JP2011161341A - 液滴吐出方法、カラーフィルターの製造方法及び液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】同時に吐出するノズル数が変わるときにも吐出される液滴の量が変わらない液滴の吐出方法を提供する。
【解決手段】ノズル２４毎に設けられた圧電素子を駆動して、複数のノズル２４から機能液２６を液滴２９にして吐出する機能液２６の吐出方法にかかわる。吐出する液滴２９の量を吐出量とし、同時に液滴２９を吐出するノズルの数を同時吐出ノズル数とし、圧電素子を駆動する波形を駆動波形３９とするとき、吐出量を目標吐出量にするときの同時吐出ノズル数と駆動波形３９との関係を示す相関データを用いて、同時吐出ノズル数に対応して駆動波形３９を切り替えて吐出する。
【選択図】図６

Description

本発明は、液滴吐出方法、カラーフィルターの製造方法及び液滴吐出装置にかかわり、特に、吐出量を制御する方法に関するものである。

機能液を液滴にして吐出するインクジェット法を用いて塗布し、塗布された機能液を固化して膜を形成する方法が広く採用されている。そして、機能液には染料や顔料を含んで着色する機能を有する液状体や、金属粒子を含んで金属配線を形成する機能を有する液状体等の多種類の液状体が用いられている。

カラーフィルターの製造においては、マトリクス状に区画された領域を着色する機能液が塗布される。このとき、カラーフィルターが透過する光の色調の品質を良くするためには機能液の量を品質よく塗布する必要がある。

インクジェット法を用いて基板に機能液を塗布する液滴吐出装置が特許文献１に開示されている。液滴吐出装置は液滴吐出ヘッドを備え、液滴吐出ヘッドには液滴を吐出する複数のノズルが形成されている。液滴吐出ヘッドには各ノズルと連通するキャビティとキャビティの体積を増減させる振動子が設置されている。そして、振動子がキャビティの体積を増減させることにより、キャビティに充填された液状体が液滴となってノズルから吐出される。

液滴吐出装置はワークを移動させるワーク移動機構と液滴吐出ヘッドを移動させるヘッド移動機構とを備えている。このワークと液滴吐出ヘッドとは直交する方向に移動する。そして、機能液を塗布する場所と対向する場所に液滴吐出ヘッドが位置するときに、液滴を吐出する。これにより、所定の位置に液滴を着弾させてワークに所定のパターンを描画していた。

特開２００８−９４０４４号公報

パターンを描画するとき、液滴吐出ヘッドの複数のノズルの中から吐出するノズルを切り替える。従って、同時に吐出するノズル数は一定でなく変動する。振動子の駆動条件を変えないときには同時に吐出するノズル数に対応して各ノズルから吐出される液滴の量が変わることがある。液滴の量が変わるとき、液滴を固化して形成される膜の厚みがかわる。そこで、同時に吐出するノズル数が変わるときにも吐出される液滴の量が変わらない液滴の吐出方法が望まれていた。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］
本適用例にかかる液滴吐出方法は、ノズル毎に設けられた駆動素子を駆動して、複数の前記ノズルから液滴を吐出する液滴吐出方法であって、前記液滴の量を吐出量とし、同時に前記液滴を吐出する前記ノズルの数を同時吐出ノズル数とし、前記駆動素子を駆動する条件を素子駆動条件とするとき、前記吐出量を所定の量にするときの前記同時吐出ノズル数と前記素子駆動条件との関係を示す相関データを用いて、前記同時吐出ノズル数に対応して前記素子駆動条件を切り替えて吐出することを特徴とする。

この液滴吐出方法によれば、駆動素子が駆動されて複数のノズルから液状体が液滴にして吐出される。素子駆動条件を変えないで複数の駆動素子を同時に駆動するときには同時吐出ノズル数に対応して吐出量が変わることがある。本適用例では同時吐出ノズル数に対応して素子駆動条件を切り替えて吐出する。このとき、吐出量を所定の量にするときの同時吐出ノズル数と素子駆動条件との関係を示す相関データを用いて、素子駆動条件を切り替える。従って、同時吐出ノズル数が変わるときにも精度良い吐出量の液滴を吐出することができる。

［適用例２］
上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記素子駆動条件は前記駆動素子を駆動する電気信号である駆動波形であり、前記素子駆動条件を切り替えるときには前記駆動波形を切り替えることを特徴とする。

この液滴吐出方法によれば、駆動素子は電気信号によって駆動される。そして、駆動波形を切り替えることにより確実に素子駆動条件が切り替えられる。駆動波形を切り替えることは簡便な電気回路により容易に切り替えられるので簡便な装置により素子駆動条件を切り替えることができる。

［適用例３］
上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記駆動素子は印加される電圧に応じて前記吐出量が変わる素子であり、前記駆動波形は所定の区間で所定の駆動電圧に維持される波形であり、前記素子駆動条件を切り替えるときには前記駆動波形の前記駆動電圧を切り替えることを特徴とする。

この液滴吐出方法によれば、駆動波形の駆動電圧を切り替えることにより素子駆動条件を切り替えている。電圧を切り替えるのは簡便な電気回路にて実施可能であることから簡便な装置で制御することができる。

［適用例４］
上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記駆動波形は波形の形状を示す波形データと供給電圧とが乗算されて形成され、前記供給電圧を切り替えることにより前記駆動電圧を切り替えることを特徴とする。

この液滴吐出方法によれば、供給電圧を切り替えて駆動波形を切り替えている。波形データは複数のデータから構成されている。各種類の素子駆動条件に対応するデータを用意する場合には多くのデータが必要になる。この方法に比べて、供給電圧を切り替える方法では各種類の素子駆動条件に対応するデータ数を少なくすることができる。従って、吐出量の制御を簡便に行うことができる。

［適用例５］
本適用例にかかるカラーフィルターの製造方法は、基板上に区画形成された複数の着色領域に着色膜を有するカラーフィルターの製造方法であって、ノズル毎に設けられた駆動素子を駆動して、複数の前記ノズルから液滴を前記着色領域に吐出する描画工程を備え、前記液滴の量を吐出量とし、同時に前記液滴を吐出する前記ノズルの数を同時吐出ノズル数とし、前記駆動素子を駆動する条件を素子駆動条件とするとき、前記描画工程では前記吐出量を所定の量にするときの前記同時吐出ノズル数と前記素子駆動条件との関係を示す相関データを用いて、前記同時吐出ノズル数と対応して前記素子駆動条件を切り替えて吐出することを特徴とする。

このカラーフィルターの製造方法によれば、駆動素子が駆動されて複数のノズルから液状体が液滴にして吐出される。素子駆動条件を変えないで複数の駆動素子を同時に駆動するときには同時吐出ノズル数に対応して吐出量が変わることがある。本適用例では同時吐出ノズル数に対応して素子駆動条件を切り替えて吐出する。このとき、吐出量を所定の量にするときの同時吐出ノズル数と素子駆動条件との関係を示す相関データを用いて、素子駆動条件を切り替える。従って、同時吐出ノズル数が変わるときにも吐出量を所定の量にすることができる。その結果、着色膜の膜厚を品質良く形成することができる。

［適用例６］
本適用例にかかる液滴吐出装置は、複数のノズルと、前記ノズル毎に設けられ前記ノズルから液滴を吐出する駆動素子と、前記液滴の量である吐出量を制御する吐出制御部と、を備え、同時に前記液滴を吐出する前記ノズルの数を同時吐出ノズル数とし、前記駆動素子を駆動する条件を素子駆動条件とするとき、前記吐出制御部は、前記吐出量を所定の量にするときの前記同時吐出ノズル数と前記素子駆動条件との関係を示す相関データを用いて、前記同時吐出ノズル数と対応して前記素子駆動条件を切り替えて吐出する制御を行うことを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、複数のノズル毎に設けられた駆動素子がノズルから液滴を吐出する。素子駆動条件を変えないときには同時吐出ノズル数に対応して吐出量が変わることがある。本適用例では同時吐出ノズル数に対応して素子駆動条件を切り替えて吐出する。このとき、吐出量を所定の量にするときの同時吐出ノズル数と素子駆動条件との関係を示す相関データを用いて、素子駆動条件を切り替える。従って、同時吐出ノズル数が変わるときにも精度良い吐出量の液滴を吐出することができる。

第１の実施形態にかかわり、（ａ）は、カラーフィルターを示す模式平面図、（ｂ）は、（ａ）のカラーフィルターのＡ−Ａ’線に沿う模式断面図。 （ａ）は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図、（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの配置を示す模式平面図、（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。 （ａ）は、液滴吐出ヘッドの電気制御ブロック図、（ｂ）は、駆動波形を示すタイムチャート、（ｃ）は、吐出量測定装置を示す要部模式断面図。 液滴吐出装置の電気制御ブロック図。 基板に液滴を吐出してカラーフィルターを製造する製造工程を示すフローチャート。 液滴吐出装置を使った描画方法を説明するための模式図。 液滴吐出装置を使った描画方法を説明するための模式図。 液滴吐出装置を使った描画方法を説明するための模式図。 第２の実施形態にかかわり、圧電素子の駆動波形を説明するためのタイムチャート。

以下、具体化した実施形態について図面に従って説明する。尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。

（第１の実施形態）
本実施形態における特徴的な液滴吐出装置の例とこの液滴吐出装置を用いて液滴を吐出してカラーフィルターを形成する場合の例とについて図１〜図８に従って説明する。

（カラーフィルター）
最初に、カラーフィルター１について図１を用いて説明する。図１（ａ）は、カラーフィルターを示す模式平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のカラーフィルターのＡ−Ａ’線に沿う模式断面図である。カラーフィルター１は液晶テレビ等の表示装置に用いられ、画像信号に応じた輝度分布をもつ白色光をカラーフィルター１に通過させることにより、カラー画像を形成する。図１に示すように、カラーフィルター１はワークとしての基板２を備えている。この基板２は光透過性があり、張力に対して破れ難い強度があればよく、ガラス板、プラスチック板、プラスチックシート等を用いることができる。本実施形態においては、例えば、ガラス板を採用している。基板２の上面には着色素子３が縦横並んで配列して形成されている。そして、着色素子３は赤、青、緑色の着色素子３により構成され、各色の着色素子３が列毎に配列して配置されている。図１（ａ）において、上から赤色素子列３ａ、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃの順に着色素子３が配列して配置されている。そして、図中の上から下へ、この順番を繰り返してストライプ状に配置されている。

着色素子３は格子状に形成された隔壁４を備え、隔壁４は着色された樹脂材料によって形成され光が透過しないようになっている。隔壁４によって矩形に仕切られた場所には赤色着色膜５ａ、青色着色膜５ｂ、緑色着色膜５ｃ等の着色膜５が形成されている。赤色素子列３ａの着色素子３には赤色着色膜５ａが形成され、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃにはそれぞれ青色着色膜５ｂ、緑色着色膜５ｃが形成されている。

（液滴吐出装置）
次に、基板２に液滴を吐出して着色膜５を形成する液滴吐出装置６について図２に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小な液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。

図２（ａ）は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置６により液滴が吐出される。図２（ａ）に示すように、液滴吐出装置６には直方体形状に形成された基台７を備えている。本実施形態では、この基台７の長手方向をＹ方向とし水平面上でＹ方向と直交する方向をＸ方向とする。そして、鉛直方向をＺ方向とする。液滴を吐出するときに液滴吐出ヘッドと被吐出物とが相対移動する方向を主走査方向とする。そして、主走査方向と直交する方向を副走査方向とする。副走査方向は改行するときに液滴吐出ヘッドと被吐出物とを相対移動する方向である。本実施形態ではＹ方向を主走査方向とし、Ｘ方向を副走査方向とする。

基台７の上面７ａには、Ｙ方向に延在する一対の案内レール８がＹ方向全幅にわたり凸設されている。その基台７の上側には、一対の案内レール８に対応する図示しない直動機構を備えたステージ９が取付けられている。そのステージ９の直動機構は、リニアモーターやネジ式直動機構を用いることができる。本実施形態では、例えば、リニアモーターを採用している。そして、ステージ９はＹ方向に沿って所定の速度で往動または復動するようになっている。往動と復動を繰り返すことを走査移動と称す。さらに、基台７の上面７ａには案内レール８と平行に主走査位置検出装置１０が配置され、主走査位置検出装置１０によりステージ９の位置が検出される。

そのステージ９の上面には載置面１１が形成され、その載置面１１には図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。載置面１１上には基板２が設置され、基板２は基板チャック機構により載置面１１に固定されている。この基板２には隔壁４が形成されている。

基台７のＸ方向両側には一対の支持台１２が立設され、その一対の支持台１２にはＸ方向に延びる案内部材１３が架設されている。その案内部材１３の上側には吐出する機能液を供給可能に収容する収容タンク１４が設置されている。収容タンク１４には染料または顔料を含む機能液が収納されている。

案内部材１３の下側にはＸ方向に延びる案内レール１５がＸ方向全幅にわたって設置されている。案内レール１５に沿って移動可能に取り付けられるキャリッジ１６は略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ１６は直動機構を備え、その直動機構は、例えば、ステージ９が備える直動機構と同様の機構を用いることができる。そして、キャリッジ１６がＸ方向に沿って走査移動する。案内部材１３とキャリッジ１６との間には副走査位置検出装置１７が配置され、キャリッジ１６の位置が計測される。キャリッジ１６の下側にはヘッドユニット１８が設置され、このヘッドユニット１８のステージ９側には図示しない液滴吐出ヘッドが凸設されている。

基台７の−Ｘ方向側の側面であって案内部材１３と対向する場所には吐出量測定装置１９が配置されている。この吐出量測定装置１９は電子天秤を備え、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の重量を測定する機能を備えている。

図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの配置を示す模式平面図である。図２（ｂ）に示すように、１つのヘッドユニット１８には、３個の液滴吐出ヘッド２２がＹ方向において等間隔に配列して配置されている。３個の液滴吐出ヘッド２２には赤色、青色、緑色の機能液が供給されている。そして、この各色の機能液を吐出する液滴吐出ヘッド２２はそれぞれＸ方向に千鳥状に配列して配置されている。

そして、液滴吐出ヘッド２２の表面にはノズルプレート２３が配置され、ノズルプレート２３にはノズル２４が複数形成されている。ノズル２４の数や配列は、吐出するパターンと基板２の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、１個のノズルプレート２３にはノズル２４の配列が１列形成され、各列には１５個のノズル２４が配置されている。

図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図２（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、ノズルプレート２３を備え、ノズルプレート２３には、ノズル２４が形成されている。ノズルプレート２３の図中上側であって、ノズル２４と対向する位置には、ノズル２４と連通する圧力室としてのキャビティ２５が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド２２のキャビティ２５には、収容タンク１４に貯留されている液状体としての機能液２６が図示しない流路を介して供給される。

キャビティ２５の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ２５内の容積を拡大縮小する振動板２７と、上下方向に伸縮して振動板２７を振動させる圧電素子２８が配設されている。そして、液滴吐出ヘッド２２が圧電素子２８を制御駆動するための素子駆動信号を受けると、圧電素子２８が伸縮する。これにより、振動板２７がキャビティ２５内の容積を拡大縮小してキャビティ２５を加圧する。その結果、液滴吐出ヘッド２２のノズル２４から、縮小した容積分の機能液２６が液滴２９として吐出される。

図３（ａ）は、液滴吐出ヘッドの電気制御ブロック図である。図３（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２はヘッド駆動回路３０と電気的に接続され、ヘッド駆動回路３０は制御装置３１と電気的に接続されている。ヘッド駆動回路３０は液滴吐出ヘッド２２を駆動する回路であり、制御装置３１は液滴吐出装置６の動作を制御する装置である。

制御装置３１は機能液２６を吐出するノズル２４にかかわるデータや、吐出するときに圧電素子２８を駆動する駆動信号データ及び吐出タイミングデータ等をヘッド駆動回路３０に出力する。ヘッド駆動回路３０は、主に吐出制御回路３２と９個の駆動信号回路３３及び電力供給回路３４とを備え、吐出制御回路３２は駆動信号回路３３及び電力供給回路３４と電気的に接続されている。ヘッドユニット１８には９個の液滴吐出ヘッド２２が配置されており、１個の液滴吐出ヘッド２２に対して駆動信号回路３３及び電力供給回路３４が各１個配置されている。吐出制御回路３２、駆動信号回路３３、電力供給回路３４の個数は、これに限らず、装置の仕様に合わせて適正な個数を配置するのが好ましい。制御装置３１からヘッド駆動回路３０へ出力されたデータは吐出制御回路３２に入力される。吐出制御回路３２は入力されたノズル２４にかかわるデータ及び駆動信号データを用いて、吐出する液滴吐出ヘッド２２毎に液滴吐出ヘッド２２を駆動する信号のデータを分配する。そして、吐出制御回路３２は駆動信号回路３３に駆動信号データと吐出タイミングデータ等を出力し、電力供給回路３４に駆動電圧データを出力する。駆動信号回路３３は吐出波形データや吐出タイミングデータ等のデータを用いて吐出波形信号を形成する。

液滴吐出ヘッド２２は、分配回路３５と圧電素子２８とを備え、駆動信号回路３３及び電力供給回路３４は分配回路３５と電気的に接続されている。さらに、分配回路３５は圧電素子２８と電気的に接続されている。そして、駆動信号回路３３は機能液２６を吐出するタイミングに合わせて、圧電素子２８を駆動する駆動波形の電圧信号を分配回路３５に出力する。さらに、電力供給回路３４は入力した駆動電圧データに対応する供給電圧を分配回路３５に出力する。

分配回路３５は、入力した吐出波形信号と供給電圧とを用いて各圧電素子２８に駆動波形を出力する。そして、各圧電素子２８は駆動波形を入力し、駆動波形に対応して収縮した後伸長する。これにより、液滴吐出ヘッド２２から機能液２６が吐出される。

図３（ｂ）は、駆動波形を示すタイムチャートである。図３（ｂ）において、縦軸は電圧を示し、上側が下側より高い電圧になっている。横軸は時間の経過を示し時間は図中左から右に推移する。吐出波形信号３６は駆動信号回路３３が分配回路３５に出力する信号を示している。吐出波形信号３６は台形状の波形により形成されている。吐出波形信号３６は単位電圧まで上昇し所定の区間電圧を維持した後下降する。電圧が上昇するタイミングにて圧電素子２８が収縮してキャビティ２５の体積が増える。電圧が下降するタイミングにて圧電素子２８が伸長してキャビティ２５の体積が減少する。従って、電圧が上昇するタイミングにてキャビティ２５内に機能液２６が流入し、電圧が下降するタイミングにて液滴２９が吐出される。電圧が上昇するタイミングと電圧が下降するタイミングとの間隔は略一定の間隔が維持される。これにより、吐出量が品質良く制御される。

供給電圧波形３７は電力供給回路３４が分配回路３５に出力する供給電圧３８の波形を示す。第１電圧３８ａ、第２電圧３８ｂ、第３電圧３８ｃは供給電圧３８の１例である。そして、この例では第１電圧３８ａ、第２電圧３８ｂ、第３電圧３８ｃの順に電圧が小さくなっている。供給電圧波形３７は吐出波形信号３６が上昇するタイミングより前に供給電圧３８の切り替えが行われる。

駆動波形３９は分配回路３５が圧電素子２８に出力する電圧の波形である。駆動波形３９は吐出波形信号３６と供給電圧波形３７とが乗算されて形成されている。吐出波形信号３６の電圧は単位電圧となっているので、駆動波形３９の電圧は供給電圧波形３７と同じ電圧となっている。供給電圧３８が第１電圧３８ａ、第２電圧３８ｂ、第３電圧３８ｃのときの駆動波形３９をそれぞれ第１駆動波形３９ａ、第２駆動波形３９ｂ、第３駆動波形３９ｃとする。そして、駆動波形３９が上昇して所定の区間維持される電圧を駆動電圧４０とする。このとき、第１駆動波形３９ａの駆動電圧４０である第１駆動電圧４０ａは第１電圧３８ａと同じ電圧になる。同様に、第２駆動波形３９ｂの駆動電圧４０である第２駆動電圧４０ｂは第２電圧３８ｂと同じ電圧になり、第３駆動波形３９ｃの駆動電圧４０である第３駆動電圧４０ｃは第３電圧３８ｃと同じ電圧になる。

分配回路３５は駆動波形３９の電圧信号を圧電素子２８に出力する。このとき、分配回路３５は液滴２９を吐出する予定のノズル２４に対応する圧電素子２８にのみ駆動波形３９の電圧信号を出力する。そして、１つの液滴吐出ヘッド２２内の圧電素子２８には同じ供給電圧３８の駆動波形３９が出力される。供給電圧波形３７の供給電圧３８の電圧は吐出毎に切り替えられるので、吐出する毎に駆動波形３９の駆動電圧４０を変更することが可能になっている。

図３（ｃ）は、吐出量測定装置を示す要部模式断面図である。図３（ｃ）において、吐出量測定装置１９は土台４２を備え、土台４２の上には内部に空洞を備えた外装部４３が設置されている。外装部４３の内部には３台の電子天秤４４がＹ方向に配列して設置されている。各電子天秤４４には受皿４５が配置され、受皿４５のＺ方向側にはスポンジ状の吸収体４６が設置されている。そして、液滴吐出ヘッド２２から受皿４５に吐出された液滴２９が跳ねて受皿４５の外に出ないようになっている。受皿４５に着弾した液滴２９は合体した機能液２６になり、吸収体４６を通過して受皿４５上に蓄積される。液滴吐出ヘッド２２が液滴２９を複数回吐出し、吐出する前後で電子天秤４４は受皿４５と受皿４５に吐出された液滴２９の重量を測定する。そして、吐出前後における受皿４５の重量の差分を演算することにより、吐出量測定装置１９は吐出された液滴２９の重量を算出する。そして、算出された液滴２９の重量を吐出回数にて除算することにより、吐出量測定装置１９は１回の吐出における液滴２９の重量を検出することができる。

図４は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図４に示すように、液滴吐出装置６は液滴吐出装置６の動作を制御する制御部としての制御装置３１を備えている。そして、制御装置３１はプロセッサーとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（中央演算処理装置）４９と、各種情報を記憶するメモリー５０とを備えている。

主走査駆動装置５１、主走査位置検出装置１０、副走査駆動装置５２、副走査位置検出装置１７は、入出力インターフェイス５３及びデータバス５４を介してＣＰＵ４９に接続されている。さらに、液滴吐出ヘッド２２を駆動するヘッド駆動回路３０、吐出量測定装置１９、入力装置５５、表示装置５６も入出力インターフェイス５３及びデータバス５４を介してＣＰＵ４９に接続されている。

主走査駆動装置５１はステージ９の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置５２はキャリッジ１６の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置１０がステージ９の位置を検出し、主走査駆動装置５１がステージ９を駆動することにより、ステージ９を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置１７がキャリッジ１６の位置を検出し、副走査駆動装置５２がキャリッジ１６を駆動することにより、キャリッジ１６を所望の位置に移動及び停止することが可能となっている。

入力装置５５は液滴２９を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板２に液滴２９を吐出する座標を図示しない外部装置から受信して入力する装置である。表示装置５６は加工条件や作業状況を表示する装置であり、操作者は表示装置５６に表示される情報を基に入力装置５５を用いて操作を行う。

メモリー５０は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリーや、ハードディスク、ＤＶＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には液滴吐出装置６における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５７を記憶する記憶領域が設定される。さらに、基板２上に吐出する吐出位置の座標データである吐出位置データ５８を記憶するための記憶領域も設定される。

他にも、液滴吐出ヘッド２２を駆動するときの電圧のデータである供給電圧データ５９や液滴吐出ヘッド２２を駆動する駆動波形データ６０等のデータを記憶するための記憶領域が設定される。さらに、１つの液滴吐出ヘッド２２から同時に吐出する液滴２９の数と吐出量との関係を示す吐出特性データ６１を記憶するための記憶領域が設定される。さらに、ＣＰＵ４９のためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域やその他各種類の記憶領域が設定される。

ＣＰＵ４９は、メモリー５０内に記憶されたプログラムソフト５７に従って基板２上の所定の位置に液滴２９を吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、液滴吐出ヘッド２２から液滴２９を吐出して描画するための制御を行う描画制御部６２を有する。描画制御部６２を詳しく分割すれば、描画制御部６２はステージ９を主走査方向へ所定の速度で走査移動させるための制御を行う主走査制御部６３を有する。他にも、描画制御部６２は液滴吐出ヘッド２２を副走査方向へ所定の副走査量で移動させるための制御を行う副走査制御部６４を有する。さらに、描画制御部６２は液滴吐出ヘッド２２内に複数あるノズルのうち、どのノズルに対応する圧電素子２８を作動させて液滴２９を吐出するかを制御する吐出制御部６５等といった各種の演算部や制御部を有する。

他にも、吐出量測定装置１９を駆動して液滴吐出ヘッド２２が吐出する液滴２９の重量を測定する吐出量測定制御部６６を有する。さらに、同時に複数のノズル２４から液滴２９を吐出するときに吐出された液滴２９の量が同じになるようにするときのノズル２４と供給電圧３８との関係を演算する相関データ演算部６７を有する。

（描画方法）
次に、上述した液滴吐出装置６を使って、液滴吐出ヘッド２２から基板２に吐出して描画する描画方法について図５〜図８を用いて説明する。図５は、基板に液滴を吐出してカラーフィルターを製造する製造工程を示すフローチャートである。図６〜図８は、液滴吐出装置を使った描画方法を説明するための模式図である。

ステップＳ１は吐出特性測定工程に相当する。この工程では同時に吐出するノズル数と圧電素子を駆動する駆動波形とを変えて同時に複数のノズルから液滴を吐出する。そして、駆動波形を変更したときに吐出される液滴の量を測定する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は電圧−吐出位置演算工程に相当する。この工程は基板における液滴吐出ヘッドの各位置に対して圧電素子を駆動する駆動波形の設定値を演算する工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３は給材工程に相当し、基板を載置面に載置する工程である。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は吐出条件設定工程に相当する。この工程は予め設定されている圧電素子の駆動電圧を電力供給回路に設定する工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ５は吐出工程に相当し、ステージを移動させながらノズルから液滴を吐出する工程である。次にステップＳ６に移行する。ステップＳ６は終了判断工程に相当し、液滴を吐出する予定の総ての場所に液滴を吐出したかの判断をする工程である。まだ吐出していない場所があるので吐出を継続するときステップＳ４に移行する。予定した総ての場所に液滴を吐出したので吐出を終了するときステップＳ７に移行する。ステップＳ４からステップＳ６までの工程を合わせてステップＳ１１の描画工程とする。この工程は基板に所定のパターンを描画する工程である。次にステップＳ７に移行する。ステップＳ７は除材工程に相当し、基板を載置面から移動して次の工程へ基板を移動する工程である。ステップＳ８は、固化工程に相当し、基板に塗布された機能液を固化して膜を形成する工程である。以上にて基板に液滴を吐出してカラーフィルターを製造する製造工程を終了する。

次に、図６〜図８を用いて図５に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッド２２から液滴２９を吐出してカラーフィルター１を製造する製造方法を詳細に説明する。図６（ａ）及び図６（ｂ）は、ステップＳ１の吐出特性測定工程に対応する図である。図６（ａ）に示すように、ステップＳ１において液滴吐出ヘッド２２の吐出特性を測定する。吐出量測定制御部６６は駆動波形３９の供給電圧３８を所定の電圧に設定する。そして、吐出量測定制御部６６は、同時に液滴２９を吐出するノズル２４の数を１から１５まで順次切り替えて液滴２９を吐出する。そして、吐出量測定制御部６６は吐出量測定装置１９を駆動して吐出された液滴２９の重量である吐出量を検出する。

詳細には、まず、吐出量測定制御部６６は電子天秤４４に受皿４５の重量を測定させる。次に、吐出量測定制御部６６は液滴吐出ヘッド２２から液滴２９を吐出するノズル２４を設定する。このノズル２４の個数は１個から順次増やしていく。そして、吐出量測定制御部６６はヘッド駆動回路３０を駆動することにより設定したノズル２４から所定の吐出回数の吐出を行う。吐出回数が多い程測定精度が良くなるが消費する機能液２６の量が多量になるので、吐出回数は必要な測定精度を満たす条件内で少ない回数が良い。吐出回数は特に限定されないが本実施形態では例えば１０００回に設定している。液滴２９を吐出した後で吐出量測定制御部６６は再度電子天秤４４に受皿４５の重量を測定させる。そして、液滴２９を吐出した後の受皿４５の重量から液滴２９を吐出する前の受皿４５の重量の差を演算する。その後、重量の差の値を吐出回数で除算することにより１回の吐出における液滴２９の吐出量を算出する。

続いて、同時に吐出するノズル２４の個数を変更して吐出量の測定を行う。同時に吐出するノズル２４の個数が１から１５の各条件における吐出量を検出した後で吐出量測定制御部６６は駆動波形３９の供給電圧３８を変更する。そして、同様の方法にて同時に吐出するノズル２４の個数に対する吐出量を検出する。

その結果、図６（ｂ）に示すように同時に吐出するノズル数と吐出量との関係を示すグラフが得られる。図６（ｂ）において、横軸は同時吐出ノズル数を示し右側が左側より多い個数となっている。縦軸は吐出量を示し上側が下側より大きな量となっている。第１ノズル数吐出量相関線７０、第２ノズル数吐出量相関線７１、第３ノズル数吐出量相関線７２は同時吐出ノズル数と吐出量との関係をしめす相関線である。第１ノズル数吐出量相関線７０では同時吐出ノズル数が多い程吐出量が大きくなる相関関係となっている。この関係は液滴吐出ヘッド２２の吐出特性により変わるので、同時吐出ノズル数が多い程吐出量が小さくなる場合もある。

第１ノズル数吐出量相関線７０、第２ノズル数吐出量相関線７１、第３ノズル数吐出量相関線７２は駆動波形３９の供給電圧３８がそれぞれ異なる場合の相関関係線を示している。第１ノズル数吐出量相関線７０、第２ノズル数吐出量相関線７１、第３ノズル数吐出量相関線７２の供給電圧３８はそれぞれ第１電圧３８ａ、第２電圧３８ｂ、第３電圧３８ｃとなっている。３つの電圧条件では第１電圧３８ａが最も高く、第３電圧３８ｃが最も低い電圧となっている。そして、供給電圧３８の高い方が低い方より吐出量が大きくなっている。尚、この特性は液滴吐出ヘッド２２の特性や駆動波形によって変わる特性である。

ステップＳ２の電圧−吐出位置演算工程では目標吐出量線７３を設定する。そして、各同時吐出ノズル数に対して目標吐出量の液滴２９を吐出するための供給電圧３８を設定する。目標吐出量線７３は吐出量が目標吐出量となる場所を示す線である。例えば、同時吐出ノズル数が４個のときには目標吐出量線７３は第１ノズル数吐出量相関線７０上にあるので、供給電圧３８を第１電圧３８ａに設定する。同時吐出ノズル数が７個のときには目標吐出量線７３は第２ノズル数吐出量相関線７１上にあるので、供給電圧３８を第２電圧３８ｂに設定する。同時吐出ノズル数が１０個のときには目標吐出量線７３は第３ノズル数吐出量相関線７２上にあるので、供給電圧３８を第３電圧３８ｃに設定する。以上のように、各同時吐出ノズル数における供給電圧３８を設定する。このように、各同時吐出ノズル数における供給電圧３８を設定する。

図６（ｃ）〜図７（ｂ）はステップＳ２の電圧−吐出位置演算工程に対応する図である。図６（ｃ）は、上記の方法にて設定した同時吐出ノズル数と供給電圧３８との関係を示すグラフである。図６（ｃ）において横軸は同時吐出ノズル数を示し、右側が左側より多い個数となっている。縦軸は供給電圧を示し、上側は下側より高い電圧を示している。ノズル数供給電圧設定線７４は各同時吐出ノズル数と圧電素子２８に供給する供給電圧３８の設定値との関係を示している。換言すれば、ノズル数供給電圧設定線７４は、吐出量を目標吐出量にするときの同時吐出ノズル数と圧電素子２８の駆動条件との関係を示す相関データである。例えば、同時吐出ノズル数が４個、７個、１０個のときの供給電圧３８はそれぞれ第１電圧３８ａ、第２電圧３８ｂ、第３電圧３８ｃとなっている。本実施形態のノズル数供給電圧設定線７４の例では同時吐出ノズル数が多い程供給電圧３８を低くする設定になっている。尚、ノズル数供給電圧設定線７４の傾き具合は液滴吐出ヘッド２２の特性により変化する。そして、同時吐出ノズル数とノズル数供給電圧設定線７４とから供給電圧３８を算出し駆動波形３９の電圧を算出した供給電圧３８にすることによりノズル２４から吐出される吐出量を目標吐出量にすることができる。

図７（ａ）は、液滴を着弾させる場所を示す吐出位置予定図である。着弾予定位置７５は隔壁４に囲まれた四角の吐出領域７６に設定される。そして、吐出制御部６５は各着弾予定位置７５に吐出するときの液滴吐出ヘッド２２の位置と同時吐出ノズル数とを演算する。次に、吐出制御部６５は液滴吐出ヘッド２２の各位置における同時吐出ノズル数から駆動波形３９の供給電圧３８を算出する。そして、吐出制御部６５は液滴吐出ヘッド２２の各位置における駆動波形３９の供給電圧３８を設定する。

図７（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの各位置における素子駆動条件を示す表の一例である。図７（ｂ）に示すように、各液滴吐出ヘッド２２がノズル２４から液滴２９を吐出する場所が設定されている。そして、各吐出場所で吐出するノズル２４と駆動波形３９の供給電圧３８が設定されている。この供給電圧３８には同時吐出ノズル数と駆動波形３９とから算出された供給電圧３８が用いられている。例えば、ヘッド番号が１番の液滴吐出ヘッド２２をＸ座標が１００．００でＹ座標が５０．２０の場所に移動させる。その場所でノズル番号が６番から１３番のノズル２４から液滴２９を吐出する。このときの供給電圧３８は２７ボルトとする。このように、各液滴吐出ヘッド２２がノズル２４から液滴２９を吐出する場所とノズル２４と供給電圧３８とが設定される。これにより、各ノズル２４から吐出される液滴２９の吐出量は目標吐出量となる。

図７（ｃ）はステップＳ３の給材工程に対応する図である。図７（ｃ）に示すように、ステップＳ３において操作者は基板２をステージ９の載置面１１上に載置する。基板２には予め隔壁４が形成されている。隔壁４はフォトリソグラフィーの方法を用いて製造することができる。尚、この製造方法は公知な方法であり、説明を省略する。次に、液滴吐出装置６は吸引式の基板チャック機構を駆動させることにより基板２を載置面１１に固定する。尚、わかり易くするために図中の液滴吐出ヘッド２２及びノズル２４は１個のみ表示され、他の液滴吐出ヘッド２２、ノズル２４やヘッドユニット１８は省略されている。

図７（ｄ）〜図８（ｃ）はステップＳ４の吐出条件設定工程及びステップＳ５の吐出工程に対応する図である。図７（ｄ）に示すように、吐出領域７６の着弾予定位置７５に対応して同時に吐出するノズル２４が設定されている。吐出制御部６５は同時吐出ノズル数に対応する供給電圧３８を出力するように電力供給回路３４に指示する。例えば、液滴吐出ヘッド２２から液滴２９が吐出される同時吐出ノズル数の設定を６個とする。そして、ステップＳ２の電圧−吐出位置演算工程において同時吐出ノズル数は６個の場合の供給電圧３８である第４電圧３８ｄがこの場所の駆動波形３９の供給電圧３８に設定されている。ステップＳ４では電力供給回路３４が供給電圧３８を第４電圧３８ｄに切り替えて液滴吐出ヘッド２２の分配回路３５に出力する。

図８（ａ）に示すように、ステップＳ５において、描画制御部６２はステージ９とキャリッジ１６とを駆動させることにより液滴２９を吐出する場所と対向する場所に液滴吐出ヘッド２２を移動させる。そして、吐出制御部６５はノズル２４から吐出領域７６に液滴２９を吐出する。このとき、第４電圧３８ｄに設定された駆動波形３９によって圧電素子２８が駆動される。これにより各ノズル２４からは目標吐出量の液滴２９が吐出される。

ステージ９が移動して改行する場所まで到達したとき、主走査制御部６３はステージ９の移動方向を切り替え、副走査制御部６４はキャリッジ１６を移動させる。そして、主走査制御部６３はステージ９を走査移動させる。

図８（ｂ）に示すように、吐出領域７６上を液滴吐出ヘッド２２が通過する場所が変わり、吐出領域７６の着弾予定位置７５に対応して同時に吐出するノズル２４が変わる。吐出制御部６５は同時吐出ノズル数に対応する供給電圧３８を出力するように電力供給回路３４に指示する。例えば、液滴２９が吐出される同時吐出ノズル数の設定が８個に変わる。そして、ステップＳ２の電圧−吐出位置演算工程では同時吐出ノズル数は８個の場合の供給電圧３８である第５電圧３８ｅが素子駆動条件に設定されている。そして、電力供給回路３４が供給電圧３８を第５電圧３８ｅに切り替えて液滴吐出ヘッド２２の分配回路３５に出力する。

ステップＳ５では供給電圧３８が第５電圧３８ｅに設定された駆動波形３９によって圧電素子２８が駆動されることにより液滴２９が吐出される。これにより各ノズル２４からは目標吐出量の液滴２９が吐出される。

同様に、ステージ９が移動して改行する場所まで到達したとき、主走査制御部６３はステージ９の移動方向を切り替え、副走査制御部６４はキャリッジ１６を移動させる。そして、主走査制御部６３はステージ９を走査移動させる。

図８（ｃ）に示すように、吐出領域７６上を液滴吐出ヘッド２２が通過する場所が変わり、吐出領域７６の着弾予定位置７５に対応して同時に吐出するノズル２４が変わる。吐出制御部６５は供給電圧３８を切り替えるように電力供給回路３４に指示をする。例えば、液滴２９が吐出される同時吐出ノズル数の設定が１０個に変わる。そして、ステップＳ２の電圧−吐出位置演算工程では同時吐出ノズル数が１０個の場合の供給電圧３８である第３電圧３８ｃが素子駆動条件に設定されている。そして、電力供給回路３４が供給電圧３８を第３電圧３８ｃに切り替えて液滴吐出ヘッド２２の分配回路３５に出力する。

ステップＳ５では供給電圧３８が第３電圧３８ｃに設定された駆動波形３９によって圧電素子２８が駆動されることにより液滴２９が吐出される。これにより各ノズル２４からは目標吐出量の液滴２９が吐出される。このように、ステップＳ４とステップＳ５とを反復して吐出する場所に合わせて駆動波形３９の供給電圧３８を切り替える。そして、同時吐出ノズル数に対応した供給電圧３８の駆動波形３９にて圧電素子２８を駆動する。これにより、吐出領域７６には目標吐出量の液滴２９が吐出される。

ステップＳ６の終了判断工程において予定した総ての場所に液滴２９を吐出したことを確認するまでステップＳ１１の描画工程が行われる。予定した総ての場所に液滴２９を吐出したときステップＳ７の除材工程に移行する。ステップＳ７では操作者が基板チャック機構を解除し基板２を載置面１１から次工程に移動する。

図８（ｄ）はステップＳ８の固化工程に対応する図である。図８（ｄ）に示すように、ステップＳ８において機能液２６が塗布された基板２を乾燥装置７７の内部に配置する。乾燥装置７７は乾燥室７８を備えている。乾燥室７８は載置台７９を備え、基板２がこの載置台７９に設置される。乾燥室７８は図中上側の供給管８０及び供給バルブ８１を介して乾燥気体供給部８２と接続されている。さらに、乾燥室７８は図中下側の排気管８３及び排気バルブ８４を介して排気部８５と接続されている。そして、乾燥気体供給部８２から供給される乾燥気体８６が供給バルブ８１及び供給管８０を介して乾燥室７８に供給される。次に、乾燥気体８６は基板２に塗布された機能液２６に沿って流動する。このとき、機能液２６に含まれる溶媒及び分散媒を乾燥気体８６に蒸発させて除去することにより、機能液２６を乾燥させる。そして、機能液２６が乾燥することにより、着色膜５が形成される。次に、溶媒及び分散媒を含んだ乾燥気体８６は排気管８３及び排気バルブ８４を通過して、排気部８５により図示しない処理装置に排気される。以上の工程により、基板２に液滴２９を吐出してカラーフィルター１を製造する製造工程を終了する。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、同時吐出ノズル数に対応して駆動波形３９の供給電圧３８を切り替えて吐出する。このとき、吐出量を目標吐出量にするときの同時吐出ノズル数と供給電圧３８との関係を示すノズル数供給電圧設定線７４を用いて、供給電圧３８を切り替える。従って、同時吐出ノズル数が変わるときにも吐出量を目標吐出量にすることができる。

（２）本実施形態によれば、圧電素子２８は電気信号によって駆動されている。そして、駆動波形３９を切り替えることにより確実に圧電素子２８の駆動条件を切り替えることができる。駆動波形３９を切り替えることは簡便な電気回路により容易に切り替えられるので簡便な装置により圧電素子２８の駆動条件を切り替えることができる。

（３）本実施形態によれば、駆動波形３９の供給電圧３８を切り替えることにより圧電素子２８の駆動条件を切り替えている。電圧を切り替えるのは簡便な電気回路にて実施可能であることから簡便な装置で圧電素子２８を制御することができる。

（４）本実施形態によれば、供給電圧３８を切り替えて駆動波形３９を切り替えている。波形データは複数のデータから構成されている。各種類の素子駆動条件に対応するデータを用意する場合には多くのデータが必要になる。この方法に比べて、供給電圧３８を切り替える方法では各種類の素子駆動条件に対応するデータ数を少なくすることができる。従って、吐出量の制御を簡便に行うことができる。

（５）本実施形態によれば、同時吐出ノズル数が変わるときにも吐出量を目標吐出量にすることができる。その結果、着色膜５の膜厚を品質良く形成することができる。

（第２の実施形態）
次に、液滴吐出装置の一実施形態について図９の圧電素子の駆動波形を説明するためのタイムチャートを用いて説明する。本実施形態が第１の実施形態と異なるところは、図３（ｂ）に示した駆動波形３９の形状が異なる点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。

すなわち、本実施形態では、図９に示したように駆動波形の形状を変えることにより素子駆動条件を切り替えている。図の横軸は時間の経過を示し、時間は左から右へ推移する。縦軸は電圧を示し、上側は下側より高い電圧となっている。図９（ａ）において第１波形８８ａ、第２波形８８ｂ、第３波形８８ｃは波長８９が異なる駆動波形８８の一例を示している。第１波形８８ａ、第２波形８８ｂ、第３波形８８ｃの波長８９はそれぞれ、第１波長８９ａ、第２波長８９ｂ、第３波長８９ｃである。この３つの駆動波形８８において第１波長８９ａが最も長く、第３波長８９ｃが最も短くなっている。

本実施形態の液滴吐出ヘッド２２では波長８９が長い方が短い方に比べて吐出量が多い特性を有している。尚、この特性は液滴吐出ヘッド２２の構造によって異なっている。そして、ステップＳ１の吐出特性測定工程において供給電圧３８を所定の電圧に固定して波長８９を変える。そして、吐出量測定制御部６６は各波長８９の駆動波形８８にて圧電素子２８を駆動する。次に、同時吐出ノズル数を切り替えて吐出量を測定する。これにより、目標吐出量の液滴２９を吐出するための同時吐出ノズル数に対する波長８９のノズル数波長設定線を設定することができる。このノズル数波長設定線は第１の実施形態におけるノズル数供給電圧設定線７４に対応する線である。ステップＳ５の吐出工程では同時吐出ノズル数に対応して駆動波形８８の波長８９を切り替える。これにより、吐出制御部６５は各ノズル２４から吐出される液滴２９の吐出量を目標吐出量となるように制御することができる。

図９（ｂ）において第３波形９０ａ、第４波形９０ｂ、第５波形９０ｃは波形が異なる駆動波形９０の一例を示している。駆動波形９０は台形状の正電圧の前部波形９１とこの波形の後に続けて台形状の負電圧の後部波形９２とから構成されている。前部波形９１の前部駆動電圧９３は各駆動波形９０共に同じ電圧に設定されている。一方、後部波形９２の後部駆動電圧９４は駆動波形９０毎に異なる電圧に設定されている。例えば、第３波形９０ａにおける第３後部駆動電圧９４ａは第４波形９０ｂにおける第４後部駆動電圧９４ｂより低い負の電圧に設定されている。第５波形９０ｃでは後部駆動電圧９４が０ボルトとなっており、後部波形９２が形成されていない。

本実施形態の液滴吐出ヘッド２２では後部駆動電圧９４が低い方が高い方に比べて吐出量が多い特性を有している。尚、この特性は液滴吐出ヘッド２２の構造によって異なっている。そして、ステップＳ１の吐出特性測定工程では後部駆動電圧９４を変える。そして、吐出量測定制御部６６は各後部駆動電圧９４の駆動波形９０にて圧電素子２８を駆動する。次に、同時吐出ノズル数を切り替えて吐出量を測定する。これにより、目標吐出量の液滴２９を吐出するための同時吐出ノズル数に対する後部駆動電圧９４のノズル数後部駆動電圧設定線を設定することができる。このノズル数後部駆動電圧設定線は第１の実施形態におけるノズル数供給電圧設定線７４に対応する線である。ステップＳ５の吐出工程では同時吐出ノズル数に対応して駆動波形９０の後部駆動電圧９４を切り替える。これにより、吐出制御部６５は各ノズル２４から吐出される液滴２９の吐出量を目標吐出量となるように制御することができる。

図９（ｃ）において第７波形９５ａ、第８波形９５ｂ、第９波形９５ｃは波形が異なる駆動波形９５を示している。駆動波形９５の駆動電圧９６は各駆動波形９５共に同じ電圧に設定されている。そして、駆動波形９５は台形状の波形において電圧が降下するのに要する降下時間９７が駆動波形９５毎に異なる時間に設定されている。例えば、第７波形９５ａにおける降下時間９７である第１降下時間９７ａは第８波形９５ｂにおける降下時間９７である第２降下時間９７ｂより短い時間に設定されている。第８波形９５ｂにおける第２降下時間９７ｂは第９波形９５ｃにおける降下時間９７である第３降下時間９７ｃより短い時間に設定されている。

本実施形態の液滴吐出ヘッド２２では降下時間９７が短い方が長い方に比べて吐出量が多い特性を有している。尚、この特性は液滴吐出ヘッド２２の構造によって異なっている。そして、ステップＳ１の吐出特性測定工程では駆動波形９５の降下時間９７を変える。そして、吐出量測定制御部６６は各降下時間９７の駆動波形９５にて圧電素子２８を駆動する。次に、同時吐出ノズル数を切り替えて吐出量を測定する。これにより、目標吐出量の液滴２９を吐出するための同時吐出ノズル数に対する降下時間９７の関係を示すノズル数降下時間設定線を設定することができる。このノズル数降下時間設定線は第１の実施形態におけるノズル数供給電圧設定線７４に対応する線である。ステップＳ５の吐出工程では同時吐出ノズル数に対応して駆動波形９５の降下時間９７を切り替える。これにより、吐出制御部６５は各ノズル２４から吐出される液滴２９の吐出量を目標吐出量となるように制御することができる。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、同時吐出ノズル数に対応して圧電素子２８を駆動する駆動波形８８，９０，９５を切り替えて吐出している。このとき、吐出量を目標吐出量にするときの同時吐出ノズル数と駆動波形８８，９０，９５の条件との関係を示す相関データを用いて、駆動波形８８，９０，９５を切り替えている。従って、同時吐出ノズル数が変わるときにも吐出量を目標吐出量にすることができる。

尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態では、キャビティ２５を加圧する加圧手段に、圧電素子２８を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板２７を変形させて加圧しても良い。他に、キャビティ２５内にヒーター配線を配置して、ヒーター配線を加熱することにより、機能液２６を気化させたり、機能液２６に含む気体を膨張させたりして加圧しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板２７を変形させて加圧しても良い。尚、コイルやヒーター配線のように駆動する電流で吐出量を制御できる場合には、駆動波形は電流の波形でも良い。前記実施形態と同様に同時吐出ノズル数に対応して加圧手段を駆動する駆動波形を切り替えることにより吐出量を目標吐出量にすることができる。

（変形例２）
前記第１の実施形態では、電力供給回路３４は液滴吐出ヘッド２２毎に設置されたが、１つの電力供給回路３４で各液滴吐出ヘッド２２に異なる電圧を供給してもよい。電力供給回路３４を複数配置する場合に比べて電力供給回路３４の機能を１つの回路に集約する方が回路の占める面積を小さくすることができる。

（変形例３）
前記第１の実施形態では、着色する機能を有する機能液２６を塗布して、カラーフィルター１を製造する例を示した。塗布する機能液２６はこれに限らない。例えば、通電性の機能液２６を塗布して配線や電極を形成しても良い。他にも、正孔輸送層や発光層の材料を含む機能液２６を塗布して有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）表示装置を形成しても良い。これらの場合にも、同時吐出ノズル数に対応して液滴２９を吐出する駆動波形を切り替えることにより吐出量を目標吐出量にすることができる。そして、形成される膜の膜厚を品質良く製造することができる。

（変形例４）
前記第１の実施形態では、カラーフィルター１の基板２に機能液２６を吐出して塗布したが、塗布するワークは基板２に限らず、直方体等のようにＺ方向の高さがある物や凹凸のある物にも適用することができる。この場合にも目標吐出量の液滴２９を吐出することができる。

（変形例５）
前記第１の実施形態では、吐出波形信号３６と供給電圧波形３７とを乗算して駆動波形３９を形成した。そして、供給電圧３８を変えることにより駆動電圧４０を変えた。これに限らず、供給電圧３８を変えずに吐出波形信号３６の高さを変えても良い。この場合にも同様に駆動波形３９の駆動電圧４０を変えることができる。

１…カラーフィルター、２…基板、５…着色膜、２４…ノズル、２６…液状体としての機能液、２８…駆動素子としての圧電素子、２９…液滴、３８…駆動電圧としての供給電圧、３９，８８，９０，９５…駆動波形、４０…駆動電圧、６５…吐出制御部。

Claims (6)

1. ノズル毎に設けられた駆動素子を駆動して、複数の前記ノズルから液滴を吐出する液滴吐出方法であって、
   前記液滴の量を吐出量とし、同時に前記液滴を吐出する前記ノズルの数を同時吐出ノズル数とし、前記駆動素子を駆動する条件を素子駆動条件とするとき、
   前記吐出量を所定の量にするときの前記同時吐出ノズル数と前記素子駆動条件との関係を示す相関データを用いて、
   前記同時吐出ノズル数に対応して前記素子駆動条件を切り替えて吐出することを特徴とする液滴吐出方法。
2. 請求項１に記載の液滴吐出方法であって、
   前記素子駆動条件は前記駆動素子を駆動する電気信号である駆動波形であり、
   前記素子駆動条件を切り替えるときには前記駆動波形を切り替えることを特徴とする液滴吐出方法。
3. 請求項２に記載の液滴吐出方法であって、
   前記駆動素子は印加される電圧に応じて前記吐出量が変わる素子であり、
   前記駆動波形は所定の区間で所定の駆動電圧に維持される波形であり、前記素子駆動条件を切り替えるときには前記駆動波形の前記駆動電圧を切り替えることを特徴とする液滴吐出方法。
4. 請求項３に記載の液滴吐出方法であって、
   前記駆動波形は波形の形状を示す波形データと供給電圧とが乗算されて形成され、前記供給電圧を切り替えることにより前記駆動電圧を切り替えることを特徴とする液滴吐出方法。
5. 基板上に区画形成された複数の着色領域に着色膜を有するカラーフィルターの製造方法であって、
   ノズル毎に設けられた駆動素子を駆動して、複数の前記ノズルから液滴を前記着色領域に吐出する描画工程を備え、
   前記液滴の量を吐出量とし、同時に前記液滴を吐出する前記ノズルの数を同時吐出ノズル数とし、前記駆動素子を駆動する条件を素子駆動条件とするとき、
   前記描画工程では前記吐出量を所定の量にするときの前記同時吐出ノズル数と前記素子駆動条件との関係を示す相関データを用いて、前記同時吐出ノズル数と対応して前記素子駆動条件を切り替えて吐出することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
6. 複数のノズルと、前記ノズル毎に設けられ前記ノズルから液滴を吐出する駆動素子と、
   前記液滴の量である吐出量を制御する吐出制御部と、を備え、
   同時に前記液滴を吐出する前記ノズルの数を同時吐出ノズル数とし、前記駆動素子を駆動する条件を素子駆動条件とするとき、
   前記吐出制御部は、前記吐出量を所定の量にするときの前記同時吐出ノズル数と前記素子駆動条件との関係を示す相関データを用いて、前記同時吐出ノズル数と対応して前記素子駆動条件を切り替えて吐出する制御を行うことを特徴とする液滴吐出装置。

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