JP2009045546A

JP2009045546A - 液滴吐出方法、及び液滴吐出装置

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Publication number: JP2009045546A
Application number: JP2007213362A
Authority: JP
Inventors: Kenji Kojima; 健嗣小島
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2007-08-20
Filing date: 2007-08-20
Publication date: 2009-03-05

Abstract

【課題】吐出重量を正確に測定するための吐出重量測定を実施すると共に、吐出重量測定を実施することによる、描画対象物に向けて液状体を吐出する描画吐出工程が休止する時間の増加を抑制して、液滴吐出による描画のために要する時間が増大することを抑制する液滴吐出方法、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出方法は、液滴吐出ヘッドから液状体を吐出することによって、基材上に前記液状体を配置する描画吐出工程と、複数の液滴吐出ヘッドが、当該複数の液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の重量測定を実施するための重量測定吐出をそれぞれ実施する複数ヘッド重量測定吐出工程を含み、吐出された前記液状体の重量を測定する複数ヘッド重量測定工程と、を有する。
【選択図】図１４

Description

本発明は、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを用いる液滴吐出方法、及び液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置に関する。

従来から、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを有し、液状体の液滴を吐出して描画対象物上の任意の位置に着弾させることによって、描画対象物の任意の位置に液状体を配置する液滴吐出装置が知られている。このような液滴吐出装置を用いることによって、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などのような機能膜の材料を含む液状材料を、任意の位置に任意の量だけ精度良く塗布することが可能である。塗布された液状材料を乾燥させることによって、任意の厚さ及び形状の機能膜を形成することができる。

液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の、一吐出あたりの吐出量は、当該液状体の粘度などの特性によって変動する。ところが、液滴吐出ヘッドに供給される液状体は、製造ロットの違いや、液滴吐出ヘッドに供給可能に貯留されている状態での経時変化などによって、必ずしも一定の特性が維持されない可能性がある。
特許文献１には、実際の吐出重量を正確に測定して、当該測定の結果に対応して吐出量が適正な値となるように調整することによって、正確な液滴吐出が実施できる液滴吐出システム、液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法、及び液滴吐出ヘッドの吐出量適正化方法が開示されている。

特開２００４−２０９４２９号公報

しかしながら、吐出重量を正確に測定するための吐出重量を測定する工程を実施することは必要であって、吐出重量測定工程の間は、描画対象物に向けて液状体を吐出する描画吐出工程が休止するため、液滴吐出による描画のために要する時間が増大するという課題があった。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出方法は、液滴吐出ヘッドから液状体を吐出すると共に、前記液状体を着弾させる対象である基材と前記液滴吐出ヘッドとを相対移動させることによって、前記基材上に前記液状体を配置する描画吐出工程と、複数の液滴吐出ヘッドが、当該複数の液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の重量測定を実施するための重量測定吐出をそれぞれ実施する複数ヘッド重量測定吐出工程を含み、吐出された前記液状体の重量を測定する複数ヘッド重量測定工程と、を有することを特徴とする。

この液滴吐出方法によれば、複数ヘッド重量測定吐出工程において、複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれが重量測定吐出を実施する。複数の液滴吐出ヘッドの重量測定吐出が１回の複数ヘッド重量測定吐出工程において実施されるため、複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれが、個別に各１回の重量測定吐出工程を実施する場合に比べて、複数の液滴吐出ヘッドが重量測定吐出を実施するために要する時間を短くすることができる。重量測定吐出工程のための時間を抑制することによって、複数ヘッド重量測定工程を実施するために要する時間を抑制することができるため、液滴吐出による描画のための作業時間の増加を抑制することができる。

［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記複数の液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置に対して前記基材の給除材を実施するための給除材工程をさらに有し、前記給除材工程が実施されている間に、略並行して前記複数ヘッド重量測定吐出工程を実施することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、液滴吐出ヘッドが吐出を実施していることを必要としない給除材工程の間に、液滴吐出ヘッドが吐出を実施することが必須である重量測定吐出工程を実施する。液滴吐出ヘッドの言わば休止時間に、重量測定吐出工程を実施することによって、重量測定吐出工程のための時間が新たに発生することがないため、液滴吐出による描画のための作業時間の増加を抑制することができる。
なお、給除材工程は、処理済みの基材を実際に取外したり、次に処理するべき基材を実際に取付けたりする、実際に給除材を実施する工程に加えて、取付けた基材の位置合わせの工程や、給除材のために、基材を載置するためのステージを移動させる工程なども含んでいる。

［適用例３］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記液滴吐出ヘッドが、前記液滴吐出ヘッドの状態を維持するための捨て吐出を実施する捨て吐出工程と、前記液滴吐出ヘッドの吐出状態を検査するための検査吐出を前記液滴吐出ヘッドが実施する検査吐出工程と、検査吐出されて着弾した液状体の状態の情報を取得する状態情報取得工程と、を含み、前記液滴吐出ヘッドの吐出状態を検査する吐出検査工程と、をさらに有し、前記給除材工程が実施されている間に、前記捨て吐出工程及び前記検査吐出工程を実施することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、液滴吐出ヘッドが吐出を実施していることを必要としない給除材工程の間に、液滴吐出ヘッドが吐出を実施することが必須である検査吐出工程を実施する。液滴吐出ヘッドの言わば休止時間に、検査吐出工程を実施することによって、検査吐出工程のための時間が新たに発生することがないため、液滴吐出による描画のための作業時間の増加を抑制することができる。また、給除材工程の間に、液滴吐出ヘッドが休止していると、吐出口の乾燥などの不具合が発生する可能性がある。給除材工程の間に、捨て吐出工程を実施することにより、吐出口の乾燥などを抑制して、液滴吐出ヘッドの適正な状態を維持することができる。

［適用例４］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記状態情報取得工程と、前記複数ヘッド重量測定吐出工程とを、それぞれの工程を実施する時刻を互いにずらして実施することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、重量測定吐出工程においては、液滴吐出ヘッドと吐出された液状体を受ける装置とを対向させる必要がある。状態情報取得工程においては、状態情報取得装置と測定対象とを対向させる必要がある。液滴吐出ヘッドと液状体を受ける装置と状態情報取得装置と測定対象とを、両工程を同時に実施できる状態に配置すると、各装置がそれぞれ配置される位置の位置関係が制約されるため、液状体を吐出するための装置が大型になる可能性が高くなる。
この液滴吐出方法によれば、重量測定吐出工程と状態情報取得工程とを実施する時間をずらすことにより、両工程を同時に実施できるように各装置を配置することが不要となることから、各装置の配置の自由度が保たれるため、液滴を吐出するための装置が大型になることを抑制することができる。
また、液滴吐出ヘッドと液状体を受ける装置と状態情報取得装置と測定対象とのいずれかを一体に移動させることも可能となり、移動用の装置を削減することができる。

［適用例５］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記状態情報取得工程に略並行して、前記複数ヘッド重量測定吐出工程を実施することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、複数ヘッド重量測定吐出工程と状態情報取得工程とのいずれか一方を実施する間に、他方も実施することができる。これにより、複数ヘッド重量測定吐出工程を実施するために必要な時間と、状態情報取得工程を実施するために必要な時間とのいずれか一方が、液滴吐出による描画に要する時間に及ぼす影響を殆どなくして、液滴吐出による描画に要する時間の増加を抑制することができる。

［適用例６］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記複数ヘッド重量測定工程では、前記複数の液滴吐出ヘッドによって実施された前記捨て吐出工程において吐出された前記液状体の重量を測定することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、複数ヘッド重量測定工程では、複数の液滴吐出ヘッドによって実施された捨て吐出工程において吐出された液状体の重量を測定する。これにより、複数の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために複数ヘッド重量測定吐出工程を実施することが不要となる。このため、捨て吐出工程と複数ヘッド重量測定吐出工程の両方をそれぞれ実施する場合に比べて、複数ヘッド重量測定工程を実施するために要する時間を抑制することができる。

［適用例７］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記給除材工程が１回実施される間に、１回の前記複数ヘッド重量測定吐出工程を実施することが好ましい。

複数の液滴吐出ヘッドにおいて多数ヘッド重量測定吐出工程を実施した場合、多数ヘッド重量測定吐出工程に要する時間の合計が増大するため、当該時間の合計が給除材工程に要する時間を超える可能性が増加する。給除材工程に要する時間を超える時間は、描画のための作業時間の増加要因となる。この液滴吐出方法によれば、１回の給除材工程の間に多数ヘッド重量測定吐出工程の実施は１回のみであって、多数ヘッド重量測定吐出工程に要する時間は最短であるため、多数ヘッド重量測定吐出工程に要する時間が描画のための作業時間の増大要因となる可能性を最も小さくすることができる。

［適用例８］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記複数ヘッド重量測定工程において測定された前記液状体の重量の測定値の、基準値に対する差異が、所定の値を超えた場合には、確認検査を実施することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、確認検査によって、複数ヘッド重量測定工程における測定結果を検証することができる。測定結果を検証することによって、一時的に発生した吐出量の変動が測定されることに起因して、当該一時的な変動に対応して不要な対処処置が実施されることを抑制することができる。

［適用例９］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記確認検査が、当該液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の重量測定を実施するための重量測定吐出を、一台の前記液滴吐出ヘッドが実施する単ヘッド重量測定吐出工程を含み、吐出された前記液状体の重量を測定する単ヘッド重量測定工程であることが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、確認検査として、個別の液滴吐出ヘッドの吐出重量が測定される。それぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、複数ヘッド重量測定工程における吐出重量の変動の要因となった、吐出重量の変動が発生している液滴吐出ヘッドを特定することができる。また、当該吐出重量の変動が発生している液滴吐出ヘッドにおける、吐出重量の変動量を検出することができる。

［適用例１０］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記複数ヘッド重量測定工程において重量測定吐出をそれぞれ実施する前記複数の液滴吐出ヘッドにおける一台の前記液滴吐出ヘッドが、前記単ヘッド重量測定吐出工程を実施し、前記複数の液滴吐出ヘッドにおける前記単ヘッド重量測定吐出工程を実施する前記液滴吐出ヘッド以外の前記液滴吐出ヘッドは、一台の前記液滴吐出ヘッドによる前記単ヘッド重量測定吐出工程の実施に並行して、それぞれ前記捨て吐出工程を実施することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、一組の液滴吐出ヘッドにおける１個の液滴吐出ヘッドが重量測定吐出を実施している間に、他の液滴吐出ヘッドは、捨て吐出を実施することにより、吐出口の乾燥などを抑制して、液滴吐出ヘッドの適正な状態を維持することができる。

［適用例１１］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記単ヘッド重量測定工程において測定された前記液状体の重量の測定値の、基準値に対する差異が、第一の値を超えると共に、第二の値以下である場合には、前記液滴吐出ヘッドにおける吐出条件の補正を実施することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、吐出条件の補正を実施するだけで、吐出重量の変動を解消できる可能性がある。吐出条件の補正は短時間で実施することが可能であるため、吐出重量の変動を解消するために他の方法を用いる場合より、吐出重量の変動に対応するための時間を短縮することができる。第一の値は、例えば、吐出重量の許容誤差であり、第二の値は、例えば、吐出条件によって変えることが可能な吐出重量の可変量である。

［適用例１２］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記液滴吐出ヘッドの駆動源は圧電素子であって、前記吐出条件の一つは、前記液滴吐出ヘッドに印加する駆動電圧であり、前記補正は、駆動電圧値の補正又は駆動電圧波形の補正を含むことが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、液滴吐出ヘッドに印加する駆動電圧又は駆動電圧波形を調整することによって、吐出重量の変動を補正することができる。圧電素子を駆動源とする液滴吐出ヘッドは、適切な駆動電圧又は駆動電圧波形を選択することによって吐出量の設定値を実現するため、吐出重量の変動を、駆動電圧又は駆動電圧波形を調整することによって、補正することができる。

［適用例１３］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記単ヘッド重量測定吐出工程の実施状態に拠って、前記単ヘッド重量測定吐出によって吐出された前記液状体を収容する単ヘッド重量測定受器の交換指示を出す単受器交換指示工程をさらに有することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、単ヘッド重量測定吐出工程の実施状態に拠って、単ヘッド重量測定受器に着弾して蓄積された液状体の量を把握することができるため、当該蓄積された液状体の量に拠って、単ヘッド重量測定受器の交換を効率的に実施することができる。なお、単ヘッド重量測定吐出工程１回ごとに単ヘッド重量測定受器を空にするのは、１回ごとに交換時間を必要として効率的ではない。また、重単ヘッド量測定受器を空にすることを必要としないほどの容量を有する単ヘッド重量測定受器を用いることは、単ヘッド重量測定受器や、当該単ヘッド重量測定受器を備える単ヘッド重量測定ユニットなどが、単ヘッド重量測定受器を空にすることを必要とする大きさの単ヘッド重量測定受器を用いる場合に比べて大きくなり、液状体を吐出するための装置が大型になる。従って、単ヘッド重量測定受器は、適宜空にすることを必要とする程度の大きさとすることが効率的である。

［適用例１４］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記単ヘッド重量測定吐出工程の実施状態に拠って、前記単ヘッド重量測定吐出によって吐出された前記液状体を収容する単ヘッド重量測定受器に蓄積された前記液状体を吸引する単受器吸引工程をさらに有することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、単受器吸引工程を実施することで、複数ヘッド重量測定受器に過剰に液状体が蓄積されることを抑制することができる。単ヘッド重量測定吐出工程の実施状態に拠って、単ヘッド重量測定受器に着弾して蓄積された液状体の量を把握することができるため、当該蓄積された液状体の量に拠って、単ヘッド重量測定受器に蓄積された液状体の吸引を効率的に実施することができる。なお、単ヘッド重量測定吐出工程１回ごとに単ヘッド重量測定受器を空にするのは、１回ごとに交換時間を必要として効率的ではない。また、重単ヘッド量測定受器を空にすることを必要としないほどの容量を有する単ヘッド重量測定受器を用いることは、単ヘッド重量測定受器や、当該単ヘッド重量測定受器を備える単ヘッド重量測定ユニットなどが、単ヘッド重量測定受器を空にすることを必要とする大きさの単ヘッド重量測定受器を用いる場合に比べて大きくなり、液状体を吐出するための装置が大型になる。従って、単ヘッド重量測定受器は、適宜空にすることを必要とする程度の大きさとすることが効率的である。

［適用例１５］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記単ヘッド重量測定吐出工程における前記単ヘッド重量測定吐出の吐出数を累計し、当該吐出数の累計が所定の数値を超えた時点で、前記単受器交換指示工程又は前記単受器吸引工程を実施することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、単ヘッド重量測定吐出工程で吐出された吐出数の累計によって、単ヘッド重量測定受器を交換することが指示される。単ヘッド重量測定吐出工程で吐出された液状体の液滴は、吐出不良（吐出しない）の場合を除いて、単ヘッド重量測定受器に着弾する。このため、単ヘッド重量測定受器に着弾した液状体の液滴の数は、単ヘッド重量測定吐出工程で吐出された吐出数に概ね等しい。単ヘッド重量測定吐出工程で吐出された吐出数の累計によって、単ヘッド重量測定受器の交換を指示することで、単ヘッド重量測定受器の交換を効率的に実施することができる。なお、単ヘッド重量測定受器内の液状体は溶媒が蒸発するため、単ヘッド重量測定吐出工程で吐出された吐出数の累計は、吐出された吐出数の液状体に含まれる溶媒が時間を経るとともに蒸発することを考慮した累計に換算して用いることが好ましい。

［適用例１６］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記単ヘッド重量測定工程において測定された前記液状体の重量を累計し、当該重量の累計が所定の数値を超えた時点で、前記単受器交換指示工程又は前記単受器吸引工程を実施することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、単ヘッド重量測定工程で測定された重量の累計によって、単ヘッド重量測定受器を交換することが指示される。単ヘッド重量測定工程で測定された重量の累計は、単ヘッド重量測定受器に蓄積された液状体の重量である。重量の累計から体積が、求められる。単ヘッド重量測定工程で測定された重量の累計によって、単ヘッド重量測定受器の交換を指示することで、単ヘッド重量測定受器の交換を効率的に実施することができる。なお、重量測定受器内の液状体は溶媒が蒸発するため、測定された重量の累計は、吐出された吐出数の液状体に含まれる溶媒が時間を経るとともに蒸発することを考慮した累計に換算して用いることが好ましい。重量の累計を比較して基準とするための所定の数値は、単ヘッド重量測定受器の容積から適宜定める。

［適用例１７］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記確認検査が、前記吐出検査工程であることが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、吐出検査工程を実施して、吐出不良などを含む吐出状態を検証することで、吐出重量の変動の要因となる吐出状態の変動の有無を検証することができる。吐出状態の変動の有無は、液滴吐出ヘッドに対応させて検証できるため、吐出状態の変動が有った液滴吐出ヘッドが特定されることから、複数ヘッド重量測定工程において検出された吐出重量の基準値との差異を発生させるような、吐出重量の変動が発生している液滴吐出ヘッドを特定することができる。また、吐出重量の変動の要因となる吐出状態の変動の種類を検証することができる。吐出状態の変動の種類としては、例えば、吐出口の詰りによる吐出不良（吐出されない）や、吐出量過多や吐出量過少などが挙げられる。

［適用例１８］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記複数ヘッド重量測定吐出工程、又は前記複数ヘッド重量測定吐出工程及び前記捨て吐出工程の実施状態に拠って、前記複数ヘッド重量測定吐出によって吐出された前記液状体を収容する複数ヘッド重量測定受器の交換指示を発信する交換指示工程をさらに有することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、複数ヘッド重量測定吐出工程、又は複数ヘッド重量測定吐出工程及び捨て吐出工程の実施状態に拠って、複数ヘッド重量測定受器に着弾して蓄積された液状体の量を把握することができるため、当該蓄積された液状体の量に拠って、複数ヘッド重量測定受器の交換を効率的に実施することができる。なお、複数ヘッド重量測定吐出工程１回ごとに複数ヘッド重量測定受器を空にするのは、１回ごとに交換時間を必要として、効率的ではない。また、複数ヘッド重量測定受器を空にすることを必要としないほどの容量を有する複数ヘッド重量測定受器を用いることは、複数ヘッド重量測定受器や、当該複数ヘッド重量測定受器を備える複数ヘッド重量測定ユニットなどが、複数ヘッド重量測定受器を空にすることを必要とする大きさの複数ヘッド重量測定受器を用いる場合に比べて大きくなり、液状体を吐出するための装置が大型になる。従って、複数ヘッド重量測定受器は、適宜空にすることを必要とする程度の大きさとすることが効率的である。

［適用例１９］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記複数ヘッド重量測定吐出工程、又は前記複数ヘッド重量測定吐出工程及び前記捨て吐出工程の実施状態に拠って、前記複数ヘッド重量測定吐出によって吐出された前記液状体を収容する複数ヘッド重量測定受器に蓄積された前記液状体を吸引する吸引工程をさらに有することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、複数ヘッド重量測定吐出工程、又は複数ヘッド重量測定吐出工程及び捨て吐出工程の実施状態に拠って、複数ヘッド重量測定受器に着弾して蓄積された液状体の量を把握することができるため、当該蓄積された液状体の量に拠って、吸引工程を効率的に実施することができる。吸引工程を実施することで、複数ヘッド重量測定受器に過剰に液状体が蓄積されることを抑制することができる。なお、複数ヘッド重量測定吐出工程１回ごとに吸引工程を実施するのは、１回ごとに吸引工程の時間を必要として、効率的ではない。また、複数ヘッド重量測定受器を空にすることを必要としないほどの容量を有する複数ヘッド重量測定受器を用いることは、複数ヘッド重量測定受器や、当該複数ヘッド重量測定受器を備える複数ヘッド重量測定ユニットなどが、複数ヘッド重量測定受器を空にすることを必要とする大きさの複数ヘッド重量測定受器を用いる場合に比べて大きくなり、液状体を吐出するための装置が大型になる。従って、複数ヘッド重量測定受器は、適宜空にすることを必要とする程度の大きさとすることが効率的である。

［適用例２０］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記複数ヘッド重量測定吐出工程、又は前記複数ヘッド重量測定吐出工程及び前記捨て吐出工程における前記複数ヘッド重量測定吐出、又は前記複数ヘッド重量測定吐出及び前記捨て吐出の吐出数を累計し、当該吐出数の累計が所定の数値を超えた時点で、前記複数ヘッド重量測定受器の交換指示工程又は吸引工程を実施することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、複数ヘッド重量測定吐出工程、又は複数ヘッド重量測定吐出工程及び捨て吐出工程で吐出された吐出数の累計によって、複数ヘッド重量測定受器の交換の指示、又は複数ヘッド重量測定受器からの液状体の吸引が実施される。複数ヘッド重量測定吐出工程、又は複数ヘッド重量測定吐出工程及び捨て吐出工程で吐出された液状体の液滴は、吐出不良（吐出しない）の場合を除いて、複数ヘッド重量測定受器に着弾する。このため、複数ヘッド重量測定受器に着弾した液状体の液滴の数は、複数ヘッド重量測定吐出工程、又は複数ヘッド重量測定吐出工程及び捨て吐出工程で吐出された吐出数に概ね等しい。複数ヘッド重量測定吐出工程、又は複数ヘッド重量測定吐出工程及び捨て吐出工程で吐出された吐出数の累計によって、複数ヘッド重量測定受器の交換の指示、又は複数ヘッド重量測定受器からの液状体の吸引を実施することで、複数ヘッド重量測定受器に蓄積された液状体の量に拠って、複数ヘッド重量測定受器の交換、又は複数ヘッド重量測定受器からの液状体の吸引を効率的に実施することができる。なお、複数重量測定受器内の液状体は溶媒が蒸発するため、複数ヘッド重量測定吐出工程及び捨て吐出工程で吐出された吐出数の累計は、吐出された吐出数の液状体の溶媒が時間を経るとともに蒸発することを考慮した累計に換算して用いることが好ましい。吐出数の累計を比較して基準とするための所定の数値は、複数ヘッド重量測定受器の容積から適宜定める。

［適用例２１］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記複数ヘッド重量測定工程を並行して実施することなく前記給除材工程を所定の回数実施する重量測定休止工程を有することが好ましい。

この液滴吐出方法によれば、重量測定休止工程を設けることにより、多ヘッド重量測定工程及び単ヘッド重量測定工程に要するエネルギを抑制することができる。これらの重量測定工程は、一定の時間を隔てて実施しても、充分検証機能を果たすことが可能である。多ヘッド重量測定工程を休止する時間は、実験などによって適切な時間を求める。例えば、液滴吐出ヘッドが一定の吐出状態が維持できる期間や、一定の吐出状態を維持して描画吐出を実施できる基材の描画枚数などを、実験などで予め求めることによって、定める。

［適用例２２］本適用例にかかる液滴吐出装置は、液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、同時に複数の液滴吐出ヘッドに臨み、前記複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれが吐出する前記液状体を受けることが可能な複数ヘッド重量測定受器を有し、吐出された前記液状体の重量を測定する複数ヘッド重量測定ユニットと、を備えることを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、複数ヘッド重量測定受器を用いることによって、複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれが実施する重量測定吐出によって吐出された液状体を、一度に複数ヘッド重量測定受器に着弾させることができる。着弾した液状体の重量を測定することで、一度に複数の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することができる。複数の液滴吐出ヘッドの重量測定吐出が１回で実施されるため、複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれが、個別に各１回の重量測定吐出を実施する場合に比べて、複数の液滴吐出ヘッドが重量測定吐出を実施するために要する時間を短くすることができる。同様に、液状体の重量を測定するために要する時間を短くすることができる。これにより、液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために要する時間を抑制することができることから、液滴吐出による描画のための作業時間の増加を抑制することができる。

［適用例２３］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、吐出された前記液状体を着弾させる対象である基材を載置するためのステージと、前記液滴吐出ヘッドと前記ステージとを主走査方向に相対移動させるステージ移動手段と、前記液滴吐出ヘッドと前記複数ヘッド重量測定ユニットとを主走査方向に相対移動させる重量測定ユニット移動手段と、前記液滴吐出ヘッドと前記複数ヘッド重量測定ユニットとを、前記主走査方向と略直交する副走査方向に相対移動させる重量測定ユニット副移動手段と、前記液滴吐出ヘッドと前記複数ヘッド重量測定ユニットと前記重量測定ユニット移動手段と前記重量測定ユニット副移動手段とを制御する重量測定制御部と、をさらに備え、前記重量測定制御部は、前記重量測定ユニット移動手段及び前記重量測定ユニット副移動手段を制御することによって、前記複数の液滴吐出ヘッドが前記複数ヘッド重量測定受器に臨む位置に位置するように、前記液滴吐出ヘッドと前記複数ヘッド重量測定ユニットとを相対移動させ、前記ステージに対する前記基材の給除材を実施する時間、及び当該給除材のために前記ステージが前記ステージ移動手段によって相対移動されている時間を含む給除材時間の間に、前記複数の液滴吐出ヘッドを制御することによって、吐出された前記液状体の重量測定を実施するための重量測定吐出を、前記複数の液滴吐出ヘッドに実施させることが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドが吐出を実施していることを必要としない給除材時間の間に、液滴吐出ヘッドが吐出を実施することが必須の重量測定吐出が実施される。液滴吐出ヘッドの言わば休止時間に、重量測定吐出を実施することによって、重量測定吐出のための時間が新たに発生することがないため、液滴吐出による描画のための作業時間の増加を抑制することができる。
なお、給除材時間は、処理済みの基材を実際に取外したり、次に処理するべき基材を実際に取付けたりする、実際に給除材を実施するための時間や、給除材のために、基材を載置するためのステージを移動させるための時間に加えて、取付けた基材の位置合わせのための時間なども含んでいる。

［適用例２４］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドの状態を維持するために前記液滴吐出ヘッドが実施する捨て吐出によって吐出される前記液状体を受ける第一捨て吐出受器と、前記液滴吐出ヘッドの吐出状態を検査するために前記液滴吐出ヘッドに実施させる検査吐出によって吐出される前記液状体を着弾させる検査吐出着弾シートと、当該検査吐出着弾シート上に着弾した前記液状体の状態情報を取得する状態観測装置と、を含む吐出検査装置と、前記液滴吐出ヘッドと前記状態観測装置とを制御する吐出検査制御部と、をさらに備え、前記重量測定ユニット移動手段は、前記液滴吐出ヘッドと、前記第一捨て吐出受器及び前記検査吐出着弾シートと、を前記主走査方向に相対移動させ、前記重量測定ユニット副移動手段は、前記液滴吐出ヘッドと、前記第一捨て吐出受器及び前記検査吐出着弾シートと、を前記副走査方向に相対移動させ、前記重量測定制御部は、前記重量測定ユニット移動手段及び前記重量測定ユニット副移動手段を制御することによって、前記液滴吐出ヘッドが前記第一捨て吐出受器又は前記検査吐出着弾シートに臨む位置に位置するように、前記液滴吐出ヘッドと前記第一捨て吐出受器及び前記検査吐出着弾シートとを相対移動させ、前記重量測定ユニット移動手段及び前記重量測定ユニット副移動手段を制御することによって、前記状態観測装置が前記検査吐出着弾シートに臨む位置に位置するように、前記状態観測装置と前記検査吐出着弾シートとを相対移動させ、前記吐出検査制御部は、前記給除材時間の間に、前記検査吐出を実施させるように、前記液滴吐出ヘッドを制御し、前記吐出検査制御部は、また、前記状態観測装置が臨んだ前記検査吐出着弾シートの上に着弾した前記液状体の状態情報を取得するように、前記状態観測装置を制御することが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドが吐出を実施していることを必要としない給除材時間の間に、液滴吐出ヘッドが吐出を実施することが必須である検査吐出を実施する。液滴吐出ヘッドの言わば休止時間に、検査吐出を実施することによって、検査吐出のための時間が新たに発生することがないため、液滴吐出による描画のための作業時間の増加を抑制することができる。また、給除材時間の間に、液滴吐出ヘッドが休止していると、吐出口の乾燥などの不具合が発生する可能性がある。給除材時間の間に、捨て吐出を実施することにより、吐出口の乾燥などを抑制して、液滴吐出ヘッドの適正な状態を維持することができる。

［適用例２５］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記吐出検査制御部及び前記重量測定制御部は、前記状態観測装置による前記状態情報の取得と、前記複数の液滴吐出ヘッドによる前記重量測定吐出の実施と、がそれぞれを実施する時刻が互いにずれて実施されるように、前記状態観測装置及び前記液滴吐出ヘッドを制御することが好ましい。

重量測定吐出を実施する場合には、液滴吐出ヘッドと複数ヘッド重量測定ユニットとを対向させる必要がある。状態情報を取得する際には、状態観測装置と検査吐出着弾シートとを対向させる必要がある。液滴吐出ヘッドと複数ヘッド重量測定ユニットと状態観測装置と検査吐出着弾シートとを、重量測定吐出と状態情報の取得とを同時に実施できる構成にするためには、各装置がそれぞれ配置される位置の位置関係が制約されるため、液滴吐出装置が大型になる可能性が高くなる。
この液滴吐出装置によれば、重量測定吐出と状態情報の取得とを実施する時間をずらすことにより、重量測定吐出と状態情報の取得とを同時に実施できるように各装置を配置することが不要となることによって、各装置の配置の自由度が保たれるため、液滴吐出装置が大型になることを抑制することができる。
また、液滴吐出ヘッドと複数ヘッド重量測定ユニットと状態観測装置と検査吐出着弾シートとのいずれかを一体に移動させることも可能となるため、移動用の装置を削減することができる。

［適用例２６］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッド又は前記状態観測装置と、前記検査吐出着弾シートと、を前記主走査方向に相対移動させる検査ユニット移動手段をさらに備え、前記吐出検査制御部は、前記検査ユニット移動手段及び前記重量測定ユニット副移動手段を制御して、前記液滴吐出ヘッドが前記検査吐出着弾シートに臨む位置に位置するように、前記液滴吐出ヘッドと前記検査吐出着弾シートとを相対移動させ、前記状態観測装置が前記検査吐出着弾シートに臨む位置に位置するように、前記状態観測装置と前記検査吐出着弾シートとを相対移動させ、前記吐出検査制御部及び前記重量測定制御部は、前記状態観測装置による前記状態情報の取得と、前記複数の液滴吐出ヘッドによる前記重量測定吐出の実施と、が略並行して実施されるように、前記状態観測装置及び前記複数の液滴吐出ヘッドを制御することが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、検査ユニット移動手段及び重量測定ユニット移動手段を用いることによって、状態観測装置と検査吐出着弾シートとの主走査方向の相対移動と、液滴吐出ヘッドと複数ヘッド重量測定ユニットとの主走査方向の相対移動とを、それぞれ独立して実施することができる。即ち、液滴吐出ヘッドと複数ヘッド重量測定ユニットとを対向させることと、状態観測装置と検査吐出着弾シートとを対向させることとを、並行して実施することができる。これにより、重量測定吐出と状態情報取得とをそれぞれ独立して実施することが可能となり、重量測定吐出と状態情報取得とのいずれか一方を実施する間に、他方も実施することができる。このため、重量測定吐出を実施するために必要な時間と、状態情報取得を実施するために必要な時間とのいずれか一方が、液滴吐出による描画に要する時間に及ぼす影響を殆どなくして、液滴吐出による描画に要する時間の増加を抑制することができる。

［適用例２７］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッド又は前記状態観測装置と、前記検査吐出着弾シートと、を前記副走査方向に相対移動させる検査ユニット副移動手段をさらに備え、前記吐出検査制御部は、前記検査ユニット移動手段及び前記検査ユニット副移動手段を制御することによって、前記液滴吐出ヘッドが前記第一捨て吐出受器又は前記検査吐出着弾シートに臨む位置に位置するように、前記液滴吐出ヘッドと前記検査吐出着弾シートとを相対移動させ、前記状態観測装置が前記検査吐出着弾シートに臨む位置に位置するように、前記状態観測装置と前記検査吐出着弾シートとを相対移動させることが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、検査ユニット副移動手段及び重量測定ユニット副移動手段を用いることによって、状態観測装置と検査吐出着弾シートとの副走査方向の相対移動と、液滴吐出ヘッドと複数ヘッド重量測定ユニットとの副走査方向の相対移動とを、それぞれ独立して実施することができる。これにより、状態観測装置と検査吐出着弾シートとの副走査方向の相対移動と液滴吐出ヘッドと複数ヘッド重量測定ユニットとの副走査方向の相対移動との両方を、重量測定ユニット副移動手段のみを用いて実施する場合に比べて、より容易に、重量測定吐出と状態情報取得とをそれぞれ独立して実施することができる。

［適用例２８］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記第一捨て吐出受器が前記複数ヘッド重量測定受器であって、前記重量測定制御部は、前記複数の液滴吐出ヘッドが実施する捨て吐出によって吐出される前記液状体を前記複数ヘッド重量測定受器に着弾させて、着弾した前記液状体の重量を、前記複数ヘッド重量測定ユニットによって測定させることが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、複数の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために、複数の液滴吐出ヘッドによって実施された捨て吐出において吐出された液状体の重量を測定する。これにより、複数の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために重量測定吐出を実施することが不要となる。このため、捨て吐出と重量測定吐出の両方をそれぞれ実施する場合に比べて、複数の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために要する時間を抑制することができる。

［適用例２９］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記複数の液滴吐出ヘッドから重量測定吐出された前記液状体の重量を前記複数ヘッド重量測定ユニットによって測定した測定値の、基準値に対する差異が、所定の値を超えた場合には、確認検査を実施することが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、確認検査によって、複数の液滴吐出ヘッドについて実施した重量測定の測定結果を検証することができる。測定結果を検証することにより、一時的に発生した吐出量の変動が重量測定において測定されることに起因して、当該一時的な変動に対応して不要な対処処置が実施されることを抑制することができる。

［適用例３０］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、一台の前記液滴吐出ヘッドに臨み、前記液滴吐出ヘッドが吐出する前記液状体を受けることが可能な単ヘッド重量測定受器を有し、吐出された前記液状体の重量を測定する単ヘッド重量測定ユニットを、さらに備え、前記確認検査は、前記単ヘッド重量測定ユニットを用いて、前記複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの前記液滴吐出ヘッドごとに実施する、吐出された前記液状体の重量測定であることが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、単ヘッド重量測定ユニットを用いることで、確認検査として、個別の液滴吐出ヘッドの吐出重量が測定できる。それぞれの液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することで、複数の液滴吐出ヘッドについて実施した重量測定の測定結果における吐出重量の変動の要因となった、吐出重量の変動が発生している液滴吐出ヘッドを特定することができる。また、当該吐出重量の変動が発生している液滴吐出ヘッドにおける、吐出重量の変動量を検出することができる。

［適用例３１］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記単ヘッド重量測定受器に隣接して設けられており、当該単ヘッド重量測定受器に対向する前記液滴吐出ヘッドに隣接して配置された前記液滴吐出ヘッドに少なくとも対向する位置に位置するように配置された第二捨て吐出受器を、さらに備え、前記重量測定制御部は、前記複数の液滴吐出ヘッドに含まれる一台の前記液滴吐出ヘッドが前記重量測定吐出を実施している間に、前記複数の液滴吐出ヘッドに含まれる他の前記液滴吐出ヘッドは、前記第二捨て吐出受器に向けて、前記捨て吐出を実施するように、前記液滴吐出ヘッドを制御することが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、複数ヘッド重量測定ユニットを用いて吐出重量を測定した一組の液滴吐出ヘッドにおける１個の液滴吐出ヘッドが重量測定吐出を実施している間に、他の液滴吐出ヘッドは、捨て吐出を実施することができる。これにより、重量測定吐出を実施していない液滴吐出ヘッドの吐出口の乾燥などが起こることを抑制して、液滴吐出ヘッドの適正な状態を維持することができる。

［適用例３２］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記確認検査が、前記吐出検査装置による前記液滴吐出ヘッドの吐出状態の検査であることが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、吐出検査装置を用いて吐出検査を実施することで、吐出不良などを含む吐出状態を検証することによって、吐出重量の変動の要因となる吐出状態の変動の有無を検証することができる。また、吐出重量の変動の要因となる吐出状態の変動の種類を検証することができる。吐出状態の変動の種類としては、例えば、吐出口の詰りによる吐出不良（吐出されない）や、吐出量過多や吐出量過少などが挙げられる。

［適用例３３］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドの吐出条件を設定する吐出条件設定部をさらに備え、前記液滴吐出ヘッドから重量測定吐出された前記液状体の重量を、前記単ヘッド重量測定ユニットによって測定した測定値の基準値に対する差異が、第一の値を超えると共に、第二の値以下である場合には、前記吐出条件設定部が、前記液滴吐出ヘッドにおける吐出条件の補正を実施することが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、吐出重量の変動があった液滴吐出ヘッドに対して、吐出条件設定部を用いて吐出条件の補正を実施するだけで、吐出重量の変動を解消できる可能性がある。吐出条件設定部による吐出条件の補正は短時間で実施することが可能であるため、吐出重量の変動を解消するために他の方法を用いる場合より、吐出重量の変動に対応するための時間を短縮することができる。第一の値は、例えば、吐出重量の許容誤差であり、第二の値は、例えば、吐出条件によって変えることができる吐出重量の可変量である。

［適用例３４］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記吐出条件の一つは、前記液滴吐出ヘッドに印加する駆動電圧であり、前記補正は、駆動電圧値の補正又は駆動電圧波形の補正を含むことが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドに印加する駆動電圧又は駆動電圧波形を調整することによって、吐出重量の変動を補正することができる。圧電素子を駆動源とする液滴吐出ヘッドは、適切な駆動電圧又は駆動電圧波形を選択することによって吐出量の設定値を実現するため、吐出重量の変動を、駆動電圧又は駆動電圧波形を調整することによって、補正することができる。

［適用例３５］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記複数の液滴吐出ヘッドによる前記重量測定吐出、又は前記複数の液滴吐出ヘッドによる前記重量測定吐出及び前記捨て吐出の実施状態に拠って、前記複数ヘッド重量測定受器の交換指示を発信する交換指示部をさらに備えることが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、交換指示部は、重量測定吐出及び捨て吐出の実施状態に拠って、複数ヘッド重量測定受器の交換時期を算出し、当該交換時期に従って交換指示情報を発信する。重量測定吐出及び捨て吐出の実施状態に拠って、複数ヘッド重量測定受器に着弾して蓄積された液状体の量を把握することができるため、交換指示部の交換指示情報に拠って、複数ヘッド重量測定受器の交換を効率的に実施することができる。なお、重量測定吐出を１回実施するごとに複数ヘッド重量測定受器を空にするのは、１回ごとに交換時間を必要として効率的ではない。また、複数ヘッド重量測定受器を空にすることを必要としないほどの容量を有する複数ヘッド重量測定受器を用いることは、複数ヘッド重量測定受器や、当該複数ヘッド重量測定受器を備える複数ヘッド重量測定ユニットなどが、複数ヘッド重量測定受器を空にすることを必要とする大きさの複数ヘッド重量測定受器を用いる場合に比べて大きくなり、液滴吐出装置が大型になる。従って、複数ヘッド重量測定受器は、適宜空にすることを必要とする程度の大きさとすることが効率的である。

［適用例３６］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記複数の液滴吐出ヘッドによる前記重量測定吐出、又は前記複数の液滴吐出ヘッドによる前記重量測定吐出及び前記捨て吐出の実施状態に拠って、前記複数ヘッド重量測定受器に蓄積された前記液状体を吸引する液状体吸引部をさらに備えることが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、液状体吸引部は、重量測定吐出、又は重量測定吐出及び捨て吐出の実施状態に拠って、複数ヘッド重量測定受器から、着弾して蓄積された液状体を吸引する。重量測定吐出、又は重量測定吐出及び捨て吐出の実施状態に拠って、複数ヘッド重量測定受器に着弾して蓄積された液状体の量を把握することができるため、当該蓄積された液状体の量に拠って、複数ヘッド重量測定受器からの液状体の吸引を効率的に実施することができる。吸引工程を実施することで、複数ヘッド重量測定受器に液状体が過剰に蓄積されることを抑制することができる。なお、複数の液滴吐出ヘッドによる重量測定吐出１回ごとに吸引を実施するのは、１回ごとに吸引を実施するための時間を必要とするため、効率的ではない。また、複数ヘッド重量測定受器を空にすることを必要としないほどの容量を有する複数ヘッド重量測定受器を用いることは、複数ヘッド重量測定受器や、当該複数ヘッド重量測定受器を備える複数ヘッド重量測定ユニットなどが、複数ヘッド重量測定受器を空にすることを必要とする大きさの複数ヘッド重量測定受器を用いる場合に比べて大きくなり、液状体を吐出するための装置が大型になる。従って、複数ヘッド重量測定受器は、適宜空にすることを必要とする程度の大きさとすることが効率的である。

［適用例３７］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記複数の液滴吐出ヘッドによる前記重量測定吐出、又は前記複数の液滴吐出ヘッドによる前記重量測定吐出及び前記捨て吐出の吐出数を累計し、当該吐出数の累計が所定の数値を超えた時点で、前記交換指示部又は前記液状体吸引部は、前記複数ヘッド重量測定受器の交換指示の発信、又は前記液状体の吸引を実施することが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、重量測定吐出、又は重量測定吐出及び捨て吐出で吐出された吐出数の累計によって、複数ヘッド重量測定受器の交換の指示、又は複数ヘッド重量測定受器からの液状体の吸引が実施される。重量測定吐出、又は重量測定吐出及び捨て吐出で吐出された液状体の液滴は、吐出不良（吐出しない）の場合を除いて、複数ヘッド重量測定受器に着弾する。このため、複数ヘッド重量測定受器に着弾した液状体の液滴の数は、重量測定吐出、又は重量測定吐出及び捨て吐出で吐出された吐出数に概ね等しい。重量測定吐出、又は重量測定吐出及び捨て吐出で吐出された吐出数の累計によって、複数ヘッド重量測定受器の交換の指示、又は複数ヘッド重量測定受器からの液状体の吸引を実施することで、複数ヘッド重量測定受器に蓄積された液状体の量に拠って、複数ヘッド重量測定受器の交換、又は複数ヘッド重量測定受器からの液状体の吸引を効率的に実施することができる。なお、複数重量測定受器内の液状体は溶媒が蒸発するため、重量測定吐出及び捨て吐出で吐出された吐出数の累計は、吐出された吐出数の液状体の溶媒が時間を経るとともに蒸発することを考慮した累計に換算して用いることが好ましい。

［適用例３８］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記重量測定制御部は、前記給除材が実施されるのに伴って、前記複数の液滴吐出ヘッドが重量測定吐出を実施し、前記複数の液滴吐出ヘッドが吐出した前記液状体の重量測定が実施されるように、前記複数ヘッド重量測定ユニット、前記重量測定ユニット移動手段、及び前記液滴吐出ヘッドを制御すると共に、前記複数の液滴吐出ヘッドの前記重量測定吐出を並行して実施することを伴う前記給除材と、次に当該複数の液滴吐出ヘッドの前記重量測定吐出を並行して実施することを伴う前記給除材との間に、前記重量測定吐出を並行して実施することを伴わない前記給除材が複数回数実施されるように、前記複数ヘッド重量測定ユニット、前記重量測定ユニット移動手段、及び前記液滴吐出ヘッドを制御することが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、複数の液滴吐出ヘッドの重量測定吐出を並行して実施することを伴わない給除材を実施する。即ち、基材に向けて液状体を吐出する作業を実施する一定時間における複数の液滴吐出ヘッドの重量測定の回数を減少させる。これにより、重量測定に要するエネルギを抑制することができる。複数の液滴吐出ヘッドの重量測定は、一定の稼働時間を隔てて実施すれば充分検証機能を果たすことが可能である。複数の液滴吐出ヘッドの重量測定を休止する時間は、実験などによって適切な時間を求める。例えば、液滴吐出ヘッドが一定の吐出状態が維持できる期間や、一定の吐出状態を維持して描画吐出を実施できる基材の描画枚数などを、実験などで予め求めることによって、定める。

［適用例３９］本適用例にかかる液滴吐出装置の吐出重量測定方法は、液滴吐出ヘッドから液状体を吐出すると共に、前記液状体を着弾させる対象である基材と前記液滴吐出ヘッドとを相対移動させることによって、前記基材上に前記液状体を配置する液滴吐出装置の吐出重量測定方法であって、複数の液滴吐出ヘッドが、当該複数の液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の重量測定を実施するための重量測定吐出をそれぞれ実施する複数ヘッド重量測定吐出工程を含み、吐出された前記液状体の重量を測定する複数ヘッド重量測定工程を有することを特徴とする。

この液滴吐出装置の吐出重量測定方法によれば、複数ヘッド重量測定吐出工程において、複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれが重量測定吐出を実施する。複数の液滴吐出ヘッドの重量測定吐出が１回の複数ヘッド重量測定吐出工程において実施されるため、複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれが、個別に各１回の重量測定吐出工程を実施する場合に比べて、複数の液滴吐出ヘッドが重量測定吐出を実施するために要する時間を短くすることができる。重量測定吐出工程のための時間を抑制することによって、複数ヘッド重量測定工程を実施するために要する時間を抑制することができるため、液滴吐出による描画のための作業時間の増加を抑制することができる。

［適用例４０］本適用例にかかる液滴吐出装置の吐出重量測定装置は、液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、吐出された前記液状体を着弾させる対象である基材を載置するためのステージと、前記液滴吐出ヘッドと前記ステージとを相対移動させるステージ移動手段と、を備える液滴吐出装置の吐出重量測定装置であって、同時に複数の液滴吐出ヘッドに臨み、前記複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれが吐出する前記液状体を受けることが可能な複数ヘッド重量測定受器を有し、吐出された前記液状体の重量を測定する複数ヘッド重量測定ユニットと、前記液滴吐出ヘッドと前記複数ヘッド重量測定ユニットとを相対移動させる重量測定ユニット移動手段と、を備えることを特徴とする。

この液滴吐出装置の吐出重量測定装置によれば、複数ヘッド重量測定受器を用いることによって、複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれが実施する重量測定吐出によって吐出された液状体を、一度に複数ヘッド重量測定受器に着弾させることができる。着弾した液状体の重量を測定することで、一度に複数の液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定することができる。複数の液滴吐出ヘッドの重量測定吐出が１回で実施されるため、複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれが、個別に各１回の重量測定吐出を実施する場合に比べて、複数の液滴吐出ヘッドが重量測定吐出を実施するために要する時間を短くすることができる。同様に、液状体の重量を測定するために要する時間を短くすることができる。これにより、液滴吐出ヘッドの吐出重量を測定するために要する時間を抑制することができることから、液滴吐出による描画のための作業時間の増加を抑制することができる。

以下、液滴吐出方法、及び液滴吐出装置の一実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、例えば、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、顔料を含む機能液や発光性の樹脂を含む機能液を導入した液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の発光素子等を形成するものである。

＜液滴吐出法＞
最初に、カラーフィルタなどの形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ²程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。

また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状材料に熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えない、駆動電圧を調整することによって、液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態では、液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の制御性が良いことから上記ピエゾ方式を用いる。

＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置の全体構成について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１７（図４参照）を有する吐出ユニット２と、ワークユニット３と、機能液供給部（図示省略）と、検査ユニット４と、メンテナンスユニット５と、吐出装置制御部６（図６参照）とを備えている。

吐出ユニット２は、液状体である機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７を１２０個有している。ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台２１を有している。機能液供給部は、機能液を貯留する貯留タンク（図示省略）を有し、液滴吐出ヘッド１７への機能液の供給を行う。検査ユニット４は、液滴吐出ヘッド１７からの吐出状態を検査するための、吐出検査ユニット１８及び重量測定ユニット１９を有しており、重量測定ユニット１９にはフラッシングユニット１４が併設されている。メンテナンスユニット５は、液滴吐出ヘッド１７の保守を行う吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６を有している。吐出装置制御部６は、これら各機構部等を総括的に制御する。後述する重量測定処理、描画処理、吐出検査処理、及びメンテナンス処理などは、吐出装置制御部６による制御に基づいて行われている。吐出装置制御部６が、重量測定制御部、又は吐出検査制御部に相当する。

液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１Ａを備え、各ユニットなどが、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されている。Ｘ軸テーブル１１は、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されており、ワーク載置台２１をＸ軸方向（主走査方向）に移動させる。Ｙ軸テーブル１２は、複数本の支柱７Ａを介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース７の上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在している。吐出ユニット２は、それぞれ１２個の液滴吐出ヘッド１７を有するキャリッジユニット５１を、１０個備えている。１０個のキャリッジユニット５１は、１０個のブリッジプレート５２のそれぞれに吊設されている。ブリッジプレート５２は、Ｙ軸スライダ（図示省略）を介して、Ｙ軸テーブル１２に、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。Ｙ軸テーブル１２は、ブリッジプレート５２（キャリッジユニット５１）を、Ｙ軸方向（副走査方向）に移動させる。
Ｘ軸テーブル１１及びＹ軸テーブル１２の駆動と同期して液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液滴を吐出させ、ワーク載置台２１の上に載置されたワークＷに対して、任意の描画パターンを描画する。

吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット１６２（図２参照）とを有している。検査描画ユニット１６１は、重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一体に移動するように構成されている。検査描画ユニット１６１と、重量測定ユニット１９と、フラッシングユニット１４とが一体に設けられたブロックを、吐出検査ブロック４ａと表記する。撮像ユニット１６２は、２個の検査カメラ１６３，１６３（図２参照）と、検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４（図２参照）と、を有している。カメラ移動機構１６４は、Ｙ軸支持ベース７に固定されている。２個の検査カメラ１６３，１６３は、カメラ移動モータ（図２では図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。

メンテナンスユニット５が備える吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台８の上に配設されている。吸引ユニット１５は、複数の分割吸引ユニット１４１を有し、液滴吐出ヘッド１７を吸引して、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８（図４参照）から機能液を強制的に排出させる。ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート１５１を有し、吸引後の液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａ（図４参照）を拭き取る（ワイピングを行う）ものである。このようにして、吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、液滴吐出ヘッド１７の保守を行い、液滴吐出ヘッド１７の機能維持又は機能回復を図るようになっている。

次に、液滴吐出装置１の各構成要素について、図１に加えて、図２及び図３を参照して説明する。図２及び図３は、液滴吐出装置の概略構成を示す側面図である。図２は、Ｘ軸方向に延在する側面の側面図であり、図３は、Ｙ軸方向に延在する側面の側面図である。

図１、図２、又は図３に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸第１スライダ２２と、Ｘ軸第２スライダ２３と、左右一対のＸ軸リニアモータ２６と、一対のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。Ｘ軸第１スライダ２２には、ワーク載置台２１が取付けられている。Ｘ軸第１スライダ２２は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸第２スライダ２３には、検査描画ユニット１６１と、重量測定ユニット１９と、フラッシングユニット１４とが一体に設けられた吐出検査ブロック４ａが取付けられている。Ｘ軸第２スライダ２３は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸リニアモータ２６は、Ｘ軸共通支持ベース２４に並設されており、Ｘ軸第１スライダ２２又はＸ軸第２スライダ２３をＸ軸共通支持ベース２４に沿って移動させることによって、ワーク載置台２１（ワーク載置台２１に載置されたワークＷ）又は吐出検査ブロック４ａをＸ軸方向に移動させる。Ｘ軸第１スライダ２２とＸ軸第２スライダ２３とは、Ｘ軸リニアモータ２６により個別に駆動可能である。Ｘ軸リニアモータ２６と、Ｘ軸共通支持ベース２４と、Ｘ軸第１スライダ２２とが、ステージ移動手段に相当する。Ｘ軸リニアモータ２６と、Ｘ軸共通支持ベース２４と、Ｘ軸第２スライダ２３とが、重量測定ユニット移動手段に相当する。Ｘ軸方向が主走査方向に相当し、Ｙ軸方向が副走査方向に相当する。

ワーク載置台２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向にθ補正するためのθテーブル３２等を有している。図１及び図２におけるワーク載置台２１の位置が、ワークＷの給除材を行うための給除材位置となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入（給材）するときや、処理済のワークＷを回収（除材）するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させるようになっている。当該給除材位置において、ロボットアーム（図示省略）により、吸着テーブル３１に対するワークＷの搬入・搬出（載換え）が行われる。また、吸着テーブル３１には、給材されたワークＷをＸ軸方向及びＹ軸方向に寄せこむようにして、これをプリアライメントする機構（図示省略）が組み込まれている。吸着テーブル３１に給材された未処理のワークＷのアライメントは、θテーブル３２を用いて、給除材位置において実施される。ワーク載置台２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、描画前フラッシングユニット１１１の一対の描画前フラッシングボックス１２１が添設されている。

画像認識ユニット８０は、２台のアライメントカメラ８１，８１と、カメラ移動機構８２と、を有している。カメラ移動機構８２は、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に、Ｙ軸方向に延在して、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように配設されている。アライメントカメラ８１は、カメラホルダ（図示省略）を介して、カメラ移動機構８２に、Ｙ軸方向にスライド自在に支持されている。カメラ移動機構８２に支持されたアライメントカメラ８１は、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、Ｘ軸テーブル１１の上のワーク載置台２１に載置されたワークＷの各基準マーク（アライメントマーク）（図示省略）を画像認識することができる。２台のアライメントカメラ８１，８１は、カメラ移動モータ（図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。

各アライメントカメラ８１は、ワーク載置台２１のＸ軸方向への移動と協働して、カメラ移動機構８２によりＹ軸方向に移動しながら、上記ロボットアームが給材した各種ワークＷのアライメントマークを撮像して、各種ワークＷの位置認識を実施する。そして、このアライメントカメラ８１の撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正が実施される。

Ｙ軸テーブル１２は、１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。一対のＹ軸リニアモータは、上記した一対のＹ軸支持ベース７，７の上にそれぞれ設置されて、Ｙ軸方向に延在している。２０個（１０組）のＹ軸スライダは、一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに各１０個ずつ摺動自在に支持されている。一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに支持された各１個のＹ軸スライダからなる一組のＹ軸スライダは、吐出ユニット２を構成するキャリッジユニット５１が固定されたブリッジプレート５２を両持ちで支持している。吐出ユニット２を構成する１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ固定した１０個のブリッジプレート５２は、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダを介して、一対のＹ軸支持ベース７，７の上に設置されている。

一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース７，７を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向に移動し、ブリッジプレート５２に吊設されたキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。

キャリッジユニット５１は、１２個の液滴吐出ヘッド１７と、１２個の液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するサブキャリッジ５３と、を有するヘッドユニット５４を備えている（図５参照）。また、キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット５４をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット５４をブリッジプレート５２に支持させる吊設部材６２と、を備えている。

＜液滴吐出ヘッドの構成＞
次に、液滴吐出ヘッド１７について、図４を参照して説明する。図４は、液滴吐出ヘッドの概要を示す外観斜視図である。

図４に示すように、この液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１に連なる方形のヘッド本体７４と、液体導入部７１とヘッド本体７４との間から側方に突出するヘッド基板７３と、を備えている。ヘッド本体７４は、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズル形成プレート７６と、を有している。ノズル形成プレート７６には、ノズル形成面７６ａに開口する吐出ノズル７８が形成されている。液滴吐出ヘッド１７においては、１列あたり１８０個の吐出ノズル７８からなるノズル列７８ｂが２列形成されている。ポンプ部７５には、ピエゾ圧電素子が設けられており、当該ピエゾ圧電素子を駆動することによって、液体導入部７１から供給されてきた機能液を吐出ノズル７８から吐出する。１個の吐出ノズル７８に対応して１個のピエゾ圧電素子が設けられており、それぞれの吐出ノズル７８ごとに独立して機能液を吐出することができる。ヘッド基板７３には、一対のコネクタ７７，７７が設けられている。このコネクタ７７が、ＦＦＣケーブルなどによって、吐出装置制御部６と接続されている中継基板と接続されることで、液滴吐出ヘッド１７が吐出装置制御部６と接続される。

液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取付けられた状態では、ノズル列７８ｂはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列７８ｂをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置ずれしている。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。

＜ヘッドユニット＞
次に、ヘッドユニット５４について、図５を参照して説明する。図５は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図５に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット５４が液滴吐出装置１に取付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。

図５に示すように、ヘッドユニット５４は、サブキャリッジ５３と、サブキャリッジ５３に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、サブキャリッジ５３に固定されており、ヘッド本体７４がサブキャリッジ５３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズル形成面７６ａが、サブキャリッジ５３の面より突出している。図５は、ノズル形成面７６ａ側から見た図である。１２個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ６個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド群５５を２群形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８ｂはＹ軸方向に延在している。

一つのヘッド群５５が有する６個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置するように、位置決めされている。仮に、ヘッド群５５が有する６個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。即ち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。この直線をノズル群線と表記する。液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド群５５を構成している。

ヘッドユニット５４が有する二つのヘッド群５５は、Ｙ軸方向に一つのヘッド群５５分の間隔を隔てて配置されている。即ち、１個のヘッドユニット５４の吐出ノズル７８から一滴ずつ吐出させて、Ｘ軸方向が同じ位置になるように着弾させると、ノズル群線１本の長さ分の間隔を隔てて、２本のノズル群線が形成される。ヘッドユニット５４を、Ｙ軸方向に一つのヘッド群５５分移動させて、同様に２本のノズル群線を形成することで、ノズル群線が４本連なった直線が形成される。当該直線は、設計上では、ノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８の数の４８倍の数の点が、ノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８のノズルピッチの半分の間隔（ノズルピッチ）で、連なっている。

隣合うヘッドユニット５４も、それぞれのヘッド群５５が、互いにＹ軸方向に一つのヘッド群５５分の間隔を隔てて配置されるように位置することが可能である。従って、ノズル群線の長さ相当のＹ軸方向の移動を挟んで、それぞれ、吐出ユニット２が有する各吐出ノズル７８に一滴ずつ機能液を吐出させることで、Ｙ軸方向に延在する一直線を形成することができる。この、吐出ユニット２が有する全１２０個の液滴吐出ヘッド１７が各２回の吐出で描画できるラインの長さは、ワーク載置台２１に搭載可能な最大サイズのワークＷの幅に対応している。

なお、ノズル列７８ｂの端の方における吐出ノズル７８のいくつかを使用しない場合には、使用しない吐出ノズル７８が、使用する吐出ノズル７８と、Ｙ軸方向において重なるように、液滴吐出ヘッド１７を配置する。

＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図６を参照して説明する。図６は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホストコンピュータ６６と、液滴吐出装置１に入出力する情報を入出力するための入出力装置６８とを有し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。

液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドドライバ２ｄと、駆動機構ドライバ４０ｄと、給液ドライバ６０ｄと、メンテナンスドライバ５ｄと、検査ドライバ４ｄと、検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４３、を有している。これらは、データバス４９を介して互いに電気的に接続されている。

インタフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ４４は、制御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ４４からの指令に従って、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶している。ハードディスク４８は、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶したりしている。

ヘッドドライバ２ｄには、吐出ユニット２を構成する液滴吐出ヘッド１７が接続されている。ヘッドドライバ２ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド１７を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバ４０ｄには、Ｙ軸テーブル１２のヘッド移動モータと、Ｘ軸テーブル１１のＸ軸リニアモータ２６と、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構４１とが接続されている。各種駆動機構は、上記した、アライメントカメラ８１を移動するためのカメラ移動モータや、θ回転機構６１の駆動モータなどである。駆動機構ドライバ４０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動して、液滴吐出ヘッド１７とワークＷとを相対移動させてワークＷの任意の位置と液滴吐出ヘッド１７とを対向させ、ヘッドドライバ２ｄと協働して、ワークＷ上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。

メンテナンスドライバ５ｄには、メンテナンスユニット５の吸引ユニット１５と、ワイピングユニット１６と、フラッシングユニット１４とが接続されている。メンテナンスドライバ５ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、又はフラッシングユニット１４を駆動して、液滴吐出ヘッド１７の保守作業を実施させる。

検査ドライバ４ｄには、検査ユニット４の吐出検査ユニット１８と、重量測定ユニット１９とが接続されている。検査ドライバ４ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吐出検査ユニット１８、又は重量測定ユニット１９を駆動して、吐出重量や吐出の可否や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態の検査を実施させる。

給液ドライバ６０ｄには、給液ユニット６０が接続されている。給液ドライバ６０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って給液ユニット６０を駆動して、液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する。検出部インタフェイス４３には、各種センサを含む検出部４２が接続されている。検出部４２の各センサによって検出された検出情報が検出部インタフェイス４３を介してＣＰＵ４４に伝達される。

＜吐出検査ユニット＞
次に、吐出検査ユニット１８について、図７を参照して説明する。図１を参照して説明したように、吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット１６２とを有している。検査描画ユニット１６１は、重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一体に移動するように構成されている。図７は、検査描画ユニットの全体構成を示す外観斜視図である。

吐出検査ユニット１８は、吐出ユニット２を構成する全液滴吐出ヘッド１７（の吐出ノズル７８）から機能液が適切に吐出されているか否かを検査するためのものである。検査描画ユニット１６１は、吐出ユニット２を構成する全ヘッドユニット５４が備える全液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル７８から検査吐出された機能液を受けられるように構成されている。撮像ユニット１６２は、検査描画ユニット１６１に描画された検査パターン（着弾ドットのパターン）を撮像して検査する。上述したように、検査描画ユニット１６１はＸ軸テーブル１１に搭載されている。撮像ユニット１６２はＹ軸テーブル１２直下で、Ｙ軸支持ベース７に固定されて検査位置に固定的に設けられており、２個の検査カメラ１６３，１６３は、それぞれ独立してＹ軸方向に移動可能である。

図７に示すように、検査描画ユニット１６１は、検査シート１７１と、検査ステージ１７２と、シート送り手段１７３と、シート送り支持部材１７４と、ユニットベース１７５と、真空センサ（図示省略）と、を備えている。検査シート１７１は、液滴吐出ヘッド１７から検査吐出された機能液の液滴を着弾させるための帯状のシートで、Ｙ軸方向に延在している。検査ステージ１７２はＹ軸方向に延在しており、検査ステージ１７２の上に検査シート１７１が載っている。シート送り手段１７３が、非検査済み部分を検査ステージ１７２に送り込むように、かつ検査シート１７１の検査済み部分を検査ステージ１７２から送り出すように、検査シート１７１を移動させる。シート送り手段１７３は、シート送り支持部材１７４に支持されており、シート送り支持部材１７４は、ユニットベース１７５に支持されている。真空センサは、検査ステージ１７２上に載置される検査シート１７１のセット不良を検出する。

図２を参照して説明したように、撮像ユニット１６２は、２個の検査カメラ１６３，１６３と、検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４と、を有している。検査カメラ１６３は、検査シート１７１に検査吐出された着弾ドットを画像認識するもので、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨む姿勢で、Ｙ軸支持ベース７に固定されたカメラ移動機構１６４を介して、Ｙ軸方向にスライド自在にＹ軸支持ベース７に支持されている。

検査描画ユニット１６１は、吸着テーブル３１が給除材位置に移動したときに、検査シート１７１が撮像ユニット１６２の検査カメラ１６３に臨む位置に移動して当該位置に位置することが可能である。即ち、撮像ユニット１６２は、ワークＷの載換え中及びアライメント中に、検査パターンの撮像を実施することができる。２個の検査カメラ１６３による撮像結果は、吐出装置制御部６に送信されて画像認識される。この画像認識に基づいて、各液滴吐出ヘッド１７の各吐出ノズル７８が正常に機能液を吐出しているか（ノズル詰まりがないか、吐出量は正常か）否かが判定される。ノズル詰まりは、液滴の着弾の有無で判定できる。吐出量は、着弾した液滴の大きさで、過多又は過少が判定できる。また、着弾した液滴の相対位置が規定された位置であるか否かが判定される。これらの判定もワーク載換え中及びアライメント中に行われる。検査シート１７１が、検査吐出着弾シートに相当し、撮像ユニット１６２が状態観測装置に相当し、吐出検査ユニット１８が、吐出検査装置に相当する。

＜重量測定ブロック＞
次に、重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４について、図８を参照して説明する。図８は、重量測定ユニットの部分及びフラッシングユニットの部分を含む重量測定ブロックの図である。図８（ａ）は、重量測定ブロックの平面図であり、図８（ｂ）は、重量測定ブロックの側面図である。上述したように、重量測定ユニット１９、フラッシングユニット１４、及び検査描画ユニット１６１が一体に設けられた吐出検査ブロック４ａが、一体に移動するように構成されている。

図８に示すように、重量測定ブロック９１Ａは、２個の重量測定装置９１と、図示省略した支持フレームとを備えている。支持フレームは、２個の重量測定装置９１を支持しており、支持フレームがＸ軸第２スライダ２３に固定されることによって、重量測定ブロック９１ＡがＸ軸第２スライダ２３に搭載されている。吐出検査ブロック４ａは、１０個の重量測定ブロック９１Ａを有し、合計２０個の重量測定装置９１が、Ｙ軸方向に並んで、Ｘ軸第２スライダ２３に搭載されている。１個の重量測定装置９１が一つのヘッド群５５に対応しており、並列する２個の重量測定装置９１が、１個のヘッドユニット５４に対応している。

重量測定装置９１は、複数ヘッド受液容器９３と、単ヘッド受液容器９４と、複数ヘッド天秤９８と、単ヘッド天秤９９と、重量測定時フラッシングボックス９５と、機能液吸収材９７と、を有している。これらが、図示省略した支持フレームに支持されてＸ軸第２スライダ２３に搭載されている。

複数ヘッド受液容器９３は、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７に同時に対向可能であって、定期フラッシング時にヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７が一斉に実施する捨て吐出受ける定期フラッシングボックスとしても使用される。定期フラッシングボックスとしての複数ヘッド受液容器９３と重量測定時フラッシングボックス９５と、機能液吸収材９７とは、フラッシングユニット１４に含まれる。フラッシングユニット１４には、２０個の重量測定装置９１のそれぞれに形成されている、それぞれ２０個の複数ヘッド受液容器９３と、重量測定時フラッシングボックス９５とが含まれる。

ヘッド群５５から吐出される機能液の重量を測定する場合の複数ヘッド受液容器９３と、複数ヘッド天秤９８と、単ヘッド受液容器９４と、単ヘッド天秤９９とは、重量測定ユニット１９に含まれる。重量測定ユニット１９には、２０個の重量測定装置９１のそれぞれに形成されている、それぞれ２０個の、複数ヘッド受液容器９３と、複数ヘッド天秤９８と、単ヘッド受液容器９４と、単ヘッド天秤９９とが含まれる。

＜重量測定ユニット＞
複数ヘッド受液容器９３は、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７に同時に対向して、当該ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることができる大きさである。複数ヘッド受液容器９３は、複数ヘッド天秤９８の上に載っており、複数ヘッド天秤９８は複数ヘッド受液容器９３の重量を測定することで、複数ヘッド受液容器９３内に着弾した機能液の重量を測定する。液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることで増加した複数ヘッド受液容器９３の重量が、液滴吐出ヘッド１７から吐出されて複数ヘッド受液容器９３内に着弾した機能液の重量である。複数ヘッド受液容器９３が、複数ヘッド重量測定受器に相当する。複数ヘッド受液容器９３と複数ヘッド天秤９８とが、複数ヘッド重量測定ユニットに相当する。

吐出装置制御部６のＣＰＵ４４は、液滴吐出ヘッド１７から複数ヘッド受液容器９３に向けて吐出された機能液の吐出数を積算してＲＡＭ４６又はハードディスク４８に記憶させておき、積算重量が一定量に達すると、複数ヘッド受液容器９３の交換指示情報を出す。この場合の吐出装置制御部６が、交換指示部に相当する。

単ヘッド受液容器９４は、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７のうち、任意の１個の液滴吐出ヘッド１７のみに対向して、当該液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることができる大きさである。単ヘッド受液容器９４は、単ヘッド天秤９９の上に載っており、単ヘッド天秤９９は単ヘッド受液容器９４の重量を測定することで、単ヘッド受液容器９４内に着弾した機能液の重量を測定する。液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることで増加した単ヘッド受液容器９４の重量が、液滴吐出ヘッド１７から吐出されて単ヘッド受液容器９４内に着弾した機能液の重量である。

吐出装置制御部６のＣＰＵ４４は、単ヘッド天秤９９が測定した機能液の重量を積算してＲＡＭ４６に記憶させておく。ＣＰＵ４４は、積算重量が一定量に達すると、単ヘッド受液容器９４の交換指示情報を出す。単ヘッド受液容器９４が、単ヘッド重量測定受器に相当し、単ヘッド受液容器９４と単ヘッド天秤９９とが、単ヘッド重量測定ユニットに相当する。

単ヘッド天秤９９は、単ヘッド受液容器９４に吐出された機能液の重量を測定し、測定結果を吐出装置制御部６に出力する。吐出装置制御部６は、単ヘッド天秤９９から入力した測定結果に基づいて、ヘッドドライバ２ｄから液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電力（電圧値）を制御する。即ち、重量測定結果が目標範囲内の場合は、電圧値を変更することなく、次のワークＷに対する描画を行う。他方、重量測定結果が目標範囲外の場合は、予め求めた印加電圧値と重量測定値との分解能データに基づいて電圧値を変更し、変更後の電圧値で、再度重量測定を行う。この重量測定及び電圧値変更は、重量測定結果が目標の範囲内になるまで、繰り返し行われる。この場合の吐出装置制御部６が、吐出条件設定部に相当する。

＜フラッシングユニット＞
重量測定時フラッシングボックス９５は、重量測定時フラッシングボックス９５ａと重量測定時フラッシングボックス９５ｂとを有し、重量測定時フラッシングボックス９５ａと重量測定時フラッシングボックス９５ｂとが、Ｘ軸方向において単ヘッド受液容器９４を挟んで配置されている。ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７のうち１個の液滴吐出ヘッド１７が単ヘッド受液容器９４に臨む位置にあるとき、ヘッド群５５を構成する他の５個の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は重量測定時フラッシングボックス９５ｂのいずれかに臨む位置に位置する。重量測定対象の液滴吐出ヘッド１７が単ヘッド受液容器９４に臨んで重量測定のための吐出を実施する時に、測定対象外の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は重量測定時フラッシングボックス９５ｂに臨んで、捨て吐出を実施する。重量測定時フラッシングボックス９５ａ及び重量測定時フラッシングボックス９５ｂが、第二捨て吐出受器に相当する。

１個の重量測定装置９１でヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７について重量測定を行うため、１個の液滴吐出ヘッド１７が重量測定吐出を行っている際に、その他の５個の液滴吐出ヘッド１７はその重量測定吐出が終わるのを待つことになるが、その「待ち」状態の液滴吐出ヘッド１７に捨て吐出を行わせることができる。このため、「待ち」状態の間に吐出ノズル７８が乾燥することを抑制して、「待ち」状態後に重量測定吐出を良好に行うことができ、適切な測定結果を得ることができる。
重量測定時フラッシングボックス９５及び複数ヘッド受液容器９３内には、機能液吸収材９７が、敷設されている。なお、単ヘッド受液容器９４は、各液滴吐出ヘッド１７に対し、ノズル列単位で機能液を受け得る大きさに形成されている。

上述したように、複数ヘッド受液容器９３は、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７に同時に対向可能であって、定期フラッシング時にヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７が一斉に実施する捨て吐出を受ける定期フラッシングボックスとしても使用される。定期フラッシングボックスとして使用される場合の複数ヘッド受液容器９３が、第一捨て吐出受器に相当する。

＜定期フラッシング＞
次に、液滴吐出ヘッド１７が定期フラッシングの捨て吐出を実施する際の、フラッシングユニット１４を構成する複数ヘッド受液容器９３の位置関係について、説明する。

最初に、図９を参照して、検査カメラ１６３による検査シート１７１の上に着弾した液滴の画像取得の際の、複数ヘッド受液容器９３の検査カメラ１６３及び液滴吐出ヘッド１７（ヘッド群５５）に対する位置について、説明する。図９は、検査カメラと、液滴吐出ヘッドと、重量測定時フラッシングボックス及び複数ヘッド受液容器と、の位置関係を示す模式図である。

複数ヘッド受液容器９３は、検査カメラ１６３による検査シート１７１の上に着弾した液滴の画像取得の際に、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７が一斉に実施する捨て吐出受ける定期フラッシングボックスとしても用いられる。複数ヘッド受液容器９３は、検査カメラ１６３が、検査シート１７１のＸ軸方向におけるいずれの位置に臨んだ場合であっても、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されている。上述したように、複数ヘッド受液容器９３は、フラッシングユニット１４に含まれ、検査シート１７１は、検査描画ユニット１６１に備えられている。フラッシングユニット１４と検査描画ユニット１６１とは、吐出検査ブロック４ａを構成するものであり、互いの位置関係は固定であって、一体に移動させられる。従って、複数ヘッド受液容器９３と、検査シート１７１と、は一体に移動させられる。検査カメラ１６３と液滴吐出ヘッド１７（ヘッド群５５）とのＸ軸方向の位置関係も固定である。

図９（ａ）に示した吐出検査ブロック４ａは、検査カメラ１６３が、検査シート１７１のＸ軸方向における最も複数ヘッド受液容器９３側の端に臨むような位置に位置している。吐出検査ブロック４ａがこの位置にあると、ヘッド群５５の液滴吐出ヘッド１７は、複数ヘッド受液容器９３の重量測定時フラッシングボックス９５ａ側に対向しており、液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液は、複数ヘッド受液容器９３に着弾する。

図９（ｂ）に示した吐出検査ブロック４ａは、検査カメラ１６３が、検査シート１７１のＸ軸方向における最も給除材位置側の端に臨むような位置に位置している。吐出検査ブロック４ａがこの位置にあると、ヘッド群５５の液滴吐出ヘッド１７は、複数ヘッド受液容器９３に対向しており、液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液は、複数ヘッド受液容器９３に着弾する。

次に、ワークＷのアライメント作業を実施する際の、ワーク載置台２１と、複数ヘッド受液容器９３及び重量測定時フラッシングボックス９５と、ヘッド群５５の液滴吐出ヘッド１７との位置関係について説明する。図１０は、アライメントカメラと、ワーク載置台と、複数ヘッド受液容器及び重量測定時フラッシングボックスと、ヘッド群の液滴吐出ヘッドと、の位置関係を示す模式図である。

図１０（ａ）において、ワーク載置台２１には、ワーク載置台２１の中央にワークＷがセットされた状態で、アライメントマークＭが液滴吐出ヘッド１７から最も離れるワークＷ１がセットされている。ワーク載置台２１は、Ｘ軸第１スライダ２２によってＸ軸方向に移動されて、当該ワークＷ１のアライメントマークＭがアライメントカメラ８１に臨んでおり、アライメントカメラ８１によるアライメントマークＭの画像認識が可能な位置に位置している。この場合のワーク載置台２１の位置が、ワークＷのアライメント作業を実施する状態におけるワーク載置台２１の位置の中で最もヘッド群５５側の位置である。

ワーク載置台２１がこの位置に在っても、ワーク載置台２１に対し、Ｘ軸第２スライダ２３により複数ヘッド受液容器９３を最大限接近させた状態では、ヘッド群５５の液滴吐出ヘッド１７の直下には、重量測定時フラッシングボックス９５の、複数ヘッド受液容器９３から遠い側の、最も遠い部分が臨んでいる。即ち、複数ヘッド受液容器９３の位置を制限するワーク載置台２１の位置が、最もヘッド群５５側の位置にあっても、液滴吐出ヘッド１７の一つを単ヘッド受液容器９４に臨ませて、重量測定を実施し、重量測定時フラッシングボックス９５によって、ヘッド群５５の他の５個の液滴吐出ヘッド１７からの捨て吐出を受けることができる。

吐出検査ブロック４ａの給除材位置側への移動は、ワーク載置台２１の位置によって制限されるが、給除材位置とは反対側への移動は制限されないため、吐出検査ブロック４ａは、図１０（ｂ）に示すような位置に位置することが可能である。図１０（ｂ）に示すような位置では、ヘッド群５５の液滴吐出ヘッド１７は、複数ヘッド受液容器９３に対向しており、液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液は、複数ヘッド受液容器９３に着弾する。

＜重量測定＞
次に、図１１を参照して、複数の液滴吐出ヘッド１７について一斉に重量測定を実施する一連の動作について説明する。図１１は、ヘッドユニットと重量測定装置との位置関係を示す説明図である。図１１（ａ）及び（ｃ）は、ヘッドユニットと重量測定装置との位置関係を示す側面図であり、図１１（ｂ）は、ヘッドユニットの液滴吐出ヘッドと重量測定装置の複数ヘッド受液容器との位置関係を示す平面図である。

ワークＷの給材等の描画処理休止時には、図１１（ａ）に示すように、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３をＸ軸方向に移動させることで、Ｘ軸第２スライダ２３に固定された各重量測定装置９１の各複数ヘッド受液容器９３を、ヘッドユニット５４に臨ませる。そして、図１１（ｂ）に示すように、ヘッドユニット５４のヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッドが、複数ヘッド受液容器９３に臨んでいる状態にする。
図１１（ａ）及び（ｂ）に示した位置で、ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７は重量測定吐出を実施し、吐出された機能液は、複数ヘッド受液容器９３に着弾する。

ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７の重量測定吐出が終わると、重量測定装置９１をＸ軸方向に移動させて、図１１（ｃ）に示したように、各複数ヘッド受液容器９３を、重量測定装置９１の移動軌跡上に設けられた風防部材１０１の直下に移動させる。この状態で、複数ヘッド天秤９８により、複数ヘッド受液容器９３に着弾した吐出液滴の重量の測定を行う。重量測定装置９１が風防部材１０１の直下に位置することにより、気流（例えばチャンバルームにおけるダウンフローや乱流など）が風防部材１０１により遮断されるため、複数ヘッド天秤９８は、気流の影響を受けることなく、正確に重量測定を行うことができる。

なお、定期フラッシングを実施する場合は、ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッドが、複数ヘッド受液容器９３に臨んでいる状態での液滴吐出ヘッド１７からの機能液の吐出を実施し、複数ヘッド天秤９８による重量の測定は実施しない。この場合の液滴吐出ヘッド１７からの機能液の吐出は、捨て吐出である。複数ヘッド受液容器９３が、定期フラッシングボックスとして使用されている場合であって、上述したように、この場合の複数ヘッド受液容器９３が、第一捨て吐出受器に相当する。

次に、図１２、及び図１３を参照して、個別の液滴吐出ヘッド１７について重量測定を実施する一連の動作について説明する。図１２は、ヘッドユニットと重量測定装置との位置関係を示す側面図である。図１３は、液滴吐出ヘッドと、単ヘッド受液容器及び重量測定時フラッシングボックスと、の位置関係を示す平面図である。

図１２（ａ）及び図１３（ａ）に示したように、個別の液滴吐出ヘッド１７について重量測定を開始するに際して、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３をＸ軸方向に移動させると共に、Ｙ軸リニアモータによって吐出ユニット２を構成する１０個のヘッドユニット５４をＹ軸方向に移動させる。この操作によって、Ｘ軸第２スライダ２３に固定された各重量測定装置９１の各単ヘッド受液容器９４を、ヘッドユニット５４の各ヘッド群５５の１番目の液滴吐出ヘッド１７ａに臨ませる。
次に、各単ヘッド受液容器９４に向けて、各ヘッド群５５の１番目の液滴吐出ヘッド１７ａの全ノズルから、重量測定吐出を実施する。このとき、各ヘッド群５５の２番目から６番目の液滴吐出ヘッド１７ｂ〜１７ｆは、重量測定時フラッシングボックス９５に対向しており、重量測定時フラッシングボックス９５に向けて捨て吐出を実施する。

液滴吐出ヘッド１７ａの重量測定吐出が終わると、重量測定装置９１をＸ軸方向に移動させて、図１２（ｂ）に示したように、各単ヘッド受液容器９４を、重量測定装置９１の移動軌跡上に設けられた風防部材１０１の直下に移動させる。この状態で、単ヘッド天秤９９により、単ヘッド受液容器９４に着弾した吐出液滴の重量の測定を行う。重量測定装置９１が風防部材１０１の直下に位置することにより、気流が風防部材１０１により遮断されるため、単ヘッド天秤９９は、気流の影響を受けることなく、正確に重量測定を行うことができる。

液滴吐出ヘッド１７ａの吐出液滴の重量測定後、２番目の液滴吐出ヘッド１７ｂを単ヘッド受液容器９４に臨ませて、同様にして、重量測定吐出を行う。以下同様にして、各ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７について、順次吐出された液滴の重量を測定する。最後に、図１３（ｂ）に示したように、６番目の液滴吐出ヘッド１７ｆを単ヘッド受液容器９４に臨ませて、重量測定吐出を実施し、吐出された液滴の重量を測定する。

＜描画＞
次に、液滴吐出装置１によって、ワークＷの所定の位置に機能液を配置する描画工程について、図１４を参照して説明する。図１４は、描画工程を示すフローチャートである。
図１４のステップＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５の各ステップは、液滴吐出装置１の給除材に関わる各装置によって実施され、ステップＳ２１からステップＳ３１の各ステップは、吐出ユニット２や検査ユニット４などによって実施される。液滴吐出装置１の各装置は、図１４のステップＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５の各ステップと、ステップＳ２１からステップＳ３１の各ステップとを並行して実施できるように構成されている。

液滴吐出装置１の給除材に関わる各装置よって実施される図１４のステップＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５の各ステップは、ステップＳ１から開始される。
ステップＳ１では、液滴吐出装置１の給除材位置に在るワーク載置台２１にワークＷを給材する。ワークＷの給材は、給材ロボットなどによって実施される。
次に、ステップＳ２では、ワーク載置台２１に載置されたワークＷのアライメントを実施する。ワークＷのアライメントは、画像認識ユニット８０のアライメントカメラ８１によってワークＷに形成されたアライメントマークＭの画像を取得し、撮像結果に基づいて、θテーブル３２によってワークＷのθ補正を実行することで実施する。
次に、ステップＳ３では、ワーク載置台２１をＸ軸方向に移動する。ワーク載置台２１は、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第１スライダ２２を駆動することで、給除材位置でアライメントされたワークＷが次の描画吐出工程を開始する開始位置に位置するように移動される。

液滴吐出装置１の吐出ユニット２や検査ユニット４などによって実施されるステップＳ２１からステップＳ３１の各ステップは、ステップＳ２１から開始される。
ステップＳ３において開始位置に位置するように移動されたワークＷに対して、ステップＳ２１が開始される。ステップＳ２１では、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７から、ワークＷに向けての描画吐出を実施する。より詳細には、Ｘ軸テーブル１１（Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第１スライダ２２を駆動すること）によるワークＷ（ワーク載置台２１）の移動、及びＹ軸テーブル１２による液滴吐出ヘッド１７（吐出ユニット２のヘッドユニット５４）の移動によって、液滴吐出ヘッド１７をワークＷの任意の位置に対向させる。それと共に、液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させて、ワークＷに向けて機能液滴を吐出させることにより、ワーク載置台２１の上に載置されたワークＷに対して、機能液からなる任意の描画パターンを描画する。

ステップＳ２１の次に、ステップＳ４では、ワーク載置台２１をＸ軸方向に移動する。ワーク載置台２１は、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第１スライダ２２を駆動することで、給除材位置に位置するように移動される。この移動は、描画吐出の最後の相対移動からＸ軸第１スライダ２２（ワーク載置台２１）が停止することなく、描画吐出の最後の相対移動の延長として実施される。
次に、ステップＳ５では、描画パターンが形成されたワークＷを、ワーク載置台２１から除材する。ワークＷの除材は、給材ロボットなどによって実施される。
ステップＳ５の次には、ステップＳ１に進み、ステップＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ２１，Ｓ４，Ｓ５を繰り返す。ステップＳ４，Ｓ５，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３が、給除材工程に相当する。上述したように、ステップＳ４，Ｓ５，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３は、Ｘ軸リニアモータ２６や、画像認識ユニット８０や、θテーブル３２や、給材ロボットなどを用いて実施される。

ステップＳ２１の次に、ステップＳ４と略同時に開始されるステップＳ２２では、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７から、吐出検査のための検査吐出が実施される。より詳細には、ステップＳ４でワーク載置台２１が給除材位置の方向に移動されることによって、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に、吐出検査ブロック４ａが移動可能となる。吐出検査ブロック４ａは、Ｘ軸第２スライダ２３に固定されており、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３を駆動することによって、Ｘ軸方向に移動させられる。ワーク載置台２１は、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第１スライダ２２を駆動することで、移動させられるため、吐出検査ブロック４ａとワーク載置台２１とは、それぞれ独立して移動させることができる。従って、検査吐出のための吐出検査ブロック４ａの移動は、ワーク載置台２１の描画吐出のための最後の相対移動に略並行して実施することができる。本実施形態では、ワーク載置台２１の描画吐出のための最後の相対移動に略同期して、検査吐出のための吐出検査ブロック４ａの移動を開始している。即ち、ステップＳ２１の描画吐出を終了する前に、ステップＳ２２の検査吐出を実施するための吐出検査ブロック４ａの移動が開始されている。

移動中の吐出検査ブロック４ａにおける検査描画ユニット１６１の検査シート１７１が、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７のそれぞれと対向した時点で、当該液滴吐出ヘッド１７から検査シート１７１に向けて、検査吐出が実施される。それぞれの液滴吐出ヘッド１７の吐出タイミングは、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７のそれぞれから吐出されて検査シート１７１に着弾した機能液の液滴が、検査シート１７１上にＹ軸方向に延在する一直線を形成するよう規定されている。検査シート１７１に向けて、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７が、それぞれ１回、全ての吐出ノズル７８から機能液を吐出することで、上述したように、ノズル群線１本の長さ分の間隔を隔てて、ノズル群線が直線状に連なる一直線が形成される。検査シート１７１が、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７と対向した時点で、当該液滴吐出ヘッド１７から検査シート１７１に向けて、検査吐出が実施されるのが、検査吐出工程に相当する。描画吐出を終了する前に、検査吐出を実施するための吐出検査ブロック４ａの移動が開始されているため、液滴吐出ヘッド１７は、描画吐出に略連続して、検査吐出を実施する。従って、描画吐出と検査吐出の間で、液滴吐出ヘッド１７の状態の変化は実質的にないため、検査吐出では、描画吐出と同じ吐出が再現される。

吐出検査ブロック４ａは、検査シート１７１に着弾した機能液の液滴が形成した一直線が、吐出検査ユニット１８の検査カメラ１６３によって撮像可能となる位置に位置するように移動させられる。より詳細には、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３をＸ軸方向に移動させる。これによって、Ｘ軸第２スライダ２３に固定された検査シート１７１を、検査カメラ１６３に臨ませる。

図９を参照して説明したように、検査カメラ１６３が、検査シート１７１に臨むような位置に位置している状態では、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７は、複数ヘッド受液容器９３に対向可能である。Ｘ軸第２スライダ２３のＸ軸方向の移動と共に、Ｙ軸リニアモータとＹ軸スライダとによって、吐出ユニット２を構成する１０個のヘッドユニット５４を、Ｙ軸テーブル１２に沿って、Ｙ軸方向に移動させる。これにより、Ｘ軸第２スライダ２３に固定された各重量測定装置９１の各複数ヘッド受液容器９３を、各ヘッド群５５における６個の液滴吐出ヘッド１７に臨ませる。Ｘ軸リニアモータ２６と、Ｘ軸共通支持ベース２４と、Ｘ軸第２スライダ２３とが、重量測定ユニット移動手段に相当し、Ｙ軸リニアモータとＹ軸スライダとＹ軸テーブル１２とが、重量測定ユニット副移動手段に相当する。

次に、ステップＳ２３では、検査カメラ１６３によって、検査シート１７１に着弾した機能液の液滴の画像を取得する。画像は、それぞれの液滴について取得され、この画像から、それぞれの液滴の大きさや着弾位置の情報が得られる。
また、検査カメラ１６３による画像取得に並行して、複数の液滴吐出ヘッド１７について一斉に重量測定吐出を実施する。上述したように、検査カメラ１６３が、検査シート１７１に臨むような位置に位置している状態で、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７が、複数ヘッド受液容器９３に対向している。そのため、液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液は、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７ごとに、１個の複数ヘッド受液容器９３に着弾する。このときのヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７からの吐出が、複数ヘッド重量測定吐出に相当する。
図１１を参照して説明したように、複数ヘッド受液容器９３に着弾した機能液の重量が、複数ヘッド天秤９８によって測定される。

次に、ステップＳ２４では、測定された吐出重量を吐出重量の規格値と比較して、吐出重量の誤差を求め、当該誤差を誤差の規格値と比較して、測定された吐出重量の誤差が規格値に適合するか否かを判定する。
吐出重量の誤差が規格値に適合する場合（ステップＳ２４でＹＥＳ）には、ステップＳ２５に進む。

ステップＳ２５では、一定期間、重量測定を実施することなく、描画を実施する。より詳細には、重量測定を伴わない給除材工程を複数回数実施して、重量測定を実施することなく、複数のワークＷについて描画吐出を実施する。重量測定を実施しない描画の期間は、一定の吐出状態が維持できる期間や一定の吐出状態を維持して描画できるワークＷの描画枚数などを、実験などで予め求めることによって、定める。定められた重量測定を実施しない描画の期間の間、ステップＳ２５を実施した後は、ステップＳ２１に進み、新たにワーク載置台２１の上に載置されたワークＷを描画対象として、ステップＳ２１からステップＳ２４、及びステップＳ２６からステップＳ３１を実施する。

吐出重量の誤差が規格値に適合しない場合（ステップＳ２４でＮＯ）には、ステップＳ２６に進む。
ステップＳ２６では、検査ユニット４を移動して、重量測定ユニット１９が液滴吐出ヘッド１７に対向するように、重量測定ユニット１９（検査ユニット４）を、位置合わせする。より詳細には、図１２及び図１３を参照して説明したように、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３をＸ軸方向に移動させる。それと共に、Ｙ軸リニアモータとＹ軸スライダとによって、吐出ユニット２を構成する１０個のヘッドユニット５４を、Ｙ軸テーブル１２に沿って、Ｙ軸方向に移動させる。これによって、Ｘ軸第２スライダ２３に固定された各重量測定装置９１の各単ヘッド受液容器９４を、各ヘッド群５５における１個の液滴吐出ヘッド１７に臨ませる。

次に、ステップＳ２７では、各ヘッド群５５において単ヘッド受液容器９４に臨んでいる１個の液滴吐出ヘッド１７から単ヘッド受液容器９４に向けて、液滴吐出ヘッド１７の全ノズルから、重量測定吐出を実施する。単ヘッド受液容器９４に着弾した機能液の重量が、単ヘッド天秤９９によって測定される。単ヘッド受液容器９４に着弾して単ヘッド天秤９９によって測定された機能液の重量が、吐出重量である。１個の液滴吐出ヘッド１７から単ヘッド受液容器９４に向けて重量測定吐出を実施するのが、ヘッド重量測定吐出工程に相当し、さらに吐出された重量を測定する工程まで含む工程が、単ヘッド重量測定工程に相当する。
このとき、図１２及び図１３を参照して説明したように、各ヘッド群５５における単ヘッド受液容器９４に臨んでいない各５個の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５に対向しており、重量測定時フラッシングボックス９５に向けて捨て吐出を実施する。

次に、ステップＳ２８では、測定された吐出重量を吐出重量の規格値と比較して、吐出重量の誤差を求め、当該誤差を誤差の規格値と比較して、測定された吐出重量の誤差が規格値に適合するか否かを判定する。
吐出重量の誤差が規格値に適合する場合（ステップＳ２８でＹＥＳ）には、ステップＳ２９に進む。

ステップＳ２８の次に、ステップＳ２９では、各ヘッド群５５がそれぞれ有する６個の液滴吐出ヘッド１７の全てについて、重量測定が終了したか否かを判定する。
各ヘッド群５５がそれぞれ有する６個の液滴吐出ヘッド１７の全てについて、重量測定が終了していた場合（ステップＳ２９でＹＥＳ）には、ステップＳ２５に進む。
ステップＳ２５では、上述したように、重量測定を実施することなく、描画を実施する。定められた重量測定を実施しない描画の期間の間、ステップＳ２５を実施した後は、ステップＳ２１に進み、新たにワーク載置台２１の上に載置されたワークＷを描画対象として、ステップＳ２１からステップＳ２４、及びステップＳ２６からステップＳ３１を実施する。

各ヘッド群５５がそれぞれ有する６個の液滴吐出ヘッド１７の全てについて、重量測定が終了していない場合（ステップＳ２９でＮＯ）には、ステップＳ２６に進み、ステップＳ２６からステップＳ２９を繰り返す。このとき、ステップＳ２６では、各ヘッド群５５がそれぞれ有する６個の液滴吐出ヘッド１７において、重量測定が終了していない液滴吐出ヘッド１７に、単ヘッド受液容器９４を臨ませる。次に、単ヘッド受液容器９４を臨ませた液滴吐出ヘッド１７を測定対象として、ステップＳ２７からステップＳ２９を実施する。

ステップＳ２８において、吐出重量の誤差が規格値に適合していない場合（ステップＳ２８でＮＯ）には、ステップＳ３０に進む。
ステップＳ２８の次に、ステップＳ３０では、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が、所定の値以下であるか否かを判定する。吐出重量の誤差の所定の値は、例えば、液滴吐出ヘッド１７の駆動条件を調整することによって補正可能な誤差量を予め求めたものである。

ステップＳ３０において、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が、所定の値以下であった場合（ステップＳ３０でＹＥＳ）には、ステップＳ３１に進む。
ステップＳ３１では、測定対象としている液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電圧を、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差の大きさに対応して、調整する。
ステップＳ３１の次には、ステップＳ２７に進み、ステップＳ２７からステップＳ３０を繰り返す。

ステップＳ３０において、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が、所定の値を超える場合（ステップＳ３０でＮＯ）には、ステップＳ３２に進む。
ステップＳ３２では、調整処置を実施する。調整処理は、例えば、吐出重量が規格を外れた液滴吐出ヘッド１７を回復させるための保守作業である。或は、液滴吐出ヘッド１７自体の劣化が進行している場合には、液滴吐出ヘッド１７を新しいものに交換する。

図１４においては、ステップＳ３２を実施して描画工程を終了する工程順になっているが、調整処置が、液滴吐出装置１が備える保守装置を用いる保守作業などの場合には、一時的に描画工程を中断して保守作業などを実施し、当該保守作業などが終了後、続けて描画工程を実施する。液滴吐出ヘッド１７の交換などの処置が必要な場合には、一旦、描画工程を終了する。

上述したように、ステップＳ２２はステップＳ４と略同時に開始される。ステップＳ２２及びステップＳ２２に続いて実施するステップＳ２３からステップＳ３１は、給除材工程に相当するステップＳ４，Ｓ５，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を実施する間に、ステップＳ４，Ｓ５，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３と並行して実施する。

本実施形態によれば、以下に記載する効果が得られる。
（１）複数ヘッド受液容器９３を用いることによって、ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７のそれぞれが実施する重量測定吐出によって吐出された液状体を、一度に複数ヘッド受液容器９３に着弾させることができる。着弾した液状体の重量を、複数ヘッド天秤９８を用いて測定することで、一度に６個の液滴吐出ヘッド１７の吐出重量を測定することができる。６個の液滴吐出ヘッド１７の重量測定吐出が１回で実施できるため、６個の液滴吐出ヘッド１７のそれぞれが、個別に各１回の重量測定吐出を実施する場合に比べて、ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７が重量測定吐出を実施するために要する時間を短くすることができる。

（２）単ヘッド受液容器９４を用いることによって、単独の液滴吐出ヘッド１７が実施する重量測定吐出によって吐出された液状体のみを、単ヘッド受液容器９４に着弾させることができる。着弾した液状体の重量を、単ヘッド天秤９９を用いて測定することで、単独の液滴吐出ヘッド１７の吐出重量を測定することができる。複数ヘッド受液容器９３による、ヘッド群５５ごとの吐出重量測定と併用することで、ヘッド群５５ごとに実施する迅速な測定と、液滴吐出ヘッド１７ごとに実施する詳細な測定と、の両方を実施することが可能であり、場合によって適切な吐出重量測定を選択して実施することができる。

（３）液滴吐出ヘッド１７が吐出を実施していることを必要としない給除材工程（ステップＳ４，Ｓ５，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）の間に、液滴吐出ヘッドが吐出を実施することが必須の複数ヘッド重量測定吐出（ステップＳ２３）が実施される。液滴吐出ヘッドの言わば休止時間に、複数ヘッド重量測定吐出を実施することによって、重量測定吐出のための時間が新たに発生することがないため、液滴吐出による描画のための作業時間の増加を抑制することができる。

（４）液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸第１スライダ２２と、Ｘ軸第２スライダ２３と、左右一対のＸ軸リニアモータ２６と、一対のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。Ｘ軸第１スライダ２２にはワーク載置台２１が固定されており、Ｘ軸第２スライダ２３には、フラッシングユニット１４、吐出検査ユニット１８の検査描画ユニット１６１及び重量測定ユニット１９が固定されている。ワーク載置台２１と、フラッシングユニット１４、検査描画ユニット１６１、及び重量測定ユニット１９とが、同一軌道上にあるため、これらの各ユニットなどとヘッド群５５とを対向させるためには、これらの各ユニットなどを同一軌道に沿って移動させるだけでよい。これにより、ワーク載置台２１に載置されたワークＷに向けての描画吐出と、吐出検査ユニット１８による吐出検査又は重量測定ユニット１９による重量測定との移行時間を、描画吐出と、吐出検査又は重量測定との移行に際して、移動方向を変えて各装置相互の相対移動を実施することを必要とする場合に比べて、短くすることができる。このため、定期的に重量測定や吐出検査を実施した場合でも、重量測定処理と描画処理と吐出検査処理との相互間の移行を短時間で実施することができることから、全体としてのタクトタイムを短縮することができる。

（５）重量測定時フラッシングボックス９５は、重量測定時フラッシングボックス９５ａと重量測定時フラッシングボックス９５ｂとが、Ｘ軸方向において単ヘッド受液容器９４を挟んで配置されている。ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７のうちで、１個の液滴吐出ヘッド１７が単ヘッド受液容器９４に対向して重量測定吐出を実施している際に、その他の５個の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は重量測定時フラッシングボックス９５ｂに対向しており、捨て吐出を実施することができる。これにより、液滴吐出ヘッド１７は、「待ち」状態の間に吐出ノズル７８が乾燥することを抑制して、「待ち」状態後に重量測定吐出を良好に行うことができる。

（６）吐出検査ブロック４ａは、重量測定ユニット１９、フラッシングユニット１４、及び検査描画ユニット１６１が一体に設けられているため、Ｘ軸リニアモータ２６と、Ｘ軸共通支持ベース２４と、Ｘ軸第２スライダ２３とを用いて、一体でＸ軸方向に移動する。重量測定ユニット１９、フラッシングユニット１４、及び検査描画ユニット１６１をそれぞれＸ軸方向に移動するために、Ｘ軸スライダをそれぞれ個別に設ける構成に比べて、移動させるための装置を小型化することができる。

（７）液滴吐出装置１では、ワーク載置台２１が液滴吐出ヘッド１７に対向しない位置に設定されている給除材位置に、ワーク載置台２１を位置させて、ワークＷの給除材を実施する。これにより、ワークＷの給除材が実施されている状態において、重量測定ユニット１９を液滴吐出ヘッド１７に対向させることが可能となるため、給除材の間に、重量測定を実施することができる。

（８）複数ヘッド受液容器９３は、検査カメラ１６３が、検査シート１７１のＸ軸方向におけるいずれの位置に臨んだ状態でも、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７が、複数ヘッド受液容器９３に対向するような大きさに形成されている。これにより、検査カメラ１６３による検査シート１７１の上に着弾した液滴の画像取得の際に、複数ヘッド受液容器９３を捨て吐出された機能液を受けるフラッシングボックスとして、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７の、捨て吐出を同時に実施することができる。また、当該捨て吐出を重量測定吐出として、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７の吐出重量を測定することができる。

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。

（変形例１）前記実施形態においては、検査シート１７１（検査吐出着弾シート）を有する検査描画ユニット１６１は、重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と、Ｘ軸方向（主走査方向）に、一体に移動するように構成されていた。そして、検査シート１７１が検査カメラ１６３に臨んでいる状態では、複数ヘッド受液容器９３がヘッド群５５の液滴吐出ヘッド１７に臨んでおり、ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７による、複数ヘッド重量測定のための重量測定吐出が可能である。しかし、検査吐出着弾シートと重量測定ユニットとを、主走査方向に、一体に移動させることは必須ではない。検査吐出着弾シートと、重量測定ユニットとをそれぞれ個別に主走査方向に移動させる構成であってもよい。そのように構成することで、検査吐出着弾シートが状態観測装置に対向しているときに、重量測定ユニットの複数ヘッド重量測定ユニットのみならず、単ヘッド重量測定ユニットと液滴吐出ヘッドとを対向させることができる。検査吐出着弾シートを個別に主走査方向に移動させる装置が、検査ユニット移動手段に相当する。

前記実施形態においては、撮像ユニット１６２の検査カメラ１６３（状態観測装置）によって、検査シート１７１（検査吐出着弾シート）に着弾した機能液の液滴の画像を取得するステップ（状態情報取得工程）の後で、液滴吐出ヘッド１７から重量測定ユニット１９の単ヘッド受液容器９４に向けて重量測定吐出（重量測定吐出工程）を実施していた。しかし、検査吐出着弾シートと、重量測定ユニットとをそれぞれ個別に主走査方向に移動させるように構成することで、検査吐出着弾シートが状態観測装置に対向している状態で、重量測定ユニットの複数ヘッド重量測定ユニットのみならず単ヘッド重量測定ユニットと液滴吐出ヘッドとを対向させることが可能となる。これにより、状態情報取得工程と、単ヘッド重量測定吐出工程とも、略並行して実施することができる。

（変形例２）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７のみがＹ軸方向に移動可能であって、吐出検査ブロック４ａは、重量測定ユニット１９、フラッシングユニット１４、及び検査描画ユニット１６１が一体に設けられており、Ｙ軸方向の位置は互いに固定であった。また、検査カメラ１６３を有する撮像ユニット１６２もＹ軸方向の位置は固定であった。しかし、検査描画ユニット１６１の検査シート１７１、撮像ユニット１６２、又は重量測定ユニット１９、をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動装置を設けてもよい。Ｙ軸方向移動装置が、検査ユニット副移動手段に相当する。

前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７のみがＹ軸方向に移動可能であるため、上記各装置間のＹ軸方向の相対移動は、液滴吐出ヘッド１７のＹ軸方向への移動によってなされていた。例えば、単ヘッド受液容器９４にヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７の一つを対向させると、ヘッド群５５のＹ軸方向の位置が、必ずしも、検査描画ユニット１６１の検査シート１７１の適切な位置に対向しないため、液滴吐出ヘッド１７が対向するべき装置ごとに、液滴吐出ヘッド１７のＹ軸方向への移動を行う必要があった。Ｙ軸方向移動装置を設けることによって、検査描画ユニット１６１の検査シート１７１、撮像ユニット１６２、及び重量測定ユニット１９の相互間の相対移動が可能となるため、相互間のＹ軸方向の位置合わせを実施することができる。これにより、これらの装置に対する液滴吐出ヘッド１７の位置合わせのための液滴吐出ヘッド１７のＹ軸方向への移動及び位置合わせの必要回数を、少なくすることができる。

（変形例３）前記実施形態においては、単ヘッド重量測定は、各液滴吐出ヘッド１７ごとに実施していたが、吐出重量を液滴吐出ヘッド１７の単位で測定することは必須ではない。液滴吐出ヘッドが備える各ノズル列ごとに測定してもよいし、各ノズルごとに測定してもよい。

（変形例４）前記実施形態においては、複数ヘッド重量測定は、各ヘッド群５５ごとに実施していたが、複数の液滴吐出ヘッドの吐出重量をヘッド群５５の単位で測定することは必須ではない。ヘッドユニット５４の１２個の液滴吐出ヘッドごとに測定するなど、他の単位ごとに測定してもよい。

（変形例５）前記実施形態においては、吐出重量のずれに対処する方法として、液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電圧を調整することで吐出量を適正な値に調整する方法について説明したが、吐出重量のずれに対処する方法は、他の方法であってもよい。例えば、当該吐出重量が適正でない液滴吐出ヘッドからの吐出液滴が着弾する位置に隣接する位置に着弾させる液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを、吐出重量が適正でない液滴吐出ヘッドと合わせて適正な吐出重量となるように調整することで補ってもよい。

（変形例６）前記実施形態においては、吐出検査をワークＷの交換が１回実施されるごとに１回実施していたが、吐出検査をワークＷの交換の度に実施することは必須ではない。吐出検査を実施することなく、複数のワークＷについて描画吐出を実施する期間を設けてもよい。吐出検査を実施しない描画の期間は、例えば、一定の吐出状態が維持できる期間や一定の吐出状態を維持して描画できるワークＷの描画枚数などを、実験などで予め求めることによって、定める。

（変形例７）前記実施形態においては、給除材工程の間に吐出検査工程の状態情報取得工程を実施していたが、給除材工程の間に状態情報取得工程を実施することは必須ではない。液滴吐出ヘッドを用いる検査吐出のみを給除材工程の間に実施して、状態情報取得工程は描画吐出などと並行して実施してもよい。

（変形例８）前記実施形態においては、交換指示部としての吐出装置制御部６のＣＰＵ４４は、複数ヘッド重量測定受器又は定期フラッシングボックスとしての複数ヘッド受液容器９３に向けて吐出された機能液の吐出数を積算して、ＲＡＭ４６又はハードディスク４８に記憶させておき、積算数が一定数に達すると、複数ヘッド受液容器９３の交換指示情報を出していた。しかし、交換指示部が、吐出数を積算した積算数に基づいて、複数ヘッド重量測定受器の交換指示情報を出すことは必須ではない。複数ヘッド重量測定受器に着弾した液状体の重量を測定した測定重量を積算して記憶しておき、積算重量が一定量に達すると、交換指示情報を出すなど、交換指示情報は、他の情報に基づいて発信してもよい。

（変形例９）前記実施形態においては、複数ヘッド重量測定受器としての複数ヘッド受液容器９３から着弾した機能液が溢れることを防止するために、吐出装置制御部６のＣＰＵ４４が、液滴吐出ヘッド１７から複数ヘッド受液容器９３に向けての吐出数を積算して、積算数が一定数に達すると、複数ヘッド受液容器９３の交換指示情報を出していた。しかし、複数ヘッド重量測定受器からの溢れ出しを防止するために複数ヘッド重量測定受器を交換することは、必須ではない。複数ヘッド重量測定受器に着弾した液状体を吸引して排出する吸引装置を設け、交換指示情報の発信に代えて、吸引装置による、複数ヘッド重量測定受器に着弾した液状体の吸引を実施してもよい。この場合の、吐出数を積算する吐出装置制御部６のＣＰＵ４４などの制御部と、吸引を実施する吸引装置とが、液状体吸引部に相当する。
また、液状体吸引部が、吐出数を積算した積算数に基づいて、吸引を実施することは必須ではない。複数ヘッド重量測定受器に着弾した液状体の重量を測定した測定重量を積算して記憶しておき、積算重量が一定量に達すると、吸引を実施するなど、吸引を実施する時期を求めるための情報は、他の情報であってもよい。

（変形例１０）前記実施形態においては、単ヘッド重量測定受器としての単ヘッド受液容器９４に着弾した機能液の重量を、単ヘッド天秤９９が測定し、吐出装置制御部６のＣＰＵ４４は、当該機能液の重量を積算してＲＡＭ４６に記憶させておき、積算重量が一定量に達すると、単ヘッド受液容器９４（重量測定受器）の交換指示情報を出していた。しかし、測定した機能液の重量を積算して重量測定受器の交換指示情報を出すことは必須ではない。液滴吐出ヘッドが重量測定吐出した吐出数を積算して記憶させておき、吐出数が一定量に達したところで、重量測定受器の交換指示情報を出してもよい。重量測定吐出一回あたりの吐出数は一定であり、重量測定吐出の回数は、重量測定吐出の指令を出した回数であって、計数が容易であることから、吐出数の累計を容易に積算及び記憶することができるため、測定した重量を積算する場合に比べて、情報処理が少なくてよい。

（変形例１１）前記実施形態においては、単ヘッド重量測定受器としての単ヘッド受液容器９４に着弾した機能液の重量を、単ヘッド天秤９９が測定し、吐出装置制御部６のＣＰＵ４４は、当該機能液の重量を積算してＲＡＭ４６に記憶させておき、積算重量が一定量に達すると、単ヘッド受液容器９４（重量測定受器）の交換指示情報を出していた。しかし、重量測定受器からの溢れ出しを防止するために重量測定受器を交換することは、必須ではない。重量測定受器に着弾した液状体を吸引して排出する吸引装置を設け、交換指示情報の発信に代えて、吸引装置による、重量測定受器に着弾した液状体の吸引を実施してもよい。
また、着弾した機能液の重量を積算した積算重量に基づいて、吸引装置が、吸引を実施することも必須ではない。液滴吐出ヘッドが重量測定吐出した吐出数を積算して記憶させておき、吐出数が一定量に達したところで、吸引を実施するなど、吸引を実施する時期を求めるための情報は、他の情報であってもよい。

（変形例１２）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７が単ヘッド重量測定吐出工程を実施している間に、当該液滴吐出ヘッド１７が属するヘッド群５５を構成する他の液滴吐出ヘッド１７は捨て吐出を実施していた。しかし、当該液滴吐出ヘッド１７が重量測定吐出工程を実施する間にそれらの液滴吐出ヘッド１７が捨て吐出を実施することは必須ではない。１個の液滴吐出ヘッド１７が重量測定吐出工程を実施している間に、他の液滴吐出ヘッド１７において、吐出ノズルの乾燥などの不具合が発生する可能性が実質的になければ、他の液滴吐出ヘッド１７は単に休止していてもよい。

（変形例１３）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７の複数ヘッド重量測定を１回実施するごとに、複数ヘッド重量測定を実施することなく、複数のワークＷについて描画吐出を実施する期間を設けていたが、複数ヘッド重量測定を実施することなく複数のワークＷに対して描画を実施する期間を設けることは必須ではない。ワークＷの交換が実施される際には、毎回複数ヘッド重量測定を実施してもよい。

（変形例１４）前記実施形態においては、複数ヘッド重量測定によって測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が規格値に適合しない場合には、測定結果を検証するために、個別の液滴吐出ヘッド１７ごとに単ヘッド重量測定を実施していたが、測定結果を検証するために実施するのが単ヘッド重量測定であることは必須ではない。測定結果を検証するために実施するのは、吐出検査ユニット１８を用いた吐出検査などであってもよい。

（変形例１５）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７と、ワーク載置台２１と、のＸ軸方向の相対移動は、ワーク載置台２１をＸ軸方向に移動することで実施していた。液滴吐出ヘッド１７と、検査描画ユニット１６１、重量測定ユニット１９、又はフラッシングユニット１４と、のＸ軸方向の相対移動は、検査描画ユニット１６１と重量測定ユニット１９とフラッシングユニット１４とからなる吐出検査ブロック４ａをＸ軸方向に移動することで実施していた。撮像ユニット１６２と検査描画ユニット１６１とのＸ軸方向の相対移動は、検査描画ユニット１６１をＸ軸方向に移動することで実施していた。しかし、これらのＸ軸方向の相対移動をワーク載置台２１、又は吐出検査ブロック４ａをＸ軸方向に移動することで実施することは必須ではない。液滴吐出ヘッド１７又は撮像ユニット１６２をＸ軸方向に移動することによって、上記したＸ軸方向の相対移動を実施する構成であってもよい。
また、前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７と、ワーク載置台２１、検査描画ユニット１６１、重量測定ユニット１９、又はフラッシングユニット１４と、のＹ軸方向の相対移動は、液滴吐出ヘッド１７を有する吐出ユニット２をＹ軸方向に移動することで実施していた。当該相対移動は、吐出検査ブロック４ａをＹ軸方向に移動することで実施する構成であってもよい。
さらに、上記Ｘ軸方向及びＹ軸方向の相対移動を、ワーク載置台２１、吐出検査ブロック４ａ、液滴吐出ヘッド１７、又は撮像ユニット１６２をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させることによって実施する構成であってもよい。

（変形例１６）前記実施形態においては、ステップＳ２２はステップＳ４と略同時に開始され、ステップＳ２２及び続いて実施するステップＳ２３からステップＳ３１は、給除材工程に相当するステップＳ４，Ｓ５，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を実施する間に、ステップＳ４，Ｓ５，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３に並行して実施されていた。しかし、測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が規格値に適合しない場合に実施するステップＳ２６からステップＳ３１を実施する場合には、ステップＳ２２からステップＳ２４を実施するための時間に加えて、ステップＳ２６からステップＳ３１を実施するための時間が、必要である。これらの時間の合計が給除材工程の時間を超える場合には、ステップＳ２６からステップＳ３１を実施する際は、描画吐出を一旦停止してもよい。

（変形例１７）前記実施形態においては、ステップＳ２２はステップＳ４と略同時に開始され、ステップＳ２２及び続いて実施する複数ヘッド重量測定工程に相当するステップＳ２３は、給除材工程に相当するステップＳ４，Ｓ５，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を実施する間に、ステップＳ４，Ｓ５，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３に並行して実施されていた。しかし、複数ヘッド重量測定工程を給除材工程と並行して実施することは必須ではない。複数ヘッド重量測定工程は、描画吐出の合間など、給除材工程が実施されている時間以外の時間に実施してもよい。

（変形例１８）前記実施形態においては、複数ヘッド受液容器９３が、液滴吐出ヘッド１７からの複数ヘッド重量測定吐出が着弾する複数ヘッド重量測定受器と、捨て吐出が着弾する第一捨て吐出受器とを兼ねていたが、複数ヘッド重量測定受器と第一捨て吐出受器とが同一であることは必須ではない。複数ヘッド重量測定受器と第一捨て吐出受器とを、それぞれ設けてもよい。上述した、複数ヘッド重量測定を実施することなく複数のワークＷについて描画吐出を実施する期間の捨て吐出は、第一捨て吐出受器に着弾させることで、複数ヘッド重量測定受器に着弾する液状体の量を少なくすることができる。これにより、複数ヘッド重量測定受器に着弾する液状体を処理する作業を少なくすることができる。なお、第一捨て吐出受器においては、着弾した液状体を排出できるように構成することで、着弾する液状体を処理する作業を不要にすることができる。

（変形例１９）前記実施形態においては、吐出検査ブロック４ａは、検査吐出着弾シートに相当する検査シート１７１が、状態観測装置に相当する撮像ユニット１６２の検査カメラ１６３に臨む状態で、複数ヘッド重量測定受器に相当する複数ヘッド受液容器９３がヘッド群５５の液滴吐出ヘッド１７に臨むように構成されていた。そして、状態情報取得工程に相当する、検査カメラ１６３による、検査シート１７１に着弾した機能液滴の画像の取得と、複数ヘッド重量測定吐出工程に相当する、ヘッド群５５の全液滴吐出ヘッド１７による重量測定吐出とを並行して実施していた。しかし、状態情報取得工程と、複数ヘッド重量測定吐出工程とを並行して実施することは必須ではない。状態情報取得工程と、複数ヘッド重量測定吐出工程とは、実施する時刻をずらしてもよい。実施する時刻をずらすことで、検査吐出着弾シートが状態観測装置に臨む状態で、複数ヘッド重量測定受器が液滴吐出ヘッドに臨むように構成することが不要となるため、検査吐出着弾シートと、状態観測装置と、複数ヘッド重量測定受器と、液滴吐出ヘッドとの相対位置の制限が少なくなり、液滴吐出装置の構成が容易になる。

（変形例２０）前記実施形態においては、複数ヘッド重量測定によって測定された吐出重量の値の規格値に対する誤差が規格値に適合しない場合には、測定結果を検証するために、個別の液滴吐出ヘッド１７ごとに単ヘッド重量測定を実施していたが、誤差が規格値に適合しない場合の対処としては、他の方法を採ってもよい。例えば、複数ヘッド重量測定と略並行して実施してある吐出検査の結果から、複数ヘッド重量測定の測定結果の誤差の要因を判定し、要因に対応した対処をしてもよい。吐出ノズルの詰りや細り（吐出ノズルが詰まりかけている）が要因である可能性が高い場合には、吸引ユニットによる機能液の強制排出や、ワイピングユニットによるノズル形成面の拭取などの、液滴吐出ヘッドのノズル面や吐出ノズルのクリーニングを実施する。吐出ノズルの詰りや細りは、クリーニングによって解消できる可能性が高い。クリーニングは、複数ヘッド重量測定を実施する複数の液滴吐出ヘッドについて同時に実施できる（前記実施形態では、ヘッドユニット５４の単位でクリーニングできる）。ノズル詰まりや細りが無い場合は、吐出重量異常と判断し、単ヘッド重量測定を実施する。

（変形例２１）前記実施形態においては、単ヘッド受液容器９４及び単ヘッド天秤９９によって測定された吐出重量の誤差が、規格値に適合しなかった場合には、駆動電圧の調整を実施していた。しかし、吐出重量のみに拠って駆動電圧の調整の実施について判定することは必須ではない。複数ヘッド重量測定と略並行して実施してある吐出検査の結果から、個別の液滴吐出ヘッドについての重量測定の測定結果の誤差の要因を判定し、要因に対応した対処をしてもよい。吐出ノズルの詰りや細りが要因である可能性が高い場合には、吸引ユニットによる機能液の強制排出や、ワイピングユニットによるノズル形成面の拭取などの、液滴吐出ヘッドのノズル面や吐出ノズルのクリーニングを実施する。吐出ノズルの詰りや細りは、クリーニングによって解消できる可能性が高い。ノズル詰まりや細りが無い場合は、吐出重量異常と判断し、駆動電圧の調整で回復可能な程度であれば、駆動電圧の調整を実施する。

（変形例２２）前記実施形態においては、吐出検査に連続又は一部並行して複数ヘッド吐出重量測定を実施していたが、吐出検査と吐出重量測定とを連続又は一部並行して実施することは必須ではない。吐出検査の結果に対応した処置を実施した後に、吐出重量の測定を実施してもよい。吐出ノズルの詰りや細りが発生していると、吐出重量が減少して、吐出重量の測定結果は規格を満たさないものになる可能性がある。しかし、上記変形例に記載したように、吐出ノズルの詰りや細りは、クリーニングによって解消できる可能性が高い。保守作業（クリーニング）を、重量測定の前に実施することで、ノズル詰まりのように、クリーニングによって容易に解消できる要因を排除した状態で、より正確な重量測定を実施することができる。

液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。液滴吐出装置の概略構成を示す、Ｘ軸方向に延在する側面の側面図。液滴吐出装置の概略構成を示す、Ｙ軸方向に延在する側面の側面図。液滴吐出ヘッドの概要を示す外観斜視図。ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。検査描画ユニットの全体構成を示す外観斜視図。（ａ）重量測定ユニットの部分及びフラッシングユニットの部分を含む重量測定ブロックの平面図。（ｂ）重量測定ブロックの側面図。検査カメラと、液滴吐出ヘッドと、重量測定時フラッシングボックス及び複数ヘッド受液容器と、の位置関係を示す模式図。アライメントカメラと、ワーク載置台と、複数ヘッド受液容器及び重量測定時フラッシングボックスと、ヘッド群の液滴吐出ヘッドと、の位置関係を示す模式図。（ａ）ヘッドユニットと重量測定装置との位置関係を示す側面図。（ｂ）ヘッドユニットの液滴吐出ヘッドと重量測定装置の複数ヘッド受液容器との位置関係を示す平面図。（ｃ）ヘッドユニットと重量測定装置との位置関係を示す側面図。ヘッドユニットと重量測定装置との位置関係を示す側面図。液滴吐出ヘッドと、単ヘッド受液容器及び重量測定時フラッシングボックスと、の位置関係を示す平面図。描画工程を示すフローチャート。

符号の説明

１…液滴吐出装置、２…吐出ユニット、３…ワークユニット、４…検査ユニット、４ａ…吐出検査ブロック、６…吐出装置制御部、１１…Ｘ軸テーブル、１２…Ｙ軸テーブル、１４…フラッシングユニット、１７…液滴吐出ヘッド、１８…吐出検査ユニット、１９…重量測定ユニット、２１…ワーク載置台、２２…Ｘ軸第１スライダ、２３…Ｘ軸第２スライダ、２４…Ｘ軸共通支持ベース、２６…Ｘ軸リニアモータ、４４…ＣＰＵ、５４…ヘッドユニット、５５…ヘッド群、７８…吐出ノズル、８０…画像認識ユニット、８１…アライメントカメラ、９１…重量測定装置、９１Ａ…重量測定ブロック、９３…複数ヘッド受液容器、９４…単ヘッド受液容器、９５，９５ａ，９５ｂ…重量測定時フラッシングボックス、９８…複数ヘッド天秤、９９…単ヘッド天秤、１６１…検査描画ユニット、１６２…撮像ユニット、１６３…検査カメラ、１７１…検査シート、Ｗ…ワーク。

Claims

液滴吐出ヘッドから液状体を吐出すると共に、前記液状体を着弾させる対象である基材と前記液滴吐出ヘッドとを相対移動させることによって、前記基材上に前記液状体を配置する描画吐出工程と、
複数の液滴吐出ヘッドが、当該複数の液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の重量測定を実施するための重量測定吐出をそれぞれ実施する複数ヘッド重量測定吐出工程を含み、吐出された前記液状体の重量を測定する複数ヘッド重量測定工程と、を有することを特徴とする液滴吐出方法。
前記複数の液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置に対して前記基材の給除材を実施するための給除材工程をさらに有し、
前記給除材工程が実施されている間に、略並行して前記複数ヘッド重量測定吐出工程を実施することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出方法。
前記液滴吐出ヘッドが、前記液滴吐出ヘッドの状態を維持するための捨て吐出を実施する捨て吐出工程と、
前記液滴吐出ヘッドの吐出状態を検査するための検査吐出を前記液滴吐出ヘッドが実施する検査吐出工程と、検査吐出されて着弾した液状体の状態の情報を取得する状態情報取得工程と、を含み、前記液滴吐出ヘッドの吐出状態を検査する吐出検査工程と、をさらに有し、
前記給除材工程が実施されている間に、前記捨て吐出工程及び前記検査吐出工程を実施することを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出方法。
前記状態情報取得工程と、前記複数ヘッド重量測定吐出工程とを、それぞれの工程を実施する時刻を互いにずらして実施することを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出方法。
前記状態情報取得工程に略並行して、前記複数ヘッド重量測定吐出工程を実施することを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出方法。
前記複数ヘッド重量測定工程では、前記複数の液滴吐出ヘッドによって実施された前記捨て吐出工程において吐出された前記液状体の重量を測定することを特徴とする請求項３乃至５のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
前記給除材工程が１回実施される間に、１回の前記複数ヘッド重量測定吐出工程を実施することを特徴とする請求項２乃至６のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
前記複数ヘッド重量測定工程において測定された前記液状体の重量の測定値の、基準値に対する差異が、所定の値を超えた場合には、確認検査を実施することを特徴とする、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
前記確認検査が、当該液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の重量測定を実施するための重量測定吐出を、一台の前記液滴吐出ヘッドが実施する単ヘッド重量測定吐出工程を含み、吐出された前記液状体の重量を測定する単ヘッド重量測定工程であることを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出方法。
前記複数ヘッド重量測定工程において重量測定吐出をそれぞれ実施する前記複数の液滴吐出ヘッドにおける一台の前記液滴吐出ヘッドが、前記単ヘッド重量測定吐出工程を実施し、
前記複数の液滴吐出ヘッドにおける前記単ヘッド重量測定吐出工程を実施する前記液滴吐出ヘッド以外の前記液滴吐出ヘッドは、一台の前記液滴吐出ヘッドによる前記単ヘッド重量測定吐出工程の実施に並行して、それぞれ前記捨て吐出工程を実施することを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出方法。
前記単ヘッド重量測定工程において測定された前記液状体の重量の測定値の、基準値に対する差異が、第一の値を超えると共に、第二の値以下である場合には、前記液滴吐出ヘッドにおける吐出条件の補正を実施することを特徴とする、請求項９又は１０に記載の液滴吐出方法。
前記液滴吐出ヘッドの駆動源は圧電素子であって、前記吐出条件の一つは、前記液滴吐出ヘッドに印加する駆動電圧であり、前記補正は、駆動電圧値の補正又は駆動電圧波形の補正を含むことを特徴とする、請求項１１に記載の液滴吐出方法。
前記単ヘッド重量測定吐出工程の実施状態に拠って、前記単ヘッド重量測定吐出によって吐出された前記液状体を収容する単ヘッド重量測定受器の交換指示を出す単受器交換指示工程をさらに有することを特徴とする、請求項９乃至１２のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
前記単ヘッド重量測定吐出工程の実施状態に拠って、前記単ヘッド重量測定吐出によって吐出された前記液状体を収容する単ヘッド重量測定受器に蓄積された前記液状体を吸引する単受器吸引工程をさらに有することを特徴とする、請求項９乃至１２のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
前記単ヘッド重量測定吐出工程における前記単ヘッド重量測定吐出の吐出数を累計し、当該吐出数の累計が所定の数値を超えた時点で、前記単受器交換指示工程又は前記単受器吸引工程を実施することを特徴とする、請求項１３又は１４に記載の液滴吐出方法。
前記単ヘッド重量測定工程において測定された前記液状体の重量を累計し、当該重量の累計が所定の数値を超えた時点で、前記単受器交換指示工程又は前記単受器吸引工程を実施することを特徴とする、請求項１３又は１４に記載の液滴吐出方法。
前記確認検査が、前記吐出検査工程であることを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出方法。
前記複数ヘッド重量測定吐出工程、又は前記複数ヘッド重量測定吐出工程及び前記捨て吐出工程の実施状態に拠って、前記複数ヘッド重量測定吐出によって吐出された前記液状体を収容する複数ヘッド重量測定受器の交換指示を発信する交換指示工程をさらに有することを特徴とする、請求項１乃至１７のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
前記複数ヘッド重量測定吐出工程、又は前記複数ヘッド重量測定吐出工程及び前記捨て吐出工程の実施状態に拠って、前記複数ヘッド重量測定吐出によって吐出された前記液状体を収容する複数ヘッド重量測定受器に蓄積された前記液状体を吸引する吸引工程をさらに有することを特徴とする、請求項１乃至１７のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
前記複数ヘッド重量測定吐出工程、又は前記複数ヘッド重量測定吐出工程及び前記捨て吐出工程における前記複数ヘッド重量測定吐出、又は前記複数ヘッド重量測定吐出及び前記捨て吐出の吐出数を累計し、当該吐出数の累計が所定の数値を超えた時点で、前記複数ヘッド重量測定受器の交換指示工程又は吸引工程を実施することを特徴とする、請求項１８又は１９に記載の液滴吐出方法。
前記複数ヘッド重量測定工程を並行して実施することなく前記給除材工程を所定の回数実施する重量測定休止工程を有することを特徴とする、請求項２乃至２０のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、
同時に複数の液滴吐出ヘッドに臨み、前記複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれが吐出する前記液状体を受けることが可能な複数ヘッド重量測定受器を有し、吐出された前記液状体の重量を測定する複数ヘッド重量測定ユニットと、を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
吐出された前記液状体を着弾させる対象である基材を載置するためのステージと、
前記液滴吐出ヘッドと前記ステージとを主走査方向に相対移動させるステージ移動手段と、
前記液滴吐出ヘッドと前記複数ヘッド重量測定ユニットとを主走査方向に相対移動させる重量測定ユニット移動手段と、
前記液滴吐出ヘッドと前記複数ヘッド重量測定ユニットとを、前記主走査方向と略直交する副走査方向に相対移動させる重量測定ユニット副移動手段と、
前記液滴吐出ヘッドと前記複数ヘッド重量測定ユニットと前記重量測定ユニット移動手段と前記重量測定ユニット副移動手段とを制御する重量測定制御部と、をさらに備え、
前記重量測定制御部は、
前記重量測定ユニット移動手段及び前記重量測定ユニット副移動手段を制御することによって、前記複数の液滴吐出ヘッドが前記複数ヘッド重量測定受器に臨む位置に位置するように、前記液滴吐出ヘッドと前記複数ヘッド重量測定ユニットとを相対移動させ、
前記ステージに対する前記基材の給除材を実施する時間、及び当該給除材のために前記ステージが前記ステージ移動手段によって相対移動されている時間を含む給除材時間の間に、
前記複数の液滴吐出ヘッドを制御することによって、吐出された前記液状体の重量測定を実施するための重量測定吐出を、前記複数の液滴吐出ヘッドに実施させることを特徴とする、請求項２２に記載の液滴吐出装置。
前記液滴吐出ヘッドの状態を維持するために前記液滴吐出ヘッドが実施する捨て吐出によって吐出される前記液状体を受ける第一捨て吐出受器と、
前記液滴吐出ヘッドの吐出状態を検査するために前記液滴吐出ヘッドに実施させる検査吐出によって吐出される前記液状体を着弾させる検査吐出着弾シートと、当該検査吐出着弾シート上に着弾した前記液状体の状態情報を取得する状態観測装置と、を含む吐出検査装置と、
前記液滴吐出ヘッドと前記状態観測装置とを制御する吐出検査制御部と、をさらに備え、
前記重量測定ユニット移動手段は、前記液滴吐出ヘッドと、前記第一捨て吐出受器及び前記検査吐出着弾シートと、を前記主走査方向に相対移動させ、
前記重量測定ユニット副移動手段は、前記液滴吐出ヘッドと、前記第一捨て吐出受器及び前記検査吐出着弾シートと、を前記副走査方向に相対移動させ、
前記重量測定制御部は、前記重量測定ユニット移動手段及び前記重量測定ユニット副移動手段を制御することによって、前記液滴吐出ヘッドが前記第一捨て吐出受器又は前記検査吐出着弾シートに臨む位置に位置するように、前記液滴吐出ヘッドと前記第一捨て吐出受器及び前記検査吐出着弾シートとを相対移動させ、
前記重量測定ユニット移動手段及び前記重量測定ユニット副移動手段を制御することによって、前記状態観測装置が前記検査吐出着弾シートに臨む位置に位置するように、前記状態観測装置と前記検査吐出着弾シートとを相対移動させ、
前記吐出検査制御部は、前記給除材時間の間に、前記検査吐出を実施させるように、前記液滴吐出ヘッドを制御し、
前記吐出検査制御部は、また、前記状態観測装置が臨んだ前記検査吐出着弾シートの上に着弾した前記液状体の状態情報を取得するように、前記状態観測装置を制御することを特徴とする請求項２３に記載の液滴吐出装置。
前記吐出検査制御部及び前記重量測定制御部は、前記状態観測装置による前記状態情報の取得と、前記複数の液滴吐出ヘッドによる前記重量測定吐出の実施と、がそれぞれを実施する時刻が互いにずれて実施されるように、前記状態観測装置及び前記液滴吐出ヘッドを制御することを特徴とする請求項２４に記載の液滴吐出装置。
前記液滴吐出ヘッド又は前記状態観測装置と、前記検査吐出着弾シートと、を前記主走査方向に相対移動させる検査ユニット移動手段をさらに備え、
前記吐出検査制御部は、前記検査ユニット移動手段及び前記重量測定ユニット副移動手段を制御して、
前記液滴吐出ヘッドが前記検査吐出着弾シートに臨む位置に位置するように、前記液滴吐出ヘッドと前記検査吐出着弾シートとを相対移動させ、
前記状態観測装置が前記検査吐出着弾シートに臨む位置に位置するように、前記状態観測装置と前記検査吐出着弾シートとを相対移動させ、
前記吐出検査制御部及び前記重量測定制御部は、前記状態観測装置による前記状態情報の取得と、前記複数の液滴吐出ヘッドによる前記重量測定吐出の実施と、が略並行して実施されるように、前記状態観測装置及び前記複数の液滴吐出ヘッドを制御することを特徴とする請求項２４に記載の液滴吐出装置。
前記液滴吐出ヘッド又は前記状態観測装置と、前記検査吐出着弾シートと、を前記副走査方向に相対移動させる検査ユニット副移動手段をさらに備え、
前記吐出検査制御部は、
前記検査ユニット移動手段及び前記検査ユニット副移動手段を制御することによって、
前記液滴吐出ヘッドが前記第一捨て吐出受器又は前記検査吐出着弾シートに臨む位置に位置するように、前記液滴吐出ヘッドと前記検査吐出着弾シートとを相対移動させ、
前記状態観測装置が前記検査吐出着弾シートに臨む位置に位置するように、前記状態観測装置と前記検査吐出着弾シートとを相対移動させることを特徴とする、請求項２６に記載の液滴吐出装置。
前記第一捨て吐出受器が前記複数ヘッド重量測定受器であって、
前記重量測定制御部は、
前記複数の液滴吐出ヘッドが実施する捨て吐出によって吐出される前記液状体を前記複数ヘッド重量測定受器に着弾させて、着弾した前記液状体の重量を、前記複数ヘッド重量測定ユニットによって測定させることを特徴とする、請求項２４乃至２７のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
前記複数の液滴吐出ヘッドから重量測定吐出された前記液状体の重量を前記複数ヘッド重量測定ユニットによって測定した測定値の、基準値に対する差異が、所定の値を超えた場合には、確認検査を実施することを特徴とする、請求項２２乃至２８のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
一台の前記液滴吐出ヘッドに臨み、前記液滴吐出ヘッドが吐出する前記液状体を受けることが可能な単ヘッド重量測定受器を有し、吐出された前記液状体の重量を測定する単ヘッド重量測定ユニットを、さらに備え、
前記確認検査は、前記単ヘッド重量測定ユニットを用いて、前記複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれの前記液滴吐出ヘッドごとに実施する、吐出された前記液状体の重量測定であることを特徴とする請求項２９に記載の液滴吐出装置。
前記単ヘッド重量測定受器に隣接して設けられており、当該単ヘッド重量測定受器に対向する前記液滴吐出ヘッドに隣接して配置された前記液滴吐出ヘッドに少なくとも対向する位置に位置するように配置された第二捨て吐出受器を、さらに備え、
前記重量測定制御部は、前記複数の液滴吐出ヘッドに含まれる一台の前記液滴吐出ヘッドが前記重量測定吐出を実施している間に、前記複数の液滴吐出ヘッドに含まれる他の前記液滴吐出ヘッドは、前記第二捨て吐出受器に向けて、前記捨て吐出を実施するように、前記液滴吐出ヘッドを制御することを特徴とする請求項３０に記載の液滴吐出装置。
前記確認検査が、前記吐出検査装置による前記液滴吐出ヘッドの吐出状態の検査であることを特徴とする請求項２９に記載の液滴吐出装置。
前記液滴吐出ヘッドの吐出条件を設定する吐出条件設定部をさらに備え、
前記液滴吐出ヘッドから重量測定吐出された前記液状体の重量を、前記単ヘッド重量測定ユニットによって測定した測定値の基準値に対する差異が、第一の値を超えると共に、第二の値以下である場合には、前記吐出条件設定部が、前記液滴吐出ヘッドにおける吐出条件の補正を実施することを特徴とする、請求項３０又は３１に記載の液滴吐出装置。
前記吐出条件の一つは、前記液滴吐出ヘッドに印加する駆動電圧であり、前記補正は、駆動電圧値の補正又は駆動電圧波形の補正を含むことを特徴とする、請求項３３に記載の液滴吐出装置。
前記複数の液滴吐出ヘッドによる前記重量測定吐出、又は前記複数の液滴吐出ヘッドによる前記重量測定吐出及び前記捨て吐出の実施状態に拠って、前記複数ヘッド重量測定受器の交換指示を発信する交換指示部をさらに備えることを特徴とする、請求項２２乃至３４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
前記複数の液滴吐出ヘッドによる前記重量測定吐出、又は前記複数の液滴吐出ヘッドによる前記重量測定吐出及び前記捨て吐出の実施状態に拠って、前記複数ヘッド重量測定受器に蓄積された前記液状体を吸引する液状体吸引部をさらに備えることを特徴とする、請求項２２乃至３４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
前記複数の液滴吐出ヘッドによる前記重量測定吐出、又は前記複数の液滴吐出ヘッドによる前記重量測定吐出及び前記捨て吐出の吐出数を累計し、当該吐出数の累計が所定の数値を超えた時点で、前記交換指示部又は前記液状体吸引部は、前記複数ヘッド重量測定受器の交換指示の発信、又は前記液状体の吸引を実施することを特徴とする、請求項３５又は３６に記載の液滴吐出装置。
前記重量測定制御部は、
前記給除材が実施されるのに伴って、前記複数の液滴吐出ヘッドが重量測定吐出を実施し、前記複数の液滴吐出ヘッドが吐出した前記液状体の重量測定が実施されるように、前記複数ヘッド重量測定ユニット、前記重量測定ユニット移動手段、及び前記液滴吐出ヘッドを制御すると共に、
前記複数の液滴吐出ヘッドの前記重量測定吐出を並行して実施することを伴う前記給除材と、次に当該複数の液滴吐出ヘッドの前記重量測定吐出を並行して実施することを伴う前記給除材との間に、前記重量測定吐出を並行して実施することを伴わない前記給除材が複数回数実施されるように、前記複数ヘッド重量測定ユニット、前記重量測定ユニット移動手段、及び前記液滴吐出ヘッドを制御することを特徴とする、請求項２２乃至３７のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
液滴吐出ヘッドから液状体を吐出すると共に、前記液状体を着弾させる対象である基材と前記液滴吐出ヘッドとを相対移動させることによって、前記基材上に前記液状体を配置する液滴吐出装置の吐出重量測定方法であって、
複数の液滴吐出ヘッドが、当該複数の液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の重量測定を実施するための重量測定吐出をそれぞれ実施する複数ヘッド重量測定吐出工程を含み、吐出された前記液状体の重量を測定する複数ヘッド重量測定工程を有することを特徴とする、液滴吐出装置の吐出重量測定方法。
液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、吐出された前記液状体を着弾させる対象である基材を載置するためのステージと、前記液滴吐出ヘッドと前記ステージとを相対移動させるステージ移動手段と、を備える液滴吐出装置の吐出重量測定装置であって、
同時に複数の液滴吐出ヘッドに臨み、前記複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれが吐出する前記液状体を受けることが可能な複数ヘッド重量測定受器を有し、吐出された前記液状体の重量を測定する複数ヘッド重量測定ユニットと、
前記液滴吐出ヘッドと前記複数ヘッド重量測定ユニットとを相対移動させる重量測定ユニット移動手段と、を備えることを特徴とする、液滴吐出装置の吐出重量測定装置。