JP3928563B2 - 製膜装置とその液状体充填方法及びデバイス製造装置とデバイス製造方法、デバイス並びに電子機器 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製膜装置とその液状体充填方法及びデバイス製造方法とデバイス製造装置、デバイス並びに電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子機器、例えばコンピュータや携帯用の情報機器端末の発達に伴い、液晶表示デバイス、特にカラー液晶表示デバイスの使用が増加している。この種の液晶表示デバイスは、表示画像をカラー化するためにカラーフィルタを用いている。カラーフィルタには、基板を有し、この基板に対してＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（赤）のインク（液状体）を液滴として所定パターンで供給することで形成されるものがある。このような基板に対して液滴を供給する方式としては、例えばインクジェット方式等の液滴吐出方式を用いた製膜装置が採用されている。
【０００３】
液滴吐出方式を採用した場合、製膜装置においては液滴吐出ヘッドから所定量の液滴を基板に対して吐出して供給・製膜するが、液滴を吐出する手段としては、壁面に複数のノズル開口を形成するとともに、各ノズル開口と対向するように伸縮方向を一致させて圧電素子を配設したものが多く用いられている。この種の圧電素子としては、例えば電極と圧電材料とを交互にサンドイッチ状に積層したものが提供されており、液滴吐出ヘッドのキャビティ（インク溜まり）内に満たされた機能液が圧電素子の変形により生じた圧力波によって吐出される構成になっている。
【０００４】
従来、このような液滴吐出ヘッド内にインク等の液状体を充填する方法としては、例えば可撓性材料のキャップをヘッドのノズル面に押圧状態で当接させ、キャップ内の密閉空間を当該キャップに接続された減圧手段により減圧する方法が採られている。ところが、ヘッド内部の流路は微細であり、屈曲部や流路幅の変化する箇所、凹凸部等、機能液の流動が淀む部分に気泡が溜まり、これを排出できないことがある。このようにヘッド内部に気泡が残ると、液滴吐出時の圧力損失が大きくなり、吐出が不安定になるばかりでなく、甚だしい場合にはインクを吐出できないという問題が生じてしまう。そこで、従来では、上記減圧によりヘッド内に液状体を充填する際に、キャップにより液状体とともに気泡も同時に吸引して排出していた。このように、ヘッドに対して吸引によりインクや残留気泡を排出する技術としては、例えば特許文献１が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−８５１５３号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。気泡とともに吸引した液状体を排出してしまうので、液状体自体が高価な場合は大幅なコストアップとなってしまう。また、遺伝子の合成に用いられるタンパク質等、少量しか作成できない液状体の場合は、排出する量を確保できないため、ヘッド内への充填及び気泡排出さえ十分にできない可能性もある。さらに、近年では、微細な液滴を吐出する要請が多くなっているため、ヘッドのノズルも微細寸法に形成されている。そのため、毛細管力が高くなり、吸引による気泡排出が困難になりつつある。
【０００７】
また、様々な用途に液滴吐出技術を適用するにあたり、高粘度液体を使用する例が増しているが、高粘度液体は吸引による気泡排出が容易でないため、吸引を大量に行う必要があり、消費する高粘度液体が増大するという問題もあった。さらに、高粘度液体は、ヘッド内部で円滑に流動しないため、ヘッド内の流路の壁に付着した気泡は脱離しづらく気泡排出が十分に行われない虞があった。
【０００８】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、液状体を無駄に消費することなくヘッド内に充填できるとともに、十分に気泡を排出できる製膜装置とその液状体充填方法及びデバイス製造方法とデバイス製造装置、デバイス並びに電子機器を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の製膜装置は、供給された液状体を吐出するヘッドを有する製膜装置であって、前記ヘッドの内部を減圧する減圧手段と、前記液状体の供給を規制する規制手段と、前記減圧手段及び前記規制手段の駆動を制御して、前記ヘッドの内部への前記液状体の充填前に、前記ヘッドの内部を所定圧力まで減圧させて当該ヘッド内部の空気を排出させる制御装置とを備え、前記ヘッドには、前記液状体を貯溜する貯溜部が接続され、前記規制手段は、前記貯溜部を前記ヘッド内部より高圧で、且つ大気圧より低圧に減圧する第２減圧手段を有することを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の製膜装置の液状体充填方法は、液状体を貯溜する貯溜部が接続され、供給された前記液状体を吐出するヘッドの内部に前記液状体を充填させる製膜装置の液状体充填方法であって、前記液状体の供給を規制しつつ前記ヘッド内部及び前記貯溜部を減圧して、前記ヘッドの内部への前記液状体の充填前に、前記ヘッドの内部を所定圧力まで減圧させ、前記貯溜部を前記ヘッド内部より高圧で、且つ大気圧より低圧に減圧して当該ヘッド内部の空気を排出させる工程を有することを特徴としている。
【００１１】
従って、本発明の製膜装置とその液状体充填方法では、液状体を充填する前にヘッド内部を減圧することで、ヘッド内部の予め気泡の基となる空気を少なくすることができる。このとき、減圧による圧力差で液状体がヘッドに供給されることを規制するので、液状体を緩やかにヘッドに充填でき、ヘッド内部に気泡を残りにくくできる。そのため、高粘度の液状体であっても気泡を排出するために大量に液状体を消費することを防止できるとともに、少量しか製造できない液状体であっても無駄な消費を防止できる。
【００１２】
液状体を貯溜する貯溜部がヘッドに接続される構成の場合、規制手段としては、貯溜部を減圧する第２減圧手段を有する構成を採用できる。
この場合、ヘッド内部と貯溜部との圧力差で液状体がヘッド内部に供給されるが、貯溜部が大気圧下である場合と比較すると圧力差が小さくなり、液状体を緩やかにヘッド内部に供給することが可能となる。
【００１３】
また、ヘッドと貯溜部との間に設けられた液状体の供給路を開閉する開閉弁を有する構成も好適である。開閉弁により供給路を閉じることで、ヘッド内部と貯溜部とを独立して減圧することが可能になり、それぞれ所定の圧力に迅速に減圧することができる。そして、開閉弁により供給路を開けることで、圧力差により貯溜部から液状体をヘッド内部に円滑に供給することができる。
【００１４】
また、供給路を介して液状体を供給する貯溜部が接続される構成の場合、規制手段としては、供給路における液状体の流量を調整する調整弁を有する構成を採用できる。この場合、ヘッド内部を減圧した際に、減圧に応じた量の液状体が貯溜部から供給されようとするが、調整弁で液状体の供給量を調整して規制することで、液状体を緩やかにヘッドに充填でき、ヘッド内部に気泡を残りにくくできる。
【００１５】
また、本発明では、規制手段を制御して、前記ヘッドへの前記液状体の充填時に、前記液状体の速度・圧力が変動するように、前記ヘッドへの液状体の供給量を変動させる規制制御手段を設ける構成も採用可能である。
この場合、ヘッド内部に供給される液状体の速度・圧力が変動（例えば脈動）することになり、気泡が移動しやすく壁部等に付着しづらくなる。そのため、ヘッド内部に気泡を残りにくくすることができる。
【００１６】
さらに、本発明では、ヘッド内部における液状体の充填状態を検出する検出手段と、前記検出手段の検出結果に基づいて、前記規制手段による前記液状体の供給規制を制御する制御手段とを有することが好ましい。
この構成では、ヘッド内部に液状体が充填されたことを検知したときに、ヘッド内部への液状体の供給を停止させることで、減圧手段により液状体が吸引されることを防止できる。
【００１７】
そして、本発明のデバイス製造装置は、ヘッドから液滴を吐出してワーク上に製膜するデバイス製造装置であって、上記の製膜装置を用いて前記ワークに製膜することを特徴としている。また、本発明の製膜装置の液状体充填方法は、供給された液状体を吐出するヘッドの内部に前記液状体を充填させる製膜装置の液状体充填方法であって、前記ヘッド内部を減圧する工程と、前記減圧に応じて前記液状体の供給を規制する工程とを有することを特徴としている。
【００１８】
これにより、本発明では、液状体の無駄な消費を防止できるとともに、液状体充填時の気泡がヘッド内部に残って、液滴の吐出が不安定になったり、吐出不能状態に陥ったりする事態を回避することが可能になり、所望の吐出特性でワーク上に製膜することが可能になる。
【００１９】
また、本発明のデバイスは、上記のデバイス製造装置により製造されたことを特徴としている。これにより、本発明では、安定して吐出された液滴で膜が形成された高品質のデバイスを得ることができる。
【００２０】
そして、本発明の電子機器は、上記のデバイスを備えたことを特徴としている。これにより、本発明では、ヘッド内部に残留する気泡に起因する課題を解消することができ、しかも液状体を無駄に消費しないのでコストダウンが図られ、また生産性も向上した電子機器を得ることができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の製膜装置とその液状体充填方法及びデバイス製造装置とデバイス製造方法、デバイス並びに電子機器の実施の形態を、図１ないし図８を参照して説明する。ここでは、本発明の製膜装置を、例えば液状体としてのインクを用いて、液晶表示デバイスに対して用いられるカラーフィルタ等を製造するためのフィルタ製造装置に適用するものとして説明する。なお本発明で使用できる液体は、液状体に含まれる。すなわち、液状体とは、上述の液体に加え、例えば金属等の微粒子を含む液状体をも含むものとする。
【００２２】
図１は、フィルタ製造装置（デバイス製造装置）を構成する製膜装置（インクジェット装置）１０の概略的な外観斜視図である。このフィルタ製造装置は、ほぼ同様の構造を有する３基の製膜装置１０を備えており、各製膜装置１０は、それぞれＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色のインクをフィルタ基板に吐出する構成になっている。
【００２３】
製膜装置１０は、ベース１２、第１移動手段１４、第２移動手段１６、図示しない電子天秤（重量測定手段）、液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド（ヘッド）２０、キャッピングユニット２２、クリーニングユニット２４等を有している。第１移動手段１４、電子天秤、キャッピングユニット２２、クリーニングユニット２４および第２移動手段１６は、それぞれベース１２上に設置されている。
【００２４】
第１移動手段１４は、好ましくはベース１２の上に直接設置されており、しかもこの第１移動手段１４は、Ｙ軸方向に沿って位置決めされている。これに対して第２移動手段１６は、支柱１６Ａ、１６Ａを用いて、ベース１２に対して立てて取り付けられており、しかも第２移動手段１６は、ベース１２の後部１２Ａにおいて取り付けられている。第２移動手段１６のＸ軸方向は、第１移動手段１４のＹ軸方向とは直交する方向である。Ｙ軸はベース１２の前部１２Ｂと後部１２Ａ方向に沿った軸である。これに対してＸ軸はベース１２の左右方向に沿った軸であり、各々水平である。
【００２５】
第１移動手段１４は、ガイドレール４０、４０を有しており、第１移動手段１４は、例えば、リニアモータを採用することができる。このリニアモータ形式の第１移動手段１４のスライダー４２は、ガイドレール４０に沿って、Ｙ軸方向に移動して位置決め可能である。
【００２６】
スライダー４２は、θ軸用のモータ４４を備えている。このモータ４４は、例えばダイレクトドライブモータであり、モータ４４のロータはテーブル４６に固定されている。これにより、モータ４４に通電することでロータとテーブル４６は、θ方向に沿って回転してテーブル４６をインデックス（回転割り出し）することができる。
【００２７】
テーブル４６は、ワークとしての基板４８を位置決めして、しかも保持するものである。また、テーブル４６は、吸着保持手段５０を有しており、吸着保持手段５０が作動することにより、テーブル４６の穴４６Ａを通して、基板４８をテーブル４６の上に吸着して保持することができる。テーブル４６には、インクジェットヘッド２０がインクを捨打ち或いは試し打ち（予備吐出）するための予備吐出エリア５２が設けられている。
【００２８】
第２移動手段１６は、支柱１６Ａ，１６Ａに固定されたコラム１６Ｂを有しており、このコラム１６Ｂは、リニアモータ形式の第２移動手段１６を有している。スライダー６０は、ガイドレール６２Ａに沿ってＸ軸方向に移動して位置決め可能であり、スライダー６０は、インク吐出手段としてのインクジェットヘッド２０を備えている。
【００２９】
インクジェットヘッド２０は、揺動位置決め手段としてのモータ６２，６４，６６，６８を有している。モータ６２を作動すれば、インクジェットヘッド２０は、Ｚ軸に沿って上下動して位置決め可能である。このＺ軸はＸ軸とＹ軸に対して各々直交する方向（上下方向）である。モータ６４を作動すると、インクジェットヘッド２０は、Ｙ軸回りのβ方向に沿って揺動して位置決め可能である。モータ６６を作動すると、インクジェットヘッド２０は、Ｘ軸回りのγ方向に揺動して位置決め可能である。モータ６８を作動すると、インクジェットヘッド２０は、Ｚ軸回りのα方向に揺動して位置決め可能である。
【００３０】
このように、図１のインクジェットヘッド２０は、スライダー６０において、Ｚ軸方向に直線移動して位置決め可能で、α、β、γに沿って揺動して位置決め可能であり、インクジェットヘッド２０のインク吐出面２０Ｐは、テーブル４６側の基板４８に対して正確に位置あるいは姿勢をコントロールすることができる。なお、インクジェットヘッド２０のインク吐出面２０Ｐには、それぞれがインクを吐出する複数（例えば１２０個）の開口部としてのノズルが設けられている。
【００３１】
ここで、インクジェットヘッド２０の構造例について、図２を参照して説明する。インクジェットヘッド２０は、たとえば、ピエゾ素子（圧電素子）を用いたヘッドであり、図２（Ａ）に示すようにヘッド本体９０のインク吐出面２０Ｐには、複数のノズル９１が形成されている。これらのノズル９１に対してそれぞれピエゾ素子９２が設けられている。
【００３２】
図２（Ｂ）に示すようにピエゾ素子９２は、ノズル９１とインク室９３に対応して配置されており、例えば一対の電極（図示せず）の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そしてこのピエゾ素子９２に対して図２（Ｃ）に示すように印加電圧Ｖｈを印加することで、図２（Ｄ），（Ｆ）及び（Ｅ）に示すようにして、ピエゾ素子９２を矢印Ｑ方向に伸縮させることで、インクを加圧して所定量の液滴（インク滴）９９をノズル９１から吐出させるようになっている。
【００３３】
これを詳述すると、図３（ａ）の吐出波形図に示すように、正勾配の波形部ａ１でインク室が拡大して容積が増大し、増大した容積分に相当するインクがインク室内に流入する。また、負勾配の波形部ａ２で印加電圧Ｖｈを印加することでインク室が縮小し、インクが加圧されることでノズル９１から所定量のインクが吐出される。なお、インクジェットヘッド２０のインクジェット方式としては、前記の圧電素子９２を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式のもの、例えば熱膨張を利用したサーマルインクジェットタイプのものなどととしてもよい。
【００３４】
インクジェットヘッド２０に設けられたピエゾ素子９２に対しては、所定量のインクを吐出するために後述する制御装置２８の制御下でインクの種類、温度に適した駆動電圧がインクジェットヘッド駆動装置（図示せず）からノズル９１毎にそれぞれ印加される。また、制御装置２８は駆動装置を制御することで、図３（ａ）に示した吐出波形のみならず、図３（ｂ）に示す微振動波形も駆動波形としてピエゾ素子９２に印加させる。
【００３５】
図４に、インクジェットヘッド２０に関するインク供給系を示す。
インクジェットヘッド２０に対しては、貯溜部としてのインクタンク２５に貯溜されたインクがインクチューブ（供給路）２６を介して供給される。インクタンク２５には、内部空間２５ａを吸引して減圧する規制手段としての吸引ポンプ（第２減圧手段）３１と、内部空間２５ａを大気圧に開放する開放バルブ３２とが設けられている。これら吸引ポンプ３１の駆動及び開放バルブ３２の開閉は、図５に示すように、制御装置２８により制御される。また、インクチューブ２６の途中には、インクチューブ２６を開閉するインクバルブ（開閉弁）３３が設けられている。このインクバルブ３３の開閉動作も制御装置２８により制御される（図５参照）。
【００３６】
クリーニングユニット２４は、インクジェットヘッド２０のノズル等のクリーニングをフィルタ製造工程中や待機時に定期的にあるいは随時に行うことができる。キャッピングユニット２２は、インクジェットヘッド２０のノズル内のインクが乾燥しないようにするために、フィルタを製造しない待機時にこのインク吐出面２０Ｐを外気に触れさせないようにするものである。このクリーニングユニット２４は、吸引パッド３５及び制御装置２８の制御下でこの吸引パッド３５をインクジェットヘッド２０に対して当接位置と離間位置との間で移動させる移動手段３４を有している（図５参照）。
【００３７】
また、吸引パッド３５には、インクジェットヘッド２０に当接したときにヘッド２０の内部を吸引して減圧する吸引ポンプ（減圧手段）２９と、ヘッド２０の内部を大気圧に開放する開放バルブ３６と、インクジェットヘッド２０の内部へのインク充填状態を光学的に検出する光学センサ（検出手段）３７とが設けられている。光学センサ３７の検出結果は制御装置２８に出力される。
【００３８】
図１に戻り、電子天秤は、インクジェットヘッド２０のノズルから吐出されたインク滴の１滴の重量を測定して管理するために、例えば、インクジェットヘッド２０のノズルから、５０００滴分のインク滴を受ける。電子天秤は、この５０００滴のインク滴の重量を５０００で割ることにより、インク滴１滴の重量をほぼ正確に測定することができる。このインク滴の測定量に基づいて、インクジェットヘッド２０から吐出するインク滴の量を最適にコントロールすることができる。
【００３９】
続いて、インクジェットヘッド２０にインクを充填する際の動作について説明する。
まず、製膜処理工程（液滴吐出工程）の当初においてはインクジェットヘッド２０にインクが導入されていない。従って、製膜処理前には吸引ポンプ２９によりインクジェットヘッド２０の内部を吸引してインクを導入する。具体的には、まず制御装置２８は、まず移動手段３４を介してクリーニングユニット２４の吸引パッド３５をインクジェットヘッド２０に当接させる。また制御装置２８は、インクバルブ３３、開放バルブ３２、３６を制御することにより、インクチューブ２６を閉じさせるとともに、インクタンク２５及びインクジェットヘッド２０を密閉状態にする。
【００４０】
次に、制御装置２８は、吸引ポンプ２９、３１を作動させてインクジェットヘッド２０の内部及びインクタンク２５の内部空間２５ａを所定の圧力まで減圧させる。ここで、インクチューブ２６をインクバルブ３３で閉じた状態で減圧を行うので、インクジェットヘッド２０とインクタンク２５との間でそれぞれの減圧作業に対して互いに悪影響を及ぼすことを防止できる。
【００４１】
この減圧工程により、インクジェットヘッド２０の内部及びインクタンク２５の内部空間２５ａの双方で、気泡の基となる空気が排出される。このとき、制御装置２８は、インクタンク２５の内部空間２５ａがヘッド内部よりも高圧で、且つ大気圧よりも低圧になるように減圧させる。そして制御装置２８は、インクジェットヘッド２０の内部及びインクタンク２５の内部空間２５ａが所定の圧力まで減圧されると、インクバルブ３３を制御してインクチューブ２６を開状態とさせる。これにより、インクタンク２５内のインクは、インクタンク２５とインクジェットヘッド２０との圧力差及び毛細管力によりインクジェットヘッド２０へ向けて供給される。
【００４２】
ここで、インクタンク２５の内部空間２５ａが大気圧下であれば、インクは急激にインクジェットヘッド２０の内部に導入されてしまうが、内部空間２５ａも減圧されているため、インクジェットヘッド２０の内部との圧力差は内部空間２５ａが大気圧である場合の圧力差と比較して小さくなる。そのため、インクタンク２５のインクは、インクジェットヘッド２０内部への供給が規制された状態となり、インクチューブ２６を介して緩やかに供給・充填される（充填工程）。そして、インクジェットヘッド２０の内部へインクが充填されたことを光学センサ３７が検出すると、制御装置２８は吸引ポンプ２９、３１の駆動を停止させるとともに、開放バルブ３２、３６を開いてインクジェットヘッド２０の内部とインクタンク２５の内部空間２５ａを大気圧に戻す。これにより、インクジェットヘッド２０の内部とインクタンク２５の内部空間２５ａの圧力が等しくなることで、インクの供給が停止され、インクが吸引パッド３５で吸引されてしまうことを防止できる。
【００４３】
続いて、制御装置２８は、移動手段３４を介して吸引パッド３５をインクジェットヘッド２０から離間させる。このようにして、製膜処理工程前のインク充填工程が完了する。この工程では、予め気泡の基となる空気を排出していることに加えて、インクを緩やかにヘッド２０に充填しているので、充填時にインクが空気を巻き込んで気泡を形成する可能性が低くなり、気泡がほぼ残留していない状態でインクを充填することができる。
【００４４】
続いて、インクジェットヘッド２０の駆動に関して説明する。
上述したように、インクがインクタンク２５から送液チューブ２６を介してインクジェットヘッド２０に充填されると、インクジェットヘッド駆動装置から図３（ａ）に示す吐出波形の駆動電圧が印加され、任意のノズル９１に対応するピエゾ素子９２が任意の間隔、周期で駆動されることで所定のノズル９１からインクが吐出される。
【００４５】
続いて、製膜処理工程について説明する。
作業者がテーブル４６の前端側から基板４８を第１移動手段１４のテーブル４６の上に給材すると、この基板４８はテーブル４６に対して吸着保持されて位置決めされる。そして、モータ４４が作動して、基板４８の端面がＹ軸方向に並行になるように設定される。
【００４６】
次に、インクジェットヘッド２０がＸ軸方向に沿って移動して、電子天秤の上部に位置決めされる。そして、指定滴数（指定のインク滴の数）の吐出を行う。これにより、電子天秤は、たとえば５０００滴のインクの重量を計測して、インク滴１滴当たりの重量を計算する。そして、インク滴の１滴当たりの重量が予め定められている適正範囲に入っているかどうかを判断し、適正範囲外であれば圧電素子３０に対する印加電圧の調整等を行って、インク滴の１滴当たりの重量を適正に収める。
【００４７】
インク滴の１滴当たりの重量が適正な場合には、基板４８が第１移動手段１４よりＹ軸方向に適宜に移動して位置決めされるとともに、インクジェットヘッド２０が第２移動手段１６によりＸ軸方向に適宜移動して位置決めされる。そして、インクジェットヘッド２０は、予備吐出エリア５２に対して全ノズルからインクを予備吐出した後に、基板４８に対してＹ軸方向に相対移動して（実際には、基板４８がインクジェットヘッド２０に対してＹ方向に移動する）、基板４８上の所定領域に対して所定のノズルから所定幅でインクを吐出する。インクジェットヘッド２０と基板４８との一回の相対移動が終了すると、インクジェットヘッド２０が基板４８に対してＸ軸方向に所定量ステップ移動し、その後、基板４８がインクジェットヘッド２０に対して移動する間にインクを吐出する。そして、この動作を複数回繰り返すことにより、製膜領域全体にインクを吐出して製膜することができる。
【００４８】
続いて、図６および図７を参照して、製膜処理によりカラーフィルタを製造する例について説明する。
図６の基板４８は、透明基板であり適度の機械的強度と共に光透過性の高いものを用いる。基板４８としては、例えば、透明ガラス基板、アクリルガラス、プラスチック基板、プラスチックフィルム及びこれらの表面処理品等が適用できる。
【００４９】
たとえば、図７に示すように長方形形状の基板４８上に、生産性をあげる観点から複数個のカラーフィルタ領域１０５をマトリックス状に形成する。これらのカラーフィルタ領域１０５は、後でガラス４８を切断することで、液晶表示装置に適合するカラーフィルタとして用いることができる。
【００５０】
カラーフィルタ領域１０５には、たとえば図７に示すように、ＲのインクとＧのインクおよびＢのインクを所定のパターンで形成して配置している。この形成パターンとしては、図に示すように従来公知のストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェアー型等がある。特に、ヘッド２０を傾けることで画素部の配列ピッチにノズル間隔を対応させる場合、ストライプ型では一度に吐出できるノズルの数が多いため効果的である。
【００５１】
図６は、基板４８に対してカラーフィルタ領域１０５を形成する工程の一例を示している。
図６（ａ）では、透明の基板４８の一方の面に対して、ブラックマトリックス１１０を形成したものである。カラーフィルタの基礎となる基板４８の上には、光透過性のない樹脂（好ましくは黒色）を、スピンコート等の方法で、所定の厚さ（たとえば２μｍ程度）に塗布して、フォトリソグラフィー法等の方法でマトリックス状にブラックマトリックス１１０を設ける。ブラックマトリックス１１０の格子で囲まれる最小の表示要素がフィルタエレメントとなり、たとえばＸ軸方向の巾３０μｍ、Ｙ軸方向の長さ１００μｍ程度の大きさの窓である。
ブラックマトリックス１１０を形成した後は、たとえば、ヒータにより熱を与えることで、基板４８の上の樹脂を焼成する。
【００５２】
図６（ｂ）に示すように、インク滴９９は、フィルタエレメント１１２に供給される。インク滴９９の量は、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した充分な量である。
図６（ｃ）の加熱工程では、カラーフィルタ上のすべてのフィルタエレメント１１２に対してインク滴９９が充填されると、ヒータを用いて加熱処理を行う。基板４８は、所定の温度（例えば７０℃程度）に加熱する。インクの溶媒が蒸発すると、インクの体積が減少する。体積減少の激しい場合には、カラーフィルタとして充分なインク膜の厚みが得られるまで、インク吐出工程と、加熱工程とを繰り返す。この処理により、インクの溶媒が蒸発して、最終的にインクの固形分のみが残留して膜化する。
【００５３】
図６（ｄ）の保護膜形成工程では、インク滴９９を完全に乾燥させるために、所定の温度で所定時間加熱を行う。乾燥が終了するとインク膜が形成されたカラーフィルタの基板４８の保護及びフィルタ表面の平坦化のために、保護膜１２０を形成する。この保護膜１２０の形成には、たとえば、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法等の方法を採用することができる。
図６（ｅ）の透明電極形成工程では、スパッタ法や真空蒸着法等の処方を用いて、透明電極１３０を保護膜１２０の全面にわたって形成する。
図６（ｆ）のパターニング工程では、透明電極１３０は、さらにフィルタエレメント１１２の開口部に対応させた画素電極にパターニングされる。
【００５４】
なお、液晶の駆動にＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）等を用いる場合ではこのパターニングは不用である。また、上記製膜処理の間には、定期的あるいは随時クリーニングユニット２４を用いてインクジェットヘッド２０のインク吐出面２０Ｐをワイピングすることが望ましい。
【００５５】
以上のように、本実施の形態では、インク充填時にインクジェットヘッド２０の内部及びインクタンク２５の内部空間２５ａを減圧して気泡の基になる空気を予め排出しているので、ヘッド２０内に残留する気泡を大幅に低減することができる。また、本実施の形態では、インクの供給を規制することで、ヘッド２０内に緩やかにインクを導入できるので、空気を巻き込むことで形成される気泡も減らすことができ、ヘッド２０内に気泡を残留させることなくインクを充填することができる。
【００５６】
そのため、高粘度や少量しか作成できない液状体を用いる場合や微細寸法のヘッドを用いる場合であっても、気泡排出作業が容易になり、また気泡排出に伴う液状体の無駄な消費も抑制することが可能であるため、コストアップも防ぐことができる。そして、本実施の形態では、気泡が残留しないインクジェットヘッド２０を用いることで、残留気泡に起因する不安定吐出や未吐出といった事態も回避することができ、所望の吐出特性で基板４８上に精度よく製膜することができる。
【００５７】
また、本実施の形態では、インクチューブ２６にインクバルブ３３を設けることで、インクジェットヘッド２０及びインクタンク２５に対して互いに独立した減圧作業が実施可能となり、円滑、且つ迅速に所定圧力まで減圧することが可能となっている。さらに、本実施の形態では、光学センサ３７により、ヘッド２０におけるインク充填状態を検出しているので、インクが吸引パッド３５に吸引される前にインク供給を停止させることが可能になり、無駄なインクの消費をより一層防止することが可能である。
【００５８】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。
例えば、上記実施形態では、インク充填検出用のセンサを設ける構成としたが、センサを設けない場合には、所定時間経過後に吸引ポンプ２９、３１を停止させる手順としてもよい。
【００５９】
また、上記実施の形態では、インクタンク２５の内部空間２５ａを減圧することでインクジェットヘッド２０の内部へのインク供給を規制する構成としたが、これに限定されるものではなく、例えばインクバルブ３３が単にインク流路を開閉する開閉弁としてではなく、インクチューブ２６におけるインクの流量を可変に調整可能な調整弁（規制手段）として機能し、制御装置２８の制御により、吸引ポンプ２９による減圧、すなわち吸引された空気量に見合うインク量が供給されないようにインク流路を絞る構成としてもよい。この場合もインクジェットヘッド２０の内部へのインク供給が規制されるため、ヘッド２０にはインクが緩やかに充填されることになり、空気の巻き込みを抑えて気泡の残留を防止することができる。
【００６０】
さらに、上記実施の形態では、インクタンク２５とインクジェットヘッド２０との間の圧力差を一定として説明したが、これに限られるものではなく、例えば規制手段としての上記吸引ポンプ３１やインクバルブ（調整弁）３３を制御装置２８が規制制御手段として制御することにより、インクジェットヘッド２０の内部に供給されるインク量を例えば脈動させる等、変動させる構成とすることもできる。この場合、ヘッドへのインク充填時、インクの速度・圧力が変動することで擬似的に振動が付与された状態となり、ヘッド壁部に付着した気泡を移動させやすくなり、より確実に気泡を排出することが可能になる。なお、さらに気泡残留を防ぐ方法としては、インクの予備加熱、事前に濃度が小さいインクを充填して濡れ性を向上させる等の前処理を行うことができる。
【００６１】
一方、本発明のデバイス製造装置は、たとえば液晶表示デバイス用のカラーフィルタの製造に限定されるものではなく、たとえば、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）表示デバイスに応用が可能である。ＥＬ表示デバイスは、蛍光性の無機および有機化合物を含む薄膜を、陰極と陽極とで挟んだ構成を有し、前記薄膜に電子および正孔（ホール）を注入して再結合させることにより励起子（エキシトン）を生成させ、このエキシトンが失活する際の光の放出（蛍光・燐光）を利用して発光させる素子である。こうしたＥＬ表示素子に用いられる蛍光性材料のうち、赤、緑および青色の各発光色を呈する材料すなわち発光層形成材料及び正孔注入／電子輸送層を形成する材料をインクとし、各々を本発明のデバイス製造装置を用いて、ＴＦＴやＴＦＤ等の素子基板上にパターニングすることで、自発光フルカラーＥＬデバイスを製造することができる。本発明におけるデバイスの範囲にはこのようなＥＬデバイスをも含むものである。
【００６２】
この場合、例えば、上記のカラーフィルタのブラックマトリクスと同様に樹脂レジストを用いて１ピクセル毎に区画する隔壁を形成するとともに、下層となる層の表面に吐出された液滴が付着しやすいように、且つ、隔壁が吐出された液滴をはじき隣接する区画の液滴と混じり合うことを防止するため、液滴の吐出の前工程として、基板に対し、プラズマ、ＵＶ処理、カップリング等の表面処理を行う。しかる後に、正孔注入／電子輸送層を形成する材料を液滴として供給し製膜する第１の製膜工程と、同様に発光層を形成する第２の製膜工程とを経て製造される。
【００６３】
そして、本発明のデバイス製造装置を用いて製造したＥＬ表示デバイスは、セグメント表示や全面同時発光の静止画表示、例えば絵、文字、ラベル等といったローインフォメーション分野への応用、または点・線・面形状をもった光源としても利用することができる。さらに、パッシブ駆動の表示素子をはじめ、ＴＦＴ等のアクティブ素子を駆動に用いることで、高輝度で応答性の優れたフルカラー表示デバイスを得ることが可能である。さらに、本装置の液滴吐出パターニング技術に金属材料や絶縁材料を供すれば、金属配線や絶縁膜等のダイレクトな微細パターニングが可能となり、またこの金属配線形成技術を利用したＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）の製造、あるいは無線タグのアンテナ等の新規な高機能デバイスの作製にも応用できる。
【００６４】
なお、上記の実施形態では、便宜的に「インクジェット装置」ならびに「インクジェットヘッド」と呼称し、吐出される吐出物を「インク」として説明したが、このインクジェットヘッドから吐出される吐出物は所謂インクには限定されず、ヘッドから液滴として吐出可能に調整されたものであればよく、例えば、前述のＥＬデバイスの材料、金属材料、絶縁材料、又は半導体材料等様々な材料が含まれることはいうまでもない。
【００６５】
また、図示した製膜装置のインクジェットヘッド２０は、Ｒ（赤）．Ｇ（緑）．Ｂ（青）の内の１つの種類のインクを吐出することができるようになっているが、この内の２種類あるいは３種類のインクを同時に吐出することももちろんできる。また、製膜装置１０の第１移動手段１４と第２移動手段１６はリニアモータを用いているがこれに限らず他の種類のモータやアクチュエータを用いることもできる。
【００６６】
本実施の形態に係るデバイスが組み込まれる電子機器としては、パーソナルコンピュータや携帯型電話機、電子手帳、ページャ、ＰＯＳ端末、ＩＣカード、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、およびエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファイダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備えた装置、時計、ゲーム機器など様々な電子機器が挙げられる。例えば、図８（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図８（ａ）において、符号６００は携帯電話本体を示し、符号６０１は上記のカラーフィルタを用いた表示部を示している。図８（ｂ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図８（ｂ）において、符号７００は情報処理装置、符号７０１はキーボードなどの入力部、符号７０３は情報処理装置本体、符号７０２は上記のカラーフィルタを用いた表示部を示している。図８（ｃ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図８（ｃ）において、符号８００は時計本体を示し、符号８０１は上記のカラーフィルタを用いた表示部を示している。図８（ａ）〜（ｃ）に示す電子機器は、上記実施形態のカラーフィルタを備えているので、高品質、且つ高スループットで製造可能なカラーフィルタを備えた電子機器を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る製膜装置の概略的な外観斜視図である。
【図２】 インクジェットヘッドの構造を示す図である。
【図３】 インクジェットヘッドの駆動波形を示す図である。
【図４】 インクジェットヘッドに関するインク供給系を示す図である。
【図５】 制御系を示すブロック図である。
【図６】 基板を用いてカラーフィルタを製造する手順を示す図である。
【図７】 基板と基板上のカラーフィルタ領域の一部を示す図である。
【図８】 表示デバイスを備えた電子機器の一例を示す図である。
【符号の説明】
１０ 製膜装置（インクジェット装置）、２０ インクジェットヘッド（ヘッド）、２５ インクタンク（貯溜部）、２６ インクチューブ（供給路）、２８制御装置（規制制御手段、制御手段）、２９ 吸引ポンプ（減圧手段）、３１吸引ポンプ（第２減圧手段、規制手段）、３３ インクバルブ（開閉弁、規制手段、調整弁）、４８ 基板（ワーク）

Claims (10)

1. 供給された液状体を吐出するヘッドを有する製膜装置であって、
   前記ヘッドの内部を減圧する減圧手段と、
   前記液状体の供給を規制する規制手段と、
   前記減圧手段及び前記規制手段の駆動を制御して、前記ヘッドの内部への前記液状体の充填前に、前記ヘッドの内部を所定圧力まで減圧させて当該ヘッド内部の空気を排出させる制御装置とを備え、
   前記ヘッドには、前記液状体を貯溜する貯溜部が接続され、
   前記規制手段は、前記貯溜部を前記ヘッド内部より高圧で、且つ大気圧より低圧に減圧する第２減圧手段を有することを特徴とする製膜装置。
2. 請求項１記載の製膜装置において、
   前記ヘッドと前記貯溜部との間に設けられた前記液状体の供給路を開閉する開閉弁を有することを特徴とする製膜装置。
3. 請求項１記載の製膜装置において、
   前記ヘッドには、供給路を介して前記液状体を供給する貯溜部が接続され、
   前記規制手段は、前記供給路における前記液状体の流量を調整する調整弁を有することを特徴とする製膜装置。
4. 供給された液状体を吐出するヘッドを有する製膜装置であって、
   前記ヘッドの内部を減圧する減圧手段と、
   前記液状体の供給を規制する規制手段と、
   前記減圧手段及び前記規制手段の駆動を制御して、前記ヘッドの内部への前記液状体の充填前に、前記ヘッドの内部を所定圧力まで減圧させて当該ヘッド内部の空気を排出させる制御装置とを備え、
   前記規制手段を制御して、前記ヘッドへの前記液状体の充填時に、前記液状体の速度・圧力が変動するように、前記ヘッドへの前記液状体の供給量を変動させる規制制御手段を有することを特徴とする製膜装置。
5. 請求項１から４のいずれかに記載の製膜装置において、
   前記ヘッド内部における前記液状体の充填状態を検出する検出手段と、
   前記検出手段の検出結果に基づいて、前記規制手段による前記液状体の供給規制を制御する制御手段とを有することを特徴とする製膜装置。
6. ヘッドから液滴を吐出してワーク上に製膜するデバイス製造装置であって、
   請求項１から請求項５のいずれか一項に記載された製膜装置を用いて前記ワークに製膜することを特徴とするデバイス製造装置。
7. 請求項６に記載のデバイス製造装置により製造されたことを特徴とするデバイス。
8. 請求項７に記載のデバイスを備えたことを特徴とする電子機器。
9. 液状体を貯溜する貯溜部が接続され、供給された前記液状体を吐出するヘッドの内部に前記液状体を充填させる製膜装置の液状体充填方法であって、
   前記液状体の供給を規制しつつ前記ヘッド内部及び前記貯溜部を減圧して、
   前記ヘッドの内部への前記液状体の充填前に、前記ヘッドの内部を所定圧力まで減圧させ、前記貯溜部を前記ヘッド内部より高圧で、且つ大気圧より低圧に減圧して当該ヘッド内部の空気を排出させる工程を有することを特徴とする製膜装置の液状体充填方法。
10. ヘッドに液状体を充填する充填工程と、前記ヘッドから液滴を吐出してワーク上に製膜する製膜工程とを有するデバイス製造方法であって、
    請求項９に記載された製膜装置の液状体充填方法を用いて前記充填工程を行うことを特徴とするデバイス製造方法。

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