KR100463520B1 - 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치 - Google Patents

디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100463520B1
KR100463520B1 KR10-2002-0018968A KR20020018968A KR100463520B1 KR 100463520 B1 KR100463520 B1 KR 100463520B1 KR 20020018968 A KR20020018968 A KR 20020018968A KR 100463520 B1 KR100463520 B1 KR 100463520B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
inkjet
display panel
manufacturing
coating apparatus
present
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
KR10-2002-0018968A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20030080378A (ko
Inventor
조영재
손지훈
문은아
배범진
류병길
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to KR10-2002-0018968A priority Critical patent/KR100463520B1/ko
Priority to US10/322,313 priority patent/US6997990B2/en
Priority to JP2002381213A priority patent/JP2003308024A/ja
Publication of KR20030080378A publication Critical patent/KR20030080378A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100463520B1 publication Critical patent/KR100463520B1/ko
Priority to US11/286,767 priority patent/US7238234B2/en
Priority to US11/286,481 priority patent/US20060079146A1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J3/00—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed
    • B41J3/407—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed for marking on special material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/14—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means with multiple outlet openings; with strainers in or outside the outlet opening
    • B05B1/1421—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means with multiple outlet openings; with strainers in or outside the outlet opening the multiple outlet openings arranged in plural groups or rows
    • B05B1/1422—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means with multiple outlet openings; with strainers in or outside the outlet opening the multiple outlet openings arranged in plural groups or rows with all groups or rows being identical
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B12/00—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area
    • B05B12/16—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area for controlling the spray area
    • B05B12/20—Masking elements, i.e. elements defining uncoated areas on an object to be coated
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
    • B05B13/002—Machines or plants for applying coating liquids or other fluent materials by inkjet
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2209/00—Apparatus and processes for manufacture of discharge tubes
    • H01J2209/01—Generalised techniques
    • H01J2209/012—Coating
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
    • H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Ink Jet (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Treatment Of Fiber Materials (AREA)
  • Coloring (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

본 발명은 디스플레이 패널 공정을 위한 것으로, 특히 잉크젯 인쇄 방법을 디스플레이 패널 공정에 적용하여 패널 제작시간 단축 및 공정의 단순화를 위한 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치에 관한 것이다. 이와 같은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치는 회전판과 이송장치에 레일을 부착하므로 고정 및 유동이 가능한 기판과, 지지대에 의해 경사조절이 가능하며 패턴에 따라 1~100개를 설치되는 잉크젯 헤드와, 상기 잉크젯 헤드 안에 잉크를 기판 위에 일시에 분사하기 위한 유동 가능한 클리닝 장치를 포함하여 구성된다.

Description

디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치{manufacture spray ink-jet for make panel display}
본 발명은 디스플레이 패널 공정을 위한 것으로, 특히 잉크젯 인쇄 방법을 디스플레이 패널 공정에 적용하여 패널 제작시간 단축 및 공정의 단순화를 위한 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치에 관한 것이다.
최근, 디지털 티브이를 비롯한 고품위, 대화면의 텔레비젼에 대한 기대가 높아지고 있는 중에 CRT, 액정 디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)이라는 각 디스플레이의 분야에서 이것에 맞는 디스플레이의 개발이 진행되고 있다.
종래부터 텔레비젼의 디스플레이로서 널리 사용하고 있는 CRT는 해상도, 화질면에서 현대의 정보 디스플레이는 흔히 브라운관이라는 CRT(Cathode ray tube)가 주종을 이루고 있다. 그러나 점차로 증대되고 있는 대형 디스플레이 및 고해상도 텔레비젼에 대한인하여 무게와 부피가 매우 큰 CRT보다 훨씬 얇고 가벼운 고휘도, 고효율, 고해상도, 고속응답특성, 장수명, 저구동전압, 저소비전력, 저가격 및 풀-칼라(full-color) 평판 디스플레이의 개발이 절실히 요구되고 있다.
현재 개발 및 생산 중인 FPD에는 LCD, OEL, 무기 EL, FED, PDP, 전자 잉크등이 있다.
이러한 기술들의 시장 점유율 전쟁은 고성능화 뿐만 아니라 저가격화 실현으로도 많은 노력을 기울이고 있는 실정이므로, 종래의 주류를 이루는 스크린 프린트법과 포토 리쏘그래피 공정을 대체할 저가격 공정에 대한 개발은 끊임없이 이루어져 오고 있다.
스크린 프린트법은 공정이 단순하고 저가의 장비를 사용하는 간편한 방법이지만, 두께 및 폭 균일도가 나쁘기 때문에 고정세에 적용하기에는 적합하지 않으며, 프토리쏘그라피 공정은 두께 및 균일성이 우수하고 두께도 얇게 성막하는 것이 가능하기 때문에 고정세에도 적용이 가능하지만, 재료의 가격이 비싸고 손실이 많으며, 복잡한 제조 공정 및 고가의 장비를 사용해야 하는 단점이 있다.
그러한 면에서 잉크 젯 프린트 법은 다양한 곳에 집약적인 장치와 저비용 공정으로 최근 많은 주목을 받고 있다.
적용가능 용도로서는 FPD의 패턴 형성을 위한 공정에는 전부 적용 가능하며 특히 칼라 필터 형성, 배향막, 형광체 형성, 전극 형성, 유전층 형성등에 이용된다.
따라서, 본 발명의 목적은 이상에서 언급한 종래 기술의 문제점을 감안하여 안출한 것으로서, 저 비용으로 공정을 다순화시킨 디스플레이 패널을 제작하기 위한 잉크젯 도포 장치를 제공하기 위한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치를 보여주는 측면도
도 2는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치의 처리 공정도를 보여주는 순서도
도 3은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치중 다수의 잉크젯 헤드의 틸팅 구조를 보여주는 도면
도 4는 본 발명에 따른 위치 정확성 확보를 위한 CCD 카메라 구성을 보여주는 도면
도 5는 본 발명에 따른 실시간 분사 모니터링 분사 시스템을 나타낸 도면
도 6은 본 발명에 따른 더미 패턴(dummy pattern)작업을 보여주는 도면
도 7은 본 발명에 따른 잉크젯 장치의 인스펙션 된 상태를 보여주는 도면
도 8은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치의 제 1 실시예를 보여주는 도면
도 9는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치의 제 2 실시예를 보여주는 도면
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
1 : 이송장치 2 : 회전판
3 : 기판 4 : 레일(rail)
5 : 헤드 지지대 6 : 클리닝 장치
7 : 헤드
이상과 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 특징에 따르면, 회전판과 이송장치에 레일을 부착하므로 고정 및 유동이 가능한 기판과, 지지대에 의해 경사조절이 가능하며 패턴에 따라 1~100개를 설치되는 잉크젯 헤드와, 상기 잉크젯 헤드 안에 잉크를 기판 위에 일시에 분사하기 위한 유동 가능한 클리닝 장치를 포함하여 구성된다. 되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치.기판과, 경사조절이 가능한 다수개의 잉크젯 헤드와, 상기 잉크젯 헤드 안에 잉크를 기판 위에 일시에 분사하기 위한 클리닝 장치로 구성된다.
바람직하게, 상기 1~100 개의 잉크젯 헤드의 노즐 플레이트는 패턴 피치(pitch)에 맞게 패널에 평행하게 임의의 각도로 틸팅이 가능하며, 임의의 각도로 틸팅이 가능한 것은 얼라인먼트 시스템이 CCD 카메라가 부착되어 있기 때문이다.
또한, 상기 CCD 카메라는 아래에서 위를 향에 있으며, 두 개의 CCD 카메라로 구성되어, 하나는 첫 노즐을 다른 하나는 끝 노즐을 얼라인 할 수 있게 설치되어 있고, 상기 고정된 간격으로 설치된 두 개의 CCD 카메라는 움직임 시스템을 통하여 다수의 잉크젯 헤드 모두를 확인할 수 있으며, 실시간 모니터링이 가능하다.
그리고, 상기 클리닝 장치는 패턴 작업 공정이 모두 끝나면 헤드 클리닝 및 잉크 공급 공정으로 돌아가는 순환식 프로세서로 와이핑으로 기계적으로 간단히 닦아주는 공정과 노즐에서의 막힘 현상을 방지한다.
이하 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 구성 및 작용을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치를 보여주는 측면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치는 기판(3)과 경사조절이 가능한 다수개의 잉크젯 헤드(7)와, 상기 잉크젯 헤드(7)안에 잉크를 기판(3)위에 일시에 분사하기 위한 클리닝 장치(6)로 구성된다.
상기 다수개의 잉크젯 헤드는 헤드 지지대(5)에 의해 잉크젯 인쇄공정 진행시 고정 또는 유동이 가능하며, 사용자가 원하고자 하는 패턴에 따라 1~100개를 설치함으로써, 한번의 플로우 공정을 마칠 수 있다.
그리고, 상기 기판(3)은 이 기판(3)을 받치고 있는 회전판(2)과 이송장치(1)에 레일(4)을 부착하여 고정 또는 유동이 가능하며, 클리닝 장치 또한 유동이 가능하다.
도 2는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치의 처리 공정도를 보여주는 순서도이다.
도 2를 참조하면, 다수개의 잉크젯 헤드를 셋팅하고 잉크를 로딩한다(S1).
그리고, 셋팅 된 헤드의 노즐면을 클리닝하고(S2), 노즐 위치를 정렬한다(S3)
상기 노즐 위치가 정렬되면, X-Y 스테이지에 기판을 로딩한다(S4)
이어서, 상기 기판이 로딩되면(S4), 이 로딩된 기판을 정렬시키고(S5), 잉크젯 인쇄하고(S6), 패턴을 정밀 검사한(S7) 후, 후 프로세서를 처리한다.
도 3은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치중 다수의 잉크젯 헤드의 틸팅 구조를 보여주는 도면이다.
도 3을 참조하면, 다수개의 각각의 헤드들은 구현하고자 하는 패턴의피치(pitch)에 맞추어서 틸팅이 가능하며, 이는 각 해상도 스택에 대응하기 위한 것으로, 모든 헤드들은 한 번의 플로우(flow)로 공정을 마칠 수 있으므로 정확한 간격으로 배치된다.
만일, 이 장치가 PDP, LCD 등의 R, G, B 칼라 필터 제작 공정에 적용된다면 R, G, B 각 종류에 따라 세 가지 군의 잉크젯 헤드들이 부착된다.
이러한 잉크젯 헤드들에 잉크가 로딩되고 전 로즐이 상기 도 1의 클리닝 장치(6)에 의해 분사가 준비되는데, 만일 이때 클리닝 장치(6)의 이동 대신 헤드 셋(7)들이 이동한다면, 튜브에 의해 주입되는 잉크 액면의 출렁거림이 분사 불량의 결과로 이어지므로 상기에서 설명한 바와 같이 도 1과 같이 장치가 구성된다.
도 4는 본 발명에 따른 위치 정확성 확보를 위한 CCD 카메라 구성을 보여주는 도면이다.
도 4를 참조하면, 기판들이 로딩되는데 정확한 패턴을 형성하기 위해서는 잉크젯 헤드의 노즐과 기판의 정렬이 필수적인데 도 4의 제 1 CCD 카메라와 제 2 CCD 카메라 두 개는 헤드 노즐을 얼라인함으로써 정확한 위치에 잉크가 분사되도록 하였으며, 다수의 헤드를 모드 확인하려고 자동으로 움직임(moving)이 가능하도록 하였다.
그리고, 제 3 CCD 카메라들은 연속적으로 기판들이 로딩될 때마다 위치 정확성을 확보키 위해 설치한다.
도 5는 본 발명에 따른 실시간 분사 모니터링 분사 시스템을 나타낸 도면이다.
도 5를 참고하면, 위치가 확보되면 기판은 잉크젯 헤드에서 분사된 잉크에 의해 패턴이 형성되는데 수율 확보를 위해서는 실시간 모니터링이 필요하다.
따라서, 도 5의 CCD 카메라는 모니터에 각각의 잉크젯 헤드의 노즐의 분사 거동을 확인해 준다.
도 6은 본 발명에 따른 더미 패턴(dummy pattern)작업을 보여주는 도면이다.
도 6에 도시된 바와 같이 잉크젯 헤드의 분사 거동 특성상 분사 진행 중일 때보다는 분사 시작 시에 이상 징후가 많은 관계로 더미 패턴닝 작업이 필요한데, 더미 패턴이 패널 패턴보다 우선되어 모니터링에도 편리하고 나아가 잉크젯 헤드에 우선 신호 구간을 줌으로써, 노즐의 메니스커스(meniscus) 조건 향상에도 도움을 준다.
도 7은 본 발명에 따른 잉크젯 장치의 인스펙션 된 상태를 보여주는 도면이다.
도 7을 참조하면, 패턴 공정이 끝난 패널은 최종적으로 인스펙션(inspection)된 후, 다음 공정으로 이동되는데 이러한 작업이 예를 들어 R, G, B 컬러 필터 제작 공정이라고 한다면, 인 라인(in line)으로 이 장비의 레일이 베이킹 오븐(baking oven)에 까지 연결이 될 수 있다.
도 8은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치의 제 1 실시예를 보여주는 도면이고 도 9는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치의 제 2 실시예를 보여주는 도면이다.
도 8 내지 도 9를 참조하면, 양산용 분사 장치 개발을 위한 일환으로서 헤드유닛 시스템을 나타낸 것으로 제 1 실시예는 지지기판을 분할해서 고정시킨 것이고, 제 2 실시예는 지지기판을 한 축으로 고정시킨 것이다.
헤드 전체를 고정하는 고정축과 각각의 헤드를 고정하는 고정 홀더(holder)로는 헤드 각각의 축조정은 물론 각도 조절이 가능하다.
이 시스템은 패널 전체를 일체를 일체 분사가 가능하며 공정시간의 단축을 가져올 수 있다.
이상의 설명에서와 같이 본 발명은 잉크젯프린터를 이용한 장치를 디스플레이 패널 제조 공정에 적용함으로써 공정을 보다 단순화시켜 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 디스플레이 패널의 컬러 필터 공정이외에 형광체 도포, 전극 및 스페이서(spacer)형성 등 잉크화 할 수 있는 모든 공정에 적용할 수 있는 효과가 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 실시예에 기재된 내용으로 한정하는 것이 아니라 특허 청구 범위에 의해서 정해져야 한다.

Claims (8)

  1. 회전판과 이송장치에 레일을 부착하므로 고정 및 유동이 가능한 기판과;
    지지대에 의해 경사조절이 가능하며 패턴에 따라 1~100개가 설치되는 잉크젯 헤드와;
    상기 잉크젯 헤드 안에 잉크를 기판 위에 일시에 분사하기 위한 유동 가능한클리닝 장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 1~100개의 잉크젯 헤드의 노즐 플레이트는 패턴 피치(pitch)에 맞게 패널에 평행하게 임의의 각도로 틸팅이 가능한 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 임의의 각도로 틸팅이 가능한 것은 얼라인먼트 시스템이 CCD 카메라가 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 CCD 카메라는 아래에서 위를 향에 있으며, 두 개의 CCD 카메라로 구성되어, 하나는 첫 노즐을 다른 하나는 끝 노즐을 얼라인 할 수 있게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 고정된 간격을 설치된 두 개의 CCD 카메라는 움직임 시스템을 통하여 다수의 잉크젯 헤드 모두를 확인할 수 있으며, 실시간 모니터링이 가능한 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치.
  8. 제 1항에 있어서
    상기 클리닝 장치는 패턴 작업 공정이 모두 끝나면 헤드 클리닝 및 잉크 공급 공정으로 돌아가는 순환식 프로세서로 와이핑으로 기계적으로 간단히 닦아주는 공정과 노즐에서의 막힘 현상을 방지하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치
KR10-2002-0018968A 2002-04-08 2002-04-08 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치 Expired - Fee Related KR100463520B1 (ko)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2002-0018968A KR100463520B1 (ko) 2002-04-08 2002-04-08 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치
US10/322,313 US6997990B2 (en) 2002-04-08 2002-12-17 Device and method for fabricating display panel having ink-jet printing applied thereto
JP2002381213A JP2003308024A (ja) 2002-04-08 2002-12-27 インクジェット方式のディスプレイパネル製造装置及び製造方法
US11/286,767 US7238234B2 (en) 2002-04-08 2005-11-23 Device and method for fabricating display panel having ink-jet printing applied thereto
US11/286,481 US20060079146A1 (en) 2002-04-08 2005-11-23 Device and method for fabricating display panel having ink-jet printing applied thereto

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2002-0018968A KR100463520B1 (ko) 2002-04-08 2002-04-08 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030080378A KR20030080378A (ko) 2003-10-17
KR100463520B1 true KR100463520B1 (ko) 2004-12-29

Family

ID=36125871

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2002-0018968A Expired - Fee Related KR100463520B1 (ko) 2002-04-08 2002-04-08 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치

Country Status (3)

Country Link
US (3) US6997990B2 (ko)
JP (1) JP2003308024A (ko)
KR (1) KR100463520B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101343525B1 (ko) * 2012-03-20 2013-12-19 주식회사 디지아이 인쇄전자용 인쇄기

Families Citing this family (66)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2379413A (en) * 2001-09-10 2003-03-12 Seiko Epson Corp Printhead alignment method
KR100437799B1 (ko) * 2002-04-08 2004-06-30 엘지전자 주식회사 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 얼라인 장치
KR100463520B1 (ko) * 2002-04-08 2004-12-29 엘지전자 주식회사 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치
US7559619B2 (en) * 2002-08-20 2009-07-14 Palo Alto Research Center Incorporated Digital lithography using real time quality control
TW561070B (en) * 2002-10-30 2003-11-11 Ind Tech Res Inst Device and method for image alignment for biochip production jig
JP4378950B2 (ja) * 2002-12-24 2009-12-09 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法
EP1646502A1 (en) * 2003-07-10 2006-04-19 Koninklijke Philips Electronics N.V. Method and device for accurately positioning a pattern on a substrate
KR100976702B1 (ko) * 2003-11-26 2010-08-18 삼성모바일디스플레이주식회사 잉크젯 패터닝 장비의 노즐 기판 정렬 방법 및 장치
JP4376606B2 (ja) * 2003-12-17 2009-12-02 大日本印刷株式会社 パターン形成装置、パターン形成方法
KR20050082464A (ko) * 2004-02-19 2005-08-24 삼성전자주식회사 유기물 분사 장치
JP2005254038A (ja) * 2004-03-09 2005-09-22 Neomax Co Ltd リニアモータ駆動ステージ及びそれを用いた機能性薄膜用製造装置、並びにｚ軸リニアモータ
JP2005313106A (ja) * 2004-04-30 2005-11-10 Toshiba Corp インクジェット塗布装置
JP2005324130A (ja) * 2004-05-14 2005-11-24 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法、および電子機器
KR100662564B1 (ko) 2004-08-19 2006-12-28 삼성전자주식회사 얼라인장치
KR100863244B1 (ko) 2004-10-07 2008-10-15 삼성전자주식회사 잉크젯 헤드 마운트 및 이를 구비하는 잉크젯 프린트 장치.
US7413272B2 (en) 2004-11-04 2008-08-19 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for precision control of print head assemblies
US7556334B2 (en) 2004-11-04 2009-07-07 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for aligning print heads
JP4029895B2 (ja) * 2004-12-08 2008-01-09 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
JP2006205004A (ja) * 2005-01-26 2006-08-10 Dainippon Printing Co Ltd パターン形成装置、ヘッドユニット、ヘッドの位置決め方法
KR101175935B1 (ko) * 2005-04-25 2012-08-22 가부시키가이샤 아루박 프린트가능한 기판과 노즐 정렬 시스템
US7544723B2 (en) 2005-07-15 2009-06-09 Applied Materials, Inc. Blue printing ink for color filter applications
US7460267B2 (en) 2005-07-15 2008-12-02 Applied Materials, Inc. Green printing ink for color filter applications
US20070070109A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 White John M Methods and systems for calibration of inkjet drop positioning
US7611217B2 (en) 2005-09-29 2009-11-03 Applied Materials, Inc. Methods and systems for inkjet drop positioning
KR100996544B1 (ko) 2005-12-29 2010-11-24 엘지디스플레이 주식회사 잉크젯 방식을 이용한 스페이서의 형성방법 및액정표시패널의 제조방법
JP2007298950A (ja) 2006-02-07 2007-11-15 Applied Materials Inc カラーフィルタのムラ不整を低減するための方法及び装置
KR100745806B1 (ko) * 2006-03-02 2007-08-02 엘지전자 주식회사 유전체막 도포장치 및 도포방법
US20070222817A1 (en) * 2006-03-24 2007-09-27 Shinichi Kurita Methods and apparatus for inkjet printing using multiple sets of print heads
US8001924B2 (en) * 2006-03-31 2011-08-23 Asml Netherlands B.V. Imprint lithography
JP4086879B2 (ja) * 2006-04-19 2008-05-14 シャープ株式会社 液滴塗布装置
JP4086878B2 (ja) * 2006-04-19 2008-05-14 シャープ株式会社 液滴塗布装置
KR100751709B1 (ko) * 2006-05-08 2007-08-23 (주)에스티아이 액정표시장치의 컬러필터 수정장치 및 방법
US7992956B2 (en) * 2006-06-07 2011-08-09 Applied Materials, Inc. Systems and methods for calibrating inkjet print head nozzles using light transmittance measured through deposited ink
US7673965B2 (en) * 2006-06-22 2010-03-09 Electronics For Imaging, Inc. Apparatus and methods for full-width wide format inkjet printing
US8707890B2 (en) 2006-07-18 2014-04-29 Asml Netherlands B.V. Imprint lithography
US20080024548A1 (en) * 2006-07-26 2008-01-31 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for purging a substrate during inkjet printing
JP2008171001A (ja) * 2007-01-11 2008-07-24 Applied Materials Inc 共通軸周囲を回転可能な複数のプリントヘッドを用いて、処理量を増加するための方法、装置及びシステム
JP2008201018A (ja) * 2007-02-21 2008-09-04 Toppan Printing Co Ltd インクジェットヘッドのアライメント装置
US7857413B2 (en) 2007-03-01 2010-12-28 Applied Materials, Inc. Systems and methods for controlling and testing jetting stability in inkjet print heads
US20080259101A1 (en) * 2007-03-23 2008-10-23 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for minimizing the number of print passes in flat panel display manufacturing
US7681986B2 (en) * 2007-06-12 2010-03-23 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for depositing ink onto substrates
US7637587B2 (en) 2007-08-29 2009-12-29 Applied Materials, Inc. System and method for reliability testing and troubleshooting inkjet printers
US20090109250A1 (en) * 2007-10-26 2009-04-30 Johnston Benjamin M Method and apparatus for supporting a substrate
WO2009076248A1 (en) * 2007-12-06 2009-06-18 Applied Materials, Inc. Systems and methods for improving measurement of light transmittance through ink deposited on a substrate
KR20100110323A (ko) * 2007-12-06 2010-10-12 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 라인 스캔 카메라를 사용하여 기판 상의 픽셀 웰들에 증착된 잉크를 측정하기 위한 방법 및 장치
US20090251504A1 (en) * 2008-03-31 2009-10-08 Applied Materials, Inc. Systems and methods for wet in-situ calibration using measurement of light transmittance through ink deposited on a substrate
US8248606B1 (en) * 2008-09-15 2012-08-21 J.A. Woollam Co., Inc. Sample mapping in environmental chamber
DE112010000012T5 (de) * 2009-03-06 2011-07-07 ULVAC, Inc., Kanagawa Drehjustiervorrichtung für Tintenstrahl-Beschichtungskopf
JP4982527B2 (ja) * 2009-06-08 2012-07-25 株式会社東芝 成膜装置及び成膜方法
IT1398427B1 (it) * 2009-09-03 2013-02-22 Applied Materials Inc Procedimento ed apparato di rilevazione dell'allineamento di un substrato
KR101713098B1 (ko) * 2010-12-23 2017-03-07 주식회사 케이씨텍 기판 코터 장치용 슬릿 노즐의 청소 시스템 및 이를 이용한 청소 방법
JP5682400B2 (ja) * 2011-03-28 2015-03-11 セイコーエプソン株式会社 印刷装置
JP5398785B2 (ja) * 2011-06-20 2014-01-29 株式会社東芝 スパイラル塗布装置及びスパイラル塗布方法
CN103331276B (zh) * 2013-07-12 2016-05-18 深圳市华星光电技术有限公司 超声波清洗装置和具有该超声波清洗装置的涂布机
KR102116443B1 (ko) * 2013-09-02 2020-05-28 엘지디스플레이 주식회사 표시장치 및 그 제조방법
CN103995397B (zh) * 2014-05-19 2017-04-05 京东方科技集团股份有限公司 喷涂装置及取向液涂覆方法
CN103990567B (zh) * 2014-05-29 2016-05-18 京东方科技集团股份有限公司 喷涂装置
DE102015100338A1 (de) 2015-01-12 2016-07-14 Khs Gmbh Messvorrichtung, Messsystem und Verfahren zur Kalibrierung von Druckstationen
DE102015100337A1 (de) * 2015-01-12 2016-07-14 Khs Gmbh Messsystem und Verfahren zur Kalibrierung von Druckstationen
US10300719B2 (en) 2015-10-02 2019-05-28 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Rotating a printhead relative to vertical
US10998531B2 (en) 2017-12-12 2021-05-04 Universal Display Corporation Segmented OVJP print bar
KR102469192B1 (ko) * 2017-12-19 2022-11-21 엘지디스플레이 주식회사 디스플레이 장치의 제조 장치
KR102469193B1 (ko) * 2017-12-19 2022-11-21 엘지디스플레이 주식회사 디스플레이 장치의 제조 장치
CN108957798A (zh) * 2018-06-15 2018-12-07 芜湖华特电子科技有限公司 一种工业显示器性能测试与优化一体化装置
KR102328746B1 (ko) * 2019-12-13 2021-11-22 한국기계연구원 해상도 가변형 잉크젯 프린트헤드 및 이를 이용한 인쇄방법
EP4302340A1 (en) * 2021-03-01 2024-01-10 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for printing on a substrate for display manufacture

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1027543A (ja) * 1996-05-09 1998-01-27 Fujitsu Ltd プラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成装置および形成方法
JPH1173882A (ja) * 1997-06-27 1999-03-16 Toray Ind Inc プラズマディスプレイパネルの製造方法および凹凸基板への塗液の塗布装置並びにプラズマディスプレイパネルの製造装置
JPH11300257A (ja) * 1998-04-24 1999-11-02 Toray Ind Inc 凹凸基材への塗液の塗布装置およびプラズマディスプレイの製造装置
KR20030044674A (ko) * 2001-11-30 2003-06-09 엘지전자 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널의 제조장치
KR20030080380A (ko) * 2002-04-08 2003-10-17 엘지전자 주식회사 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 얼라인 장치

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2839134B2 (ja) * 1994-05-20 1998-12-16 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置を備えた装置の製造方法及びカラーフィルタの隣接する着色部間の混色の低減方法
JPH10100396A (ja) 1996-09-30 1998-04-21 Canon Inc インクジェット記録システム及びインクジェット記録方法及びライン間の混色の防止方法
JPH11248926A (ja) 1998-03-03 1999-09-17 Seiko Epson Corp フィルター製造装置とフィルター製造方法およびカラーフィルター
US6364450B1 (en) * 1999-08-03 2002-04-02 Canon Kabushiki Kaisha Color filter manufacturing method and apparatus, display device manufacturing method, method of manufacturing apparatus having display device, and display device panel manufacturing method and apparatus
JP2002221616A (ja) * 2000-11-21 2002-08-09 Seiko Epson Corp カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶装置の製造方法及び製造装置、ｅｌ装置の製造方法及び製造装置、インクジェットヘッドの制御装置、材料の吐出方法及び材料の吐出装置、並びに電子機器
JP2003127342A (ja) 2001-10-19 2003-05-08 Seiko Epson Corp 液滴吐出ヘッドおよびこれを備えた電子機器、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法
JP3951701B2 (ja) 2001-12-18 2007-08-01 セイコーエプソン株式会社 表示装置の製造方法、電子機器の製造方法、表示装置および電子機器
JP2003246053A (ja) 2002-02-26 2003-09-02 Seiko Epson Corp 製膜装置とその塗布液吐出方法、およびデバイス製造装置とデバイス製造方法並びにデバイス
KR100463520B1 (ko) * 2002-04-08 2004-12-29 엘지전자 주식회사 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1027543A (ja) * 1996-05-09 1998-01-27 Fujitsu Ltd プラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成装置および形成方法
JPH1173882A (ja) * 1997-06-27 1999-03-16 Toray Ind Inc プラズマディスプレイパネルの製造方法および凹凸基板への塗液の塗布装置並びにプラズマディスプレイパネルの製造装置
JPH11300257A (ja) * 1998-04-24 1999-11-02 Toray Ind Inc 凹凸基材への塗液の塗布装置およびプラズマディスプレイの製造装置
KR20030044674A (ko) * 2001-11-30 2003-06-09 엘지전자 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널의 제조장치
KR20030080380A (ko) * 2002-04-08 2003-10-17 엘지전자 주식회사 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 얼라인 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101343525B1 (ko) * 2012-03-20 2013-12-19 주식회사 디지아이 인쇄전자용 인쇄기

Also Published As

Publication number Publication date
US20060073268A1 (en) 2006-04-06
US20030189604A1 (en) 2003-10-09
US7238234B2 (en) 2007-07-03
KR20030080378A (ko) 2003-10-17
US20060079146A1 (en) 2006-04-13
JP2003308024A (ja) 2003-10-31
US6997990B2 (en) 2006-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100463520B1 (ko) 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치
JP4012109B2 (ja) インクジェット方式のディスプレイパネル製造装置及び製造方法
KR100552534B1 (ko) 컬러 필터의 제조 방법, 컬러 필터를 구비한 표시 장치,표시 장치의 제조 방법, 표시 장치 및 전자 기기
KR100583291B1 (ko) 성막 방법, 성막 장치, 컬러 필터 기판의 제조 방법 및제조 장치, 일렉트로루미네선스 장치용 기판의 제조 방법및 제조 장치, 표시 장치의 제조 방법, 표시 장치, 및전자 기기
JP4182657B2 (ja) インクジェット式記録装置
JP3890973B2 (ja) ヘッドユニット
US7350899B2 (en) Discharge apparatus, material application method, manufacturing method for color filter substrate, manufacturing method for electroluminescence display apparatus, manufacturing method for plasma display apparatus, and wiring manufacturing method
US7851020B2 (en) Droplet discharge method, electro-optic device, and electronic apparatus
US7381449B2 (en) Method for coating material, method of manufacturing color filter substrate, method of manufacturing electroluminescence display device, method of manufacturing plasma display device, and ejection device
CN101450550B (zh) 头单元、液滴喷射装置、由基材制造面板的方法、图像显示装置和电子装置
JPWO2010058718A1 (ja) 配向膜材料の滴下方法および滴下装置
KR20050083062A (ko) 표시장치, 이의 제조 방법 및 유기물 적하 장치
US8715774B2 (en) Liquid droplet ejection method
KR100628271B1 (ko) 이온빔 조사를 이용한 배향법
JP2004006224A (ja) プラズマディスプレイパネルの製造装置
KR101014406B1 (ko) 평판디스플레이의 프린팅 장치 및 방법
KR101040443B1 (ko) Ｐｄｐ 형광체 도포용 잉크젯 인쇄기의 잉크 분사량 조절 방법 및 그 장치
KR20080105262A (ko) 더미 영역을 구비한 패턴 기판 제조 장치 및 이를 이용한패턴 기판 제조 방법
KR100531802B1 (ko) 플라즈마 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 방법
JP2004126424A (ja) 成膜装置および成膜方法、ならびに表示装置およびその製造方法
KR101045469B1 (ko) 잉크젯 헤드 세정장치
KR20050070186A (ko) 디스플레이 패널 제작용 잉크젯 도포 장치의 노즐 클리닝장치
JP2007152164A (ja) 塗布装置および塗布装置における複数のノズルのピッチの調整方法
KR20050040033A (ko) 유기막 형성장치 및 방법
CN100450774C (zh) 液滴喷出方法、电光学装置的制造方法和电子仪器

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109

PA0201 Request for examination

St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000

PG1501 Laying open of application

St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501

D13-X000 Search requested

St.27 status event code: A-1-2-D10-D13-srh-X000

D14-X000 Search report completed

St.27 status event code: A-1-2-D10-D14-srh-X000

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902

E13-X000 Pre-grant limitation requested

St.27 status event code: A-2-3-E10-E13-lim-X000

P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902

P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701

PR1002 Payment of registration fee

St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002

Fee payment year number: 1

PG1601 Publication of registration

St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 4

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-5-5-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20080926

Year of fee payment: 5

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 5

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000

LAPS Lapse due to unpaid annual fee
PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-PC1903

Not in force date: 20091217

Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-PC1903

Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

Not in force date: 20091217

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-5-5-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-5-5-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301