JP4529755B2 - ドット径補正係数取得方法、ドット径測定方法およびドット径異常検出方法、並びにドット径測定装置、ドット径異常検出装置および液滴吐出装置 - Google Patents
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次に、ドット径補正係数取得方法について説明する。図6は、ドット径補正係数取得方法を示すフローチャートである。図6において、ROM73またはRAM74の動作プログラムによって、CPU72が演算処理を行い各動作を実行する。
次に、ドット径検出方法について説明する。図11は、ドット径検出方法を示すフローチャートである。図11において、ROM73またはRAM74の動作プログラムによって、CPU72が演算処理を行い各動作を実行する。
Claims (14)
- 電子画像におけるドット径の測定値を補正するための補正係数を取得するドット径補正係数取得方法であって、
既知のドット径で形成された複数のドットで構成されたドット列の前記電子画像を取得する画像取得ステップと、
前記電子画像の前記各ドットが形成されたドット位置のドット径を測定するドット径測定ステップと、
前記各ドット位置のドット径の測定値と前記既知のドット径の値が等しくなる補正係数を取得する補正係数取得ステップと、を有ることを特徴とするドッド径補正係数取得方法。 - 請求項1に記載のドット径補正係数取得方法において、
前記補正係数取得ステップは、前記電子画像における前記ドット列の位置と前記ドット列のドット径の測定値との関係を表す近似式を作成する近似式作成ステップと、
前記近似式が前記既知のドット径の値と等しくなる補正式を作成する補正式作成ステップと、を有し、
前記補正式から前記ドット列の位置に対して補正係数を取得することを特徴とするドット径補正係数取得方法。 - 請求項2に記載のドット径補正係数取得方法において、
前記近似式作成ステップは、4次式の多項式からなる近似式を作成することを特徴とするドット径補正係数取得方法。 - 請求項2または3に記載のドット径補正係数取得方法において、
前記補正式作成ステップは、X方向およびY方向の前記ドット列の位置に関する2次元的な補正式を作成することを特徴とするドット径補正係数取得方法 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載のドット径補正係数取得方法おいて、
前記画像取得ステップは、前記ドット列が前記電子画像のほぼ中心線に位置するように取得することを特徴とするドット径補正係数取得方法 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載のドット径補正係数取得方法において、
前記画像取得ステップは、前記電子画像の長手方向が前記ドット列の長手方向にほぼ一致することを特徴とするドット径補正係数取得方法。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載のドット径補正係数取得方法において、
前記ドット径測定ステップは、規定の輝度値をしきい値として2値化処理して前記ドット径を測定することを特徴とするドット径補正係数取得方法。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載のドット径補正係数取得方法を用いて、ノズルから吐出された液滴が検査ワーク上に着弾して得られたドット径を検出するドット径測定方法であって、
前記検査ワーク上に形成されたドット列の電子画像を取得する検査画像取得ステップと、
前記電子画像のドット径を測定する検査ドット径測定ステップと、
前記ドット径の測定値に前記各ドット位置に応じた前記補正係数を乗じることにより、ドット径の補正値を取得するドット径補正値取得ステップと、を有することを特徴とするドット径測定方法。 - 請求項8に記載のドット径測定方法を用いて、ノズルから吐出された液滴が検査ワーク上に着弾して得られたドット径の異常を検出するドット径異常検出方法であって、
前記ドット径補正値が、規定の範囲内であるか否かを判断する判断ステップを有することを特徴とするドット径異常検出方法。 - ノズルから吐出された液滴が検査ワーク上に着弾して得られたドット径を測定するドット径測定装置であって、
既知のドット径で形成された複数のドットで構成されたドット列の電子画像を取得する画像取得手段と、
前記電子画像の前記各ドットが形成されたドット位置のドット径を測定するドット径測定手段と、
前記各ドット位置のドット径の測定値と前記既知のドット径の値が等しくなる補正係数を取得する補正係数取得手段と、
前記検査ワーク上に形成されたドット列の電子画像を取得する検査画像取得手段と、
前記検査画像取得手段によって取得されたドットのドット径を測定する検査ドット径測定手段と、
前記検査ドット径測定手段によって取得されたドット径に前記各ドット位置に応じた前記補正係数を乗じて、ドット径補正値を取得するドット径補正値取得手段と、を有することを特徴とするドット径測定装置。 - 請求項10に記載のドット径測定装置において、
前記補正係数取得手段は、前記電子画像における前記ドット列の位置と前記ドット列のドット径の測定値との関係を表す近似式を作成する近似式作成手段と、
前記近似式が前記既知のドット径の値と等しくなる補正式を作成する補正式作成手段と、を有し、
前記補正式から前記ドット列の位置に対して補正係数を取得することを特徴とするドット径測定装置。 - 請求項10または11に記載のドット径測定装置において、
前記補正係数を記憶する記憶手段を有し、
前記記憶手段に記憶されている補正係数から得られる補正値を前記ドット径の測定値に乗じてドット径補正値を取得することを特徴とするドット径測定装置。 - 請求項10〜12のいずれか一項に記載のドット径測定装置を用いて、ノズルから吐出された液滴が検査ワーク上に着弾して得られたドット径の異常を検出するドット径異常検出装置であって、
前記ドット径補正値が、規定の範囲内であるか否かを判断する判断手段を有することを特徴とするドット径異常検出装置。 - 請求項10〜13のいずれか一項に記載のドット径測定装置またはドット径異常検出装置を備えた液滴吐出装置。
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