KR100912642B1 - 액적 토출 장치, 액상체의 토출 방법, 컬러 필터의 제조 방법 - Google Patents
액적 토출 장치, 액상체의 토출 방법, 컬러 필터의 제조 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100912642B1 KR100912642B1 KR1020070106034A KR20070106034A KR100912642B1 KR 100912642 B1 KR100912642 B1 KR 100912642B1 KR 1020070106034 A KR1020070106034 A KR 1020070106034A KR 20070106034 A KR20070106034 A KR 20070106034A KR 100912642 B1 KR100912642 B1 KR 100912642B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- discharge
- liquid
- droplet
- head
- discharged
- Prior art date
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 186
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 92
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000007599 discharging Methods 0.000 title claims description 22
- 238000005303 weighing Methods 0.000 claims abstract description 68
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 64
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 35
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 69
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 41
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 9
- 238000004040 coloring Methods 0.000 claims description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 21
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 13
- 239000010408 film Substances 0.000 description 11
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 7
- 230000008531 maintenance mechanism Effects 0.000 description 7
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 2
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
- B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
- B41J29/393—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Ink Jet (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
본 발명은 복수의 캐리지에 탑재된 복수의 토출 헤드로부터 토출되는 액상체의 중량을 적정히 측정할 수 있는 액적 토출 장치, 액상체의 중량 측정 방법, 액상체의 토출 방법, 컬러 필터의 제조 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
액적 토출 장치(1)는 Y축 방향으로 배열된 복수의 캐리지 유닛(21)과, 캐리지 유닛(21)마다 설치된 헤드 유닛(61)과, 각 헤드 유닛(61)에 탑재된 복수의 액적 토출 헤드로부터 토출되는 액상체를 받고, 그 중량을 액적 토출 헤드마다 측정하는 중량 측정 기구(91)와, 워크로서의 기판(W)과 중량 측정 기구(91)를 각각 독립하여 X축 방향으로 이동시키는 X축 테이블(22)과, 복수의 캐리지 유닛(21)을 각각 독립하여 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 테이블(23)을 구비했다. X축 테이블(22)에 의해서, 각 캐리지 유닛(21)이 묘화(描畵) 영역(31)에서의 배열 상태를 유지하여 중량 측정 영역(33)에 배치된다.
액적 토출 장치, 캐리지 유닛, 묘화 영역, 컬러 필터
Description
본 발명은 토출된 액상체의 중량을 측정하는 중량 측정 기구를 구비한 액적 토출 장치, 액상체의 중량 측정 방법, 액상체의 토출 방법, 컬러 필터의 제조 방법에 관한 것이다.
토출된 액상체의 중량을 측정하는 중량 측정 기구를 구비한 액적 토출 장치로서는, 워크에 대해서 액적을 토출하는 적어도 1개의 액적 토출 헤드와, 액적 토출 헤드의 액적의 토출량을 측정하기 위해서 액적 토출 헤드가 토출된 액적을 받는 토출량 측정용 액체 받이부를 갖는 액적 토출 장치가 알려져 있다(특허문헌 1). 또한, 이 액적 토출 장치가 수용되고, 그 내부의 환경 조건이 조정 가능한 체임버를 구비한 액적 토출 시스템이 제안되어 있다.
상기 액적 토출 시스템에서는, 액적 토출 헤드가 토출량 측정용 액체 받이부에 대해서 액적을 토출할 때, 체임버 내의 환경 조건을 워크에 대해서 액적을 토출할 때에 관리하는 것과 동일한 환경 조건으로 관리한다. 이에 따라, 미리 액적의 토출량을 정확하게 측정하여, 그 토출량을 적정한 값으로 조정할 수 있다고 되어 있다.
한편, 기판의 대형화에 따라서, 액적 토출 헤드가 복수 탑재된 헤드 유닛(또는 캐리지)을 복수 구비한 액적 토출 장치가 알려져 있다(특허문헌 2).
[특허문헌 1] 일본국 특허공개 2004-209429호 공보
[특허문헌 2] 일본국 특허공개 2005-254797호 공보
상기 헤드 유닛을 복수 구비한 종래의 액적 토출 장치에 상기 액적 토출 시스템을 적용하고자 하는 경우, 중량 측정시나 워크에 액적을 토출하여 묘화(描畵)할 때의 환경 조건을 관리하는 대형 체임버가 필요하게 된다. 이러한 조건하에서는, 액적의 중량을 측정하는 중량 측정 기구와 각 헤드 유닛을 어떻게 배치하는가에 따라서, 중량 측정시와 실제의 묘화시에서, 그 환경 조건이나 액적 토출 헤드의 구동 조건을 동일하게 하는 것이 곤란하다는 과제가 있었다.
본 발명은 상기 과제를 고려하여 이루어진 것으로, 복수의 캐리지에 탑재된 복수의 토출 헤드로부터 토출되는 액상체의 중량을 적정하게 측정할 수 있는 액적 토출 장치, 액상체의 중량 측정 방법, 액상체의 토출 방법, 컬러 필터의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 액적 토출 장치는, 워크와 토출 헤드를 대향시켜서 상대 이동시키는 주주사(主走査)에 따라, 워크 위에 토출 헤드로부터 액상체를 액적으로서 토출 묘화하는 액적 토출 장치로서, 각각에 복수의 토출 헤드가 탑재된 복수의 캐리지와, 토출 헤드마다 토출된 액상체의 중량을 측정하는 중량 측정 기구와, 중량 측정 기구와 상기 워크를 각각 독립하여 상기 주주사의 방향으로 이동시키는 주주사 이동 기구를 구비하고, 중량 측정 기구가 복수의 캐리지에 탑재된 복수의 토출 헤드에 의해 토출 묘화 가능한 묘화 영역을 따라 주주사의 방향과 직교하는 방향으로 배열 설치된 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치이다.
이 구성에 의하면, 중량 측정 기구와 워크를 각각 독립하여 주주사 방향으로 이동시키는 주주사 이동 기구를 구비하고, 중량 측정 기구가 복수의 캐리지에 탑재된 복수의 토출 헤드에 의해 토출 묘화 가능한 묘화 영역을 따라 주주사 방향과 직교하는 방향으로 배열 설치되어 있다. 따라서, 주주사 이동 기구를 사용하면, 묘화 영역에 배열된 상태대로의 복수의 캐리지와 중량 측정 기구를 대향 배치할 수 있다. 때문에, 실제로 워크에 대해서 액상체를 토출할 때의 복수의 캐리지의 배열을 변경하지 않고, 탑재된 복수의 토출 헤드로부터 토출되는 액상체의 중량을 측정할 수 있다. 즉, 복수의 캐리지를 분할하여 중량 측정을 행하는 경우에 비하여, 실제로 액상체를 토출 묘화하는 캐리지의 배열 상태로 액상체의 중량을 적정히 측정하는 것이 가능한 중량 측정 기구를 구비한 액적 토출 장치를 제공할 수 있다.
상기 중량 측정 기구에는, 복수의 캐리지에 대응하여 적어도 동일 수의 중량 측정 장치를 구비한 것을 특징으로 한다. 이것에 의하면, 캐리지의 수와 중량 측정 장치의 수가 적어도 동일 수이다. 따라서, 동일 수 미만의 경우에 비하여 복수의 캐리지와 중량 측정 기구와 상대 이동시켜서 측정 대상의 토출 헤드와 중량 측정 장치를 대향 배치하는 동작을 적게 할 수 있다. 때문에, 효율적으로 중량 측정을 행할 수 있다.
또한, 상기 중량 측정 기구에는, 복수의 캐리지마다 설치되어 적어도 1개의 토출 헤드로부터 토출되는 액적을 받을 수 있는 제 1 액적 받이부와, 복수의 캐리지에 탑재된 복수의 토출 헤드의 배치에 대응하여, 제 1 액적 받이부를 둘러싸도록 설치된 제 2 액적 받이부를 구비하는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 제 1 액적 받이부에 측정 대상의 토출 헤드로부터 액상체를 토출시켜서 중량 측정을 행하는 한편, 측정 대상 이외의 토출 헤드로부터 제 2 액적 받이부에 액상체를 토출시킬 수 있다. 따라서, 복수의 토출 헤드를 간헐적으로 구동하여 토출된 액상체의 중량을 측정하는 경우에 비하여, 복수의 토출 헤드를 거의 동시에 구동하는 실제의 액상체의 토출 묘화 상태에 가깝게, 측정 대상의 토출 헤드로부터 토출된 액상체의 중량을 적정히 측정할 수 있다.
본 발명의 중량 측정 방법은, 복수의 캐리지에 탑재된 복수의 토출 헤드로부터 토출되는 액상체의 중량을 측정하는 중량 측정 방법으로서, 복수의 캐리지를 묘화 영역에서의 배열 상태를 유지하여 중량 측정 영역에 배치하는 배치 공정과, 복수의 캐리지에 탑재된 각 토출 헤드로부터 액상체를 액적으로서 토출하고, 각 토출 헤드마다 토출된 액상체의 중량을 계측하는 계측 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.
이 방법에 의하면, 배치 공정에서는, 중량 측정 영역에 묘화 영역에서의 배열 상태를 유지하여 복수의 캐리지가 배치된다. 따라서, 복수의 캐리지를 분할하여 중량 측정 영역에 배치하는 경우에 비하여, 실제로 액상체를 토출 묘화하는 상태에 가깝게 액상체의 중량을 적정히 측정할 수 있다.
상기 계측 공정에서는, 계측 가능해지는 토출 수를 설정하여 액적을 토출하는 것을 특징으로 한다. 이것에 의하면, 토출되는 액적이 극미량이라도, 계측 가능해지는 토출 수를 설정하여 액상체를 토출하므로, 안정된 중량 측정 결과를 얻을 수 있다. 또한, 계측된 액상체의 중량을 상기 토출 수로 나눔으로써, 액적이 극미량이라도 1방울당 중량을 정밀도 좋게 구할 수 있다.
또한, 상기 계측 공정에서 얻어진 각 토출 헤드마다 토출된 액상체의 중량과, 토출 헤드로부터 토출하고자 하는 원하는 액상체의 중량을 비교하여, 그 차(差)가 소정의 범위 내에 들어있는지의 여부를 판정하는 판정 공정을 더 구비하고, 판정 공정에서 부(否)로 된 경우에는, 각 토출 헤드의 메인터넌스(maintenance)를 하는 메인터넌스 공정을 행하는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 판정 공정에 의해, 적정히 액상체가 토출되었는지의 여부를 판정할 수 있다. 또한, 판정이 부로 된 경우에 메인터넌스 공정을 행하므로, 토출 헤드의 막힘이나 토출 상태를 안정화시키고나서 재차 계측 공정을 실시할 수 있다. 즉, 보다 확실하게 액상체를 토출시켜서 중량 측정을 행할 수 있다.
또한, 상기 계측 공정에서는, 복수의 토출 헤드 중 측정 대상 이외의 토출 헤드에서도 액적을 토출하는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 측정 대상의 토출 헤드로부터 계측용 액상체를 토출하는 한편, 측정 대상 이외의 토출 헤드에서도 액적을 토출한다. 따라서, 측정 대상의 토출 헤드만을 구동하여 토출된 액상체의 중량을 측정하는 경우에 비하여, 사전에 액적의 토출 상태를 안정화시켜 중량 측정에 임할 수 있다. 따라서, 측정 대상의 토출 헤드로부터 토출된 액상체의 중량을 보다 적정히 측정할 수 있다.
본 발명의 액상체의 토출 방법은, 복수의 캐리지에 탑재된 복수의 토출 헤드로부터 액상체를 워크에 대해서 토출 묘화하는 액상체의 토출 방법으로서, 복수의 캐리지를 묘화 영역에서의 배열 상태를 유지하여 중량 측정 영역에 배치하는 배치 공정과, 복수의 캐리지에 탑재된 각 토출 헤드로부터 액상체를 액적으로서 토출하고, 각 토출 헤드마다 토출된 액상체의 중량을 계측하는 계측 공정과, 계측 공정에서 얻어진 액상체의 중량 정보를 기초로, 각 토출 헤드로부터 토출되는 액적의 토출량을 조정하는 조정 공정과, 워크의 원하는 영역에 각 토출 헤드로부터 액적을 토출 묘화하는 토출 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.
이 방법에 의하면, 복수의 캐리지를 분할하여 중량 측정 영역에 배치하는 경우에 비하여, 실제로 액상체를 토출 묘화하는 상태에 가깝게 액상체의 중량을 적정하게 측정할 수 있다. 따라서, 조정 공정에서는, 적정하게 측정된 액상체의 중량 정보를 기초로, 각 토출 헤드로부터 토출되는 액적의 토출량을 조정할 수 있다. 그리고, 토출 공정에서는, 조정된 각 토출 헤드로부터 액적을 토출 묘화하면, 워크의 원하는 영역에 적정한 양의 액상체를 부여할 수 있다.
상기 계측 공정에서는, 계측 가능해지는 토출 수를 설정하여 액적을 토출하는 것을 특징으로 한다. 이것에 의하면, 토출되는 액적이 극미량이라도, 계측된 액상체의 중량을 토출 수로 나눔으로써, 1방울당 중량을 정밀도 좋게 구할 수 있다. 즉, 워크의 원하는 영역에 정밀도 좋게 적정한 양의 액상체를 부여할 수 있다.
또한, 상기 계측 공정에서 얻어진 각 토출 헤드마다 토출된 액상체의 중량과, 토출 헤드로부터 토출하고자 하는 원하는 액상체의 중량을 비교하여, 그 차가 소정의 범위 내에 있는지의 여부를 판정하는 판정 공정을 더 구비하고, 판정 공정 에서 부로 된 경우에는, 각 토출 헤드의 메인터넌스를 하는 메인터넌스 공정을 행하는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 판정 공정에 의해, 적정히 액상체가 토출되었는지의 여부를 판정할 수 있다. 또한, 판정이 부로 된 경우에 메인터넌스 공정을 행하므로, 토출 헤드의 막힘이나 토출 상태를 안정화시키고나서 재차 계측 공정을 실시할 수 있다. 때문에, 보다 확실하게 액상체를 토출시켜서 중량 측정을 행할 수 있다. 즉, 워크의 원하는 영역에 안정되게 적정한 양의 액상체를 부여할 수 있다.
또한, 상기 계측 공정에서는, 복수의 토출 헤드 중 측정 대상 이외의 토출 헤드에서도 액적을 토출하는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 측정 대상의 토출 헤드로부터 계측용 액상체를 토출하는 한편, 측정 대상 이외의 토출 헤드에서도 액적을 토출한다. 따라서, 측정 대상의 토출 헤드만을 구동하여 토출된 액상체의 중량을 측정하는 경우에 비하여, 사전에 액적의 토출 상태를 안정화시켜 중량 측정에 임할 수 있다. 따라서, 측정 대상의 토출 헤드로부터 토출된 액상체의 중량을 보다 적정히 측정할 수 있다. 즉, 워크의 원하는 영역에 따라 적정한 양의 액상체를 부여할 수 있다.
본 발명의 컬러 필터의 제조 방법은, 기판 위에 구획 형성된 복수의 착색 영역에 적어도 3색의 착색층을 갖는 컬러 필터의 제조 방법으로서, 상기 발명의 액상체의 토출 방법을 이용하여, 적어도 3색의 착색층 형성 재료를 포함하는 액상체를 복수의 착색 영역에 토출 묘화하는 묘화 공정과, 토출 묘화된 액상체를 고화(固化)하여, 적어도 3색의 착색층을 형성하는 고화 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.
이 방법에 의하면, 워크의 원하는 영역에 적정한 양의 액상체를 부여할 수 있는 상기 발명의 액상체의 토출 방법을 이용하고 있다. 따라서, 묘화 공정에서는, 복수의 착색 영역에 적정한 양의 적어도 3색의 착색층 형성 재료를 포함하는 액상체가 부여되고, 고화 공정에서는, 부여된 액상체를 고화시킴으로써, 적정한 막 두께를 갖는 적어도 3색의 착색층을 형성할 수 있다. 즉, 원하는 광학 특성을 갖는 컬러 필터를 제조할 수 있다.
상기 실시예의 효과는 이하와 같다.
(1) 상기 실시예의 액적 토출 장치(1)는, X축 테이블(22)을 구동 제어함으로써, 묘화 영역(31)에 배열된 상태대로의 복수의 캐리지 유닛(21)과 중량 측정 기구(91)를 대향 배치할 수 있다. 따라서, 실제로 기판(W)에 대해서 액상체를 토출할 때의 복수의 캐리지 유닛(21)의 배열을 변경하지 않고, 탑재된 복수의 액적 토출 헤드(62)로부터 토출되는 액상체의 중량을 측정할 수 있다. 즉, 복수의 캐리지 유닛(21)을 분할하여 중량 측정을 행하는 경우에 비하여, 실제로 액상체를 토출 묘화하는 캐리지 유닛(21)의 배열 상태로 액상체의 중량을 적정하게 측정하는 것이 가능한 중량 측정 기구(91)를 구비한 액적 토출 장치(1)를 제공할 수 있다.
(2) 상기 실시예의 액적 토출 장치(1)에서, 중량 측정 기구(91)는 각 캐리지 유닛(21)의 헤드 유닛(61)에서의 2개의 헤드군(62L, 62R)의 배치에 따라 14개의 전자 천칭(95)을 구비하고 있다. 따라서, 각 헤드 유닛(61)에 탑재된 12개의 액적 토출 헤드(62)로부터 토출되는 액상체의 중량을 효율적으로 측정할 수 있다.
(3) 상기 실시예의 액적 토출 장치(1)에서, 중량 측정 기구(91)는 측정용의 액상체를 받는 제 1 액적 받이부(94)와, 제 1 액적 받이부(94)를 둘러싸는 제 2 액적 받이부(92)를 구비하고 있다. 따라서, 측정 대상의 액적 토출 헤드(62)로부터 액상체를 토출하는 동시에, 측정 대상 이외의 액적 토출 헤드(62)에서도 액상체를 토출시켜서, 이것을 받을 수 있다.
때문에, 측정 대상의 액적 토출 헤드(62)만을 구동하여 액상체를 토출하는 경우에 비하여, 사전에 액적의 토출 상태를 안정화시켜 두어 중량 측정에 임할 수 있다.
(4) 상기 실시예의 액상체의 토출 방법은, 상기 액적 토출 장치(1)를 사용하여, 계측 공정에서는, 묘화 영역(31)에 배열된 복수의 캐리지 유닛(21)과 중량 측정 기구(91)를 대향 배치하고, 각 액적 토출 헤드(62)의 노즐열(84)마다 설정된 토출 수로 액적을 토출하여, 토출된 액상체의 중량을 측정한다. 얻어진 액상체의 중량과 원하는 액상체의 중량의 차가 소정의 범위에 들어있지 않으면 각 액적 토출 헤드(62)의 메인터넌스를 행하여 재차 중량 측정을 행한다. 그리고, 조정 공정에서는, 유효한 액상체의 중량 정보(1토출당 액적의 토출량)를 기초로, 각 액적 토출 헤드(62)로부터 토출되는 액적의 토출량이 소정의 토출량이 되도록 구동 조건을 변경하여 조정한다. 따라서, 토출 공정에서는, 기판(W)의 원하는 영역에 각 액적 토출 헤드(62)로부터 적정한 양의 액적을 토출하여 묘화할 수 있다.
(5) 상기 실시예의 액상체의 토출 방법에 있어서, 계측 공정에서는, 측정 대상 이외의 액적 토출 헤드(62)에서도 제 2 액적 받이부(92)를 향하여 액상체를 토 출한다. 따라서, 사전에 액적의 토출 상태를 안정화시켜 두어 중량 측정에 임할 수 있다.
(6) 상기 실시예의 컬러 필터의 제조 방법은, 상기 실시예의 액상체의 토출 방법을 적용하고 있으므로, 각 액적 토출 헤드(62)로부터 색마다 적정한 양의 액상체를 액적으로서 착색 영역(A)에 토출 묘화할 수 있다. 토출된 액상체를 고화시키면, 원하는 막 두께를 갖는 3색의 착색층을 구비한 컬러 필터를 제조할 수 있다. 이 방법으로 제조된 컬러 필터를 사용하면, 원하는 광학 특성을 가진 높은 표시 품질을 갖는 액정 표시 장치(500)를 제공할 수 있다.
(액적 토출 장치)
우선, 본 실시예의 액적 토출 장치에 대해서 도 1 내지 도 6에 의거하여 설명한다. 도 1은 액적 토출 장치의 구조를 나타낸 개략 평면도, 도 2는 액적 토출 장치의 구조를 나타낸 개략 측면도이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 액적 토출 장치(1)는, 워크로서의 기판(W)이 탑재 배치되는 흡착 테이블(41)을 X축 방향으로 이동시키는 주주사 이동 기구로서의 X축 테이블(22)과, 복수(7개)의 캐리지로서의 캐리지 유닛(21)을 X축 테이블(22)의 상방에서, 각각 독립하여 Y축 방향으로 이동시키는 부주사 이동 기구로서의 Y축 테이블(23)을 구비하고 있다.
Y축 방향으로 배열된 각 캐리지 유닛(21)은, 액상체를 액적으로서 토출하는 복수의 토출 헤드로서의 액적 토출 헤드(62)(도 3 참조)가 탑재된 헤드 유닛(61) 과, 헤드 유닛(61)을 포함하는 캐리지 본체(66)를 매다는 메인 캐리지(63)를 구비하고 있다.
또한, X축 테이블(22)에는, 헤드 유닛(61)에 탑재된 각 액적 토출 헤드(62)로부터 토출되는 액상체를 받고, 그 중량을 액적 토출 헤드(62)마다 측정하는 중량 측정 기구(91)와, 중량 계측 기구(91)와 병렬하여 흡착 테이블(41)측에 설치된 플러싱부로서의 플러싱 박스(114)를 구비하고 있다. 이 경우, X축 테이블(22)에 의해, 중량 측정 기구(91)와 플러싱 박스(114)가 일체가 되어 X축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
중량 측정 기구(91)는 복수의 캐리지 유닛(21)에 탑재된 복수의 액적 토출 헤드(62)에 의해 토출 묘화 가능한 묘화 영역(31)을 따라 Y축 방향으로 배열 설치되어 있다. 중량 측정시에는, 각 캐리지 유닛(21)이 묘화 영역(31)에서의 배열 상태를 유지하여 중량 측정 영역(33)에 배치된다.
X축 테이블(22)을 Y축 방향으로 벗어난 위치에는, 액적 토출 헤드(62)의 메인터넌스를 행하는 메인터넌스 기구(12)가 설치되어 있다. Y축 테이블(23)은 X축 테이블(22)에 직교하여 연장 설치되어 있고, 묘화 영역(31)에 배열된 복수의 캐리지 유닛(21)을 메인터넌스 기구(12)가 설치된 메인터넌스 영역(32)으로 이동시킨다.
메인터넌스 기구(12)는 액적 토출 헤드(62) 내에서 증점(增粘)된 액상체를 흡인 제거하는 흡인 유닛(111)과, 흡인 제거 등에 의해 액적 토출 헤드(62)의 표면(노즐면)에 부착된 액상체나 이물을 와이핑 시트(112a)에 의해 닦아내기를 행하 는 와이핑 유닛(112)을 구비하고 있다.
흡인 유닛(111)은 복수(7개)의 캐리지 유닛(21)에 대응하여 Y축 방향으로 복수 배열되어 설치되어 있다. 각 흡인 유닛(111)과 와이핑 유닛(112)이 앵글 가대(架臺)(118) 위에 배열 설치되어 있다.
메인터넌스 기구(12)는 상기 각 흡인 유닛(111)과 와이핑 유닛(112)에 의해, 복수의 헤드 유닛(61)에 탑재된 복수의 액적 토출 헤드(62)의 노즐 막힘 등, 토출 기능을 회복시키는 장치이다.
도 2는 액적 토출 장치의 구조를 나타낸 개략 측면도이다. 상세하게는, 메인터넌스 기구(12)측에서 본 측면도이다.
X축 테이블(22)은 베이스(40)와, 베이스(40) 위에 배열 설치된 한 쌍의 X축 가이드 레일(45)과, 한 쌍의 X축 가이드 레일(45)과 병설된 한 쌍의 X축 리니어 모터(도시 생략)를 구비하고 있다. 한 쌍의 X축 가이드 레일(45)에 의해 가이드되고, X축 리니어 모터에 의해 X축 방향으로 슬라이드 가능하게 이동하는 X축 슬라이더(44, 47)와, X축 슬라이더(44)에 의해 지지된 테이블 지지부(43)와, X축 슬라이더(47)에 의해 지지된 중량 측정 기구 지지부(46)를 구비하고 있다.
테이블 지지부(43)에는, 기판(W)을 흡착(에어 흡인) 세트하는 흡착 테이블(41)과, 흡착 테이블(41)을 통하여 기판(W)의 θ위치를 미세 조정하는 θ축 테이블(42)이 배열 설치되어 있다. 한 쌍의 X축 리니어 모터를 구동하면, 한 쌍의 X축 가이드 레일(45)에 의해 가이드된 X축 슬라이더(44)가 X축 방향으로 이동하여, 흡착 테이블(41)에 세트된 기판(W)을 X축 방향으로 이동시킬 수 있다.
또한, 흡착 테이블(41)에는, 도시하지 않았지만, X축 방향으로 한 쌍의 X축 위치 정렬 기구가, Y축 방향으로 한 쌍의 Y축 위치 정렬 기구가 설치되어 있어, 세트된 기판(W)을 위치 결정(프리 얼라인먼트)할 수 있게 되어 있다. 세트된 기판(W)은 Y축 테이블(23) 등에 설치된 워크 인식 카메라(도시 생략)에 의해 화상 인식되어 최종적으로 위치 결정된다.
중량 측정 기구 지지부(46)에는, 중량 측정 기구(91)와 플러싱 박스(114)가 병렬하여 배열 설치되어 있다. 한 쌍의 X축 리니어 모터를 구동하면, 한 쌍의 X축 가이드 레일(45)에 의해 가이드된 X축 슬라이더(47)가 X축 방향으로 이동하여, 중량 측정 기구(91)와 플러싱 박스(114)를 헤드 유닛(61)을 향하는 위치로 이동시킬 수 있다. 환언하면, 배열을 유지한 채 복수의 헤드 유닛(61)(캐리지 유닛(21))을 중량 측정 영역(33) 또는 플러싱 영역(34)에 배치할 수 있다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 액적 토출 헤드(62)의 토출 기능을 안정화시키기 위해서, X축 테이블(22)에는, Y축 방향으로 배열된 복수의 캐리지 유닛(21)에 대응하여 설치된 플러싱 박스(114) 이외에, 흡착 테이블(41)의 X축 방향의 양 단부(端部)에 설치된 2개의 묘화 전(前) 플러싱 박스(115)를 구비하고 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 중량 측정 기구(91)와 플러싱 박스(114)는 그 상면이 흡착 테이블(41)의 상면과 거의 동일한 높이가 되도록 중량 측정 기구 지지부(46)에 배열 설치되어 있다. 마찬가지로, 상기 묘화전 플러싱 박스(115)도 그 상면이 흡착 테이블(41)의 상면과 거의 동일한 높이가 되도록 흡착 테이블(41)에 배열 설치되어 있다.
액적 토출 헤드(62)의 모든 노즐(85)(도 3 참조)로부터 액상체를 플러싱 박스(114)나 묘화전 플러싱 박스(115)를 향하여, 정기적으로 또는 묘화 전에 토출하는 플러싱을 행함으로써 노즐(85) 내의 액상체의 메니스커스를 안정화시킨다.
한편, Y축 테이블(23)은 베이스(40)로부터 세워서 설치한 한 쌍의 지지 스탠드(56)와, 한 쌍의 지지 스탠드(56) 위에 걸쳐진 한 쌍의 기둥 형상 지지 부재(55)와, 한 쌍의 기둥 형상 지지 부재(55)와 병설된 한 쌍의 Y축 리니어 모터(54)를 구비하고 있다. 한 쌍의 기둥 형상 지지 부재(55) 위에는, 한 쌍의 Y축 가이드 레일(53)과, 한 쌍의 Y축 가이드 레일(53)에 의해 가이드되고, Y축 리니어 모터(54)에 의해 Y축 방향으로 자유롭게 이동하는 Y축 슬라이더(52)가 설치되어 있다.
Y축 슬라이더(52)는 각 캐리지 유닛(21)에 대응하여 복수 설치되고, 메인 캐리지(63)가 매달린 브리지 플레이트(51)를 지지하고 있다. 즉, 7개의 브리지 플레이트(51)가 각각 독립된 Y축 슬라이더(52)에 지지되어 있다.
Y축 리니어 모터(54)를 구동하면, 한 쌍의 Y축 가이드 레일(53)에 의해 가이드된 Y축 슬라이더(52)가 Y축 방향으로 이동하여, 브리지 플레이트(51)에 매달린 메인 캐리지(63)를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다.
메인 캐리지(63)는 헤드 유닛(61)을 지지하는 캐리지 본체(66)와, 캐리지 본체(66)를 매다는 동시에, 캐리지 본체(66)의 상부에 연결되어, 캐리지 본체(66)를 통해서, 헤드 유닛(61)의 θ위치를 모터 구동으로 미세 조정 가능한 헤드 θ축 테이블(67)과, 헤드 θ축 테이블(67)의 상부에 연결되어, 헤드 θ축 테이블(67) 및 캐리지 본체(66)를 통해서, 헤드 유닛(61)의 Z축 방향의 위치를 모터 구동으로 미 세 조정 가능한 헤드 Z축 테이블(68)을 갖고 있다.
이러한 액적 토출 장치(1)는 헤파 유닛(6)을 상부에 구비한 체임버(5)에 수용되어, 그 내부가 소정의 청정도, 온도, 습도가 되도록 공조(空調)된 상태로 사용된다.
도 3은 액적 토출 헤드를 나타낸 개략도이다. 동 도면의 (a)는 사시도, 동 도면의 (b)는 노즐 플레이트를 나타낸 평면도이다.
도 3의 (a)에 나타낸 바와 같이, 액적 토출 헤드(62)는, 이른바, 2연(連)으로서, 2연의 접속침(72)을 갖는 액체 도입부(71)와, 액체 도입부(71)에 연결되는 헤드 기판(73)과, 액체 도입부(71)의 상방에 연결되고, 내부에 액상체가 채워지는 헤드 내 유로가 형성된 헤드 본체(74)를 구비하고 있다. 접속침(72)은 압력 조정 밸브를 통하여 액상체가 저장된 탱크에 접속되고, 액적 토출 헤드(62)의 헤드 내 유로에 액상체가 공급된다. 또한, 헤드 본체(74)는 압전 소자 등으로 구성된 캐비티(81)와, 노즐면(82a)에 복수의 노즐(85)로 이루어지는 2개의 노즐열(84)이 형성된 노즐 플레이트(82)를 갖고 있다. 또한, 헤드 기판(73)에는, 2연의 커넥터(75)가 설치되어 있고, 각 커넥터(75)는 플렉시블 플랫 케이블을 통하여 헤드 드라이버(131)(도 6 참조)에 접속되어 있다. 헤드 드라이버(131)는 압전 소자에 구동 전압을 부여하여 캐비티(81)의 체적을 변화시킨다. 이에 따라, 캐비티(81)에 충전된 액상체를 가압하여, 노즐(85)로부터 액상체를 액적으로서 토출한다.
도 3의 (b)에 나타낸 바와 같이, 각 노즐열(84)의 길이는, 예를 들면, 1인치(대략 25.4mm)이며, 각 노즐열(84)은 180개의 노즐(85)이 동일한 피치(P1)(대략 140㎛)로 병행하여 구성되어 있다. 이 경우, 한 쪽의 노즐열(84)은 다른 쪽의 노즐열(84)에 대해서, 노즐열 방향으로 반 피치(70㎛)정도 어긋나 설치되어 있다. 따라서, 각 노즐열 방향과 직교하는 방향에서 보면 360개의 노즐(85)이 노즐 피치(P2)로 배열된 상태로 되어 있다. 이 경우, 2개의 노즐열(84)로부터 토출된 액적의 도트 밀도(해상도)는 360dpi이다.
이러한 액적 토출 헤드(62)는 압전 소자를 구비한 것에 한정되지 않고, 액상체를 가압하는 에너지 발생 수단으로서, 진동판을 정전 흡착함으로써 진동시키는 전기 기계 변환 소자나, 액상체를 가열하는 발열 소자를 구비한 것이라도 좋다.
도 4는 헤드 유닛에서의 액적 토출 헤드의 배치를 나타낸 개략 평면도이다. 상세하게는, X축 테이블(22)측에서 본 평면도이다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 헤드 유닛(61)에는, 합계 12개의 액적 토출 헤드(62)가 탑재되어 있다. X축 방향에서 보아 6개의 액적 토출 헤드(62)가 계단 형상으로 배열된 2개의 헤드군(62L, 62R)을 구성하고 있다. 각 헤드군(62L, 62R)은 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 착색층 형성 재료를 포함하는 액상체가 충전된 3개의 액적 토출 헤드(62)가 RGB의 순으로 병렬되어 있다. 그리고, 예를 들면, 적색(R)의 액상체가 충전된 각 헤드(R1, R2, R3, R4)의 노즐열(84)이 X축 방향에서 보아 1노즐 피치(P2)를 두고 Y축 방향으로 나열되어 있다. 다른 녹색(G), 청색(B)에서도 마찬가지이다. 또한, 다른 색의 액상체가 충전된 헤드(R2)와 헤드(G2), 헤드(G2)와 헤드(B2)에서, 노즐열(84)이 노즐열(84) 전체 길이의 1/3 거리에서 Y축 방향으로 서로 어긋난 상태로 배치되어 있다.
따라서, 동일 색의 액상체를 Y축 방향에서, 연속적으로 토출 가능한 이른바 묘화 폭은, 이 경우, (P2×359×4)+(P2×3)=100,730㎛, 대략 100mm이다.
다음에, 도 5에 의거해서 중량 측정 기구(91)에 관하여 설명한다. 도 5의 (a)는 중량 측정 기구를 나타낸 개략 측면도, 동 도면의 (b)는 개략 평면도이다.
도 5의 (a) 및 (b)에 나타낸 바와 같이, 중량 측정 기구(91)는 지지 플레이트(97) 위에 배열 설치된 14개의 중량 측정 장치로서의 전자 천칭(95)과, 각 전자 천칭(95)마다 설치된 제 1 액적 받이부(94)와 제 2 액적 받이부(92)를 구비하고 있다. 전자 천칭(95)은 제 1 액적 받이부(94)에 토출된 액상체의 중량을 계측할 수 있게 되어 있다.
제 1 액적 받이부(94)는 받침 접시 형상으로 되어 있고 토출된 액상체를 흡수하는 흡수체(96)가 부설되어 있다.
제 2 액적 받이부(92)는 지지 플레이트(97)의 네 모퉁이로부터 세워 설치한 지지 기둥에 지지된 받침 접시 형상으로 되어 있다. 또한, 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 제 1 액적 받이부(94)를 둘러싸는 개구부(92a)를 갖고 있다. 그리고, 각 제 1 액적 받이부(94)를 둘러싸도록 동일하게 흡수체(93)가 부설되어 있다. 흡수체(93)는 그 상면이 흡수체(96)의 상면과 거의 동일한 높이가 되도록 부설되어 있다. 이러한 흡수체(93, 96)로서는, 예를 들면, 다공질의 발포 플라스틱이 사용된다.
이러한 제 1 액적 받이부(94) 및 제 2 액적 받이부(92)는, 이들에 대향하는 헤드 유닛(61)에 탑재된 액적 토출 헤드(62)의 배치에 의거하여 설계되어 있다. 즉, 도 5의 (b)에 나타낸 제 1 액적 받이부(94)의 크기(평면적)는 액적 토출 헤드(62)의 노즐면(82a)(도 3 참조)과 충분히 대향 가능한 크기로 되어 있다. 또한, 제 2 액적 받이부(92)의 크기(평면적)는 측정 대상의 액적 토출 헤드(62)와 제 1 액적 받이부(94)가 대향하도록 7개의 헤드 유닛(61)(캐리지 유닛(CA1∼CA7))과 중량 측정 기구(91)를 상대 배치시켰을 때에, 측정 대상 이외의 액적 토출 헤드(62)와 제 2 액적 받이부(92)가 반드시 대향하도록 설계되어 있다.
다음에, 도 6을 참조하여, 액적 토출 장치(1) 전체의 제어계에 관하여 설명한다. 도 6은 액적 토출 장치의 제어계를 나타낸 블록도이다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 액적 토출 장치(1)의 제어계는, 기본적으로, 상위 컴퓨터(2)와, 액적 토출 헤드(62), X축 테이블(22), Y축 테이블(23), 메인터넌스 기구(12), 중량 측정 기구(91) 등을 구동하는 각종 드라이버를 갖는 구동부(121)와, 구동부(121)를 포함하여 액적 토출 장치(1) 전체를 통괄 제어하는 제어부(122)(컨트롤러(13))를 구비하고 있다.
상위 컴퓨터(2)는 컨트롤러(13)에 접속된 컴퓨터 본체에, 키보드나, 키보드에 의한 입력 결과 등을 화상 표시하는 디스플레이 등이 접속되어 구성되어 있다.
구동부(121)는 액적 토출 헤드(62)를 토출 구동 제어하는 헤드 드라이버(131)와, X축 테이블(22) 및 Y축 테이블(23)의 각 리니어 모터를 각각 구동 제어하는 이동용 드라이버(132)와, 메인터넌스 기구(12)의 흡인 유닛(111), 와이핑 유닛(112) 및 유닛 승강 기구를 구동 제어하는 메인터넌스용 드라이버(133)와, 중량 측정 기구(91)의 전자 천칭(95)을 제어하는 중량 측정용 드라이버(134)를 구비하고 있다.
제어부(122)는 CPU(141)와, ROM(142)과, RAM(143)과, P-CON(144)을 구비하고, 이들은 서로 버스(145)를 통하여 접속되어 있다. ROM(142)은 CPU(141)에서 처리하는 제어 프로그램 등을 기억하는 제어 프로그램 영역과, 묘화 동작이나 중량 측정을 행하기 위한 제어 데이터 등을 기억하는 제어 데이터 영역을 갖고 있다.
RAM(143)은 각종 레지스터군 외에, 기판(W)에 액상체의 토출을 행하기 위한 묘화 데이터를 기억하는 묘화 데이터 기억부, 기판(W) 및 헤드 유닛(61)의 설계 위치 데이터를 기억하는 위치 데이터 기억부 등의 각종 기억부를 가지며, 제어 처리를 위한 각종 작업 영역으로서 사용된다. 또한, 헤드 유닛(61)의 설계 위치 데이터란, 묘화 처리 직전에 기억되어 있는 위치 데이터를 말하며, 액적 토출 장치(1)의 설계시(신설시)에서의 위치 데이터 외에, 헤드 유닛(61)의 갱신 후의 위치 데이터도 포함하는 개념이다.
P-CON(144)에는, 구동부(121)의 각종 드라이버 외에, 기판(W)의 위치를 인식하는 카메라 등이 접속되어 있어, CPU(141)의 기능을 보충하는 동시에, 주변 회로와의 인터페이스 신호를 취급하기 위한 논리 회로가 구성되어 있다. 이 때문에, P-CON(144)은 상위 컴퓨터(2)로부터의 각종 지령 등을 그대로 또는 가공하여 버스(145)에 입력하는 동시에, CPU(141)와 연동하여, CPU(141) 등으로부터 버스(145)에 출력된 데이터나 제어 신호를, 그대로 또는 가공하여 구동부(121)에 출력한다.
그리고, CPU(141)는 ROM(142) 내의 제어 프로그램을 따라서, P-CON(144)을 통하여 각종 검출 신호, 각종 지령, 각종 데이터 등을 입력하고, RAM(143) 내의 각 종 데이터 등을 처리한 후, P-CON(144)을 통하여 구동부(121) 등에 각종 제어 신호를 출력함으로써, 액적 토출 장치(1) 전체를 제어하고 있다. 예를 들면, CPU(141)는 액적 토출 헤드(62), X축 테이블(22) 및 Y축 테이블(23)을 제어하여, 소정의 액적 토출 조건 및 소정의 이동 조건으로, 액적 토출 헤드(62)로부터 기판(W)에 액상체를 액적으로서 토출하는 묘화를 행한다.
또한, CPU(141)는 X축 테이블(22)을 제어하여 중량 측정 기구(91)를 이동시키고, 복수의 캐리지 유닛(21)을 중량 측정 영역(33)에 배치하여, 헤드 유닛(61)에 탑재된 액적 토출 헤드(62)로부터 제 1 액적 받이부(94)에 액상체를 액적으로서 토출시킨다. 그리고, 전자 천칭(95)에 의해 계측된 액상체의 중량에 의거하여 액적의 토출량을 연산한다. 이 연산 결과에 의거하여 각 액적 토출 헤드(62)의 압전 소자를 구동하는 구동 전압을 제어하여, 적정한 양의 액적을 토출시킨다. 보다 구체적인 중량 측정 방법 및 액상체의 토출 방법은 후술한다.
이러한 액적 토출 장치(1)에서의 중량 측정 기구(91)의 배치는, 복수의 캐리지 유닛(21)이 묘화 영역(31)에 배열되어 액상체의 토출 묘화를 행할 때의 환경 조건이나 액적 토출 헤드(62)의 구동 조건과, 복수의 캐리지 유닛(21)을 중량 측정 영역(33)에 배치하여 측정 대상의 액적 토출 헤드(62)로부터 액상체를 토출할 때의 환경 조건이나 구동 조건이 거의 동일해지도록 고려하여 이루어졌다.
다음에, 본 실시예의 중량 측정 방법 및 액상체의 토출 방법에 관하여, 복수 색의 착색층을 갖는 컬러 필터의 제조 방법을 예로 설명한다.
우선, 컬러 필터가 사용된 전기 광학 장치의 하나인 액상 표시 장치에 관하 여 설명한다. 도 7은 액정 표시 장치의 구조를 나타낸 개략 분해 사시도이다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 액정 표시 장치(500)는 TFT(Thin Film Transistor) 투과형의 액정 표시 패널(520)과, 액정 표시 패널(520)을 조명하는 조명 장치(516)를 구비하고 있다. 액정 표시 패널(520)은 착색층으로서의 컬러 필터(505)를 갖는 대향 기판(501)과, 화소 전극(510)에 3단자 중 1개가 접속된 TFT 소자(511)를 갖는 소자 기판(508)과, 양 기판(501, 508)에 의해 사이에 삽입된 액정(도시 생략)을 구비하고 있다. 또한, 액정 표시 패널(520)의 외면측이 되는 양 기판(501, 508)의 표면에는, 투과되는 광을 편향시키는 상부 편광판(514)과 하부 편광판(515)이 배열 설치된다.
대향 기판(501)은 투명한 유리 등의 재료로 이루어지며, 액정을 끼우는 표면측에 격벽부(504)에 의해 매트릭스 형상으로 구획된 복수의 착색 영역에 복수 색의 착색층으로서 RGB 3색의 컬러 필터(505R, 505G, 505B)가 스트라이프 형상으로 형성되어 있다. 격벽부(504)는 Cr 등의 차광성을 갖는 금속 또는 그 산화막으로 이루어지는 블랙 매트릭스라고 불리는 하층 뱅크(502)와, 하층 뱅크(502) 위(도면에서는 하향)에 형성된 유기 화합물로 이루어지는 상층 뱅크(503)로 구성되어 있다. 또한, 대향 기판(501)은 격벽부(504)와 컬러 필터(505R, 505G, 505B)를 덮는 평탄화층으로서의 오버 코트층(OC층)(506)과, OC층(506)을 덮도록 형성된 ITO(Indium Tin Oxide) 등의 투명 도전막으로 이루어지는 대향 전극(507)을 구비하고 있다. 컬러 필터(505R, 505G, 505B)는 후술하는 컬러 필터의 제조 방법을 이용하여 제조되어 있다.
소자 기판(508)은 마찬가지로 투명한 유리 등의 재료로 이루어지며, 액정을 끼우는 표면측에 절연막(509)을 통하여 매트릭스 형상으로 형성된 화소 전극(510)과, 화소 전극(510)에 대응하여 형성된 복수의 TFT 소자(511)를 갖고 있다. TFT 소자(511)의 3단자 중, 화소 전극(510)에 접속되지 않는 다른 2단자는, 서로 절연된 상태로 화소 전극(510)을 둘러싸도록 격자 형상으로 배열 설치된 주사선(512)과 데이터선(513)에 접속되어 있다.
조명 장치(516)는 광원으로서 백색의 LED, EL, 냉음극관 등을 사용하고, 이들 광원으로부터의 광을 액정 표시 패널(520)을 향하여 출사할 수 있는 도광판이나 확산판, 반사판 등의 구성을 구비한 것이라면, 어떠한 것이라도 좋다.
또한, 액정을 끼우는 대향 기판(501)과 소자 기판(508)의 표면에는, 액정 분자를 소정 방향으로 배열시키기 위한 배향막이 각각 형성되어 있지만, 도시를 생략했다. 또한, 상하 편광판(514, 515)은 시각 의존성을 개선하는 목적 등으로 사용되는 위상차 필름 등의 광학 기능성 필름과 조합된 것이라도 좋다. 액정 표시 패널(520)은 액티브 소자로서 TFT 소자에 한정되지 않고 TFD(Thin Film Diode) 소자를 가진 것이라도 좋고, 게다가, 적어도 한 쪽 기판에 컬러 필터를 구비하는 것이라면, 화소를 구성하는 전극이 서로 교차하도록 배치되는 패시브형의 액정 표시 장치라도 좋다.
(컬러 필터의 제조 방법)
도 8은 컬러 필터의 제조 방법을 나타낸 개략도이다. 본 실시예의 컬러 필터의 제조 방법은 상기 액적 토출 장치(1)를 사용하여 후술하는 액상체의 토출 방 법을 적용했다. 또한, 도 8에서, 파선으로 나타낸 각 액적 토출 헤드(62)의 Y축 방향의 폭은, 유효 노즐로부터 액상체를 토출할 수 있는 영역의 폭을 나타내는 것이다.
도 8에 나타낸 바와 같이, 상기 액적 토출 장치(1)에서, Y축 방향으로 배열된 복수의 헤드 유닛(61)에 대해서, RGB 3색의 착색 영역(A)의 스트라이프 방향이 평행이 되도록, 기판(W)을 흡착 테이블(41)에 세트하여 위치 결정한다.
예를 들면, 헤드 유닛(61)의 헤드(R1)의 Y축 방향의 끝이, 기판(W)의 적색(R)의 착색 영역(A)의 끝과 일치하도록 위치 결정한다.
그리고, X축 테이블(22)을 구동하여, 복수의 헤드 유닛(61)에 대해서 기판(W)을 X축 방향으로 상대 이동시키는 동안에, 각 헤드 유닛(61)에 탑재된 각 액적 토출 헤드(62)로부터 착색 영역(A)을 향하여 착색층 형성 재료를 포함하는 액상체를 액적으로서 토출한다.
상술한 바와 같이, 각 헤드 유닛(61)에는, X축 방향에서 보아 동일 색의 액상체를 토출하는 액적 토출 헤드(62)가 Y축 방향으로 4개 나열되어 있다. 따라서, 동일 색의 액상체를 Y축 방향으로 토출 가능한 묘화 폭(E)이 연속되도록, 묘화 영역(31)에 헤드 유닛(61)을 배열하면, 기판(W)의 폭에 대응하여 동일 색의 액상체를 간격을 벌리지 않고 부여할 수 있다. 당연히, 착색 영역(A)의 끝 부근에서는, 적색(R) 이외의 녹색(G)이나 청색(B)에 대응하는 착색 영역(A)에 액상체가 부여되지 않는 영역이 발생한다. 따라서, 복수의 헤드 유닛(61)을 Y축 방향으로 이동시키는 부주사를 행하고나서, 재차 액적을 토출하는 주주사(主走査)를 행하도록 하면, 모 든 착색 영역(A)에 원하는 색의 액상체를 부여할 수 있다.
(액상체의 토출 방법)
다음에, 본 실시예의 중량 측정 방법을 적용한 액상체의 토출 방법에 관해서 도 9에 의거하여 설명한다. 도 9는 액상체의 토출 방법을 나타낸 플로차트이다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 액상체의 토출 방법은, 복수의 캐리지 유닛(21)과 중량 측정 기구(91)를 대향 배치하는 배치 공정(스텝 S1)과, 액적 토출 헤드(62)마다 토출되는 액상체의 중량을 계측하는 계측 공정(스텝 S2)과, 토출된 액상체의 중량에 대해서 판정하는 판정 공정(스텝 S3)과, 메인터넌스 공정(스텝 S4)을 구비하고 있다. 여기까지가 본 실시예의 중량 측정 방법에 해당한다. 또한, 각 액적 토출 헤드(62)로부터 토출되는 액적의 토출량을 조정하는 조정 공정(스텝 S5)과, 워크로서의 기판(W)의 착색 영역(A)에 각 액적 토출 헤드(62)로부터 착색층 형성 재료를 포함하는 액상체를 토출 묘화하는 묘화 공정으로서의 토출 공정(스텝 S6)을 구비하고 있다.
도 9의 스텝 S1은 배치 공정이다. 스텝 S1에서는, 제어부(122)는 X축 리니어 모터를 구동하여, 중량 측정 기구(91)가 복수의 캐리지 유닛(21)을 향하도록 중량 측정 기구 지지부(46)를 이동시킨다. 이에 따라, 복수의 캐리지 유닛(21)을 묘화 영역(31)에서의 배열 상태를 유지하여 중량 측정 영역(33)에 배치한다. 그리고, 스텝 S2로 진행한다.
도 9의 스텝 S2는 계측 공정이다. 스텝 S2에서는, 제어부(122)는 ROM(142)에 저장된 중량 측정의 제어 프로그램과 제어 데이터에 의거하여 중량 측정을 행한 다. 우선, 액상체를 받기 전의 제 1 액적 받이부(94)의 중량을 계측한다. 이 시점에서, 중량을 「0」으로 하여 전자 천칭(95)을 리셋해도 좋다. 다음에, 측정 대상의 액적 토출 헤드(62)로부터 미리 설정된 토출 수의 액적을 제 1 액적 받이부(94)에 토출한다. 토출 수의 설정은 전자 천칭(95)의 최소 계량 단위를 고려하여 제어 데이터에 포함시킨다. 이 경우, 전자 천칭(95)의 최소 계량 단위는 1mg이다. 한편, 토출되는 액적은 ng 레벨이기 때문에, 측정 가능한 액상체의 양이 되도록 토출 수를 수 천 내지 1만 정도로 설정하여 액적 토출 헤드(62)를 구동하고, 각 노즐(85)로부터 액상체를 액적으로서 토출한다.
본 실시예의 계측 공정에서는, 노즐열(84)마다 토출된 액상체의 중량을 계측한다. 그 이유로서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 액적 토출 헤드(62)는 2연의 노즐열(84)과 이것에 대응하는 2연의 접속침(72)을 구비하고, 헤드 본체(74)의 내부에 노즐열(84)마다 다른 액상체 공통 유로를 갖고 있다. 따라서, 액상체 공통 유로의 차이에 의한 노즐열(84)마다의 액적의 토출량의 변동을 고려했다. 따라서, 한 쪽의 노즐열(84)로부터 계측용으로 액상체의 토출을 행하여 제 1 액적 받이부(94)의 중량을 계측하고, 측정 결과를 제어부(122)의 RAM(143)에 기억시킨다. 그 후에, 다른 쪽 노즐열(84)로부터 계측용으로 액상체의 토출을 행하여 중량을 계측하고, 마찬가지로 측정 결과를 RAM(143)에 기억시킨다. 또한, 상기 토출 수는 노즐 수 180과 토출 횟수를 곱한 것이다.
또한, 계측 공정에서는, 측정 대상 이외의 액적 토출 헤드(62)에서도 제 2 액적 받이부(92)를 향하여 동시에 액적을 토출했다. 이에 따라, 사전에 액적의 토 출 상태를 안정화시켜 두어 중량 측정에 임할 수 있다. 이상의 동작은, 캐리지 유닛(21)에 탑재된 모든 액적 토출 헤드(62)에 대응하여 반복된다.
이 경우, 도 5에 나타낸 바와 같이, 중량 측정 기구(91)에는, 각 캐리지 유닛(21)에 대응하여 각각 2개의 제 1 액적 받이부(94)가 배열 설치되어 있다. 따라서, 2연의 노즐열(84)에 대응하여 적어도 12회의 중량 측정을 행한다. 제어부(122)는 복수의 캐리지 유닛(21)과 중량 측정 기구(91)를 상대 이동시킴으로써, 측정 대상의 액적 토출 헤드(62)를 선택하여 제 1 액적 받이부(94)와 대향시켜서 액적을 토출시킨다. 또한, 이 때, 토출된 액적이 제 1 액적 받이부(94) 이외로 비산되지 않도록, 각 캐리지 유닛(21)(도면 중에서는 캐리지 유닛(CA1∼CA7)으로서 나타냄)의 헤드 Z축 테이블(68)을 구동하여 액적 토출 헤드(62)의 노즐면(82a)과 흡수체(96)의 상면의 간격이 대략 0.5mm∼1.0mm가 되도록 조정하는 것이 바람직하다. 그리고, 스텝 S3으로 진행한다.
도 9의 스텝 S3은 판정 공정이다. 스텝 S3에서는, 계측 공정에서 얻어진 각 액적 토출 헤드(62)의 노즐열(84)마다 토출된 액상체의 중량과, 당해 노즐열(84)로부터 토출하고자 하는 원하는 액상체의 중량을 비교하여, 그 차가 소정의 범위 내에 들어있는지의 여부를 판정한다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 1개의 노즐열(84)에는, 노즐(85)이 180개 배열되어 있고, 이 중 몇 개가 막힘 등으로 토출되지 않거나, 액적의 토출량이 변동되고 있거나 하면, 결과적으로 실제의 토출 묘화시를 반영한 적정한 액상체의 중량을 계측할 수 없다. 따라서, 소정의 범위를 벗어난 경우에는, 스텝 S4의 메인터넌스 공정으로 진행하여, 각 액적 토출 헤드(62)의 메인 터넌스를 행한다. 구체적으로는, 제어부(122)는 Y축 테이블(23)을 구동하여 각 캐리지 유닛(21)을 메인터넌스 영역(32)으로 이동시키고, 흡인 유닛(111), 와이핑 유닛(112)을 가동하여 헤드 유닛(61)에 탑재된 각 액적 토출 헤드(62)의 토출 기능을 회복시킨다.
스텝 S4의 메인터넌스 공정이 종료되면, 다시 스텝 S1∼스텝 S3을 행한다. 스텝 S3의 판정 공정에서 문제가 없으면, 스텝 S5로 진행한다.
도 9의 스텝 S5는 조정 공정이다. 스텝 S5에서는, 우선, 계측하여 얻어진 각 액적 토출 헤드(62)의 노즐열(84)마다 유효로 한 액상체의 중량을 토출 수로 나누어, 1토출당 액적의 토출량을 산출한다. 또한, 이러한 연산은 CPU(141)가 RAM(143)에 기억된 측정 결과를 기초로 실행한다. 그리고, 이 액상체의 중량 정보(1토출당 액적의 토출량)를 기초로, 액적 토출 헤드(62)마다 토출되는 액적의 토출량을 조정한다. 조정 방법으로서는, 액적 토출 헤드(62)의 압전 소자에 인가되는 구동 파형에서, 실효적인 구동 전압을 변화시키는 방법을 들 수 있다. 또한, 구동 파형에서의 급준성(急峻性)을 변화시키는 방법으로도 액적의 토출량을 변화시키는 것이 가능하다. 이 경우, 3색의 다른 액상체마다 액적의 토출량이 원하는 값이 되도록 액적 토출 헤드(62)마다, 또한 노즐열(84)마다 구동 전압의 조정을 실시했다. 또한, 각 액적 토출 헤드(62)에서, 상기 액적의 토출량이 거의 원하는 값이면, 당연히 구동 전압의 조정을 행하지 않아도 좋다. 그리고, 스텝 S6으로 진행한다.
도 9의 스텝 S6은, 기판(W)의 착색 영역(A)에 액상체를 액적으로서 토출 묘 화하는 토출 공정이다. 스텝 S6에서는, 기판(W)과 복수의 캐리지 유닛(21)을 대향 배치하여 상대 이동시키는 동안에, 복수의 액적 토출 헤드(62)로부터 액상체를 액적으로서 토출한다. 조정 공정에서, 액적의 토출량이 액적 토출 헤드(62)마다 또한 노즐열(84)마다 조정되어 있으므로, 적정한 양의 액상체를 색마다 착색 영역(A)에 부여하는 것이 가능하다.
다음에, 토출 묘화된 액상체를 고화(固化)시키는 고화 공정을 거침으로써, 3색의 컬러 필터(505R, 505G, 505B)를 형성한다. 착색층 형성 재료를 포함하는 액상체를 고화시키는 방법으로서는, 액상체 중의 용매 성분을 균일하게 건조시키는 것이 가능한 감압 건조 방법을 사용하는 것이 바람직하다.
본 실시예의 컬러 필터의 제조 방법은, 상기 액상체의 토출 방법을 이용하고 있으므로, 각 액적 토출 헤드(62)로부터 토출되는 액상체의 중량이, 복수의 캐리지 유닛(21)이 묘화 영역(31)에 배열된 상태로 적정하게 측정된다. 그리고, 기판(W)의 착색 영역(A)에 토출되는 액적의 토출량이 3색의 액상체마다 적정한 양이 되도록 미리 액적 토출 헤드(62)의 노즐열(84)마다 조정되어 있다. 따라서, 착색 영역(A)에 필요한 양의 액적이 안정되게 부여된다. 부여된 액상체를 건조하여 고화시키면, 착색 영역(A)에 원하는 막 두께를 갖는 RGB 3색의 착색층을 형성할 수 있다. 이와 같이 하여 제조된 컬러 필터(505)를 구비하는 액정 표시 장치(500)는 원하는 광학 특성이 실현된 높은 표시 품질을 갖고 있다.
이상, 본 발명의 실시예에 관하여 설명했지만, 상기 실시예에 대해서는, 본 발명의 취지로부터 일탈하지 않는 범위에서 여러가지 변형을 가할 수 있다. 예를 들면, 상기 실시예 이외의 변형예는 이하와 같다.
(변형예 1) 상기 실시예의 액적 토출 장치(1)에서, 복수의 캐리지 유닛(21)의 배치는 이것에 한정되지 않는다. 도 10은 변형예의 캐리지 유닛 및 중량 측정 기구의 배치를 나타낸 개략도이다. 예를 들면, 도 10에 나타낸 바와 같이, 복수의 캐리지 유닛(21)을 Y축 방향으로 지그재그 형상으로 배치하고, 이것에 대응하도록 전자 천칭(95), 제 2 액적 받이부(92) 등이 배치된 중량 측정 기구(91)로 해도 좋다. 이것에 의하면, 캐리지 유닛(21)이 Y축 방향으로 인접하지 않기 때문에, 캐리지 유닛(21)간의 방열(放熱) 등에 의한 액상체의 토출에 대한 영향을 저감하여 중량 측정 및 실제의 토출 묘화를 행할 수 있다.
(변형예 2) 상기 실시예의 액적 토출 장치(1)에서, 헤드 유닛(61)에 탑재되는 복수의 액적 토출 헤드(62)의 배치는 이것에 한정되지 않는다. 액적 토출 장치(1)는 중량 측정 기구(91)를 독립하여 X축 방향으로 이동 가능한 X축 테이블(22)과, 캐리지 유닛(21)을 독립하여 Y축 방향으로 이동 가능한 Y축 테이블(23)을 구비하고 있다. 따라서, 헤드 유닛(61)에 대해서 적어도 노즐열(84)이 Y축 방향과 평행하도록 복수의 액적 토출 헤드(62)가 배치되어 있으면, 측정 대상의 액적 토출 헤드(62)와 제 1 액적 받이부(94)를 대향 배치시켜서 중량을 측정할 수 있다.
(변형예 3) 상기 실시예의 액적 토출 장치(1)의 중량 측정 기구(91)에서, 중량 측정 장치로서의 전자 천칭(95)의 수는 14개에 한정되지 않는다. 예를 들면, 전자 천칭(95)을 각 헤드 유닛(61)의 한 쪽의 헤드군(62L)에 대응하여 Y축 방향으로 반수인 7개 배열시켜도 좋다. 다른 쪽의 헤드군(62R)에 포함되는 액적 토출 헤 드(62)를 측정 대상으로 하는 경우에는, 각 캐리지 유닛(21)을 Y축 방향으로 이동하면 된다. 이와 같이 하면, 측정 회수가 증가하지만, 장치의 구성을 간략화하는 것이 가능하다.
(변형예 4) 상기 실시예의 액상체의 토출 방법에서, 판정 공정과 메인터넌스 공정은 필수가 아니다. 예를 들면, 이들 공정을 삭제해도, 효과를 기대할 수 있다.
(변형예 5) 상기 컬러 필터의 제조 방법에서, 3색의 착색층의 배치는 스트라이프 방식에 한정되지 않는다. 예를 들면, 모자이크 방식, 델타 방식의 배치에서도 대응이 가능하다. 또한, 착색층은 3색에 한정되지 않는다. 예를 들면, R(적), G(녹), B(청)의 3색에 다른 색을 추가한 다색(多色)으로 해도 좋다.
(변형예 6) 상기 실시예의 액상체의 토출 방법이 적용 가능한 디바이스의 제조 방법은, 컬러 필터의 제조 방법에 한정되지 않는다. 예를 들면, 액정 표시 장치(500)에서, 액정을 배향시키는 배향막이나 액정 그 자체의 도포에도 적용할 수 있다. 게다가, 격벽부에 의해 구획 형성된 영역에 발광 재료를 포함하는 액상체를 도포하여 유기 EL 발광층을 형성하는 방법에도 적용할 수 있다.
도 1은 액적 토출 장치의 구조를 나타낸 개략 평면도.
도 2는 액적 토출 장치의 구조를 나타낸 개략 측면도.
도 3의 (a)는 액적 토출 헤드를 나타낸 개략 사시도, (b)는 노즐 플레이트를 나타낸 개략 평면도.
도 4는 헤드 유닛에서의 액적 토출 헤드의 배치를 나타낸 개략 평면도.
도 5의 (a)는 중량 측정 기구를 나타낸 개략 측면도, (b)는 개략 평면도.
도 6은 액적 토출 장치의 제어계를 나타낸 블록도.
도 7은 액정 표시 장치의 구조를 나타낸 개략 분해 사시도.
도 8은 컬러 필터의 제조 방법을 나타낸 개략도.
도 9는 액상체의 토출 방법을 나타낸 플로차트.
도 10은 변형예의 캐리지 유닛 및 중량 측정 기구의 배치를 나타낸 개략도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 액적 토출 장치
21 : 캐리지로서의 캐리지 유닛
22 : 주주사 이동 기구로서의 X축 테이블
31 : 묘화 영역
33 : 중량 측정 영역
62 : 토출 헤드로서의 액적 토출 헤드
92 : 제 2 액적 받이부
94 : 제 1 액적 받이부
95 : 중량 측정 장치로서의 전자 천칭
505R, 505G, 505B : 컬러 필터
A : 착색 영역
W : 워크로서의 기판
Claims (12)
- 워크와 토출 헤드를 대향시켜서 상대 이동시키는 주주사(主走査)에 따라, 상기 워크 위에 상기 토출 헤드로부터 액상체를 액적으로서 토출 묘화(描畵)하는 액적 토출 장치로서,상기 토출 헤드가 탑재되고, 각각 독립하여 이동 가능한 복수의 캐리지와,상기 토출 헤드마다 토출된 액상체의 중량을 측정하는 중량 측정 기구와,상기 중량 측정 기구와 상기 워크를 각각 독립하여 상기 주주사의 방향으로 이동시키는 주주사 이동 기구를 구비하고,상기 중량 측정 기구는 토출 묘화하는 상기 복수의 캐리지의 배열 상태로 중량 측정 가능하게 배열 설치된 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 중량 측정 기구에는, 상기 복수의 캐리지에 대응하여 적어도 동일 수의 중량 측정 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 중량 측정 기구에는, 상기 복수의 캐리지마다 설치되어 적어도 1개의 상기 토출 헤드로부터 토출되는 상기 액적을 받을 수 있는 제 1 액적 받이부와,상기 복수의 캐리지에 탑재된 상기 토출 헤드의 배치에 대응하여, 상기 제 1 액적 받이부를 둘러싸도록 설치된 제 2 액적 받이부를 구비한 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 각각 독립하여 이동 가능한 복수의 캐리지에 탑재된 토출 헤드로부터 액상체를 워크에 대해서 토출 묘화하는 액상체의 토출 방법으로서,상기 복수의 캐리지를 중량 측정 영역에 배치하는 배치 공정과,상기 복수의 캐리지에 탑재된 각 토출 헤드로부터 상기 액상체를 액적으로서 토출하고, 상기 각 토출 헤드마다 토출된 상기 액상체의 중량을 계측하는 계측 공정과,상기 계측 공정에서 얻어진 상기 액상체의 중량 정보를 기초로, 상기 각 토출 헤드로부터 토출되는 상기 액적의 토출량을 조정하는 조정 공정과,상기 워크의 원하는 영역에 상기 각 토출 헤드로부터 상기 액적을 토출 묘화하는 토출 공정을 구비하고,상기 배치 공정에서는 상기 복수의 캐리지를 토출 묘화하는 배열 상태로 배치하는 것을 특징으로 하는 액상체의 토출 방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 계측 공정에서는, 계측 가능해지는 토출 수를 설정하여 상기 액적을 토출하는 것을 특징으로 하는 액상체의 토출 방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 계측 공정에서 얻어진 상기 각 토출 헤드마다 토출된 상기 액상체의 중량과, 상기 토출 헤드로부터 토출하고자 하는 원하는 액상체의 중량을 비교하여, 적정(適正)하게 상기 액상체가 토출되었는지의 여부를 판정하는 판정 공정을 더 구비하고,상기 판정 공정에서 부(否)로 되었을 경우에는, 상기 각 토출 헤드의 메인터넌스를 하는 메인터넌스 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 액상체의 토출 방법.
- 제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 계측 공정에서는, 복수의 상기 토출 헤드 중 측정 대상 이외의 상기 토출 헤드로부터도 상기 액적을 토출하는 것을 특징으로 하는 액상체의 토출 방법.
- 기판 위에 구획 형성된 복수의 착색 영역에 적어도 3색의 착색층을 갖는 컬러 필터의 제조 방법으로서,제 8 항에 기재된 액상체의 토출 방법을 이용하여, 적어도 3색의 착색층 형성 재료를 포함하는 액상체를 상기 복수의 착색 영역에 토출 묘화하는 묘화 공정 과,토출 묘화된 상기 액상체를 고화(固化)하여, 상기 적어도 3색의 착색층을 형성하는 고화 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006288370A JP2008104916A (ja) | 2006-10-24 | 2006-10-24 | 液滴吐出装置、重量測定方法、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法 |
| JPJP-P-2006-00288370 | 2006-10-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20080036928A KR20080036928A (ko) | 2008-04-29 |
| KR100912642B1 true KR100912642B1 (ko) | 2009-08-17 |
Family
ID=39317485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020070106034A KR100912642B1 (ko) | 2006-10-24 | 2007-10-22 | 액적 토출 장치, 액상체의 토출 방법, 컬러 필터의 제조 방법 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8002379B2 (ko) |
| JP (1) | JP2008104916A (ko) |
| KR (1) | KR100912642B1 (ko) |
| CN (1) | CN101168324B (ko) |
| TW (1) | TW200835607A (ko) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101243338B1 (ko) * | 2010-10-29 | 2013-03-13 | 한국항공대학교산학협력단 | 분사 장치의 액적 분산도 평가를 위한 분무 질량 플럭스 측정 장치 및 그 측정 방법 |
| EP2474404B1 (en) * | 2011-01-06 | 2014-12-03 | LUXeXcel Holding B.V. | Print head, upgrade kit for a conventional inkjet printer, printer and method for printing optical structures |
| TWI775523B (zh) * | 2014-09-02 | 2022-08-21 | 美商凱特伊夫公司 | 用於測量參數的系統和方法 |
| US11229923B2 (en) * | 2016-09-30 | 2022-01-25 | Musashi Engineering, Inc. | Working apparatus and working method |
| JP7387262B2 (ja) | 2018-07-31 | 2023-11-28 | ローランドディー．ジー．株式会社 | インクジェットヘッドのクリーニングユニットおよびクリーニングシステム |
| CN112924152B (zh) * | 2021-02-10 | 2022-07-19 | 温州职业技术学院 | 微滴管测试装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11248927A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-17 | Seiko Epson Corp | フィルター製造装置とフィルター製造装置におけるインク重量測定方法 |
| JP2004209429A (ja) | 2003-01-07 | 2004-07-29 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出システム、液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法、液滴吐出ヘッドの吐出量適正化方法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
| JP2005254797A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-09-22 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
| JP2006167544A (ja) | 2004-12-14 | 2006-06-29 | Seiko Epson Corp | 機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法、機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法、機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5574485A (en) | 1994-10-13 | 1996-11-12 | Xerox Corporation | Ultrasonic liquid wiper for ink jet printhead maintenance |
| JP4378950B2 (ja) * | 2002-12-24 | 2009-12-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 |
| JP2006076067A (ja) * | 2004-09-08 | 2006-03-23 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 |
| JP4639751B2 (ja) | 2004-10-21 | 2011-02-23 | セイコーエプソン株式会社 | 機能液供給装置、これに用いられる機能液タンクおよび機能液補充ユニット、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法 |
| JP2006220539A (ja) | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出量測定方法、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐出量測定装置および描画装置 |
-
2006
- 2006-10-24 JP JP2006288370A patent/JP2008104916A/ja not_active Withdrawn
-
2007
- 2007-10-15 US US11/872,327 patent/US8002379B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-10-19 TW TW096139103A patent/TW200835607A/zh unknown
- 2007-10-22 KR KR1020070106034A patent/KR100912642B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-10-24 CN CN2007101817043A patent/CN101168324B/zh active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11248927A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-17 | Seiko Epson Corp | フィルター製造装置とフィルター製造装置におけるインク重量測定方法 |
| JP2004209429A (ja) | 2003-01-07 | 2004-07-29 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出システム、液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法、液滴吐出ヘッドの吐出量適正化方法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
| JP2005254797A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-09-22 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
| JP2006167544A (ja) | 2004-12-14 | 2006-06-29 | Seiko Epson Corp | 機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法、機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法、機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101168324A (zh) | 2008-04-30 |
| KR20080036928A (ko) | 2008-04-29 |
| TW200835607A (en) | 2008-09-01 |
| CN101168324B (zh) | 2012-10-31 |
| US8002379B2 (en) | 2011-08-23 |
| US20080094440A1 (en) | 2008-04-24 |
| JP2008104916A (ja) | 2008-05-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100912642B1 (ko) | 액적 토출 장치, 액상체의 토출 방법, 컬러 필터의 제조 방법 | |
| JP4962413B2 (ja) | 液状体吐出装置、及び液状体吐出方法 | |
| US8366232B2 (en) | Method of measuring landed dot, measuring apparatus for landed dot, liquid droplet ejection apparatus, method of manufacturing electro-optic apparatus, electro-optic apparatus, and electronic apparatus | |
| JP4609472B2 (ja) | 液滴吐出装置およびその製造方法 | |
| US20090102876A1 (en) | Droplet jet inspecting device, droplet jetting applicator and method for manufacturing coated body | |
| KR100897877B1 (ko) | 액적 토출 장치 및 전기 광학 장치의 제조 방법 | |
| JP2005119139A (ja) | 機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法およびその装置、機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
| JP2006159116A (ja) | ワークギャップ調整方法、ワークギャップ調整装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
| TWI413808B (zh) | 母基材、膜形成區域之配設方法及彩色濾光器的製造方法 | |
| JP2010101933A (ja) | 電気光学装置の製造方法、及び電気光学装置の製造装置 | |
| KR100976286B1 (ko) | 토출량 측정 방법, 토출량 조정 방법, 액상체의 토출 방법,컬러 필터의 제조 방법, 액정 표시 장치의 제조 방법, 및전기 광학 장치의 제조 방법 | |
| JP5115400B2 (ja) | 液状体吐出方法、及び液状体吐出装置 | |
| US8071169B2 (en) | Droplet discharge method, electro-optical device, and electronic device | |
| JP2008149258A (ja) | 液滴吐出方法、重量測定方法、液滴吐出装置 | |
| JP2008093570A (ja) | 重量測定方法、液状体の吐出方法 | |
| KR101759132B1 (ko) | 도포장치 및 도포방법 | |
| JP2009233573A (ja) | ヘッドユニット、吐出装置、及び吐出方法 | |
| JP2007007544A (ja) | 液滴吐出方法、液滴吐出装置、電気光学装置及び電子機器 | |
| JP2009288278A (ja) | 液状体吐出装置、液状体吐出方法、電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法、電子機器の製造装置、及び電子機器の製造方法 | |
| JP2010266636A (ja) | カラーフィルタ基板の製造方法及びカラーフィルタの製造方法並びにカラーフィルタ基板 | |
| JP2010264411A (ja) | 吐出装置 | |
| JP2009112972A (ja) | 膜形成方法、膜形成装置、液晶装置の製造方法、及び液晶装置の製造装置 | |
| JP2009139613A (ja) | 液滴吐出装置、液滴吐出装置の制御方法、電気光学装置の製造装置、及び電気光学装置の製造方法 | |
| JP2010210853A (ja) | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法 | |
| JP2009136720A (ja) | 液状体の吐出方法、液滴吐出装置およびカラーフィルタの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120724 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130722 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |