JP4983294B2 - 吐出量測定方法、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び電気光学装置の製造方法。 - Google Patents

Description

本発明は、吐出量測定方法、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び電気光学装置の製造方法に係り、特に、ノズルから吐出する液滴の吐出量を精度良く測定する方法に関するものである。

従来、ワークに対して液滴を吐出する方法として、インクジェット式の液滴吐出装置を用いて吐出する方法が知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させるテーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向に配置されるガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジはインクジェットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）を配置し、ワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。

ワークに対して、液滴にした後、吐出することにより、塗布する機能液は、各種の材料が用いられている。機能液は、温度により粘度の変わる物が多く、粘度が変わることにより流体抵抗が変化する。流体抵抗が変わることにより、液滴吐出ヘッド内の流路を流れる機能液の流速が変化する。機能液の流速が変化することにより、１ドットあたりの吐出量が変動し、吐出量を精度良く測定することが困難であった。

この課題を解決するために、特許文献１において、１ドットあたりの吐出量を精度良く測定する方法が開示されている。これによれば、液滴吐出装置をチャンバ内に設置した後、チャンバ内の温度と湿度を調整することにより、液滴吐出装置の環境を制御して吐出量を測定している。

特開２００４−２０９４２９号公報

液滴吐出ヘッドのキャビティを、圧電素子を用いて加圧するとき、圧電素子の動作に加えられるエネルギの一部は、熱に変換し、液滴吐出ヘッドの温度を上昇させる要因となっている。また、圧電素子が駆動されていないとき、圧電素子は発熱せず、液滴吐出ヘッドは放熱するため、液滴吐出ヘッドの温度が変動する要因となっている。

吐出量を測定するときに、吐出量は温度の影響を受けることから、測定時におけるヘッド温度は、測定する毎に略同じ温度条件で測定する必要がある。

本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたもので、その目的は、吐出量を精度良く測定できる吐出量測定方法、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び電気光学装置の製造方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明の吐出量測定方法は、複数のノズルを有するノズル群を複数備え、ノズルから液滴を吐出するノズル群の吐出量を測定する吐出量測定方法であって、ノズル群が液滴を吐出する順序であるノズル群順序と、液滴を吐出する吐出時間と、ノズル群の一つから、液滴を吐出した後、吐出したノズル群とは別のノズル群から液滴を吐出するまでの非吐出時間とを設定する吐出条件設定工程と、ノズル群に所属するノズルから液滴を吐出する測定用吐出工程と、吐出された吐出量を測定する測定工程とを有し、測定用吐出工程と測定工程とを繰り返すことにより、各ノズル群における吐出量を測定し、測定用吐出工程では、設定したノズル群順序の順番にて吐出し、設定した吐出時間の間、吐出し、設定した非吐出時間の間、吐出を停止することを特徴とする。

この吐出量測定方法によれば、吐出条件設定工程において、ノズル順序、吐出時間、非吐出時間を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定されたノズル順序、吐出時間、非吐出時間の条件に従って、吐出を行っている。

ノズルから液滴を吐出するとき、液状体を加圧する。液状体に加圧することにより、液状体の圧力が高くなる。このとき、ノズルでは、液状体と気体とが接した状態となっている。そして、液状体の圧力が、気体の気圧より高くなることから、液状体の一部が液滴となって、気体中に吐出される。

液状体を加圧するとき、加圧するエネルギの一部は、熱に変換される。そして、ノズル付近の温度が上昇する。

液状体は、温度が上昇すると、液状体を構成する分子の運動エネルギが増加するので、粘度が低くなるものが多い。液状体の粘度が変化すると、ノズル等の流路を通過するときの流体抵抗が変化する。そして、ノズルから吐出される液状体の吐出量が変化する。

複数のノズル群を備え、この複数のノズル群において、順番に吐出するとき、吐出しないノズル群は、吐出するノズル付近の発熱の影響を受ける。そして、吐出するノズル群における吐出時間が長い程、発熱量が大きくなることから、発熱の影響を受ける度合いが大きくなる。つまり、吐出時間の影響を受ける。

次に、ノズル群が吐出する場所に移動するまでの間、吐出を停止する。このとき、ノズル付近の熱は、大気中及び、ノズルを構成する部材と接触している部材と通じて放熱する。従って、吐出していない時間である非吐出時間の影響を受ける。

そして、吐出しているノズル群に対して、伝熱し易い場所に位置するノズル群は、伝熱により加熱されることから、ノズル群は、場所によって影響の受け方が異なる。熱伝導し易い場所のノズル群が連続して吐出するときと、熱伝導し難い場所のノズル群が連続して吐出するときとでは、熱の影響を受ける度合いが異なるため、吐出するときの吐出量が異なる。従って、吐出量を測定するとき、吐出する順番が、毎回異なるときは、吐出する順番が、毎回同じときと比べて、吐出量の測定値における再現性が悪くなる。

この吐出量測定方法では、設定されたノズル順序、吐出時間、非吐出時間の条件に従って、吐出を行っている。従って、吐出するときに加熱される条件を略固定して測定する為、再現性良くノズル群のノズルから吐出される吐出量を測定することができる。その結果、精度良く吐出量を測定することができる。

本発明の吐出量測定方法は、複数のノズル群における非吐出時間は、略同じ時間間隔に設定されていることを特徴とする。

この吐出量測定方法によれば、非吐出時間は、略同じ時間間隔に設定されている。非吐出時間の間に、ノズル付近の熱は、大気中及び、ノズルを構成する部材と接触している部材と通じて放熱する。そして、ノズル付近の温度が低下する。

非吐出時間が、略同じ時間間隔に設定されることにより、低下するノズル付近の温度変化量が略同じとなる。そして、温度の変化に伴い、液状体における粘度の変化量が略同じとなる。従って、非吐出時間が吐出量に与える影響を略同じにする為、ノズル群間の吐出量の測定誤差を少なくすることができる。その結果、精度良く吐出量を測定することができる。

本発明の吐出量測定方法は、測定用吐出工程の前に、ノズルを有する液滴吐出ヘッドを暖機駆動する暖機駆動工程を有し、暖機駆動工程と、測定用吐出工程と、測定工程とを繰り返すことにより、各ノズル群における吐出量を測定し、吐出条件設定工程において、暖機駆動する時間である暖機駆動時間と、暖機駆動を停止した後、測定用吐出工程で液滴を吐出するまでの時間である暖機停止時間とを設定し、暖機駆動工程では、設定した暖機駆動時間の間、暖機駆動した後、設定した暖機駆動停止時間の間、暖機駆動を停止し、その後、測定用吐出工程において、液滴を吐出することを特徴とする。

この吐出量測定方法によれば、測定用に吐出する前に、設定された暖機駆動時間の間、暖機駆動を行う。そして、設定された暖機駆動停止時間の後、測定用に吐出する。吐出量を測定する場所へノズル群を移動する間や、吐出せずに待機するとき、暖機駆動することにより、ノズル付近の温度を上昇する。そして、ノズル付近の温度を、ワークに液状体を吐出するときの温度に近い温度にして、吐出量を測定することができる。

このとき、暖機駆動時間と、暖機停止時間を設定し、測定する毎に、設定した暖機駆動時間の間、暖機駆動して、設定された暖機停止時間の間、暖機駆動を停止することにより、加熱と冷却の時間を制御している。従って、ノズル付近の温度が制御される為、再現性良くノズル群のノズルから吐出される吐出量を測定することができる。その結果、精度良く吐出量を測定することができる。

本発明の吐出量測定方法は、暖機駆動工程では、ノズルから液滴が吐出されない程度に、液滴吐出ヘッドを駆動することを特徴とする。

この吐出量測定方法によれば、ノズルから液滴が吐出されない程度に暖機駆動している。従って、液滴が無駄に吐出されない為、省資源な吐出量測定方法とすることができる。

本発明の吐出量測定方法は、測定用吐出工程では、複数のノズル群におけるノズルから、並行して、液滴を吐出することを特徴とする。

この吐出量測定方法によれば、複数のノズル群におけるノズルから、並行して、液滴を吐出している。従って、１回に１つのノズル群から吐出する場合に比べて、少ない回数で、測定する予定の総てのノズル群から吐出することができる。その結果、生産性良く、ノズル群から液滴を吐出して吐出量を測定することができる。

上記課題を解決するために、本発明の液状体の吐出方法は、ワークに液状体をノズルから液滴にして吐出する液状体の吐出方法であって、ノズルから吐出する液滴の吐出量を測定する吐出量測定工程と、吐出量を調整する吐出量調整工程と、ワークに液滴を吐出する塗布工程とを有し、吐出量測定工程では、上記に記載の吐出量測定方法を用いて測定することを特徴とする。

この液状体の吐出方法によれば、吐出量を測定した後、吐出量を調整することにより、吐出量を所望の吐出量にして、ワークに吐出している。従って、精度良く測定した吐出量の測定値を基に、吐出量を調整する為、ワークに吐出する吐出量は、精度良く調整された吐出量の吐出をすることができる。その結果、吐出量を精度良くワークに吐出することができる。

上記課題を解決するために、本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板上にカラーインクを塗布して形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記に記載の液状体の吐出方法を用いて、基板にカラーインクを吐出して塗布することを特徴とする。

このカラーフィルタの製造方法によれば、カラーインクの吐出量を精度良く吐出して塗布することから、カラーインクの塗布量が精度良く塗布されるカラーフィルタの製造方法とすることができる。

上記課題を解決するために、本発明の液晶表示装置の製造方法は、第１基板と第２基板とに配向膜を形成し、第１基板と第２基板との間に、液晶を挟んで形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法であって、第１基板と第２基板とのうち少なくとも一方に、上記に記載の液状体の吐出方法を用いて、配向膜の材料を吐出して塗布することにより配向膜を形成することを特徴とする。

この液晶表示装置の製造方法によれば、配向膜の材料における吐出量を精度良く吐出して塗布することから、配向膜の材料における塗布量が精度良く塗布される液晶表示装置の製造方法とすることができる。

上記課題を解決するために、本発明の液晶表示装置の製造方法は、第１基板に液晶を塗布した後、第１基板と第２基板との間に、液晶を挟んで形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法であって、上記に記載の液状体の吐出方法を用いて、第１基板に液晶を吐出して塗布することを特徴とする。

この液晶表示装置の製造方法によれば、液晶の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、液晶の塗布量が精度良く塗布される液晶表示装置の製造方法とすることができる。

上記課題を解決するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、基板に発光素子形成材料を塗布した後、固化することにより、発光素子を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、上記に記載の液状体の吐出方法を用いて、基板に発光素子形成材料を吐出して塗布することを特徴とする。

この電気光学装置の製造方法によれば、発光素子形成材料の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、発光素子形成材料の塗布量が精度良く塗布される電気光学装置の製造方法とすることができる。

上記課題を解決するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、基板に液状体の電極材料を塗布した後、固化することにより、電極を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、上記に記載の液状体の吐出方法を用いて、基板に液状体の電極材料を吐出して塗布することを特徴とする。

この電気光学装置の製造方法によれば、液状体の電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、電極材料の塗布量が精度良く塗布されて、電極が形成される電気光学装置の製造方法とすることができる。

上記課題を解決するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、基板に液状体の配線材料を塗布した後、固化することにより、配線を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、上記に記載の液状体の吐出方法を用いて、基板に液状体の配線材料を吐出して塗布することを特徴とする。

この電気光学装置の製造方法によれば、液状体の配線材料の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、配線材料の塗布量が精度良く塗布されて、配線が形成される電気光学装置の製造方法とすることができる。

上記課題を解決するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、基板に液状体の半導体材料を塗布して、固化した後、加熱することにより、半導体を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、上記に記載の液状体の吐出方法を用いて、基板に液状体の半導体材料を吐出して塗布することを特徴とする。

この電気光学装置の製造方法によれば、液状体の半導体材料の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、半導体材料の塗布量が精度良く塗布されて、半導体が形成される電気光学装置の製造方法とすることができる。

以下、本発明を具体化した実施例について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。

（第１の実施形態）
本実施形態では、液滴吐出装置と、この液滴吐出装置を用いて液滴を吐出して描画する、本発明の特徴的な吐出方法の例について、図１〜図９に従って説明する。

（液滴吐出装置）
最初に、ワークに液滴を吐出して塗布する液滴吐出装置１について図１〜図３に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小な液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。

図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１により、機能液が吐出され塗布される。図１に示すように、液滴吐出装置１には、直方体形状に形成される基台２を備えている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。

基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延在する一対の案内レール３ａ，３ｂがＹ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するステージ４が取付けられている。そのステージ４の直動機構は、例えば案内レール３ａ，３ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ軸方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。

さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂと平行に主走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の位置が計測できるようになっている。

そのステージ４の上面には、載置面６が形成され、その載置面６には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面６にワークとしての基板７を載置すると、基板チャック機構によって、その基板７が載置面６の所定位置に位置決めされて、固定されるようになっている。

基台２のＸ方向両側には、一対の支持台８ａ，８ｂが立設され、その一対の支持台８ａ，８ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材９が架設されている。

案内部材９の上側には、吐出する機能液を供給可能に収容する収容タンク１０が配設されている。一方、その案内部材９の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１１がＸ方向全幅にわたり凸設されている。

案内レール１１に沿って移動可能に配置されるキャリッジ１２は、略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ１２の直動機構は、例えば案内レール１１に沿ってＸ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ１２が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。案内部材９とキャリッジ１２との間には、副走査位置検出装置１３が配置され、キャリッジ１２の位置が計測できるようになっている。そして、キャリッジ１２の下面（ステージ４側の面）には、液滴吐出ヘッド１４が凸設されている。

基台２の上側であって、ステージ４の片側の一方（図中右側）には、クリーニングユニット１５が配置されている。クリーニングユニット１５は、保守ステージ１６と、保守ステージ１６の上に配置されている、予備吐出領域としてのフラッシングユニット１７、キャッピングユニット１８、ワイピングユニット１９、重量測定装置２０等により構成されている。

保守ステージ１６は、案内レール３ａ，３ｂ上に位置し、ステージ４と同様の直動機構を備えている。主走査位置検出装置５を用いて位置を検出し、直動機構で移動することにより、所望の場所に移動し、停止することが可能となっている。

フラッシングユニット１７は、液滴吐出ヘッド１４内の流路を洗浄するとき、液滴吐出ヘッド１４から吐出される液滴を受ける装置である。液滴吐出ヘッド１４内に固形物が混入した場合に、固形物を液滴吐出ヘッド１４から排除するため、液滴吐出ヘッド１４から液滴を吐出して洗浄する。この液滴を受ける機能をフラッシングユニット１７が行う。

キャッピングユニット１８は、液滴吐出ヘッド１４に蓋をする装置である。液滴吐出ヘッド１４から吐出する液滴は、揮発性を有する場合があり、液滴吐出ヘッド１４に内在する機能液の溶媒がノズルから揮発すると、機能液の粘度が変わり、ノズルが目詰まりすることがある。キャッピングユニット１８は、液滴吐出ヘッド１４に蓋をすることで、ノズルが目詰まりすることを防止するようになっている。

ワイピングユニット１９は、液滴吐出ヘッド１４のノズルが配置されているノズルプレートを拭く装置である。ノズルプレートは、液滴吐出ヘッド１４において、基板７と対向する側の面に配置されている部材である。ノズルプレートに液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と基板７とが接触して、基板７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことがある。ワイピングユニット１９は、ノズルプレートを拭くことにより、基板７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことを防止している。

重量測定装置２０には、電子天秤が設置され、電子天秤には、受け皿が配置されている。液滴が、液滴吐出ヘッド１４から受け皿に吐出され、電子天秤が液滴の重量を測定するようになっている。受け皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が、跳ねて、受け皿の外に出ないようになっている。電子天秤は、液滴吐出ヘッド１４が液滴を吐出する前後で、受け皿の重量を測定する。重量測定装置２０は、吐出前後の受け皿における重量の差分を演算して、吐出する液滴の重量を測定する。

保守ステージ１６が、案内レール３ａ，３ｂに沿って移動して、キャリッジ１２が、案内レール１１に沿って移動することにより、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に、フラッシングユニット１７、キャッピングユニット１８、ワイピングユニット１９、重量測定装置２０のいずれか一つの装置が配置されるようになっている。

ステージ４及び保守ステージ１６が、案内レール３ａ，３ｂに沿って、Ｙ方向に移動することにより、液滴吐出ヘッド１４は、クリーニングユニット１５、又は、基板７と対向する場所に移動し、液滴を吐出するようになっている。

液滴吐出装置１は、四隅に支柱２１を備え、上部（図中上側）に、空気制御装置２２を備えている。空気制御装置２２は、ファン、フィルタ、冷暖房装置、湿度調整装置などを備えている。ファン（送風機）は、工場内の空気を取り込んで、フィルタを通過することにより、空気内の塵、埃を除去し、清浄化された空気を供給する。

冷暖房装置は、液滴吐出装置１の雰囲気温度を所定の温度範囲に保持するように、供給する空気の温度を制御する装置である。湿度調整装置は、液滴吐出装置１の雰囲気湿度を所定の湿度範囲に保持するように、空気を除湿、又は加湿して供給する空気の湿度を制御する装置である。

４本の支柱２１の間には、シート２３が配置され、空気の流れを遮断するようになっている。空気制御装置２２から供給される空気は、空気制御装置２２から床２４に向かって（図中上から下へ向かう方向）流れ、シート２３に囲まれる空間内の塵や埃は、床２４に向かって流動する。それにより、基板７に塵や埃が付着しにくいようになっている。

さらに、シート２３が、空気の流れを制限することにより、シート２３に囲まれる空間内の温度及び湿度を、シート２３の外から影響されにくくしている。そして、空気制御装置２２がシート２３に囲まれる空間内の温度及び湿度を制御し易くなっている。

図２（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図である。図２（ａ）に示すように、キャリッジ１２には、第１液滴吐出ヘッド１４ａ〜第１２液滴吐出ヘッド１４ｌの１２個の液滴吐出ヘッド１４が配置され、液滴吐出ヘッド１４の表面には、ノズルプレート３０が配置されている。ノズルプレート３０には、ノズル３１が複数、配置されている。ノズル３１の数は、吐出するパターンと基板７の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、１個のノズルプレート３０には、ノズル３１の配列が２列形成され、各列には１５個のノズル３１が配置されている。

図２（ｂ）は、キャリッジを示す模式側面図であり、図２（ａ）に示すキャリッジをＹ方向から見た図である。図２（ｂ）に示すように、キャリッジ１２は、ベース板３２を備えている。ベース板３２の上側には、走査手段としての移動機構３３が配置されており、キャリッジ１２が、案内レール１１に沿って移動するための機構が収納されている。

ベース板３２の下側には、支持部３４を介して駆動回路基板３５が配置されている。そして、駆動回路基板３５の下側には、ヘッド駆動回路３６が配置されている。さらに、ベース板３２には、支持部３７を介して、ヘッド取付板３８が配置され、ヘッド取付板３８の下面には、液滴吐出ヘッド１４が配置されている。ヘッド駆動回路３６と液滴吐出ヘッド１４とは、図示しないケーブルにより接続され、ヘッド駆動回路３６が出力する駆動信号が、液滴吐出ヘッド１４に入力されるようになっている。

ベース板３２の下側には、供給装置３９が配置され、収容タンク１０と供給装置３９との間、及び、供給装置３９と液滴吐出ヘッド１４との間は、図示しないチューブにより接続されている。そして、収容タンク１０から供給される機能液が、供給装置３９により液滴吐出ヘッド１４に供給されるようになっている。

図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図２（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４は、ノズルプレート３０を備え、ノズルプレート３０には、ノズル３１が形成されている。ノズルプレート３０の上側であって、ノズル３１と相対する位置には、ノズル３１と連通するキャビティ４０が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド１４のキャビティ４０には、収容タンク１０に貯留されている機能液４１が供給される。

キャビティ４０の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ４０内の容積を拡大縮小する振動板４２と、上下方向に伸縮して振動板４２を振動させる圧電素子４３が配設されている。圧電素子４３が上下方向に伸縮して振動板４２を加圧して振動し、振動板４２がキャビティ４０内の容積を拡大縮小してキャビティ４０を加圧する。それにより、キャビティ４０内の圧力が変動し、キャビティ４０内に供給された機能液４１は、ノズル３１を通って吐出されるようになっている。

そして、液滴吐出ヘッド１４が圧電素子４３を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子４３が伸張して、振動板４２がキャビティ４０内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド１４のノズル３１からは、縮小した容積分の機能液４１が液滴４４として吐出される。ノズル３１から液滴４４を吐出するとき、液滴４４を吐出するために、液滴吐出ヘッド１４に加えられるエネルギの一部が、熱に変換される。そして、液滴４４を吐出するノズル３１の周辺は加熱されて、温度が上昇する。

図３は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図３において、液滴吐出装置１はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）４８と、各種情報を記憶するメモリ４９とを有する。

主走査駆動装置５０、副走査駆動装置５１、主走査位置検出装置５、副走査位置検出装置１３、液滴吐出ヘッド１４を駆動するヘッド駆動回路３６は、入出力インターフェース５２及びデータバス５３を介してＣＰＵ４８に接続されている。さらに、入力装置５４、ディスプレイ装置５５、重量測定装置２０、フラッシングユニット１７、キャッピングユニット１８、ワイピングユニット１９も入出力インターフェース５２及びデータバス５３を介してＣＰＵ４８に接続されている。同じく、クリーニングユニット１５において、保守ステージ１６を駆動する保守ステージ駆動装置５６及び、保守ステージ１６の位置を検出する保守ステージ位置検出装置５７も入出力インターフェース５２及びデータバス５３を介してＣＰＵ４８に接続されている。

主走査駆動装置５０は、ステージ４の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置５１は、キャリッジ１２の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置５が、ステージ４の位置を認識し、主走査駆動装置５０が、ステージ４の移動を制御することにより、ステージ４を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置１３が、キャリッジ１２の位置を認識し、副走査駆動装置５１が、キャリッジ１２の移動を制御することにより、キャリッジ１２を所望の位置に移動及び停止することが可能となっている。

入力装置５４は、液滴４４を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板７に液滴４４を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレイ装置５５は、加工条件や、作業状況を表示する装置であり、操作者は、ディスプレイ装置５５に表示される情報を基に、入力装置５４を用いて操作を行う。

重量測定装置２０は、電子天秤及び受け皿を備え、液滴吐出ヘッド１４が吐出する液滴４４と、液滴４４を受ける受け皿との重量を測定する装置である。液滴４４が吐出される前後の受け皿の重量を測定して、測定値をＣＰＵ４８に送信する。

保守ステージ駆動装置５６は、フラッシングユニット１７、キャッピングユニット１８、ワイピングユニット１９、重量測定装置２０から１つの装置を選択して、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に位置するように、保守ステージ１６を移動する装置である。そして、保守ステージ位置検出装置５７が、保守ステージ１６の位置を検出した後、保守ステージ駆動装置５６が保守ステージ１６を移動することにより、所望の装置又はユニットが、確実に、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に、移動可能となっている。

メモリ４９は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５８を記憶する記憶領域が設定される。さらに、基板７内における吐出位置の座標データである吐出位置データ５９を記憶するための記憶領域も設定される。

他にも、液滴吐出ヘッド１４の暖機駆動において、暖機駆動する液滴吐出ヘッド１４の順番や駆動時間データなどの暖機駆動データ６０が設定される。さらに、重量測定装置２０が、ノズル３１から吐出される液滴４４の重量を測定するときに、液滴吐出ヘッド１４の測定順のデータであるヘッド測定順番データ６１を記憶するための記憶領域が設定される。さらに、ノズル３１から吐出される液滴４４の重量を測定するときに、圧電素子４３を駆動する測定用駆動信号データ６２を記憶するための記憶領域が設定される。

さらに、基板７を主走査方向（Ｙ方向）へ移動する主走査移動量と、キャリッジ１２を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ４８のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。

ＣＰＵ４８は、メモリ４９内に記憶されたプログラムソフト５８に従って、基板７における表面の所定位置に機能液を液滴４４吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部６３を有する。さらに、液滴吐出ヘッド１４を洗浄するタイミングを演算する洗浄演算部６４や、液滴吐出ヘッド１４を暖機駆動するときに、暖機駆動する液滴吐出ヘッド１４の選択や、暖機駆動時間の制御を行う暖機制御演算部６５を有する。

他に、液滴吐出ヘッド１４によって液滴４４を吐出するための演算を行う吐出演算部６６などを有する。吐出演算部６６を詳しく分割すれば、液滴吐出ヘッド１４を液滴吐出のための初期位置へセットするための吐出開始位置演算部６７を有する。さらに、吐出演算部６６は、基板７を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部６８を有する。加えて、吐出演算部６６は、液滴吐出ヘッド１４を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部６９を有する。さらに、吐出演算部６６は液滴吐出ヘッド１４内に複数あるノズルのうち、どのノズルを作動させて機能液を吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部７０等といった各種の機能演算部を有する。

（吐出方法）
次に、上述した液滴吐出装置１を使って、基板７に描画する吐出方法について図４〜図９にて説明する。図４は、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャートである。図５〜図９は、液滴吐出装置を使った吐出方法を説明する図である。

ステップＳ１は、吐出条件設定工程に相当し、吐出量を測定するときに駆動するノズル群順序としての液滴吐出ヘッドの順番、暖機駆動時間、吐出時間及び非吐出時間等の条件を設定する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は、移動工程に相当し、重量測定装置と対向する場所に液滴吐出ヘッドを移動する工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３は、暖機駆動工程に相当し、ノズルから液滴が吐出しない程度に圧電素子を駆動する工程である。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は測定用吐出工程に相当し、ノズルから重量測定装置の受け皿へ所定の回数の吐出を行う工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ５は、測定工程に相当し、重量測定装置の受け皿の重量を計測する。そして、吐出１回当りの吐出量を演算する工程である。

ステップＳ６は、総ての吐出ヘッドの吐出量を測定したか、を判断する工程に相当し、第１液滴吐出ヘッド〜第１２液滴吐出ヘッドの総てのヘッドにおける吐出量を測定したかを判断する工程である。吐出量を測定していない吐出ヘッドがあるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ２に移行する。ステップＳ６において、総ての吐出ヘッドの吐出量を測定したとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ７に移行する。ステップＳ２〜ステップＳ６のステップによりステップＳ１１の吐出量測定工程が構成される。

ステップＳ７は、吐出量調整工程に相当し、ノズルから吐出する吐出量を調整する工程である。次にステップＳ８に移行する。ステップＳ８は、塗布工程に相当し、基板に液滴を吐出して塗布する工程である。以上で、基板に塗布する製造工程を終了する。

次に、図５〜図９を用いて、図４に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を精度良く測定して、ワークに塗布する製造方法を詳細に説明する。
図５〜図８は、ステップＳ１に対応する図であり、図５（ａ）は、ノズルプレートの温度を測定する方法を説明するための図である。図５（ａ）に示すように、赤外線放射温度計７４を用いて、ノズル３１付近の温度であるノズル温度を計測する。重量測定装置２０の横には、エリアセンサを備えた赤外線カメラ７５が配置され、赤外線カメラ７５は、配列されているノズル３１を撮像可能となっている。赤外線カメラ７５には、温度分析装置７６が電気的に接続され、赤外線カメラ７５及び温度分析装置７６などにより赤外線放射温度計７４が構成されている。赤外線カメラ７５は、ノズルプレート３０が発光する赤外線を受光し、電気信号に変換して、温度分析装置７６に出力する。温度分析装置７６は、赤外線カメラ７５が受光する光エネルギを温度に変換する。従って、ノズルプレート３０の各ノズル３１の周囲における温度をノズル温度として計測可能となっている。

続いて、ノズル３１から液滴４４を重量測定装置２０に向けて、吐出する。重量測定装置２０は、電子天秤７７を備え、電子天秤７７の上には受け皿７８が配置され、受け皿７８の中には、スポンジ状の受容体７９が格納されている。ノズル３１から吐出される液滴４４が受容体７９に着弾するとき、液滴４４は、受容体７９に吸収され、液滴４４の一部が受け皿７８の外へ飛び出さないようになっている。また、液滴４４が揮発性のある液体を含んでいるとき、液滴４４が、受容体７９に染み込むことにより、液滴４４が外気と接触しにくくなり、揮発しにくくなっている。１回のステップで吐出する吐出回数は、赤外線放射温度計７４の応答性を鑑みて設定するのが好ましく、本実施形態では、例えば、１００回を採用している。従って、ステップＳ１１を１０回繰り返すとき、ノズル３１から１０００回吐出することとなる。

図５（ｂ）は、連続して吐出するときのノズル温度と吐出量との関係を示すグラフである。図において、横軸は、ノズル温度８０の変化を示し、右側が左側より高い温度となっている。縦軸は、吐出量８１の変化を示し、上側が下側より大きい量となっている。そして、第１機能液を吐出する場合に、ノズル温度８０が変化するときの、吐出量８１の変化を第１吐出量温度相関線８２ａに示す。同様に、第２機能液を吐出する場合を、第２吐出量温度相関線８２ｂに示し、第３機能液を吐出する場合を、第３吐出量温度相関線８２ｃに示す。

この第１機能液〜第３機能液は、例えば、カラーフィルタを製造する場合は、赤インク、青インク、緑インクが該当する。他に、配線を形成する場合は、溶剤に分散する金属粉末濃度の異なる機能液が該当する。他に液晶表示装置を製造するときに、複数の異なる機能液を吐出する場合が該当する。この機能液には、液晶を含有する液、配向膜の材料を含有する液、配線を形成する材料を含有する液などが該当する。

第１機能液〜第３機能液供に、ノズル温度８０が低いときに比べて、ノズル温度８０が高いときに、吐出量８１が大きくなる。機能液は、溶媒に溶質が溶解もしくは、分散している状態となっている。そして、溶媒及び溶質の温度が高くなるとき、溶媒及び溶質を構成する分子が振動する振幅が大きくなるので、溶質の流動性が高くなる。従って、ノズル温度８０が高くなるとき、機能液の粘度が低くなる。そして、機能液が液滴吐出ヘッド１４の流路やノズル３１を通過するとき、機能液の流体抵抗が低くなるので、機能液が吐出し易くなる。その結果、吐出量８１が大きくなる。

このとき、第１機能液〜第３機能液において、機能液の粘度と温度との関係は各々異なるので、吐出量８１は、第１機能液〜第３機能液毎に異なっている。

図６（ａ）及び図６（ｂ）は液滴吐出ヘッドの駆動波形を説明するタイムチャートである。図６（ａ）は、液滴吐出ヘッド１４から液滴４４を連続吐出するときの一例であり、ヘッド駆動回路３６が、圧電素子４３を駆動する吐出駆動波形８３を３個分表示している。図の横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、駆動電圧８５の変化を示す。吐出駆動波形８３は、略台形の波形形状をしており、吐出時の駆動電圧のピーク値である吐出電圧８６及び吐出パルス幅８７は、所定の電圧及び時間に設定されている。そして、吐出駆動波形８３の周期である吐出波形周期８８も、所定の時間間隔に形成されている。吐出電圧８６、吐出パルス幅８７及び吐出波形周期８８は、圧電素子４３や振動板４２の動特性に合わせて設定する必要がある。従って、実際に吐出する予備試験を実施して、最適な吐出条件を導くことが望ましい。

図６（ｂ）は、滴吐出ヘッド１４から液滴４４を吐出せずに駆動することにより、暖機駆動するときの一例である非吐出駆動波形８９を３個分表示している。非吐出駆動波形８９は、略台形の波形形状をしており、非吐出時の駆動電圧のピーク値である非吐出電圧９０は、液滴４４を吐出しない範囲で、圧電素子４３を大きく振動させる方が良い。本実施形態において、例えば、非吐出電圧９０は、吐出電圧８６の約３分の１程度の電圧を採用している。非吐出時のパルス幅である非吐出パルス幅９１は、吐出パルス幅８７と同じ値を採用している。そして、非吐出駆動波形８９の波形周期である非吐出波形周期９２は、圧電素子４３が振動する間隔に設定する。非吐出波形周期９２は、本実施形態では、例えば、吐出波形周期８８と同一の時間間隔を採用している。

図６（ｃ）は、液滴吐出ヘッドを連続して駆動するときの時間とノズル温度との関係を示すグラフである。図６（ｃ）において、横軸は、液滴吐出ヘッドを駆動する時間８４の経過を示し、縦軸は、ノズル温度８０の変化を示す。ノズル３１から液滴４４を連続して吐出するときにおける、時間８４の経過に対するノズル温度８０の推移を吐出ノズル温度曲線９３に示す。吐出ノズル温度曲線９３において、吐出を開始するときの吐出開始点９３ａにおける吐出ノズル温度曲線９３は、時間８４の経過に伴いノズル温度８０が上昇する。温度上昇域９３ｂの間では、時間８４の経過に伴いノズル温度８０が上昇する。

そして、時間８４が経過しても、ノズル温度８０が上昇しない温度平衡域９３ｃになる。温度平衡域９３ｃでは、ノズル３１の近くにおいて、液滴吐出ヘッド１４が放熱する熱エネルギと、吐出により発生する熱エネルギとが等しい平衡状態となる。ノズル温度８０が上昇すると、ノズル温度８０と、液滴吐出ヘッド１４の周辺を取り囲む気体（以下、周辺気体と称す）との温度差が大きくなる。ノズル温度８０と周辺気体の温度との差が大きい程、液滴吐出ヘッド１４から放熱する熱エネルギが大きくなる。従って、ノズル温度８０が上昇せずに、あるノズル温度８０で安定する。この温度を平衡ノズル温度９４とする。

ノズル３１から液滴４４を吐出せずに、暖機駆動するときにおける、時間８４の経過に対するノズル温度８０の推移を非吐出ノズル温度曲線９５に示す。非吐出ノズル温度曲線９５においても、暖機吐出を開始するときの暖機開始点９５ａにおける非吐出ノズル温度曲線９５は、時間８４の経過に伴いノズル温度８０が上昇する。そして、温度上昇域９５ｂの間では、時間８４の経過に伴いノズル温度８０が上昇した後、平衡ノズル温度９４に到達する。そして、時間８４が経過しても、ノズル温度８０が上昇しない温度平衡域９５ｃとなる。

非吐出駆動波形８９の非吐出電圧９０は、吐出駆動波形８３の吐出電圧８６に比べて、低い電圧で、圧電素子４３を駆動するため、液滴吐出ヘッド１４に供給されるエネルギは小さい。従って、暖機駆動するときは、液滴４４を吐出するときに比べて、液滴吐出ヘッド１４が加熱されない。その結果、温度上昇域９５ｂにおいて、非吐出ノズル温度曲線９５は、吐出ノズル温度曲線９３に比べて、緩やかにノズル温度８０が上昇する。

そして、吐出駆動するときには、加熱された液滴４４を吐出するので、吐出する液滴４４により熱が奪われる。従って、吐出駆動するときは、供給されるエネルギが大きく、失うエネルギも大きくなっている。一方、非吐出駆動するときは、供給されるエネルギが吐出駆動するときに比べて小さく、失うエネルギも小さくなっている。その結果、ノズル温度８０は平衡ノズル温度９４と略同じ温度となっている。ただし、吐出駆動するときと、非吐出駆動するときの平衡ノズル温度９４は、必ずしも同じになるとは、限らないので、実験により確認しておくのが、好ましい。

図７（ａ）は、第１液滴吐出ヘッドを駆動するときに、圧電素子を駆動する駆動電圧のタイムチャートである。横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、駆動電圧８５の変化を示している。図７（ａ）に示すように、時間８４の経過において、第１非駆動区間９６ａ、暖機駆動区間９６ｂ、第２非駆動区間９６ｃ、吐出駆動区間９６ｄ、第３非駆動区間９６ｅの順に推移する。

第１非駆動区間９６ａは、液滴吐出ヘッド１４を重量測定装置２０と対向する場所に移動する時間と、暖機駆動するための準備を行う区間であり、この区間では、駆動電圧８５は出力されない。

暖機駆動区間９６ｂは、暖機駆動する区間であり、非吐出駆動波形８９の駆動信号が圧電素子４３に出力される。そして、液滴４４が吐出しない程度に圧電素子４３が、振動板４２を振動させる区間である。

第２非駆動区間９６ｃは、暖機駆動から吐出する駆動に切り換えるための準備区間であり、回路における動作の変更指示が行われる。従って、この区間では、駆動電圧８５は出力されない。

吐出駆動区間９６ｄは、吐出駆動波形８３の駆動信号が圧電素子４３に出力される。そして、ノズル３１から液滴４４を重量測定装置２０の受け皿７８に吐出する区間である。

第３非駆動区間９６ｅは、吐出を終了した後、液滴吐出ヘッド１４を重量測定装置２０と対向する場所から移動する区間であり、この区間では、駆動電圧８５は出力されない。

図７（ｂ）は、第１液滴吐出ヘッドにおけるノズル温度の変化を示すタイムチャートである。横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、ノズル温度８０の変化を示す。そして、ノズル温度推移線９７は、時間８４の推移に対する第１液滴吐出ヘッド１４ａにおけるノズル温度８０の変化を示している。

図７（ｂ）に示すように、第１非駆動区間９６ａでは、ノズル温度８０が一定の温度９７ａで推移する。そして、暖機駆動区間９６ｂにおいて、暖機駆動することにより、圧電素子４３及び振動板４２が振動して、エネルギの一部が熱に変換されて、ノズル温度８０が上昇する。

ヘッド駆動回路３６が圧電素子４３に電圧をかけるとき、ヘッド駆動回路３６が発熱する。発熱するヘッド駆動回路３６の熱の一部が、放射されて、液滴吐出ヘッド１４を加熱する。さらに、ヘッド駆動回路３６と液滴吐出ヘッド１４とは、近い場所に配置されるので、暖機駆動する液滴吐出ヘッド１４は、ヘッド駆動回路３６に加熱されて、ノズル温度８０が上昇する。

第２非駆動区間９６ｃにおいて、液滴吐出ヘッド１４は、周辺気体と接触することにより熱を奪われて放熱する。従って、ノズル温度８０が低下する。

吐出駆動区間９６ｄでは、液滴４４を吐出するために、圧電素子４３及び振動板４２が振動して、エネルギの一部が熱に変換されて、ノズル温度８０が上昇する。さらに、ヘッド駆動回路３６に加熱されて、ノズル温度８０が上昇する。そして、温度上昇時間９７ｂの間、ノズル温度８０が上昇して、平衡ノズル温度９４になった後、同じノズル温度８０で推移する。

第３非駆動区間９６ｅでは、第２非駆動区間９６ｃと同様に、放熱するので、徐々にノズル温度８０が低下する。

図７（ｃ）は、第１液滴吐出ヘッドにおける吐出量の変化を示すタイムチャートである。横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、吐出量８１の変化を示す。そして、吐出量推移線９８は、時間８４の推移に対する吐出量８１の変化を示している。図７（ｃ）に示すように、吐出量推移線９８は、吐出駆動区間９６ｄにおいて、ノズル温度推移線９７と連動して推移する。

ノズル温度８０が高い程、機能液４１の流体抵抗が少なくなるため、吐出量８１が大きくなる。従って、吐出量増加時間９８ａの間では、ノズル温度８０が上昇するので、吐出量８１が増加する。

図７（ｄ）は、第３液滴吐出ヘッドにおけるノズル温度の変化を示すタイムチャートであり、図７（ｅ）は、第５液滴吐出ヘッドにおけるノズル温度の変化を示すタイムチャートである。横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、ノズル温度８０の変化を示す。そして、ノズル温度推移線９９は、時間８４の推移に対する第３液滴吐出ヘッド１４ｃにおけるノズル温度８０の変化を示している。同様に、ノズル温度推移線１００は、時間８４の推移に対する第５液滴吐出ヘッド１４ｅにおけるノズル温度８０の変化を示している。このとき、第３液滴吐出ヘッド１４ｃ及び、第５液滴吐出ヘッド１４ｅにおいて、圧電素子４３は駆動していない状態と示している。

第３液滴吐出ヘッド１４ｃは、第１液滴吐出ヘッド１４ａの隣に位置することから、第１液滴吐出ヘッド１４ａの影響を受け易くなっている。そして、ノズル温度推移線９９は、ノズル温度推移線９７の温度変化の影響を受けて、変化する。

第５液滴吐出ヘッド１４ｅは、第３液滴吐出ヘッド１４ｃの隣に位置している。第５液滴吐出ヘッド１４ｅは、第３液滴吐出ヘッド１４ｃに比べて、第１液滴吐出ヘッド１４ａから離れているので、第１液滴吐出ヘッド１４ａの温度の影響を受け難くなっている。従って、ノズル温度推移線１００は、ノズル温度推移線９９に比べて温度変化が少なく推移する。

図７（ｆ）は、第３液滴吐出ヘッドにおけるノズル温度の変化を示すタイムチャートである。そして、ノズル温度推移線１０１は、第１液滴吐出ヘッド１４ａのノズル３１から液滴４４を吐出した後、第３液滴吐出ヘッド１４ｃのノズル３１から液滴４４を吐出するときの、ノズル温度８０の変化を示す。

第１非駆動区間９６ａにおける温度１０１ａは、ノズル温度推移線９７の温度９７ａより、高い温度となっている。なぜなら、第１液滴吐出ヘッド１４ａを駆動するときに発熱して放熱する影響を受けて、第３液滴吐出ヘッド１４ｃの温度が上昇しているからである。そして、第３液滴吐出ヘッド１４ｃの温度は、常温まで下降していない状態となっている。

次に、暖機駆動区間９６ｂにおいて、ノズル温度推移線１０１は上昇した後、第２非駆動区間９６ｃにおいて、ノズル温度推移線１０１は下降する。このとき、ノズル温度推移線１０１は、ノズル温度推移線９７より高い温度で推移する。

吐出駆動区間９６ｄにおいて、液滴４４を吐出するとき、ノズル温度推移線１０１は上昇して、平衡ノズル温度９４に到達する。このとき、ノズル温度推移線１０１は、ノズル温度推移線９７より高いノズル温度８０で推移していることから、平衡ノズル温度９４に到達する温度上昇時間１０１ｂは、温度上昇時間９７ｂより短い時間となる。

ノズル温度８０が高い程、流体抵抗が少なくなり吐出量８１が大きくなる。そして、温度上昇時間１０１ｂが温度上昇時間９７ｂより短いことから、第１液滴吐出ヘッド１４ａより、第３液滴吐出ヘッド１４ｃから吐出する吐出量８１が大きくなる。

つまり、第１液滴吐出ヘッド１４ａ〜第１２液滴吐出ヘッド１４ｌのうち、１個の液滴吐出ヘッド１４を駆動するとき、駆動していない液滴吐出ヘッド１４も温度の影響を受ける。そして、温度の影響を受けた液滴吐出ヘッド１４が液滴４４を吐出するとき、吐出量８１が変化することとなる。

図８は、液滴吐出ヘッドの吐出量を測定するときに、圧電素子を駆動する駆動電圧のタイムチャートであり、第１液滴吐出ヘッド１４ａ〜第１２液滴吐出ヘッド１４ｌの駆動波形を示す。横軸は、時間８４の経過を示し、縦軸は、駆動電圧８５の変化を示している。各液滴吐出ヘッドの波形は、図７（ａ）に示す波形と同様に、非吐出駆動波形８９と吐出駆動波形８３により構成されている。

図８に示すように、第１液滴吐出ヘッド１４ａと第２液滴吐出ヘッド１４ｂとが同時に、並行して駆動され、第３液滴吐出ヘッド１４ｃと第４液滴吐出ヘッド１４ｄとが同時に、並行して駆動されるように設定する。同様に、第５液滴吐出ヘッド１４ｅと第６液滴吐出ヘッド１４ｆ、第７液滴吐出ヘッド１４ｇと第８液滴吐出ヘッド１４ｈ、第９液滴吐出ヘッド１４ｉと第１０液滴吐出ヘッド１４ｊ、第１１液滴吐出ヘッド１４ｋと第１２液滴吐出ヘッド１４ｌ、の各１対の液滴吐出ヘッド１４が同時に、並行して駆動され、この順番で駆動されるように設定する。つまり、ノズル群としての液滴吐出ヘッド１４から液滴４４を吐出する順序であるノズル群順序を設定する。

次に、液滴吐出ヘッド１４毎に暖機駆動する時間である暖機駆動時間１０２と、暖機駆動した後、液滴４４を吐出するまでの暖機停止時間１０３とを設定する。暖機駆動時間１０２と暖機停止時間１０３とは、吐出する液滴吐出ヘッド１４による熱の影響を配慮して、液滴吐出ヘッド１４毎に異なる時間を設定しても良い。又、暖機駆動時間１０２と暖機停止時間１０３とは、総ての液滴吐出ヘッド１４において、同じ時間に設定して、吐出量８１の測定値を補正しても良い。本実施形態においては、例えば、暖機駆動時間１０２と暖機停止時間１０３とは、総ての液滴吐出ヘッド１４において、同じ時間に設定する方法を採用している。

次に、液滴吐出ヘッド１４毎に液滴４４を吐出する時間である吐出時間１０４と、吐出した後、次に吐出する順番の液滴吐出ヘッド１４から、液滴４４を吐出するまでの時間である非吐出時間１０５とを設定する。非吐出時間１０５は、液滴吐出ヘッド１４の移動にかかる時間、吐出量の計測にかかる時間、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３等の時間を含むように設定される。尚、吐出時間１０４と非吐出時間１０５とは、吐出する液滴吐出ヘッド１４による熱の影響を配慮して、液滴吐出ヘッド１４毎に異なる時間を設定しても良い。又、吐出時間１０４と非吐出時間１０５とは、総ての液滴吐出ヘッド１４において、同じ時間に設定して、吐出量８１の測定値を補正しても良い。本実施形態においては、例えば、吐出時間１０４と非吐出時間１０５とは、総ての液滴吐出ヘッド１４において、同じ時間に設定する方法を採用している。

図９（ａ）はステップＳ２に対応する図である。図９（ａ）に示すように、保守ステージ１６とキャリッジ１２とを移動することにより、第１液滴吐出ヘッド１４ａ及び第２液滴吐出ヘッド１４ｂと対向する場所に重量測定装置２０が位置するようにする。

図９（ｂ）はステップＳ３に対応する図である。図９（ｂ）に示すように、第１液滴吐出ヘッド１４ａ及び第２液滴吐出ヘッド１４ｂの圧電素子４３に非吐出駆動波形８９の電圧を印加することにより、圧電素子４３を駆動する。そして、第１液滴吐出ヘッド１４ａ及び第２液滴吐出ヘッド１４ｂは、圧電素子４３が駆動するときに発生する熱と、ヘッド駆動回路３６が発生する熱により加熱される。

図９（ｃ）はステップＳ４に対応する図である。図９（ｃ）に示すように、第１液滴吐出ヘッド１４ａ及び第２液滴吐出ヘッド１４ｂの圧電素子４３に吐出駆動波形８３の電圧を印加することにより、圧電素子４３を駆動する。そして、ノズル３１から重量測定装置２０に液滴４４が吐出される。

ステップＳ５において、重量測定装置２０は、吐出された液滴４４の重量を測定する。重量測定装置２０は、ステップＳ４にて、液滴４４が吐出される前の受容体７９の重量である吐出前重量と、液滴４４が吐出された後の受容体７９の重量である吐出後重量とを測定する。そして、その吐出後重量から吐出前重量を引いた差分を演算することにより吐出した液滴４４の重量を測定する。次に、測定した液滴４４の重量を、吐出した回数で除算することにより、１回の吐出によって吐出される液滴４４の吐出量を算出する。

続いて、第３液滴吐出ヘッド１４ｃ及び第４液滴吐出ヘッド１４ｄを重量測定装置２０と対向する場所に移動して、同様に吐出量の測定を行う。さらに、同じく、第５液滴吐出ヘッド１４ｅ〜第１２液滴吐出ヘッド１４ｌの吐出量の測定を行う。このとき、ステップＳ１にて設定した、図８に示すタイムチャートに沿って、ステップＳ１１を行う。従って、吐出する液滴吐出ヘッド１４の順番、駆動時間、吐出時間１０４、非吐出時間１０５が、予め設定された順番で、予め設定された時間間隔にて、行われる。

次に、ステップＳ７において、吐出量の調整を行う。この工程では、相関表を用いて調整を行う。この相関表は、ステップＳ１１における測定条件にて測定する吐出量と、ステップＳ８にて、基板７に吐出するときの吐出量との相関を示す表である。そして、この相関表は、上記に記載したステップとは、異なるステップにて調査することにより設定した表である。そして、ステップＳ１１にて測定した吐出量の測定値と相関表とを用いて、ステップＳ８にて吐出するときの吐出量を推定し、推定した吐出量を推定吐出量とする。次に、ステップＳ８にて目標とする吐出量である目標吐出量と推定吐出量とを比較する。そして、推定吐出量が、目標吐出量より小さいとき、吐出駆動波形８３の電圧振幅を大きくする。一方、推定吐出量が、目標吐出量より大きいとき、吐出駆動波形８３の電圧振幅を小さくする。

吐出量の調整を液滴吐出ヘッド１４毎に行い、各液滴吐出ヘッド１４の吐出量を目標吐出量に近づける。総ての液滴吐出ヘッド１４における吐出量を調整して、ステップＳ７を終了する。

図９（ｄ）はステップＳ８に対応する図である。図９（ｄ）に示すように、キャリッジ１２及びステージ４を移動して、液滴吐出ヘッド１４と基板７とが対向するように、液滴吐出ヘッド１４と基板７とを移動する。次に、所定の描画パターンに基づいて、液滴４４を吐出して、基板７に塗布する。予定した描画パターンの総てを塗布してステップＳ８を終了し、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を終了する。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステップＳ１の吐出条件設定工程において、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、吐出時間１０４、非吐出時間１０５を設定する。そして、ステップＳ４の測定用吐出工程では、設定された液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件に従って、吐出を行っている。

複数の液滴吐出ヘッド１４を備え、この複数の液滴吐出ヘッド１４において、順番に吐出するとき、吐出しない液滴吐出ヘッド１４は、吐出する液滴吐出ヘッド１４の発熱の影響を受ける。

そして、吐出している液滴吐出ヘッド１４に近い場所の液滴吐出ヘッド１４は、伝熱により加熱されることから、液滴吐出ヘッド１４の位置関係の影響を受ける。熱伝導し易い場所のノズル群が連続して吐出するときと、熱伝導し難い場所のノズル群が連続して吐出するときとでは、熱の影響を受ける度合いが異なるため、吐出するときの吐出量が異なる。従って、吐出量を測定するとき、吐出する順番が、毎回異なるときは、吐出する順番が、毎回同じときと比べて、吐出量の測定値における再現性が悪くなる。

この吐出量測定方法では、設定された液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件に従って、吐出を行っている。従って、吐出するときに発熱する条件を略固定して測定する為、再現性良くノズル群のノズルから吐出される吐出量を測定することができる。その結果、精度良く吐出量を測定することができる。

（２）本実施形態によれば、非吐出時間１０５は、略同じ時間間隔に設定されている。非吐出時間の間に、ノズル３１付近の熱は、大気中及び、ノズルプレート３０を通じて放熱する。そして、ノズル３１付近の温度が低下する。

非吐出時間１０５が、略同じ時間間隔に設定されることにより、低下するノズル３１付近の温度変化量が略同じとなる。そして、温度の変化に伴い、機能液４１における粘度の変化量が略同じとなる。従って、非吐出時間１０５が吐出量に与える影響を略同じにする為、ノズル群間の吐出量の測定誤差を少なくすることができる。その結果、精度良く吐出量を測定することができる。

（３）本実施形態によれば、測定用に吐出する前に、設定された暖機駆動時間１０２の間、暖機駆動を行う。そして、設定された暖機停止時間１０３の後、測定用に吐出する。吐出量を測定する場所へ液滴吐出ヘッド１４を移動する間や、吐出せずに待機するとき、暖機駆動することにより、ノズル３１付近の温度を上昇させている。そして、ノズル３１付近の温度を、基板７に液滴４４を吐出するときの温度に近い温度にして、吐出量を測定することができる。

このとき、暖機駆動時間１０２と、暖機停止時間１０３とを設定し、測定する毎に、設定した暖機駆動時間１０２の間、暖機駆動して、設定された暖機停止時間１０３の間、暖機駆動を停止することにより、加熱と冷却の時間を制御している。従って、ノズル３１付近の温度が制御される為、再現性良く液滴吐出ヘッド１４のノズル３１から吐出される液滴４４の吐出量を測定することができる。その結果、精度良く吐出量を測定することができる。

（４）本実施形態によれば、ノズル３１から液滴４４が吐出されない程度に暖機駆動している。従って、液滴４４が無駄に吐出されない為、省資源に暖機駆動して、吐出量を測定することができる。

（５）本実施形態によれば、複数の液滴吐出ヘッド１４において、並行して、２つの液滴吐出ヘッド１４におけるノズル３１から、液滴を吐出している。従って、１回に１つの液滴吐出ヘッド１４から吐出する場合に比べて、少ない回数で、測定する予定の総ての液滴吐出ヘッド１４から吐出することができる。その結果、生産性良く、液滴吐出ヘッド１４から液滴を吐出して、吐出量を測定することができる。

（６）本実施形態によれば、ステップＳ１１にて、吐出量を測定した後、ステップＳ７にて、吐出量を調整することにより、吐出量を所望の吐出量にして、ワークに吐出している。従って、精度良く測定した吐出量の測定値を基に、吐出量を調整する為、基板７に吐出する吐出量は、精度良く調整された吐出量の吐出をすることができる。その結果、吐出量を精度良く基板７に吐出することができる。

（第２の実施形態）
次に、本発明の吐出方法を応用して液晶表示装置を製造する一実施形態について図１０を用いて説明する。

まず、カラーフィルタを備えた電気光学装置の一つである液晶表示装置について説明する。図１０は、液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。

図１０に示すように、電気光学装置としての液晶表示装置１１０は、透過型の液晶表示パネル１１１と、液晶表示パネル１１１を照明する照明装置１１３とを備えている。液晶表示パネル１１１は、液晶１１２を第１基板としての素子基板１１４と第２基板としての対向基板１１５とで挟持して配置されている。そして、素子基板１１４における下側の表面には、下偏光板１１６が配置され、対向基板１１５における上側の表面には、上偏光板１１７が配置される。

素子基板１１４は、光透過性のある材料からなる基板１１８を備え、基板１１８の上側には、絶縁膜１１９が形成されている。絶縁膜１１９上には、マトリクス状に電極としての画素電極１２０が形成され、各画素電極１２０には、スイッチング機能を有する半導体としてのＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子１２１が形成されている。そして、ＴＦＴ素子１２１のドレイン端子に画素電極１２０が接続されている。

各画素電極１２０及びＴＦＴ素子１２１を囲んで、格子状に、配線としての走査線１２２及び配線としてのデータ線１２３が形成されている。そして、走査線１２２は、ＴＦＴ素子１２１のゲート端子と接続され、データ線１２３は、ＴＦＴ素子１２１のソース端子と接続されている。

そして、画素電極１２０、ＴＦＴ素子１２１、走査線１２２、データ線１２３などからなる素子層１２４の液晶１１２側には、配向膜１２５が形成されている。

対向基板１１５は、光透過性のある材料からなる基板１２７を備えている。基板１２７の下側には、遮光性を有する材料からなる下層バンク１２８が格子状に形成され、下層バンク１２８の下側には、有機化合物などからなる上層バンク１２９が形成されている。そして、下層バンク１２８及び上層バンク１２９により隔壁部１３０が構成されている。

隔壁部１３０によってマトリクス状に区画された凹部には、着色層１３１として、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラーフィルタ１３１Ｒ，１３１Ｇ，１３１Ｂが形成されている。そして、隔壁部１３０とカラーフィルタ１３１Ｒ，１３１Ｇ，１３１Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層１３２が形成されている。このオーバーコート層１３２を覆うようにＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電膜からなる電極としての対向電極１３３が形成されている。さらに、対向電極１３３の液晶１１２側には、配向膜１３４が形成されている。配向膜１３４と配向膜１２５とには、溝状の凹凸が配列して形成され、液晶１１２が凹凸に沿って配列して形成されている。

液晶１１２は、該液晶１１２を挟持する画素電極１２０と対向電極１３３とに電圧を印加すると液晶１１２の傾き角度が変化する性質を持っており、ＴＦＴ素子１２１のスイッチング動作により、液晶１１２にかける電圧をコントロールして液晶１１２の傾き角度を制御し、画素毎に光を透過させたり遮ったりする動作を行う。尚、光が液晶１１２により遮られた画素には当然光は入射しないため、黒色となる。このようにＴＦＴのスイッチング動作により、液晶１１２をシャッタとして動作させることにより、画素毎に光の透過をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。

画素電極１２０は、ＴＦＴ素子１２１のドレイン端子に電気的に接続されており、ＴＦＴを一定期間だけオン状態とすることにより、データ線１２３から供給される画素信号が各画素電極１２０に所定のタイミングで供給される。このようにして画素電極１２０に供給された所定レベルの画素信号の電圧レベルは、対向基板１１５の対向電極１３３と画素電極１２０との間で保持され、画素信号の電圧レベルに応じて、液晶１１２の光透過量が変化する。

照明装置１１３は、光源を備え、この光源からの光を液晶表示パネル１１１に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等を備えている。光源には、白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用いることが可能であり、本実施形態においては、冷陰極管を採用している。

尚、下偏光板１１６及び、上偏光板１１７は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。液晶表示パネル１１１は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子に限らずＴＦＤ（Thin Film Diode）素子を有したものでもよく、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。

対向基板１１５のカラーフィルタ１３１Ｒ，１３１Ｇ，１３１Ｂを形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、基板１２７に下層バンク１２８及び上層バンク１２９を形成して、隔壁部１３０を形成する。隔壁部１３０の形成方法は、公知であり、説明を省略する。そして、カラーフィルタ１３１Ｒ，１３１Ｇ，１３１Ｂの材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、各色のカラーインクを製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、このカラーインクを隔壁部１３０に囲まれた凹部に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、カラーインクの吐出を行って塗布する。その後、塗布されたカラーインクを加熱乾燥して固化することによりカラーフィルタ１３１Ｒ，１３１Ｇ，１３１Ｂを形成する。

さらに、対向基板１１５において、オーバーコート層１３２の下側に対向電極１３３を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、対向電極１３３の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液をオーバーコート層１３２の表面に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより対向電極１３３を形成する。

さらに、対向基板１１５において、対向電極１３３の下側に配向膜１３４を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、配向膜１３４の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配向膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この配向膜の材料液を対向電極１３３の下側に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、配向膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配向膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより配向膜１３４を形成する。

さらに、素子基板１１４の素子層１２４に走査線１２２及びデータ線１２３の配線を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、配線を形成する場所が凹部となるようにする。そして、配線の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配線の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この配線の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、配線の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配線の材料液を加熱乾燥して固化することにより走査線１２２及びデータ線１２３を形成する。

さらに、素子基板１１４において、素子層１２４にＴＦＴ素子１２１を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、ＴＦＴ素子１２１を形成する場所が凹部となるようにする。そして、シリコン等のＴＦＴ素子の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、ＴＦＴ素子の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、このＴＦＴ素子の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、ＴＦＴ素子の材料液の吐出を行って塗布する。その後、ＴＦＴ素子の材料液を加熱乾燥して固化し、結晶化する。その後、イオンドープした後、絶縁膜及び端子を形成することにより、ＴＦＴ素子１２１を形成する。

さらに、素子基板１１４において、素子層１２４の表面に画素電極１２０を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、画素電極１２０の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液を素子層１２４の表面に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより画素電極１２０を形成する。

さらに、素子基板１１４において、素子層１２４の上側に配向膜１２５を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、配向膜１２５の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配向膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この配向膜の材料液を素子層１２４の上側に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、配向膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配向膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより配向膜１２５を形成する。

さらに、液晶１１２を素子基板１１４と対向基板１１５とで挟持させるために、素子基板１１４に液晶１１２を塗布する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、液滴吐出装置１を用いて、この液晶の材料液を配向膜１２５の上側に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、液晶の材料液の吐出を行って塗布する。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、カラーフィルタ１３１Ｒ，１３１Ｇ，１３１Ｂを製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、カラーインクの吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、カラーインクの塗布量を精度良く塗布されたカラーフィルタ１３１Ｒ，１３１Ｇ，１３１Ｂを製造することができる。

（２）本実施形態によれば、配向膜１２５，１３４を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、配向膜の材料における吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、配向膜の材料における塗布量が精度良く塗布された配向膜１２５，１３４を製造することができる。

（３）本実施形態によれば、液晶を塗布する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、液晶の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、液晶の塗布量が精度良く塗布された液晶表示装置１１０を製造することができる。

（４）本実施形態によれば、画素電極１２０及び対向電極１３３を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、電極材料の塗布量が精度良く塗布された画素電極１２０及び対向電極１３３を製造することができる。

（５）本実施形態によれば、走査線１２２及びデータ線１２３を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、配線材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、配線材料の塗布量が精度良く塗布された走査線１２２及びデータ線１２３を製造することができる。

（６）本実施形態によれば、ＴＦＴ素子１２１を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、半導体材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、半導体材料の塗布量が精度良く塗布されたＴＦＴ素子１２１を製造することができる。

（第３の実施形態）
次に、本発明の吐出方法を応用して有機ＥＬ装置を製造する一実施形態について図１１を用いて説明する。

まず、電気光学装置の一つである有機ＥＬ装置について説明する。図１１は、有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図である。

図１１に示すように、電気光学装置としての有機ＥＬ装置１３７は、基板１３８を備えている。基板１３８の上側には、絶縁膜１３９が形成されている。絶縁膜１３９上には、コンタクト電極１４０がマトリクス状に形成され、各コンタクト電極１４０と隣接する場所には、スイッチング機能を有する半導体としてのＴＦＴ素子１４１が形成されている。そして、ＴＦＴ素子１４１のドレイン端子にコンタクト電極１４０が接続されている。

各コンタクト電極１４０及びＴＦＴ素子１４１を囲むように、配線としての走査線１４２及び配線としてのデータ線１４３が格子状に形成されている。そして、走査線１４２は、ＴＦＴ素子１４１のゲート端子と接続され、データ線１４３は、ＴＦＴ素子１４１のソース端子と接続されている。

そして、コンタクト電極１４０、ＴＦＴ素子１４１、走査線１４２、データ線１４３などからなる素子層１４４が形成されている。素子層１４４の上側には、絶縁膜１４５が形成され、絶縁膜１４５の上側には、バンク１４６が格子状に形成されている。

バンク１４６により形成される凹状領域の各底部には、電極としての画素電極１４７が形成され、画素電極１４７は、コンタクト電極１４０と電気的に接続されている。画素電極１４７の上面には、発光素子としての正孔輸送層１４８が形成され、正孔輸送層１４８の上面には、発光素子としての発光層１４９Ｒ，１４９Ｇ，１４９Ｂが形成されている。そして、正孔輸送層１４８と発光層１４９Ｒ，１４９Ｇ，１４９Ｂとにより発光素子としての機能層１５０が形成されている。

発光層１４９Ｒは、赤色を発光する有機発光材料などにより構成された発光層であり、発光素子としての発光層１４９Ｇは、緑色を発光する有機発光材料などにより構成された発光層である。同様に、発光素子としての発光層１４９Ｂは、青色を発光する有機発光材料などにより構成された発光層である。

機能層１５０及びバンク１４６の上側全面に渡って、光透過性を有する導電性材料などからなる電極としての陰極１５１が形成されている。本実施形態においては、陰極１５１は、例えば、ＩＴＯを採用している。

陰極１５１の上面には、光透過性を有する材料などからなる封止膜１５２が形成され、陰極１５１及び機能層１５０が空気中の酸素により酸化されることを防止している。

画素電極１４７と陰極１５１との間に電圧を印加するとき、正孔輸送層１４８は、正孔のみを流動する。そして、発光層１４９Ｒ，１４９Ｇ，１４９Ｂは、正孔輸送層１４８から供給される正孔と陰極１５１から供給される電子とが、合体するときのエネルギにより、発光する性質を持っている。ＴＦＴ素子１４１は、スイッチング動作を行い、機能層１５０にかける電圧をコントロールすることにより、発光層１４９Ｒ，１４９Ｇ，１４９Ｂが発光する光量を制御する。このように、発光層１４９Ｒ，１４９Ｇ，１４９Ｂが発光する光量を制御することにより、画素毎に光量をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。

画素電極１４７は、ＴＦＴ素子１４１のドレイン端子に電気的に接続されており、ＴＦＴを一定期間だけオン状態とすることにより、データ線１４３から供給される画素信号が各画素電極１４９に所定のタイミングで供給される。このようにして画素電極１４９に供給された所定レベルの画素信号の電圧レベルは、陰極１５１と画素電極１４７との間で保持され、画素信号の電圧レベルに応じて、発光層１４９Ｒ，１４９Ｇ，１４９Ｂが発光する光量が変化する。

素子層１４４に走査線１４２及びデータ線１４３の配線を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、配線を形成する場所が凹部となるようにする。そして、配線の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配線の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この配線の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、配線の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配線の材料液を加熱乾燥して固化することにより走査線１４２及びデータ線１４３を形成する。

さらに、素子層１４４にＴＦＴ素子１４１を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、ＴＦＴ素子１４１を形成する場所が凹部となるようにする。そして、シリコン等のＴＦＴ素子の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、ＴＦＴ素子の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、このＴＦＴ素子の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、ＴＦＴ素子の材料液の吐出を行って塗布する。その後、ＴＦＴ素子の材料液を加熱乾燥して固化し、結晶化する。その後、イオンドープした後、絶縁膜及び端子を形成することにより、ＴＦＴ素子１４１を形成する。

さらに、絶縁膜１４５の表面に画素電極１４７を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、画素電極１４７の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液を絶縁膜１４５の表面に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより画素電極１４７を形成する。

さらに、画素電極１４７の表面に正孔輸送層１４８を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、発光素子形成材料としての正孔輸送層１４８の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、正孔輸送層の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この正孔輸送層の材料液を画素電極１４７の表面に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、正孔輸送層の材料液の吐出を行って塗布する。その後、正孔輸送層の材料液を加熱乾燥して固化することにより正孔輸送層１４８を形成する。

さらに、正孔輸送層１４８の表面に発光層１４９Ｒ，１４９Ｇ，１４９Ｂを形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、発光素子形成材料としての発光層１４９Ｒ，１４９Ｇ，１４９Ｂの材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、発光層の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この発光層の材料液を正孔輸送層１４８の表面に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、発光層の材料液の吐出を行って塗布する。その後、発光層の材料液を加熱乾燥して固化することにより発光層１４９Ｒ，１４９Ｇ，１４９Ｂを形成する。

さらに、機能層１５０及びバンク１４６の上面に陰極１５１を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、陰極１５１の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、陰極の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この陰極の材料液を機能層１５０及びバンク１４６の上面に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、陰極の材料液の吐出を行って塗布する。その後、陰極の材料液を加熱乾燥して固化することにより陰極１５１を形成する。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、走査線１４２及びデータ線１４３を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、配線材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、配線材料の塗布量が精度良く塗布された走査線１４２及びデータ線１４３を製造することができる。

（２）本実施形態によれば、ＴＦＴ素子１４１を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、半導体材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、半導体材料の塗布量が精度良く塗布されたＴＦＴ素子１４１を製造することができる。

（３）本実施形態によれば、画素電極１４７及び陰極１５１を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、電極材料の塗布量が精度良く塗布された画素電極１４７及び陰極１５１を製造することができる。

（４）本実施形態によれば、機能層１５０を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、発光素子形成材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、発光素子形成材料の塗布量が精度良く塗布された機能層１５０を製造することができる。

（第４の実施形態）
次に、本発明の吐出方法を応用して表面電界表示装置を製造する一実施形態について図１２を用いて説明する。

まず、電気光学装置の一つである表面電界表示装置について説明する。図１２は、表面電界表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。

図１２に示すように、電気光学装置としての表面電界表示装置１５３は、主に、素子基板１５４と対向基板１５５とから構成されている。そして、素子基板１５４は、基板１５６を備えている。基板１５６の上には、絶縁膜１５７が形成されている。絶縁膜１５７上には、対をなす略円状の電極としての電子放出素子１５８がマトリクス状に形成され、一方の電子放出素子１５８が機能しないとき、他の一方の電子放出素子１５８が動作するようになっている。各電子放出素子１５８の対を囲むように、配線としての走査線１５９及び配線としてのデータ線１６０の配線が格子状に形成されている。データ線１６０は１対が電子放出素子１５８の対の間に配置されている。

電子放出素子１５８は、中心を通る線で２分割されており、電子放出素子１５８の一方は、走査線１５９と接続されている。そして、電子放出素子１５８のもう一方は、データ線１６０と接続されている。この電子放出素子１５８、走査線１５９、データ線１６０などにより素子層１６１が構成されている。

対向基板１５５は、光透過性の材料からなる基板１６２を備えている。そして、基板１６２の下側には、光透過性の材料からなる電極としての陽極１６３が形成されている。陽極１６３の下面には、発光素子としてのカラー蛍光膜１６４が形成され、カラー蛍光膜１６４と陽極１６３とを覆うように保護膜１６５が形成されている。

素子基板１５４と対向基板１５５とが、図示しないスペーサを介して接合され、素子基板１５４と対向基板１５５との間は、脱気されて略真空状態となっている。

電極が２つに分割されている電子放出素子１５８において、２つの電極間に電圧を印加するとき、電極間の隙間が狭く形成されているので、２つの電極間に微小の電子が通過する。そして、電子放出素子１５８と陽極１６３との間に電圧を印加することにより、電場を形成するとき、２つの電極間を通過する電子に電磁力が作用することにより、電子が陽極１６３に移動する。

陽極１６３に向かって移動する電子の一部は、カラー蛍光膜１６４に衝突する。カラー蛍光膜１６４は、電子の衝突によるエネルギを光に変換するので、発光する。表面電界表示装置１５３は、図示しないデータ電圧駆動回路と走査電圧駆動回路とを備え、データ電圧駆動回路及び走査電圧駆動回路は、電子放出素子１５８に印加される電圧を制御する。電子放出素子１５８に印加される電圧とカラー蛍光膜１６４が発光する光量とは正の相関があるので、データ電圧駆動回路及び走査電圧駆動回路は、カラー蛍光膜１６４が発光する光量を制御可能となっている。

そして、データ電圧駆動回路及び走査電圧駆動回路は、画素毎に光量をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。カラー蛍光膜１６４には、赤、青、緑の各光を発光する各色の蛍光膜が配置されており、データ電圧駆動回路及び走査電圧駆動回路は、発光する色を選択して制御することによりカラー画像を表示することが可能となっている。

素子層１６１に走査線１５９及びデータ線１６０の配線を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、配線を形成する場所が凹部となるようにする。そして、配線の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配線の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この配線の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、配線の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配線の材料液を加熱乾燥して固化することにより走査線１５９及びデータ線１６０を形成する。

さらに、素子層１６１に電子放出素子１５８を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、電子放出素子１５８における電極の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液を絶縁膜１５７の表面に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより電子放出素子１５８における電極を形成する。

さらに、基板１６２の表面に陽極１６３を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、陽極１６３における電極の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液を基板１６２の表面に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより陽極１６３を形成する。

さらに、陽極１６３の表面にカラー蛍光膜１６４を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、発光素子形成材料としてのカラー蛍光膜の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、カラー蛍光膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液を陽極１６３の表面に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、カラー蛍光膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、カラー蛍光膜の材料液を加熱乾燥して固化することによりカラー蛍光膜１６４を形成する。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、走査線１５９及びデータ線１６０を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、配線材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、配線材料の塗布量が精度良く塗布された走査線１５９及びデータ線１６０を製造することができる。

（２）本実施形態によれば、電子放出素子１５８及び陽極１６３を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、電極材料の塗布量が精度良く塗布された電子放出素子１５８及び陽極１６３を製造することができる。

（３）本実施形態によれば、カラー蛍光膜１６４を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、カラー蛍光膜形成材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、カラー蛍光膜形成材料の塗布量が精度良く塗布されたカラー蛍光膜１６４を製造することができる。

（第５の実施形態）
次に、本発明の吐出方法を応用してプラズマ表示装置を製造する一実施形態について図１３を用いて説明する。

まず、電気光学装置の一つであるプラズマ表示装置について説明する。図１３は、プラズマ表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。

図１３に示すように、電気光学装置としてのプラズマ表示装置１６８は、主に、背面板１６９と前面板１７０とから構成されている。背面板１６９は、基板１７１を備えている。基板１７１の上面には、絶縁膜１７２が形成され、絶縁膜１７２の上面には、電極としてのアドレス電極１７３と絶縁膜１７４とが縞状に形成されている。

そして、アドレス電極１７３及び絶縁膜１７４の上面には、誘電体層１７５が形成されている。誘電体層１７５の上面には、格子状のリブ１７６が形成され、リブ１７６により囲まれて形成される凹状領域の各底部に、蛍光体などにより形成された赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の発光素子としての発光層１７７Ｒ，１７７Ｇ，１７７Ｂが形成されている。そして、この発光層１７７Ｒ，１７７Ｇ，１７７Ｂは、アドレス電極１７３と対向する場所に形成されている。

前面板１７０は、光透過性の材料からなる基板１７８を備え、基板１７８の下面には、絶縁膜１７９が形成されている。そして、絶縁膜１７９の下面には、アドレス電極１７３が延在する方向と直交する方向に電極としてのバス電極１８０が形成されている。バス電極１８０と隣接して、発光層１７７Ｒ，１７７Ｇ，１７７Ｂと対向する場所には、光透過性の材料からなる矩形の電極としての維持電極１８１が形成され、バス電極１８０と維持電極１８１とが、電気的に接続されている。

維持電極１８１の下面には、誘電体層１８２が形成され、バス電極１８０の下面には、非光透過性の絶縁材料からなる絶縁膜１８３が形成されている。そして、背面板１６９と前面板１７０とが接合され、背面板１６９と前面板１７０との間は、脱気されて略真空状態にした後、キセノンガス等のガスが封入されている。

アドレス電極１７３と維持電極１８１との間にパルス電圧を印加するとき、誘電体層１７５と誘電体層１８２との間にプラズマが発生する。プラズマは、紫外線を発光し、発光した紫外線が発光層１７７Ｒ，１７７Ｇ，１７７Ｂに含まれる蛍光体を励起することにより赤、緑、青色の可視光が発光される。

プラズマ表示装置１６８は、アドレス電極１７３と維持電極１８１との間に印加されるパルス電圧を制御する駆動回路を、備えている。この駆動回路は、パルス電圧の電圧値とタイミングとを制御することにより、画素毎に発光する光量をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができるようになっている。

背面板１６９の絶縁膜１７２の表面にアドレス電極１７３を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜１７２上にバンク状の絶縁膜１７４を形成する。次に、アドレス電極１７３の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液を絶縁膜１７４により形成された凹部に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することによりアドレス電極１７３を形成する。

前面板１７０の絶縁膜１７９の表面にバス電極１８０及び維持電極１８１を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜１７９上にバンク状の絶縁膜１８３を形成する。次に、バス電極１８０及び維持電極１８１の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液を絶縁膜１８３により形成された凹部に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することによりバス電極１８０及び維持電極１８１を形成する。

さらに、誘電体層１７５の表面に発光層１７７Ｒ，１７７Ｇ，１７７Ｂを形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、発光素子形成材料としての発光層１７７Ｒ，１７７Ｇ，１７７Ｂの材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、発光層の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この発光層の材料液を誘電体層１７５の表面に吐出して塗布する。

このとき、吐出条件設定工程にて、液滴吐出ヘッド１４の吐出順序、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５の条件を設定する。そして、測定用吐出工程では、設定された条件に従って吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、発光層の材料液の吐出を行って塗布する。その後、発光層の材料液を加熱乾燥して固化することにより発光層１７７Ｒ，１７７Ｇ，１７７Ｂを形成する。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、アドレス電極１７３、バス電極１８０及び維持電極１８１を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、電極材料の塗布量が精度良く塗布されたアドレス電極１７３、バス電極１８０及び維持電極１８１を製造することができる。

（２）本実施形態によれば、発光層１７７Ｒ，１７７Ｇ，１７７Ｂを製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、発光素子形成材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、発光層の材料の塗布量が精度良く塗布された発光層１７７Ｒ，１７７Ｇ，１７７Ｂを製造することができる。

尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態において、液滴吐出ヘッド１４毎に吐出量を測定したが、これに限らず、ノズル３１を他の分け方で分割して吐出量を測定してもよい。例えば、液滴吐出ヘッド１４の列毎に測定しても良い。又、１つの液滴吐出ヘッド１４のノズル３１を３等分して吐出量を測定しても良い。塗布工程において、描画するパターンに合わせて、測定するノズル３１を分割して、吐出量を測定しても良い。

（変形例２）
前記第１の実施形態において、ノズル３１の温度を測定する温度計に、赤外線カメラ７５を用いたが、他の温度計を用いても良い。温度計は、ノズル３１の温度を検出可能であれば良い。他に、例えば、熱電対、白金測温抵抗体、水晶振動子等を、サーミスタを温度センサとして使用することができる。ノズル温度に対して感度の良いセンサを用いることにより、精度良く温度を検出することができる。

（変形例３）
前記第１の実施形態では、キャビティ４０を加圧する加圧手段に、圧電素子４３を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板４２を変形させて、加圧しても良い。他に、キャビティ４０内にヒータ配線を配置して、機能液４１に含む気体を膨張して加圧しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板４２を変形させて、加圧しても良い。いずれの場合にも、機能液４１を吐出する液滴吐出ヘッド１４の順番、暖機駆動時間１０２、暖機停止時間１０３、吐出時間１０４、非吐出時間１０５等の測定条件を設定し、設定した測定条件にて吐出して、吐出量を測定することにより、前記実施形態と同様の効果を得ることができる。

（変形例４）
前記第１の実施形態において、ノズル３１から吐出する液滴４４の重量を測定して、吐出量を算出したが、吐出量の体積を測定して、吐出量を測定しても良い。例えば、断面積が一定の管に吐出する液滴４４を溜めて、管内における液体の長さを測定することにより体積を計測し、吐出量を推定しても良い。揮発性の高い液体の場合に、揮発しにくい状態で計測することができる。

（変形例５）
前記第１の実施形態において、重量測定装置２０は、２つの受け皿７８を備え、２つの液滴吐出ヘッド１４から吐出される液滴４４の吐出量を測定している。受け皿７８の個数は２つに限定されず、１個でも良く、３個以上でもよい。受け皿７８の個数が多い方が、同時に測定可能な液滴吐出ヘッド１４の個数が多くなるので、生産性良く吐出量を測定することができる。

（変形例６）
前記第１の実施形態では、ステップＳ３の暖機駆動工程にて、液滴吐出ヘッド１４を暖機駆動したが、ステップＳ３を省略しても良い。ステップＳ３を省略したときにも、吐出量を再現性良く測定可能であるときには、ステップＳ３を省略しても良い。ステップＳ３にかかる暖機駆動時間１０２に相当する製造時間を短縮することができる為、生産性良く吐出量を測定することができる。

（変形例７）
前記第１の実施形態では、液滴吐出装置１に１個のキャリッジ１２を備えているが、複数のキャリッジ１２を備えていても良い。キャリッジ１２を複数にすることにより、各キャリッジ１２を小さくすることができる。キャリッジ１２が大きいときに比べて、小さい方が、軽量となり操作し易くなる為、保守しやすいキャリッジ１２にすることができる。

（変形例８）
前記第１の実施形態では、１個のキャリッジ１２に、１２個の液滴吐出ヘッド１４を配置しているが、これに限定されない。１個のキャリッジ１２に配置する液滴吐出ヘッド１４の数は１個でも良く、複数でも良い。液滴４４を吐出する描画パターンに適した個数と配置にするのが好ましい。

（変形例９）
前記第１の実施形態では、第１液滴吐出ヘッド１４ａと第２液滴吐出ヘッド１４ｂとから同時に並行して吐出した後、吐出量を測定することが可能な重量測定装置２０の配置にしている。これに限定されず、吐出し易い液滴吐出ヘッド１４の組み合わせにて、同時に並行して吐出した後、吐出量を測定することが可能な重量測定装置２０の配置にしても良い。例えば、第１液滴吐出ヘッド１４ａと第３液滴吐出ヘッド１４ｃとから同時に並行して吐出した後、吐出量を測定することが可能な重量測定装置２０の配置にしても良い。熱伝導の影響が少ない測定となるように重量測定装置２０を配置することが好ましい。

（変形例１０）
前記第１の実施形態では、ステップＳ３の暖機駆動工程では、液滴４４を吐出しない程度に圧電素子４３を駆動して、暖機駆動したが、液滴４４を吐出して暖機駆動しても良い。液滴４４を吐出しないときに比べて、液滴４４を吐出する方が圧電素子４３に大きなエネルギを加えることができる為、短い時間で暖機駆動することができる。

（変形例１１）
前記第２の実施形態では、液晶表示パネル１１１の内部にカラーフィルタ１３１Ｒ，１３１Ｇ，１３１Ｂを備えている。カラーフィルタ１３１Ｒ，１３１Ｇ，１３１Ｂは、液晶表示パネル１１１の内部に備えず、液晶表示パネル１１１とは別の部品として備えても良い。検査工程で選別された液晶表示パネル１１１の良品と、同じく検査工程で選別されたカラーフィルタを備える部品の良品とを組み合わせることにより、液晶表示装置１１０の歩留りを向上することができる。

（変形例１２）
前記第１の実施形態では、図７に示す第２非駆動区間９６ｃを設け、非吐出駆動波形８９から、吐出駆動波形８３に移行するのにかかる区間を設けた。非吐出駆動波形８９から、吐出駆動波形８３への移行が、瞬時に可能であるとき、第２非駆動区間９６ｃを設けなくとも良い。温度上昇時間９７ｂ、吐出量増加時間９８ａ、温度上昇時間１０１ｂがなくなる為、吐出量８１の分散が大きくなる要因を減らすことができる。従って、吐出量８１をさらに、再現性良く測定することができる。

このとき、図８に示す暖機停止時間１０３を、０時間とすることになり、暖機停止時間１０３がない条件に設定することとなる。

第１の実施形態に係る液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。 （ａ）は、キャリッジの模式平面図、（ｂ）は、キャリッジの構造を説明するための模式側面図、（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。 液滴吐出装置の電気制御ブロック図。 基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャート。 （ａ）は、吐出量の測定方法を説明する図、（ｂ）は、ノズル温度と吐出量との関係を示すグラフ。 （ａ）及び（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの駆動波形を説明するタイムチャート、（ｃ）は、液滴吐出ヘッドを連続して駆動するときの時間とノズル温度との関係を示すグラフ。 吐出量の測定方法を説明するタイムチャート。 圧電素子を駆動する駆動電圧のタイムチャート。 液滴吐出装置を使った吐出方法を説明する図。 第２の実施形態に係る液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図。 第３の実施形態に係る有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図。 第４の実施形態に係る表面電界表示装置の構造を示す概略分解斜視図。 第５の実施形態に係るプラズマ表示装置の構造を示す概略分解斜視図。

符号の説明

７…ワークとしての基板、１４…ノズル群としての液滴吐出ヘッド、３１…ノズル、４１…液状体としての機能液、４４…液滴、１０２…暖機駆動時間、１０３…暖機停止時間、１０４…吐出時間、１０５…非吐出時間、１１０…電気光学装置としての液晶表示装置、１１２…液晶、１１４…第１基板としての素子基板、１１５…第２基板としての対向基板、１２０，１４７…電極としての画素電極、１２１，１４１…半導体としてのＴＦＴ素子、１２２，１４２，１５９…配線としての走査線、１２３，１４３，１６０…配線としてのデータ線、１２５，１３４…配向膜、１３３…電極としての対向電極、１３７…電気光学装置としての有機ＥＬ装置、１３８，１５６，１６２，１７１，１７８…基板、１４８…発光素子としての正孔輸送層、１４９Ｂ，１４９Ｇ，１４９Ｒ，１７７Ｒ，１７７Ｇ，１７７Ｂ…発光素子としての発光層、１５０…発光素子としての機能層、１５１…電極としての陰極、１５３…電気光学装置としての表面電界表示装置、１５８…電極としての電子放出素子、１６３…電極としての陽極、１６４…発光素子としてのカラー蛍光膜、１６８…電気光学装置としてのプラズマ表示装置、１７３…電極としてのアドレス電極、１８０…電極としてのバス電極、１８１…電極としての維持電極。

Claims (13)

1. 複数のノズルを有するノズル群を複数備え、前記ノズルから液滴を吐出する前記ノズル群の吐出量を測定する吐出量測定方法であって、
   配列された前記ノズル群が前記液滴を吐出する順序であるノズル群順序と、前記液滴を吐出する吐出時間と、前記ノズル群の一つから、前記液滴を吐出した後、吐出した前記ノズル群とは別の前記ノズル群から前記液滴を吐出するまでの非吐出時間とを設定する吐出条件設定工程と、
   前記ノズル群に所属する前記ノズルから前記液滴を吐出する測定用吐出工程と、
   吐出された前記吐出量を測定する測定工程とを有し、
   前記測定用吐出工程と前記測定工程とを繰り返すことにより、各ノズル群における前記吐出量を測定し、
   前記測定用吐出工程では、設定した前記ノズル群順序の順番にて吐出し、設定した前記吐出時間の間、吐出し、設定した前記非吐出時間の間、吐出を停止することを特徴とする吐出量測定方法。
2. 請求項１に記載の吐出量測定方法であって、複数の前記ノズル群における前記非吐出時間は、略同じ時間間隔に設定されていることを特徴とする吐出量測定方法。
3. 請求項１または２に記載の吐出量測定方法であって、
   前記測定用吐出工程の前に、前記ノズルを有する液滴吐出ヘッドを暖機駆動する暖機駆動工程を有し、
   前記暖機駆動工程と、前記測定用吐出工程と、前記測定工程とを繰り返すことにより、各ノズル群における前記吐出量を測定し、
   前記吐出条件設定工程において、暖機駆動する時間である暖機駆動時間と、暖機駆動を停止した後、前記測定用吐出工程で前記液滴を吐出するまでの時間である暖機停止時間とを設定し、
   前記暖機駆動工程では、設定した前記暖機駆動時間の間、暖機駆動した後、設定した前記暖機駆動停止時間の間、暖機駆動を停止し、その後、測定用吐出工程において、前記液滴を吐出することを特徴とする吐出量測定方法。
4. 請求項３に記載の吐出量測定方法であって、
   前記暖機駆動工程では、前記ノズルから前記液滴が吐出されない程度に、前記液滴吐出ヘッドを駆動することを特徴とする吐出量測定方法。
5. 請求項１または２に記載の吐出量測定方法であって、
   前記測定用吐出工程では、複数の前記ノズル群における前記ノズルから、並行して、前記液滴を吐出することを特徴とする吐出量測定方法。
6. ワークに液状体をノズルから液滴にして吐出する液状体の吐出方法であって、
   前記ノズルから吐出する前記液滴の吐出量を測定する吐出量測定工程と、
   前記吐出量を調整する吐出量調整工程と、
   前記ワークに前記液滴を吐出する塗布工程とを有し、
   前記吐出量測定工程では、請求項１〜５のいずれか一項に記載の吐出量測定方法を用いて測定することを特徴とする液状体の吐出方法。
7. 基板上にカラーインクを塗布して形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、
   請求項６に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記カラーインクを吐出して塗布することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
8. 第１基板と第２基板とに配向膜を形成し、前記第１基板と前記第２基板との間に、液晶を挟んで形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法であって、請求項６に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記第１基板と前記第２基板とのうち少なくとも一方に、前記配向膜の材料を吐出して塗布することにより前記配向膜を形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
9. 第１基板に液晶を塗布した後、前記第１基板と第２基板との間に、前記液晶を挟んで形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法であって、請求項６に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記第１基板に前記液晶を吐出して塗布することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
10. 基板に発光素子形成材料を塗布した後、固化することにより、発光素子を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、請求項６に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記発光素子形成材料を吐出して塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
11. 基板に液状体の電極材料を塗布した後、固化することにより、電極を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、請求項６に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記電極材料を吐出して塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
12. 基板に液状体の配線材料を塗布した後、固化することにより、配線を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、請求項６に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記配線材料を吐出して塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
13. 基板に液状体の半導体材料を塗布して、固化した後、加熱することにより、半導体を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、請求項６に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記半導体材料を吐出して塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。

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