JP2007256449A - 液滴噴射検査装置、液滴噴射装置及び塗布体の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】サテライトである付随滴の発生を短時間で検出することができ、さらに、塗布対象物上の液滴の着弾位置を精度良く求めることができる液滴噴射検査装置及び液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズルから液滴を噴射する液滴噴射ヘッドにより噴射された液滴Ｅが着弾する領域を含む検査領域の画像を撮像する撮像部１９ｂと、撮像した検査領域の画像を画像処理し、液滴Ｅの主滴Ｅ１より小さくその主滴Ｅ１に付随する付随滴Ｅ２の有無を判断する手段２０ａとを備える。
【選択図】図３

Description

本発明は、液滴の着弾異常を検査する液滴噴射検査装置、その液滴噴射検査装置を備える液滴噴射装置及び塗布体の製造方法に関する。

通常、インクジェット方式の液滴噴射装置は、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）装置、電子放出装置、プラズマ表示装置及び電気泳動表示装置等を製造するために用いられている。

この液滴噴射装置は、複数のノズルからそれぞれ液滴を噴射する液滴噴射ヘッド（例えば、インクジェットヘッド）を備えており、その液滴噴射ヘッドにより塗布対象物に液滴を着弾させ、所定のパターンのドット列を形成する。例えば、液晶表示装置の製造工程では、液滴噴射装置を用いて透明基板上にＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の各色のインクをドット状に順次塗布することにより、各色のドットが順次配列されたカラーフィルタを作成する。

このような液滴噴射装置では、液滴がノズルから噴射されると、その液滴の主滴が噴射された後に、主滴よりも小さくて速度が遅い微少な付随滴、すなわちサテライトが噴射されることがある。サテライトは、主滴に対して時間的に遅れ、また、微少滴であるため、飛散しやすく、所定のパターン形状以外の領域に着弾する可能性が高い。このため、サテライトがパターン形状に悪影響を及ぼす場合には、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等の表示装置の表示機能等が低下してしまう。

このサテライトの発生を検出する方法としては、液滴噴射ヘッドに印加する印加電圧を順次変化させ、それに応じて複数のノズル毎に飛翔中の液滴を順次撮像し、サテライトの発生を検出する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００５−１４２１６号公報

しかしながら、前述の技術では、複数のノズル毎に液滴を順次噴射し、飛翔中の液滴を順次撮像するため、検査時間が長くなってしまう。また、飛翔中の液滴を撮像するため、塗布対象物上の液滴（主滴及び付随滴）の着弾位置を精度良く求めることは困難である。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、サテライトである付随滴の発生を短時間で検出することができ、さらに、塗布対象物上の液滴の着弾位置を精度良く求めることができる液滴噴射検査装置、液滴噴射装置及び塗布体の製造方法を提供することである。

本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、液滴噴射検査装置において、ノズルから液滴を噴射する液滴噴射ヘッドにより噴射された液滴が着弾する領域を含む検査領域の画像を撮像する撮像部と、撮像した検査領域の画像を画像処理し、液滴の主滴より小さくその主滴に付随する付随滴の有無を判断する手段とを備えることである。

本発明の実施の形態に係る第２の特徴は、液滴噴射装置において、ノズルから液滴を噴射する液滴噴射ヘッドと、前述の第１の特徴に係る液滴噴射検査装置とを備えることである。

本発明の実施の形態に係る第３の特徴は、塗布体の製造方法において、液滴を噴射させ、付随液の有無を検出し、付随液が有ることが検出された場合には、液滴噴射させるために圧電素子に加える電圧を調整し、再度液滴を噴射させる電圧調整工程を有することである。

本発明によれば、サテライトである付随滴の発生を短時間で検出することができ、さらに、塗布対象物上の液滴の着弾位置を精度良く求めることができる。

（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態について図１ないし図６を参照して説明する。

図１に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る液滴噴射装置１は、ノズルからインクの液滴Ｅを噴射する液滴噴射ヘッド（インクジェットヘッド）２を用いて塗布対象物である基板３にインクを塗布するためのインク塗布ボックス１Ａと、そのインク塗布ボックス１Ａにインクを供給するためのインク補給ボックス１Ｂと、液滴噴射ヘッド２の液滴Ｅの着弾異常を検査するための液滴噴射検査ボックス１Ｃとから構成されている。これらのインク塗布ボックス１Ａ、インク補給ボックス１Ｂ及び液滴噴射検査ボックス１Ｃは、互いに隣接して配置され、共に架台４の上面に固定されている。

インク塗布ボックス１Ａの内部には、Ｙ軸方向スライド板５、Ｙ軸方向移動テーブル６、Ｘ軸方向移動テーブル７及び基板保持テーブル８が積層されている。これらのＹ軸方向スライド板５、Ｙ軸方向移動テーブル６、Ｘ軸方向移動テーブル７及び基板保持テーブル８は平板状に形成されている。

Ｙ軸方向スライド板５は架台４の上面に固定されている。Ｙ軸方向スライド板５の上面には、複数のガイド溝５ａがＹ軸方向に沿って設けられている。これらのガイド溝５ａには、Ｙ軸方向移動テーブル６の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合されている。これにより、Ｙ軸方向移動テーブル６は、Ｙ軸方向に移動可能にＹ軸方向スライド板５の上面に設けられている。このＹ軸方向移動テーブル６は、Ｙ軸方向移動モータ（図示せず）を用いる駆動機構により各ガイド溝５ａに沿ってＹ軸方向に移動する。

Ｙ軸方向移動テーブル６の上面には、複数のガイド溝６ａがＸ軸方向に沿って設けられている。これらのガイド溝６ａには、Ｘ軸方向移動テーブル７の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合されている。これにより、Ｘ軸方向移動テーブル７は、Ｘ軸方向に移動可能にＹ軸方向移動テーブル６の上面に設けられている。このＸ軸方向移動テーブル７は、Ｘ軸方向移動モータ（図示せず）を用いる駆動機構により各ガイド溝６ａに沿ってＸ軸方向に移動する。

Ｘ軸方向移動テーブル７の上面には、基板３を保持する基板保持テーブル８が固定されている。この基板保持テーブル８は、基板３を把持する基板把持機構９を備えており、その基板把持機構９により基板保持テーブル８上に基板３を密着固定する。基板把持機構９としては、例えばコの字型の挟み金具等を用いる。なお、基板３の保持手段としては、基板把持機構９に代えて、例えば、基板３を吸着する基板吸着機構を設けるようにしてもよい。基板吸着機構としては、例えばゴム吸盤や吸引ポンプ等を用いる。

ここで、基板保持テーブル８のＸ軸方向への移動量は、Ｘ軸方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出され、同様に、基板保持テーブル８のＹ軸方向への移動量は、Ｙ軸方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出される。

インク塗布ボックス１Ａの内部には、２本のコラム（支柱）１０が立設されている。また、液滴噴射検査ボックス１Ｃの内部にも、１本のコラム１０が立設されている。インク塗布ボックス１Ａの内部に位置する２本のコラム１０は、Ｙ軸方向スライド板５のガイド溝５ａと直交する方向、すなわちＸ軸方向においてＹ軸方向スライド板５を挟む位置に設けられている。また、液滴噴射検査ボックス１Ｃの内部に位置する１本のコラム１０は、２本のコラム１０と同一直線上に設けられている。

これらのコラム１０には、Ｘ軸方向スライド板１１が横架されている。Ｘ軸方向スライド板１１の前面には、ガイド溝１１ａがＸ軸方向に沿って設けられている。このガイド溝１１ａには、液滴噴射ヘッド２をそれぞれ有する複数のインクジェットヘッドユニット１２を垂設するベース板１３の背面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合されている。これにより、ベース板１３はＸ軸方向に移動可能にＸ軸方向スライド板１１に設けられている。このベース板１３、すなわちインクジェットヘッドユニット１２は、ヘッドユニット移動モータ（図示せず）を用いる駆動機構によりガイド溝１１ａに沿ってＸ軸方向に移動する。

各インクジェットヘッドユニット１２の先端には、液滴噴射ヘッド２がそれぞれ設けられている。液滴噴射ヘッド２は、供給パイプ１４を介してインクタンク１５からインクの供給を受ける。インクタンク１５は、インク補給ボックス１Ｂに設けられたインク補給タンク１６に接続されており、常にインク補給タンク１６からインクの供給が受けられる状態になっている。

インクジェットヘッドユニット１２には、基板３の表面（上面）に対して垂直方向、すなわちＺ軸方向に液滴噴射ヘッド２を移動させるＺ軸方向移動機構１２ａと、液滴噴射ヘッド２をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構１２ｂと、液滴噴射ヘッド２をθ方向に回転させるθ方向回転機構１２ｃとが設けられている。これにより、液滴噴射ヘッド２は、Ｚ軸方向及びＹ軸方向に移動可能であり、θ軸方向に回転可能である。

また、インク塗布ボックス１Ａの内部には、液滴噴射ヘッド２のノズルのインク目詰まり等を清掃するためのヘッドメンテユニット１７が設けられている。このヘッドメンテユニット１７は、インクジェットヘッドユニット１２の移動方向の直線上であって基板３から離隔した位置に配置されている。なお、インクジェットヘッドユニット１２がヘッドメンテユニット１７に対向する位置まで移動すると、ヘッドメンテユニット１７はノズルの目詰まり等を自動的に洗浄する。

液滴噴射検査ボックス１Ｃの内部には、液滴噴射検査装置１８が設けられている。液滴噴射検査装置１８は、液滴噴射ヘッド２により噴射された液滴Ｅの着弾を検査する検査部１９及びその検査部１９を駆動制御する検査制御ユニット２０を備えている。検査部１９は、塗布対象物である検査基板３ａに着弾した液滴Ｅを撮像し、その着弾異常の発生を検出する。また、検査制御ユニット２０は、検査部１９の各部を駆動制御し、液滴Ｅの着弾異常の発生を検出する動作を検査部１９に実行させる。

架台４の内部には、液滴噴射装置１、主にインク塗布ボックス１Ａの各部を制御する制御部２１が設けられている。この制御部２１と検査制御ユニット２０とは電気的に接続されており、互いに制御信号等の各種の信号を送受信する。

制御部２１は、各種のプログラムを記憶する記憶部を有しており、それらのプログラムに基づいて、Ｙ軸方向移動テーブル６の移動制御、Ｘ軸方向移動テーブル７の移動制御、ベース板１３の移動制御、Ｚ軸方向移動機構１２ａの駆動制御、Ｙ軸方向移動機構１２ｂの駆動制御及びθ方向回転機構１２ｃの駆動制御等を行う。これにより、基板保持テーブル８に保持された基板３と、ベース板１３に垂設されたインクジェットヘッドユニット１２との相対位置を色々と変化させることができる。

次に、液滴噴射ヘッド２について詳しく説明する。

図２に示すように、液滴噴射ヘッド２は、インクタンク１５から供給されたインクＩを収容する複数のインク室３１と、各インク室３１の壁の一部を形成するダイヤフラム３２と、各インク室３１にそれぞれ対応させて設けられた複数の圧電素子（アクチュエータ）３３と、各インク室３１にそれぞれ連通する複数のノズル（貫通孔）３４を有し各インク室３１の壁の一部を形成するノズルプレート３５とを備えている。

各ノズル３４は、一定のピッチ間隔で直線上に位置付けられノズルプレート３５に形成されている。また、ダイヤフラム３２は板状に形成されている。このダイヤフラム３２には、各圧電素子３３がそれぞれ接着固定されている。ダイヤフラム３２は、各圧電素子３３の駆動により変形するので、ダイヤフラム３２の変形に応じてインク室３１の容積が増減する。これに応じて、インク室３１内のインクＩがノズル３４から液滴Ｅとして噴射される。

詳しくは、各圧電素子３３は、電圧が印加されると縮み、ダイヤフラム３２を上方に移動させ、ダイヤフラム３２の形状を変化させる。このとき、インク室３１内の圧力は負となり、インクＩがインクタンク１５から供給パイプ１４を介してインク室３１内に補充される。その後、圧電素子３３に対する印加電圧がゼロになると、ダイヤフラム３２が元の状態に戻る。このとき、インク室３１内が圧迫され、インクＩがノズル３４から液滴Ｅとして噴射される。

次いで、液滴噴射検査装置１８が備える検査部１９及び検査制御ユニット２０について詳しく説明する。

図３に示すように、検査部１９は、塗布対象物である検査基板３ａを載置するための載置台１９ａと、その載置台１９ａから離反して検査基板３ａの着弾面に対向する位置に設けられた撮像部１９ｂと、その撮像部１９ｂを載置台１９ａに対して水平に移動可能に支持する支持部１９ｃとを備えている。

載置台１９ａは、液滴噴射検査ボックス１Ｃの略中央の架台４上に設けられており、その上面に検査基板３ａを支持する。検査基板３ａの上面が、液滴Ｅが着弾する着弾面である。検査基板３ａとしては、例えばガラス基板等を用いる。

撮像部１９ｂは、支持部１９ｃに移動可能に設けられている。この撮像部１９ｂは、広角及び望遠を切り替える光学ズーム機能を有しており、図４に示すように、液滴噴射ヘッド２により噴射された液滴Ｅが着弾する領域を含む検査領域の画像を撮像する。ここで、検査領域は、検査基板３ａの着弾面（上面）である。

支持部１９ｃは、アーム状に形成されており、載置台１９ａ上に設けられている。この支持部１９ｃは、撮像部１９ｂを検査基板３ａの着弾面に対して水平方向、例えばＸ軸方向に案内するガイド溝１９ｄを有している。このガイド溝１９ｄには、撮像部１９ｂに設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合されている。これにより、撮像部１９ｂは、ガイド溝１９ｄに沿ってＸ軸方向に移動する。

検査制御ユニット２０は、撮像部１９ｂを駆動制御する検査制御部２０ａと、撮像部１９ｂにより撮像した検査基板３ａの着弾面の画像等の各種の画像を表示する表示部２０ｂとを備えている。表示部２０ｂとしては、液晶ディスプレイやＣＲＴディスプレイ等を用いる。

検査制御部２０ａは、撮像部１９ｂ及び架台４内の制御部２１に電気的に接続されている。この検査制御部２０ａは、各種のプログラムを記憶する記憶部を有しており、それらのプログラムに基づいて各種の処理を実行する。

例えば、検査制御部２０ａは、撮像部１９ｂを駆動制御し、ガイド溝１９ｄに沿って撮像位置及び待機位置に移動させる。撮像位置は、撮像部１９ｂが検査基板３ａの略中央に対向する位置である。また、待機位置は、撮像部１９ｂが、検査基板３ａに対する各インクジェットヘッドユニット１２の噴射動作を妨げない位置であり、検査基板３ａに対向しない位置である。

また、検査制御部２０ａは、撮像部１９ｂにより撮像した検査領域の画像、すなわち検査基板３ａの着弾面の画像（図４参照）を画像処理し、液滴Ｅの主滴Ｅ１より小さくその主滴Ｅ１に付随する付随滴Ｅ２の有無を検出する。

次に、このような構成の液滴噴射装置１の液滴噴射動作及び検査動作について説明する。なお、検査動作は、液滴噴射装置１の立上げ時に実行されたり、あるいは、定期的に例えば１時間毎に実行されたりする。

架台４内の制御部２１及び液滴噴射検査装置１８の検査制御部２０ａが、記憶部に格納された各種のプログラムに基づいて液滴噴射動作及び検査動作を実行する。ここで、各インクジェットヘッドユニット１２はヘッドメンテユニット１７に対向する待機位置に待機している。また、撮像部１９ｂは検査基板３ａに対向しない待機位置に待機している。

液滴噴射装置１の液滴噴射動作では、制御部２１は、各インクジェットヘッドユニット１２を待機位置から基板３に対向する位置まで移動させる。これにより、各インクジェットヘッドユニット１２はＸ軸方向スライド板１１のガイド溝１１ａに案内され、基板３に対向する位置まで移動する。

この状態で、制御部２１は、Ｙ軸方向移動テーブル６及びＸ軸方向移動テーブル７を駆動制御し、加えて、各インクジェットヘッドユニット１２の液滴噴射ヘッド２の噴射動作を駆動制御する。これに応じて、液滴噴射ヘッド２は、Ｙ軸方向に移動する基板３に液滴Ｅを着弾させ、所定のパターンのドット列を順次形成する。

一方、液滴噴射装置１の検査動作では、図５に示すように、まず、検査制御部２０ａは、各インクジェットヘッドユニット１２を液滴噴射検査装置１８の載置台１９ａ上の検査基板３ａに対向する位置まで移動させ、さらに、液滴Ｅを噴射させるための制御信号を制御部２１に送信し（ステップＳ１）、各インクジェットヘッドユニット１２の液滴噴射ヘッド２の噴射動作及び退避移動の完了に待機する（ステップＳ２のＮＯ）。

その制御信号に応じて、制御部２１は、各インクジェットヘッドユニット１２を液滴噴射検査装置１８の載置台１９ａ上の検査基板３ａに対向する位置まで移動させる。これにより、各インクジェットヘッドユニット１２はＸ軸方向スライド板１１のガイド溝１１ａに案内され、載置台１９ａ上の検査基板３ａに対向する位置まで移動する。

この状態で、制御部２１は、各インクジェットヘッドユニット１２の液滴噴射ヘッド２に、液滴Ｅを噴射する噴射動作を実行させる。これにより、各インクジェットヘッドユニット１２の液滴噴射ヘッド２は、各ノズル３４から液滴Ｅを検査基板３ａの着弾面に向けてそれぞれ噴射する。それらの液滴Ｅは、載置台１９ａ上の検査基板３ａの着弾面にドット列として着弾する（図４参照）。

その後、制御部２１は、各インクジェットヘッドユニット１２を待機位置まで移動させる。これにより、各インクジェットヘッドユニット１２はＸ軸方向スライド板１１のガイド溝１１ａに案内され、待機位置まで移動する。また、制御部２１は、各インクジェットヘッドユニット１２の噴射動作及び退避移動の完了を通知する通知信号を検査制御部２０ａに送信し、検査制御部２０ａからの許可信号の受信に待機する。

次いで、検査制御部２０ａは、通知信号を受信し、各インクジェットヘッドユニット１２の噴射動作及び退避移動が完了したと判断した場合（ステップＳ２のＹＥＳ）、撮像部１９ｂを撮像位置まで移動させる（ステップＳ３）。これにより、撮像部１９ｂは、支持部１９ｃのガイド溝１９ｄに案内され、検査基板３ａの略中央に対向する撮像位置まで移動する。

その後、検査制御部２０ａは、撮像部１９ｂに撮像動作を実行させる（ステップＳ４）。これに応じて、撮像部１９ｂは、液滴Ｅが着弾する領域を含む検査領域、すなわち検査基板３ａの着弾面の画像を撮像する。

次に、検査制御部２０ａは、撮像部１９ｂにより撮像した検査基板３ａの着弾面の画像を表示部２０ｂに表示させる（ステップＳ５）。これに応じて、表示部２０ｂは検査基板３ａの着弾面の画像を表示する。次いで、検査制御部２０ａは、撮像部１９ｂにより撮像した検査基板３ａの着弾面の画像を画像処理し、液滴Ｅの主滴Ｅ１より小さくその主滴Ｅ１に付随する付随滴（サテライト）Ｅ２の有無を判断する（ステップＳ６）。

例えば、検査基板３ａの着弾面の画像を２値化処理し、各液滴Ｅ（主滴Ｅ１）を示す黒領域のピッチ間に、付随滴Ｅ２を示す黒点があるか否かを判断する。黒点があると判断した場合には、付随滴Ｅ２が有ると判断し、黒点がない場合には、付随滴Ｅ２がないと判断する。また、検査基板３ａの着弾面の画像を２値化処理し、各液滴Ｅ（主滴Ｅ１及び付随滴Ｅ２）の面積を算出し、その面積が所定値より小さいか否かを判断する。算出した面積が所定値より小さい場合、付随滴Ｅ２が有ると判断し、算出した面積が所定値より大きい場合、付随滴Ｅ２が無いと判断する。

検査制御部２０ａは、付随滴Ｅ２が有ると判断した場合（ステップＳ６のＹＥＳ）、付随滴Ｅ２が発生したことを報知する（ステップＳ７）。例えば、検査制御部２０ａは、付随滴Ｅ２が発生したことを報知する画像等を表示部２０ｂに表示させる。これに応じて、表示部２０ｂは、付随滴Ｅ２が発生したことを報知する報知画像等を表示する。一方、付随滴Ｅ２が無いと判断した場合には（ステップＳ６のＮＯ）、液滴噴射装置１の液滴噴射動作を許可する許可信号を制御部２１に送信する（ステップＳ８）。これに応じて、制御部２１は前述の液滴噴射動作を実行する。

なお、付随滴Ｅ２の発生が報知された場合には、操作者は、付随滴Ｅ２の発生を認識し、その付随滴Ｅ２の着弾位置がパターン形状に悪影響を与える場合等、液滴噴射ヘッド２の各圧電素子３３にそれぞれ印加する各印加電圧等の設定を変更したり、液滴噴射ヘッド２のノズルプレート３５を交換したり、あるいは、液滴噴射ヘッド２を交換したりする。

以上説明したように、本発明の第１の実施の形態によれば、液滴噴射ヘッド２により噴射された液滴Ｅが着弾する領域を含む検査領域、すなわち検査基板３ａの着弾面の画像を撮像し、撮像した検査基板３ａの着弾面の画像を画像処理し、液滴Ｅの主滴Ｅ１より小さくその主滴Ｅ１に付随する付随滴Ｅ２の有無を判断することによって、各ノズル３４からそれぞれ噴射された複数の液滴Ｅを同時に検査することが可能になるので、サテライトである付随滴Ｅ２の発生を短時間で検査することができる。さらに、検査基板３ａの着弾面の画像が撮像されるので、検査基板３ａ上の液滴Ｅの着弾位置を精度良く求めることができる。例えば、各液滴Ｅ間のピッチ距離や主滴Ｅ１から付随滴Ｅ２までの距離等を精度良く求めることができる。

ここで、液滴噴射検査装置１８を用いて、１つの液滴噴射ヘッド２の各圧電素子３３に印加する印加電圧を順次変化させて液滴Ｅを噴射させ、そのときの付随滴（サテライト）Ｅ２の発生数を求めた場合には、図６に示すように、印加電圧とサテライト発生数との関係を示す波形が得られる。これにより、サテライト発生数が０になる印加電圧が求められる。したがって、サテライト発生数が０になる範囲内に印加電圧を設定することにより、サテライトの発生を確実に防止することができる。このとき、検査制御部２０ａは、その検査制御部２０ａに接続されたキーボード等の入力部に対する操作者の入力操作に応じて、あるいは、図６に示すような波形のデータを記憶し、その波形に基づいて、サテライト発生数が０になる範囲内に印加電圧を設定する。

なお、サテライト発生数が０になる範囲内に印加電圧を設定する場合には、設定する印加電圧が、所望の噴射量を得ることができる印加電圧の範囲内にあることを確認する必要がある。設定する印加電圧が、所望の噴射量を得ることができる印加電圧の範囲内にない場合には、液滴噴射ヘッド２のノズルプレート３５を交換したり、あるいは、液滴噴射ヘッド２を交換したりする必要がある。

このように液滴を噴射させ、サテライトの有無を検出し、サテライトが有ることが検出された場合には、液滴噴射させるために圧電素子３３に加える印加電圧を調整し、再度液滴を噴射させる電圧調整工程を有することから、サテライトの発生を確実に防止することができる。

（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態について図７を参照して説明する。

本発明の第２の実施の形態は、基本的に第１の実施の形態と同様である。第２の実施の形態では、第１の実施の形態との相違点について説明し、第１の実施の形態で説明した部分と同一部分は同一符号で示し、その説明も省略する。

図７に示すように、検査制御部２０ａは、撮像部１９ｂにより撮像した検査領域の画像、すなわち検査基板３ａの着弾面の画像（図４参照）を画像処理し、その画像から液滴Ｅ（主滴Ｅ１及び付随滴Ｅ２）の面積を算出する（ステップＳ１１）。次いで、検査制御部２０ａは、算出した液滴Ｅの面積を、実験的に求めた液滴Ｅの面積と液滴量との相関式に代入し、液滴Ｅの噴射量を算出する（ステップＳ１２）。その後、検査制御部２０ａは、液滴噴射ヘッド２の各ノズル３４からそれぞれ噴射される各液滴Ｅの噴射量が略一定になるように、圧電素子３３に印加する印加電圧を圧電素子３３毎にそれぞれ設定する（ステップＳ１３）。

以上説明したように、本発明の第２の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができ、さらに、撮像部１９ｂにより撮像した検査領域の画像、すなわち検査基板３ａの着弾面の画像（図４参照）から各液滴Ｅの面積を求め、その面積に基づいて各液滴Ｅの噴射量を求めることによって、各液滴Ｅの噴射量が同時に精度良く求められるので、短時間で各液滴Ｅの噴射量を得ることができる。また、求めた各液滴Ｅの噴射量に応じて対応する各圧電素子３３の印加電圧を設定することによって、液滴噴射ヘッド２の各ノズル３４毎の液滴Ｅの噴射量が略一定になるので、精度良くパターン形成を行うことができる。

（他の実施の形態）
なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。

例えば、前述の実施の形態においては、液滴噴射ヘッド２に対して基板３を移動させているが、これに限るものではなく、例えば基板３に対して液滴噴射ヘッド２を移動させてもよく、液滴噴射ヘッド２と基板３とを相対移動させるようにすればよい。

また、前述の実施の形態においては、検査基板３ａ及び載置台１９ａを用いて検査を行っているが、これに限るものでもなく、例えば、それらの検査基板３ａ及び載置台１９ａを用いずに、インク塗布ボックス１Ａ内に撮像部１９ｂを設置し、インク塗布ボックス１Ａ内の基板３の検査領域（ダミーエリア）に液滴を着弾させ、その検査領域を撮像するようにしてもよい。この場合には、液滴噴射装置１の小型化を実現することができる。

また、前述の実施の形態においては、付随滴Ｅ２が有ると判断した場合、付随滴Ｅ２が発生したことを報知する報知画像を表示しているが、これに限るものではなく、例えば音やランプの点滅等により、付随滴Ｅ２が発生したことを報知するようにしてもよい。

本発明の第１の実施の形態に係る液滴噴射装置の概略構成を示す外観斜視図である。 図１に示す液滴噴射装置が備える液滴噴射ヘッドの概略構成を示す断面図である。 図１に示す液滴噴射装置が備える液滴噴射検査装置の概略構成を示す側面図である。 図３に示す液滴噴射検査装置が備える載置台上の液滴着弾後の検査基板を示す平面図である。 図３に示す液滴噴射検査装置の検査処理の流れを示すフローチャートである。 印加電圧とサテライト発生数との関係を説明するための説明図である。 本発明の第２の実施の形態に係る液滴噴射装置が備える液滴噴射検査装置の検査処理の流れの一部を示すフローチャートである。

符号の説明

１…液滴噴射装置、２…液滴噴射ヘッド、１８…液滴噴射検査装置、１９ｂ…撮像部、２０ａ…判断する手段（検査制御部）、２０ａ…面積を求める手段（検査制御部）、２０ａ…噴射量を求める手段（検査制御部）、３３…圧電素子、３４…ノズル、Ｅ…液滴、Ｅ１…主滴、Ｅ２…付随滴

Claims (4)

1. ノズルから液滴を噴射する液滴噴射ヘッドにより噴射された液滴が着弾する領域を含む検査領域の画像を撮像する撮像部と、
   撮像した前記検査領域の画像を画像処理し、前記液滴の主滴より小さくその主滴に付随する付随滴の有無を判断する手段と、
   を備えることを特徴とする液滴噴射検査装置。
2. 撮像した前記検査領域の画像から前記液滴の面積を求める手段と、
   求めた前記液滴の面積に基づいて前記液滴の噴射量を求める手段と、
   を備えることを特徴とする請求項１記載の液滴噴射検査装置。
3. ノズルから液滴を噴射する液滴噴射ヘッドと、
   請求項１又は２記載の液滴噴射検査装置と、
   を備えることを特徴とする液滴噴射装置。
4. 液滴を噴射させ、付随液の有無を検出し、前記付随液が有ることが検出された場合には、液滴噴射させるために圧電素子に加える電圧を調整し、再度液滴を噴射させる電圧調整工程を有することを特徴とする塗布体の製造方法。
   
   
   
   

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