JPH11248926A - フィルター製造装置とフィルター製造方法およびカラーフィルター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板に対してＲ，Ｇ，Ｂのインクを正確にか
つ形成でき、インク滴の状態に応じて所定量のインクを
供給することができるフィルター製造装置を提供する。 【解決手段】 第１着色手段２１０のインクジェットヘ
ッド２０、第２着色手段２２０のインクジェットヘッド
２０、第３着色手段２３０のインクジェットヘッド２０
からそれぞれインク滴を吐き出すために、各インクジェ
ットヘッド２０はそれぞれ印加電圧が与えられる駆動素
子を有し、第１着色手段２１０のインクジェットヘッド
２０の駆動素子に対して赤色のインク滴の状態に応じた
印加電圧を供給し、第２着色手段２２０のインクジェッ
トヘッド２０の駆動素子に対して緑色のインク滴の状態
に応じた印加電圧を供給し、そして第３着色手段２３０
のインクジェットヘッド２０の駆動素子に対して青色の
インク滴の状態に応じた印加電圧を供給する制御手段と
を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶表示装
置等の表示装置に対して適用されるカラーフィルター等
のフィルターを製造するためのフィルター製造装置とフ
ィルター製造方法およびカラーフィルターに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】電子機器、例えば、コンピュータや、携
帯用の情報機器等の発達に伴い、液晶表示装置、特にカ
ラー液晶表示装置の使用が増加している。この種の液晶
表示装置は、表示画像をカラー化をするためにカラーフ
ィルターを用いている。

【０００３】カラーフィルターは、基板を有しこの基板
に対してＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のインクを所定
のパターンで着弾することで形成することがある。この
ような基板に対しインクを着弾する方式としては、イン
クジェット方式が採用されている。

【０００４】インクジェット方式を採用すると、インク
ジェットのヘッドから所定量のインクをフィルターに対
して吐出して着弾させるのであるが、この基板は、例え
ば、特開平８−２７１７２４号公報で開示されているよ
うに、ＸＹステージに搭載している。このＸＹステージ
が基板をＸ方向とＹ方向に移動して、インクジェットヘ
ッドからのインクが基板の所定の位置に着弾できるよう
になっている。

【０００５】また、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色のインク滴を生じ
させる１組の描画ヘッドを有する製造装置が特開平８−
２９２３１７号公報に開示されている。複数のインクジ
ェットヘッドを１台の装置に設けて、複数色の着色を行
うことが、特開平９−１３８３０６号公報に開示されて
いる。色の異なる３種類のインクをインク受容層に対し
て吐出することで着色することが、特開平９−１２７３
３０号公報に開示されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
カラーフィルターを製造する場合に、基板に対してＲ，
Ｇ，Ｂのインクを正確にかつ所定の面積できれいに着弾
して形成する必要がある。その場合には、カラーフィル
ターのＲ，Ｇ，Ｂのインクをそれぞれ別個に基板に対し
て供給し、そのインクの供給量をインク滴の状態におい
て正確な量を吐出させることが望まれている。

【０００７】複数のインクジェットヘッドを１台の装置
中に近接して備えると、ヘッド同士の位置合わせが必要
となる。すると、そのための調整作業または調整機構が
必要となり、結果的に装置が高価となる。

【０００８】１台の装置で複数色の着色を行うと、それ
ぞれの（色の）インクの物性・特性等の条件が異なる場
合に、これらの条件を維持するための温度・湿度など条
件を出しにくい、又、そのための余計な付加装置が必要
になり、結果的に装置が高価となる。

【０００９】インクの硬化条件等が各色で異なる場合、
一度で３色を着色すると各インクの硬化条件を同じにし
なくてはならず、条件が出しにくい。又、そのための余
計な付加装置が必要になり、結果的に装置が高価とな
る。

【００１０】そこで本発明の上記課題を解消して、基板
に対してＲ，Ｇ，Ｂのインクを正確に形成でき、インク
滴の状態に応じて所定量のインクを供給して品質の向上
が図れるフィルター製造装置とフィルター製造方法およ
びそれにより作られたカラーフィルターを提供すること
を目的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明では、請求項１の
フィルター製造装置は、基板に対してインクを着弾する
ことでカラーフィルターを製造するためのフィルター製
造装置において、赤色のインクを基板に吐出するために
インクジェットヘッドと、基板とインクジェットヘッド
との相対位置を変える移動手段とを有する第１着色手段
と、緑色のインクを基板に吐出するためにインクジェッ
トヘッドと、基板とインクジェットヘッドとの相対位置
を変える移動手段とを有する第２着色手段と、青色のイ
ンクを基板に吐出するためにインクジェットヘッドと、
基板とインクジェットヘッドとの相対位置を変える移動
手段とを有する第３着色手段と、を有し、第１着色手段
のインクジェットヘッド、第２着色手段のインクジェッ
トヘッド、第３着色手段のインクジェットヘッドからそ
れぞれインク滴を吐き出すために、各インクジェットヘ
ッドはそれぞれ印加電圧が与えられる駆動素子を有し、
第１着色手段のインクジェットヘッドの駆動素子に対し
て赤色のインク滴の状態に応じた印加電圧を供給し、第
２着色手段のインクジェットヘッドの駆動素子に対して
緑色のインク滴の状態に応じた印加電圧を供給し、そし
て第３着色手段のインクジェットヘッドの駆動素子に対
して青色のインク滴の状態に応じた印加電圧を供給する
制御手段と、を備えることを特徴とするフィルター製造
装置である。

【００１２】請求項１の発明では、第１着色手段の赤色
のインクを吐き出すためのインクジェットヘッドと基板
との相対位置を移動手段で変えるようになっている。

【００１３】第２着色手段の緑色のインクを吐き出すた
めのインクジェットヘッドと基板との相対位置を移動手
段により変えることができる。

【００１４】第３着色手段の青色のインクを吐き出すた
めのインクジェットヘッドと基板の相対位置を移動手段
により変えることができる。

【００１５】各着色手段のインクジェットヘッドは駆動
素子を有しており、この駆動素子は印加電圧が供給され
るようになっている。印加電圧を供給する制御手段は、
各色のインク滴の状況に応じた印加電圧をそれぞれ別個
に供給することができる。

【００１６】これにより、第１着色手段、第２着色手
段、第３着色手段は、赤色のインク、緑色のインク、青
色のインクを別々のインクジェットヘッドから吐き出し
て着弾させることができ、一つのインクジェットヘッド
から３色のインクを近接して吐き出す場合に比べて正確
に基板に対して形成できる。しかも、制御手段が、各イ
ンクジェットヘッドの駆動素子に対して与える駆動電圧
を各色のインク滴の状態に応じて変えながら供給できる
ので、適正な赤色のインク、緑色のインク、青色のイン
クを別個に供給できる。このようなことから、作られる
カラーフィルターの製造過程における精度を上げること
ができる。

【００１７】請求項２の発明のフィルター製造装置で
は、制御手段は、赤色のインク滴の状態と緑色のインク
滴の状態と青色のインク滴の状態を一滴のインク滴の重
量を監視することで見ており、インク滴の重量に基づい
て駆動素子に与える印加電圧の値を変えるようになって
いる。これにより、一滴のインク滴の重量を監視するだ
けで、各色のインクジェットヘッドはそれぞれ正確なイ
ンク量を吐出することができる。

【００１８】請求項３の発明のフィルター製造装置で
は、第１着色手段が、基板を第１方向に移動して位置決
めする第１移動手段と、インクジェットヘッドを第２方
向に移動して位置決めする第２移動手段とを有する。同
様にして、第２着色手段は、基板を第１方向に移動して
位置決めする第１移動手段と、インクジェットヘッドを
第２方向に移動して位置決めする第２移動手段とを有す
る。第３着色手段は基板を第１方向に移動して位置決め
する第１移動手段と、インクジェットヘッドを第２方向
に移動して位置決めする第２移動手段とを有している。

【００１９】このようにすることで、基板とインクジェ
ットヘッドを別々に移動操作することができ、たとえば
インクジェットヘッドのメンテナンスやあるいはインク
ジェットヘッドによるインク滴の試し打ちなどを基板の
動きとは別個に行うことができる。

【００２０】請求項４の発明のフィルター製造装置で
は、第１着色手段、第２着色手段、第３着色手段は並べ
て配列されており、これらの間にはフィルターの乾燥を
行う乾燥手段が配置されている。このようにすること
で、第１着色手段、第２着色手段、第３着色手段の間で
フィルターを移動する間に基板に付いたインクの乾燥を
行うことができるので、フィルターの製造効率を上げる
ことができる。

【００２１】次に、請求項５の発明のフィルター製造方
法は、基板に対してインクを着弾することでカラーフィ
ルターを製造するためのフィルター製造方法において、
基板に対して赤色のインク、緑色のインク、青色のイ
ンクを、赤色のインクを吐き出すインクジェットヘッ
ド、緑色のインクを吐き出すインクジェットヘッド、青
色のインクを吐き出すインクジェットヘッドから別々に
基板に対して吐出してカラーフィルターを形成する際
に、赤色のインクを吐き出すインクジェットヘッドの駆
動素子に対して赤色のインク滴の状態に応じた印加電圧
を供給し、緑色のインクを吐き出すインクジェットヘッ
ドの駆動素子に対して緑色のインク滴の状態に応じた印
加電圧を供給し、青色のインクを吐き出すインクジェッ
トヘッドの駆動素子に対して青色のインク滴の状態に応
じた印加電圧を供給することを特徴とするフィルター製
造方法である。

【００２２】これにより、赤色のインク、緑色のイン
ク、青色のインクを別々のインクジェットヘッドから吐
き出して着弾させることができ、一つのインクジェット
ヘッドから３色のインクを近接して吐き出す場合に比べ
て正確に基板に対して形成できる。しかも、制御手段
が、各インクジェットヘッドの駆動素子に対して与える
駆動電圧を各色のインク滴の状態に応じて変えながら供
給できるので、適正な赤色のインク、緑色のインク、青
色のインクを別個に供給できる。このようなことから、
作られるカラーフィルターの製造過程における精度を上
げることができる。請求項６の発明のフィルター製造方
法では、赤色のインク滴の状態と緑色のインク滴の状態
と青色のインク滴の状態を一滴の重量を監視することで
見ており、インク滴の重量に基づいて駆動素子に与える
印加電圧の値等を変えるようになっている。これによ
り、一滴のインク滴の重量を監視するだけで、各色のイ
ンクジェットヘッドはそれぞれ正確なインク量を吐出す
ることができる。

【００２３】請求項７の発明のフィルター製造方法で
は、第１着色手段、第２着色手段、第３着色手段の間で
フィルターを移動する間に基板に付いたインクの乾燥を
行うことができるので、フィルターの製造効率を上げる
ことができる。

【００２４】請求項８の発明のカラーフィルターでは、
基板に対してインクを着弾することでカラーフィルター
を製造するためのフィルター製造方法により製造される
カラーフィルターにおいて、基板に対して赤色のイン
ク、緑色のインク、青色のインクを、赤色のインクを吐
き出すインクジェットヘッド、緑色のインクを吐き出す
インクジェットヘッド、青色のインクを吐き出すインク
ジェットヘッドから別々に基板に対して吐出してカラー
フィルターを形成する際に、赤色のインクを吐き出すイ
ンクジェットヘッドの駆動素子に対して赤色のインク滴
の状態に応じた印加電圧を供給し、緑色のインクを吐き
出すインクジェットヘッドの駆動素子に対して緑色のイ
ンク滴の状態に応じた印加電圧を供給し、青色のインク
を吐き出すインクジェットヘッドの駆動素子に対して青
色のインク滴の状態に応じた印加電圧を供給することに
より製造されることを特徴とするカラーフィルター。

【００２５】本発明では、各色のインク吐出量を安定さ
せて品質の良いカラーフィルターが得られる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を図面に基づいて説明する。

【００２７】図１は、本発明のフィルター製造装置の好
ましい実施の形態の一部を示しており、図２は、図１の
フィルター製造装置の一部を簡略化して示している。

【００２８】図１と図２に示すように、フィルター製造
装置１０の第１着色手段２１０、第２着色手段２２０、
第３着色手段２３０は、概略的にはほぼ同様の構造を有
し、ベース１２、第１移動手段１４、第２移動手段１
６、電子天秤（重量測定手段）１８、インクジェットヘ
ッド２０、キャッピングユニット２２、クリーニングユ
ニット（クリーニング手段）２４、コントローラ２６等
を有している。

【００２９】ベース（架台ともいう）１２は、上述した
第１移動手段１４、第２移動手段１６、電子天秤１８、
キャッピングユニット２２、クリーニングユニット２４
等を収容する安全カバー２８を備えており、作業者はこ
の安全カバー２８の所定の部位の扉を開くことができる
ようになっている。

【００３０】コントローラ２６はモニター３０およびキ
ーボード３２、コンピュータ３４等を備えている。

【００３１】ベース１２の上には、第１移動手段１４、
電子天秤１８、キャッピングユニット２２、クリーニン
グユニット２４および第２移動手段１６が設定されてい
る。ベース１２の周囲にはロボット７４と基板収容手段
７０が配置されている。

【００３２】第１移動手段１４は、好ましくはベース１
２の上に直接設定されており、しかもこの第１移動手段
１４は、Ｙ軸方向に沿って位置決めされている。

【００３３】これに対して第２移動手段１６は、支柱１
６Ａ、１６Ａを用いて、ベース１２に対して立てて取り
付けられており、しかも第２移動手段１６は、ベース１
２の後部１２Ａにおいて取り付けられている。第２移動
手段１６の、Ｘ軸方向は、第１移動手段１４のＹ軸方向
とは直交する方向である。Ｙ軸はベース１２の前部１２
Ｂと後部１２Ａ方向に沿った軸である。これに対してＸ
軸はベース１２の左右方向に沿った軸であり、各々水平
である。

【００３４】まず、図１と図２に示す第１移動手段１４
と、第２移動手段１６について、図３を参照して説明す
る。

【００３５】図３は、第１移動手段１４と、第２移動手
段１６及びインクジェットヘッド２０等を示している。
すでに述べたように、第２移動手段１６の支柱１６Ａ，
１６Ａは、ベース１２の後部１２Ａ側に位置されてい
る。

【００３６】図３の第１移動手段１４は、ガイドレール
４０を有しており、第１移動手段１４は、例えば、リニ
アモータを採用することができる。このリニアモータ形
式の第１移動手段１４のスライダー４２は、ガイドレー
ル４０に沿って、Ｙ軸方向に移動して位置決め可能であ
る。

【００３７】スライダー４２は、θ軸用のモータ４４を
備えている。このモータ４４は、例えばダイレクトドラ
イブモータであり、モータ４４のロータはテーブル４６
に固定されている。これにより、モータ４４に通電する
ことでロータとテーブル４６は、θ方向に沿って回転し
てテーブル４６をインデックス（回転割り出し）するこ
とができる。

【００３８】図３のテーブル４６は、基板４８を位置決
めして、しかも保持するものである。テーブル４６は、
吸着保持手段５０を有しており、吸着保持手段５０が作
動することにより、テーブル４６の穴４６Ａを通して、
基板４８をテーブル４６の上に吸着して保持することが
できる。基板４８は、テーブル４６の位置決めピン４６
Ｂにより、テーブル４６の上に正確に位置決めすること
ができる。

【００３９】テーブル４６は、インクジェットヘッド２
０が、インクを捨打ち或いは試し打ちするための捨打ち
エリア５２を有している。この捨打ちエリア５２は、Ｘ
軸方向に並行でテーブル４６の後端部側に設けられてい
る。

【００４０】次に、図３の第２移動手段１６は、支柱１
６Ａ，１６Ａに固定されたコラム１６Ｂを有しており、
このコラム１６Ｂは、リニアモータ形式の第２移動手段
１６を有している。スライダー６０は、ガイドレール６
２Ａに沿ってＸ軸方向に移動して位置決め可能であり、
スライダー６０は、インク吐出手段としてのインクジェ
ットヘッド２０を備えている。

【００４１】インクジェットヘッド２０は、揺動位置決
め手段としてのモータ６２，６４，６６，６８を有して
いる。モータ６２を作動すれば、インクジェットヘッド
２０は、Ｚ軸に沿って上下動して位置決め可能である。
このＺ軸はＸ軸とＹ軸に対して各々直交する方向（上下
方向）である。

【００４２】モータ６４を作動すると、インクジェット
ヘッド２０は、β方向に沿って揺動して位置決め可能で
ある。モータ６６を作動すると、インクジェットヘッド
２０は、γ方向に揺動して位置決め可能である。モータ
６８を作動すると、インクジェットヘッド２０は、α方
向に揺動して位置決め可能である。

【００４３】このように、図３のインクジェットヘッド
２０は、スライダー６０において、Ｚ軸方向に直線移動
して位置決め可能で、α、β、γに沿って揺動して位置
決め可能であり、インクジェットヘッド２０のインク吐
出面２０Ｐは、テーブル４６側の基板４８に対して正確
に位置あるいは姿勢をコントロールすることができる。

【００４４】次に、図２と図４の平面図を参照して、第
１移動手段１４の基板の着脱作業位置Ｐと、基板を収容
する基板収容手段７２間における基板の着脱交換（ロー
ドアンドロード）作業について説明する。

【００４５】基板のロードアンドロードは、基板給排出
手段であるロボット７４が行う。このロボット７４は、
図２と図４に示すように、例えばベース１２の前方に位
置されかつ基板収容手段７０の前方に位置されている。

【００４６】基板収容手段７０は、たとえば図２に示す
ように複数の基板４８を収容しており、基板４８を第１
移動手段１４の基板着脱作業位置Ｐと基板収容手段７０
の間でやりとりするようになっている。

【００４７】基板着脱作業位置Ｐはベースに関して第２
移動手段１６よりも前方に位置されており、基板着脱作
業位置Ｐにおける基板４８の着脱作業は、第２移動手段
１６とインクジェットヘッドの存在によっては邪魔され
ずに、ロボット７４が自由に、かつ、効率よく行うこと
ができる。すなわち、第２移動手段１６とインクジェッ
トヘッド２０は、第１移動手段１４の上方に位置され、
しかもより好ましくは第２移動手段１６は、ベース１２
の後部１２Ａに位置されており、これに対して、基板着
脱作業位置Ｐは第１移動手段１４のテーブル４６付近で
あって、より好ましくはベース１２の前部１２Ｂに位置
されているからである。

【００４８】このようにすることで、基板着脱作業位置
Ｐと第２移動手段１６の位置的に離すことができる。

【００４９】ロボット７４の構造は、例えば図２に示す
ように、基台７４Ａ、中心軸部ＣＬ、第１アーム７４
Ｂ、第２アーム７４Ｃを有し、第２アーム７４Ｃは、例
えば真空吸着パッド７４Ｄを有している。ロボット７４
の真空吸着パッド７４Ｄで基板４８を吸着して、しかも
第１アーム７４Ｂ、第２アーム７４Ｃを中心軸部ＣＬに
沿って回転し、かつ中心軸部ＣＬをＺ軸方向に上下動す
ることで、基板収容手段７０と、基板着脱作業位置Ｐの
間で基板４８のやりとりをスムーズかつ効率的に容易に
行うことができる。

【００５０】図５は、図１と図２に示す第１着色手段２
１０、第２着色手段２２０、第３着色手段２３０と、制
御手段２０００等を示している。

【００５１】図５において、すでに述べた第１着色手段
２１０、第２着色手段２２０、第３着色手段２３０が、
左側から右側に順番に配列されており、これらの間に
は、乾燥手段１０００，１００１，１００２が配置され
ている。

【００５２】第１着色手段２１０の付近には基板収容手
段７０とロボット７４が配置され、第２着色手段２２０
の付近にはロボット７４が配置され、第３着色手段２３
０の付近にはロボット７４が配置されている。

【００５３】乾燥手段１００２の近くには別の基板収容
手段７０が配置されている。

【００５４】３つの第１着色手段ないし第３着色手段２
１０，２２０，２３０は、制御手段２０００によりイン
クの管理やその他の管理を行うことができるようになっ
ている。

【００５５】第１着色手段２１０の制御盤８０は、コン
ピュータ３４に接続されており、コンピュータ３４は、
インク管理コントローラ９８に接続されている。同様に
して第２着色手段２２０の制御盤８０はコンピュータ３
４を監視してインク管理コントローラ９８に接続され、
第３着色手段２３０の制御盤８０は、コンピュータ３４
を監視してインク管理コントローラ９８に接続されてい
る。

【００５６】第１着色手段２１０のロボット７４は、基
板収容手段７０からこれから製造しようとするカラーフ
ィルターのための基板４８を、第１着色手段２１０の基
板の着脱作業位置Ｐ側に移動して、第１着色手段２１０
はこの基板４８に対して赤色のインク滴を吐き出して着
弾させることができる。赤色のインク滴が着弾された基
板４８は、ロボット７４が乾燥手段１０００側に移動し
て、乾燥手段１０００で乾燥させる。

【００５７】第２着色手段２２０のロボット７４は、乾
燥手段１０００におかれた基板４８を第２着色手段２２
０の基板４８の基板着脱作業位置Ｐまで搬送して、第２
着色手段２２０は緑色のインク滴を吐出して基板４８に
着弾させる。その後、ロボット７４は基板４８を第２着
色手段２２０から乾燥手段１００１に移す。

【００５８】次のロボット７４は、乾燥手段１００１の
上に基板４８を、第３着色手段２３０の基板４８の基板
着脱作業位置Ｐに移す。第３着色手段２３０は青色のイ
ンク滴を基板４８に吐出して着弾させる。

【００５９】これにより基板４８の上には、順に赤色、
緑色、青色のインクが形成され、これによりカラーフィ
ルターが作られる。そしてロボット７４は、第３着色手
段２３０から基板４８を乾燥手段１００２に移す。乾燥
手段１００２の上の乾燥した基板４８は、別のロボット
７４により基板収容手段７０に収容されることになる。

【００６０】このようにして、乾燥手段１０００，１０
０１，１００２は、第１着色手段２１０、第２着色手段
２２０、第３着色手段２３０でそれぞれ着色されたイン
ク赤色、緑色、青色のインク滴をその都度乾燥させるこ
とができ、基板４８の移動中にこのような乾燥処理を行
うことで、カラーフィルターの製造効率を高め、カラー
フィルターにおけるインクの飛散等の不都合をさけるこ
とができる。

【００６１】図６は、図５の制御手段２０００の内部構
造のより詳しい例を示しており、図６に示すのは、第１
着色手段２１０あるいは第２着色手段２２０あるいは第
３着色手段２３０のそれぞれに別個に設けられているシ
ステムである。図６の制御手段２０００の個別のシステ
ムは、図７に示すように第１着色手段２１０、第２着色
手段２２０、第３着色手段２３０にそれぞれ適用できる
ように組むことができる。

【００６２】図６と図７において、コンピュータ３４
は、ベース１２側の制御盤８０に接続されている。制御
盤８０は、ベース１２の中に配置されており、その制御
盤８０に対して第１移動手段１４（リニアモータ）、第
２移動手段１６（リニアモータ）及びθ軸用のモータ４
４が接続されている。また、インクジェットヘッド２０
に関連する図３に示すモータ６２，６４，６６，６８が
制御盤８０に接続されている。第１移動手段１４と、θ
軸モータ４４は、制御盤８０からの指令により作動して
カラーフィルター製造用の基板４８を搭載したテーブル
４６をＹ軸方向に移動し、かつ、θ方向にインデックス
する。

【００６３】第２移動手段１６の４つのモータ６２，６
４，６６，６８は、制御盤８０からの指令により作動し
てインクジェットヘッド２０を、テーブル４６の上の基
板４８に対して姿勢制御するようになっている。

【００６４】また、図４で示した基板給排出手段である
ロボット７４は、たとえば図６のようにコンピュータ３
４の指令により動作の制御ができる。

【００６５】つぎに、インクジェットヘッド２０の構造
例について、図６と図８を参照して説明する。

【００６６】インクジェットヘッド２０は、たとえば、
ピエゾ素子（圧電素子）を用いたヘッドであり、図８
（Ａ）に示すように本体９０のインク吐出面２０Ｐに
は、複数のノズル９１が形成されている。これらのノズ
ル９１に対してそれぞれピエゾ素子９２が設けられてい
る。

【００６７】図８（Ｂ）に示すようにピエゾ素子９２
は、ノズル９１とインク室９３に対応して配置されてい
る。そしてこのピエゾ素子９２に対して図８（Ｃ）に示
すように印加電圧Ｖｈを印加することで、図８（Ｄ），
（Ｆ）及び（Ｅ）に示すようにして、ピエゾ素子９２を
矢印Ｑ方向に伸縮させることで、インクを加圧して所定
量のインク滴９９をノズル９１から吐出させるようにな
っている。

【００６８】図６のインクジェットヘッド２０は、イン
ク供給部９７に接続されており、このインク供給部９７
からインクが図８のインク室９３に供給される。インク
供給部９７には、温度計９６と粘度計９５が接続されて
いる。温度計９６と粘度計９５は、インク供給部９７内
に収容されているインクの温度および粘度を計測して、
そのインクの状態のフィードバック信号Ｓ１，Ｓ２とし
てインク管理コントローラ９８に供給する。

【００６９】インク管理コントローラ９８は、インクの
状態のフィードバック信号Ｓ１，Ｓ２に基づいて、コン
ピュータ３４に対してインクの温度や粘度の状態を制御
用の情報として与える。コンピュータ３４は、制御盤８
０を通して、ピエゾ素子駆動回路１０１に対してピエゾ
素子駆動信号Ｓ３を送る。ピエゾ素子駆動回路１０１
は、このピエゾ素子駆動信号Ｓ３に基づいて、図８のピ
エゾ素子９２に対してその時のインクの温度や粘度に応
じた印加電圧Ｖｈを供給することで、インクの温度や粘
度に応じて所定量のインク滴９９を吐出すことができ
る。

【００７０】つぎに、図９〜図１１を参照して、基板に
対してインクを供給することで、カラーフィルタを製造
する例について説明する。

【００７１】図９の基板４８は、透明基板であり適度の
機械的強度と共に光透過性の高いものを用いる。基板４
８としては、例えば、透明ガラス基板、アクリルガラ
ス、プラスチック基板、プラスチックフィルム及びこれ
らの表面処理品等が適用できる。

【００７２】たとえば、図１０に示すように長方形形状
の基板４８上に、生産性をあげる観点から複数個のカラ
ーフィルター領域１０５をマトリックス状に形成する。
これらのカラーフィルター領域１０５は、後でガラス４
８を切断することで、液晶表示装置に適合するカラーフ
ィルターとして用いることができる。

【００７３】カラーフィルター領域１０５には、たとえ
ば図１０に示すように、ＲのインクとＧのインクおよび
Ｂのインクを所定のパターンで形成して配置している。
この形成パターンとしては、図８に示すように従来公知
のストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるい
はスクウェアー型等がある。

【００７４】図９は、基板４８に対して図８のカラーフ
ィルター領域１０５を形成する工程の一例を示してい
る。

【００７５】図９（ａ）では、透明の基板４８の一方の
面に対して、ブラックマトリックス１１０を形成したも
のである。カラーフィルターの基礎となる基板４８の上
には、光透過性のない樹脂（好ましくは黒色）を、スピ
ンコート等の方法で、所定の厚さ（たとえば２μｍ程
度）に塗布して、フォトリソグラフィー法等の方法でマ
トリックス状にブラックマトリックス１１０を設ける。
ブラックマトリックス１１０の格子で囲まれる最小の表
示要素がフィルターエレメントといわれており、たとえ
ばＸ軸方向の巾３０μｍ、Ｙ軸方向の長さ１００μｍ程
度の大きさの窓である。

【００７６】ブラックマトリックス１１０を形成した後
は、たとえば、ヒータにより熱を与えることで、基板４
８の上の樹脂を焼成する。

【００７７】図９（ｂ）に示すように、インク滴９９
は、フィルターエレメント１１２に着弾する。インク滴
９９の量は、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮
した充分な量である。

【００７８】図９（ｃ）の加熱工程では、カラーフィル
ター上のすべてのフィルターエレメント１１２に対して
インク滴９９が充填されると、ヒータを用いて加熱処理
を行う。基板４８は、所定の温度（例えば７０℃程度）
に加熱する。インクの溶媒が蒸発すると、インクの体積
が減少する。体積減少の激しい場合には、カラーフィル
ターとして充分なインク膜の厚みが得られるまで、イン
ク吐出工程と、加熱工程とを繰り返す。この処理によ
り、インクの溶媒が蒸発して、最終的にインクの固形分
のみが残留して膜化する。

【００７９】図９（ｄ）の保護膜形成工程では、インク
滴９９を完全に乾燥させるために、所定の温度で所定時
間加熱を行う。乾燥が終了するとインク膜が形成された
カラーフィルターの基板４８の保護及びフィルター表面
の平坦化のために、保護膜１２０を形成する。この保護
膜１２０の形成には、たとえば、スピンコート法、ロー
ルコート法、リッピング法等の方法を採用することがで
きる。

【００８０】図９（ｅ）の透明電極形成工程では、スパ
ッタ法や真空吸着法等の処方を用いて、透明電極１３０
を保護膜１２０の全面にわたって形成する。

【００８１】図９（ｆ）のパターニング工程では、透明
電極１３０は、さらにフィルターエレメント１１２の開
口部に対応させた画素電極にパターニングされる。

【００８２】なお、液晶表示パネルの駆動にＴＦＴ（Ｔ
ｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）等を用いる
場合ではこのパターニングは不用である。

【００８３】つぎに、図２にもどり、電子天秤１８、ク
リーニングユニット２４およびキャッピングユニット２
２とアライメント用カメラ２３について簡単に説明す
る。

【００８４】電子天秤１８は、インクジェットヘッド２
０のノズルから吐出されたインク滴９９（図８参照）の
一滴の重量を測定して管理するために、例えば、インク
ジェットヘッド２０のノズル９１から、２０００滴分の
インク滴９９を受ける。電子天秤１８は、この２０００
滴のインク滴９９の重量を２０００の数字で割ることに
より、一滴のインク滴９９の重量を正確に測定すること
ができる。このインク滴９９の測定量に基づいて、イン
クジェットヘッド２０からの吐出するインク滴９９の量
を最適にコントロールする。

【００８５】クリーニングユニット２４は、インクジェ
ットヘッド２０の図８に示すノズル９１等のクリーニン
グをフィルター製造中や待機時に定期的にあるいは随時
に行うことができる。キャッピングユニット２２は、図
３のインクジェットヘッド２０のインク吐出面２０Ｐが
乾燥しないようにするために、フィルターを製造しない
待機時にこのインク吐出面２０Ｐにキャップをかぶせる
ものである。

【００８６】インクジェットヘッド２０が、第２移動手
段１６により、Ｘ軸方向に移動することで、インクジェ
ットヘッド２０を電子天秤１８、クリーニングユニット
２４あるいはキャッピングユニット２２の上部に選択的
に位置決めさせることができる。つまり、フィルター製
造作業の途中であっても、インクジェットヘッド２０を
たとえば電子天秤１８側に移動すれば、インク滴の重量
を測定できる。またインクジェットヘッド２０をクリー
ニングユニット２４上に移動すれば、インクジェットヘ
ッド２０のクリーニングを行うことができる。インクジ
ェットヘッド２０をキャッピングユニット２２の上に移
動すれば、インクジェットヘッド２０のインク吐出面２
０Ｐにキャップを取り付けて乾燥を防止する。

【００８７】アライメント用カメラ２３は、基板４８に
あらかじめ形成されているアライメントマークを検出し
て、基板４８の位置を検知するものである。

【００８８】つぎに、図１１を参照して、図示したフィ
ルターの製造装置の動作例について説明する。

【００８９】図１１のステップＳＴ１では、図２のロボ
ット７４の真空吸着パッド７４Ｄが、基板収容手段７０
の新しい基板４８を吸着して、ベース１２の着脱作業位
置Ｐに搬送する。つまり、基板４８が第１移動手段１４
のテーブル４６の上に給材される。この基板４８は、図
３の位置決めピン４６Ｂに対して突き当てられること
で、基板４８は、テーブル４６に対して位置決めされ
る。しかも、モータ４４が作動して、基板４８の端面が
Ｙ軸方向に並行になるように設定する。以上が図９のス
テップＳＴ２、ステップＳＴ３の基板の位置決めおよび
基板アライメントである。

【００９０】そしてコンピュータ３４は、アライメント
用カメラ２３からの情報と図２の観察カメラ２７からの
等の情報に基づいて、インクを吐出する作業の開始位置
を図８のステップＳＴ４において計算する。

【００９１】一方、図１１のステップＳＴ５では、イン
クジェットヘッド２０がＸ軸方向に沿って移動して、電
子天秤１８の上部に位置される。そして、図１１のステ
ップＳＴ６，ＳＴ７，ＳＴ８で示すようにパラメータの
ロード、指定ノズルの選択および電子天秤１８のカウン
ターをクリアする。そして、ステップＳＴ９にて指定滴
数（指定のインク滴の数）の吐出を行う。これにより、
図２の電子天秤１８は、たとえば２０００滴のインクの
重量を計測して、インク滴１滴当たりの重量を計算す
る。

【００９２】図１１のステップＳＴ２０では、インク滴
の一滴当たりの重量が予め定められている適正範囲に入
っているかどうかを判断し、適正な場合にはステップＳ
Ｔ１２に移る。

【００９３】そのようなインク滴１滴の重量計算を測定
対象のインクジェットヘッド２０の全ノズルに対して、
図１１のステップＳＴ１０，ＳＴ１１およびＳＴ１２を
経て終了すると、図１１のステップＳＴ１３で描画開始
位置に図３のインクジェットヘッド２０が、Ｘ軸方向に
沿って移動し、基板４８は、第１移動手段１４よりＹ軸
方向に適宜に移動して位置決めされると共にインクジェ
ットヘッド２０は、第２移動手段１６によりＸ軸方向に
適宜移動して位置決めされる。

【００９４】一方、ステップＳＴ２０において、インク
滴一滴当たりの重量が予め定められた適正範囲にない場
合には、ステップＳＴ２１に移り、そのインク滴の重量
が修正可能な範囲かを判断する。

【００９５】このようなインク滴の重量の適正範囲とそ
の重量の修正可能な範囲かどうかの判断等は、たとえば
図７に示すコンピュータ３４が行う。

【００９６】ステップＳＴ２２において、図６のコンピ
ュータ３４は、インクの状態のフィードバック信号Ｓ
１，Ｓ２の信号に基づいて得られるインク管理コントロ
ーラ１２からの信号により、インクの状態を判断し、コ
ンピュータ３４は該当する第１着色手段２１０ないし２
３０のいずれかあるいはすべての制御盤８０に対してそ
れぞれ別々の制御信号を送ることで、制御信号が送られ
た制御盤８０は、図６に示すピエゾ素子駆動信号Ｓ３を
ピエゾ素子駆動回路１０１に対して供給する。これによ
り、ピエゾ素子駆動回路１０１はインクジェットヘッド
２０の図８に示すピエゾ素子９２に対して、インクジェ
ットヘッド２０の状態のフィードバック信号Ｓ１，Ｓ２
に応じた所定の印加電圧を供給する。つまり図１１のス
テップＳＴ２２に示すように圧電素子であるピエゾ素子
の駆動波形の調整を行う。図１２と図１３は圧電素子で
あるピエゾ素子の駆動波形である印加電圧の調整例を示
している。

【００９７】図１３（Ａ）のように、たとえば印加電圧
の電圧を変化させることにより、圧電素子であるピエゾ
素子の歪み量をコントロールすることができる。あるい
は図１３（Ｂ）のように印加電圧の周波数を変化させる
ことにより、圧電素子であるピエゾ素子の歪み速度をコ
ントロールして、インクの粘度による負荷力とバランス
をとるのである。

【００９８】図１２では、図６のピエゾ素子駆動回路１
０１からピエゾ素子に供給される印加電圧Ｖｈの一例を
示しており、印加電圧Ｖｈの初期設定駆動波形Ｉに対し
て、インクの吐出量が少ない場合にはそのための駆動波
形Ｉ１のように印加電圧値を増大させる。これに対して
インクの吐出量が多い場合には、初期設定駆動波形Ｉに
対して電圧値の小さい駆動波形Ｉ２を供給する。この場
合には、波形時間ｔは同じである。図１２の例は、図１
３（Ａ）に示すように印加電圧Ｖｈの電圧を変化させた
場合であり、圧電素子の歪み量をコントロールしてい
る。

【００９９】次に、図１１のステップＳＴ１４，ＳＴ１
５で基板上の全ての図８に示すように複数のカラーフィ
ルター領域１０５をたとえばストライプ型で形成する。

【０１００】図１ないし図３のフィルター製造装置１０
の第１着色手段２１０、第２着色手段２２０、第３着色
手段２３０のインクジェットヘッド２０は好ましくはＲ
（赤）、あるいはＧ（緑）、Ｂ（青）のいずれか一色を
吐出するようにしている。

【０１０１】図５に示すように第１着色手段２１０が、
基板４８に対して赤色のインクを単独で着色し、そして
第２着色手段２２０が緑色のインクを基板４８に対して
着色し、第３着色手段２３０が基板４８に対して青色の
インクを着色する。つまり、第１着色手段、第２着色手
段、第３着色手段、２１０，２２０，２３０に対して順
番に基板４８が通過して行くと、基板４８に対して最初
赤色のインクが着色されて、その次に緑色のインクが着
色されそして最後に青色のインクが着色されてカラーフ
ィルター領域を作ることができる。そしてこのような基
板４８の移動中には、基板４８は乾燥手段１０００，１
００１，１００２を通過することから、着色されたイン
クをその場で乾燥できる。したがって、カラーフィルタ
ーの製造効率を乾燥しながら高めることができ、着色し
たインクが未乾燥で他の部分に移って着色してしまうと
いうような問題も生じない。

【０１０２】また、図１１ないし図１３で示したよう
に、赤色のインク滴、緑色のインク滴、青色のインク滴
のそれぞれのインク滴の状態において、印加電圧を供給
する制御手段は、別個にそれらのインク滴の状態に応じ
て、第１着色手段、第２着色手段、第３着色手段のそれ
ぞれのインクジェットヘッド２０の駆動素子に印加電圧
を供給することができる。このようなことから、それぞ
れのインク滴を最適な状態にして、第１着色手段ないし
第３着色手段において、各色のインク量を正しくして、
かつ効率よく基板４８に対して着弾して形成して行くこ
とができる。

【０１０３】そして、各色のインクの一滴のインク滴の
重量を適宜監視しながらカラーフィルターの製造を行う
場合に、印加電圧の値、すなわち電圧値を変えたり、あ
るいは周波数を変えることにより、カラーフィルター製
造中に適正なインク吐出量が出せる状態を保持すること
ができる。

【０１０４】インクジェットヘッド２０は、第２移動手
段１６によりＸ軸方向に単独で移動して位置決め可能で
あるので、インクジェットヘッド２０を図２のクリーニ
ングユニット２４でクリーニングしてメンテナンスした
り、あるいはキャッピングユニット２２でキャップを付
けたり、そして電子天秤１８でインク滴の重量を測定す
る作業を、カラーフィルター形成作業時の途中で適宜行
うことができる。つまりインクジェットヘッド２０は、
クリーニングユニット２４、キャッピングユニット２２
あるいは電子天秤１８側の上空にＸ軸方向に単独で送る
ことができる。このことから、カラーフィルターの製造
動作を休止せずにインクジェットヘッド２０のメンテナ
ンスやインク滴の重量測定等を容易にかつスムーズに効
率よく行うことができる。

【０１０５】また、基板着脱作業位置Ｐが、インクジェ
ットヘッド２０と第２移動手段１６の前方側に位置して
おり、第２移動手段１６は第１移動手段１４からはなれ
た上方にあるので、基板４８の着脱作業は、この第２移
動手段１６やインクジェットヘッド２０に邪魔されずに
簡単に行うことができる。このためにインクジェットヘ
ッド２０の位置等に制約されることなく、基板４８の交
換をスムーズに、かつ、容易に効率良く行うことができ
る。

【０１０６】本発明は、上記実施の形態に限定されず、
特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うこ
とができる。

【０１０７】本発明のフィルター製造装置は、たとえば
液晶表示装置用のカラーフィルターの製造に限定される
ものではなく、たとえば、ＥＬ（エレクトロルミネッセ
ンス）表示素子に応用が可能である。ＥＬ表示素子は、
蛍光性の無機および有機化合物を含む薄膜を、陰極と陽
極とで挟んだ構成を有し、前記薄膜に電子および正孔
（ホール）を注入して再結合させることにより励起子
（エキシトン）を生成させ、このエキシトンが失活する
際の光の放出（蛍光・燐光）を利用して発光させる素子
である。こうしたＥＬ表示素子に用いられる蛍光性材料
のうち、赤、緑および青色の発光色を呈する材料を本発
明の製造装置を用いて、ＴＦＴ等の素子基板上にインク
ジェットパターニングすることで、自発光フルカラーＥ
Ｌ表示素子を製造することができる。本発明におけるフ
ィルターの範囲にはこのようなＥＬ表示素子の基板をも
含むものである。

【０１０８】本発明のフィルター製造装置は、ＥＬ材料
が付着しやすいように、樹脂レジスト、画素電極および
下層となる層の表面に対し、プラズマ、ＵＶ処理、カッ
プリング等の表面処理を行う工程を有するものであって
もよい。

【０１０９】そして、本発明のカラーフィルター製造装
置を用いて製造したＥＬ表示素子は、セグメント表示や
全面同時発光の静止画表示、例えば絵、文字、ラベル等
といったローインフォメーション分野への応用、または
点・線・面形状をもった光源としても利用することがで
きる。さらに、パッシブ駆動の表示素子をはじめ、ＴＦ
Ｔ等のアクティブ素子を駆動に用いることで、高輝度で
応答性の優れたフルカラー表示素子を得ることが可能で
ある。

【０１１０】さらに、本装置のインクジェットパターニ
ング技術に金属材料や絶縁材料を供すれば、金属配線や
絶縁膜等のダイレクトな微細パターニングが可能とな
り、新規な高機能デバイスの作製にも応用できる。

【０１１１】また、図示したフィルター製造装置のイン
クジェットヘッド２０は、Ｒ．Ｇ．Ｂの内の１つの種類
のインクを吐出することができるようになっているが、
この内の２種類あるいは３種類のインクを同時に吐出す
ることももちろんできる。

【０１１２】また、フィルター製造装置１０の第１移動
手段１４と第２移動手段１６はリニアモータを用いてい
るがこれに限らず他の種類のモータやアクチュエータを
用いることもできる。

【０１１３】本発明の実施の形態においては、図５にお
いて第１着色手段、第２着色手段、第３着色手段の順番
に配列しており、赤色、緑色、青色の順番でインクを基
板４８に対して吐出するようになっているが、これに限
らずこの順番を入れ換えることができる。

【０１１４】

【発明の効果】請求項１の発明では、第１着色手段、第
２着色手段、第３着色手段は、赤色のインク、緑色のイ
ンク、青色のインクを別々のインクジェットヘッドから
吐き出して着弾させることができ、一つのインクジェッ
トヘッドから３色のインクを近接して吐き出す場合に比
べて正確に基板に対して形成できる。しかも、制御手段
が、各インクジェットヘッドの駆動素子に対して与える
駆動電圧を各色のインク滴の状態に応じて変えながら供
給できるので、適正な赤色のインク、緑色のインク、青
色のインクを別個に供給できる。このようなことから、
作られるカラーフィルターの製造過程における精度を上
げることができる。

【０１１５】請求項２の発明のフィルター製造装置で
は、制御手段は、赤色のインク滴の状態と緑色のインク
滴の状態と青色のインク滴の状態を一滴のインク滴の重
量を監視することで見ており、インク滴の重量に基づい
て駆動素子に与える印加電圧の値を変えるようになって
いる。これにより、一滴のインク滴の重量を監視するだ
けで、各色のインクジェットヘッドはそれぞれ正確なイ
ンク量を吐出することができる。

【０１１６】請求項３の発明のフィルター製造装置で
は、基板とインクジェットヘッドを別々に移動操作する
ことができ、たとえばインクジェットヘッドのメンテナ
ンスやあるいはインクジェットヘッドによるインク滴の
試し打ちなどを基板の動きとは別個に行うことができ
る。

【０１１７】請求項４の発明のフィルター製造装置で
は、第１着色手段、第２着色手段、第３着色手段は並べ
て配列されており、これらの間にはフィルターの乾燥を
行う乾燥手段が配置されている。このようにすること
で、第１着色手段、第２着色手段、第３着色手段の間で
フィルターを移動する間に基板に付いたインクの乾燥を
行うことができるので、フィルターの製造効率を上げる
ことができる。

【０１１８】次に、請求項５の発明のフィルター製造方
法は、赤色のインク、緑色のインク、青色のインクを別
々のインクジェットヘッドから吐き出して着弾させるこ
とができ、一つのインクジェットヘッドから３色のイン
クを近接して吐き出す場合に比べて正確に基板に対して
形成できる。しかも、制御手段が、各インクジェットヘ
ッドの駆動素子に対して与える駆動電圧を各色のインク
滴の状態に応じて変えながら供給できるので、適正な赤
色のインク、緑色のインク、青色のインクを別個に供給
できる。このようなことから、作られるカラーフィルタ
ーの製造過程における精度を上げることができる。

【０１１９】請求項６の発明のフィルター製造方法で
は、赤色のインク滴の状態と緑色のインク滴の状態と青
色のインク滴の状態を一滴のインク滴の重量を監視する
ことでみており、インク滴の重量に基づいて駆動素子に
与える印加電圧の値等を変えるようになっている。これ
により、一滴のインク滴の重量を監視するだけで、各色
のインクジェットヘッドはそれぞれ正確なインク量を吐
出することができる。

【０１２０】請求項７の発明のフィルター製造方法で
は、第１着色手段根第２着色手段、第３着色手段の間で
フィルターを移動する間に基板に付いたインクの乾燥を
行うことができるので、フィルターの製造効率を上げる
ことができる。

【０１２１】請求項８の発明のカラーフィルターでは、
各色のインク吐出量を安定させて品質の良いカラーフィ
ルターが得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のフィルター製造装置の好ましい実施の
形態を詳しく示す図。

【図２】図１のフィルター製造装置をよりわかりやすく
示す図。

【図３】図２のフィルター製造装置の第１移動手段と第
２移動手段、インクジェットヘッドと基板等を示す斜視
図。

【図４】第１移動手段、第２移動手段、ロボット、基板
収容手段等を示す平面図。

【図５】本発明のフィルター製造装置の全体構成図を示
す平面図。

【図６】コンピュータと制御盤および各種制御対象等を
示す図。

【図７】制御手段内の各要素を示すブロック図。

【図８】インクジェットヘッドの構造を示す図。

【図９】基板を用いてカラーフィルターを製造する一例
を示す図。

【図１０】基板と基板上のカラーフィルター領域の一部
を示す図。

【図１１】フィルター製造装置の動作例を示す図。

【図１２】ピエゾ素子に与える印加電圧の電圧値を変え
て制御する例を示す図。

【図１３】印加電圧の電圧の変化と周波数の変化の例を
示す図。

【符号の説明】

１４・・・第１移動手段 １６・・・第２移動手段 ２０・・・インクジェットヘッド ４６・・・テーブル ４８・・・基板 ７４・・・ロボット（基板給排出手段） ２１０・・・第１着色手段 ２２０・・・第２着色手段 ２３０・・・第３着色手段 １０００，１００１，１００２・・・乾燥手段 ２０００・・・制御手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 俊洋 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板に対してインクを着弾することでカ
   ラーフィルターを製造するためのフィルター製造装置に
   おいて、 赤色のインクを基板に吐出するためにインクジェットヘ
   ッドと、基板とインクジェットヘッドとの相対位置を変
   える移動手段とを有する第１着色手段と、 緑色のインクを基板に吐出するためにインクジェットヘ
   ッドと、基板とインクジェットヘッドとの相対位置を変
   える移動手段とを有する第２着色手段と、 青色のインクを基板に吐出するためにインクジェットヘ
   ッドと、基板とインクジェットヘッドとの相対位置を変
   える移動手段とを有する第３着色手段と、 第１着色手段のインクジェットヘッド、第２着色手段の
   インクジェットヘッド、第３着色手段のインクジェット
   ヘッドからそれぞれインク滴を吐き出すために、各イン
   クジェットヘッドはそれぞれ印加電圧が与えられる駆動
   素子を有し、 第１着色手段のインクジェットヘッドの駆動素子に対し
   て赤色のインク滴の状態に応じた印加電圧を供給し、第
   ２着色手段のインクジェットヘッドの駆動素子に対して
   緑色のインク滴の状態に応じた印加電圧を供給し、そし
   て第３着色手段のインクジェットヘッドの駆動素子に対
   して青色のインク滴の状態に応じた印加電圧を供給する
   制御手段と、を備えることを特徴とするフィルター製造
   装置。
2. 【請求項２】 圧電素子はピエゾ素子であり、制御手段
   は、赤色のインク滴の状態と緑色のインク滴の状態と青
   色のインク滴の状態を一滴のインク滴の重量を監視する
   ことで見ており、インク滴の重量に基づいて駆動素子に
   与える印加電圧の値を変えるか周波数を変える請求項１
   に記載のフィルター製造装置。
3. 【請求項３】 第１着色手段は、基板を第１方向に移動
   して位置決めする第１移動手段と、インクジェットヘッ
   ドを第２方向に移動して位置決めする第２移動手段とを
   有し、 第２着色手段は、基板を第１方向に移動して位置決めす
   る第１移動手段と、インクジェットヘッドを第２方向に
   移動して位置決めする第２移動手段とを有し、 第３着色手段は、基板を第１方向に移動して位置決めす
   る第１移動手段と、インクジェットヘッドを第２方向に
   移動して位置決めする第２移動手段とを有する請求項１
   または２に記載のフィルター製造装置。
4. 【請求項４】 第１着色手段、第２着色手段、第３着色
   手段は並べて並列されており、これらの間にはフィルタ
   ーのインクの乾燥を行う乾燥手段が配置されている請求
   項１ないし３のいずれかに記載のフィルター製造装置。
5. 【請求項５】 基板に対してインクを着弾することでカ
   ラーフィルターを製造するためのフィルター製造方法に
   おいて、 基板に対して赤色のインク、緑色のインク、青色のイン
   クを、赤色のインクを吐き出すインクジェットヘッド、
   緑色のインクを吐き出すインクジェットヘッド、青色の
   インクを吐き出すインクジェットヘッドから別々に基板
   に対して吐出してカラーフィルターを形成する際に、 赤色のインクを吐き出すインクジェットヘッドの駆動素
   子に対して赤色のインク滴の状態に応じた印加電圧を供
   給し、緑色のインクを吐き出すインクジェットヘッドの
   駆動素子に対して緑色のインク滴の状態に応じた印加電
   圧を供給し、青色のインクを吐き出すインクジェットヘ
   ッドの駆動素子に対して青色のインク滴の状態に応じた
   印加電圧を供給することを特徴とするフィルター製造方
   法。
6. 【請求項６】 赤色のインク滴の状態と緑色のインク滴
   の状態と青色のインク滴の状態は、一滴のインク滴の重
   量を監視することで見ており、インク滴の重量に基づい
   て駆動素子に与える印加電圧の値を変えるか周波数を変
   える請求項５に記載のフィルター製造方法。
7. 【請求項７】 基板に対して赤色のインク、緑色のイン
   ク、青色のインクを吐き出して着色する工程の間におい
   て、インクを乾燥する請求項５または６に記載のフィル
   ター製造方法。
8. 【請求項８】 基板に対してインクを着弾することでカ
   ラーフィルターを製造するためのフィルター製造方法に
   より製造されるカラーフィルターにおいて、 基板に対して赤色のインク、緑色のインク、青色のイン
   クを、赤色のインクを吐き出すインクジェットヘッド、
   緑色のインクを吐き出すインクジェットヘッド、青色の
   インクを吐き出すインクジェットヘッドから別々に基板
   に対して吐出してカラーフィルターを形成する際に、 赤色のインクを吐き出すインクジェットヘッドの駆動素
   子に対して赤色のインク滴の状態に応じた印加電圧を供
   給し、緑色のインクを吐き出すインクジェットヘッドの
   駆動素子に対して緑色のインク滴の状態に応じた印加電
   圧を供給し、青色のインクを吐き出すインクジェットヘ
   ッドの駆動素子に対して青色のインク滴の状態に応じた
   印加電圧を供給することにより製造されることを特徴と
   するカラーフィルター。