JP5044092B2

JP5044092B2 - インクジェット塗布装置および塗布体の製造方法

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Publication number: JP5044092B2
Application number: JP2004216106A
Authority: JP
Inventors: 強佐藤; 幸久長谷川; 淳木名瀬
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2004-07-23
Filing date: 2004-07-23
Publication date: 2012-10-10
Anticipated expiration: 2024-07-23
Also published as: US7314264B2; US20060187253A1; JP2006035041A

Description

本発明は、インクを微細な液滴にして、基板の所定のエリアに噴射するインクジェット方式を用いるインクジェット塗布装置、およびこのインクジェット塗布装置を用いた塗布体の製造方法に関する。

近年、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）や携帯電話などの発達に伴い薄型表示装置への需要が増加している。現在主流となっている液晶ディスプレイや、この液晶ディスプレイに代わる次世代表示装置の有力候補として有機ＥＬ（electroluminescence）ディスプレイなどが注目されている。

ここで図５を参照して、上記有機ＥＬディスプレイ等の薄型表示装置を作製するためのインクジェット塗布装置の一構成例を説明する。

このインクジェット塗布装置１０１は、インク塗布ボックス１０２と、インク補給ボックス１０３を有し、このインク塗布ボックス１０２とインク補給ボックス１０３は互いに隣接して配置され、共に架台１０４の上面に固定されている。

インク塗布ボックス１０２の内部には、Ｙ軸方向移動テーブル１０５、Ｘ軸方向移動テーブル１０６、及び基板１０７が順次積層されている。

Ｘ軸方向移動テーブル１０６は、Ｙ軸方向移動テーブル１０５上をＹ軸方向に移動し、基板１０７は、Ｘ軸方向移動テーブル１０６上をＸ軸方向に移動する。またＹ軸方向移動テーブル１０５を挟む両側には１組のコラム１１１が立設され、このコラム１１１に横架するようにＸ軸方向スライド板１１２が設けられている。このＸ軸方向スライド板１１２には、基板１０７面上にインクを噴射する塗布ヘッドユニット１１３がＸ軸方向に滑動可能に垂設されている。この塗布ヘッドユニット１１３の先端には、塗布ヘッド１１５が設けられている。

図６を参照して、この塗布ヘッド１１５の構成を説明する。図６は塗布ヘッドの断面模式図である。この塗布ヘッド１１５は、複数のノズル１５１ａ、１５１ｂ、１５１ｃと、これらノズルに連通して設けられるインク室１５２と、これら複数のインク室１５２を収容する流路ユニット１５３と、インク室１５２を封じるように設けられるダイヤフラム１５４と、このダイヤフラム１５４を介してインク室１５２上に配置されるアクチュエータ１５５を少なくとも備えている。

このアクチュエータ１５５に電圧を印加するとアクチュエータ１５５が変形し、ダイヤフラム１５４を介してインク室１５２の容積を変化する。アクチュエータ１５５が収縮した場合は、図示しないインク流路を介してインクタンク１１８からインクがインク室１５２に供給され、ダイヤフラム１５４が膨張するとノズル１５１ａ、１５１ｂ、１５１ｃからインクが噴射される。

このとき上記したＸ軸及びＹ軸方向移動テーブル１０５、１０６の移動やインクの噴射タイミングの制御を架台１０４に内臓される制御部１２０で制御することにより、基板１０７上の所望のエリア（画素又はセル）にインクを噴射することができる。
特開平１０−１３８５０９号公報

ところで、有機ＥＬディスプレイ等の薄型表示装置に求められる特性のひとつとして、表示領域全域における均一な明るさが求められている。発光層材料（インク）をインクジェット（以下、Ｉ／Ｊ方式）を用いて供給する場合、均一な明るさを実現するためには、画素内における乾燥後のインクの形状を表示領域全域においてできる限り同一にすることが必要である。そのためには各画素へのインクの液滴量を厳密に揃える必要がある。

しかし、全てのアクチュエータ１５５に同じ電圧を印加した場合、図７に示すように各ノズル１５１ａ、１５１ｂ、１５１ｃから噴射されるインクの液滴量は均一にはならない。それは、アクチュエータの特性ばらつきや、製造時のノズル形状のばらつきや、更にはインク室内に発生した気泡や混入したゴミの影響等に起因する液滴量ばらつきを完全に無くすことができないためである。

そこで従来は、図８に示すように、アクチュエータ１５５に所望の電圧を供給するために、図示していない電圧源からの電源電圧を可変抵抗ＶＲ１と固定抵抗Ｒ１で構成される抵抗分圧回路１２１で分圧し、可変抵抗ＶＲ１を手動で調整することで、所望の電圧をスイッチング回路１２２を介してアクチュエータ１５５に供給していた。

しかしながらこの方法は、ノズルが数個の場合は手動でも対応できるが、将来、大型ディスプレイを製造するためにノズル数が数百個に増えた場合は、液適量の調節に時間と手間が掛かるという問題がある。実際に６４個のノズルを備える塗布ヘッド３個をインクジェット塗布装置に搭載してノズル調整を行ったところ、塗布時間が数分であるのに対して、液滴量測定を含めた調整時間には数時間を要した。

また、作業者の手作業による調整は、作業者の感覚に頼ることから調整ばらつきが発生し易く、品質を安定化させることが難しいという問題もある。

本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、その第１の目的は、インクの液滴量の調整を自動化し、作業効率を向上させることで生産性を上げ、ひいては製品の低価格化を実現するインクジェット塗布装置、およびこのインクジェット塗布装置を用いた塗布体の製造方法を提供することにある。

また第２の目的は、各画素に対して噴射するインクの液滴量を均一化することで、インクの筋ムラ等を低減して、高品質な表示装置を製造するインクジェット塗布装置、およびこのインクジェット塗布装置を用いた塗布体の製造方法を提供することにある。

請求項１記載の本発明に係るインクジェット塗布装置は、複数のノズルと、前記ノズルごとに設けられ、電圧が印加されることで前記ノズルから基板へとインクの液滴を噴射させるアクチュエータとを有する塗布ヘッドと、前記アクチュエータに対する印加電圧の電圧値に対応するデジタル信号からなる値であるＤＡ設定値を生成するＤＡ設定値生成手段（電圧／ＤＡ設定値変換部）と、前記ＤＡ設定値生成手段から入力される前記ＤＡ設定値をアナログ信号に変換するＤＡコンバータと、前記ＤＡコンバータから前記アナログ信号を基準電圧として取得し、前記基準電圧をもとに、前記アクチュエータに対する印加電圧を出力電圧として生成する３端子レギュレータと、前記３端子レギュレータの出力電圧を前記アクチュエータに対して印加するスイッチング手段（スイッチング回路）と、事前に測定された、前記アクチュエータに対する印加電圧と前記ノズルから噴射されるインクの液滴量との関係を示す電圧対液適量情報を記憶する記憶手段と、前記スイッチング手段により前記アクチュエータに対して前記３端子レギュレータの出力電圧が印加されたことで前記ノズルから噴射されて基板上に着弾したインクを撮影する撮影手段（ＣＣＤカメラ）と、基板上に着弾したインクの着弾径を、前記撮影手段で得られた画像を解析することで測定し、前記着弾径に対応する液滴量を取得し、取得した液滴量に対応する電圧値を、前記電圧対液滴量情報を参照して、算出電圧値として算出する電圧算出手段（液適量／電圧変換部）と、前記電圧算出手段で算出された前記算出電圧値と、予め設定されている所定液適量に対する電圧値である設定電圧値との差分である電圧差分量を算出する電圧差分量算出手段（液適量／電圧変換部）とを備え、前記ＤＡ設定値生成手段は、前記電圧差分量算出手段により前記電圧差分量が算出されると、既に前記アクチュエータに印加されている印加電圧と、前記電圧差分量算出手段により算出された前記電圧差分量とから補正電圧値を算出し、前記補正電圧値を、以降の前記アクチュエータに対する印加電圧とすることを特徴とする。

請求項２記載の本発明に係る塗布体の製造方法は、複数のノズルと、前記ノズルごとに設けられ、電圧が印加されることで前記ノズルから基板へとインクの液滴を噴射させるアクチュエータとを有する塗布ヘッドを備えるインクジェット塗布装置を用いた塗布体の製造方法であって、前記アクチュエータに対する印加電圧の電圧値に対応するデジタル信号からなる値であるＤＡ設定値を生成し、前記ＤＡ設定値をＤＡコンバータに入力する工程と、前記ＤＡコンバータにより前記ＤＡ設定値をアナログ信号に変換し、前記アナログ信号を３端子レギュレータに、その基準電圧として入力する工程と、前記３端子レギュレータにおいて、前記基準電圧をもとに、前記アクチュエータに対する印加電圧を出力電圧として生成する工程と、前記３端子レギュレータの出力電圧を前記アクチュエータに対して印加する工程と、前記アクチュエータに対して前記３端子レギュレータの出力電圧が印加されたことで前記ノズルから噴射されて基板上に着弾したインクを撮影する工程と、基板上に着弾したインクの着弾径を、前記基板上に着弾したインクを撮影する工程で得られた画像を解析することで測定し、前記着弾径に対応する液滴量を取得し、取得した液滴量に対応する電圧値を、事前に測定された、前記アクチュエータに対する印加電圧と前記ノズルから噴射されるインクの液滴量との関係を示す電圧対液適量情報を参照して、算出電圧値として算出する工程と、前記算出電圧値と、予め設定されている所定液適量に対する電圧値である設定電圧値との差分である電圧差分量を算出する工程とを含み、前記ＤＡ設定値をＤＡコンバータに入力する工程は、前記電圧差分量を算出する工程において前記電圧差分量が算出されると、既に前記アクチュエータに印加されている印加電圧と、前記電圧差分量とから補正電圧値を算出し、前記補正電圧値を、以降の前記アクチュエータに対する印加電圧とする工程であることを特徴とする。

本発明によれば、インクの液滴量の調整を自動化することができるので、作業効率を向上させることができる。その結果、生産性が上がるので製品の低価格化を実現することができる。

また、従来の作業者の手動による調整に比べて調整分解能を微細化することができるので、手動時よりも精密な調整が可能となり、液滴量のばらつきが原因で発生していた筋ムラを低減することができる。これによりパネルの品質を向上させることができる。

以下、図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を説明する。

図１は、本発明のインクジェット塗布装置に設けられる電圧補正制御部１の構成を示すブロック図である。

この電圧補正制御部１は、アクチュエータの特性ばらつき、ノズル形状のばらつき、気泡やゴミ等がインク室やノズル付近に混入することなどが原因で各ノズルから噴射される液滴量がばらついた場合、その他経時的変化により液滴量が変化した場合でも、自動的に各ノズルに印加する電圧を補正して、常に所望の液滴量を噴射させることができる機能部である。

具体的な構成は、図１に示すように、ノズル液滴量情報２と、液滴量／電圧変換部３と、電圧／ＤＡ設定値変換部４と、可変電源部５とからなり、可変電源部５はＤＡコンバータ６と、３端子レギュレータ７を備えている。

３端子レギュレータ７の出力には、スイッチング回路１２２、及びアクチュエータ１５５が接続されている。尚、本実施の形態において、従来構成と同一部分には同一符号を付し、その説明を省略する。

ここでノズル液滴量情報２とは、アクチュエータ１５５に印加する電圧に対するインクの液滴量を対応付けてなる情報である。具体的には、アクチュエータ１５５に印加する電圧Ｖを段階的に上昇させたときに、ノズルから噴射されるインクの液滴量Ｑを測定して、この印加電圧に対する液滴量を関連付けてデータベース化したものである。測定結果はデータベース化することに限らず、グラフ化、若しくは直線近似化してもよい。

図２（ａ）は、このノズル液滴量情報２を模式化した図である。同図に示すようにノズル液滴量情報２は、電圧に対して液滴量がほぼ直線状を有する。ノズルのインク液滴特性は、図３に示すように、その製造時のバラツキにより個々に異なることから、本実施の形態においてはノズル液滴量情報２を、各ノズル毎に測定して測定結果を取得し、これを図示していない第１の記憶手段である記憶装置（例えば、ハードディスクなど）に予め記憶させておく。尚、本実施の形態においては、図２（ａ）に示した特性の変化量（即ち、直線近似の傾き）を利用して後工程の電圧算出を行う。

液適量／電圧変換部３は、実際に基板１０７上に噴射されたインクの着弾径Ｄを測定して、この着弾径Ｄに対する液滴量を算出する機能部である。またその一方で、電圧補正対象であるノズルのノズル液適量情報２を記憶装置から読み込み、ノズル液適量情報２の変化量（直線近似の傾き）に算出した液滴量を乗算した電圧値を算出する。

また、算出された電圧値と、予め設定されている所望液適量に対する電圧値を比較し、その電圧差分量ΔＶも算出する。ここで電圧差分量ΔＶ＝０の場合は電圧補正は行なわず、電圧差分量ΔＶが生じた場合に電圧差分量ΔＶを電圧／ＤＡ設定値変換部４に出力する。

電圧／ＤＡ設定値変換部４は、液適量／電圧変換部３から電圧差分量ΔＶを取得し、既にアクチュエータ１５５に印加されている電圧値Ｖに、今回取得した電圧差分量ΔＶを加算して補正電圧値Ｖ＋ΔＶを得る。そして、電圧／ＤＡ設定値変換部４は、予め記憶装置に記憶されている電圧対ＤＡ設定値情報（電圧値に対するＤＡ設定値を対応付けた情報）を参照して、この補正電圧値Ｖ＋ΔＶに対するＤＡ設定値を読み出し、読み出したＤＡ設定値を可変電源部５に出力する。

本実施の形態においては、インクジェット塗布装置の自動化を図るために、ノズル液適量情報２、液適量／電圧変換部３、電圧／ＤＡ設定値変換部４の信号処理工程は全てデジタル信号で処理する。しかし３端子レギュレータ７はアナログ信号を用いることから、ＤＡコンバータ６でデジタル信号をアナログ信号に変換する。ここで液適量／電圧変換部３の出力電圧とＤＡコンバータ６に互換性がない場合には、このように電圧／ＤＡ設定値変換部４を設けることで、補正電圧値Ｖ＋ΔＶを３端子レギュレータ７の使用電圧範囲に属するように電圧を変換する必要がある。

即ち、電圧／ＤＡ設定値変換部４は、液適量／電圧変換部３で算出された電圧差分量ΔＶを用いて算出した補正電圧値Ｖ＋ΔＶを、後段に接続されている３端子レギュレータ７に供給するときに、そのままの電圧値では供給できないので、３端子レギュレータ７の供給電圧に見合う電圧に変換する機能部である。またＤＡ設定値とは、例えば８ビット又は１６ビットのデジタル信号からなる値である。

ここで図２（ｂ）は、電圧対ＤＡ設定情報をグラフ化した模式図である。同図に示すように、電圧に対するＤＡ設定値もほぼ直線状を有する。

可変電源部５に内臓されるＤＡコンバータ６は、取得したＤＡ設定値をアナログ信号に変換して、これを３端子レギュレータ７に出力する機能部である。

３端子レギュレータ７は、上記アナログ信号を基準電圧として取得し、この基準電圧をもとに電圧を生成して、その出力電圧をスイッチング回路１２２に供給する。スイッチング回路１２２は、上記機能部の作用により新たに電圧補正された補正電圧値Ｖ＋ΔＶをアクチュエータ１５５に出力する。

上記構成によれば、予め各ノズル毎に印加電圧に対する液滴量（電圧対液滴量情報）を作成して記憶させておき、実際に基板上にインクが噴射されると、このインクの着弾径から液滴量を算出して、この液適量に対する電圧値を電圧対液滴量情報を参照して算出する。また、この算出された電圧値と、予め設定されている所望液適量に対する電圧値を比較し、その電圧差分量ΔＶも算出する。そして、既にアクチュエータ１５５に印加されている電圧値Ｖに、電圧差分量ΔＶを加算して補正電圧値Ｖ＋ΔＶを得る。次いで、この補正電圧値Ｖ＋ΔＶをＤＡ設定値に変換後、ＤＡコンバータ６でＤＡ設定値をアナログ信号に変換し、変換後のアナログ信号を３端子レギュレータ７の基準電圧に入力して、この出力電圧をスイッチング回路１２２に供給する。これにより基板上に噴射されたインク量が変化すると、アクチュエータ１５５に供給する電圧を自動的に修正して、所望の液滴量を出力する電圧を供給することができる。その結果、従来、手動で行なっていたインクの液適量の調整作業を自動化することができるので、作業効率を従来よりも飛躍的に向上させることができる。また、生産性を向上させることができるので、製品の低価格化を実現することが可能になる。

次に、本発明のインクジェット塗布装置のインク液滴調整方法を説明する。

まず、図１に示す電圧補正制御部１が設けられたインクジェット塗布装置に試し撃ち用基板を設定する。

次いで、制御部１２０の指令により、塗布ヘッド１１５からインクを噴射させ、基板に着弾したインクの着弾径をＣＣＤカメラ８で撮像し、これを画像処理して液滴量を算出する。この算出方法は、例えば、着弾径に対する液滴量換算表を予め作成しておき、この表をもとに着弾径に対する液滴量を算出すればよい。

上記測定方法により印加電圧と液滴量を関連付けた電圧対液滴量情報を作成して記憶装置に記憶させる。また、この測定を全ノズルに対しても行い、各ノズル毎のノズル液滴量情報２を記憶装置に記憶させる。

次に、インクジェット塗布装置に製品用のガラス基板を設定する。

制御部１２０の指令により、ノズルからインクを噴射させ、基板１０７に着弾したインクの着弾径をＣＣＤカメラ８で撮像し、これを画像処理してインクの液滴量を算出する。

次いで、液適量／電圧変換部３は、インクが噴射されたノズルの電圧対液滴量情報を読み込む。そして前工程で算出された液適量に対する電圧を算出する。この算出は、ノズルが有する固有の変化量（直線近似の傾き）に上記液適量を乗算して求める。そして、求めた電圧値と、予め設定されている所望液適量を噴射する電圧値とを比較して、その電圧差分量ΔＶを算出する。算出された電圧差分量ΔＶを電圧／ＤＡ設定値変換部４に出力する。

電圧／ＤＡ設定値変換部４は、既に印加されている電圧値Ｖに、今回取得した電圧差分量ΔＶを加算して補正電圧値Ｖ＋ΔＶを得る。その一方で、予め記憶装置に記憶されている電圧対ＤＡ設定値情報を読み込み、この電圧対ＤＡ設定値情報をもとに補正電圧値Ｖ＋ΔＶをＤＡ設定値に換算する。換算されたＤＡ設定値は、可変電源部５のＤＡコンバータ６に出力する。

ＤＡコンバータ６は、このＤＡ設定値をアナログ信号に変換して、３端子レギュレータ７の基準電圧用の入力端子に出力する。

３端子レギュレータ７は、入力端子に入力されたアナログ信号を基準電圧として出力電圧を生成して、この出力電圧をスイッチング回路１２２に供給する。

スイッチング回路１２２は、この出力電圧と、別途入力される噴射タイミングを制御する噴射信号（on_sig,off_sig）の制御に基づき、補正された新たな電圧値をアクチュエータ１５５に供給する。

アクチュエータ１５５は、スイッチング回路１２２から出力されるパルス信号がＯＮになると電荷をチャージし膨張する。これによりインク室が圧迫されてノズルから所望の液滴量のインクが噴射される。一方、パルス信号がＯＦＦになるとチャージされた電荷が放電され噴射が停止する。

従って、上記の電圧補正制御を行うことにより、アクチュエータに印加する印加電圧を逐次補正することができるので、常に一定液滴量のインクをノズルから噴射させることができる。

次に、上記電圧補正制御を含む表示装置の製造方法を説明する。

まず、インクジェット塗布装置に製品用のガラス基板を設定する。複数のノズル１５１を有する塗布ヘッドユニット１１３からインクが基板に対して噴射される。基板１０７はＸ軸方向移動テーブル１０６に吸着固定されており、塗布ヘッドユニット１１３がインクを噴射している間、Ｘ軸方向移動テーブル１０６はＸ方向にスキャンし、一列塗布が終了するとＹ軸方向移動テーブル１０５が塗布した幅分だけシフトして、２列目のインク塗布が開始される。

これを繰り返すことで基板上のセルに対し、インクが格子状に塗布されていく。この格子状のインクをＣＣＤカメラで撮影し、電圧補正制御部１で画像処理する。この処理結果をもとに逐次液滴量をチェックし、液滴量が所望の液滴量から外れた場合には、上述の電圧補正制御を行って、常に一定のインクが噴射されるように調整しながら表示装置を製造する。

尚、本実施の形態においては、図１に示した液滴量／電圧変換部３と電圧／ＤＡ設定値変換部４を制御部１２０に内蔵させる構成にしたが、例えば、電圧補正制御部１の全体を制御部１２０に収容するようにしてもよいし、一部を装置の外部に設置するようにしてもよい。

また本実施の形態においては、ノズル液滴量情報２を製品製造前のインク試し撃ち時に１回測定し、これを記憶装置にプロファイルとして保存しているが、この情報は一定期間経過毎に更新したり、逐次新しい情報に更新するようにしてもよい。

特にアクチュエータ１５５は、経年変化により徐々に液滴量が低下していくため、一定期間経過後に更新した方が電圧の補正が行い易い。

また本実施の形態においては、基板１０７に噴射されたインクの着弾径Ｄを測定する機能として、図３に示すように、基板１０７表面の状態を撮像するＣＣＤカメラ８を設けた。これにより着弾径を撮像し画像解析することで液滴量の算出が簡便化できる。このような構成により、液滴量の測定から所望の液滴量の噴射まで、ファインチューニングを完全に自動化することができる。しかし撮像方法はＣＣＤカメラ８に限らず、着弾径又は液滴量を精密に測定できるものであれば、その手段は特に問わない。

以上のように本発明によれば、インクの液滴量調整を自動化することができる。これにより作業効率を向上させることができるので、生産性を上げることが期待できる。また生産性の向上により製品の低価格化を実現することが可能になる。

また、上記構成によれば、各画素に対して噴射するインクの液滴量を均一化することができるので、インクの筋ムラ等を低減することができる。その結果、高品質な表示装置を製造することが可能になる。

本発明のインクジェット塗布装置に設けられる電圧補正制御部の構成を示すブロック図である。（ａ）は、電圧（Ｖ）と液滴量（Ｑ）の関係を示す電圧対液滴量情報の模式的な図であり、（ｂ）は、電圧（Ｖ）とＤＡ設定値の関係を示す電圧対ＤＡ設定値情報の模式的な図である。本発明のインクジェット塗布装置の全体構成を示す模式図である。ノズル毎の液適量を示す図である。従来のインクジェット塗布装置の全体構成を示す図である。塗布ヘッドの断面模式図である。指令電圧値と液適量の関係を示す図である。従来の電圧調整部の構成を示すブロック図である。

符号の説明

１…電圧補正制御部、２…ノズル液滴量情報、３…液滴量／電圧変換部、４…設定値変換部、５…可変電源部、６…ＤＡコンバータ、７…端子レギュレータ、８…ＣＣＤカメラ、１０１…インクジェット塗布装置、１０２…インク塗布ボックス、１０３…インク補給ボックス、１０４…架台、１０５…Ｙ軸方向移動テーブル、１０６…Ｘ軸方向移動テーブル、１０７…基板、１１１…コラム、１１２…Ｘ軸方向スライド板、１１３…塗布ヘッドユニット、１１５…塗布ヘッド、１１８…インクタンク、１２０…制御部、１２１…抵抗分圧回路、１２２…スイッチング回路、１５１ａ，１５１ｂ，１５１ｃ…ノズル、１５２…インク室、１５３…流路ユニット、１５４…ダイヤフラム、１５５…アクチュエータ

Claims

複数のノズルと、前記ノズルごとに設けられ、電圧が印加されることで前記ノズルから基板へとインクの液滴を噴射させるアクチュエータとを有する塗布ヘッドと、
前記アクチュエータに対する印加電圧の電圧値に対応するデジタル信号からなる値であるＤＡ設定値を生成するＤＡ設定値生成手段と、
前記ＤＡ設定値生成手段から入力される前記ＤＡ設定値をアナログ信号に変換するＤＡコンバータと、
前記ＤＡコンバータから前記アナログ信号を基準電圧として取得し、前記基準電圧をもとに、前記アクチュエータに対する印加電圧を出力電圧として生成する３端子レギュレータと、
前記３端子レギュレータの出力電圧を前記アクチュエータに対して印加するスイッチング手段と、
事前に測定された、前記アクチュエータに対する印加電圧と前記ノズルから噴射されるインクの液滴量との関係を示す電圧対液適量情報を記憶する記憶手段と、
前記スイッチング手段により前記アクチュエータに対して前記３端子レギュレータの出力電圧が印加されたことで前記ノズルから噴射されて基板上に着弾したインクを撮影する撮影手段と、
基板上に着弾したインクの着弾径を、前記撮影手段で得られた画像を解析することで測定し、前記着弾径に対応する液滴量を取得し、取得した液滴量に対応する電圧値を、前記電圧対液滴量情報を参照して、算出電圧値として算出する電圧算出手段と、
前記電圧算出手段で算出された前記算出電圧値と、予め設定されている所定液適量に対する電圧値である設定電圧値との差分である電圧差分量を算出する電圧差分量算出手段とを備え、
前記ＤＡ設定値生成手段は、前記電圧差分量算出手段により前記電圧差分量が算出されると、既に前記アクチュエータに印加されている印加電圧と、前記電圧差分量算出手段により算出された前記電圧差分量とから補正電圧値を算出し、前記補正電圧値を、以降の前記アクチュエータに対する印加電圧とすることを特徴とするインクジェット塗布装置。
複数のノズルと、前記ノズルごとに設けられ、電圧が印加されることで前記ノズルから基板へとインクの液滴を噴射させるアクチュエータとを有する塗布ヘッドを備えるインクジェット塗布装置を用いた塗布体の製造方法であって、
前記アクチュエータに対する印加電圧の電圧値に対応するデジタル信号からなる値であるＤＡ設定値を生成し、前記ＤＡ設定値をＤＡコンバータに入力する工程と、
前記ＤＡコンバータにより前記ＤＡ設定値をアナログ信号に変換し、前記アナログ信号を３端子レギュレータに、その基準電圧として入力する工程と、
前記３端子レギュレータにおいて、前記基準電圧をもとに、前記アクチュエータに対する印加電圧を出力電圧として生成する工程と、
前記３端子レギュレータの出力電圧を前記アクチュエータに対して印加する工程と、
前記アクチュエータに対して前記３端子レギュレータの出力電圧が印加されたことで前記ノズルから噴射されて基板上に着弾したインクを撮影する工程と、
基板上に着弾したインクの着弾径を、前記基板上に着弾したインクを撮影する工程で得られた画像を解析することで測定し、前記着弾径に対応する液滴量を取得し、取得した液滴量に対応する電圧値を、事前に測定された、前記アクチュエータに対する印加電圧と前記ノズルから噴射されるインクの液滴量との関係を示す電圧対液適量情報を参照して、算出電圧値として算出する工程と、
前記算出電圧値と、予め設定されている所定液適量に対する電圧値である設定電圧値との差分である電圧差分量を算出する工程とを含み、
前記ＤＡ設定値をＤＡコンバータに入力する工程は、前記電圧差分量を算出する工程において前記電圧差分量が算出されると、既に前記アクチュエータに印加されている印加電圧と、前記電圧差分量とから補正電圧値を算出し、前記補正電圧値を、以降の前記アクチュエータに対する印加電圧とする工程であることを特徴とする塗布体の製造方法。