JP2007130536A - 液滴吐出量測定方法、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐出量測定装置、描画装置、デバイス及び電気光学装置並びに電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の量を各ノズルごとに測定する。
【解決手段】液状材料１１１を液滴として吐出するノズル２５を複数有する液滴吐出ヘッド２の液滴吐出量を測定する。ノズル２５から液滴を吐出して、複数のノズル２５毎に設けられた溝３２内に充填する充填工程と、液状材料１１１が溝３２内に充填された長さを計測する計測工程とを有する。溝３２は、中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状を有する。溝３２に充填された長さの計測値に基づいて、各ノズル２５の液滴吐出量を推定する。
【選択図】図３

Description

本発明は、液滴吐出量測定方法、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐出量測定装置、描画装置、デバイス及び電気光学装置並びに電子機器に関するものである。

液晶表示装置のカラーフィルタ基板や、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）表示装置のような色要素付き基板の色要素膜（フィルタ膜、発光膜等）を形成する方法として、インクジェット描画装置を用いる方法が知られている。この方法では、基板上に形成されたバンクによって囲まれてなる色要素領域（サブピクセル）の各々に対し、インクジェット描画装置によって色要素膜形成用の液状材料を付与する。すなわち、インクジェット描画装置によって、液状材料を液滴として吐出し、この液滴を各色要素領域に着弾させる。そして、各色要素領域に付与された液状材料を固化または硬化させて色要素膜を形成する。
この場合、形成される色要素膜の膜厚を正確に管理するためには、各色要素領域に付与される液状材料の量を正確に制御する必要があり、そのためには、液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）から吐出される液滴１滴当たりの量を知る必要がある。

従来、液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する方法としては、液滴吐出ヘッドの全ノズルから液滴を吐出し、吐出された液滴を受け容器で受け、液滴を受けた前後での受け容器の重量を測定することにより、受け容器に吐出された液滴の総重量を測定し、これを液滴の数で除算することにより、１滴当たりの重量を測定している（例えば特許文献１参照）。
特開２００４−１７７２６２号公報

しかしながら、上記の液滴吐出量測定方法では、液滴吐出ヘッドの全ノズルの平均値しか分からない。実際には、ノズルごとに吐出量のバラツキがあるので、各ノズルごとの１滴の吐出量を知ることができないという問題があった。
そこで、受け容器に液滴を吐出する際に一つのノズルのみから液滴を吐出して、その前後で受け容器の重量を測定すれば、そのノズルからの１滴の吐出量が分かるようにも思えるが、同じノズルでも、全ノズルから液滴を吐出しているときと、そのノズルのみから液滴を吐出しているときとでは、１滴の吐出量が異なるので、この方法では、全ノズルから吐出している場合における各ノズルごとの吐出量を正確に知ることはできない。また、この方法の場合、全ノズルについてそれぞれ受け容器の重量測定を行わなければならないので、測定に多大な時間と手間がかかるという問題もある。

本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の量を各ノズルごとに測定することができる液滴吐出量測定方法、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐出量測定装置、描画装置、及びこの描画装置用いて製造されるデバイス及び電気光学装置並びに電子機器を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の液滴吐出量測定方法は、液状材料を液滴として吐出するノズルを複数有する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定方法であって、前記ノズルから前記液滴を吐出して、前記複数のノズルのぞれぞれに対応して設けられた溝内に充填する充填工程と、前記液状材料が前記溝内に充填された長さを計測する計測工程とを有し、前記溝は、中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状を有し、当該溝に充填された長さの計測値に基づいて、各ノズルの液滴吐出量を推定することを特徴とするものである。
前記溝としては、前記複数のノズル毎に設けられている構成や、複数の前記ノズルで構成されるノズル群毎に設けられている構成を採用できる。

従って、本発明の液滴吐出量測定方法では、溝が前記複数のノズル毎に設けられている場合には、液滴吐出ヘッドから吐出される１滴の液滴の量を、ノズルごとに測定することができる。すなわち、１滴当たりの吐出量を、全ノズルの平均値としてでなく、特定のノズルの測定値として正確に知ることができる。特に、液滴吐出ヘッドの全ノズルから液滴を吐出している場合におけるノズルごとの吐出量を測定することができる。一般に、同じノズルであっても、全ノズルから液滴を吐出している場合と、そのノズルのみから液滴を吐出している場合とでは、吐出量が異なる。ワークに対し描画しているときは、液滴吐出ヘッドのほぼ全部のノズルから液滴を吐出するので、本発明では、実際の描画状態に近い状態でのそのノズルの液滴吐出量を測定することができ、極めて有用である。
また、溝が複数のノズルで構成されるノズル群毎に設けられている場合には、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の量を、ノズル群毎に測定することができる。

また、本発明では、溝が中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状を有しているので、溝内に吐出された液状材料が自重により中央部に集まる。そのため、溝の側部の一方に接し、この一方にのみ沿って濡れ拡がってしまうことを防止できる。従って、本発明では、溝への液状材料の充填長さ、すなわちノズルからの液滴吐出量を高精度に測定することができる。

前記溝としては、略Ｖ字状の断面形状を有する構成を好適に採用できる。
この構成では、溝が平面の組み合わせで形成されるため、製造が容易になる。また、液状材料が中央部に集まったときにＶ字をなす両面に接触するため、迅速に液状材料が濡れ拡がる接触角になり、測定に要する時間を短縮化できる。

前記溝の開口端の幅としては、前記液滴が当該溝に着弾して変形した際の最大径以上であることが好ましい。
これにより、本発明では、着弾時の変形で液滴が溝内から飛び出してしまい、正確な液滴吐出量の測定に支障を来すことを防止できる。
また、前記溝の開口端の幅としては、前記液滴が当該溝に着弾して変形した際の最大径と、所定の許容誤差量との合計と、略等しい構成も好適に採用できる。
これにより、本発明では、吐出した液滴に飛行曲がりが生じた場合には、溝内に着弾しなくなることから、飛行曲がりを検出することが可能になる。

この場合、前記溝内と、前記溝の周囲とが前記液状材料に対して親液性を有する構成が好ましい。
これにより、本発明では、溝内に着弾しなかった液状材料が溝内に戻らないため、充填長さが短くなることにより、飛行曲がり等による着弾精度が低いノズルの計測値を排除することができる。

また、前記溝としては、シリコン基板に異方性エッチングにより形成され、当該溝内と前記周囲とが酸化膜で覆われている構成が好適である。
この構成では、容易に親液性を付与できるとともに、結晶レベルで表面を平滑化できるため、液状材料の充填長さをより高精度に測定することが可能になる。

また、本発明では、前記充填された長さの計測値と、前記溝の単位長さ当たりの容積に関する情報と、該溝へ吐出された液滴の数とに基づいて、各ノズルから吐出された液滴の１滴当たりの量を算出することが好ましい。
これにより、本発明では、各ノズルから吐出された液滴の１滴当たりの体積を簡単かつ正確に算出することができる。

一方、本発明の液滴吐出量調整方法は、液状材料を液滴として吐出するノズルを複数有する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整する液滴吐出量調整方法であって、先に記載の液滴吐出量測定方法で測定された前記ノズルの液滴吐出量に基づいて、前記各ノズル毎に前記液滴の吐出滴数または駆動波形を調整することを特徴とするものである。

従って、本発明の液滴吐出量調整方法では、液滴吐出ヘッドの各ノズルの１滴当たりの吐出量を均一化することができる。その結果、この液滴吐出ヘッドを用いて描画される膜の膜厚を高精度に制御することができ、製品の品質向上が図れる。また、上記効果を極めて簡単な方法で達成することができる。

そして、本発明のデバイスは、先に記載の液滴吐出量調整方法により基板上に液状材料が塗布されたことを特徴とするものである。
従って、本発明では、描画される膜の膜厚が高精度に制御され、製品の品質向上が図られたデバイスを得ることができる。

また、本発明の電気光学装置は、先に記載のデバイスを備えることを特徴とするものである。
そして、本発明の電子機器は、先に記載の電気光学装置を備えることを特徴とするものである。
従って、本発明では、品質向上が図られた電気光学装置及び電子機器を得ることができる。

また、本発明の液滴吐出量測定用治具は、液滴吐出ヘッドの複数のノズルから吐出された液状材料を貯留可能な溝が形成された液滴受容部を有する液滴吐出量測定用治具であって、前記溝は、中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状を有し、前記溝へ前記ノズルから液滴を吐出して、前記液状材料を前記溝内に充填し、その充填された長さを計測し、該計測値に基づいて、当該ノズルの液滴吐出量を推定する液滴吐出量測定方法の実施に使用可能であることを特徴とするものである。
前記溝としては、前記複数のノズル毎に設けられている構成や、複数の前記ノズルで構成されるノズル群毎に設けられている構成を採用できる。

従って、本発明では、従って、本発明の液滴吐出量測定方法では、液滴吐出ヘッドから吐出される１滴の液滴の量を、ノズルごとに測定することができる。すなわち、１滴当たりの吐出量を、全ノズルの平均値としてでなく、特定のノズルの測定値として正確に知ることができる。特に、液滴吐出ヘッドの全ノズルから液滴を吐出している場合におけるノズルごとの吐出量を測定することができる。一般に、同じノズルであっても、全ノズルから液滴を吐出している場合と、そのノズルのみから液滴を吐出している場合とでは、吐出量が異なる。ワークに対し描画しているときは、液滴吐出ヘッドのほぼ全部のノズルから液滴を吐出するので、本発明では、実際の描画状態に近い状態でのそのノズルの液滴吐出量を測定することができ、極めて有用である。
また、溝が複数のノズルで構成されるノズル群毎に設けられている場合には、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の量を、ノズル群毎に測定することができる。

また、本発明では、溝が中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状を有しているので、溝内に吐出された液状材料が自重により中央部に集まる。そのため、溝の側部の一方に接し、この一方にのみ沿って濡れ拡がってしまうことを防止できる。従って、本発明では、溝への液状材料の充填長さ、すなわちノズルからの液滴吐出量を高精度に測定することができる。

前記溝としては、略Ｖ字状の断面形状を有する構成を好適に採用できる。
この構成では、溝が平面の組み合わせで形成されるため、製造が容易になる。また、液状材料が中央部に集まったときにＶ字をなす両面に接触するため、迅速に液状材料が濡れ拡がる接触角になり、測定に要する時間を短縮化できる。

前記溝の開口端の幅としては、前記液滴が当該溝に着弾して変形した際の最大径以上であることが好ましい。
これにより、本発明では、着弾時の変形で液滴が溝内から飛び出してしまい、正確な液滴吐出量の測定に支障を来すことを防止できる。
また、前記溝の開口端の幅としては、前記液滴が当該溝に着弾して変形した際の最大径と、所定の許容誤差量との合計と、略等しい構成も好適に採用できる。
これにより、本発明では、吐出した液滴に飛行曲がりが生じた場合には、溝内に着弾しなくなることから、飛行曲がりを検出することが可能になる。

この場合、前記溝内と、前記溝の周囲とが前記液状材料に対して親液性を有する構成が好ましい。
これにより、本発明では、溝内に着弾しなかった液状材料が溝内に戻らないため、充填長さが短くなることにより、飛行曲がり等による着弾精度が低いノズルの計測値を排除することができる。
また、前記溝としては、シリコン基板に異方性エッチングにより形成され、当該溝内と前記周囲とが酸化膜で覆われている構成が好適である。
この構成では、容易に親液性を付与できるとともに、結晶レベルで表面を平滑化できるため、液状材料の充填長さをより高精度に測定することが可能になる。

そして、本発明の液滴吐出量測定装置は、液状材料を液滴として吐出するノズルを複数有する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定装置であって、液状材料を貯留可能な溝が前記複数のノズルのそれぞれに対応して形成された液滴受容部と、前記ノズルから前記液滴を吐出して、前記溝内にそれぞれ充填させるとともに、前記液状材料が前記溝内に充填された長さを計測する計測部と、前記充填及び前記長さの計測を複数回繰り返した結果に基づいて、前記ノズルの液滴吐出量を推定する推定部とを有し、前記溝は、中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状を有することを特徴とするものである。

従って、本発明では、液滴吐出ヘッドから吐出される１滴の液滴の量を、ノズルごとに測定することができる。すなわち、１滴当たりの吐出量を、全ノズルの平均値としてでなく、特定のノズルの測定値として正確に知ることができる。特に、液滴吐出ヘッドの全ノズルから液滴を吐出している場合におけるノズルごとの吐出量を測定することができる。一般に、同じノズルであっても、全ノズルから液滴を吐出している場合と、そのノズルのみから液滴を吐出している場合とでは、吐出量が異なる。ワークに対し描画しているときは、液滴吐出ヘッドのほぼ全部のノズルから液滴を吐出するので、本発明では、実際の描画状態に近い状態でのそのノズルの液滴吐出量を測定することができ、極めて有用である。また、本発明では、また、本発明では、溝が中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状を有しているので、溝内に吐出された液状材料が自重により中央部に集まる。そのため、溝の側部の一方に接し、この一方にのみ沿って濡れ拡がってしまうことを防止できる。従って、本発明では、溝への液状材料の充填長さ、すなわちノズルからの液滴吐出量を高精度に測定することができる

また、本発明の描画装置は、液状材料を液滴として吐出するノズルを複数有する液滴吐出ヘッドと、ワークとを相対的に移動させ、前記ノズルから液滴を吐出して前記ワークに着弾させることにより描画を行う描画装置であって、先に記載の液滴吐出量測定装置と、前記推定部の推定結果に基づいて前記各ノズル毎に前記液滴の吐出量を調整する調整部とを有することを特徴としている。
従って、本発明では、液滴吐出ヘッドの各ノズルの１滴当たりの吐出量を均一化することができる。その結果、この液滴吐出ヘッドを用いて描画される膜の膜厚を高精度に制御することができ、製品の品質向上が図れる。また、上記効果を極めて簡単な方法で達成することができる。

以下、本発明の液滴吐出量測定方法、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐出量測定装置、描画装置、デバイス及び電気光学装置並びに電子機器の実施の形態を、図１ないし図９を参照して説明する。
図１は、本発明の液滴吐出量測定装置を搭載した描画装置（インクジェット描画装置）の実施形態を示す斜視図である。

同図に示すように、描画装置１は、液滴吐出ヘッド２を１個または複数個搭載したキャリッジ１０３と、キャリッジ１０３を水平な一方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に移動させるキャリッジ移動機構（移動手段）１０４と、ワーク１０Ａを保持するステージ１０６と、ステージ１０６をＸ軸方向に垂直であって水平な方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるステージ移動機構（移動手段）１０８と、制御手段１１２とを備えている。

描画装置１の近傍には、液状材料１１１を貯留するタンク１０１が設置されている。タンク１０１と、キャリッジ１０３とは、液状材料１１１を送液する流路となるチューブ１１０を介して接続されている。各タンク１０１に貯留された液状材料１１１は、例えば圧縮空気の力によって、キャリッジ１０３に搭載された液滴吐出ヘッド２に送液（供給）される。
このような描画装置１は、ステージ移動機構１０８およびキャリッジ移動機構１０４を作動させ、ステージ１０６とキャリッジ１０３とを相対的に移動させることにより、液滴吐出ヘッド２をワーク１０Ａに沿って走査しつつ、液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１の液滴を吐出して、ワーク１０Ａ上に所定のパターンを描画する装置である。

描画装置１は、各種の電気光学装置の製造装置として使用可能な装置であり、例えば液晶表示装置のカラーフィルタ基板や有機ＥＬ表示装置のような色要素付き基板、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置、電気泳動表示装置等を製造したり、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を行うのに用いることができる。

また、本発明において、液状材料１１１は、例えば色要素付き基板の色要素膜のような目的物を形成するための材料を含み、かつ、液滴吐出ヘッド２のノズル２５から吐出可能な粘度を有するものである。この場合、材料が水性であると油性であるとを問わない。また、ノズル２５から吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が分散していても全体として流動体であればよい。すなわち、液状材料は、色要素膜の構成材料が溶媒中に溶解した溶液でも、分散した分散液（サスペンションやエマルション）でもよい。

液状材料１１１に含有され得る材料としては、カラーフィルタのフィルタ材料、有機ＥＬ装置におけるＥＬ発光層を形成するための蛍光材料、ＰＤＰ装置における蛍光体を形成するための蛍光材料、電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料、基板の表面にバンクを形成するためのバンク材料、各種コーティング材料、電極を形成するための液状電極材料、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料、金属配線を形成するための金属材料、マイクロレンズを形成するためのレンズ材料、レジスト材料、光拡散体を形成するための光拡散材料等が挙げられる。

描画装置１におけるキャリッジ移動機構１０４の作動は、制御手段１１２により制御される。なお、制御手段１１２の詳細な構成および機能は、後述する。本実施形態のキャリッジ移動機構１０４は、キャリッジ１０３（及び液滴吐出ヘッド２）をＺ軸方向（鉛直方向）に沿って移動させ、高さを調整する機能も有している。さらに、キャリッジ移動機構１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りでキャリッジ１０３を回転させる機能も有しており、これにより、キャリッジ１０３（及び液滴吐出ヘッド２）のＺ軸回りの角度を微調整することができる。

ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、ワーク１０Ａをその平面上に固定、または保持できるように構成されている。
ステージ移動機構１０８は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させ、その作動は、制御手段１１２により制御される。さらに、本実施形態のステージ移動機構１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有しており、これにより、ステージ１０６に載置されたワーク１０ＡのＺ軸回りの傾斜を微調整して真っ直ぐになるように補正することができる。

上述のように、キャリッジ１０３は、キャリッジ移動機構１０４によってＸ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６は、ステージ移動機構１０８によってＹ軸方向に移動させられる。つまり、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８の作動によって、ステージ１０６上のワーク１０Ａと、キャリッジ１０３との相対位置を変わるので、ワーク１０Ａに対し液滴吐出ヘッド２を相対的に走査することができる。

描画装置１は、ステージ移動機構１０８の作動により、ステージ１０６上に保持されたワーク１０ＡをＹ軸方向に移動させ、キャリッジ１０３の下を通過させつつ、キャリッジ１０３の各液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１の液滴を吐出するように作動する。この動作を「主走査」と言う。
キャリッジ１０３全体としてワーク１０Ａに対し液状材料１１１を吐出可能なＸ軸方向の幅（以下、「全吐出幅」と言う）よりも、ワーク１０ＡのＸ軸方向の幅が小さいものである場合には、キャリッジ１０３とワーク１０Ａとの主走査を１回行うことにより、ワーク１０Ａの全体に対して液状材料１１１の付与、すなわち描画を行うことができる。

これに対し、キャリッジ１０３の全吐出幅よりも、ワーク１０ＡのＸ軸方向の幅が大きいものである場合には、キャリッジ移動機構１０４を作動してキャリッジ１０３をＸ軸方向へ移動させることによって、キャリッジ１０３とワーク１０ＡとのＸ軸方向の相対位置関係を変えた後、主走査を再度行う。キャリッジ１０３とワーク１０ＡとのＸ軸方向の相対位置関係を変えることを「副走査」と呼ぶ。主走査および副走査を繰り返し行うことにより、キャリッジ１０３の全吐出幅よりも、ワーク１０ＡのＸ軸方向の幅が大きいものである場合であっても、ワーク１０Ａの全面に対して液状材料１１１の付与、すなわち描画を行うことができる。

図２は、図１に示す描画装置１における液滴吐出ヘッド２を示す図であり、（ａ）が斜視図、（ｂ）が断面側面図である。以下、図２を参照して、液滴吐出ヘッド２の内部構成について説明する。
図２に示す液滴吐出ヘッド２は、液滴を吐出する多数のノズル２５が列をなして並んだノズル列を有するインクジェットヘッドである。この液滴吐出ヘッド２は、振動板１２６と、ノズル２５が形成されたノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給される液状材料１１１が常に充填される液たまり１２９が位置している。

また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル２５に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル２５の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から液状材料１１１が供給される。

振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、キャビティ１２０内に充填された液状材料１１１の圧力を変化させる駆動素子としての振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂと、を含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル２５から液状材料１１１が吐出される。なお、ノズル２５からＺ軸方向に液状材料１１１が吐出されるように、ノズル２５の形状が調整されている。

具体的には、このピエゾ素子１２４Ｃに対して、図２（Ｃ）に示すように印加電圧Ｖｈを印加することで、図２（Ｄ），（Ｆ）及び（Ｅ）に示すようにして、ピエゾ素子１２４Ｃを伸縮させることで、インクを加圧して所定量の液状材料１１１をノズル２５から吐出させるようになっている。これらピエゾ素子１２４の駆動、即ち液滴吐出ヘッド２からの液滴吐出は、制御手段１１２により制御される。

制御手段１１２は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル２５から吐出される液状材料１１１の体積が、制御手段１１２からの信号に応じてノズル２５毎に制御されてもよい。
なお、液滴吐出ヘッド２は、図示のような圧電アクチュエータを駆動素子とするものに限らず、静電アクチュエータを用いるものや、電気熱変換素子を用いて液状材料１１１の熱膨張を利用して液滴を吐出する構成のものであってもよい。

また、本実施形態では、液滴吐出ヘッド２が有する各ノズル２５の液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定装置が設けられている。
図１に示すように、液滴吐出量測定装置５０は、治具用ステージ５１に保持された測定治具（液滴吐出量測定用治具）３と、測定治具３に吐出された液滴の長さを画像処理により計測するＣＣＤカメラ等の計測カメラ（計測部）５３と、計測カメラ５３の計測結果が出力されて演算処理を行う推定部としての制御手段１１２から構成される。

治具用ステージ５１は、ステージ１０６と同様に、Ｙ軸方向に沿って移動する。また、計測カメラ５３は、キャリッジ１０３（液滴吐出ヘッド２）と同様に、制御手段１１２の制御下でキャリッジ移動機構１０４によってＸ軸方向に自在に移動する。つまり、キャリッジ移動機構１０４および治具用ステージ５１の作動によって、ステージ５１上の測定治具３と、キャリッジ１０３及び計測カメラ５３との相対位置を変わるので、測定治具３に対して液滴吐出ヘッド２及び計測カメラ５３を相対的に走査することができる。

図３に示すように、測定用治具３は、平板状の部材であり、その上面である液滴受容部３１には、液滴吐出ヘッド２のノズル２５から吐出された液状材料１１１を貯留可能な溝（流路）３２が形成されている。溝３２は、液滴吐出ヘッド２の複数のノズル２５に対応して、複数、並行して設けられている。すなわち、複数の溝３２は、等間隔に配置されており、その間隔は、液滴吐出ヘッド２のノズルピッチと同一となっている。

図３中の部分詳細図に示すように、各溝３２は、中央部から両側に向かうに従って、漸次上方へ向かう断面形状、具体的には略Ｖ字状の断面形状を有している。これら溝３２の開口端の幅Ｗは、液状材料の液滴が着弾して変形した際の最大径（着弾インパクト径）以上であることが好ましい。具体的には、着弾インパクト径をＤとすると、幅Ｗは以下の式で表される。
Ｗ≧Ｄ …（１）
なお、着弾インパクト径とは、液滴が着弾後に数マイクロ秒程度で変形するときの最大径であり、シミュレーションや、高速度カメラ、ストロボシステムで予め計測することが可能である。

本実施形態の場合、測定用治具３はシリコン基板によって形成されており、複数の溝３２は、測定用治具３の母材であるシリコン単結晶基板を異方性エッチングにより部分的に除去して形成されたものである。この単結晶シリコンとしては、断面がテーパ状となる結晶方位面が１００面のものを用いることができる。
具体的には、例えば結晶方位面が１００面の単結晶シリコンの表面にレジストを配置し、ＫＯＨ溶液や、エチレンジアミン水溶液等のエッチング液を用いて異方性エッチングを行う。そして、レジストを除去した後に、酸化膜を形成する。
これにより、溝３２の内面及び溝３２の周囲を含む全面が液状材料１１１に対して親液化される。

また、溝３２の近傍には、液状材料１１１が溝３２内に充填された長さを示す目盛り３３が設けられている。図示の構成では、図３中の左端の溝のみに目盛り３３が設けられているが、各溝３２ごとに目盛り３３を設けてもよい。

また、測定用治具３の材料としては、シリコン基板以外にもガラス基板等を用いることができる。測定用治具３としてガラス基板を用いる場合には、例えばサンドブラスト等により溝３２を形成することができる。また、基板自体に溝を形成するのではなく、基板の表面にレジストを塗布し、溝に対応するマスクを用いてレジストを露光した後に現像処理を施すことにより溝３２を形成してもよい。この場合も、溝３２の断面形状をＶ字状等にすることが好ましい。

次に、制御手段１１２の構成を説明する。図４に示すように、制御手段１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８と、キャリッジ位置検出手段３０２と、ステージ位置検出手段３０３、カメラ位置検出手段３０４とを備えている。
バッファメモリ２００と処理部２０４とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と記憶手段２０２とは、相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と走査駆動部２０６とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４とヘッド駆動部２０８とは相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部２０６は、治具用ステージ５１、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部２０８は、液滴吐出ヘッド２と相互に通信可能に接続されている。

入力バッファメモリ２００は、外部情報処理装置から、液状材料１１１の液滴を吐出する位置に関するデータ、すなわち描画パターンデータや、計測カメラ５３から出力された画像データ等を受け取る。入力バッファメモリ２００は、この描画パターンデータや画像データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は、描画パターンデータや画像データを記憶手段２０２に格納する。記憶手段２０２は、ＲＡＭ、磁気記録媒体、光磁気記録媒体等で構成される。

キャリッジ位置検出手段３０２は、キャリッジ１０３のＸ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
ステージ位置検出手段３０３は、ステージ１０６（すなわちワーク１０Ａ）及び治具用ステージ５１（すなわち測定用治具３）のＹ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
カメラ位置検出手段３０４は、計測カメラ５３のＸ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
キャリッジ位置検出手段３０２、ステージ位置検出手段３０３及びカメラ位置検出手段３０４は、例えばリニアエンコーダ、レーザー測長器等で構成される。

処理部２０４は、キャリッジ位置検出手段３０２、ステージ位置検出手段３０３及びカメラ位置検出手段３０４の検出信号に基づき、走査駆動部２０６を介して、計測カメラ５３、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８の作動を制御（クローズドループ制御）し、キャリッジ１０３の位置と、ワーク１０Ａの位置、計測カメラ５３の位置、測定用治具３の位置とを制御する。
さらに、処理部２０４は、ステージ移動機構１０８の作動を制御することにより、ステージ１０６すなわちワーク１０Ａの移動速度を制御する。

制御手段１１２としては、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御手段１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御手段１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。

本発明の液滴吐出量測定方法を実施する際には、まず治具用ステージ５１上に測定用治具３を載置する。このとき、溝３２が液滴吐出ヘッド２のノズル２５の配列方向と垂直になるような向きで、液滴吐出量測定用治具３をセットする。
次いで、計測カメラ５３を測定用治具３と対向する位置から退避させるとともに、治具用ステージ５１およびキャリッジ移動機構１０４を作動し、図５に示すように、各ノズル２５が、各溝３２の一端部３２１の上空に位置するようにする。そして、各ノズル２５から液状材料１１１の液滴１１３を繰り返し吐出する。この際、各ノズル２５からは、同じ数の液滴１１３を吐出する。

溝３２の一端部３２１へ液状材料１１１の液滴１１３が付与されると、付与された液状材料１１１は、一端部３２１から他端部３２２へ向かって溝３２内に充填されていく（充填工程）。図６は、液滴吐出量測定用治具３の溝３２内に液状材料１１１が充填された状態を示す部分平面図である。同図に示すように、液状材料１１１が溝３２内に充填された長さ（以下、「充填長さ」と言う）Ｌは、通常、溝３２に付与された液状材料１１１の量に比例する。よって、各溝３２ごとに充填長さＬを計測することにより、その溝３２に液滴１１３を吐出したノズル２５の液滴吐出量を求めることができる。

ここで、溝３２の断面が略Ｖ字状であり、溝３２の内面３２ａ（図３参照）が親液性を有しているため、溝３２内に吐出された液滴１１３は、自重により中央部に集まり、Ｖ字を形成する両面に接触する。そのため、液滴１１３と内面３２ａとの接触角は、液状材料１１１が迅速に濡れ拡がる大きさとなり、充填長さＬを短時間で計測することが可能になる。

一方、図６に示す溝３２Ｅのように、液滴１１３が飛行曲がりで溝からはみ出して着弾した液滴については、測定用治具３が親液性を有していることから、溝内に戻ることなく溝外に残留する。従って、溝３２Ｅ内に着弾する液滴１１３の滴数が減ることから、溝３２Ｅにおける充填長さＬは、他の溝と比較して短くなる。

充填長さＬを計測する方法は、いかなる方法であってもよいが、本実施形態では、目盛り３３を設けたことにより、目視にて容易に充填長さＬを計測することができるが、作業を容易にするために、計測カメラ５３を測定用治具３と対向する位置に移動させ、計測カメラ５３で撮像した画像に基づいて制御手段１１２が各溝３２における充填長さＬを計測する（計測工程）。

充填長さＬを計測したら、その計測値と、溝３２の単位長さ当たりの容積に関する情報と、溝３２へ吐出された液滴の数とに基づいて、そのノズル２５から吐出された液滴１１３の１滴当たりの量を算出（推定）することができる。すなわち、充填長さＬと溝３２の単位長さ当たりの容積とを乗算し、これを吐出液滴数で除算することにより、そのノズル２５から吐出された液滴１１３の１滴当たりの体積及び重量を算出することができる。
なお、飛行曲がりが生じた溝３２Ｅへ液滴を吐出したノズルについては、充填長さＬが他の長さと比較して極端に短くなることから、何らかのエラー（この場合、許容誤差量を超える飛行曲がり）が生じたものとして、液滴吐出量の測定から除外し、ノズルのクリーニングを実施すればよい。

このように、本実施形態では、この計算を溝３２毎に行うことにより、液滴吐出ヘッド２の各ノズル２５毎に、吐出される液滴１１３の１滴当たりの体積を、測定用治具３の撥液性のばらつきに影響されることなく求めることができる。特に、本実施形態では、液滴吐出ヘッド２の全ノズル２５から液滴１１３を吐出している場合における各ノズル２５の吐出量を測定することができる。一般に、同じノズル２５であっても、全ノズル２５から液滴１１３を吐出している場合と、そのノズル２５のみから液滴１１３を吐出している場合とでは、吐出量が異なる。ワーク１０Ａに対し描画しているときは、液滴吐出ヘッド２のほぼ全部のノズル２５から液滴１１３を吐出するので、本実施形態では、実際の描画状態に近い状態での液滴吐出量を各ノズル２５毎に測定することができ、極めて有用である。

また、本実施形態では、上記溝３２が略Ｖ字状の断面形状を有しているため、着弾した液滴１１３は自重で中央部に集まって内面３２ａの両方に接触することになる。そのため、本実施形態では、溝内に塗布された液状材料１１１が内面３２ａの一方のみに接触して、当該一方にのみ沿って濡れ拡がってしまい正確な充填長さＬの計測に支障を来す事態を回避でき、高精度な液滴吐出量の測定を実現することができる。

特に、本実施形態では、シリコン基板に異方性エッチングを施すことにより溝３２を形成しているため、結晶レベルで溝３２の内面３２ａが平滑化されるため、円滑に液状材料が濡れ拡がるため、測定精度の向上に一層寄与できる。また、全面親液性の測定用治具３であれば、洗浄することにより液状材料を除去することで再利用が可能であり、コスト削減及び環境保護に寄与できる。例えば、ＵＶ洗浄やプラズマ洗浄を施すことにより、親液性も維持可能である。

また、本実施形態では、測定用治具３が親液性を有しており、また溝３２の開口端の幅が、着弾インパクト径以上の大きさに設定されているため、着弾時の変形で液滴が溝内から飛び出してしまい、正確な液滴吐出量の測定に支障を来すことを防止できる。

（液滴吐出量調整方法）
描画装置１を用いて電気光学装置を製造するに際し、高品質の製品を得るためには、液滴吐出ヘッド２の全ノズル２５の１滴当たりの吐出量をできるだけ均一にすることが重要となる。例えば、液晶表示装置のカラーフィルタ基板や有機ＥＬ表示装置のような色要素付き基板の色要素（画素）に、フィルタ膜や発光膜のような色要素膜を形成する場合、色ムラを防止すべく、色要素膜の膜厚を全色要素に渡って均一にするためには、全ノズル２５の１滴当たりの吐出量をできるだけ均一にする必要がある。

そこで、本実施形態では、複数の溝３２の各々の充填長さＬの計測値（液滴吐出量）に基づき、制御手段１１２が調整部として複数のノズル２５の各々に対応するビットマップを調整する。
具体的には、ノズル毎の液滴吐出数（ショット数）を調整（増減）することにより、液状材料の塗布量をノズル間で均一化することができる。

例えば、あるノズルの液滴吐出量が他のノズルと比較して１０％程度少ない場合には、他のノズルが１０滴の液状材料を吐出する箇所に対して１１滴の液状材料を吐出する。逆に、あるノズルの液滴吐出量が他のノズルと比較して１０％程度多い場合には、他のノズルが１０滴の液状材料を吐出する箇所に対して９滴の液状材料を吐出する。
なお、さらに微調整が必要な場合には、図２に示した駆動波形について微小量の液状材料を吐出するための微小ドット波形の駆動波形を設定しておき、この駆動波形を用いることで微小の吐出量調整が可能になる。
このような調整を行うことにより、液滴吐出ヘッド２の全ノズル２５の総吐出量を均一化することができ、その結果、描画装置１を用いて形成される膜の膜厚を高精度に制御することができ、製品の品質向上が図れる。

（デバイス）
続いて、上記描画装置１を用いて製造されるデバイスとして、カラーフィルタ基板について説明する。
図７に示すように、カラーフィルタ基板（デバイス）ＣＦは、長方形形状の基板４８上に、生産性をあげる観点から複数個のカラーフィルタ領域１０５がマトリックス状に形成されたものである。これらのカラーフィルタ領域１０５は、後でガラス４８を切断することで、液晶表示装置に適合するカラーフィルタとして用いることができる。

カラーフィルタ領域１０５には、ＲのインクとＧのインクおよびＢのインクを所定のパターンで形成して配置している。この形成パターンとしては、図に示すように従来公知のストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェアー型等がある。特に、液滴吐出ヘッド２を傾けることで画素部の配列ピッチにノズル間隔を対応させる場合、ストライプ型では一度に吐出できるノズルの数が多いため効果的である。

図８は、カラーフィルタ領域１０５におけるノズル番号と画素との対応関係を示す模式図である。本実施形態では、画素の配列ピッチとノズルピッチとが異なっており、また液状材料の溢れ防止のため画素間には非吐出領域が存在するため、４番、１１番、１２番のノズルは非吐出である。
例えば、７０ｋＨｚで吐出可能な吐出周波数を用いる場合には、１回の走査で１０ｎｇ／回を１０回（以上）吐出できる。１画素あたりに９０回の吐出を行う場合、各画素には３つのノズルで液滴を吐出するため、３回の走査で画素に液状材料を充填できる。
ここで、上述した液滴吐出量の測定で、例えば９番のノズルの吐出量が少ない（充填量Ｌが短い）際には、８番及び１０番のノズルからの吐出数を増やしたり、９番のノズルの吐出量が顕著に少ない場合にはこのノズルを使用せずに１１番のノズルを用いてもよい。 なお、ノズルピッチ等の理由で使用ノズルの変更が不可の場合には、ヘッドクリーニングを行った後に、上記液滴吐出量の測定を実行するシーケンスを採ることが好ましい。

また、図８で示したカラーフィルタ領域１０５のように、各画素に対して３つのノズルで液滴を吐出する場合には、各ノズル毎の液滴吐出量の他に、各画素に吐出する３つのノズルで構成されるノズル群毎の液滴吐出量を測定し、この測定結果に基づいて各ノズルの液滴吐出量を調整することも可能である。
このような場合には、図９に示すように、溝３２がノズル群（ここでは３つのノズル）毎に設けられた測定用治具３を用いればよい。
この場合、ノズル群毎に対応する溝３２に液滴を吐出し、充填長さを計測することにより、ノズル群毎に液滴吐出量を測定することができる。
そのため、測定された液滴吐出量に基づいて、各ノズルの液滴吐出量を調整することにより、画素間で生じる液滴充填量のばらつきを容易に抑制することが可能になる。

また、本発明に係る描画装置１は、上述したカラーフィルタ基板ＣＦを有する液晶パネルの製造のみに適用されるものではなく、例えば、電流を通すことによって発光する有機機能層を画素として用いる有機ＥＬ装置等、他の電気光学装置の製造にも適用可能である。なお、有機ＥＬ装置に本発明を適用した場合には、有機機能層が本発明に係る描画装置によって形成される。
さらに、液晶パネルや有機ＥＬ装置以外にも、金属配線や有機薄膜トランジスタ、レジストやマイクロレンズアレイ、バイオ分野にも適用可能である。

（電子機器）
図１０（ａ）〜（ｃ）は、本発明の電子機器の実施の形態例を示している。
本例の電子機器は、上記のカラーフィルタ基板を有する液晶パネルを表示手段として備えている。
図１０（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１０（ａ）において、符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は上記のカラーフィルタ基板を用いた表示部を示している。
図１０（ｂ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図１０（ｂ）において、符号１１００は時計本体を示し、符号１１０１は上記のカラーフィルタ基板を用いた表示部を示している。
図１０（ｃ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図１０（ｃ）において、符号１２００は情報処理装置、符号１２０２はキーボードなどの入力部、符号１２０４は情報処理装置本体、符号１２０６は上記のカラーフィルタ基板を用いた表示部を示している。
図１０（ａ）〜（ｃ）に示すそれぞれの電子機器は、上記のカラーフィルタ基板を表示手段として備えているので、表示品質に優れた電子機器を得ることができる。

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

例えば、上記実施形態では、溝３２の幅Ｗが着弾インパクト径Ｄ以上である構成としたが、着弾インパクト径Ｄと所定の許容誤差量との合計と略等しい構成としてもよい。
この場合、飛行曲がりが許容誤差量を超えるノズルについては、誤差が大きい測定結果として容易に検出して排除することが可能になり、測定結果の信頼性を向上させることができる。同様に、飛行曲がりの他に、吐出不良やドット抜け等の不具合も容易に検出することができる。

また、上記実施形態では、溝３２が略Ｖ字状の断面形状を有する構成としたが、これに限定されるものではなく、中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状であれば、円弧形状（Ｕ字状）等であってもよい。この場合、溝内に吐出された液滴１１３を円滑に中央部に導けるように、液滴１１３の大きさに対して充分に曲率を大きくすることが好ましい。

また、上記実施形態では、溝３２の一端に液滴を吐出して充填長さを計測する構成としているが、これに限定されるものではなく、例えば中央部近傍に吐出して充填長さを計測する構成としてもよい。

本発明の液滴吐出量測定装置を搭載した描画装置の実施形態を示す斜視図である。 図１に示す描画装置における液滴吐出ヘッドを示す図である。 本発明の液滴吐出量測定用治具の実施形態と液滴吐出ヘッドとを示す平面図である。 図１に示す描画装置における制御手段の構成を示すブロック図である。 測定用治具の実施形態と液滴吐出ヘッドとを示す側面図である。 測定用治具の溝内に液状材料が充填された図である。 基板と基板上のカラーフィルタ領域の一部を示す図である。 カラーフィルタ領域におけるノズル番号と画素との対応関係を示す模式図である。 液滴吐出量測定用治具の他の実施形態を示す図である。 本発明の電子機器の具体例を示す図である。

符号の説明

ＣＦ…カラーフィルタ基板（デバイス）、 １…描画装置、 ２…液滴吐出ヘッド、 ３…測定治具（液滴吐出量測定用治具）、 ２５…ノズル、 ３１…液滴受容部、 ３２…溝、 ５３…計測カメラ（計測部）、 １１１…液状材料、 １１２…制御手段（推定部）

Claims (21)

1. 液状材料を液滴として吐出するノズルを複数有する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定方法であって、
   前記ノズルから前記液滴を吐出して、前記複数のノズルのぞれぞれに対応して設けられた溝内に充填する充填工程と、
   前記液状材料が前記溝内に充填された長さを計測する計測工程とを有し、
   前記溝は、中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状を有し、
   当該溝に充填された長さの計測値に基づいて、前記ノズルの液滴吐出量を推定することを特徴とする液滴吐出量測定方法。
2. 請求項１記載の液滴吐出量測定方法において、
   前記溝は、略Ｖ字状の断面形状を有することを特徴とする液滴吐出量測定方法。
3. 請求項１または２記載の液滴吐出量測定方法において、
   前記溝の開口端の幅は、前記液滴が当該溝に着弾して変形した際の最大径以上であることを特徴とする液滴吐出量測定方法。
4. 請求項１から３のいずれかに記載の液滴吐出量測定方法において、
   前記溝の開口端の幅は、前記液滴が当該溝に着弾して変形した際の最大径と、所定の許容誤差量との合計と、略等しいことを特徴とする液滴吐出量測定方法。
5. 請求項３または４記載の液滴吐出量測定方法において、
   前記溝内と、前記溝の周囲とが前記液状材料に対して親液性を有することを特徴とする液滴吐出量測定方法。
6. 請求項５記載の液滴吐出量測定方法において、
   前記溝は、シリコン基板に異方性エッチングにより形成され、当該溝内と前記周囲とが酸化膜で覆われていることを特徴とする液滴吐出量測定方法。
7. 請求項１から６のいずれかに記載の液滴吐出量測定方法において、
   前記溝は、前記複数のノズル毎に設けられていることを特徴とする液滴吐出量測定方法。
8. 請求項７記載の液滴吐出量測定方法において、
   前記充填された長さの計測値と、前記溝の単位長さ当たりの容積に関する情報と、該溝へ吐出された液滴の数とに基づいて、各ノズルから吐出された液滴の１滴当たりの量を算出することを特徴とする液滴吐出量測定方法。
9. 請求項１から６のいずれかに記載の液滴吐出量測定方法において、
   前記溝は、複数の前記ノズルで構成されるノズル群毎に設けられていることを特徴とする液滴吐出量測定方法。
10. 液状材料を液滴として吐出するノズルを複数有する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整する液滴吐出量調整方法であって、
    請求項１から９のいずれかに記載の液滴吐出量測定方法で測定された前記ノズルの液滴吐出量に基づいて、前記各ノズル毎に前記液滴の吐出滴数または駆動波形を調整することを特徴とする液滴吐出量調整方法。
11. 請求項１０記載の液滴吐出量調整方法により基板上に液状材料が塗布されたことを特徴とするデバイス。
12. 請求項１１記載のデバイスを備えることを特徴とする電気光学装置。
13. 請求項１２記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
14. 液滴吐出ヘッドの複数のノズルから吐出された液状材料を貯留可能な溝が形成された液滴受容部を有する液滴吐出量測定用治具であって、
    前記溝は、中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状を有し、
    前記溝へ前記ノズルから液滴を吐出して、前記液状材料を前記溝内に充填し、その充填された長さを計測し、該計測値に基づいて、当該ノズルの液滴吐出量を推定する液滴吐出量測定方法の実施に使用可能であることを特徴とする液滴吐出量測定用治具。
15. 請求項１４記載の液滴吐出量測定用治具において、
    前記溝は、略Ｖ字状の断面形状を有することを特徴とする液滴吐出量測定用治具。
16. 請求項１４または１５記載の液滴吐出量測定用治具において、
    前記溝の開口端の幅は、前記液滴が当該溝に着弾して変形した際の最大径以上であることを特徴とする液滴吐出量測定用治具。
17. 請求項１４から１６のいずれかに記載の液滴吐出量測定用治具において、
    前記溝の開口端の幅は、前記液滴が当該溝に着弾して変形した際の最大径と、所定の許容誤差量との合計と、略等しいことを特徴とする液滴吐出量測定用治具。
18. 請求項１６または１７記載の液滴吐出量測定用治具において、
    前記溝内と、前記溝の周囲とが前記液状材料に対して親液性を有することを特徴とする液滴吐出量測定用治具。
19. 請求項１８記載の液滴吐出量測定用治具において、
    前記溝は、シリコン基板に異方性エッチングにより形成され、当該溝内と前記周囲とが酸化膜で覆われていることを特徴とする液滴吐出量測定用治具。
20. 液状材料を液滴として吐出するノズルを複数有する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定装置であって、
    液状材料を貯留可能な溝が前記複数のノズルのそれぞれに対応して形成された液滴受容部と、
    前記ノズルから前記液滴を吐出して、前記溝内にそれぞれ充填させるとともに、前記液状材料が前記溝内に充填された長さを計測する計測部と、
    前記充填及び前記長さの計測を複数回繰り返した結果に基づいて、前記ノズルの液滴吐出量を推定する推定部とを有し、
    前記溝は、中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状を有することを特徴とする液滴吐出量測定装置。
21. 液状材料を液滴として吐出するノズルを複数有する液滴吐出ヘッドと、ワークとを相対的に移動させ、前記ノズルから液滴を吐出して前記ワークに着弾させることにより描画を行う描画装置であって、
    請求項２０記載の液滴吐出量測定装置と、前記推定部の推定結果に基づいて前記各ノズル毎に前記液滴の吐出量を調整する調整部とを有することを特徴とする描画装置。
    

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