JP2009090211A - 液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】重量測定部のコストを低減するとともに、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量を高精度に測定する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法を提供する。
【解決手段】検査ユニット７０に重量測定ユニット７４を１台設けて、移動テーブル７１においてＹ軸方向に移動可能にした。また、検査ユニット７０に、重量測定ユニット７４の移動軌跡上に配置可能なフラッシング回収台７３を設けた。そして、各キャリッジが作業領域に位置しているとき、１つのキャリッジの直下に重量測定ユニット７４を移動させて、各液滴吐出ヘッドからの液滴の吐出重量測定を行った。また、他のキャリッジには、その直下にフラッシング回収台７３を配置してフラッシング動作させる。従って、１台の重量測定ユニット７４で全キャリッジの各液滴吐出ヘッドの液滴の吐出重量を測定することができる。しかも、描画位置で吐出重量測定することで吐出重量の誤差を低減できる。
【選択図】図１

Description

本発明は、液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法に関する。

一般的に、機能液を使って基板上に所望のパターンを形成する装置として、機能液を液滴にして吐出するインクジェット装置、すなわち液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、ステージに載置される基板と機能液を液滴にして吐出する液滴吐出ヘッドとを２次元的に相対移動させながら、液滴吐出ヘッドから吐出される機能液の液滴を基板上の任意の箇所に配置することによりパターンを形成する。

近年では、複数の液滴吐出ヘッドを１つのキャリッジに搭載し、さらに、このキャリッジを複数搭載した多キャリッジタイプの液滴吐出装置が知られている。このような液滴吐出装置は、大画面カラーフィルタの製造などに用いられ、複数のキャリッジから同時に液滴を吐出することで、その描画速度を向上させている。

ところで、カラーフィルタを製造する際に、カラーフィルタの基板に吐出される機能液の液滴の吐出重量にばらつきがあると、そのばらつきがカラーフィルタの輝度ムラの原因となることが知られている。従って、基板に吐出される液滴の吐出重量は、均一であることが望まれる。そこで、液滴吐出装置がこのような高精度の描画を行うために、各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量を測定する重量測定部を設けて、その測定結果に基づいて液滴の吐出重量を調整することが提案されている（例えば、特許文献１）。
特開２００４−２０９４２９号公報

しかしながら、特許文献１の方法では、液滴吐出装置に高精度の電子天秤を設置し、該電子天秤に液滴を吐出させて、各液滴吐出ヘッドから吐出された液滴の吐出重量を測定している。この液滴の吐出重量を測定する際に、電子天秤に対して多数の液滴を吐出するため、液滴の吐出重量測定には多大な時間を要していた。また、多キャリッジタイプの液滴吐出装置では、さらに多くの時間が必要となる。従って、吐出重量測定時と実際の描画時とにおける液滴吐出ヘッドの環境が異なってしまい、吐出重量測定時と実際の描画時とでは、液滴の吐出重量に誤差が生じていた。

また、多キャリッジタイプの液滴吐出装置の吐出重量の測定時間を短縮する方法として、電子天秤を多数設けて、各キャリッジにおける液滴吐出ヘッドの吐出重量測定を同時に行うことも考えられる。しかしながら、このような電子天秤は非常に高価なものであり、液滴吐出装置のコストアップを招いてしまう。

本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、重量測定部のコストを低減するとともに、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量を高精度に測定する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法を提供することにある。

本発明の液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法は、搬送テーブルに載置された基板を主走査方向に搬送させ、前記主走査方向に直交する副走査方向に並設されたキャリッジの液滴吐出ヘッドの各ノズルから機能液を液滴にして吐出し、前記基板にパターンを形成するパターン形成装置の液滴吐出ヘッドの液滴吐出量測定方法において、前記搬送テーブルと
並設され、前記搬送テーブルとは独立して主走査方向に移動する重量検査テーブルを設け、前記重量検査テーブルに、重量測定ユニットを前記副走査方向に移動可能に搭載し、前記重量測定ユニットを各キャリッジに設けた前記液滴吐出ヘッドの直下に移動させて、前記各液滴吐出ヘッドの各ノズルからの液滴を前記重量測定ユニットの受液容器に着弾させて、前記各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量を測定する。

本発明の液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法によれば、重量検査テーブルに副走査方向に移動可能にした重量測定ユニットを搭載したことによって、全てのキャリッジに搭載された各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量測定を、例えば１台の重量測定ユニットで行うことができる。つまり、重量測定ユニットを多数設けることなく、全てのキャリッジの各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量測定を行うことができる。その結果、液滴吐出装置のコストを低減することができる。

また、重量測定ユニットを、搬送テーブルと並設され、搬送テーブルとは独立して主走査方向に移動する重量検査テーブルに設けたので、各キャリッジの各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量測定を、実際にパターンを形成する描画位置で行うことができる。しかも、重量測定ユニットを複数設けたときに生じる、各重量測定ユニットの機差による誤差を考慮する必要がない。その結果、より高精度な液滴の吐出重量測定を行うことができる。

この液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法は、前記重量検査テーブルには、前記液滴吐出ヘッドが、同液滴吐出ヘッドの各ノズルから液滴を吐出するフラッシング動作を行ったとき、前記液滴を収容するフラッシング回収台を設けてもよい。

この液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法によれば、液滴吐出ヘッドのフラッシング動作を行ったときに、吐出された液滴をフラッシング回収台で収容することができる。従って、フラッシング動作によって吐出された液滴を容易に処理することができる。

この液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法は、前記フラッシング回収台は、前記重量測定ユニットが前記副走査方向に移動可能な第１待機位置と、前記重量測定ユニットが前記副走査方向に移動する軌跡上の第２待機位置との間を、前記主走査方向に往復移動可能に設けてもよい。

この液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法によれば、例えば、各キャリッジに対応したフラッシング回収台を設けたときに、全てのフラッシング回収台を第１待機位置に配置させて、吐出重量測定を行うキャリッジの直下に重量測定ユニットを移動させた後、吐出重量測定を行っているキャリッジ以外のキャリッジに対応したフラッシング回収台を第２待機位置に配置することができる。従って、吐出重量測定を行っている間、吐出重量測定を行っていない各キャリッジの液滴吐出ヘッドをフラッシング動作させることができる。その結果、液滴吐出ヘッド内の機能液の乾燥を抑制し、吐出重量測定をより高精度に行うことができる。

この液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法は、前記吐出重量を測定するときには、前記各キャリッジの直下には、前記重量測定ユニットまたは前記フラッシング回収台のどちらか一方が配置されるようにしてもよい。

この液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法によれば、吐出重量測定を行うキャリッジの直下には重量測定ユニットが、吐出重量測定を行わないキャリッジの直下にはフラッシング回収台が配置される。すなわち、吐出重量測定を行っている間、吐出重量測定を行っていないキャリッジをフラッシング動作させることができる。従って、各キャリッジの液滴
吐出ヘッドが吐出重量測定の前後において、各液滴吐出ヘッド内の機能液の乾燥を抑制することができる。その結果、吐出重量測定をより高精度に行うとともに、吐出重量測定時の吐出重量と実際の吐出重量との誤差を小さくすることができる。

この液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法は、前記重量測定ユニットには、前記受液容器に前記各キャリッジの任意の１つの液滴吐出ヘッドが臨んだとき、同キャリッジの他の全ての液滴吐出ヘッドのフラッシング動作による液滴を収容するフラッシングエリアを設けてもよい。

この液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法によれば、キャリッジの任意の１つの液滴吐出ヘッドが重量測定を行っているとき、他の全ての液滴吐出ヘッドはフラッシング動作させることができる。従って、重量測定の前後において、他の全ての液滴吐出ヘッドは、液滴吐出ヘッド内の機能液の乾燥を抑制することができる。また、吐出重量測定の直前までフラッシング動作させることによって、吐出重量測定を常に新しい機能液で行うことができる。その結果、より高精度な吐出重量測定を行うことができる。

この液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法は、前記重量検査テーブルには、前記重量測定ユニットを１台設けただけでもよい。
この液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法によれば、重量検査テーブルに副走査方向に移動可能にした重量測定ユニットを搭載したことによって、全てのキャリッジに搭載された各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量測定を、１台の重量測定ユニットで行うことができる。つまり、最小限の重量測定ユニットで全てのキャリッジの各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量測定を行うことができる。その結果、重量測定ユニットを多数設ける必要がないので、液滴吐出装置のコストを低減することができる。

以下、本発明を実施したパターン形成装置の一実施形態を図面に従って説明する。
図１は、ブラックマトリクスが形成されたガラス基板に赤、緑、青のカラーフィルタを形成するためのパターン形成装置としての液滴吐出装置１の概略構成を示している。液滴吐出装置１は、図１に示すように、床面には主走査方向（Ｘ軸方向）に延在した基台２が設置され、その上面に２ａに一対のＸ軸ガイドレール１１が主走査方向（Ｘ軸方向）に敷設され、その一対のＸ軸ガイドレール１１にはＸ軸移動プレート１２が載置されている。Ｘ軸移動プレート１２は、Ｘ軸ガイドレール１１に沿って主走査方向に移動可能に搭載されている。一対のＸ軸ガイドレール１１には、Ｘ軸リニアモータＭ１が備えられ、Ｘ軸リニアモータＭ１は、一対のＸ軸ガイドレール１１に載置されたＸ軸移動プレート１２を、エアスライダ（図示省略）を介してＸ軸方向に往復移動させる。

尚、図１において、主走査方向をＸ軸方向、主走査方向（Ｘ軸方向）に直交する副走査方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向（上下方向）をＺ軸方向、Ｚ軸方向回りの回動方向をθ方向と表記する。

Ｘ軸移動プレート１２の上面には、搬送テーブルとしての基板ステージ１４が設けられている。基板ステージ１４は、真空吸着テーブルであって、その上面にガラス基板よりなるカラーフィルタ基板（ＣＦ基板という）Ｗを吸着固定し、同ＣＦ基板Ｗを搬送する。基板ステージ１４は、Ｘ軸移動プレート１２と基板ステージ１４との間に設けた破線で示すステージ回動機構１６によって、Ｘ軸移動プレート１２に対してθ方向に回動可能に支持固定されている。

従って、基板ステージ１４（ＣＦ基板Ｗ）は、Ｘ軸移動プレート１２とともにＸ軸方向（主走査方向）に移動する。また、基板ステージ１４（ＣＦ基板Ｗ）は、Ｘ軸移動プレー
ト１２の平面（ＸＹ平面（水平面））に対して平行にθ方向に回動する。

前記Ｘ軸ガイドレール１１の上方向をＹ軸方向に跨ぐように、案内レールとしての一対のＹ軸ガイドレール１８が配設されている。一対のＹ軸ガイドレール１８の一端の支柱１９ａは、基台２の上面２ａ一側に立設され、他端の支柱１９ｂは基台２から離間した床に立設されている。一対のＹ軸ガイドレール１８は、Ｘ軸方向に予め定めた間隔をおいて平行に配設されている。尚、本実施形態では、Ｙ軸方向に平行に延びた一対のＹ軸ガイドレール１８において、基台２の上方位置を作業領域、基台２から離間した位置を待機領域としている。

一対のＹ軸ガイドレール１８の間に、複数（本実施形態では、６個）のキャリッジプレート２１が差し渡されるように配置されている。そして、各キャリッジプレート２１は、Ｙ軸ガイドレール１８に沿って副走査方向（Ｙ軸方向）に移動可能に載置されている。一対のＹ軸ガイドレール１８には、Ｙ軸リニアモータＭ２を備え、Ｙ軸リニアモータＭ２は、一対のＹ軸ガイドレール１８に載置された各キャリッジプレート２１をそれぞれエアスライダ（図示省略）を介してＹ軸方向に往復移動させる。つまり、各キャリッジプレート２１は、Ｙ軸ガイドレール１８上の作業領域と待機領域との間を往復移動するようになっている。

各キャリッジプレート２１の上面には、機能液供給ユニット２２とヘッド用電装ユニット２３とが載置されている。機能液供給ユニット２２は、機能液Ｆ（図３（ｂ）参照）を所定量貯蔵して、各液滴吐出ヘッド４０（図３（ａ），（ｂ）参照）に機能液Ｆを供給するための供給回路装置である。ヘッド用電装ユニット２３は、各液滴吐出ヘッド４０を駆動するための電気信号を供給するための電気回路装置である。

また、ここでいう機能液Ｆとは、ＣＦ基板Ｗに形成されたブラックマトリクスの枠内に配置される赤、緑、青のフィルタ用インクである。機能液Ｆは、ＣＦ基板Ｗに形成されたブラックマトリクスの枠内に配置された後に乾燥されると、赤、緑、青のフィルタとなる。

図２に示すように、各キャリッジプレート２１の下面の中央位置には、吊下機構２５が設けられ、その吊下機構２５の下端部にキャリッジ３０が取着されている。
吊下機構２５は、吊下基板２６と、吊下回動枠２７と、吊下支持枠２８とを有している。吊下基板２６は、キャリッジプレート２１の下面中央位置に連結固定され、その下端部に吊下回動枠２７を連結している。吊下回動枠２７は、その下端部に吊下支持枠２８をθ方向に回動可能に連結支持している。吊下回動枠２７には、θ軸回動モータ（図示省略）を有し、θ軸回動モータは吊下支持枠２８を吊下基板２６（キャリッジプレート２１）に対してθ方向に回動させるようになっている。吊下支持枠２８には、キャリッジ３０が支持固定され、吊下機構２５に垂設されたキャリッジ３０をθ方向に回動させる。

キャリッジ３０は、略直方体形状のキャリッジ枠３１を有している。キャリッジ枠３１には、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれの両側面に開口部が設けられており（Ｘ軸方向の各開口部は図示省略）、キャリッジ枠３１の内側に対して、周囲の空気が流出入できるようになっている。また、キャリッジ３０の略直方体形状のキャリッジ枠３１の下端部には、ユニットプレート３４が図示しないネジ等により固設されている。ユニットプレート３４には、液滴吐出ヘッド４０が着脱可能に、かつ、精度よく位置決め固定されて取り付けられている。本実施形態では、Ｘ軸方向に沿って並設された３個の液滴吐出ヘッド４０が、Ｙ軸方向と平行に２列、すなわち合計６個の液滴吐出ヘッド４０が取り付けられている。尚、キャリッジ枠３１の内側は、配管や配線などが配設されているが、表示すると煩雑になるため図示を省略している。
（液滴吐出ヘッド４０）
次に、ユニットプレート３４に取着した液滴吐出ヘッド４０について図３を参照して説明する。図３（ａ）は、液滴吐出ヘッドを基板ステージ１４側から見た外観斜視図である。この液滴吐出ヘッド４０は、２つの接続針４２を有する液体導入部４１と、液体導入部４１の側方に連なるヘッド基板４３と、液体導入部４１に連なるポンプ部４４と、ポンプ部４４に連なるノズルプレート４５とを備えている。

液体導入部４１の接続針４２には、機能液供給ユニット２２に接続した図示しない配管接続部材が接続されている。ヘッド基板４３には、一対のヘッドコネクタ４３Ａが実装されており、当該ヘッドコネクタ４３Ａを介して、ヘッド用電装ユニット２３に接続された図示しないフレキシブルフラットケーブルが接続される。

一方、このポンプ部４４とノズルプレート４５とにより、方形のヘッド本体４０Ａが構成されている。
ノズルプレート４５のノズル形成面４５ａには、液滴Ｆｂを吐出する吐出ノズル４６からなる２本のノズル列４７が形成されている。２本のノズル列４７は相互に平行に列設されており、各ノズル列４７は、等ピッチで並設された１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル４６で構成されている。すなわち、ヘッド本体４０Ａのノズル形成面４５ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列４７が対称に配設されている。

図３（ｂ）は、液滴吐出ヘッド４０のポンプ部４４の内部を示し、各吐出ノズル４６の上側にそれぞれキャビティ５２、振動板５３及び駆動素子としての圧電素子ＰＺを有している。各キャビティ５２は、それぞれ配管接続部材を介して機能液供給ユニット２２に接続され、同機能液供給ユニット２２からの機能液Ｆ（フィルタ用インク）を収容し、そのフィルタ用インクを吐出ノズル４６に供給する。振動板５３は、各キャビティ５２に対向する領域をＺ方向に振動することによって、該キャビティ５２の容積を拡大及び縮小させて、これに伴って吐出ノズル４６のメニスカスを振動させる。各圧電素子ＰＺは、それぞれ所定の駆動波形信号を受けるとき、Ｚ方向に収縮して伸張することによって、振動板５３の各領域をＺ方向に振動させる。各キャビティ５２は、それぞれの振動板５３がＺ方向に振動するとき、収容するフィルタ用インクの一部を所定重量の液滴Ｆｂにして吐出ノズル４６から吐出させる。

ポンプ部４４の基部側、すなわちヘッド本体４０Ａの基部側は、液体導入部４１を受けるべく方形フランジ状にフランジ部４８が形成されている。このフランジ部４８は、抜け止めの役目を果たすとともに、ヘッド止めネジ（図示せず）でユニットプレート３４と連結固定される連結部の役目を果たす。フランジ部４８には、液滴吐出ヘッド４０をユニットプレート３４に固定する小ネジ用のネジ孔（雌ネジ）４９が一対形成されている。つまり、液滴吐出ヘッド４０は、ユニットプレート３４の所定の位置に形成された貫通穴（図示せず）に、ヘッド本体４０Ａを貫挿させて、ユニットプレート３４を貫挿してネジ孔４９と螺合するヘッド止めネジ（図示せず）によってユニットプレート３４に固定される。

図２及び図３に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、図１に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸と同一である。すなわち、ユニットプレート３４が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、液滴吐出ヘッド４０に形成されたノズル列４７（図３（ａ）参照）は、Ｙ軸方向に延在する構成になっている。
（検査ユニット７０）
次に、液滴吐出ヘッド４０から吐出される液滴を事前に検査する重量検査テーブルとしての検査ユニット７０について説明する。

図１に示すように、前記基台２に敷設された一対のＸ軸ガイドレール１１には、検査ユ
ニット７０がＸ軸ガイドレール１１に沿って主走査方向に移動可能に配置されている。
詳述すると、検査ユニット７０は、移動ブロック７１を有し、移動ブロック７１は、Ｘ軸ガイドレール１１に沿って主走査方向に移動可能に搭載されている。そして、移動ブロック７１は、一対のＸ軸ガイドレール１１に備えられたＸ軸リニアモータＭ１にてエアスライダ（図示省略）を介してＸ軸方向に往復移動する。

移動ブロック７１の上面の基板ステージ１４側には、検査台７２が設置固定されている。検査台７２は、Ｙ軸方向に沿って長く延び、その上面には、例えばフィルムコーティングが施された、被検出紙Ｐが配置されている。検査台７２に配置した被検出紙Ｐは、検査台７２が液滴吐出ヘッド４０の直下に案内された時に、各キャリッジ３０の液滴吐出ヘッド４０の各吐出ノズル４６から吐出された液滴Ｆｂが着弾されるようになっている。

移動ブロック７１の上面であって検査台７２に隣接した位置には、フラッシング回収台７３が前記キャリッジ３０の数（６個）だけ設けられ、その各フラッシング回収台７３がＹ軸方向に沿って並設されている。

各フラッシング回収台７３の受け口７３ａは、各フラッシング回収台７３が対応するキャリッジ３０の直下に案内された時に、各キャリッジ３０の液滴吐出ヘッド４０の各吐出ノズル４６から液滴が吐出され（フラッシングされ）、その液滴Ｆｂを受け止めて収容するようになっている。つまり、ＣＦ基板Ｗに液滴Ｆｂでカラーフィルタを描画する前にフラッシング動作され、そのフラッシングに基づく液滴Ｆｂをフラッシング回収台７３で回収する。

各フラッシング回収台７３は、図１に実線で示す位置（第１待機位置）と図１に２点鎖線で示す位置（第２待機位置）との２位置間をそれぞれ往復移動可能に移動ブロック７１に対して設けられている。そして、各フラッシング回収台７３に対して設けられた配置モータ７５（図４参照）を駆動制御することにより、各フラッシング回収台７３はそれぞれ第１待機位置と第２待機位置のいずれかに移動して配置される。

移動ブロック７１には、１つの重量測定ユニット７４がＹ軸方向に移動可能に設けられている。つまり、各フラッシング回収台７３が第１待機位置にあって第２待機位置にないとき、重量測定ユニット７４は移動ブロック７１に設けられた移送モータ７６（図４参照）によって移動ブロック７１の上面をＹ軸方向に往復移動できる。尚、重量測定ユニット７４は、各フラッシング回収台７３が第２待機位置にあるとき、邪魔にならないように、図１に実線で示す位置（退避位置）に配置されている。

重量測定ユニット７４は、図１に示すように、その上面の中央付近に重量測定天秤７７（図４参照）の受液容器７８が設けられている。重量測定ユニット７４は、対応するキャリッジ３０の直下に案内された時に、各キャリッジ３０の任意の１つの液滴吐出ヘッド４０の各吐出ノズル４６から吐出された液滴Ｆｂが受液容器７８に着弾し、その重量を重量測定天秤７７で計測するようになっている。つまり、ＣＦ基板Ｗに液滴Ｆｂでパターンを形成する前に、重量測定ユニット７４は、各キャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０の吐出ノズル４６から吐出される液滴Ｆｂの吐出重量を計測する。しかも、重量測定ユニット７４（受液容器７８）を、各キャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０の直下に移動可能にしたので、一つの重量測定ユニット７４で、各キャリッジ３０の全ての液滴吐出ヘッド４０の液滴Ｆｂの吐出重量を計測することができるようにしている。

また、重量測定ユニット７４には、フラッシングエリア７９が設けられている。フラッシングエリア７９は、各キャリッジ３０の任意の１つの液滴吐出ヘッド４０が受液容器７８に臨んだとき、他の全ての液滴吐出ヘッド４０（本実施形態では、５個）が、フラッシ
ングエリア７９に向かってフラッシング動作が行える大きさに形成され、そのフラッシング動作による液滴を収容する。従って、重量測定の前後において、他の全ての液滴吐出ヘッド４０（本実施形態では、５個）をフラッシング動作させることができるので、キャビティ５２に収容された機能液Ｆの乾燥を抑制することができる。

次に、液滴吐出装置１の電気的構成を図４に従って説明する。図４は、液滴吐出装置１の電気的構成を示すブロック図である。
図４において、制御装置１００は、ＣＰＵ１０１、ＲＯＭ１０２、ＲＡＭ１０３等を有している。制御装置１００は、格納された各種データ及び各種制御プログラムに従って、Ｘ軸移動プレート１２の搬送処理、各キャリッジプレート２１の搬送処理、及び、液滴吐出ヘッド４０を駆動してＣＦ基板Ｗにパターンを形成する描画処理などを実行する。また、制御装置１００は、各キャリッジ３０に設けた各液滴吐出ヘッド４０が吐出する液滴Ｆｂの吐出重量などを検査する検査処理を実行するとともに、検査に基づく各液滴吐出ヘッド４０の液滴Ｆｂの吐出重量調整処理などを実行する。

制御装置１００には、各種操作スイッチとディスプレイを有した入出力装置１０４が接続されている。入出力装置１０４は、液滴吐出装置１が実行する各種処理の処理状況を表示する。入出力装置１０４は、ＣＦ基板Ｗに液滴Ｆｂでカラーフィルタのパターンを形成するための描画データ（ビットマップデータＢＤ）を生成し、そのビットマップデータＢＤを制御装置１００に入力する。また、制御装置１００は、入力されたビットマップデータＢＤを描画データ記憶手段としてのＲＡＭ１０３に記憶する。

ビットマップデータＢＤは、各ビットの値（０あるいは１）に応じて各圧電素子ＰＺのオンあるいはオフを規定したデータである。ビットマップデータＢＤは、液滴吐出ヘッド４０（各吐出ノズル４６）の直下をＣＦ基板Ｗが通過する際、ＣＦ基板Ｗの予め特定された各位置に、液滴Ｆｂを吐出するか否かを規定したデータである。

すなわち、ビットマップデータＢＤは、ＣＦ基板Ｗに液滴Ｆｂでカラーフィルタのパターンを描画するために、液滴吐出ヘッド４０（各吐出ノズル４６）の直下を、何度もＣＦ基板Ｗを往復動させ、その往動及び復動する毎に、カラーフィルタのパターンを描画するために用意された、配置位置に液滴Ｆｂを吐出するか否かを規定したデータである。

詳述すると、液滴吐出ヘッド４０（各吐出ノズル４６）の直下を、往動及び復動する毎に用意された、対応するビットマップデータＢＤをつかって、液滴Ｆｂを吐出させれば、ＣＦ基板Ｗにカラーフィルタのパターンが描画されることになる。

そして、本実施形態では、このＣＦ基板Ｗに描画するカラーフィルタのパターンは、予め設計等で求め、その求めたパターンからビットマップデータＢＤが作成される。
制御装置１００には、Ｘ軸リニアモータ駆動回路１０５が接続されている。制御装置１００は、駆動制御信号をＸ軸リニアモータ駆動回路１０５に出力する。Ｘ軸リニアモータ駆動回路１０５は、制御装置１００からの駆動制御信号に応答して、Ｘ軸移動プレート１２（ＣＦ基板Ｗ）を移動させるためのＸ軸リニアモータＭ１を駆動させる。また、制御装置１００は、重量測定ユニット７４で、各キャリッジ３０の液滴吐出ヘッド４０の液滴Ｆｂの吐出重量を計測する場合に、検査ユニット７０を移動させるための駆動制御信号をＸ軸リニアモータ駆動回路１０５に出力する。Ｘ軸リニアモータ駆動回路１０５は、制御装置１００からの検査ユニット７０を移動させるための駆動制御信号に応答して、移動ブロック７１を移動させるためのＸ軸リニアモータＭ１を駆動させる。

制御装置１００には、Ｙ軸リニアモータ駆動回路１０６が接続されている。制御装置１００は、駆動制御信号をＹ軸リニアモータ駆動回路１０６に出力する。Ｙ軸リニアモータ
駆動回路１０６は、制御装置１００からの駆動制御信号に応答して、キャリッジプレート２１を移動させるためのＹ軸リニアモータＭ２を駆動させる。

制御装置１００には、配置モータ駆動回路１１１が接続されている。制御装置１００は、駆動制御信号を配置モータ駆動回路１１１に出力する。配置モータ駆動回路１１１は、制御装置１００からの駆動制御信号に応答して、各フラッシング回収台７３に対して設けられた配置モータ７５をそれぞれ駆動制御する。配置モータ駆動回路１１１は、制御装置１００からの駆動制御信号に応答して、それぞれの配置モータ７５を駆動制御して各フラッシング回収台７３を第１待機位置及び第２待機位置のいずれかに配置する。

因みに、本実施形態では、ＣＦ基板Ｗにカラーフィルタのパターンを描画している時には、全てのフラッシング回収台７３は、第１待機位置に配置する。また、液滴吐出装置１を休止させている時は、全てのフラッシング回収台７３は、第２待機位置に配置する。

制御装置１００には、移送モータ駆動回路１１２が接続されている。制御装置１００は、駆動制御信号を移送モータ駆動回路１１２に出力する。移送モータ駆動回路１１２は、制御装置１００からの駆動制御信号に応答して、重量測定ユニット７４に対して設けられた移送モータ７６を駆動制御する。移送モータ駆動回路１１２は、制御装置１００からの駆動制御信号に応答して、移送モータ７６を駆動制御して重量測定ユニット７４をＹ軸方向に移動させ、対応するキャリッジ３０の直下又は退避位置に配置する。

制御装置１００は、重量測定ユニット７４の重量測定天秤７７から、その時々でキャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０から吐出された液滴Ｆｂの総吐出重量を求め、キャリッジ３０毎に、各液滴吐出ヘッド４０が吐出ノズル４６から吐出する液滴Ｆｂの吐出重量（平均吐出重量Ｗａｖ）を演算する。

制御装置１００は、各液滴吐出ヘッド４０の液滴Ｆｂの平均吐出重量Ｗａｖが求まると、その平均吐出重量Ｗａｖが予め定めた基準吐出重量Ｗｋと同じなるための、各圧電素子ＰＺを駆動させるための駆動電圧値Ｖｈを液滴吐出ヘッド４０毎に求める。

尚、平均吐出重量Ｗａｖが基準吐出重量Ｗｋと同じなるための、圧電素子ＰＺを駆動させるための駆動電圧値Ｖｈは、予めＲＯＭ１０２にデータとして記憶されていて、制御装置１００は、ＲＯＭ１０２に記憶したデータから各平均吐出重量Ｗａｖに対する駆動電圧値Ｖｈを求めるようにしている。

制御装置１００には、駆動波形生成回路１０７が接続されている。制御装置１００は、求めた圧電素子ＰＺを駆動させるための駆動電圧値Ｖｈを駆動波形生成回路１０７に出力する。駆動波形生成回路１０７は、制御装置１００からの駆動電圧値Ｖｈに基づき圧電素子ＰＺに印加する駆動波形信号ＣＯＭを生成する。図５は、駆動波形信号ＣＯＭの一例を示しており、圧電素子ＰＺに印加する駆動電圧の波高値が大きいほど、吐出量が大きくなる。すなわち、図５において、駆動波形信号ＣＯＭ０（波高値ｈ０）は、駆動波形信号ＣＯＭ１（波高値ｈ１）よりも波高値が大きいので吐出重量が大きくなっている。

従って、駆動波形生成回路１０７は、制御装置１００からの駆動電圧値Ｖｈに基づき、液滴Ｆｂの平均吐出重量Ｗａｖが基準吐出重量Ｗｋと等しくなる駆動波形信号ＣＯＭを液滴吐出ヘッド４０毎に生成し、制御装置１００に出力する。

制御装置１００には、液滴吐出ヘッド４０毎に設けられたヘッド駆動回路１０８が接続されている。制御装置１００は、所定の吐出周波数に同期させた吐出タイミング信号ＬＴをヘッド駆動回路１０８に出力する。制御装置１００は、駆動波形生成回路１０７にて生
成された液滴吐出ヘッド４０毎の駆動波形信号ＣＯＭを所定の吐出周波数に同期させて、それぞれ対応するヘッド駆動回路１０８に出力する。

詳述すると、制御装置１００は、ビットマップデータＢＤを利用して所定の周波数に同期したパターン形成用制御信号ＳＩを生成し、パターン形成用制御信号ＳＩをヘッド駆動回路１０８にシリアル転送する。ヘッド駆動回路１０８は、制御装置１００からのパターン形成用制御信号ＳＩを各圧電素子ＰＺに対応させて順次シリアル／パラレル変換する。ヘッド駆動回路１０８は、制御装置１００からの吐出タイミング信号ＬＴを受けるたびに、シリアル／パラレル変換したパターン形成用制御信号ＳＩをラッチし、パターン形成用制御信号ＳＩによって選択される圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動波形信号ＣＯＭを供給する。

従って、各液滴吐出ヘッド４０は、液滴Ｆｂの平均吐出重量Ｗａｖが基準吐出重量Ｗｋと等しくなる駆動波形信号ＣＯＭを圧電素子ＰＺに印加させるように制御されるため、各液滴吐出ヘッド４０から吐出される液滴Ｆｂの平均吐出重量Ｗａｖを均一にすることができる。

しかも、一つの重量測定ユニット７４で、各キャリッジ３０の全ての液滴吐出ヘッド４０の液滴Ｆｂの吐出重量を計測することができるようにしたので、検査ユニット７０の構成を非常に簡単な構成にすることができる。また、一つの重量測定ユニット７４で検査を行うので、複数の重量測定ユニット７４を使って各液滴吐出ヘッド４０の吐出重量を計測する際の各重量測定天秤７７の機差による誤差を考慮しなくてよいため、高精度な計測ができる。

次に、このように構成した検査ユニット７０の作用について説明する。
検査ユニット７０を使って各キャリッジ３０に設けた各液滴吐出ヘッド４０の吐出ノズル４６から吐出される液滴Ｆｂの吐出重量を算出し、各液滴吐出ヘッド４０から吐出される液滴Ｆｂの平均吐出重量Ｗａｖを基準吐出重量Ｗｋに調整する処理動作について説明する。

この処理動作は、各キャリッジプレート２１に設けたキャリッジ３０が交換される毎に行われる。また、新たなＣＦ基板Ｗに描画データ（ビットマップデータＢＤ）に基づいてカラーフィルタのパターンを形成する直前に行われる。

今、制御装置１００は、Ｙ軸リニアモータＭ２を駆動制御して各キャリッジプレート２１をＹ軸ガイドレール１８上の作業領域に配置する。また、制御装置１００は、配置モータ７５を駆動制御して全ての各フラッシング回収台７３を第１待機位置から第２待機位置に配置する。この時、重量測定ユニット７４は退避位置に配置されている。

これによって、各キャリッジプレート２１のキャリッジ３０に設けた各液滴吐出ヘッド４０は、検査ユニット７０の各フラッシング回収台７３がその直下を通過する位置に配置される。

この状態から、制御装置１００は、Ｘ軸リニアモータＭ１を駆動制御して、検査ユニット７０の移動ブロック７１を移動させて、各液滴吐出ヘッド４０の直下に対応する各フラッシング回収台７３を配置させる。

各液滴吐出ヘッド４０の直下に、対応する各フラッシング回収台７３を位置させると、制御装置１００は、各キャリッジ３０の液滴吐出ヘッド４０をフラッシング動作させ、フラッシング回収台７３に液滴Ｆｂを吐出させる。フラッシングが終了すると、退避位置に
ある重量測定ユニット７４に隣接したフラッシング回収台７３を第２待機位置から第１待機位置に移動させる。そして、制御装置１００は、該フラッシング回収台７３が第１待機位置に移動していなくなった位置（第２待機位置）に、移送モータ７６を駆動制御して、重量測定ユニット７４を移動させる。

制御装置１００は、直下に重量測定ユニット７４の受液容器７８が配置されたキャリッジ３０の任意の１つの液滴吐出ヘッド４０から、重量測定ユニット７４の受液容器７８に対して吐出重量を測定するための液滴Ｆｂを所定数だけ吐出させる。また、このとき、制御装置１００は、同キャリッジ３０の重量測定を行っていない他の全ての液滴吐出ヘッド４０（本実施形態では、５個）と、その直下にフラッシング回収台７３が配置されているキャリッジ３０とには、フラッシング動作をさせている。

制御装置１００は、重量測定ユニット７４の受液容器７８に液滴Ｆｂを所定数だけ吐出させたとき、その時の重量測定ユニット７４の重量測定天秤７７が計測した総吐出重量に基づいて、このキャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０の平均吐出重量Ｗａｖを算出する。

一つのキャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０の平均吐出重量Ｗａｖが算出されると、制御装置１００は、重量測定ユニット７４に新たに隣接した位置にあるフラッシング回収台７３を第２待機位置から第１待機位置に移動させる。そして、制御装置１００は、該フラッシング回収台７３が第１待機位置に移動していなくなった位置（第２待機位置）に、重量測定ユニット７４を移動させる。また、重量測定ユニット７４が移動していなくなった位置（第２待機位置）に、重量測定が終了したキャリッジ３０に対応するフラッシング回収台７３を移動させる。

以後、同様な動作を繰り返すことにより、各キャリッジ３０における各液滴吐出ヘッド４０の平均吐出重量Ｗａｖが算出される。
制御装置１００は、各液滴吐出ヘッド４０の液滴Ｆｂの平均吐出重量Ｗａｖに基づいて、その平均吐出重量Ｗａｖが予め定めた基準吐出重量Ｗｋと等しくなるための、各圧電素子ＰＺを駆動させるための駆動電圧値Ｖｈを液滴吐出ヘッド４０毎に求める。

そして、制御装置１００は、駆動波形生成回路１０７に対して、駆動電圧値Ｖｈに基づき、常に、各液滴吐出ヘッド４０の液滴Ｆｂの平均吐出重量Ｗａｖが基準吐出重量Ｗｋと等しくなる駆動波形信号ＣＯＭを液滴吐出ヘッド４０毎に生成させ、その駆動波形信号ＣＯＭにて各液滴吐出ヘッド４０（圧電素子ＰＺ）を駆動させる。

従って、各液滴吐出ヘッド４０の各圧電素子ＰＺに印加される駆動波形信号ＣＯＭは、液滴Ｆｂの平均吐出重量Ｗａｖが基準吐出重量Ｗｋとなる駆動波形信号ＣＯＭに制御されるため、各液滴吐出ヘッド４０から吐出される機能液Ｆの吐出重量を均一にすることができる。

しかも、ひとつのＣＦ基板Ｗにカラーフィルタを描画する直前に、各液滴吐出ヘッド４０から吐出される液滴Ｆｂの平均吐出重量Ｗａｖを基準吐出重量Ｗｋに調整する処理動作を行うため、全てのＣＦ基板Ｗに形成されるカラーフィルタは、一様で高精細なパターンとなる。

上記実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）上記実施形態によれば、重量測定ユニット７４は、移送モータ７６によって検査ユニット７０の移動ブロック７１においてＹ軸方向に移動して、各キャリッジ３０の直下に移動可能にした。また、検査ユニット７０に設けたフラッシング回収台７３を移動ブロ
ック７１において第１待機位置と第２待機位置の間を、各配置モータ７５によって移動可能にした。

従って、全てのキャリッジ３０に搭載された各液滴吐出ヘッド４０の吐出重量測定を１台の重量測定ユニット７４で行うことができる。つまり、液滴吐出装置１において、重量測定ユニット７４を多数設けることなく、全てのキャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０から吐出される液滴Ｆｂの吐出重量測定を行うことができる。その結果、液滴吐出装置１のコストを低減することができる。

また、重量測定ユニット７４を複数設けたときに生じる、各重量測定ユニット７４の重量測定天秤７７の機差による誤差を考慮する必要がない。その結果、より高精度な液滴Ｆｂの吐出重量測定を行うことができる。

（２）上記実施形態によれば、各キャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０から吐出される液滴Ｆｂの吐出重量測定を第２待機位置で行うとともに、重量測定ユニット７４が位置する以外の第２待機位置には、フラッシング回収台７３を配置して吐出重量測定を行った。そして、第２待機位置に位置しているフラッシング回収台７３の上方に位置しているキャリッジ３０には、フラッシング回収台７３に向かってフラッシング動作させた。

従って、吐出重量測定を行っているキャリッジ３０以外の他のキャリッジ３０は、フラッシング動作させることによって、吐出重量測定をしている間にキャビティ５２に収容された機能液Ｆが乾燥することを抑制することができる。その結果、より高精度な液滴Ｆｂの吐出重量測定を行うことができる。しかも、フラッシング動作で吐出された液滴Ｆｂは、フラッシング回収台７３の受け口７３ａに収容されるので、後処理を容易に行うことができる。

（３）上記実施形態によれば、重量測定ユニット７４には、キャリッジ３０の任意の１つの液滴吐出ヘッド４０が受液容器７８に臨んでいるとき、他の全ての液滴吐出ヘッド４０（本実施形態では、５個）のフラッシング動作による液滴Ｆｂを収容するフラッシングエリア７９を設けた。

従って、重量測定の前後において、他の全ての液滴吐出ヘッド４０（本実施形態では、５個）にフラッシング動作させることができる。その結果、液滴吐出ヘッド４０のキャビティ５２に収容された機能液Ｆの乾燥を抑制することができる。また、各液滴吐出ヘッド４０は、吐出重量測定を行う直前までフラッシング動作されるので、常に新しい機能液Ｆで液滴Ｆｂの吐出重量測定を行うことができる。その結果、より高精度な液滴Ｆｂの吐出重量測定を行うことができる。しかも、フラッシング動作で吐出された液滴Ｆｂは、フラッシングエリア７９に収容されるので、後処理を容易に行うことができる。

（４）上記実施形態によれば、検査ユニット７０をＸ軸方向に移動可能にして、各キャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０の吐出重量測定を液滴吐出装置の作業領域で行えるようにした。

従って、各キャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０の吐出重量測定を実際の描画位置において行うことができる。その結果、より高精度な液滴Ｆｂの吐出重量測定を行うことができる。

尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、重量測定ユニット７４を１つ設けた。これに限らず、複数個配置するようにしてもよい。これによれば、液滴の吐出重量をより短時間で測定することがで
きる。

・上記実施形態では、重量測定前の全キャリッジ３０のフラッシング動作をフラッシング回収台７３の第２待機位置で行った。これに限らず、全フラッシング回収台７３を第１待機位置に配置してフラッシング動作を行うようにしてもよい。

・上記実施形態では、キャリッジ３０の液滴吐出ヘッド４０の吐出重量測定している時、他のキャリッジ３０の液滴吐出ヘッド４０には、フラッシング動作を行わせた。これに限らず、フラッシング動作を行わせなくてもよいし、一部のキャリッジ３０だけフラッシング動作を行わせるようにしてもよい。

・上記実施形態では、フラッシング回収台７３を配置モータ７５によって第１待機位置と第２待機位置とを主走査方向に移動可能にした。これに限らず、例えば、シリンダ駆動などによって第１待機位置と第２待機位置とを主走査方向に往復移動可能にしてもよい。

・上記実施形態では、各キャリッジプレート２１に設けたキャリッジ３０が交換されたとき、及び、新たなＣＦ基板Ｗに描画データ（ビットマップデータＢＤ）に基づいてカラーフィルタのパターンを形成するときに、重量測定を行った。これに限らず、例えば、予め定めた時間毎など、予め定めた条件毎に定期的に行うようにしてもよい。

・上記実施形態では、各キャリッジプレート２１に設けたキャリッジ３０が交換されたとき、及び、新たなＣＦ基板Ｗに描画データ（ビットマップデータＢＤ）に基づいてカラーフィルタのパターンを形成するときに、全てのキャリッジ３０に対して重量測定を行った。これに限らず、例えば、予め定めた条件毎にキャリッジ３０の重量測定を１つずつ順番に行うようにしてもよい。

・上記実施形態では、フィルタ用インクを液滴にして吐出させてＣＦ基板にカラーフィルタを形成する液滴吐出装置に具体化したが、これに限定されるものではなく、金属配線を形成する液滴吐出装置、絶縁層を形成する液滴吐出装置、液晶層や配向膜を形成する液滴吐出装置、有機ＥＬ表示装置の発光層等を形成する液滴吐出装置等に応用してもよい。

・上記実施形態では、液滴吐出ヘッド４０を６個搭載したキャリッジを６個搭載した液滴吐出装置１に具体化した。これに限らず、キャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドの配置や数、及び、液滴吐出装置に搭載されるキャリッジの数は、適宜変更してもよい。

液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図。 キャリッジプレートとキャリッジの関係を表す平面図。 （ａ）液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドの要部断面図。 液滴吐出装置の電気的構成を説明するための電気ブロック回路図。 駆動波形信号の一例を示すグラフ。

符号の説明

ＢＤ…ビットマップデータ、ＣＯＭ…駆動波形信号、ＣＯＭ０…駆動波形信号、ＣＯＭ１…駆動波形信号、ｈ０…波高値、ｈ１…波高値、ＬＴ…吐出タイミング信号、ＳＩ…パターン形成用制御信号、Ｆ…機能液、Ｆｂ…液滴、Ｍ１…Ｘ軸リニアモータ、Ｍ２…Ｙ軸リニアモータ、Ｐ…被検出紙、ＰＡ…検査パターン、ＰＺ…圧電素子、Ｖｈ…駆動電圧値、Ｗ…ＣＦ基板、Ｗｋ…基準吐出重量、Ｗａｖ…平均吐出重量、１…液滴吐出装置、２…基台、２ａ…上面、１１…Ｘ軸ガイドレール、１２…Ｘ軸移動プレート、１４…基板ステ
ージ、１６…ステージ回動機構、１８…Ｙ軸ガイドレール、１９ａ…支柱、１９ｂ…支柱、２１…キャリッジプレート、２２…機能液供給ユニット、２３…ヘッド用電装ユニット、２５…吊下機構、２６…吊下基板、２７…吊下回動枠、２８…吊下支持枠、３０…キャリッジ、３１…キャリッジ枠、３３…ヘッドユニット、３４…ユニットプレート、４０…液滴吐出ヘッド、４０Ａ…ヘッド本体、４１…液体導入部、４２…接続針、４３…ヘッド基板、４３Ａ…ヘッドコネクタ、４４…ポンプ部、４５…ノズルプレート、４５ａ…ノズル形成面、４６…吐出ノズル、４７…ノズル列、４８…フランジ部、４９…ネジ孔、５２…キャビティ、５３…振動板、７０…検査ユニット、７１…移動ブロック、７２…検査台、７３…フラッシング回収台、７３ａ…受け口、７４…重量測定ユニット、７５…配置モータ、７６…移送モータ、７７…重量測定天秤、７８…受液容器、７９…フラッシングエリア、１００…制御装置、１０１…ＣＰＵ、１０２…ＲＯＭ、１０３…ＲＡＭ、１０４…入出力装置、１０５…Ｘ軸リニアモータ駆動回路、１０６…Ｙ軸リニアモータ駆動回路、１０７…駆動波形生成回路、１０８…ヘッド駆動回路、１１１…配置モータ駆動回路、１１２…移送モータ駆動回路。

Claims (6)

1. 搬送テーブルに載置された基板を主走査方向に搬送させ、前記主走査方向に直交する副走査方向に並設されたキャリッジの液滴吐出ヘッドの各ノズルから機能液を液滴にして吐出し、前記基板にパターンを形成するパターン形成装置の液滴吐出ヘッドの液滴吐出量測定方法において、
   前記搬送テーブルと並設され、前記搬送テーブルとは独立して主走査方向に移動する重量検査テーブルを設け、
   前記重量検査テーブルに、重量測定ユニットを前記副走査方向に移動可能に搭載し、前記重量測定ユニットを各キャリッジに設けた前記液滴吐出ヘッドの直下に移動させて、前記各液滴吐出ヘッドの各ノズルからの液滴を前記重量測定ユニットの受液容器に着弾させて、前記各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量を測定することを特徴とする液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法。
2. 請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法において、
   前記重量検査テーブルには、前記液滴吐出ヘッドが、同液滴吐出ヘッドの各ノズルから液滴を吐出するフラッシング動作を行ったとき、前記液滴を収容するフラッシング回収台を設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法。
3. 請求項２に記載の液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法において、
   前記フラッシング回収台は、前記重量測定ユニットが前記副走査方向に移動可能な第１待機位置と、前記重量測定ユニットが前記副走査方向に移動する軌跡上の第２待機位置との間を、前記主走査方向に往復移動可能に設けられたことを特徴とする液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法。
4. 請求項２または３に記載の液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法において、
   前記吐出重量を測定するときには、前記各キャリッジの直下には、前記重量測定ユニットまたは前記フラッシング回収台のどちらか一方が配置されることを特徴とする液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法において、
   前記重量測定ユニットには、前記受液容器に前記各キャリッジの任意の１つの液滴吐出ヘッドが臨んだとき、同キャリッジの他の全ての液滴吐出ヘッドのフラッシング動作による液滴を収容するフラッシングエリアを設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法。
6. 請求項１〜５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法において、
   前記重量検査テーブルには、前記重量測定ユニットを１台設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法。

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