JP2011215173A - インクジェット塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を載置するステージと、前記ステージ上の基板に対して相対的に移動し、インクを吐出するノズルを有するヘッドを複数有する塗布ユニットを備え、塗布ユニットを相対的に移動させつつノズルから基板の所定位置にインクを着弾させることにより、基板上にインクを塗布するインクジェット塗布装置であって、前記塗布ユニットは、前記複数のヘッドを一体的に取付けて支持するヘッドケース部と、このヘッドケース部を所定の位置に位置決めする位置決め機構と、前記ヘッドケース部の現在位置を計測する位置計測部と、を備える構成とする。
【選択図】図2
Description
前記ヘッドケース部の現在位置を計測する位置計測部と、を備えていることを特徴としている。
また、ヘッドケース部31は、このビーム部材30bに図示しない昇降機構により昇降自在に取付けられている。これにより、インクの塗布時には、基板Wとノズル5aとを適切な距離に調節して塗布動作が行われ、塗布を行わない待避状態等の場合には、ノズル5aの損傷を防止するため、ノズル5a位置を安全な高い位置に位置させることができるようになっている。
3 塗布ユニット
4 カメラユニット
5 ヘッド
6 位置決め機構
7 位置計測部
31 ヘッドケース部
Claims (4)
- 基板を載置するステージと、前記ステージ上の基板に対してインクを吐出するノズルを有するヘッドを複数有する塗布ユニットを備え、塗布ユニットと基板とを相対的に移動させつつ前記ノズルから基板の所定位置にインクを着弾させることにより、基板上にインクを塗布するインクジェット塗布装置であって、
前記塗布ユニットは、前記複数のヘッドを一体的に取付けて支持するヘッドケース部と、
このヘッドケース部を所定の位置に位置決めする位置決め機構と、
前記ヘッドケース部の現在位置を計測する位置計測部と、
を備えていることを特徴とするインクジェット塗布装置。 - 前記ノズルにより吐出されるインクの吐出位置情報を記憶する制御装置をさらに備えており、前記制御装置は、塗布直前に前記位置計測部により計測したヘッドケース部の現在位置と、前記吐出位置情報を取得したときの前記位置計測部により計測したヘッドケース部の現在位置との差から、ヘッドケース部の変形量を算出し、この変形量を用いて前記吐出位置情報を補正することを特徴とする請求項1に記載のインクジェット塗布装置。
- 前記ヘッドケース部は、一方向に長尺な矩形形状を有しており、前記位置計測部は、前記ヘッドケース部の長尺方向における位置を計測することを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェット塗布装置。
- 前記塗布ユニットは、ステージ上の基板よりも外側に配置される脚部と、これらの脚部を連結し前記基板と対向する石材製のビーム部材とを有しており、このビーム部材に前記ヘッドケース部が設けられ、前記位置計測部は、前記ビーム部材に取付けられたスケールと、前記ヘッドケース部に取付けられ前記スケールを読み取る位置検出ヘッドとによって形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のインクジェット塗布装置。
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