JP2005324130A - 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法、および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基体に対してヘッドのノズルから液滴を吐出する液滴吐出装置において、前記基体を保持するステージと、ノズル列を有する1または複数のヘッドを含むヘッド群を各々保持し、かつ、1つの軸上または平行に配置された複数の軸上を副走査方向に移動する複数の移動手段と、前記複数の移動手段を独立に駆動すると共に、前記副走査方向または主走査方向に隣接する前記移動手段のヘッド群間の相対位置関係を調整してノズルピッチを調整する位置制御手段と、を備え、前記ステージに対して前記キャリッジを前記主走査方向に相対移動させて前記ヘッド群で前記基体の被吐出部に液滴を吐出する。
【選択図】 図1
Description
本発明の実施例に係る液滴吐出装置を(液滴吐出装置の全体構成)、(キャリッジ)、(ヘッド)、(ヘッド群)、(制御部)、(塗布方法)、(相対位置関係の調整の変形例)、(ヘッドの配列の変形例)、(キャリッジの変形例1)、(キャリッジの変形例2)の順に詳細に説明する。
図1は、液滴吐出装置100の全体構成を模式的に示す模式図である。滴液滴吐出装置100は、図1に示すように、液液状の材料111を保持するタンク101と、チューブ110と、チューブ110を介してタンク101から液状の材料111が供給される吐出走査部102と、を備える。吐出走査部102は、複数のヘッド114(図2)を保持するキャリッジ(移動手段)103と、キャリッジ103の位置を制御する第1位置制御装置(位置制御手段)104と、後述する基体を保持するステージ106と、ステージ106の位置を制御する第2位置制御装置108と、制御部112と、を備えている。タンク101と、キャリッジ103における複数のヘッド114と、はチューブ110で連結されており、タンク101から複数のヘッド114のそれぞれに液状の材料111が供給される。
図2は、キャリッジ103をステージ106側から観察した図であり、図2の紙面に垂直な方向がZ軸方向である。また、図2の紙面の左右方向がX軸方向(副走査方向)であり、紙面の上下方向がY軸方向(主走査方向)である。
第1キャリッジ103Aと第2キャリッジ103Bを所定位置に配置した場合に、テストパターンに対応させて、液状の材料111を基体に描画する。基体に描画されたテストパターンの第1キャリッジ103Aのヘッド群114Gと第2キャリッジ103Bのヘッド群114Gとの継目部のパターンのズレ量を計測して、そのズレ量分、第1キャリッジ103Aと第2キャリッジ103Bを相対移動させることにより、ノズルピッチを調整する。
第1キャリッジ103Aおよび第2キャリッジ103Bのヘッド114のノズルにピンを立て、カメラで両ピンを撮影して両ピン間の距離を測定し、測定距離と目標距離とのズレ量を算出して、そのズレ量分、第1キャリッジ103Aと第2キャリッジ103Bとを相対移動させることにより、ノズルピッチを調整する。
図3は、ヘッド114の底面を示す。ヘッド114は、X軸方向に並んだ複数のノズル118を有する。これら複数のノズル118は、ヘッド114のX軸方向のノズルピッチHXPが約70μmとなるように配置されている。ここで、「ヘッド114のX軸方向のノズルピッチHXP」は、ヘッド114におけるノズル118のすべてをY軸方向に沿ってX軸上に射像して得られた複数のノズル像間のピッチに相当する。
次に、ヘッド群114Gにおける4つのヘッド114の相対位置関係を説明する。図5には、図2のキャリッジ103(第1,第2キャリッジ103A,B)においてY軸方向に隣接する2つのヘッド群114Gが示されている。
次に、制御部112の構成を説明する。図6に示すように、制御部112は、入力バッファメモリ200と、記憶手段202と、処理部204と、走査駆動部206と、ヘッド駆動部208と、を備えている。バッファメモリ202と処理部204とは相互に通信可能に接続されている。処理部204と記憶手段202とは、相互に通信可能に接続されている。処理部204と走査駆動部206とは相互に通信可能に接続されている。処理部204とヘッド駆動部20とは相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部206は、第1位置制御手段104および第2位置制御手段108と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部208は、複数のヘッド114のそれぞれと相互に通信可能に接続されている。
図8を参照して、液滴吐出装置100の塗布方法の一例を説明する。図8は、液滴吐出装置100の塗布方法の一例を説明するための説明図である。図8において、ステージ106には基体300が保持されている。基体300は、バンク301で区画される被吐出部302がマトリクス状に形成されている。この被吐出部302は、画素等が形成される領域である。被吐出部302の平面像は、長辺と短辺で定まる略矩形形状を呈している。ステージ106は、基体300の被吐出部302の長辺方向がX軸方向に平行に、かつ、その短辺方向がY軸方向に平行になるように、基体300を保持している。
図9−1は、第1キャリッジ103Aと第2キャリッジ103Bの相対位置関係の変形例を説明するための模式図である。上記実施例では、第1キャリッジ103Aのヘッド群114Gと第2キャリッジ103Bのヘッド群114GとをX軸方向に並べて描画幅が2倍となるように、第1キャリッジ103Aと第2キャリッジ103Bの相対位置関係を調整するものであるが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、図9−1に示すように、第1キャリッジ103Aのヘッド群114Gと第2キャリッジ103Bのヘッド群114GとY軸方向に並べて、ノズルの線密度が高くなるように、第1キャリッジ103Aと第2キャリッジ103Bの相対位置関係を調整することにしても良い。このように、第1,第2キャリッジ103A,103Bの相対位置関係の形態としては、X軸方向に並べて印字幅を倍にする形態と、Y軸方向に並べてノズルの線密度を高密度にする形態とがある。
図9−2は、ヘッド114の配列の変形例を説明するための模式図である。上記実施例では、ノズル列がX軸方向に平行になるように、ヘッド114をキャリッジ103に搭載する構成とした。これに対して、変形例では、図9−2に示すように、ヘッド114のノズル列がX軸方向に対して斜め方向になるように、ヘッド114をキャリッジ103に搭載した。同図に示すように、各ヘッド群114Gは2つのヘッド114を有している。ノズル列をX軸方向に対して斜め方向に配列すると、少ないヘッド数で高密度な描画を行うことが可能となる。
図10は、キャリッジの変形例1を説明するための模式図である。上記実施例では、第1キャリッジ103Aと第2キャリッジ103Bを異なるフィード軸上に配置する構成である。これに対して、変形例1では、同一のフィード軸上に複数のキャリッジを配置した構成である。図10−1に示すように、キャリッジ401は、第1キャリッジ401A,第2キャリッジ401B,第3キャリッジ401Cを有している。第1,第2,第3キャリッジ401A,B,Cは、同一のフィード軸402上に配置されている。第1,第2,第3キャリッジ401A,B,Cは、同一な構造を有し、平面視平行四辺形形状を呈しており、X軸方向に平行な2辺とY軸方向に所定の傾きを有する平行な2辺とを備えている。
図11は、キャリッジの変形例2を説明するための模式図である。変形例2は、2つのフィード軸上に各々複数のキャリッジを配置したものである。図11において、第1フィード軸432と第2フィード軸442は、同一XY平面上で平行に配置されている。キャリッジ431は、第1フィード軸432に配置された第1,2キャリッジ431A,Bと、第2フィード軸442に配置された第3,4キャリッジ441A,Bとを有している。
次に、本実施例の液滴吐出装置100を用いて製造される電気光学装置(フラットパネルディスプレイ)として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機EL装置、PDP装置、電子放出装置(FED装置、SED装置)等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。
正孔注入/輸送層617aは、画素電極613側から正孔を輸送して発光層617bに注入する機能を有する。この正孔注入/輸送層617aは、正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物(機能液)を吐出することで形成される。正孔注入/輸送層形成材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸等の混合物を用いる。
この表示装置600は、図18に示すように、バンク部形成工程(S21)、表面処理工程(S22)、正孔注入/輸送層形成工程(S23)、発光層形成工程(S24)、及び対向電極形成工程(S25)を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
表示電極711の形成の場合、アドレス電極706の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体709の形成の場合には、各色(R,G,B)に対応する蛍光材料を含んだ液体材料(機能液)をヘッド114から液滴として吐出し、対応する色の放電室705内に着弾させる。
次に、本発明に係る電気光学装置を適用可能な電子機器の具体例について図29を参照して説明する。図29−1は、本発明に係る電気光学装置を可搬型のパーソナルコンピュータ(いわゆるノート型パソコン)900の表示部に適用した例を示す斜視図である。同図に示すように、パーソナルコンピュータ900は、キーボード901を備えた本体部902と、本発明に係る電気光学装置を適用した表示部903とを備えている。図29−2は、本発明に係る電気光学装置を携帯電話機950の表示部に適用した例を示す斜視図である。同図に示すように、携帯電話機950は、複数の操作ボタン951のほか、受話口952、送話口953とともに、本発明に係る電気光学装置を適用した表示部954を備えている。
107A、第1フィード軸、107B 第2フィード軸、108 第2位置制御装置、111 液状の材料、112 制御部、114 ヘッド、114G ヘッド群、116A,116B ノズル列、118 ノズル、118R 基準ノズル、124 振動子、124A,124B 電極、124C ピエゾ素子、127 吐出部、203 駆動信号生成部、208 ヘッド駆動部、300 基体、301 バンク、302 被吐出部、401 キャリッジ、401A 第1キャリッジ、401B 第2キャリッジ、401C 第3キャリッジ、402 フィード軸、403G ヘッド群、410 キャリッジ、411A 第1キャリッジ、411B 第2キャリッジ、411C 第3キャリッジ、412 フィード軸、431 キャリッジ、431A 第1キャリッジ、431B 第2キャリッジ、432 第1フィード軸、441A 第3キャリッジ、441B 第4キャリッジ、442 第2フィード軸
Claims (10)
- 基体に対してヘッドのノズルから液滴を吐出する液滴吐出装置において、
前記基体を保持するステージと、
ノズル列を有する1または複数のヘッドを含むヘッド群を各々保持し、かつ、1つの軸上または平行に配置された複数の軸上を副走査方向に移動する複数の移動手段と、
前記複数の移動手段を独立に駆動すると共に、前記副走査方向または主走査方向に隣接する前記移動手段のヘッド群間の相対位置関係を調整してノズルピッチを調整する位置制御手段と、
を備え、
前記ステージに対して前記キャリッジを前記主走査方向に相対移動させて前記ヘッド群で前記基体の被吐出部に液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出装置。 - 前記位置制御手段は、調整した相対位置関係を維持した状態で、前記複数の移動手段を同期させて前記副走査方向に移動させることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。
- 前記位置制御手段は、前記副走査方向のノズルピッチが等間隔になるように、前記副走査方向または前記主走査方向に隣接する前記移動手段のヘッド群間の相対位置関係を調整することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液滴吐出装置。
- 前記位置制御手段は、前記副走査方向のノズルの線密度が高くなるように、前記副走査方向または前記主走査方向に隣接する移動手段のヘッド群間の相対位置関係を調整することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液滴吐出装置。
- 前記被吐出部の平面像は、長辺と短辺で定まる略矩形形状を呈し、
前記ステージは、前記長辺の方向が前記副走査方向に平行に、かつ、前記短辺の方向が前記主走査方向に平行になるように、前記基体を保持することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1つに記載の液滴吐出装置。 - 前記ヘッド群を構成するヘッドのノズル列が、前記副走査方向に平行に配置されていることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1つに記載の液滴吐出装置。
- 前記ヘッド群を構成するヘッドのノズル列が、前記副走査方向に対して斜め方向に配置されることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1つに記載の液滴吐出装置。
- 請求項1〜請求項7のいずれか1つに記載の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする電気光学装置。
- 請求項1〜請求項7のいずれか1つに記載の液滴吐出装置を用いて電気光学装置を製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
- 請求項8に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
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