JP2009139613A - 液滴吐出装置、液滴吐出装置の制御方法、電気光学装置の製造装置、及び電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】境界を挟んだ、描画分解能が互いに異なる被吐出領域のそれぞれに向けて、それぞれの被吐出領域の描画分解能に対応した吐出分解能で、個別に吐出を実施することで吐出作業に要する時間が増大することを抑制する、液滴吐出装置、液滴吐出装置の制御方法、電気光学装置の製造装置、及び電気光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は、液状体を適切な間隔で配置するための主走査方向の吐出分解能が、第一の吐出分解能である第一の被吐出領域と、第一の吐出分解能とは異なる第二の被吐出領域と、を有し、第一の被吐出領域と第二の被吐出領域とが、副走査方向において隣り合って位置する組を有する基材の第一及び第二の被吐出領域に、液状体を配置する液滴吐出装置であって、液状体を吐出する複数の吐出ヘッドからなるヘッド群と、吐出ヘッドとは主走査方向において異なる位置に設けられた補完ヘッドを備える補完ヘッド群と、を備える。
【選択図】図１５

Description

本発明は、液状体を吐出する吐出ノズルを有する複数の吐出ヘッドを備える液滴吐出装置、及び液滴吐出装置の制御方法、並びに電気光学装置の機能膜を構成する材料を含む機能液を吐出する吐出ノズルを有する複数の吐出ヘッドを備える電気光学装置の製造装置、及び当該製造装置を用いる電気光学装置の製造方法に関する。

従来から、液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドを備え、液状体を吐出して描画対象物上の任意の位置に塗布することによって、描画対象物の任意の位置に液状体を配置する液滴吐出装置が知られている。中でも、液状体を液滴として吐出する液滴吐出装置を用いることによって、吐出した液滴を描画対象物上の任意の位置に着弾させて、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などのような機能膜の材料を含む液状体を、任意の位置に任意の量だけ、精度良く塗布することが可能である。塗布された液状体を乾燥させることによって、任意の厚さ及び形状の機能膜を形成することができる。

大面積に効率良く液状体を配置するために、多数の吐出ノズルを副走査方向に並べ、副走査方向と交差する主走査方向において、吐出ノズルと描画対象物を相対移動させながら吐出ノズルから液状体を吐出する。多数の吐出ノズルを有する吐出ヘッドとしては、特許文献１に記載されているように、多数の吐出ヘッドを副走査方向に連ねたものが知られている。

液滴の着弾位置間の距離の最小値（以降、「描画分解能」と表記する。）が小さいほど細密な描画が可能となる。
特許文献１に記載されているインクジェットラインヘッドは、吐出ヘッドを主走査方向に並べて配置することで、副走査方向の吐出ノズルの密度を高くしている。即ち、副走査方向の吐出ノズルの間隔を小さくして、吐出される液状体の間隔（以降、「描画分解能」と表記する。）を小さくすることによって、副走査方向の描画分解能が高いラインヘッドを実現している。
主走査方向の描画分解能は、主走査方向の吐出ノズルと描画対象物との相対移動速度と、液状体を吐出する吐出周波数と、で定まる吐出間隔（以降、「吐出分解能」と表記する。）によって定まる。特許文献２には、吐出分解能を調節することによって、描画対象物の被描画領域に対して適切な描画分解能を実現できる液滴吐出方法が開示されている。特許文献２に開示された液滴吐出方法では、吐出ヘッドが有する吐出ノズルの吐出分解能を一括して調整することによって、各吐出ノズルごとに個別に調整する方法に比べて、吐出ヘッドの吐出分解能を制御する制御装置の負荷が軽減されている。

特開平１０−１６６５７４号公報 特開２００６−１３０４６９号公報

しかしながら、描画対象物のそれぞれの被描画領域における適切な描画分解能が必ずしも一様ではない描画対象物が存在する。例えば、マザー基板に複数の基板を形成する場合であって、マザー基板を効率良く利用するために、異なる基板を同一のマザー基板に形成する場合である。そのような描画対象物においては、被描画領域の適切な描画分解能に合わせて、吐出分解能を変更する必要がある。
副走査方向においては、吐出ヘッドごとに、主走査方向の吐出分解能を個別に設定することが可能である。しかし、副走査方向における、吐出ヘッドの境界と、適切な描画分解能が互いに異なる被描画領域の境界とは、必ずしも合致しないため、同一の吐出分解能で吐出する吐出ノズルを有する一つの吐出ヘッドが、適切な描画分解能が互いに異なる被描画領域の境界を跨いで、両方の被描画領域の部分に対向する場合がある。このような場合、吐出ヘッドが有する吐出ノズルの吐出分解能は同一であるため、両方の被吐出領域に並行して、それぞれの被吐出領域に描画するために適切な描画分解能を実現できる吐出分解能で液状体を吐出することはできないという課題があった。境界を挟んだ被吐出領域の部分のそれぞれに向けて、それぞれの被吐出領域に対応した吐出分解能で、個別に吐出を実施すると、吐出作業に要する時間が増大するという課題があった。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出装置は、複数の吐出ノズルを有し、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルが主走査方向と交差する副走査方向に配列された１以上のノズル列を有し、前記吐出ノズルから液状体を吐出する複数の吐出ヘッドを備え、それぞれの前記吐出ノズルから前記液状体を吐出すると共に、前記複数の吐出ヘッドと基材とを前記主走査方向に相対移動させることによって、前記液状体を適切な間隔で配置するための前記吐出ノズルにおける前記主走査方向の吐出分解能が、第一の吐出分解能である第一の被吐出領域と、前記主走査方向の吐出分解能が、前記第一の吐出分解能とは異なる第二の吐出分解能である第二の被吐出領域と、をそれぞれ１以上有する前記基材であって、前記第一の被吐出領域と前記第二の被吐出領域とが、前記副走査方向において隣り合って位置する組を少なくとも１以上有する前記基材の前記第一の被吐出領域及び前記第二の被吐出領域に、前記液状体を配置する液滴吐出装置であって、前記複数の吐出ヘッドから成り、前記複数の吐出ヘッドのそれぞれの吐出ヘッドが有する前記吐出ノズルの前記副走査方向における位置が互いに異なるような位置に、それぞれの前記吐出ヘッドが配置されて構成されているヘッド群と、前記液状体を吐出する複数の第一の吐出ノズルが前記副走査方向に配列された第一のノズル列を有し、前記吐出ヘッドとは前記主走査方向において異なる位置に設けられた１以上の補完ヘッドを備える１以上の補完ヘッド群と、前記補完ヘッド群を、前記ヘッド群に対して前記副走査方向に相対移動可能に支持している補完ヘッド移動装置と、を備えることを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、補完ヘッド移動装置によって、補完ヘッド群の補完ヘッドを、副走査方向の任意の位置に位置させることができる。補完ヘッドは、ヘッド群の吐出ヘッドとは別のヘッドであるため、吐出ヘッドとは異なる吐出分解能で液状体を吐出させることができる。補完ヘッドと、ヘッド群の吐出ヘッドとは主走査方向において異なる位置に設けられており、副走査方向の位置が重なり合うように、主走査方向に並べることができる。このため、補完ヘッドの吐出分解能と、吐出ヘッドの吐出分解能とを変えることで、１回の主走査において、基材における補完ヘッドが対向する部分には、補完ヘッドの吐出分解能又は吐出ヘッドの吐出分解能で液状体を吐出して配置することができる。
例えば、補完ヘッドを第一の被吐出領域と第二の被吐出領域との境界部分を含む領域に対向させて、第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域の一方に、補完ヘッドから液状体を吐出し、他方に、吐出ヘッドから液状体を吐出することで、１回の主走査方向の相対移動において、第一の被吐出領域及び第二の被吐出領域に向けて、それぞれの領域における適切な吐出分解能で液状体を吐出することができる。

［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記補完ヘッド移動装置を制御して、前記補完ヘッドを前記副走査方向に移動させると共に位置決めさせる補完ヘッド位置制御ユニットと、前記ヘッド群及び前記補完ヘッド群の前記液状体の吐出を制御する吐出制御ユニットと、をさらに備え、前記補完ヘッド位置制御ユニットは、前記補完ヘッド移動装置を制御して、前記第一の被吐出領域と前記第二の被吐出領域との境界を跨いで、前記第一の被吐出領域の部分及び前記第二の被吐出領域の部分の両方に対向可能な前記吐出ヘッドである境界ヘッドが対向可能な、前記第一の被吐出領域の部分又は前記第二の被吐出領域の部分である第一の端領域又は第二の端領域の少なくとも一方に、前記液状体を配置可能な位置に、前記補完ヘッドの前記副走査方向の位置を、位置決めし、前記吐出制御ユニットは、前記境界ヘッドを、第一の吐出分解能又は第二の吐出分解能で駆動させて、当該吐出分解能で吐出するべき前記第一の端領域又は前記第二の端領域に向けて前記液状体を吐出させ、前記補完ヘッドを、前記境界ヘッドとは異なる、第一の分解能又は第二の分解能で駆動させて、当該分解能で吐出するべき領域であって、前記境界ヘッドとは異なる、前記第一の端領域又は前記第二の端領域に向けて前記液状体を吐出させることが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、補完ヘッド位置制御ユニットが、補完ヘッドの副走査方向の位置を、第一の端領域又は第二の端領域の少なくとも一方に、液状体を配置可能な位置に位置決めするため、補完ヘッドは、第一の端領域又は第二の端領域の少なくとも一方に向けて液状体を吐出することができる。
吐出制御ユニットは、境界ヘッドを、第一の吐出分解能又は第二の吐出分解能で駆動させて、第一の端領域又は第二の端領域に向けて液状体を吐出させ、補完ヘッドを、境界ヘッドとは異なる、第一の分解能又は第二の分解能で駆動させて、当該分解能で吐出するべき領域であって、境界ヘッドとは異なる、第一の端領域又は第二の端領域に向けて液状体を吐出させる。これにより、境界ヘッド及び補完ヘッドを用いて、１回の主走査方向の相対移動において、第一の端領域及び第二の端領域に向けて、それぞれの領域における適切な吐出分解能で液状体を吐出させることができる。

［適用例３］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記ヘッド群は、第一の液状体を吐出する複数の第一の吐出ヘッドと、前記第一の液状体とは異なる第二の液状体を吐出する複数の第二の吐出ヘッドと、を含み前記補完ヘッド群は、前記第一の液状体を吐出する第一の補完ヘッドと、前記第二の液状体を吐出する第二の補完ヘッドと、を備え、前記補完ヘッド位置制御ユニットは、前記境界ヘッドが、前記複数の第一の吐出ヘッドに含まれる第一の吐出ヘッドである場合は、前記第一の補完ヘッドを、前記第一の端領域又は前記第二の端領域の少なくとも一方に前記第一の液状体を配置可能な位置に位置決めし、前記境界ヘッドが、前記複数の第二の吐出ヘッドに含まれる第二の吐出ヘッドである場合は、前記第二の補完ヘッドを、前記第一の端領域又は前記第二の端領域の少なくとも一方に前記第二の液状体を配置可能な位置に位置決めすることが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、複数種類の互いに異なる液状体のそれぞれについて、１回の主走査方向の相対移動において、第一の端領域及び第二の端領域に向けて、それぞれの領域における適切な吐出分解能で吐出させることができる。

［適用例４］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記第一の補完ヘッドと、前記第二の補完ヘッドとの相対位置は、前記複数の第一の吐出ヘッドの第一の吐出ヘッドと、当該第一の吐出ヘッドに最も近い位置にある前記複数の第二の吐出ヘッドの第二の吐出ヘッドとの相対位置と同じであることが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、第一の吐出ヘッドに対する第一の補完ヘッドの位置、又は第二の吐出ヘッドに対する第二の補完ヘッドの位置のいずれか一方を調整することで、もう一方の位置も同様に調整することができる。

［適用例５］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記補完ヘッドは、前記吐出ヘッドと構成及び機能が同一であることが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、補完ヘッドを吐出ヘッドと同じ仕様で駆動することができる。例えば、主走査方向の吐出位置を合わせて、吐出ヘッドと同じ駆動信号を供給することで、補完ヘッドに吐出ヘッドと同じ吐出を実施させることができる。これにより、補完ヘッドを別の仕様で駆動させる場合に比べて、補完ヘッドの制御のための負荷を小さくすることができる。

［適用例６］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記補完ヘッド位置制御ユニットは、前記補完ヘッド移動装置を制御して、前記補完ヘッドの前記副走査方向の位置を、前記境界ヘッドの前記副走査方向の位置と同じ位置に位置させることが好ましい。

この液滴吐出装置によれば、補完ヘッドと吐出ヘッドとは、主走査方向の位置のみが異なる。このため、吐出ヘッドに供給する信号を、主走査方向の位置の差のみを考慮した変換を加えて、補完ヘッドに供給することで、補完ヘッドに吐出ヘッドと同じ吐出を実施させることができる。これにより、補完ヘッドを別の信号で駆動させる場合に比べて、補完ヘッドの制御のための負荷を小さくすることができる。

［適用例７］本適用例にかかる液滴吐出装置の制御方法は、複数の吐出ノズルを有し、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルが主走査方向と交差する副走査方向に配列された１以上のノズル列を有し、前記吐出ノズルから液状体を吐出する複数の吐出ヘッドを備え、それぞれの前記吐出ノズルから前記液状体を吐出すると共に、前記複数の吐出ヘッドと基材とを前記主走査方向に相対移動させることによって前記基材上に前記液状体を配置する液滴吐出装置を用いて、前記液状体を適切な間隔で配置するための前記吐出ノズルにおける前記主走査方向の吐出分解能が、第一の吐出分解能である第一の被吐出領域と、前記主走査方向の吐出分解能が、前記第一の被吐出領域とは異なる第二の吐出分解能である第二の被吐出領域と、をそれぞれ１以上有する前記基材であって、前記第一の被吐出領域と前記第二の被吐出領域とが、前記液滴吐出装置の前記副走査方向において隣り合って位置する組を少なくとも１以上有する前記基材の前記第一の被吐出領域及び前記第二の被吐出領域に、前記液状体を配置する液滴吐出装置の制御方法であって、前記液状体を吐出する複数の第一の吐出ノズルが前記副走査方向に配列された第一のノズル列を有し、前記吐出ヘッドとは前記主走査方向において異なる位置に設けられた１以上の補完ヘッドを用いて、前記第一の被吐出領域の前記第二の被吐出領域側の端を含む前記第一の被吐出領域の部分、又は前記第二の被吐出領域の前記第一の被吐出領域側の端を含む前記第二の被吐出領域の部分のいずれか一方に向けて、前記液状体を吐出する補完吐出工程、を有することを特徴とする。

この液滴吐出装置の制御方法によれば、補完ヘッドは、ヘッド群の吐出ヘッドとは別のヘッドであるため、補完吐出工程では、吐出ヘッドとは異なる吐出分解能で液状体を吐出させることができる。補完ヘッドと、ヘッド群の吐出ヘッドとは主走査方向において異なる位置に設けられており、副走査方向の位置が重なり合うように、主走査方向に並べることができる。このため、補完ヘッドの吐出分解能と、吐出ヘッドの吐出分解能とを変えて、吐出ヘッドからの吐出と略並行して補完吐出工程を実施することで、１回の主走査において、基材における補完ヘッドが対向する部分には、補完ヘッドの吐出分解能又は吐出ヘッドの吐出分解能で液状体を吐出して配置することができる。
例えば、補完ヘッドを第一の被吐出領域と第二の被吐出領域との境界部分を含む領域に対向させて、第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域の一方に、補完ヘッドから液状体を吐出し、他方に、吐出ヘッドから液状体を吐出することで、１回の主走査方向の相対移動において、第一の被吐出領域及び第二の被吐出領域に向けて、それぞれの領域における適切な吐出分解能で液状体を吐出することができる。

［適用例８］上記適用例にかかる液滴吐出装置の制御方法において、前記補完吐出工程は、前記第一の被吐出領域と前記第二の被吐出領域との境界を跨いで、前記第一の被吐出領域の部分及び前記第二の被吐出領域の部分の両方に対向可能な前記吐出ヘッドである境界ヘッドが対向可能な、前記第一の被吐出領域の部分である第一の端領域又は前記第二の被吐出領域の部分である第二の端領域の一方を、前記境界ヘッドから前記液状体を吐出することによって前記液状体を配置する境界ヘッド領域に指定し、他方を、前記補完ヘッドから前記液状体を吐出することによって前記液状体を配置する補完ヘッド領域に指定する、ヘッド吐出領域指定工程と、前記補完ヘッドを前記副走査方向に移動させて位置決めすることによって、前記補完ヘッドの前記副走査方向の位置を、前記補完ヘッドから吐出された前記液状体を、少なくとも前記補完ヘッド領域に配置可能な位置に、位置決めする補完ヘッド位置決め工程と、前記境界ヘッドから前記境界ヘッド領域に向けての前記液状体の吐出に略並行して実施する、前記補完ヘッドから前記補完ヘッド領域に向けて前記液状体の吐出を実施する補完ヘッド吐出工程と、を有することが好ましい。

この液滴吐出装置の制御方法によれば、ヘッド吐出領域指定工程において、補完ヘッドから液状体を吐出するべき補完ヘッド領域が決定される。補完ヘッド位置決め工程において、補完ヘッドが、液状体を補完ヘッド領域に配置可能な位置に位置決めされる。これにより、境界ヘッド及び補完ヘッドを用いて、１回の主走査方向の相対移動において、第一の端領域及び第二の端領域に向けて、それぞれの領域における適切な吐出分解能で液状体を吐出させることができる。

［適用例９］上記適用例にかかる液滴吐出装置の制御方法において、前記複数の吐出ヘッドからなるヘッド群は、第一の液状体を吐出する複数の第一の吐出ヘッドと、前記第一の液状体とは異なる第二の液状体を吐出する複数の第二の吐出ヘッドと、を含み前記補完ヘッドを備える補完ヘッド群は、前記第一の液状体を吐出する第一の補完ヘッドと、前記第二の液状体を吐出する第二の補完ヘッドと、を備え、前記境界ヘッドが、前記ヘッド群に含まれる第一の吐出ヘッドである場合は、前記補完ヘッド位置決め工程において、前記第一の補完ヘッドを、前記第一の端領域又は前記第二の端領域の少なくとも一方に前記液状体を配置可能な位置に位置決めし、前記境界ヘッドが、前記ヘッド群に含まれる第二の吐出ヘッドである場合は、前記補完ヘッド位置決め工程において、前記第二の補完ヘッドを、前記第一の端領域又は前記第二の端領域の少なくとも一方に前記液状体を配置可能な位置に位置決めすることが好ましい。

この液滴吐出装置の制御方法によれば、数種類の互いに異なる液状体のそれぞれについて、１回の主走査方向の相対移動において、第一の端領域及び第二の端領域に向けて、それぞれの領域における適切な吐出分解能で吐出させることができる。

［適用例１０］上記適用例にかかる液滴吐出装置の制御方法において、前記補完ヘッドは、前記吐出ヘッドと構成及び機能が同一であることが好ましい。

この液滴吐出装置の制御方法によれば、補完ヘッドを吐出ヘッドと同じ仕様で駆動することができる。例えば、主走査方向の吐出位置を合わせて、吐出ヘッドと同じ駆動信号を供給することで、補完ヘッドに吐出ヘッドと同じ吐出を実施させることができる。これにより、補完ヘッドを別の仕様で駆動させる場合に比べて、補完ヘッドの制御のための負荷を小さくすることができる。

［適用例１１］上記適用例にかかる液滴吐出装置の制御方法において、前記補完ヘッドの前記副走査方向の位置を、前記境界ヘッドの前記副走査方向の位置と同じ位置に位置させることが好ましい。

この液滴吐出装置の制御方法によれば、補完ヘッドと吐出ヘッドとは、主走査方向の位置のみが異なる。このため、吐出ヘッドに供給する信号を、主走査方向の位置の差のみを考慮した変換を加えて、補完ヘッドに供給することで、補完ヘッドに吐出ヘッドと同じ吐出を実施させることができる。これにより、補完ヘッドを別の信号で駆動させる場合に比べて、補完ヘッドの制御のための負荷を小さくすることができる。

［適用例１２］本適用例にかかる電気光学装置の製造装置は、複数の吐出ノズルを有し、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルが主走査方向と交差する副走査方向に配列された１以上のノズル列を有し、前記吐出ノズルから液状体を吐出する複数の吐出ヘッドを備え、それぞれの前記吐出ノズルから電気光学装置を構成する機能膜の材料を含む機能液を吐出すると共に、前記複数の吐出ヘッドと前記電気光学装置を構成する複数の電気光学基板を区画形成するマザー電気光学基板とを前記主走査方向に相対移動させることによって、前記機能液を適切な間隔で配置するための前記吐出ノズルにおける前記主走査方向の吐出分解能が、第一の吐出分解能である第一の基板領域と、前記主走査方向の吐出分解能が、前記第一の基板領域とは異なる第二の吐出分解能である第二の基板領域と、をそれぞれ１以上有する前記マザー電気光学基板であって、前記第一の基板領域と前記第二の基板領域とが、前記副走査方向において隣り合って位置する組を少なくとも１以上有する前記マザー電気光学基板の前記第一の基板領域及び前記第二の基板領域に、前記機能液を配置する電気光学装置の製造装置であって、前記複数の吐出ヘッドから成り、前記複数の吐出ヘッドのそれぞれの吐出ヘッドが有する前記吐出ノズルの前記副走査方向における位置が互いに異なるような位置に、それぞれの前記吐出ヘッドが配置されて構成されているヘッド群と、前記機能液を吐出する複数の第一の吐出ノズルが前記副走査方向に配列された第一のノズル列を有し、前記吐出ヘッドとは前記主走査方向において異なる位置に設けられた１以上の補完ヘッドを備える１以上の補完ヘッド群と、前記補完ヘッド群を、前記ヘッド群に対して前記副走査方向に相対移動可能に支持する補完ヘッド移動装置と、を備えることを特徴とする。

この電気光学装置の製造装置によれば、補完ヘッド移動装置によって、補完ヘッド群の補完ヘッドを、副走査方向の任意の位置に位置させることができる。補完ヘッドは、ヘッド群の吐出ヘッドとは別のヘッドであるため、吐出ヘッドとは異なる吐出分解能で機能液を吐出させることができる。補完ヘッドと、ヘッド群の吐出ヘッドとは主走査方向において異なる位置に設けられており、副走査方向の位置が重なり合うように、主走査方向に並べることができる。このため、補完ヘッドの吐出分解能と、吐出ヘッドの吐出分解能とを変えることで、１回の主走査において、基材における補完ヘッドが対向する部分には、補完ヘッドの吐出分解能又は吐出ヘッドの吐出分解能で機能液を吐出して配置することができる。
例えば、補完ヘッドを第一の被吐出領域と第二の被吐出領域との境界部分を含む領域に対向させて、第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域の一方に、補完ヘッドから機能液を吐出し、他方に、吐出ヘッドから機能液を吐出することで、１回の主走査方向の相対移動において、第一の被吐出領域及び第二の被吐出領域に向けて、それぞれの領域における適切な吐出分解能で機能液を吐出することができる。

［適用例１３］上記適用例にかかる電気光学装置の製造装置において、前記補完ヘッド移動装置を制御して、前記補完ヘッドを前記副走査方向に移動させると共に位置決めさせる補完ヘッド位置制御ユニットと、前記ヘッド群及び前記補完ヘッド群の前記機能液の吐出を制御する吐出制御ユニットと、をさらに備え、前記補完ヘッド位置制御ユニットは、前記補完ヘッド移動装置を制御して、前記第一の基板領域と前記第二の基板領域との境界を跨いで、前記第一の基板領域の部分及び前記第二の基板領域の部分の両方に対向可能な前記吐出ヘッドである境界ヘッドが対向可能な、前記第一の基板領域の部分又は前記第二の基板領域の部分である第一の端領域又は第二の端領域の少なくとも一方に、前記機能液を配置可能な位置に、前記補完ヘッドの前記副走査方向の位置を、位置決めし、前記吐出制御ユニットは、前記境界ヘッドを、第一の吐出分解能又は第二の吐出分解能で駆動させて、当該吐出分解能で吐出するべき前記第一の端領域又は前記第二の端領域に向けて前記機能液を吐出させ、前記補完ヘッドを、前記境界ヘッドとは異なる、第一の分解能又は第二の分解能で駆動させて、当該分解能で吐出するべき領域であって、前記境界ヘッドとは異なる、前記第一の端領域又は前記第二の端領域に向けて前記機能液を吐出させることが好ましい。

この電気光学装置の製造装置によれば、補完ヘッド位置制御ユニットが、補完ヘッドの副走査方向の位置を、第一の端領域又は第二の端領域の少なくとも一方に、液状体を配置可能な位置に位置決めするため、補完ヘッドは、第一の端領域又は第二の端領域の少なくとも一方に向けて機能液を吐出することができる。
吐出制御ユニットは、境界ヘッドを、第一の吐出分解能又は第二の吐出分解能で駆動させて、第一の端領域又は第二の端領域に向けて機能液を吐出させ、補完ヘッドを、境界ヘッドとは異なる、第一の分解能又は第二の分解能で駆動させて、当該分解能で吐出するべき領域であって、境界ヘッドとは異なる、第一の端領域又は第二の端領域に向けて機能液を吐出させる。これにより、境界ヘッド及び補完ヘッドを用いて、１回の主走査方向の相対移動において、第一の端領域及び第二の端領域に向けて、それぞれの領域における適切な吐出分解能で機能液を吐出させることができる。

［適用例１４］上記適用例にかかる電気光学装置の製造装置において、前記機能膜が、前記電気光学装置を構成するカラーフィルタが有するカラーフィルタ膜であることが好ましい。

この電気光学装置の製造装置によれば、境界ヘッド及び補完ヘッドを用いて、１回の主走査方向の相対移動において、第一の端領域及び第二の端領域に向けて、それぞれの領域における適切な吐出分解能で、カラーフィルタ膜を形成するための機能液を吐出させることにより、カラーフィルタ膜を効率良く形成することができる。

［適用例１５］上記適用例にかかる電気光学装置の製造装置において、前記機能膜が、前記電気光学装置を構成する発光素子が有する発光膜であることが好ましい。

この電気光学装置の製造装置によれば、境界ヘッド及び補完ヘッドを用いて、１回の主走査方向の相対移動において、第一の端領域及び第二の端領域に向けて、それぞれの領域における適切な吐出分解能で、発光膜を形成するための機能液を吐出させることにより、発光膜を効率良く形成することができる。

［適用例１６］本適用例にかかる電気光学装置の製造方法は、複数の吐出ノズルを有し、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルが主走査方向と交差する副走査方向に配列された１以上のノズル列を有し、前記吐出ノズルから液状体を吐出する複数の吐出ヘッドを備え、それぞれの前記吐出ノズルから電気光学装置を構成する機能膜の材料を含む機能液を吐出すると共に、前記複数の吐出ヘッドと前記電気光学装置を構成する複数の電気光学基板を区画形成するマザー電気光学基板とを前記主走査方向に相対移動させることによって、前記マザー電気光学基板上に前記機能液を配置する液滴吐出装置を用いて、前記機能液を適切な間隔で配置するための前記吐出ノズルにおける前記主走査方向の吐出分解能が、第一の吐出分解能である第一の基板領域と、前記主走査方向の吐出分解能が、前記第一の吐出分解能とは異なる第二の吐出分解能である第二の基板領域と、をそれぞれ１以上有する前記マザー電気光学基板であって、前記第一の基板領域と前記第二の基板領域とが、前記液滴吐出装置の前記副走査方向において隣り合って位置する組を少なくとも１以上有する前記マザー電気光学基板の前記第一の基板領域及び前記第二の基板領域に、前記機能液を配置する電気光学装置の製造方法であって、前記液状体を吐出する複数の第一の吐出ノズルが前記副走査方向に配列された第一のノズル列を有し、前記吐出ヘッドとは前記主走査方向において異なる位置に設けられた１以上の補完ヘッドを用いて、前記第一の基板領域の前記第二の基板領域側の端を含む前記第一の基板領域の部分、又は前記第二の基板領域の前記第一の基板領域側の端を含む前記第二の基板領域の部分のいずれか一方に向けて、前記機能液を吐出する補完吐出工程、を有することを特徴とする。

この電気光学装置の製造方法によれば、補完ヘッドは、ヘッド群の吐出ヘッドとは別のヘッドであるため、補完吐出工程では、吐出ヘッドとは異なる吐出分解能で機能液を吐出させることができる。補完ヘッドと、ヘッド群の吐出ヘッドとは主走査方向において異なる位置に設けられており、副走査方向の位置が重なり合うように、主走査方向に並べることができる。このため、補完ヘッドの吐出分解能と、吐出ヘッドの吐出分解能とを変えて、吐出ヘッドからの吐出と略並行して補完吐出工程を実施することで、１回の主走査において、基材における補完ヘッドが対向する部分には、補完ヘッドの吐出分解能又は吐出ヘッドの吐出分解能で機能液を吐出して配置することができる。
例えば、補完ヘッドを第一の被吐出領域と第二の被吐出領域との境界部分を含む領域に対向させて、第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域の一方に、補完ヘッドから機能液を吐出し、他方に、吐出ヘッドから機能液を吐出することで、１回の主走査方向の相対移動において、第一の被吐出領域及び第二の被吐出領域に向けて、それぞれの領域における適切な吐出分解能で機能液を吐出することができる。

［適用例１７］上記適用例にかかる電気光学装置の製造方法において、前記補完吐出工程は、前記第一の基板領域と前記第二の基板領域との境界を跨いで、前記第一の基板領域の部分及び前記第二の基板領域の部分の両方に対向可能な前記吐出ヘッドである境界ヘッドが対向可能な、前記第一の基板領域の部分である第一の端領域又は前記第二の基板領域の部分である第二の端領域の一方を、前記境界ヘッドから前記機能液を吐出することによって前記機能液を配置する境界ヘッド領域に指定し、他方を、前記補完ヘッドから前記機能液を吐出することによって前記機能液を配置する補完ヘッド領域に指定する、ヘッド吐出領域指定工程と、前記補完ヘッドを前記副走査方向に移動させて位置決めすることによって、前記補完ヘッドの前記副走査方向の位置を、前記補完ヘッドから吐出された前記機能液を、少なくとも前記補完ヘッド領域に配置可能な位置に、位置決めする補完ヘッド位置決め工程と、前記境界ヘッドから前記境界ヘッド領域に向けての前記機能液の吐出に略並行して実施する、前記補完ヘッドから前記補完ヘッド領域に向けて前記機能液の吐出を実施する補完ヘッド吐出工程と、を有することが好ましい。

この電気光学装置の製造方法によれば、ヘッド吐出領域指定工程において、補完ヘッドから機能液を吐出するべき補完ヘッド領域が決定される。補完ヘッド位置決め工程において、補完ヘッドが、機能液を補完ヘッド領域に配置可能な位置に位置決めされる。これにより、境界ヘッド及び補完ヘッドを用いて、１回の主走査方向の相対移動において、第一の端領域及び第二の端領域に向けて、それぞれの領域における適切な吐出分解能で機能液を吐出させることができる。

［適用例１８］上記適用例にかかる電気光学装置の製造方法において、前記機能膜が、前記電気光学装置を構成するカラーフィルタが有するカラーフィルタ膜であることが好ましい。

この電気光学装置の製造方法によれば、境界ヘッド及び補完ヘッドを用いて、１回の主走査方向の相対移動において、第一の端領域及び第二の端領域に向けて、それぞれの領域における適切な吐出分解能で、カラーフィルタ膜を形成するための機能液を吐出させることにより、カラーフィルタ膜を効率良く形成することができる。

［適用例１９］上記適用例にかかる電気光学装置の製造方法において、前記機能膜が、前記電気光学装置を構成する発光素子が有する発光膜であることが好ましい。

この電気光学装置の製造方法によれば、境界ヘッド及び補完ヘッドを用いて、１回の主走査方向の相対移動において、第一の端領域及び第二の端領域に向けて、それぞれの領域における適切な吐出分解能で、発光膜を形成するための機能液を吐出させることにより、発光膜を効率良く形成することができる。

以下、液滴吐出装置、液滴吐出装置の制御方法、電気光学装置の製造装置、及び電気光学装置の製造方法の一実施形態について図面を参照して、説明する。実施形態は、液滴吐出装置又は電気光学装置の製造装置の一例であるインクジェット方式の液滴吐出装置を用いて、電気光学装置の一例である液晶装置のカラーフィルタを製造する工程を例に説明する。

（第一の実施形態）
本実施形態に係る液滴吐出装置は、液晶装置の製造ラインに組み込まれており、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを備えている。液滴吐出装置は、当該液滴吐出ヘッドに樹脂材料を含む機能液を導入して、描画対象物上に当該機能液を配置することで、液晶装置のカラーフィルタのフィルタ膜などを形成するものである。

＜液滴吐出法＞
最初に、フィルタ膜などの機能膜の形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ²程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。

また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状材料に熱を加えないため、材料の組成などに影響を与えない、駆動電圧を調整することによって、液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態では、材料の組成などに影響を与えないため液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の大きさを容易に調整することができるため液滴の制御性が良いことから、上記ピエゾ方式を用いる。

＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置１の全体構成について、図１及び図２を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。図２は、液滴吐出装置の概略構成を示す側面図である。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１７（図３参照）を有する吐出ユニット２と、ワークユニット３と、給液ユニット６０（図６参照）と、検査ユニット４と、メンテナンスユニット５と、補完用の吐出ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７を有する補完吐出ユニット３０２と、吐出装置制御部６（図６参照）とを備えている。

吐出ユニット２は、液状体である機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７を１２０個備えており、当該液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に移動させると共に移動した位置に保持するためのＹ軸テーブル１２を備えている。補完吐出ユニット３０２は、補完用の吐出ヘッドとしての９個の液滴吐出ヘッド１７と、液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に移動させるための補完軸テーブル３１２とを備えている。ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台２１を有している。給液ユニット６０は、機能液を貯留する貯留タンク（図示省略）を有し、液滴吐出ヘッド１７への機能液の供給を行う。検査ユニット４は、液滴吐出ヘッド１７からの吐出状態を検査するための、吐出検査ユニット１８及び重量測定ユニット１９を有しており、重量測定ユニット１９にはフラッシングユニット１４が併設されている。メンテナンスユニット５は、液滴吐出ヘッド１７の保守を行う吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６を有している。吐出装置制御部６は、これら各ユニットなどを総括的に制御する。重量測定ユニット１９、吐出ユニット２、吐出検査ユニット１８、又はメンテナンスユニット５などを用いて実施される重量測定処理、描画処理、吐出検査処理、及びメンテナンス処理などは、吐出装置制御部６が各ユニットなどを制御して実施される。

液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１Ａを備え、各ユニットなどが、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されている。Ｘ軸テーブル１１は、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されており、ワーク載置台２１をＸ軸方向（主走査方向）に移動させる。

吐出ユニット２のＹ軸テーブル１２は、複数本の支柱７Ａを介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース７，７の上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在している。吐出ユニット２は、それぞれ１２個の液滴吐出ヘッド１７を有するキャリッジユニット５１を、１０個備えている。１０個のキャリッジユニット５１は、１０個のブリッジプレート５２のそれぞれに吊設されている。ブリッジプレート５２は、Ｙ軸スライダ（図示省略）を介して、Ｙ軸テーブル１２に、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。Ｙ軸テーブル１２は、ブリッジプレート５２（キャリッジユニット５１）を、Ｙ軸方向（副走査方向）に移動させる。
Ｘ軸テーブル１１及びＹ軸テーブル１２の駆動と同期して、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液滴を吐出させ、ワーク載置台２１の上に載置されたワークＷに対して、任意の描画パターンを描画する。吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７からの吐出を制御する際の吐出装置制御部６が、吐出制御ユニットに相当する。

補完吐出ユニット３０２の補完軸テーブル３１２は、複数本の支柱３０７Ａを介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された補完軸支持ベース３０７の上に配設され、Ｙ軸テーブル１２に並んで、副走査方向（Ｙ軸方向）に延在している。補完吐出ユニット３０２は、それぞれ３個の液滴吐出ヘッド１７を有する補完キャリッジユニット３５１を、３個備えている。３個の補完キャリッジユニット３５１は、３個の補完軸プレート３５２のそれぞれに吊設されている。補完軸プレート３５２は、補完軸スライダ（図示省略）を介して、補完軸テーブル３１２に、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。補完軸テーブル３１２は、補完軸プレート３５２（補完キャリッジユニット３５１）を、Ｙ軸方向（副走査方向）に移動させる。補完軸プレート３５２を駆動するリニアモータの駆動を制御することにより、補完キャリッジユニット３５１を独立させて個別に移動させることが可能である。
Ｘ軸テーブル１１及び補完軸テーブル３１２の駆動と同期して補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液滴を吐出させ、ワーク載置台２１の上に載置されたワークＷに対して、任意の位置に機能液を配置することができる。補完軸テーブル３１２が補完ヘッド移動装置に相当する。補完軸テーブル３１２を制御する際の吐出装置制御部６が、補完ヘッド位置制御ユニットに相当する。補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７からの吐出を制御する際の吐出装置制御部６が、吐出制御ユニットに相当する。

吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット１６２（図２参照）とを有している。検査描画ユニット１６１は、Ｘ軸第２スライダ２３に固定されており、同じくＸ軸第２スライダ２３に固定された重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一体に移動するように構成されている。検査描画ユニット１６１と、重量測定ユニット１９と、フラッシングユニット１４とが一体に設けられたブロックを、吐出検査ブロック４ａと表記する。撮像ユニット１６２は、２個の検査カメラ１６３（図２参照）と、検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４（図２参照）と、を有している。カメラ移動機構１６４は、Ｙ軸支持ベース７に固定されている。２個の検査カメラ１６３は、カメラ移動モータ（図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。

メンテナンスユニット５が備える吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台８の上に配設されている。架台８は、Ｘ軸方向に延在するユニット移動機構３０５の上に設けられており、メンテナンスユニット５は、ユニット移動機構３０５によって、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７に臨むことが可能な位置と、補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７に臨むことが可能な位置とに移動可能である。吸引ユニット１５は、複数の分割吸引ユニット１４１を有し、液滴吐出ヘッド１７を吸引して、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８（図３参照）から機能液を強制的に排出させる。ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート１５１を有し、吸引後の液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａ（図３参照）を拭き取る（ワイピングを行う）ものである。このようにして、吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、吐出ユニット２及び補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７の機能維持又は機能回復を図るための保守作業を実施する。

図１、又は図２に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸第１スライダ２２と、Ｘ軸第２スライダ２３と、左右一対のＸ軸リニアモータ２６，２６と、一対のＸ軸共通支持ベース２４，２４と、を備えている。

Ｘ軸第１スライダ２２には、ワーク載置台２１が取り付けられている。Ｘ軸第１スライダ２２は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸第２スライダ２３には、検査描画ユニット１６１と、重量測定ユニット１９と、フラッシングユニット１４とが一体に設けられた吐出検査ブロック４ａが取り付けられている。Ｘ軸第２スライダ２３は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸リニアモータ２６は、Ｘ軸共通支持ベース２４に並設されており、Ｘ軸第１スライダ２２又はＸ軸第２スライダ２３をＸ軸共通支持ベース２４に沿って移動させることによって、ワーク載置台２１（ワーク載置台２１に載置されたワークＷ）又は吐出検査ブロック４ａをＸ軸方向に移動させる。Ｘ軸第１スライダ２２とＸ軸第２スライダ２３とは、Ｘ軸リニアモータ２６により個別に駆動可能である。Ｘ軸方向が主走査方向に相当し、Ｙ軸方向が副走査方向に相当する。

ワーク載置台２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向にθ補正するためのθテーブル３２などを有している。図１及び図２におけるワーク載置台２１の位置が、ワークＷの給除材を行うための給除材位置となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入（給材）するときや、処理済のワークＷを回収（除材）するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させる。当該給除材位置において、ロボットアーム（図示省略）により、吸着テーブル３１に対するワークＷの搬入・搬出（載換え）が行われる。また、吸着テーブル３１には、給材されたワークＷをＸ軸方向及びＹ軸方向に寄せこむようにして、これをプリアライメントする機構（図示省略）が組み込まれている。吸着テーブル３１に給材された未処理のワークＷのアライメントは、θテーブル３２を用いて、給除材位置において実施される。ワーク載置台２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、描画前フラッシングユニット１１１の一対の描画前フラッシングボックス１２１，１２１が添設されている。

画像認識ユニット８０は、２台のアライメントカメラ８１と、カメラ移動機構８２と、を有している。カメラ移動機構８２は、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に、Ｙ軸方向に延在して、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように配設されている。アライメントカメラ８１は、カメラホルダ（図示省略）を介して、カメラ移動機構８２に、Ｙ軸方向にスライド自在に支持されている。カメラ移動機構８２に支持されたアライメントカメラ８１は、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、Ｘ軸テーブル１１の上のワーク載置台２１に載置されたワークＷの各基準マーク（アライメントマーク）（図示省略）を画像認識することができる。２台のアライメントカメラ８１は、カメラ移動モータ（図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。

各アライメントカメラ８１は、ワーク載置台２１のＸ軸方向への移動と協働して、カメラ移動機構８２によりＹ軸方向に移動しながら、上記ロボットアームが給材した各種ワークＷのアライメントマークを撮像して、各種ワークＷの位置認識を実施する。そして、このアライメントカメラ８１の撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正が実施される。

Ｙ軸テーブル１２は、１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。一対のＹ軸リニアモータは、上記した一対のＹ軸支持ベース７，７の上にそれぞれ設置されて、Ｙ軸方向に延在している。２０個（１０組）のＹ軸スライダは、一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに各１０個ずつ摺動自在に支持されている。一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに支持された各１個のＹ軸スライダからなる１組のＹ軸スライダは、吐出ユニット２を構成するキャリッジユニット５１が固定されたブリッジプレート５２を両持ちで支持している。吐出ユニット２を構成する１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ固定した１０個のブリッジプレート５２は、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダを介して、一対のＹ軸支持ベース７，７の上に設置されている。

一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース７，７を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向に移動し、ブリッジプレート５２に吊設されたキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。

キャリッジユニット５１は、１２個の液滴吐出ヘッド１７と、１２個の液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するサブキャリッジ５３と、を有するヘッドユニット５４（図４参照）を備えている。また、キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット５４をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット５４をブリッジプレート５２に支持させる吊設部材６２と、を備えている。

補完軸テーブル３１２は、３個の補完軸スライダ（図示省略）と、補完軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。補完軸リニアモータは、上記した補完軸支持ベース３０７の上に設置されて、Ｙ軸方向に延在している。３個の補完軸スライダは、補完軸支持ベース３０７に摺動自在に支持されている。補完軸支持ベース３０７に支持された補完軸スライダは、補完吐出ユニット３０２を構成する補完キャリッジユニット３５１が固定された補完軸プレート３５２を片持ちで支持している。吐出ユニット２を構成する３個の各補完キャリッジユニット３５１をそれぞれ固定した３個の補完軸プレート３５２は、３個の補完軸プレート３５２を片持ちで支持する３個の補完軸スライダを介して、補完軸支持ベース３０７の上に設置されている。

補完軸リニアモータを駆動すると、各補完軸スライダが補完軸支持ベース３０７を案内にしてＹ軸方向を平行移動する。これにより、補完軸プレート３５２がＹ軸方向に移動し、補完軸プレート３５２に吊設された補完キャリッジユニット３５１がＹ軸方向に移動する。補完軸リニアモータの駆動は個別に制御することが可能であり、補完キャリッジユニット３５１を独立させて個別に移動させることが可能である。

補完キャリッジユニット３５１は、３個の液滴吐出ヘッド１７と、３個の液滴吐出ヘッド１７を支持する補完ヘッドプレート３５３（図４参照）と、を有する補完ヘッドユニット３５４（図４参照）を備えている。また、補完ヘッドプレート３５３は、補完ヘッドユニット３５４をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構３６１と、θ回転機構を介して、補完ヘッドユニット３５４を補完軸プレート３５２に支持させる吊設部材３６２と、を備えている。

＜液滴吐出ヘッドの構成＞
次に、液滴吐出ヘッド１７について、図３を参照して説明する。図３は、液滴吐出ヘッドの概要を示す外観斜視図である。

図３に示すように、この液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１に連なる方形のヘッド本体７４と、液体導入部７１とヘッド本体７４との間から側方に突出するヘッド基板７３と、を備えている。ヘッド本体７４は、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズル形成プレート７６と、を有している。ノズル形成プレート７６には、ノズル形成面７６ａに開口する吐出ノズル７８が形成されている。液滴吐出ヘッド１７においては、一列あたり１８０個の吐出ノズル７８からなるノズル列７８ｂが２列形成されている。ポンプ部７５には、ピエゾ圧電素子が設けられており、当該ピエゾ圧電素子を駆動することによって、液体導入部７１から供給されてきた機能液を吐出ノズル７８から吐出する。１個の吐出ノズル７８に対応して１個のピエゾ圧電素子が設けられており、それぞれの吐出ノズル７８ごとに独立して機能液を吐出することができる。ヘッド基板７３には、一対のコネクタ７７，７７が設けられている。このコネクタ７７が、ＦＦＣケーブルなどによって、吐出装置制御部６と接続されている中継基板と接続されることで、液滴吐出ヘッド１７が吐出装置制御部６と接続される。

液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、ノズル列７８ｂはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列７８ｂをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置がずれている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。吐出ノズル７８のノズルピッチが１４０μｍの場合、着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。

＜ヘッドユニット及び補完ヘッドユニット＞
次に、吐出ユニット２のヘッドユニット５４及び補完吐出ユニット３０２の補完ヘッドユニット３５４の概略構成、並びにヘッドユニット５４に対する補完ヘッドユニット３５４の位置関係について、図４を参照して説明する。図４は、ヘッドユニット、及び補完ヘッドユニットの概略構成、並びにヘッドユニットと補完ヘッドユニットとの位置関係を示す平面図である。図４に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット５４及び補完ヘッドユニット３５４が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。

図４に示すように、ヘッドユニット５４は、サブキャリッジ５３と、サブキャリッジ５３に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、サブキャリッジ５３に固定されており、ヘッド本体７４がサブキャリッジ５３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズル形成面７６ａが、サブキャリッジ５３の面より突出している。図４は、ノズル形成面７６ａ側から見た図である。１２個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ６個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド組５５を２群形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８ｂはＹ軸方向に延在している。

一つのヘッド組５５が有する６個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置するように、位置決めされている。仮に、ヘッド組５５が有する６個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。即ち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。この直線をノズル群線と表記する。液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組５５を構成している。
このように構成された、吐出ユニット２が備える１２０個の液滴吐出ヘッド１７が、ヘッド群に相当する。

ヘッドユニット５４が有する二つのヘッド組５５は、Ｙ軸方向に一つのヘッド組５５のＹ軸方向の長さに相当する間隔を隔てて配置されている。即ち、一つのヘッドユニット５４の吐出ノズル７８から一滴ずつ吐出させて、Ｘ軸方向が同じ位置になるように着弾させると、ノズル群線一本の長さ分の間隔を隔てて、２本のノズル群線が形成される。ヘッドユニット５４を、Ｙ軸方向に、一つのヘッド組５５のＹ軸方向の長さに相当する距離だけ移動させて、同様に２本のノズル群線を形成することで、ノズル群線が４本連なった直線が形成される。当該直線は、設計上では、ノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８の数の４８倍の数の点が、ノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８のノズルピッチの半分の間隔で、連なっている。１ノズル列あたり１８０個の吐出ノズル７８が、１４０μｍのノズルピッチで形成されている液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット５４の場合は、８６４０個の点が７０μｍのピッチ間隔で連なる直線が形成される。

隣り合うヘッドユニット５４も、それぞれのヘッド組５５が、互いにＹ軸方向に一つのヘッド組５５分の間隔を隔てて配置されるように位置することが可能である。従って、ノズル群線の長さ相当のＹ軸方向の移動を挟んで、それぞれ、吐出ユニット２が有する各吐出ノズル７８に一滴ずつ機能液を吐出させることで、Ｙ軸方向に延在する一直線を形成することができる。この、吐出ユニット２が有する全１２０個の液滴吐出ヘッド１７が各二回の吐出で描画できるラインの長さは、ワーク載置台２１に搭載可能な最大サイズのワークＷの幅に対応している。各点に着弾した液滴が、直径７０μｍより大きく濡れ広がることによって、帯状に連なる液の膜が形成される。

なお、ノズル列７８ｂの端の方における吐出ノズル７８のいくつかを使用しない場合には、使用しない吐出ノズル７８が、使用する吐出ノズル７８と、Ｙ軸方向において重なるように、液滴吐出ヘッド１７を配置する。

補完ヘッドユニット３５４は、補完ヘッドプレート３５３と、補完ヘッドプレート３５３に搭載された３個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、補完ヘッドプレート３５３に固定されており、ヘッド本体７４が補完ヘッドプレート３５３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズル形成面７６ａが、補完ヘッドプレート３５３の面より突出している。図４は、ノズル形成面７６ａ側から見た図である。補完ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８ｂは、Ｙ軸方向に延在している。

一つの補完ヘッドユニット３５４が有する３個の液滴吐出ヘッド１７は、ヘッド組５５における６個の液滴吐出ヘッド１７と同様に、位置決めされている。即ち、上述したように、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う２個の液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置するように、位置決めされている。仮に、補完ヘッドユニット３５４が有する３個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。即ち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。この直線は、上述したノズル群線の概ね半分の長さとなる。補完ヘッドユニット３５４が有する３個の液滴吐出ヘッド１７も、Ｙ軸方向において互いに重なるため、ヘッド組５５における液滴吐出ヘッド１７と同様に、Ｘ軸方向に階段状に並んでいる。補完ヘッドユニット３５４が有する３個の液滴吐出ヘッド１７が、補完ヘッド群に相当する。

上述したように、補完ヘッドユニット３５４をＹ軸方向に移動させるための補完軸テーブル３１２は、ヘッドユニット５４をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸テーブル１２に並んで、副走査方向（Ｙ軸方向）に延在している。補完ヘッドユニット３５４が補完軸テーブル３１２に、ヘッドユニット５４がＹ軸テーブル１２に、それぞれ支持されて、図４に示すように、補完ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７は、ヘッドユニット５４の液滴吐出ヘッド１７に対して、主走査方向に一定の距離を隔てて配置されている。
副走査方向において、補完ヘッドユニット３５４同士が互いに干渉しない範囲で、補完ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７は、ヘッドユニット５４の液滴吐出ヘッド１７に対して任意の位置に位置させることが可能である。
この構成により、補完ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７を、ヘッドユニット５４の液滴吐出ヘッド１７と同様に使用することができる。即ち、ヘッドユニット５４が有する液滴吐出ヘッド１７のいずれかに代えて、補完ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７を、あたかもヘッドユニット５４が有する液滴吐出ヘッド１７のように使用することができる。

詳細な手順としては、最初に、液滴吐出ヘッド１７とワークＷとの主走査方向の相対移動速度と、補完ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８とヘッドユニット５４の液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８との主走査方向の距離と、に基づいて、補完ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８から液滴を吐出する時点を設定する。より詳細には、ヘッドユニット５４の吐出ノズル７８から液滴を吐出する時点に対して、補完ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８から液滴を吐出する時点を、距離Ｘ１を速度Ｖ１で除した時間だけずらして設定する。ここで、距離Ｘ１は、副走査方向の設定位置が同一である、補完ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８と、ヘッドユニット５４の吐出ノズル７８との間の主走査方向の距離であり、速度Ｖ１は、液滴吐出ヘッド１７とワークＷとの主走査方向の相対移動速度である。次に、ワークＷを主走査方向に一回相対移動させる間に、設定された吐出する時点において、補完ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８から液滴を吐出する。当該時点で補完ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８から吐出された液滴は、ワークＷの主走査方向における当該相対移動の間に、補完ヘッドユニット３５４の当該吐出ノズル７８と副走査方向において同じ位置に位置するヘッドユニット５４の吐出ノズル７８が液滴を配置する位置に、配置される。

次に、複数の種類の機能液を並行して扱う場合の、補完ヘッドユニット３５４及びヘッドユニット５４における、各機能液を吐出させる液滴吐出ヘッド１７の配置例について、図５を参照して説明する。図５は、補完ヘッドユニット及びヘッドユニットにおける、三色カラーフィルタを形成する場合の、各機能液を吐出させる液滴吐出ヘッドの配置例を示す模式図である。

図５に示すように、ヘッドユニット５４における一方のヘッド組５５の液滴吐出ヘッド１７を、補完ヘッドユニット３５４側の端から順番に、液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１７ｅ，１７ｆと表記する。ヘッドユニット５４におけるもう一方のヘッド組５５の液滴吐出ヘッド１７を、液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１７ｅ，１７ｆと同じ順番に、液滴吐出ヘッド１７ｇ，１７ｈ，１７ｊ，１７ｋ，１７ｍ，１７ｎと表記する。補完ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７を、ヘッドユニット５４と反対側の端から、液滴吐出ヘッド１７ｒ，１７ｓ，１７ｔと表記する。
三色カラーフィルタのフィルタ膜２０５（図９参照）の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、青色フィルタ膜２０５Ｂ、を形成するための機能液２５２を赤色機能液２５２Ｒ、緑色機能液２５２Ｇ、青色機能液２５２Ｂと表記する（図１２参照）。赤色機能液２５２Ｒ、緑色機能液２５２Ｇ、又は青色機能液２５２Ｂが供給される液滴吐出ヘッド１７を、それぞれ赤色吐出ヘッド１７Ｒ、緑色吐出ヘッド１７Ｇ、青色吐出ヘッド１７Ｂと表記する。
本実施形態のヘッドユニット５４においては、液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋが、赤色吐出ヘッド１７Ｒであり、液滴吐出ヘッド１７ｂ，１７ｅ，１７ｈ，１７ｍが、緑色吐出ヘッド１７Ｇであり、液滴吐出ヘッド１７ｃ，１７ｆ，１７ｊ，１７ｎが、青色吐出ヘッド１７Ｂである。補完ヘッドユニット３５４においては、液滴吐出ヘッド１７ｒが、赤色吐出ヘッド１７Ｒであり、液滴吐出ヘッド１７ｓが、緑色吐出ヘッド１７Ｇであり、液滴吐出ヘッド１７ｔが、青色吐出ヘッド１７Ｂである。

＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図６を参照して説明する。図６は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、図６に示した制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホストコンピュータ６６と、液滴吐出装置１に入出力する情報を入出力するための入出力装置６８とを有し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。

液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドドライバ２ｄと、駆動機構ドライバ４０ｄと、給液ドライバ６０ｄと、メンテナンスドライバ５ｄと、検査ドライバ４ｄと、検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４３と、を有している。これらは、データバス４９を介して互いに電気的に接続されている。

インタフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ４４は、制御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ４４からの指令に従って、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチンなどを記憶している。ハードディスク４８は、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチンなどを記憶したりしている。

ヘッドドライバ２ｄには、吐出ユニット２を構成する液滴吐出ヘッド１７及び補完吐出ユニット３０２を構成する液滴吐出ヘッド１７が接続されている。ヘッドドライバ２ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド１７を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。

駆動機構ドライバ４０ｄには、Ｙ軸テーブル１２のヘッド移動モータと、補完軸テーブル３１２のヘッド移動モータと、Ｘ軸テーブル１１のＸ軸リニアモータ２６と、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構４１とが接続されている。各種駆動機構は、上記した、アライメントカメラ８１を移動するためのカメラ移動モータや、θ回転機構６１の駆動モータや、θ回転機構３６１の駆動モータなどである。駆動機構ドライバ４０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動して、液滴吐出ヘッド１７とワークＷとを相対移動させてワークＷの任意の位置と液滴吐出ヘッド１７とを対向させ、ヘッドドライバ２ｄと協働して、ワークＷ上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。

メンテナンスドライバ５ｄには、メンテナンスユニット５の吸引ユニット１５と、ワイピングユニット１６と、フラッシングユニット１４とが接続されている。メンテナンスドライバ５ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、又はフラッシングユニット１４を駆動して、液滴吐出ヘッド１７の保守作業を実施させる。

検査ドライバ４ｄには、検査ユニット４の吐出検査ユニット１８と、重量測定ユニット１９とが接続されている。検査ドライバ４ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吐出検査ユニット１８、又は重量測定ユニット１９を駆動して、吐出重量や吐出の可否や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態の検査を実施させる。

給液ドライバ６０ｄには、給液ユニット６０が接続されている。給液ドライバ６０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って給液ユニット６０を駆動して、液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する。検出部インタフェイス４３には、各種センサを含む検出部４２が接続されている。検出部４２の各センサによって検出された検出情報が検出部インタフェイス４３を介してＣＰＵ４４に伝達される。

＜液晶表示パネルの構成＞
次に、電気光学装置の一例である液晶装置としての液晶表示パネルについて説明する。
最初に、液晶表示パネル２００の構成について、図７を参照して説明する。図７は、液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型の液晶装置である。

図７に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着された素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶２３０（図１３（ｋ）参照）とを備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０には、貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１と偏光板２３２とが、配設されている。

素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２１５や、画素電極２１７や、走査線２１２及び信号線２１４が、形成されている。これらの素子や導電性膜の間を埋めるように、絶縁層２１６が形成されており、走査線２１２及び信号線２１４は、絶縁層２１６の部分を挟んで互いに交差する状態で形成されている。走査線２１２と信号線２１４とは、絶縁層２１６の部分を間に挟むことで互いに絶縁されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内には画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４に信号を印加することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施する。

素子基板２１０の液晶２３０と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。

対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィルタ（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、隔壁２０４と、赤色フィルタ膜２０５Ｒと、緑色フィルタ膜２０５Ｇと、青色フィルタ膜２０５Ｂとを有している。ガラス基板２０１上に、格子状に隔壁２０４を構成するブラックマトリックス２０２が形成され、ブラックマトリックス２０２の上にバンク２０３が形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４によって、方形のフィルタ膜領域２２５が形成されている。フィルタ膜領域２２５には、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂが形成されている。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向する位置及び形状に形成されている。

ＣＦ層２０８の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設けられている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子基板２１０に形成された配線に接続されている。

対向基板２２０の液晶２３０と接する面には、画素電極２１７の全面を覆う配向膜２２８が設けられている。液晶２３０は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間に充填されている。

なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板２０１Ａについて、図８を参照して説明する。対向基板２２０は、分割されてガラス基板２０１となるマザー対向基板２０１Ａ上に上述したＣＦ層２０８などを形成した後、マザー対向基板２０１Ａを個別の対向基板２２０（ガラス基板２０１）に分割して形成される。図８（ａ）は対向基板の平面構造を示す模式図であり、図８（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を示す模式図である。

対向基板２２０は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２０１を用いて形成されている。図８（ａ）に示すように、対向基板２２０は、ガラス基板２０１の周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、ＣＦ層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、方形状のガラス基板２０１の表面に複数のフィルタ膜領域２２５をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリクス状に形成し、当該フィルタ膜領域２２５にフィルタ膜２０５を形成することによって形成されている。ガラス基板２０１のＣＦ層２０８が形成される領域にかからない位置には、図示省略したアライメントマークが形成されている。アライメントマークは、ＣＦ層２０８などを形成する諸工程を実行するためにガラス基板２０１を製造装置に取り付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。

図８（ｂ）に示すように、マザー対向基板２０１Ａには対向基板２２０のＣＦ層２０８と共に、対向基板４２０を構成するＣＦ層４０８がガラス基板４０１となる部分に形成されている。対向基板４２０は、対向基板２２０と実質的に同じ構造をしており、液晶表示パネル２００より表示部の面積が小さい液晶表示パネルを構成する対向基板である。マザー対向基板２０１Ａからガラス基板２０１のみを形成する場合には、ガラス基板２０１を形成するためには小さすぎるために、ガラス基板２０１を形成できない部分が生ずる。マザー対向基板２０１Ａのガラス基板２０１を形成できない部分に、ガラス基板２０１より小さいガラス基板４０１のＣＦ層４０８を形成して、当該部分をガラス基板４０１として有効に使用することによって、マザー対向基板２０１Ａを無駄なく使用している。

＜カラーフィルタ＞
次に、対向基板２２０に形成されているＣＦ層２０８及びＣＦ層２０８におけるフィルタ膜２０５（赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂ）の配列について、図９を参照して説明する。図９は、３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図である。

図９に示すように、フィルタ膜２０５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁２０４によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば方形状のフィルタ膜領域２２５を色材で埋めることによって形成される。例えば、フィルタ膜２０５を構成する色材を含む機能液をフィルタ膜領域２２５に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、フィルタ膜領域２２５を埋める膜状のフィルタ膜２０５を形成する。

３色カラーフィルタにおける赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。ストライプ配列は、図９（ａ）に示したように、マトリクスの縦列が全て同色の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂになる配列である。モザイク配列は、図９（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとにフィルタ膜２０５一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルタの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタ膜２０５が３色となる配列である。デルタ配列は、図９（ｃ）に示したように、フィルタ膜２０５の配置を段違いにし、３色フィルタの場合、任意の隣接する３つのフィルタ膜２０５が異なる色となる配色である。

図９（ａ），（ｂ），（ｃ）に示した３色フィルタにおいて、フィルタ膜２０５は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成された赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを各１個ずつ含むフィルタ膜２０５の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタ（以降、「絵素フィルタ２５４」と表記する。）を形成している。一つの絵素フィルタ２５４内の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂのいずれか一つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行う。

＜吐出分解能＞
次に、吐出分解能と、描画対象の形状との関係について、図１０を参照して説明する。吐出ノズル７８からは、吐出タイミング制御部で生成されたラッチ信号に基づいて機能液が吐出される。ラッチ信号の周波数と、吐出ノズル７８と描画対象との主走査方向の相対移動速度と、から定まる描画対象に対する吐出ノズル７８からの吐出位置間の距離が、吐出分解能である。吐出された機能液が描画対象に着弾した位置間の距離が、描画分解能である。描画対象の適切な描画分解能は、それぞれの描画対象における描画形状によって定まる。吐出ノズル７８が実現するべき吐出分解能は、液滴吐出装置１が描画吐出を実施する描画対象の適切な描画分解能によって定まる。

図１０は、フィルタ膜領域の形状と吐出分解能との関係を示す説明図である。図１０（ａ）は、ＣＦ層２０８のフィルタ膜２０５を形成するフィルタ膜領域２２５について、好ましい機能液２５２（図１２参照）の着弾点２６３、及び機能液２５２を当該着弾点２６３に着弾させるタイミングで液滴吐出ヘッド１７から吐出させるためのラッチ信号２６２を示している。
１個のフィルタ膜２０５を形成するために、複数の吐出ノズル７８を一斉に駆動して、当該フィルタ膜２０５を形成するべきフィルタ膜領域２２５に機能液２５２を着弾させる。１個の吐出ノズル７８からは、例えば図１０（ａ）に示した４ヶ所の着弾点２６３の位置に、機能液２５２の液滴を着弾させることによって、適正なフィルタ膜２０５が形成される。

一般的に、信号は時間軸に対応して示されるが、吐出ノズル７８とフィルタ膜領域２２５（マザー対向基板２０１Ａ）との相対移動速度は一定であるため、図１０（ａ）に示したラッチ信号２６２は、主走査方向である矢印ａの方向に相対移動する吐出ノズル７８が、当該位置にある時点で印加されているラッチ信号を示している。吐出ノズル７８は、図１０（ａ）の矢印ａの方向に相対移動しながら、ラッチ信号２６２の立ち上がり時に、即ち、図１０（ａ）においてはラッチ信号２６２の立ち上がり部分が記載されている位置において、機能液２５２を吐出する。吐出された機能液２５２は、着弾点２６３の位置に、着弾位置精度の誤差の範囲で、着弾する。なお、吐出ノズル７８から吐出された機能液２５２は、吐出されてから着弾するまでの飛行時間の間に、相対移動方向にも移動するが、当該移動量は概ね一定であるため、図をわかりやすくするために、図１０（ａ）においては、当該移動量は省略している。

赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８においては、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｒの着弾点２６３Ｒに向けて吐出する時点においてのみ、赤色機能液２５２Ｒを吐出する。赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８は、着弾点２６３Ｇや着弾点２６３Ｂに着弾する吐出時点においては、吐出は実施しない。同様に、緑色吐出ヘッド１７Ｇ又は青色吐出ヘッド１７Ｂが有する吐出ノズル７８においては、緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｇ又はフィルタ膜領域２２５Ｂの着弾点２６３Ｇ又は着弾点２６３Ｂに向けて吐出する時点においてのみ、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを吐出する。
フィルタ膜領域２２５の主走査方向の配置に対して、ラッチ信号２６２を適切に印加することによって、適切な吐出分解能で機能液２５２を吐出させることを可能ならしめて、それぞれのフィルタ膜領域２２５において、略同じ位置に機能液２５２を着弾させることができる。

図１０（ｂ）は、ＣＦ層４０８のフィルタ膜４０５（４０５Ｒ，４０５Ｇ，４０５Ｂ）を形成するフィルタ膜領域４２５について、好ましい機能液２５２の着弾点２７３、及び機能液２５２を当該着弾点２７３に着弾させるように液滴吐出ヘッド１７から吐出させるためのラッチ信号２７２を示している。
１個の吐出ノズル７８からは、例えば図１０（ｂ）に示した２ヶ所の着弾点２７３の位置に、機能液２５２の液滴を着弾させることによって、適正なフィルタ膜４０５が形成される。
図１０（ｂ）におけるラッチ信号２７２とフィルタ膜領域４２５との関係は、図１０（ａ）におけるラッチ信号２６２とフィルタ膜領域２２５との関係と同様である。

赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８においては、赤色フィルタ膜４０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域４２５Ｒの着弾点２７３Ｒに向けて吐出する時点においてのみ、赤色機能液２５２Ｒを吐出する。赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８は、着弾点２７３Ｇや着弾点２７３Ｂ、及び隔壁２０４にかかる着弾点２７３Ｋに着弾する吐出時点においては、吐出は実施しない。同様に、緑色吐出ヘッド１７Ｇ又は青色吐出ヘッド１７Ｂが有する吐出ノズル７８においては、緑色フィルタ膜４０５Ｇ又は青色フィルタ膜４０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域４２５Ｇ又はフィルタ膜領域４２５Ｂの着弾点２７３Ｇ又は着弾点２７３Ｂに向けて吐出する時点においてのみ、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを吐出する。
フィルタ膜領域４２５の主走査方向の配置に対して、ラッチ信号２７２を適切に印加することによって、適切な吐出分解能で機能液２５２を吐出させることを可能ならしめて、それぞれのフィルタ膜領域４２５において、略同じ位置に機能液２５２を着弾させることができる。

＜液晶表示パネルの形成＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する工程について、図１１、図１２、及び図１３を参照して説明する。図１１は、液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャートである。図１２は、液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図であり、図１３は、液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図である。液晶表示パネル２００は、それぞれ別々に形成した素子基板２１０と対向基板２２０とを、貼り合わせて形成する。

図１１に示したステップＳ１からステップＳ５を実行することで、対向基板２２０を形成する。
図１１のステップＳ１では、ガラス基板２０１の上に、フィルタ膜領域２２５を区画形成するための隔壁部を形成する。隔壁部は、ブラックマトリックス２０２を格子状に形成し、その上にバンク２０３を形成して、ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４を格子状に配置することによって形成する。これにより、図１２（ａ）に示すように、ガラス基板２０１の表面に、隔壁２０４によって区画された方形のフィルタ膜領域２２５が形成される。

次に、図１１のステップＳ２では、フィルタ膜領域２２５に、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂを構成する材料をそれぞれ充填して、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを形成して、ＣＦ層２０８を形成する。

より詳細には、図１２（ｂ）に示すように、隔壁２０４によって区画されたフィルタ膜領域２２５が形成されたガラス基板２０１の表面に赤色吐出ヘッド１７Ｒを対向させる。当該赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８から、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｒに向けて、赤色機能液２５２Ｒを吐出することによって、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。同時に、ガラス基板２０１に対して赤色吐出ヘッド１７Ｒを矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１に形成された全てのフィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。配置した赤色機能液２５２Ｒを乾燥させることによって、図１２（ｃ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成する。
同様にして、図１２（ｃ）に示すように、緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｇ又はフィルタ膜領域２２５Ｂに、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを配置する。緑色機能液２５２Ｇ及び青色機能液２５２Ｂを乾燥させることによって、図１２（ｄ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｇ及びフィルタ膜領域２２５Ｂに緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒと合わせて、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂからなる３色カラーフィルタが形成される。
上述したように、赤色フィルタ膜２０５Ｒと、緑色フィルタ膜２０５Ｇと、青色フィルタ膜２０５Ｂと、の配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。

次に、図１１のステップＳ３では、平坦化層を形成する。図１２（ｅ）に示すように、ＣＦ層２０８を構成する赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、青色フィルタ膜２０５Ｂ、及び隔壁２０４の上に、平坦化層としての平坦化膜２０６を形成する。平坦化膜２０６は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。
次に、図１１のステップＳ４では、対向電極２０７を形成する。図１２（ｆ）に示すように、平坦化膜２０６の上の、少なくともＣＦ層２０８のフィルタ膜２０５が形成された領域の全面を覆う領域に、透明な導電材料を用いて、薄膜を形成する。この薄膜が、上述した対向電極２０７である。

次に、図１１のステップＳ５では、対向電極２０７の上に、対向基板２２０の配向膜２２８を形成する。配向膜２２８は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。
図１３（ｇ）に示すように、対向電極２０７が形成されたガラス基板２０１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２０１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２０１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１の配向膜２２８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１３（ｈ）に示すように、配向膜２２８を形成する。ステップＳ５を実施して、対向基板２２０が形成される。
配向膜液２４２は、溶剤に溶解又は分散されたポリイミドを含む液状体である。溶剤としては、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、γ−ブチルラクトン、ブチルセルソルブ、又はこれらの混合液などを用いる。

図１１に示したステップＳ６からステップＳ８を実行することで、素子基板２１０を形成する。
図１１のステップＳ６では、ガラス基板２１１の上に導電層や絶縁層や半導体層を形成することで、ＴＦＴ素子２１５などの素子や、走査線２１２や、信号線２１４や、絶縁層２１６などを形成する。走査線２１２及び信号線２１４は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、隔壁２０４に対向する位置に、即ち画素の周辺の位置に形成する。ＴＦＴ素子２１５は、画素の端に位置するように形成し、１画素に１個のＴＦＴ素子２１５を形成する。

次に、ステップＳ７では、画素電極２１７を形成する。画素電極２１７は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂに対向する位置に、形成する。画素電極２１７は、ＴＦＴ素子２１５のドレイン電極と電気的に接続させる。

次に、ステップＳ８では、画素電極２１７などの上に、素子基板２１０の配向膜２１８を形成する。配向膜２１８は、少なくとも全ての画素電極２１７の全面を覆う領域に形成する。
図１３（ｉ）に示すように、画素電極２１７が形成されたガラス基板２１１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２１１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２１１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２１１の配向膜２１８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１３（ｊ）に示すように、配向膜２１８を形成する。ステップＳ８を実施して、素子基板２１０が形成される。

次に、ステップＳ９では、形成された対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせ、図１３（ｋ）に示すように、間に液晶２３０を充填する。さらに、偏光板２３１と偏光板２３２とを貼りつけるなどして、液晶表示パネル２００を組立てる。複数のガラス基板２０１やガラス基板２１１からなるマザー基板に、複数の対向基板２２０や素子基板２１０を形成する場合には、複数の液晶表示パネル２００が形成されたマザー基板を個別の液晶表示パネル２００に分割する。あるいは、マザー対向基板やマザー素子基板を、対向基板２２０や素子基板２１０に分割する工程を実施した後にステップＳ９を実施する。ステップＳ９を実施して、液晶表示パネル２００を形成する工程を終了する。

＜フィルタ膜の描画工程＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する過程において、液滴吐出装置１を用いて、マザー対向基板２０１Ａ上にフィルタ膜２０５などを形成する描画工程について、図１４及び図１５を参照して説明する。図１４は、描画工程を示すフローチャートである。図１５は、吐出ユニット及び補完吐出ユニットの液滴吐出ヘッドと、マザー対向基板におけるＣＦ層を形成する領域と、の位置関係を示す模式図である。図１５（ａ）は、吐出ユニットとマザー対向基板における２種類のＣＦ層との位置関係を示す模式図であり、図１５（ｂ）は、マザー対向基板における２種類のＣＦ層に対する、吐出ユニットの液滴吐出ヘッド及び補完ユニットの液滴吐出ヘッドの位置関係を示す模式図である。

図１４のステップＳ２１では、描画する領域に関する領域情報を取得する。図８を参照して説明したように、マザー対向基板２０１Ａには、ガラス基板２０１及びガラス基板４０１が形成される。マザー対向基板２０１Ａの場合の領域情報としては、ＣＦ層２０８及びＣＦ層４０８の形状、配置、及びＣＦ層２０８及びＣＦ層４０８を描画するための主走査方向の適切な描画分解能などが含まれる。

次に、図１４のステップＳ２２では、取得した領域情報に拠って、境界ヘッドが存在するか否かを判定する。
吐出ユニット２を用いて、主走査方向の描画分解能が互いに異なる領域が副走査方向において隣り合って存在する描画対象物に向けて描画吐出を実施する場合、主走査方向の描画分解能が異なる二つの領域に対向する液滴吐出ヘッド１７が存在する可能性が極めて高い。主走査方向の描画分解能が異なる二つの領域に対向する当該液滴吐出ヘッド１７を境界ヘッド１７０と表記する。

マザー対向基板において、主走査方向の描画分解能が異なる領域が副走査方向に並んでいない場合は、境界ヘッド１７０は存在しない。

境界ヘッド１７０が存在しない場合（ステップＳ２２でＮＯ）は、ステップＳ２３に進む。
ステップＳ２２の次にステップＳ２３では、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７の吐出タイミングを決定する。より詳細には、ワーク載置台２１の上に載置されたマザー対向基板の吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７に対する相対移動速度と、当該マザー対向基板に形成するＣＦ層のフィルタ膜を描画するための適切な描画分解能とから、適切な吐出分解能を求める。当該吐出分解能を実現する周波数に、ラッチ信号の周波数を決定する。
ステップＳ２３の次には、ステップＳ２８に進む。

図８を参照して説明したように、マザー対向基板２０１Ａには、ガラス基板２０１及びガラス基板４０１が形成される。図１５（ａ）に示したように、ガラス基板２０１のＣＦ層２０８とガラス基板４０１のＣＦ層４０８とは、副走査方向である矢印ｂの方向において、互いに隣り合って形成される。また、図１５（ａ）に示したように、副走査方向に連なるヘッドユニット５４（液滴吐出ヘッド１７）を用いてマザー対向基板２０１Ａに、ＣＦ層２０８及びＣＦ層４０８を形成する。この場合、図１５（ｂ）に示したように、ＣＦ層２０８を形成する領域及びＣＦ層４０８を形成する領域の両方に対向する液滴吐出ヘッド１７が存在する可能性が極めて高い。図１０を参照して説明したように、マザー対向基板２０１Ａにおいて、ガラス基板２０１のＣＦ層２０８とガラス基板４０１のＣＦ層４０８とは、それらのフィルタ膜２０５又はフィルタ膜４０５を形成するための主走査方向の描画分解能が異なっている。従って、マザー対向基板２０１ＡにＣＦ層２０８及びＣＦ層４０８のフィルタ膜２０５及びフィルタ膜４０５を形成するための吐出を実施する場合、主走査方向の描画分解能が異なる二つの領域に対向する境界ヘッド１７０が存在する可能性が極めて高い。図１５（ｂ）に示したヘッドユニット５４においては、液滴吐出ヘッド１７ｆが、境界ヘッド１７０になっている。

境界ヘッド１７０が存在する場合（ステップＳ２２でＹＥＳ）は、ステップＳ２４に進む。
ステップＳ２２の次にステップＳ２４では、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７及び補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７の吐出タイミングを決定する。
吐出ユニット２が有する液滴吐出ヘッド１７において、ＣＦ層２０８を形成するための吐出を実施する液滴吐出ヘッド１７は、吐出タイミング規定するラッチ信号を、図１０を参照して説明したラッチ信号２６２に決定する。ＣＦ層４０８を形成するための吐出を実施する液滴吐出ヘッド１７は、吐出タイミング規定するラッチ信号を、図１０を参照して説明したラッチ信号２７２に決定する。

吐出ユニット２が有する液滴吐出ヘッド１７において、境界ヘッド１７０に相当する液滴吐出ヘッド１７は、２種類の異なる吐出分解能を実現する必要がある。しかし、１個の液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８において、ラッチ信号の周波数は共通であって、一度に実現できる吐出分解能は１種類である。そこで、描画分解能が異なる二つの領域の、一方の領域は吐出ユニット２の境界ヘッド１７０を用いて描画吐出を実施する。もう一方の領域は、補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７を用いて描画吐出を実施する。
もう一方の領域に対して描画吐出を実施するために用いられる補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７を、補完ヘッド１７２と表記する。

マザー対向基板２０１Ａにおいて、図１５（ｂ）に示した二点鎖線Ａ１及び二点鎖線Ａ２に挟まれた領域Ａの範囲に入る領域には、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７における境界ヘッド１７０が対向する。領域Ａの範囲に入るＣＦ層２０８を形成する領域を、境界領域２０８Ａと表記し、領域Ａの範囲に入るＣＦ層４０８を形成する領域を、境界領域４０８Ａと表記する。
例えば、境界ヘッド１７０（図１５（ｂ）においては、液滴吐出ヘッド１７ｆ）については、ラッチ信号を、ラッチ信号２６２に決定する。補完吐出ユニット３０２の補完ヘッド１７２（図１５（ｂ）においては、液滴吐出ヘッド１７ｔ）については、ラッチ信号を、ラッチ信号２７２に決定する。この場合、境界領域２０８Ａに向けては、ラッチ信号２６２に基づいて吐出を実施する境界ヘッド１７０から機能液２５２を吐出し、境界領域４０８Ａに向けては、ラッチ信号２７２に基づいて吐出を実施する補完ヘッド１７２から機能液２５２を吐出する。

なお、上述したように、ＣＦ層２０８及びＣＦ層４０８は３色のフィルタ膜２０５を有するため、略同一の範囲に、赤色吐出ヘッド１７Ｒ、緑色吐出ヘッド１７Ｇ、及び青色吐出ヘッド１７Ｂによる、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成するための描画吐出をそれぞれ実施する必要がある。青色吐出ヘッド１７Ｂである液滴吐出ヘッド１７ｆが境界ヘッド１７０となる場合、液滴吐出ヘッド１７ｆの他に、赤色吐出ヘッド１７Ｒである例えば液滴吐出ヘッド１７ｄ、及び緑色吐出ヘッド１７Ｇである例えば液滴吐出ヘッド１７ｅが、境界ヘッド１７０となる描画吐出を実施する必要がある。
液滴吐出ヘッド１７ｄ、又は液滴吐出ヘッド１７ｅが、境界ヘッド１７０となる場合には、補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７ｒ、又は液滴吐出ヘッド１７ｓを、境界ヘッド１７０を用いて機能液２５２を配置する境界領域とは異なる境界領域（例えば、境界領域４０８Ａ）に機能液２５２を配置する補完ヘッド１７２として用いる。

次に、ステップＳ２５では、補完ヘッドユニット３５４を位置決めする。図１５（ｂ）に示したように、青色吐出ヘッド１７Ｂである液滴吐出ヘッド１７ｆが境界ヘッド１７０である場合は、補完ヘッドユニット３５４において青色吐出ヘッド１７Ｂである液滴吐出ヘッド１７ｔが境界領域２０８Ａ又は境界領域４０８Ａの少なくとも一方に対向可能な位置に、位置決めする。
例えば、境界領域２０８Ａに向けては、境界ヘッド１７０である液滴吐出ヘッド１７ｆから機能液２５２を吐出する場合は、補完ヘッド１７２である液滴吐出ヘッド１７ｔは、境界領域４０８Ａに対向可能な位置に、位置決めされる。

なお、液滴吐出ヘッド１７ｔなどの補完ヘッド１７２は、境界ヘッド１７０に対して、副走査方向の位置を合わせることによって位置決めしてもよい。境界ヘッド１７０に対して位置決めした補完ヘッド１７２を有する補完ヘッドユニット３５４には、機能液２５２の吐出に際しては、境界ヘッド１７０の副走査方向の移動と同じ副走査方向の移動を実施させる。境界領域（境界領域２０８Ａなど）は、境界ヘッド１７０が対向する領域であるため、境界ヘッド１７０に対して位置決めした補完ヘッド１７２を当該境界領域に対向させることができる。
より均一なフィルタ膜２０５を形成するために、境界領域２０８Ａに向けての液滴吐出ヘッド１７ｆからの吐出を、液滴吐出ヘッド１７ｆの副走査方向の微小移動を挟んで複数回実施する場合がある。このような場合には、液滴吐出ヘッド１７ｔの位置を液滴吐出ヘッド１７ｆに対して位置決めし、液滴吐出ヘッド１７ｔの副走査方向の移動を、液滴吐出ヘッド１７ｆの副走査方向の移動に合わせることで、液滴吐出ヘッド１７ｔを境界領域４０８Ａなどに容易に対向させることができる。
境界領域２０８Ａ又は境界領域４０８Ａ、又は境界ヘッド１７０に対する補完ヘッド１７２の吐出ノズル７８の副走査方向の位置は、補完吐出ユニット３０２の補完ヘッドユニット３５４を、上述した補完軸テーブル３１２によって、図１５（ａ）の矢印ｂの方向（副走査方向）に移動させて、位置決めする。

次に、ステップＳ２６では、吐出検査を実施する。吐出ユニット２が有する境界ヘッド１７０以外の液滴吐出ヘッド１７の全ての吐出ノズル７８と、境界ヘッド１７０における、２個所の境界領域の一方に向けて機能液２５２を吐出する吐出ノズル７８と、補完ヘッド１７２における、２個所の境界領域の他方の境界領域に向けて機能液２５２を吐出する吐出ノズル７８と、から、検査吐出を実施する。検査吐出は、それぞれの吐出ノズル７８から吐出された機能液２５２の液滴が、上述した検査描画ユニット１６１の検査シート上に一直線状に着弾するタイミングで、それぞれの吐出ノズル７８から実施される。検査シート上に着弾した機能液２５２の液滴を吐出検査ユニット１８の検査カメラ１６３で検出することによって、吐出検査を実施する。一直線状に着弾するべき着弾位置の、当該一直線からの主走査方向のずれ量によって、それぞれの吐出ノズル７８の吐出タイミングが適正であるか否かを、検証することができる。補完ヘッド１７２から吐出された液滴の着弾位置の、境界ヘッド１７０から吐出された液滴の着弾位置に対する副走査方向の相対位置によって、補完ヘッド１７２が、副走査方向において適性に位置決めされており、補完ヘッド１７２の吐出ノズル７８の副走査方向の位置が適正であるか否かを検証することができる。

次に、ステップＳ２７では、吐出検査の結果に基づいて、補完ヘッド１７２の吐出ノズル７８の位置が適正であるか否かを判定する。
補完ヘッド１７２の吐出ノズル７８の位置が適正でなかった場合（ステップＳ２７でＮＯ）は、ステップＳ２５に戻り、再度補完ヘッド１７２の位置合わせを実施して、ステップＳ２６及びステップＳ２７を繰り返す。
補完ヘッド１７２の吐出ノズル７８の位置が適正であった場合（ステップＳ２７でＹＥＳ）は、ステップＳ２８に進む。

ステップＳ２３又はステップＳ２７の次に、ステップＳ２８では、マザー対向基板２０１Ａ上のフィルタ膜領域２２５及びフィルタ膜領域４２５に向けて、吐出ユニット２及び補完吐出ユニット３０２から機能液２５２を吐出する描画吐出を実施する。
図１５（ａ）に示したように、吐出ユニット２に対向可能に、マザー対向基板２０１Ａを液滴吐出装置１のワーク載置台２１にセットする。セットしたマザー対向基板２０１Ａを矢印ａの方向（主走査方向）に移動させながら、吐出ユニット２の吐出ノズル７８から機能液２５２（図１２参照）を吐出して、ＣＦ層２０８を形成する領域のフィルタ膜領域２２５又はＣＦ層４０８を形成する領域のフィルタ膜領域４２５に、機能液２５２を配置する。
フィルタ膜領域２２５又はフィルタ膜領域４２５に対する吐出ノズル７８の副走査方向の位置は、吐出ユニット２のヘッドユニット５４を、上述したＹ軸テーブル１２によって、図１５（ａ）の矢印ｂの方向（副走査方向）に移動させて、位置決めする。
ステップＳ２８を終了して、フィルタ膜２０５などを形成する描画工程を終了する。

第一の実施形態によれば、以下に記載する効果が得られる。
（１）補完吐出ユニット３０２は、補完軸テーブル３１２とを備えているため、補完ヘッド１７２を、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７とは独立して、境界領域２０８Ａなどの境界領域に対向可能な位置に移動し、当該位置に位置決めすることができる。

（２）吐出ユニット２とは別に、補完ヘッド１７２としての液滴吐出ヘッド１７を有する補完吐出ユニット３０２を備えるため、境界ヘッド１７０が対向する一方の境界領域に向けて境界ヘッド１７０から機能液２５２を吐出し、もう一方の境界領域に向けては補完ヘッド１７２から機能液２５２を吐出することができる。境界ヘッド１７０と補完ヘッド１７２とは、それぞれ独立して吐出分解能（ラッチ信号の周波数）を設定することができる。これにより、適切な吐出分解能が互いに異なると共に副走査方向で隣り合っている２個所の境界領域に、それぞれの境界領域に適切な描画分解能を実現する吐出分解能で、１回の主走査方向の間にそれぞれ機能液２５２を配置することができる。

（３）吐出ユニット２が、赤色吐出ヘッド１７Ｒ、緑色吐出ヘッド１７Ｇ、青色吐出ヘッド１７Ｂを備えるのに対応して、補完吐出ユニット３０２も赤色吐出ヘッド１７Ｒ、緑色吐出ヘッド１７Ｇ、青色吐出ヘッド１７Ｂを備える。これにより、赤色機能液２５２Ｒ、緑色機能液２５２Ｇ、及び青色機能液２５２Ｂのそれぞれについて、適切な吐出分解能が互いに異なると共に副走査方向で隣り合っている２個所の境界領域に、それぞれの境界領域に適切な描画分解能を実現する吐出分解能で、１回の主走査方向の間にそれぞれ機能液を配置することができる。

（４）補完吐出ユニット３０２は、吐出ユニット２が備える液滴吐出ヘッド１７と同仕様の液滴吐出ヘッド１７を備えるため、補完ヘッド１７２を吐出ユニット２が備える液滴吐出ヘッド１７と同様の駆動信号で駆動することができる。

（５）補完ヘッド１７２の副走査方向の位置は、境界ヘッド１７０と同じ位置に位置合わせされる。このため、境界ヘッド１７０が描画吐出を実施しない境界領域に境界ヘッド１７０から描画吐出を実施させる場合に境界ヘッド１７０に印加する駆動信号を、描画吐出開始のタイミングのみをずらして印加することで、補完ヘッド１７２に、適切な描画吐出を実施させることができる。

（６）補完ヘッドユニット３５４が有する３個の液滴吐出ヘッド１７の相互の位置関係は、ヘッド組５５における６個の液滴吐出ヘッド１７の中の３個の液滴吐出ヘッド１７の相互の位置関係と同様に位置決めされている。これにより、補完ヘッドユニット３５４が有する１個の液滴吐出ヘッド１７を、ヘッド組５５における１個の液滴吐出ヘッド１７に対して位置決めすることで、補完ヘッドユニット３５４が有する他の２個の液滴吐出ヘッド１７も、それぞれヘッド組５５における対応する位置の１個の液滴吐出ヘッド１７に対して位置決めすることができる。

（７）液滴吐出装置１を用いてマザー対向基板２０１Ａに機能液２５２を配置することで、補完ヘッド１７２を用いて境界領域に効率よく機能液２５２を配置することが可能となる。これにより、効率よく対向基板２２０や、対向基板４２０を形成することができる。

（第二の実施形態）
次に、液滴吐出装置、液滴吐出装置の制御方法、電気光学装置の製造装置、及び電気光学装置の製造方法の第二の実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態は、電気光学装置の一例である有機ＥＬ表示装置を製造する工程において、機能膜の一例である発光層、正孔輸送層などを形成する工程で用いられる液滴吐出装置、及び液滴吐出装置の制御方法を例に説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置と実質的に同一のものであるため、液滴吐出装置に関する説明は省略する。

＜有機ＥＬ表示装置の構成＞
最初に、有機ＥＬ表示装置の構成について説明する。図１６は、有機ＥＬ表示装置を示す概略正面図である。図１６（ａ）は、有機ＥＬ表示装置の全体を示す概略正面図であり、図１６（ｂ）は、カラー素子の配列例を示す部分拡大図である。図１６（ａ）に示すように、本実施形態の有機ＥＬ表示装置５００は、発光素子である複数の有機ＥＬ素子５０７を有する素子基板５０１と、封止基板５０９とを備えている。有機ＥＬ素子５０７はいわゆるカラー素子であり、有機ＥＬ表示装置５００は、赤色素子５０７Ｒ（赤色系）、緑色素子５０７Ｇ（緑色系）、青色素子５０７Ｂ（青色系）の３色の有機ＥＬ素子５０７を有している。有機ＥＬ素子５０７は表示領域５０６に配置されており、当該表示領域５０６に画像が表示される。

素子基板５０１上の３色の有機ＥＬ素子５０７は、例えば、図１６（ｂ）に示すように、同色系の有機ＥＬ素子５０７が段違いに配置され、３色のカラー素子が、任意の隣接する３つの有機ＥＬ素子５０７が異なる色となるように配置されている。各有機ＥＬ素子５０７の平面形状は略円形である。図の上下方向に並ぶ有機ＥＬ素子５０７を一つおきに図の左右方向にずらすことで、有機ＥＬ素子５０７の配置密度を上げている。

素子基板５０１は、各有機ＥＬ素子５０７に対応した位置に、駆動素子としての複数のスイッチング素子５１２（図１７参照）を備えている。スイッチング素子５１２は、例えば、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子である。また、封止基板５０９よりも一回り大きく、額縁状に張り出した部分には、スイッチング素子５１２を駆動する二つの走査線駆動回路部５０３，５０３と一つのデータ線駆動回路部５０４が設けられている。素子基板５０１の端子部５０２には、これらの走査線駆動回路部５０３又はデータ線駆動回路部５０４と外部駆動回路とを接続するためのフレキシブルな中継基板５０８が実装されている。走査線駆動回路部５０３及びデータ線駆動回路部５０４は、例えば、あらかじめ素子基板５０１の表面に低温ポリシリコンの半導体層を形成して構成する。
なお、図１６においては、走査線駆動回路部５０３などをわかりやすく示すために、表示領域５０６に対して周囲の領域を大きくしてある。

図１７は、有機ＥＬ表示装置の有機ＥＬ素子を含む要部の断面図である。素子基板５０１は、ガラス基板５１０と、複数のスイッチング素子５１２と、絶縁層５１１と、複数の画素電極５１４と、バンク５１５と、を有する。複数のスイッチング素子５１２は、ガラス基板５１０の一方の表面上に形成されている。絶縁層５１１は、スイッチング素子５１２を覆うように形成されている。複数の画素電極５１４はそれぞれ絶縁層５１１上に形成されており、導通層５１４ａを介してスイッチング素子５１２と導通している。バンク５１５は、複数の画素電極５１４の間に、画素電極５１４が臨む空間をそれぞれの画素電極５１４ごとに区画するように形成されている。

さらに、バンク５１５によって区画された領域（以降、「画素領域５２１」と表記する。）の画素電極５１４上に形成された正孔輸送層５１６と、正孔輸送層５１６上に積層して形成された発光層５１７と、発光層５１７及びバンク５１５を覆うように設けられた対向電極５１８と、を有する。有機ＥＬ表示装置５００は、素子基板５０１の対向電極５１８に対向して封止基板５０９が配置され、対向電極５１８と封止基板５０９との間に不活性ガス５２０が封入されている。画素電極５１４と、バンク５１５によって区画された領域の当該画素電極５１４上に形成された正孔輸送層５１６と、発光層５１７と、対向電極５１８とが、有機ＥＬ素子５０７に該当する。

画素領域５２１に、赤色、緑色、青色の光をそれぞれ発光する発光層５１７である、赤色発光層５１７Ｒ（赤色系）、緑色発光層５１７Ｇ（緑色系）、青色発光層５１７Ｂ（青色系）を形成することで、赤色素子５０７Ｒ、緑色素子５０７Ｇ、青色素子５０７Ｂを形成する。赤色素子５０７Ｒ、緑色素子５０７Ｇ、青色素子５０７Ｂを各１個ずつ含む有機ＥＬ素子５０７の組で、画像を構成する最小単位である絵素を形成している。１絵素内の赤色素子５０７Ｒ、緑色素子５０７Ｇ、青色素子５０７Ｂのいずれか一つ又はそれらの組み合わせに選択的に発光させることにより、フルカラー表示を行う。

＜有機ＥＬ素子の形成＞
次に、有機ＥＬ表示装置５００の素子基板５０１における有機ＥＬ素子５０７を構成する正孔輸送層５１６、発光層５１７、及び対向電極５１８を形成する工程について、図１８及び図１９を参照して説明する。図１８は素子基板の正孔輸送層、発光層、及び対向電極の形成工程を示すフローチャートであり、図１９（ａ）〜（ｅ）は素子基板の正孔輸送層、発光層、及び対向電極の形成工程を示す模式断面図である。

図１８のステップＳ４１では、図１９（ａ）に示すように、スイッチング素子５１２と、絶縁層５１１と、導通層５１４ａと、画素電極５１４とが形成されたガラス基板５１０の表面に、バンク５１５を形成して隔壁部を形成する。バンク５１５は、例えば、ガラス基板５１０の表面にバンク５１５の材料を含む液状材料を塗布し、乾燥させてバンク膜を形成し、フォトエッチングなどで画素領域５２１などの部分を取り除くことで、形成する。次に、ステップＳ４２では、バンク５１５が形成されたガラス基板５１０を洗浄する。

次に、ステップＳ４３では、バンク５１５が形成され洗浄されたガラス基板５１０を、正孔輸送層５１６の材料を含む機能液５６０を充填し易くするように、表面処理する。バンク５１５に囲まれた画素領域５２１の底部と、バンク５１５の側面とが、機能液５６０に対して親液性となるように処理し、バンク５１５の頂部は機能液５６０に対して撥液性となるように処理する。この処理によって、画素領域５２１に充填されるべく配置された機能液５６０が画素領域５２１に馴染み易くなると共に、画素領域５２１から溢れ出し難くなる。

次に、ステップＳ４４では、正孔輸送層材料液を塗布する。図１９（ｂ）に示すように、バンク５１５によって形成された複数の画素領域５２１のそれぞれに正孔輸送層５１６の材料を含む機能液５６０を液滴吐出ヘッド１７から液滴５６０ａとして吐出し、画素領域５２１に機能液５６０を充填する。

次に、ステップＳ４５では、機能液５６０を乾燥させることによって、正孔輸送層５１６を形成する。機能液５６０が乾燥して、図１９（ｃ）に示すように、正孔輸送層５１６が形成される。
この工程は、乾燥状態を制御して、より均一な正孔輸送層５１６を形成するために、減圧環境下で実施してもよい。画素領域５２１に機能液５６０を充填したガラス基板５１０を減圧環境に投入し、機能液５６０を乾燥させて、正孔輸送層５１６を形成する。なお、機能液５６０は、厳密には、液滴吐出ヘッド１７から液滴５６０ａとして吐出された瞬間から乾燥を開始するが、機能液５６０の溶媒の沸点などを調節することで、常圧ではほとんど乾燥せず、減圧された状態で乾燥するようにすることができる。減圧環境での乾燥工程で殆ど全ての乾燥が行われるようにするためには、機能液５６０は乾燥進行が遅い高沸点溶媒の比率を高くすることが好ましい。

次に、ステップＳ４６では、発光層材料液を塗布する。図１９（ｃ）に示すように、正孔輸送層５１６が形成された複数の画素領域５２１のそれぞれに、発光層５１７の材料を含む機能液５７０を液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、画素領域５２１に機能液５７０を充填する。
上述したように、有機ＥＬ表示装置５００は、赤色発光層５１７Ｒ（赤色系）、緑色発光層５１７Ｇ（緑色系）、及び青色発光層５１７Ｂ（青色系）の３色の発光層５１７を備え、当該３色の発光層によるカラー表示を行う。
赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、又は青色発光層５１７Ｂの材料を含む機能液５７０を、それぞれ赤色機能液５７０Ｒ、緑色機能液５７０Ｇ、又は青色機能液５７０Ｂと表記する。赤色機能液５７０Ｒ、緑色機能液５７０Ｇ、又は青色機能液５７０Ｂが充填された液滴吐出ヘッド１７を、それぞれ赤色吐出ヘッド１７Ｒ、緑色吐出ヘッド１７Ｇ、又は青色吐出ヘッド１７Ｂと表記する。
図１９（ｃ）に示すように、赤色発光層５１７Ｒが形成される画素領域５２１に向けて、赤色吐出ヘッド１７Ｒから、赤色機能液５７０Ｒが、液滴５７０Ｒａとして吐出される。同様に、緑色発光層５１７Ｇ、又は青色発光層５１７Ｂが形成される各画素領域５２１に向けて、緑色吐出ヘッド１７Ｇ、又は青色吐出ヘッド１７Ｂから、緑色機能液５７０Ｇ、又は青色機能液５７０Ｂが、液滴５７０Ｇａ、又は液滴５７０Ｂａとして吐出される。

なお、機能液５６０が画素領域５２１に馴染み易くなると共に画素領域５２１から溢れ出し難くなるようにステップＳ４３で実行した表面処理が、機能液５７０については有効でない場合には、ステップＳ４６を実行する前に、ステップＳ４３で実行した処理と同様の表面処理を実行する。勿論、この場合に実行する処理は、機能液５７０が画素領域５２１に馴染み易くなると共に画素領域５２１から溢れ出し難くなるようにする表面処理である。

次に、ステップＳ４７では、赤色機能液５７０Ｒ、緑色機能液５７０Ｇ、及び青色機能液５７０Ｂを乾燥させることによって、赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、及び青色発光層５１７Ｂを形成する。赤色機能液５７０Ｒ、緑色機能液５７０Ｇ、及び青色機能液５７０Ｂが乾燥して、図１９（ｄ）に示すように、赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、及び青色発光層５１７Ｂが形成される。
この工程も、上述した機能液５６０の乾燥工程と同様に、乾燥状態を制御して、より均一な赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、及び青色発光層５１７Ｂを形成するために、減圧環境下で実施してもよい。減圧環境下での乾燥を実施する場合、減圧環境での乾燥工程で殆ど全ての乾燥が行われるようにするためには、赤色機能液５７０Ｒ、緑色機能液５７０Ｇ、及び青色機能液５７０Ｂは、乾燥進行が遅い高沸点溶媒の比率を高くすることが好ましい。

次に、ステップＳ４８では、対向電極材料液を塗布する。対向電極材料液は、赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、及び青色発光層５１７Ｂが形成されたガラス基板５１０の、赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、青色発光層５１７Ｂ、及びバンク５１５の全体を覆うように、塗布する。対向電極材料液の塗布にも、液滴吐出装置１を用いることができる。

次に、ステップＳ４９では、対向電極材料液を乾燥させることによって、対向電極５１８を形成する。対向電極５１８は、真空蒸着によって形成してもよい。真空蒸着によって対向電極５１８を形成する場合は、乾燥工程は必要としない。
図１９（ｅ）に示すように、対向電極５１８を形成して、正孔輸送層５１６、発光層５１７、及び対向電極５１８を形成する工程を終了する。
さらに、正孔輸送層５１６、発光層５１７、及び対向電極５１８の形成工程を実行して形成した素子基板５０１に、封止基板５０９を取り付け、上述した中継基板５０８などを実装して、有機ＥＬ表示装置５００を形成する。

＜正孔輸送層の描画工程＞
次に、有機ＥＬ表示装置５００を形成する過程において、液滴吐出装置１を用いて、マザー素子基板５０１Ａ上の表示領域５０６に正孔輸送層５１６を形成する描画工程について説明する。正孔輸送層５１６を形成する描画工程は、第一の実施形態で説明した、マザー対向基板２０１Ａ上にフィルタ膜２０５を形成する描画工程と実質的に同様である。正孔輸送層５１６を形成する描画工程における、吐出ユニット２及び補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７と、マザー素子基板５０１Ａにおける表示領域５０６と、の位置関係は、吐出ユニット２及び補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７と、マザー対向基板２０１ＡにおけるＣＦ層２０８を形成する領域と、の位置関係とは異なっている。正孔輸送層５１６を形成する描画工程における、吐出ユニット２及び補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７と、マザー素子基板５０１Ａにおける表示領域５０６と、の位置関係について、図２０を参照して説明する。

図２０は、吐出ユニット及び補完吐出ユニットの液滴吐出ヘッドと、マザー素子基板における表示領域と、の位置関係を示す模式図である。図２０（ａ）は、吐出ユニットとマザー素子基板における表示領域との位置関係を示す模式図であり、図２０（ｂ）は、マザー素子基板における方向が異なる表示領域に対する、吐出ユニットの液滴吐出ヘッド及び補完ユニットの液滴吐出ヘッドの位置関係を示す模式図である。

図２０（ａ）に示すように、マザー素子基板５０１Ａには、複数の表示領域５０６（素子基板５０１）が形成される。ここで、図１６（ａ）に示した有機ＥＬ表示装置５００の横方向（図１６（ａ）で水平方向）が、主走査方向（図２０（ａ）で矢印ａの方向）となるような、マザー素子基板５０１Ａにおける表示領域５０６（素子基板５０１）の配置方向を、横配置と表記し、横配置と略９０度回転した配置方向を、縦配置と表記する。無駄な部分が少なくなるようにマザー素子基板５０１Ａに素子基板５０１を形成する部分を配置するために、複数の表示領域５０６（素子基板５０１）は、マザー素子基板５０１Ａに横配置で形成されるものと、縦配置で形成されるものがある。
図１６（ｂ）を参照して説明したように、有機ＥＬ素子５０７は、図１６（ｂ）における上下方向と左右方向とで、素子間の間隔が異なっている。このため、横配置の表示領域５０６と縦配置の表示領域５０６とで、画素領域５２１に正孔輸送層材料液である機能液５６０を配置するための適切な描画分解能が異なっている。以降、横配置の表示領域５０６を、表示領域５０６Ｈと表記し、縦配置の表示領域５０６を、表示領域５０６Ｖと表記する。

図２０（ａ）に示したように、横配置で形成される表示領域５０６Ｈと、縦配置で形成される表示領域５０６Ｖとは、副走査方向である矢印ｂの方向において、互いに隣り合って形成される。また、副走査方向に連なるヘッドユニット５４（液滴吐出ヘッド１７）を用いてマザー素子基板５０１Ａに、表示領域５０６Ｈ及び表示領域５０６Ｖを形成する。この場合、図２０（ｂ）に示したように、表示領域５０６Ｈを形成する領域及び表示領域５０６Ｖを形成する領域の両方に対向する液滴吐出ヘッド１７が存在する可能性が極めて高い。
主走査方向の描画分解能が異なる二つの領域に対向する当該液滴吐出ヘッド１７を境界ヘッド６７０と表記する。図２０（ｂ）に示したヘッドユニット５４においては、液滴吐出ヘッド１７ｅが、境界ヘッド６７０になっている。

第一の実施形態において説明したように、吐出ユニット２が有する液滴吐出ヘッド１７において、境界ヘッド６７０に相当する液滴吐出ヘッド１７は、２種類の異なる吐出分解能を実現する必要がある。しかし、１個の液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８において、ラッチ信号の周波数は共通であって、一度に実現できる吐出分解能は１種類である。そこで、描画分解能が異なる二つの領域の、一方の領域は吐出ユニット２の境界ヘッド６７０を用いて描画吐出を実施する。もう一方の領域は、補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７を用いて描画吐出を実施する。もう一方の領域に対して描画吐出を実施するために用いられる補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７を、補完ヘッド６７２と表記する。
正孔輸送層５１６を形成する描画工程においては、液滴吐出ヘッド１７が吐出するのは機能液５６０のみであるため、補完ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７ｒ，１７ｓ，１７ｔのいずれを補完ヘッド６７２として用いてもよく、いずれか一つのみを補完ヘッド６７２として用いればよい。図２０（ｂ）に示した補完ヘッドユニット３５４においては、液滴吐出ヘッド１７ｓが、液滴吐出ヘッド１７ｅと副走査方向において同じ位置に位置決めされており、補完ヘッド６７２になっている。

マザー素子基板５０１Ａにおいて、図２０（ｂ）に示した二点鎖線Ｂ１及び二点鎖線Ｂ２に挟まれた領域Ｂの範囲に入る領域には、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７における境界ヘッド６７０が対向する。領域Ｂの範囲に入る表示領域５０６Ｈの正孔輸送層５１６を形成する領域を、境界領域５０６Ｂと表記し、領域Ｂの範囲に入る表示領域５０６Ｖの正孔輸送層５１６を形成する領域を、境界領域５０６Ｃと表記する。

例えば、境界ヘッド６７０（図２０（ｂ）においては、液滴吐出ヘッド１７ｅ）については、ラッチ信号を、表示領域５０６Ｈの適切な描画分解能を実現できるラッチ信号に決定する。補完吐出ユニット３０２の補完ヘッド６７２（図２０（ｂ）においては、液滴吐出ヘッド１７ｓ）については、ラッチ信号を、表示領域５０６Ｖの適切な描画分解能を実現できるラッチ信号に決定する。
この場合、境界領域５０６Ｂに向けては、表示領域５０６Ｈの適切な描画分解能を実現できるラッチ信号に基づいて吐出を実施する境界ヘッド６７０から機能液５６０を吐出し、境界領域５０６Ｃに向けては、表示領域５０６Ｖの適切な描画分解能を実現できるラッチ信号に基づいて吐出を実施する補完ヘッド６７２から機能液５６０を吐出する。

＜発光層の描画工程＞
次に、有機ＥＬ表示装置５００を形成する過程において、液滴吐出装置１を用いて、マザー素子基板５０１Ａ上の表示領域５０６に発光層５１７を形成する描画工程について説明する。発光層５１７を形成する描画工程は、第一の実施形態で説明した、マザー対向基板２０１Ａ上にフィルタ膜２０５を形成する描画工程と実質的に同様である。発光層５１７を形成する描画工程における、吐出ユニット２及び補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７と、マザー素子基板５０１Ａにおける表示領域５０６と、の位置関係は、吐出ユニット２及び補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７と、マザー対向基板２０１ＡにおけるＣＦ層２０８を形成する領域と、の位置関係とは異なっている。発光層５１７を形成する描画工程における、吐出ユニット２及び補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７と、マザー素子基板５０１Ａにおける表示領域５０６と、の位置関係について、図２１を参照して説明する。

図２１は、吐出ユニット及び補完吐出ユニットの液滴吐出ヘッドと、マザー素子基板における表示領域と、の位置関係を示す模式図である。図２１（ａ）は、吐出ユニットとマザー素子基板における表示領域との位置関係を示す模式図であり、図２１（ｂ）は、マザー素子基板における方向が異なる表示領域に対する、吐出ユニットの液滴吐出ヘッド及び補完ユニットの液滴吐出ヘッドの位置関係を示す模式図である。

図２１（ａ）に示すマザー素子基板５０１Ａは、図２０（ａ）を参照して説明したマザー素子基板５０１Ａであり、表示領域５０６Ｈや表示領域５０６Ｖの配置は、図２０（ａ）を参照して説明した配置と同じである。
主走査方向の描画分解能が異なる二つの領域に対向する当該液滴吐出ヘッド１７を境界ヘッド６７６と表記する。マザー素子基板５０１Ａにおいて、図２１（ｂ）に示した二点鎖線Ｂ１及び二点鎖線Ｂ２に挟まれた領域Ｂに入る領域には、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７における境界ヘッド６７６が対向する。発光層５１７を形成する描画工程においては、領域Ｂに入る表示領域５０６Ｈの発光層５１７を形成する領域を、境界領域５０６Ｂと表記し、領域Ｂに入る表示領域５０６Ｖの発光層５１７を形成する領域を、境界領域５０６Ｃと表記する。当該境界領域５０６Ｂと境界領域５０６Ｃとは、正孔輸送層５１６を形成する描画工程における境界領域５０６Ｂ又は境界領域５０６Ｃと同じ範囲である。図２１（ｂ）に示したヘッドユニット５４においては、液滴吐出ヘッド１７ｅが、境界ヘッド６７６になっている。

上述したように、描画分解能が異なる二つの領域の、一方の領域は吐出ユニット２の境界ヘッド６７６を用いて描画吐出を実施する。もう一方の領域は、補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７を用いて描画吐出を実施する。もう一方の領域に対して描画吐出を実施するために用いられる補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７を、補完ヘッド６７８と表記する。図２１（ｂ）に示した補完ヘッドユニット３５４においては、液滴吐出ヘッド１７ｓが、補完ヘッド６７８になっている。

例えば、境界ヘッド６７６（図２１（ｂ）においては、液滴吐出ヘッド１７ｅ）については、ラッチ信号を、表示領域５０６Ｈの適切な描画分解能を実現できるラッチ信号に決定する。補完吐出ユニット３０２の補完ヘッド６７２（図２１（ｂ）においては、液滴吐出ヘッド１７ｓ）については、ラッチ信号を、表示領域５０６Ｖの適切な描画分解能を実現できるラッチ信号に決定する。
この場合、表示領域５０６Ｈの一部である境界領域５０６Ｂに向けては、表示領域５０６Ｈの適切な描画分解能を実現できるラッチ信号に基づいて吐出を実施する境界ヘッド６７６（液滴吐出ヘッド１７ｅ）から機能液５７０を吐出する。表示領域５０６Ｖの一部である境界領域５０６Ｃに向けては、表示領域５０６Ｖの適切な描画分解能を実現できるラッチ信号に基づいて吐出を実施する補完ヘッド６７２（液滴吐出ヘッド１７ｓ）から機能液５７０を吐出する。

なお、上述したように、発光層５１７は、赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、青色発光層５１７Ｂの３色がある。このため、略同一の範囲に、赤色吐出ヘッド１７Ｒ、緑色吐出ヘッド１７Ｇ、及び青色吐出ヘッド１７Ｂによる、赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、又は青色発光層５１７Ｂを形成するための描画吐出をそれぞれ実施する必要がある。
緑色吐出ヘッド１７Ｇである液滴吐出ヘッド１７ｅを境界ヘッド６７６とする描画吐出を実施する場合、液滴吐出ヘッド１７ｅの他に、赤色吐出ヘッド１７Ｒである例えば液滴吐出ヘッド１７ｄ、及び青色吐出ヘッド１７Ｂである例えば液滴吐出ヘッド１７ｆを、境界ヘッド６７６とする描画吐出を実施する必要がある。
液滴吐出ヘッド１７ｄを境界ヘッド６７６とする描画吐出を実施する場合には、補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７ｒを、境界ヘッド６７６（液滴吐出ヘッド１７ｄ）を用いて機能液５７０を配置する境界領域（例えば、境界領域５０６Ｂ）とは異なる境界領域（例えば、境界領域５０６Ｃ）に機能液５７０を配置する補完ヘッド６７８として用いる。液滴吐出ヘッド１７ｆを境界ヘッド６７６とする描画吐出を実施する場合には、補完吐出ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７ｔを、境界ヘッド６７６を用いて機能液５７０を配置する境界領域とは異なる境界領域（例えば、境界領域５０６Ｃ）に機能液５７０を配置する補完ヘッド６７８として用いる。

第二の実施形態によれば、第一の実施形態によって得られる効果に加えて、以下に記載する効果が得られる。
（１）素子基板５０１を形成するために、マザー素子基板５０１Ａには、主走査方向の描画分解能が異なる表示領域５０６Ｈ及び表示領域５０６Ｖを配置する。液滴吐出装置１を用いてマザー素子基板５０１Ａに機能液５６０を配置することで、補完ヘッド６７２を用いて、表示領域５０６Ｈ及び表示領域５０６Ｖの境界領域に効率よく機能液５６０を配置することが可能となる。これにより、マザー素子基板５０１Ａの表示領域５０６Ｈ及び表示領域５０６Ｖの境界領域に、効率よく正孔輸送層５１６を形成することができる。

（２）液滴吐出装置１を用いて、マザー素子基板５０１Ａに赤色機能液５７０Ｒ、緑色機能液５７０Ｇ、及び青色機能液５７０Ｂを配置することで、補完ヘッド６７２を用いて、表示領域５０６Ｈ及び表示領域５０６Ｖの境界領域に効率よく赤色機能液５７０Ｒ、緑色機能液５７０Ｇ、及び青色機能液５７０Ｂを配置することが可能となる。これにより、マザー素子基板５０１Ａの表示領域５０６Ｈ及び表示領域５０６Ｖの境界領域に、効率よく赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、及び青色発光層５１７Ｂを形成することができる。

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。

（変形例１）前記実施形態においては、補完吐出ユニット３０２は、吐出ユニット２と同じ液滴吐出ヘッド１７を備えていたが、補完吐出ユニットを構成する液滴吐出ヘッドが、吐出ユニットを構成する液滴吐出ヘッドと同じであることは必須ではない。補完吐出ユニットを構成する液滴吐出ヘッドは、吐出ユニットを構成する液滴吐出ヘッドと同様の液状体を同様に吐出できる吐出ノズルを有し、当該吐出ノズルの副走査方向の間隔が同様である液滴吐出ヘッドであれば、どのような液滴吐出ヘッドであってもよい。

（変形例２）前記実施形態においては、補完ヘッド１７２、補完ヘッド６７２、又は補完ヘッド６７８は、境界ヘッド１７０、境界ヘッド６７０、又は境界ヘッド６７６と副走査方向の位置を合わせていたが、補完ヘッドの副走査方向の位置を境界ヘッドと同じにすることは必須ではない。補完ヘッドの副走査方向の位置は、境界領域の一方に向けて機能液を吐出できる位置であればよい。

（変形例３）前記実施形態においては、補完吐出ユニット３０２の補完ヘッドユニット３５４は、補完ヘッドプレート３５３に搭載された３個の液滴吐出ヘッド１７を備えていたが、補完吐出ユニットが備える液滴吐出ヘッドの中に副走査方向の相対位置が互いに固定されたものを含むことは必須ではない。補完ヘッドユニットはそれぞれ１個の液滴吐出ヘッドを備える構成であってもよい。補完吐出ユニットの液滴吐出ヘッドは吐出ユニットの液滴吐出ヘッドに対して位置合わせをすることが必要であって、当該位置合わせによって位置精度が確保されるため、補完吐出ユニットの液滴吐出ヘッドの液滴吐出装置への取付精度の規格を緩くすることができる。

（変形例４）前記実施形態においては、電気光学装置の一例である液晶表示パネル２００のフィルタ膜２０５を形成する際の描画吐出、及び有機ＥＬ表示装置５００の正孔輸送層５１６及び発光層５１７を形成する際の描画吐出について説明したが、形成する膜は、フィルタ膜や正孔輸送層や及び発光層に限らない。形成する膜は、液晶表示装置の画素電極膜や配向膜や対向電極膜や、カラーフィルタなどを保護するためなどに設けるオーバーコート膜などであってもよい。有機ＥＬ表示装置の正極電極膜や陰極電極膜、フォトエッチングなどによってパターンを形成するための膜や、フォトエッチングなどのフォトレジスト膜などであってもよい。
形成する膜を有する装置、又は形成過程において膜を形成する必要がある装置も、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置に限らない。上記したような膜を有する装置、又は形成過程において上記したような膜を形成する必要がある装置であれば、どのような装置であってもよい。

（変形例５）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００が備えるＣＦ層２０８は、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂの３色のフィルタ膜を有する３色フィルタであったが、カラーフィルタは、さらに多くの種類のフィルタ膜を有する多色のカラーフィルタであってもよい。多色のカラーフィルタとしては、例えば、赤色、緑色、青色に加えて赤色、緑色、青色の補色のシアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の有機ＥＬ素子を有する６色カラーフィルタや、シアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の３色に緑色を加えた４色カラーフィルタなどがあげられる。

（変形例６）前記実施形態においては、有機ＥＬ表示装置５００は、３色の有機ＥＬ素子を備えることでカラー表示をする有機ＥＬ表示装置であったが、有機ＥＬ表示装置は、カラーフィルタを備えて、当該カラーフィルタによってカラー表示をする有機ＥＬ表示装置であってもよい。カラーフィルタ備える有機ＥＬ表示装置においては、液滴吐出装置を用いて、有機ＥＬ素子やカラーフィルタを形成することができる。

（変形例７）前記実施形態においては、有機ＥＬ素子５０７は、封止基板側から光を射出するトップエミッション型の有機ＥＬ素子であったが、有機ＥＬ素子はトップエミッション型に限らない。基板側から光を射出するボトムエミッション型の有機ＥＬ素子であってもよい。ボトムエミッション型の有機ＥＬ素子においては、少なくとも基板側の電極を透明な材料で形成する。

（変形例８）前記実施形態においては、有機ＥＬ素子５０７は、発光層として、赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、及び青色発光層５１７Ｂの三色の発光層を備えていたが、有機ＥＬ素子が、当該三色の発光層を備えることは必須ではない。有機ＥＬ素子が備える発光層は、他の色の光を発光する発光層であってもよい。

（変形例９）前記実施形態においては、有機ＥＬ素子５０７は、赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、又は青色発光層５１７Ｂを一層備えていたが、ひとつの有機ＥＬ素子が、備える発光層が１層であることは必須ではない。例えば、単独の有機ＥＬ素子が、発光層として、赤色発光層、青色発光層、及び緑色発光層の三色の発光層を各一層ずつ備える構成であってもよい。

（変形例１０）前記実施形態においては、有機ＥＬ表示装置５００が備える有機ＥＬ素子５０７は、赤色素子５０７Ｒ、緑色素子５０７Ｇ、及び青色素子５０７Ｂの３種類であったが、有機ＥＬ表示装置が備える有機ＥＬ素子の種類は３種類に限らない。有機ＥＬ表示装置は、さらに多くの種類の有機ＥＬ素子を備える多色の有機ＥＬ表示装置であってもよい。多色の有機ＥＬ表示装置としては、例えば、赤色、緑色、青色に加えて赤色、緑色、青色の補色のシアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の有機ＥＬ素子を有する６色有機ＥＬ表示装置や、シアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の３色に緑色を加えた４色有機ＥＬ表示装置などがあげられる。

（変形例１１）前記実施形態においては、有機ＥＬ素子５０７は、画素電極５１４と対向電極５１８の間に、正孔輸送層５１６と発光層５１７が形成されていたが、有機ＥＬ素子がこのような構成であることは必須ではない。有機ＥＬ素子は、発光層のみが画素電極と対向電極とに挟まれた構成のものや、正孔輸送層と発光層と電子輸送層とが挟まれた構成のものや、正孔注入層と正孔輸送層と発光層と電子輸送層とが挟まれた構成のものや、正孔輸送層と発光層と電子輸送層と正孔注入層と電子注入層とが挟まれた構成のものなどが知られている。有機ＥＬ素子は、これらの構成など、いずれの構成を有する有機ＥＬ素子であってもよい。

第一の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。 液滴吐出装置の概略構成を示す側面図。 液滴吐出ヘッドの概要を示す外観斜視図。 ヘッドユニット、及び補完ヘッドユニットの概略構成、並びにヘッドユニットと補完ヘッドユニットとの位置関係を示す平面図。 補完ヘッドユニット及びヘッドユニットにおける、三色カラーフィルタを形成する場合の、各機能液を吐出させる液滴吐出ヘッドの配置例を示す模式図。 液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。 液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。 （ａ）対向基板の平面構造を示す模式図。（ｂ）マザー対向基板の平面構造を示す模式図。 ３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図。 フィルタ膜領域の形状と吐出分解能との関係を示す説明図。 液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャート。 液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図。 液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図。 描画工程を示すフローチャート。 吐出ユニット及び補完吐出ユニットの液滴吐出ヘッドと、マザー対向基板におけるＣＦ層を形成する領域と、の位置関係を示す模式図。 （ａ）第二の実施形態における有機ＥＬ表示装置の全体を示す概略正面図。（ｂ）カラー素子の配列例を示す部分拡大図。 有機ＥＬ表示装置の有機ＥＬ素子を含む要部の断面図。 素子基板の正孔輸送層、発光層、及び対向電極の形成工程を示すフローチャート。 素子基板の正孔輸送層、発光層、及び対向電極の形成工程を示す模式断面図。 吐出ユニット及び補完吐出ユニットの液滴吐出ヘッドと、マザー素子基板における表示領域と、の位置関係を示す模式図。 吐出ユニット及び補完吐出ユニットの液滴吐出ヘッドと、マザー素子基板における表示領域と、の位置関係を示す模式図。

符号の説明

１…液滴吐出装置、２…吐出ユニット、４…検査ユニット、６…吐出装置制御部、１２…Ｙ軸テーブル、１７…液滴吐出ヘッド、１７Ｂ…青色吐出ヘッド、１７Ｇ…緑色吐出ヘッド、１７Ｒ…赤色吐出ヘッド、５４…ヘッドユニット、７８…吐出ノズル、１７０…境界ヘッド、１７２…補完ヘッド、２００…液晶表示パネル、２０１，４０１…ガラス基板、２０１Ａ…マザー対向基板、２０５，４０５…フィルタ膜、２０５Ｂ，４０５Ｂ…青色フィルタ膜、２０５Ｇ，４０５Ｇ…緑色フィルタ膜、２０５Ｒ，４０５Ｒ…赤色フィルタ膜、２０８，４０８…ＣＦ層、２０８Ａ，４０８Ａ…境界領域、２１０…素子基板、２１１…ガラス基板、２２０…対向基板、２２５，２２５Ｂ，２２５Ｇ，２２５Ｒ…フィルタ膜領域、２５２…機能液、２５２Ｂ…青色機能液、２５２Ｇ…緑色機能液、２５２Ｒ…赤色機能液、２６２，２７２…ラッチ信号、２６３，２６３Ｂ，２６３Ｇ，２６３Ｒ…着弾点、２７３，２７３Ｂ，２７３Ｇ，２７３Ｋ，２７３Ｒ…着弾点、３０２…補完吐出ユニット、３０５…ユニット移動機構、３５４…補完ヘッドユニット、４２５，４２５Ｂ，４２５Ｇ，４２５Ｒ…フィルタ膜領域、５００…有機ＥＬ表示装置、５０１…素子基板、５０１Ａ…マザー素子基板、５０６，５０６Ｈ，５０６Ｖ…表示領域、５０６Ｂ，５０６Ｃ…境界領域、５０７…有機ＥＬ素子、５０７Ｂ…青色素子、５０７Ｇ…緑色素子、５０７Ｒ…赤色素子、５１０…ガラス基板、５１４…画素電極、５１６…正孔輸送層、５１７…発光層、５１７Ｂ…青色発光層、５１７Ｇ…緑色発光層、５１７Ｒ…赤色発光層、５１８…対向電極、５２１…画素領域、５６０，５７０…機能液、５７０Ｂ…青色機能液、５７０Ｇ…緑色機能液、５７０Ｒ…赤色機能液、６７０，６７６…境界ヘッド、６７２，６７８…補完ヘッド。

Claims (19)

1. 複数の吐出ノズルを有し、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルが主走査方向と交差する副走査方向に配列された１以上のノズル列を有し、前記吐出ノズルから液状体を吐出する複数の吐出ヘッドを備え、それぞれの前記吐出ノズルから前記液状体を吐出すると共に、前記複数の吐出ヘッドと基材とを前記主走査方向に相対移動させることによって、
   前記液状体を適切な間隔で配置するための前記吐出ノズルにおける前記主走査方向の吐出分解能が、第一の吐出分解能である第一の被吐出領域と、前記主走査方向の吐出分解能が、前記第一の吐出分解能とは異なる第二の吐出分解能である第二の被吐出領域と、をそれぞれ１以上有する前記基材であって、前記第一の被吐出領域と前記第二の被吐出領域とが、前記副走査方向において隣り合って位置する組を少なくとも１以上有する前記基材の前記第一の被吐出領域及び前記第二の被吐出領域に、前記液状体を配置する液滴吐出装置であって、
   前記複数の吐出ヘッドから成り、前記複数の吐出ヘッドのそれぞれの吐出ヘッドが有する前記吐出ノズルの前記副走査方向における位置が互いに異なるような位置に、それぞれの前記吐出ヘッドが配置されて構成されているヘッド群と、
   前記液状体を吐出する複数の第一の吐出ノズルが前記副走査方向に配列された第一のノズル列を有し、前記吐出ヘッドとは前記主走査方向において異なる位置に設けられた１以上の補完ヘッドを備える１以上の補完ヘッド群と、
   前記補完ヘッド群を、前記ヘッド群に対して前記副走査方向に相対移動可能に支持している補完ヘッド移動装置と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記補完ヘッド移動装置を制御して、前記補完ヘッドを前記副走査方向に移動させると共に位置決めさせる補完ヘッド位置制御ユニットと、
   前記ヘッド群及び前記補完ヘッド群の前記液状体の吐出を制御する吐出制御ユニットと、をさらに備え、
   前記補完ヘッド位置制御ユニットは、前記補完ヘッド移動装置を制御して、前記第一の被吐出領域と前記第二の被吐出領域との境界を跨いで、前記第一の被吐出領域の部分及び前記第二の被吐出領域の部分の両方に対向可能な前記吐出ヘッドである境界ヘッドが対向可能な、前記第一の被吐出領域の部分又は前記第二の被吐出領域の部分である第一の端領域又は第二の端領域の少なくとも一方に、前記液状体を配置可能な位置に、前記補完ヘッドの前記副走査方向の位置を、位置決めし、
   前記吐出制御ユニットは、前記境界ヘッドを、第一の吐出分解能又は第二の吐出分解能で駆動させて、当該吐出分解能で吐出するべき前記第一の端領域又は前記第二の端領域に向けて前記液状体を吐出させ、前記補完ヘッドを、前記境界ヘッドとは異なる、第一の分解能又は第二の分解能で駆動させて、当該分解能で吐出するべき領域であって、前記境界ヘッドとは異なる、前記第一の端領域又は前記第二の端領域に向けて前記液状体を吐出させることを特徴とする、請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記ヘッド群は、第一の液状体を吐出する複数の第一の吐出ヘッドと、前記第一の液状体とは異なる第二の液状体を吐出する複数の第二の吐出ヘッドと、を含み
   前記補完ヘッド群は、前記第一の液状体を吐出する第一の補完ヘッドと、前記第二の液状体を吐出する第二の補完ヘッドと、を備え、
   前記補完ヘッド位置制御ユニットは、前記境界ヘッドが、前記複数の第一の吐出ヘッドに含まれる第一の吐出ヘッドである場合は、前記第一の補完ヘッドを、前記第一の端領域又は前記第二の端領域の少なくとも一方に前記第一の液状体を配置可能な位置に位置決めし、
   前記境界ヘッドが、前記複数の第二の吐出ヘッドに含まれる第二の吐出ヘッドである場合は、前記第二の補完ヘッドを、前記第一の端領域又は前記第二の端領域の少なくとも一方に前記第二の液状体を配置可能な位置に位置決めすることを特徴とする、請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記第一の補完ヘッドと、前記第二の補完ヘッドとの相対位置は、
   前記複数の第一の吐出ヘッドの第一の吐出ヘッドと、当該第一の吐出ヘッドに最も近い位置にある前記複数の第二の吐出ヘッドの第二の吐出ヘッドとの相対位置と同じであることを特徴とする、請求項３に記載の液滴吐出装置。
5. 前記補完ヘッドは、前記吐出ヘッドと構成及び機能が同一であることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
6. 前記補完ヘッド位置制御ユニットは、前記補完ヘッド移動装置を制御して、前記補完ヘッドの前記副走査方向の位置を、前記境界ヘッドの前記副走査方向の位置と同じ位置に位置させることを特徴とする、請求項５に記載の液滴吐出装置。
7. 複数の吐出ノズルを有し、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルが主走査方向と交差する副走査方向に配列された１以上のノズル列を有し、前記吐出ノズルから液状体を吐出する複数の吐出ヘッドを備え、それぞれの前記吐出ノズルから前記液状体を吐出すると共に、前記複数の吐出ヘッドと基材とを前記主走査方向に相対移動させることによって前記基材上に前記液状体を配置する液滴吐出装置を用いて、
   前記液状体を適切な間隔で配置するための前記吐出ノズルにおける前記主走査方向の吐出分解能が、第一の吐出分解能である第一の被吐出領域と、前記主走査方向の吐出分解能が、前記第一の被吐出領域とは異なる第二の吐出分解能である第二の被吐出領域と、をそれぞれ１以上有する前記基材であって、前記第一の被吐出領域と前記第二の被吐出領域とが、前記液滴吐出装置の前記副走査方向において隣り合って位置する組を少なくとも１以上有する前記基材の前記第一の被吐出領域及び前記第二の被吐出領域に、前記液状体を配置する液滴吐出装置の制御方法であって、
   前記液状体を吐出する複数の第一の吐出ノズルが前記副走査方向に配列された第一のノズル列を有し、前記吐出ヘッドとは前記主走査方向において異なる位置に設けられた１以上の補完ヘッドを用いて、前記第一の被吐出領域の前記第二の被吐出領域側の端を含む前記第一の被吐出領域の部分、又は前記第二の被吐出領域の前記第一の被吐出領域側の端を含む前記第二の被吐出領域の部分のいずれか一方に向けて、前記液状体を吐出する補完吐出工程、を有することを特徴とする液滴吐出装置の制御方法。
8. 前記補完吐出工程は、前記第一の被吐出領域と前記第二の被吐出領域との境界を跨いで、前記第一の被吐出領域の部分及び前記第二の被吐出領域の部分の両方に対向可能な前記吐出ヘッドである境界ヘッドが対向可能な、前記第一の被吐出領域の部分である第一の端領域又は前記第二の被吐出領域の部分である第二の端領域の一方を、前記境界ヘッドから前記液状体を吐出することによって前記液状体を配置する境界ヘッド領域に指定し、他方を、前記補完ヘッドから前記液状体を吐出することによって前記液状体を配置する補完ヘッド領域に指定する、ヘッド吐出領域指定工程と、
   前記補完ヘッドを前記副走査方向に移動させて位置決めすることによって、前記補完ヘッドの前記副走査方向の位置を、前記補完ヘッドから吐出された前記液状体を、少なくとも前記補完ヘッド領域に配置可能な位置に、位置決めする補完ヘッド位置決め工程と、
   前記境界ヘッドから前記境界ヘッド領域に向けての前記液状体の吐出に略並行して実施する、前記補完ヘッドから前記補完ヘッド領域に向けて前記液状体の吐出を実施する補完ヘッド吐出工程と、を有することを特徴とする、請求項７に記載の液滴吐出装置の制御方法。
9. 前記複数の吐出ヘッドからなるヘッド群は、第一の液状体を吐出する複数の第一の吐出ヘッドと、前記第一の液状体とは異なる第二の液状体を吐出する複数の第二の吐出ヘッドと、を含み
   前記補完ヘッドを備える補完ヘッド群は、前記第一の液状体を吐出する第一の補完ヘッドと、前記第二の液状体を吐出する第二の補完ヘッドと、を備え、
   前記境界ヘッドが、前記ヘッド群に含まれる第一の吐出ヘッドである場合は、前記補完ヘッド位置決め工程において、前記第一の補完ヘッドを、前記第一の端領域又は前記第二の端領域の少なくとも一方に前記液状体を配置可能な位置に位置決めし、
   前記境界ヘッドが、前記ヘッド群に含まれる第二の吐出ヘッドである場合は、前記補完ヘッド位置決め工程において、前記第二の補完ヘッドを、前記第一の端領域又は前記第二の端領域の少なくとも一方に前記液状体を配置可能な位置に位置決めすることを特徴とする、請求項７又は８に記載の液滴吐出装置の制御方法。
10. 前記補完ヘッドは、前記吐出ヘッドと構成及び機能が同一であることを特徴とする、請求項７乃至９のいずれか一項に記載の液滴吐出装置の制御方法。
11. 前記補完ヘッドの前記副走査方向の位置を、前記境界ヘッドの前記副走査方向の位置と同じ位置に位置させることを特徴とする、請求項１０に記載の液滴吐出装置の制御方法。
12. 複数の吐出ノズルを有し、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルが主走査方向と交差する副走査方向に配列された１以上のノズル列を有し、前記吐出ノズルから液状体を吐出する複数の吐出ヘッドを備え、それぞれの前記吐出ノズルから電気光学装置を構成する機能膜の材料を含む機能液を吐出すると共に、前記複数の吐出ヘッドと前記電気光学装置を構成する複数の電気光学基板を区画形成するマザー電気光学基板とを前記主走査方向に相対移動させることによって、
    前記機能液を適切な間隔で配置するための前記吐出ノズルにおける前記主走査方向の吐出分解能が、第一の吐出分解能である第一の基板領域と、前記主走査方向の吐出分解能が、前記第一の基板領域とは異なる第二の吐出分解能である第二の基板領域と、をそれぞれ１以上有する前記マザー電気光学基板であって、前記第一の基板領域と前記第二の基板領域とが、前記副走査方向において隣り合って位置する組を少なくとも１以上有する前記マザー電気光学基板の前記第一の基板領域及び前記第二の基板領域に、前記機能液を配置する電気光学装置の製造装置であって、
    前記複数の吐出ヘッドから成り、前記複数の吐出ヘッドのそれぞれの吐出ヘッドが有する前記吐出ノズルの前記副走査方向における位置が互いに異なるような位置に、それぞれの前記吐出ヘッドが配置されて構成されているヘッド群と、
    前記機能液を吐出する複数の第一の吐出ノズルが前記副走査方向に配列された第一のノズル列を有し、前記吐出ヘッドとは前記主走査方向において異なる位置に設けられた１以上の補完ヘッドを備える１以上の補完ヘッド群と、
    前記補完ヘッド群を、前記ヘッド群に対して前記副走査方向に相対移動可能に支持する補完ヘッド移動装置と、を備えることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
13. 前記補完ヘッド移動装置を制御して、前記補完ヘッドを前記副走査方向に移動させると共に位置決めさせる補完ヘッド位置制御ユニットと、
    前記ヘッド群及び前記補完ヘッド群の前記機能液の吐出を制御する吐出制御ユニットと、をさらに備え、
    前記補完ヘッド位置制御ユニットは、前記補完ヘッド移動装置を制御して、前記第一の基板領域と前記第二の基板領域との境界を跨いで、前記第一の基板領域の部分及び前記第二の基板領域の部分の両方に対向可能な前記吐出ヘッドである境界ヘッドが対向可能な、前記第一の基板領域の部分又は前記第二の基板領域の部分である第一の端領域又は第二の端領域の少なくとも一方に、前記機能液を配置可能な位置に、前記補完ヘッドの前記副走査方向の位置を、位置決めし、
    前記吐出制御ユニットは、前記境界ヘッドを、第一の吐出分解能又は第二の吐出分解能で駆動させて、当該吐出分解能で吐出するべき前記第一の端領域又は前記第二の端領域に向けて前記機能液を吐出させ、前記補完ヘッドを、前記境界ヘッドとは異なる、第一の分解能又は第二の分解能で駆動させて、当該分解能で吐出するべき領域であって、前記境界ヘッドとは異なる、前記第一の端領域又は前記第二の端領域に向けて前記機能液を吐出させることを特徴とする、請求項１２に記載の電気光学装置の製造装置。
14. 前記機能膜が、前記電気光学装置を構成するカラーフィルタが有するカラーフィルタ膜であることを特徴とする、請求項１２又は１３に記載の電気光学装置の製造装置。
15. 前記機能膜が、前記電気光学装置を構成する発光素子が有する発光膜であることを特徴とする、請求項１２又は１３に記載の電気光学装置の製造装置。
16. 複数の吐出ノズルを有し、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルが主走査方向と交差する副走査方向に配列された１以上のノズル列を有し、前記吐出ノズルから液状体を吐出する複数の吐出ヘッドを備え、それぞれの前記吐出ノズルから電気光学装置を構成する機能膜の材料を含む機能液を吐出すると共に、前記複数の吐出ヘッドと前記電気光学装置を構成する複数の電気光学基板を区画形成するマザー電気光学基板とを前記主走査方向に相対移動させることによって、前記マザー電気光学基板上に前記機能液を配置する液滴吐出装置を用いて、
    前記機能液を適切な間隔で配置するための前記吐出ノズルにおける前記主走査方向の吐出分解能が、第一の吐出分解能である第一の基板領域と、前記主走査方向の吐出分解能が、前記第一の吐出分解能とは異なる第二の吐出分解能である第二の基板領域と、をそれぞれ１以上有する前記マザー電気光学基板であって、前記第一の基板領域と前記第二の基板領域とが、前記液滴吐出装置の前記副走査方向において隣り合って位置する組を少なくとも１以上有する前記マザー電気光学基板の前記第一の基板領域及び前記第二の基板領域に、前記機能液を配置する電気光学装置の製造方法であって、
    前記液状体を吐出する複数の第一の吐出ノズルが前記副走査方向に配列された第一のノズル列を有し、前記吐出ヘッドとは前記主走査方向において異なる位置に設けられた１以上の補完ヘッドを用いて、
    前記第一の基板領域の前記第二の基板領域側の端を含む前記第一の基板領域の部分、又は前記第二の基板領域の前記第一の基板領域側の端を含む前記第二の基板領域の部分のいずれか一方に向けて、前記機能液を吐出する補完吐出工程、を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
17. 前記補完吐出工程は、前記第一の基板領域と前記第二の基板領域との境界を跨いで、前記第一の基板領域の部分及び前記第二の基板領域の部分の両方に対向可能な前記吐出ヘッドである境界ヘッドが対向可能な、前記第一の基板領域の部分である第一の端領域又は前記第二の基板領域の部分である第二の端領域の一方を、前記境界ヘッドから前記機能液を吐出することによって前記機能液を配置する境界ヘッド領域に指定し、他方を、前記補完ヘッドから前記機能液を吐出することによって前記機能液を配置する補完ヘッド領域に指定する、ヘッド吐出領域指定工程と、
    前記補完ヘッドを前記副走査方向に移動させて位置決めすることによって、前記補完ヘッドの前記副走査方向の位置を、前記補完ヘッドから吐出された前記機能液を、少なくとも前記補完ヘッド領域に配置可能な位置に、位置決めする補完ヘッド位置決め工程と、
    前記境界ヘッドから前記境界ヘッド領域に向けての前記機能液の吐出に略並行して実施する、前記補完ヘッドから前記補完ヘッド領域に向けて前記機能液の吐出を実施する補完ヘッド吐出工程と、を有することを特徴とする、請求項１６に記載の電気光学装置の製造方法。
18. 前記機能膜が、前記電気光学装置を構成するカラーフィルタが有するカラーフィルタ膜であることを特徴とする、請求項１６又は１７に記載の電気光学装置の製造方法。
19. 前記機能膜が、前記電気光学装置を構成する発光素子が有する発光膜であることを特徴とする、請求項１６又は１７に記載の電気光学装置の製造方法。

Images