JP2007298961A - 複数セットの印刷ヘッドを用いるインクジェット印刷のための方法及び装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】第1の特徴において、インクジェット印刷のためのシステムが提供される。
【解決手段】このシステムは、(1)第1のインクを選択的に分配する第1の複数のノズルを有する第1のインクジェット印刷ヘッド及び第2のインクを選択的に分配する第2の複数のノズルを有する第2にインクジェット印刷ヘッドを含む第1のセットと、(2)第3のインクを選択的に分配する第3の複数のノズルを有する第3のインクジェット印刷ヘッド及び第4のインクを選択的に分配する第4の複数のノズルを有する第4のインクジェット印刷ヘッドを含む第2のセットと、(3)前記第1のセット及び第2のセットが、基板上の表示画素の隣接するカラーウェル上にそれぞれ第1/第2及び第3/第4のインクを分配するように、印刷走行の間、前記第1及び第2のセットの下で前記基板を支持し搬送するステージを含む。
【選択図】図4

Description

関連出願への相互参照
本特許出願は2006年3月24に出願され、「インクジェット印刷のための方法及び装置」(代理人事件番号9521/L04/DISPLAY/AKT/RKK)と題された、出願番号60/785,594の米国特許仮出願から優先権主張するものであり、本明細書においてその全体が参照され組み込まれる。
さらに、本件出願は、以下の、同じ出願人に譲渡され、出願継続中の米国出願に関連するものであり、それらの出願の各々は、本明細書において、全ての目的のためにその全体が参照され組み込まれる。
2004年11月4日に出願され、「インクジェットを用いることによりフラットパネル表示のカラーフィルタを形成するための装置及び方法」(代理人事件番号9521/L)と題される出願番号60/625,550の米国特許仮出願。
2004年12月22日に出願され、「独立の横方向の動作が可能なインクジェットヘッドを有するインクジェットヘッド支持体のための装置及び方法」(代理人事件番号9521‐1)と題された出願番号11/019,967の米国特許出願。
2004年12月22日に出願され、「印刷ヘッドを整列させるための方法及び装置」(代理人事件番号9521‐3)と題された特許出願11/019,930の米国特許出願。
2004年2月19日に出願され、「支持体ステージに対して基板を位置決めするための方法及び装置」(代理人事件番号8166)と題された出願番号10/781,953の米国特許出願。
2005年7月28日に出願され、「インクジェット印刷及び欠陥検査を同時に行うための方法及び装置」(代理人事件番号9521-L02(以前の9521-7))と題された出願番号60/703,146の米国特許仮出願。
2005年8月25日に出願され、「インクジェット印刷ヘッド支持体を整列するための方法及び装置」(代理人事件番号9521‐6)と題された出願番号11/212,043の米国特許出願。
2006年8月23日に出願され、「パターンデータを用いた表示のためのインクジェット印刷カラーフィルタのための方法及び装置」(代理人事件番号9521-P04)と題された出願11/466,507米国特許出願。
発明の分野
本発明は一般に主にフラットパネルディスプレイの製造に関し、特に、インクジェット印刷のための方法及び装置に関する。
背景
フラットパネルディスプレイの産業分野において、表示装置、特にカラーフィルタを製造するためにインクジェット印刷を用いることが試みられてきた。インクジェット印刷を効果的に用いることに関する問題点は、高い生産性を保ちつつ、基板上に正確かつ精密にインク若しくは他の物質をインクジェットすることが困難であるということである。従って、(例えば、基板上にインクを堆積するために必要な印刷走路の数を減らすように)基板上の滴下位置に効率よくインクジェットのヘッドを位置決めするための改善された方法及び装置の必要性がある。
発明の概要
本発明の第1の態様において、インクジェット印刷のためのシステムが提供される。このシステムは、(1)第1のインクを選択的に分配するような第1の複数のノズルを有する第1のインクジェット印刷ヘッド及び第2のインクを選択的に分配するような第2の複数のノズルを有する第2のインクジェット印刷ヘッドを含む第1のセットと、(2)第3のインクを選択的に分配するような第3の複数のノズルを有する第3のインクジェット印刷ヘッド及び第4のインクを選択的に分配するような第4の複数のノズルを有する第4のインクジェット印刷ヘッドを含む第2のセットと、(3)前記第1のセットが基板上の表示画素の隣接するカラーウェルの各々に前記第1及び第2のインクを分配するように、かつ、前記第2のセットが基板上の表示画素の隣接するカラーウェルの各々に前記第3及び第4のインクを分配するように、印刷走行の間、前記第1及び第2のセットの下に基板を支持し搬送するステージを含む。
本発明の第2の態様においては、インクジェット印刷の第1の方法が提供される。この第1の方法は、(1)第1の複数のインクジェット印刷ヘッドを第1のセットにグループ化し、(2)第2の複数のインクジェット印刷ヘッドを第2のセットにグループ化し、(3)印刷走行の間、前記第1及び第2のセットの下で印刷方向に基板を動かし、(4)基板走行の間、基板上の表示オブジェクトの上にインクを分配するために第1のセット及び第2のセットの両者を用いるステップを含む。
本発明の第3の態様において、インクジェット印刷のための装置が提供される。この装置は(1)第1のインクを選択的に分配するような第1の複数のノズルを含む第1のインクジェット印刷ヘッド及び第2のインクを選択的に分配するような第2の複数のノズルを含む第2のインクジェット印刷ヘッドを含む第1のセットと、(2)第3のインクを選択的に分配するような第3の複数のノズルを有する第3のインクジェット印刷ヘッド及び第4のインクを選択的に分配するような第4の複数のノズルを含む第4のインクジェット印刷ヘッドを含む第2のセットとを含み、前記第1のセットは基板上の表示画素の隣接するカラーウェルの各々に前記第1及び第2のインクを分配し、前記第2のセットは基板上の表示画素の隣接するカラーウェルの各々に前記第3及び前記第4のインクを分配するようになっている。
本発明のその他の構成は以下の詳細な説明、特許請求の範囲及び添付図面から十分により明らかになる。
詳細な説明
本発明は、特に、様々な異なるサイズの基板上に印刷を行う複数の印刷ヘッドを用いて印刷を行うときに、インクジェット印刷ヘッドの下を基板が通過するのに必要な回数を効率的に削減することにより、印刷を改善するための方法及び装置を提供するものである。本発明によれば、複数セットの印刷ヘッドが基板上にインクを分配するよう配置され、基板は前記セットの下で搬送される。セットが基板上の表示画素の、隣接する又は隣接していないサブ画素ウェル上に異なるインクを分配するよう動作するように、各セットには1つ以上の印刷ヘッドが設けられる。これは各カラーインクのための異なる印刷ヘッドを用い、セット内の印刷ヘッドを、印刷方向に対して垂直な方向に所要のオフセット量(例えば、変位距離)だけ離間させることにより成し遂げられる。付加的に、又は、選択的に、上述の機能は、印刷方向に垂直な方向における、隣接する印刷ヘッドの対応するノズルの中心から中心への間の距離が、表示画素の隣接するカラーウェルの中心から中心への間の距離とほぼ等しくなるように、中央軸の周りに印刷ヘッドのセットを回動させることにより成し遂げられる。例えば、以下にさらに説明されるように、各セットが3つの印刷ヘッドを含む3つの印刷ヘッドのセット(例えば、合計で9個の印刷ヘッド)を用いて、従来のシステムにより必要とされる印刷走路の数の三分の一の走路数により、3つの異なるインクが表示オブジェクトの各表示画素上に堆積される。いくつかの実施形態において、各セットは異なる表示オブジェクト(若しくは表示オブジェクトのコラム)を印刷するのに用いられるかもしれない。
図1は本発明の一実施形態によるインクジェット印刷のためのシステムの概略図である。図1を参照すると、システム101は、フラットパネル表示の製造など、特にインクジェット印刷の間に、1つ以上の基板105を支持し搬送する支持体103若しくはステージを含む。異なるサイズの基板105が用いられるかもしれない。1つ以上の実施形態において、基板は1300mm×1500mmの大きさの「20K」の基板及び/又は2600mm×2230mmの大きさの「60K」の基板を含むかもしれない。この基板105は長いほうの辺若しくは短いほうの辺が印刷方向(Y軸)に整列するように置かれる。基板105の各々は、インクジェット印刷の間にインクが配分される1つ以上の表示オブジェクト107を含む。基板105上の表示オブジェクト107は異なるサイズまたは構成のものであるかもしれない。例えば、基板105は、4行3列に配置された(すなわち、4×3の構成の)同じサイズの8個の表示オブジェクト107、3行2列(3×2の構成)に配置された、いくらかより大きいサイズの6個の表示オブジェクト、または、印刷方向(Y軸方向)に上下に配置された2つの、より大きい表示オブジェクトであるかもしれない。追加的に、及び/又は、選択的に、基板上の表示オブジェクト107は異なるサイズのものであるかもしれない。表示オブジェクト107は、好ましくは、基板105の全体表面をほぼ占めるようになっているかもしれないし、選択的に、表示オブジェクト107は基板105の表面の一部分を占めるかもしれない。図2A及び2Bを参照して、以下にさらに詳細に説明されるように、基板105の前記1つ以上の表示オブジェクトは分配されたインクを受け取る画素領域を含む。図1には1つの表示オブジェクトにつき1つの基板のみが示されているが、それぞれが1つ以上の表示オブジェクト107を含む1つ以上の基板105が用いられてもよい。基板105は硝子、ポリマー、及び/又は他のいかなる適宜な材料から作られうる。
システム101は本発明の一実施形態によるインクジェット印刷のための1つ以上の装置108を含む。この1つ以上の装置108の各々は、基板105の表示オブジェクト107にインクを分配するようなインクジェット印刷ヘッド(別個に図示していない)の1つ以上のセット109を含む。例示の装置108は3セット109のインクジェット印刷ヘッドを含むが、いくつかの実施形態においては、装置108は、より多くの又は少ない数のセット109を含むかもしれない。
印刷ヘッドの前記1つ以上のセット109は基板支持体103の上部において結合されている。より詳細には、インクジェット印刷のためのシステム101は、印刷ヘッドの1つ以上のセット109が接続される支持体103の上部に延びる支持ブリッジ111を含む。図示されていないが、いくつかの実施形態において、インクジェット印刷のためのシステム101は1つ以上のブリッジ111を含み、各ブリッジ111は1つ以上の印刷ヘッドのセット109を含む。以下に説明されるように、各セット109は前記セット109が独立に支持体103上を(例えば、中央軸113の周りで)回動するように、ブリッジ111に接続される。さらに、各セット109は前記支持体103の上部において、横方向に(例えば、軸に沿って)独立に移動可能である。さらに、各セット109内で、個々の印刷ヘッドは、印刷ヘッドの長手方向の軸に沿って、印刷ヘッドの長手方向に垂直な軸に沿って、及び、回転的に、相互に動くことができる(個々の印刷ヘッドは相互に邪魔とならないように十分に距離が置かれているものとする)。さらに、前に組み込まれた米国特許出願11/212,043に記述されるように、ブリッジ111は基板105上の表示オブジェクト107の配列に対して整列するように回動可能である。
インクジェット印刷の間、支持体103はインクジェット印刷ヘッドの1つ以上のセット109の下方で基板105を搬送し、そのようなインクジェット印刷ヘッドのセット109は基板105内に含まれる1つ以上の表示オブジェクト107上に1つ以上のインクを分配する。いくつかの実施形態において、支持体103はY軸に沿って基板105を搬送し、これにより印刷方向が定義される。しかしながら、他の実施形態において、支持体103は異なる方向に基板105を搬送するかもしれない。支持体103が1つ以上のセット109の下において基板105が搬送される度毎に、それは一回の印刷走行として言及されるかもしれない。
図2Aは図1の装置108の一部分の平面図の概略図である。図2Aを参照すると、上述したように、インクジェット印刷のための装置108は1つ以上のインクジェット印刷ヘッドのセット109を含む(そのうちの1つのみが図2Aに示されている)。その1つ以上のセット109のそれぞれは、対応するインクを分配するような複数のインクジェット印刷ヘッド201‐205を含む。図2Aにおいて、インクジェット印刷ヘッド201‐205はそれぞれに隣接するように図説されている。しかしながら、いくつかの実施形態において、印刷ヘッド201‐205は印刷ヘッドが独立に回転できるように、かなりの距離だけ離れているかもしれない。各印刷ヘッド201‐205は選択的に(例えば、赤、緑、青、及び/又は他の色の)インクを分配するような複数のノズル206を含む。いくつかの実施形態において、セット109は3つのインクジェット印刷ヘッド201‐205を含む(より大きい数の又はより少ない数のインクジェット印刷ヘッド201‐205が用いられてもよいが)。さらに、いくつかの実施形態において、インクジェット印刷ヘッド201‐205のそれぞれは異なるインク(例えば、異なる色のインク)及び/又は他の液体若しくは材料を分配するかもしれない。しかしながら、いくつかの実施形態において、2つ若しくはそれ以上の印刷ヘッド201‐205が同じインク(例えば、同じ色のインク)及び/又は、他の液体又は材料を分配するかもしれない。
表示オブジェクト107は、それぞれにインクが分配される複数のサブ画素カラーウェル207を含む複数の表示画素209を含む。セット109内のこの複数のインクジェット印刷ヘッド201‐205は、印刷走行の間、基板105上の表示画素209のそれぞれの隣接するカラーウェル207に、セット109が第1の印刷ヘッド201からの第1のインク、第2の印刷ヘッド203からの第2のインク、(例えば、第3の印刷ヘッド205からの第3のインク)という具合に、インクを分配するように、配置される。より詳細には、上述の結果を得るために、セット109(若しくは個々の印刷ヘッド201‐205)は中央軸113(図1)の周りに(例えば、X軸に対して所定角の角度で)回動されうる。追加的に、若しくは、選択的に、複数の印刷ヘッド201‐205の1つ以上(例えば、第1の印刷ヘッド201及び第3の印刷ヘッド205)は、セット109内の残りの印刷ヘッド(例えば、第2の印刷ヘッド203)から、(例えば、そのような印刷ヘッド201、205の長手方向の軸に沿って)少し離れているかもしれない。印刷ヘッドの回転及び/又はオフセッティングは、各印刷ヘッドに対して独立して駆動されるドライブモータ(若しくは他のドライバ)により行われるかもしれない。そのような回転及び/又はオフセッティングの詳細は図2Bを参照して以下に説明される。
回転及び/又はオフセッティングは以下に説明されるが、前記セット109が表示画素209の隣接するカラーウェル207の各々に対し、第1の印刷ヘッド201からの第1のインク及び第2の印刷ヘッド203からの第2のインクが分配されるように、各セット109内に複数の印刷ヘッド201‐205が配置されるようないかなる方法をも用いられうる。換言すると、回転は、個々の印刷ヘッドにおいて、若しくは、印刷ヘッドのセット全体において、行われるかもしれない。同様に、オフセッティングも、個々の印刷ヘッドにおいて、若しくは、印刷ヘッドのセット全体において、行われるかもしれない。このように、インクジェット印刷の間、基板上の表示画素209の隣接するカラーウェル207の各々に対し、複数のインクジェット印刷ヘッド201‐205からのインクを分配するに必要な印刷走行の数は減少する。同様に、本明細書に記述される例では、3つの印刷ヘッドを有する一組のセット及び中央の印刷ヘッドに基づくオフセットが考えられているが、いかなる数の印刷ヘッドが用いられてもよいし、そのセットの中心は、異なる数の印刷ヘッドを有する異なるサイズのセットが用いられたときには、ずれるかもしれない。また、インクジェット印刷のための装置108の1つのセット109のみが図2に図示されているが、装置108内での残るセット109が印刷走行の間に、そのようなセット109の下を移動する表示画素209内に同様に方法によりインクを分配するようになっていることを理解されるべきである。
さらに、同じセット内の印刷ヘッド201‐205は、異なる印刷ヘッド201‐205が異なる表示画素209において、インク(例えば、同じ色のインク)を堆積するように配列されてもよい。例えば、図4において、第1のセットは、ブリッジ111の前部に搭載された第1の色のインク(例えば、赤)(その液滴は図4及び5においてピリオドとして図示されている)を分配する第1の印刷ヘッド401A、及び、ブリッジ111の後部に搭載される同じ(第1の)色のインクを分配する第2の印刷ヘッド401Bを含み、第2のセットは、ブリッジ111の前部に搭載される第2の色のインク(例えば、緑)(その液滴は4図及び5において単一の引用符号として図示されている)を分配する第1の印刷ヘッド403A、及び、ブリッジ111の後部に搭載される同じ(第2の)色のインクを分配する第2の印刷ヘッド403Bを含み、第3のセットは、ブリッジ111の前部に搭載される第3の色のインク(例えば、青)(その液滴は4図及び5においてコンマにより図示されている)を分配する第1の印刷ヘッド405A、及び、ブリッジ111の後部に搭載される同じ(第3の)色のインクを分配する第2の印刷ヘッド405Bを含み、第4のセットは、ブリッジ111の前部に搭載される第1の色のインク(例えば、赤)を分配する第1の印刷ヘッド407A、及び、ブリッジ111の後部に搭載される同じ(第1の)色のインクを分配する第2の印刷ヘッド407Bを含み、第5のセットは、ブリッジ111の前部に搭載される第2の色のインク(例えば、緑)を分配する第1の印刷ヘッド409A、及び、ブリッジ111の後部に搭載される同じ(第2の)色のインクを分配する第2の印刷ヘッド409Bを含み、第6のセットは、ブリッジ111の前部に搭載される第3の色のインク(例えば青)を分配する第1の印刷ヘッド411A、及び、ブリッジ111の後部に搭載される同じ(第3の)色のインクを分配する第2の印刷ヘッド411Bを含むように、2つの印刷ヘッドの各々が1つのブリッジ111に搭載された、六つのセット401A&B、403A&B、405A&B、407A&B、409A&B、及び411A&Bの構成が図示されている。図4に示されるように、各セット内の第1の印刷ヘッド4XXAからのインクは、各セット内の第2の印刷ヘッド4XXBからのインクが堆積されるように表示画素に隣接する表示画素に堆積される。換言すると、(各セット内の1つの印刷ヘッド4XXAがブリッジ111の前部に搭載され、各セット内の各1つの印刷ヘッド4XXBがブリッジ111の後部に搭載されていることにより)各セットの2つの印刷ヘッド間のY方向のオフセットによって、堆積されるべきインクの液滴の印刷ヘッドの各コラムをX方向に所要の距離だけ離すことができる(オーバーラップを含む)。
図2Bは、本発明の一実施形態による図2Aに示されたインクジェット印刷のための装置の一部分の拡大された平面図の概略図である。図2Bを参照すると、複数の印刷ヘッド201‐205は、セット209が、(例えば、印刷走行の間、)支持体103が装置108の下方で印刷方向に(例えば、Y軸に沿って)基板105を搬送するにつれ、第1のカラーウェル207aに、第1の印刷ヘッド201の第1のノズル206aからの第1のインク、第1のカラーウェル207aに隣接する第2のカラーウェル207bに、第2の印刷ヘッド203の第1のノズル206bからの第2のインクをセットが分配するように(例えば、セットは第2のカラーウェル207bに隣接する第3のカラーウェル207cに、第3の印刷ヘッド205の第1のノズル206cからの第3のインクを分配するように)、複数の印刷ヘッド201−205はセット109内に配置される。同様に、セット109は他の表示画素209のカラーウェルにインクを分配する。例えば、印刷走行の間に、セット109は、別の表示画素内に含まれる第4のカラーウェル211aに、第1の印刷ヘッド201の第2のノズル208aからの第1のインクを分配し、第4のカラーウェル211aに隣接する第5のカラーウェル211bに、第2の印刷ヘッド203の第2のノズル208bからの第2のインクを分配する(例えば、セットは第5のカラーウェル211bに隣接する第6のカラーウェル211Cに、第3の印刷ヘッド205の第2のノズル208cからの第3のインクを分配するように)。さらに、支持体103がセット109の下方において、そのようなカラーウェルを搬送するにつれ、セット109はカラーウェル213a‐c、215a‐cにインクを分配するかもしれない。このように、セット109は印刷走行の間、表示画素209のカラーウェル207a‐c、211a‐c、213a‐c、215a‐cに、インクを分配する。さらに、図2Bは、第1ないし第3の印刷ヘッド201‐205のそれぞれの2つのノズル206、208から分配されるインクを図示するが、セット109は、印刷走行の間、インクが表示オブジェクト107内に含まれる1つ以上の追加の表示画素209(図示せず)に堆積されるように、上述に類似の方法により、複数の印刷ヘッド201‐205の残りのノズルからのインクを分配するようにしてもよいことは理解されるべきである。
セット109内の複数の印刷ヘッド201‐205の上述の構成を成し遂げるために、セット109は、印刷ヘッド201‐205内の隣接するノズルの印刷方向(例えば、Y軸方向)に垂直な軸(例えば、X軸)に沿っての中心から中心への距離Aがほぼ若しくは実質的に表示画素の幅Bと等しくなるように、中央軸(図2Bには図示せず、図2Aの113)の周りで、(例えば、X軸に対し角θにより)回動する。一実施形態において、表示画素の幅は120マイクロンである(それより大きい又は小さい幅が用いられるかもしれないが)。いくつかの実施形態において、回転角θはcos -1(A/C)であり、Cは図2Bに示されるように、印刷ヘッドの長手方向の軸に沿った印刷ヘッドの隣接ノズル間の中心から中心への距離である。しかし、回転角θは異なる関係に基づくかもしれない。
追加的に、若しくは、選択的に、第1の印刷ヘッド201は、(例えば、Y軸に沿った)印刷方向に垂直な方向(例えば、X軸に沿った方向)における、印刷ヘッド201‐203の対応するノズル(例えば、206a及び206b)との間の中心から中心への距離Eが表示画素209の隣接するカラーウェル(例えば、207a及び207b)の中心から中心への距離Fにほぼ等しくなるように、第2の印刷ヘッド203から距離Dだけ、第1の方向に(例えば印刷ヘッド201の長手方向の軸に沿って)オフセット(所定量、変位)される。
同様に、第3の印刷ヘッド205は、(例えば、Y軸に沿った)印刷方向に垂直な方向(例えば、X軸に沿った方向)における、印刷ヘッド201‐203の対応するノズル(例えば、206c及び206b)との間の中心から中心への距離Hが表示画素209の隣接するカラーウェル(例えば、207b及び207c)の中心から中心への距離Iにほぼ等しくなるように、第2の印刷ヘッド203から距離Gだけ、第2の方向に(例えば、印刷ヘッド201の長手方向の軸に沿って)オフセットされる。いくつかの実施形態において、(D、E、及びFの大きさはそれぞれG、H及びIの大きさとは異なるかもしれないが)D、E及びFの大きさはそれぞれ、G、H、及びIの大きさに一致するかもしれない。さらに、いくつかの実施形態において、(より大きい若しくは小さい距離が用いられるかもしれないが)表示画素209での隣接するカラーウェルの中心から中心への距離F、Iは約360マイクロンであるかもしれない。インクジェット印刷のための装置108の1つのセット109内での印刷ヘッド201‐205の構成が図2Bに図示されているが、装置108の残りのセット109の印刷ヘッドが類似の態様で配置されていることが理解されるべきである。
オフセッティングはセット109が表示オブジェクトの特定の表示画素のレイアウト上に印刷されるよう構成され及び調整されているときに行われる。選択的に、オフセッティングは異なる表示オブジェクト若しくは他の条件を許容するために印刷時に行われるかもしれない。セット109は、このオフセットを作るために印刷ヘッドを独立に動かすドライバを含み、及び/又は、そのようなドライバに接続される。
いくつかの実施形態において、印刷ヘッドの複数のセット109が単一の印刷走路において同時に用いられるかもしれない。例えば、本発明によるインクジェット印刷101のためのシステムにおいて、それぞれが3つの印刷ヘッドを含む3つの印刷ヘッドのセット109(合計で九つの印刷ヘッド)が横に並んで配置され、横方向に独立に調整可能である。こうして、動作中、本発明による9つの印刷ヘッドを同時に使用することにより、従来のシステムに比べて、一連の表示オブジェクト107の完全なる印刷に必要な印刷走路の数を三分の一に減らしめる。
いくつかの実施形態において、複数のセット109が異なる表示オブジェクト107及び/又は異なる基板105上で印刷するのに用いられるかもしれない。例えば、4つの表示オブジェクト107(例えば、4列)X 3つの表示オブジェクト107(例えば、3行)のレイアウトを有する基板上に印刷を行うとき、表示オブジェクト107のカラムにつき1つのセット109が、コラム内の表示オブジェクト107のそれぞれを同時に印刷するのに用いられるかもしれない。こうして、印刷ヘッドのそれぞれのセット109が表示オブジェクト107の異なるコラムを印刷する。例えば、5個の表示オブジェクト107(例えば、5列)×6個の表示オブジェクト107(例えば、6行)の表示オブジェクトのレイアウトを有する基板上に印刷を行うときは、5つのセット109が最も最適な態様によりカラーフィルタを同時に印刷するのに用いられるかもしれない。
全ての場合において、セット109、及び/又は、個々の印刷ヘッド201‐205は、独立に回転可能であると共に、横方向に(例えば印刷方向に垂直なX軸に沿って)調整可能であり、これにより、それぞれのセットは、異なる表示オブジェクト107及び/又は表示オブジェクト107のコラムに整列させることができる。また、ブリッジ111は、異なる表示オブジェクト107及び/又は表示オブジェクト107のコラムに各セット109を整列せしめるために回動可能に調整しうるかもしれない。いくつかの実施形態において、全てのセット109の全て及びサブセットは、例えば、表示オブジェクト107は、特に大きい場合、単一の表示オブジェクト107を同時に印刷するかもしれない。また、セット109は用いられるかもしれない異なる色のインクの数に対応した印刷ヘッドの数を含むかもしれない。換言すると、表示オブジェクト107がX色の数の色を含むのであれば、セット109はX色の印刷ヘッドを含み、1つの印刷ヘッドがX色のそれぞれに対応する。特定の実施形態において、セット109は六つの印刷ヘッドを含み、それぞれの印刷ヘッドは、赤、緑、青、イエロー、マジェンタ、シアンのそれぞれに対応する。この六つの色(R、G、B、Y、M、C)の組み合わせが高い精度により、全色若しくは全範囲の色の再生を可能とする。
インクジェット印刷のためのシステムの動作が図1‐図2B及び図3を参照して説明され、図3は本発明の一実施形態によるインクジェット印刷の方法301を図説する。図3を参照すると、ステップ303において、本方法301は開始する。ステップ305において、第1及び第2のインクジェット印刷ヘッドを含むセット内の第1のインクジェット印刷ヘッドの少なくとも1つが所要のオフセット量だけ印刷方向に対して垂直な方向において第2の印刷ヘッドに対してオフセットされる。セット109は中央軸の周りに回動される。より詳細には、第1のインクジェット印刷ヘッド201は、印刷ヘッド203の長手方向の軸に沿って、オフセット量D(例えば、距離)だけ、第2の印刷ヘッド203に対して、(例えば、ハードウェア若しくはソフトウェアにより)オフセット(変位)されるかもしれない。このようにして、第1の印刷ヘッド201は、印刷方向に垂直な方向における、第1及び第2の印刷ヘッド201‐203の対応するノズル206a、206b間の中心から中心への距離Eが、表示画素209の隣接するカラーウェル207a、207bの中心から中心への距離Fにほぼ等しくなるように、(例えば、Y軸に沿った)印刷方向に(例えば、X軸に沿った)垂直な方向に第2の印刷ヘッド203からオフセットされる。別の印刷ヘッド(例えば、第3の印刷ヘッド205)も同様にして第2の印刷ヘッド203からオフセットされるかもしれない。
また、セット109は、(例えば、Y軸に沿った)印刷方向に垂直な方向(例えば、X軸に沿った方向)における、セット109内の印刷ヘッド(例えば、201)の隣接するノズル(例えば、206a、208a)の中心から中心への距離Aが、表示画素の幅B(図2B)にほぼ等しくなるように、中央軸の周りで(角度θだけ)回動する。中央軸113の周りで(例えば、角度θだけ)セット109を回動させることにより、セット109に含まれる全ての印刷ヘッド201‐205は角度θだけ回動される。選択的に、いくつかの実施形態において、印刷ヘッド201‐205の1つの又はそれ以上は上記の結果を得るために、印刷ヘッド201‐205の各々の中央軸の周りで角度θだけ回動される。
このようにして、セット109内の印刷ヘッド201‐205は本発明の一実施形態に従い、インクジェット印刷のために配置される。この後、ステップ307が実行される。
ステップ307において、セットはホームポジションに位置せしめられる。例えば、基板支持体103がセット109を含む装置108がインクジェット印刷を開始する位置(例えば、ホームポジション)へ基板を動かす。ホームポジションは、装置108が表示オブジェクト107上の表示画素209を跳ばすことなく、かつ、1つ以上の印刷走路を用いて、インクジェット印刷の間、順番に表示オブジェクト107上の表示画素209にインクを分配するように選択される。いくつかの実施形態において、このステップ307は、基板105上の、N個の表示オブジェクト107(若しくは、N個の表示オブジェクト107のコラム)のそれぞれに対して、印刷ヘッドのN個のセット109のそれぞれについて繰り返される。いくつかの実施形態において、各セット109は、セット109間のギャップなしに印刷を行うように、異なるセット109を位置決めせしめるように、印刷方向(例えばY軸に沿った方向)及び横方向(例えばX軸方向に沿った方向)に調整されうる。
ステップ309において、第1及び第2の印刷ヘッドからのインクがインクジェット印刷走路の走行の間、表示画素のそれぞれ隣接するカラーウェルに分配されるように、セット109を用いたインクジェット印刷が開始される。例えば、異なるインク(例えば、異なる色のインク)が印刷走行の間、第1及び第2の印刷ヘッド201‐203のそれぞれから隣接するカラーウェル(例えば207a、207b)に分配される。図2A‐図2Bにおいて1つのセットのみが示されているが、複数のセット109がインクジェット印刷の間、表示オブジェクト107の表示画素209にインクを分配するのに用いられうる。1つ以上の印刷走行が基板105の表示オブジェクト107内に含まれる表示画素209にインクを分配するのに用いられるかもしれない。異なる印刷ヘッド201‐205からのインク(例えば、異なるインク)は本発明の方法より装置を用いる単一の印刷走行の間、表示オブジェクト107内の表示画素209の隣接するカラーウェル(例えば、207a、207b)に分配されるので、基板105上の表示画素209へインクを分配するのに必要な印刷走行の総数は、従来のインクジェット印刷システムに比べて、削減される。この後、ステップ311において本方法301は終了する。
この方法301を使用すれば、インクジェット印刷は、基板105内に含まれる表示オブジェクト107の表示画素209へインクを分配するに必要な印刷走行の総数を減らすことにより改善されうる。従来のシステムに比べて、本方法はインクジェット印刷を効率的に改善し、必要なメンテナンスを少なくするかもしれない。
上述のとおり、図4は、各々、2つの印刷ヘッドを有する六つのセット401A&B、403A&B、405A&B、407A&B、409A&B、及び411A&Bの構成を図示する。この構成において、同じセット内の印刷ヘッドは、異なる印刷ヘッドが異なる表示画素においてインクを堆積する(例えば、同じ色のインク)ように配列される。
図4の例示的な構成に示されるように、本システムは1つ以上のカメラ413A、413B(2つは図示されている)を含み、それらは堆積の前、その直前又は直後に、ブリッジ111の前部、若しくは、ブリッジ111の後部に搭載された、いずれかの印刷ヘッドにより堆積されたインク及び/又は基板を検査することができる。カメラ413A、413Bは、各々のカメラ413A、413Bが、互いに、かつ、印刷ヘッドに対して、独立に動きうるように、印刷ヘッドが搭載されるのと同じ態様により、印刷ヘッド搬送部に搭載される。こうして、カメラ413A、413Bは、基板が印刷ヘッドの下を動くにつれ、印刷ヘッドのいずれをも先導若しくは追跡するよう動かされる。カメラ413A、413Bはインクの滴下位置を決定するために、及び/又は、印刷ヘッドの位置決めのためのオフセットを計算するために、基板上の調整マーク415を用いてステージ上の基板を整列させるのに用いられるかもしれない。本発明に用いられるのに好適な画像システムを含むカメラの一例はマサチューセッツ州ナティックのコグネックスコーポレーションから市販されているモデルMVS‐8100Dフレームグラバー及び関連するソフトウェアに結合されたモデルCDC‐200カメラを含むかもしれない。いくつかの実施形態において、カメラ413A、413Bは自動焦点機能、100倍から200倍のズームレンズ(例えば、顕微鏡レンズ)、コンピュータインターフェースロジック、及び/又は自動化ソフトウェアを含むかもしれない。アナログ及び/又はデジタルのCCDによるカメラ若しくは他の適宜なセンサー及び/又は検査デバイスを含む、他のカメラ及び/又はカメラシステムが用いられるかもしれない。インクジェット印刷のためのシステムにおいて用いられうるカメラ及びカメラの方法に関する他の詳細は前に組み込まれた、米国特許仮出願番号60/703,146に記載されている。
図5を参照すると、複数の印刷ヘッドの複数のセットを伴った印刷のための構成の追加の例が図示されている。図に示される通り、個々の印刷ヘッドは相互に独立に、回転及び/又は横方向に移動可能である。ヘッドを回動することにより、堆積されたインクの液滴のコラムのピッチ(例えば、X方向における離間距離)が調整されるかもしれない。
図8は、各々が3つの印刷ヘッド:801A、801B、801C;802A、802B、802C;803A、803B、803C;及び804A、804B、804Cを含む、4つのセット801、802、803、804の追加的な構成800を図示する。印刷ヘッド801及び802のセットは第1のブリッジ811Aの上に設けられ、印刷ヘッド803及び804のセットは第2のブリッジ811Bの上に設けられる。図示された例示の構成において、ブリッジの各々の上に設けられた印刷ヘッドのデュアルセット801/802、803/804は、6色の色のインク:赤(R)、緑(G)、青(B)、黄色(Y)、マジェンタ(M)及びシアン(C)のインクジェット印刷を行う。このように、印刷ヘッド801Aは赤色のインクをインクジェットし、印刷ヘッド801Bは緑色のインクをインクジェットし、印刷ヘッド801Cは青色のインクをインクジェットし、印刷ヘッド802Aは黄色のインクをインクジェットし、印刷ヘッド802Bはマジェンタ色のインクをインクジェットし、そして、印刷ヘッド802Cはシアン色のインクをインクジェットする。セット803及び804の印刷ヘッドは同様に構成されるかもしれない。このようにして、基板805上の表示オブジェクト807は6色全てにより満たされる。この6色は上述されたような赤、緑及び青の堆積と同様な方法により、表示オブジェクトのサブ画素内で、交互に、又は、他の配列により堆積される。6色を用いることにより表示内で全ての範囲の色の正確な着色が可能となることがわかっている。印刷品質は、基板805の全域にアクセス可能なようにブリッジ811A及び811Bの(X軸方向において)中央部にそれぞれに位置決めされた顕微鏡(M)813及び厚さ計測システム(T)815を用いて計測され確認されうる。
図6及び図7を参照すると、12個のインクジェットヘッド603‐625及び2つのカメラ、顕微鏡若しくは他の適宜なデバイス627‐629を含むインクジェット印刷のためのシステム601の斜視図及び平面図がそれぞれ図示されている。図6において、ブリッジ611の前面に搭載された6個の印刷ヘッド603‐613及び1つのカメラ若しくは顕微鏡629のみが見えている。他の6個の印刷ヘッド615‐625及びカメラ若しくは顕微鏡627がブリッジ612の後部に搭載されているが、ブリッジ612により隠れている。印刷ヘッド603‐625及び/又はカメラ627‐629は少なくともX軸の方向に沿って移動可能である。図7はシステム601の平面図である。大きい破線の丸631は、基板604が回転されるにつれシステム601が収容する必要があるかもしれない最も大きいサイズの基板604の最も遠い点(例えば、角の部分)を表している。(例えば、整列若しくは他の処理がされている間、)以前に組み込まれた米国特許出願番号10/781,953に示されているように、クランプ若しくはプッシングデバイスのセットはインクジェット印刷システム601の支持ステージ633上の1つ以上の基板604を整列し位置決めするのに用いられるかもしれない。プッシングデバイスの数及び大きさは整列されるべき基板604のサイズ及び数に基づいて選択されるかもしれない。
さらに、いくつかの実施形態において、支持ステージ633は一旦、整列された基板604の位置を維持するのを助けるために、1つ以上のバキュームチャック若しくはホールドダウン支持のための領域701、703を含むかもしれない。バキュームチャック領域701、703は、様々な異なるサイズの基板を収容するために中心を同じくする構成において配置される破線の四角い領域により第7図に図示されている。換言すると、領域703のみが比較的小さい基板を保持するために動作状態となり、領域701、703の両者は大きい基板604のために動作状態となる。いくつかの実施形態において、領域701、703は他の形であるかもしれないし、例えば、ステージ633上の4隅若しくは支柱に設けられるかもしれない。
図6および図7に示された例示のシステムは異なるサイズの基板若しくは表示オブジェクトを効率的に処理するためのものである。本システムは、例えば、8枚の27インチWXGAディスプレイ(1366×768解像度)、6枚の32インチWXGAディスプレイ(1366×768解像度)、3枚の37インチHDTVディスプレイ(1920×1080解像度)、若しくは、2枚の56インチQHDTVディスプレイ(3840×2160解像度)などの様々な表示オブジェクトを製造するのに用いられるかもしれない、1300X1500mmの'20K' の基板(0.7t)を収容するかもしれない。他の、より大きい、又は、より小さいサイズの基板若しくは表示オブジェクトも本発明のインクジェットシステムにより処理されうる。このように、本明細書に記載される例の容量及び構成は幅広い範囲の基板を効率的に処理するための多様性を提供する。
印刷動作中に、複数セットの印刷ヘッド(例えば、図4、図5及び図8に示され、及び/若しくは、指摘されるような12個の印刷ヘッド)を用いる際、スループットを最大限にするために、どのように最も少ない数の印刷走路により基板の表示オブジェクト上にインクを噴射するかを決定することが有益である。この決定はとりわけ表示オブジェクトのサイズ及び構成及び基板のサイズ及び構成に基づくものである。1つ以上の実施形態において、そのような決定は(部分的には表示オブジェクト及び基板の構成に依存して)用いられる印刷ヘッドの数に基づいて必要とされる印刷走路の最小数及びシステムのスループットタイム、及び初期の印刷ヘッドの印刷開始位置の計算に基づいてなされる。休止時間、印刷ヘッドの大きさなどの他のパラメータ及び要素の数がそのような計算に用いられるかもしれない。しかしながら、他のスループットを最適化する技術が同じ又は他のファクタに基づいて用いられるかもしれない。この決定はセット801、802、803、804のそれぞれに接続された1つ以上のコントローラ(図示せず)によって行われる。本発明に用いられるコントローラの実施形態は前に組み込まれた米国特許出願番号11/466,507に記載されている。
上述の説明は本発明の例示的な実施形態のみを開示するものである。本発明の範囲内に入る上記に開示された装置及び方法の変形例は本技術分野の当業者により容易に明らかである。例えば、1つ以上の実施形態において、インクジェットヘッド201‐205、603‐625は基板105が静止している間に、印刷の間、動くかもしれない。いくつかの実施形態において、本発明の装置及び方法は半導体の処理及び/又は電子デバイスの製造に適用されるかもしれない。例えば、レジストパターンはガラス、ポリマー、半導体、及び/又は他の用いられうる適宜な部材を含む基板105にインクジェットされるかもしれない。さらに、本発明はスペーサーの形成、ポラライザーコーティング、ナノパーティクルの回路形成にも適用されうる。このように、ジェッティングされた材料はインク、ポリマー、若しくは他のいかなる実用可能な適宜な材料を含みうる。
従って、本発明が例示的な実施形態に関連して開示されていきたが、以下の特許請求の範囲に定義されるように、本発明の精神および範囲内に他の実施形態が含まれることが理解されるべきである。
本発明の一実施形態によるインクジェット印刷のためのシステムの概略図である。 本発明の一実施形態によるインクジェット印刷のための装置の一部分の平面図の概略図である。 本発明の一実施形態による図2Aに示されたインクジェット印刷のための装置の一部分の拡大された平面図の概略図である。 本発明の一実施形態によるインクジェット印刷の方法を示す図である。 本発明の一実施形態によるインクジェット印刷のための装置の平面図の概略図である。 本発明の一実施形態によるインクジェット印刷のための装置の平面図の概略図である。 本発明の一実施形態によるインクジェット印刷のための装置の斜視図の概略図である。 本発明の一実施形態によるインクジェット印刷のための装置の平面図の概略図である。 本発明の一実施形態によるインクジェット印刷のための装置の平面図の概略図である。

Claims (24)

  1. 第1のインクを選択的に分配する第1の複数のノズルを有する第1のインクジェット印刷ヘッド及び第2のインクを選択的に分配する第2の複数のノズルを有する第2のインクジェット印刷ヘッドを含む第1のセットと、
    第3のインクを選択的に分配する第3の複数のノズルを有する第3のインクジェット印刷ヘッド及び第4のインクを選択的に分配する第4の複数のノズルを有する第4のインクジェット印刷ヘッドを含む第2のセットと、
    前記基板を支持し、印刷走行の間、前記第1及び第2のセットの下で前記基板を搬送するステージとを有し、
    前記第1のセットは表示画素のそれぞれ隣接するカラーウェル上に前記第1及び第2のインクを分配し、前記第2のセットは基板上の表示画素のそれぞれ隣接するカラーウェルに前記第3及び第4のインクを分配するインクジェット印刷のためのシステム。
  2. 前記ステージ上に前記基板を整列せしめること、インクの滴下のための位置を決定すること、及び印刷ヘッドのためのオフセットを計算することのうちの少なくとも1つを行うためのカメラをさらに含む請求項1記載のシステム。
  3. 基板を保持するために、バキュームチャックおよび保持のための領域のうちの少なくとも1つを含む前記ステージはさらに含む請求項1記載のシステム。
  4. 前記第1のインクは前記第2のインクとは異なる色を有し、前記第3のインクは前記第4のインクとは異なる色を有する請求項1記載のシステム。
  5. 前記基板の上に前記第1のセット及び前記第2のセットのうちの少なくとも1つを支持する第1のブリッジをさらに含む請求項1記載のシステム。
  6. 第5のインクを選択的に分配する第5の複数のノズルを有する第5のインクジェット印刷ヘッド及び第6のインクを選択的に分配する第6の複数のノズルを有する第6のインクジェット印刷ヘッドを含む第3のセットと、
    第7のインクを選択的に分配する第7の複数のノズルを有する第7のインクジェット印刷ヘッド及び第8のインクを選択的に分配する第8の複数のノズルを有する第8のインクジェット印刷ヘッドを有する第4のセットとをさらに含む請求項5記載のシステム。
  7. 前記基板の上に前記第3及び前記第4のセットの少なくとも1つを支持する第2のブリッジをさらに有する請求項6記載のシステム。
  8. 前記第1のセットは第9のインクジェット印刷ヘッドを含み、前記第2のセットは第10のインクジェット印刷ヘッドを含み、前記第3のセットは第11のインクジェット印刷ヘッドを含み、前記第4のセットは第12のインクジェット印刷ヘッドを含む請求項7記載のシステム。
  9. 前記第1、第2、第3、及び第4のセットに含まれるインクジェット印刷ヘッドはそれぞれ異なる色を印刷する請求項8記載のシステム。
  10. 前記第1、第2、第3、及び第4のセットのそれぞれに含まれる3つの印刷ヘッドはそれぞれ赤、緑、及び青のインクを印刷する請求項9記載のシステム。
  11. 前記第1、第2、第3、及び第4のセットの全ては印刷走行の間に用いられ、印刷動作の間、前記第1、第2、第3、第4のセットの下を基板が通過するのに必要とされる回数を少なくする請求項10記載のシステム。
  12. 前記第1、第2、第3、第4のセットの全ては印刷走行の間、同時に用いられる請求項11記載のシステム。
  13. 前記第1、第2のブリッジは前記ステージが前記基板を搬送する方向とほぼ平行に整列される請求項7記載の装置。
  14. 前記第1のセットは前記第2のセットから前記第1のブリッジに沿って所定距離オフセットされ、前記第3のセットは前記第4のセットから前記第2のブリッジに沿って所定距離オフセットされる請求項13記載の装置。
  15. 第1の複数のインクジェット印刷ヘッドを第1のセットにグループ化し、
    第2の複数のインクジェット印刷ヘッドを第2のセットにグループ化し、
    印刷走行に前記第1及び第2のセットの下を基板を移動させ、
    前記印刷走行の間、基板上の表示オブジェクト上にインクを分配するために前記第1のセット及び前記第2のセットを用いることを含むインクジェット印刷の方法。
  16. 前記第1のセット及び前記第2のセットを用いることは、前記印刷走行の間、前記第1のセット及び前記第2のセットの両者において、前記複数のインクジェット印刷ヘッドの全てを用いることを含む請求項15記載の方法。
  17. 前記第1及び第2のセットに対して前記基板を整列し、
    前記第1及び第2のセットのうちの1つに含まれる前記印刷ヘッドの1つから分配されるインクの滴下のための位置を決定し、
    前記第1及び第2のセットの内の1つにグループ化された印刷ヘッドのためのオフセットを計算することをさらに含む請求項16記載の方法。
  18. 基板を保持するために、真空力を適用することをさらに含む請求項16記載のシステム。
  19. インクが前記基板上の前記第1及び第2のセットから分配されるように、前記基板が前記第1及び第2のセットの下を移動する回数を少なくすることをさらに含む請求項16記載の方法。
  20. 前記第1のセットにグループ化された前記複数のインクジェット印刷ヘッドに含まれる前記インクジェット印刷ヘッドのそれぞれは異なる色のインクを分配し、前記第2のセットにグループ化された前記複数のインクジェット印刷ヘッド内に含まれる前記インクジェット印刷ヘッドのそれぞれは異なる色のインクを分配する請求項16記載の方法。
  21. 第3の複数のインクジェット印刷ヘッドを第3のセットにグループ化し、
    第4の複数のインクジェット印刷ヘッドを第4のセットにグループ化し、
    前記印刷走行の間、基板上の表示オブジェクトの上にインクを分配するために、前記第3のセット及び前記第4のセットの両者を用いることを含む請求項20記載の方法。
  22. 前記印刷方向と垂直な方向に前記第1及び第2のセットをオフセッティングしながら、前記印刷方向に沿った第1位置において前記第1のセット及び前記第2のセットを配置し、
    前記印刷方向に垂直な方向に前記第3及び第4のセットをオフセッティングしながら、前記印刷方向に沿った第2の位置の所で前記第3のセット及び前記第4のセットを配置することを含み、
    前記印刷方向に沿った前記第1の位置は前記印刷方向に沿った前記第2の位置とは異なる請求項21記載の方法。
  23. 前記第1、第2、第3、及び第4のセットのそれぞれは3つの印刷ヘッドを含む請求項22記載の方法。
  24. 第1のインクを選択的に分配する第1の複数のノズルを有する第1のインクジェット印刷ヘッド及び第2のインクを選択的に分配する第2の複数のノズルを有する第2のインクジェット印刷ヘッドを含む第1のセットと、
    第3のインクを選択的に分配する第3の複数のノズルを有する第3のインクジェット印刷ヘッド及び第4のインクを選択的に分配する第4の複数のノズルを有する第4のインクジェット印刷ヘッドを含む第2のセットと
    を含み、
    前記第1のセットは基板上の表示画素のそれぞれ隣接するカラーウェルに前記第1及び第2のインクを分配し、前記第2のセットは基板上の表示画素のそれぞれ隣接するカラーウェルに前記第3及び第4のインクを分配する装置。
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