前記ラインスキャナによる認識結果に基づいて、前記描画結果の描画品質を検査する品質検査工程と、を更に備えたことを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出装置の検査方法。

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