JP5532579B2 - 電気光学装置、カラーフィルタ及び液晶装置 - Google Patents

Description

本発明は、機能膜を備える電気光学装置、及びフィルタ膜を備えるカラーフィルタに関する。電気光学装置としては、液晶装置や有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス（Organic Electro Luminescence））装置などが挙げられる。

従来から、遮光層などによって規定された機能膜区画に形成されており、カラー液晶装置などのカラーフィルタ膜のように光束を透過させる機能膜、又は有機ＥＬ素子の発光層のように発光する機能膜を備える電気光学装置が知られている。
機能膜を形成する技術として、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを有する描画装置を用いて、機能膜の材料を含む液状体の液滴を吐出して基板上の機能膜区画の位置に着弾させることで、当該機能膜区画に液状体を配置（描画）し、配置した液状体を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。このような膜形成に用いられる描画装置は、液滴吐出ヘッドを基板に対して相対移動させながら、液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルから微小な液滴を選択的に吐出して、基板上に位置精度良く着弾させることができるため、精密な平面形状を有する膜を形成することができる。微小な液滴の大きさを規定し、精度良く実現することができるため、精密な膜厚を有する膜を形成することができる。

機能膜を効率良く稼働させるためには、機能膜が形成されている領域における機能膜の面積が占める割合が大きいことが好ましい。例えば、液晶表示装置の表示品質を向上させるためには、表示領域におけるフィルタ膜の有効面積が占める割合が大きいことが好ましく、遮光層の面積は小さいことが好ましい。
特許文献１には、素子基板上にフィルタ層及び遮光層を設けることによって、遮光層を素子とは別の基板に形成する構成の場合に必要な、遮光層基板と素子基板とを貼り合わせる際の基板の位置合せ誤差を見込む必要がないため遮光層の面積を小さくすることができるアクティブマトリクス型液晶表示装置が開示されている。
しかし、遮光層の部分には、電気光学素子などの駆動素子や駆動素子への配線などが配置されており、駆動素子などを配置するためには一定の面積が必要である。遮光層は、これらの素子や配線以外の部分を極力狭くし、フィルタ層は、当該部分に膨出してフィルタ層の面積を増やすように工夫されている。このために、特許文献１にも例示されているように、遮光層の駆動素子などが形成されている部分がフィルタ層側に膨出した形状の遮光層が用いられている。

特開平４−２５３０２８号公報

しかしながら、機能膜を形成する工程において、機能膜区画に向けて吐出された液滴が、機能膜区画に膨出した遮光層の部分に乗り上げると、当該部分に保持され易いという課題があることを、本発明の発明者らが見出した。液状体が遮光層に乗り上げた状態が維持されると、機能膜区画内の液状体とつながることによって、機能膜区画内の液状体の断面形状が不均一になる。これにより、当該液状体が乾燥されて形成される機能膜の断面形状も不均一になる可能性が高く、機能膜の断面形状が不均一であることに起因して機能膜の機能が劣化する可能性があった。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる電気光学装置は、光透過性を有する、又は発光する機能膜と、前記機能膜の形状を規定する側壁層と、前記側壁層が前記機能膜側に膨出した膨出部と、を備え、前記膨出部の外形は、直線及び曲線の両方又はいずれか一方で形成されており、前記直線又は前記曲線が相互の接続部において形成する前記膨出部側の角度が鈍角であることを特徴とする。

この電気光学装置によれば、機能膜側に膨出した膨出部は、外形を形成する直線又は曲線が接続部において鈍角を形成して接続されている。機能膜の材料を含む液状体を機能膜が形成される区画である機能膜区画に配置する際に、側壁層の上面に液状体が乗る場合があるため、側壁層の上面を液状体に対して撥液性にするなどの処理をすることによって、側壁層の上面の液状体が機能膜区画に流れ落ちるように工夫されている。しかし、機能膜側に膨出した角の部分では、側壁層の上面に乗り上げた液状体が側壁層の上面に保持され易いことを、本適用例の考案者らが見出した。角部は、角度が大きくなると液状体を保持し易い状態が緩和される。本適用例にかかる電気光学装置においては、膨出部は、外形を形成する直線又は曲線が接続部において鈍角を形成して接続されているため、膨出部の角の部分で、側壁層の上面に乗り上げた液状体が保持されることを抑制することができる。

［適用例２］本適用例にかかる電気光学装置において、光透過性を有する、又は発光する機能膜と、前記機能膜の形状を規定する側壁層と、前記側壁層が前記機能膜側に膨出した膨出部と、を備え、前記膨出部の外形は、直線及び曲線、又は曲線で形成されており、前記直線と前記曲線と、又は前記曲線と前記曲線と、はその接続部において互いに接していることを特徴とする。

この電気光学装置によれば、膨出部の外形は、直線及び曲線、又は曲線で形成されており、直線と曲線と、又は曲線と曲線と、はその接続部において互いに接している。機能膜の材料を含む液状体を機能膜が形成される区画である機能膜区画に配置する際に、側壁層の上面に液状体が乗る場合があり、機能膜側に膨出した角の部分では、側壁層の上面に乗り上げた液状体が側壁層の上面に保持され易いことを、本適用例の考案者らが見出した。本適用例にかかる電気光学装置においては、直線と曲線と、又は曲線と曲線と、はその接続部において互いに接していることによって、当該接続部においては角の部分が存在しないため、膨出部の角の部分で、側壁層の上面に乗り上げた液状体が保持されることを抑制することができる。

［適用例３］上記適用例にかかる電気光学装置であって、当該電気光学装置は、前記電気光学装置の電気光学素子を駆動する駆動素子をさらに備え、前記駆動素子は、少なくとも一部が前記膨出部と重なる位置に配設されていることが好ましい。

この電気光学装置によれば、駆動素子は、側壁層の膨出部と重なる位置に配設されている。側壁層は、機能膜の形状を規定するものであって、光束が透過することは好ましくないため、遮光層を側壁層と重なるように配置する。又は、遮光層の機能を有する側壁層を形成する。したがって、遮光層の平面形状と側壁層の平面形状とは略同一である。
電気光学装置においては、光束が透過し難い構成部材は、遮光層と重なるように配置することで、当該構成部材が光学性能に影響を及ぼすことを抑制している。光束が透過し難い構成部材のなかで、駆動素子は平面形状の自由度が高くないため、遮光層の幅を駆動素子に合せた幅にすると、遮光層の幅を小さくすることが困難になる。駆動素子を遮光層の膨出部と重なる位置に配設することで、遮光層の膨出部以外の部分の幅を駆動素子の大きさに関わりなく狭くすることが可能となり、遮光層が占める面積を抑制して開口率を向上させることができる。

［適用例４］上記適用例にかかる電気光学装置であって、当該電気光学装置は、前記機能膜が形成された第一の基板と、前記第一の基板と対向する第二の基板と、前記第一の基板と前記第二の基板との間隔を規定する間隔規定手段とをさらに備え、前記間隔規定手段は、少なくとも一部が前記膨出部と重なる位置に配設されていることが好ましい。

この電気光学装置によれば、間隔規定手段は、遮光層の膨出部と重なる位置に配設されている。側壁層は、機能膜の形状を規定するものであって、光束が透過することは好ましくないため、遮光層を側壁層と重なるように配置する。又は、遮光層の機能を有する側壁層を形成する。したがって、遮光層の平面形状と側壁層の平面形状とは略同一である。
電気光学装置においては、光束が透過し難い構成部材は、遮光層と重なるように配置することで、当該構成部材が光学性能に影響を及ぼすことを抑制している。そのような構成部材のなかで、間隔規定手段は基板間の距離が変わるような力を支える必要があることから強度が必要であるため、強度を維持できるだけの面積を必要とする。このため、遮光層の幅を間隔規定手段に合せた幅にすると、遮光層の幅を小さくすることが困難になる。間隔規定手段を遮光層の膨出部と重なる位置に配設することで、遮光層の膨出部以外の部分の幅を間隔規定手段の大きさに関わりなく狭くすることが可能となり、遮光層が占める面積を抑制して開口率を向上させることができる。

［適用例５］上記適用例にかかる電気光学装置において、前記側壁層における頂面の前記機能膜の材料を含む液状体に対する撥液性は、前記側壁層における前記機能膜に対向する側面の前記液状体に対する撥液性より高いことが好ましい。

この電気光学装置によれば、側壁層における頂面の機能膜の材料を含む液状体に対する撥液性は、機能膜に対向する側面の液状体に対する撥液性より高い。したがって、側壁層が機能膜側に膨出した膨出部においても頂面の方が側面より液状体に対する撥液性が高い。これにより、機能膜を形成するために、液状体を機能膜が形成される区画に配置する際に液状体が膨出部に乗り上げた場合に、乗り上げた液状体が機能膜を形成する区画に流れ込み易くすることができる。

［適用例６］上記適用例にかかる電気光学装置において、前記側壁層及び前記機能膜を覆う状態に配設された第二の機能膜をさらに備えることが好ましい。

この電気光学装置によれば、側壁層及び機能膜を覆う状態に配設された第二の機能膜をさらに備える。このような構成の装置の第二の機能膜を形成する際は、例えば、第二の機能膜の材料を含む液状体を、側壁層及び機能膜を覆う位置に配置し、当該液状体を固化させて第二の機能膜を形成する。液状体を側壁層の上に配置すると、膨出部の端の辺りでは液状体がはじかれ易いことを、本適用例の発明者らが見出した。しかし、膨出部が上記適用例に記載したような膨出部であることによって、液状体がはじかれることを抑制することができる。

［適用例７］上記適用例にかかる電気光学装置において、前記曲線は、曲率半径が５μｍ以上の円弧、又は曲率半径が５μｍ以上の円弧が互いに接して連なった曲線であることが好ましい。

この電気光学装置によれば、膨出部の外形を形成する曲線は曲率半径が５μｍ以上である。曲線の曲率半径が非常に小さい場合には、当該曲線の頂点部があたかも角部のように作用する。曲線の曲率半径を５μｍ以上にすることで、当該曲線の頂点部があたかも角部のように作用することを抑制して、膨出部の部分で側壁層の上面に乗り上げた液状体が保持されることを、より確実に抑制することができる。

［適用例８］本適用例にかかるカラーフィルタは、光透過性を有するフィルタ膜と、前記フィルタ膜の形状を規定する隔壁層と、前記隔壁層が前記フィルタ膜側に膨出した膨出部と、を備え、前記膨出部の外形は、直線及び曲線の両方又はいずれか一方で形成されており、前記直線又は前記曲線が相互の接続部において形成する前記膨出部側の角度が鈍角であることを特徴とする。

このカラーフィルタによれば、フィルタ膜側に膨出した膨出部は、外形を形成する直線又は曲線が接続部において鈍角を形成して接続されている。フィルタ膜の材料を含む液状体をフィルタ膜が形成されるフィルタ膜区画に配置する際に、隔壁層の上面に液状体が乗る場合があるため、隔壁層の上面を液状体に対して撥液性にするなどの処理をすることによって、隔壁層の上面の液状体がフィルタ膜区画に流れ落ちるように工夫されている。しかし、フィルタ膜側に膨出した角の部分では、隔壁層の上面に乗り上げた液状体が隔壁層の上面に保持され易いことを、本適用例の考案者らが見出した。角部は、角度が大きくなると液状体を保持し易い状態が緩和される。本適用例にかかるカラーフィルタにおいては、膨出部は、外形を形成する直線又は曲線が接続部において鈍角を形成して接続されているため、膨出部の角の部分で、隔壁層の上面に乗り上げた液状体が保持されることを抑制することができる。

［適用例９］本適用例にかかるカラーフィルタは、光透過性を有するフィルタ膜と、前記フィルタ膜の形状を規定する隔壁層と、前記隔壁層が前記フィルタ膜側に膨出した膨出部と、を備え、前記膨出部の外形は、直線及び曲線の両方又はいずれか一方で形成されており、前記直線と前記曲線と、又は前記曲線と前記曲線と、はその接続部において互いに接していることを特徴とする。

このカラーフィルタによれば、膨出部の外形は、直線及び曲線、又は曲線で形成されており、直線と曲線と、又は曲線と曲線と、はその接続部において互いに接している。フィルタ膜の材料を含む液状体をフィルタ膜が形成される区画であるフィルタ膜区画に配置する際に、隔壁層の上面に液状体が乗る場合があり、フィルタ膜側に膨出した角の部分では、隔壁層の上面に乗り上げた液状体が隔壁層の上面に保持され易いことを、本適用例の考案者らが見出した。本適用例にかかるカラーフィルタにおいては、直線と曲線と、又は曲線と曲線と、はその接続部において互いに接していることによって、当該接続部においては角の部分が存在しないため、膨出部の角の部分で、隔壁層の上面に乗り上げた液状体が保持されることを抑制することができる。

［適用例１０］上記適用例にかかるカラーフィルタにおいて、前記隔壁層における頂面の前記フィルタ膜の材料を含む液状体に対する撥液性は、前記隔壁層における前記フィルタ膜に対向する側面の前記液状体に対する撥液性より高いことが好ましい。

このカラーフィルタによれば、隔壁層における頂面のフィルタ膜の材料を含む液状体に対する撥液性は、フィルタ膜に対向する側面の液状体に対する撥液性より高い。したがって、隔壁層がフィルタ膜側に膨出した膨出部においても頂面の方が側面より液状体に対する撥液性が高い。これにより、フィルタ膜を形成するために、液状体をフィルタ膜が形成される区画に配置する際に液状体が膨出部に乗り上げた場合に、乗り上げた液状体がフィルタ膜を形成する区画に流れ込み易くすることができる。

［適用例１１］上記適用例にかかるカラーフィルタであって、当該カラーフィルタは、第一機能膜をさらに備え、前記第一機能膜は、前記隔壁層及び前記フィルタ膜を覆う状態に配設されていることが好ましい。

このカラーフィルタによれば、隔壁層及びフィルタ膜を覆う状態に配設された第一機能膜をさらに備える。このような構成のカラーフィルタの第一機能膜を形成する際は、例えば、第一機能膜の材料を含む液状体を、隔壁層及びフィルタ膜を覆う位置に配置し、当該液状体を固化させて第一機能膜を形成する。液状体を隔壁層の上に配置すると、膨出部の端の辺りでは液状体がはじかれ易いことを、本適用例の発明者らが見出した。しかし、膨出部が上記適用例に記載したような膨出部であることによって、液状体がはじかれることを抑制することができる。

［適用例１２］上記適用例にかかるカラーフィルタにおいて、前記曲線は、曲率半径が５μｍ以上の円弧、又は曲率半径が５μｍ以上の円弧が互いに接して連なった曲線であることが好ましい。

このカラーフィルタによれば、膨出部の外形を形成する曲線は曲率半径が５μｍ以上である。曲線の曲率半径が非常に小さい場合には、当該曲線の頂点部があたかも角部のように作用する。曲線の曲率半径を５μｍ以上にすることで、当該曲線の頂点部があたかも角部のように作用することを抑制して、膨出部の部分で隔壁層の上面に乗り上げた液状体が保持されることを、より確実に抑制することができる。

［適用例１３］本適用例にかかる液晶装置は、上記適用例に記載のカラーフィルタを備えることを特徴とする。

この液晶装置によれば、フィルタ膜の材料を含む液状体をフィルタ膜区画に配置する際に、隔壁層の上面に液状体が乗り上げた状態になることを抑制できるカラーフィルタを備える。隔壁層の上面に液状体が乗り上げた状態になることを抑制することで、液状体が乗り上げることに起因して当該部分でフィルタ膜の形状が変形することを抑制して、所望の機能を実現するための所定の形状のフィルタ膜を形成することができる。液晶装置は、所望の機能を実現できるカラーフィルタを備えることで、所望の機能を実現することができる。

［適用例１４］上記適用例にかかる液晶装置において、前記液晶装置の画素を駆動する駆動素子をさらに備え、前記駆動素子は、少なくとも一部が前記膨出部と重なる位置に配設されていることが好ましい。

この液晶装置によれば、駆動素子は、隔壁層の膨出部と重なる位置に配設されている。隔壁層は、フィルタ膜の形状を規定するものであって、光束が透過することは好ましくないため、遮光層を隔壁層と重なるように配置する。又は、遮光層の機能を有する隔壁層を形成する。したがって、遮光層の平面形状と隔壁層の平面形状とは略同一である。
液晶装置においては、光束が透過し難い構成部材は、遮光層と重なるように配置することで、当該構成部材が光学性能に影響を及ぼすことを抑制している。光束が透過し難い構成部材のなかで、駆動素子は平面形状の自由度が高くないため、遮光層の幅を駆動素子に合せた幅にすると、遮光層の幅を小さくすることが困難になる。駆動素子を遮光層の膨出部と重なる位置に配設することで、遮光層の膨出部以外の部分の幅を駆動素子の大きさに関わりなく狭くすることが可能となり、遮光層が占める面積を抑制して開口率を向上させることができる。

［適用例１５］上記適用例にかかる液晶装置であって、当該液晶装置は、前記カラーフィルタが形成された第一の基板と、前記第一の基板と対向する第二の基板と、前記第一の基板と前記第二の基板との間隔を規定する間隔規定手段とをさらに備え、前記間隔規定手段は、少なくとも一部が前記膨出部と重なる位置に配設されていることが好ましい。

この液晶装置によれば、間隔規定手段は、遮光層の膨出部と重なる位置に配設されている。隔壁層は、フィルタ膜の形状を規定するものであって、光束が透過することは好ましくないため、遮光層を隔壁層と重なるように配置する。又は、遮光層の機能を有する隔壁層を形成する。したがって、遮光層の平面形状と隔壁層の平面形状とは略同一である。
液晶装置においては、光束が透過し難い構成部材は、遮光層と重なるように配置することで、当該構成部材が光学性能に影響を及ぼすことを抑制している。そのような構成部材のなかで、間隔規定手段は基板間の距離が変わるような力を支える必要があることから強度が必要であるため、強度を維持できるだけの面積を必要とする。このため、遮光層の幅を間隔規定手段に合せた幅にすると、遮光層の幅を小さくすることが困難になる。間隔規定手段を遮光層の膨出部と重なる位置に配設することで、遮光層の膨出部以外の部分の幅を間隔規定手段の大きさに関わりなく狭くすることが可能となり、遮光層が占める面積を抑制して開口率を向上させることができる。

以下、電気光学装置、及びカラーフィルタの好適な実施の形態について、図面を参照して説明する。実施形態は、電気光学装置の一例である液晶表示装置を構成する液晶表示パネルのカラーフィルタ基板の構成、及び電気光学装置の一例である有機ＥＬ表示装置の構成、並びにカラーフィルタのカラーフィルタ膜などを形成する工程、及び有機ＥＬ表示装置の発光層などを形成する工程を例にして説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。

（第一の実施形態）
最初に、電気光学装置、及びカラーフィルタの一実施形態である第一の実施形態について、説明する。本実施形態は、電気光学装置の一例である液晶表示装置のカラーフィルタの構成、及び機能膜の一例である色要素膜（フィルタ膜）などを形成する工程を例に説明する。また、電気光学装置の一例である有機ＥＬ表示装置の構成、及び機能膜の一例である発光層などを形成する工程を例に説明する。

＜液滴吐出法＞
最初に、フィルタ膜などの機能膜の形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を精度よく配置できるという利点を有する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられる。
このうち、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を含む液状体を貯留した空間に可撓性を有する材料で形成された部材を介して圧力を与え、この空間から液状体を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。ピエゾ方式は、液状体に熱を加えることがほとんどないため、熱による材料の組成などへの影響がほとんどないという利点を有する。また、駆動電圧などの駆動条件を調整することによって液滴の大きさを容易に調整することができるため、正確な吐出量を実現できるという利点も有する。本実施形態では、材料の組成などに影響を与えないため液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の大きさを容易に調整することができるため液滴の制御性がよいことから、上記ピエゾ方式を用いる。

＜液滴吐出装置＞
次に、色要素膜の材料を含む機能液を配置するのに用いる液滴吐出ヘッド１７を備える液滴吐出装置１の全体構成について、図１を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッド機構部２と、ワーク機構部３と、機能液供給部４と、メンテナンス装置部５とを備えている。ヘッド機構部２は、液状体としての機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７を有している。ワーク機構部３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワーク２０を載置するワーク載置台２３を有している。機能液供給部４は、中継タンクと、給液チューブとを有し、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド１７に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴吐出ヘッド１７に供給される。メンテナンス装置部５は、液滴吐出ヘッド１７の検査又は保守を実施する各装置を備えている。液滴吐出装置１は、また、これら各機構部などを総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。

さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配設されている。ワーク機構部３の上方には、定盤９に固定された２本の支持柱で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在するように配設されている。また、定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド１７に連通する供給管を有する機能液供給部４の機能液タンクなどが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱の近傍には、メンテナンス装置部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が収容されている。

ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を有するヘッドキャリッジ２５と、ヘッドキャリッジ２５が吊設された移動枠２２とを備えている。移動枠２２を、Ｙ軸テーブルによってＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。ワーク機構部３は、ワーク載置台２３を、Ｘ軸テーブルによって、Ｘ軸方向に移動させることで、ワーク載置台２３に載置されたワーク２０をＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。

このように、液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク２０のＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するワーク２０と、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド１７とを相対的に制御することにより、ワーク２０上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を実施することが可能である。

＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図２を参照して、液滴吐出ヘッド１７について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図であり、図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図である。

図２（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１の側方に連なるヘッド基板７３と、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズルプレート７６と、を備えている。液体導入部７１のそれぞれの接続針７２には、それぞれ配管接続部材が接続されて、当該配管接続部材を介して給液チューブが接続され、給液チューブに接続された機能液供給部４から機能液が供給される。ヘッド基板７３には、一対のヘッドコネクタ７７，７７が実装されており、当該ヘッドコネクタ７７を介してフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）が接続される。液滴吐出ヘッド１７は、ＦＦＣケーブルを介して吐出装置制御部６と接続されており、ＦＦＣケーブルを介して信号の授受が行われる。ポンプ部７５とノズルプレート７６とにより、略方形状のヘッド本体７４が構成されている。

ポンプ部７５の基部側、すなわちヘッド本体７４の基部側は、液体導入部７１及びヘッド基板７３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部７９が形成されている。このフランジ部７９には、液滴吐出ヘッド１７を固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）７９ａが一対形成されている。液滴吐出ヘッド１７は、液滴吐出ヘッド１７を保持するためのヘッド保持部材を貫通してねじ孔７９ａに螺合したヘッド止めねじにより、ヘッド保持部材に固定される。

ノズルプレート７６のノズル形成面７６ａには、ノズルプレート７６に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル７８から成るノズル列７８Ａが、２本形成されている。２本のノズル列７８Ａは相互に平行に列設されており、各ノズル列７８Ａは、等ピッチで並べた例えば１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル７８で構成されている。すなわち、ヘッド本体７４のノズル形成面７６ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列７８Ａが配設されている。

液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、ノズル列７８ＡはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置がずれている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。１個の液滴吐出ヘッド１７が有する２本のノズル列７８Ａは、１本のノズル列として扱うことができる。

図２（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７は、ノズルプレート７６にポンプ部７５を構成する圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液体導入部７１から振動板５２の液供給孔５３を経由して供給される機能液が常に充填される液たまり５５が形成されている。液たまり５５は、振動板５２と、ノズルプレート７６と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形成されている。振動板５２と、ノズルプレート７６と、２個のヘッド隔壁５７とによって囲まれた空間が圧力室５８である。

圧力室５８は吐出ノズル７８のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と吐出ノズル７８の数とは同じである。圧力室５８には、２個のヘッド隔壁５７の間に位置する供給口５６を介して、液たまり５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力室５８と吐出ノズル７８と供給口５６との組は、液たまり５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル７８がノズル列７８Ａを形成している。図２（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル７８を含むノズル列７８Ａに対して液たまり５５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル７８がもう一列のノズル列７８Ａを形成しており、対応するヘッド隔壁５７と圧力室５８と供給口５６との組が、１列に並んでいる。

振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定されている。圧電素子５９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド１７全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図２（ｂ）又は（ｃ）においては振動板５２の厚さ方向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る、すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室５８に連通して形成された吐出ノズル７８から機能液が液滴となって吐出される。

吐出装置制御部６は、圧電素子５９への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御することにより、複数の吐出ノズル７８のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。より詳細には、吐出ノズル７８から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数などを変化させることができる。これにより、基板上に着弾した液滴同士の距離や、基板上の一定の面積に着弾させる機能液の量などを変化させることができる。例えば、ノズル列７８Ａに並ぶ複数の吐出ノズル７８の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル７８を選択的に使用することにより、ノズル列７８Ａの延在方向では、ノズル列７８Ａの長さの範囲であって吐出ノズル７８のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる。ノズル列７８Ａの延在方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル７８とを相対移動させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル７８が対向可能な、基板の任意の位置に吐出ノズル７８から吐出される液滴を配置することができる。なお、吐出ノズル７８のそれぞれから吐出される液滴の体積は、例えば、１ｐｌから３００ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。

＜液晶表示パネルの構成＞
次に、機能膜を有する電気光学装置の一例としての液晶装置が備える液晶表示パネルについて説明する。液晶表示パネル２００（図３参照）は、液晶装置の一例であって、カラーフィルタの一例である液晶表示パネル用のカラーフィルタを備える液晶表示パネルである。
最初に、液晶表示パネル２００の構成について、図３を参照して説明する。図３は、液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。図３に示した液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型の液晶装置である。

図３に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着された素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶２３０（図９（ｋ）参照）と、を備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０とには、互いに貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１又は偏光板２３２が、配設されている。

素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２１５や、導電性を有する画素電極２１７や走査線２１２や信号線２１４が、形成されている。これらの素子や導電性を有する膜の間を埋めるように、絶縁層２１６が形成されており、走査線２１２及び信号線２１４は、絶縁層２１６の部分を挟んで互いに交差する状態で形成されている。走査線２１２と信号線２１４とは、絶縁層２１６の部分を間に挟むことで互いに絶縁されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内には画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４とに信号を印加することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施する。

素子基板２１０の液晶２３０と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。

対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィルタ（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、隔壁２０４と、赤色フィルタ膜２０５Ｒと、緑色フィルタ膜２０５Ｇと、青色フィルタ膜２０５Ｂとを有している。ガラス基板２０１の上に、格子状に隔壁２０４を構成するブラックマトリックス２０２が形成されており、ブラックマトリックス２０２の上にバンク２０３が形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４によって、方形のフィルタ膜領域２２５が形成されている。フィルタ膜領域２２５には、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂが形成されている。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向する位置及び形状に形成されている。

ＣＦ層２０８の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設けられている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子基板２１０に形成された配線に接続されている。

対向基板２２０の液晶２３０と接する面には、少なくとも画素電極２１７の全面を覆う配向膜２２８が設けられている。液晶２３０は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間に充填されている。
一つの画素電極２１７と、当該画素電極２１７に対応する液晶２３０の部分と、対向電極２０７の部分と、配向膜２２８の部分と、配向膜２１８の部分とで形成される素子が、電気光学素子に相当する。

なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板２０１Ａについて、図４を参照して説明する。対向基板２２０は、分割されることによってガラス基板２０１となるマザー対向基板２０１Ａの上に上述したＣＦ層２０８などを形成した後、マザー対向基板２０１Ａを個別の対向基板２２０（ガラス基板２０１）に分割して形成される。図４（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面であり、図４（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図である。なお、本実施形態においては、マザー対向基板２０１Ａの上にＣＦ層２０８などを形成したものや、ＣＦ層２０８などを形成する途中の状態のものも、マザー対向基板２０１Ａと表記する。

対向基板２２０は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２０１を用いて形成されている。図４（ａ）に示すように、対向基板２２０は、ガラス基板２０１の周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、ＣＦ層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、方形状のガラス基板２０１の表面に複数のフィルタ膜領域２２５をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリックス状に形成し、当該フィルタ膜領域２２５にフィルタ膜２０５を形成することによって形成されている。ガラス基板２０１のＣＦ層２０８が形成される領域にかからない位置には、図示省略したアライメントマークが形成されている。アライメントマークは、ＣＦ層２０８などを形成する諸工程を実行するためにガラス基板２０１を、液滴吐出装置１などの製造装置に取り付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。

図４（ｂ）に示すように、マザー対向基板２０１Ａには、対向基板２２０のＣＦ層２０８が、分割されてガラス基板２０１となる部分のそれぞれに形成されている。

＜フィルタ膜領域の形状＞
次に、フィルタ膜領域２２５の平面形状について、図５を参照して説明する。図５は、素子基板におけるＴＦＴ素子を１個含む画素について、１個分の概略構成を示す平面図である。

上述したように、素子基板２１０には、ＴＦＴ素子２１５と画素電極２１７と走査線２１２と信号線２１４とが形成されている。図５に示すように、ＴＦＴ素子２１５は、ゲート電極１５１とドレイン電極１５４とソース電極１５７とを有している。
走査線２１２はＸ軸方向に延在しており、走査線２１２の一部がＹ軸方向に突出している。走査線２１２からＹ軸方向に突出した部分がゲート電極１５１として用いられている。信号線２１４はＹ軸方向に延在しており、信号線２１４の一部がＸ軸方向に突出している。信号線２１４からＸ軸方向に突出した部分がソース電極１５７として用いられている。ドレイン電極１５４は、一端が活性層を介してソース電極１５７と接続されており、一端が画素電極２１７と接続されている。

素子基板２１０と対向基板２２０とが接着された状態での、ＴＦＴ素子２１５や画素電極２１７に対するフィルタ膜領域２２５の位置及び形状を、図５に破線で示している。フィルタ膜領域２２５の平面形状は、隔壁２０４によって規定されている。なお、フィルタ膜２０５が形成される領域としてのフィルタ膜領域２２５の形状は、ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４によって規定されるが、フィルタ膜２０５のフィルタ膜２０５として機能する開口領域の形状は、ブラックマトリックス２０２によって規定される。図５では、フィルタ膜領域２２５の外形と開口領域との形状の差を省略している。

隔壁２０４は、走査線２１２及び信号線２１４と重なる位置に、素子基板２１０と対向基板２２０との組立誤差を含めて、走査線２１２及び信号線２１４を覆うことが可能な幅で、形成されている。開口領域は大きいことが望ましいため、開口領域を可能な限り大きくできるように、隔壁２０４の幅は狭くすることが好ましい。隔壁２０４の幅を狭くしたことで、ＴＦＴ素子２１５が形成された部分は覆えなくなるため、隔壁２０４がフィルタ膜領域２２５側に膨出した隔壁膨出部２０４ａを、ＴＦＴ素子２１５が形成された部分と重なる位置に形成している。隔壁膨出部２０４ａの外形は、単独の円弧で構成されている。当該円弧は、素子基板２１０と対向基板２２０との組立誤差を含めて、隔壁膨出部２０４ａがＴＦＴ素子２１５を覆うことができる大きさであって、対応する中心角が約９０°となる曲率半径の円弧である。隔壁２０４が側壁層又は隔壁層に相当する。隔壁膨出部２０４ａが、膨出部に相当する。ＴＦＴ素子２１５が、駆動素子に相当する。

＜カラーフィルタ膜の配列＞
次に、対向基板２２０などに形成されているＣＦ層２０８などにおけるフィルタ膜２０５（赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂ）などの配列について、図６を参照して説明する。図６は、３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図である。

図６に示すように、フィルタ膜２０５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁２０４によって区画されてドット・マトリックス状に並んだ複数の例えば方形状のフィルタ膜領域２２５を色材で埋めることによって形成される。例えば、フィルタ膜２０５を構成する色材を含む機能液をフィルタ膜領域２２５に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、フィルタ膜領域２２５を埋める膜状のフィルタ膜２０５を形成する。

３色カラーフィルタにおける赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂなどの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。図６（ａ）は、ストライプ配列を示す模式平面図であり、図６（ｂ）は、モザイク配列を示す模式平面図であり、図６（ｃ）は、デルタ配列を示す模式平面図である。

ストライプ配列は、図６（ａ）に示したように、マトリックスの縦列が全て同色の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂになる配列である。
モザイク配列は、図６（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとにフィルタ膜２０５を一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルタの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタ膜２０５が３色となる配列である。
デルタ配列は、図６（ｃ）に示したように、フィルタ膜２０５の配置を段違いにすることによって、３色フィルタの場合、任意の隣接する３つのフィルタ膜２０５が異なる色となる配列である。

図６（ａ）、（ｂ）、又は（ｃ）に示した３色フィルタにおいて、フィルタ膜２０５は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成された赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを各１個ずつ含むフィルタ膜２０５の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタ（以降、「絵素フィルタ２５４」と表記する。）を形成している。一つの絵素フィルタ２５４内の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂのいずれか一つ又はそれらの組合せに光を選択的に通過させることにより、さらに、通過させる光の光量を調整することによりフルカラー表示を行う。

＜液晶表示パネルの形成＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する工程について、図７、図８、図９、図１０、及び図１１を参照して説明する。図７は、液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャートである。図８は、液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図であり、図９は、液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図である。図１０は、フィルタ膜を形成する工程における機能液の状態を示す説明図である。図１１は、平坦化膜を形成する工程における機能液の状態を示す説明図である。液晶表示パネル２００は、それぞれ別々に形成した素子基板２１０と対向基板２２０とを、貼り合わせて形成する。

図７に示したステップＳ１からステップＳ５を実行することで、対向基板２２０を形成する。
ステップＳ１では、ガラス基板２０１の上に、フィルタ膜領域２２５を区画形成するための隔壁部を形成する。隔壁部は、ブラックマトリックス２０２を格子状に形成し、その上にバンク２０３を形成して、ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４を格子状に配置することによって形成する。これにより、図８（ａ）に示すように、ガラス基板２０１の表面に、フィルタ膜領域２２５が形成される。上述したように、フィルタ膜領域２２５は、隔壁２０４によって区画されており、略方形の一部が欠けた平面形状を有している。

次に、図７のステップＳ２では、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを形成して、ＣＦ層２０８を形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、フィルタ膜領域２２５に、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂを構成する材料を含む機能液２５２をそれぞれ充填して、当該機能液２５２を乾燥させることによって形成する。

より詳細には、図８（ｂ）に示すように、隔壁２０４によって区画されたフィルタ膜領域２２５が形成されたガラス基板２０１の表面に赤色吐出ヘッド１７Ｒを対向させる。当該赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８から、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｒに向けて、赤色機能液２５２Ｒを吐出することによって、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。同時に、ガラス基板２０１に対して赤色吐出ヘッド１７Ｒを矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１に形成された全てのフィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。
配置した赤色機能液２５２Ｒを乾燥させることによって、図８（ｃ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成する。

同様にして、図８（ｂ）に示した、緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｇ又はフィルタ膜領域２２５Ｂに、図８（ｃ）に示すように、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを配置する。緑色機能液２５２Ｇ及び青色機能液２５２Ｂを乾燥させることによって、図８（ｄ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｇ及びフィルタ膜領域２２５Ｂに緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒと合わせて、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂからなる３色カラーフィルタが形成される。

ここで、フィルタ膜領域２２５に向けて吐出された機能液２５２が隔壁膨出部２０４ａにかかった場合の挙動について、図１０を参照して説明する。図１０（ａ），（ｂ），（ｃ）は、機能液が隔壁膨出部にかかった場合の挙動を示す説明図であり、図１０（ｄ），（ｅ），（ｆ）は、略直角な外形の角を有する従来の隔壁膨出部に、機能液がかかった場合の挙動を示す説明図である。

図１０（ｄ）の平面図に示すように、機能液２５２が略直角な外形の角を有する従来の隔壁膨出部２０４ｂの角部に乗り上げた場合には、角部においては乗り上げた機能液２５２がフィルタ膜領域２２５ｂに落ち難い。このため、図１０（ｅ）の断面図に示すように、角部の上に機能液２５２が乗り上げた状態が維持される。この状態で機能液２５２を乾燥させると、図１０（ｆ）に示すように、隔壁膨出部２０４ｂの角部の上に一部が乗り上げており、当該乗り上げ部と連なって、隔壁膨出部２０４ｂの角部の近くが厚くなったフィルタ膜２０５ｆが形成される。フィルタ膜２０５ｆは、一部分の厚さが異なるため、所定の色の画素が形成できない可能性が高い。

一方、機能液２５２が外形を円弧で形成された隔壁膨出部２０４ａに乗り上げた場合には、円弧で形成された滑らかな外形形状においては、乗り上げた機能液２５２が表面張力によってフィルタ膜領域２２５に入った機能液２５２の方に引っ張られることを妨げる力が生じ難い。このため、図１０（ａ）の平面図、及び図１０（ｂ）の断面図に示すように、隔壁膨出部２０４ａに乗り上げた機能液２５２がフィルタ膜領域２２５に流れ落ちる可能性が高い。この状態で機能液２５２を乾燥させることで、図１０（ｃ）に示すように、フィルタ膜領域２２５の全面を埋める状態で、全面が略平坦であり、略均一な厚さのフィルタ膜２０５が形成される。

次に、図７のステップＳ３では、平坦化層を形成する。ＣＦ層２０８の上の全面に平坦化膜２０６の材料を含む機能液２０６ａ（図１１参照）を配置し、当該機能液２０６ａを固化させることによって、図８（ｅ）に示すように、ＣＦ層２０８を構成する赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、青色フィルタ膜２０５Ｂ、及び隔壁２０４の上に、平坦化層としての平坦化膜２０６を形成する。平坦化膜２０６は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。

ここで、ＣＦ層２０８の上の全面に配置された機能液２０６ａの隔壁膨出部２０４ａなどの周囲での挙動について、図１１を参照して説明する。図１１（ａ），（ｂ），（ｃ）は、機能液の本実施形態における隔壁膨出部の周囲での挙動を示す説明図であり、図１１（ｄ），（ｅ），（ｆ）は、略直角な外形の角を有する従来の隔壁膨出部の周囲での挙動を示す説明図である。

図１１（ｄ）の断面図に示すように、略直角な外形の角を有する従来の隔壁膨出部２０４ｂの周囲では、あたかも角部分で機能液２０６ａが突き破られたかのように、角部の部分で機能液２０６ａがはじかれる現象が見られた。このため、図１１（ｅ）の平面図に示すように、隔壁膨出部２０４ｂの角部の上の周囲で機能液２０６ａが配置されない部分が生ずる。この状態で機能液２０６ａを乾燥させると、図１１（ｆ）の断面図に示すように、隔壁膨出部２０４ｂの角部の上の周囲が部分的に欠けた平坦化膜２０６ｆが形成される。

一方、図１１（ａ）の断面図に示すように、外形形状に鋭い角を持たない隔壁膨出部２０４ａの周囲では、機能液２０６ａがはじかれる現象は発生し難い。したがって、図１１（ｂ）の平面図に示すように、隔壁膨出部２０４ａが存在することの影響を受けることなく、ＣＦ層２０８の全面を覆う領域に、略均等に機能液２０６ａが配置される。この状態で機能液２０６ａを乾燥させることによって、図１１（ｃ）に示すように、ＣＦ層２０８の全面を覆う状態で、表面の全面が略平坦な平坦化膜２０６が形成される。

機能液２０６ａの配置は、機能液２５２と同様に、液滴吐出装置１のようなインクジェット方式の吐出装置を用いて実施することができる。あるいは、他の吐出装置を用いて実施することもできる。さらに、スピンコートのような膜形成方法も用いることができる。

なお、上述したフィルタ膜２０５を形成する工程において、フィルタ膜２０５ｆのようなフィルタ膜が形成されていた場合には、当該フィルタ膜が形成されたＣＦ層の多くは不良品であり、適切な機能が実現されていない可能性が高い。したがって、フィルタ膜２０５ｆのようなフィルタ膜が形成されていた場合には、以降の工程は中止して、平坦化膜２０６の形成などの工程は実施しないことが望ましい。

次に、図７のステップＳ４では、対向電極２０７を形成する。図８（ｆ）に示すように、平坦化膜２０６の上の、少なくともＣＦ層２０８のフィルタ膜２０５が形成された領域の全面を覆う領域に、透明な導電材料を用いて、薄膜を形成する。この薄膜が、上述した対向電極２０７である。

次に、図７のステップＳ５では、対向電極２０７の上に、対向基板２２０の配向膜２２８を形成する。配向膜２２８は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。
図９（ｇ）に示すように、対向電極２０７が形成されたガラス基板２０１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２０１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２０１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１の配向膜２２８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図９（ｈ）に示すように、配向膜２２８を形成する。ステップＳ５を実施して、対向基板２２０が形成される。

図７に示したステップＳ１からステップＳ５を実行する他方で、図７に示したステップＳ６からステップＳ８を実行することで、素子基板２１０を形成する。
ステップＳ６では、ガラス基板２１１の上に導電層や絶縁層や半導体層を形成することで、ＴＦＴ素子２１５などの素子や、走査線２１２や、信号線２１４や、絶縁層２１６などを形成する。走査線２１２及び信号線２１４は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、隔壁２０４に対向する位置に、即ち画素の周辺の位置に形成する。ＴＦＴ素子２１５は、画素の端に位置するように形成し、１画素に少なくとも１個のＴＦＴ素子２１５を形成する。

次に、ステップＳ７では、画素電極２１７を形成する。画素電極２１７は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂに対向する位置に、形成する。画素電極２１７は、ＴＦＴ素子２１５のドレイン電極と電気的に接続させる。

次に、ステップＳ８では、画素電極２１７などの上に、素子基板２１０の配向膜２１８を形成する。配向膜２１８は、少なくとも全ての画素電極２１７の全面を覆う領域に形成する。
図９（ｉ）に示すように、画素電極２１７が形成されたガラス基板２１１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２１１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２１１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２１１の配向膜２１８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図９（ｊ）に示すように、配向膜２１８を形成する。ステップＳ８を実施して、素子基板２１０が形成される。

次に、図７のステップＳ９では、形成された対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせて、図９（ｋ）に示すように、間に液晶２３０を充填する。さらに、偏光板２３１と偏光板２３２とを貼りつけるなどして、液晶表示パネル２００を組立てる。複数のガラス基板２０１やガラス基板２１１からなるマザー基板に、複数の対向基板２２０や素子基板２１０を形成する場合には、複数の液晶表示パネル２００が形成されたマザー基板を個別の液晶表示パネル２００に分割する。あるいは、マザー対向基板２０１Ａやマザー素子基板を、対向基板２２０や素子基板２１０に分割する工程を実施した後にステップＳ９を実施する。ステップＳ９を実施して、液晶表示パネル２００を形成する工程を終了する。

＜隔壁膨出部の形状例＞
次に、上述した隔壁膨出部２０４ａとは異なる隔壁膨出部の形状例について、図１２を参照して説明する。図１２は、隔壁膨出部の形状例を示す平面図である。
図１２（ａ）に示した隔壁膨出部２６２ａは、フィルタ膜領域２６１を区画形成する隔壁２６２が、フィルタ膜領域２６１の隅の部分に膨出したものである。隔壁膨出部２６２ａは、角部を円弧にすることで、鋭角の角部を無くしている。隔壁２６２が側壁層又は隔壁層に相当する。隔壁膨出部２６２ａが、膨出部に相当する。
図１２（ｂ）に示した隔壁膨出部２６４ａは、フィルタ膜領域２６３を区画形成する隔壁２６４が、フィルタ膜領域２６３の隅の部分に膨出したものである。隔壁膨出部２６４ａは、角部を面取りすることで、隔壁膨出部２６４ａ側の鋭角の角部を無くして、鈍角の角のみにしている。隔壁２６４が側壁層又は隔壁層に相当する。隔壁膨出部２６４ａが、膨出部に相当する。
図１２（ｃ）に示した隔壁膨出部２６６ａは、フィルタ膜領域２６５を区画形成する隔壁２６６が、フィルタ膜領域２６５の隅の部分に膨出したものである。隔壁膨出部２６６ａは、１２角形を概ね４等分した形状であって、３個ある角部の角度が概ね１５０°の鈍角になっている。隔壁２６６が側壁層又は隔壁層に相当する。隔壁膨出部２６６ａが、膨出部に相当する。

図１２（ｄ）に示した隔壁膨出部２６８ａは、フィルタ膜領域２６７を区画形成する隔壁２６８が、フィルタ膜領域２６７の隅の部分に膨出したものである。隔壁膨出部２６８ａは、外形が単独の円弧で形成されている。隔壁膨出部２６８ａの外形を構成する円弧は、外形を構成する円弧に対応する中心角が９０°より小さくなるような曲率半径の円弧である。隔壁膨出部２６８ａの隔壁２６８からの膨出量が略同等の場合、上述した隔壁膨出部２０４ａのように、外形を構成する円弧に対応する中心角が約９０°となる曲率半径より大きい曲率半径の円弧である。隔壁２６８が側壁層又は隔壁層に相当する。隔壁膨出部２６８ａが、膨出部に相当する。

図１２（ｅ）に示した隔壁膨出部２７０ａは、フィルタ膜領域２６９を区画形成する隔壁２７０が、フィルタ膜領域２６９の隅の部分に膨出したものである。隔壁膨出部２７０ａの外形形状は、上述した隔壁膨出部２６２ａの外形を構成する円弧と隔壁２６２とを、双方に接する円弧で結んだ形状である。隔壁２７０が側壁層又は隔壁層に相当する。隔壁膨出部２７０ａが、膨出部に相当する。
フィルタ膜領域２６９において、隔壁２７０の側面と隔壁膨出部２７０ａの外形とで形成されるの隅の角が円弧になるため、角である場合にくらべて、当該隅に機能液２５２が充填され易くなる。
隔壁膨出部２６４ａ、隔壁膨出部２６６ａ、及び隔壁膨出部２６８ａにおいても、隔壁２６４、隔壁２６６、又は隔壁２６８とで形成する隅の角を円弧にすることで、角である場合にくらべて、当該隅に機能液２５２が充填され易くなる。

図１２（ｆ）に示した隔壁膨出部２７２ａは、フィルタ膜領域２７１を区画形成する隔壁２７２の部分が、フィルタ膜領域２７１の隅以外の部分で、フィルタ膜領域２７１に膨出したものである。隔壁膨出部２７２ａは、膨出した先端部を、隔壁膨出部２７２ａの幅の１／２の半径の円弧にすることで、鋭角の角部を無くしている。隔壁２７２が側壁層又は隔壁層に相当する。隔壁膨出部２７２ａが、膨出部に相当する。
図１２（ｇ）に示した隔壁膨出部２７４ａは、フィルタ膜領域２７３を区画形成する隔壁２７４の部分が、フィルタ膜領域２７３の隅以外の部分で、フィルタ膜領域２７３に膨出したものである。隔壁膨出部２７４ａは、６角形を概ね２等分した形状であって、２個ある角部の角度が概ね１２０°の鈍角になっている。
図１２（ｈ）に示した隔壁膨出部２７６ａは、フィルタ膜領域２７５を区画形成する隔壁２７６の部分が、フィルタ膜領域２７５の隅以外の部分で、フィルタ膜領域２７５に膨出したものである。隔壁膨出部２７６ａの外形は、隔壁２７６から略垂直に立ち上がる２本の直線と、当該２本の直線のそれぞれと接続し、膨出した先端部を形成する円弧とで構成されている。２本の直線のそれぞれと円弧との接続部において直線と円弧とが形成する隔壁膨出部２７６ａ側の角度は鈍角になっている。隔壁２７６が側壁層又は隔壁層に相当する。隔壁膨出部２７６ａが、膨出部に相当する。

図１２（ｉ）に示した隔壁膨出部２７８ａは、フィルタ膜領域２７７を区画形成する隔壁２７８の部分が、フィルタ膜領域２７７の隅以外の部分で、フィルタ膜領域２７７に膨出したものである。隔壁膨出部２７８ａの外形形状は、上述した隔壁膨出部２７４ａの外形を構成する直線と直線との角部を円弧で構成し、隔壁膨出部２７４ａの外形と隔壁２７４とを、双方に接する円弧で結んだ形状である。隔壁２７８が側壁層又は隔壁層に相当する。隔壁膨出部２７８ａが、膨出部に相当する。
隔壁膨出部２７４ａの外形を構成する直線と直線との角部を円弧で構成することによって、角である場合にくらべて、より「機能液が乗り上げる現象」や「機能液がはじかれる現象」が発生することを抑制することができる。
隔壁膨出部２６４ａ、及び隔壁膨出部２６６ａにおいても、外形を構成する直線と直線との角部を円弧で構成することによって、角である場合にくらべて、より「機能液が乗り上げる現象」や「機能液がはじかれる現象」が発生することを抑制することができる。

隔壁膨出部２７４ａの外形と隔壁２７４とで形成する隅の角を円弧にすることで、角である場合にくらべて、当該隅に機能液２５２が充填され易くなる。
隔壁膨出部２７２ａにおいても、隔壁膨出部２７２ａの外形と隔壁２７２とで形成する隅の角を円弧にすることで、角である場合にくらべて、当該隅に機能液２５２が充填され易くなる。

図１２（ｊ）に示した隔壁膨出部２８０ａは、フィルタ膜領域２７９を区画形成する隔壁２８０の部分が、フィルタ膜領域２７９の隅以外の部分で、フィルタ膜領域２７９に膨出したものである。隔壁膨出部２８０ａの外形形状は、上述した隔壁膨出部２７６ａの外形を構成する円弧と隔壁２７６とを、双方に接する円弧で結んだ形状である。隔壁２８０が側壁層又は隔壁層に相当する。隔壁膨出部２８０ａが、膨出部に相当する。
隔壁膨出部２８０ａの外形と隔壁２８０とで形成する隅の角を円弧にすることで、角である場合にくらべて、当該隅に機能液２５２が充填され易くなる。

＜有機ＥＬ表示装置＞
次に、電気光学装置の他の一例である有機ＥＬ表示装置の構成、及び有機ＥＬ表示装置を製造する工程において機能膜の一例である発光層及び正孔輸送層を形成する工程について説明する。

＜有機ＥＬ表示装置の構成＞
最初に、有機ＥＬ表示装置の構成について、図１３、図１４、及び図１５を参照して説明する。図１３は、有機ＥＬ表示装置の平面構成を示す概略正面図である。図１４は、有機ＥＬ表示装置の表示領域に配列された有機ＥＬ素子の配列例を示す平面図である。
図１３に示すように、有機ＥＬ表示装置３００は、発光素子である複数の有機ＥＬ素子３０７を有する素子基板３０１と、封止基板３０９とを備えている。有機ＥＬ素子３０７はいわゆるカラー素子であり、有機ＥＬ表示装置３００は、図１４に示すように、赤色素子３０７Ｒ（赤色系）、緑色素子３０７Ｇ（緑色系）、青色素子３０７Ｂ（青色系）の３色の有機ＥＬ素子３０７を有している。有機ＥＬ素子３０７は表示領域３０６に配置されており、当該表示領域３０６に画像が表示される。有機ＥＬ素子３０７が、電気光学素子に相当する。

素子基板３０１上の３色の有機ＥＬ素子３０７は、図１４（ａ）、及び図１４（ｂ）に示すように、例えば、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁３１５によって区画されてドット・マトリックス状に並んだ複数の例えば略方形状の領域に発光層３１７（図１５参照）などを形成することによって形成される。例えば、有機ＥＬ素子３０７を構成する正孔輸送層３１６（図１５参照）や発光層３１７の材料を含む機能液を隔壁３１５によって区画された領域（以降、「画素区画３２１」と表記する。）（図１５参照）に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、正孔輸送層３１６や発光層３１７を形成する。正孔輸送層３１６や発光層３１７が機能膜に相当する。

素子基板３０１は、各有機ＥＬ素子３０７に対応した位置に、駆動素子としての複数のスイッチング素子３１２（図１５参照）を備えている。スイッチング素子３１２は、例えば、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子である。また、封止基板３０９よりもひとまわり大きく、額縁状に張り出した部分には、スイッチング素子３１２を駆動する２つの走査線駆動回路部３０３と１つのデータ線駆動回路部３０４が設けられている。素子基板３０１の端子部３０１ａには、これらの走査線駆動回路部３０３、又はデータ線駆動回路部３０４と外部駆動回路とを接続するためのフレキシブルな中継基板３０８が実装されている。これらの走査線駆動回路部３０３、及びデータ線駆動回路部３０４は、例えば、予め素子基板３０１の表面に低温ポリシリコンの半導体層を形成して構成する。

図１４に示すように、有機ＥＬ素子３０７の平面形状は、隔壁３１５によって規定されている。隔壁３１５は、絶縁層を介して互いに略直交するデータ線（図示省略）及び走査線（図示省略）を覆う位置に配設されている。データ線及び走査線を覆うのに充分な幅であっても、スイッチング素子３１２を覆うためには幅が不足するため、隔壁３１５が画素区画３２１側に膨出した隔壁膨出部３１５ａを、スイッチング素子３１２が形成された部分と重なる位置に形成している。隔壁膨出部３１５ａの外形は、単独の円弧で構成されている。当該円弧は、隔壁膨出部３１５ａがスイッチング素子３１２を覆うことができる大きさであって、対応する中心角が約９０°となる曲率半径の円弧である。
隔壁３１５が側壁層又は隔壁層に相当する。隔壁膨出部３１５ａが、膨出部に相当する。スイッチング素子３１２が、駆動素子に相当する。
有機ＥＬ素子及び隔壁膨出部の平面形状についても、図１２を参照して説明したフィルタ膜（フィルタ膜領域）及び隔壁膨出部の形状例と同様の平面形状にすることも可能である。

有機ＥＬ素子３０７の配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列等が知られている。ストライプ配列は、図１４（ａ）に示したように、マトリックスの縦列が全て同色の有機ＥＬ素子３０７になる配列である。モザイク配列は、図１４（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとに有機ＥＬ素子３０７一つ分だけ色をずらした配列で、３色有機ＥＬ表示装置の場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つの有機ＥＬ素子３０７が３色となる配列である。そして、図１４では図示省略したデルタ配列は、有機ＥＬ素子３０７の配置を段違いにし、３色有機ＥＬ表示装置の場合、任意の隣接する３つの有機ＥＬ素子３０７が異なる色となる配列である。

次に、有機ＥＬ表示装置３００の有機ＥＬ素子３０７の構成について説明する。図１５は、有機ＥＬ表示装置の有機ＥＬ素子を含む要部の断面図である。
図１５に示すように、素子基板３０１は、ガラス基板３１０と、複数のスイッチング素子３１２と、絶縁層３１１と、導通層３１４ａと、複数の画素電極３１４と、隔壁３１５と、を有している。複数のスイッチング素子３１２は、ガラス基板３１０の一方の表面上に形成されており、絶縁層３１１は、スイッチング素子３１２を覆うように形成されている。複数の画素電極３１４は、絶縁層３１１の上に形成されており、導通層３１４ａを介してスイッチング素子３１２と導通している。隔壁３１５は、絶縁層３１１の上で複数の画素電極３１４の間に形成されている。
さらに、隔壁３１５によって区画された画素区画３２１の画素電極３１４上に形成された正孔輸送層３１６と、正孔輸送層３１６上に積層して形成された発光層３１７と、発光層３１７および隔壁３１５を覆うように設けられた対向電極３１８と、を有する。有機ＥＬ表示装置３００は、素子基板３０１の対向電極３１８に対向して封止基板３０９が配置され、対向電極３１８と封止基板３０９との間に不活性ガス３２０が封入されている。隔壁３１５によって区画された領域の画素電極３１４上に形成された正孔輸送層３１６、発光層３１７、対向電極３１８が、有機ＥＬ素子３０７に該当する。

画素区画３２１に、赤色、緑色、又は青色の光をそれぞれ発光する、赤色発光層３１７Ｒ（赤色系）、緑色発光層３１７Ｇ（緑色系）、又は青色発光層３１７Ｂ（青色系）を形成することで、赤色素子３０７Ｒ、緑色素子３０７Ｇ、又は青色素子３０７Ｂを形成する。赤色素子３０７Ｒ、緑色素子３０７Ｇ、青色素子３０７Ｂを各１個ずつ含む有機ＥＬ素子３０７の組で、画像を構成する最小単位である絵素を形成している。１絵素内の赤色素子３０７Ｒ、緑色素子３０７Ｇ、青色素子３０７Ｂのいずれか１つ又はそれらの組合せを選択的に発光させることにより、フルカラー表示を行う。

＜有機ＥＬ素子の製造＞
次に、有機ＥＬ表示装置３００の素子基板３０１における、有機ＥＬ素子３０７を構成する正孔輸送層３１６及び発光層３１７の形成工程について、図１６及び図１７を参照して説明する。図１６は素子基板の正孔輸送層及び発光層の形成工程を示すフローチャートであり、図１７（ａ）乃至（ｅ）は素子基板の正孔輸送層及び発光層の形成工程を示す模式断面図である。

図１６のステップＳ２１では、図１７（ａ）に示すように、スイッチング素子３１２と、絶縁層３１１と、導通層３１４ａと、画素電極３１４とが形成されたガラス基板３１０の表面に、隔壁３１５を形成する。隔壁３１５は、例えば、ガラス基板３１０の表面に隔壁３１５の材料を含む機能液を塗布し、乾燥させて隔壁膜を形成し、フォトエッチングなどで画素区画３２１などの部分を取り除くことで、形成する。
次に、図１６のステップＳ２２では、隔壁３１５が形成されたガラス基板３１０を洗浄する。

次に、ステップＳ２３では、隔壁３１５が形成され洗浄されたガラス基板３１０を、配置された機能液が馴染み易くなるように、表面処理する。隔壁３１５に囲まれた画素区画３２１の底部と、隔壁３１５の側面とが、正孔輸送層３１６を形成する正孔輸送層形成材料を含む機能液である正孔輸送層材料液５６０に対して親液性となるように処理し、隔壁３１５の頂部は正孔輸送層材料液５６０に対して撥液性となるように処理する。この処理によって、画素区画３２１に充填されるべく配置された正孔輸送層材料液５６０が画素区画３２１に馴染み易くなると共に、画素区画３２１から溢れ出し難くなる。

次に、ステップＳ２４では、正孔輸送層材料液５６０を配置する。図１７（ｂ）に示すように、隔壁３１５によって形成された複数の画素区画３２１のそれぞれに正孔輸送層３１６の材料を含む正孔輸送層材料液５６０を液滴吐出ヘッド１７から液滴５６０ａとして吐出し、画素区画３２１に正孔輸送層材料液５６０を配置する。
より具体的には、正孔輸送層３１６を形成する画素区画３２１に順次液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８が対向するように位置決めし、正孔輸送層材料液５６０を液滴５６０ａとして吐出して、画素区画３２１に着弾させる。画素区画３２１に所定の量の正孔輸送層材料液５６０を着弾させて、ステップＳ２４の正孔輸送層材料液配置工程を終了する。

次に、図１６のステップＳ２５では、画素区画３２１に正孔輸送層材料液５６０が配置されたガラス基板３１０を減圧環境に投入し、正孔輸送層材料液５６０を乾燥させて、正孔輸送層３１６を形成する。なお、正孔輸送層材料液５６０は、厳密には、液滴吐出ヘッド１７から液滴５６０ａとして吐出された瞬間から乾燥を開始するが、正孔輸送層材料液５６０の溶媒の沸点などを調節することで、例えば、着弾して画素区画３２１に濡れ広がったところで流動しない程度に固まるようにすることができる。ステップＳ２５を終了して、図１７（ｃ）に示すように、正孔輸送層３１６が形成される。

次に、図１６のステップＳ２６では、発光層材料液５７０を配置する。図１７（ｄ）に示したように、正孔輸送層３１６が形成された複数の画素区画３２１のそれぞれに発光層３１７の材料を含む発光層材料液５７０を液滴吐出ヘッド１７から液滴５７０ａとして吐出し、画素区画３２１の正孔輸送層３１６の上に発光層材料液５７０を配置する。勿論、異なる色の各発光層３１７が形成される各画素区画３２１に対しては、異なる発光層材料を含む発光層材料液５７０を吐出する。例えば、上述した３色の発光層によるカラー表示（図１４参照）であれば、赤色、緑色、又は青色の光を発光する、赤色発光層３１７Ｒ（赤色系）、緑色発光層３１７Ｇ（緑色系）、又は青色発光層３１７Ｂ（青色系）をそれぞれ形成するべき画素区画３２１に向けて、それぞれの発光層３１７を形成する発光層形成材料を含む発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂを液滴吐出ヘッド１７から吐出する。

なお、正孔輸送層材料液５６０が画素区画３２１に馴染み易くなると共に画素区画３２１から溢れ出し難くなるようにステップＳ２３で実行した表面処理が、発光層材料液５７０については有効でない場合には、ステップＳ２６を実行する前に、ステップＳ２３で実行した処理と同様の表面処理を実行する。勿論、この場合に実行する処理は、発光層材料液５７０が画素区画３２１に馴染み易くなると共に画素区画３２１から溢れ出し難くなるようにする表面処理である。
発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂをそれぞれ配置するべきそれぞれの画素区画３２１に、所定の量の発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂを着弾させて、ステップＳ２６の発光層材料液配置工程を終了する。

次に、ステップＳ２７では、画素区画３２１に発光層材料液５７０が配置されたガラス基板３１０を減圧環境に投入し、発光層材料液５７０を乾燥させて、発光層３１７を形成する。なお、発光層材料液５７０は、厳密には、液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出された瞬間から乾燥を開始するが、発光層材料液５７０の溶媒の沸点などを調節することで、例えば、着弾して画素区画３２１に濡れ広がったところで流動しない程度に固まるようにすることができる。ステップＳ２７を終了して、図１７（ｅ）に示すように、発光層３１７が形成される。

画素区画３２１に向けて吐出された正孔輸送層材料液５６０や発光層材料液５７０が隔壁膨出部３１５ａにかかった場合の正孔輸送層材料液５６０や発光層材料液５７０の挙動は、図１０を参照して説明した、フィルタ膜領域２２５に向けて吐出された機能液２５２が隔壁膨出部２０４ａにかかった場合の機能液２５２の挙動と同様である。隔壁膨出部３１５ａの外形が円弧で構成されていることにより、正孔輸送層材料液５６０や発光層材料液５７０が隔壁膨出部３１５ａに乗り上げた状態が維持されることを抑制して、画素区画３２１の全面を埋める状態で、全面が略平坦であり、略均一な厚さの正孔輸送層３１６又は発光層３１７が形成される。

図１７（ｅ）に示すように、発光層３１７を形成して、正孔輸送層３１６及び発光層３１７の形成工程を終了する。

さらに、対向電極３１８を形成する工程を実行して、素子基板３０１を形成する。対向電極３１８は、導電性材料を含む機能液（以降、「導電材料機能液」と表記する。）を、対向電極３１８を形成する領域に配置し、当該導電材料機能液を固化することでも形成することができる。
導電材料機能液の配置は、正孔輸送層材料液５６０などと同様に、液滴吐出装置１のようなインクジェット方式の吐出装置を用いて実施することができる。あるいは、他の吐出装置を用いて実施することもできる。さらに、スピンコートのような膜形成方法も用いることができる。
隔壁３１５及び隔壁膨出部３１５ａ上の全面に配置された導電材料機能液の隔壁膨出部３１５ａの周囲での挙動は、図１１を参照して説明した、ＣＦ層２０８の上の全面に配置された機能液２０６ａの隔壁膨出部２０４ａなどの周囲での挙動と同様である。隔壁膨出部３１５ａの外形が円弧で構成されていることにより、導電材料機能液がはじかれる現象は発生し難い。したがって、図１１を参照して説明したように、隔壁膨出部３１５ａの有無に関わらず、対向電極３１８を形成する領域に、略均等に導電材料機能液が配置される。この状態で導電材料機能液を乾燥させることによって、隔壁３１５及び隔壁膨出部３１５ａの全面も覆う状態で、全面にわたって略均一な厚さを有する対向電極３１８が形成される。

さらに、封止基板３０９を取付け、上述した中継基板３０８等を実装して、有機ＥＬ表示装置３００を形成する。

以下、第一の実施形態の効果を記載する。第一の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）隔壁膨出部２０４ａの外形は、円弧で構成されている。滑らかな外形形状においては、乗り上げた機能液２５２が表面張力によってフィルタ膜領域２２５に入った機能液２５２の方に引っ張られることを妨げる力が生じ難いため、隔壁膨出部２０４ａに乗り上げた機能液２５２がフィルタ膜領域２２５に流れ落ち易くすることができる。

（２）隔壁２０４がフィルタ膜領域２２５側に膨出した隔壁膨出部２０４ａを、ＴＦＴ素子２１５が形成された部分と重なる位置に形成している。これにより、ＴＦＴ素子２１５と重ならない部分の隔壁２０４の幅を、ＴＦＴ素子２１５の大きさに関わりなく狭くすることができる。隔壁２０４の幅を狭くすることで、ＣＦ層２０８における開口率を大きくすることができる。

（３）隔壁膨出部２０４ａの外形は、円弧で構成されている。外形形状に鋭い角を持たない隔壁膨出部２０４ａの周囲では、隔壁膨出部２０４ａの上に配置された機能液２０６ａがはじかれる現象は発生し難いため、隔壁膨出部２０４ａが存在することの影響を受けることなく、ＣＦ層２０８の全面を覆う領域に、略均等に機能液２０６ａを配置することができる。

（４）隔壁膨出部３１５ａの外形は、円弧で構成されている。滑らかな外形形状においては、乗り上げた正孔輸送層材料液５６０又は発光層材料液５７０が表面張力によって画素区画３２１に入った正孔輸送層材料液５６０又は発光層材料液５７０の方に引っ張られることを妨げる力が生じ難い。このため、隔壁膨出部３１５ａの外形を円弧で構成することによって、正孔輸送層材料液５６０や発光層材料液５７０が画素区画３２１に流れ落ち易くすることができる。

（５）隔壁３１５が画素区画３２１側に膨出した隔壁膨出部３１５ａを、スイッチング素子３１２が形成された部分と重なる位置に形成している。これにより、スイッチング素子３１２と重ならない部分の隔壁３１５の幅を、スイッチング素子３１２の大きさに関わりなく、データ線及び走査線を覆うのに充分な程度まで狭くすることができる。隔壁３１５の幅を狭くすることで、表示領域３０６における開口率を大きくすることができる。

（第二の実施形態）
次に、電気光学装置、及びカラーフィルタの一実施形態である第二の実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態は、電気光学装置の一例である液晶表示装置を構成する液晶表示パネルのカラーフィルタのカラーフィルタ膜を形成する工程を例にして説明する。液晶表示装置の液晶表示パネルの構成は、第一の実施形態で説明した液晶表示パネル２００の構成と、基本的な構成は同一のものである。第一の実施形態で説明した例とは異なるカラーフィルタ膜を形成する工程について説明する。

＜カラーフィルタ膜の形成＞
液晶表示パネル２００と同様の液晶表示パネルにおけるカラーフィルタ層を形成する工程について、図１８、図１９、及び図２０を参照して説明する。図１８は、カラーフィルタ層を形成する過程を示すフローチャートである。図１９は、カラーフィルタ層を形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図である。図２０は、フィルタ膜を形成する工程における機能液の状態を示す説明図である。

図１８のステップＳ３１では、図１９（ａ）に示すように、ガラス基板４０１の上に、フィルタ膜領域４２５を区画形成するための隔壁部を形成する。隔壁部は、ブラックマトリックスを格子状に配置した隔壁４０４を形成することによって形成する。これにより、ガラス基板４０１の表面に、フィルタ膜領域４２５が形成される。上述したフィルタ膜領域２２５と同様に、フィルタ膜領域４２５は、隔壁４０４によって区画されており、隔壁４０４から膨出した隔壁膨出部４０４ａ（図２０参照）によって略方形の一部が欠けた平面形状を有している。

次に、図１８のステップＳ３２では、赤色フィルタ膜４０５Ｒを、フィルタ層を形成する領域の全面に形成する。フィルタ層を形成する領域の全面に形成するフィルタ膜４０５をフィルタ膜層４０５Ａと表記する。赤色フィルタ膜４０５Ｒ、及び緑色フィルタ膜４０５Ｇのフィルタ膜層４０５Ａを、それぞれ赤フィルタ膜層４０５ＲＡ、又は緑フィルタ膜層４０５ＧＡと表記する。
より詳細には、図１９（ｂ）に示すように、赤色フィルタ膜４０５Ｒを構成する材料を含む機能液４５２である機能液４５２Ｒを、フィルタ層を形成する領域の全面に配置する。次に、図１９（ｃ）に示すように、機能液４５２Ｒを乾燥させることによって、赤フィルタ膜層４０５ＲＡを形成する。

次に、図１８のステップＳ３３では、フォトエッチングによって赤フィルタ膜層４０５ＲＡの不要部分を取り除いて、図１９（ｄ）に示すように、赤色フィルタ膜４０５Ｒを形成する。

ここで、フィルタ層を形成する領域の全面に配置された機能液４５２Ｒの隔壁膨出部４０４ａの周囲での挙動について、図２０を参照して説明する。図２０（ａ），（ｂ），（ｃ）は、機能液の本実施形態における隔壁膨出部の周囲での挙動を示す説明図であり、図２０（ｄ），（ｅ），（ｆ）は、略直角な外形の角を有する従来の隔壁膨出部の周囲での挙動を示す説明図である。
図２０（ｄ）の断面図に示すように、略直角な外形の角を有する従来の隔壁膨出部４０４ｂの周囲では、あたかも角部分で機能液４５２Ｒが突き破られたたかのように、角部の部分で機能液４５２Ｒがはじかれる現象が見られた。このため、図２０（ｅ）の平面図に示すように、隔壁膨出部４０４ｂの角部の上の周囲で機能液４５２Ｒが配置されない部分が生ずる。この状態で機能液４５２Ｒを乾燥させると、図２０（ｆ）の断面図に示すように、隔壁膨出部４０４ｂの角部の上の周囲が部分的に欠けたフィルタ膜層４０５ｆが形成される。フィルタ膜層４０５ｆは光束が透過する部分の膜厚が部分的に異なるため、透過する光束が適切な色にならない可能性が高い。

一方、図２０（ｂ）の平面図に示すように、隔壁膨出部４０４ａの外形形状は、中心角が略９０°の円弧で構成されている。図２０（ａ）の断面図に示すように、外形形状に鋭い角を持たない隔壁膨出部４０４ａの周囲では、機能液４５２Ｒがはじかれる現象は発生し難い。したがって、図２０（ｂ）の平面図に示すように、隔壁膨出部４０４ａが存在しても影響を受けることなく、フィルタ層を形成する領域の全面に、略均等に機能液４５２Ｒが配置される。この状態で機能液４５２Ｒを乾燥させることによって、図２０（ｃ）に示すように、フィルタ層を形成する領域の全面を覆う状態で、赤フィルタ膜層４０５ＲＡが形成される。

次に、図１８のステップＳ３４では、緑フィルタ膜層４０５ＧＡを、フィルタ層を形成する領域の全面に形成する。
上述した赤フィルタ膜層４０５ＲＡと同様に、図１９（ｅ）に示すように、緑色フィルタ膜４０５Ｇを構成する材料を含む機能液４５２Ｇを、フィルタ層を形成する領域の全面に配置する。次に、図１９（ｆ）に示すように、機能液４５２Ｇを乾燥させることによって、緑フィルタ膜層４０５ＧＡを形成する。
次に、図１８のステップＳ３５では、フォトエッチングによって緑フィルタ膜層４０５ＧＡの不要部分を取り除いて、緑色フィルタ膜４０５Ｇを形成する。

次に、ステップＳ３６では、上述した赤フィルタ膜層４０５ＲＡや緑フィルタ膜層４０５ＧＡを形成する工程と同様にして、青フィルタ膜層を、フィルタ層を形成する領域の全面に形成する。
次に、ステップＳ３７では、フォトエッチングによって青フィルタ膜層の不要部分を取り除いて、青色フィルタ膜４０５Ｂを形成する。

次に、ステップＳ３８では、形成された赤色フィルタ膜４０５Ｒ、緑色フィルタ膜４０５Ｇ、及び青色フィルタ膜４０５Ｂを焼成する。
ステップＳ３８を実施して、図１９（ｇ）に示すように、赤色フィルタ膜４０５Ｒ、緑色フィルタ膜４０５Ｇ、及び青色フィルタ膜４０５Ｂが形成され、３色カラーフィルタが形成される。
本実施形態では、焼成する前の状態の膜も赤色フィルタ膜４０５Ｒ、緑色フィルタ膜４０５Ｇ、及び青色フィルタ膜４０５Ｂと表記したが、より正確には、焼成することによって、赤色フィルタ膜４０５Ｒ、緑色フィルタ膜４０５Ｇ、又は青色フィルタ膜４０５Ｂが完成する。

以下、第二の実施形態の効果を記載する。第二の実施形態によれば、第一の実施形態の効果に加えて、以下の効果が得られる。
（１）隔壁膨出部４０４ａの外形形状は、円弧で構成されていおり、外形形状に鋭い角を持たないため、隔壁膨出部４０４ａの周囲では、機能液４５２Ｒがはじかれる現象は発生し難い。これにより、隔壁膨出部４０４ａの存在に関わらず、フィルタ層を形成する領域の全面に、略均等に機能液４５２Ｒを配置することができる。

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。

（変形例１）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００は、液晶層を挟む位置に配設された画素電極と対向電極とを有し、隔壁の上に平坦化膜を形成する構成であったが、隔壁の上に形成する膜が平坦化膜であることは必須ではない。ＩＰＳ（In Plane Switching）方式の液晶表示装置のように素子基板にのみ電極を構成する構造の液晶装置においては、隔壁の上に直接配向膜が形成される。この場合、外形形状に鋭い角を持つ従来の隔壁膨出部の構成では、配向膜構成する材料を含む機能液がフィルタ膜及び隔壁の上に配置された際に、角部において機能液がはじかれる現象が発生する可能性が高く、配向膜に欠陥が発生することが起った。液晶表示装置が備えるＣＦ層が有する隔壁膨出部が、前記実施形態において説明した外形形状の構成を有することにより、配向膜に欠陥が発生することを抑制することができる。

（変形例２）前記実施形態においては、隔壁膨出部２０４ａや隔壁膨出部３１５ａは、駆動素子であるＴＦＴ素子２１５やスイッチング素子３１２に対応して形成されていたが、隔壁膨出部を駆動素子に対応して形成することは必須ではない。液晶を封止する空間の厚さを規定して液晶層の厚さを適正に保つためのセルギャップ保持部材に対応して隔壁膨出部を形成してもよい。セルギャップ保持部材が、間隔規定手段に相当する。液晶表示パネルにおいては、フィルタ膜２０５を備える対向基板２２０が第一の基板に相当し、素子基板２１０が第二の基板に相当する。

（変形例３）前記実施形態においては、液状体を配置するフィルタ膜領域２２５や画素区画３２１は、平面視略方形状の領域であったが、液状体を配置する領域の形状が略方形状であることは必須ではない。液状体を配置する領域の形状は、方形状とは異なる多角形や、長円形や、円形や、多角形の角を曲線にした形状や、曲率が異なる複数の曲線で構成された形状などであってもよい。

（変形例４）前記実施形態においては、機能液を配置する区画を規定する側壁層を有し、機能膜を形成するために機能液を配置する対象物の一例として、電気光学装置の一例であるカラーフィルタを備える液晶表示パネル２００及び有機ＥＬ表示装置３００における隔壁膨出部２０４ａや隔壁膨出部３１５ａの構成について説明した。また、フィルタ膜２０５、正孔輸送層３１６や発光層３１７、又は平坦化膜２０６などを形成するために機能液を配置する際の、隔壁膨出部２０４ａや隔壁膨出部３１５ａの周囲における機能液の挙動について説明した。しかし、機能液を配置する対象物の電気光学装置は、液晶装置や有機ＥＬ装置に限らない。機能液を配置する対象物の電気光学装置は、上述したような機能膜を有する装置、又は形成過程において上記したような機能膜を形成する必要がある電気光学装置であれば、どのような電気光学装置であってもよく、プラズマ型表示装置など、他の電気光学装置で適用することができる。

（変形例５）前記実施形態においては、有機ＥＬ素子３０７は、正孔輸送層３１６と発光層３１７とが、画素電極３１４と対向電極３１８とに挟まれた構成であったが、有機ＥＬ素子は、このような構成に限らない。有機ＥＬ素子は、発光層のみが画素電極と対向電極とに挟まれた構成のものや、正孔輸送層と発光層と電子輸送層とが挟まれた構成のものや、正孔輸送層と発光層と電子輸送層と正孔注入層とが挟まれた構成のものや、正孔輸送層と発光層と電子輸送層と電子注入層とが挟まれた構成のものや、正孔輸送層と発光層と電子輸送層と正孔注入層と電子注入層とが挟まれた構成のものなどが知られている。これらのいずれの構成の有機ＥＬ装置にも、前記実施形態に記載した電気光学装置の構成を適用することができる。

（変形例６）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００が備えるＣＦ層２０８は、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂの３色のフィルタ膜を有する３色フィルタであったが、カラーフィルタは、さらに多くの種類のフィルタ膜を有する多色のカラーフィルタであってもよい。多色のカラーフィルタとしては、例えば、赤色、緑色、青色に加えて赤色、緑色、青色の補色のシアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の有機ＥＬ素子を有する６色カラーフィルタや、シアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の３色に緑色を加えた４色カラーフィルタなどがあげられる。

（変形例７）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００が備えるカラーフィルタであるＣＦ層２０８について説明したが、上述した構成を有することで好適な機能を実現できるカラーフィルタは、液晶表示装置のカラーフィルタに限らない。無色又は有色の光を発光する発光層と組合せてカラー有機ＥＬ装置を形成する有機ＥＬ装置用のカラーフィルタも、上述した構成を有することで好適な機能を実現することができる。

（変形例８）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスタを用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であったが、駆動素子はＴＦＴ素子に限らない。他の駆動素子、例えば薄膜ダイオード（ＴＦＤ（Thin Film Diode））を備える液晶装置であってもよい。液晶の配向方式は、垂直配向であっても、水平配向であってもよい。

（変形例９）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドであったが、液滴吐出ヘッドがインクジェット方式の液滴吐出ヘッドであることは必須ではない。上述した機能液を配置する液滴吐出ヘッドは、インクジェット方式とは異なる方式の液滴吐出ヘッドであってもよい。

（変形例１０）前記実施形態においては、隔壁膨出部２６２ａ、隔壁膨出部２６８ａ、隔壁膨出部２７０ａ、隔壁膨出部２７２ａ、隔壁膨出部２７６ａ、隔壁膨出部２７８ａ、又は隔壁膨出部２８０ａの外形形状における円弧の曲率半径の大きさについては、特に規定していない。曲線の曲率半径が非常に小さい場合には、当該曲線の頂点部があたかも角部のように作用するため、「機能液が乗り上げる現象」や「機能液がはじかれる現象」が発生することを抑制する効果が得られ難くなる可能性がある。上記実施形態の発明者らは、曲線の曲率半径を５μｍ以上にすることで、当該曲線の頂点部があたかも角部のように作用することを抑制できることを見出した。「機能液が乗り上げる現象」や「機能液がはじかれる現象」を、より確実に抑制するためには、隔壁膨出部の角部に形成する円弧の曲率半径は、５μｍ以上であることが好ましい。

液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。 （ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図。 液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。 （ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。 素子基板におけるＴＦＴ素子を１個含む画素について、１個分の概略構成を示す平面図。 ３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図。 液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャート。 液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図。 液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図。 フィルタ膜を形成する工程における機能液の状態を示す説明図。 平坦化膜を形成する工程における機能液の状態を示す説明図。 隔壁膨出部の形状例を示す平面図。 有機ＥＬ表示装置の平面構成を示す概略正面図。 有機ＥＬ表示装置の表示領域に配列された有機ＥＬ素子の配列例を示す平面図。 有機ＥＬ表示装置の有機ＥＬ素子を含む要部の断面図。 素子基板の正孔輸送層及び発光層の形成工程を示すフローチャート。 素子基板の正孔輸送層及び発光層の形成工程を示す模式断面図。 カラーフィルタ層を形成する過程を示すフローチャート。 カラーフィルタ層を形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図。 フィルタ膜を形成する工程における機能液の状態を示す説明図。

符号の説明

２００…液晶表示パネル、２０４…隔壁、２０４ａ…隔壁膨出部、２０５…フィルタ膜、２０６…平坦化膜、２０６ａ…機能液、２１２…走査線、２１４…信号線、２１５…ＴＦＴ素子、２１８…配向膜、２２５…フィルタ膜領域、２２８…配向膜、２４２…配向膜液、２５２…機能液、２６１，２６３，２６５，２６７，２６９，２７１，２７３，２７５，２７７，２７９…フィルタ膜領域、２６２，２６４，２６６，２６８，２７０，２７２，２７４，２７６，２７８，２８０…隔壁、２６２ａ，２６４ａ，２６６ａ，２６８ａ，２７０ａ，２７２ａ，２７４ａ，２７６ａ，２７８ａ，２８０ａ…隔壁膨出部、３００…有機ＥＬ表示装置、３０１…素子基板、３０６…表示領域、３０７…有機ＥＬ素子、３１２…スイッチング素子、３１４…画素電極、３１５…隔壁、３１５ａ…隔壁膨出部、３１６…正孔輸送層、３１７…発光層、３１８…対向電極、３２１…画素区画、４０４…隔壁、４０４ａ…隔壁膨出部、４０５…フィルタ膜、４０５Ａ…フィルタ膜層、４２５…フィルタ膜領域、４５２…機能液、５６０…正孔輸送層材料液、５７０…発光層材料液。

Claims (13)

1. 光透過性を有する、又は発光する機能膜と、
   前記機能膜の形状を規定する格子状に形成された側壁層と、
   前記側壁層が前記機能膜側であって、前記機能膜の角部に膨出した膨出部と、を備え、
   前記膨出部の外形は、複数の曲線で形成されており、前記複数の曲線のうちの第１の曲線と前記複数の曲線のうちの第２の曲線と、はその接続部において互いに接していることを特徴とする電気光学装置。
2. 前記電気光学装置の電気光学素子を駆動する駆動素子をさらに備え、
   前記駆動素子は、少なくとも一部が前記膨出部と重なる位置に配設されていることを特徴とする、請求項１に記載の電気光学装置。
3. 前記機能膜が形成された第一の基板と、前記第一の基板と対向する第二の基板と、前記第一の基板と前記第二の基板との間隔を規定する間隔規定手段とをさらに備え、
   前記間隔規定手段は、少なくとも一部が前記膨出部と重なる位置に配設されていることを特徴とする、請求項１または２に記載の電気光学装置。
4. 前記側壁層における頂面の前記機能膜の材料を含む液状体に対する撥液性は、前記側壁層における前記機能膜に対向する側面の前記液状体に対する撥液性より高いことを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電気光学装置。
5. 前記側壁層及び前記機能膜を覆う状態に配設された第二の機能膜をさらに備えることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の電気光学装置。
6. 前記曲線は、曲率半径が５μｍ以上の円弧、又は曲率半径が５μｍ以上の円弧が互いに接して連なった曲線であることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の電気光学装置。
7. 光透過性を有するフィルタ膜と、
   前記フィルタ膜の形状を規定する格子状に形成された隔壁層と、
   前記隔壁層が前記フィルタ膜側であって、前記機能膜の角部に膨出した膨出部と、を備え、
   前記膨出部の外形は、複数の曲線で形成されており、前記複数の曲線のうちの第１の曲線と前記複数の曲線のうちの第２の曲線と、はその接続部において互いに接していることを特徴とするカラーフィルタ。
8. 前記隔壁層における頂面の前記フィルタ膜の材料を含む液状体に対する撥液性は、前記隔壁層における前記フィルタ膜に対向する側面の前記液状体に対する撥液性より高いことを特徴とする、請求項７に記載のカラーフィルタ。
9. 第一機能膜をさらに備え、前記第一機能膜は、前記隔壁層及び前記フィルタ膜を覆う状態に配設されていることを特徴とする、請求項７または８に記載のカラーフィルタ。
10. 前記曲線は、曲率半径が５μｍ以上の円弧、又は曲率半径が５μｍ以上の円弧が互いに接して連なった曲線であることを特徴とする、請求項７乃至９のいずれか一項に記載のカラーフィルタ。
11. 請求項７乃至１０のいずれか一項に記載のカラーフィルタを備えることを特徴とする、液晶装置。
12. 前記液晶装置の画素を駆動する駆動素子をさらに備え、
    前記駆動素子は、少なくとも一部が前記膨出部と重なる位置に配設されていることを特徴とする、請求項１１に記載の液晶装置。
13. 前記カラーフィルタが形成された第一の基板と、前記第一の基板と対向する第二の基板と、前記第一の基板と前記第二の基板との間隔を規定する間隔規定手段とをさらに備え、
    前記間隔規定手段は、少なくとも一部が前記膨出部と重なる位置に配設されていることを特徴とする、請求項１１又は１２に記載の液晶装置。

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