JP2008229602A - 吐出量測定方法、吐出量調整方法、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】吐出量を精度良く測定できる吐出量測定方法、吐出量調整方法、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び電気光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】複数のキャリッジ１２に複数の液滴吐出ヘッド１４が配列して搭載された液滴吐出ヘッド列の、液滴吐出ヘッド１４から吐出される液滴４４の吐出量を測定する吐出量測定方法に係る。複数の液滴吐出ヘッド列を並べて、液滴吐出ヘッド１４から前記液状体を吐出して、液滴吐出ヘッド列の内、液滴吐出ヘッド列に挟まれている液滴吐出ヘッド１４から吐出された液滴４４の吐出量を測定する第１測定工程と、第１測定工程において、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった液滴吐出ヘッド１４を、他の前記液滴吐出ヘッド列にて挟んで、液滴４４を吐出した後、液滴吐出ヘッド１４から吐出された液滴４４の吐出量を測定する第２測定工程とを有する。
【選択図】図６

Description

本発明は、吐出量測定方法、吐出量調整方法、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び電気光学装置の製造方法に係り、特に、液滴吐出ヘッドから吐出する液滴の吐出量を精度良く測定する方法に関するものである。

従来、ワークに対して液滴を吐出する方法として、インクジェット式の液滴吐出装置を用いて吐出する方法が知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させるテーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向に配置されるガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジはインクジェットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）を配置し、ワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。

ワークに対して、機能液を液滴にした後、吐出することにより、塗布する機能液は、各種の材料が用いられている。機能液は、温度により粘度の変わる物が多く、粘度が変わることにより流体抵抗が変化する。流体抵抗が変わることにより、液滴吐出ヘッド内の流路を流れる機能液の流速が変化する。機能液の流速が変化することにより、１ドットあたりの吐出量が変動し、吐出量を精度良く測定することが困難であった。

この課題を解決するために、特許文献１において、１ドットあたりの吐出量を精度良く測定する方法が開示されている。これによれば、液滴吐出装置をチャンバ内に設置した後、チャンバ内の温度と湿度を調整することにより、液滴吐出装置の環境を制御して吐出量を測定している。

特開２００４−２０９４２９号公報

液滴吐出ヘッドのキャビティを、圧電素子を用いて加圧するとき、圧電素子の動作に加えられるエネルギの一部は、熱に変換し、液滴吐出ヘッドの温度を上昇させる要因となっている。また、圧電素子が駆動されていないとき、圧電素子は発熱せず、液滴吐出ヘッドは放熱するため、液滴吐出ヘッドの温度が変動する要因となっている。

吐出量を測定するときに、吐出量は温度の影響を受けることから、測定時におけるヘッド温度は、測定する毎に略同じ温度条件で測定しないとき、測定精度が低下するという課題がある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］
本適用例にかかる吐出量測定方法は、複数のキャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが配列して搭載された液滴吐出ヘッド列の、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出量を測定する吐出量測定方法であって、複数の前記液滴吐出ヘッド列を並べて、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出して、前記液滴吐出ヘッド列の内、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第１測定工程と、前記第１測定工程の後に行われ、前記第１測定工程において、他の前記液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった前記液滴吐出ヘッドを、他の前記液滴吐出ヘッド列にて挟んで、前記液状体を吐出した後、前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第２測定工程とを有することを特徴とする。

この吐出量測定方法によれば、吐出量の測定を第１測定工程と第２測定工程とに分けて測定している。

ノズルから液状体を液滴にして吐出するとき、液状体を加圧する。液状体を加圧することにより、液状体の圧力が高くなる。このとき、ノズルでは、液状体と気体とが接した状態となっている。そして、液状体の圧力が、気体の気圧より高くなることから、液状体の一部が液滴となって、気体中に吐出される。

液状体を加圧するとき、加圧するエネルギの一部は、熱に変換される。そして、液滴吐出ヘッドの温度が上昇する。液状体は、温度が上昇すると、液状体を構成する分子の運動エネルギが増加するので、粘度が低くなるものが多い。液状体の粘度が変化すると、ノズル等の流路を通過するときの流体抵抗が変化する。そして、ノズルから吐出される液状体の吐出量が変化する。

第１測定工程では、複数の液滴吐出ヘッド列を並べて液状体を吐出する。このとき、液滴吐出ヘッド列が、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれている状態の液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッド列が、他の液滴吐出ヘッドに挟まれていない状態の液滴吐出ヘッドとが存在する。そして、各液滴吐出ヘッドは、吐出するとき温度が上昇するので、吐出する液滴吐出ヘッドは、総て温度が上昇する。

他の液滴吐出ヘッド列に挟まれていない状態の液滴吐出ヘッドは、その一面が空気の流れと接しており放熱し易いので、温度が上昇し難くなっている。一方、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれている状態の液滴吐出ヘッド列は、挟んでいる液滴吐出ヘッド列も温度上昇するので、放熱し難くなっているため、温度が上昇し易くなっている。つまり、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれている状態の液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッドは、他の液滴吐出ヘッドに挟まれていない状態の液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッドと比べて、温度が上昇し易くなっている。

この測定方法では、第１測定工程において、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれている状態の液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッドから吐出するときの吐出量を測定している。そして、第２測定工程では、第１測定工程にて他の液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった液滴吐出ヘッド列を、他の液滴吐出ヘッド列にて挟んで、液状体を吐出した後、吐出量を測定している。つまり、第１測定工程及び第２測定工程において、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれている状態の液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッドから吐出するときの吐出量を測定している。従って、液滴吐出ヘッドは、略同じ温度における吐出量を測定することができる。その結果、精度良く吐出量を測定することができる。

［適用例２］
上記適用例にかかる吐出量測定方法であって、前記第１測定工程及び前記第２測定工程は、前記吐出量を測定する予定の前記液滴吐出ヘッドが待機する吐出前待機工程と、前記液状体を吐出する測定用吐出工程と、吐出された前記液状体の吐出量を測定する測定工程とを有し、前記吐出前待機工程において、前記液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することを特徴とする。

この吐出量測定方法によれば、吐出前待機工程において、液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することにより、液滴吐出ヘッドの温度を上昇させている。そして、液滴吐出ヘッドの温度が高い状態における吐出量を測定している。ワークに液状体を吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、液状体を吐出するので、液滴吐出ヘッドの温度が上昇している。つまり、液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することにより、ワークに液状体を吐出するときと略同じ温度における吐出量を測定することができる。従って、ワークに液状体を吐出するときの吐出量を精度良く測定することができる。

［適用例３］
上記適用例にかかる吐出量測定方法であって、前記暖機駆動は、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出しない程度に駆動して、暖機駆動を行うことを特徴とする。

この吐出量測定方法によれば、ノズルから液滴が吐出されない程度に暖機駆動している。従って、液滴が無駄に吐出されない為、省資源な吐出量測定方法とすることができる。

［適用例４］
上記適用例にかかる吐出量測定方法であって、前記暖機駆動は、前記測定用吐出工程において前記液状体を吐出する場所と、略同じ場所で、暖機駆動を行うことを特徴とする。

この吐出量測定方法によれば、液滴吐出ヘッドが、測定するために液状体を吐出する場所と暖機駆動する場所とが略同じ場所である為、液滴吐出ヘッドが暖機駆動した後、測定するために液状体を吐出する場所に移動する必要がない。従って、液滴吐出ヘッドを移動する間に液滴吐出ヘッドを冷やさないで吐出することができる為、液滴吐出ヘッドの温度における分散を小さくして、吐出量を測定することができる。その結果、吐出量を精度良く測定することができる。

［適用例５］
上記適用例にかかる吐出量測定方法であって、前記第１測定工程において、一つのキャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、順次、各前記キャリッジに搭載された測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、前記第２測定工程において、一つのキャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、順次、各前記キャリッジに搭載された測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定することを特徴とする。

この吐出量測定方法によれば、一つのキャリッジに搭載された液滴吐出ヘッドにおける吐出量を総て測定してから、順次、キャリッジを変えて、各キャリッジに搭載されている前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定している。従って、キャリッジの移動量が少なくなる方法を用いて測定している。その結果、キャリッジを移動させるエネルギを少なくすることができる為、省資源な測定方法とすることができる。

［適用例６］
上記適用例にかかる吐出量測定方法であって、複数の前記キャリッジに搭載された複数の前記液滴吐出ヘッド列により、前記液滴吐出ヘッドの複数の行が形成され、前記第１測定工程において、一つのキャリッジに搭載された測定予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、吐出量を測定した前記液滴吐出ヘッドの行に属する前記液滴吐出ヘッドであって、測定した前記液滴吐出ヘッドと近い場所に位置する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、順次、各前記キャリッジに搭載された測定する予定の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、前記第２測定工程において、一つのキャリッジに搭載された測定予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、吐出量を測定した前記液滴吐出ヘッドの行に属する前記液滴吐出ヘッドであって、測定した前記液滴吐出ヘッドと近い場所に位置する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、順次、各前記キャリッジに搭載された測定する予定の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、前記第１測定工程と、前記第２測定工程とを繰り返して、測定する予定である総ての行における前記液滴吐出ヘッドの吐出量を測定することを特徴とする。

この吐出量測定方法によれば、同じ行に属する液滴吐出ヘッドにおいて、近い場所に位置する液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、順次、行を変えて測定している。液滴吐出ヘッドの吐出量を測定するとき、液滴吐出ヘッドは、温度が管理されている環境内で測定される。このとき、温度は大きな周期で変化していることが多い。このとき、液滴吐出ヘッドのある行の内、近くに位置する液滴吐出ヘッドの吐出量を続けて測定している。従って、同一行において近い位置のヘッドは、略同じ温度の影響による誤差にて、吐出量を測定することができる。

［適用例７］
上記適用例にかかる吐出量測定方法であって、複数の前記キャリッジに搭載された複数の前記液滴吐出ヘッド列により、前記液滴吐出ヘッドの複数の行が形成され、前記第１測定工程において、一つのキャリッジに搭載された測定予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を測定し、前記第２測定工程においては、前記第１測定工程で測定した前記液滴吐出ヘッドの隣りに位置し、前記液滴吐出ヘッドの行に属する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、前記第１測定工程と、前記第２測定工程とを繰り返して、所定の行に属する前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定の、総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、測定していない前記液滴吐出ヘッドが属する行に切り換えて、前記第１測定工程と、前記第２測定工程とを繰り返して、前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定することを特徴とする。

この吐出量測定方法によれば、一つの液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、その測定した液滴吐出ヘッドの隣に位置していた液滴吐出ヘッドの吐出量を測定している。従って、周囲の温度の変化があるときにも、同一行において近い位置のヘッドは、略同じ温度の影響による誤差にて、吐出量を測定することができる。

［適用例８］
本適用例にかかる吐出量調整方法は、複数のキャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが配列して搭載された液滴吐出ヘッド列の、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出量を調整する吐出量調整方法であって、複数の前記液滴吐出ヘッド列を並べて、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出して、前記液滴吐出ヘッド列の内、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第１測定工程と、前記第１測定工程にて測定した前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する第１調整工程と、前記第１調整工程の後に行われ、前記第１測定工程において、他の前記液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった前記液滴吐出ヘッドを、他の前記液滴吐出ヘッド列にて挟んで、前記液状体を吐出した後、前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第２測定工程と、前記第２測定工程にて測定した前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する第２調整工程とを有することを特徴とする。

この吐出量調整方法によれば、第１測定工程にて測定した液滴吐出ヘッドを第１調整工程にて調整した後、第２測定工程にて測定した液滴吐出ヘッドを第２調整工程にて調整している。そして、第１測定工程及び第２測定工程において、精度良く吐出量を測定した測定結果に基づいて、第１調整工程及び第２調整工程において、吐出量を調整している。従って、第１調整工程及び第２調整工程において、吐出量を精度良く調整することができる。

［適用例９］
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記第１測定工程と前記第１調整工程とを繰り返して、前記吐出量を目標吐出量に近づける第１吐出量調整工程と、前記第２測定工程と前記第２調整工程とを繰り返して、前記吐出量を目標吐出量に近づける第２吐出量調整工程とを有することを特徴とする。

この吐出量調整方法によれば、第１吐出量調整工程と第２吐出量調整工程とを有している。そして、第１吐出量調整工程では、第１測定工程で測定した吐出量の測定結果に基づき、第１調整工程において、吐出量の調整を行っている。次に、第１測定工程と第１調整工程とを繰り返すことにより、吐出量を目標吐出量に近づけている。従って、調整工程を１回しか行わない方法に比べて、吐出量を精度良く調整することができる。

そして、第２吐出量調整においても、同様に行われることから、調整工程を１回しか行わない方法に比べて、吐出量を精度良く調整することができる。その結果、吐出量を精度良く調整可能な方法とすることができる。

［適用例１０］
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記第１測定工程及び前記第２測定工程は、前記吐出量を測定する予定の前記液滴吐出ヘッドが待機する吐出前待機工程と、前記液状体を吐出する測定用吐出工程と、吐出された前記液状体の吐出量を測定する測定工程とを有し、前記吐出前待機工程において、前記液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することを特徴とする。

この吐出量調整方法によれば、吐出前待機工程において、液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することにより、液滴吐出ヘッドの温度を上昇させている。そして、液滴吐出ヘッドの温度が高い状態における吐出量を測定している。ワークに液状体を吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、液状体を吐出するので、液滴吐出ヘッドの温度が上昇している。つまり、液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することにより、ワークに液状体を吐出するときと略同じ温度における吐出量を測定した後、吐出量を調整している。従って、ワークに液状体を吐出するときの吐出量を精度良く調整することができる。

［適用例１１］
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記暖機駆動は、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出しない程度に駆動して、暖機駆動を行うことを特徴とする。

この吐出量調整方法によれば、ノズルから液滴が吐出されない程度に暖機駆動している。従って、液滴が無駄に吐出されない為、省資源な吐出量調整方法とすることができる。

［適用例１２］
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記暖機駆動は、前記測定用吐出工程において前記液状体を吐出する場所と、略同じ場所で、暖機駆動を行うことを特徴とする。

この吐出量調整方法によれば、液滴吐出ヘッドが、測定するために液状体を吐出する場所と暖機駆動する場所とが略同じ場所である為、液滴吐出ヘッドが暖機駆動した後、測定するために液状体を吐出する場所に移動する必要がない。従って、液滴吐出ヘッドを移動する間に液滴吐出ヘッドを冷やさないで吐出することができる為、前記液滴吐出ヘッドの温度における分散を小さくして、吐出量を測定することができる。その結果、吐出量を精度良く測定することができる。

［適用例１３］
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記第１吐出量調整工程では、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッド列に属する前記液滴吐出ヘッド及び、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれていない前記液滴吐出ヘッド列に属する前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を調整することを特徴とする。

この吐出量調整方法によれば、第１測定工程において、他の液滴吐出ヘッドに挟まれていない液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッドは、第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程の両方の工程において、吐出量が調整される。

第１測定工程において、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれていない液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッドは、第１吐出量調整工程において、吐出量の調整が行われる。そして、この液滴吐出ヘッドの吐出量は、目標吐出量に近くなるように調整された後、第２吐出量調整工程において、再度、吐出量が調整される。第２吐出量調整工程では、液滴吐出ヘッドの温度が、第１吐出量調整工程における温度よりも上昇する。そして、液滴吐出ヘッドは、第１吐出量調整工程にて調整されない場合に比べて、少ない繰り返し回数により調整をすることができる。その結果、生産性の良い調整方法とすることができる。

［適用例１４］
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記第１測定工程及び前記第１調整工程とからなる工程と、前記第２測定工程及び前記第２調整工程とからなる工程との少なくとも一方の工程において、測定工程及び調整工程が複数行われ、前記調整工程は、粗調整工程と、微調整工程とを有することを特徴とする。

ここで、粗調整工程と微調整工程との違いは、調整するときの吐出量の大きさである。そして、粗調整工程では、微調整工程に比べて、吐出量を大きく変えて調整される。この吐出量調整方法によれば、粗調整と微調整とを行っている。このとき、微調整を繰り返して、吐出量を少量ずつ調整する場合に比べて、粗調整により、吐出量を大きく変化させる工程と微調整工程をと組み合わせて行う方が、少ない回数で、目標とする吐出量に調整することが多い。従って、生産性良く調整を行うことができる。

［適用例１５］
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記粗調整工程の前に行われる測定工程において、吐出する前記液状体の量は、前記微調整工程の前に行われる測定工程において、吐出する前記液状体の量に比べて、少ない量であることを特徴とする。

この吐出量調整方法によれば、粗調整工程では、微調整工程に比べて、少ない吐出量で吐出量の測定を行っている。従って、吐出する液状体の消費量を少なくすることができる。その結果、省資源な調整方法とすることができる。

［適用例１６］
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記粗調整工程の前に行われる測定工程において、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を単位時間に吐出する回数は、前記微調整工程の前に行われる測定工程において、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を単位時間に吐出する回数に比べて、多い回数であることを特徴とする。

この吐出量調整方法によれば、粗調整工程では、微調整工程に比べて、単位時間に吐出する回数を多くしている。粗調整工程及び、微調整工程において、略同じ回数の吐出を行って、吐出量を測定するとき、粗調整工程の方が短い時間で、吐出することができる。従って、生産性良く調整することができる。

［適用例１７］
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記第１調整工程において、一つのキャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、順次、各前記キャリッジに搭載された調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、前記第２調整工程において、一つのキャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、順次、各前記キャリッジに搭載された調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整測定することを特徴とする。

この吐出量調整方法によれば、一つのキャリッジに搭載された液滴吐出ヘッドにおける吐出量を総て測定してから、順次、キャリッジを変えて、各キャリッジに搭載されている前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整している。従って、キャリッジの移動量が少なくなる方法を用いて調整している。その結果、キャリッジを移動させるエネルギを少なくすることができる為、省資源な調整方法とすることができる。

［適用例１８］
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、複数の前記キャリッジに搭載された複数の前記液滴吐出ヘッド列により、前記液滴吐出ヘッドの複数の行が形成され、前記第１調整工程において、一つのキャリッジに搭載された調整予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、吐出量を調整した前記液滴吐出ヘッドの行に属する一部の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、順次、各前記キャリッジに搭載された調整する予定の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、前記第２調整工程において、一つのキャリッジに搭載された調整予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、吐出量を調整した前記液滴吐出ヘッドの行に属する一部の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、順次、各前記キャリッジに搭載された調整する予定の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、前記第１調整工程と、前記第２調整工程とを繰り返して、調整する予定である総ての行における前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整することを特徴とする。

この吐出量調整方法によれば、同じ行に属する液滴吐出ヘッドにおいて、近い場所に位置する液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、順次、行を変えて測定している。液滴吐出ヘッドの吐出量を測定するとき、液滴吐出ヘッドは、温度が管理されている環境内で測定される。このとき、温度は大きな周期で変化していることが多い。このとき、ある液滴吐出ヘッドのある行の内、近くに位置する液滴吐出ヘッドの吐出量を続けて調整している。従って、同一行において近い位置のヘッドは、略同じ温度の影響による誤差にて、吐出量を調整することができる。

［適用例１９］
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、複数の前記キャリッジに搭載された複数の前記液滴吐出ヘッド列により、前記液滴吐出ヘッドの複数の行が形成され、前記第１調整工程において、一つのキャリッジに搭載された調整予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整し、前記第２調整工程においては、前記第１調整工程で調整した前記液滴吐出ヘッドの隣りに位置し、前記液滴吐出ヘッドの行に属する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、前記第１調整工程と、前記第２調整工程とを繰り返して、所定の行に属する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、調整していない前記液滴吐出ヘッドが属する行に切り換えて、前記第１調整工程と、前記第２調整工程とを繰り返して、前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整することを特徴とする。

この吐出量調整方法によれば、一つの液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整した後、その調整した液滴吐出ヘッドの隣に位置していた液滴吐出ヘッドの吐出量を調整している。従って、周囲の温度の変化があるときにも、同一行において近い位置のヘッドは、略同じ温度の影響による誤差にて、吐出量を調整することができる。

［適用例２０］
本適用例にかかる吐出量調整方法は、複数のキャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが配列して搭載された液滴吐出ヘッド列の、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出量を調整する吐出量調整方法であって、複数の前記液滴吐出ヘッド列を並べて、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出して、前記液滴吐出ヘッド列の内、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第１測定工程と、前記第１測定工程にて測定した前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する第１調整工程と、前記第１調整工程の後に行われ、前記第１測定工程において、他の前記液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった前記液滴吐出ヘッドを、他の前記液滴吐出ヘッド列にて挟んで、前記液状体を吐出した後、前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第２測定工程と、前記第２測定工程にて測定した前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する第２調整工程とを有し、前記第１測定工程と前記第１調整工程とを繰り返して、前記吐出量を目標吐出量に近づける第１吐出量調整工程と、前記第２測定工程と前記第２調整工程とを繰り返して、前記吐出量を目標吐出量に近づける第２吐出量調整工程とを有し、前記第１吐出量調整工程では、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッド列に属する前記液滴吐出ヘッドに加え、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれていない前記液滴吐出ヘッド列に属する前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を粗調整することを特徴とする。

この吐出量調整方法によれば、液滴吐出ヘッドが、第１吐出量調整工程にて調整されない場合に比べて、少ない繰り返し回数により調整をすることができる。その結果、生産性の良い調整方法とすることができる。

［適用例２１］
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記第１吐出量調整工程において、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれていない前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量は、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量に比べて、少ない吐出量が吐出されるように調整することを特徴とする。

この吐出量調整方法によれば、液滴吐出ヘッド列に挟まれていない液滴吐出ヘッドから吐出された液状体の吐出量が少なくなるように調整している。液滴吐出ヘッド列に挟まれていない液滴吐出ヘッドは、風の影響を受けるので、温度が低くなる。そして、温度が低くなるとき、吐出量が少なくなる。目標とする吐出量の液状体を吐出するように調整した後、他の液滴吐出ヘッドに挟んで吐出量を測定するとき、液滴吐出ヘッドの温度が高くなるので、吐出量が目標とする吐出量を越えることになる。

ここで、液滴吐出ヘッド列に挟まれていない液滴吐出ヘッドから吐出された液状体の吐出量が目標の吐出量より少なくなるように調整される。従って、他の液滴吐出ヘッドに挟んで吐出量を測定するとき、吐出量を目標とする吐出量に近い吐出量から調整を開始することができる。その結果、少ない調整回数で調整ができる為、生産性良く調整することができる。

［適用例２２］
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記第２測定工程において、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出する前記液状体の吐出量は、前記第１吐出量調整工程にて設定した吐出量より少ない吐出量が吐出されるように設定を変更した後、前記液状体を吐出して、前記第２調整工程において、吐出量を調整することを特徴とする。

この吐出量調整方法によれば、液滴吐出ヘッド列に挟まれていない液滴吐出ヘッドから吐出された液状体の吐出量が目標の吐出量より少なくなるように調整する。従って、他の液滴吐出ヘッドに挟んで吐出量を測定するとき、吐出量を目標とする吐出量に近い吐出量から調整を開始することができる。その結果、少ない調整回数で調整ができる為、生産性良く調整することができる。

［適用例２３］
本適用例にかかる液状体の吐出方法は、ワークに液状体を液滴吐出ヘッドから吐出する液状体の吐出方法であって、吐出量を調整する吐出量調整工程と、前記ワークに液滴を吐出する塗布工程とを有し、前記吐出量調整工程では、上記適用例に記載の吐出量調整方法を用いて調整することを特徴とする。

この液状体の吐出方法によれば、吐出量を測定した後、吐出量を調整することにより、吐出量を所望の吐出量にして、ワークに吐出している。そして、精度良く測定した吐出量の測定値を基に、吐出量を調整する為、ワークに吐出する吐出量は、精度良く調整された吐出量の吐出をすることができる。その結果、吐出量を精度良くワークに吐出することができる。

［適用例２４］
本適用例にかかるカラーフィルタの製造方法は、基板上にカラーインクを塗布して形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記適用例に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記カラーインクを吐出して塗布することを特徴とする。

このカラーフィルタの製造方法によれば、カラーインクの吐出量を精度良く吐出して塗布することから、カラーインクの塗布量が精度良く塗布されるカラーフィルタの製造方法とすることができる。

［適用例２５］
本適用例にかかる液晶表示装置の製造方法は、第１基板と第２基板とに配向膜を形成し、前記第１基板と前記第２基板との間に、液晶を挟んで形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法であって、上記適用例に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記第１基板と前記第２基板との内、少なくとも一方に、前記配向膜の材料を吐出して塗布した後、固化することにより、前記配向膜を形成することを特徴とする。

この液晶表示装置の製造方法によれば、配向膜の材料における吐出量を精度良く吐出して塗布することから、配向膜の材料における塗布量が精度良く塗布される液晶表示装置の製造方法とすることができる。

［適用例２６］
本適用例にかかる液晶表示装置の製造方法は、第１基板に液晶を塗布した後、前記第１基板と第２基板との間に、前記液晶を挟んで形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法であって、上記適用例に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記第１基板に前記液晶を吐出して塗布することを特徴とする。

この液晶表示装置の製造方法によれば、液晶の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、液晶の塗布量が精度良く塗布される液晶表示装置の製造方法とすることができる。

［適用例２７］
本適用例にかかる電気光学装置の製造方法は、基板に発光素子形成材料を塗布した後、固化することにより、発光素子を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、上記適用例に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記発光素子形成材料を吐出して塗布することを特徴とする。

この電気光学装置の製造方法によれば、発光素子形成材料の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、発光素子形成材料の塗布量が精度良く塗布される電気光学装置の製造方法とすることができる。

［適用例２８］
本適用例にかかる電気光学装置の製造方法は、基板に液状体の電極材料を塗布した後、固化することにより、電極を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、上記適用例に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記電極材料を吐出して塗布することを特徴とする。

この電気光学装置の製造方法によれば、液状体の電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、電極材料の塗布量が精度良く塗布されて、電極が形成される電気光学装置の製造方法とすることができる。

［適用例２９］
本適用例にかかる電気光学装置の製造方法は、基板に液状体の配線材料を塗布した後、固化することにより、配線を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、上記適用例に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記配線材料を吐出して塗布することを特徴とする。

この電気光学装置の製造方法によれば、液状体の配線材料の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、配線材料の塗布量が精度良く塗布されて、配線が形成される電気光学装置の製造方法とすることができる。

［適用例３０］
本適用例にかかる電気光学装置の製造方法は、基板に液状体の半導体材料を塗布して、固化した後、加熱することにより、半導体を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、上記適用例に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記半導体材料を吐出して塗布することを特徴とする。

この電気光学装置の製造方法によれば、液状体の半導体材料の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、半導体材料の塗布量が精度良く塗布されて、半導体が形成される電気光学装置の製造方法とすることができる。

以下、実施形態について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
（第１の実施形態）
本実施形態では、液滴吐出装置と、この液滴吐出装置を用いて液状体を液滴にして吐出する場合の特徴的な例について図１〜図９に従って説明する。

（液滴吐出装置）
最初に、ワークに液滴を吐出して塗布する液滴吐出装置１について図１〜図３に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。

図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１により、機能液が吐出され塗布される。
図１に示すように、液滴吐出装置１には、直方体形状に形成される基台２が備えられている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。

基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延在する一対の案内レール３ａ，３ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するテーブルとしてのステージ４が取付けられている。そのステージ４の直動機構は、例えば案内レール３ａ，３ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。

さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂと平行に主走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の位置が計測できるようになっている。

そのステージ４の上面には、載置面６が形成され、その載置面６には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面６にワークとしての基板７を載置すると、基板チャック機構によって、その基板７が載置面６の所定位置に位置決め固定されるようになっている。

基台２のＸ方向両側には、一対の支持台８ａ，８ｂが立設され、その一対の支持台８ａ，８ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材９が架設されている。

案内部材９の上側には、吐出する液体を供給可能に収容する収容タンク１０が配設されている。一方、その案内部材９の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１１がＸ方向全幅にわたり凸設されている。

案内レール１１に沿って移動可能に配置されるキャリッジ１２は、第１キャリッジ１２ａ〜第６キャリッジ１２ｆの６個のキャリッジから構成され、各キャリッジ１２ａ〜１２ｆは、底面が略平行四辺形の角柱形状に形成されている。その各キャリッジ１２ａ〜１２ｆは直動機構を備え、各キャリッジ１２ａ〜１２ｆが個別に移動可能となっている。その直動機構は、例えば案内レール１１に沿ってＸ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ１２が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。案内部材９とキャリッジ１２との間には、副走査位置検出装置１３が配置され、各キャリッジ１２ａ〜１２ｆの位置が計測できるようになっている。そして、キャリッジ１２の下面（ステージ４側の面）には、液滴吐出ヘッド１４が凸設されている。

基台２の上側であって、ステージ４の片側の一方（図中Ｙ方向の逆方向）には、クリーニングユニット１５が配置されている。クリーニングユニット１５は、保守ステージ１６と、保守ステージ１６の上に配置されている、第１フラッシングユニット１７、第２フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０、重量測定装置２１等により構成されている。

保守ステージ１６は、案内レール３ａ，３ｂ上に位置し、ステージ４と同様の直動機構を備えている。そして、図示しない保守ステージ位置検出装置を用いて位置を検出し、直動機構で移動することにより、所望の場所に移動し、停止することが可能となっている。そして、保守ステージ１６が、案内レール３ａ，３ｂに沿って移動することにより、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に、第１フラッシングユニット１７、第２フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０、重量測定装置２１のいずれか一つの装置が配置されるようになっている。

第１フラッシングユニット１７及び第２フラッシングユニット１８は、液滴吐出ヘッド１４内の流路を洗浄するとき、液滴吐出ヘッド１４から吐出する液滴を受ける装置である。液滴吐出ヘッド１４内の機能液が揮発するとき、機能液の粘度が高くなるので、吐出し難くなる。この場合に、粘度の高くなった機能液を液滴吐出ヘッド１４から排除するため、液滴吐出ヘッド１４から液滴を吐出して洗浄する。この液滴を受ける機能を第１フラッシングユニット１７及び第２フラッシングユニット１８が行っている。

キャッピングユニット１９は、液滴吐出ヘッド１４に蓋をする機能と、液滴吐出ヘッド１４の機能液を吸引する機能とを有する装置である。液滴吐出ヘッド１４から吐出する液滴は、揮発性を有する場合があり、液滴吐出ヘッド１４に内在する機能液の溶媒がノズルから揮発すると、機能液の粘度が変わり、ノズルが目詰まりすることがある。キャッピングユニット１９は、液滴吐出ヘッド１４に蓋をすることで、ノズルが目詰まりすることを防止するようになっている。

さらに、液滴吐出ヘッド１４の内部に固形物が混入して、液滴を吐出できなくなったとき、液滴吐出ヘッド１４の内部の機能液と固形物とを吸引して、除去する。そして、ノズルの目詰まりを解消するようになっている。

ワイピングユニット２０は、液滴吐出ヘッド１４のノズルが配置されているノズルプレートを拭く装置である。ノズルプレートは、液滴吐出ヘッド１４において、基板７と対向する側の面に配置されている部材である。ノズルプレートに液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と基板７とが接触して、基板７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことがある。

さらに、ノズル周辺に液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と吐出する液滴とが接触して、吐出する液滴の軌道が曲がる。従って、塗布する場所が、塗布する予定の場所と異なってしまうことがある。ワイピングユニット２０は、ノズルプレートを拭くことにより、基板７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことを防止している。

重量測定装置２１には、電子天秤が１２台設置され、各電子天秤には、受け皿が配置されている。電子天秤は、３個が一つの列に配列して、略Ｙ方向に形成され、この列が４列配置されている。そして、液滴が、液滴吐出ヘッド１４から受け皿に吐出され、電子天秤が液滴の重量を測定するようになっている。受け皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が、跳ねて、受け皿の外に出ないようになっている。この電子天秤は、液滴吐出ヘッド１４が液滴を吐出する前後で、受け皿の重量を測定する。そして、吐出前後における受け皿の重量の差分を演算することにより、吐出する液滴の重量を測定可能となっている。

重量測定装置２１の両側には、第１フラッシングユニット１７と第２フラッシングユニット１８とが配置されている。そして、一部の液滴吐出ヘッド１４から吐出される吐出量を測定している間、他の液滴吐出ヘッド１４は、第１フラッシングユニット１７又は、第２フラッシングユニット１８と対向する場所に位置して、液滴を吐出することが可能となっている。

液滴吐出装置１は、四隅に支柱２２を備え、上部（図中上側）に、空気制御装置２３を備えている。空気制御装置２３は、ファン、フィルタ、冷暖房装置、湿度調整装置などを備えている。ファン（送風機）は、工場内の空気を取り込んで、フィルタを通過することにより、空気内の塵や埃を除去し、清浄化された空気を供給する。

冷暖房装置は、液滴吐出装置１の雰囲気温度を所定の温度範囲に保持するように、供給する空気の温度を制御する装置である。湿度調整装置は、液滴吐出装置１の雰囲気湿度を所定の湿度範囲に保持するように、空気を除湿、又は加湿して供給する空気の湿度を制御する装置である。

４本の支柱２２の間には、シート２４が配置され、空気の流れを遮断するようになっている。空気制御装置２３から供給される空気は、空気制御装置２３から床２５に向かって（図中Ｚ方向の反対方向）流れ、シート２４に囲まれる空間内の塵や埃は、床２５に向かって流動する。それにより、基板７に塵や埃が付着し難いようになっている。

さらに、シート２４が、空気の流れを制限することにより、シート２４に囲まれる空間内の温度及び湿度を、シート２４の外から影響され難くしている。そして、空気制御装置２３がシート２４に囲まれる空間内の温度及び湿度を制御し易くなっている。

図２（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図である。図２（ａ）に示すように、１個のキャリッジ１２には、液滴吐出ヘッド１４が３個で一つの列に配列して、略Ｙ方向に形成され、この列が２列配置されている。そして、液滴吐出ヘッド１４の表面には、ノズルプレート３０が配置され、ノズルプレート３０には、ノズル３１が複数、形成されている。ノズル３１の数は、吐出するパターンと基板７の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、１個のノズルプレート３０には、ノズル３１の配列が２列形成され、各列には１５個のノズル３１が配置されている。

図２（ｂ）は、キャリッジを示す模式側面図であり、図２（ａ）に示すキャリッジをＹ方向から見た図である。図２（ｂ）に示すように、キャリッジ１２は、ベース板３２を備えている。ベース板３２の上側には、移動機構３３が配置されており、キャリッジ１２が、案内レール１１に沿って移動するための機構が収納されている。

ベース板３２の下側には、支持部３４を介して駆動回路基板３５が配置されている。そして、駆動回路基板３５の下側には、ヘッド駆動回路３６が配置されている。さらに、ベース板３２には、支持部３７を介して、ヘッド取付板３８が配置され、ヘッド取付板３８の下面には、液滴吐出ヘッド１４が配置されている。ヘッド駆動回路３６と液滴吐出ヘッド１４とは、図示しないケーブルにより接続され、ヘッド駆動回路３６が出力する駆動信号が、液滴吐出ヘッド１４に入力されるようになっている。

ベース板３２の下側には、供給装置３９が配置され、収容タンク１０と供給装置３９との間、及び、供給装置３９と液滴吐出ヘッド１４との間は、図示しないチューブにより接続されている。そして、収容タンク１０から供給される機能液が、供給装置３９により液滴吐出ヘッド１４に供給されるようになっている。

図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図２（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４は、ノズルプレート３０を備え、ノズルプレート３０には、ノズル３１が形成されている。ノズルプレート３０の上側であって、ノズル３１と相対する位置には、ノズル３１と連通するキャビティ４０が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド１４のキャビティ４０には、収容タンク１０に貯留されている液状体としての機能液４１が供給される。

キャビティ４０の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ４０内の容積を拡大縮小する振動板４２と、上下方向に伸縮して振動板４２を振動させる圧電素子４３が配設されている。圧電素子４３が上下方向に伸縮して振動板４２を加圧して振動し、振動板４２がキャビティ４０内の容積を拡大縮小してキャビティ４０を加圧する。それにより、キャビティ４０内の圧力が変動し、キャビティ４０内に供給された機能液４１は、ノズル３１を通って吐出されるようになっている。

そして、液滴吐出ヘッド１４が圧電素子４３を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子４３が伸張して、振動板４２がキャビティ４０内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド１４のノズル３１からは、縮小した容積分の機能液４１が液滴４４として吐出される。ノズル３１から液滴４４を吐出するとき、液滴４４を吐出するために、液滴吐出ヘッド１４に加えられるエネルギの一部が、熱に変換される。そして、液滴吐出ヘッド１４は加熱されて、温度が上昇する。

図３は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図３において、液滴吐出装置１はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）４８と、各種情報を記憶するメモリ４９とを有する。

主走査駆動装置５０、副走査駆動装置５１、主走査位置検出装置５、副走査位置検出装置１３、液滴吐出ヘッド１４を駆動するヘッド駆動回路３６は、入出力インターフェース５２及びデータバス５３を介してＣＰＵ４８に接続されている。さらに、入力装置５４、ディスプレイ装置５５、重量測定装置２１、第１フラッシングユニット１７、第２フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０も入出力インターフェース５２及びデータバス５３を介してＣＰＵ４８に接続されている。同じく、クリーニングユニット１５において、保守ステージ１６を駆動する保守ステージ駆動装置５６及び、保守ステージ１６の位置を検出する保守ステージ位置検出装置５７も入出力インターフェース５２及びデータバス５３を介してＣＰＵ４８に接続されている。

主走査駆動装置５０は、ステージ４の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置５１は、キャリッジ１２の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置５が、ステージ４の位置を認識し、主走査駆動装置５０が、ステージ４の移動を制御することにより、ステージ４を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置１３が、キャリッジ１２の位置を認識し、副走査駆動装置５１が、キャリッジ１２の移動を制御することにより、キャリッジ１２を所望の位置に移動及び停止することが可能となっている。

入力装置５４は、液滴４４を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板７に液滴４４を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレイ装置５５は、加工条件や、作業状況を表示する装置であり、操作者は、ディスプレイ装置５５に表示される情報を基に、入力装置５４を用いて操作を行う。

重量測定装置２１は、電子天秤及び受け皿を備え、液滴吐出ヘッド１４が吐出する液滴４４と、液滴４４を受ける受け皿との重量を測定する装置である。液滴４４が吐出される前後の受け皿の重量を測定して、測定値をＣＰＵ４８に送信する。

保守ステージ駆動装置５６は、第１フラッシングユニット１７、第２フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０、重量測定装置２１から１つの装置を選択して、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に位置するように、保守ステージ１６を移動する装置である。そして、保守ステージ位置検出装置５７が、保守ステージ１６の位置を検出した後、保守ステージ駆動装置５６が保守ステージ１６を移動することにより、所望の装置又はユニットが、確実に、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に、移動可能となっている。

メモリ４９は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５８を記憶する記憶領域が設定される。さらに、基板７内における吐出位置の座標データである吐出位置データ５９を記憶するための記憶領域も設定される。

他にも、液滴吐出ヘッド１４の暖機駆動において、駆動回数データなどの暖機駆動データ６０が設定される。さらに、ノズル３１から吐出される液滴４４の重量を測定するときに、圧電素子４３を駆動する測定用駆動データ６１を記憶するための記憶領域が設定される。

さらに、基板７を主走査方向（Ｙ方向）へ移動する主走査移動量と、キャリッジ１２を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ４８のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。

ＣＰＵ４８は、メモリ４９内に記憶されたプログラムソフト５８に従って、基板７における表面の所定位置に機能液を液滴４４にして吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部６２を有する。さらに、液滴吐出ヘッド１４を洗浄するタイミングを演算する洗浄演算部６３や、液滴吐出ヘッド１４を暖機駆動するときに、暖機駆動する液滴吐出ヘッド１４の選択や、暖機駆動時間の制御を行う暖機制御演算部６４を有する。

他に、液滴吐出ヘッド１４によって液滴４４を吐出するための演算を行う吐出演算部６５などを有する。吐出演算部６５を詳しく分割すれば、液滴吐出ヘッド１４を液滴吐出のための初期位置へセットするための吐出開始位置演算部６６を有する。さらに、吐出演算部６５は、基板７を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部６７を有する。加えて、吐出演算部６５は、液滴吐出ヘッド１４を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部６８を有する。さらに、吐出演算部６５は液滴吐出ヘッド１４内に複数あるノズルの内、どのノズルを作動させて機能液を吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部６９等といった各種の機能演算部を有する。

（吐出方法）
次に、上述した液滴吐出装置１を使って、基板７に機能液を吐出して塗布する吐出方法について図４〜図９にて説明する。図４は、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャートである。図５〜図９は、液滴吐出装置を使った吐出方法を説明する図である。

ステップＳ１は、調整順番設定工程に相当し、液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する順番を設定する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は、吐出前待機工程に相当し、液滴吐出ヘッドを暖機駆動する工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３は、移動工程に相当し、重量測定装置と対向する場所に液滴吐出ヘッドを移動する工程である。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は、測定用吐出工程に相当し、ノズルから重量測定装置の受け皿へ所定の回数の吐出を行う工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ５は、測定工程に相当し、重量測定装置の受け皿の重量を計測する。そして、吐出１回当りの吐出量を演算する工程である。ステップＳ２〜ステップＳ５のステップにより、ステップＳ２１の第１測定工程が構成される。次にステップＳ６に移行する。

ステップＳ６は、吐出量が目標吐出量になったか、を判断する工程に相当し、ステップＳ５にて測定した吐出量と調整する目標である目標吐出量とを比較して、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいか、を判断する工程である。吐出量と目標吐出量との差が規定値より大きいとき（ＮＯのとき）、ステップＳ７に移行する。ステップＳ６において、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ８に移行する。ステップＳ７は、第１調整工程に相当し、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を調整する工程である。次にステップＳ４に移行する。

ステップＳ８は、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、ステップＳ１にて調整すると設定した液滴吐出ヘッドにおいて、総て調整したか、を判断する工程である。調整する予定の液滴吐出ヘッドの中で、吐出量を調整していない液滴吐出ヘッドがあるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ３に移行する。ステップＳ８において、調整する予定の液滴吐出ヘッドにおける、総ての液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ９に移行する。ステップＳ２〜ステップＳ８のステップによりステップＳ２２の第１吐出量調整工程が構成される。

ステップＳ９は、移動工程に相当し、液滴吐出ヘッドを、第２フラッシングユニット及び重量測定装置と対向する場所から、第１フラッシングユニットと対向する場所へ移動させる工程である。次にステップＳ１０に移行する。ステップＳ１０は、吐出前待機工程に相当し、液滴吐出ヘッドを暖機駆動する工程である。次にステップＳ１１に移行する。ステップＳ１１は、移動工程に相当し、重量測定装置と対向する場所に液滴吐出ヘッドを移動する工程である。次にステップＳ１２に移行する。ステップＳ１２は、測定用吐出工程に相当し、ノズルから重量測定装置の受け皿へ所定の回数の吐出を行う工程である。次にステップＳ１３に移行する。ステップＳ１３は、測定工程に相当し、重量測定装置の受け皿の重量を計測する。そして、吐出１回当りの吐出量を演算する工程である。ステップＳ１０〜ステップＳ１３のステップにより、ステップＳ２３の第２測定工程が構成される。次にステップＳ１４に移行する。

ステップＳ１４は、吐出量が目標吐出量になったか、を判断する工程に相当し、ステップＳ１３にて測定した吐出量と調整する目標である目標吐出量とを比較して、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいか、を判断する工程である。吐出量と目標吐出量との差が規定値より大きいとき（ＮＯのとき）、ステップＳ１５に移行する。ステップＳ１４において、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ１６に移行する。ステップＳ１５は、第２調整工程に相当し、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を調整する工程である。次にステップＳ１２に移行する。

ステップＳ１６は、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、ステップＳ１にて調整すると設定した液滴吐出ヘッドにおいて、総て調整したか、を判断する工程である。調整する予定の液滴吐出ヘッドの中で、吐出量を調整していない液滴吐出ヘッドがあるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ１１に移行する。ステップＳ１６において、調整する予定の液滴吐出ヘッドにおける総ての、液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ１７に移行する。ステップＳ１０〜ステップＳ１６のステップによりステップＳ２４の第２吐出量調整工程が構成される。

ステップＳ１７は、塗布工程に相当し、基板に液滴を吐出して塗布する工程である。以上で、基板に機能液を吐出して塗布する製造工程を終了する。

次に、図５〜図９を用いて、図４に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を精度良く調整して、ワークに塗布する製造方法を詳細に説明する。
図５は、ステップＳ１に対応する図であり、液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する順番を説明するための図である。そして、図５（ａ）は、第１吐出量調整工程における液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する順番を説明するための図である。図５（ａ）に示すように、キャリッジ１２は、第１キャリッジ１２ａ〜第６キャリッジ１２ｆの６個のキャリッジから構成されている。そして、第１キャリッジ１２ａは、第１ヘッド列７１及び第２ヘッド列７２を備えている。そして、第１ヘッド列７１及び第２ヘッド列７２は、各々３個の液滴吐出ヘッド１４がＹ方向に対して斜めに並べて配置されている。

同様に、第２キャリッジ１２ｂは、第３ヘッド列７３及び第４ヘッド列７４を備え、第３キャリッジ１２ｃは、第５ヘッド列７５及び第６ヘッド列７６を備えている。そして、第４キャリッジ１２ｄは、第７ヘッド列７７及び第８ヘッド列７８を備え、第５キャリッジ１２ｅは、第９ヘッド列７９及び第１０ヘッド列８０を備えている。同様に、第６キャリッジ１２ｆは、第１１ヘッド列８１及び第１２ヘッド列８２を備えている。そして、第３ヘッド列７３〜第１２ヘッド列８２は、第１ヘッド列７１と同様に、各々３個の液滴吐出ヘッド１４がＹ方向に対して斜めに並べて配置されている。この第１ヘッド列７１〜第１２ヘッド列８２は、各々、液滴吐出ヘッド列となっている。

ステップＳ２２の第１吐出量調整工程では、キャリッジ１２を３つの群に分けて調整を行う。１つ目は、第１キャリッジ１２ａと第２キャリッジ１２ｂとを合わせて第１群８３として設定し、２つ目は、第３キャリッジ１２ｃと第４キャリッジ１２ｄとを合わせて第２群８４として設定する。そして、３つ目には、第５キャリッジ１２ｅと第６キャリッジ１２ｆとを合わせて第３群８５として設定する。

第１群８３では、第１ヘッド列７１〜第３ヘッド列７３における液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整することとする。そして、第２群８４では、第６ヘッド列７６及び第７ヘッド列７７における液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整することとする。第３群８５では、第１０ヘッド列８０〜第１２ヘッド列８２における液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整することとする。

図５（ｂ）は、ステップＳ２４の第２吐出量調整工程における液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する順番を説明するための図である。図５（ｂ）に示すように、ステップＳ２４の第２吐出量調整工程では、キャリッジ１２を２つの群に分けて調整を行う。１つ目は、第２キャリッジ１２ｂと第３キャリッジ１２ｃとを合わせて第４群８６として設定し、２つ目は、第４キャリッジ１２ｄと第５キャリッジ１２ｅとを合わせて第５群８７として設定する。

第４群８６では、第４ヘッド列７４及び第５ヘッド列７５における液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整することとする。そして、第５群８７では、第８ヘッド列７８及び第９ヘッド列７９における液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整することとする。

以上の設定では、ステップＳ２２及びステップＳ２４を行うことにより、第１ヘッド列７１〜第１２ヘッド列８２の総てのヘッド列における液滴吐出ヘッド１４の吐出量を測定することとなる。

図６（ａ）はステップＳ２に対応する図である。図６（ａ）に示すように、第１キャリッジ１２ａ〜第６キャリッジ１２ｆを、第１フラッシングユニット１７と対向する場所に移動する。そして、第１ヘッド列７１〜第１２ヘッド列８２の液滴吐出ヘッド１４に、非吐出駆動波形９０を入力することにより、第１ヘッド列７１〜第１２ヘッド列８２の液滴吐出ヘッド１４から液滴が吐出しない程度に圧電素子４３を駆動する。そして、圧電素子４３が駆動されることにより、液滴吐出ヘッド１４を暖機させる暖機駆動を行う。そして、第１ヘッド列７１〜第１２ヘッド列８２の液滴吐出ヘッド１４は、加熱されるので、液滴吐出ヘッド１４の温度が上昇する。また、待機する液滴吐出ヘッド１４は、所定の間隔にて、液滴４４を第１フラッシングユニット１７に吐出するフラッシングを行うことにより、ノズル３１を乾燥から防止している。

図６（ｂ）はステップＳ３に対応する図である。図６（ｂ）に示すように、第１キャリッジ１２ａ及び第２キャリッジ１２ｂを重量測定装置２１と対向する場所に移動する。そして、第１ヘッド列７１〜第４ヘッド列７４の液滴吐出ヘッド１４が、重量測定装置２１と対向する場所に位置される。このとき、第３キャリッジ１２ｃ〜第６キャリッジ１２ｆに搭載されている第５ヘッド列７５〜第１２ヘッド列８２の液滴吐出ヘッド１４は、第１フラッシングユニット１７と対向する場所に待機しながら、暖機駆動とフラッシングとを行う。

図６（ｃ）〜図７（ｃ）はステップＳ４に対応する図である。図６（ｃ）に示すように、第１ヘッド列７１〜第４ヘッド列７４の液滴吐出ヘッド１４に吐出駆動波形９１を入力することにより、ノズル３１から液滴４４を重量測定装置２１に吐出する。

図７（ａ）及び図７（ｂ）は液滴吐出ヘッドの駆動波形を示すタイムチャートである。図７（ａ）は、液滴吐出ヘッド１４から液滴４４を連続吐出するときの一例であり、ヘッド駆動回路３６が、圧電素子４３を駆動する吐出駆動波形９１を３個分表示している。図の横軸は時間９２の経過を示し、縦軸は、駆動電圧９３の変化を示す。吐出駆動波形９１は、略台形の波形形状をしており、吐出時の駆動電圧のピーク値である吐出電圧９４及び吐出パルス幅９５は、所定の電圧及び時間に設定されている。そして、吐出駆動波形９１の周期である吐出波形周期９６も、所定の時間間隔に形成されている。吐出電圧９４、吐出パルス幅９５及び吐出波形周期９６は、圧電素子４３や振動板４２の動特性に合わせて設定する必要がある。従って、実際に吐出する予備試験を実施して、最適な吐出条件を導くことが望ましい。

図７（ｂ）は、液滴吐出ヘッド１４から液滴４４を吐出せずに駆動することにより、暖機駆動するときの一例である非吐出駆動波形９０を３個分表示している。非吐出駆動波形９０は、略台形の波形形状をしており、非吐出時の駆動電圧のピーク値である非吐出電圧９７は、液滴４４を吐出しない範囲で、圧電素子４３を大きく振動させる方が良い。本実施形態において、例えば、非吐出電圧９７は、吐出電圧９４の約３分の１程度の電圧を採用している。非吐出時のパルス幅である非吐出パルス幅９８は、吐出パルス幅９５と同じ値を採用している。そして、非吐出駆動波形９０の波形周期である非吐出波形周期９９は、圧電素子４３が振動する間隔に設定する。非吐出波形周期９９は、本実施形態では、例えば、吐出波形周期９６と同一の時間間隔を採用している。

図７（ｃ）は、液滴吐出ヘッドを連続して駆動するときの駆動吐出回数とヘッド温度との関係を示すグラフである。図７（ｃ）において、横軸は、液滴４４を吐出する回数である吐出回数１００の経過を示し、縦軸は、ヘッド温度１０１の変化を示す。圧電素子４３を連続して駆動して、液滴４４を吐出するときにおける、吐出回数１００の経過に対するヘッド温度１０１の推移を外ヘッド温度曲線１０２及び内ヘッド温度曲線１０３に示す。外ヘッド温度曲線１０２は図６（ｃ）における第１ヘッド列７１及び第４ヘッド列７４の液滴吐出ヘッド１４の温度であり、内ヘッド温度曲線１０３は、第２ヘッド列７２及び第３ヘッド列７３の液滴吐出ヘッド１４の温度である。

吐出を開始するときの吐出開始点１０２ａにおける外ヘッド温度曲線１０２は、吐出回数１００の経過に伴いヘッド温度１０１が上昇する。温度上昇域１０２ｂの間では、吐出回数１００の経過に伴いヘッド温度１０１が上昇する。

そして、吐出回数１００が経過しても、ヘッド温度１０１が上昇しない温度平衡域１０２ｃに移行する。温度平衡域１０２ｃでは、液滴吐出ヘッド１４が放熱する熱エネルギと、吐出により発生する熱エネルギとが等しい平衡状態となる。ヘッド温度１０１が上昇すると、ヘッド温度１０１と、液滴吐出ヘッド１４の周辺を取り囲む気体（以下、周辺気体と称す）との温度差が大きくなる。ヘッド温度１０１と周辺気体の温度との差が大きい程、液滴吐出ヘッド１４から放熱する熱エネルギが大きくなる。従って、ヘッド温度１０１が上昇せずに、あるヘッド温度１０１で安定する。この温度を平衡ヘッド温度１０２ｄとする。

同様に、内ヘッド温度曲線１０３においても、温度上昇域１０３ｂの間では、吐出開始点１０３ａから吐出回数１００が増えるにつれて、ヘッド温度１０１が上昇する。そして、温度平衡域１０３ｃでは、ヘッド温度１０１が平衡ヘッド温度１０３ｄで安定する。

第２ヘッド列７２及び第３ヘッド列７３の液滴吐出ヘッド１４は、第１ヘッド列７１及び第４ヘッド列７４に挟まれているので、周辺気体に放熱し難くなっている。従って、内ヘッド温度曲線１０３は、外ヘッド温度曲線１０２より高いヘッド温度１０１で推移する。そして、平衡ヘッド温度１０３ｄは、平衡ヘッド温度１０２ｄより高い温度に安定する。

ステップＳ５において、第１ヘッド列７１〜第３ヘッド列７３の液滴吐出ヘッド１４における吐出量を測定する。第１ヘッド列７１は、ステップＳ１７において、外側の列に位置して吐出することから、ステップＳ４では、ステップＳ１７と略同じ配置条件にて吐出している。同様に、第２ヘッド列７２及び第３ヘッド列７３は、ステップＳ１７において、内側の列に位置しており、第１ヘッド列７１及び第４ヘッド列７４に挟まれて吐出する。つまり、第１ヘッド列７１〜第３ヘッド列７３の液滴吐出ヘッド１４は、ステップＳ４では、ステップＳ１７と略同じ配置条件にて吐出している。一方、第４ヘッド列７４は、ステップＳ１７において、内側の列に位置して吐出することから、ステップＳ４では、ステップＳ１７と異なる配置条件にて吐出している。そして、ステップＳ４とステップＳ１７とにおいて、略同じ配置条件にて吐出する第１ヘッド列７１〜第３ヘッド列７３の液滴吐出ヘッド１４における吐出量を測定する。

吐出量の測定は、ステップＳ４で吐出した液滴４４の重量を吐出した回数で除算して算出する。吐出する回数は、１回毎の吐出量のばらつきが平均化されて計測可能な回数であれば良く、例えば、本実施形態では、１００回を採用している。そして、液滴吐出ヘッド１４毎に吐出量を測定する。

図７（ｄ）は、ステップＳ７に対応する図であり、液滴吐出ヘッドを駆動するときの駆動電圧と吐出量との関係を示すグラフである。図７（ｄ）において、横軸は、駆動電圧９３を示し、右側が左側より高い電圧となっている。そして、縦軸は、液滴吐出ヘッドが吐出する吐出量１０４を示し、上側が、下側より大きな量を示す。そして、電圧吐出量曲線１０５は、駆動電圧９３を変更するときに、吐出量１０４が変化する関係を示している。

電圧吐出量曲線１０５が示す様に、駆動電圧９３を高くすると、吐出量１０４が大きくなる。そして、駆動電圧９３を変化させるとき、吐出量１０４が変化する電圧範囲を駆動電圧範囲１０５ａとして、その範囲に吐出電圧９４が入る様に、液滴吐出ヘッド１４が設計されている。この電圧吐出量曲線１０５は、一例であり、ヘッド温度１０１が変動することにより、電圧吐出量曲線１０５も変動する。

ステップＳ７では、目標とする吐出量１０４である目標吐出量１０６と、ステップＳ５にて測定した吐出量１０４とを比較する。そして、目標吐出量１０６と測定した吐出量１０４との差に相当する駆動電圧９３の差を算出する。そして、目標吐出量１０６より測定した吐出量１０４が小さいときは、吐出電圧９４を駆動電圧９３の差に相当する電圧分上げる。一方、目標吐出量１０６より測定した吐出量１０４が大きいときは、吐出電圧９４を駆動電圧９３の差に相当する電圧分下げる。

そして、ステップＳ４〜ステップＳ７を繰り返すことにより、吐出量１０４を目標吐出量１０６に近づける。ステップＳ６において、目標吐出量１０６と測定した吐出量１０４との差が規定値より小さくなったところで、第１ヘッド列７１〜第４ヘッド列７４の液滴吐出ヘッド１４における吐出量１０４の調整を終了する。

図８（ａ）及び図８（ｂ）はステップＳ２２に対応する図である。図８（ａ）に示す様に、ステップＳ３において、第１キャリッジ１２ａ及び第２キャリッジ１２ｂを重量測定装置２１と対向する場所から、第２フラッシングユニット１８と対向する場所へ移動する。そして、第３キャリッジ１２ｃ及び第４キャリッジ１２ｄを第１フラッシングユニット１７と対向する場所から重量測定装置２１と対向する場所へ移動する。第５キャリッジ１２ｅ及び第６キャリッジ１２ｆは、第１フラッシングユニット１７と対向する場所に待機する。

ステップＳ４において、第１ヘッド列７１〜第４ヘッド列７４及び第９ヘッド列７９〜第１２ヘッド列８２の液滴吐出ヘッド１４へ非吐出駆動波形９０を入力して暖機駆動する。そして、第１ヘッド列７１〜第４ヘッド列７４の液滴吐出ヘッド１４から液滴４４を第２フラッシングユニット１８に吐出して、フラッシング動作を行う。同様に、第９ヘッド列７９〜第１２ヘッド列８２の液滴吐出ヘッド１４から液滴４４を第１フラッシングユニット１７に吐出して、フラッシング動作を行う。

第５ヘッド列７５〜第８ヘッド列７８の液滴吐出ヘッド１４へ吐出駆動波形９１を入力して、重量測定装置２１へ液滴４４を、所定の回数分吐出する。そして、ステップＳ５において、吐出された液滴４４の重量を測定する。このとき、第５ヘッド列７５と第８ヘッド列７８とに挟まれている第６ヘッド列７６及び第７ヘッド列７７の液滴吐出ヘッド１４から吐出された液滴４４の重量を測定する。

そして、吐出した回数で除算して吐出量を算出する。次に、ステップＳ７にて調整する。ステップＳ４〜ステップＳ７を繰り返して、目標吐出量１０６と測定した吐出量１０４との差が規定値より小さくなったところで、第６ヘッド列７６及び第７ヘッド列７７の液滴吐出ヘッド１４における吐出量の調整を終了する。

次に、図８（ｂ）に示す様に、ステップＳ３において、第３キャリッジ１２ｃ及び第４キャリッジ１２ｄを重量測定装置２１と対向する場所から、第２フラッシングユニット１８と対向する場所へ移動する。そして、第５キャリッジ１２ｅ及び第６キャリッジ１２ｆを第１フラッシングユニット１７と対向する場所から重量測定装置２１と対向する場所へ移動する。第１キャリッジ１２ａ及び第２キャリッジ１２ｂは、第２フラッシングユニット１８と対向する場所にて、引き続き待機する。

ステップＳ４において、第１ヘッド列７１〜第８ヘッド列７８の液滴吐出ヘッド１４へ非吐出駆動波形９０を入力して暖機駆動する。そして、定期的に第１ヘッド列７１〜第８ヘッド列７８の液滴吐出ヘッド１４から液滴４４を第２フラッシングユニット１８に吐出して、フラッシング動作を行う。

第９ヘッド列７９〜第１２ヘッド列８２の液滴吐出ヘッド１４へ吐出駆動波形９１を入力して、重量測定装置２１へ液滴４４を、所定の回数分吐出する。そして、ステップＳ５において、吐出された液滴４４の重量を測定する。このとき、第９ヘッド列７９と第１２ヘッド列８２とに挟まれている第１０ヘッド列８０及び第１１ヘッド列８１の液滴吐出ヘッド１４から吐出された液滴４４の重量を測定する。さらに、右端となる第１２ヘッド列８２の液滴吐出ヘッド１４から吐出された液滴４４の重量を測定する。

そして、吐出した回数で除算して吐出量を算出する。次に、ステップＳ７にて調整する。ステップＳ４〜ステップＳ７を繰り返して、目標吐出量１０６と測定した吐出量１０４との差が規定値より小さくなったところで、第１０ヘッド列８０〜第１２ヘッド列８２の液滴吐出ヘッド１４における吐出量の調整を終了する。

図８（ｃ）はステップＳ９及びステップＳ１０に対応する図である。図８（ｃ）に示す様に、第５キャリッジ１２ｅ及び第６キャリッジ１２ｆを重量測定装置２１と対向する場所から第１フラッシングユニット１７と対向する場所に移動する。そして、第１キャリッジ１２ａ〜第４キャリッジ１２ｄを第２フラッシングユニット１８と対向する場所から第１フラッシングユニット１７と対向する場所に移動する。

次にステップＳ１０において、第１ヘッド列７１〜第１２ヘッド列８２の液滴吐出ヘッド１４へ非吐出駆動波形９０を入力して暖機駆動する。そして、定期的に第１ヘッド列７１〜第１２ヘッド列８２の液滴吐出ヘッド１４から液滴４４を第１フラッシングユニット１７に吐出して、フラッシング動作を行う。

図９（ａ）及び図９（ｂ）はステップＳ２４に対応する図である。図９（ａ）に示す様に、ステップＳ１１において、第１キャリッジ１２ａを第１フラッシングユニット１７と対向する場所から、第２フラッシングユニット１８と対向する場所へ移動する。そして、第２キャリッジ１２ｂ及び第３キャリッジ１２ｃを第１フラッシングユニット１７と対向する場所から重量測定装置２１と対向する場所へ移動する。第４キャリッジ１２ｄ〜第６キャリッジ１２ｆは、第１フラッシングユニット１７と対向する場所に待機する。

ステップＳ１２において、第１ヘッド列７１、第２ヘッド列７２及び第７ヘッド列７７〜第１２ヘッド列８２の液滴吐出ヘッド１４へ非吐出駆動波形９０を入力して暖機駆動する。そして、定期的に第１ヘッド列７１及び第２ヘッド列７２の液滴吐出ヘッド１４から液滴４４を第２フラッシングユニット１８に吐出して、フラッシング動作を行う。同様に、定期的に第７ヘッド列７７〜第１２ヘッド列８２の液滴吐出ヘッド１４から液滴４４を第１フラッシングユニット１７に吐出して、フラッシング動作を行う。

第３ヘッド列７３〜第６ヘッド列７６の液滴吐出ヘッド１４へ吐出駆動波形９１を入力して、重量測定装置２１へ液滴４４を、所定の回数分吐出する。そして、ステップＳ１３において、吐出された液滴４４の重量を測定する。このとき、第３ヘッド列７３と第６ヘッド列７６とに挟まれている第４ヘッド列７４及び第５ヘッド列７５の液滴吐出ヘッド１４から吐出された液滴４４の重量を測定する。

そして、吐出した回数で除算して吐出量を算出する。次に、ステップＳ１５にて調整する。ステップＳ１２〜ステップＳ１５を繰り返して、目標吐出量１０６と測定した吐出量１０４との差が規定値より小さくなったところで、第４ヘッド列７４及び第５ヘッド列７５の液滴吐出ヘッド１４における吐出量の調整を終了する。

次に、図９（ｂ）に示す様に、ステップＳ１１において、第２キャリッジ１２ｂ及び第３キャリッジ１２ｃを重量測定装置２１と対向する場所から、第２フラッシングユニット１８と対向する場所へ移動する。そして、第４キャリッジ１２ｄ及び第５キャリッジ１２ｅを第１フラッシングユニット１７と対向する場所から重量測定装置２１と対向する場所へ移動する。第１キャリッジ１２ａは、第２フラッシングユニット１８と対向する場所に待機し、第６キャリッジ１２ｆは、第１フラッシングユニット１７と対向する場所に待機する。

ステップＳ１２において、第１ヘッド列７１〜第６ヘッド列７６、第１１ヘッド列８１及び第１２ヘッド列８２の液滴吐出ヘッド１４へ非吐出駆動波形９０を入力して暖機駆動する。そして、定期的に第１ヘッド列７１〜第６ヘッド列７６の液滴吐出ヘッド１４から液滴４４を第２フラッシングユニット１８に吐出して、フラッシング動作を行う。同様に、定期的に第１１ヘッド列８１及び第１２ヘッド列８２の液滴吐出ヘッド１４から液滴４４を第１フラッシングユニット１７に吐出して、フラッシング動作を行う。

第７ヘッド列７７〜第１０ヘッド列８０の液滴吐出ヘッド１４へ吐出駆動波形９１を入力して、重量測定装置２１へ液滴４４を、所定の回数分吐出する。そして、ステップＳ１３において、吐出された液滴４４の重量を測定する。このとき、第７ヘッド列７７と第１０ヘッド列８０とに挟まれている第８ヘッド列７８及び第９ヘッド列７９の液滴吐出ヘッド１４から吐出された液滴４４の重量を測定する。

そして、吐出した回数で除算して吐出量を算出する。次に、ステップＳ１５にて調整する。ステップＳ１２〜ステップＳ１５を繰り返して、目標吐出量１０６と測定した吐出量１０４との差が規定値より小さくなったところで、第８ヘッド列７８及び第９ヘッド列７９の液滴吐出ヘッド１４における吐出量の調整を終了する。

以上の工程により、第２ヘッド列７２〜第１１ヘッド列８１の液滴吐出ヘッド１４は、隣接する液滴吐出ヘッド１４に挟まれている状態で、液滴４４を吐出するときの吐出量を測定した後、吐出量の調整を行っている。これは、ステップＳ１７において吐出するときの液滴吐出ヘッド１４の形態と同じ形態となっている。そして、第１ヘッド列７１及び第１２ヘッド列８２の液滴吐出ヘッド１４は、液滴吐出ヘッド１４に挟まれていない状態で、液滴４４を吐出するときの吐出量を測定した後、吐出量の調整を行っている。これも、ステップＳ１７において吐出するときの液滴吐出ヘッド１４の形態と同じ形態となっている。つまり、ステップＳ１７において吐出するときの液滴吐出ヘッド１４の形態と同じ形態で、吐出量の調整を行っている。

図９（ｃ）はステップＳ１７に対応する図である。図９（ｃ）に示す様に、キャリッジ１２及びステージ４を移動して、液滴吐出ヘッド１４と基板７とが対向するように、液滴吐出ヘッド１４と基板７とを移動する。次に、所定の描画パターンに基づいて、液滴４４を吐出して、基板７に塗布する。予定した描画パターンを塗布してステップＳ１７を終了し、基板７に液滴を吐出して塗布する製造工程を終了する。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、吐出量の測定をステップＳ２１の第１測定工程とステップＳ２３の第２測定工程とに分けて測定している。そして、ステップＳ２１において、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれている状態の液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッド１４から吐出するときの吐出量を測定している。つまり、第２ヘッド列７２、第３ヘッド列７３、第６ヘッド列７６、第７ヘッド列７７、第１０ヘッド列８０、第１１ヘッド列８１に属する液滴吐出ヘッド１４から吐出するときの吐出量を測定している。

そして、ステップＳ２３では、ステップＳ２１にて他の液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった液滴吐出ヘッド列を、他の液滴吐出ヘッド列にて挟んで、液状体を吐出した後、吐出量を測定している。そして、第４ヘッド列７４、第５ヘッド列７５、第８ヘッド列７８、第９ヘッド列７９に属する液滴吐出ヘッド１４から吐出するときの吐出量を測定している。つまり、ステップＳ２１及びステップＳ２３において、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれている状態の液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッド１４から吐出するときの吐出量を測定している。従って、第２ヘッド列７２〜第１１ヘッド列８１の液滴吐出ヘッド１４は、略同じ温度における吐出量を測定することができる。その結果、精度良く吐出量を測定することができる。

（２）本実施形態によれば、ステップＳ２及びステップＳ１０の吐出前待機工程において、液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することにより、液滴吐出ヘッド１４の温度を上昇させている。そして、液滴吐出ヘッドの温度が高い状態における吐出量を測定している。基板７に液滴４４を吐出するとき、液滴吐出ヘッド１４は、液滴４４を吐出するので、液滴吐出ヘッド１４の温度が上昇している。つまり、液滴吐出ヘッド１４は、暖機駆動することにより、基板７に液滴４４を吐出するときと略同じ温度における吐出量を測定することができる。従って、基板７に液滴４４を吐出するときの吐出量を精度良く測定することができる。

（３）本実施形態によれば、液滴吐出ヘッド１４のノズル３１から液滴４４が吐出されない程度に暖機駆動している。従って、液滴４４が無駄に吐出されない為、省資源な吐出量測定方法とすることができる。

（４）本実施形態によれば、ステップＳ２１の第１測定工程にて測定した液滴吐出ヘッド１４をステップＳ７の第１調整工程にて調整した後、ステップＳ２３の第２測定工程にて測定した液滴吐出ヘッドをステップＳ１５の第２調整工程にて調整している。そして、ステップＳ２１及びステップＳ２３において、精度良く吐出量を測定した測定結果に基づいて、ステップＳ７及びステップＳ１５において、吐出量を調整している。従って、ステップＳ７及びステップＳ１５において、吐出量を精度良く調整することができる。

（５）本実施形態によれば、ステップＳ２２の第１吐出量調整工程とステップＳ２４の第２吐出量調整工程とを有している。そして、ステップＳ２２では、ステップＳ２１の第１測定工程で測定した吐出量の測定結果に基づき、ステップＳ７の第１調整工程において、吐出量の調整を行っている。次に、ステップＳ２１とステップＳ７とを繰り返すことにより、吐出量を目標吐出量に近づけている。従って、ステップＳ７を１回しか行わない方法に比べて、吐出量を精度良く調整することができる。

そして、ステップＳ２４においても、同様に行われることから、ステップＳ１５の第２調整工程を１回しか行わない方法に比べて、吐出量を精度良く調整することができる。その結果、吐出量を精度良く調整可能な方法とすることができる。

（第２の実施形態）
本実施形態では、液滴吐出装置の吐出量を調整する特徴的な調整方法の、一実施形態について図４及び図５を用いて説明する。
この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、第１吐出量調整工程にて総ての液滴吐出ヘッド１４における吐出量を調整する点にある。

すなわち、図４において、ステップＳ２２のステップＳ７及びステップＳ２４のステップＳ１５以外は、第１の実施形態と同じであり、説明を省略する。そして、ステップＳ７では、図５に示す第１ヘッド列７１〜第１２ヘッド列８２に属する液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整する。

従って、第４ヘッド列７４、第５ヘッド列７５、第８ヘッド列７８、第９ヘッド列７９に属する液滴吐出ヘッド１４は、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれていない状態で吐出した後、測定する吐出量を用いて、吐出量を目標吐出量１０６に合わせることにより調整する。

ステップＳ１５では、第１の実施形態と同様の調整を行う。従って、第４ヘッド列７４、第５ヘッド列７５、第８ヘッド列７８、第９ヘッド列７９に属する液滴吐出ヘッド１４は、ステップＳ７及びステップＳ１５の２つのステップにて、吐出量の調整がされる。

ステップＳ２４において、吐出と調整とを繰り返して行うとき、第４ヘッド列７４、第５ヘッド列７５、第８ヘッド列７８、第９ヘッド列７９に属する液滴吐出ヘッド１４は、ステップＳ２２において、一度調整されていることから、少ない繰り返し回数で調整が完了する場合がある。そして、調整した後、ステップＳ１７において、所定の描画パターンに基づいて、液滴４４を吐出して、基板７に塗布する。予定した描画パターンを塗布してステップＳ１７を終了し、基板７に液滴を吐出して塗布する製造工程を終了する。

上述したように、本実施形態によれば、第１の実施形態における効果（１）〜（５）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステップＳ２１の第１測定工程において、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれていない液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッド１４は、ステップＳ２２の第１吐出量調整工程において、１度、吐出量の調整が行われる。従って、この液滴吐出ヘッド１４の吐出量は、目標吐出量に近くなるように調整されていることから、ステップＳ２４の第２吐出量調整工程において、液滴吐出ヘッド１４の温度が、ステップＳ２２における温度よりも上昇するときにも、少ない繰り返し回数により調整をすることができる。その結果、生産性の良い調整方法とすることができる。

（第３の実施形態）
本実施形態では、液滴吐出装置の吐出量を調整する特徴的な調整方法の、一実施形態について図１０を用いて説明する。図１０は、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャートである。
この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程において粗調整と微調整とに分けて吐出量を調整する点にある。

図１０において、ステップＳ３１〜ステップＳ３３は、図４に示すステップＳ１〜ステップＳ３と対応するステップであり、説明を省略する。ステップＳ３４は、吐出測定工程に相当し、ノズルから重量測定装置の受け皿へ所定の回数の吐出を行う。例えば、１００回の吐出を行う。その後、重量測定装置の受け皿の重量を計測する。そして、吐出１回当りの吐出量を演算する工程である。次にステップＳ３５に移行する。ステップＳ３５は、吐出量が目標吐出量になったか、を判断する工程に相当し、ステップＳ３４にて測定した吐出量と調整する目標である目標吐出量とを比較して、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいか、を判断する工程である。吐出量と目標吐出量との差が規定値より大きいとき（ＮＯのとき）、ステップＳ３６に移行する。ステップＳ３５において、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ３７に移行する。ステップＳ３６は、調整工程に相当し、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を調整する工程である。次にステップＳ３４に移行する。ステップＳ３４〜ステップＳ３６のステップによりステップＳ６１の粗調整工程が構成される。

ステップＳ３７は、吐出測定工程に相当し、ノズルから重量測定装置の受け皿へ所定の回数の吐出を行う。このステップにおいては、ステップＳ３４における吐出回数より多い回数の吐出を行う。例えば、１０００回の吐出を行う。従って、このステップにおける吐出量は、ステップＳ３４における吐出量より多い吐出量の吐出が行われる。その後、重量測定装置の受け皿の重量を計測する。そして、吐出１回当りの吐出量を演算する工程である。次にステップＳ３８に移行する。ステップＳ３８は、吐出量が目標吐出量になったか、を判断する工程に相当し、ステップＳ３７にて測定した吐出量と調整する目標である目標吐出量とを比較して、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいか、を判断する工程である。この規定値は、ステップＳ３５における規定値より狭い範囲に設定される。そして、吐出量と目標吐出量との差が規定値より大きいとき（ＮＯのとき）、ステップＳ３９に移行する。ステップＳ３８において、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ４０に移行する。ステップＳ３９は、調整工程に相当し、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を調整する工程である。この工程で調整される吐出量の変化分は、ステップＳ３６において調整される変化分より小さい量に設定される。次にステップＳ３７に移行する。ステップＳ３７〜ステップＳ３９のステップによりステップＳ６２の微調整工程が構成される。

ステップＳ４０は、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、ステップＳ３１にて調整すると設定した液滴吐出ヘッドにおいて、総て調整したか、を判断する工程である。調整する予定の液滴吐出ヘッドの中で、吐出量を調整していない液滴吐出ヘッドがあるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ３４に移行する。ステップＳ４０において、調整する予定の液滴吐出ヘッドにおける、総ての液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ４１に移行する。ステップＳ３２〜ステップＳ４０のステップによりステップＳ６３の第１吐出量調整工程が構成される。

ステップＳ４１は、移動工程に相当し、液滴吐出ヘッドを、第２フラッシングユニット及び重量測定装置と対向する場所から、第１フラッシングユニットと対向する場所へ移動させる工程である。次にステップＳ４２に移行する。ステップＳ４２は、吐出前待機工程に相当し、液滴吐出ヘッドを暖機駆動する工程である。次にステップＳ４３に移行する。ステップＳ４３は、移動工程に相当し、重量測定装置と対向する場所に液滴吐出ヘッドを移動する工程である。次にステップＳ４４に移行する。ステップＳ４４は、吐出測定工程に相当し、ノズルから重量測定装置の受け皿へ所定の回数の吐出を行う。例えば、１００回の吐出を行う。その後、重量測定装置の受け皿の重量を計測する。そして、吐出１回当りの吐出量を演算する工程である。次にステップＳ４５に移行する。ステップＳ４５は、吐出量が目標吐出量になったか、を判断する工程に相当し、ステップＳ４４にて測定した吐出量と調整する目標である目標吐出量とを比較して、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいか、を判断する工程である。吐出量と目標吐出量との差が規定値より大きいとき（ＮＯのとき）、ステップＳ４６に移行する。ステップＳ４５において、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ４７に移行する。ステップＳ４６は、調整工程に相当し、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を調整する工程である。次にステップＳ４４に移行する。ステップＳ４４〜ステップＳ４６のステップによりステップＳ６４の粗調整工程が構成される。

ステップＳ４７は、吐出測定工程に相当し、ノズルから重量測定装置の受け皿へ所定の回数の吐出を行う。例えば、１０００回の吐出を行う。このステップにおける吐出回数は、ステップＳ４４における吐出回数より多い回数の吐出が行われる。従って、このステップにおける吐出量は、ステップＳ４４における吐出量より多い吐出量の吐出が行われる。その後、重量測定装置の受け皿の重量を計測する。そして、吐出１回当りの吐出量を演算する工程である。次にステップＳ４８に移行する。ステップＳ４８は、吐出量が目標吐出量になったか、を判断する工程に相当し、ステップＳ４７にて測定した吐出量と調整する目標である目標吐出量とを比較して、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいか、を判断する工程である。この規定値は、ステップＳ４５における規定値より狭い範囲に設定される。そして、吐出量と目標吐出量との差が規定値より大きいとき（ＮＯのとき）、ステップＳ４９に移行する。ステップＳ４８において、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ５０に移行する。ステップＳ４９は、調整工程に相当し、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を調整する工程である。この工程で調整される吐出量の変化分は、ステップＳ４６において調整される変化分より小さい量に設定される。次にステップＳ４７に移行する。ステップＳ４７〜ステップＳ４９のステップによりステップＳ６５の微調整工程が構成される。

ステップＳ５０は、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、ステップＳ３１にて調整すると設定した液滴吐出ヘッドにおいて、総て調整したか、を判断する工程である。調整する予定の液滴吐出ヘッドの中で、吐出量を調整していない液滴吐出ヘッドがあるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ４４に移行する。ステップＳ４０において、調整する予定の液滴吐出ヘッドにおける、総ての液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ５１に移行する。ステップＳ４２〜ステップＳ５０のステップによりステップＳ６６の第２吐出量調整工程が構成される。

ステップＳ５１は、塗布工程に相当し、基板に液滴を吐出して塗布する工程である。以上で、基板に機能液を吐出して塗布する製造工程を終了する。

上述したように、本実施形態によれば、第１の実施形態における効果（１）〜（５）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステップＳ６１及びステップＳ６４における粗調整工程と、ステップＳ６２及びステップＳ６５における微調整工程とを行っている。このとき、微調整を繰り返して、吐出量を少量ずつ調整する場合に比べて、粗調整により、吐出量を大きく変化させる工程と微調整工程をと組み合わせて行う方が、少ない回数で、目標とする吐出量に調整できることが多い。従って、生産性良く調整を行うことができる。

（２）本実施形態によれば、ステップＳ６１及びステップＳ６４における粗調整工程では、ステップＳ６２及びステップＳ６５における微調整工程に比べて、少ない吐出量で吐出量の測定を行っている。従って、吐出する液状体の消費量を少なくすることができる。その結果、省資源な調整方法とすることができる。

（第４の実施形態）
本実施形態では、液滴吐出装置の吐出量を調整する特徴的な調整方法の、一実施形態について図１０を用いて説明する。この実施形態が第３の実施形態と異なるところは、粗調整工程と微調整工程とおいて単位時間に吐出する回数を異なる回数にする点にある。

すなわち、図１０において、ステップＳ３４、ステップＳ３７、ステップＳ４４、ステップＳ４７の各吐出測定工程にて、吐出する吐出回数を同じ回数とする、例えば、１０００回とする。そして、ステップＳ５１において、例えば、１秒間に５回吐出して機能液４１を塗布するとき、微調整工程に属するステップＳ３７及びステップＳ４７では、１秒間に５回吐出する。次に、粗調整工程に属するステップＳ３４及びステップＳ４４では、例えば、１秒間に１０回吐出して、測定を行う。つまり、粗調整工程では、微調整工程に比べて、単位時間当たりの吐出回数を多くして、短い時間で吐出する。

上述したように、本実施形態によれば、第１の実施形態における効果（１）〜（５）及び、第３の実施形態における効果（１）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、粗調整工程に属するステップＳ３４及びステップＳ４４では、微調整工程に比べて、単位時間に吐出する回数を多くしている。粗調整工程及び、微調整工程において、同じ回数の吐出を行って、吐出量を測定するとき、粗調整工程の方が短い時間で、吐出することができる。従って、生産性良く調整することができる。

（第５の実施形態）
本実施形態では、液滴吐出装置の吐出量を調整する特徴的な調整方法の、一実施形態について図４及び図５を用いて説明する。この実施形態が第２の実施形態と異なるところは、第１吐出量調整工程において、挟まれていないヘッド列の吐出量を、挟まれているヘッド列の吐出量より少なく吐出量を調整する点にある。

すなわち、図４に示すステップＳ６において、吐出量と目標吐出量との比較を行う。このとき、図５（ａ）に示す第１群８３において、第１ヘッド列７１、第２ヘッド列７２、第３ヘッド列７３の目標吐出量は、ステップＳ１７にて吐出するときの目標吐出量とする。そして、第４ヘッド列７４の目標吐出量は、ステップＳ１７にて吐出するときの目標吐出量より少なく設定する。そして、そして、ステップＳ７において、各目標吐出量となるように吐出量を調整する。

同様に、第２群８４においては、第６ヘッド列７６及び第７ヘッド列７７の目標吐出量は、ステップＳ１７にて吐出するときの目標吐出量とする。そして、第５ヘッド列７５及び第８ヘッド列７８の目標吐出量は、ステップＳ１７にて吐出するときの目標吐出量より少なく設定する。第３群８５において、第１０ヘッド列８０、第１１ヘッド列８１、第１２ヘッド列８２の目標吐出量は、ステップＳ１７にて吐出するときの目標吐出量とする。そして、第９ヘッド列７９の目標吐出量は、ステップＳ１７にて吐出するときの目標吐出量より少なく設定する。

次に、ステップＳ１４において、吐出量と目標吐出量との比較を行う。このとき、図５（ｂ）に示す第４群８６において、第４ヘッド列７４及び第５ヘッド列７５は、第３ヘッド列７３及び第６ヘッド列７６に挟まれていることから、液滴吐出ヘッド１４の温度が上昇しており、ステップＳ４における吐出量より増加している。しかし、ステップＳ６において、目標吐出量をステップＳ１７にて吐出するときの目標吐出量より少なく設定されているので、ステップＳ１４においては、吐出量がステップＳ１７にて吐出するときの目標吐出量に近い吐出量となることが多い。同様に、第５群８７においても、第８ヘッド列７８及び第９ヘッド列７９の吐出量がステップＳ１７にて吐出するときの目標吐出量に近い吐出量となることが多い。従って、ステップＳ１２〜ステップＳ１５を反復する回数を少なくすることができる。

上述したように、本実施形態によれば、第１の実施形態における効果（１）〜（５）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステップＳ７において、液滴吐出ヘッド列に挟まれていない液滴吐出ヘッドから吐出された液状体の吐出量がステップＳ１７で吐出する目標の吐出量より少なくなるように調整される。従って、他の液滴吐出ヘッドに挟んで吐出量を測定するとき、吐出量をステップＳ１７で吐出する吐出量の目標に近い吐出量から調整を開始することができる。その結果、少ない調整回数で調整ができる為、生産性良く調整することができる。

（第６の実施形態）
本実施形態では、液滴吐出装置の吐出量を調整する特徴的な調整方法の、一実施形態について図４及び図５を用いて説明する。この実施形態が第２の実施形態と異なるところは、第１吐出量調整工程において、挟まれていないヘッド列の吐出量を、挟まれているヘッド列の吐出量より少なく吐出量に設定する工程を第２吐出量調整工程の測定用吐出工程点で行う点にある。

すなわち、図４に示すステップＳ１〜ステップＳ１１は、第２の実施形態と同様に実施する。そして、ステップＳ１２において、ステップＳ７にて調整した吐出量に対して、吐出量を変更する。詳細には、図５に示す第４群８６の第４ヘッド列７４及び第５ヘッド列７５の吐出量を、ステップＳ２２にて設定した吐出量より少ない吐出量が吐出されるように設定を変更した後吐出する。

第４ヘッド列７４及び第５ヘッド列７５は、第３ヘッド列７３及び第６ヘッド列７６に挟まれていることから、液滴吐出ヘッド１４の温度が上昇しており、ステップＳ２２における吐出量より増加している。しかし、ステップＳ１２において、吐出量をステップＳ２２にて吐出するときの目標吐出量より少なく設定されているので、ステップＳ１４においては、吐出量がステップＳ１７にて吐出するときの目標吐出量に近い吐出量となることが多い。従って、ステップＳ１２〜ステップＳ１５を反復する回数を少なくすることができる。

同様に、第５群８７においても、第８ヘッド列７８及び第９ヘッド列７９の吐出量を、ステップＳ１２において、ステップＳ２２にて設定した吐出量より少ない吐出量が吐出されるように設定を変更した後吐出する。その結果、ステップＳ１２〜ステップＳ１５を反復する回数を少なくすることができる。

上述したように、本実施形態によれば、第１の実施形態における効果（１）〜（５）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステップＳ２２において、液滴吐出ヘッド列に挟まれていない液滴吐出ヘッド１４は、ステップＳ１２で吐出量を少なくなるように調整している。従って、ステップＳ１２で他の液滴吐出ヘッドに挟んで吐出量を測定するとき、吐出量をステップＳ１７で吐出する吐出量の目標に近づいた吐出量から調整を開始することができる。その結果、少ない調整回数で調整ができる為、生産性良く調整することができる。

（第７の実施形態）
本実施形態では、液滴吐出装置の吐出量を調整する特徴的な調整方法の、一実施形態について図５、図１１及び図１２を用いて説明する。図１１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図であり、図１２は、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャートである。この実施形態が第２の実施形態と異なるところは、液滴吐出ヘッドの配列における行数が重量測定装置より多いときに、同一キャリッジ内における液滴吐出ヘッドの吐出量を測定した後、別のキャリッジ内における液滴吐出ヘッドの吐出量を測定する点にある。

すなわち、図１１に示すように、液滴吐出装置１０８には、重量測定装置１０９がＸ方向に４個、一行配置されている。そして、図５に示すように、第１キャリッジ１２ａ〜第６キャリッジ１２ｆには、行としての第１ヘッド行１１０、第２ヘッド行１１１、第３ヘッド行１１２の３行に渡って液滴吐出ヘッド１４が配置されている。つまり、重量測定装置１０９が一度に測定可能な液滴吐出ヘッド１４の行数に対して、キャリッジ１２が搭載する液滴吐出ヘッド１４の行数が多いときの調整手順について説明する。

図１２のフローチャートにおいて、ステップＳ７１は、調整順番設定工程に相当し、液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する順番を設定する工程である。次にステップＳ７２に移行する。ステップＳ７２は、移動工程に相当し、キャリッジを移動して、測定する液滴吐出ヘッドを重量測定装置と対向する場所に移動する工程である。次にステップＳ７３に移行する。ステップＳ７３は、第１吐出量調整工程に相当し、一つの行の液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して吐出量を測定し、吐出量を調整する工程である。次にステップＳ７４に移行する。

ステップＳ７４は、同一キャリッジ内で、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、３つの行総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整したか、を判断する工程である。調整していない行があるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ７２に移行する。ステップＳ７４において、３つの行総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整したとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ７５に移行する。ステップＳ７５は、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、ステップＳ７１にて調整すると設定した液滴吐出ヘッドにおいて、総て調整したか、を判断する工程である。調整する予定の液滴吐出ヘッドの中で、吐出量を調整していない液滴吐出ヘッドがあるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ７２に移行する。ステップＳ７５において、調整する予定の液滴吐出ヘッドにおける、総ての液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ７６に移行する。

ステップＳ７６は、移動工程に相当し、キャリッジを移動して、測定する液滴吐出ヘッドを重量測定装置と対向する場所に移動する工程である。次にステップＳ７７に移行する。ステップＳ７７は、第２吐出量調整工程に相当し、ステップＳ７３とは異なるヘッド列の配置にした後、一行の液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して吐出量を測定し、吐出量を調整する工程である。次にステップＳ７８に移行する。ステップＳ７８は、同一キャリッジ内で、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、３つの行総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整したか、を判断する工程である。調整していない行があるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ７６に移行する。ステップＳ７８において、３つの行総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整したとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ７９に移行する。ステップＳ７９は、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、ステップＳ７１にて調整すると設定した液滴吐出ヘッドにおいて、総て調整したか、を判断する工程である。調整する予定の液滴吐出ヘッドの中で、吐出量を調整していない液滴吐出ヘッドがあるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ７６に移行する。ステップＳ７９において、調整する予定の液滴吐出ヘッドにおける、総ての液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ８０に移行する。ステップＳ８０は、塗布工程に相当し、基板に液滴を吐出して塗布する工程である。以上で、基板に機能液を吐出して塗布する製造工程を終了する。

次に、図５を用いて、図１２に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を精度良く調整して、ワークに塗布する製造方法を詳細に説明する。ステップＳ７１は、図４に示すステップＳ１と同様であり説明を省略する。ステップＳ７２において、第１群８３の第１ヘッド行１１０の液滴吐出ヘッド１４を重量測定装置２１と対向する場所に移動する。その後、ステップＳ７３において、第１群８３の第１ヘッド行１１０の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。そして、ステップＳ７４及びステップＳ７２において、第１群８３の第２ヘッド行１１１を重量測定装置２１と対向する場所に移動する。その後、ステップＳ７３において、第１群８３の第２ヘッド行１１１の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。同様のステップを経て、第１群８３の第３ヘッド行１１２の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。

次に、ステップＳ７５及びステップＳ７２において、第２群８４の第１ヘッド行１１０を重量測定装置２１と対向する場所に移動する。その後、ステップＳ７３において、第１群８３の第１ヘッド行１１０の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。そして、ステップＳ７２〜ステップＳ７４を繰り返すことにより、第２群８４の第２ヘッド行１１１及び第３ヘッド行１１２の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。次に、同様のステップを経て、第３群８５の第１ヘッド行１１０〜第３ヘッド行１１２の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。

次に、ステップＳ７６において、第４群８６の第１ヘッド行１１０を重量測定装置２１と対向する場所に移動する。その後、ステップＳ７７において、第４群８６の第１ヘッド行１１０の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。このとき、第４ヘッド列７４及び第５ヘッド列７５の液滴吐出ヘッド１４における吐出量を調整する。そして、ステップＳ７６〜ステップＳ７８を繰り返すことにより、第４群８６の第２ヘッド行１１１及び第３ヘッド行１１２の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。次に、同様のステップを経て、第５群８７の第１ヘッド行１１０〜第３ヘッド行１１２の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。

そして、調整した後、ステップＳ８０において、所定の描画パターンに基づいて、液滴４４を吐出して、基板７に塗布する。予定した描画パターンを塗布してステップＳ８０を終了し、基板７に液滴を吐出して塗布する製造工程を終了する。

上述したように、本実施形態によれば、第１の実施形態における効果（１）〜（５）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、一つのキャリッジ１２に搭載された液滴吐出ヘッド１４における吐出量を総て測定してから、順次、キャリッジ１２を変えて、各キャリッジ１２に搭載されている前記液滴吐出ヘッド１４における吐出量を測定及び調整をしている。従って、キャリッジ１２の移動量を少なくして測定及び調整をしている。その結果、省資源な測定方法及び調整方法とすることができる。

（第８の実施形態）
本実施形態では、液滴吐出装置の吐出量を調整する特徴的な調整方法の、一実施形態について図５及び図１３を用いて説明する。図１３は、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャートである。この実施形態が第７の実施形態と異なるところは、液滴吐出ヘッド群の行毎に調整を行う点にある。

図１３のフローチャートにおいて、ステップＳ９１は、調整順番設定工程に相当し、液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する順番を設定する工程である。次にステップＳ９２に移行する。ステップＳ９２は、移動工程に相当し、キャリッジを移動して、測定する液滴吐出ヘッドを重量測定装置と対向する場所に移動する工程である。次にステップＳ９３に移行する。ステップＳ９３は、第１吐出量調整工程に相当し、一行の液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して吐出量を測定し、吐出量を調整する工程である。次にステップＳ９４に移行する。ステップＳ９４は、移動工程に相当し、キャリッジを移動して、測定する液滴吐出ヘッドを重量測定装置と対向する場所に移動する工程である。次にステップＳ９５に移行する。ステップＳ９５は、第２吐出量調整工程に相当し、ステップＳ９３とは異なるヘッド列の配置にした後、一つの行の液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して吐出量を測定し、吐出量を調整する工程である。次にステップＳ９６に移行する。

ステップＳ９６は、同一行内で、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、１２列の総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整したか、を判断する工程である。調整していない列があるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ９２に移行する。ステップＳ９６において、１２列の総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整したとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ９７に移行する。ステップＳ９７は、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、ステップＳ９１にて調整すると設定した総ての行の液滴吐出ヘッドにおいて、調整したか、を判断する工程である。調整する予定の液滴吐出ヘッドの中で、吐出量を調整していない液滴吐出ヘッドがあるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ９２に移行する。ステップＳ９７において、調整する予定の液滴吐出ヘッドにおける、総ての液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ９８に移行する。ステップＳ９８は、塗布工程に相当し、基板に液滴を吐出して塗布する工程である。以上で、基板に機能液を吐出して塗布する製造工程を終了する。

次に、図５を用いて、図１３に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を精度良く調整して、ワークに塗布する製造方法を詳細に説明する。ステップＳ９１は、図４に示すステップＳ１と同様であり説明を省略する。ステップＳ９２において、第１群８３の第１ヘッド行１１０を重量測定装置２１と対向する場所に移動する。そして、ステップＳ９３において、第１群８３の第１ヘッド行１１０の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。そして、ステップＳ９４において、第４群８６の第１ヘッド行１１０を重量測定装置２１と対向する場所に移動する。その後、ステップＳ９５において、第４群８６の第１ヘッド行１１０の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。このとき、第４ヘッド列７４及び第５ヘッド列７５の液滴吐出ヘッド１４における吐出量を調整する。

次に、ステップＳ９６及びステップＳ９２において、第２群８４の第１ヘッド行１１０を重量測定装置２１と対向する場所に移動する。その後、ステップＳ９３〜ステップＳ９５において、第２群８４及び第５群８７の第１ヘッド行１１０の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。

次に、ステップＳ９６及びステップＳ９２において、第３群８５の第１ヘッド行１１０を重量測定装置２１と対向する場所に移動する。そして、ステップＳ９２において、第３群８５の第１ヘッド行１１０の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。その後、ステップＳ９４及びステップＳ９５では、調整を要する液滴吐出ヘッド１４がないので、ステップを省略して、ステップＳ９７に移行する。以上のステップにより、第１ヘッド列７１〜第１２ヘッド列８２の第１ヘッド行１１０における液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量が調整される。

次にステップＳ９７において、第１ヘッド行１１０の液滴吐出ヘッド１４の調整を総て行ったことを確認して、第２ヘッド行１１１の液滴吐出ヘッド１４の調整に移行する判断をする。そして、ステップＳ９２にて、第１群８３の第２ヘッド行１１１の液滴吐出ヘッド１４を重量測定装置２１と対向する場所に移動する。その後、ステップＳ９２〜ステップＳ９７を繰り返して、第２ヘッド行１１１の液滴吐出ヘッド１４の調整を行う。このとき、第１群８３、第４群８６、第２群８４、第５群８７、第３群８５の順に液滴吐出ヘッド１４の調整を行う。次に、第３ヘッド行１１２に移行して、同様の順序にて液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量の調整を行う。

そして、調整した後、ステップＳ９８において、所定の描画パターンに基づいて、液滴４４を吐出して、基板７に塗布する。予定した描画パターンを塗布してステップＳ９８を終了し、基板７に液滴を吐出して塗布する製造工程を終了する。

上述したように、本実施形態によれば、第１の実施形態における効果（１）〜（５）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、一つの液滴吐出ヘッド１４における吐出量を調整した後、その調整した液滴吐出ヘッド１４の隣に位置する液滴吐出ヘッドの吐出量を調整している。従って、周囲の温度の変化があるときにも、同一行において近い位置の液滴吐出ヘッド１４は、略同じ温度の影響による誤差にて、吐出量を調整することができる。

（２）本実施形態によれば、同一行の隣接する位置の液滴吐出ヘッド１４は、略同じ温度の影響による誤差にて、吐出量を調整することができる為、略同じ吐出量に調整することができる。その結果、液滴吐出ヘッド１４の走査方向（図５のＹ方向）に縦線を形成することなく塗布することができる。

（第９の実施形態）
本実施形態では、液滴吐出装置の吐出量を調整する特徴的な調整方法の、一実施形態について図５及び図１４を用いて説明する。図１４は、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャートである。この実施形態が第８の実施形態と異なるところは、同一行内にて、第１吐出工程を総て行った後、第２吐出工程を行って、液滴吐出ヘッド群の行毎に調整を行う点にある。

図１４のフローチャートにおいて、ステップＳ１０１は、調整順番設定工程に相当し、液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する順番を設定する工程である。次にステップＳ１０２に移行する。ステップＳ１０２は、移動工程に相当し、キャリッジを移動して、測定する液滴吐出ヘッドを重量測定装置と対向する場所に移動する工程である。次にステップＳ１０３に移行する。ステップＳ１０３は、第１吐出量調整工程に相当し、一行の液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して吐出量を測定し、吐出量を調整する工程である。次にステップＳ１０４に移行する。ステップＳ１０４は、同一行内で、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、第１群、第２群、第３群の総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整したか、を判断する工程である。調整していない液滴吐出ヘッド群があるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ１０２に移行する。ステップＳ１０４において、第１群、第２群、第３群の総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整したとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ１０５に移行する。ステップＳ１０５は、移動工程に相当し、キャリッジを移動して、測定する液滴吐出ヘッドを重量測定装置と対向する場所に移動する工程である。次にステップＳ１０６に移行する。ステップＳ１０６は、第２吐出量調整工程に相当し、第４群及び第５群の総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整する工程である。次にステップＳ１０７に移行する。

ステップＳ１０７は、同一行内で、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、第４群及び第５群で同一行内の総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を総て調整したか、を判断する工程である。調整していない液滴吐出ヘッド群があるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ１０５に移行する。ステップＳ１０７において、第４群及び第５群で同一行内の総ての液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ１０８に移行する。ステップＳ１０８は、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、ステップＳ１０１にて調整すると設定した総ての行の液滴吐出ヘッドにおいて、調整したか、を判断する工程である。調整する予定の液滴吐出ヘッドの中で、吐出量を調整していない液滴吐出ヘッドがあるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ１０２に移行する。ステップＳ１０８において、調整する予定の液滴吐出ヘッドにおける、総ての液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ１０９に移行する。ステップＳ１０９は、塗布工程に相当し、基板に液滴を吐出して塗布する工程である。以上で、基板に機能液を吐出して塗布する製造工程を終了する。

次に、図５を用いて、図１４に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を精度良く調整して、ワークに塗布する製造方法を詳細に説明する。ステップＳ１０１は、図４に示すステップＳ１と同様であり説明を省略する。ステップＳ１０２において、第１群８３の第１ヘッド行１１０を重量測定装置２１と対向する場所に移動する。そして、ステップＳ１０３において、第１群８３の第１ヘッド行１１０の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。

そして、ステップＳ１０４において、次に調整する液滴吐出ヘッド群に第２群８４を設定する。次に、ステップＳ１０２において、第２群８４の第１ヘッド行１１０を重量測定装置２１と対向する場所に移動する。その後、ステップＳ１０３において、第２群８４の第１ヘッド行１１０の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。そして、ステップＳ１０４において、次に調整する液滴吐出ヘッド群に第３群８５を設定する。その後、ステップＳ１０２及びステップＳ１０３において、第３群８５の第１ヘッド行１１０の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。次のステップＳ１０４では、第１群８３、第２群８４、第３群８５の第１ヘッド行１１０の調整を終了したことを確認する。

次に、ステップＳ１０５において、第４群８６の第１ヘッド行１１０を重量測定装置２１と対向する場所に移動する。その後、ステップＳ１０６において、第４群８６の第１ヘッド行１１０の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。次に、ステップＳ１０７において、次に調整する液滴吐出ヘッド群に第５群８７を設定する。ステップＳ１０５において、第５群８７の第１ヘッド行１１０を重量測定装置２１と対向する場所に移動する。その後、ステップＳ１０６において、第５群８７の第１ヘッド行１１０の液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量を調整する。次にステップＳ１０７において、第４群８６及び第５群８７の調整が済んだことを確認する。

次にステップＳ１０８において、第１ヘッド行１１０の液滴吐出ヘッド１４の調整を総て行ったことを確認して、第２ヘッド行１１１の液滴吐出ヘッド１４の調整に移行する判断をする。そして、ステップＳ１０２〜ステップＳ１０８を繰り返して、第２ヘッド行１１１の液滴吐出ヘッド１４の調整を行う。このとき、第１群８３、第２群８４、第３群８５、第４群８６、第５群８７の順に液滴吐出ヘッド１４の調整を行う。次に、第３ヘッド行１１２に移行して、同様の順序にて液滴吐出ヘッド１４から吐出される機能液４１の吐出量の調整を行う。

そして、調整した後、ステップＳ１０９において、所定の描画パターンに基づいて、液滴４４を吐出して、基板７に塗布する。予定した描画パターンを塗布してステップＳ１０９を終了し、基板７に液滴を吐出して塗布する製造工程を終了する。

上述したように、本実施形態によれば、第１の実施形態における効果（１）〜（５）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、同じ行に属する液滴吐出ヘッド１４において、近い場所に位置する液滴吐出ヘッド１４における吐出量を測定した後、順次、行を変えて測定している。液滴吐出ヘッド１４の吐出量を測定するとき、液滴吐出ヘッド１４は、温度が管理されている環境内で測定される。このとき、温度は大きな周期で変化していることが多い。このとき、ある液滴吐出ヘッドの行内であって、近くに位置する液滴吐出ヘッドの吐出量を続けて調整している。従って、同一行において近い位置の液滴吐出ヘッド１４は、略同じ温度の影響による誤差にて、吐出量を調整することができる。

（２）本実施形態によれば、同一行の近い位置の液滴吐出ヘッド１４は、略同じ温度の影響による誤差にて、吐出量を調整することができる為、略同じ吐出量に調整することができる。その結果、液滴吐出ヘッド１４の走査方向に縦線を形成することなく塗布することができる。

（３）本実施形態によれば、ステップＳ１０３において、第１群８３の液滴吐出ヘッド１４における吐出量を調整するとき、第２群８４の液滴吐出ヘッド１４は、次に調整するキャリッジ１２が並んで配置されている。そして、次に測定する第５ヘッド列７５〜第８ヘッド列７８が、測定するときと同じ順序で並んで待機している。このとき、第６ヘッド列７６及び第７ヘッド列７７は、待機しているときにも、第５ヘッド列７５及び第８ヘッド列７８に挟まれている。従って、第６ヘッド列７６及び第７ヘッド列７７は、待機状態から調整工程へと温度変化が少なく移行できる。その結果、液滴吐出ヘッド１４は、温度変化が少ない状態で調整できるので、精度良く調整することができる。

（第１０の実施形態）
次に、上記に記載の吐出方法を応用して液晶表示装置を製造する一実施形態について図１５を用いて説明する。

まず、カラーフィルタを備えた電気光学装置の一つである液晶表示装置について説明する。図１５は、液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。

図１５に示すように、電気光学装置としての液晶表示装置１２０は、透過型の液晶表示パネル１２１と、液晶表示パネル１２１を照明する照明装置１２３とを備えている。液晶表示パネル１２１は、液晶１２２を第１基板としての素子基板１２４と第２基板としての対向基板１２５とで挟持して配置されている。そして、素子基板１２４における下側の表面には、下偏光板１２６が配置され、対向基板１２５における上側の表面には、上偏光板１２７が配置される。

素子基板１２４は、光透過性のある材料からなる基板１２８を備え、基板１２８の上側には、絶縁膜１２９が形成されている。絶縁膜１２９上には、マトリクス状に電極としての画素電極１３０が形成され、各画素電極１３０には、スイッチング機能を有する半導体としてのＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）素子１３１が形成されている。そして、ＴＦＴ素子１３１のドレイン端子に画素電極１３０が接続されている。

各画素電極１３０及びＴＦＴ素子１３１を囲んで、格子状に、配線としての走査線１３２及び配線としてのデータ線１３３が形成されている。そして、走査線１３２は、ＴＦＴ素子１３１のゲート端子と接続され、データ線１３３は、ＴＦＴ素子１３１のソース端子と接続されている。

そして、画素電極１３０、ＴＦＴ素子１３１、走査線１３２、データ線１３３などからなる素子層１３４の液晶１２２側には、配向膜１３５が形成されている。

対向基板１２５は、光透過性のある材料からなる基板１３７を備えている。基板１３７の下側には、遮光性を有する材料からなる下層バンク１３８が格子状に形成され、下層バンク１３８の下側には、有機化合物などからなる上層バンク１３９が形成されている。そして、下層バンク１３８及び上層バンク１３９により隔壁部１４０が構成されている。

隔壁部１４０によってマトリクス状に区画された凹部には、着色層１４１として、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂが形成されている。そして、隔壁部１４０とカラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層１４２が形成されている。このオーバーコート層１４２を覆うようにＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）などの透明導電膜からなる電極としての対向電極１４３が形成されている。さらに、対向電極１４３の液晶１２２側には、配向膜１４４が形成されている。配向膜１４４と配向膜１３５とには、溝状の凹凸が配列して形成され、液晶１２２が凹凸に沿って配列して形成されている。

液晶１２２は、該液晶１２２を挟持する画素電極１３０と対向電極１４３とに電圧を印加すると液晶１２２の傾き角度が変化する性質を持っており、ＴＦＴ素子１３１のスイッチング動作により、液晶１２２にかける電圧をコントロールして液晶１２２の傾き角度を制御し、画素毎に光を透過させたり遮ったりする動作を行う。尚、光が液晶１２２により遮られた画素には当然光は入射しないため、黒色となる。このようにＴＦＴのスイッチング動作により、液晶１２２をシャッタとして動作させることにより、画素毎に光の透過をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。

画素電極１３０は、ＴＦＴ素子１３１のドレイン端子に電気的に接続されており、ＴＦＴを一定期間だけオン状態とすることにより、データ線１３３から供給される画素信号が各画素電極１３０に所定のタイミングで供給される。このようにして画素電極１３０に供給された所定レベルの画素信号の電圧レベルは、対向基板１２５の対向電極１４３と画素電極１３０との間で保持され、画素信号の電圧レベルに応じて、液晶１２２の光透過量が変化する。

照明装置１２３は、光源を備え、この光源からの光を液晶表示パネル１２１に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等を備えている。光源には、白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用いることが可能であり、本実施形態においては、冷陰極管を採用している。

尚、下偏光板１２６及び、上偏光板１２７は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。液晶表示パネル１２１は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子に限らずＴＦＤ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｄｉｏｄｅ）素子を有したものでもよく、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。

対向基板１２５のカラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂを形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、基板１３７に下層バンク１３８及び上層バンク１３９を形成して、隔壁部１４０を形成する。隔壁部１４０の形成方法は、公知であり、説明を省略する。そして、カラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂの材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、各色のカラーインクを製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、このカラーインクを隔壁部１４０に囲まれた凹部に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、カラーインクの吐出を行って塗布する。その後、塗布されたカラーインクを加熱乾燥して固化することによりカラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂを形成する。

さらに、対向基板１２５において、オーバーコート層１４２の下側に対向電極１４３を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、対向電極１４３の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この電極膜の材料液をオーバーコート層１４２の表面に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより対向電極１４３を形成する。

さらに、対向基板１２５において、対向電極１４３の下側に配向膜１４４を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、配向膜１４４の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配向膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この配向膜の材料液を対向電極１４３の下側に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、配向膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配向膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより配向膜１４４を形成する。

さらに、素子基板１２４の素子層１３４に走査線１３２及びデータ線１３３の配線を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、配線を形成する場所が凹部となるようにする。そして、配線の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配線の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この配線の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、配線の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配線の材料液を加熱乾燥して固化することにより走査線１３２及びデータ線１３３を形成する。

さらに、素子基板１２４において、素子層１３４にＴＦＴ素子１３１を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、ＴＦＴ素子１３１を形成する場所が凹部となるようにする。そして、シリコン等のＴＦＴ素子の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、ＴＦＴ素子の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、このＴＦＴ素子の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、ＴＦＴ素子の材料液の吐出を行って塗布する。その後、ＴＦＴ素子の材料液を加熱乾燥して固化し、結晶化する。その後、イオンドープした後、絶縁膜及び端子を形成することにより、ＴＦＴ素子１３１を形成する。

さらに、素子基板１２４において、素子層１３４の表面に画素電極１３０を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、画素電極１３０の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この電極膜の材料液を素子層１３４の表面に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより画素電極１３０を形成する。

さらに、素子基板１２４において、素子層１３４の上側に配向膜１３５を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、配向膜１３５の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配向膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この配向膜の材料液を素子層１３４の上側に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、配向膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配向膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより配向膜１３５を形成する。

さらに、液晶１２２を素子基板１２４と対向基板１２５とで挟持させるために、素子基板１２４に液晶１２２を塗布する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この液晶の材料液を配向膜１３５の上側に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、液晶の材料液の吐出を行って塗布する。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、カラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂを製造する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いることにより、カラーインクの吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、カラーインクの塗布量を精度良く塗布されたカラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂを製造することができる。

（２）本実施形態によれば、配向膜１３５，１４４を製造する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いることにより、配向膜の材料における吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、配向膜の材料における塗布量が精度良く塗布された配向膜１３５，１４４を製造することができる。

（３）本実施形態によれば、液晶を塗布する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いることにより、液晶の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、液晶の塗布量が精度良く塗布された液晶表示装置１２０を製造することができる。

（４）本実施形態によれば、画素電極１３０及び対向電極１４３を製造する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いることにより、電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、電極材料の塗布量が精度良く塗布された画素電極１３０及び対向電極１４３を製造することができる。

（５）本実施形態によれば、走査線１３２及びデータ線１３３を製造する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いることにより、配線材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、配線材料の塗布量が精度良く塗布された走査線１３２及びデータ線１３３を製造することができる。

（６）本実施形態によれば、ＴＦＴ素子１３１を製造する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いることにより、半導体材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、半導体材料の塗布量が精度良く塗布されたＴＦＴ素子１３１を製造することができる。

（第１１の実施形態）
次に、上記に記載の吐出方法を応用して有機ＥＬ装置を製造する一実施形態について図１６を用いて説明する。

まず、電気光学装置の一つである有機ＥＬ装置について説明する。図１６は、有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図である。

図１６に示すように、電気光学装置としての有機ＥＬ装置１４７は、基板１４８を備えている。基板１４８の上側には、絶縁膜１４９が形成されている。絶縁膜１４９上には、コンタクト電極１５０がマトリクス状に形成され、各コンタクト電極１５０と隣接する場所には、スイッチング機能を有する半導体としてのＴＦＴ素子１５１が形成されている。そして、ＴＦＴ素子１５１のドレイン端子にコンタクト電極１５０が接続されている。

各コンタクト電極１５０及びＴＦＴ素子１５１を囲むように、配線としての走査線１５２及び配線としてのデータ線１５３が格子状に形成されている。そして、走査線１５２は、ＴＦＴ素子１５１のゲート端子と接続され、データ線１５３は、ＴＦＴ素子１５１のソース端子と接続されている。

そして、コンタクト電極１５０、ＴＦＴ素子１５１、走査線１５２、データ線１５３などからなる素子層１５４が形成されている。素子層１５４の上側には、絶縁膜１５５が形成され、絶縁膜１５５の上側には、バンク１５６が格子状に形成されている。

バンク１５６により形成される凹状領域の各底部には、電極としての画素電極１５７が形成され、画素電極１５７は、コンタクト電極１５０と電気的に接続されている。画素電極１５７の上面には、発光素子としての正孔輸送層１５８が形成され、正孔輸送層１５８の上面には、発光素子としての発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂが形成されている。そして、正孔輸送層１５８と発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂとにより発光素子としての機能層１６０が形成されている。

発光層１５９Ｒは、赤色を発光する有機発光材料などにより構成された発光層であり、発光素子としての発光層１５９Ｇは、緑色を発光する有機発光材料などにより構成された発光層である。同様に、発光素子としての発光層１５９Ｂは、青色を発光する有機発光材料などにより構成された発光層である。

機能層１６０及びバンク１５６の上側全面に渡って、光透過性を有する導電性材料などからなる電極としての陰極１６１が形成されている。本実施形態においては、陰極１６１は、例えば、ＩＴＯを採用している。

陰極１６１の上面には、光透過性を有する材料などからなる封止膜１６２が形成され、陰極１６１及び機能層１６０が空気中の酸素により酸化されることを防止している。

画素電極１５７と陰極１６１との間に電圧を印加するとき、正孔輸送層１５８は、正孔のみを流動する。そして、発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂは、正孔輸送層１５８から供給される正孔と陰極１６１から供給される電子とが、合体するときのエネルギにより、発光する性質を持っている。ＴＦＴ素子１５１は、スイッチング動作を行い、機能層１６０にかける電圧をコントロールすることにより、発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂが発光する光量を制御する。このように、発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂが発光する光量を制御することにより、画素毎に光量をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。

画素電極１５７は、ＴＦＴ素子１５１のドレイン端子に電気的に接続されており、ＴＦＴを一定期間だけオン状態とすることにより、データ線１５３から供給される画素信号が各画素電極１５７に所定のタイミングで供給される。このようにして画素電極１５７に供給された所定レベルの画素信号の電圧レベルは、陰極１６１と画素電極１５７との間で保持され、画素信号の電圧レベルに応じて、発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂが発光する光量が変化する。

素子層１５４に走査線１５２及びデータ線１５３の配線を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、配線を形成する場所が凹部となるようにする。そして、配線の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配線の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この配線の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、配線の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配線の材料液を加熱乾燥して固化することにより走査線１５２及びデータ線１５３を形成する。

さらに、素子層１５４にＴＦＴ素子１５１を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、ＴＦＴ素子１５１を形成する場所が凹部となるようにする。そして、シリコン等のＴＦＴ素子の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、ＴＦＴ素子の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、このＴＦＴ素子の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、ＴＦＴ素子の材料液の吐出を行って塗布する。その後、ＴＦＴ素子の材料液を加熱乾燥して固化し、結晶化する。その後、イオンドープした後、絶縁膜及び端子を形成することにより、ＴＦＴ素子１５１を形成する。

さらに、絶縁膜１５５の表面に画素電極１５７を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、画素電極１５７の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この電極膜の材料液を絶縁膜１５５の表面に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより画素電極１５７を形成する。

さらに、画素電極１５７の表面に正孔輸送層１５８を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、発光素子形成材料としての正孔輸送層１５８の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、正孔輸送層の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この正孔輸送層の材料液を画素電極１５７の表面に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、正孔輸送層の材料液の吐出を行って塗布する。その後、正孔輸送層の材料液を加熱乾燥して固化することにより正孔輸送層１５８を形成する。

さらに、正孔輸送層１５８の表面に発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂを形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、発光素子形成材料としての発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂの材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、発光層の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この発光層の材料液を正孔輸送層１５８の表面に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、発光層の材料液の吐出を行って塗布する。その後、発光層の材料液を加熱乾燥して固化することにより発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂを形成する。

さらに、機能層１６０及びバンク１５６の上面に陰極１６１を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、陰極１６１の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、陰極の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この陰極の材料液を機能層１６０及びバンク１５６の上面に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、陰極の材料液の吐出を行って塗布する。その後、陰極の材料液を加熱乾燥して固化することにより陰極１６１を形成する。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、走査線１５２及びデータ線１５３を製造する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いることにより、配線材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、配線材料の塗布量が精度良く塗布された走査線１５２及びデータ線１５３を製造することができる。

（２）本実施形態によれば、ＴＦＴ素子１５１を製造する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いることにより、半導体材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、半導体材料の塗布量が精度良く塗布されたＴＦＴ素子１５１を製造することができる。

（３）本実施形態によれば、画素電極１５７及び陰極１６１を製造する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いることにより、電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、電極材料の塗布量が精度良く塗布された画素電極１５７及び陰極１６１を製造することができる。

（４）本実施形態によれば、機能層１６０を製造する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いることにより、発光素子形成材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、発光素子形成材料の塗布量が精度良く塗布された機能層１６０を製造することができる。

（第１２の実施形態）
次に、上記に記載の吐出方法を応用して表面電界表示装置を製造する一実施形態について図１７を用いて説明する。

まず、電気光学装置の一つである表面電界表示装置について説明する。図１７は、表面電界表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。

図１７に示すように、電気光学装置としての表面電界表示装置１６３は、主に、素子基板１６４と対向基板１６５とから構成されている。そして、素子基板１６４は、基板１６６を備えている。基板１６６の上には、絶縁膜１６７が形成されている。絶縁膜１６７上には、対をなす略円状の電極としての電子放出素子１６８がマトリクス状に形成され、一方の電子放出素子１６８が機能しないとき、他の一方の電子放出素子１６８が動作するようになっている。各電子放出素子１６８の対を囲むように、配線としての走査線１６９及び配線としてのデータ線１７０の配線が格子状に形成されている。データ線１７０は１対が電子放出素子１６８の対の間に配置されている。

電子放出素子１６８は、中心を通る線で２分割されており、電子放出素子１６８の一方は、走査線１６９と接続されている。そして、電子放出素子１６８のもう一方は、データ線１７０と接続されている。この電子放出素子１６８、走査線１６９、データ線１７０などにより素子層１７１が構成されている。

対向基板１６５は、光透過性の材料からなる基板１７２を備えている。そして、基板１７２の下側には、光透過性の材料からなる電極としての陽極１７３が形成されている。陽極１７３の下面には、発光素子としてのカラー蛍光膜１７４が形成され、カラー蛍光膜１７４と陽極１７３とを覆うように保護膜１７５が形成されている。

素子基板１６４と対向基板１６５とが、図示しないスペーサを介して接合され、素子基板１６４と対向基板１６５との間は、脱気されて略真空状態となっている。

電極が２つに分割されている電子放出素子１６８において、２つの電極間に電圧を印加するとき、電極間の隙間が狭く形成されているので、２つの電極間に微小の電子が通過する。そして、電子放出素子１６８と陽極１７３との間に電圧を印加することにより、電場を形成するとき、２つの電極間を通過する電子に電磁力が作用することにより、電子が陽極１７３に移動する。

陽極１７３に向かって移動する電子の一部は、カラー蛍光膜１７４に衝突する。カラー蛍光膜１７４は、電子の衝突によるエネルギを光に変換するので、発光する。表面電界表示装置１６３は、図示しないデータ電圧駆動回路と走査電圧駆動回路とを備え、データ電圧駆動回路及び走査電圧駆動回路は、電子放出素子１６８に印加される電圧を制御する。電子放出素子１６８に印加される電圧とカラー蛍光膜１７４が発光する光量とは正の相関があるので、データ電圧駆動回路及び走査電圧駆動回路は、カラー蛍光膜１７４が発光する光量を制御可能となっている。

そして、データ電圧駆動回路及び走査電圧駆動回路は、画素毎に光量をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。カラー蛍光膜１７４には、赤、青、緑の各光を発光する各色の蛍光膜が配置されており、データ電圧駆動回路及び走査電圧駆動回路は、発光する色を選択して制御することによりカラー画像を表示することが可能となっている。

素子層１７１に走査線１６９及びデータ線１７０の配線を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、配線を形成する場所が凹部となるようにする。そして、配線の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配線の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この配線の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、配線の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配線の材料液を加熱乾燥して固化することにより走査線１６９及びデータ線１７０を形成する。

さらに、素子層１７１に電子放出素子１６８を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、電子放出素子１６８における電極の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この電極膜の材料液を絶縁膜１６７の表面に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより電子放出素子１６８における電極を形成する。

さらに、基板１７２の表面に陽極１７３を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、陽極１７３における電極の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この電極膜の材料液を基板１７２の表面に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより陽極１７３を形成する。

さらに、陽極１７３の表面にカラー蛍光膜１７４を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、発光素子形成材料としてのカラー蛍光膜の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、カラー蛍光膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この電極膜の材料液を陽極１７３の表面に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、カラー蛍光膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、カラー蛍光膜の材料液を加熱乾燥して固化することによりカラー蛍光膜１７４を形成する。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、走査線１６９及びデータ線１７０を製造する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いることにより、配線材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、配線材料の塗布量が精度良く塗布された走査線１６９及びデータ線１７０を製造することができる。

（２）本実施形態によれば、電子放出素子１６８及び陽極１７３を製造する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いることにより、電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、電極材料の塗布量が精度良く塗布された電子放出素子１６８及び陽極１７３を製造することができる。

（３）本実施形態によれば、カラー蛍光膜１７４を製造する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いることにより、カラー蛍光膜形成材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、カラー蛍光膜形成材料の塗布量が精度良く塗布されたカラー蛍光膜１７４を製造することができる。

（第１３の実施形態）
次に、上記に記載の吐出方法を応用してプラズマ表示装置を製造する一実施形態について図１８を用いて説明する。

まず、電気光学装置の一つであるプラズマ表示装置について説明する。図１８は、プラズマ表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。

図１８に示すように、電気光学装置としてのプラズマ表示装置１７８は、主に、背面板１７９と前面板１８０とから構成されている。背面板１７９は、基板１８１を備えている。基板１８１の上面には、絶縁膜１８２が形成され、絶縁膜１８２の上面には、電極としてのアドレス電極１８３と絶縁膜１８４とが縞状に形成されている。

そして、アドレス電極１８３及び絶縁膜１８４の上面には、誘電体層１８５が形成されている。誘電体層１８５の上面には、格子状のリブ１８６が形成され、リブ１８６により囲まれて形成される凹状領域の各底部に、蛍光体などにより形成された赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の発光素子としての発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂが形成されている。そして、この発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂは、アドレス電極１８３と対向する場所に形成されている。

前面板１８０は、光透過性の材料からなる基板１８８を備え、基板１８８の下面には、絶縁膜１８９が形成されている。そして、絶縁膜１８９の下面には、アドレス電極１８３が延在する方向と直交する方向に電極としてのバス電極１９０が形成されている。バス電極１９０と隣接して、発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂと対向する場所には、光透過性の材料からなる矩形の電極としての維持電極１９１が形成され、バス電極１９０と維持電極１９１とが、電気的に接続されている。

維持電極１９１の下面には、誘電体層１９２が形成され、バス電極１９０の下面には、非光透過性の絶縁材料からなる絶縁膜１９３が形成されている。そして、背面板１７９と前面板１８０とが接合され、背面板１７９と前面板１８０との間は、脱気されて略真空状態にした後、キセノンガス等のガスが封入されている。

アドレス電極１８３と維持電極１９１との間にパルス電圧を印加するとき、誘電体層１８５と誘電体層１９２との間にプラズマが発生する。プラズマは、紫外線を発光し、発光した紫外線が発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂに含まれる蛍光体を励起することにより赤、緑、青色の可視光が発光される。

プラズマ表示装置１７８は、アドレス電極１８３と維持電極１９１との間に印加されるパルス電圧を制御する駆動回路を、備えている。この駆動回路は、パルス電圧の電圧値とタイミングとを制御することにより、画素毎に発光する光量をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができるようになっている。

背面板１７９の絶縁膜１８２の表面にアドレス電極１８３を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜１８２上にバンク状の絶縁膜１８４を形成する。次に、アドレス電極１８３の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この電極膜の材料液を絶縁膜１８４により形成された凹部に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することによりアドレス電極１８３を形成する。

前面板１８０の絶縁膜１８９の表面にバス電極１９０及び維持電極１９１を形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜１８９上にバンク状の絶縁膜１９３を形成する。次に、バス電極１９０及び維持電極１９１の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この電極膜の材料液を絶縁膜１９３により形成された凹部に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することによりバス電極１９０及び維持電極１９１を形成する。

さらに、誘電体層１８５の表面に発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂを形成する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、発光素子形成材料としての発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂの材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、発光層の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８を用いて、この発光層の材料液を誘電体層１８５の表面に吐出して塗布する。

このとき、第１の実施形態〜第９の実施形態における第１吐出量調整工程及び第２吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出量を調整した後、発光層の材料液の吐出を行って塗布する。その後、発光層の材料液を加熱乾燥して固化することにより発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂを形成する。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、アドレス電極１８３、バス電極１９０及び維持電極１９１を製造する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いることにより、電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、電極材料の塗布量が精度良く塗布されたアドレス電極１８３、バス電極１９０及び維持電極１９１を製造することができる。

（２）本実施形態によれば、発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂを製造する工程において、第１の実施形態〜第９の実施形態における吐出方法を用いることにより、発光素子形成材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、発光層の材料の塗布量が精度良く塗布された発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂを製造することができる。

尚、実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態において、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置１０８には、キャリッジ１２が６個配置され、各キャリッジ１２に２列に６個の液滴吐出ヘッド１４が配置されている。キャリッジ１２の個数、及び各キャリッジ１２に搭載されている液滴吐出ヘッド１４の個数は、装置の形態に合わせて、設定しても良い。

（変形例２）
前記第１の実施形態では、キャビティ４０を加圧する加圧手段に、圧電素子４３を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板４２を変形させて、加圧しても良い。他に、キャビティ４０内にヒータ配線を配置して、機能液４１に含む気体を膨張して加圧しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板４２を変形させて、加圧しても良い。いずれの場合にも、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれた液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッド１４が吐出する液滴４４を測定して調整することにより、前記第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。

（変形例３）
前記第１の実施形態において、ノズル３１から吐出する液滴４４の重量を測定して、吐出量を算出したが、吐出量の体積を測定して、吐出量を測定しても良い。例えば、断面積が一定の管に吐出する液滴４４を溜めて、管内における液体の長さを測定することにより体積を計測し、吐出量を推定しても良い。揮発性の高い液体の場合に、揮発しにくい状態で計測することができる。

（変形例４）
前記第１の実施形態において、液滴吐出装置１は、１２個の重量測定装置２１を備え、液滴吐出ヘッド１４から吐出される液滴４４の吐出量を測定している。重量測定装置２１の個数は１２個に限定されず、１２個未満でも良く、１２個以上でもよい。重量測定装置２１の個数が多い方が、同時に測定可能な液滴吐出ヘッド１４の個数が多くなるので、生産性良く吐出量を測定することができる。

（変形例５）
前記第１の実施形態では、ステップＳ２及びステップＳ１０の吐出前待機工程では、液滴４４を吐出しない程度に圧電素子４３を駆動して、暖機駆動したが、液滴４４を吐出して暖機駆動しても良い。液滴４４を吐出しないときに比べて、液滴４４を吐出する方が圧電素子４３に大きなエネルギを加えることができる為、短い時間で暖機駆動することができる。

（変形例６）
前記第１の実施形態では、ステップＳ２２の第１吐出量調整工程とステップＳ２４の第２吐出量調整工程との２回の調整工程にて、吐出量を調整したが、３回以上の調整工程にて行う様に、ヘッド群を分割して、調整しても良い。液滴吐出装置１が備える重量測定装置２１の個数に合わせて、工程を設計しても良い。

（変形例７）
前記第１の実施形態では、１つのキャリッジ１２に６個の液滴吐出ヘッド１４が配置されている。これに限らず、１つのキャリッジ１２には、６個未満又は６個以上の液滴吐出ヘッド１４が搭載されても良い。搭載される液滴吐出ヘッド１４の数が多い方が、一回に吐出可能な機能液４１の量が増やすことができるので、生産性良く塗布することができる。そして、生産形態に合わせて設定することができる。

（変形例８）
前記第３の実施形態では、ステップＳ３４及びステップＳ４４において、吐出回数を１００回とし、ステップＳ３７及びステップＳ４７において、吐出回数を１０００回とした。吐出回数は、これに限らず、精度良く測定可能な回数に設定しても良い。そして、ステップＳ３７及びステップＳ４７では、微調整を行うので、ステップＳ３４及びステップＳ４４における吐出回数より多い回数の方が精度良く測定可能となるので、好ましい。

（変形例９）
前記第１０の実施形態では、液晶表示パネル１２１の内部にカラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂを備えている。カラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂは、液晶表示パネル１２１の内部に備えず、液晶表示パネル１２１とは別の部品として備えても良い。検査工程で選別された液晶表示パネル１２１の良品と、同じく検査工程で選別されたカラーフィルタを備える部品の良品とを組み合わせることにより、液晶表示装置１２０の歩留りを向上することができる。

第１の実施形態に係る液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。 （ａ）は、キャリッジの模式平面図、（ｂ）は、キャリッジの構造を説明するための模式側面図、（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。 液滴吐出装置の電気制御ブロック図。 基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャート。 液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する順番を説明するための図。 液滴吐出装置を使った吐出方法を説明する図。 （ａ）及び（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの駆動波形を示すタイムチャート、（ｃ）は、駆動吐出回数とノズル温度との関係を示すグラフ、（ｄ）は、駆動電圧と吐出量との関係を示すグラフ。 液滴吐出装置を使った吐出方法を説明する図。 液滴吐出装置を使った吐出方法を説明する図。 第３の実施形態に係る基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャート。 第７の実施形態に係る液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。 基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャート。 第８の実施形態に係る基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャート。 第９の実施形態に係る基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャート。 第１０の実施形態に係る液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図。 第１１の実施形態に係る有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図。 第１２の実施形態に係る表面電界表示装置の構造を示す概略分解斜視図。 第１３の実施形態に係るプラズマ表示装置の構造を示す概略分解斜視図。

符号の説明

７…ワークとしての基板、１２…キャリッジ、１２ａ…第１キャリッジ、１２ｂ…第２キャリッジ、１２ｃ…第３キャリッジ、１２ｄ…第４キャリッジ、１２ｅ…第５キャリッジ、１２ｆ…第６キャリッジ、１４…液滴吐出ヘッド、４１…液状体としての機能液、４４…液滴、７１…液滴吐出ヘッド列としての第１ヘッド列、７２…液滴吐出ヘッド列としての第２ヘッド列、７３…液滴吐出ヘッド列としての第３ヘッド列、７４…液滴吐出ヘッド列としての第４ヘッド列、７５…液滴吐出ヘッド列としての第５ヘッド列、７６…液滴吐出ヘッド列としての第６ヘッド列、７７…液滴吐出ヘッド列としての第７ヘッド列、７８…液滴吐出ヘッド列としての第８ヘッド列、７９…液滴吐出ヘッド列としての第９ヘッド列、８０…液滴吐出ヘッド列としての第１０ヘッド列、８１…液滴吐出ヘッド列としての第１１ヘッド列、８２…液滴吐出ヘッド列としての第１２ヘッド列、１０４…吐出量、１１０…行としての第１ヘッド行、１１１…行としての第２ヘッド行、１１２…行としての第３ヘッド行、１２０…電気光学装置としての液晶表示装置、１２２…液晶、１２４…第１基板としての素子基板、１２５…第２基板としての対向基板、１３０，１５７…電極としての画素電極、１３１，１５１…半導体としてのＴＦＴ素子、１３２，１５２，１６９…配線としての走査線、１３３，１５３，１７０…配線としてのデータ線、１３５，１４４…配向膜、１４１Ｂ，１４１Ｇ，１４１Ｒ…カラーフィルタ、１４３…電極としての対向電極、１４７…電気光学装置としての有機ＥＬ装置、１４８，１６６，１７２，１８１，１８８…基板、１５８…発光素子としての正孔輸送層、１５９Ｂ，１５９Ｇ，１５９Ｒ…発光素子としての発光層、１６０…発光素子としての機能層、１６１…電極としての陰極、１６３…電気光学装置としての表面電界表示装置、１６８…電極としての電子放出素子、１７３…電極としての陽極、１７８…電気光学装置としてのプラズマ表示装置、１８３…電極としてのアドレス電極、１９０…電極としてのバス電極、１９１…電極としての維持電極。

Claims (30)

1. 複数のキャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが配列して搭載された液滴吐出ヘッド列の、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出量を測定する吐出量測定方法であって、 複数の前記液滴吐出ヘッド列を並べて、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出して、前記液滴吐出ヘッド列の内、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第１測定工程と、
   前記第１測定工程の後に行われ、前記第１測定工程において、他の前記液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった前記液滴吐出ヘッドを、他の前記液滴吐出ヘッド列にて挟んで、前記液状体を吐出した後、前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第２測定工程とを有することを特徴とする吐出量測定方法。
2. 請求項１に記載の吐出量測定方法であって、
   前記第１測定工程及び前記第２測定工程は、
   前記吐出量を測定する予定の前記液滴吐出ヘッドが待機する吐出前待機工程と、
   前記液状体を吐出する測定用吐出工程と、
   吐出された前記液状体の吐出量を測定する測定工程とを有し、
   前記吐出前待機工程において、前記液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することを特徴とする吐出量測定方法。
3. 請求項２に記載の吐出量測定方法であって、
   前記暖機駆動は、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出しない程度に駆動して、暖機駆動を行うことを特徴とする吐出量測定方法。
4. 請求項２に記載の吐出量測定方法であって、
   前記暖機駆動は、前記測定用吐出工程において前記液状体を吐出する場所と、略同じ場所で、暖機駆動を行うことを特徴とする吐出量測定方法。
5. 請求項１に記載の吐出量測定方法であって、
   前記第１測定工程において、一つのキャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、順次、各前記キャリッジに搭載された測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、
   前記第２測定工程において、一つのキャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、順次、各前記キャリッジに搭載された測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定することを特徴とする吐出量測定方法。
6. 請求項１に記載の吐出量測定方法であって、
   複数の前記キャリッジに搭載された複数の前記液滴吐出ヘッド列により、前記液滴吐出ヘッドの複数の行が形成され、
   前記第１測定工程において、一つのキャリッジに搭載された測定予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、吐出量を測定した前記液滴吐出ヘッドの行に属する前記液滴吐出ヘッドであって、測定した前記液滴吐出ヘッドと近い場所に位置する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、順次、各前記キャリッジに搭載された測定する予定の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、
   前記第２測定工程において、一つのキャリッジに搭載された測定予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、吐出量を測定した前記液滴吐出ヘッドの行に属する前記液滴吐出ヘッドであって、測定した前記液滴吐出ヘッドと近い場所に位置する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、順次、各前記キャリッジに搭載された測定する予定の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、
   前記第１測定工程と、前記第２測定工程とを繰り返して、測定する予定である総ての行における前記液滴吐出ヘッドの吐出量を測定することを特徴とする吐出量測定方法。
7. 請求項１に記載の吐出量測定方法であって、
   複数の前記キャリッジに搭載された複数の前記液滴吐出ヘッド列により、前記液滴吐出ヘッドの複数の行が形成され、
   前記第１測定工程において、一つのキャリッジに搭載された測定予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を測定し、
   前記第２測定工程においては、前記第１測定工程で測定した前記液滴吐出ヘッドの隣りに位置し、前記液滴吐出ヘッドの行に属する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、
   前記第１測定工程と、前記第２測定工程とを繰り返して、所定の行に属する前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定の、総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、
   測定していない前記液滴吐出ヘッドが属する行に切り換えて、前記第１測定工程と、前記第２測定工程とを繰り返して、前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定することを特徴とする吐出量測定方法。
8. 複数のキャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが配列して搭載された液滴吐出ヘッド列の、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出量を調整する吐出量調整方法であって、 複数の前記液滴吐出ヘッド列を並べて、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出して、前記液滴吐出ヘッド列の内、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第１測定工程と、
   前記第１測定工程にて測定した前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する第１調整工程と、 前記第１調整工程の後に行われ、前記第１測定工程において、他の前記液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった前記液滴吐出ヘッドを、他の前記液滴吐出ヘッド列にて挟んで、前記液状体を吐出した後、前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第２測定工程と、
   前記第２測定工程にて測定した前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する第２調整工程とを有することを特徴とする吐出量調整方法。
9. 請求項８に記載の吐出量調整方法であって、
   前記第１測定工程と前記第１調整工程とを繰り返して、前記吐出量を目標吐出量に近づける第１吐出量調整工程と、
   前記第２測定工程と前記第２調整工程とを繰り返して、前記吐出量を目標吐出量に近づける第２吐出量調整工程とを有することを特徴とする吐出量調整方法。
10. 請求項８に記載の吐出量調整方法であって、
    前記第１測定工程及び前記第２測定工程は、
    前記吐出量を測定する予定の前記液滴吐出ヘッドが待機する吐出前待機工程と、
    前記液状体を吐出する測定用吐出工程と、
    吐出された前記液状体の吐出量を測定する測定工程とを有し、
    前記吐出前待機工程において、前記液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することを特徴とする吐出量調整方法。
11. 請求項１０に記載の吐出量調整方法であって、
    前記暖機駆動は、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出しない程度に駆動して、暖機駆動を行うことを特徴とする吐出量調整方法。
12. 請求項１０に記載の吐出量調整方法であって、
    前記暖機駆動は、前記測定用吐出工程において前記液状体を吐出する場所と、略同じ場所で、暖機駆動を行うことを特徴とする吐出量調整方法。
13. 請求項９に記載の吐出量調整方法であって、
    前記第１吐出量調整工程では、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッド列に属する前記液滴吐出ヘッド及び、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれていない前記液滴吐出ヘッド列に属する前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を調整することを特徴とする吐出量調整方法。
14. 請求項８に記載の吐出量調整方法であって、
    前記第１測定工程及び前記第１調整工程とからなる工程と、前記第２測定工程及び前記第２調整工程とからなる工程との少なくとも一方の工程において、測定工程及び調整工程が複数行われ、
    前記調整工程は、粗調整工程と、微調整工程とを有することを特徴とする吐出量調整方法。
15. 請求項１４に記載の吐出量調整方法であって、
    前記粗調整工程の前に行われる測定工程において、吐出する前記液状体の量は、前記微調整工程の前に行われる測定工程において、吐出する前記液状体の量に比べて、少ない量であることを特徴とする吐出量調整方法。
16. 請求項１４に記載の吐出量調整方法であって、
    前記粗調整工程の前に行われる測定工程において、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を単位時間に吐出する回数は、前記微調整工程の前に行われる測定工程において、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を単位時間に吐出する回数に比べて、多い回数であることを特徴とする吐出量調整方法。
17. 請求項８に記載の吐出量調整方法であって、
    前記第１調整工程において、一つのキャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、順次、各前記キャリッジに搭載された調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、
    前記第２調整工程において、一つのキャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、順次、各前記キャリッジに搭載された調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整測定することを特徴とする吐出量調整方法。
18. 請求項８に記載の吐出量調整方法であって、
    複数の前記キャリッジに搭載された複数の前記液滴吐出ヘッド列により、前記液滴吐出ヘッドの複数の行が形成され、
    前記第１調整工程において、一つのキャリッジに搭載された調整予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、吐出量を調整した前記液滴吐出ヘッドの行に属する一部の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、順次、各前記キャリッジに搭載された調整する予定の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、
    前記第２調整工程において、一つのキャリッジに搭載された調整予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、吐出量を調整した前記液滴吐出ヘッドの行に属する一部の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、順次、各前記キャリッジに搭載された調整する予定の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、
    前記第１調整工程と、前記第２調整工程とを繰り返して、調整する予定である総ての行における前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整することを特徴とする吐出量調整方法。
19. 請求項８に記載の吐出量調整方法であって、
    複数の前記キャリッジに搭載された複数の前記液滴吐出ヘッド列により、前記液滴吐出ヘッドの複数の行が形成され、
    前記第１調整工程において、一つのキャリッジに搭載された調整予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整し、
    前記第２調整工程においては、前記第１調整工程で調整した前記液滴吐出ヘッドの隣りに位置し、前記液滴吐出ヘッドの行に属する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、
    前記第１調整工程と、前記第２調整工程とを繰り返して、所定の行に属する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、
    調整していない前記液滴吐出ヘッドが属する行に切り換えて、前記第１調整工程と、前記第２調整工程とを繰り返して、前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整することを特徴とする吐出量調整方法。
20. 複数のキャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが配列して搭載された液滴吐出ヘッド列の、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出量を調整する吐出量調整方法であって、 複数の前記液滴吐出ヘッド列を並べて、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出して、前記液滴吐出ヘッド列の内、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第１測定工程と、
    前記第１測定工程にて測定した前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する第１調整工程と、 前記第１調整工程の後に行われ、前記第１測定工程において、他の前記液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった前記液滴吐出ヘッドを、他の前記液滴吐出ヘッド列にて挟んで、前記液状体を吐出した後、前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第２測定工程と、
    前記第２測定工程にて測定した前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する第２調整工程とを有し、
    前記第１測定工程と前記第１調整工程とを繰り返して、前記吐出量を目標吐出量に近づける第１吐出量調整工程と、
    前記第２測定工程と前記第２調整工程とを繰り返して、前記吐出量を目標吐出量に近づける第２吐出量調整工程とを有し、
    前記第１吐出量調整工程では、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッド列に属する前記液滴吐出ヘッドに加え、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれていない前記液滴吐出ヘッド列に属する前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を粗調整することを特徴とする吐出量調整方法。
21. 請求項２０に記載の吐出量調整方法であって、
    前記第１吐出量調整工程において、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれていない前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量は、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量に比べて、少ない吐出量が吐出されるように調整することを特徴とする吐出量調整方法。
22. 請求項２０に記載の吐出量調整方法であって、
    前記第２測定工程において、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出する前記液状体の吐出量は、前記第１吐出量調整工程にて設定した吐出量より少ない吐出量が吐出されるように設定を変更した後、前記液状体を吐出して、
    前記第２調整工程において、吐出量を調整することを特徴とする吐出量調整方法。
23. ワークに液状体を液滴吐出ヘッドから吐出する液状体の吐出方法であって、
    吐出量を調整する吐出量調整工程と、
    前記ワークに液滴を吐出する塗布工程とを有し、
    前記吐出量調整工程では、請求項８〜２２のいずれか一項に記載の吐出量調整方法を用いて調整することを特徴とする液状体の吐出方法。
24. 基板上にカラーインクを塗布して形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、請求項２３に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記カラーインクを吐出して塗布することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
25. 第１基板と第２基板とに配向膜を形成し、前記第１基板と前記第２基板との間に、液晶を挟んで形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法であって、請求項２３に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記第１基板と前記第２基板との内、少なくとも一方に、前記配向膜の材料を吐出して塗布した後、固化することにより、前記配向膜を形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
26. 第１基板に液晶を塗布した後、前記第１基板と第２基板との間に、前記液晶を挟んで形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法であって、請求項２３に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記第１基板に前記液晶を吐出して塗布することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
27. 基板に発光素子形成材料を塗布した後、固化することにより、発光素子を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、請求項２３に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記発光素子形成材料を吐出して塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
28. 基板に液状体の電極材料を塗布した後、固化することにより、電極を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、請求項２３に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記電極材料を吐出して塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
29. 基板に液状体の配線材料を塗布した後、固化することにより、配線を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、請求項２３に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記配線材料を吐出して塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
30. 基板に液状体の半導体材料を塗布して、固化した後、加熱することにより、半導体を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、請求項２３に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記半導体材料を吐出して塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。

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